JP3908005B2 - ワーク搬送ロボット - Google Patents
ワーク搬送ロボット Download PDFInfo
- Publication number
- JP3908005B2 JP3908005B2 JP2001331431A JP2001331431A JP3908005B2 JP 3908005 B2 JP3908005 B2 JP 3908005B2 JP 2001331431 A JP2001331431 A JP 2001331431A JP 2001331431 A JP2001331431 A JP 2001331431A JP 3908005 B2 JP3908005 B2 JP 3908005B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hand
- cam plate
- movable block
- cam follower
- base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J18/00—Arms
- B25J18/002—Arms comprising beam bending compensation means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J18/00—Arms
- B25J18/02—Arms extensible
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/06—Programme-controlled manipulators characterised by multi-articulated arms
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示装置及びプラズマディスプレイパネル(PDP)の大型ガラス基板及び半導体用大型ウエハなどワークを搬送するワーク搬送ロボットに関する。
【0002】
【従来の技術】
大型ガラス基板など重量の大きなワークを搬送するワーク搬送ロボットにおいては、ハンドにワークを積載してハンドを伸長する時モーメント負荷によりハンド上で撓みが発生する。
【0003】
このため、従来のワーク搬送ロボットにおいては、例えば、ハンドの元部(付け根)にアジャスタボルトを設け、予めアジャスタボルトを操作してハンドの仰角を調整しハンドが伸長して最大前進位置(実用使用領域での終端位置)に達したときハンドが水平状態になるように設定している。
【0004】
また、大気中で使用されるワーク搬送ロボットにおいては、ハンドの付け根にモータによる撓み補正軸を設けてハンドの撓みに対応していた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記アジャスタボルト使用タイプのワーク搬送ロボットによると、ハンドが始端位置から終端位置まで移動する間、モーメント負荷の変動によりハンド先端が弧を描くような動作をするようになり、このため、ハンドに積載されたワークがこのワークの搬送先であるカセット及び装置ステージなどの各スロット及びゲート間口などと干渉しやすくなる。そこで、このような干渉を避けるために、予め各スロット間ピッチ及びゲート間口高さなどを広く設定しており、これに伴い、ロボットのZ軸方向(上下方向)のストロークを大きくとる必要があった。
【0006】
また、上記モータ使用タイプのワーク搬送ロボットによると、コスト高になると共に真空中ではモータ及びその配線類からのアウトガス及びモータ配線処理等に対する効果的な対応策をとることが困難なため現状使用できないという問題があった。
【0007】
本発明は、上記のような従来のワーク搬送ロボットが抱えている問題を解決し、Z軸方向のストロークを減少させることができると共にコストの低減を図ることができ、しかも、真空中での使用が可能なワーク搬送ロボットを提供することを目的とする。
【0008】
なお、ワーク搬送ロボットには、いわゆるスカラ型のロボット(例えば、第2アームと第1アームとハンドとを備えると共にプーリ及びタイミングベルト又は、スチールベルト等を内蔵し、第2アームと第1アームとの水平面上の回転位相及び第1アームとハンドとの水平面上の回転位相が変化してハンドが水平直線軌道上を前進、後退するロボット)、及び、直動型のロボット(例えば、固定ベース上をスライドベースが水平直線移動すると共にスライドベース上をハンドが水平直線移動するロボット)が知られているが、本発明は、いずれのロボットに対しても適用できるようにしたものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明のワーク搬送ロボットは、スカラ型のワーク搬送ロボットにおいて、
