WO2021024746A1 - ガス処理方法及びガス処理装置 - Google Patents

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一真 松井
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Definitions

  • the present invention relates to a gas treatment method and a gas treatment device.
  • perfluorocarbons such as carbon tetrafluoride and ethane hexafluoride are used as etching gas for dry etching equipment and chamber cleaning gas for CVD equipment. Since these perfluorocarbons are extremely stable compounds and have a large effect on global warming, there is concern that they will have an adverse effect on the environment when released into the atmosphere. Therefore, it is preferable that the exhaust gas discharged from the semiconductor manufacturing process is released into the atmosphere after recovering or decomposing the contained perfluorocarbon.
  • Patent Document 1 discloses a plasma etching gas containing a bromofluorocarbon (bromofluoroalkene) having a double bond as a plasma etching gas having a small environmental load as an alternative to the above-mentioned perfluorocarbon.
  • Bromofluoroalkene has a smaller effect on global warming than perfluorocarbons that do not have double bonds such as carbon tetrafluoride and ethane hexafluoride, but it is not negligibly small.
  • bromofluoroalkene is highly toxic, and if it is released into the atmosphere as it is, it adversely affects the human body and the environment.
  • Patent Document 2 proposes a method of adsorbing a bromofluoroalkene having 3 or 4 carbon atoms on a zeolite.
  • An object of the present invention is to provide a gas treatment method and a gas treatment apparatus capable of efficiently removing bromofluoroethylene.
  • one aspect of the present invention is as follows [1] to [9].
  • a gas containing bromofluoroethylene is brought into contact with an adsorbent having pores having an average pore diameter of 0.4 nm or more and 4 nm or less in a temperature environment of 0 ° C. or higher and lower than 120 ° C. to obtain the bromofluoroethylene.
  • the bromofluoroethylene is bromotrifluoroethylene, 1-bromo-2,2-difluoroethylene, (E) -1-bromo-1,2-difluoroethylene, (Z) -1-bromo-1, 2-Difluoroethylene, 1-bromo-1-fluoroethylene, (E) -1-bromo-2-fluoroethylene, (Z) -1-bromo-2-fluoroethylene, 1,1-dibromo-2-fluoroethylene , (E) -1,2-dibromo-2-fluoroethylene, (Z) -1,2-dibromo-2-fluoroethylene, and tribromofluoroethylene, which is at least one of [1]. Gas treatment method.
  • An adsorption processing container containing an adsorbent having pores having an average pore diameter of 0.4 nm or more and 4 nm or less is provided.
  • the adsorption treatment container comprises a supply port to which a gas containing bromofluoroethylene is supplied and a treated gas obtained by subjecting the gas containing bromofluoroethylene to an adsorption treatment with the adsorbent.
  • a gas treatment device having a discharge port for discharging from the inside to the outside.
  • bromofluoroethylene can be efficiently removed.
  • the gas treatment apparatus 1 of the present embodiment corresponds to an adsorption tower 6 (corresponding to the “adsorption treatment container” which is a constituent requirement of the present invention) in which an adsorbent 7 having pores having an average pore diameter of 0.4 nm or more and 4 nm or less is housed. ) Is provided.
  • the supply port 4 to which the gas containing bromofluoroethylene is supplied and the treated gas obtained by adsorbing the gas containing bromofluoroethylene with the adsorbent 7 are contained in the adsorption tower 6. It has a discharge port 5 for discharging from the outside.
  • the gas treatment apparatus 1 of the present embodiment performs Fourier transform infrared spectroscopic analysis with the bromofluoroethylene gas supply mechanism 2 for supplying the bromofluoroethylene gas, the inert gas supply mechanism 3 for supplying the inert gas, and the Fourier transform infrared spectroscopic analysis. It includes a Fourier transform infrared spectrophotometer 8.
  • the bromofluoroethylene gas supply mechanism 2 and the supply port 4 of the adsorption tower 6 are connected by a pipe, and the bromofluoroethylene gas supplied from the bromofluoroethylene gas supply mechanism 2 is sent from the supply port 4 to the inside of the adsorption tower 6. Is supplied to ethylene, and is subjected to an adsorption treatment with an adsorbent 7 in a temperature environment of 0 ° C. or higher and lower than 120 ° C.
  • the gas supplied from the supply port 4 to the inside of the adsorption tower 6 may be a bromofluoroethylene gas consisting only of bromofluoroethylene, or may be a mixed gas of bromofluoroethylene gas and another kind of gas. Good.
  • the other type of gas is not particularly limited, and examples thereof include an inert gas. That is, as shown in FIG. 1, the pipe extending from the bromofluoroethylene gas supply mechanism 2 and the pipe extending from the inert gas supply mechanism 3 are merged, and the merged pipe is connected to the supply port 4 of the adsorption tower 6. May be good.
  • bromofluoroethylene gas supplied from the bromofluoroethylene gas supply mechanism 2 and the inert gas supplied from the inert gas supply mechanism 3 are mixed in the merged pipe. It becomes a mixed gas, and the mixed gas is supplied to the inside of the adsorption tower 6 from the supply port 4.
  • a bromofluoroethylene gas composed of only bromofluoroethylene and a mixed gas of bromofluoroethylene gas and another kind of gas may be referred to as "bromofluoroethylene-containing gas".
  • the bromofluoroethylene-containing gas supplied to the inside of the adsorption tower 6 comes into contact with the adsorbent 7 in a temperature environment of 0 ° C. or higher and lower than 120 ° C., and is adsorbed by the adsorbent 7. That is, since bromofluoroethylene in the bromofluoroethylene-containing gas is adsorbed by the adsorbent 7, the bromofluoroethylene-containing gas is separated into bromofluoroethylene and other types of gas.
  • the treated gas that has been adsorbed by the adsorbent 7, that is, the separated gas of another kind is discharged from the inside of the adsorption tower 6 to the outside through the discharge port 5. Since the discharge port 5 and the Fourier transform infrared spectrophotometer 8 are connected by a pipe, the processed gas is supplied to the Fourier transform infrared spectrophotometer 8.
  • the Fourier transform infrared spectrophotometer 8 Fourier transform infrared spectroscopic analysis of the treated gas is performed, and quantitative analysis or qualitative analysis of bromofluoroethylene contained in the treated gas is performed.
  • a disposal pipe 9 is connected to the Fourier transform infrared spectrophotometer 8, and the processed gas for which the Fourier transform infrared spectroscopic analysis has been completed is discharged to the outside of the system via the disposal pipe 9.
  • Bromofluoroethylene refers to an unsaturated hydrocarbon having 2 carbon atoms and having a fluorine atom and a bromine atom in the molecule.
  • bromofluoroethylene examples include bromotrifluoroethylene, 1-bromo-2,2-difluoroethylene, (E) -1-bromo-1,2-difluoroethylene, (Z) -1-bromo-1, 2-Difluoroethylene, 1-bromo-1-fluoroethylene, (E) -1-bromo-2-fluoroethylene, (Z) -1-bromo-2-fluoroethylene, 1,1-dibromo-2-fluoroethylene , (E) -1,2-dibromo-2-fluoroethylene, (Z) -1,2-dibromo-2-fluoroethylene, tribromofluoroethylene and the like.
  • bromotrifluoroethylene 1-bromo-2,2-difluoroethylene
  • (E) -1-bromo-1,2-difluoroethylene (Z) -1 -Bromo-1,2-difluoroethylene
  • 1-bromo-1-fluoroethylene 1-bromo-1-fluoroethylene
  • (E) -1-bromo-2-fluoroethylene -1-bromo-2-fluoroethylene
  • Z -1-bromo-2-fluoroethylene
  • One type of bromofluoroethylene may be used alone, or two or more types may be used in combination.
  • inert gas examples include nitrogen gas (N 2 ), helium (He), argon (Ar), neon (Ne), krypton (Kr), and xenon (Xe).
  • nitrogen gas, helium, argon, neon, and krypton are preferable, and nitrogen gas and argon are more preferable.
  • nitrogen gas and argon are more preferable.
  • One of these inert gases may be used alone, or two or more thereof may be used in combination.
  • adsorbent The type of adsorbent is not particularly limited as long as it has pores having an average pore diameter of 0.4 nm or more and 4 nm or less, but from the viewpoint of economy and availability, activated carbon, zeolite, silica gel, and alumina. Is preferable, and zeolite and activated carbon are more preferable.
  • the structure of the zeolite eg, T-type, erionite type, chabazite-type, 4A type, 5A type, ZSM-5 type, LiLSX type, AlPO 4 -11 type, ferrierite type, offretite type, mordenite, beta , AlPO 4 -5 type, NaY type, NaX type, CaX type, AlPO 4 -8 type, UTD-1 type, VPI-5 type, arborvitae light type, MCM-41 type, FSM-16 type and the like.
  • molecular sieve 4A for example, manufactured by Union Showa Co., Ltd.
  • molecular sieve 5A for example, manufactured by Union Showa Co., Ltd.
  • molecular sieve 13X for example, manufactured by Union Showa Co., Ltd.
  • the shape of the adsorbent is not particularly limited, but may be, for example, fibrous, honeycomb, columnar, pellet, crushed, granular, or powdery.
  • the adsorption treatment with the adsorbent 7 needs to be performed in a temperature environment of 0 ° C. or higher and lower than 120 ° C., but is preferably performed in a temperature environment of 0 ° C. or higher and 100 ° C. or lower, and a temperature environment of 0 ° C. or higher and 70 ° C. or lower. It is more preferable to do it below.
  • the adsorbed bromofluoroethylene is less likely to be desorbed from the adsorbent 7, so that the amount of bromofluoroethylene adsorbed increases. More. Further, since a large-scale device for temperature control is not required, the configuration of the gas treatment device 1 can be simplified. Further, liquefaction of bromofluoroethylene in the adsorption tower 6 is unlikely to occur.
  • the adsorption conditions such as the content (concentration) of bromofluoroethylene in the bromofluoroethylene-containing gas, the flow rate of the bromofluoroethylene-containing gas, the amount of the adsorbent 7, and the size of the adsorption tower 6 are not particularly limited.
  • Bromofluoroethylene-containing gas can be appropriately set according to the type and amount of the gas.
  • the content (concentration) of bromofluoroethylene in the bromofluoroethylene-containing gas can be 50% by volume or less, preferably 30% by volume or less, and more preferably 25% by volume or less. ..
  • Example 1 The bromofluoroethylene-containing gas was adsorbed using a gas treatment device having the same configuration as the gas treatment device 1 shown in FIG.
  • This gas treatment device is equipped with a stainless steel adsorption tower having an inner diameter of 1 inch and a length of 100 mm, and the adsorption tower is filled with 28.7 g of molecular sieve 13X (manufactured by Union Showa Co., Ltd.) as an adsorbent. ing.
  • the average pore diameter of the pores of the molecular sieve 13X is 1.0 nm.
  • the average pore size was measured by the BET adsorption method.
  • the measurement conditions are as follows. Measuring equipment: BELSORP-max manufactured by Nikkiso Co., Ltd.
  • Adsorbent Nitrogen gas measurement temperature: -196 ° C
  • Pretreatment of adsorbent Drying by heating at 300 ° C. for 6 hours under vacuum conditions. Amount of adsorbent used: 0.10 g
  • a mixed gas of bromotrifluoroethylene and dry nitrogen (the content of bromotrifluoroethylene in the mixed gas is 20% by volume) was supplied to the adsorption tower at a flow rate of 50 mL / min to perform the adsorption treatment.
  • the temperature inside the adsorption tower (specifically, the surface temperature of the adsorbent) was maintained at 30.0 to 40.0 ° C.
  • the concentration of bromotrifluoroethylene in the treated gas discharged from the discharge port of the adsorption tower was measured using a Fourier transform infrared spectrophotometer.
  • the concentration of bromotrifluoroethylene for 30 minutes immediately after the start of supply of the mixed gas was 206.35 to 273.81 volume ppm (see Table 1 below). That is, when Molecular Sieve 13X was used as the adsorbent, 99.86 to 99.90% of bromotrifluoroethylene was adsorbed on the adsorbent.
  • Example 2 The adsorption treatment of bromotrifluoroethylene was carried out in the same manner as in Example 1 except that coconut shell activated carbon (manufactured by Osaka Gas Chemical Co., Ltd.) was used instead of the molecular sieve 13X as an adsorbent.
  • the average pore diameter of the pores of the coconut shell activated carbon is 2.5 nm.
  • the concentration of bromotrifluoroethylene for 30 minutes immediately after the start of supply of the mixed gas was 27.78 to 436.51 volume ppm (see Table 2 below). That is, when coconut shell-based activated carbon was used as the adsorbent, 99.78 to 99.99% of bromotrifluoroethylene was adsorbed on the adsorbent.
  • Example 3 The adsorption treatment of bromotrifluoroethylene was carried out in the same manner as in Example 1 except that a coal-based activated carbon (manufactured by Osaka Gas Chemical Co., Ltd.) was used instead of the molecular sieve 13X as an adsorbent.
  • the average pore diameter of the pores of the coal-based activated carbon is 3.4 nm.
  • the concentration of bromotrifluoroethylene for 30 minutes immediately after the start of supply of the mixed gas was 23.81 to 369.05 volume ppm (see Table 3 below). That is, when coal-based activated carbon was used as the adsorbent, 99.82 to 99.99% of bromotrifluoroethylene was adsorbed on the adsorbent.
  • Example 4 The adsorption treatment of bromotrifluoroethylene was carried out in the same manner as in Example 1 except that Molecular Sheave 5A (manufactured by Union Showa Co., Ltd.) was used instead of Molecular Sheave 13X as an adsorbent.
  • the average pore diameter of the pores of the molecular sieve 5A is 0.5 nm.
  • the concentration of bromotrifluoroethylene immediately after the start of supply of the mixed gas was 630.95 by volume ppm, and the concentration of bromotrifluoroethylene 5 minutes after the start of supply of the mixed gas was 5507.94 by volume ppm (see below). See Table 4 in.
  • the cause of the decrease in adsorption efficiency is considered to be the breakthrough of the adsorbent. That is, when Molecular Sheave 5A was used as the adsorbent, 97% or more of bromotrifluoroethylene was adsorbed, although the adsorption capacity was inferior to that of Molecular Sheave 13X and the above activated carbon.
  • Example 5 The adsorption treatment of bromotrifluoroethylene was carried out in the same manner as in Example 1 except that the temperature inside the adsorption tower was 60 to 70 ° C. As a result, the concentration of bromotrifluoroethylene 15 minutes after the start of supply of the mixed gas was 503.97 volume ppm, and the concentration of bromotrifluoroethylene 20 minutes later was 2222.22 volume ppm (Table 5 below). See). It is considered that the reason why the adsorption capacity was lowered as compared with Example 1 is that the desorption of bromotrifluoroethylene was promoted by heating the adsorbent. However, even under these conditions, 98% or more of bromotrifluoroethylene was adsorbed.
  • Example 6 The adsorption treatment of bromotrifluoroethylene was carried out in the same manner as in Example 1 except that the temperature inside the adsorption tower was set to 0 to 5 ° C. As a result, the concentration of bromotrifluoroethylene for 30 minutes immediately after the start of supply of the mixed gas was 19.84 to 206.35 volume ppm (see Table 6 below). It is considered that the reason why the adsorption capacity was improved as compared with Example 1 is that the desorption of bromotrifluoroethylene was suppressed by cooling the adsorbent.
  • Example 7 Example 1 except that a mixed gas of 1-bromo-1-fluoroethylene and dry nitrogen (the content of 1-bromo-1-fluoroethylene in the mixed gas is 20% by volume) was used as the bromofluoroethylene-containing gas.
  • the adsorption treatment of 1-bromo-1-fluoroethylene was carried out.
  • the concentration of 1-bromo-1-fluoroethylene for 30 minutes immediately after the start of supply of the mixed gas was 178.57 to 202.38 volume ppm (see Table 7 below). That is, when molecular sieve 13X was used as the adsorbent, 99.90 to 99.91% of 1-bromo-1-fluoroethylene was adsorbed on the adsorbent.
  • Example 8 The adsorption treatment of 1-bromo-1-fluoroethylene was carried out in the same manner as in Example 7 except that a coal-based activated carbon (manufactured by Osaka Gas Chemical Co., Ltd.) was used instead of the molecular sieve 13X as an adsorbent.
  • a coal-based activated carbon manufactured by Osaka Gas Chemical Co., Ltd.
  • the concentration of 1-bromo-1-fluoroethylene for 30 minutes immediately after the start of supply of the mixed gas was 23.81 to 206.35 volume ppm (see Table 8 below). That is, when coal-based activated carbon was used as the adsorbent, 99.90 to 99.99% of 1-bromo-1-fluoroethylene was adsorbed on the adsorbent.
  • Example 9 As a bromofluoroethylene-containing gas, 1-bromo-2-fluoroethylene (a mixture of (E) -1-bromo-2-fluoroethylene and (Z) -1-bromo-2-fluoroethylene in equal molar amounts) and Adsorption of 1-bromo-2-fluoroethylene in the same manner as in Example 1 except that a mixed gas of dry nitrogen (the content of 1-bromo-2-fluoroethylene in the mixed gas is 20% by volume) was used. Processing was performed. As a result, the concentration of 1-bromo-2-fluoroethylene for 30 minutes immediately after the start of supply of the mixed gas was 162.70 to 285.71 ppm (see Table 9 below). That is, when Molecular Sieve 13X was used as the adsorbent, 99.86 to 99.92% of 1-bromo-2-fluoroethylene was adsorbed on the adsorbent.
  • Example 10 1-Bromo-2-fluoroethylene ((E) -1-bromo) is the same as in Example 9 except that a coal-based activated carbon (manufactured by Osaka Gas Chemical Co., Ltd.) is used instead of the molecular sieve 13X as an adsorbent.
  • the adsorption treatment of -2-fluoroethylene and (Z) -1-bromo-2-fluoroethylene mixed in equal molar amounts) was carried out.
  • the concentration of 1-bromo-2-fluoroethylene for 30 minutes immediately after the start of supply of the mixed gas was 19.84 to 166.67 volume ppm (see Table 10 below). That is, when coal-based activated carbon was used as the adsorbent, 99.92 to 99.99% of 1-bromo-2-fluoroethylene was adsorbed on the adsorbent.
  • Example 11 Except for the fact that a mixed gas of 1-bromo-2,2-difluoroethylene and dry nitrogen (the content of 1-bromo-2,2-difluoroethylene in the mixed gas is 20% by volume) was used as the bromofluoroethylene-containing gas.
  • a mixed gas of 1-bromo-2,2-difluoroethylene and dry nitrogen (the content of 1-bromo-2,2-difluoroethylene in the mixed gas is 20% by volume) was used as the bromofluoroethylene-containing gas.
