CN102086171A - 肟酯化合物及含有该化合物的光聚合引发剂 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种新型化合物和使用该化合物的光聚合引发剂以及感光性组合物,该化合物稳定性优异、升华性低、显影性优异、可见光区域的透射率高,作为高效地吸收365nm等近紫外光而被活化的高感度的光聚合引发剂是有用的。具体而言,提供以下述通式(I)表示的肟酯化合物、含有该化合物的光聚合引发剂、以及在该光聚合引发剂中含有具有烯键式不饱和键的聚合性化合物而成的感光性组合物。,式中,R1及R2表示R11、COR11、CONR12R13或CN等,R11、R12及R13表示碳原子数为1~20的烷基等,R3及R4表示R11、OR11、COR11、CONR12R13、OCOR11、CN或卤原子等,a和b表示0~4的整数,X表示氧原子、硫原子等,R5表示OH、COOH或以通式(II)表示的基团。
Description
技术领域
本发明涉及作为感光性组合物中使用的光聚合引发剂是有用的新型肟酯化合物、含有该化合物的光聚合引发剂、以及在该光聚合引发剂中含有具有烯键式不饱和键的聚合性化合物而成的感光性组合物。
背景技术
感光性组合物是在具有烯键式不饱和键的聚合性化合物中添加光聚合引发剂而得到的组合物,由于通过照射能量射线(光)能够使其聚合固化,因此被用于光固化性油墨、感光性印刷版、各种光致抗蚀剂等中。
作为上述感光性组合物中使用的光聚合引发剂,下述专利文献1~11中提出了使用肟酯化合物。
但是,上述专利文献中记载的肟酯化合物中,能满足感度的肟酯化合物存在可见光区域的透射率低、在滤色器中得不到所期望的颜色的问题(特别是在保护膜那样的透明的感光性组合物、或使用了蓝色颜料或色素的适合滤色器的抗蚀剂中混合在380~450nm具有吸收的化合物时,明度、色纯度降低),另外,可见光区域的透射率高的肟酯化合物存在感度不是十分令人满意的问题,因而寻求兼具两种特性的光聚合引发剂。
另外,滤色器等的含有色料的着色碱性显影性感光性树脂组合物要求为高感度,有必要使抗蚀剂中的光聚合引发剂为高浓度。
但是,高浓度的光聚合引发剂成为显影性恶化所致的残渣的产生、升华物所致的光掩模或加热炉的污染等的原因。
专利文献1:日本特开2000-80068号说明书
专利文献2:日本特开2001-233842号说明书
专利文献3:日本特开2001-302871号说明书
专利文献4:日本特表2004-534797号说明书
专利文献5:日本特开2005-25169号说明书
专利文献6:日本特开2005-128483号说明书
专利文献7:日本特开2005-242279号说明书
专利文献8:日本特开2005-242280号说明书
专利文献9:日本特开2006-16545号说明书
专利文献10:日本特开2008-3164号说明书
专利文献11:日本专利3754065号说明书
发明内容
本发明所要解决的问题在于目前还没有具有令人满意的感度、且可见光区域的透射率高的光聚合引发剂。
因此,本发明的目的在于,提供一种新型化合物及使用该化合物的光聚合引发剂以及感光性组合物,该化合物稳定性优异、升华性低、显影性优异、可见光区域的透射率高、作为高效地吸收365nm等近紫外光而被活化的高感度的光聚合引发剂是有用的。
本发明通过提供以下述通式(I)表示的新肟酯化合物及含有该化合物的光聚合引发剂,实现了上述目的。
(式中,R1及R2各自独立地表示R11、OR11、COR11、SR11、CONR12R13或CN,
R11、R12及R13各自独立地表示氢原子、碳原子数为1~20的烷基、碳原子数为6~30的芳基、碳原子数为7~30的芳烷基或碳原子数为2~20的杂环基,
R11、R12及R13所表示的取代基的氢原子可以进一步被OR21、COR21、SR21、NR22R23、CONR22R23、-NR22-OR23、-NCOR22-OCOR23、-C(=N-OR21)-R22、-C(=N-OCOR21)-R22、CN、卤原子、或COOR21取代,
R21、R22及R23各自独立地表示氢原子、碳原子数为1~20的烷基、碳原子数为6~30的芳基、碳原子数为7~30的芳烷基或碳原子数为2~20的杂环基,
R21、R22及R23所表示的取代基的氢原子可以进一步被CN、卤原子、羟基或羧基取代,
R11、R12、R13、R21、R22及R23所表示的取代基的亚烷基部分还可以被-O-、-S-、-COO-、-OCO-、-NR24-、-NR24COO-、-OCONR24-、-SCO-、-COS-、-OCS-或-CSO-中断1~5次,
R24表示氢原子、碳原子数为1~20的烷基、碳原子数为6~30的芳基、碳原子数为7~30的芳烷基或碳原子数为2~20的杂环基,
R11、R12、R13、R21、R22及R23所表示的取代基的烷基部分可以是分支侧链,也可以是环状烷基,另外,R12和R13以及R22和R23可以分别一起形成环,
R3及R4各自独立地表示R11、OR11、SR11、COR11、CONR12R13、NR12COR11、OCOR11、COOR11、SCOR11、OCSR11、COSR11、CSOR11、CN或卤原子,
a和b各自独立地表示0~4的整数,
X表示氧原子、硫原子、硒原子、CR31R32、CO、NR33或PR34,
R31、R32、R33及R34各自独立地表示氢原子、碳原子数为1~20的烷基、碳原子数为6~30的芳基或碳原子数为7~30的芳烷基;R31、R32、R33及R34所表示的取代基的烷基部分可以是分支侧链,也可以是环状烷基,R31、R32、R33及R34可以各自独立地与相邻的任一苯环一起形成环,
R5表示OH、COOH或以下述通式(II)表示的基团。)
(式中,Z1为连接部分,表示-O-、-S-、-NR22-、-NR22CO-、-SO2-、-CS-、-OCO-或-COO-,
Z2为连接部分,表示被1~3个R6取代的碳原子数为1~20的烷基、碳原子数为6~30的芳基、碳原子数为7~30的芳烷基或碳原子数为2~20的杂环基,
Z2所表示的连接部分的亚烷基部分也可以被-O-、-S-、-COO-、-OCO-、-NR22-、-NR22COO-、-OCONR22-、-SCO-、-COS-、-OCS-或-CSO-中断1~5次,Z2所表示的连接部分的亚烷基部分可以是分支侧链,也可以是环状亚烷基,
R6表示OR41、SR41、CONR42R43、NR42COR43、OCOR41、COOR41、SCOR41、OCSR41、COSR41、CSOR41、CN或卤原子,
R41、R42及R43各自独立地表示氢原子、碳原子数为1~20的烷基、碳原子数为6~30的芳基或碳原子数为7~30的芳烷基,R41、R42及R43所表示的取代基的烷基部分可以是分支侧链,也可以是环状烷基,R42和R43也可以一起形成环,c表示1~3的整数。)
另外,本发明提供在上述光聚合引发剂中含有具有烯键式不饱和键的聚合性化合物而成的感光性组合物。
另外,本发明提供在上述感光性组合物中含有可以具有烯键式不饱和基的具有碱性显影性的化合物而成的碱性显影性感光性树脂组合物。
另外,本发明提供在上述碱性显影性感光性树脂组合物中进一步含有色料而成的着色碱性显影性感光性树脂组合物。
另外,本发明提供对上述感光性组合物、碱性显影性感光性树脂组合物或着色碱性显影性感光性树脂组合物照射能量射线而得到的固化物。
本发明的肟酯化合物由于可见光区域的透射率高、升华性低、显影性优异、对365nm(i射线)等明线高效地产生自由基,因而作为感光性组合物中使用的光聚合引发剂是有用的。
具体实施方式
以下根据优选的实施方式详细地说明本发明的肟酯化合物及含有该化合物的光聚合引发剂。
本发明的肟酯化合物是以上述通式(I)表示的新化合物。该肟酯化合物中存在因肟的双键而产生的几何异构体,但不对它们进行区分。
即,本说明书中,以上述通式(I)表示的化合物、以及后述的该化合物的优选方式即以下述通式(Ⅲ)表示的化合物及其例示化合物表示两者的混合物或其中任一方,并不限定于表示异构体的结构。
作为以上述通式(I)中的R11、R12、R13、R21、R22、R23、R24、R31、R32、R33及R34、以及以上述通式(II)中的R22、R41、R42及R43表示的碳原子数为1~20的烷基,例如可列举出甲基、乙基、丙基、异丙基、丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、戊基、异戊基、叔戊基、己基、庚基、辛基、异辛基、2-乙基己基、叔辛基、壬基、异壬基、癸基、异癸基、十一烷基、十二烷基、十四烷基、十六烷基、十八烷基、二十烷基、环戊基、环己基、环己基甲基等。