機械的構造のみによる撓み補正機構を設け、該撓み補正機構は、第1アームの先端部のケース上面側に固定されるカムプレートであって、該カムプレートの上面の高さ位置が円周方向に沿って変化するカムプレートと、ハンドの元部に固定される可動ブロックであって、前記第1アームの先端部のプーリと一体になって回動し、かつ、該プーリ側の水平軸回りに回動可能な可動ブロックと、前記可動ブロックに固定されるカムフォロアであって、前記プーリの回動に伴い前記カムプレートの上面上を円周方向へ転動するカムフォロアとを備え、前記カムプレートの上面は、前記ハンドが始端位置にあるときに前記カムフォロアと接触する位置から、前記ハンドが終端位置にあるときに前記カムフォロアと接触する位置まで、高さ位置が連続的に徐々に上昇するよう形成されており、ワークを保持したハンドが前進及び後退する間、前記カムフォロアが前記カムプレートの上面上を円周方向へ転動することにより前記可動ブロックが前記水平軸回りに回動し、前記ハンドを水平状態に維持することを特徴とする。また、アームの垂れから起因する上下方向の高さの変位補正は、そのアーム垂れの個体差を予め教示することによりロボットの上下軸(Z軸)を使用し、上下変位の補正を行う。
【0011】
本発明のワーク搬送ロボットは、直動型のワーク搬送ロボットにおいて、機械的構造のみによる撓み補正機構を設け、該撓み補正機構は、スライドベースの上面に固定されるカムプレートであって、上面の高さ位置が前後方向に沿って変化するカムプレートと、前記スライドベースの上面上を前後方向へ直動可能なハンドベースと、ハンドの元部に固定される可動ブロックであって、前記ハンドベースの水平軸回りに回動可能な可動ブロックと、前記可動ブロックに固定されるカムフォロアであって、前記ハンドベースの直動に伴い前記カムプレートの上面上を前後方向へ転動するカムフォロアとを備え、前記カムプレートの上面は、前方へ向かうにしたがって、高さ位置が連続的に徐々に上昇するよう形成されており、ワークを保持したハンドが前進及び後退する間、前記カムフォロアが前記カムプレートの上面上を前後方向へ転動することにより前記可動ブロックが前記水平軸回りに回動し、前記ハンドを水平状態に維持することを特徴とする。また、アームの垂れから起因する上下方向の高さの変位補正は、そのアーム垂れの個体差を予め教示することによりロボットの上下軸(Z軸)を使用し、上下変位の補正を行う。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【0013】
図1は、本発明の適用例であるスカラ型のワーク搬送ロボットの要部の平面図、図2は、同ロボットの要部を概念的に示した側面図である。
【0014】
図1及び図2において、1は大型ガラス基板など重量の大きなワークを積載するハンド、2はハンド1の元部1aに先端部2aが連結された第1アーム、3は第1アーム2の元部2bに先端部3aが連結された第2アームをそれぞれ表しており、第2アーム3の元部3bは、Z軸方向(上下方向)へ移動可能かつθ軸方向(水平面における円周方向)へ回転可能な図示しない機台に連結されている。第2アーム3、第1アーム2及びハンド1は、公知のように、図示しない駆動機構(プーリ、タイミングベルト又は、スチールベルトなど)によって、図1に示した点Oを固定位置として図1及び図2に実線で示した状態Ss から図1及び図2に一点鎖線で示した状態Sm を経て図1及び図2に二点鎖線で示した状態Se へと変位し、ハンドは始端位置から終端位置までの直線軌道上を前進する。また、第2アーム3、第1アーム2及びハンド1は、公知のように、上記とは逆の状態へも変位し、ハンド1は前進時と同じ直線軌道上を終端位置から始端位置まで後退する。
【0015】
ハンド1と第1アーム2との連結部位には、ワークを積載したハンド1が前進及び後退するときモーメント負荷によって第2アーム3、第1アーム2及びハンド1に生じる撓みを補正するための機械的構造のみによる撓み補正機構4が設けられている。
【0016】
撓み補正機構4は、第1アーム2の先端部2aのケース2cの上面2d側に固定されるカムプレート41を備える。このカムプレート41の上面41aは、その高さ位置が円周方向に沿って変化するよう形成されている。すなわち、カムプレート41の上面41aは、ハンド1が始端位置にあるときに後述するカムフォロア42と接触する位置から、ハンド1が終端位置にあるときにカムフォロア42と接触する位置まで、高さ位置が連続的に徐々に上昇するように形成されている。ハンド1の元部1aには可動ブロック43が固定されている。この可動ブロック43は、第1アーム2の先端部2aのプーリ(図示せず)と一体になって回動すると共に上記プーリ側の水平軸44回りに回動可能である。可動ブロック43にはカムフォロア42が固定されている。このカムフォロア42は、上記プーリの回動に伴いカムプレート41の上面41a上を円周方向へ転動する。
【0017】
