CN101357443A - 具有通过接触检测来校正安装误差的功能的机床 - Google Patents

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CN101357443A CNA2008101447182A CN200810144718A CN101357443A CN 101357443 A CN101357443 A CN 101357443A CN A2008101447182 A CNA2008101447182 A CN A2008101447182A CN 200810144718 A CN200810144718 A CN 200810144718A CN 101357443 A CN101357443 A CN 101357443A
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蛯原建三
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Abstract

本发明涉及一种具有通过接触检测来校正安装误差的功能的机床，该机床能基于来自机床固有的位置检测器的检测结果来自动地校正工件或加工附件的方位。该机床包括：位置检测器；位置偏差确定装置；接触检测装置，基于位置偏差检测探针与工件或加工附件的表面之间的接触；坐标值检测装置；倾斜度确定装置；以及校正装置。倾斜度确定装置移动线性轴，从而执行对探针与工件或加工附件的表面上的至少两个不同点的接触的检测，并使用所获得的坐标值确定工件或加工附件的倾斜度。校正装置基于确定的倾斜度校正工件或加工附件的安装误差，或校正加工程序。

Description

具有通过接触检测来校正安装误差的功能的机床
技术领域
本发明涉及机床，特别是涉及具有通过接触检测来校正安装误差的功能的机床。
背景技术
作为检测要由切割机切割的工件的倾斜度的技术，存在一种已知的技术，在该技术中，使位移检测器与工件的参考平面接触或与加工附件的参考平面接触，然后以位移检测器追踪该参考平面来获取与倾斜度有关的数据。依据该技术，根据所获取的数据，使用操作者面板等手工地移动在上面安装了工件或加工附件的旋转轴来调节工件的方位。在此调节后，再次使位移检测器与工件的参考平面接触或与加工附件的参考平面接触来确定工件或加工附件的安装误差是否已变得小于允许值。如果安装误差大于允许值，则重复该调节，直到安装误差变得小于允许值(参考已审查的日本专利公开第H06-26787号)。
然而，该技术需要作为位移检测器的额外的测量仪器，例如电子测微仪，并且，方位校正所需的精度和时间对于不同操作者有很大的不同。同样，需要直接追踪易碎材料的表面来与加工表面平行地定位该材料，因而存在在易碎材料的表面上留下线性疤痕的可能。
发明内容
本发明提供了一种机床，它不需要特殊的设备，例如位移检测器，而且仍允许基于由机床固有的位置检测器提供的检测结果通过旋转工件或加工附件容易地且自动地校正工件或加工附件的方位。
而且，本发明提供一种机床，在应用了本发明的工作机器的旋转轴数量不足以校正工件或加工附件的方位的情况下，通过接触检测来检测工件或加工附件的安装误差作为工件或加工附件的倾斜度，并作出校正值来校正自动地反映在加工程序的加工坐标值中的倾斜度。
本发明的机床由数字控制器控制且具有多个可动轴，该可动轴分别由流体轴承支撑并依据加工程序使工件相对于由加工附件固定的刀具移动。该机床包括：位置检测器，用于分别检测该可动轴的位置；位置偏差确定装置，用于确定各个可动轴的命令位置与由位置检测器检测到的各个可动轴的位置之间的位置偏差；接触检测装置，在由位置偏差确定装置检测到的位置偏差超过预设值时，检测探针与该工件或该加工附件的表面之间的接触；可动轴停止装置，在由接触检测装置检测到接触的瞬间停止该可动轴；坐标值检测装置，在由接触检测装置检测到接触的瞬间获取坐标值；倾斜度确定装置，用于移动可动轴的线性轴，使得该工件或该加工附件相对于探针移动，以便由接触检测装置执行在所述表面上的至少两个点检测探针与工件或加工附件的表面之间的接触，并基于线性轴中的一个线性轴的移动距离和由该坐标值检测装置获得的坐标值确定该工件或该加工附件的倾斜度；以及，校正装置，基于所确定的该工件或该加工附件的倾斜度，校正该工件或该加工附件的安装误差，或校正加工程序。
该可动轴可以包括线性轴和旋转轴，用于检测该线性轴的位置的位置检测器可以包括具有10nm或以下的辨析率的线性标尺。
用于检测该旋转轴的位置的位置检测器可以包括具有万分之一度以下的辨析率的编码器，并且该旋转轴可以与直接对其驱动的马达直接连接。
该工件的表面可以是侧面，该侧面具有至少一个平坦表面，该平坦表面与该工件的加工方向平行或垂直。
该加工附件可以包括旋转加工附件，并且该加工附件的表面可以是与旋转加工附件的旋转刀具的旋旋转轴垂直的参考表面。
该加工附件可以保持切割/划线装置，并且该切割/划线刀具的杆的侧面用作加工附件的表面。
该探针可以是由金属制成的具有球状末端的圆锥形的细长部件并且可以连接到方位可变的且设置在磁体保持器上的臂的末端。
该工件和该加工附件可以安装在由各个移动轴的旋转轴驱动的不同的旋转工作台上，在要加校正工件的安装误差时，该探针可以固定地排列在安装了该加工附件的旋转工作台上，而在要校正该加工附件的安装误差时，该探针可以固定地排列在安装了该工件的旋转工作台上。
该校正装置通过在相反的方向以所确定的倾斜角度旋转安装了该工件或该加工附件的旋旋转轴，自动地校正该工件或该加工附件的安装误差。
该校正装置可以基于所确定的倾斜度自动地校正加工程序的加工坐标值。
依据本发明，该工件或该加工附件的方位可以基于NC程序指定的位置命令值或机床固有的例如线轴标尺的位置检测器提供的检测结果，通过旋转该工件或该加工附件容易地并自动地校正，而无需使用特殊的设备，例如位移检测器。
而且，即使在旋转轴的数量不足以校正该工件或该加工附件的方位的工作机器的情况下，本发明也能通过接触检测将该工件或该加工附件的安装误差作为倾斜度进行检测，并获得校正值来校正自动地反映在加工程序的加工坐标值中的倾斜度。
附图说明
图1是依据本发明实施例的机床的主要部件的透视图；
图2是表示用于依据本发明实施例的机床的示例数字控制器的主要部件的方框图；
图3也是表示依据本发明实施例的机床的数字控制器的主要部件的方框图；
图4是表示依据本发明实施例的机床的数字控制器的主要部件的方框图；
图5a和5b表示在将流体轴承用作可动轴的轴承时观察到的位置偏差的波动；
图6表示要加工的工件；
图7表示固定在加工附件上的切割主轴(spindle)；
图8表示切割/划线刀具的杆(shank)的侧面；
图9表示通过其方位可自由改变的臂连接到磁体保持器的末端的探针；
图10描述一种原理，依据该原理可以从探针的接触位置坐标值之间的差H和该探针的平移距离D获得工件的位移角θ或加工附件的参考平面的位移角θ；
图11是表示依据本实施例用于测量工件的倾斜度的处理算法的流程图；
图12表示在相反的方向旋转轴旋转该位移角θ来校正方位的方法；
图13a至13c表示自动地校正工件的安装误差的方法；
图14a至14c表示自动地校正加工附件的安装误差的方法；
图15表示接触检测点，在要校正与工件的加工表面相关的加工附件的安装位置的情况下，在这些接触检测点允许探针与工件接触；
图16a和16b表示在X轴方向进给刀具的情况下，如何允许探针与工件的加工表面接触的方法；
图17a和17b表示在Z轴方向进给刀具的情况下，如何允许探针与工件的加工表面接触的方法；以及