作为以上述通式(I)中的R11、R12、R13、R21、R22、R23、R24、R31、R32、R33及R34、以及以上述通式(II)中的R22、R41、R42及R43表示的碳原子数为6~30的芳基,例如可列举出苯基、甲苯基、二甲苯基、乙基苯基、萘基、蒽基、菲基、被1个以上的上述烷基取代的苯基、联苯基、萘基、蒽基等。
作为以上述通式(I)中的R11、R12、R13、R21、R22、R23、R24、R31、R32、R33及R34、以及以上述通式(II)中的R22、R41、R42及R43表示的碳原子数为7~30的芳烷基,例如可列举出苄基、α-甲基苄基、α,α-二甲基苄基、苯乙基等。
作为以上述通式(I)中的R11、R12、R13、R21、R22、R23及R24表示的碳原子数为2~20的杂环基,例如可优选列举出吡啶基、嘧啶基、呋喃基、噻嗯基、四氢呋喃基、二氧杂戊环基、苯并噁唑-2-基、四氢吡喃基、吡咯烷基、咪唑烷基、吡唑烷基、噻唑烷基、异噻唑烷基、噁唑烷基、异噁唑烷基、哌啶基、哌嗪基、吗啉基等5~7元杂环。
作为上述通式(I)中的R12和R13、R22和R23、以及上述通式(II)中的R42和R43可一起形成的环、以及R31、R32、R33及R34可以与相邻的苯环一起形成的环,例如可优选列举出环戊烷环、环己烷环、环戊烯环、苯环、哌啶环、吗啉环、内酯环、内酰胺环等5~7元环。
上述通式(II)中的Z2表示被1~3个R6取代的碳原子数为1~20的烷基、碳原子数为6~30的芳基、碳原子数为7~30的芳烷基或碳原子数为2~20的杂环基。
作为被1~3个R6取代的碳原子数为1~20的烷基,例如c为1的情况下,可列举出亚甲基、亚乙基、亚丙基、甲基亚乙基、亚丁基、1-甲基亚丙基、2-甲基亚丙基、1,2-二甲基亚丙基、1,3-二甲基亚丙基、1-甲基亚丁基、2-甲基亚丁基、3-甲基亚丁基、4-甲基亚丁基、2,4-二甲基亚丁基、1,3-二甲基亚丁基、亚戊基、亚己基、亚庚基、亚辛基、亚壬基、亚癸基、亚十二烷基、亚十三烷基、亚十四烷基、亚十五烷基、乙烷-1,1-二基、丙烷-2,2-二基等亚烷基。
作为被1~3个R6取代的碳原子数为6~30的芳基,例如c为1的情况下,可列举出1,2-亚苯基、1,3-亚苯基、1,4-亚苯基、2,6-亚萘基、1,4-亚萘基、2,5-二甲基-1,4-亚苯基、二苯基甲烷-4,4’-二基、2,2-二苯基丙烷-4,4’-二基、二苯基硫醚-4,4’-二基、二苯基砜-4,4′-二基等亚芳基。
另外,作为被1~3个R6取代的碳原子数为7~30的芳烷基,例如c为1的情况下,可列举出以[化3]表示的连结基等芳基亚烷基。
[化3]
另外,作为被1~3个R6取代的碳原子数为2~20的杂环基,例如c为1的情况下,可列举出2,5-吡啶二基、2,6-吡啶二基、2,5-嘧啶二基、2,5-噻吩二基、3,4-四氢呋喃二基、2,5-四氢呋喃二基、2,5-呋喃二基、3,4-噻唑二基、2,5-苯并呋喃二基、2,5-苯并噻吩二基、N-甲基吲哚-2,5-二基、2,5-苯并噻唑二基、2,5-苯并噁唑二基等2价的杂环基。
另外,作为以上述通式(I)中的R3及R4、上述通式(II)中的R6表示的卤原子、以及上述通式(I)中的可以取代R11、R12、R13、R21、R22及R23的卤原子,可列举出氟、氯、溴、碘。
以上述通式(I)中的R11、R12、R13、R21、R22及R23表示的取代基、以及以上述通式(II)中的Z2表示的连接部分的亚烷基部分可以被-O-、-S-、-COO-、-OCO-、-NR22-、-NR22CO-、-NR22COO-、-OCONR22-、-SCO-、-COS-、-OCS-或-CSO-中断1~5次,此时中断的键合基团可以是1种或2种以上基团,在为可连续中断的基团的情况下,可以是2个以上连续地中断。
另外,以上述通式(I)中的R11、R12、R13、R21、R22、R23、R31、R32、R33及R34表示的取代基、以及以上述通式(II)中的Z2表示的连接部分、及以R41、R42及R43表示的取代基的烷基(亚烷基)部分可以是分支侧链,也可以是环状烷基。
本发明的肟酯化合物中,由于上述通式(I)中的X为硫原子或NR33、通式(I)中的R33可以是分支侧链也可以是环状烷基的碳原子数为1~20的烷基的化合物;以下述通式(III)表示的化合物;上述通式(II)中的Z1为-O-或-OCO-的化合物的感度高、制造容易,因而优选。
(式中,R1、R2、R3、R4、R5、X、a及b与上述通式(I)相同。)
另外,本发明的肟酯化合物中,上述通式(I)及上述通式(III)中的R5为OH或COOH的化合物;上述通式(II)中的R6为OH或COOH的化合物、特别是通式(II)中的c为1的化合物;上述通式(II)中的Z2为被1~3个R6取代的碳原子数为1~20的烷基、该烷基中的亚烷基部分可以被-O-、-OCO-或-COO-中断1~5次的化合物,特别是Z2为碳原子数为1~20的亚烷基、该亚烷基中的亚甲基被-O-中断1~5次的化合物,由于显影性优异而优选。
进而,本发明的肟酯化合物中,上述通式(II)中的R6取代Z2末端的氢的化合物由于容易制造而优选。另外,本发明中末端的氢原子是指,(1)取代基为烷基的情况下,从键合部起碳原子数最多的烷基链末端的甲基的氢原子,(2)取代基为无取代的环结构的情况下,环上键合的全部的氢,(3)取代基为被烷基进一步取代的环结构的情况下,进一步取代环的烷基链末端的甲基的氢原子。
因此,作为以上述通式(I)表示的本发明的肟酯化合物的优选具体例子,可列举出以下的化合物No.1~No.108。但是,本发明不受以下化合物的任何限定。
以上述通式(I)表示的本发明的肟酯化合物没有特别限定,例如可以通过日本特开2000-80068号公报中记载的方法来制造。作为方法之一,可列举出按照下述[化20]的反应式利用以下的方法进行制造的方法。
即,通过使酮体1和亚硝酸酯在盐酸存在下反应,得到肟化合物2。接着,通过使该肟化合物2与酸酐3或酰氯3’反应,得到以上述通式(I)表示的本发明的肟酯化合物。下述反应式中,记载了上述通式(I)中的X为硫原子的情况,但通式(I)中的X为氧原子、硒原子、CR41R42、NR43或PR44的肟酯化合物也可以按照上述的方法来制造。
[化20]
(式中,R1、R2及R5与上述通式(I)相同。)
以上说明的本发明的新肟酯化合物作为光聚合引发剂是有用的。
本发明的光聚合引发剂含有至少一种本发明的肟酯化合物,特别是作为具有烯键式不饱和键的聚合性化合物的光聚合引发剂是有用的。另外本发明的光聚合引发剂中的本发明的肟酯化合物的含量优选为30~100质量%,更优选为50~100质量%。
本发明的感光性组合物中,作为必须成分,含有本发明的光聚合引发剂及具有烯键式不饱和键的聚合性化合物;作为任意成分,组合含有可具有烯键式不饱和基的具有碱性显影性的化合物、无机化合物、色料、溶剂等成分。
作为上述具有烯键式不饱和键的聚合性化合物,没有特别限定,可以使用以往在感光性组合物中使用的化合物,例如可举出乙烯、丙烯、丁烯、异丁烯、氯乙烯、偏氯乙烯、偏氟乙烯、四氟乙烯等不饱和脂肪族烃;(甲基)丙烯酸、α-氯丙烯酸、衣康酸、马来酸、柠康酸、富马酸、纳迪克酸(himic acid)、巴豆酸、异巴豆酸、乙烯基醋酸、烯丙基醋酸、肉桂酸、山梨酸、中康酸、琥珀酸单〔2-(甲基)丙烯酰氧基乙基〕酯、邻苯二甲酸单〔2-(甲基)丙烯酰氧基乙基〕酯、ω-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯等在两末端具有羧基和羟基的聚合物的单(甲基)丙烯酸酯;羟乙基(甲基)丙烯酸酯·马来酸酯、羟丙基(甲基)丙烯酸酯·马来酸酯、二环戊二烯·马来酸酯或具有1个羧基和2个以上(甲基)丙烯酰基的多官能(甲基)丙烯酸酯等不饱和多元酸;(甲基)丙烯酸-2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-羟基丙酯、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、下述化合物No.A1~No.A4、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸正辛酯、(甲基)丙烯酸异辛酯、(甲基)丙烯酸异壬酯、(甲基)丙烯酸硬脂酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸甲氧基乙酯、(甲基)丙烯酸二甲基氨基甲酯、(甲基)丙烯酸二甲基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸氨基丙酯、(甲基)丙烯酸二甲基氨基丙酯、(甲基)丙烯酸乙氧基乙酯、(甲基)丙烯酸聚(乙氧基)乙酯、(甲基)丙烯酸丁氧基乙氧基乙酯、(甲基)丙烯酸乙基己酯、(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸四氢呋喃酯、(甲基)丙烯酸乙烯基酯、(甲基)丙烯酸烯丙基酯、(甲基)丙烯酸苄酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基乙烷三(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、三环癸烷二羟甲基二(甲基)丙烯酸酯、三[(甲基)丙烯酰基乙基]异氰脲酸酯、聚酯(甲基)丙烯酸酯低聚物等不饱和一元酸与多元醇或多元酚的酯;(甲基)丙烯酸锌、(甲基)丙烯酸镁等不饱和多元酸的金属盐;马来酸酐、衣康酸酐、柠康酸酐、甲基四氢邻苯二甲酸酐、四氢邻苯二甲酸酐、三烷基四氢邻苯二甲酸酐、5-(2,5-二氧基四氢呋喃基)-3-甲基-3-环己烯-1,2-二羧酸酐、三烷基四氢邻苯二甲酸酐-马来酸酐加成物、十二碳烯琥珀酸酐、甲基纳迪克酸酐等不饱和多元酸的酸酐;(甲基)丙烯酰胺、亚甲基双-(甲基)丙烯酰胺、二乙撑三胺三(甲基)丙烯酰胺、苯撑二甲基双(甲基)丙烯酰胺、α-氯丙烯酰胺、N-2-羟基乙基(甲基)丙烯酰胺等不饱和一元酸及多元胺的酰胺;丙烯醛等不饱和醛;(甲基)丙烯腈、α-氯丙烯腈、偏二氰乙烯、烯丙基氰等不饱和腈;苯乙烯、4-甲基苯乙烯、4-乙基苯乙烯、4-甲氧基苯乙烯、4-羟基苯乙烯、4-氯苯乙烯、二乙烯基苯、乙烯基甲苯、乙烯基苯甲酸、乙烯基苯酚、乙烯基磺酸、4-乙烯基苯磺酸、乙烯基苄基甲基醚、乙烯基苄基缩水甘油基醚等不饱和芳香族化合物;甲基乙烯基酮等不饱和酮;乙烯基胺、烯丙基胺、N-乙烯基吡咯烷酮、乙烯基哌啶等不饱和胺化合物;烯丙基醇、巴豆醇等乙烯基醇;乙烯基甲基醚、乙烯基乙基醚、正丁基乙烯基醚、异丁基乙烯基醚、烯丙基缩水甘油基醚等乙烯基醚;马来酰亚胺、N-苯基马来酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺等不饱和酰亚胺类;茚、1-甲基茚等茚类;1,3-丁二烯、异戊二烯、氯丁二烯等脂肪族共轭二烯类;聚苯乙烯、聚(甲基)丙烯酸甲酯、聚(甲基)丙烯酸正丁酯、聚硅氧烷等在聚合物分子链的末端具有单(甲基)丙烯酰基的大分子单体类;氯乙烯、偏氯乙烯、琥珀酸二乙烯基酯、邻苯二甲酸二烯丙基酯、磷酸三烯丙基酯、异氰脲酸三烯丙基酯、乙烯基硫醚、乙烯基咪唑、乙烯基噁唑啉、乙烯基咔唑、乙烯基吡咯烷酮、乙烯基吡啶、含羟基的乙烯基单体及聚异氰酸酯化合物的乙烯基氨基甲酸酯化合物、含羟基的乙烯基单体及聚环氧化合物的乙烯基环氧化合物。
其中,优选在两末端具有羧基和羟基的聚合物的单(甲基)丙烯酸酯、具有1个羧基与2个以上(甲基)丙烯酰基的多官能(甲基)丙烯酸酯、不饱和一元酸与多元醇或多元酚的酯中含有本发明的肟酯化合物的光聚合引发剂。
这些聚合性化合物可以单独使用或者混合2种以上使用,另外,当混合2种以上使用时,还可预先将它们共聚制成共聚物后使用。
作为上述可具有烯键式不饱和基的具有碱性显影性的化合物,只要可溶于碱性水溶液,则没有特别限定,例如可列举出日本特开2004-264414号公报中记载的树脂等。
另外,作为上述可具有烯键式不饱和基的具有碱性显影性的化合物,可以使用丙烯酸酯的共聚物,苯酚和/或甲酚酚醛清漆环氧树脂,具有多官能环氧基的聚苯基甲烷型环氧树脂,环氧丙烯酸酯树脂,通过使不饱和一元酸、进而使多元酸酐作用于以下述通式(Ⅳ)表示的环氧化合物等环氧化合物而获得的树脂。
其中,优选通过使不饱和一元酸、进而使多元酸酐作用于以下述通式(Ⅳ)表示的环氧化合物等环氧化合物而获得的树脂。
另外,上述可具有烯键式不饱和键的具有碱性显影性的化合物优选含有0.2~1.0当量的不饱和基团。
(式中,X1表示直接键合、亚甲基、碳原子数为1~4的亚烷基(alkylidene)、碳原子数为3~20的脂环式烃基、O、S、SO2、SS、SO、CO、OCO或以下述[化26]、[化27]或[化28]表示的取代基,上述亚烷基可以被卤原子取代,R51、R52、R53及R54各自独立地表示氢原子、碳原子数为1~5的烷基、碳原子数为1~8的烷氧基、碳原子数为2~5的链烯基或卤原子,上述烷基、烷氧基及链烯基可以被卤原子取代,m为0~10的整数,m不为0时存在的光学异构体可以是任意异构体。)
[化26]
(式中,Z3表示氢原子、可以被碳原子数为1~10的烷基或碳原子数为1~10的烷氧基取代的苯基、或可以被碳原子数为1~10的烷基或碳原子数为1~10的烷氧基取代的碳原子数为3~10的环烷基,Y1表示碳原子数为1~10的烷基、碳原子数为1~10的烷氧基、碳原子数为2~10的链烯基或卤原子,上述烷基、烷氧基及链烯基可以被卤原子取代,d为0~5的整数。)
[化27]
[化28]
(式中,Y2及Z4各自独立地表示可被卤原子取代的碳原子数为1~10的烷基、可被卤原子取代的碳原子数为6~20的芳基、可被卤原子取代的碳原子数为6~20的芳氧基、可被卤原子取代的碳原子数为6~20的芳硫基、可被卤原子取代的碳原子数为6~20的芳基链烯基、可被卤原子取代的碳原子数为7~20的芳烷基、可被卤原子取代的碳原子数为2~20的杂环基、或卤原子,上述烷基及芳烷基中的亚烷基部分可以被不饱和键、-O-或-S-中断,Z4可以在相邻的Z4之间形成环,p表示0~4的整数,q表示0~8的整数,r表示0~4的整数,s表示0~4的整数,r和s的数的总计为2~4的整数。)
作为作用于上述环氧化合物的上述不饱和一元酸,可举出丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸、肉桂酸、山梨酸、甲基丙烯酸羟乙基酯·马来酸酯、丙烯酸羟乙基酯·马来酸酯、甲基丙烯酸羟丙基酯·马来酸酯、丙烯酸羟丙基酯·马来酸酯、二环戊二烯·马来酸酯等。
另外,作为在作用了上述不饱和一元酸后作用的上述多元酸酐,可举出联苯基四羧酸二酐、四氢邻苯二甲酸酐、琥珀酸酐、联苯四甲酸酐、马来酸酐、偏苯三酸酐、均苯四酸酐、2,2’-3,3’-二苯甲酮四羧酸酐、乙二醇双脱水偏苯三酸酯、甘油三脱水偏苯三酸酯、六氢邻苯二甲酸酐、甲基四氢邻苯二甲酸酐、纳迪克酸酐、甲基纳迪克酸酐、三烷基四氢邻苯二甲酸酐、六氢邻苯二甲酸酐、5-(2,5-二氧四氢呋喃基)-3-甲基-3-环己烯-1,2-二羧酸酐、三烷基四氢邻苯二甲酸酐-马来酸酐加成物、十二碳烯琥珀酸酐、甲基纳迪克酸酐等。
上述环氧化合物、上述不饱和一元酸及上述多元酸酐的反应摩尔比优选如下。
即,在具有相对于上述环氧化合物的1个环氧基加成0.1~1.0个上述不饱和一元酸的羧基而获得的结构的环氧加成物中,优选达到相对于该环氧加成物的1个羟基、上述多元酸酐的酸酐结构为0.1~1.0个的比例。
上述环氧化合物、上述不饱和一元酸及上述多元酸酐的反应可以按照常规方法进行。
作为本发明的感光性组合物的实施方式之一的本发明的碱性显影性感光性树脂组合物中,作为必须成分,含有本发明的光聚合引发剂、具有烯键式不饱和键的聚合性化合物和可具有烯键式不饱和基的具有碱性显影性的化合物;作为任意成分,组合含有无机化合物、色料、溶剂等成分。另外,本发明的碱性显影性感光性树脂组合物中,含有色料的组合物尤其也称为本发明的着色碱性显影性感光性树脂组合物。
上述具有烯键式不饱和键的聚合性化合物与上述可具有烯键式不饱和基的具有碱性显影性的化合物可以是同一化合物,也可以不同,另外,可以单独使用或并用2种以上。
为了进行酸值调整以改良本发明的(着色)碱性显影性感光性树脂组合物的显影性,可以将上述可具有烯键式不饱和键的具有碱性显影性的化合物进一步与单官能或多官能环氧化合物一起使用。上述可具有烯键式不饱和键的具有碱性显影性的化合物优选固态成分的酸值为5~120mgKOH/g的范围,单官能或多官能环氧化合物的使用量优选以满足上述酸值的方式来进行选择。
作为上述单官能环氧化合物,可举出甲基丙烯酸缩水甘油酯、甲基缩水甘油基醚、乙基缩水甘油基醚、丙基缩水甘油基醚、异丙基缩水甘油基醚、丁基缩水甘油基醚、异丁基缩水甘油基醚、叔丁基缩水甘油基醚、戊基缩水甘油基醚、己基缩水甘油基醚、庚基缩水甘油基醚、辛基缩水甘油基醚、壬基缩水甘油基醚、癸基缩水甘油基醚、十一烷基缩水甘油基醚、十二烷基缩水甘油基醚、十三烷基缩水甘油基醚、十四烷基缩水甘油基醚、十五烷基缩水甘油基醚、十六烷基缩水甘油基醚、2-乙基己基缩水甘油基醚、烯丙基缩水甘油基醚、炔丙基缩水甘油基醚、对甲氧基乙基缩水甘油基醚、苯基缩水甘油基醚、对甲氧基缩水甘油基醚、对丁基苯酚缩水甘油基醚、甲苯基缩水甘油基醚、2-甲基甲苯基缩水甘油基醚、4-壬基苯基缩水甘油基醚、苄基缩水甘油基醚、对枯烯基苯基缩水甘油基醚、三苯甲基缩水甘油基醚、甲基丙烯酸2,3-环氧基丙酯、环氧化大豆油、环氧化亚麻仁油、丁酸缩水甘油酯、乙烯基环己烷单氧化物、1,2-环氧-4-乙烯基环己烷、氧化苯乙烯、氧化蒎烯、氧化甲基苯乙烯、氧化环己烯、氧化丙烯、下述化合物No.E1、No.E2等。
作为上述多官能环氧化合物,当使用选自双酚型环氧化合物及缩水甘油基醚类中的一种以上化合物时,由于能够获得特性更为良好的(着色)碱性显影性感光性树脂组合物,因此优选。
作为上述双酚型环氧化合物,除了可以使用以上述通式(IV)表示的环氧化合物之外,例如还可以使用氢化双酚型环氧化合物等双酚型环氧化合物。
另外,作为上述缩水甘油基醚类,可以使用乙二醇二缩水甘油基醚、丙二醇二缩水甘油基醚、1,4-丁二醇二缩水甘油基醚、1,6-己二醇二缩水甘油基醚、1,8-辛二醇二缩水甘油基醚、1,10-癸二醇二缩水甘油基醚、2,2-二甲基-1,3-丙二醇二缩水甘油基醚、二乙二醇二缩水甘油基醚、三乙二醇二缩水甘油基醚、四乙二醇二缩水甘油基醚、六乙二醇二缩水甘油基醚、1,4-环己烷二甲醇二缩水甘油基醚、1,1,1-三(缩水甘油氧基甲基)丙烷、1,1,1-三(缩水甘油氧基甲基)乙烷、1,1,1-三(缩水甘油氧基甲基)甲烷、1,1,1,1-四(缩水甘油氧基甲基)甲烷等。
另外,还可以使用苯酚酚醛清漆型环氧化合物、联苯酚醛清漆型环氧化合物、甲酚酚醛清漆型环氧化合物、双酚A酚醛清漆型环氧化合物、二环戊二烯酚醛清漆型环氧化合物等酚醛清漆型环氧化合物;3,4-环氧-6-甲基环己基甲基-3,4-环氧-6-甲基环己烷羧酸酯、3,4-环氧环己基甲基-3,4-环氧环己烷羧酸酯、1-环氧乙基-3,4-环氧环己烷等脂环式环氧化合物;邻苯二甲酸二缩水甘油酯、四氢邻苯二甲酸二缩水甘油酯、二聚物酸缩水甘油酯等缩水甘油酯类;四缩水甘油基二氨基二苯基甲烷、三缩水甘油基对氨基苯酚、N,N-二缩水甘油基苯胺等缩水甘油基胺类;1,3-二缩水甘油基-5,5-二甲基乙内酰脲、三缩水甘油基异氰脲酸酯等杂环式环氧化合物;二环戊二烯二氧化物等二氧化物化合物;萘型环氧化合物;三苯基甲烷型环氧化合物、二环戊二烯型环氧化合物等。
本发明的感光性组合物中,本发明的光聚合引发剂的含量没有特别限定,但相对于上述具有烯键式不饱和键的聚合性化合物100质量份,优选为1~70质量份,更优选为1~50质量份,最优选为5~30质量份。
特别是将本发明的感光性组合物制成(着色)碱性显影性感光性树脂组合物时,上述可具有烯键式不饱和键的具有碱性显影性的化合物的含量在本发明的(着色)碱性显影型感光性树脂组合物中优选为1~20质量%,特别优选为3~12质量%。
本发明的感光性组合物中可以进一步加入溶剂。作为该溶剂,通常是能够根据需要溶解或分散上述各成分(本发明的光聚合引发剂及具有烯键式不饱和键的聚合性化合物等)的溶剂,例如可举出甲基乙基酮、甲基戊基酮、二乙基酮、丙酮、甲基异丙基酮、甲基异丁基酮、环己酮、2-庚酮等酮类;***、二噁烷、四氢呋喃、1,2-二甲氧基乙烷、1,2-二乙氧基乙烷、二丙二醇二甲基醚等醚系溶剂;醋酸甲酯、醋酸乙酯、醋酸正丙酯、醋酸异丙酯、醋酸正丁酯、醋酸环己酯、乳酸乙酯、琥珀酸二甲酯、TEXANOL等酯系溶剂;乙二醇单甲基醚、乙二醇单乙基醚等溶纤剂系溶剂;甲醇、乙醇、异或正丙醇、异或正丁醇、戊醇等醇系溶剂;乙二醇单甲基乙酸酯、乙二醇单乙基乙酸酯、丙二醇-1-单甲基醚-2-乙酸酯、二丙二醇单甲基醚乙酸酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、乙氧基乙基丙酸酯等醚酯系溶剂;苯、甲苯、二甲苯等BTX系溶剂;己烷、庚烷、辛烷、环己烷等脂肪族烃系溶剂;松节油、D-柠檬烯、蒎烯等萜烯系烃油;矿油精、Swasol#310(COSMO松山石油株式会社)、Solvesso#100(EXXON化学株式会社)等石蜡系溶剂;四氯化碳、氯仿、三氯乙烯、二氯甲烷、1,2-二氯乙烷等卤代脂肪族烃系溶剂;氯苯等卤代芳香族烃系溶剂;卡必醇系溶剂;苯胺;三乙基胺;吡啶;醋酸;乙腈;二硫化碳;N,N-二甲基甲酰胺;N,N-二甲基乙酰胺;N-甲基吡咯烷酮;二甲基亚砜;水等,这些溶剂可单独使用1种,或者作为2种以上的混合溶剂使用。
其中,优选酮类、醚酯系溶剂等,特别是丙二醇-1-单甲基醚-2-乙酸酯、环己酮等,在感光性组合物中抗蚀剂与光聚合引发剂的相容性良好,因此优选。
另外,本发明的感光性组合物(特别是碱性显影性感光性树脂组合物)还可以进一步含有色料来制成着色(碱性显影性)感光性组合物。作为该色料,可举出颜料、染料、天然色素等。这些色料可单独使用或者混合2种以上使用。
作为上述颜料,例如可以使用亚硝基化合物;硝基化合物;偶氮化合物;二偶氮化合物;呫吨化合物;喹啉化合物;蒽醌化合物;香豆素化合物;酞菁化合物;异吲哚啉酮化合物;异吲哚啉化合物;喹吖酮化合物;二并蒽酮化合物;紫环酮(perinone)化合物;苝化合物;二酮吡咯并吡咯化合物;硫靛化合物;二噁嗪化合物;三苯基甲烷化合物;喹酞酮化合物;萘四羧酸;偶氮染料、菁染料的金属配位化合物;色淀颜料;通过炉黑法、槽法或热裂法获得的炭黑、或者乙炔黑、科琴黑或灯黑等炭黑;将上述炭黑用环氧树脂调整或包覆得到的物质、将上述炭黑预先在溶剂中用树脂进行分散处理而吸附20~200mg/g的树脂得到的物质、对上述炭黑进行了酸性或碱性表面处理得到的物质、平均粒径为8nm以上且DBP吸油量为90ml/100g以下的物质、由950℃下的挥发成分中的CO及CO2算出的总氧量相对于炭黑的表面积每100m2为9mg以上的物质;石墨、石墨化炭黑、活性炭、碳纤维、碳纳米管、碳微螺旋、碳纳米角、碳气凝胶、富勒烯;苯胺黑、颜料黑7、钛黑;氧化铬绿、米洛丽蓝、钴绿、钴蓝、锰系、亚铁氰化物、磷酸盐群青、普鲁士蓝、佛青、赛璐里安蓝、维利迪安颜料、翡翠绿、硫酸铅、铅黄、锌黄、氧化铁红(红色氧化铁(III))、镉红、合成铁黑、棕土颜料等有机或无机颜料。这些颜料可单独使用或者混合多个使用。
作为上述颜料,还可以使用市售的颜料,例如可举出颜料红1、2、3、9、10、14、17、22、23、31、38、41、48、49、88、90、97、112、119、122、123、144、149、166、168、169、170、171、177、179、180、184、185、192、200、202、209、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240、254;颜料橙13、31、34、36、38、43、46、48、49、51、52、55、59、60、61、62、64、65、71;颜料黄1、3、12、13、14、16、17、20、24、55、60、73、81、83、86、93、95、97、98、100、109、110、113、114、117、120、125、126、127、129、137、138、139、147、148、150、151、152、153、154、166、168、175、180、185;颜料绿7、10、36;颜料蓝15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:5、15:6、22、24、56、60、61、62、64;颜料紫1、19、23、27、29、30、32、37、40、50等。
作为上述染料,可举出偶氮染料、蒽醌染料、靛类染料、三芳基甲烷染料、呫吨染料、茜素染料、吖啶染料、茋染料、噻唑染料、萘酚染料、喹啉染料、硝基染料、吲达胺染料、噁嗪染料、酞菁染料、菁染料等染料等,这些染料可以混合多个使用。
本发明的感光性组合物中,上述色料的含量相对于上述具有烯键式不饱和键的聚合性化合物100质量份,优选为50~350质量份,更优选为100~250质量份。
本发明的感光性组合物中还可以进一步含有无机化合物。作为该无机化合物,例如可举出氧化镍、氧化铁、氧化铱、氧化钛、氧化锌、氧化镁、氧化钙、氧化钾、二氧化硅、氧化铝等金属氧化物;层状粘土矿物、米洛丽蓝、碳酸钙、碳酸镁、钴系、锰系、玻璃粉末(特别是玻璃粉)、云母、滑石、高岭土、亚铁氰化物、各种金属硫酸盐、硫化物、硒化物、硅酸铝、硅酸钙、氢氧化铝、铂、金、银、铜等。
其中,优选玻璃粉、氧化钛、二氧化硅、层状粘土矿物、银等。本发明的感光性组合物中,上述无机化合物的含量相对于上述具有烯键式不饱和键的聚合性化合物100质量份,优选为0.1~1000质量份,更优选为10~800质量份。另外,这些无机化合物可以使用1种或2种以上。
这些无机化合物例如可用作填充剂、防反射剂、导电剂、稳定剂、阻燃剂、机械强度提高剂、特殊波长吸收剂、疏油墨剂等。
本发明的感光性组合物中可以添加使色料和/或无机化合物分散的分散剂。作为该分散剂,只要能够将色料或无机化合物分散、稳定化则没有限制,可以使用市售的分散剂、例如BYK-Chemie公司制造的BYK系列等。特别优选使用由具有碱性官能团的聚酯、聚醚或聚氨酯组成的高分子分散剂,具有氮原子作为碱性官能团,具有氮原子的官能团为胺和/或其季铵盐,胺值为1~100mgKOH/g。
本发明的感光性组合物中,可以将本发明的肟酯化合物与其他光聚合引发剂并用。作为能并用的其他光聚合引发剂,可以使用以往已知的化合物,例如可列举出二苯甲酮、苯基联苯基酮、1-羟基-1-苯甲酰基环己烷、苯偶姻、苄基二甲基缩酮、1-苄基-1-二甲基氨基-1-(4’-吗啉代苯甲酰基)丙烷、2-吗啉基-2-(4’-甲基巯基)苯甲酰基丙烷、噻吨酮、1-氯-4-丙氧基噻吨酮、异丙基噻吨酮、二乙基噻吨酮、乙基蒽醌、4-苯甲酰基-4’-甲基二苯基硫化物、苯偶姻丁基醚、2-羟基-2-苯甲酰基丙烷、2-羟基-2-(4’-异丙基)苯甲酰基丙烷、4-丁基苯甲酰基三氯甲烷、4-苯氧基苯甲酰基二氯甲烷、苯甲酰基甲酸甲酯、1,7-双(9’-吖啶基)庚烷、9-正丁基-3,6-双(2’-吗啉代异丁酰基)咔唑、2-甲基-4,6-双(三氯甲基)-均三嗪、2-苯基-4,6-双(三氯甲基)-均三嗪、2-萘基-4,6-双(三氯甲基)-均三嗪、2,2-双(2-氯苯基)-4,5,4’,5’-四苯基-1-2’-联二咪唑、4,4-偶氮二异丁腈、三苯基膦、樟脑醌、N-1414、N-1717、N-1919、PZ-408(株式会社艾迪科制)、IRGACURE369、IRGACURE907、IRGACURE OXE 01、IRGACURE OXE 02(Ciba Specialty Chemicals株式会社社制)、过氧化苯甲酰、以下述通式(Ⅴ)~(VII)表示的化合物等,使用这些其他光聚合引发剂时,其使用量优选为本发明的肟酯化合物的使用量的1质量倍以下。另外,这些光聚合引发剂可以使用1种或2种以上组合使用。
(式中,R1、R2及R33与上述通式(I)相同,Y3表示卤原子或烷基,n为0~5的整数。)
(式中,R1、R2及R33与上述通式(I)相同,Y3及n与上述通式(Ⅴ)相同,R’1及R’2与R1相同,R’33与R33相同,Y’3与Y3相同,R8表示二醇残基或二硫醇残基,Z5表示氧原子或硫原子。)
(式中,R1、R2及R33与上述通式(I)相同,Y3及n与上述通式(Ⅴ)相同,Z6表示氧原子、硫原子或硒原子,A表示杂环基,t为0~5的整数,u为0或1。)
另外,本发明的感光性组合物中还可根据需要添加对苯甲醚、氢醌、邻苯二酚、叔丁基儿茶酚、吩噻嗪等热聚合抑制剂;增塑剂;粘接促进剂;填充剂;消泡剂;流平剂;表面调节剂;抗氧化剂;紫外线吸收剂;分散助剂;抗絮凝剂;催化剂;效果促进剂;交联剂;增稠剂等常用的添加剂。
本发明的感光性组合物中,除上述具有烯键式不饱和键的聚合性化合物及本发明的肟酯化合物以外的任意成分(其中,不包括上述其他光聚合引发剂、可具有烯键式不饱和基的具有碱性显影性的化合物、无机化合物(填充剂)、色料及溶剂)的使用量根据其使用目的适当选择,并无特别限定,但优选相对于上述具有烯键式不饱和键的聚合性化合物100质量份总计为50质量份以下。
另外,本发明的感光性组合物中,通过与上述具有烯键式不饱和键的聚合性化合物一起使用其他有机聚合物,还可以改善固化物的特性。作为该有机聚合物,例如可举出聚苯乙烯、聚甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯-丙烯酸乙酯共聚物、聚(甲基)丙烯酸、苯乙烯-(甲基)丙烯酸共聚物、(甲基)丙烯酸-甲基丙烯酸甲酯共聚物、乙烯-氯乙烯共聚物、乙烯-乙烯基共聚物、聚氯乙烯树脂、ABS树脂、尼龙6、尼龙66、尼龙12、聚氨酯树脂、聚碳酸酯、聚乙烯醇缩丁醛、纤维素酯、聚丙烯酰胺、饱和聚酯、酚醛树脂、苯氧树脂、聚酰胺酰亚胺树脂、聚酰胺酸树脂、环氧树脂等,其中优选聚苯乙烯、(甲基)丙烯酸-甲基丙烯酸甲酯共聚物、环氧树脂。
使用其它的有机聚合物时,其使用量相对于上述具有烯键式不饱和键的聚合性化合物100质量份优选为10~500质量份。
本发明的感光性组合物中还可以进一步并用链转移剂、增感剂、表面活性剂、硅烷偶联剂、三聚氰胺等。
作为上述链转移剂或增感剂,通常使用含硫原子的化合物。例如可列举出巯基乙酸、硫代苹果酸、硫代水杨酸、2-巯基丙酸、3-巯基丙酸、3-巯基丁酸、N-(2-巯基丙酰基)甘氨酸、2-巯基烟酸、3-〔N-(2-巯基乙基)氨基甲酰基〕丙酸、3-〔N-(2-巯基乙基)氨基〕丙酸、N-(3-巯基丙酰基)丙氨酸、2-巯基乙磺酸、3-巯基丙磺酸、4-巯基丁磺酸、十二烷基(4-甲基硫代)苯基醚、2-巯基乙醇、3-巯基-1,2-丙二醇、1-巯基-2-丙醇、3-巯基-2-丁醇、巯基苯酚、2-巯基乙基胺、2-巯基咪唑、2-巯基苯并咪唑、2-巯基-3-吡啶酚、2-巯基苯并噻唑、巯基醋酸、三羟甲基丙烷三(3-巯基丙酸酯)、季戊四醇四(3-巯基丙酸酯)等巯基化合物;将该巯基化合物氧化而获得的二硫化物、碘乙酸、碘醋酸、2-碘乙醇、2-碘乙磺酸、3-碘丙磺酸等碘代烷基化合物、三羟甲基丙烷三(3-巯基异丁酸酯)、丁二醇双(3-巯基异丁酸酯)、己烷二硫醇、癸烷二硫醇、1,4-二甲基巯基苯、丁二醇双硫代丙酸酯、丁二醇双硫代乙醇酸酯、乙二醇双硫代乙醇酸酯、三羟甲基丙烷三硫代乙醇酸酯、丁二醇双硫代丙酸酯、三羟甲基丙烷三硫代丙酸酯、三羟甲基丙烷三硫代乙醇酸酯、季戊四醇四硫代丙酸酯、季戊四醇四硫代乙醇酸酯、三羟乙基三硫代丙酸酯、二乙基噻吨酮、二异丙基噻吨酮、下述化合物No.C1、三巯基丙酸三(2-羟乙基)异氰脲酸酯等脂肪族多官能硫醇化合物、昭和电工公司制造的Karenz MT BD1、PE1、NR1等。
作为上述表面活性剂,可以使用全氟烷基磷酸酯、全氟烷基羧酸盐等氟表面活性剂;高级脂肪酸碱盐、烷基磺酸盐、烷基硫酸盐等阴离子系表面活性剂;高级胺卤酸盐、季铵盐等阳离子系表面活性剂;聚乙二醇烷基醚、聚乙二醇脂肪酸酯、山梨糖醇酐脂肪酸酯、脂肪酸单甘油酯等非离子表面活性剂;两性表面活性剂,硅酮系表面活性剂等表面活性剂,这些物质还可组合使用。
作为上述硅烷偶联剂,例如可以使用信越化学公司制造的硅烷偶联剂,其中,优选使用KBE-9007、KBM-502、KBE-403等具有异氰酸酯基、甲基丙烯酰基或环氧基的硅烷偶联剂。
作为上述三聚氰胺化合物,可列举出(聚)羟甲基三聚氰胺、(聚)羟甲基甘脲、(聚)羟甲基苯并胍胺、(聚)羟甲基脲等氮化合物中的活性羟甲基(CH2OH基)的全部或一部分(至少2个)被烷基醚化而得到的化合物等。
这里,作为构成烷基醚的烷基,可列举出甲基、乙基或丁基,可以彼此相同,也可以不同。另外,未烷基醚化的羟甲基可以在一分子内自缩合,也可以在两分子间缩合,其结果是也可以形成低聚物成分。
具体而言,可以使用六甲氧基甲基三聚氰胺、六丁氧基甲基三聚氰胺、四甲氧基甲基甘脲、四丁氧基甲基甘脲等。
其中,优选六甲氧基甲基三聚氰胺、六丁氧基甲基三聚氰胺等被烷基醚化的三聚氰胺。
本发明的感光性组合物可以通过旋涂、辊涂、棒涂、模涂、淋涂、各种印刷、浸渍等公知的方法适用于钠玻璃、石英玻璃、半导体基板、金属、纸、塑料等支撑基体上。另外,也可以暂时施加于薄膜等支撑基体上之后转印至其它的支撑基体上,其适用方法并无限定。
另外,作为使本发明的感光性组合物固化时所使用的能量射线的光源,可以利用由超高压汞灯、高压汞灯、中压汞灯、低压汞灯、汞蒸气弧灯、氙弧灯、碳弧灯、金属卤化物灯、荧光灯、钨灯、准分子灯、杀菌灯、发光二极管、CRT光源等获得的具有2000埃~7000埃的波长的电磁波能量射线或电子射线、X射线、放射线等高能量射线,可优选列举出发出波长300~450nm的光的超高压汞灯、汞蒸气弧灯、碳弧灯、氙弧灯等。