  • the concentration of 1-bromo-2,2-difluoroethylene for 30 minutes immediately after the start of supply of the mixed gas was 150.79 to 246.03 by volume ppm (see Table 11 below). That is, when Molecular Sieve 13X was used as the adsorbent, 99.88 to 99.92% of 1-bromo-2,2-difluoroethylene was adsorbed on the adsorbent.
  • Example 12 The adsorption treatment of 1-bromo-2,2-difluoroethylene was carried out in the same manner as in Example 11 except that a coal-based activated carbon (manufactured by Osaka Gas Chemical Co., Ltd.) was used instead of the molecular sieve 13X as an adsorbent. ..
  • the concentration of 1-bromo-2,2-difluoroethylene for 30 minutes immediately after the start of supply of the mixed gas was 23.81 to 206.35 volume ppm (see Table 12 below). That is, when coal-based activated carbon was used as the adsorbent, 99.90 to 99.99% of 1-bromo-2,2-difluoroethylene was adsorbed on the adsorbent.
  • Example 1 The adsorption treatment of bromotrifluoroethylene was carried out in the same manner as in Example 1 except that B-type silica gel (manufactured by Toyota Kako Co., Ltd.) was used instead of the molecular sieve 13X as an adsorbent.
  • the average pore diameter of the pores of B-type silica gel is 6.0 nm.
  • bromotrifluoroethylene having a concentration exceeding the quantitative measurement limit (8000 ppm) was detected within 2 minutes from the start of supply of the mixed gas. That is, when B-type silica gel was used as the adsorbent, bromotrifluoroethylene was not adsorbed.
  • Example 2 Bromotrifluoroethylene was adsorbed in the same manner as in Example 1 except that Molecular Sheave 3A (manufactured by Union Showa Co., Ltd.) was used instead of Molecular Sheave 13X as an adsorbent.
  • the average pore diameter of the pores of the molecular sieve 3A is 0.3 nm.
  • bromotrifluoroethylene having a concentration exceeding the quantitative measurement limit (8000 ppm) was detected immediately after the start of supply of the mixed gas. That is, when molecular sieve 3A was used as the adsorbent, bromotrifluoroethylene was not adsorbed.

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Abstract

