WO2023074933A1

WO2023074933A1 - 웨이퍼 진공 픽업장치

Info

Publication number: WO2023074933A1
Application number: PCT/KR2021/015210
Authority: WO
Inventors: 박종익
Original assignee: 주식회사 세정로봇
Priority date: 2021-10-27
Filing date: 2021-10-27
Publication date: 2023-05-04
Also published as: KR20240038988A

Abstract

본 발명은 웨이퍼 진공 픽업장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 수조에 담겨진 웨이퍼를 픽업할 때, 진공 흡착에 의한 흡착자국이 생기는 것을 방지하기 위한 웨이퍼 진공 픽업장치에 관한 것이다.

Description

웨이퍼 진공 픽업장치

본 발명은 웨이퍼 진공 픽업장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 수조에 담겨진 웨이퍼를 픽업할 때, 웨이퍼에 진공 흡착에 의한 흡착자국이 생기는 것을 방지하기 위한 웨이퍼 진공 픽업장치에 관한 것이다.

일반적으로 웨이퍼는 절단공정, 연마공정, 세정공정 등 다수의 세부 공정을 거쳐서 제조된다.

각 공정 사이에는 웨이퍼를 픽업하여 이송시키기 위한 픽업장치가 배치되며, 일반적으로 물리적인 파지동작에 의한 픽업장치보다는 진공 흡착을 이용한 픽업장치가 더 많이 이용되고 있다.

웨이퍼를 보다 빠르고, 안정적으로 픽업하기 위해서 한국등록특허 제10-0912432호 "웨이퍼 이송장치 및 그 이송방법"과 같이 다양한 기술이 개발되고 있으며, 구조적으로 간단하고 웨이퍼의 손상을 방지하기 위해서 흡착 패드를 통해 진공 흡입하여 픽업하는 방법이 가장 많이 이용되고 있다.

하지만, 종래의 흡착 패드는 진공 흡착 후 진공 흡착 자국이 형성되는 문제점이 있었다.

특히, 웨이퍼의 면은 가공이 이루어지는 면이므로 미세한 자국에 의해서 제조 품질이 달라지는 문제점이 있었다.

이에 따라, 면의 손상을 최소화하면서 웨이퍼를 픽업하기 위한 기술개발의 필요성이 제기되고 있다.

본 발명의 목적은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 수조에 담긴 웨이퍼를 픽업할 때, 웨이퍼에 진공 흡착자국이 형성되는 것을 방지하기 위한 웨이퍼 진공 픽업장치를 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 웨이퍼 진공 픽업장치는 이송 로봇에 결합되는 핸드 몸체와 핸드 몸체의 하부에 배치되어 하면이 호 형태를 가지는 픽업부와 상기 픽업부의 하면에 일측으로 단차가 형성되어 픽업할 웨이퍼의 일측 가장자리가 밀착되는 거치부와 상기 픽업부의 하면에 형성되어 픽업할 웨이퍼의 측면을 진공 흡착시키는 진공흡입부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 거치부는 거치부의 하면에서부터 거치부의 타면을따라 진공흡입부로 연장되는 소정의 깊이를 가지는 흡입 유로를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 진공흡입부를 통해 흡입되는 유체를 복수 개의 용기 중 어느 하나로 선택적으로 보내기 위한 제어밸브와 상기 제어밸브에 의해 연결된 용기에 진공압을 형성시켜주기 위해 각 용기에 연결되는 진공펌프를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 진공흡입부를 통해 흡입되는 유체를 복수 개의 용기 중 어느 하나로 선택적으로 보내기 위한 제어밸브와 상기 제어밸브에 의해 연결된 용기에 진공압을 형성시켜주기 위해 각 용기에 연결되는 진공펌프와 상기 제어밸브에 의해 선택되지 않은 다른 용기에 수용된 유체를 배출시켜주기 위해 각 용기에 연결되는 배출펌프를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 웨이퍼 진공 픽업장치에 의하면, 웨이퍼의 측면 가장자리를 따라 진공흡착함으로써, 웨이퍼에 진공 흡착자국이 형성되는 것을 최소화할 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼 진공 픽업장치와 수조에 담긴 웨이퍼를 도시한 도면.

도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼 진공 픽업장치를 통해 웨이퍼를 픽업하는 동작을 도시한 도면.

도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 진공 픽업장치를 통해 픽업된 웨이퍼를 도시한 도면.

도 4는 본 발명에 따른 웨이퍼 진공 픽업장치를 도시한 도면.

도 5는 본 발명에 따른 웨이퍼 진공 픽업장치의 종단면을 도시한 도면.

도 6은 본 발명에 따른 웨이퍼 진공 픽업장치를 간략하게 도시한 개념도.

1 : 핸드 몸체

2 : 픽업부

3 : 거치부

4 : 흡입 유로

11 : 진공흡입부

12 : 제어밸브

13a, 13b : 용기

14a, 14b : 진공펌프

100 : 웨이퍼

본 명세서에 개시되어 있는 본 발명의 개념에 따른 실시 예들에 대해서 특정한 구조적 또는 기능적 설명은 단지 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로서, 본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 형태들로 실시될 수 있으며 본 명세서에 설명된 실시 예들에 한정되지 않는다.

본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 변경들을 가할 수 있고 여러 가지 형태들을 가질 수 있으므로 실시 예들을 도면에 예시하고 본 명세서에서 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 특정한 개시 형태들에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물, 또는 대체물을 포함한다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼 진공 픽업장치와 수조에 담긴 웨이퍼를 도시한 도면이며, 도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼 진공 픽업장치를 통해 웨이퍼를 픽업하는 동작을 도시한 도면이고, 도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 진공 픽업장치를 통해 픽업된 웨이퍼를 도시한 도면이며, 도 4는 본 발명에 따른 웨이퍼 진공 픽업장치를 도시한 도면이고, 도 5는 본 발명에 따른 웨이퍼 진공 픽업장치의 종단면을 도시한 도면이며, 도 6은 본 발명에 따른 웨이퍼 진공 픽업장치를 간략하게 도시한 개념도이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 웨이퍼 진공 픽업장치는 DI워터 또는 세정액 등의 물(W)이 담긴 수조(101)에 잠겨진 웨이퍼(100)를 진공 흡입을 통해 픽업할 때, 웨이퍼(100)의 양면에 진공 흡착에 의한 자국이 형성되는 것을 방지하기 위한 것으로써, 이송 로봇에 결합되는 핸드 몸체(1)와 핸드 몸체(1)의 하부에 배치되어 하면이 호 형태를 가지는 픽업부(2)와 상기 픽업부(2)의 하면에 일측으로 단차가 형성되어 픽업할 웨이퍼(100)의 일측 가장자리가 밀착되는 거치부(3)를 포함하여 구성된다.

상기 거치부(3)는 도 2 또는 도 3에 도시된 바와 같이, 극히 일부만 웨이퍼(100)의 가장자리를 따라 접하여 픽업된 웨이퍼(100)가 흔들리는 것을 방지하게 되며, 웨이퍼(100)는 픽업부(2)의 하면을 따라 형성되는 진공 흡입 압력에 의해 웨이퍼(100)의 측면이 픽업부(2)의 하면에 밀착되어 픽업된다.

즉, 도 4 또는 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 픽업부(2)는 하면에 픽업할 웨이퍼(100)의 측면을 진공 흡착시키는 진공흡입부(4)가 형성되어 웨이퍼(100)의 측면이 진공흡입부(4)의 진공 흡입에 의해 밀착되는 것이다.

또한, 상기 거치부(3)는 거치부(3)의 하면에서부터 거치부(3)의 타면을따라 진공흡입부(11)로 연장되는 소정의 깊이를 가지는 흡입 유로(4)를 더 포함하도록 구성될 수 있다.

이를 통해, 상기 진공흡입부(4)의 진공 흡입에 의해 픽업부(2)의 하면에 밀착된 웨이퍼(100)의 일면이 진공흡입부(4)에서부터 흡입 유로(4)를 따라 형성되는 진공압에 의해 거치부(3)에 밀착되면서 웨이퍼(100)가 이송중에 흔들리는 것을 효과적으로 방지하게 된다.

또한, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 진공흡입부(11)를 통해 흡입되는 물(W)과 공기를 유체를 복수 개의 용기 중 어느 하나로 선택적으로 보내기 위한 제어밸브(12)와 상기 제어밸브(12)에 의해 연결된 용기(13a, 13b)에 진공압을 형성시켜주기 위해 각 용기에 연결되는 진공펌프(14a, 14b)를 더 포함하도록 구성될 수 있다.

보다 상세하게는, 수조에 담긴 웨이퍼의 측면을 진공 흡착하여 이송하는 과정에서 수조에 담긴 물이 공기와 함께 진공 흡입되며, 이를 분리 배출하기 위해서는 진공 흡입된 물을 용기에 저장하게 된다.

또한, 각 용기는 수용할 수 있는 공간이 한정적이므로, 제어밸브(12)가 복수 개의 용기중 어느 하나를 선택적으로 연결하여 각 용기에 물을 저장하게 되는 것이다.

또한, 상기 진공흡입부(11)를 통해 흡입되어 용기(13a, 14b)에 저장된 유체를 배출하거나, 다시 수조로 순환시키기 위해 각 용기에 연결되는 배출펌프를 더 포함하도록 구성될 수도 있다.

즉, 상기 제어밸브(12)에 의해 선택되지 않은 다른 용기에 수용된 유체는 배출펌프에 의해 배출되거나, 다시 수조로 순환되는 형태로 반복된다.

이상과 같이 본 발명은 첨부된 도면을 참조하여 바람직한 실시예를 중심으로 기술되었지만 당업자라면 이러한 기재로부터 본 발명의 범주를 벗어남이 없이 많은 다양한 자명한 변형이 가능하다는 것은 명백하다. 따라서 본 발명의 범주는 이러한 많은 변형의 예들을 포함하도록 기술된 청구범위에 의해서 해석되어져야 한다.

Claims

이송 로봇에 결합되는 핸드 몸체와;

핸드 몸체의 하부에 배치되어 하면이 호 형태를 가지는 픽업부와;

상기 픽업부의 하면에 일측으로 단차가 형성되어 픽업할 웨이퍼의 일측 가장자리가 밀착되는 거치부와;

상기 픽업부의 하면에 형성되어 픽업할 웨이퍼의 측면을 진공 흡착시키는 진공흡입부를 포함하는 것을 특징으로 하는

웨이퍼 진공 픽업장치.
제 1항에 있어서,

상기 거치부는

거치부의 하면에서부터 거치부의 타면을따라 진공흡입부로 연장되는 소정의 깊이를 가지는 흡입 유로를 더 포함하는 것을 특징으로 하는

웨이퍼 진공 픽업장치.
제 1항에 있어서,

상기 진공흡입부를 통해 흡입되는 유체를 복수 개의 용기 중 어느 하나로 선택적으로 보내기 위한 제어밸브와;

상기 제어밸브에 의해 연결된 용기에 진공압을 형성시켜주기 위해 각 용기에 연결되는 진공펌프를 더 포함하는 것을 특징으로 하는

웨이퍼 진공 픽업장치.
제 1항에 있어서,

상기 진공흡입부를 통해 흡입되는 유체를 복수 개의 용기 중 어느 하나로 선택적으로 보내기 위한 제어밸브와;

상기 제어밸브에 의해 연결된 용기에 진공압을 형성시켜주기 위해 각 용기에 연결되는 진공펌프와;

상기 제어밸브에 의해 선택되지 않은 다른 용기에 수용된 유체를 배출시켜주기 위해 각 용기에 연결되는 배출펌프를 더 포함하는 것을 특징으로 하는

웨이퍼 진공 픽업장치.