CN105458810B - 一种回转工作台的驱动***及回转工作台装置 - Google Patents

一种回转工作台的驱动***及回转工作台装置 Download PDF

Info

Publication number
CN105458810B
CN105458810B CN201510996949.6A CN201510996949A CN105458810B CN 105458810 B CN105458810 B CN 105458810B CN 201510996949 A CN201510996949 A CN 201510996949A CN 105458810 B CN105458810 B CN 105458810B
Authority
CN
China
Prior art keywords
rotary table
transmission
synchronous belt
motor
drive system
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201510996949.6A
Other languages
English (en)
Other versions
CN105458810A (zh
Inventor
张敏杰
衣忠波
王欣
梁津
赵岁花
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
CETC Beijing Electronic Equipment Co
Original Assignee
CETC Beijing Electronic Equipment Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by CETC Beijing Electronic Equipment Co filed Critical CETC Beijing Electronic Equipment Co
Priority to CN201510996949.6A priority Critical patent/CN105458810B/zh
Publication of CN105458810A publication Critical patent/CN105458810A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN105458810B publication Critical patent/CN105458810B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
    • B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
    • B23Q5/34—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission
    • B23Q5/38—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
    • B23Q1/50—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/52—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism a single rotating pair
    • B23Q1/522—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism a single rotating pair which is perpendicular to the working surface
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
    • B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
    • B23Q5/28—Electric drives

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Machine Tool Units (AREA)
  • Devices For Conveying Motion By Means Of Endless Flexible Members (AREA)

Abstract

本发明提供了一种回转工作台的驱动***及回转工作台装置，涉及传动机械技术领域，其中驱动***包括：主轴***、旋转工作台、同步带传动***、底座和电机总成；所述主轴***安装在所述底座上，所述旋转工作台安装在所述主轴***上；所述电机总成包括：底板、电机座、电机、调整头和调整架，所述同步带传动***包括：传动用同步带、同步带轮、啮合部件，所述同步带轮安装在所述电机的输出轴上，所述传动用同步带一端套在所述旋转工作台圆周上，所述传动用同步带的另一端套在所述同步带轮上。该方案可提高回转工作台的运行平稳度及定位精度，改善设备可靠性。

Description

一种回转工作台的驱动***及回转工作台装置
技术领域
本发明涉及传动机械技术领域，尤其涉及一种回转工作台的驱动***及回转工作台装置。
背景技术
在半导体专用设备制造过程中，工作台往往需要实现一定度数范围内的旋转、定位从而满足加工工艺的要求。因此，实现工作台可靠、平稳旋转，精准落位，是半导体专用设备制造关键技术。在现代化的生产设备中，传统的工作台驱动方式是通过电机减速器直接作用于轴系，带动工作台旋转，这种装置在实际应用中存在一定的不足，运转不平稳，震动大，噪音大，由于转动惯量不匹配，导致工作台落位时难以停稳，定位精度不能满足工艺需求，从而大大降低了设备可靠性。
发明内容
为了克服上述问题，本发明提供一种回转工作台的驱动***及回转工作台装置，解决现有技术中工作台落位时难以停稳，定位精度不能满足工艺需求，设备可靠性不足的问题。
为了解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：
一种回转工作台的驱动***，包括：主轴***、旋转工作台、同步带传动***、底座和电机总成；
其中，所述主轴***安装在所述底座上，所述旋转工作台安装在所述主轴***上；
所述电机总成包括：底板、电机座、电机、调整头和调整架，其中，所述底板安装在所述底座上，所述电机安装在所述电机座上，所述电机座与所述底板连接，将所述电机安装固定在所述底座上，所述调整头连接在所述电机座一端，所述调整架固定在所述底板上，所述调整架上安装有一调整螺钉，所述调整螺钉穿过所述调整架与所述调整头螺纹连接；
所述同步带传动***包括：传动用同步带、同步带轮、啮合部件，其中，所述同步带轮安装在所述电机的输出轴上，所述啮合部件通过齿向外的方式固定在所述旋转工作台圆周上，所述传动用同步带通过齿向内的方式一端套在所述旋转工作台圆周上，且与所述啮合部件的齿相互啮合，并通过压板扣压在所述啮合部件和所述传动用同步带的啮合处，将所述啮合部件和所述传动用同步带的啮合处压紧固定在所述旋转工作台上，所述传动用同步带的另一端套在所述同步带轮上。
可选地，所述底座上固定有相对设置的导向轮，相对设置的所述导向轮分别位于所述传动用同步带的两侧，以将所述传动用同步带压紧。
可选地，相对设置的所述导向轮之间的距离小于所述旋转工作台的直径且大于等于所述同步带轮的直径。
可选地，所述底座上固定有相对设置的用于感知所述旋转工作台旋转位置的限位传感器。
可选地，所述主轴***为气浮主轴***。
可选地，所述传动用同步带为聚氨酯钢丝带。
一种回转工作台装置，包括如上所述的回转工作台的驱动***。
本发明的有益效果是：
上述方案，回转工作台的驱动***中具体结合了同步带传动***，使得该驱动***的转动惯量大，扭矩大，进而解决了传统电机驱动主轴由于惯量不匹配造成的停不下来，落位不准的问题，实现旋转工作台的精准定位，稳定落位，提高回转工作台的运行平稳度及定位精度，改善设备可靠性。
附图说明
图1为本发明中回转工作台的驱动***的整体结构示意图；
图2为图1中回转工作台的驱动***的俯视图；
图3为沿图1中A-A线的剖面示意图；
图4为沿图1中B-B线的剖面示意图。
附图标记：
1主轴***、2旋转工作台、3底座、41底板、42电机座、43电机、44调整头、45调整架、46调整螺钉、51传动用同步带、52同步带轮、53啮合部件、54压板、55导向轮、31限位传感器。
具体实施方式
下面将参照附图更详细地描述本公开的示例性实施例。虽然附图中显示了本公开的示例性实施例，然而应当理解，可以以各种形式实现本公开而不应被这里阐述的实施例所限制。相反，提供这些实施例是为了能够更透彻地理解本公开，并且能够将本公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。
如图1、图2、图3、图4所示，本发明公开了一种回转工作台的驱动***，其特征在于，包括：主轴***1、旋转工作台2、同步带传动***、底座3和电机总成；其中，主轴***1安装在底座3上，旋转工作台2安装在主轴***1上。
其中，该电机总成包括：底板41、电机座42、电机43、调整头44和调整架45，其中，底板41安装在底座3上，电机43安装在电机座42上，电机座42与底板41连接，将电机43安装固定在底座3上，调整头44连接在电机座42一端，调整架45固定在底板41上，调整架45上安装有一调整螺钉46，调整螺钉46穿过调整架45与调整头44螺纹连接。
其中，该同步带传动***包括：传动用同步带51、同步带轮52、啮合部件53，其中，同步带轮52安装在电机43的输出轴上，啮合部件53通过齿向外的方式固定在旋转工作台2圆周上，传动用同步带51通过齿向内的方式一端套在旋转工作台2圆周上，且与啮合部件53的齿相互啮合，并通过压板54扣压在啮合部件53和传动用同步带51的啮合处，将啮合部件53和传动用同步带51的啮合处压紧固定在旋转工作台2上，传动用同步带51的另一端套在同步带轮52上。
具体地，电机43安装在电机座42上，电机座42与底板41连接，将电机43安装固定在底座3上，电机座42与底板41间的连接为位置可调变式连接，底板41或电机座42可以设置有利于实现位置调变的条形孔，具体通过连接在电机座42一端的调整头44及与之通过一调整螺钉46连接的调整架45来实现对该电机座42的位置的调整，调整头44与电机座42远离旋转工作台2的一端固定连接，调整架45固定安装于底板41上，当调整螺钉46旋动时，调整头44带动电机座42相对底板41进行位置调变，可以实现调整电机43与旋转工作台2之间距离的变远或变近，进而使电机43带动传动用同步带51进行张紧度的调变，更好的实现传动效果。
进一步地，传动用同步带51用于带动旋转工作台2转动，电机43输出轴上设置的同步带轮52具体用于带动传动用同步带51进行转动，传动用同步带51套设在同步带轮52上，具体为套设在其圆周面上；传动用同步带51在套设于同步带轮52上的同时，还套设并部分固定于旋转工作台2的圆周面上，啮合部件53通过其朝向外的齿与传动用同步带51上朝向内的齿啮合，实现在该啮合处固定住传动用同步带51；同步带轮52上有齿，可以实现与传动用同步带51间的咬接传动，当电机43经由同步带轮52带动传动用同步带51转动时，传动用同步带51经由啮合部件53及压板54带动旋转工作台2转动，该啮合部件53具体可以是一段啮合用同步带。
其中，传动用同步带51可为一个环状带，在安装时，旋动调整螺钉46，使电机43与旋转工作台2之间距离变近，将环状带套设在旋转工作台2及同步带轮52上；传动用同步带51也可为一个条状带，在安装时，将该条状带的接头处与啮合部件53进行啮合，并通过压板54将其固定压死，便于拆装，更有利于整体结构的安装组合及维护。
在具体使用过程中，电机43启动，带动传动用同步带51进行运动，由于该传动用同步带51为套在旋转工作台2上，与啮合部件53相啮合，并被压板54压死固定在旋转工作台2圆周面上的啮合处，此时传动用同步带51通过该啮合处带动旋转工作台2在一定角度范围内进行转动，到达可旋转的极限位置时，再进行回转。本发明中的回转工作台的驱动***中具体结合了上述的同步带传动***，且该传动用同步带51通过与旋转工作台2的部分固定连接，更实现了对旋转工作台2转动与停止的实时控制，使得该驱动***的转动惯量大，扭矩大，进而解决了传统电机驱动主轴由于惯量不匹配造成的停不下来，落位不准的问题，实现旋转工作台的精准定位，稳定落位，提高回转工作台的运行平稳度及定位精度，改善设备可靠性。
其中，底座3上固定有相对设置的导向轮55，相对设置的该导向轮55分别位于传动用同步带51的两侧，以将该传动用同步带51压紧，该导向轮55的相对设置指的是底座3上的导向轮55具体为两个，该两个导向轮55的位置为相对传动用同步带51对称设置，该导向轮55的设置可以使装置整体在运转中保证传动用同步带51的传动稳定。具体地，结合实际安装需要，相对设置的该导向轮55之间的距离小于旋转工作台2的直径且大于等于同步带轮52的直径，且其位置为可调变，以便于动态调整传动用同步带51的张紧度，及更好的进行传动导向。
进一步地，底座3上固定有相对设置的用于感知旋转工作台2旋转位置的限位传感器31，该限位传感器31也具体为两个，该两个限位传感器31的位置为相对传动用同步带51对称设置，具体设置于旋转工作台2在传动用同步带51带动下正向旋转及回转时，可旋转角度的极限位置处，以便于监测旋转工作台2安全可靠运转。
更进一步地，该主轴***1为气浮主轴***，传动用同步带51带动旋转工作台2和该气浮主轴***运转，气浮主轴***使用已经成熟的旋转气浮技术，在运转时使旋转工作台2浮起，实现旋转工作台2进行近似无摩擦的平稳旋转，以减少损耗及噪声；其中，传动用同步带51优选为聚氨酯钢丝带。
本发明还公开了一种回转工作台装置，该装置是对晶片进行加工的半导体专用设备，该回转工作台装置包括上述的回转工作台的驱动***。
本发明提供了一种新型、简单实用、使用方便和结构可靠且运行平稳的回转工作台的驱动***及回转工作台装置，由于使用了同步带传动，使该装置整体结构紧凑，安装简单，结构可靠、运行平稳，定位精准，还可降低了传统驱动结构的震动噪音，可以极好的实现晶片加工工艺的要求。
尽管已描述了本发明实施例的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明实施例范围的所有变更和修改。
而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者终端设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者终端设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者终端设备中还存在另外的相同要素。
以上所述的是本发明的优选实施方式，应当指出对于本技术领域的普通人员来说，在不脱离本发明所述的原理前提下还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也在本发明的保护范围内。

