DE112012003604T5 - Flüssigkeitsauftragsvorrichtung und Flüssigkeitsauftragsverfahren - Google Patents

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Masaru Nonomura
Seikou Abe
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Abstract

Eine Flüssigkeitsauftragsvorrichtung 1 enthält ein Substratzufuhrteil R1, bei dem ein Magazin 5 zum Zuführen eines Substrats montiert ist, in dem Substrate 4 aufgenommen sind, bevor eine Flüssigkeit Q aufgetragen wird, einen Auftragskopf 14, der die Flüssigkeit Q auf das aus dem in dem Substratzufuhrteil R1 montierten Magazin 5 zum Zuführen des Substrats ausgelassene und in eine Arbeitsstellung bewegte Substrat 4 aufträgt, und ein Substratsammelteil R2, bei dem ein Magazin 5 zum Sammeln des Substrats montiert ist, in dem die Substrate 4 mit der durch den Auftragskopf 14 aufgetragenen Flüssigkeit Q aufgenommen werden. Das Substratzufuhrteil R1 und das Substratsammelteil R2 sind in der vertikalen Richtung parallel angeordnet und lokalisiert.

Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • <Technisches Gebiet>
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Flüssigkeitsauftragsvorrichtung und auf ein Flüssigkeitsauftragsverfahren, die eine Flüssigkeit wie etwa ein Harz auf ein Substrat auftragen.
  • <Stand der Technik>
  • Üblicherweise entnimmt eine als eine Vorrichtung zum Auftragen einer Flüssigkeit wie etwa eines Harzes auf ein Substrat oder auf Teile auf dem Substrat bekannte Flüssigkeitsauftragsvorrichtung das Substrat, bevor die Flüssigkeit aufgetragen wird, aus einem Magazin zum Zuführen des Substrats, um das Substrat in eine Arbeitsstellung zu fördern, trägt die Flüssigkeit auf das Substrat in der Arbeitsstellung auf und fördert daraufhin das Substrat aus der Arbeitsstellung, um das Substrat in einem Magazin zum Sammeln des Substrats aufzunehmen. Ein Substratzuführungsteil, in dem das Magazin zum Zuführen des Substrats montiert ist, und ein Substratsammelteil, in dem das Magazin zum Sammeln des Substrats montiert ist, sind hier an Stellen vorgesehen, die einander gegenüberliegen, wobei die Arbeitsstellung, bei der die Flüssigkeit auf das Substrat aufgetragen wird, zwischen ihnen liegt. Nachdem die Flüssigkeit auf das aus dem Magazin zum Zuführen des Substrats in die Arbeitsstellung ausgelassene Substrat aufgetragen worden ist, wird das Substrat in derselben Richtung gefördert, wie der, in der das Substrat aus dem Magazin zum Zuführen des Substrats in die Arbeitsstellung gefördert wird, und in dem Magazin zum Sammeln des Substrats aufgenommen (z. B. Patentliteratur 1).
  • <Literatur des verwandten Gebiets>
  • <Patentliteratur>
    • Patentliteratur 1: Japanisches Patent Nr. 4373041
  • <Zusammenfassung der Erfindung>
  • <Probleme, die die Erfindung lösen soll>
  • Wenn das Substratzuführungsteil und das Substratsammelteil wie in der üblichen Flüssigkeitsauftragsvorrichtung an den Stellen lokalisiert sind, die einander gegenüberliegen, wobei die Arbeitsstellung zwischen ihnen liegt, ist allerdings in einer Draufsicht der Flüssigkeitsauftragseinrichtung wenigstens ein Montageplatz des Magazins zum Zuführen des Substrats und des Magazins zum Sammeln des Substrats notwendig. Somit entsteht ein Problem, dass verhindert wird, dass eine Gesamtgröße der Flüssigkeitsauftragsvorrichtung kleiner wird.
  • Somit ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Flüssigkeitsauftragsvorrichtung und ein Flüssigkeitsauftragsverfahren zu schaffen, die eine kompakte Größe erzielen und die Flächenproduktivität verbessern können.
  • <Mittel zur Lösung der Probleme>
  • Eine Flüssigkeitsauftragsvorrichtung der vorliegenden Erfindung enthält ein Substratzufuhrteil, bei dem ein Magazin zum Zuführen eines Substrats montiert ist, in dem Substrate aufgenommen sind, bevor eine Flüssigkeit aufgetragen wird, einen Auftragskopf, der die Flüssigkeit auf das aus dem in dem Substratzufuhrteil montierten Magazin zum Zuführen des Substrats ausgelassene und in eine Arbeitsstellung bewegte Substrat aufträgt, und ein Substratsammelteil, bei dem ein Magazin zum Sammeln des Substrats montiert ist, in dem die Substrate mit der durch den Auftragskopf aufgetragenen Flüssigkeit aufgenommen werden. Das Substratzufuhrteil und das Substratsammelteil sind in der vertikalen Richtung parallel angeordnet und lokalisiert.
  • In der Flüssigkeitsauftragsvorrichtung der vorliegenden Erfindung sind das Magazin zum Zuführen des Substrats des Substratzufuhrteils und das Magazin zum Sammeln des Substrats des Substratsammelteils in einem Zustand, in dem das Magazin zum Zuführen des Substrats oder das Magazin zum Sammeln des Substrats auf dem anderen angeordnet ist, in der vertikalen Richtung parallel angeordnet und lokalisiert und werden das Magazin zum Zuführen des Substrats und das Magazin zum Sammeln des Substrats durch eine Magazinhebeeinheit gleichzeitig angehoben oder abgesenkt, um das Magazin zum Zuführen des Substrats in der vertikalen Richtung zu positionieren, wenn das Substrat ausgelassen wird, und um das Magazin zum Sammeln des Substrats in der vertikalen Richtung zu positionieren, wenn das Substrat gesammelt wird.
  • In der Flüssigkeitsauftragsvorrichtung der vorliegenden Erfindung wird das Magazin zum Zuführen des Substrats, das in dem Substratzufuhrteil geleert wird, zu dem Substratsammelteil bewegt und als das Magazin zum Sammeln des Substrats verwendet.
  • Während in der Flüssigkeitsauftragsvorrichtung der vorliegenden Erfindung die Flüssigkeit auf das in eine Arbeitsstellung bewegte Substrat aufgetragen wird, bewegt eine Substratbewegungseinheit, die zwei Arbeitsstellungen zum Bewegen des aus dem Magazin ausgelassenen Substrats zum Zuführen des Substrats in die Arbeitsstellung und zum Bewegen des Substrats, auf das die Flüssigkeit in der Arbeitsstellung aufgetragen worden ist, zu dem Magazin zum Sammeln des Substrats aufweist, das aus dem Magazin zum Zuführen des Substrats ausgelassene Substrat in die andere Arbeitsstellung oder das Substrat, auf das die Flüssigkeit in der anderen Arbeitsstellung aufgetragen worden ist, zu dem Magazin zum Sammeln des Substrats.
  • Ein Flüssigkeitsauftragsverfahren der vorliegenden Erfindung enthält einen Schritt, in dem ein Substrat, bevor eine Flüssigkeit aufgetragen wird, aus einem in ein Substratzufuhrteil montierten Magazin zum Zuführen des Substrats ausgelassen wird und in eine Arbeitsstellung bewegt wird, einen Schritt, in dem die Flüssigkeit auf das in die Arbeitsstellung bewegte Substrat aufgetragen wird, und einen Schritt, in dem das Substrat, auf das die Flüssigkeit aufgetragen worden ist, aus der Arbeitsstellung bewegt wird, um das Substrat in einem in ein Substratsammelteil, das in der vertikalen Richtung parallel zu dem Substratzufuhrteil angeordnet und lokalisiert ist, montierten Magazin zum Sammeln des Substrats aufzunehmen.
  • In dem Flüssigkeitsauftragsverfahren der vorliegenden Erfindung sind das Magazin zum Zuführen des Substrats des Substratzufuhrteils und das Magazin zum Sammeln des Substrats des Substratsammelteils in einem Zustand, in dem das Magazin zum Zuführen des Substrats oder das Magazin zum Sammeln des Substrats auf dem anderen angeordnet ist, in der vertikalen Richtung parallel angeordnet und lokalisiert und werden das Magazin zum Zuführen des Substrats und das Magazin zum Sammeln des Substrats gleichzeitig angehoben oder abgesenkt, um das Magazin zum Zuführen des Substrats in der vertikalen Richtung zu positionieren, wenn das Substrat ausgelassen wird, und um das Magazin zum Sammeln des Substrats in der vertikalen Richtung zu positionieren, wenn das Substrat gesammelt wird.
  • In dem Flüssigkeitsauftragsverfahren der vorliegenden Erfindung wird das Magazin zum Zuführen des Substrats, das in dem Substratzufuhrteil geleert wird, zu dem Substratsammelteil bewegt und als das Magazin zum Sammeln des Substrats verwendet.
