CN103391819A - 液体涂覆装置和液体涂覆方法 - Google Patents

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Abstract

该液体涂覆装置(1)具有：基板供给部(R1)，容纳装着涂覆之前的基板(4)的基板供给料斗(5)；涂覆头(14)，向已经被运送至作业位置的基板(4)涂覆液体(Q)；和基板收集部(R2)，容纳装着涂覆之后的基板(4)的基板收集料斗(5)。基板供给部(R1)和基板收集部(R2)定位成一个在另一个之上。该构造可以使该液体涂覆装置的尺寸减小。

Description

液体涂覆装置和液体涂覆方法
技术领域
本发明涉及将诸如树脂的液体涂覆在基板上的液体涂覆装置和液体涂覆方法。
背景技术
通常，已知为用于将诸如树脂的液体涂覆到基板或基板上的部件的装置的液体涂覆装置从用于供给基板的料斗取出涂覆液体前的基板以将基板运送到作业位置、将液体涂覆到处于作业位置的基板、然后将基板运离作业位置以使基板容纳在用于收集基板的料斗中。这里，安置有用于供给基板的料斗的基板供给部和安置有用于收集基板的料斗的基板收集部设置在彼此相对的位置，向基板涂覆液体的作业位置夹在这两者之间。在液体在作业位置涂覆到从用于供给基板的料斗中取出的基板之后，基板被沿着与基板从用于供给基板的料斗运送到作业位置时的方向相同的方向运送，并被容纳在用于收集基板的料斗中(例如，专利文献1)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利No.4373041
发明内容
本发明要解决的问题
然而，当像在通常的液体涂覆装置中那样基板供给部和基板收集部位于彼此相对的位置且作业位置夹在它们之间时，在液体涂覆器的平面图中必须至少有用于供给基板的料斗和用于收集基板的料斗的安置空间。因此，出现如下问题：妨碍液体涂覆装置的整个尺寸更小。
因此，本发明的目的是提供可以实现紧凑尺寸并提高面积生产率的液体涂覆装置和液体涂覆方法。
解决问题的手段
本发明的液体涂覆装置包括：基板供给部，容纳着涂覆液体之前的基板的用于供给基板的料斗安置在该基板供给部中；涂覆头，向从安置在基板供给部中的用于供给基板的料斗中取出并移动到作业位置的基板涂覆液体；和基板收集部，容纳着由涂覆头涂覆了液体的基板的用于收集基板的料斗安置在该基板收集部中。基板供给部和基板收集部在垂直方向上平行布置并定位。
在本发明的液体涂覆装置中，基板供给部的用于供给基板的料斗和基板收集部的用于收集基板的料斗在用于供给基板的料斗和用于收集基板的料斗中的一个安放在另一个上的状态下在垂直方向上平行布置并定位，并且，用于供给基板的料斗和用于收集基板的料斗通过料斗升降单元同时上升或下降，从而在取出基板时在垂直方向上定位用于供给基板的料斗，并在收集基板时在垂直方向上定位用于收集基板的料斗。
在本发明的液体涂覆装置中，基板供给部中的变空的用于供给基板的料斗移动到基板收集部并用作用于收集基板的料斗。
在本发明的液体涂覆装置中，在向移动至一个作业位置的基板涂覆液体时，具有两个作业位置的用于将从用于供给基板的料斗中取出的基板移动至作业位置并将在作业位置涂覆了液体的基板移动至用于收集基板的料斗的基板移动单元使从用于供给基板的料斗中取出的基板移动到另一作业位置或使在另一作业位置涂覆了液体的基板移动至用于收集基板的料斗。
本发明的液体涂覆方法包括：从安置在基板供给部中的用于供给基板的料斗取出涂覆液体之前的基板并使其移动到作业位置的步骤；向移动至作业位置的基板涂覆液体的步骤；和使涂覆了液体的基板离开作业位置以将该基板容纳在安置于在垂直方向上平行于基板供给部布置并定位的基板收集部中的用于收集基板的料斗中的步骤。
在本发明的液体涂覆方法中，基板供给部的用于供给基板的料斗和基板收集部的用于收集基板的料斗在用于供给基板的料斗和用于收集基板的料斗中的一个安放在另一个上的状态下在垂直方向上平行布置并定位，并且，用于供给基板的料斗和用于收集基板的料斗同时上升或下降，从而在取出基板时在垂直方向上定位用于供给基板的料斗，并在收集基板时在垂直方向上定位用于收集基板的料斗。
在本发明的液体涂覆方法中，使基板供给部中的变空的用于供给基板的料斗移动到基板收集部并用作用于收集基板的料斗。