Claims (7)

1.一种回转工作台的驱动***，其特征在于，包括：主轴***(1)、旋转工作台(2)、同步带传动***、底座(3)和电机总成；
其中，所述主轴***(1)安装在所述底座(3)上，所述旋转工作台(2)安装在所述主轴***(1)上；
所述电机总成包括：底板(41)、电机座(42)、电机(43)、调整头(44)和调整架(45)，其中，所述底板(41)安装在所述底座(3)上，所述电机(43)安装在所述电机座(42)上，所述电机座(42)与所述底板(41)连接，所述调整头(44)连接在所述电机座(42)一端，所述调整架(45)固定在所述底板(41)上，所述调整架(45)上安装有一调整螺钉(46)，所述调整螺钉(46)穿过所述调整架(45)与所述调整头(44)螺纹连接；
所述同步带传动***包括：传动用同步带(51)、同步带轮(52)、啮合部件(53)，其中，所述同步带轮(52)安装在所述电机(43)的输出轴上，所述啮合部件(53)通过齿向外的方式固定在所述旋转工作台(2)圆周上，所述传动用同步带(51)通过齿向内的方式一端套在所述旋转工作台(2)圆周上，且与所述啮合部件(53)的齿相互啮合，并通过压板(54)扣压在所述啮合部件(53)和所述传动用同步带(51)的啮合处，将所述啮合部件(53)和所述传动用同步带(51)的啮合处压紧固定在所述旋转工作台(2)上，所述传动用同步带(51)的另一端套在所述同步带轮(52)上；
其中，所述传动用同步带(51)通过所述啮合处带动所述旋转工作台(2)在一定角度范围内进行转动，到达可旋转的极限位置时，再进行回转。
2.根据权利要求1所述的回转工作台的驱动***，其特征在于，
所述底座(3)上固定有相对设置的导向轮(55)，相对设置的所述导向轮(55)分别位于所述传动用同步带(51)的两侧，以将所述传动用同步带(51)压紧。
3.根据权利要求2所述的回转工作台的驱动***，其特征在于，相对设置的所述导向轮(55)之间的距离小于所述旋转工作台(2)的直径且大于等于所述同步带轮(52)的直径。
4.根据权利要求1所述的回转工作台的驱动***，其特征在于，
所述底座(3)上固定有相对设置的用于感知所述旋转工作台(2)旋转位置的限位传感器(31)。
5.根据权利要求1所述的回转工作台的驱动***，其特征在于，所述主轴***(1)为气浮主轴***。
6.根据权利要求1-5任一项所述的回转工作台的驱动***，其特征在于，所述传动用同步带(51)为聚氨酯钢丝带。
7.一种回转工作台装置，其特征在于，包括如权利要求1-5任一项所述的回转工作台的驱动***。
CN201510996949.6A 2015-12-28 2015-12-28 一种回转工作台的驱动***及回转工作台装置 Active CN105458810B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510996949.6A CN105458810B (zh) 2015-12-28 2015-12-28 一种回转工作台的驱动***及回转工作台装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510996949.6A CN105458810B (zh) 2015-12-28 2015-12-28 一种回转工作台的驱动***及回转工作台装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN105458810A CN105458810A (zh) 2016-04-06
CN105458810B true CN105458810B (zh) 2018-06-29

Family

ID=55597202

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201510996949.6A Active CN105458810B (zh) 2015-12-28 2015-12-28 一种回转工作台的驱动***及回转工作台装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN105458810B (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114178940B (zh) * 2021-12-15 2023-07-18 北京中电科电子装备有限公司 一种回转工作台装置和控制方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10140455A1 (de) * 2001-08-17 2003-03-13 Rudolf M Wagner Maschine und Verfahren zu ihrem Betreiben
CN102520459A (zh) * 2011-12-30 2012-06-27 北京华航无线电测量研究所 一种安检装置伺服机构
CN204221388U (zh) * 2014-10-31 2015-03-25 无锡市福曼科技有限公司 一种可调整的旋转工作台
CN104668973A (zh) * 2013-12-02 2015-06-03 海博精密有限公司 旋转工作台装置
CN104773324A (zh) * 2015-04-01 2015-07-15 瑞安市金泰包装机械有限公司 一种包装机的自动送料装置

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11262841A (ja) * 1998-03-19 1999-09-28 Teijin Seiki Co Ltd 回転テーブルの駆動・位置決め装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10140455A1 (de) * 2001-08-17 2003-03-13 Rudolf M Wagner Maschine und Verfahren zu ihrem Betreiben
CN102520459A (zh) * 2011-12-30 2012-06-27 北京华航无线电测量研究所 一种安检装置伺服机构
CN104668973A (zh) * 2013-12-02 2015-06-03 海博精密有限公司 旋转工作台装置
CN204221388U (zh) * 2014-10-31 2015-03-25 无锡市福曼科技有限公司 一种可调整的旋转工作台
CN104773324A (zh) * 2015-04-01 2015-07-15 瑞安市金泰包装机械有限公司 一种包装机的自动送料装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN105458810A (zh) 2016-04-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN207695385U (zh) 一种适用范围广的弯板机
CN105458810B (zh) 一种回转工作台的驱动***及回转工作台装置
CN209511031U (zh) 一种同步带轮减速结构
CN204235132U (zh) 一种铝杆校直切断机
CN201049843Y (zh) 转向皮带机
CN208409116U (zh) 一种电机机壳装配前姿态调整***
CN206907646U (zh) 齿条式环绕机构及环形绕线机
CN108858175A (zh) 机器人的转动机构
CN110725914A (zh) 一种有效防止皮带脱落的涡轮蜗杆减速器
CN113615914B (zh) 一种可自动调节的假发三联机
CN206530597U (zh) 一种可调速的蜗轮蜗杆驱动装置
CN204314320U (zh) 用于食品传动机械上的转速测量装置
CN208543476U (zh) 机器人的转动机构
CN108971525A (zh) 一种轴类五金零件用切削机器人及其使用方法
CN203117210U (zh) 长尺机测速装置
CN209338785U (zh) 一种多轴向经编机编码器增速装置
CN204184847U (zh) 一种适合精确平稳运输的装置
CN208945314U (zh) 一种多功能齿形磨床
CN107378081B (zh) 一种用于带有中心孔的盘类零件铣削装置
CN109898226B (zh) 一种针织用大盘齿轮机械定位装置
CN207957288U (zh) 一种张力摆杆装置
CN202670908U (zh) 一种自动调节纱线张力的调节器
CN203356492U (zh) 一种电缆线同步带动装置
CN208100033U (zh) 水钻磨抛机的磨抛轮水平驱动装置
CN108439064B (zh) 一种恒张力送线器

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant