JPH05186014A - 基板搬送装置および基板搬送方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 搬送工程を簡素化し、マガジンラックの必要
個数を減らして作業環境の整理と製品のコストダウンを
図る。 【構成】 加工前基板１０ａの供給と加工後基板１０ｂ
の収納動作において、加工前基板１０ａが収容されたマ
ガジン１８ａと加工後基板１０ｂが収容されたマガジン
１８ｂとを一時貯留するためのストッカ２１やこれら各
マガジン１３を上昇させるピッチ型エレベータ２２を加
工処理装置１の一方側方に設けて共用とし、加工前基板
１０ａが取出された同一マガジンラック１３に加工後基
板１０ｂを返還収容するようにした基板搬送装置とこの
装置を利用する基板搬送方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電子部品として用いら
れる基板の生産工程における基板搬送装置および、基板
搬送方法の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】電子部品として用いられる各種基板は、
その組立て、半田付け、洗浄および検査等の加工や処理
を行う加工処理作業において、基板を収容して加工処理
装置に送給し、また加工処理された基板を受取って収容
する容器としていわゆるマガジンラックが使用される。
そして従来は、図８に示すように、加工処理装置１の上
流側（図８の左側）に基板供給装置２が、また下流側
（図８の右側）に基板収納装置６が設けられる。基板供
給装置２として供給側専用の供給ストッカ３と昇降テー
ブル４と供給ガイド５とが設けられ、基板収納装置６
は、収納側専用の収納ストッカ７と昇降テーブル８と収
納ガイド９とを含む。

【０００３】このような従来の配列によると、供給側に
おいて、加工前基板１０ａがマガジンラック１３に満杯
状態とされ、供給ストッカ３の実マガジン供給域に移載
された実マガジン１８は、供給側昇降テーブル４上に移
載され、この供給側昇降テーブル４を上下動させながら
実マガジン１８内の加工前基板１０ａを１個ずつ供給ガ
イド５を経て加工処理装置１内に送入する。内部の基板
１０ａが払出された空マガジン１９は、供給側昇降テー
ブル４を上昇させて、供給ストッカ３上に移載される。

【０００４】一方、加工処理が終わり、加工処理装置１
から送出された加工後基板１０ｂは収納ガイド９を経て
収納側の空のマガジンラック１３内に、上部段または下
部段から１個ずつ収容されてゆく。この基板の収容に先
立ち、収納側昇降テーブル８は、収納ストッカ７の頂面
と面一になるまで上昇し、収納ストッカ７上の空マガジ
ン１９を受取った後、前記収納ガイド９からの加工後基
板１０ｂを受取ることができる位置まで下降している。
加工後基板１０ｂで満たされた実マガジン１８は収納ス
トッカ７の実マガジン収納域に移載される。

【０００５】なお、前記供給側において、加工前基板１
０ａの全部が払出されて空となったマガジン１９は、昇
降テーブル４が供給ストッカ３の頂面と面一になる位置
まで上昇し、該供給ストッカ上に移載される。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の装
置および搬送方法では、加工処理装置の上流側および下
流側にそれぞれ略同形のストッカ、昇降テーブルおよび
ガイドを配置しなければならず、それにともない収容基
板幅を同一に調整したマガジンラックを上流側、下流側
に準備しておかねばならない。そのため、多くの同一規
格のマガジンラックを必要とし、経費がかかる。

【０００７】また基板供給装置側、基板収納装置側のい
ずれにおいても空マガジンを回収処理しなければならな
いので、管理が煩雑で搬送工程も複雑であり、そのうえ
広い据付けスペースを必要とするなどの問題が避けられ
ない。

