CN101888959B - 基板输送装置及基板输送装置的控制方法 - Google Patents

基板输送装置及基板输送装置的控制方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种基板输送装置，基板输送装置(100)将载置在机械手部(10)上的基板W输送给处理装置或者规定的收容部，其中，具备支承作为上述机械手部(10)的一端的根部侧并且使上述机械手部(10)在其延长方向往复移动的移动组件(20)；检测伴随在上述机械手部(10)上载置上述基板时的挠曲的上述机械手部(10)的前端部的相对于水平方向的倾斜的倾斜检测组件(30)；使上述机械手部(10)整体俯仰摆动，以便消除上述机械手部(10)的上述前端部的倾斜的倾斜修正组件(40)。

Description

基板输送装置及基板输送装置的控制方法
技术领域
本发明涉及输送液晶面板等基板的基板输送装置及基板输送装置的控制方法。 
背景技术
输送液晶面板等基板的机器人，一般具备悬臂支承的具有载置基板的叉子的机械手。近年来，因为基板已大型化所以该叉子也必然地变长。叉子自身由重量轻且刚性高的碳制作，以减轻挠曲的方式被考虑，但如果机械手离开了机器人主体即重心，则越离开就越在机械手前端产生由自重、基板的重量引起的挠曲。因此，在将基板输送给成为下一道工序的处理装置、箱时，因为存在基板与它们干涉而成为故障的原因，或者对基板产生损伤的可能性，所以修正机械手的挠曲的各种技术已被提出。 
例如，在日本特开平7-99225号公报中，公开了在将基板载置在机械手上时，通过使偏心凸轮由气缸旋转，使机械手绕支承部转动，在与载置基板时产生的挠曲的方向相反的方向对机械手的倾斜角度进行修正的技术。 
另外，在国际公开第2005/004230号公报中，公开了在将基板载置在机械手上时，通过使螺旋丝杠由马达旋转使固定了机械手的倾斜台倾斜，来修正机械手的倾斜角度的技术。 
在此，机械手的挠曲量，因输送的基板的重量等原因而变化。对于这一点，在日本特开平7-99225号公报公开的技术中，因为将机械手的挠曲量是一定的量作为前提，所以在输送重量不同的基板的情况下不能够使用。另一方面，国际公开第2005/004230号公报公开了预先存储关于由各基板的重量引起的机械手的挠曲量的信息，基于输送的基板和存储的信息修正机械手的倾斜角度。但是，预先存储关于由各基板的重量引起的机械手的挠曲量的信息是烦杂的，在输送没有存储信息的基板时，不能够进行机械手的倾斜角度的修正。
发明内容
本发明的目的在于，测定实际产生的机械手的挠曲，在实时地进行修正的同时在水平状态下更简易地输送载置在机械手上的基板。 
根据本发明，提供一种基板输送装置，该基板输送装置将载置在机械手部上的基板输送给处理装置或者规定的收容部，其特征在于，具备：移动组件，该移动组件支承作为上述机械手部的一端的根部侧，并且使上述机械手部在其延长方向往复移动；倾斜检测组件，该倾斜检测组件检测伴随在上述机械手部载置了上述基板时的挠曲的上述机械手部的前端部的相对于水平方向的倾斜；倾斜修正组件，该倾斜修正组件使上述机械手部整体进行俯仰摆动，以便消除上述机械手部的上述前端部的倾斜。 
另外，根据本发明，提供一种基板输送装置的控制方法，该基板输送装置具备载置基板的机械手部、和支承作为上述机械手部的一端的根部侧并且使上述机械手部在其延长方向往复移动的移动组件，将载置在上述机械手部上的基板输送给处理装置或者规定的收容部，其特征在于，具有：倾斜检测工序，该倾斜检测工序实时检测上述移动组件使机械手部往复移动时的伴随上述机械手部的挠曲的其前端部的相对于水平方向的倾斜；倾斜修正工序，该倾斜修正工序在消除上述机械手部的上述前端部的倾斜的方向使上述机械手部整体进行俯仰摆动；控制工序，该控制工序以通过上述倾斜修正工序使上述机械手部整体在上述消除的方向进行俯仰摆动、消除上述前端部的倾斜的方式对俯仰摆动进行控制，修正上述机械手部的倾斜，并且使上述机械手部在水平方向移动、伸长。 
附图说明
图1是本发明的一实施方式的基板输送装置100的整体立体图。 
图2是图1所示的基板输送装置100的正视图。 
图3是图1所示的基板输送装置100的侧视图。 
图4是移动部20的局部剖视图。 
图5是倾斜修正部40的俯视图。 
图6是升降组件50的局部剖视图。 
图7是机械手部10的放大侧视图。 
图8是表示基板输送装置100的控制部300的结构的框图。 
图9是表示基板输送装置100的动作开始前的状态的放大侧视图。 
图10是表示基板输送装置100的动作途中的状态的放大侧视图。 
图11是表示基板输送装置100的动作结束时的状态的放大侧视图。 
图12是第二实施方式的基板输送装置200的放大侧视图。 
图13是表示第一实施方式的基板输送装置100的控制部300的动作顺序的流程图。 
图14是表示第二实施方式的基板输送装置200的控制部300的动作顺序的流程图。 
为了实施发明的优选方式 
具体实施方式
<第一实施方式> 
[整体结构] 
图1是本发明的一实施方式的基板输送装置100的整体立体图，图2是图1所示的基板输送装置100的正视图，图3是图1所示的基板输送装置100的侧视图。另外，图4是移动部20的局部剖视图。 
基板输送装置100是将载置在机械手部10上的基板(例如，玻璃基板)输送给处理装置或者规定的收容部的装置。处理装置，例如，是进行基板的洗净、干燥、其它的处理的装置。收容部，例如，是可以将多块基板收纳在其内部的收纳箱。另外，基板输送装置100，通过使马达等驱动部M驱动，能够沿轨道R移动，另外，能够以转动轴A为中心使基板输送装置100整体转动。 
基板输送装置100，具备设置成上下两段的机械手部10(将上侧的机械手部作为上侧机械手部11，将下侧的机械手部作为下侧机械手部12)；对作为上侧及下侧机械手部11、12的一端的各根部侧11b、12b进行支承，同时使各个上侧及下侧机械手部11、12在其延长方向往复移动的移动部20；对伴随使上侧或者下侧机械手部11、12的任一方前进时及载置了基板W时的挠曲的上侧或者下侧机械手部11、12的前端部11a、12a相对于水平方向的倾斜进行检测的倾斜检测部30；使机械手部10整体俯仰摆动以便消除上侧及下侧机械手部11、12的前端部11a、12a的倾斜的倾斜修正部40。 
上侧及下侧机械手部11、12，可独立动作地以规定间隔离开地配设。另外，上侧及下侧机械手部11、12，分别由平行地以等间隔配设的多个叉子构件11c、12c和支承叉子构件11c、12c的根部侧(后端部侧)11b、12b的捆扎构件11d、12d构成。作为叉子构件11c、12c的材料，例如可以使用具有高强度的材料特性的碳纤维。 
移动部20，如图4所示，具有设置在上侧机械手部11的宽度方向一方侧的上侧皮带驱动机构21；设置在上侧机械手部11的宽度方向另一方侧的上侧导向部22；设置在下侧机械手部12的宽度方向另一方侧的下侧皮带驱动机构23；设置在下侧机械手部12的宽度方向一方侧的下侧导向部24；将上侧皮带驱动机构21、上侧导向部22、下侧皮带驱动机构23及下侧导向部24载置在上面上的上基座25。 
上侧皮带驱动机构21，成为如下的结构：马达21b的输出轴21b’与皮带轮21c连结，由皮带轮21c的旋转驱动皮带21d。通过对上侧 机械手部11的捆扎构件11d进行支承的一方的框架构件21a与皮带21d连结，另一方的框架构件21a’与上侧导向部22连结，使上侧机械手部11往复移动。 
下侧皮带驱动机构23，成为如下的结构：马达23b的输出轴23b’与皮带轮23c连结，由皮带轮23c的旋转驱动皮带23d。通过对下侧机械手部12的捆扎构件12d进行支承的一方的框架构件23a与皮带23d连结，另一方的框架构件23a’与下侧导向部24连结，使下侧机械手部12往复移动。 
在本实施方式中，还具备使载置移动部20的上基座25在机械手部10的延长方向往复移动的第二移动部70。第二移动部70，如图3所示，具有固定在上基座25的下面上的滑块71；固定在后述的下基座73的上面上，使滑块71在机械手部10的延长方向往复移动的滑动机构72；在上基座25的下方仅离开规定距离地配置的下基座73。 
滑块71，在本实施方式中，由固定在上基座25的下面上，与后述的滚珠丝杠轴72a螺纹配合的滚珠丝杠螺母71a构成。滑动机构72，具备旋转自由地固定在下基座73上的滚珠丝杠轴72a；旋转驱动滚珠丝杠轴72a的滚珠丝杠马达72b；配置在滚珠丝杠轴72a的端部，可转动地支承滚珠丝杠轴72a的轴承72c。 
由此，机械手部10成为可以以两阶段进行伸缩的结构，能够将机械手部10伸到更远方。因此，可以输送大型的基板。另一方面，在输送大型的基板的情况下，因为使机械手部10前进时的挠曲进一步变大，所以适用本发明变得重要。 
另外，移动部20，由通过螺栓固定在上基座25上的防尘罩X覆盖整体，另外，第二移动部70，由通过螺栓固定在下基座73上的防尘罩Y覆盖整体。 
但是，在防尘罩X上，以支承上侧机械手部11的框架构件21a、21a’以及支承下侧机械手部12的框架构件23a、23a’能够从上面突出地移动的方式在它们的可动范围内设置了狭缝。另外，对于防尘罩Y，也以滚珠丝杠螺母71a能够从上面突出地移动的方式在可动范围 内也设置了狭缝。 
倾斜检测部30，如图2及图3所示，具有设置在叉子构件11c、12c的前端部11a、12a附近，与叉子构件11c、12c的延长方向平行地照射光线的照射部31a、31b，和接受光线，检测其受光位置与预定的受光基准位置的偏移量的偏移量检测部32a、32b。 
偏移量检测部32a、32b，在本实施方式中，由接受光线的受光装置和运算受光位置和受光基准位置的偏移量的运算装置构成。由运算装置运算的结果作为信号发送给后述的控制部300。 
另外，偏移量检测部32a、32b，在本实施方式中，不仅具有受光装置，也具有运算装置，将运算的偏移量发送给后述的控制部300，但偏移量检测部32a、32b也可以仅具有受光装置，将受光位置的信息发送给控制部300，由控制部300运算偏移量。 
在此，机械手部10，越接近叉子构件11c、12c的前端部11a、12a倾斜量越大。因此，通过在倾斜量最大的叉子构件11c、12c的前端部11a、12a设置照射部31a、31b，能够更可靠地检测机械手部10的最大倾斜量。 
在照射部31a、31b上，例如，能够使用红外线、激光等。作为预定的基准位置，例如，能够设定成叉子构件11c、12c的根部侧11b，12b中的上面的高度。这是因为在上侧及下侧机械手部11，12没有挠曲的情况下，根部侧11b、12b的高度和叉子构件11c、12c的前端部11a、12a的高度是相同的高度。 
图5是倾斜修正部40的俯视图。倾斜修正部40(以下，也称为动作执行器40)，设置在下基座73的下方，使下基座73整体俯仰摆动。动作执行器40具有具有由旋转轴41b连结的两个偏心凸轮41a、41a’的偏心凸轮机构41；固定在支承部52b的上面上，具有输出轴42a的偏心凸轮马达42；在使下基座73倾斜时成为支点的铰链部43。 
偏心凸轮41a、41a’的旋转轴41b被支承在固定在支承部52b上的轴承41c、41c’上。在偏心凸轮马达42的输出轴42a上连结着减速机44，减速机44还与偏心凸轮41a、41a’的旋转轴41b连结。由 此，能够将偏心凸轮马达42的输出传递给偏心凸轮41a、41a’的旋转轴41b，使偏心凸轮41a、41a’旋转。 
铰链部43具有固定在下基座73的下面上的板43a；固定在后述的支承部52b的上面上的板43b；转动自由地连结这些板43a、43b的旋转轴43c。铰链部43，以旋转轴43c为中心，相对于支承部52b可转动地支承下基座73。 
因此，因为铰链部43可转动地连结下基座73和支承部52b，偏心凸轮41a、41a’可上下动地支承下基座73，所以通过驱动偏心凸轮马达42，能够以铰链部43的旋转轴43c(参照图3)为中心使下基座73俯仰摆动。 
另外，倾斜修正部40由固定在后述的支承部52b上的防尘罩Z覆盖了侧面及上面，但在其上面上，以不与偏心凸轮41a、41a’及板43b的可动范围干涉的尺寸设置了狭缝。 
另外，倾斜修正部40不被上述的驱动结构限定，也可以将下基座73的下面做成倾斜面，支承部52b使支承下基座73的部位前后移动，由此使下基座73摆动。 
升降组件50具有框状的框架51和在上下方向可滑动移动地卡合在框架51上的滑架52。框架51具有与上述的旋转轴A转动自由地连接并水平设置的基座构件51a；相对于基座构件51a垂直设置的柱51b、51b’；在上端连结柱51b、51b’的连结构件51c。 
另外，滑架52，具有卡合在柱51b、51b’的框架51的内侧并垂直设置的升降部52a、52a’和连结各升降部52a、52a’的支承部52b。 
图6是升降组件50的局部剖视图。升降组件50还具有固定在柱51b、51b’的内壁上的齿条53；固定在升降部52a、52a’上的马达等驱动部54；与驱动部54的输出轴54’连结，与齿条53啮合的小齿轮55。因此，通过驱动部54进行驱动，小齿轮55进行旋转，能够使上侧及下侧机械手部11、12、移动部20、倾斜检测部30及倾斜修正部40升降。 
图7是机械手部10的放大侧视图。在图1至图3中省略了图示， 但在上侧及下侧机械手部11、12的叉子构件11c、12c的各上面11d、12d上，设置了多个基板吸附构件13。在此，仅对上侧机械手部11进行说明，下侧机械手部12也是同样的结构。 
基板吸附构件13由盘状的主体部13a和作为缓冲体的波纹管部13b构成。在主体部13a的中央，贯通地设置吸引孔13a’。此吸引孔13a’通过波纹管部13b的内部空间13b’，与设置在叉子构件11c的内部的吸引通路11c’连通。 
吸引通路11c’与由真空泵等构成的排气部(未图示)连接。当在基板吸附构件13上载置了基板W时，由排气部通过吸引通路11c’及内部空间13b’，对吸引孔13a’内的空气气体进行吸引，成为真空状态。 
由此，将基板W吸附(紧贴)在叉子构件11c、12c上，能够防止基板W从机械手部10滑落。 
另外，在本实施方式中，通过使基板吸附构件13内成为真空状态，防止了基板W从机械手部10滑落，但只要是仅由摩擦力能得到同样的效果的结构，也可以使之不成为真空状态。另外，例如，通过设置支承基板W的边缘的销，也可以防止基板W从机械手部10滑落。 
图8是表示基板输送装置100的控制部300的结构的框图。控制部300具备管理基板输送装置100整体的控制的CPU301；提供CPU301的工作区同时存储可变数据等的RAM302；存储控制程序、控制数据等固定的数据的ROM303。RAM302、ROM303也可以采用其它的存储组件。 
输入接口(I/F)304是CPU301和各种传感器(例如，偏移量检测部32a、32b等)的接口，经输入I/F304，CPU301取得各种传感器的检测结果。输出接口(I/F)305是CPU301和各种马达(例如，马达21b、23b、偏心凸轮马达42及滚珠丝杠马达72b等)的接口，经输出I/F304，CPU301控制各种马达。 
通信接口(I/F)306是控制基板输送装置100整体的主计算机400和CPU301的接口，CPU301与来自主计算机400的指令相应地控制 基板输送装置100。 
[动作说明] 
图9是表示基板输送装置100的动作开始前的状态的放大侧视图，图10是表示基板输送装置100的动作途中的状态的放大侧视图，图11是表示基板输送装置100的动作结束时的状态的放大侧视图。在此，假设移动部20使上侧机械手部11移动的状况，对于下侧机械手部12也能够以同样的动作进行说明。 
首先，如图9所示，在本实施方式中，倾斜检测部30通常检测载置了基板W的上侧机械手部11的前端部11a的倾斜。即，倾斜检测部30的偏移量检测部32a通常检测照射部31a照射的光线的受光位置C和预定的受光基准位置D的偏移量。 
在此，所谓预定的受光基准位置，是指在机械手部10没有产生挠曲的状态，即在机械手部10上载置基板W前的状态下偏移量检测部32a受光的位置(基准位置D)。 
另外，作为叉子构件11c、12c，因为在本实施方式中使用碳纤维等高强度构件，所以由机械手部10的自重产生的挠曲，小到几乎能够忽略，但在由于使用由其它的材料构成的构件，此挠曲不能够忽略的情况下，可以预先进行修正(零点修正)，以便在机械手部10上不载置基板W的状态下受光位置C和受光基准位置D一致。 
接着，如图10所示，使第二移动部70的滚珠丝杠马达72b驱动，使滚珠丝杠螺母71a向机械手部10的延长方向滑动移动。与此相伴，上基座25向前方移动。在与此动作进行的同时，使移动部20的上侧皮带驱动机构21驱动而使皮带21d成为驱动状态，使框架部21a向前方移动。与此相伴，载置了基板W的上侧机械手部11向前方移动。 
此时，倾斜修正部40，基于倾斜检测部30的检测结果，使机械手部10整体俯仰摆动，以便消除上侧机械手部11的前端部11a的倾斜。即，倾斜修正部40，通过调整偏心凸轮41a支承下基座73的位置，变更下基座73的倾斜角度。 
因为偏心凸轮马达42通常检测旋转角度，基于其检测结果由控制 部300进行控制，所以能够任意地调整偏心凸轮41a的旋转角度。另外，如果倾斜检测部30检测到受光位置偏离受光基准位置，则驱动偏心凸轮马达42，使偏心凸轮41a顺时针旋转。 
此俯仰摆动，直到上侧机械手部11的前端部11a的倾斜被消除为止，即直到由偏移量检测部32a检测到偏移量为0(受光位置C和受光基准位置D一致)为止继续。另外，使机械手部10倾斜的处理，通常在移动部20在水平方向移动机械手部10的期间进行。由此，即使在输送的基板尺寸不同的情况下，也不需要每次都修正输送的基板重量、挠曲量等倾斜修正数据自身。 
另外，即使是在机械手部10移动时振动的情况下，因为通常也检测上侧或者下侧机械手部11、12的前端部11a、12a的倾斜，所以能够实时地修正机械手部10的倾斜，减轻振动，直到检测到偏移量为0为止。因此，即使在振动时，也能在将基板保持成水平的同时可靠地输送给下一道工序。 
这样，通过在修正上侧机械手部11的倾斜的同时使上侧机械手部11在水平方向移动、伸长，在上侧机械手部11伸长直到图11所示的最大伸长状态时，受光位置C和受光基准位置D成为一致的状态。即，在上侧机械手部11的前端部11a的倾斜被消除了的状态下，上侧机械手部11伸长得最大。 
如上所述，根据本实施方式，因为倾斜修正部40相对于水平方向使机械手部10及移动部20倾斜，以便消除由倾斜检测部30检测到的倾斜，所以能够在修正机械手部10的挠曲的同时在水平状态下更简易地输送载置在机械手部10上的基板W。另外，在本实施方式中，上侧机械手部11的叉子构件11c由捆扎构件11d从上方支承，下侧机械手部12的叉子构件12c由捆扎构件12d从下方支承，但也可以做成叉子构件11c、12c的任一个都从下方或者上方支承的结构。 
另外，作为上述的第一实施方式的变形例1，也可以以如下的方式构成倾斜检测部30。即，倾斜检测部30具有设置在预定的位置(例如，支承部52b)，向上侧及下侧机械手部11、12的前端部11a、12a 照射光线的照射部；设置在上侧及下侧机械手部11、12的前端部11a、12a附近，反射光线的反射部(反光镜)；接受由反射部反射的光线并检测其受光位置和预定的受光基准位置的偏移量的偏移量检测部。 
即，在本变形例中，在上侧及下侧机械手部11、12的前端部11a、12a附近设置反射部来代替照射部，将投光及受光一体型的传感器(反射型传感器)设置在受光基准位置，在其反射光偏离受光基准位置的情况下进行倾斜修正。 
在此，如上述的第一实施方式的那样，在使用照射部和偏移量检测部分离(分离型)的结构的情况下，各自是比较小型的结构，但如变形例1的那样，在使用反射型传感器的情况下，与分离型相比成为大型的结构。因此，需要宽阔地确保设置空间。 
因此，在不能确保设置空间的情况下，可以使用分离型，将照射部和偏移量检测部配设在不同的位置，而不使用投光及受光一体型传感器。 
根据本变形例，因为在上侧及下侧机械手部11、12的前端部11a、12a上不是设置照射部，而是设置了反射部，所以能够减轻由上侧及下侧机械手部11、12的前端部11a、12a负担的负荷。由此，能够抑制机械手部10的挠曲。另外，因为不需要在上侧及下侧机械手部11、12的前端部11a、12a上实施照射部的配线，所以能够简化机械手部10，降低设备故障率。 
<第二实施方式> 
在上述的第一实施方式中，升降组件50用于将机械手部10、移动部20、倾斜检测部30、倾斜修正部40升降到预定的高度方向的位置，但在本实施方式中，除此以外，还用于对作为由倾斜修正部40调整机械手部10的倾斜的结果而产生的高度方向的位置的偏移进行调整，在这一点上不同。另外，对于与第一实施方式同样的结构赋予相同的符号并省略说明。 
图12是第二实施方式的基板输送装置200的侧视图。倾斜检测部30，在本实施方式中，是离开了上侧及下侧机械手部11、12的前端部 11a、12a的位置(预定的部位)的检测相对于水平方向的倾斜量的水平度检测计(倾斜计)30a、30b。在此，作为预定的部位，例如，采用上侧及下侧机械手部11、12的各叉子构件11c、12c的长度的中间位置和前端部11a、12a之间的范围。这是因为，在此范围内，上侧及下侧机械手部11、12的挠曲最大，倾斜量大。另外，倾斜检测部30，从载置基板W的面上突出并以不与基板W干涉的方式配设。 
在此，也可以修正倾斜直到水平度检测计30a、30b表示水平状态为止，但在此情况下，能将上侧及下侧机械手部11、12的前端部11a、12a做成水平，但存在不能够以预先设定的高度输送基板W的情况。因此，需要检测上侧及下侧机械手部11、12的前端部11a、12a的高度的高度检测部60。 
高度检测部60具有设置在上侧及下侧机械手部11、12的前端部11a、12a上，与上侧及下侧机械手部11、12的延长方向平行地照射光线的照射部61a、61b，和接受光线来检测其受光位置和预定的受光基准位置的偏移量的偏移量检测部62a、62b。预定的受光基准位置，在机械手部10不产生挠曲的情况下，是在机械手部10及移动部20没有倾斜的状态下偏移量检测部62a、62b受光的位置。 
升降组件50，在本实施方式中，基于高度检测部60的检测结果，升降上侧及下侧机械手部11、12、移动部20、倾斜检测部30及倾斜修正部40，以便修正伴随由倾斜修正部40进行的上侧或者下侧机械手部11、12的俯仰摆动的上侧或者下侧机械手部11、12的前端部11a、12a的高度变动。 
即，升降组件50，是由倾斜修正部40的动作，在基板W的预定的输送高度和实际的输送高度之间产生了偏移的情况下，以其偏移量为0的方式进行调整的。例如，如图12所示，在检测位置F和受光基准位置G仅离开了距离E的情况下，升降组件50，使上侧及下侧机械手部11、12、移动部20、倾斜检测部30及倾斜修正部40仅下降距离E。 
根据本实施方式，在通过由倾斜修正部40使机械手部10及移动 部20倾斜，基板W的上下方向的高度变化的情况下，能够由升降组件50使机械手部10、移动部20、倾斜检测部30及倾斜修正部40下降来调整基板W的上下方向的位置。 
另外，高度检测部60的照射部61a、61b，在本实施方式中，设置在上侧及下侧机械手部11、12的前端部11a、12a上，为了更正确地检测基板W的实际的输送高度，也可以与因机械手部10的材料等而变化的挠曲的程度相应地任意地变更安装位置。例如，照射部61a、61b，可以设置在上侧及下侧机械手部11、12的前端部11a、12a和根部侧(后端部)11b、12b之间的中间位置上。 
<其它实施方式> 
在控制上述第一实施方式的基板输送装置100的控制方法中也能够适用本发明。基板输送装置100，如上所述，具备载置基板W的上侧及下侧机械手部11、12，和在支承作为上侧及下侧机械手部11、12的一端的根部侧11b、12b的同时，使每个上侧及下侧机械手部11、12在其延长方向往复移动的移动部10，是将载置在上侧或者下侧机械手部11、12上的基板W向处理装置或者规定的收容部输送的装置。在此，假设使上侧机械手部11移动的情况进行说明，对于下侧机械手部12也能够同样地进行说明。 
图13是表示基板输送装置100的控制部300的动作顺序的流程图。首先，在步骤S101中，从倾斜检测部30将检测伴随在上侧或者下侧机械手部11、12上载置了基板W时的挠曲的上侧或者下侧机械手部11、12的前端部11a、12a的相对于水平方向的倾斜的检测结果输入给控制部300。 
接着，在步骤S102中，判定倾斜检测部30中的检测结果是否已输入给控制部300。在步骤S102中在判定为没有输入检测结果的情况下，结束一系列的处理。另一方面，在步骤S102中在判定为检测结果已输入的情况下，在步骤S103中，基于在倾斜检测部30中的检测结果，使机械手部10整体俯仰摆动，以便消除上侧或者下侧机械手部11、12的前端部11a、12a的倾斜。 
接着，在步骤S104中，判定在倾斜检测部30中是否检测到倾斜量为0。在步骤S104中在判定为没有检测到倾斜量为0的情况下，返回步骤S103，继续进行移动部20的倾斜处理。另一方面，在步骤S104中在判定为已检测到倾斜量为0的情况下，结束一系列的处理。另外，从步骤S101到步骤S104的一系列的处理，是在由移动部20使机械手部10在其延长方向移动的期间执行倾斜修正处理的。 
另外，在控制第二实施方式的基板输送装置200的控制方法中也能够适用本发明。基板输送装置200，如上所述，具备使机械手部10及移动部20升降的升降组件50。 
图14是表示第二实施方式的基板输送装置200的控制部300的动作顺序的流程图。首先，在步骤S201中，在由倾斜修正工序进行机械手部10的俯仰摆动之后，由高度检测部60将检测了上侧或者下侧机械手部11、12的前端部11a、12a的高度的检测结果输入给控制部300。 
接着，在步骤S202中，判定是否向控制部300输入了高度检测部60中的检测结果。在步骤S202中在判定为没有输入检测结果的情况下，结束一系列的处理。另一方面，在步骤S202中在判定为已输入检测结果的情况下，在步骤S203中，基于高度检测部60中的检测结果，由升降组件50升降机械手部10及移动部20，以便修正伴随由倾斜修正工序产生的机械手部10的俯仰摆动的上侧或者下侧机械手部11、12的前端部11a、12a的高度变动(与基准位置的偏移量)。 
接着，在步骤S204中，判定是否在倾斜检测部30中检测到了倾斜量为0。在步骤S204中在判定为没有检测到倾斜量为0的情况下，返回步骤S203，继续进行机械手部10及移动部20的倾斜处理。另一方面，在步骤S204中在判定为已检测到倾斜量为0的情况下，结束一系列的处理。 

Claims (12)

1.一种基板输送装置，该基板输送装置将载置在机械手部上的基板输送给处理装置或者规定的收容部，其特征在于，具备： 
移动组件，该移动组件支承作为上述机械手部的一端的根部侧，并且使上述机械手部在其延长方向往复移动； 
倾斜检测组件，该倾斜检测组件通常检测使机械手部移动时及将上述基板载置在上述机械手部上时的伴随上述机械手部的挠曲的其前端部的相对于水平方向的倾斜； 
倾斜修正组件，该倾斜修正组件在消除上述机械手部的上述前端部的倾斜的方向使上述机械手部整体进行俯仰摆动； 
控制组件，该控制组件为了在消除上述机械手部的前端部的倾斜的状态下使上述机械手部移动，对上述倾斜修正组件的俯仰摆动进行控制， 
上述倾斜检测组件具有： 
照射组件，该照射组件向上述机械手部的前端部照射光线； 
反射组件，该反射组件设置在上述机械手部的前端附近，反射上述光线； 
偏移量检测组件，该偏移量检测组件接受由上述反射组件反射的光线，检测其受光位置和预定的受光基准位置的偏移量。 
2.一种基板输送装置，该基板输送装置将载置在机械手部上的基板输送给处理装置或者规定的收容部，其特征在于，具备： 
移动组件，该移动组件支承作为上述机械手部的一端的根部侧，并且使上述机械手部在其延长方向往复移动； 
倾斜检测组件，该倾斜检测组件通常检测使机械手部移动时及将上述基板载置在上述机械手部上时的伴随上述机械手部的挠曲的其前端部的相对于水平方向的倾斜； 
倾斜修正组件，该倾斜修正组件在消除上述机械手部的上述前端部的倾斜的方向使上述机械手部整体进行俯仰摆动； 
控制组件，该控制组件为了在消除上述机械手部的前端部的倾斜的状态下使上述机械手部移动，对上述倾斜修正组件的俯仰摆动进行控制， 
上述倾斜检测组件是倾斜计，该倾斜计设置在从上述机械手部的前端部到上述机械手部的中间位置的范围内的部位，检测该部位的相对于水平方向的倾斜量。 