このように構成された撓み補正機構4は、ワークを保持したハンド1が始端位置から終端位置まで前進する間、モーメント負荷によって第2アーム3、第1アーム2及びハンド1に俯角方向の撓みが生じ、この俯角方向の撓みは、ハンド1が始端位置から終端位置に向かうに従って徐々に増大してゆく。この間、カムフォロア42はカムプレート41の上面41a上を円周方向へ転動し、カムフォロア42の高さ位置は、上述したようにカムプレート41の上面41aがその高さ位置が徐々に上昇するよう形成されているため、徐々に上昇してゆく。このようなカムフォロア42の高さ位置の上昇に伴い、可動ブロック43は水平軸44回りに回動し、ハンド1に対しその先端部1bを上昇させる方向、換言すると、ハンド1の仰角を増大させる方向に作用する。そして、このようなハンド1の仰角の増大は、第2アーム3、第1アーム2及びハンド1の俯角方向の撓みと相殺され、ハンド1は、前進する間、水平状態に維持される。更に、アーム自体の撓み等により発生したアーム部先端での上下変位量は、ロボット本体の上下軸(Z軸)により常に一定の高さを保つように補正される。
【0018】
また、ワークを保持したハンド1が上記とは反対に終端位置から始端位置まで後退する間は、上述したハンド1の前進時とは逆の動作が行われ、ハンド1は前進時と同様に水平状態に維持される。
【0019】
図3〜図5は、図2に概念的に示した撓み補正機構4を具体的に示しており、図3は撓み補正機構の側面図、図4は撓み補正機構の正面図、図5は撓み補正機構の平面図である。
【0020】
図3〜図5において、1はハンド、1aはハンド1の元部、2は第1アーム、2aは第1アーム2の先端部、2cは先端部2aのケース、2dはケース2cの上面をそれぞれ表している。
【0021】
図3及び図4に示すように、ケース2cの内部には、固定軸2eが設けられており、この固定軸2eに可動プーリ2fが回動自在に配設されている。可動プーリ2fには、タイミングベルト又はスチールベルト等2gが掛け渡されており、このタイミングベルト又はスチールベルト等2gは、第1アーム2の図示しない元部側の固定プーリにも掛け渡されている。
【0022】
図3及び図4に示すように、第1アーム2の先端部2aのケース2cの上面2dには、カバー体45が固着されている。カバー体45の内部のケース上面2dには、カムプレート保持部材46が固着されており、このカムプレート保持部材46に、図4に示すように、カムプレート用アジャスタスクリュー47によってカムプレート41が固定されている。カムプレート用アジャスタスクリュー47は、カムプレート41の姿勢を微調整するものである。カムプレート41は円環状に形成されており、このカムプレート41の上面41aは、その高さ位置が円周方向に沿って変化するよう形成されている。すなわち、カムプレート41の上面41aは、ハンド1が始端位置にあるときにカムフォロア42と接触する位置から、ハンド1が終端位置にあるときにカムフォロア42と接触する位置まで、高さ位置が連続的に徐々に上昇するように形成されている。
【0023】
カバー体45の内部には、図3に示すように、第1アーム2の可動プーリ2fに固着された水平軸保持部材48が収容されている。水平軸保持部材48は、図5に示すように、水平軸44を回動自在に保持する軸受部49を備えている。水平軸44の両端部には、図3〜図5に示すように、可動ブロック43が固着されている。可動ブロック43は、水平軸44回りに回動可能である。可動ブロック43には、図4に示すように、カムフォロア用アジャスタボルト50によって微調整ブロック52が固定されている。微調整ブロック52には、円環状のカムプレート41の上面41a上を円周方向へ転動可能にカムフォロア42が固定されている。カムフォロア用アジャスタボルト50は、可動ブロック43に対する微調整ブロック52の姿勢を調整し、カムフォロア42の高さ位置を微調整するものである。
【0024】
可動ブロック43には、ハンド1の元部1aが固定されている。
【0025】
上記のように構成された撓み補正機構4において、ワークを保持したハンド1が始端位置から終端位置まで前進する間、カムフォロア42はカムプレート41の上面41a上を円周方向へ転動し、カムフォロア42の高さ位置は、上述したようにカムプレート41の上面41aがその高さ位置が徐々に上昇するよう形成されているため、徐々に上昇してゆく。このようなカムフォロア42の高さ位置の上昇に伴い、可動ブロック43は水平軸44回りに回動し、ハンド1に対しその先端部1bを上昇させる方向、換言すると、ハンド1の仰角を増大させる方向に作用する。そして、このようなハンド1の仰角の増大は、第2アーム3、第1アーム2及びハンド1の俯角方向の撓みと相殺され、ハンド1は、前進する間、水平状態に維持される。
【0026】
また、ワークを保持したハンド1が上記とは反対に終端位置から始端位置まで後退する間は、上述したハンド1の前進時とは逆の動作が行われ、ハンド1は前進時と同様に水平状態に維持される。なお、ハンド1が前進してゆくにしたがってハンド1の高さ位置は撓みによって徐々に下降してゆくが、この高さ位置は、Z軸方向(上下方向)の高さ位置が調整可能な機台を制御することによって補正することができ、ハンド1を常に同じ高さ位置に保ちながら水平状態に維持させることができる。
【0027】
以上説明したように、本実施形態に係るスカラ型のワーク搬送ロボットによると、重量の大きなワークを保持したハンド1が前進及び後退する間、ハンド1は水平状態を維持できるため、ワークがその搬送先であるカセット及び装置ステージなどの各スロット及びゲート間口などと干渉するおそれが少なくなり、各スロット間ピッチ及びゲート間口高さなどを広く設定する必要性が無くなる。したがって、ロボットのZ軸方向(上下方向)のストロークを小さく設定することが可能になる。
【0028】
また、撓み補正機構4は、機械的構造のみによるため、モータ使用タイプの撓み補正機構と比べコスト安になると共に、モータレスにより真空中でのアウトガス等の発生も抑制でき、真空中でも十分使用できるようになる。
【0029】
図6は、本発明の他の適用例である直動型のワーク搬送ロボットの要部の平面図、図7は、同ロボットの要部を概念的に示した側面図、図8は、同ロボットの要部を概念的に示した背面図である。
【0030】
図6〜図8において、1は大型ガラス基板など重量の大きなワークを積載するハンド、11は、ロボット本体部から突出し、Z軸方向(上下方向)へ移動可能かつθ方向(水平面における円周方向)へ回転可能な機台を表している。機台11には長四角板状の固定ベース12が水平状態で連結固定されている。固定ベース12の上面には、長手方向に沿った左右一対のレール13、13に係合したリニアガイド14、14を介して固定ベース12と略同じ平面形状のスライドベース15が配置されている。スライドベース15の上面には、長手方向に沿った左右一対のレール16、16に係合したリニアガイド17、17を介してハンド1が配設されている(厳密には、ハンド1とリニアガイド17、17との間には、後述する撓み補正機構6が介在する)。スライドベース15及びハンド1は、公知のように、図示しない駆動機構(ベルト、あるいは、ラックとピニオンなど)によって、図6及び図7に実線で示した状態Ss から図6及び図7に一点鎖線で示した状態Sm を経て図6及び図7に二点鎖線で示した状態Se へと変位し、ハンド1は始端位置から終端位置までの直線軌道上を前進する。また、スライドベース15及びハンド1は、公知のように、上記とは逆の状態へも変位し、ハンド1は前進時と同じ直線軌道上を終端位置から始端位置まで後退する。
【0031】
ハンド1とスライドベース15との連結部位には、ワークを積載したハンド1が前進及び後退するときモーメント負荷によって固定ベース12、スライドベース15及びハンド1に生じる俯角方向の撓みを補正するための機械的構造のみによる撓み補正機構6が設けられている。
【0032】
撓み補正機構6は、スライドベース15上の左右一対のレール16、16に係合したリニアガイド17、17に固定された左右一対のハンドベース61を備える。左右一対のハンドベース61は水平軸62を介して連結されている。水平軸62には可動ブロック63が回動自在に配設されており、可動ブロック63は水平軸62回りに回動可能とされている。スライドベース15の上面には、長手方向に沿って長尺なカムプレート64が固定されている。カムプレート64は、その上面64aの高さ位置が、前方へ向かうにしたがって連続的に徐々に上昇するように形成されている。可動ブロック63には、カムプレート64の上面63a上を転動可能なカムフォロア65が固定されている。可動ブロック63にはハンド1の元部1aが固定されている。
【0033】
上記のように構成された撓み補正機構6において、ワークを保持したハンド1が始端位置から終端位置まで前進する間、カムフォロア65はカムプレート64の上面64a上を前方へ向かって転動し、カムフォロア65の高さ位置は、上述したようにカムプレート64の上面64aがその高さ位置が徐々に上昇するよう形成されているため、徐々に上昇してゆく。このようなカムフォロア65の高さ位置の上昇に伴い、可動ブロック63は水平軸62回りに回動し、ハンド1に対しその先端部1bを上昇させる方向、換言すると、ハンド1の仰角を増大させる方向に作用する。そして、このようなハンド1の仰角の増大は、固定ベース12、スライドベース15及びハンド1の俯角方向の撓みと相殺され、ハンド1は、前進する間、水平状態に維持される。更に、スライドベース15自体の撓み等により発生したスライドベース先端での上下変位量は、ロボット本体の上下軸(Z軸)により常に一定の高さを保つように補正される。
【0034】
また、ワークを保持したハンド1が上記とは反対に終端位置から始端位置まで後退する間は、上述したハンド1の前進時とは逆の動作が行われ、ハンド1は前進時と同様に水平状態に維持される。なお、ハンド1が前進してゆくにしたがってハンド1の高さ位置は撓みによって徐々に下降してゆくが、この高さ位置は、Z軸方向(上下方向)の高さ位置が調整可能な機台11を制御することによって補正することができ、ハンド1を常に同じ高さ位置に保ちながら水平状態に維持させることができる。
【0035】
以上説明したように、本実施形態に係る直動型のワーク搬送ロボットによると、重量の大きなワークを保持したハンド1が前進及び後退する間、ハンド1は水平状態を維持できるため、ワークがその搬送先であるカセット及び装置ステージなどの各スロット及びゲート間口などと干渉するおそれが少なくなり、各スロット間ピッチ及びゲート間口高さなどを広く設定する必要性が無くなる。したがって、ロボットのZ軸方向(上下方向)のストロークを小さく設定することが可能になる。
【0036】
また、撓み補正機構6は、機械的構造のみによるため、モータ使用タイプの撓み補正機構と比べコスト安になると共に、モータレスにより真空中でのアウトガス等の発生を抑制でき、真空中でも十分使用できるようになる。
【0037】
【発明の効果】
本発明によると、Z軸方向のストロークを減少させることができると共にコストの低減を図ることができ、しかも、真空中での使用が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の適用例であるスカラ型のワーク搬送ロボットの要部の平面図である。
【図2】同ロボットの要部を概念的に示した側面図である。
【図3】撓み補正機構の側面図である。
【図4】撓み補正機構の正面図である。
【図5】撓み補正機構の平面図である。
【図6】本発明の他の適用例である直動型のワーク搬送ロボットの要部の平面図である。
【図7】同ロボットの要部を概念的に示した側面図である。
【図8】同ロボットの要部を概念的に示した背面図である。
【符号の説明】
1 ハンド
1a 元部
2 第1アーム
2a 先端部
2c ケース
2d 上面
2f プーリ
15 スライドベース
4、6 撓み補正機構
41、64 カムプレート
41a、64a 上面
42、65 カムフォロア
43、63 可動ブロック
44、62 水平軸
61 ハンドベース
Claims (2)
- スカラ型のワーク搬送ロボットにおいて、
機械的構造のみによる撓み補正機構を設け、
該撓み補正機構は、
第1アームの先端部のケース上面側に固定されるカムプレートであって、該カムプレートの上面の高さ位置が円周方向に沿って変化するカムプレートと、
ハンドの元部に固定される可動ブロックであって、前記第1アームの先端部のプーリと一体になって回動し、かつ、該プーリ側の水平軸回りに回動可能な可動ブロックと、
前記可動ブロックに固定されるカムフォロアであって、前記プーリの回動に伴い前記カムプレートの上面上を円周方向へ転動するカムフォロアと
を備え、
前記カムプレートの上面は、前記ハンドが始端位置にあるときに前記カムフォロアと接触する位置から、前記ハンドが終端位置にあるときに前記カムフォロアと接触する位置まで、高さ位置が連続的に徐々に上昇するよう形成されており、
ワークを保持したハンドが前進及び後退する間、前記カムフォロアが前記カムプレートの上面上を円周方向へ転動することにより前記可動ブロックが前記水平軸回りに回動し、前記ハンドを水平状態に維持する
ことを特徴とするワーク搬送ロボット。 - 直動型のワーク搬送ロボットにおいて、
機械的構造のみによる撓み補正機構を設け、
該撓み補正機構は、
スライドベースの上面に固定されるカムプレートであって、上面の高さ位置が前後方向に沿って変化するカムプレートと、
前記スライドベースの上面上を前後方向へ直動可能なハンドベースと、
ハンドの元部に固定される可動ブロックであって、前記ハンドベースの水平軸回りに回動可能な可動ブロックと、
前記可動ブロックに固定されるカムフォロアであって、前記ハンドベースの直動に伴い前記カムプレートの上面上を前後方向へ転動するカムフォロアと
を備え、
前記カムプレートの上面は、前方へ向かうにしたがって、高さ位置が連続的に徐々に上昇するよう形成されており、
ワークを保持したハンドが前進及び後退する間、前記カムフォロアが前記カムプレートの上面上を前後方向へ転動することにより前記可動ブロックが前記水平軸回りに回動し、前記ハンドを水平状態に維持する
ことを特徴とするワーク搬送ロボット。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001331431A JP3908005B2 (ja) | 2001-10-29 | 2001-10-29 | ワーク搬送ロボット |
TW091122247A TW564207B (en) | 2001-10-29 | 2002-09-27 | Work carrying robot |
CNB021457794A CN1261283C (zh) | 2001-10-29 | 2002-10-17 | 工件运送机器人 |
KR1020020065789A KR20030035978A (ko) | 2001-10-29 | 2002-10-28 | 워크 반송로봇 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001331431A JP3908005B2 (ja) | 2001-10-29 | 2001-10-29 | ワーク搬送ロボット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003136442A JP2003136442A (ja) | 2003-05-14 |
JP3908005B2 true JP3908005B2 (ja) | 2007-04-25 |
Family
ID=19147012
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001331431A Expired - Fee Related JP3908005B2 (ja) | 2001-10-29 | 2001-10-29 | ワーク搬送ロボット |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3908005B2 (ja) |
KR (1) | KR20030035978A (ja) |
CN (1) | CN1261283C (ja) |
TW (1) | TW564207B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101609775B1 (ko) | 2014-03-24 | 2016-04-06 | 주식회사 로보스타 | 피치 가변형 로봇 |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4524132B2 (ja) * | 2004-03-30 | 2010-08-11 | 東京エレクトロン株式会社 | 真空処理装置 |
EP1645513A3 (en) * | 2004-09-21 | 2006-04-19 | Philip Morris Products S.A. | Modular packing assembly |
JP2006110662A (ja) * | 2004-10-14 | 2006-04-27 | Toshiba Mach Co Ltd | 産業用ロボット |
JP4903027B2 (ja) * | 2006-01-06 | 2012-03-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送装置および基板支持体 |
CN101888959B (zh) * | 2007-12-05 | 2013-07-03 | 平田机工株式会社 | 基板输送装置及基板输送装置的控制方法 |
JP5178432B2 (ja) * | 2008-09-26 | 2013-04-10 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
CN102528793A (zh) * | 2010-12-15 | 2012-07-04 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 一种用于板状工件搬运的末端执行器可侧翻机构 |
JP7370975B2 (ja) * | 2018-06-19 | 2023-10-30 | 川崎重工業株式会社 | 水平多関節ロボット |
CN110948511B (zh) * | 2018-09-26 | 2022-07-26 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 一种交替步进式机器人供料装置 |
CN110948517A (zh) * | 2018-09-26 | 2020-04-03 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 一种非等距式机器人供料装置 |
CN110948512B (zh) * | 2018-09-26 | 2022-07-26 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 一种倾摆补偿式直驱真空机器人 |
CN110948518B (zh) * | 2018-09-26 | 2022-08-02 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 一种洁净机器人用收发料装置 |
JP7412208B2 (ja) * | 2020-02-17 | 2024-01-12 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送装置、処理システム及び搬送方法 |
-
2001
- 2001-10-29 JP JP2001331431A patent/JP3908005B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-09-27 TW TW091122247A patent/TW564207B/zh active
- 2002-10-17 CN CNB021457794A patent/CN1261283C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2002-10-28 KR KR1020020065789A patent/KR20030035978A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101609775B1 (ko) | 2014-03-24 | 2016-04-06 | 주식회사 로보스타 | 피치 가변형 로봇 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1261283C (zh) | 2006-06-28 |
JP2003136442A (ja) | 2003-05-14 |
CN1418056A (zh) | 2003-05-14 |
KR20030035978A (ko) | 2003-05-09 |
TW564207B (en) | 2003-12-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3908005B2 (ja) | ワーク搬送ロボット | |
TWI398335B (zh) | Workpiece conveying system | |
US6491491B1 (en) | Articulated robot | |
KR101531721B1 (ko) | 산업용 로보트 | |
KR20090020556A (ko) | 더블암형 로봇 | |
JP4363432B2 (ja) | 移載装置 | |
JP2013049113A (ja) | ロボットのアーム構造およびロボット | |
JP2006120861A (ja) | 傾き補正装置及びそれを備えた搬送ロボット | |
US7112808B2 (en) | Wafer 2D scan mechanism | |
JP2921727B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JP4824645B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
US11027918B2 (en) | Transfer device and stacker crane | |
JP2006005362A (ja) | 基板搬送装置 | |
JP6898086B2 (ja) | 基板搬送装置用のキャリア | |
JPS61273611A (ja) | 産業用ロボツト | |
JP2019033220A (ja) | 基板搬送装置 | |
JP2010199478A (ja) | ウェーハの偏心補正方法及びウェーハ搬送装置 | |
JP2617249B2 (ja) | リードフレームに対する半導体チップの供給装置 | |
JP2008512864A (ja) | 電気的な構成要素を準備するためのウエハテーブル及び構成要素を基板に装着するための装置 | |
JP7503950B2 (ja) | 産業用ロボット | |
JPH0641698Y2 (ja) | 板材加工機におけるクランプ装置 | |
JP5479961B2 (ja) | 電子部品の実装装置及び実装方法 | |
JP2011171347A (ja) | 基板把持機構およびそれを備えた基板搬送装置 | |
JPH106166A (ja) | 方向性を有するワークの搬送装置 | |
JP3141891U (ja) | ワーク搬送装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20031128 |
|
A625 | Written request for application examination (by other person) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A625 Effective date: 20031209 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20031211 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20040908 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050621 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050809 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050929 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060425 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060613 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20061219 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070117 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |