JP6970492B2 - 研削装置 - Google Patents
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Description
するとともにカセット5bに研削後のウエーハを搬入する搬出入手段6が配設されている。搬出入手段6の可動範囲には、研削前のウエーハを仮置きするための仮置きテーブル7と、
研削後のウエーハを洗浄する洗浄手段9とが配設されている。
手段20を保持テーブル10に対して垂直方向となるZ方向に研削送りする第1の研削送り手段40と、ウエーハに対して仕上げ研削を施す第2の回転手段30と、第2の回転手段30を保持テーブル10に対して垂直方向となるZ方向に研削送りする第2の研削送り手段50と、第1の研削送り手段40と第2の研削送り手段50とをともにZ方向及びY方向に直交するX方向に移動させるX方向移動手段60とを備えている。
61が螺合している。X方向移動手段60は、第1の研削送り手段40及び第2の研削送り手段50をともに±X方向に移動させることにより、粗研削砥石27又は仕上げ研削砥石37の外周を、保持テーブル10に保持されたウエーハの中心を通過する位置に位置づけることができる。なお、可動部64,65は、図示するように互いに連結された構成でもよいし、互いに連結させない構成でもよい。
少なくとも研削手段及びY方向移動手段13を制御する制御手段70とを備えている。Y方向移動手段13は、保持テーブルを±Y方向に直線移動させることにより保持テーブル10に対してウエーハを搬入出する搬入出位置P1と保持テーブル10に保持されたウエーハを研削手段により研削する研削位置P2とにそれぞれ位置づけることが可能となっている。
ばインフィード研削による粗研削を行う。インフィード研削とは、ウエーハWを保持した保持テーブル10を回転させつつ、ウエーハWの円半径部分に研削砥石を接触させて研削する技術である。
第2の回転手段30Aは非接触位置に位置づけられていることから、仕上げ研削ホイール36がウエーハWに接触するおそれはない。ウエーハWの粗研削中は、厚み測定手段14によってウエーハWの厚みが算出され、算出されたウエーハWの厚みが制御手段70Aに設定された所定の厚みに達している場合は、ウエーハWの粗研削を終了する。一方、ウエーハWが所定の厚みまで研削されていないと判断された場合には、所定の厚みに達するまで第1の回転手段20AによってウエーハWを粗研削する。
研削手段は、第1の回転手段20A及び第2の回転手段30Aをともに保持テーブル10に対して垂直方向となるZ方向に研削送りする第3の研削送り手段80と、第3の研削送り手段80をZ方向及びY方向に直交するX方向に移動させるX方向移動手段90と、を備え、第1の回転手段20Aと第2の回転手段30Aとは、粗研削砥石27又は仕上げ研削砥石37の一方が保持テーブル10に保持されたウエーハWの中心Woを通過し他方がウエーハWに接触しない距離だけX方向に離間して配設され、制御手段70Aは、ウエーハWが保持された保持テーブル10をY方向移動手段13Aにより研削位置P2に位置づけた後、X方向移動手段90により粗研削砥石27又は仕上げ研削砥石37を保持テーブル10に保持されたウエーハWの中心Woを通過する位置に位置づけたのち第3の研削送り手段80によって第1の回転手段20A及び第2の回転手段30Aをともに研削送りすることによりウエーハWを研削する構成としたため、第1の回転手段20A及び第2の回転手段30Aを同時に研削送りしても、粗研削砥石27又は仕上げ研削砥石37の一方がウエーハWの中心を通過して他方がウエーハWに接触するおそれはない。これにより、上記同様に、粗研削砥石27又は仕上げ研削砥石37の一方でウエーハWを研削中に、研削していない他方にドレスなどの研削準備を行うことができ、効率よくウエーハWを研削できる。
5a,5b:カセット 6:搬出入手段 7:仮置きテーブル
8a:第1の搬送手段 8b:第2の搬送手段 9:洗浄手段
10:保持テーブル 10a:保持面 11:モータ 12:カバー
13,13A:Y方向移動手段
14:厚み測定手段 14a:第1のハイトゲージ 14b:第2のハイトゲージ
15:固定軸
20:第1の回転手段 21:スピンドル 22:モータ
23:スピンドルハウジング 24:ホルダ 25:マウント 26:粗研削ホイール
27:粗研削砥石 28a,28b:調整軸 29:固定軸
30:第2の回転手段 31:スピンドル 32:モータ
33:スピンドルハウジング 34:ホルダ 35:マウント
36:仕上げ研削ホイール 37:仕上げ研削砥石
38a,38b:調整軸 39:固定軸
40:第1の研削送り手段 41:ボールネジ 42:モータ
43:ガイドレール 44:昇降板
50:第2の研削送り手段 51:ボールネジ 52:モータ
53:ガイドレール 54:昇降板
60:X方向移動手段 61:ボールネジ 62:モータ 63:ガイドレール
64,65:可動部 70,70A:制御手段
80:第3の研削送り手段 81:ボールネジ 82:モータ 83:ガイドレール
84:昇降部
90:X方向移動手段 91:ボールネジ 92:モータ 93:ガイドレール
94:可動部
Claims (2)
- 保持面でウエーハを保持する回転可能な保持テーブルと、該保持テーブルに保持されたウエーハを環状の研削砥石がウエーハの中心を通りウエーハの半径部分に円弧状に接触して研削する研削手段と、該保持テーブルをY方向に直線移動させることにより該保持テーブルに対してウエーハを搬入出する搬入出位置と該保持テーブルに保持されたウエーハを該研削手段により研削する研削位置とにそれぞれ位置づけるY方向移動手段と、保持面に保持されたウエーハの厚みを測定する厚み測定手段と、制御手段とを備え、
該研削手段は、
粗研削砥石を環状に配設し回転可能とした第1の回転手段と、
該第1の回転手段を該保持テーブルに対して垂直方向となるZ方向に研削送りする第1の研削送り手段と、
仕上げ研削砥石を環状に配設し回転可能とした第2の回転手段と、
該第2の回転手段を該Z方向に研削送りする第2の研削送り手段と、
該第1の研削送り手段及び該第2の研削送り手段を該Z方向及び該Y方向に直交するX方向に移動させるX方向移動手段と、を備え、
該第1の回転手段のY方向の位置と該第2の回転手段のY方向の位置とが同じであり、
該厚み測定手段は、該保持面に保持されたウエーハの上面高さを測定する第1のハイトゲージと、該保持面の高さを測定する第2のハイトゲージとを備え、該第1のハイトゲージの値と該第2のハイトゲージの値との差をウエーハの厚みとして算出し、
該第1のハイトゲージの測定点と該第2のハイトゲージの測定点とは、該粗研削砥石によるウエーハの研削時は該粗研削砥石が接触しているウエーハの中心を通る円弧状の研削部分に対するウエーハの中心を通る弦の延長線上に配置され、該仕上げ研削砥石によるウエーハの研削時は該仕上げ研削砥石が接触しているウエーハの中心を通る円弧状の研削部分に対するウエーハの中心を通る弦の延長線上に配置され、
該制御手段は、ウエーハが保持された該保持テーブルを該Y方向移動手段により前記研削位置に位置づけた後、該X方向移動手段により該粗研削砥石又は該仕上げ研削砥石を該保持テーブルに保持されたウエーハの中心を通過する位置に位置づけたのち該第1の研削送り手段又は該第2の研削送り手段によって該第1の回転手段又は該第2の回転手段を研削送りすることによりウエーハをインフィード研削し、
粗研削砥石は、該仕上げ研削砥石に最も近い円弧状の研削部分においてウエーハに接触し、
該仕上げ研削砥石は、該粗研削砥石に最も近い円弧状の研削部分においてウエーハに接触する
研削装置。 - 保持面でウエーハを保持する回転可能な保持テーブルと、該保持テーブルに保持されたウエーハを環状の研削砥石がウエーハの中心を通りウエーハの半径部分に円弧状に接触して研削する研削手段と、該保持テーブルをY方向に直線移動させることにより該保持テーブルに対してウエーハを搬入出する搬入出位置と該保持テーブルに保持されたウエーハを該研削手段により研削する研削位置とにそれぞれ位置づけるY方向移動手段と、保持面に保持されたウエーハの厚みを測定する厚み測定手段と、制御手段とを備え、
該研削手段は、
粗研削砥石を環状に配設し回転可能とした第1の回転手段と、
仕上げ研削砥石を環状に配設し回転可能とした第2の回転手段と、
第1の回転手段と該第2の回転手段とを該保持テーブルに対して垂直方向となるZ方向に研削送りする第3の研削送り手段と、
該第3の研削送り手段を該Z方向及び該Y方向に直交するX方向に移動させるX方向移動手段と、を備え、
該第1の回転手段のY方向の位置と該第2の回転手段のY方向の位置とが同じであり、
該厚み測定手段は、該保持面に保持されたウエーハの上面高さを測定する第1のハイトゲージと、該保持面の高さを測定する第2のハイトゲージとを備え、該第1のハイトゲージの値と該第2のハイトゲージの値との差をウエーハの厚みとして算出し、
該第1のハイトゲージの測定点と該第2のハイトゲージの測定点とは、該粗研削砥石によるウエーハの研削時は該粗研削砥石が接触しているウエーハの中心を通る円弧状の研削部分に対するウエーハの中心を通る弦の延長線上に配置され、該仕上げ研削砥石によるウエーハの研削時は該仕上げ研削砥石が接触しているウエーハの中心を通る円弧状の研削部分に対するウエーハの中心を通る弦の延長線上に配置され、
該制御手段は、ウエーハが保持された該保持テーブルを該Y方向移動手段により前記研削位置に位置づけた後、該X方向移動手段により該粗研削砥石又は該仕上げ研削砥石を該保持テーブルに保持されたウエーハの中心を通過する位置に位置づけたのち該第1の研削送り手段又は該第2の研削送り手段によって該第1の回転手段又は該第2の回転手段を研削送りすることによりウエーハをインフィード研削し、
粗研削砥石は、該仕上げ研削砥石に最も近い円弧状の研削部分においてウエーハに接触し、
該仕上げ研削砥石は、該粗研削砥石に最も近い円弧状の研削部分においてウエーハに接触する
研削装置。
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