3.如权利要求1或2记载的基板输送装置，其特征在于， 
上述移动组件具备： 
皮带驱动机构，该皮带驱动机构设置在上述机械手部的宽度方向一方侧，支承上述机械手部的上述根部侧，并且使上述机械手部往复移动； 
导向部，该导向部设置在上述机械手部的宽度方向另一方侧，支承上述机械手部的上述根部侧，并且对上述机械手部的往复移动进行导向； 
基座部，该基座部将上述皮带驱动机构及上述导向部载置在其上面上。 
4.如权利要求3记载的基板输送装置，其特征在于， 
上述倾斜修正组件是动作执行器，该动作执行器设置在上述基座部的下方，使上述基座部整体俯仰摆动。 
5.如权利要求4记载的基板输送装置，其特征在于， 
上述动作执行器具有使上述基座部整体俯仰摆动的偏心凸轮机构和使该偏心凸轮机构的偏心凸轮旋转的偏心凸轮马达。 
6.如权利要求1或2记载的基板输送装置，其特征在于，还具备使上述机械手部、上述移动组件、上述倾斜检测组件及上述倾斜修正组件升降的升降组件。 
7.如权利要求1或2记载的基板输送装置，其特征在于，还具备使上述移动组件整体在上述机械手部的延长方向往复移动的第二移动组件。 
8.如权利要求4记载的基板输送装置，其特征在于， 
还具备使上述移动组件整体在上述机械手部的延长方向往复移动的第二移动组件， 
上述基座部具备上下离开配置的上基座和下基座， 
上述第二移动组件具有固定在上述上基座的下面上的滑块和固定在上述下基座上并使该滑块在上述机械手部的延长方向往复移动的滑动机构， 
将上述动作执行器设置在上述下基座的下方。 
9.如权利要求8记载的基板输送装置，其特征在于， 
上述滑动机构具备旋转自由地固定在上述下基座上的滚珠丝杠轴和使该滚珠丝杠轴旋转驱动的滚珠丝杠马达， 
上述滑块是与上述滚珠丝杠轴螺纹配合，固定在上述上基座的下面上的滚珠丝杠螺母。 
10.如权利要求2记载的基板输送装置，其特征在于，还具备： 
升降组件，该升降组件使上述机械手部、上述移动组件、上述倾斜检测组件及上述倾斜修正组件升降； 
高度检测组件，该高度检测组件检测上述机械手部的上述前端部的高度， 
上述升降组件，基于上述高度检测组件的检测结果，升降上述机械手部、上述移动组件、上述倾斜检测组件及上述倾斜修正组件，以便修正伴随由上述倾斜修正组件进行的上述机械手部的俯仰摆动的上述机械手部的上述前端部的高度变动。 
11.如权利要求10记载的基板输送装置，其特征在于， 
上述高度检测组件具有： 
照射组件，该照射组件设置在上述机械手部的前端附近，与机械手部的前端部的延长方向平行地照射光线； 
偏移量检测，该偏移量检测组件接受上述光线，检测其受光位置和预定的受光基准位置的偏移量。 
12.一种基板输送装置的控制方法，该基板输送装置具备载置基板的机械手部、和支承作为上述机械手部的一端的根部侧并且使上述 机械手部在其延长方向往复移动的移动组件，将载置在上述机械手部上的基板输送给处理装置或者规定的收容部， 
其特征在于，具有： 
倾斜检测工序，该倾斜检测工序通常检测上述移动组件使机械手部移动时及将上述基板载置在上述机械手部上时的伴随上述机械手部的挠曲的其前端部的相对于水平方向的倾斜； 
倾斜修正工序，该倾斜修正工序在消除上述机械手部的上述前端部的倾斜的方向使上述机械手部整体进行俯仰摆动； 
控制工序，该控制工序以通过上述倾斜修正工序使上述机械手部整体在上述消除的方向进行俯仰摆动、消除上述前端部的倾斜的方式对俯仰摆动进行控制，修正上述机械手部的倾斜，并且使上述机械手部在水平方向移动、伸长 ，
上述基板输送装置具备使上述机械手部及上述移动组件升降的升降组件， 
上述控制方法具备： 
高度检测工序，该高度检测工序在由上述倾斜修正工序进行上述机械手部的俯仰摆动之后，检测上述机械手部的上述前端部的高度， 
基于上述高度检测工序的检测结果，由上述升降组件升降上述机械手部及上述移动组件，以便修正伴随由上述倾斜修正工序进行的上述机械手部的俯仰摆动的上述机械手部的上述前端部的高度变动。 
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