  • In dem Flüssigkeitsauftragsverfahren der vorliegenden Erfindung weist das Flüssigkeitsauftragsverfahren zwei Arbeitsstellungen auf und wird, während die Flüssigkeit auf das Substrat, das in die eine Arbeitsstellung bewegt wird, aufgetragen wird, das Substrat, das aus dem Magazin zum Zuführen des Substrats ausgelassen wird, in die andere Arbeitsstellung bewegt oder das Substrat, auf das die Flüssigkeit in der anderen Arbeitsstellung aufgetragen worden ist, zu dem Magazin zum Sammeln des Substrats bewegt.
  • <Vorteil der Erfindung>
  • Da in der vorliegenden Erfindung das Substratzufuhrteil, bei dem das Magazin zum Zuführen des Substrats montiert ist, in dem das Substrat aufgenommen ist, bevor die Flüssigkeit aufgetragen wird, und das Substratsammelteil, bei dem das Magazin zum Sammeln des Substrats montiert ist, in dem das Magazin mit der aufgetragenen Flüssigkeit aufgenommen wird, in der vertikalen Richtung parallel angeordnet und lokalisiert sind, kann dementsprechend ein Einbauraum für das Substratzufuhrteil (das Magazin zum Zuführen des Substrats) oder für das Substratsammelteil (das Magazin zum Sammeln des Substrats) in einer Draufsicht der Flüssigkeitsauftragsvorrichtung vorgesehen sein. Somit kann eine Gesamtgröße der Flüssigkeitsauftragsvorrichtung verkleinert werden und die Flächenproduktivität verbessert werden.
  • <Kurzbeschreibung der Zeichnungen>
  • 1 ist eine perspektivische Ansicht einer Flüssigkeitsauftragsvorrichtung in einer beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 2 ist eine perspektivische Ansicht eines Hauptkörperteils der Flüssigkeitsauftragsvorrichtung in der einen beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 3 ist eine perspektivische Ansicht eines Substratzufuhr- und -sammelteils der Flüssigkeitsauftragsvorrichtung in der einen beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 4 ist eine Vorderansicht des Substratzufuhr- und -sammelteils der Flüssigkeitsauftragsvorrichtung der einen beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 5 ist eine perspektivische Ansicht, die ein Magazin zusammen mit einem Substrat in der einen beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • 6(a) und 6(b) sind Vorderansichten eines Teils eines in dem Substratzufuhr- und -sammelteil vorgesehenen Magazinbewegungsmechanismus in der einen beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 7(a) und 7(b) sind Vorderansichten eines Teils des in dem Substratzufuhr- und -sammelteil vorgesehenen Magazinbewegungsmechanismus in der einen beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 8 ist ein Blockschaltplan, der ein Steuersystem der Flüssigkeitsauftragsvorrichtung in der einen beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • 9(a), 9(b), 9(c) und 9(d) sind Darstellungen zur Erläuterung des Betriebs der Flüssigkeitsauftragsvorrichtung in der einen beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 10(a), 10(b), 10(c) und 10(d) sind Darstellungen zur Erläuterung des Betriebs der Flüssigkeitsauftragsvorrichtung in der einen beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 11(a), 11(b), 11(c) und 11(d) sind Darstellungen zur Erläuterung des Betriebs der Flüssigkeitsauftragsvorrichtung in der einen beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 12(a), 12(b), 12(c) und 12(d) sind Darstellungen zur Erläuterung des Betriebs der Flüssigkeitsauftragsvorrichtung in der einen beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 13(a), 13(b), 13(c) und 13(d) sind Darstellungen zur Erläuterung des Betriebs der Flüssigkeitsauftragsvorrichtung in der einen beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • <Art der Ausführung der Erfindung>
  • Anhand der Zeichnungen wird nun im Folgenden eine beispielhafte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben. Eine in 1 gezeigte Flüssigkeitsauftragsvorrichtung 1 enthält ein Hauptkörperteil 2 und ein Substratzufuhr- und -sammelteil 3. Das Hauptkörperteil 2 führt einem zugeführten Substrat 4 (oder auf dem Substrat 4 vorgesehenen Teilen, die in der Zeichnung nicht gezeigt sind) eine Flüssigkeit wie etwa ein Harz zu. Das Substratzufuhr- und -sammelteil 3 führt das Substrat 4, bevor die Flüssigkeit aufgetragen wird, dem Hauptkörperteil 2 zu und sammelt das Substrat 4, nachdem die Flüssigkeit aufgetragen worden ist, in dem Hauptkörperteil 2. Wie im Folgenden beschrieben ist, führt das Substratzufuhr- und -sammelteil 3 das Substrat 4 dem Hauptkörperteil 2 zu und sammelt es das Substrat 4 von dem Hauptkörperteil 2 durch ein Magazin 5, in dem mehrere Substrate 4 in einer vertikalen Richtung parallel angeordnet und aufgenommen sind. In einer im Folgenden beschriebenen Erläuterung ist eine Richtung, in der das Hauptkörperteil 2 und das Substratzufuhr- und -sammelteil 3 angeordnet sind, auf eine Richtung der X-Achse eingestellt. Eine Richtung in einer horizontalen Ebene, die die Richtung der X-Achse rechtwinklig schneidet, ist auf eine Richtung der Y-Achse eingestellt. Eine vertikale Richtung ist auf eine Richtung der Z-Achse eingestellt. Ferner ist eine linke Seite (eine Seite, auf der das Substratzufuhr- und -sammelteil 3 vorgesehen ist) in einer Querrichtung (in Richtung der X-Achse), von einem Betreiber OP aus gesehen, als ein linkes Teil definiert. Eine rechte Seite, von dem Betreiber OP aus gesehen, ist als ein rechtes Teil definiert. Ferner ist eine Vorderseite, von dem Betreiber OP aus gesehen, als ein vorderes Teil definiert und ist eine Innenseite, von dem Betreiber OP aus gesehen, als ein hinteres Teil definiert.
  • In 2 enthält das Hauptkörperteil 2 ein Unterteil 11, das eine flache Arbeitsebene 11a aufweist, und ein Deckteil 12, das so vorgesehen ist, dass es einen oberen Raum der Arbeitsebene 11a des Unterteils 11 bedeckt. Auf der Arbeitsebene 11a des Unterteils 11 ist ein Auftragskopf-Bewegungsmechanismus 13 vorgesehen, der ein Paar Y-Achsen-Tische 13a, die in Richtung der Y-Achse verlaufen und zu der Richtung der X-Achse (der Querrichtung) entgegengesetzt sind, einen X-Achsen-Tisch 13b, der in Richtung der X-Achse verläuft und dessen beide Enden durch ein Paar Y-Achsen-Tische 13a gestützt sind, und eine Bewegungsbühne 13c, die in der Weise vorgesehen ist, dass sie in Richtung der X-Achse entlang des X-Achsen-Tischs 13b beweglich ist, enthält. An der Bewegungsbühne 13c des Auftragskopf-Bewegungsmechanismus 13 ist ein Auftragskopf 14 befestigt.
  • In dem Auftragskopf-Bewegungsmechanismus 13 ist eine Bewegung des X-Achsen-Tischs 13b in Richtung der Y-Achse relativ zu dem einen Paar von Y-Achsen-Tischen 13a mit einer Bewegung der Bewegungsbühne 13c in Richtung der X-Achse relativ zu dem X-Achsen-Tisch 13b kombiniert, um den Auftragskopf 14 in einer horizontalen Ebene zu bewegen. Der Auftragskopf 14 nimmt darin die Flüssigkeit Q wie etwa das Harz auf und gibt die aufgenommene Flüssigkeit Q von einem Endteil einer Auftragsdüse 14a, das nach unten verläuft, nach unten ab.
  • In einem linken Bereich der Arbeitsebene 11a ist eine Empfangsfördereinrichtung 15 vorgesehen, die das von dem Substratzufuhr- und -sammelteil 3 zugeführte Substrat 4 empfängt. In einem zentralen Teil der Arbeitsebene 11a des Unterteils 11 sind zwei Positionierungsfördereinrichtungen 16 (eine hintere Positionierungsfördereinrichtung 16a, die in dem hinteren Teil lokalisiert ist, und eine vordere Positionierungsfördereinrichtung 16b, die sich in dem vorderen Teil lokalisiert ist) vorgesehen und in Richtung der Y-Achse (nach vorn und nach hinten) angeordnet.
  • Die Empfangsfördereinrichtung 15 und die zwei Positionierungsfördereinrichtungen 16 sind jeweils in solchen Positionen befestigt, dass sie das Substrat 4 in Richtung der X-Achse fördern. Die Empfangsfördereinrichtung 15 wird durch einen in der Arbeitsebene 11a des Unterteils 11 vorgesehenen Empfangsfördereinrichtungs-Bewegungsmechanismus 17 in Richtung der Y-Achse bewegt, wobei ermöglicht wird, dass sie wahlweise einer der zwei Positionierungsfördereinrichtungen 16 in Richtung der X-Achse gegenüberliegt.