进而,通过将激光用于曝光光源、从而不使用掩模、而由电脑等的数字信息直接形成图像的激光直接描绘法,由于不仅可提高生产率,还可实现分辨性和位置精度等的提高,因此是有用的,作为该激光,优选使用波长340~430mm的光,也可以使用准分子激光、氮激光、氩离子激光、氦镉激光、氦氖激光、氪离子激光、各种半导体激光及YAG激光等发出可见到红外区域的光的激光。使用这些激光的情况下,吸收从可见到红外的该区域的增感色素增加。
本发明的感光性组合物可以用于:光固化性涂料或清漆、光固化性粘接剂、印制电路板、彩色电视机、PC监视器、便携信息末端、数码相机等彩色显示的液晶显示元件中的滤色器;CCD图像传感器的滤色器;等离子体显示面板用的电极材料;粉末涂料;印刷油墨;印刷版;粘接剂;齿科用组合物;凝胶涂层;电子工学用的光致抗蚀剂;电镀抗蚀剂;蚀刻抗蚀剂;干燥膜;焊锡抗蚀剂;用于制造各种显示用途用的滤色器的物质或者等离子体显示面板、电发光显示装置、及LCD制造工序中用于形成结构的抗蚀剂;用于封入电气及电子部件的组合物;阻焊剂;磁记录材料;微小机械零件;波导;光开关;镀覆用掩模;蚀刻掩模;彩色试验体系;玻璃纤维电缆涂布;丝网印刷用模版;用于通过立体平版印刷来制造三维物体的材料;全息照相记录用材料;图像记录材料;微细电子电路;脱色材料;用于图像记录材料的脱色材料;使用微胶囊的图像记录材料用的脱色材料;印刷配线板用光致抗蚀剂材料;UV及可见激光直接图像体系用的光致抗蚀剂材料;印制电路基板的依次层叠中用于形成电介质层的光致抗蚀剂材料或者保护膜等各种用途中,其用途并无特别限定。
本发明的感光性组合物还可以用于形成液晶显示面板用的间隔物及用于形成垂直取向型液晶显示元件用突起。尤其是作为用于同时形成垂直取向型液晶显示元件用的突起和间隔物的感光性组合物是有用的。
上述的液晶显示面板用间隔物优选通过下述工序而形成:(1)在基板上形成本发明的感光性组合物的涂膜的工序、(2)隔着具有规定的图案形状的掩模对该涂膜照射放射线的工序、(3)曝光后的烘烤工序、(4)曝光后对该被膜进行显影的工序、(5)显影后对该被膜进行加热的工序。
添加有疏油墨剂的本发明的(着色)感光性组合物作为形成喷墨方式用隔壁的树脂组合物是有用的,该组合物被用作滤色器用,特别优选用于齿形角(profile angle)为50°以上的喷墨方式滤色器用隔壁。作为该疏油墨剂,优选使用氟系表面活性剂及由氟系表面活性剂组成的组合物。
由本发明的感光性组合物形成的隔壁将被转印体上进行分割,通过喷墨法对所分割的被转印体上的凹部赋予液滴从而形成图像区域,由此制造光学元件。此时,优选上述液滴含有着色剂,且上述图像区域被着色,基板上至少具有由多个着色区域构成的像素组和将上述像素组的各着色区域隔离的隔壁,优选使用通过上述的光学元件的制造方法制作的光学元件。
本发明的感光性组合物也可以被用作保护膜或绝缘膜用组合物,可以含有紫外线吸收剂、烷基化改性三聚氰胺和/或丙烯酸改性三聚氰胺、分子中含有醇性羟基的1或2官能的(甲基)丙烯酸酯单体和/或二氧化硅溶胶。
作为上述保护膜、绝缘膜用的感光性组合物,优选以下述A、B、C和D作为主要成分的树脂组合物:
(A):使二醇化合物与多元羧酸类反应而获得的重均分子量为2000~40000、酸值为50~200mgKOH/g的含羧基树脂、(B):一分子中含有至少1个以上能够光聚合的烯键式不饱和键的不饱和化合物、(C):环氧化合物、(D)光聚合引发剂,其中,相对于(A)成分和(B)成分的总计100重量份,含有10~40重量份(C)成分、0.01~2.0重量份(D)成分,且含有以上述通式(I)表示的化合物作为(D)成分的光聚合引发剂。
上述绝缘膜被用于在能够剥离的支撑基材上设置有绝缘树脂层的层叠体中的该绝缘树脂层,该层叠体能利用碱性水溶液进行显影,绝缘树脂层的膜厚优选为10~100μm。
本发明的感光性组合物由于含有无机材料(无机化合物),能够作为感光性糊剂组合物使用。该感光性糊剂组合物可用于形成等离子体显示器面板的隔壁图案、电介质图案、电极图案及黑色矩阵图案等烧成物图案。
实施例
以下列举出实施例及比较例来更加详细地说明本发明,但本发明并不限定于这些实施例等。
〔实施例1〕化合物No.2的制造
<步骤1>酰化
在92g二氯乙烷和21.7g(163mmol)氯化铝的溶液中加入15g(65mmol)4-(苯基硫代)苯甲酸,接着,在6℃以下滴加9.0g(97mmol)丙酰氯。搅拌1小时后,将反应液注入到冰水中,加入乙酸乙酯进行油水分离,将有机层用水洗涤。将有机层用无水硫酸镁干燥后,脱溶剂,得到18.7g酰基体a。
<步骤2>肟化
在10.0g(35mmol)上述<步骤1>中获得的酰基体a、3.6g(35mmol)浓盐酸和30g二甲基甲酰胺的溶液中加入5.4g(52mmol)亚硝酸异丁酯,在室温下搅拌3.5小时。搅拌后,向反应液中加入乙酸乙酯和水进行油水分离,将有机层用水洗涤。向析出固体的有机层中加入己烷,过滤。将得到的固体减压干燥,得到8.6g肟体a。
<步骤3>肟酯化
将4.0g(13mmol)上述<步骤2>中获得的肟体a、2.1g(27mmol)吡啶和12g二甲基甲酰胺的溶液处于-10℃以下的状态,滴加1.6g(15mmol)醋酸酐,滴加后在5℃下搅拌2小时。搅拌后,向反应液中加入乙酸乙酯和水进行油水分离,将有机层用水洗涤。将有机层用无水硫酸镁干燥后,脱溶剂,得到4.5g本发明的化合物No.2。分析结果如〔表1〕~〔表3〕所示。
〔实施例2~4〕化合物No.26及化合物No.44~化合物No.46的制造
本发明的化合物No.26及化合物No.44~化合物No.46按照实施例1中记载的方法由对应的酮制造得到。分析结果示于〔表1〕~〔表3〕中。
〔表1〕
肟酯化合物 | λmax*1(nm) | 熔点(℃) | 分解点(℃) | |
实施例1 | 化合物No.2 | 291、335 | 151 | 181 |
实施例2 | 化合物No.26 | 335 | 96 | 202 |
实施例3 | 化合物No.44 | 334 | 100 | 140 |
实施例4 | 化合物No.45 | 292、335 | 56 | 225 |
实施例5 | 化合物No.46 | 336 | 130 | 143 |
*1:溶剂使用CHCl3
〔表2〕
〔表3〕
〔实施例6〕碱性显影性感光性树脂组合物No.1的制造
<步骤1>碱性显影性树脂的制造
向反应容器中加入184g双酚芴型环氧树脂(环氧当量231)、58g丙烯酸、0.26g 2,6-二叔丁基-对甲酚、0.11g四正丁基溴化铵及23g丙二醇-1-单甲基醚-2-乙酸酯,在120℃下搅拌16小时。将反应液冷却至室温,加入35g丙二醇-1-单甲基醚-2-乙酸酯、59g联苯四甲酸酐及0.24g四正丁基溴化铵,在120℃下搅拌4小时。搅拌4小时后,再加入20g四氢邻苯二甲酸酐,在120℃下搅拌4小时、100℃下搅拌3小时、80℃下搅拌4小时、60℃下搅拌6小时、40℃下搅拌11小时后,加入90g丙二醇-1-单甲基醚-2-乙酸酯,以目标物的丙二醇-1-单甲基醚-2-乙酸酯溶液的形式获得碱性显影性树脂No.1(Mw=5000、Mn=2100、酸值(固态成分)为92.7mgKOH/g)。
<步骤2>碱性显影性感光性树脂组合物No.1的调制
混合14.7g实施例6的<步骤1>中获得的碱性显影性树脂No.1、3.0g二季戊四醇五及六丙烯酸酯(ARONIX M-402;东亚合成株式会社制造)、1.8g表面活性剂FZ-2122(日本Unicar株式会社制造)的环己酮1%溶液、10.0g丙二醇-1-单甲基醚-2-乙酸酯、以及20.2g环己酮,添加0.3g实施例1中获得的化合物No.2充分搅拌,得到本发明的碱性显影性感光性树脂组合物No.1。
〔实施例7〕碱性显影性感光性树脂组合物No.2的制造
除了将实施例1中获得的化合物No.2替换成实施例2中获得的化合物No.26以外,通过与实施例6的<步骤2>同样的方法,得到本发明的碱性显影性感光性树脂组合物No.2。
〔比较例1〕碱性显影性感光性树脂组合物No.3的制造
除了将实施例1中获得的化合物No.2替换成2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-1-丁酮以外,通过与实施例6的<步骤2>同样的方法,得到作为比较品的碱性显影性感光性树脂组合物No.3。
〔比较例2〕碱性显影性感光性树脂组合物No.4的制造