ブロモフルオロエチレンを効率良く除去することができるガス処理方法及びガス処理装置を提供する。ブロモフルオロエチレンを含有するガスを、０℃以上１２０℃未満の温度環境下で、平均細孔径０．４ｎｍ以上４ｎｍ以下の細孔を有する吸着剤（７）に接触させて、ブロモフルオロエチレンを吸着剤（７）に吸着させることにより、前記ガスからブロモフルオロエチレンを分離する。

Description

ガス処理方法及びガス処理装置
　本発明はガス処理方法及びガス処理装置に関する。
　半導体の製造工程においては、ドライエッチング装置のエッチングガスやＣＶＤ装置のチャンバークリーニングガス等として、四フッ化炭素、六フッ化エタン等のパーフルオロカーボンが使用されている。これらのパーフルオロカーボンは、非常に安定な化合物であり地球温暖化に対する影響が大きいため、大気に放出した場合の環境への悪影響が懸念されている。そのため、半導体の製造工程から排出される排ガスは、含有されているパーフルオロカーボンを回収又は分解した上で、大気に放出することが好ましい。
　特許文献１には、上記のパーフルオロカーボンの代替となる、環境負荷が小さいプラズマエッチングガスとして、二重結合を有するブロモフルオロカーボン（ブロモフルオロアルケン）を含有するプラズマエッチングガスが開示されている。ブロモフルオロアルケンは、四フッ化炭素、六フッ化エタン等の二重結合を有しないパーフルオロカーボンと比較して地球温暖化に対する影響が小さいが、無視できるほどに小さいものではない。また、ブロモフルオロアルケンは毒性が高く、大気にそのまま放出すると人体及び環境に悪影響を与えるので、半導体の製造工程から排出される排ガスは、含有されているブロモフルオロアルケンを回収又は分解した上で、大気に放出する必要がある。
　ブロモフルオロアルケンの処理方法としては、例えば特許文献２において、炭素数３又は４のブロモフルオロアルケンをゼオライトに吸着させる方法が提案されている。
国際公開第２０１２／１２４７２６号 日本国特許公開公報　２０１７年第４７３３８号
　しかしながら、炭素数２のブロモフルオロアルケン（ブロモフルオロエチレン）を効率良く除去する方法は見出されていない。
　本発明は、ブロモフルオロエチレンを効率良く除去することができるガス処理方法及びガス処理装置を提供することを課題とする。
　前記課題を解決するため、本発明の一態様は以下の［１］～［９］の通りである。
［１］　ブロモフルオロエチレンを含有するガスを、０℃以上１２０℃未満の温度環境下で、平均細孔径０．４ｎｍ以上４ｎｍ以下の細孔を有する吸着剤に接触させて、前記ブロモフルオロエチレンを前記吸着剤に吸着させることにより、前記ガスから前記ブロモフルオロエチレンを分離するガス処理方法。
［２］　前記ブロモフルオロエチレンは、ブロモトリフルオロエチレン、１－ブロモ－２，２－ジフルオロエチレン、（Ｅ）－１－ブロモ－１，２－ジフルオロエチレン、（Ｚ）－１－ブロモ－１，２－ジフルオロエチレン、１－ブロモ－１－フルオロエチレン、（Ｅ）－１－ブロモ－２－フルオロエチレン、（Ｚ）－１－ブロモ－２－フルオロエチレン、１，１－ジブロモ－２－フルオロエチレン、（Ｅ）－１，２－ジブロモ－２－フルオロエチレン、（Ｚ）－１，２－ジブロモ－２－フルオロエチレン、及びトリブロモフルオロエチレンのうちの少なくとも１種である［１］に記載のガス処理方法。
［３］　前記ブロモフルオロエチレンを含有するガスは前記ブロモフルオロエチレンと不活性ガスとの混合ガスである［１］又は［２］に記載のガス処理方法。
［４］　前記不活性ガスは、窒素ガス、ヘリウム、アルゴン、ネオン、及びクリプトンのうちの少なくとも１種である［３］に記載のガス処理方法。
［５］　前記ブロモフルオロエチレンを含有するガス中の前記ブロモフルオロエチレンの含有率が２５体積％未満である［１］～［４］のいずれか一項に記載のガス処理方法。
［６］　前記吸着剤がゼオライト及び活性炭の少なくとも一方である［１］～［５］のいずれか一項に記載のガス処理方法。
［７］　前記温度環境が０℃以上１００℃以下である［１］～［６］のいずれか一項に記載のガス処理方法。
［８］　前記温度環境が０℃以上７０℃以下である［１］～［６］のいずれか一項に記載のガス処理方法。
［９］　平均細孔径０．４ｎｍ以上４ｎｍ以下の細孔を有する吸着剤が収容された吸着処理容器を備え、
　前記吸着処理容器は、ブロモフルオロエチレンを含有するガスが供給される供給口と、前記ブロモフルオロエチレンを含有するガスに前記吸着剤による吸着処理が施されてなる処理済みガスを、前記吸着処理容器内から外部に排出する排出口と、を有するガス処理装置。
　本発明によれば、ブロモフルオロエチレンを効率良く除去することができる。
本発明の一実施形態に係るガス処理装置の構成を説明する模式図である。
　本発明の一実施形態について以下に説明する。なお、本実施形態は本発明の一例を示したものであって、本発明は本実施形態に限定されるものではない。また、本実施形態には種々の変更又は改良を加えることが可能であり、その様な変更又は改良を加えた形態も本発明に含まれ得る。
　本実施形態のガス処理装置１は、平均細孔径０．４ｎｍ以上４ｎｍ以下の細孔を有する吸着剤７が収容された吸着塔６（本発明の構成要件である「吸着処理容器」に相当する）を備えている。この吸着塔６は、ブロモフルオロエチレンを含有するガスが供給される供給口４と、ブロモフルオロエチレンを含有するガスに吸着剤７による吸着処理が施されてなる処理済みガスを、吸着塔６内から外部に排出する排出口５と、を有する。
　さらに、本実施形態のガス処理装置１は、ブロモフルオロエチレンガスを供給するブロモフルオロエチレンガス供給機構２と、不活性ガスを供給する不活性ガス供給機構３と、フーリエ変換赤外分光分析を行うフーリエ変換赤外分光光度計８と、を備えている。
　ブロモフルオロエチレンガス供給機構２と吸着塔６の供給口４とが配管で接続されていて、ブロモフルオロエチレンガス供給機構２から送気されたブロモフルオロエチレンガスが供給口４から吸着塔６の内部に供給され、０℃以上１２０℃未満の温度環境下で吸着剤７による吸着処理が施されるようになっている。
　供給口４から吸着塔６の内部に供給されるガスは、ブロモフルオロエチレンのみからなるブロモフルオロエチレンガスであってもよいが、ブロモフルオロエチレンガスと他種のガスとの混合ガスであってもよい。他種のガスは特に限定されるものではないが、例えば不活性ガスが挙げられる。すなわち、図１に示すように、ブロモフルオロエチレンガス供給機構２から延びる配管と、不活性ガス供給機構３から延びる配管が合流し、合流した配管が吸着塔６の供給口４に接続されていてもよい。
　このような構成であれば、ブロモフルオロエチレンガス供給機構２から送気されたブロモフルオロエチレンガスと、不活性ガス供給機構３から送気された不活性ガスが、合流した配管内で混合されて混合ガスとなり、混合ガスが供給口４から吸着塔６の内部に供給されることとなる。以下、ブロモフルオロエチレンのみからなるブロモフルオロエチレンガス、及び、ブロモフルオロエチレンガスと他種のガスとの混合ガスを、「ブロモフルオロエチレン含有ガス」と記すこともある。
　吸着塔６の内部に供給されたブロモフルオロエチレン含有ガスは、０℃以上１２０℃未満の温度環境下で吸着剤７と接触し、吸着剤７による吸着処理が施される。すなわち、ブロモフルオロエチレン含有ガス中のブロモフルオロエチレンは吸着剤７に吸着されるため、ブロモフルオロエチレン含有ガスはブロモフルオロエチレンと他種のガスとに分離される。
　吸着剤７による吸着処理が施されてなる処理済みガス、すなわち分離された他種のガスは、排出口５を介して吸着塔６内から外部に排出される。排出口５とフーリエ変換赤外分光光度計８が配管により接続されているので、処理済みガスはフーリエ変換赤外分光光度計８に供給される。
　フーリエ変換赤外分光光度計８においては、処理済みガスのフーリエ変換赤外分光分析が行われ、処理済みガス中に含有されるブロモフルオロエチレンの定量分析又は定性分析が行われる。
　フーリエ変換赤外分光光度計８には廃棄用配管９が接続されており、フーリエ変換赤外分光分析が終了した処理済みガスは、廃棄用配管９を介して系外に排出される。
　本実施形態のガス処理装置１を用いれば、煩雑な操作を必要とせず穏和な条件にてブロモフルオロエチレンを効率良く除去することができる。
　以下に、本実施形態のガス処理装置１と本実施形態のガス処理方法について、さらに詳細に説明する。
〔ブロモフルオロエチレン〕
　ブロモフルオロエチレンとは、分子内にフッ素原子と臭素原子を有する炭素数２の不飽和炭化水素を指す。
　ブロモフルオロエチレンの具体例としては、ブロモトリフルオロエチレン、１－ブロモ－２，２－ジフルオロエチレン、（Ｅ）－１－ブロモ－１，２－ジフルオロエチレン、（Ｚ）－１－ブロモ－１，２－ジフルオロエチレン、１－ブロモ－１－フルオロエチレン、（Ｅ）－１－ブロモ－２－フルオロエチレン、（Ｚ）－１－ブロモ－２－フルオロエチレン、１，１－ジブロモ－２－フルオロエチレン、（Ｅ）－１，２－ジブロモ－２－フルオロエチレン、（Ｚ）－１，２－ジブロモ－２－フルオロエチレン、トリブロモフルオロエチレン等が挙げられる。
　これらの中でも、常温で容易に気化できるという観点から、ブロモトリフルオロエチレン、１－ブロモ－２，２－ジフルオロエチレン、（Ｅ）－１－ブロモ－１，２－ジフルオロエチレン、（Ｚ）－１－ブロモ－１，２－ジフルオロエチレン、１－ブロモ－１－フルオロエチレン、（Ｅ）－１－ブロモ－２－フルオロエチレン、（Ｚ）－１－ブロモ－２－フルオロエチレンが好ましい。
　ブロモフルオロエチレンは、１種を単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
〔不活性ガス〕
　不活性ガスとしては、窒素ガス（Ｎ２）、ヘリウム（Ｈｅ）、アルゴン（Ａｒ）、ネオン（Ｎｅ）、クリプトン（Ｋｒ）、キセノン（Ｘｅ）があげられる。これらの中では、窒素ガス、ヘリウム、アルゴン、ネオン、及びクリプトンが好ましく、窒素ガス及びアルゴンがより好ましい。これら不活性ガスは、１種を単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