  • In einer Seitenfläche der linken Seite des Deckteils 12 ist eine Substratdurchgangsöffnung 12h vorgesehen, um zu ermöglichen, dass das Substrat 4 zwischen der Seitenfläche und dem Substratzufuhr- und -sammelteil 3 durchgeht. Die Empfangsfördereinrichtung 15 empfängt das durch die Substratdurchgangsöffnung 12h von dem Magazin 5 zum Zuführen des Substrats (dem Magazin 5, in dem die Substrate 4 aufgenommen sind, bevor die Flüssigkeit Q aufgetragen wird), das in dem Substratzufuhr- und -sammelteil 3 montiert ist, zugeführte Substrat 4 und liefert das Substrat an die hintere Positionierungsfördereinrichtung 16a oder an die vordere Positionierungsfördereinrichtung 16b. Daraufhin positioniert die hintere Positionierungsfördereinrichtung 16a das von der Empfangsfördereinrichtung 15 empfangene Substrat 4 in einer in der hinteren Positionierungsfördereinrichtung 16a eingestellten Arbeitsstellung (auf die als eine hintere Arbeitsstellung Bezug genommen wird). Die vordere Positionierungsfördereinrichtung 16b positioniert das von der Empfangsfördereinrichtung 15 empfangene Substrat 4 in einer in der vorderen Positionierungsfördereinrichtung 16b eingestellten Arbeitsstellung (auf die als eine vordere Arbeitsstellung Bezug genommen wird). Ferner empfängt die hintere Positionierungsfördereinrichtung 16a das Substrat 4, in dem eine Operation des Auftragens der Flüssigkeit Q durch den Auftragskopf 14 abgeschlossen ist, und liefert das Substrat an die Empfangsfördereinrichtung 15. Ferner empfängt die vordere Positionierungsfördereinrichtung 16b das Substrat 4, in dem eine Operation des Auftragens der Flüssigkeit Q durch den Auftragskopf 14 abgeschlossen ist, und liefert sie das Substrat an die Empfangsfördereinrichtung 15. Die Empfangsfördereinrichtung 15 liefert das von der hinteren Positionierungsfördereinrichtung 16a oder von der vorderen Positionierungsfördereinrichtung 16b empfangene Substrat 4 an das in dem Substratzufuhr- und -sammelteil 3 montierte Magazin 5 zum Sammeln des Substrats (das Magazin 5, in dem die Substrate 4 aufgenommen werden, nachdem die Flüssigkeit Q aufgetragen worden ist).
  • Das heißt, die Flüssigkeitsauftragsvorrichtung 1 in der vorliegenden beispielhaften Ausführungsform weist zwei Arbeitsstellungen auf. Die Empfangsfördereinrichtung 15 und die zwei Positionierungsfördereinrichtungen 16 (die hintere Positionierungsfördereinrichtung 16a und die vordere Positionierungsfördereinrichtung 16b) bewegen das aus dem Magazin 5 ausgelassene Substrat 4, um das Substrat der Arbeitsstellung zuzuführen, und bewegen das Substrat 4, auf das die Flüssigkeit Q in der Arbeitsstellung aufgetragen worden ist, zu dem Magazin 5 zum Sammeln des Substrats 4. Der Auftragskopf 14 trägt die Flüssigkeit Q auf das aus dem Magazin 5 zum Zuführen des Substrats ausgelassene und durch die hintere Positionierungsfördereinrichtung 16a in die hintere Arbeitsstellung oder durch die vordere Positionierungsfördereinrichtung 16b in die vordere Arbeitsstellung bewegte (positionierte) Substrat 4 auf.
  • In 3 und 4 weist das Substratzufuhr- und Sammelteil 3 einen Magazinbewegungsmechanismus 21, der das Magazin 5 bewegt, und ein an einer Seitenoberfläche der linken Seite des Hauptkörperteils 2 befestigtes und zu der rechten Seite geöffnetes Deckelement 22, das einen gesamten Teil des Magazinbewegungsmechanismus 21 bedeckt, auf.
  • Wie in 5 gezeigt ist, enthält jedes der durch den Magazinbewegungsmechanismus 21 bewegten Magazine 5 ein Außenhüllenteil 5a, das eine Form aufweist, die in einem Zustand, in dem das Magazin in dem Substratzufuhr- und -sammelteil 3 montiert ist, in der Querrichtung (in Richtung der X-Achse) durchgeht, und mehrere Einschubrahmenteile 5b, die in der Weise vorgesehen sind, dass sie in der vertikalen Richtung in dem Außenhüllenteil 5a parallel angeordnet sind. In den Einschubrahmenteilen 5b sind jeweils die Substrate 4 angebracht und aufgenommen. Wenn das Substrat 4 in einem Zustand, in dem das Magazin 5 in dem Substratzufuhr- und -sammelteil 3 montiert ist, durch einen im Folgenden beschriebenen Substratschub- und -zugmechanismus 35 des Magazinbewegungsmechanismus 21 von einer Öffnung 5c der hinteren Oberfläche der linken Seite zu einer Öffnung 5d der vorderen Oberfläche der rechten Seite geschoben wird, kann das Substrat 4 von der Öffnung 5d der vorderen Oberfläche der Seite des Hauptkörperteils 2 zugeführt werden. Wenn das Substrat 4, das auf der Seite der Öffnung 5d der vorderen Oberfläche lokalisiert ist, durch den Substratschub- und -zugmechanismus 35 aus der Seite der Öffnung 5c der hinteren Oberfläche gezogen wird, kann das Substrat 4 auf dem Einschubrahmenteil 5b aufgenommen werden.
  • In 3 und 4 enthält der Magazinbewegungsmechanismus 21 eine Magazinlade-Fördereinrichtung 31, eine Magazinführung 32, einen Magazinliefermechanismus 33, eine Magazinhebemaschine 34, einen Substratschub- und -zugmechanismus 35, eine obere Klemmeinrichtung 36, eine untere Klemmeinrichtung 37 und eine Magazinentlade-Fördereinrichtung 38.
  • In 3 und 4 fördert die Magazinlade-Fördereinrichtung 31 das Magazin 5 zum Zuführen des Substrats, in dem die Substrate 4 aufgenommen sind, bevor die Flüssigkeit Q aufgetragen wird, von dem vorderen Teil zu dem hinteren Teil (in Richtung eines oberen Teils der Magazinführung 32). An einem oberen Teil der vorderen Oberfläche des Deckelements 22 ist eine Magazineinlassöffnung 22a vorgesehen. Ein Endteil der Magazinlade-Fördereinrichtung 31 ist so angeordnet, dass es mit der Magazineinlassöffnung 22a in engen Kontakt gelangt.
  • Als eine Vorrichtung, die das Magazin 5 zum Zuführen des Substrats, in dem die Substrate 4 aufgenommen sind, bevor die Flüssigkeit aufgetragen wird, von dem vorderen Teil zu dem hinteren Teil fördert, ist hier die Fördereinrichtung (die Magazinlade-Fördereinrichtung 31) verwendet, wobei allerdings ein Schubmechanismus unter Verwendung eines Zylinders verwendet werden kann.
  • In 3 und 4 enthält die Magazinführung 32 vier Führungselemente 32a, die in Richtung der Z-Achse verlaufen, um vier Ecken des Magazins 5 zu stützen und eine Bewegung des Magazins 5 in der vertikalen Richtung zu führen.
  • In 3 stützt der Magazinliefermechanismus 33 das durch die Magazinlade-Fördereinrichtung 31 in eine Stellung in der Nähe eines oberen Teils (eines hinteren Endteils der Magazinlade-Fördereinrichtung 31) der Magazinführung 32 geförderte Magazin 5 von einem unteren Teil, bewegt er das Magazin 5 nach hinten und liefert er das Magazin 5 an die Magazinführung 32.
  • In 3 und 4 enthält die Magazinhebemaschine 34 ein Hebemechanismusteil 34a, das in der vertikalen Richtung in einem hinteren Teil der Magazinführung 32 verlaufend vorgesehen ist, und ein Hebeteil 34b, das durch das Hebemechanismusteil 34a in der vertikalen Richtung bewegt wird. Das Hebeteil 34b weist mehrere stabförmige Magazinstützteile 34c auf, die nach vorn vorstehen und verlaufen. Das Hebeteil 34b wird in einem Zustand, in dem die mehreren Magazinstützteile 34c mit dem Magazin 5 in der Magazinführung 32 von einem unteren Teil in Kontakt gelangen können, durch das Hebemechanismusteil 34a in der vertikalen Richtung bewegt. Somit kann das durch das Hebeteil 34b direkt gestützte Magazin 5 (und kann ein anderes auf einer oberen Oberfläche des Magazins 5 angebrachtes Magazin 5) entlang der Magazinführung 32 angehoben oder abgesenkt werden.