除了将实施例1中获得的化合物No.2替换成1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-乙酮-1-(O-乙酰肟)以外,通过与实施例6的<步骤2>同样的方法,得到作为比较品的碱性显影性感光性树脂组合物No.4。
<透射性>
对所得到的碱性显影性感光性树脂组合物No.1~No.4按以下的步骤进行透射性试验。
即,在玻璃基板上旋涂(500rpm、2秒钟、800rpm、6秒钟)碱性显影性感光性树脂组合物,用热板在90℃下进行90秒钟预烘烤。使用高压汞灯作为光源,以150mJ/cm2进行曝光,用烘箱在230℃下进行30分钟后烘烤。用吸光光度计测定380nm下的透射率。结果示于[表4]中。
[表4]
碱性显影性感光性树脂组合物 | 透射率(%) |
No.1(实施例6) | 92 |
No.2(实施例7) | 92 |
No.3(比较例1) | 86 |
No.4(比较例2) | 87 |
由上述[表4]表明,对于含有本发明的肟酯化合物作为光聚合引发剂的实施例6及7的碱性显影性感光性树脂组合物,与含有结构与本发明的肟酯化合物不同的化合物作为光聚合引发剂的比较例1及2的碱性显影性感光性树脂组合物相比,透射率较高。
〔实施例8〕导电性组合物No.1的制造
添加14.1g实施例6的<步骤1>中获得的碱性显影性树脂No.1、7.1g二季戊四醇五及六丙烯酸酯(ARONIX M-402;东亚合成株式会社制造)、0.05g表面活性剂BYK-323(BYK-Chemie GmbH株式会社制造)、11.3gTEXANOL(2,2,4-三甲基-1,3-戊二醇单异丁酸酯)、0.7g实施例1中获得的化合物No.2、3.1g玻璃粉以及63.7g银粉并搅拌后,用三辊式研磨机进行混炼,得到本发明的感光性树脂组合物即导电性组合物No.1。
〔实施例9〕着色碱性显影性感光性树脂组合物No.1的制造
<步骤1>蓝色分散液的制造
向500ml聚乙烯制容器中加入57.6g蓝色颜料颜料蓝15:6、20.0g分散剂AJISPER PB821(味之素Fine-Techno株式会社制造)、2.4g分散助剂Solsperse 5000(Avecia株式会社制造)、及320.0g丙二醇-1-单甲基醚-2-乙酸酯,使用350g粒径为0.5mm的氧化锆微珠,用调漆器(Paint Conditioner)振荡10小时后,滤出氧化锆微珠而得到蓝色分散液。
<步骤2>着色碱性显影性感光性树脂组合物No.1的制造
混合10.63g上述<步骤1>中获得的蓝色分散液、2.98g实施例6的<步骤1>中获得的碱性显影性树脂No.1、0.31g二季戊四醇五及六丙烯酸酯(ARONIX M-402;东亚合成株式会社制造)、0.31g聚氨酯丙烯酸酯UN3320HS(根上工业株式会社制造)、0.30g表面活性剂BYK-323(BYK-Chemie GmbH株式会社制造)的环己酮1%溶液、4.70g丙二醇-1-单甲基醚-2-乙酸酯、以及10.36g环己酮,添加0.41g实施例1中获得的化合物No.2并搅拌,得到本发明的着色碱性显影性感光性树脂组合物No.1。
〔实施例10〕着色碱性显影性感光性树脂组合物No.2的制造
除了将实施例1中获得的化合物No.2替换成实施例2中获得的化合物No.26以外,通过与实施例9的<步骤2>同样的方法,得到本发明的着色碱性显影性感光性树脂组合物No.2。
〔比较例3〕着色碱性显影性感光性树脂组合物No.3的制造
除了将实施例1中获得的化合物No.2替换成1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-乙酮-1-(O-乙酰肟)以外,通过与实施例9的<步骤2>同样的方法,得到作为比较品的着色碱性显影性感光性树脂组合物No.3。
〔比较例4〕着色碱性显影性感光性树脂组合物No.4的制造
除了将实施例1中获得的化合物No.2替换成2-甲基-1-(4-甲基硫代苯基)-2-吗啉代丙烷-1-酮以外,通过与实施例9的<步骤2>同样的方法,得到作为比较品的着色碱性显影性感光性树脂组合物No.4。
〔比较例5〕着色碱性显影性感光性树脂组合物No.5的制造
除了将实施例1中获得的化合物No.2替换成1-[4-(苯基硫代)苯基]-1,2-辛二酮-2-(O-苯甲酰肟)以外,通过与实施例9的<步骤2>同样的方法,得到作为比较品的着色碱性显影性感光性树脂组合物No.5。
〔比较例6〕着色碱性显影性感光性树脂组合物No.6的制造
除了将实施例1中获得的化合物No.2替换成2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-1-丁酮以外,通过与实施例9的<步骤2>同样的方法,得到作为比较品的着色碱性显影性感光性树脂组合物No.6。
<透射性>
对所得到的着色碱性显影性感光性树脂组合物No.1~No.4按以下的步骤进行透射性试验。
即,在玻璃基板上旋涂(500rpm、7秒钟)着色碱性显影性感光性树脂组合物,用热板在90℃下进行90秒钟预烘烤。使用高压汞灯作为光源以150mJ/cm2进行曝光,用烘箱在230℃下进行30分钟后烘烤。用吸光光度计测定420nm下的透射率。结果示于[表5]中。
[表5]
着色碱性显影性感光性树脂组合物 | 透射率(%) |
No.1(实施例9) | 62 |
No.2(实施例10) | 62 |
No.3(比较例3) | 58 |
No.4(比较例4) | 28 |
由上述[表5]表明,对于含有本发明的肟酯化合物作为光聚合引发剂的实施例9及10的着色碱性显影性感光性树脂组合物,与含有结构与本发明的肟酯化合物不同的化合物作为光聚合引发剂的比较例3及4的着色碱性显影性感光性树脂组合物相比,透射率更高。
<脱气性>
对所得到的着色碱性显影性感光性树脂组合物No.1、No.2、No.4~No.6按以下的步骤进行脱气性试验。
即,在玻璃基板上旋涂(500rpm、7秒钟)着色碱性显影性感光性树脂组合物,用热板在90℃下进行90秒钟预烘烤,使用高压汞灯作为光源以100mJ/cm2进行曝光。削取约3mg该膜,利用TG-DTA(Seiko Instruments株式会社制造),由在230℃下保持30分钟时的重量减少率来评价脱气性。结果示于〔表6〕中。
〔表6〕
着色碱性显影性感光性树脂组合物 | 重量减少率(%) |
No.1(实施例9) | -7.7 |
No.2(实施例10) | -7.3 |
No.4(比较例4) | -15.6 |
No.5(比较例5) | -11.9 |
No.6(比较例6) | -11.9 |
由上述〔表6〕表明,本发明的肟酯化合物与比较例4、比较例5及比较例6中所用的化合物相比,耐热性优异,升华物少。
〔实施例11〕着色碱性显影性感光性树脂组合物No.7的制造
混合10.63g实施例9的<步骤1>中获得的蓝色分散液、2.93g实施例6的步骤1中获得的碱性显影性树脂No.1、0.30g二季戊四醇五及六丙烯酸酯(ARONIX M-402;东亚合成株式会社制造)、0.30g聚氨酯丙烯酸酯UN3320HS(根上工业株式会社制造)、0.05g增感剂DETX-S(日本化药株式会社制造)、0.30g表面活性剂BYK-323(BYK-Chemie GmbH株式会社制造)的环己酮1%溶液、4.72g丙二醇-1-单甲基醚-2-乙酸酯、以及10.36g环己酮,添加0.41g实施例1中获得的化合物No.2并充分搅拌,得到本发明的着色碱性显影性感光性树脂组合物No.7。
〔实施例12〕着色碱性显影性感光性树脂组合物No.8的制造
除了将实施例1中获得的化合物No.2替换成实施例2中获得的化合物No.26以外,通过与实施例11同样的方法,得到本发明的着色碱性显影性感光性树脂组合物No.8。
〔比较例7〕着色碱性显影性感光性树脂组合物No.9的制造
除了将实施例1中获得的化合物No.2替换成1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-乙酮-1-(O-乙酰肟)以外,通过与实施例11同样的方法,得到作为比较品的着色碱性显影性感光性树脂组合物No.9。
〔比较例8〕着色碱性显影性感光性树脂组合物No.10的制造
除了将实施例1中获得的化合物No.2替换成2-甲基-1-(4-甲基硫代苯基)-2-吗啉代丙烷-1-酮以外,通过与实施例11同样的方法,得到作为比较品的着色碱性显影性感光性树脂组合物No.10。
〔比较例9〕着色碱性显影性感光性树脂组合物No.11的制造