【０００８】本発明は上記問題を解消し、工程を簡素化
するとともに少ないマガジンラックで足り、かつ狭い据
付面積にでも設置可能な基板搬送装置および基板搬送方
法を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明は、基板の加工処理装置と、基板供給収納装置と
を組合わせた基板搬送装置であって、前記基板供給収納
装置は、加工処理装置の一方側方に設けられ、複数の基
板が収容されたマガジンを一時貯留する供給収納ストッ
カと、該ストッカに隣接し、加工処理装置側に設けられ
るピッチ型エレベータと、該ピッチ型エレベータと加工
処理装置との間に設けられる供給ガイドおよび収納ガイ
ドとを含み、供給収納ストッカは、下部を加工前基板入
の実マガジンの供給域、上部を加工後基板入の実マガジ
ンの収納域とされ、加工処理装置は、内部搬送手段を備
え、この内部搬送手段に対応して一方側面の下部および
上部に、それぞれ基板入口および基板出口が形成されて
おり、前記供給ガイドおよび収納ガイドは、加工処理装
置の前記基板入口および基板出口にそれぞれ対向して固
定配置されることを特徴とする基板搬送装置である。

【００１０】また本発明は、基板の加工処理装置と、基
板供給収納装置とを組合わせた基板搬送装置であって、
前記基板供給収納装置は、加工処理装置の一方側方に設
けられ、複数の基板が収容されるマガジンを一時貯留す
る供給収納ストッカと、該ストッカに隣接し、加工処理
装置側に設けられるピッチ型エレベータと、該ピッチ型
エレベータと加工処理装置との間に設けられる供給ガイ
ドと、加工処理装置の他方側方、上方および一方側方に
わたって設けられる返還収納手段とを含み、供給収納ス
トッカは、下部を加工前基板入の実マガジンの供給域、
上部を加工後基板入の実マガジンの収納域とされ、加工
処理装置は、内部搬送手段を備え、この内部搬送手段に
対応して、一方側面に加工前基板の基板入口が、また他
方側面に加工後基板の基板出口が形成され、供給ガイド
は、加工処理装置の基板入口に対向して固定配置され、
返還収納手段は、基板出口に対応して加工処理装置の他
方側方に配置され、昇降可能な第１収納ガイドと、加工
処理装置の一方側方で前記供給ガイドの上方に配置され
昇降可能な第２収納ガイドと、加工処理装置の上方に配
置され、前記第１および第２収納ガイドの上昇時にこれ
ら両ガイドと連接するリターンコンベアとから成ること
を特徴とする基板搬送装置である。

【００１１】さらに本発明は、複数の加工前基板が収容
された実マガジンが、加工処理装置の一方側方に配置さ
れる供給収納ストッカの供給域から、ピッチ型エレベー
タ上へ移載され、前記実マガジンから基板を１個ずつ取
出し、基板入口から加工処理装置に供給して加工を施
し、加工後基板は、加工処理装置の一方側において、前
記加工前基板が取出されたピッチ型エレベータ上の元の
マガジンラックに返還収容され、この加工後基板入の実
マガジンは、前記ピッチ型エレベータによって持ち上げ
られ、再び元の供給収納ストッカの収納域に移載される
ようにしたことを特徴とする基板搬送方法である。

【００１２】

【作用】本発明に従えば、加工前基板は、マガジンラッ
クに収容された状態で、それが乗載される供給収納スト
ッカの供給域からピッチ型エレベータ上に移載され、該
ピッチ型エレベータを所定ピッチずつ上昇させながら１
個ずつ供給ガイドを経て基板入口から加工処理装置内に
送入され、加工が施される。

【００１３】加工後の基板は、基板出口から送出され、
加工処理装置の一方側において収納ガイドまたは第２収
納ガイドを経て元のマガジンラック内へ返還収容され、
この加工後基板入の実マガジンは前記供給収納ストッカ
の収納域へ移載される。

【００１４】

【実施例】図１は、本発明の基板搬送装置の一実施例の
側面図であり、図２は、その拡大側面図である。この実
施例において従来の構成に類似し、対応する部分には同
一の参照符を付す。基板搬送装置は、基板の組立て、半
田付け、洗浄および検査などを行うための加工処理装置
１と、この加工処理装置１の一方側方に組合せ設置され
た基板供給収納装置２０とを有する。

【００１５】図３は、本発明にかかる加工処理装置の側
面図である。図に示すように加工処理装置１は、一方側
面（図３の左側面）の下部に、加工前基板１０ａが送入
されるための基板入口１１が、また一方側面の上部に加
工後基板１０ｂが送出される基板出口１２が形成され
る。加工処理装置１内には、前記基板入口１１に向く供
給コンベア２６、該供給コンベア２６の下流側に連設さ
れるメインコンベア２７、さらにメインコンベア２７の
下流側に設けられるリフタ（図示せず）付の正逆回転コ
ンベア２８、および前記供給コンベア２６とメインコン
ベア２７の上方に平行して設置され、基板出口１２に向
くリターンコンベア２９とから成る内部搬送手段２５が
設けられる。

【００１６】また、加工処理装置１内には、前記基板の
組立てなどを行うための図示外の加工処理手段が設けら
れ、前記メインコンベア２７は加工処理を行うにあたっ
て基板を保持する。正逆回転コンベア２８はメインコン
ベア２７から加工後基板１０ｂを受取り、リターンコン
ベア２９の位置まで上昇し、逆回転してリターンコンベ
ア２９に加工後基板１０ｂを送給する。内部搬送手段２
５の各コンベアは、いずれも基板幅に合わせて幅が調整
可能とされる。実施例によると、供給コンベア２６とリ
ターンコンベア２９との高さの差ｈは５０ｍｍとなって
おり、これに対応して前記基板入口１１と基板出口１２
とが構成される。

【００１７】リターンコンベア２９の上方で基板出口１
２の付近には、基板返還プッシャ３５が配設される。こ
の基板返還プッシャ３５は、水平方向に作動するピスト
ンシリンダ機構３６と、そのピストン棒３７の先端部に
枢支されるフック３８とから成る。フック３８は、加工
後基板１０ｂの進行方向に沿って軽く揺動自在とされる
が、反対方向に対しては揺動しない。したがって、フッ
ク３８は、加工後基板１０ｂがリターンコンベア２９に
乗載されて進行するときには、該基板１０ｂに押されて
揺動し、上方に退避して基板１０ｂの通過を許すが、ピ
ストン棒３７が基板出口１２に向いて作動される際は、
前記基板１０ｂを収納ガイド２４を経てピッチ型エレベ
ータ２２上のマガジンラック１３の空所へ押出される。

【００１８】基板供給収納装置２０は、複数の基板１０
が収容されて満杯となったマガジン１８を一時貯留する
供給収納ストッカ２１と、該ストッカ２１に隣接して、
加工処理装置１側に設けられるピッチ型エレベータ２２
と、該ピッチ型エレベータ２２と加工処理装置１との間
に固定設置される供給ガイド２３および収納ガイド２４
とを有する。

【００１９】供給収納ストッカ２１は、下部を、加工前
基板１０ａが収容された実マガジン１８ａが乗載される
供給域２１ａとし、上部を、加工後基板１０ｂが収容さ
れた実マガジン１８ｂが乗載される収納域２１ｂとして
いる。これら供給域２１ａへの前記実マガジン１８ａの
移載および収納域２１ｂから前記実マガジン１８ｂの移
載は別途搬送手段によるが、手作業でもよい。

【００２０】供給収納ストッカ２１の供給域２１ａおよ
び収納域２１ｂの底部には、それぞれの実マガジン１８
ａ，１８ｂを次の工程へ移載し易い位置まで運ぶための
導電性プラスチックチエンによるマガジン搬送コンベア
３０ａ，３０ｂが設置されている。また、供給域２１ａ
の上部には、ピッチ型エレベータ２２上に移載された実
マガジン１８ａ内の加工前基板１０ａを１枚ずつ供給ガ
イド２４上に払出すため、ピストン棒３３を水平方向に
往復動させるピストンシリンダ機構３２を利用した基板
払出しプッシャ３１と、ピッチ型エレベータ２２上で、
加工後基板１０ｂが収容される実マガジン１８ｂを供給
収納ストッカ２１の収納域２１ｂに引込むためのマガジ
ン引込みプッシャ３９とが装架される。

【００２１】図４は、図２の左側から見たピッチ型エレ
ベータ２２の正面図であり、図５は図４の切断面線Ｖ−
Ｖから見た平面図である。これらの図に示すように、ピ
ッチ型エレベータ２２は、駆動用モータ２２ａの回転
を、モータプーリ２２ｂ、ベルト２２ｃ、ドライビング
プーリ２２ｄを介してリフト手段３４に伝達するように
形成される。このリフト手段３４は、四隅角の上部およ
び下部に設けられ、実マガジン１８ａ，１８ｂの進行方
向に沿う軸線ｌ（図５参照）に平行な回転軸線を有する
上下部のスプロケット５４，５５と、同一鉛直線上にあ
る上部および下部のスプロケット５４，５５に噛合うエ
ンドレスの４本のチエン５６と、前記実マガジン１８
ａ，１８ｂの進行方向に沿う軸線ｌを挟んで対向し、か
つ前後（図５の上下）のチエン５６，５６にわたって固
着される複数のＬ形ガイド５７とを有する。Ｌ形ガイド
５７は、Ｌ形に一体形成された自由片５７ａと固定片５
７ｂとから成り、前記軸線ｌを挟む左右（図５の左右）
チエンの対向面側において、Ｌ形直角面が互いに対向
し、自由片５７ａを下方にし、チエンの長手方向にマガ
ジンラック１３の高さよりも大きい一定間隔をおき、固
定片５７ｂの外側面がチエン５６に接する姿勢で固定さ
れる。また、左右チエンは、同速で、かつ所定のピッチ
ずつ間欠的に上昇する方向へ駆動されるが、この駆動
は、前記ドライビングプーリ２２ｄを介し図示外の間欠
駆動機構によって与えられる。

【００２２】このように、ピッチ型エレベータ２２は、
リフト手段３４の左右のＬ形ガイド５７の自由片５７ａ
でマガジンラック１３の両側底部を引掛けて持ち上げる
ようチエン５６が一定方向に回転駆動され、かつＬ形ガ
イド５７はチエン５６のまわりの長手方向に一定間隔を
おいて複数組設けられている。このピッチ型エレベータ
２２によると、従来技術で示した昇降テーブル４，８を
用いる場合に生ずる昇降テーブルの復帰時間が不用とな
り、昇降テーブルより構造が簡単で、しかも作業性が高
い。

【００２３】供給ガイド２３および収納ガイド２４は、
加工処理装置１の基板入口１１および基板出口１２に対
向してそれぞれ配設され、キャリーベルト２３ａ，２４
ａを備えている。

【００２４】次に図６に示す斜視図に従ってマガジンラ
ックを説明する。マガジンラック１３は、実施例による
と、横幅Ｗ＝４００ｍｍ、奥行Ｌ＝４６０ｍｍ、高さＨ
＝５６８ｍｍの立方体状とされ、頂板１３ａと底板１３
ｂとを四方の支柱１３ｃで固定し、横幅方向一方側（図
６の右側）に固定みぞ板１４が、他方側（図の左側）に
可動みぞ板１５が直立状に設けられる。

【００２５】これら両みぞ板１４，１５には、互いの対
向面に、水平方向に沿う対称のみぞ１４ａ，１５ａが形
成される。これらのみぞ１４ａ，１５ａは、たとえば上
下方向に１０ｍｍピッチとされ、上下に５０段設けられ
る。これらの対向する２つのみぞ１４ａ，１５ａ間に
は、それぞれ基板が１個ずつ収容可能であり、したがっ
て１個のマガジンラック１３には最高で５０個の基板が
収容されることになる。前記可動みぞ板１５は収容され
る基板の幅に合わせて固定みぞ板１４との間隔が調整可
能とされる。すなわち、前記頂板１３ａおよび底板１３
ｂには、横幅方向に沿う平行な２条ずつのスリットガイ
ド１６が設けられ、このガイド１６と固定手段１７とに
よって可動みぞ板１５が固着可能とされる。

【００２６】前記固定手段１７は、頂板１３ａ、底板１
３ｂの外面に当接配置される座板１７ａと、この座板１
７ａを経て前記スリットガイド１６を挿通し、可動みぞ
板１５の頂部および底部に螺合するスライド螺子１７ｂ
とから成り、このスライド螺子１７ｂを締めつけること
によって、可動みぞ板１５と座板１７ａとの間に頂板１
３ａや底板１３ｂを挟圧して可動みぞ板１５を固定する
ことができる。固定みぞ板１４と可動みぞ板１５との好
ましい可変間隔は、９０〜３３０ｍｍとされる。

【００２７】この一実施例に示す基板搬送装置による
と、供給収納ストッカ２１は加工処理装置１の一方側方
に設けられるので、加工前基板１０ａが供給される側
と、加工後基板１０ｂが収納される側とは同一側に定め
られ、一体となった供給収納ストッカ２１が利用でき、
ピッチ型エレベータ２２も供給用および収納用として共
用できる。したがって、上記基板搬送装置を利用する場
合、加工前の基板１０ａは、マガジンラック１３に収容
されて加工処理装置１の一方側方に配置される供給収納
ストッカ２１の供給域２１ａに乗載される。この加工前
基板１０ａが詰った実マガジン１８ａは、供給側マガジ
ン搬送コンベア３０ａが駆動されて、ピッチ型エレベー
タ２２の駆動経路上に搬送される。この実マガジン１８
ａは、その左右両側底部を、駆動中のピッチ型エレベー
タ２２のチエン５６に固定されるＬ形ガイド５７の自由
片５７ａで掬い上げられ、円滑にピッチ型エレベータ２
２への移載が行なわれる。

【００２８】このように実マガジン１８ａがピッチ型エ
レベータ２２上に正しく乗載されると、図２に示すよう
に、前記ピッチ型エレベータ２２の作動によって実マガ
ジン１８ａを、マガジンラック１３のみぞ板１４，１５
のみぞの所定ッチずつ間欠的に上昇させ、最上部の加工
前基板１０ａを基板払出しプッシャ３１のピストン棒３
３に対向させたのち、該基板払出しプッシャ３１を作動
させ、前記最上部の基板１０ａを供給ガイド２３を経て
加工処理装置１の供給コンベア２６上に送入する。

【００２９】最上部の基板１０ａが送入されるとピッチ
型エレベータ２２は、再び基板の収容間隙に応じて所定
ピッチ分だけ回転し、次の上部の基板１０ａを前記と同
様にして供給コンベア２６上に送入する。このように実
マガジン１８ａ内の加工前基板１０ａは上部から下部へ
と順次供給コンベア２６上に送入される。

【００３０】供給コンベア２６上に送入された加工前基
板１０ａは、該コンベア２６によって送られ、メインコ
ンベア２７上に送給されて加工が施される。加工後基板
１０ｂは搬送方向に沿って正転状態の正逆転コンベア２
８へ送給される。この正逆転コンベア２８は、上方のリ
ターンコンベア２９の高さまで上昇し、逆転し、乗載さ
れるている加工後基板１０ｂを次のリターンコンベア２
９に移す。

【００３１】リターンコンベア２９上に送給された加工
後基板１０ｂは、キャリーベルト２４ａが駆動される収
納ガイド２４に至り、作動する基板返還プッシャ３５の
フック３８によって押出され、元のマガジンラックに返
還収容されることになる。いま、加工前基板１０ａが１
０ｍｍ間隔でマガジンラック１３に収容されているもの
と仮定すると、上記のように作動するためには、ピッチ
型エレベータ２２が１０ｍｍずつ間欠回転していること
になり、先に払出された基板は内部搬送手段２５に仕掛
中ということになる。

【００３２】加工が終り、加工処理装置１から収納ガイ
ド２４上に送出された加工後基板１０ｂは、マガジンラ
ック１３に返還されるべく、ピッチ型エレベータ２２に
よってマガジンラック１３が持ち上げられ、この加工後
基板１０ｂが、それが収容される空所に対向するに至る
と、基板返還プッシャ３５が作動して、該基板１０ｂを
マガジンラック１３に押出す。このように、加工後基板
１０ｂは順次上部から下部へと元のマガジンラック１３
に収容される。

【００３３】このようにして１つの実マガジン中の加工
前基板１０ａがすべて加工され、加工後基板１０ｂとし
て元のマガジンラック１３に返還収容されると、ピッチ
型エレベータ２２がこの実マガジン１８ｂを、供給収納
ストッカ２１の収納域２１ｂと同じ高さまで持ち上げ、
マガジン引込みプッシャ３９を作動させて供給収納スト
ッカ２１上に移載される。続いてマガジンコンベア３０
ｂが駆動されて、この加工後基板入の実マガジン１８ｂ
は、供給収納ストッカ２１の収納域２１ｂの所定位置ま
で進んで一時貯留される。

【００３４】図７は、本発明の他の実施例を示す側面図
である。この実施例は加工処理装置１内にリターンコン
ベアを設置できない場合に適用される。この実施例の基
板供給収納装置４０では、供給収納ストッカ４１、ピッ
チ型エレベータ４２、供給ガイド４３は前述の一実施例
と同様に、加工処理装置１の一方側方に設けられるが、
加工後基板１０ｂの基板出口１２は加工処理装置１の他
方側面に設けられ、内部搬送手段４４は、大略水平方向
に配置されて基板出口１２に向く供給コンベア４５とメ
インコンベア４６と送出コンベア４７とを備える。

【００３５】また返還収納手段４８として、前記基板出
口１２に対向して設けられ、昇降自在でかつ正逆回転す
る第１収納ガイド４９と、前記供給ガイド４３の上方に
設けられ、昇降自在な第２収納ガイド５０と、加工処理
装置１の上方に設けられ、前記第１収納ガイド４９およ
び第２収納ガイド５０の上昇時にこれら両ガイドに連接
するように配置されるリターンコンベア５１とを有す
る。

【００３６】なお、他の実施例の基板搬送装置の場合に
は、加工後基板１０ｂは、加工処理装置１の他方側方の
第１収納ガイド４９へ送出され、第１収納ガイド４９が
リターンコンベア５１の高さまで上昇し、そのキャリー
ベルトが逆回転されることによってリターンコンベア５
１に給送され、さらに第２収納ガイド５０に移される。
この加工後基板１０ｂが乗載された第２収納ガイド５０
は、供給ガイド４３の上方たとえば５０ｍｍの位置まで
下降し、前実施例と同様に図示外の基板返還プッシャが
作動して加工後基板１０ｂを元のマガジンラックに返還
収容する。

【００３７】その他の作動態様は前記一実施例と同様で
ある。

【００３８】前記一実施例に関して、内部搬送手段２５
における供給コンベア２６とリターンコンベア２９との
高さの差ｈは、基板が収容されるマガジンラック１３の
みぞ板１４，１５のみぞピッチによって定められ、ま
た、前記他の実施例の場合、マガジンラック１３の空所
へ基板を返還収容するために下降したときの第２収納ガ
イド５０と供給ガイド４３との高低間隔も上記に準じて
定められ、さらに、内部搬送手段や返還収納手段におけ
るコンベアの走行スピードおよび基板加工のための所要
時間によっても適宜変更される。

【００３９】

【発明の効果】本発明によれば、基板搬送のための基板
供給および基板収納は、加工処理装置の一方側方におい
て、共用の供給収納ストッカおよび共用のピッチ型エレ
ベータを利用してマガジンラックから加工前基板を取出
し、同一のマガジンラックへ加工後基板を返還するよう
にしたので、工程および設備が極めて簡素化され、作業
性が向上し、マガジンラックも加工処理装置の一方側で
使用可能な数で足りることになり、作業現場の整理が良
好となり、狭いスペースで間に合い、経費節減にも大き
く役立つ。したがって、職場環境が向上し、製品単価の
低減が図れるなどの効果が期待できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の基板搬送装置の一実施例の側面図であ
る。

【図２】図１の部分拡大側面図である。

【図３】図１の他の部分拡大側面図である。

【図４】ピッチ型エレベータの正面図である。

【図５】図４の切断面線Ｖ−Ｖから見た平面図である。

【図６】マガジンラックの斜視図である。

【図７】本発明の基板搬送装置の他の実施例の側面図で
ある。

【図８】従来の基板搬送装置の側面図である。

【符号の説明】

１ 加工処理装置 １０ａ 加工前基板 １０ｂ 加工後基板 １１ 基板入口 １２ 基板出口 １３ マガジンラック １８ａ 加工前基板入実マガジン １８ｂ 加工後基板入実マガジン ２０，４０ 基板供給収納装置 ２１，４１ 供給収納ストッカ ２２，４２ ピッチ型エレベータ ２３，４３ 供給ガイド ２５ 内部搬送手段 ３１ 基板払出しプッシャ ３４ リフト手段 ３５ 基板返還プッシャ ４８ 返還収納手段

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板の加工処理装置と、基板供給収納装
   置とを組合わせた基板搬送装置であって、 前記基板供給収納装置は、加工処理装置の一方側方に設
   けられ、複数の基板が収容されたマガジンを一時貯留す
   る供給収納ストッカと、該ストッカに隣接し、加工処理
   装置側に設けられるピッチ型エレベータと、該ピッチ型
   エレベータと加工処理装置との間に設けられる供給ガイ
   ドおよび収納ガイドとを含み、 供給収納ストッカは、下部を加工前基板入の実マガジン
   の供給域、上部を加工後基板入の実マガジンの収納域と
   され、 加工処理装置は、内部搬送手段を備え、この内部搬送手
   段に対応して一方側面の下部および上部に、それぞれ基
   板入口および基板出口が形成されており、 前記供給ガイドおよび収納ガイドは、加工処理装置の前
   記基板入口および基板出口にそれぞれ対向して固定配置
   されることを特徴とする基板搬送装置。
2. 【請求項２】 基板の加工処理装置と、基板供給収納装
   置とを組合わせた基板搬送装置であって、 前記基板供給収納装置は、加工処理装置の一方側方に設
   けられ、複数の基板が収容されるマガジンを一時貯留す
   る供給収納ストッカと、該ストッカに隣接し、加工処理
   装置側に設けられるピッチ型エレベータと、該ピッチ型
   エレベータと加工処理装置との間に設けられる供給ガイ
   ドと、加工処理装置の他方側方、上方および一方側方に
   わたって設けられる返還収納手段とを含み、 供給収納ストッカは、下部を加工前基板入の実マガジン
   の供給域、上部を加工後基板入の実マガジンの収納域と
   され、 加工処理装置は、内部搬送手段を備え、この内部搬送手
   段に対応して、一方側面に加工前基板の基板入口が、ま
   た他方側面に加工後基板の基板出口が形成され、供給ガ
   イドは、加工処理装置の基板入口に対向して固定配置さ
   れ、 返還収納手段は、基板出口に対応して加工処理装置の他
   方側方に配置され、昇降可能な第１収納ガイドと、加工
   処理装置の一方側方で前記供給ガイドの上方に配置され
   昇降可能な第２収納ガイドと、加工処理装置の上方に配
   置され、前記第１および第２収納ガイドの上昇時にこれ
   ら両ガイドと連接するリターンコンベアとから成ること
   を特徴とする基板搬送装置。
3. 【請求項３】 複数の加工前基板が収容された実マガジ
   ンが、加工処理装置の一方側方に配置される供給収納ス
   トッカの供給域から、ピッチ型エレベータ上へ移載さ
   れ、前記実マガジンから基板を１個ずつ取出し、基板入
   口から加工処理装置に供給して加工を施し、加工後基板
   は、加工処理装置の一方側において、前記加工前基板が
   取出された昇降テーブル上の元のマガジンラックに返還
   収容され、この加工後基板入の実マガジンは、前記ピッ
   チ型エレベータによって持ち上げられ、再び元の供給収
   納ストッカの収納域に移載されるようにしたことを特徴
   とする基板搬送方法。