KR101258404B1 - 글라스 디스크 반송장치 - Google Patents

글라스 디스크 반송장치 Download PDF

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KR101258404B1
KR101258404B1 KR1020120005996A KR20120005996A KR101258404B1 KR 101258404 B1 KR101258404 B1 KR 101258404B1 KR 1020120005996 A KR1020120005996 A KR 1020120005996A KR 20120005996 A KR20120005996 A KR 20120005996A KR 101258404 B1 KR101258404 B1 KR 101258404B1
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권오규
박준희
모선희
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로체 시스템즈(주)
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Abstract

글라스 디스크의 손상 없이 상기 글라스 디스크를 글라스 테이블로 로딩시키거나 검사 완료된 글라스 디스크를 카세트로 언로딩 시킬 수 있는 글라스 디스크 반송장치가 개시된다. 상기 글라스 디스크 반송장치는 상기 글라스 디스크의 일측을 진공으로 흡착하여 상기 글라스 테이블로 로딩시키거나, 상기 카세트로 언로딩 시키는 핑거를 포함한다. 따라서, 상기 글라스 디스크 반송장치는 핑거에 글라스 디스크의 측면의 일부만 접촉되도록 상기 글라스 디스크를 상기 핑거에 진공 흡착하여 상기 글라스 디스크를 이동시킬 수 있으므로, 상기 글라스 디스크의 이동 시 접촉에 의한 글라스 디스크의 상부면의 손상을 방지할 수 있다. 그러므로, 본 발명의 일실시예에 의한 글라스 디스크 반송장치는 글라스 디스크의 이송 안정성을 확보할 수 있음은 물론 검사 속도와 정확성을 향상시킬 수 있다.

Description

글라스 디스크 반송장치{APPARATUS FOR CONVEYANCE OF GLASS DISK}
본 발명은 글라스 디스크 반송장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 HDD용 글라스 디스크의 크기 및 두께를 검사하기 위하여 글라스 디스크를 글라스 테이블에 로딩시키거나, 검사 완료된 글라스 디스크를 카세트로 언로딩 시키는 글라스 디스크 반송장치에 관한 것이다.
일반적으로 HDD용 글라스 디스크의 크기 및 두께를 검사하여 분류하기 위해서는 카세트에 적재되어 있는 글라스 디스크를 글라스 테이블로 로딩시키거나, 크기 및 두께의 검사가 완료된 글라스 디스크를 상기 글라스 테이블로부터 카세트로 언로딩시키는 글라스 반송장치가 사용된다.
상기와 같은 글라스 반송장치는 통상 글라스 테이블 일측에 위치하도록 설치되어 상기 글라스 테이블과 글라스 반송장치 사이에 위치한 카세트로부터 상기 글라스 디스크를 클램핑하여 상기 글라스 테이블로 로딩시켜 상기 글라스 디스크의 크기 및 두께를 검사 작업을 진행할 수 있도록 한다. 또한, 상기 글라스 반송장치는 상기 글라스 테이블로 로딩되어 크기 및 두께의 검사가 완료된 글라스 디스크를 클램핑하여 크기 및 두께 별로 카세트로 언로딩하는 작업을 하게 된다.
그러나, 상기와 같은 일반적인 글라스 반송장치는 상기 글라스 디스크를 로딩시키거나 언로딩시킬 시에 핑거가 상기 글라스 디스크를 직접적으로 클램핑하게 됨으로써 상기 핑거와의 접촉으로 인하여 상기 글라스 디스크의 표면이 손상된다는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명의 목적은 글라스 디스크의 손상 없이 상기 글라스 디스크를 글라스 테이블로 로딩시키거나 검사 완료된 글라스 디스크를 카세트로 언로딩 시킬 수 있는 글라스 디스크 운방장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 예시적인 일실시예에 따른 글라스 디스크 반송장치는 글라스 디스크의 일측을 진공으로 흡착하여 상기 글라스 테이블로 로딩시키거나, 상기 카세트로 언로딩 시키는 핑거를 포함한다.
일예를 들면, 상기 핑거는 상기 글라스 디스크의 일측이 삽입되는 슬롯과, 상기 슬롯과 연통되도록 형성되는 홈부를 구비하는 바디부와, 상기 홈부와 연통되도록 상기 바디부에 형성되어 상기 글라스 디스크를 진공 흡착하여 상기 홈부에 안착시키는 적어도 하나의 진공 형성라인을 포함한다.
한편, 상기 핑거는 상기 슬롯과 연통되도록 상기 바디부에 형성되어 상기 슬롯에 에어를 분출하여 상기 글라스 디스크를 슬롯 외부로 배출시키는 에어 공급라인을 더 포함한다.
일예를 들면, 상기 에어 공급라인은 상기 진공 형성라인의 양측에 위치하도록 상기 바디부에 형성된다.
일예를 들면, 상기 슬롯이 형성되는 바디부의 측면부와 상기 슬롯은 상기 글라스 디스크가 일정한 깊이로 상기 슬롯에 삽입될 수 있도록 호 형태로 형성된다.
한편, 상기 핑거는 복수개가 적층되어 복수개의 글라스 디스크를 한 번에 진공 흡착하여 상기 글라스 테이블로 로딩시키거나, 상기 카세트로 언로딩 시킬 수 있다.
상술한 바와 같이 본 발명의 일실시예에 의한 글라스 디스크 반송장치는 핑거에 글라스 디스크의 측면의 일부만 접촉되도록 상기 글라스 디스크를 상기 핑거에 진공 흡착하여 상기 글라스 디스크를 이동시킬 수 있으므로, 상기 글라스 디스크의 이동 시 접촉에 의한 글라스 디스크의 상부면의 손상을 방지할 수 있다.
따라서, 본 발명의 일실시예에 의한 글라스 디스크 반송장치는 글라스 디스크의 이송 안정성을 확보할 수 있음은 물론 검사 속도와 정확성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 의한 글라스 디스크 반송장치의 사시도
도 2는 본 발명의 일실시예에 의한 핑거를 설명하기 위한 도면
도 3은 본 발명의 일실시예에 의한 복수개의 핑거가 적층되어 복수개의 글라스 디스크를 흡착시킨 상태를 도시한 도면
도 4 내지 도 7은 본 발명의 일실시예에 의한 글라스 디스크 반송장치를 사용하여 카세트에 적층된 글라스 디스크를 글라스 테이블로 로딩시키는 과정을 설명하기 위한 도면
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
제 1, 제 2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제 1 구성 요소는 제 2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제 2 구성 요소도 제 1 구성 요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다.
일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하 도면을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 의한 글라스 디스크 반송장치의 사시도이며, 도 2는 본 발명의 일실시예에 의한 핑거를 설명하기 위한 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 의한 글라스 디스크 반송장치는, 슬라이딩 수단(100), 이동블록(110), 구동수단(120) 및 핑거(130)를 포함한다.
상기 슬라이딩 수단(100)은 베이스(140)의 상부면에 설치된다. 예를 들면, 상기 슬라이딩 수단(100)으로는 LM 가이드를 사용할 수 있다.
상기 이동블록(110)은 상기 슬라이딩 수단(100) 즉, 상기 LM 가이드에 설치된다.
상기 구동수단(120)은 상기 슬라이딩 이동수단(100)인 LM 가이드와 연결되도록 상기 베이스(140)의 상부면에 설치된다. 예를 들면, 상기 구동수단(120)으로는 로드리스 실린더를 사용할 수 있다.
상기 핑거(130)는 상기 이동블록(110)에 복수개의 고정수단(150)에 의해 탈착 가능하게 설치된다. 예를 들면, 상기 고정수단(150)으로는 나사를 사용할 수 있다. 보다 상세하게 설명하면, 상기 핑거에는 복수개의 관통 홀(131a)이 형성되고, 상기 이동블록(110)에는 복수개의 고정 홀(도시되지 않음)이 형성되어 상기 관통 홀(131a)이 상기 고정 홀과 일치되도록 상기 핑거(130)를 상기 이동블록(110)에 올려놓은 후 상기 관통 홀(131a)을 관통하도록 복수개의 고정수단(150)을 상기 고정 홀에 나사 체결함으로써 상기 이동블록(110)에 핑거(130)를 탈착 가능하게 설치할 수 있다.
상기와 같은 핑거(130)는 글라스 디스크(200)의 일측을 진공으로 흡착하여 글라스 테이블로 상기 글라스 디스크(200)를 로딩시키거나, 상기 카세트로 글라스 디스크(200)를 언로딩 시킬 수 있도록 한다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 의한 복수개의 핑거가 적층되어 복수개의 글라스 디스크를 흡착시킨 상태를 도시한 도면이다.
도 3에 도시된 바와 같이 본 발명의 일실시예에 의한 핑거(130)는 복수개가 적층되어 상기 이동블록(110)에 복수개의 고정수단(150)에 의해 탈착 가능하게 설치됨으로써 복수개의 글라스 디스크(200)를 한 번에 진공 흡착하여 상기 글라스 테이블로 로딩시키거나, 상기 카세트로 언로딩 시킬 수도 있다.
상기와 같은 핑거(130)는 바디부(131)와 적어도 하나의 진공 형성라인(132)을 포함한다. 상기 바디부(131)는 일측단부에 관통 홀(131a)이 형성되어 상기 바디부(131)를 고정부재(150)에 의해 이동블록(110)에 탈착 가능하게 설치할 수 있다. 상기 바디부(131)의 측면부에는 상기 글라스 디스크(200)의 일측이 삽입되는 슬롯(131b)이 형성이 형성된다. 또한, 상기 바디부(131)에는 상기 슬롯(131b)과 연통되도록 홈부(131c)가 구비된다. 한편, 상기 슬롯(131b)이 형성되는 바디부(131)의 측면부는 상기 슬롯(131b)에 글라스 디스크(200)가 일정한 깊이로 삽입되도록 호 형태로 형성되며, 상기 슬롯(131b) 또한 상기 바디부(131)의 측면부와 마찬가지로 호 형태로 형성되는 것이 바람직하다. 상기 적어도 하나의 진공 형성라인(132)은 상기 슬롯(131b)과 연통되도록 상기 바디부(131)에 형성되어 상기 글라스 디스크(200)를 진공 흡착하여 상기 슬롯(131b)에 삽입시켜 고정시킬 수 있도록 한다.
또한, 상기 핑거(130)는 상기 바디부(131)에 상기 슬롯(131b)과 연통되도록 형성되어 상기 슬롯(131b)에 삽입되어 있는 글라스 디스크(200)에 에어를 분출하여 상기 글라스 디스크(200)를 상기 슬롯(121b)의 외부로 배출시킬 수 있는 복수개의 에어 공급라인(133)을 더 포함한다. 즉, 상기 바디부(131)에 형성된 에어 공급라인(133)은 상기 바디부(131)에 형성된 슬롯(131b)에 삽입되어 있는 글라스 디스크(200)에 에어를 분출함으로써 상기 슬롯(131b)에 삽입되어 있는 글라스 디스크(200)가 상기 슬롯(131b)으로부터 용이하게 배출될 수 있도록 한다. 예를 들면, 상기 에어 공급라인(133)은 도 2에 도시된 바와 같이 복수개의 진공 형성라인(132)의 양측에 위치하도록 상기 바디부(131)에 형성되어 진공 형성라인(132)의 양측에서 에어를 글라스 디스크(200)에 동일한 압력으로 분출하여 상기 슬롯(131b)으로부터 글라스 디스크(200)가 보다 안정적으로 배출될 수 있도록 한다. 즉, 도 2에 도시된 바와 같이 3개의 진공 형성라인(132) 외측에 위치하도록 한 쌍의 에어 공급라인(133)이 상기 바디부(131)에 형성되어 한 쌍의 에어 공급라인(133)이 글라스 디스크(200)의 중심에서부터 동일한 위치에 동일한 압력으로 에어를 상기 글라스 디스크(200)에 분출할 수 있도록 함으로써 상기 슬롯(131b)으로부터 글라스 디스크(200)가 보다 안정적으로 배출될 수 있도록 한다.
상기와 같이 바디부(131)에 형성된 슬롯(131b)에 글라스 디스크(200)를 진공 흡착시킬 수 있도록 상기 진공 형성라인(132)에 연결되는 에어라인들(도시되지 않음)과, 상기 슬롯(121b)에 삽입된 글라스 디스크(200)에 에어를 분출함으로써 상기 글라스 디스크(200)를 슬롯(131b) 외부로 배출시킬 수 있도록 하는 상기 에어 공급라인(133)에 연결되는 에어라인들(도시되지 않음)은 상기 이동블록(110)과 연결되도록 베이스(140)에 설치되는 케이블베이어(Cableveyor : 160)에 의해 보호된다.
또한, 본 발명의 일실시예에 의한 글라스 디스크 반송장치는 상기 핑거(130)가 설치된 이동블록(110)에 설치되는 오버로드 센서(170)를 더 포함할 수 있다. 상기 오버로드 센서(170)는 상기 핑거(130)에 걸치는 부하를 감지할 수 있도록 한다.
또한, 본 발명의 일실시예에 의한 글라스 디스크 반송장치는 상기 슬라이딩 수단(100)인 LM 가이드의 양측 끝단부에 위치하도록 상기 베이스(140)에 설치되는 한 쌍의 제 1, 2 포지션 스토퍼(181, 182)를 더 포함한다. 상기 제 1 포지션 스토퍼(181)는 상기 LM 가이드에 의해 이동블록(110) 및 핑거(130)가 카세트 방향으로 일정거리 만큼 전진하게 되면, 상기 이동블록(110)과 접촉되어 상기 구동수단(120)의 작동이 정지되도록 하여 핑거(130)가 더 이상 전진되지 않도록 한다. 상기 제 2 포지션 스토퍼(182)는 상기 LM 가이드에 의해 이동블록(110) 및 핑거(130)가 카세트의 외부로 일정거리 만큼 후진하게 되면, 상기 이동블록(110)과 접촉되어 상기 구동수단(120)의 작동이 정지되도록 하여 핑거(130)가 더 이상 후진되지 않도록 한다.
도 1 내지 도 7을 참조하여 본 발명의 일실시예에 의한 글라스 디스크 반송장치를 사용하여 카세트에 적층된 복수개의 글라스 디스크를 글라스 테이블로 로딩시키는 과정과 상기 글라스 테이블에 로딩되어 크기 및 두께 선별 과정을 마친 글라스 디스크를 상기 글라스 테이블로부터 카세트로 언로딩 하는 과정에 대하여 설명하면 다음과 같다.
도 4 내지 도 7은 본 발명의 일실시예에 의한 글라스 디스크 반송장치를 사용하여 카세트에 적층된 글라스 디스크를 글라스 테이블로 로딩시키는 과정을 설명하기 위한 도면이다.
본 발명의 일실시예에 의한 글라스 디스크 반송장치를 사용하여 카세트(300)에 적재되어 있는 HDD용 글라스 디스크(200)를 글라스 테이블(400)로 로딩시키기 위해서는 먼저, 도 4에 도시된 바와 같이 핑거(130)가 카세트(300)의 외부에 위치한 상태에서 구동수단(120)인 로드리스 실린더를 작동시켜 상기 로드리스 실린더와 연결된 슬라이딩 수단(100)인 LM 가이드의 가이드 블록(101)을 카세트(300) 방향으로 슬라이딩 이동시킨다.
상기와 같이 LM 가이드의 가이드 블록(101)이 카세트(300) 방향으로 슬라이딩 이동되면 상기 가이드 블록(101)에 설치된 이동블록(110)과 상기 이동블록(110)에 설치된 핑거(130)가 상기 가이드 블록(101)과 연동되어 카세트(300) 방향으로 이동을 하게 되어 상기 핑거(130)의 끝단부가 도 5에 도시된 바와 같이 글라스 디스크(200)가 적재되어 있는 카세트(300) 내부로 삽입된다. 이때, 상기 글라스 디스크(200)는 상기 핑거(130)의 슬롯(131b)에 삽입된 상태가 된다.
상기와 같은 상태에서 진공 형성라인(132)을 통해 에어를 흡입하게 되면, 상기 핑거(130)의 슬롯(131b)에 상기 글라스 디스크(200)가 진공 흡착된다.
상기와 같이 핑거(130)의 슬롯(131b)에 상기 글라스 디스크(200)가 진공 흡착되면, 상기 구동수단(120)인 로드리스 실린더를 다시 작동시켜 상기 LM 가이드를 따라 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이 상기 핑거(130)를 글라스 테이블(400) 측으로 이동시켜 상기 핑거(130)에 진공 흡착된 글라스 디스크(200)를 상기 글라스 테이블(400)의 적재 홈부(410)로 삽입시킨다.
상기와 같이 핑거(130)에 글라스 디스크(200)를 진공 흡착하여 글라스 테이블(400)의 적재 홈부(410)로 삽입시킨 다음에는, 상기 진공 형성라인(132)을 통한 에어 흡입을 중단하여 상기 글라스 디스크(200)가 핑거(130)의 슬롯(131b)에 진공 흡착된 상태를 해제시킨다.
상기와 같이 핑거(130)의 슬롯(131b)에 글라스 디스크(200)가 진공 흡착된 상태를 해제시킨 다음에는 구동수단(120)인 로드리스 실린더를 작동시켜 LM 가이드를 따라 상기 핑거(130)를 카세트(200)의 외부로 이동시킴과 동시에 에어 공급라인(133)을 통해 상기 슬롯(131b)에 삽입된 글라스 디스크(200)에 에어를 분출하여 상기 슬롯(131b)으로부터 글라스 디스크(200)가 배출되도록 하여 상기 글라스 디스크(200)를 글라스 테이블(400)에 로딩시키는 작업을 완료하게 된다.
한편, 상기 글라스 테이블(400)에서 크기 및 두께 검사작업을 마친 글라스 디스크(200)를 상기 글라스 테이블(400)로부터 언로딩 시키기 위해서는 먼저, 도 7에 도시된 바와 같이 상기 구동수단(120 : 도 1 참조)인 로드리스 실린더를 작동시켜 상기 핑거(130)를 글라스 테이블(400)의 적재 홈부(410)에 안착된 글라스 디스크(200) 측으로 이동시켜 상기 핑거(130)의 슬롯(131b)에 상기 글라스 디스크(200)의 일측이 삽입되도록 한다. 이때, 상기 핑거(130)는 상기 글라스 디스크(200)를 언로딩 시킬 카세트(200)를 관통한 상태가 된다.
상기와 같은 상태에서 진공 형성라인(132)을 통해 에어를 흡입하게 되면, 상기 핑거(130)의 슬롯(131b)에 상기 글라스 디스크(200)가 진공 흡착된다.
상기와 같이 핑거(130)의 슬롯(131b)에 상기 글라스 디스크(200)가 진공 흡착되면, 상기 구동수단(120)인 로드리스 실린더를 작동시켜 상기 LM 가이드를 따라 도 6에 도시된 바와 같이 상기 핑거(130)를 카세트(300) 측으로 이동시킨다.
상기와 같이 핑거(130)를 카세트(300) 측으로 이동시켜 상기 핑거(130)에 진공 흡착된 글라스 디스크(200)가 도 5에 도시된 바와 같이 카세트(300) 내에 삽입되면 상기 진공 형성라인(132)을 통한 에어 흡입을 중단하여 상기 글라스 디스크(200)가 핑거(130)의 슬롯(131b)에 진공 흡착된 상태를 해제시킨다.
상기와 같이 핑거(130)의 슬롯(131b)에 글라스 디스크(200)가 진공 흡착된 상태를 해제시킨 다음에는, 구동수단(120)인 로드리스 실린더를 작동시켜 LM 가이드를 따라 상기 핑거(130)를 카세트(300)의 외부로 이동시킴과 동시에 에어 공급라인(133)을 통해 상기 슬롯(131b)에 삽입된 글라스 디스크(200)에 에어를 분출하여 상기 슬롯(131b)으로부터 글라스 디스크(200)가 배출되도록 하여 상기 글라스 디스크(200)를 카세트(300)에 언로딩시키는 작업을 완료하게 된다.
상술한 바와 같이 본 발명의 일실시예에 의한 글라스 디스크 반송장치는 HDD용 글라스 디스크(200)의 크기 및 두께를 검사하기 위하여 상기 글라스 디스크(200)를 글라스 테이블(400)로 로딩시키거나 크기 및 두께 검사를 마친 글라스 디스크(200)를 카세트(300)로 언로딩 시킬 시 핑거(130)에 글라스 디스크(200)의 측면의 일부만 접촉되도록 상기 글라스 디스크(200)를 핑거(130)에 진공 흡착시킴으로써 글라스 디스크(200)와 핑거(130)와의 사이의 접촉면적을 최소화시킬 수 있도록 한다.
또한, 본 발명은 상기 글라스 디스크(200)의 크기 및 두께를 검사하기 위하여 상기 글라스 디스크(200)를 운반할 시 접촉에 의한 손상이 발생되어도 되는 글라스 디스크(200)의 측면부만 핑거(130)와 접촉됨으로써 접촉에 의한 글라스 디스크(200)의 상부면 손상이 발생되지 않아 글라스 디스크(200)의 이송 안정성을 확보할 수 있음은 물론 검사 속도와 정확성을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
(130) : 핑거 (131) : 바디부
(131a) : 관통 홀 (131b) : 슬롯
(131c) : 홈부 (132) : 진공 형성라인
(133) : 에어 공급라인

Claims (6)

  1. 카세트로부터 글라스 테이블로 글라스 디스크를 로딩시키거나, 글라스 테이블로부터 카세트로 글라스 디스크를 언로딩시키는 글라스 디스크 반송장치에 있어서,
    상기 글라스 디스크의 일측을 진공으로 흡착하여 상기 글라스 테이블로 로딩시키거나, 상기 카세트로 언로딩 시키는 핑거를 포함하며,
    상기 핑거는,
    상기 글라스 디스크의 일측이 삽입되는 슬롯과, 상기 슬롯과 연통되도록 형성되는 홈부를 구비하는 바디부;
    상기 홈부와 연통되도록 상기 바디부에 상기 글라스 디스크를 진공 흡착하여 상기 홈부에 상기 글라스 디스크를 안착시키는 적어도 하나의 진공 형성라인; 및
    상기 슬롯과 연통되도록 상기 바디부에 형성되어, 상기 슬롯에 에어를 분출하여 상기 글라스 디스크를 상기 슬롯 외부로 배출시키는 에어 공급라인을 포함하는 글라스 디스크 반송장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 에어 공급라인은,
    상기 진공 형성라인의 양측에 위치하도록 상기 바디부에 형성되는 것을 특징으로 하는 글라스 디스크 반송장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 슬롯이 형성되는 바디부의 측면부와 상기 슬롯은 상기 글라스 디스크가 일정한 깊이로 상기 슬롯에 삽입될 수 있도록 호 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 글라스 디스크 반송장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 핑거는 복수개가 적층되어 복수개의 글라스 디스크를 한 번에 진공 흡착하여 상기 글라스 테이블로 로딩시키거나, 상기 카세트로 언로딩 시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 글라스 디스크 반송장치.
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