除了将实施例1中获得的化合物No.2替换成1-[4-(苯基硫代)苯基]-1,2-辛二酮-2-(O-苯甲酰肟)以外,通过与实施例11同样的方法,得到作为比较品的着色碱性显影性感光性树脂组合物No.11。
〔比较例10〕着色碱性显影性感光性树脂组合物No.12的制造
除了将实施例1中获得的化合物No.2替换成2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-1-丁酮以外,通过与实施例11同样的方法,得到作为比较品的着色碱性显影性感光性树脂组合物No.12。
对所得到的着色碱性显影性感光性树脂组合物No.7~12按以下的方法进行光刻性的评价。
即,在玻璃基板上旋涂(500rpm、7秒钟)着色碱性显影性感光性树脂组合物,用热板在90℃下进行90秒钟预烘烤,使用高压汞灯作为光源,隔着掩模进行规定量曝光。使用2.5质量%碳酸钠水溶液作为显影液,用旋转显影机显影45秒钟后,充分水洗,用烘箱在230℃下进行30分钟后烘烤,使图案定影,对以下的项目进行评价。试验结果示于〔表7〕中。
<感度>
通过以下4个等级评价着色碱性显影性感光性树脂组合物的感度。
即,将所形成的图案的线宽超过掩模开口线宽时的曝光量为50mJ/cm2的情况设为a,将曝光量为100mJ/cm2的情况设为b,将曝光量为150mJ/cm2的情况设为c,将即便曝光量为150mJ/cm2也未形成图案的情况设为d。
<密合性>
通过以下4个等级评价着色碱性显影性感光性树脂组合物的密合性。
即,将以100mJ/cm2进行曝光、显影后残留的图案的最细掩模线宽为3μm以下的情况设为A,将最细掩模线宽为10μm以下的情况设为B,将最细掩模线宽为15μm以下的情况设为C,将最细掩模线宽为30μm以上的情况设为D。
<残渣>
通过以下2个等级评价着色碱性显影性感光性树脂组合物的残渣。
即,将显影后玻璃面上完全观察不到残渣的情况设为○,将一个面上观察到残渣的情况设为×。
〔表7〕
着色碱性显影性感光性树脂组合物 | 感度 | 密合性 | 残渣 |
No.7(实施例11) | a | A | ○ |
No.8(实施例12) | a | A | ○ |
No.9(比较例7) | a | A | × |
No.10(比较例8) | d | D | ○ |
No.11(比较例9) | b | B | ○ |
No.12(比较例10) | d | D | ○ |
由上述〔表7〕表明,本发明的肟酯化合物与比较例7中所用的化合物相比,未确认有残渣,因此显影性优异。另外,本发明的肟酯化合物与比较例8~10中所用的化合物相比,感度和密合性优异。
由以上的结果可知,本发明的肟酯化合物与比较例2、3及7中所用的化合物相比,可见光区域的透射性及显影性优异。
另外,本发明的肟酯化合物与比较例4及8中所用的化合物相比,可见光区域的透射性、耐热性、感度及密合性优异。
另外,本发明的肟酯化合物与比较例5及9中所用的化合物相比,耐热性、感度及密合性优异。
另外,本发明的肟酯化合物与比较例1、6及10中所用的化合物相比,可见光区域的透射性、耐热性、感度及密合性优异。
因此,本发明的肟酯化合物由于可见光区域的透射性高,耐热性优异,光刻性优异,因此作为光聚合引发剂是有用的。
Claims (13)
1.一种以下述通式(I)表示的肟酯化合物,
通式(I)中,R1及R2各自独立地表示R11、OR11、COR11、SR11、CONR12R13或CN,
R11、R12及R13各自独立地表示氢原子、碳原子数为1~20的烷基、碳原子数为6~30的芳基、碳原子数为7~30的芳烷基或碳原子数为2~20的杂环基,
R11、R12及R13所表示的取代基的氢原子可以进一步被OR21、COR21、SR21、NR22R23、CONR22R23、-NR22-OR23、-NCOR22-OCOR23、-C(=N-OR21)-R22、-C(=N-OCOR21)-R22、CN、卤原子或COOR21取代,
R21、R22及R23各自独立地表示氢原子、碳原子数为1~20的烷基、碳原子数为6~30的芳基、碳原子数为7~30的芳烷基或碳原子数为2~20的杂环基,
R21、R22及R23所表示的取代基的氢原子可以进一步被CN、卤原子、羟基或羧基取代,
R11、R12、R13、R21、R22及R23所表示的取代基的亚烷基部分还可以被-O-、-S-、-COO-、-OCO-、-NR24-、-NR24COO-、-OCONR24-、-SCO-、-COS-、-OCS-或-CSO-中断1~5次,
R24表示氢原子、碳原子数为1~20的烷基、碳原子数为6~30的芳基、碳原子数为7~30的芳烷基或碳原子数为2~20的杂环基,
R11、R12、R13、R21、R22及R23所表示的取代基的烷基部分可以是分支侧链,也可以是环状烷基,另外,R12和R13以及R22和R23可以分别一起形成环,
R3及R4各自独立地表示R11、OR11、SR11、COR11、CONR12R13、NR12COR11、OCOR11、COOR11、SCOR11、OCSR11、COSR11、CSOR11、CN或卤原子,
a和b各自独立地表示0~4的整数,
X表示氧原子、硫原子、硒原子、CR31R32、CO、NR33或PR34,
R31、R32、R33及R34各自独立地表示氢原子、碳原子数为1~20的烷基、碳原子数为6~30的芳基或碳原子数为7~30的芳烷基,
R31、R32、R33及R34所表示的取代基的烷基部分可以是分支侧链,也可以是环状烷基,R31、R32、R33及R34可以各自独立地与相邻的任一苯环一起形成环,
R5表示OH、COOH或以下述通式(II)表示的基团,
通式(II)中,Z1为连接部分,表示-O-、-S-、-NR22-、-NR22CO-、-SO2-、-CS-、-OCO-或-COO-,
Z2为连接部分,表示被1~3个R6取代的碳原子数为1~20的烷基、碳原子数为6~30的芳基、碳原子数为7~30的芳烷基或碳原子数为2~20的杂环基,
Z2所表示的连接部分的亚烷基部分也可以被-O-、-S-、-COO-、-OCO-、-NR22-、-NR22COO-、-OCONR22-、-SCO-、-COS-、-OCS-或-CSO-中断1~5次,Z2所表示的连接部分的亚烷基部分可以是分支侧链,也可以是环状亚烷基,
R6表示OR41、SR41、CONR42R43、NR42COR43、OCOR41、COOR41、SCOR41、OCSR41、COSR41、CSOR41、CN或卤原子,
R41、R42及R43各自独立地表示氢原子、碳原子数为1~20的烷基、碳原子数为6~30的芳基或碳原子数为7~30的芳烷基,R41、R42及R43所表示的取代基的烷基部分可以是分支侧链,也可以是环状烷基,R42和R43也可以一起形成环,
c表示1~3的整数。
2.根据权利要求1所述的肟酯化合物,其中,所述通式(I)中的X为硫原子或NR33,该通式中的R33是可以为分支侧链、也可以为环状烷基的碳原子数为1~20的烷基。
3.根据权利要求1所述的肟酯化合物,其中,所述通式(II)中的Z1为-O-或-OCO-。
4.根据权利要求1所述的肟酯化合物,其中,所述通式(II)中的R6为OH或COOH,该通式中的c为1。
5.根据权利要求1所述的肟酯化合物,其中,所述通式(II)中的Z2为被1~3个R6取代的碳原子数为1~20的烷基,该烷基中的亚烷基部分可以被-O-、-OCO-或-COO-中断1~5次。
6.根据权利要求1所述的肟酯化合物,其中,所述通式(I)中的R5为OH或COOH。
7.一种光聚合引发剂,其含有权利要求1所述的肟酯化合物。
8.一种感光性组合物,其是在权利要求7所述的光聚合引发剂中含有具有烯键式不饱和键的聚合性化合物而成的。
9.根据权利要求8所述的感光性组合物,其是进一步含有无机化合物而成的。
10.一种碱性显影性感光性树脂组合物,其是在权利要求8所述的感光性组合物中含有可具有烯键式不饱和基的具有碱性显影性的化合物而成的。
11.根据权利要求10所述的碱性显影性感光性树脂组合物,其是进一步含有无机化合物而成的。
12.一种着色碱性显影性感光性树脂组合物,其是在权利要求10所述的碱性显影性感光性树脂组合物中进一步含有色料而成的。
13.一种固化物,其是对权利要求8所述的感光性组合物、权利要求10所述的碱性显影性感光性树脂组合物或权利要求12所述的着色碱性显影性感光性树脂组合物照射能量射线而得到的。
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