在本发明的液体涂覆方法中，该液体涂覆方法具有两个作业位置，并且，在向移动至一个作业位置的基板涂覆液体时，使从用于供给基板的料斗取出的基板移动到另一作业位置或使在另一作业位置涂覆了液体的基板移动至用于收集基板的料斗。
本发明的优点
在本发明中，由于安置有容纳涂覆液体之前的基板的用于供给基板的料斗的基板供给部和安置有容纳涂覆了液体的基板的用于收集基板的料斗的基板收集部在垂直方向上平行布置并定位。因此，在液体涂覆装置的平面图中可以设置用于基板供给部(用于供给基板的料斗)和基板收集部(用于收集基板的料斗)中之一的安置空间。因此，液体涂覆装置的整个尺寸可以做得更小，从而可以更大地提高面积生产率。
附图说明
图1是本发明的一个示例性实施例中的液体涂覆装置的透视图。
图2是本发明的该一个示例性实施例中的液体涂覆装置的主体部的透视图。
图3是本发明的该一个示例性实施例中的液体涂覆装置的基板供给-收集部的透视图。
图4是本发明的该一个示例性实施例中的液体涂覆装置的基板供给-收集部的正视图。
图5是示出本发明的该一个示例性实施例中的料斗连同基板的透视图。
图6(a)和6(b)是本发明的该一个示例性实施例中设置在基板供给-收集部中的料斗移动机构的一部分的正视图。
图7(a)和7(b)是本发明的该一个示例性实施例中设置在基板供给-收集部中的料斗移动机构的一部分的正视图。
图8是示出本发明的该一个示例性实施例中的液体涂覆装置的控制***的框图。
图9(a)、9(b)、9(c)和9(d)是本发明的该一个示例性实施例中的液体涂覆装置的操作解释图。
图10(a)、10(b)、10(c)和10(d)是本发明的该一个示例性实施例中的液体涂覆装置的操作解释图。
图11(a)、11(b)、11(c)和11(d)是本发明的该一个示例性实施例中的液体涂覆装置的操作解释图。
图12(a)、12(b)、12(c)和12(d)是本发明的该一个示例性实施例中的液体涂覆装置的操作解释图。
图13(a)、13(b)、13(c)和13(d)是本发明的该一个示例性实施例中的液体涂覆装置的操作解释图。
具体实施方式
现在，通过参照附图，描述本发明的示例性实施例。图1所示的液体涂覆装置1包括主体部2和基板供给-收集部3。主体部2将诸如树脂的液体供给到所供给的基板4(或设置在基板4上的部件，这些部件在图中未示出)。基板供给-收集部3将涂覆液体之前的基板4供给到主体部2，并收集在主体部2中涂覆液体之后的基板4。如下面所描述的，基板供给-收集部3通过料斗5将基板4供给到主体部2并从主体部2收集基板4，多个基板4沿垂直方向平行布置并容纳在料斗5中。在下述解释中，主体部2和基板供给-收集部3布置的方向被设为X轴方向。以直角与X轴方向相交的水平面内的方向被设为Y轴方向。垂直方向被设为Z轴方向。此外，在横向方向(X轴方向)上，从操作者OP来看的左侧(设置有基板供给-收集部3的一侧)被定义为左部。从操作者OP来看的右侧被定义为右部。此外，从操作者OP来看的前侧被定义为前部，从操作者OP来看的内侧被定义为后部。
在图2中，主体部2包括具有平的作业平面11a的基台部11和设置成覆盖基台部11的作业平面11a的上部空间的盖部12。在基台部11的作业平面11a上设置有涂覆头移动机构13，该涂覆头移动机构13包括：一对Y轴工作台13a，在Y轴方向上延伸，并在X轴方向(横向方向)上相对；X轴工作台13b，在X轴方向上延伸，并且两端由所述一对Y轴工作台13a支撑；以及移动台13c，设置成能够沿着X轴工作台13b在X轴方向上移动。涂覆头14附接到涂覆头移动机构13的移动台13c。
在涂覆头移动机构13中，X轴工作台13b相对于所述一对Y轴工作台13a在Y轴方向上的移动与移动台13c相对于X轴工作台13b在X轴方向上的移动相组合以使涂覆头14在水平面中移动。涂覆头14中容纳有诸如树脂的液体Q，并将所容纳的液体Q从向下延伸的涂覆喷嘴14a的端部向下排出。
在作业平面11a的左侧区域中，设置有接收传送器15，该接收传送器15接收从基板供给-收集部3供给的基板4。在基台部11的作业平面11a的中心部分，两个定位传送器16(位于后部的后定位传送器16a和位于前部的前定位传送器16b)设置并布置在Y轴方向上(前后)。
接收传送器15和这两个定位传送器16分别附接在这样的位置以在X轴方向上运送基板4。接收传送器15通过设置在基台部11的作业平面11a上的接收传送器移动机构17在Y轴方向上移动并被允许在X轴方向上有选择地面对所述两个定位传送器16中之一。
在盖部12的左侧的侧表面中，设置有基板通过开口12h，用于允许基板4在该侧表面与基板供给-收集部3之间通过。接收传送器15接收通过基板通过开口12h从安置在基板供给-收集部3中的用于供给基板的料斗5(容纳有涂覆液体Q之前的基板4的料斗5)供给的基板4，并将基板送至后定位传送器16a或前定位传送器16b。然后，后定位传送器16a将从接收传送器15接收的基板4定位于在后定位传送器16a上设定的作业位置(称之为后作业位置)。前定位传送器16b将从接收传送器15接收的基板4定位于在前定位传送器16b上设定的作业位置(称之为前作业位置)。此外，后定位传送器16a接收由涂覆头14完成液体Q的涂覆操作的基板4，并将基板送至接收传送器15。此外，前定位传送器16b接收由涂覆头14完成液体Q的涂覆操作的基板4，并将基板送至接收传送器15。接收传送器15将从后定位传送器16a或前定位传送器16b接收的基板4送至安置在基板供给-收集部3中的用于收集基板的料斗5(容纳有涂覆液体Q之后的基板4的料斗5)。
即，本示例性实施例中的液体涂覆装置1具有两个作业位置。接收传送器15和两个定位传送器16(后定位传送器16a和前定位传送器16b)将从用于供给基板的料斗5取出的基板4移动到作业位置，并将在作业位置涂覆了液体Q的基板4移动到用于收集基板4的料斗5。涂覆头14将液体Q涂覆到从用于供给基板的料斗5取出并由后定位传送器16a移动(定位)到后作业位置或由前定位传送器16b移动(定位)到前作业位置的基板4。
在图3和图4中，基板供给-收集部3具有：料斗移动机构21，使料斗5移动；和盖构件22，附接到主体部2的左侧的侧表面并朝着右侧开口，该盖构件22覆盖料斗移动机构21的整个部分。
如图5所示，通过料斗移动机构21移动的每个料斗5包括外壳部5a和多个架部5b，外壳部5a具有在料斗安置在基板供给-收集部3中的状态下沿横向方向(X轴方向)贯通的形式，所述多个架部5b设置成在垂直方向上平行布置在外壳部5a中。基板4分别安装并容纳在架部5b中。在料斗5安置在基板供给-收集部3中的状态下，当基板4由料斗移动机构21的基板推拉机构35(下面描述)从左侧的背面开口5c推至右侧的正面开口5d时，基板4可以从正面开口5d供给到主体部2侧。当位于正面开口5d侧的基板4由基板推拉机构35从背面开口5c侧拉拽时，基板4可以被容纳在架部5b上。
在图3和图4中，料斗移动机构21包括料斗装载传送器31、料斗引导装置32、料斗递送机构33、料斗升降机34、基板推拉机构35、上夹持器36、下夹持器37和料斗卸载传送器38。
在图3和图4中，料斗装载传送器31将容纳有涂覆液体Q之前的基板4的用于供给基板的料斗5从前部运送到后部(朝着料斗引导装置32的上部)。在盖构件22的前表面的上部，设置有料斗收进开口22a。料斗装载传送器31的前端部定位成与料斗收进开口22a紧密接触。
这里，使用传送器(料斗装载传送器31)作为将容纳有涂覆液体之前的基板4的用于供给基板的料斗5从前部运送到后部的装置，然而，也可以使用利用气缸的推动机构。
在图3和图4中，料斗引导装置32包括四个引导构件32a，这四个引导构件32a沿Z轴方向延伸，以支撑料斗5的四个拐角，并引导料斗5在垂直方向上的移动。
在图3中，料斗递送机构33从下部支撑由料斗装载传送器31运送到料斗引导装置32的上部附近的位置(料斗装载传送器31的后端部)的料斗5，使料斗5向后移动并将料斗5递送至料斗引导装置32。
在图3和图4中，料斗升降机34包括设置成在料斗引导装置32的后部沿垂直方向延伸的升降机构部34a和通过升降机构部34a在垂直方向上移动的升降部34b。升降部34b具有向前突出并延伸的多个柱状料斗支撑部34c。在使所述多个料斗支撑部34c从下部与料斗引导装置32中的料斗5接触的状态下，升降部34b在升降机构部34a的作用下沿垂直方向移动。因此，由升降部34b直接支撑的料斗5(以及安装在该料斗5的上表面上的另一料斗5)可以沿着料斗引导装置32上升或下降。
在图4中，在料斗5通过料斗引导装置32在垂直方向上移动的移动区域中，位于与由料斗装载传送器31从前部运送到后部的料斗5的高度相同的高度处的一个料斗5的区域被设定为第一料斗保持区域S1，由料斗装载传送器31运送的料斗5被保持在该第一料斗保持区域S1中。位于该第一料斗保持区域S1正下方的一个料斗5的区域被设定为第二料斗保持区域S2，保持在第一料斗保持区域S1中的料斗5随后被暂时保持在该第二料斗保持区域S2中。此外，在图4中，在料斗升降机34的作用下上升或下降的堆叠在垂直方向上的两个料斗5中的上侧的料斗5所占据的区域被设定为基板供给部R1，用于供给基板的料斗5安置在该基板供给部R1中。在料斗升降机34的作用下上升或下降的堆叠在垂直方向上的两个料斗5中的下侧的料斗5所占据的区域被设定为基板收集部R2，用于收集基板的料斗5安置在该基板收集部R2中。
如上所述，在液体涂覆装置1中，安置有用于供给基板的料斗5的基板供给部R1和安置有用于收集基板的料斗5的基板收集部R2布置并定位在垂直方向上。作为料斗升降单元的料斗升降机34使基板供给部R1的用于供给基板的料斗5和基板收集部R2的用于收集基板的料斗5同时上升或下降，从而在取出基板4时在垂直方向上定位用于供给基板的料斗5，并在收集基板4时在垂直方向上定位用于收集基板的料斗5。
在图3和图4中，基板推拉机构35设置在料斗引导装置32的垂直方向上的中间部的左侧位置。在设置在通过料斗升降机34提升或下降的用于供给基板的料斗5中的多个架部5b中的一个架部5b对应于主体部2侧的基板通过开口12h的状态下，执行将该架部5b中的基板4(涂覆液体前的基板4)从背面开口5c侧推出到正面开口5d侧以将基板4供给到主体部2的接收传送器15的基板供给操作(图6(a)至图6(b))。此外，在设置在通过料斗升降机34提升或下降的用于收集基板的料斗5中的多个架部5b中的一个架部5b对应于主体部2侧的基板通过开口12h的状态下，执行从背面开口5c侧拉拽从主体部2的接收传送器15供给到正面开口5d侧的基板4(涂覆液体后的基板4)以将该基板安放在设置于用于收集基板的料斗5中的架部5b上的基板容纳操作(图7(a)至图7(b))。
这里，在将从主体部2的接收传送器15供给到正面开口5d的基板4容纳在用于收集基板的料斗5中时，基板推拉机构35将接收传送器15上的基板4拉拽至用于收集基板的料斗5。然而，位于接收传送器15上的基板4可以由设置在接收传送器15的下部的基板推动机构推入并容纳在用于收集基板的料斗5中。
在图3和图4中，上夹持器36形成有一对在横向方向(X轴方向)上彼此相对的构件，料斗引导装置32中的第一料斗保持区域S1夹在这对构件之间，从而在X轴方向上夹持并保持被料斗递送机构33递送至料斗引导装置32中的第一料斗保持区域S1的料斗5。
在图3和图4中，下夹持器37形成有一对在横向方向(X轴方向)上彼此相对的构件，料斗引导装置32中的第二料斗保持区域S2夹在这对构件之间，从而在X轴方向上夹持并保持通过料斗升降机34从第一料斗保持区域S1下降并位于第二料斗保持区域S2中的料斗5。
在图3和图4中，料斗卸载传送器38将容纳有涂覆液体后的基板4的用于收集基板的料斗5沿水平方向从料斗引导装置32的下部运送到前部。在盖构件22的前表面的下部，设置有料斗取出开口22b。料斗卸载传送器38的前端部定位成与料斗取出开口22b紧密接触。
这里，使用传送器(料斗卸载传送器38)作为将容纳有涂覆液体后的基板4的用于收集基板的料斗5从料斗引导装置32的下部运送到前部的装置，然而，也可以采用利用气缸的推动机构。
设置在液体涂覆装置1中的控制器40执行：设置在主体部2中的涂覆头移动机构13执行的使涂覆头14在水平面的方向上移动的移动操作的控制、涂覆头14执行的液体Q的排出操作的控制、接收传送器15执行的基板4的运送操作的控制、后定位传送器16a执行的将基板4运送至后作业位置的运送操作的控制、前定位传送器16b执行的将基板4运送到前作业位置的运送操作的控制、以及接收传送器移动机构17执行的使接收传送器15在Y轴方向上移动的移动操作的控制(图4)。
此外，控制器40还执行：设置在基板供给-收集部3中的料斗装载传送器31执行的用于供给基板的料斗5的运送操作的控制、料斗递送机构33执行的使料斗5移动到第一料斗保持区域S1的移动操作的控制、料斗升降机34执行的使料斗5上升或下降的升降操作的控制、基板推拉机构35执行的基板供给操作和基板容纳操作的控制、上夹持器36执行的夹持和松开位于第一料斗保持区域S1中的料斗5的夹持和松开操作的控制、下夹持器37执行的夹持和松开位于第二料斗保持区域S2中的料斗5的夹持和松开操作的控制、以及料斗卸载传送器38执行的用于收集基板的料斗5的运送操作的控制(图4)。
现在，通过参照图9(a)、9(b)、9(c)和9(d)至图13(a)、13(b)、13(c)和13(d)，描述具有上述结构的液体涂覆装置1对基板4执行液体涂覆操作的过程(液体涂覆方法)。在收进一个空的料斗5、然后操作者OP从基板供给-收集部3的料斗收进开口22a收进容纳有涂覆液体之前的基板4的用于供给基板的料斗5之后，控制器40操作料斗装载传送器31以将料斗5运送到料斗引导装置32。然后，当第一个空的料斗5位于料斗装载传送器31的后端部时，控制器通过料斗递送机构33使该空的料斗5位于料斗引导装置32中的第一料斗保持区域S1中(图9(a)中所示的箭头标记A1)。然后，控制器通过上夹持器36夹持该空的料斗5(图9(a))。
当位于料斗保持区域S1中的空料斗5被上夹持器36夹持时，控制器40使料斗升降机34的升降部34b提升(图9(b)中所示的箭头标记B1)，从而通过升降部34b支撑被保持在料斗保持区域S1中的料斗5(图9(b))。然后，在控制器释放上夹持器36对空料斗5的保持状态之后，控制器使料斗升降机34的升降部34b下降(图9(c)中所示的箭头标记B2)。在控制器使空料斗5位于第二料斗保持区域S2(或其下部)中时，控制器操作料斗装载传送器31以使位于料斗装载传送器31的后端部的用于供给基板的料斗5位于料斗引导装置32中的第一料斗保持区域S1中(图9(c)中所示的箭头标记A2)。然后，控制器操作上夹持器36以夹持位于第一料斗保持区域S1中的用于供给基板的料斗5(图9(c))。
当控制器40通过上夹持器36夹持位于第一料斗保持区域S1中的用于供给基板的料斗5时，控制器40通过料斗升降机34提升空料斗5(图9(d)中所示的箭头标记B3)，从而允许该空料斗5从下部与位于第一料斗保持区域S1中的用于供给基板的料斗5接触，然后，控制器释放上夹持器36对用于供给基板的料斗5的夹持状态(图9(d))。这样，用于供给基板的料斗5位于基板供给部R1中，并且用于收集基板的料斗5位于基板收集部R2中。
当控制器40释放上夹持器36对用于供给基板的料斗5的夹持状态时，控制器40通过料斗升降机34使基板供给部R1中的用于供给基板的料斗5和基板收集部R2中的用于收集基板的料斗5同时(以一体的状态)上升或下降(图10(a)和图10(b)中所示的箭头标记B4)，从而将基板4供给到主体部2(基板推拉机构35执行的基板供给操作)以及从主体部2收集基板4(基板推拉机构35执行的基板容纳操作)。此外，控制器根据下述工序执行在主体部2中将液体Q涂覆到基板4的涂覆操作。
向主体部2供给基板4以及从主体部2收集基板4根据参照图6(a)和6(b)以及图7(a)和7(b)解释的上述方法来执行。当从用于供给基板的料斗5供给基板4时，基板4优选地被从位于用于供给基板的料斗5的下部的架部5b顺序推出并供给到主体部2。以此方式，当基板4被从用于供给基板的料斗5推出时，即使灰尘等从基板4或料斗5掉落，也可以防止灰尘附着到用于供给基板的料斗5中的其它基板4。
此外，当基板4被收集至用于收集基板的料斗5时，基板4优选地被从位于用于收集基板的料斗5的上部中的架部5b顺序收纳。以此方式，当基板4被拉拽至用于收集基板的料斗5时，即使灰尘等从基板4或料斗5掉落，也可以防止灰尘附着到用于收集基板的料斗5中的其它基板4。
在主体部2执行的将液体Q涂覆到基板4的涂覆操作中，控制器40通过接收传送器15接收被从基板供给部R1的用于供给基板的料斗5推出的基板4以取出基板4(图12(a)。基板取出步骤)。然后，控制器将所接收的基板4递送至后定位传送器16a(图12(b)中所示的箭头标记C1)。然后，控制器操作后基板定位传送器16a以使基板4移动(定位)到后作业位置(图12(b)。作业位置移动步骤)。
在控制器40使基板4移动到后作业位置之后，控制器40通过涂覆头移动机构13执行对涂覆头14的移动操作的控制以及涂覆头14排出液体Q的排出操作的控制以执行对定位在后作业位置的基板4的液体涂覆操作(图12(b)。液体涂覆步骤)。
当控制器40开始涂覆头14对定位在后作业位置的基板4的液体涂覆操作时，控制器40通过接收传送器15接收从基板供给部R1的用于供给基板的料斗5新推出的基板4以取出基板4(基板取出步骤)。然后，控制器通过接收传送器移动机构17使接收传送器15向前移动(图12(c)中所示的箭头标记D1)，以将基板4递送至前定位传送器16b(图12(c)中所示的箭头标记C2)，并操作前定位传送器16b，以使基板4移动(定位)至前作业位置并使基板4待命(图12(c)。作业位置移动步骤)。
在控制器40使基板4移动到前作业位置之后，当对定位在后作业位置的基板4的液体涂覆操作完成时，控制器使涂覆头14移动以对在前作业位置待命的基板4执行液体涂覆操作(液体涂覆步骤)。然后，在控制器执行液体涂覆操作时，控制器使接收传送器15向后移动(图12(d)中所示的箭头标记D2)，以将位于后作业位置的基板4经由接收传送器15运送至基板供给-收集部3(图12(d)中所示的箭头标记C3)，并将涂覆了液体的基板4容纳在基板收集部R2的用于收集基板的料斗5中(图12(d)。基板容纳步骤)。
当控制器40将在后作业位置完成了液体涂覆操作的基板4容纳在用于收集基板的料斗5中时，控制器通过接收传送器15接收被从基板供给部R1的用于供给基板的料斗5新推出的基板4以取出基板4(基板取出步骤)，然后经由接收传送器15将该基板递送至后定位传送器16a(图13(a)中所示的箭头标记C4)，并操作后基板定位传送器16a以使基板4移动至后作业位置并使基板4待命(图13(a)。作业位置移动步骤)。
在控制器40使基板4移动到后作业位置之后，当涂覆头14完成对定位在前作业位置的基板4的液体涂覆操作时，控制器使涂覆头14移动以对在后作业位置待命的基板4执行液体涂覆操作(液体涂覆步骤)。然后，在控制器执行液体涂覆操作时，控制器使接收传送器15向前和向后移动(图13(b)中所示的箭头标记D3)，以经由接收传送器15将位于前作业位置的基板4运送至基板供给-收集部3(图13(b)。该图中所示的箭头标记C5)，并将涂覆了液体的基板4容纳在基板收集部R2的用于收集基板的料斗5中(图13(b)。基板容纳步骤)。
当控制器40将在前作业位置完成了液体涂覆操作的基板4容纳在用于收集基板的料斗5中之后，控制器通过接收传送器15接收从基板供给部R1的用于供给基板的料斗5新推出的基板4以取出基板4(基板取出步骤)，然后使接收传送器15向前移动(图13(c)中所示的箭头标记D4)，并将基板4递送至前定位传送器16b(图13(c)中所示的箭头标记C6)。然后，控制器操作前基板定位传送器16b以使基板4移动至前作业位置并使基板4待命(图13(c)。作业位置移动步骤)。
在控制器使基板4移动到前作业位置之后，当控制器40完成对定位在后作业位置的基板4的液体涂覆操作时，控制器使涂覆头14移动以对在前作业位置待命的基板4执行液体涂覆操作(液体涂覆步骤)。然后，在控制器执行液体涂覆操作时，控制器使接收传送器15向后移动(图13(d)中所示的箭头标记D5)，以经由接收传送器15将位于后作业位置的基板4运送至基板供给-收集部3(图13(d)。该图中所示的箭头标记C7)，并将涂覆了液体的基板4容纳在基板收集部R2的用于收集基板的料斗5中(图13(d)。基板容纳步骤)。随后，控制器重复图13(a)、图13(b)、图13(c)、图13(d)、图13(a)…….所示的步骤。
如上所述，控制器40使基板供给部R1的用于供给基板的料斗5和基板收集部R2的用于收集基板的料斗5同时(以一体的状态)上升或下降，从而将基板4供给到主体部2以及从主体部2收集基板4，并且，在主体部2中对基板4执行液体Q的涂覆操作。在此期间，控制器操作料斗装载传送器31和料斗递送机构33，以使设置在料斗装载传送器31顶端的用于供给基板的料斗5位于料斗引导装置32中的第一料斗保持区域S1中(图10(b)中所示的箭头标记A3)。然后，控制器操作上夹持器36以夹持位于第一料斗保持区域S1中的用于供给基板的料斗5(图10(b))。
在控制器通过上夹持器36夹持位于料斗保持区域S1中的用于供给基板的料斗5之后，当随着对基板4的液体涂覆操作进行、使得安置在基板供给部R1中的用于供给基板的料斗5变空时，基板供给部R1的变空的用于供给基板的料斗5和基板收集部R2的容纳有涂覆液体后的基板4的用于收集基板的料斗5同时(以一体的状态)被提升(图10(c)中所示的箭头标记B5)，以使变空的用于供给基板的料斗5位于第二料斗保持区域S2中。然后，控制器40通过下夹持器37夹持变空的用于供给基板的料斗5(图10(c))。然后，控制器通过料斗升降机34仅使基板收集部R2的用于收集基板的料斗5下降(图10(d)中所示的箭头标记B6)，并将用于收集基板的料斗5安放在卸载传送器38上，从而通过料斗卸载传送器38向前运送用于收集基板的料斗5(图11(a)。该图中所示的箭头标记E)。
当控制器40通过料斗卸载传送器38向前运送用于收集基板的料斗5时，控制器使料斗升降机34的升降部34b上升(图11(b)中所示的箭头标记B7)，以通过该升降部34b支撑被保持在料斗保持区域S2中的料斗5(图11(b))。然后，控制器释放下夹持器37对该变空的料斗5的保持状态，并使料斗升降机34的升降部34b上升(图11(c)中所示的箭头标记B8)，以允许该变空的料斗5的上表面与被保持在第一料斗保持区域S1中的用于供给基板的料斗5的下表面接触。然后，控制器释放上夹持器36对位于第一料斗保持区域S1中的用于供给基板的料斗5的夹持状态(图11(c))。
这样，由于用于供给基板的料斗5位于基板供给部R1中且用于收集基板的料斗5位于基板收集部R2中，因此控制器随后借助料斗升降机34使基板供给部R1的用于供给基板的料斗5和基板收集部R2的用于收集基板的料斗5同时(以一体的状态)上升或下降(图11(d)中所示的箭头标记B9)，从而将基板4供给到主体部2以及从主体部2收集基板4，并且，在主体部2中执行将液体Q涂覆到基板4的涂覆操作。然后，控制器随后重复图10(b)、图10(c)、图10(d)、图11(a)、图11(b)、图11(c)、图11(d)和图10(b)……的步骤。
在上述一系列步骤中，操作者OP适当地将用于供给基板的料斗5从料斗收进开口22a放入料斗装载传送器31，并取出由料斗卸载传送器38运送至料斗取出开口22b的用于收集基板的料斗5。
如上所述，本示例性实施例中的液体涂覆装置1包括：基板供给部R1，容纳涂覆液体Q之前的基板4的用于供给基板的料斗5安置在该基板供给部R1中；涂覆头14，将液体Q涂覆到从安置在基板供给部R1中的用于供给基板的料斗5中取出并移动至作业位置的基板4；和基板收集部R2，容纳由涂覆头14涂覆了液体Q的基板4的用于收集基板的料斗5安置在该基板收集部R2中。基板供给部R1和基板收集部R2在垂直方向上平行布置。
液体涂覆装置1的液体涂覆方法包括：从安置在基板供给部R1中的基板的料斗5中取出涂覆液体Q之前的基板并使其移动到作业位置的步骤(上述的基板取出步骤、作业位置移动步骤)；向移动至作业位置的基板涂覆液体Q的步骤(上述的液体涂覆步骤)；和使涂覆了液体Q的基板4离开作业位置以将该基板容纳在安置于在垂直方向上与基板供给部R1平行布置并定位的基板收集部R2中的用于收集基板的料斗5中的步骤(上述的基板容纳步骤)。
在本示例性实施例的液体涂覆装置1和液体涂覆方法中，由于安置容纳有涂覆液体Q之前的基板的用于供给基板的料斗5的基板供给部R1和安置容纳涂覆了液体Q的基板4的用于收集基板的料斗5的基板收集部R2在垂直方向上平行布置并定位。因此，可以在液体涂覆装置1的平面图中设置用于基板供给部R1(用于供给基板的料斗5)和基板收集部R2(用于收集基板的料斗5)中之一的安置空间。因此，液体涂覆装置1的整个尺寸可以做得更小，从而可以更大地提高面积生产率。
此外，基板供给部R1的用于供给基板的料斗5和基板收集部R2的用于收集基板的料斗5在用于供给基板的料斗5和用于收集基板的料斗5中的一个安放在另一个上的状态下在垂直方向上平行布置并定位。用于供给基板的料斗5和用于收集基板的料斗5通过作为料斗升降单元的料斗升降机34同时上升或下降，从而在取出基板4时在垂直方向上定位用于供给基板的料斗5，并在收集基板4时在垂直方向上定位用于收集基板的料斗5。因此，可以在液体涂覆装置1的平面图中提供用于基板供给部R1(用于供给基板的料斗5)和基板收集部R2(用于收集基板的料斗5)中之一的安置空间。这样，液体涂覆装置1的整个尺寸可以做得更小。
此外，由于基板供给部R1中的变空的用于供给基板的料斗5移动至基板收集部R2并用作用于收集基板的料斗5，使得安置在基板供给部R1中的用于供给基板的料斗5至此用作用于收集基板的料斗5，因此安置在基板供给部R1中的用于供给基板的料斗5不需要被运至液体涂覆装置1之外，也不需要将新的用于收集基板的料斗5运至液体涂覆装置1。因此，通常的装载器和卸载器类型所需的空料斗的安置步骤数减少，从而可以更多地降低生产成本。
此外，在本示例性实施例的液体涂覆装置1中，在液体Q涂覆到移动至一个作业位置的基板4时，具有两个作业位置并包括接收传送器15和两个定位传送器16的基板移动单元使从用于供给基板的料斗5取出的基板4移动到另一作业位置或者使在另一作业位置涂覆了液体Q的基板4移动到用于收集基板的料斗5。因此，可以使因等待运送而停止涂覆步骤导致的时间损失最小化。
在上述的示例性实施例中，示出了基板供给部R1的用于供给基板的料斗5和基板收集部R2的用于收集基板的料斗5在基板供给部R1的用于供给基板的料斗5安放在基板收集部R2的用于收集基板的料斗5上的状态下沿垂直方向平行布置并定位的示例。然而，取决于料斗装载传送器31和料斗卸载传送器38的布置，基板供给部R1的用于供给基板的料斗5和基板收集部R2的用于收集基板的料斗5可以在基板收集部R2的用于收集基板的料斗5安放在基板供给部R1的用于供给基板的料斗5上的状态下沿垂直方向平行布置并定位。基板供给部R1的用于供给基板的料斗5和基板收集部R2的用于收集基板的料斗5可以在一个安放在另一个上的状态下沿垂直方向平行布置并定位。此外，安置在基板供给部R1中的用于供给基板的料斗5替换为新的用于供给基板的料斗5的情况不一定局限为用于供给基板的料斗5中的基板4(涂覆液体之前的基板4)用完的情况。
本申请基于2011年8月30日提交的日本专利申请(JPANo.2011-187210)，这里将其内容引入作为参考。
工业实用性
提供了可以使尺寸紧凑并提高面积生产率的液体涂覆装置和液体涂覆方法。
附图标记和符号说明
1   液体涂覆装置
4   基板
5   料斗
14  涂覆头
15  接收传送器(基板移动单元)
16  定位传送器(基板移动单元)
34  料斗升降机(料斗升降单元)
R1  基板供给部
R2  基板收集部
Q   液体

Claims (8)

1.一种液体涂覆装置，包括：
基板供给部，用于供给基板的料斗安置在该基板供给部中，该用于供给基板的料斗容纳涂覆液体之前的基板；
涂覆头，向从安置在基板供给部中的用于供给基板的料斗中取出并移动到作业位置的基板涂覆液体；和
基板收集部，用于收集基板的料斗安置在该基板收集部中，该用于收集基板的料斗容纳由涂覆头涂覆了液体的基板；
其中，基板供给部和基板收集部在垂直方向上平行布置并定位。
2.根据权利要求1的液体涂覆装置，其中，基板供给部的用于供给基板的料斗和基板收集部的用于收集基板的料斗在用于供给基板的料斗和用于收集基板的料斗中的一个安放在另一个上的状态下在垂直方向上平行布置并定位，并且，用于供给基板的料斗和用于收集基板的料斗通过料斗升降单元同时上升或下降，从而在取出基板时在垂直方向上定位用于供给基板的料斗，并在收集基板时在垂直方向上定位用于收集基板的料斗。
3.根据权利要求1或2的液体涂覆装置，其中，基板供给部中的变空的用于供给基板的料斗移动到基板收集部并用作用于收集基板的料斗。
4.根据权利要求1-3中任一项的液体涂覆装置，其中，在向移动至一个作业位置的基板涂覆液体时，具有两个作业位置的用于将从用于供给基板的料斗中取出的基板移动至作业位置并将在作业位置涂覆了液体的基板移动至用于收集基板的料斗的基板移动单元使从用于供给基板的料斗中取出的基板移动到另一作业位置或使在另一作业位置涂覆了液体的基板移动至用于收集基板的料斗。
5.一种液体涂覆方法，包括：
从安置在基板供给部中的用于供给基板的料斗取出涂覆液体之前的基板并使其移动到作业位置的步骤；
向移动至作业位置的基板涂覆液体的步骤；和
使涂覆了液体的基板离开作业位置以将该基板容纳在安置于在垂直方向上平行于基板供给部布置并定位的基板收集部中的用于收集基板的料斗中的步骤。
6.根据权利要求5的液体涂覆方法，其中，基板供给部的用于供给基板的料斗和基板收集部的用于收集基板的料斗在用于供给基板的料斗和用于收集基板的料斗中的一个安放在另一个上的状态下在垂直方向上平行布置并定位，并且，用于供给基板的料斗和用于收集基板的料斗同时上升或下降，从而在取出基板时在垂直方向上定位用于供给基板的料斗，并在收集基板时在垂直方向上定位用于收集基板的料斗。
7.根据权利要求5或6的液体涂覆方法，其中，使基板供给部中的变空的用于供给基板的料斗移动到基板收集部并用作用于收集基板的料斗。
8.根据权利要求5-7中任一项的液体涂覆方法，其中，设置了两个作业位置，并且，在向移动至一个作业位置的基板涂覆液体时，使从用于供给基板的料斗取出的基板移动到另一作业位置或使在另一作业位置涂覆了液体的基板移动至用于收集基板的料斗。
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