  • In 4 ist in einem Bewegungsbereich des Magazins 5 in der vertikalen Richtung durch die Magazinführung 32 ein Bereich für ein Magazin 5, das in derselben Höhe wie das durch die Magazinlade-Fördereinrichtung 31 von dem vorderen Teil zu dem hinteren Teil geförderte Magazin 5 lokalisiert ist, auf einen ersten Magazinhaltebereich S1, wo das durch die Magazinlade-Fördereinrichtung 31 geförderte Magazin 5 gehalten wird, eingestellt. Ein Bereich für ein Magazin 5, der direkt unter dem ersten Magazinhaltebereich S1 lokalisiert ist, ist auf einen zweiten Magazinhaltebereich S2 eingestellt, wo das in dem ersten Magazinhaltebereich S1 gehaltene Magazin 5 nachfolgend vorübergehend gehalten wird. Ferner ist in 4 ein durch das Magazin 5 belegter Bereich einer Oberseite der zwei in der vertikalen Richtung gestapelten Magazine 5, die durch die Magazinhebemaschine 34 angehoben oder abgesenkt werden, auf ein Substratzufuhrteil R1 eingestellt, in das das Magazin 5 zum Zuführen des Substrats montiert ist. Ein Bereich, der durch das Magazin 5 einer Unterseite der zwei in der vertikalen Richtung gestapelten Magazine 5, die durch die Magazinhebemaschine 34 angehoben oder abgesenkt werden, belegt ist, ist auf ein Substratsammelteil R2 eingestellt, in das das Magazin 5 zum Sammeln des Substrats montiert ist.
  • Wie oben beschrieben wurde, sind in der Flüssigkeitsauftragsvorrichtung 1 das Substratzufuhrteil R1, in das das Magazin 5 zum Zuführen des Substrats montiert ist, und das Substratsammelteil R2, in das das Magazin 5 zum Sammeln des Substrats montiert ist, in der vertikalen Richtung angeordnet und lokalisiert. Die Magazinhebemaschine 34 als eine Magazinhebeeinheit hebt das Magazin 5 zum Zuführen des Substrats des Substratzufuhrteils R1 und das Magazin 5 zum Sammeln des Substrats des Substratsammelteils R2 gleichzeitig an oder senkt es gleichzeitig ab, um das Magazin 5 zum Zuführen des Substrats in der vertikalen Richtung zu positionieren, wenn das Substrat 4 ausgelassen wird, und um das Magazin 5 zum Sammeln des Substrats in der vertikalen Richtung zu positionieren, wenn das Substrat 4 gesammelt wird.
  • In 3 und 4 ist der Substratschub- und -zugmechanismus 35 in der linken Stellung eines Zwischenteils in der vertikalen Richtung der Magazinführung 32 vorgesehen. In einem Zustand, in dem eines der mehreren Einschubrahmenteile 5b, die in dem Magazin 5 zum Zuführen des Substrats, das durch die Magazinhebemaschine 34 angehoben oder abgesenkt wird, vorgesehen sind, der Substratdurchgangsöffnung 12h der Seite des Hauptkörperteils 2 entspricht, wird eine Substratzuführungsoperation (6(a) bis 6(b)) ausgeführt, in der das Substrat 4 in dem Einschubrahmenteil 5b (das Substrat 4, bevor die Flüssigkeit aufgetragen wird) aus der Seite der Öffnung 5c der hinteren Oberfläche zu der Seite der Öffnung 5d der vorderen Oberfläche geschoben wird, um das Substrat 4 der Empfangsfördereinrichtung 15 des Hauptkörperteils 2 zuzuführen. Ferner wird in einem Zustand, in dem eines der mehreren in dem Magazin 5 zum Sammeln des Substrats, das durch die Magazinhebemaschine 34 angehoben oder abgesenkt wird, vorgesehenen Einschubrahmenteile 5b der Substratdurchgangsöffnung 12h der Seite des Hauptkörperteils 2 entspricht, eine Substrataufnahmeoperation (7(a) bis 7(b)) ausgeführt, in der das von der Empfangsfördereinrichtung 15 des Hauptkörperteils 2 der Seite der Öffnung 5d der vorderen Oberfläche zugeführte Substrat 4 (das Substrat 4, nachdem die Flüssigkeit aufgetragen worden ist) von der Seite der Öffnung 5c der hinteren Oberfläche gezogen wird, um das Substrat an dem in dem Magazin 5 zum Sammeln des Substrats vorgesehenen Einschubrahmenteil 5b anzubringen.
  • Wenn das von der Empfangsfördereinrichtung 15 des Hauptkörperteils 2 der Öffnung 5d in der vorderen Oberfläche zugeführte Substrat 4 in dem Magazin 5 zum Sammeln des Substrats aufgenommen wird, zieht hier der Substratschub- und -zugmechanismus 35 das Substrat 4 an der Empfangsfördereinrichtung 15 zu dem Magazin 5, um das Substrat zu sammeln. Allerdings kann das Substrat 4 an der Empfangsfördereinrichtung 15 durch einen in einem unteren Teil der Empfangsfördereinrichtung 15 vorgesehenen und in dem Magazin 5 zum Sammeln des Substrats aufgenommenen Substratschubmechanismus hineingeschoben werden.
  • In 3 und 4 ist die obere Klemmeinrichtung 36 mit einem Paar in der Querrichtung (der Richtung der X-Achse) einander gegenüberliegender Elemente gebildet, wobei der erste Magazinhaltebereich S1 in der Magazinführung 32 zwischen ihnen liegt, um das durch den Magazinliefermechanismus 33 an den ersten Magazinhaltebereich S1 in der Magazinführung 32 gelieferte Magazin 5 in Richtung der X-Achse zu klemmen und zu halten.
  • In 3 und 4 ist die untere Klemmeinrichtung 37 mit einem Paar in der Querrichtung (in Richtung der X-Achse) einander gegenüberliegender Elemente gebildet, wobei der zweite Magazinhaltebereich S2 in der Magazinführung 32 zwischen ihnen liegt, um das durch die Magazinhebemaschine 34 von dem ersten Magazinhaltebereich S1 abgesenkte und in dem zweiten Magazinhaltebereich S2 lokalisierte Magazin 5 in Richtung der X-Achse zu klemmen und zu halten.
  • In 3 und 4 fördert die Magazinentlade-Fördereinrichtung 38 das Magazin 5 zum Sammeln des Substrats, in dem die Substrate 4 aufgenommen sind, nachdem die Flüssigkeit aufgetragen worden ist, in einer horizontalen Richtung von einem unteren Teil der Magazinführung 32 zu dem vorderen Teil. In einem unteren Teil der vorderen Oberfläche des Deckelements 22 ist eine Magazinauslassöffnung 22b vorgesehen. Ein vorderes Endteil der Magazinentlade-Fördereinrichtung 38 ist so lokalisiert, dass es mit der Magazinauslassöffnung 22b in engen Kontakt gelangt.
  • Als eine Vorrichtung, durch die das Magazin 5 zum Sammeln des Substrats, in dem die Substrate 4 aufgenommen sind, nachdem die Flüssigkeit aufgetragen worden ist, von dem unteren Teil der Magazinführung 32 zu dem vorderen Teil gefördert wird, wird hier die Fördereinrichtung (die Magazinentlade-Fördereinrichtung 38) verwendet, wobei aber ein Schubmechanismus unter Verwendung eines Zylinders genutzt werden kann.
  • Eine Steuerung einer Bewegungsoperation des Auftragskopfs 14 in Richtung der horizontalen Ebene durch den in dem Hauptkörperteil 2 vorgesehenen Auftragskopf-Bewegungsmechanismus 13, eine Steuerung einer Operation des Auftragens der Flüssigkeit Q durch den Auftragskopf 14, eine Steuerung der Förderoperation des Substrats 4 durch die Empfangsfördereinrichtung 15, eine Steuerung der Förderoperation des Substrats 4 in die hintere Arbeitsstellung durch die hintere Positionierungsfördereinrichtung 16a, eine Steuerung der Förderoperation des Substrats 4 in die vordere Arbeitsstellung durch die vordere Positionierungsfördereinrichtung 16b und eine Steuerung einer Bewegungsoperation der Empfangsfördereinrichtung 15 in Richtung der Y-Achse durch den Empfangsfördereinrichtungs-Bewegungsmechanismus 17 werden hier durch eine in der Flüssigkeitsauftragsvorrichtung 1 (4) vorgesehene Steuereinheit 40 ausgeführt.
  • Ferner werden eine Steuerung der Förderoperation des Magazins 5 zum Zuführen des Substrats durch die in dem Substratzufuhr- und -sammelteil 3 vorgesehene Magazinlade-Fördereinrichtung 31, eine Steuerung einer Bewegungsoperation des Magazins 5 zu dem ersten Magazinhaltebereich S1 durch den Magazinliefermechanismus 33, eine Steuerung einer Anhebe- oder Absenkoperation des Magazins 5 durch die Magazinhebemaschine 34, eine Steuerung der Substratzuführungsoperation und der Substrataufnahmeoperation durch den Substratschub- und -zugmechanismus 35, eine Steuerung der Klemm- und der Löseoperation des in dem ersten Magazinhaltebereich S1 lokalisierten Magazins 5 durch die obere Klemmeinrichtung 36, eine Steuerung der Klemm- und Löseoperation des in dem zweiten Magazinhaltebereich S2 lokalisierten Magazins 5 durch die untere Klemmeinrichtung 37 und eine Steuerung der Förderoperation des Magazins 5 zum Sammeln des Substrats durch die Magazinentlade-Fördereinrichtung 38 ebenfalls durch die Steuereinheit 40 (4) ausgeführt.
  • Nun anhand von 9(a), 9(b), 9(c) und 9(d) bis 13(a), 13(b), 13(c) und 13(d) wird eine Prozedur zum Ausführen einer Flüssigkeitsauftragsoperation (eines Flüssigkeitsauftragsverfahrens) auf das Substrat 4 durch die Flüssigkeitsauftragsvorrichtung 1 mit der oben beschriebenen Struktur beschrieben. Nachdem ein leeres Magazin 5 eingelassen worden ist und daraufhin das Substrat 5 zum Zuführen des Substrats, in dem die Substrate 4 aufgenommen sind, bevor die Flüssigkeit aufgetragen wird, von der Magazineinlassöffnung 22a des Substratzufuhr- und -sammelteils 3 durch den Betreiber OP eingelassen worden ist, betreibt die Steuereinheit 40 die Magazinlade-Fördereinrichtung 31, um die Magazine 5 zu der Magazinführung 32 zu fördern. Wenn daraufhin das erste leere Magazin 5 in dem hinteren Endteil der Magazinlade-Fördereinrichtung 31 lokalisiert ist, lokalisiert die Steuereinheit das leere Magazin 5 durch den Magazinliefermechanismus 33 in dem ersten Magazinhaltebereich S1 (ein in 9(a) gezeigtes Pfeilzeichen A1) in der Magazinführung 32. Daraufhin klemmt die Steuereinheit das leere Magazin 5 durch die obere Klemmeinrichtung 36 (9(a)).
  • Wenn das leere Magazin 5, das in dem Magazinhaltebereich S1 lokalisiert ist, durch die obere Klemmeinrichtung 36 geklemmt ist, hebt die Steuereinheit 40 das Hebeteil 34b der Magazinhebemaschine 34 an (ein in 9(b) gezeigtes Pfeilzeichen B1), um das in dem Magazinhaltebereich S1 gehaltene Magazin 5 durch das Hebeteil 34b zu stützen (9(b)). Nachdem die Steuereinheit daraufhin den Haltezustand des leeren Magazins 5 durch die obere Klemmeinrichtung 36 gelöst hat, senkt die Steuereinheit das Hebeteil 34b der Magazinhebemaschine 34 ab (ein in 9(c) gezeigtes Pfeilzeichen B2). Nachdem die Steuereinheit das leere Magazin 5 in dem zweiten Magazinhaltebereich S2 (oder in einem unteren Teil davon) lokalisiert hat, betreibt die Steuereinheit die Magazinlade-Fördereinrichtung 31, um das Magazin 5 zum Zuführen des Substrats, das in dem hinteren Endteil der Magazinlade-Fördereinrichtung 31 lokalisiert ist, in dem ersten Magazinhaltebereich S1 in der Magazinführung 32 zu lokalisieren (ein in 9(c) gezeigtes Pfeilzeichen A2). Daraufhin betreibt die Steuereinheit die obere Klemmeinrichtung 36, um das Magazin 5 zum Zuführen des Substrats, das in dem ersten Magazinhaltebereich S1 lokalisiert ist, zu klemmen (9(c)).
  • Wenn die Steuereinheit 40 das in dem ersten Magazinhaltebereich S1 lokalisierte Magazin 5 zum Zuführen des Substrats durch die obere Klemmeinrichtung 36 klemmt, hebt die Steuereinheit 40 das leere Magazin 5 durch die Magazinhebemaschine 34 an (ein in 9(d) gezeigtes Pfeilzeichen B3), sodass das leere Magazin 5 von einem unteren Teil mit dem Magazin 5 zum Zuführen des Substrats, das in dem ersten Magazinhaltebereich S1 lokalisiert ist, in Kontakt gelangen kann, und löst die Steuereinheit den geklemmten Zustand des Magazins 5 daraufhin, um das Substrat durch die obere Klemmeinrichtung 36 zuzuführen (9(d)). Somit ist das Magazin 5 zum Zuführen des Substrats in dem Substratzufuhrteil R1 lokalisiert und ist das Magazin 5 zum Sammeln des Substrats in dem Substratsammelteil R2 lokalisiert.
  • Wenn die Steuereinheit 40 den geklemmten Zustand des Magazins 5 zum Zuführen des Substrats durch die obere Klemmeinrichtung 36 löst, hebt die Steuereinheit 40 durch die Magazinhebemaschine 34 das Magazin 5 zum Zuführen des Substrats in dem Substratzufuhrteil R1 und das Magazin 5 zum Sammeln des Substrats in dem Substratsammelteil R2 gleichzeitig (in einem eine Einheit bildenden Zustand) an oder senkt sie sie gleichzeitig ab (die in 10(a) und in 10(b) gezeigten Pfeilzeichen B4), um das Substrat 4 dem Hauptkörperteil 2 zuzuführen (die Substratzuführungsoperation durch den Substratschub- und -zugmechanismus 35) und um das Substrat 4 von dem Hauptkörperteil 2 zu sammeln (die Substrataufnahmeoperation durch den Substratschub- und -zugmechanismus 35). Ferner führt die Steuereinheit die Operation des Auftragens der Flüssigkeit Q auf das Substrat 4 in dem Hauptkörperteil 2 in Übereinstimmung mit einer im Folgenden beschriebenen Prozedur aus.
  • Die Zuführung des Substrats 4 zu dem Hauptkörperteil 2 und das Sammeln des Substrats 4 von dem Hauptkörperteil 2 werden in Übereinstimmung mit dem oben beschriebenen Verfahren ausgeführt, das anhand von 6(a) und 6(b) und von 7(a) und 7(b) erläutert ist. Wenn das Substrat 4 von dem Magazin 5 zum Zuführen des Substrats zugeführt wird, werden die Substrate 4 vorzugsweise der Reihe nach von den in dem unteren Teil des Magazins 5 zum Zuführen des Substrats lokalisierten Einschubrahmenteilen 5b herausgeschoben und dem Hauptkörperteil 2 zugeführt. Wenn das Substrat 4 aus dem Magazin 5 zum Zuführen des Substrats geschoben wird, kann auf diese Weise selbst dann, wenn Staub oder dergleichen von dem Substrat 4 oder von dem Magazin 5 fällt, verhindert werden, dass der Staub an anderen Substraten 4 in dem Magazin 5 zum Zuführen des Substrats haftet.
  • Ferner werden die Substrate 4 vorzugsweise der Reihe nach von den in dem oberen Teil des Magazins 5 zum Sammeln des Substrats lokalisierten Einschubrahmenteilen 5b aufgenommen, wenn das Substrat 4 in dem Magazin 5 zum Sammeln des Substrats gesammelt wird. Auf diese Weise kann selbst dann, wenn der Staub oder dergleichen von dem Magazin 4 oder von dem Magazin 5 fällt, wenn das Substrat 4 zu dem Magazin 5 zum Sammeln des Substrats gezogen wird, verhindert werden, dass der Staub an einem anderen Substrat 4 in dem Magazin 5 zum Sammeln des Substrats haftet.
  • In der Operation des Auftragens der Flüssigkeit Q auf das Substrat 4 durch das Hauptkörperteil 2 empfängt die Steuereinheit 40 das aus dem Magazin 5 zum Zuführen des Substrats des Substratzufuhrteils R1 herausgeschobene Substrat 4 durch die Empfangsfördereinrichtung 15, um das Substrat 4 auszulassen (12(a), ein Substratauslassschritt). Daraufhin liefert die Steuereinheit das empfangene Substrat 4 an die hintere Positionierungsfördereinrichtung 16a (ein in 12(b) gezeigtes Pfeilzeichen C1). Daraufhin betreibt die Steuereinheit die hintere Substratpositionierungs-Fördereinrichtung 16a, um das Substrat 4 in die hintere Arbeitsstellung zu bewegen (in dieser zu positionieren) (12(b), ein Arbeitsstellungs-Bewegungsschritt).
  • Nachdem die Steuereinheit 40 das Substrat 4 in die hintere Arbeitsstellung bewegt hat, führt die Steuereinheit 40 die Steuerung der Bewegungsoperation des Auftragskopfs 14 durch den Auftragskopf-Bewegungsmechanismus 13 und die Steuerung der Operation des Auftragens der Flüssigkeit Q durch den Auftragskopf 14 aus, um die Operation des Auftragens der Flüssigkeit auf das in der hinteren Arbeitsoperation positionierte Substrat 4 auszuführen (12(b), ein Flüssigkeitsauftragsschritt).
  • Wenn die Steuereinheit 40 die Operation des Auftragens der Flüssigkeit auf das in der hinteren Arbeitsstellung positionierte Substrat 4 durch den Auftragskopf 14 beginnt, empfängt die Steuereinheit 40 das neu aus dem Magazin 5 herausgeschobene Substrat 4, um das Substrat des Substratzufuhrteils R1 durch die Empfangsfördereinrichtung 15 zuzuführen, um das Substrat 4 auszulassen (ein Substratauslassschritt). Daraufhin bewegt die Steuereinheit die Empfangsfördereinrichtung 15 durch den Empfangsfördereinrichtungs-Bewegungsmechanismus 17 vorwärts (ein in 12(c) gezeigtes Pfeilzeichen D1), um das Substrat 4 zu der vorderen Positionierungsfördereinrichtung 16b zu liefern (ein in 12(c) gezeigtes Pfeilzeichen C2), und betreibt sie die vordere Positionierungsfördereinrichtung 16b, um das Substrat 4 in die vordere Arbeitsstellung zu bewegen (in dieser zu positionieren) und um das Substrat 4 in Bereitschaft zu lassen (12(c), ein Arbeitsstellungs-Bewegungsschritt).