图18表示在轴的排列不允许利用旋转轴来校正方位的情况下，如何在以固定进给节距划线期间校正加工坐标值的方法。
具体实施方式
图1是依据本发明实施例的机床的主要部件的透视图，该机床具有通过接触检测来自动校正安装误差的功能。本实施例的机床是具有五个可同时控制的轴，即作为线性轴的X、Y和Z轴以及作为旋转轴的B轴和C轴的机床。这些可动轴的每个轴都由流体轴承支撑，图中未示出，因此没有固体摩擦(机械摩擦)。这些旋转轴直接连接到要由此直接驱动的各个马达。如图2所示的，线性的X、Y和Z轴分别与伺服马达24x、24y和24z连接，每个伺服马达包括线性马达，由各个伺服马达24x、24y和24z驱动的可动件的运动分别由位置/速度检测器25x、25y和25z检测，每个位置/速度检测器25x、25y和25z包括线性标尺。
具体的讲，用于检测每个线性轴的位置的位置检测器包括具有辨析率为10nm(纳米)或更小的线性标尺。分别与旋转轴B和旋转轴C相关的每个位置/速度检测器25b和25c包括具有不大于1/10000度的辨析率的高性能编码器。
X轴工作台1和Z轴工作台3安装在基座12上。在与X轴的方向垂直的水平方向上驱动Z轴工作台3。在与X轴和Z轴垂直的Y轴方向可移动的Y轴工作台2安装在Z轴工作台3上。旋转轴B和旋转轴C的工作台4和5分别安装在X轴工作台1和Y轴工作台2上，从而它们的轴的旋转相互垂直。旋转轴B的工作台4围绕与X轴垂直的B轴旋转，而旋转轴C的工作台5围绕与Y轴垂直的C轴旋转。
工件6放置在旋转轴B的工作台4上，具有用作固定了主轴7的参考平面的表面的加工附件8可分离地固定到旋转轴C的工作台5。进一步，磁体保持器9可分离地固定到旋转轴C的工作台5。由通用的接头彼此连接的臂10和探针11枢轴地固定到磁体保持器9。探针11被制作成与加工附件8或工件6相接触。磁体保持器9可选地固定到旋转轴B的工作台4。
如上所述，工件6和加工附件8安装在机床的各自不同的旋转轴工作台上。在要自动校正工件6的方位/安装误差时，磁体保持器9固定到安装了加工附件8的旋转工作台上，并且，在要自动校正加工附件8的方位/安装误差时，磁体保持器9固定到放置了工件6的旋转工作台。
图2至图4是表示用于控制本发明的机床的数字控制器的主要部件的方框图，该机床装备了通过接触检测来自动校正安装误差的功能。
X轴伺服控制单元依据来自由NC程序或操作者指定的数字控制单元的移动指令，对伺服马达24x执行位置控制、速度控制和电流环控制，以便控制伺服马达24x(即，作为由伺服马达24x驱动的受控轴的X轴)的位置和速度。
为了控制伺服马达24x，数字控制单元的位置命令装置16执行移动命令分配处理(move command distribution process)来获得每个预定分配间隔(移动命令输出间隔)的分配移动命令(distributed move command)MCMD，并将获得的移动命令MCMD输出到X轴伺服控制单元的位置偏差计数器17。位置偏差计数器17将分配移动命令MCMD相加，并从由此拥有的值中减去从用于检测伺服马达24x的位置和速度的位置/速度检测器25x反馈的位置反馈(位置FB)的值来获得位置偏差ERR。位置控制器18将位置偏差ERR乘以位置环增益K来获得速度命令。
加法器/减法器19从速度命令中减去从位置/速度检测器25x反馈的速度反馈(速度FB)的值来获得速度偏差。速度控制部20执行速度环控制，例如PI控制(比例加积分控制，proportional-plus-integral control)，来获得扭矩命令(电流命令)。加法器/减法器21从扭矩命令中减去从与放大器23x相关的电流检测器反馈的电流反馈(电流FB)15的值来获得电流偏差。电流控制部22执行电流环控制，以便通过放大器23x控制伺服马达24x的操作。也对Y轴和Z轴以及对旋转轴B和旋转轴C执行与前述X轴控制类似的位置/速度控制。
数字控制单元包括：接触检测装置27，作为检测工件6和探针11之间的接触的装置，以与从位置偏差计数器17输出到位置控制器18的位置偏差相同的位置偏差ERR作为输入；以及，位置偏差参考值设定装置26，用于设定用作标准的参考值，以便检测在工件6与探针11的接触时变化的位置偏差ERR。接触检测装置27将从X轴伺服控制单元输入的位置偏差ERR与由位置偏差参考值设定装置26设定的参考值B+和B-进行比较，来确定位置偏差ERR是否已变得大于参考值B+和B-中的至少一个参考值。如果位置偏差ERR变得大于参考值B+和B-中的至少一个参考值，则接触检测装置27将信号输出到数字控制单元中的可动轴停止装置28和接触位置坐标值检测装置29中的每个装置。
现在参考图1至图4，将描述用于检测工件6和探针11之间的接触的装置。机床通常都装备跳转功能(skip function)。在发现位置偏差计数器17计算的位置偏差值已变得大于参考值的至少一个参考值时所生成的信号被用作跳转信号，从而移动命令可以通过跳转功能进行跳转而进入后续的处理。跳转功能包括：(1)立即将来自数字控制单元的停止命令输出到伺服控制单元；(2)从伺服控制单元接收取消的位置偏差值并校正数字控制单元中的位置信息；(3)将当前的加工位置作为跳转的位置存储在数字控制单元的存储器中；以及，(4)将脉冲输出到伺服控制单元，以在停止信号输出之前已进给的方向相反的方向上移动该轴。
探针11和工件6可以依据移动命令将二者之间的相对位置减少到零而彼此接触。因此，随后将说明一种示意性的情况，其中，移动图1所示的X轴工作台1来使工件6与探针11接触。不必说，旋转轴C可以选择性地旋转以使得探针11与工件6接触。
为了移动X轴工作台以允许工件6与探针11接触，X轴伺服控制单元依据来自位置命令装置16的分配移动命令MCMD来控制伺服马达24x，从而由位置偏差计数器17计算来作为分配移动命令MCMD与来自位置/速度检测器25x的位置反馈(FB)信号之间的差动信号的位置偏差ERR变为“0”(零)。
就在工件6与探针11接触时，位置偏差计数器17的计数值由于位置命令装置16提供的分配移动命令MCMD而改变但位置反馈(FB)信号并没跟随该改变，从而位置偏差ERR显示出急剧的瞬时改变。
图5a示出了在将流体轴承用作可动轴的轴承时观察到的在位置偏差ERR上的波动。其中，使用了免于固体摩擦的流体轴承，如所示，位置偏差ERR保持平稳，并且就在图1所示的工件6与探针11彼此接触时，位置偏差ERR突然改变。通过检测位置偏差ERR的突然改变，可以判断出工件6和探针11已彼此接触。例如，设定如图5b所示的参考值B+和B-，在位置偏差ERR突然改变得大于参考值B+或B-的点A，可以判断出工件6与探针11已彼此接触。在位置偏差ERR变得大于参考值B+和B-中的至少一个时可以判断出工件6与探针11已彼此接触。参考值B+和B-可以由如图2所示的位置偏差参考值设定装置26任意地设定。
以下描述在检测到工件6与探针11之间的接触时用于停止X轴的处理。图3示出了依据本实施例的在检测到工件6与探针11之间的接触时如何使作为可动轴的X轴停止的方法。在检测到工件6与探针11之间的接触时，接触检测装置27将接触检测信号输出到可动轴停止装置28。可动轴停止装置28将命令信号输出到位置命令装置16，指示位置命令装置16停止输出分配移动命令MCMD。同时，可动轴停止装置28将负的位置偏差ERR(即，-ERR)输出到位置偏差计数器17，从而位置偏差计数器17中保持的位置偏差值可以被抵消并变成零(“0”)。结果，位置偏差计数器17的计数值变为零(“0”)，并且X轴停止。
现在将描述用于在检测到工件6与探针11之间的接触时获得X轴的坐标值的处理。图4示出了依据本实施例的在检测到工件6与探针11之间的接触时如何由坐标值检测装置检测X轴坐标值的方法。数字控制单元提供有用于存储伺服马达24x(可动轴X)的当前位置的当前位置寄存器30。当前位置寄存器30保存与通过累计从位置命令装置16输出到位置偏差计数器17的分配的脉冲得到的X轴工作台的当前位置有关的数据。接触位置坐标值检测装置29取回存储在当前位置寄存器30中的值，然后通过从取回的值中减去位置偏差值ERR来校正当前位置，以获得工件6与探针11之间的接触的位置的坐标值。
接触位置坐标值检测装置29可选地进行如下配置。来自位置/速度检测器25x的位置FB信号存储在当前位置寄存器30中并被累计直到接触检测装置27检测到工件6与探针11之间的接触以获得当前位置。
同样，代替使用作为可动轴的X轴的位置偏差值，可以利用同样是作为可动轴的旋转轴B的位置偏差值来基于该位置偏差值的改变来检测工件与探针之间的接触。在本实施例的机床中，线性的X、Y和Z轴工作台1、2和3，以及旋转轴B和C的工作台4和5每个都由流体轴承支撑，因此均几乎没有摩擦的动作。从而，当探针11与工件彼此接触且提供有负载时，任何一个可动轴都因为所提供的负载而移动。由于所命令的位置与检测到的位置之间的位置偏差ERR因为轴的移动而增加，因此可以通过检测位置偏差ERR的增加来检测探针11与工件6之间的接触。
例如，当通过移动X轴工作台使工件6与探针11接触时，扭矩作用在旋转轴B上旋转旋转轴B的工作台，使得旋转轴B的位置偏差值瞬时增加。不必说，工件已以这样的方向与探针接触：将旋转力提供给旋转工作台使得可以从旋转轴的位置偏差值的瞬时改变检测到工件与探针二者之间的接触。
在以上描述中，使得工件6与探针11彼此接触。可选地，可以使图1中通过磁体保持器9可动地连接到旋转轴C的工作台的探针11放在旋转轴B的工作台上，并可以代替工件6，使探针与加工附件8的参考平面8a接触。
尽管以上参考图2说明了X轴，但Y、Z、B和C轴也以类似方式配置。依据本发明的接触检测可以对构成机床的所有可动轴进行，也可以仅对特定轴，例如仅对X轴或Y轴进行。
图6示出了要由本发明的机床加工的工件6。工件6具有作为参考平面的平行于加工方向的侧面6a或垂直于加工方向的侧面6b，利用该参考平面收集自动校正工件6的安装误差所需的数据。
当允许探针11与工件6接触以自动校正工件6的安装误差时，选择平行于加工方向的侧面6a或垂直于加工方向的侧面6b作为用于接触检测的场所，并使探针11与同一平面上的至少两个不同的点接触。例如，对于平行于加工方向的侧面6a，可以选择点6a-1和6a-2，对于垂直于加工方向的侧面6b，可以选择点6b-1和6b-2。随后，从上述不同的两点之间的线性轴的移动距离以及接触位置坐标值检测装置29计算的坐标值(参考图2和图4)获得工件6的倾斜度。然后，基于获得的工件6的倾斜度，校正工件6的安装误差或校正加工程序的坐标***(参考图13a至18)。
图7示出了加工附加8的参考平面8a，在该参考平面8a上安装了如图1所示的旋转轴C的工作台5并固定了轴7。如所示，用于使旋转切割刀具31旋转的轴7连接到参考平面8a。参考平面8a垂直于旋转刀具31的旋旋转轴。
图8示出了作为加工刀具连接到如图1所示的旋转轴C的工作台的切割/划线刀具。切割/划线刀具32安装在指定的方位上，并且由于刀具32的杆具有平坦的侧面，可以将该平坦的侧面用作参考平面。
图9示出了在图1中连接到旋转轴C的工作台5的探针。通用的接头33b固定到磁体保持器9，臂10回转地连接到通用接头33b，从而可以自由调节臂10的方位。探针11通过通用接头33a回转地连接到臂10的末端。探针11是做成具有球状末端的圆锥形等的金属的细长部件。
图10描述了一种原理，依据该原理，可以从探针11的接触位置坐标值之差H和探针的平移距离D获得工件6的位移角θ或加工附件8的参考平面8a的位移角θ。图10中描述的原理可以应用于上述参考图6说明的获得工件6的倾斜度的情况中。为了使探针11与工件6接触，将平行于加工方向的侧面6a选择作为使探针11接触的表面。然后，获得在点6a-1和6a-2各个上的接触位置坐标值，并计算在这两个点各自上的接触位置坐标值之间的差H。同样，获得点6a-1和6a-2之间的线性轴的平移距离D。据此，依据图10中示出的公式获得工件6的位移角θ。同获得工件6的倾斜度的情况一样，也可以从参考平面8a上的不同两点上的接触位置坐标值之差和平移距离获得获得加工附件的倾斜度。依据图10中描述的原理，需要在分别两个不同点上获得的至少两个接触位置坐标值来获得倾斜度。可选地，可以在三个或更多点获得接触位置坐标值，从而可以计算多个位移角，并且可以将所计算的角的平均值作为工件6的位移角。
现在将参考图11的流程图描述依据本实施例的用于测量工件的倾斜度的处理算法。
在将工件放置在连接到预定可动轴的工作台上后，开始用于校正工件的倾斜度的处理。首先，获得工件的测量接近位置(measurement approach position)(步骤S1)。该测量接近位置可以从加工程序获得或者由操作者手动设定。在步骤S1中设定了测量接近位置后，将工件定位在第一轴上的第一测量接近位置上(步骤S2)。然后，在第一轴的方向上将工件朝向探针移动(步骤S3)，并连续地确定位置偏差是否已超过参考值中的至少一个(步骤S4)。如果没有超过任何一个参考值，则将工件连续地朝向探针移动。如果判断出位置偏差已变得大于参考值中的至少一个，则停止工件的运动(步骤S5)并将所停在的位置的坐标值存储在寄存器R1中(步骤S6)。随后，为了允许工件平移到第二测量接近位置，将工件缩回并在垂直于第一轴的第二轴方向上移动工件(步骤S7)。然后将工件朝向探针移动(步骤S8)，并连续地确定位置偏差是否已超过参考值中的至少一个(步骤S9)。如果没有超过任何一个参考值，则将工件连续地朝向探针移动。如果判断出位置偏差已变得大于参考值中的至少一个，则停止工件(步骤S10)并将所停在的位置的坐标值存储在寄存器R2中(步骤S11)。然后，使用寄存器R1和R2中存储的坐标值，依据图10所示的公式获得位移角θ(步骤S12)。依据获得的位移角校正工件的倾斜度(步骤S13)，至此，结束处理。
图12示出了通过在相反的方向上以参考平面8a的位移角θ旋转旋转轴C来校正加工附件8的方位的方法。用于自动校正工件6或加工附件8的安装误差的校正装置在与放置工件6或加工附件8的方向相反的方向上以等于获得的位移角的角度旋转对应的旋转轴，因此自动地校正工件6或加工附件8的安装误差。
图13a至13c示出了自动校正工件6的安装误差的方法。依据上面参考图10说明的原理获得工件6的倾斜度。具体的，如图13a所示，将工件6放置在旋转轴B的工作台4上，并且允许探针11与工件6的侧面接触。然后，如图13b所示，在Z轴方向上相对地移动探针11并再次允许探针11与工件6的侧面接触来检测接触位置。基于如图13a和13b所示使用探针获得的检测结果，推导出工件6的位移角，并以与该位移角对应的角度旋转旋转工作台，使得如图13c所示，以定向成平行于X轴和Z轴的工件的侧面定位工件，从而校正工件的安装误差。在工件6的同一表面上的两个点被选择作为接触点。
图14a至14c示出了自动校正加工附件的安装误差的方法。依据上面参考图10说明的原理获得加工附件8的倾斜度。具体的，如图14a所示，允许探针11与加工附件8的参考平面8a接触，以检测接触位置。然后，如图14b所示，在X轴方向上相对地移动探针11并再次允许探针11与加工附件8的参考平面8a接触来检测接触位置。基于如图14a和14b所示使用探针获得的检测结果，如图14c所示，以与参考平面8a的位移角对应的角度旋转旋转轴C的工作台，从而校正加工附件8的参考平面8a的安装误差。
图15示出了在要校正与工件6的加工表面相关的加工附件8的安装位置的情况下，允许探针11与工件接触的接触检测点。如图15所示，将排列在X轴或Z轴方向上的两个点设定为放在旋转轴B的工作台4上的工件6的上表面上的接触检测点。
图16a和16b示出了在如图15所示的X轴方向上进给刀具的情况下，如何允许探针与工件6的加工表面接触的方法。首先，如图16a所示，允许探针11与加工表面上的点接触，然后如图16b所示，再次允许探针11与加工表面上的另一个点接触，来检测各个的接触位置。
图17a和17b示出了在如图15所示的Z轴方向上进给刀具的情况下，如何允许探针与工件6的加工表面接触的方法。首先，如图17a所示，允许探针11与加工表面上的点接触，然后如图17b所示，再次允许探针11与加工表面上的另一个点接触，来检测各个的接触位置。
图18示出了在轴的排列不允许利用旋转轴来校正方位的情况下，如何在以固定进给节距划线期间校正加工坐标值的方法。

Claims (10)

1.一种机床，由数字控制器控制并且具有多个可动轴，所述可动轴分别由流体轴承支撑并依据加工程序使工件相对于由加工附件固定的刀具移动，所述机床包括：
位置检测器，用于分别检测所述可动轴的位置；
位置偏差确定装置，用于确定各个可动轴的命令位置与由所述位置检测器检测到的各个可动轴的位置之间的位置偏差；
接触检测装置，在由所述位置偏差确定装置检测到的位置偏差超过预设值时，检测探针与该工件或该加工附件的表面之间的接触；
可动轴停止装置，在由所述接触检测装置检测到接触的瞬间停止所述可动轴；
坐标值检测装置，在由所述接触检测装置检测到接触的瞬间获取坐标值；
倾斜度确定装置，用于移动所述可动轴的线性轴，使得工件或加工附件相对于探针移动来由所述接触检测装置执行在所述表面上的至少两个不同的点检测该探针与该工件或加工附件的表面之间的接触，并基于该线性轴中的一个线性轴的移动距离和由所述坐标值检测装置获得的坐标值确定该工件或加工附件的倾斜度；以及，
校正装置，基于所确定的该工件或加工附件的倾斜度，校正该工件或加工附件的安装误差，或校正加工程序。
2.根据权利要求1所述的机床，其中，所述可动轴包括线性轴和旋转轴，用于检测该线性轴的位置的位置检测器包括具有10nm或以下的辨析率的线性标尺。
3.根据权利要求1所述的机床，其中，用于检测该旋转轴的位置的该位置检测器包括具有万分之一度以下的辨析率的编码器，并且该旋转轴与直接对其驱动的马达直接连接。
4.根据权利要求1所述的机床，其中，该工件的表面是侧面，该侧面具有至少一个平坦表面，该平坦表面与该工件的加工方向平行或垂直。
5.根据权利要求1所述的机床，其中，该加工附件包括旋转加工附件，并且该加工附件的表面是与该旋转加工附件的旋转刀具的旋旋转轴垂直的参考表面。
6.根据权利要求1所述的机床，其中，该加工附件保持切割/划线装置，并且该切割/划线刀具的杆的侧面用作该加工附件的表面。
7.根据权利要求1所述的机床，其中，该探针是由金属制成的具有球状末端的圆锥形的细长部件，并且连接到方位可变的且设置在磁保持器上的臂的末端。
8.根据权利要求1所述的机床，其中，该工件和该加工附件安装在由各个移动轴的旋转轴驱动的不同的旋转工作台上，在要校正工件的安装误差时，该探针固定地排列在安装了该加工附件的旋转工作台上，而在要校正该加工附件的安装误差时，该探针固定地排列在安装了该工件的旋转工作台上。
9.根据权利要求8所述的机床，其中，所述校正装置通过在相反的方向以所确定的倾斜角度旋转安装了该工件或该加工附件的旋旋转轴，自动地校正该工件或该加工附件的安装误差。
10.根据权利要求1所述的机床，其中，所述校正装置根据所确定的倾斜度自动地校正加工程序的加工坐标值。
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