  • Nachdem die Steuereinheit 40 das Substrat 4 in die vordere Arbeitsstellung bewegt hat, bewegt die Steuereinheit den Auftragskopf 14, wenn die Operation des Auftragens der Flüssigkeit auf das in der hinteren Arbeitsstellung positionierte Substrat 4 abgeschlossen ist, um die Operation des Auftragens der Flüssigkeit auf das Substrat 4, das in der vorderen Arbeitsstellung in Bereitschaft gelassen ist, auszuführen (ein Flüssigkeitsauftragsschritt). Während die Steuereinheit die Flüssigkeitsauftragsoperation ausführt, bewegt die Steuereinheit die Empfangsfördereinrichtung 15 daraufhin nach hinten (ein in 12(d) gezeigtes Pfeilzeichen D2), um das in der hinteren Arbeitsstellung lokalisierte Substrat 4 über die Empfangsfördereinrichtung 15 zu dem Substratzufuhr- und -sammelteil 3 zu fördern (ein in 12(d) gezeigtes Pfeilzeichen C3), und nimmt sie daraufhin das Substrat 4, auf das die Flüssigkeit aufgetragen worden ist, in das Magazin 5 zum Sammeln des Substrats des Substratsammelteils R2 auf (12(d), ein Substrataufnahmeschritt).
  • Wenn die Steuereinheit 40 das Substrat 4, dessen Flüssigkeitsauftragsoperation abgeschlossen ist, in der hinteren Arbeitsstellung in dem Magazin 5 zum Sammeln des Substrats aufnimmt, empfängt die Steuereinheit das aus dem Magazin 5 zum Zuführen des Substrats des Substratzufuhrteils R1 neu herausgeschobene Substrat 4 durch die Empfangsfördereinrichtung 15 und liefert sie daraufhin das Substrat über die Empfangsfördereinrichtung 15 an die hintere Positionierungsfördereinrichtung 16a (ein in 13(a) gezeigtes Pfeilzeichen C4) und betreibt sie die hintere Substratpositionierungs-Fördereinrichtung 16a, um das Substrat 4 in die hintere Arbeitsstellung zu bewegen und um das Substrat 4 in Bereitschaft zu lassen (13(a), ein Arbeitsstellungs-Bewegungsschritt).
  • Nachdem die Steuereinheit 40 das Substrat 4 in die hintere Arbeitsstellung bewegt hat, bewegt die Steuereinheit den Auftragskopf 14, wenn die Operation des Auftragens der Flüssigkeit auf das in der vorderen Arbeitsstellung positionierte Substrat 4 durch den Auftragskopf 14 abgeschlossen ist, um die Operation des Auftragens der Flüssigkeit auf das Substrat 4, das in der hinteren Arbeitsstellung in Bereitschaft gelassen ist, auszuführen (ein Flüssigkeitsauftragsschritt). Daraufhin bewegt die Steuereinheit die Empfangsfördereinrichtung 15 nach vorn und hinten (ein in 13(b) gezeigtes Pfeilzeichen D3), während die Steuereinheit die Flüssigkeitsauftragsoperation ausführt, um das in der vorderen Arbeitsstellung lokalisierte Substrat 4 über die Empfangsfördereinrichtung 15 zu dem Substratzufuhr- und -sammelteil 3 zu fördern (13(b), ein in der Zeichnung gezeigtes Pfeilzeichen C5), und nimmt sie das Substrat 4, auf das die Flüssigkeit aufgetragen worden ist, in dem Magazin 5 zum Sammeln des Substrats des Substratsammelteils R2 auf (13(b), ein Substrataufnahmeschritt).
  • Nachdem die Steuereinheit 40 das Substrat 4, dessen Flüssigkeitsauftragsoperation in der vorderen Arbeitsstellung abgeschlossen worden ist, in dem Magazin 5 zum Sammeln des Substrats aufgenommen hat, empfängt die Steuereinheit das neu aus dem Magazin 5 zum Zuführen des Substrats des Substratzufuhrteils R1 herausgeschobene Substrat 4 durch die Empfangsfördereinrichtung 15, um das Substrat 4 auszulassen (ein Substratauslassschritt), bewegt sie daraufhin die Empfangsfördereinrichtung 15 vorwärts (ein in 13(c) gezeigtes Pfeilzeichen D4) und liefert sie das Substrat 4 an die vordere Positionierungsfördereinrichtung 16b (ein in 13(c) gezeigtes Pfeilzeichen C6). Daraufhin betreibt die Steuereinheit die vordere Substratpositionierungs-Fördereinrichtung 16b, um das Substrat 4 in die vordere Arbeitsstellung zu bewegen und um das Substrat 4 in Bereitschaft zu lassen (13(c), ein Arbeitsstellungs-Bewegungsschritt).
  • Wenn die Steuereinheit 40 die Operation des Auftragens der Flüssigkeit auf das in der hinteren Arbeitsstellung positionierte Substrat 4 abschließt, bewegt die Steuereinheit den Auftragskopf 14, nachdem die Steuereinheit das Substrat 4 in die vordere Arbeitsstellung bewegt hat, um die Operation des Auftragens der Flüssigkeit auf das Substrat 4, das in der vorderen Arbeitsstellung in Bereitschaft gelassen ist, auszuführen (ein Flüssigkeitsauftragsschritt). Daraufhin bewegt die Steuereinheit die Empfangsfördereinrichtung 15, während die Steuereinheit die Flüssigkeitsauftragsoperation ausführt, nach hinten (ein in 13(d) gezeigtes Pfeilzeichen D5), um das in der hinteren Arbeitsstellung lokalisierte Substrat 4 über die Empfangsfördereinrichtung 15 zu dem Substratzufuhr- und -sammelteil 3 zu fördern (13(d), ein in der Zeichnung gezeigtes Pfeilzeichen C7), und nimmt sie das Substrat 4, auf das die Flüssigkeit aufgetragen worden ist, in dem Magazin 5 zum Sammeln des Substrats des Substratsammelteils R2 auf (13(d), ein Substrataufnahmeschritt). Nachfolgend wiederholt die Steuereinheit die in 13(a), 13(b), 13(c), 13(d) 13(a) ... gezeigten Schritte.
  • Wie oben beschrieben wurde, hebt die Steuereinheit 40 das Magazin 5 zum Zuführen des Substrats des Substratzufuhrteils R1 und das Magazin 5 zum Sammeln des Substrats des Substratsammelteils R2 gleichzeitig (in dem eine Einheit bildenden Zustand) an oder senkt sie sie gleichzeitig ab, um das Substrat 4 dem Hauptkörperteil 2 zuzuführen und um das Substrat 4 von dem Hauptkörperteil 2 wiederzugewinnen, und führt sie ferner die Operation des Auftragens der Flüssigkeit Q auf das Substrat 4 in dem Hauptkörperteil 2 aus. Während dieser Zeit betreibt die Steuereinheit die Magazinlade-Fördereinrichtung 31 und den Magazinliefermechanismus 33, um das oben in der Magazinlade-Fördereinrichtung 31 bereitgestellte Magazin 5 zum Zuführen des Substrats in dem ersten Magazinhaltebereich S1 in der Magazinführung 32 zu lokalisieren (ein in 10(b) gezeigtes Pfeilzeichen A3). Daraufhin betreibt die Steuereinheit die obere Klemme 36, um das in dem ersten Magazinhaltebereich S1 lokalisierte Magazin 5 zum Zuführen des Substrats zu klemmen (10(b)).
  • Wenn die Operation des Auftragens der Flüssigkeit auf das Substrat 4, nachdem die Steuereinheit das Magazin 5 zum Zuführen des Substrats durch die obere Klemmeinrichtung in dem Magazinhaltebereich S1 36 geklemmt hat, fortschreitet, sodass das in dem Substratzufuhrteil R1 montierte Magazin 5 zum Zuführen des Substrats geleert wird, werden das geleerte Magazin 5 zum Zuführen des Substrats des Substratzufuhrteils R1 und das Magazin 5 zum Sammeln des Substrats des Substratsammelteils R2, in dem die Substrate 4 aufgenommen sind, nachdem die Flüssigkeit aufgetragen worden ist, gleichzeitig (in dem eine Einheit bildenden Zustand) angehoben (ein in 10(c) gezeigtes Pfeilzeichen B5), um das Magazin 5 zum Zuführen des Substrats, das geleert worden ist, in dem zweiten Magazinhaltebereich S2 zu lokalisieren. Daraufhin klemmt die Steuereinheit 40 das geleerte Magazin 5 zum Zuführen des Substrats durch die untere Klemmeinrichtung 37 (10(c)). Daraufhin senkt die Steuereinheit 40 nur das Magazin 5 zum Sammeln des Substrats des Substratsammelteils R2 durch die Magazinhebemaschine 34 ab (ein in 10(d) gezeigtes Pfeilzeichen B6) und bringt das Magazin 5 zum Sammeln des Substrats an der Entladefördereinrichtung 38 an, um das Magazin 5 zum Sammeln des Betriebs durch die Magazinentlade-Fördereinrichtung 38 vorwärts zu fördern (11(a), ein in der Zeichnung gezeigtes Pfeilzeichen E).
  • Wenn die Steuereinheit 40 das Magazin 5 zum Sammeln des Substrats durch die Magazinentlade-Fördereinrichtung 38 vorwärts fördert, hebt die Steuereinheit das Hebeteil 34b der Magazinhebemaschine 34 an (ein in 11(b) gezeigtes Pfeilzeichen B7), um das in dem Magazinhaltebereich S2 gehaltene Magazin 5 durch das Hebeteil 34b zu stützen (11(b)). Daraufhin löst die Steuereinheit den gehaltenen Zustand des geleerten Magazins 5 durch die untere Klemmeinrichtung 37 und hebt sie das Hebeteil 34b der Magazinhebemaschine 34 an (ein in 11(c) gezeigtes Pfeilzeichen B8), um eine obere Oberfläche des geleerten Magazins 5 mit einer unteren Oberfläche des Magazins 5 in Kontakt gelangen zu lassen, um das in dem ersten Magazinhaltebereich S1 gehaltene Substrat zuzuführen. Daraufhin löst die Steuereinheit den geklemmten Zustand des in dem ersten Magazinhaltebereich S1 lokalisierten Magazins 5 zum Zuführen des Substrats durch die obere Klemmeinrichtung 36 (11(c)).
  • Da das Magazin 5 zum Zuführen des Substrats in dem Substratzufuhrteil R1 lokalisiert ist und da das Magazin 5 zum Sammeln des Substrats in dem Substratsammelteil R2 lokalisiert ist, hebt die Steuereinheit somit nachfolgend durch die Magazinhebemaschine 34 das Magazin 5 zum Zuführen des Substrats des Substratzufuhrteils R1 und das Magazin 5 zum Sammeln des Substrats des Substratsammelteils R2 gleichzeitig (in dem eine Einheit bildenden Zustand) an oder senkt sie sie gleichzeitig ab (ein in 11(d) gezeigtes Pfeilzeichen B9), um das Substrat 4 dem Hauptkörperteil 2 zuzuführen und um das Substrat 4 von dem Hauptkörperteil 2 zu sammeln, und führt sie ferner die Operation des Auftragens der Flüssigkeit Q auf das Substrat 4 in dem Hauptkörperteil 2 aus. Daraufhin wiederholt die Steuereinheit nachfolgend die Schritte aus 10(b), 10(c), 10(d), 11(a), 11(b), 11(c), 11(d) und 10(b) ...
  • In der oben beschriebenen Reihe von Schritten lässt der Betreiber OP das Magazin 5 zum Zuführen des Substrats zu der Magazinlade-Fördereinrichtung 31 von der Magazineinlassöffnung 22a ein und lässt er das zu der Magazinauslassöffnung 22b geförderte Magazin 5 zum Sammeln des Substrats durch die Magazinentlade-Fördereinrichtung 38 aus.
  • Wie oben beschrieben wurde, enthält die Flüssigkeitsauftragsvorrichtung 1 in der vorliegenden beispielhaften Ausführungsform das Substratzufuhrteil R1, wo das Magazin 5 zum Zuführen des Substrats montiert ist, in dem die Substrate 4 aufgenommen sind, bevor die Flüssigkeit Q aufgetragen wird, den Auftragskopf 14, der die Flüssigkeit Q auf das aus dem in dem Substratzufuhrteil R1 montierten Magazin 5 zum Zuführen des Substrats ausgelassene und in die Arbeitsstellung bewegte Substrat 4 aufträgt, und das Substratsammelteil R2, wo das Magazin 5 zum Sammeln des Substrats montiert ist, in dem die Substrate 4 mit der durch den Auftragskopf 14 aufgetragenen Flüssigkeit Q aufgenommen sind. Das Substratzufuhrteil R1 und das Substratsammelteil R2 sind in der vertikalen Richtung parallel angeordnet.
  • Das Flüssigkeitsauftragsverfahren durch die Flüssigkeitsauftragsvorrichtung 1 enthält den Schritt (den oben beschriebenen Substratauslassschritt, den Arbeitsstellungs-Bewegungsschritt), in dem das Substrat, bevor die Flüssigkeit Q aufgetragen wird, aus dem in dem Substratzufuhrteil R1 montierten Magazin 5 für das Substrat ausgelassen wird und in die Arbeitsstellung bewegt wird, den Schritt (den oben beschriebenen Flüssigkeitsauftragsschritt), in dem die Flüssigkeit Q auf das in die Arbeitsstellung bewegte Substrat aufgetragen wird, und den Schritt (den oben beschriebenen Substrataufnahmeschritt), in dem das Substrat 4, auf das die Flüssigkeit Q aufgetragen worden ist, aus der Arbeitsstellung bewegt wird, um das Substrat in dem Magazin 5 zum Sammeln des Substrats, das in das in der vertikalen Richtung parallel zu dem Substratzufuhrteil R1 angeordnete und lokalisierte Substratsammelteil R2 montiert ist, aufzunehmen.
  • Da in der Flüssigkeitsauftragsvorrichtung 1 und in dem Flüssigkeitsauftragsverfahren der vorliegenden beispielhaften Ausführungsform ferner das Substratzufuhrteil R1, wo das Magazin 5 zum Zuführen des Substrats montiert ist, in dem die Substrate aufgenommen sind, bevor die Flüssigkeit Q aufgetragen wird, und das Substratsammelteil R2, wo das Magazin 5 zum Sammeln des Substrats montiert ist, in dem die Substrate 4 aufgenommen sind, auf die die Flüssigkeit Q aufgetragen worden ist, in der vertikalen Richtung parallel angeordnet und lokalisiert sind, kann dementsprechend ein Montageplatz für das Substratzufuhrteil R1 (das Magazin 5 zum Zuführen des Substrats) oder für das Substratsammelteil R2 (das Magazin 5 zum Sammeln des Substrats) in einer Draufsicht der Flüssigkeitsauftragsvorrichtung 1 vorgesehen sein. Somit kann eine Gesamtgröße der Flüssigkeitsauftragsvorrichtung 1 verkleinert werden und die Flächenproduktivität weiter verbessert werden.
  • Ferner sind das Magazin 5 zum Zuführen des Substrats des Substratzufuhrteils R1 und das Magazin 5 zum Sammeln des Substrats des Substratsammelteils R2 in einem Zustand, in dem das Magazin 5 zum Zuführen des Substrats oder das Magazin 5 zum Sammeln des Substrats auf dem anderen angebracht ist, in der vertikalen Richtung parallel angeordnet und lokalisiert. Das Magazin 5 zum Zuführen des Substrats und das Magazin 5 zum Sammeln des Substrats werden durch die Magazinhebemaschine 34 als eine Magazinhebeeinheit gleichzeitig angehoben oder abgesenkt, um das Magazin 5 zum Zuführen des Substrats in der vertikalen Richtung zu positionieren, wenn das Substrat 4 ausgelassen wird, und um das Magazin 5 zum Sammeln des Substrats in der vertikalen Richtung zu positionieren, wenn das Substrat 4 gesammelt wird. Dementsprechend können ein Montageplatz für das Substratzufuhrteil R1 (das Magazin 5 zum Zuführen des Substrats) und für das Substratsammelteil R2 (das Magazin 5 zum Sammeln des Substrats) in einer Draufsicht der Flüssigkeitsauftragsvorrichtung 1 vorgesehen sein. Somit kann eine Gesamtgröße der Flüssigkeitsauftragsvorrichtung 1 verkleinert werden.
  • Da das Magazin 5 zum Zuführen des Substrats, das in dem Substratzufuhrteil R1 geleert wird, zu dem Substratsammelteil R2 bewegt wird und als das Magazin 5 zum Sammeln des Substrats verwendet wird, sodass das Magazin 5 zum Zuführen des Substrats, das bisher in dem Substratzufuhrteil R1 montiert gewesen ist, als das Magazin 5 zum Sammeln des Substrats verwendet wird, braucht ferner das in dem Substratzufuhrteil R1 montierte Magazin 5 zum Zuführen des Substrats nicht aus der Flüssigkeitsauftragsvorrichtung 1 herausgetragen zu werden und braucht kein neues Magazin 5 zum Sammeln des Substrats zu der Flüssigkeitsauftragsvorrichtung 1 getragen zu werden. Dementsprechend ist die Anzahl der Einstellungsschritte leerer Magazine, die für einen üblichen Lader- und Entladetyp notwendig sind, verringert, sodass die Produktionskosten stärker gesenkt werden können.
  • Obgleich in der Flüssigkeitsauftragsvorrichtung 1 der vorliegenden beispielhaften Ausführungsform die Flüssigkeit Q auf das Substrat 4 aufgetragen wird, das in die eine Arbeitsstellung bewegt wird, bewegt ferner eine Substratbewegungseinheit mit zwei Arbeitsstellungen, die die Empfangsfördereinrichtung 15 und die zwei Positionierungsfördereinrichtungen 16 aufweist, das aus dem Magazin 5 ausgelassene Substrat 4 zum Zuführen des Substrats in die andere Arbeitsstellung oder bewegt sie das Substrat 4, auf das die Flüssigkeit Q in der anderen Arbeitsstellung aufgetragen wird, zu dem Magazin 5 zum Sammeln des Substrats. Dementsprechend kann ein Zeitverlust, der sich aus einem Halt eines Auftragsschritts wegen eines Wartens auf eine Förderung ergibt, minimiert werden.
  • In der oben beschriebenen beispielhaften Ausführungsform ist ein Beispiel gezeigt, in dem das Magazin 5 zum Zuführen des Substrats des Substratzufuhrteils R1 und das Magazin 5 zum Sammeln des Substrats des Substratsammelteils R2 in einem Zustand, in dem das Magazin 5 zum Zuführen des Substrats des Substratzufuhrteils R1 an dem Magazin 5 zum Sammeln des Substrats des Substratsammelteils R2 angebracht ist, in der vertikalen Richtung parallel angeordnet und lokalisiert sind. Allerdings können je nach der Anordnung der Magazinlade-Fördereinrichtung 31 und der Magazinentlade-Fördereinrichtung 38 das Magazin 5 zum Zuführen des Substrats des Substratzufuhrteils R1 und das Magazin 5 zum Sammeln des Substrats des Substratsammelteils R2 in einem Zustand, in dem das Magazin 5 zum Sammeln des Substrats des Substratsammelteils R2 an dem Magazin 5 zum Zuführen des Substrats des Substratzufuhrteils R1 angebracht ist, in der vertikalen Richtung parallel angeordnet und lokalisiert sein. Somit können das Magazin 5 zum Zuführen des Substrats des Substratzufuhrteils R1 und das Magazin 5 zum Sammeln des Substrats des Substratsammelteils R2 in einem Zustand, in dem eines über dem anderen angebracht ist, in der vertikalen Richtung parallel angeordnet und lokalisiert sein. Ferner ist ein Fall, dass das in dem Substratzufuhrteil R1 montierte Magazin 5 zum Zuführen des Substrats durch das neue Magazin 5 zum Zuführen des Substrats ersetzt wird, nicht notwendig auf einen Fall beschränkt, dass die Substrate 4 in dem Magazin 5 zum Zuführen des Substrats (die Substrate 4, bevor die Flüssigkeit aufgetragen wird) erschöpft sind.
  • Diese Anmeldung beruht auf der japanischen Patentanmeldung ( JPA Nr. 2011-187210 ), eingereicht am 30. August 2011, deren Inhalt hier durch Bezugnahme mit aufgenommen ist.
  • <Industrielle Anwendbarkeit>
  • Es werden die Flüssigkeitsauftragsvorrichtung und das Flüssigkeitsauftragsverfahren geschaffen, die die Größe kompakt machen können und die die Flächenproduktivität verbessern können.
  • Bezugszeichenliste
    • 1
    Flüssigkeitsauftragsvorrichtung
    4
    Substrat
    5
    Magazin
    14
    Auftragskopf
    15
    Empfangsfördereinrichtung (Substratbewegungseinheit)
    16
    Positionierungsfördereinrichtung (Substratbewegungseinheit)
    34
    Magazinhebemaschine (Magazinhebeeinheit)
    R1
    Substratzufuhrteil
    R2
    Substratsammelteil
    Q
    Flüssigkeit

Claims (8)

  1. Flüssigkeitsauftragsvorrichtung, die umfasst: ein Substratzufuhrteil, bei dem ein Magazin zum Zuführen eines Substrats montiert ist, wobei das Magazin zum Zuführen des Substrats das Substrat aufnimmt, bevor eine Flüssigkeit aufgetragen wird; einen Auftragskopf, der die Flüssigkeit auf das aus dem in dem Substratzufuhrteil montierten Magazin zum Zuführen des Substrats ausgelassene und in eine Arbeitsstellung bewegte Substrat aufträgt; und ein Substratsammelteil, bei dem ein Magazin zum Sammeln des Substrats montiert ist, wobei das Magazin zum Sammeln des Substrats das Substrat aufnimmt, bei dem die Flüssigkeit durch den Auftragskopf aufgetragen worden ist; wobei das Substratzufuhrteil und das Substratsammelteil in einer vertikalen Richtung parallel angeordnet und lokalisiert sind.
  2. Flüssigkeitsauftragsvorrichtung nach Anspruch 1, wobei das Magazin zum Zuführen des Substrats des Substratzufuhrteils und das Magazin zum Sammeln des Substrats des Substratsammelteils in einem Zustand, in dem das Magazin zum Zuführen des Substrats oder das Magazin zum Sammeln des Substrats auf dem anderen angeordnet ist, in der vertikalen Richtung parallel angeordnet und lokalisiert sind und das Magazin zum Zuführen des Substrats und das Magazin zum Sammeln des Substrats durch eine Magazinhebeeinheit gleichzeitig angehoben oder abgesenkt werden, um das Magazin zum Zuführen des Substrats in der vertikalen Richtung zu positionieren, wenn das Substrat ausgelassen wird, und um das Magazin zum Sammeln des Substrats in der vertikalen Richtung zu positionieren, wenn das Substrat gesammelt wird.
  3. Flüssigkeitsauftragsvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei das Magazin zum Zuführen des Substrats, das in dem Substratzufuhrteil geleert wird, zu dem Substratsammelteil bewegt und als das Magazin zum Sammeln des Substrats verwendet wird.
  4. Flüssigkeitsauftragsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei eine Substratbewegungseinheit, die zwei Arbeitsstellungen zum Bewegen des aus dem Magazin ausgelassenen Substrats zum Zuführen des Substrats in die Arbeitsstellung und zum Bewegen des Substrats, auf das die Flüssigkeit in der Arbeitsstellung aufgetragen worden ist, zu dem Magazin zum Sammeln des Substrats, aufweist, das aus dem Magazin zum Zuführen des Substrats ausgelassene Substrat in die andere Arbeitsstellung bewegt oder das Substrat, auf das die Flüssigkeit in der anderen Arbeitsstellung aufgetragen worden ist, zu dem Magazin zum Sammeln des Substrats bewegt, während die Flüssigkeit auf das in eine Arbeitsstellung bewegte Substrat aufgetragen wird.
  5. Flüssigkeitsauftragsverfahren, das umfasst: einen Schritt, in dem ein Substrat, bevor eine Flüssigkeit aufgetragen wird, aus einem in ein Substratzufuhrteil montierten Magazin zum Zuführen des Substrats ausgelassen wird und in einer Arbeitsstellung bewegt wird; einen Schritt, in dem die Flüssigkeit auf das in die Arbeitsstellung bewegte Substrat aufgetragen wird; und einen Schritt, in dem das Substrat, auf das die Flüssigkeit aufgetragen worden ist, aus der Arbeitsstellung bewegt wird, um das Substrat in einem in ein Substratsammelteil, das in der vertikalen Richtung parallel zu dem Substratzufuhrteil angeordnet und lokalisiert ist, montierten Magazin zum Sammeln des Substrats aufzunehmen.
  6. Flüssigkeitsauftragsverfahren nach Anspruch 5, wobei das Magazin zum Zuführen des Substrats des Substratzufuhrteils und das Magazin zum Sammeln des Substrats des Substratsammelteils in einem Zustand, in dem das Magazin zum Zuführen des Substrats oder das Magazin zum Sammeln des Substrats auf dem anderen angeordnet ist, in der vertikalen Richtung parallel angeordnet und lokalisiert sind und wobei das Magazin zum Zuführen des Substrats und das Magazin zum Sammeln des Substrats gleichzeitig angehoben oder abgesenkt werden, um das Magazin zum Zuführen des Substrats in der vertikalen Richtung zu positionieren, wenn das Substrat ausgelassen wird, und um das Magazin zum Sammeln des Substrats in der vertikalen Richtung zu positionieren, wenn das Substrat gesammelt wird.
  7. Flüssigkeitsauftragsverfahren nach Anspruch 5 oder 6, wobei das Magazin zum Zuführen des Substrats, das in dem Substratzufuhrteil geleert wird, zu dem Substratsammelteil bewegt wird und als das Magazin zum Sammeln des Substrats verwendet wird.
  8. Flüssigkeitsauftragsverfahren nach einem der Ansprüche 5 bis 7, wobei zwei Arbeitsstellungen vorgesehen sind und wobei die Flüssigkeit auf das Substrat, das in die eine Arbeitsstellung bewegt wird, aufgetragen wird, wobei das Substrat, das aus dem Magazin zum Zuführen des Substrats ausgelassen wird, in die andere Arbeitsstellung bewegt wird oder das Substrat, auf das die Flüssigkeit in der anderen Arbeitsstellung aufgetragen worden ist, zu dem Magazin zum Sammeln des Substrats bewegt wird.
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