〔吸着剤〕
　吸着剤の種類は、平均細孔径０．４ｎｍ以上４ｎｍ以下の細孔を有するものであれば特に限定されるものではないが、経済性や入手容易性の観点から、活性炭、ゼオライト、シリカゲル、アルミナが好ましく、ゼオライト及び活性炭がより好ましい。
　ゼオライトの構造としては、例えば、Ｔ型、エリオナイト型、チャバザイト型、４Ａ型、５Ａ型、ＺＳＭ－５型、ＬｉＬＳＸ型、ＡｌＰＯ4－１１型、フェリエライト型、オフレタイト型、モルデナイト型、ベータ型、ＡｌＰＯ4－５型、ＮａＹ型、ＮａＸ型、ＣａＸ型、ＡｌＰＯ4－８型、ＵＴＤ－１型、ＶＰＩ－５型、クロベライト型、ＭＣＭ－４１型、ＦＳＭ－１６型が挙げられる。ゼオライトの中では、入手容易性の観点から、モレキュラーシーブ４Ａ（例えばユニオン昭和株式会社製）、モレキュラーシーブ５Ａ（例えばユニオン昭和株式会社製）、モレキュラーシーブ１３Ｘ（例えばユニオン昭和株式会社製）などが特に好ましい。
　吸着剤が有する細孔の平均細孔径が０．４ｎｍ以上４ｎｍ以下であれば、ブロモフルオロエチレンが効率よく吸着されるとともに、吸着したブロモフルオロエチレンの脱着が生じにくい。
　吸着剤の形状は特に限定されるものではないが、例えば、繊維状、ハニカム状、円柱状、ペレット状、破砕状、粒状、粉末状であってもよい。
〔吸着処理の温度〕
　吸着剤７による吸着処理は、０℃以上１２０℃未満の温度環境下で行う必要があるが、０℃以上１００℃以下の温度環境下で行うことが好ましく、０℃以上７０℃以下の温度環境下で行うことがより好ましい。
　上記の温度環境下でブロモフルオロエチレン含有ガスと吸着剤７とを接触させて吸着処理を行えば、吸着されたブロモフルオロエチレンが吸着剤７から脱着しにくくなるため、ブロモフルオロエチレンの吸着量が多くなる。また、温度制御のための大掛かりな装置が不要であるため、ガス処理装置１の構成を簡易なものとすることができる。さらに、吸着塔６内でのブロモフルオロエチレンの液化が生じにくい。
〔その他の吸着条件〕
　ブロモフルオロエチレン含有ガス中のブロモフルオロエチレンの含有率（濃度）、ブロモフルオロエチレン含有ガスの流量、吸着剤７の量、吸着塔６の大きさ等の吸着条件は、特に限定されるものではなく、ブロモフルオロエチレン含有ガスの種類、量等に応じて適宜設定することができる。ただし、ブロモフルオロエチレン含有ガス中のブロモフルオロエチレンの含有率（濃度）は、５０体積％以下とすることができ、３０体積％以下とすることが好ましく、２５体積％以下とすることがさらに好ましい。
　以下に実施例及び比較例を示して、本発明をより詳細に説明する。
〔実施例１〕
　図１に示すガス処理装置１と同様の構成を有するガス処理装置を用いて、ブロモフルオロエチレン含有ガスの吸着処理を行った。このガス処理装置は、内径１インチ、長さ１００ｍｍのステンレス製の吸着塔を備えており、この吸着塔には、吸着剤として２８．７ｇのモレキュラーシーブ１３Ｘ（ユニオン昭和株式会社製）が充填されている。
　モレキュラーシーブ１３Ｘが有する細孔の平均細孔径は、１．０ｎｍである。平均細孔径はＢＥＴ吸着法により測定した。測定条件は下記の通りである。
　　測定機器　　　：日機装株式会社製のＢＥＬＳＯＲＰ－ｍａｘ
　　吸着質　　　　：窒素ガス
　　測定温度　　　：－１９６℃
　　吸着剤の前処理：真空条件にて３００℃、６ｈ加熱乾燥した。
　　吸着剤の使用量：０．１０ｇ
　ブロモトリフルオロエチレンと乾燥窒素の混合ガス（混合ガス中のブロモトリフルオロエチレンの含有率は２０体積％）を、流量５０ｍＬ／ｍｉｎで吸着塔に供給して、吸着処理を行った。なお、吸着処理中は、吸着塔内の温度（詳細には吸着剤の表面温度）を３０．０～４０．０℃に維持した。
　吸着塔の排出口から排出される処理済みガス中のブロモトリフルオロエチレンの濃度を、フーリエ変換赤外分光光度計を用いて測定した。その結果、混合ガスの供給開始直後から３０分間のブロモトリフルオロエチレンの濃度は、２０６．３５～２７３．８１体積ｐｐｍであった（下記の表１を参照）。すなわち、吸着剤としてモレキュラーシーブ１３Ｘを用いた場合は、９９．８６～９９．９０％のブロモトリフルオロエチレンが吸着剤に吸着されたことになる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
〔実施例２〕
　吸着剤としてモレキュラーシーブ１３Ｘの代わりにヤシ殻系活性炭（大阪ガスケミカル株式会社製）を用いた点以外は実施例１と同様にして、ブロモトリフルオロエチレンの吸着処理を行った。ヤシ殻系活性炭が有する細孔の平均細孔径は、２．５ｎｍである。その結果、混合ガスの供給開始直後から３０分間のブロモトリフルオロエチレンの濃度は、２７．７８～４３６．５１体積ｐｐｍであった（下記の表２を参照）。すなわち、吸着剤としてヤシ殻系活性炭を用いた場合は、９９．７８～９９．９９％のブロモトリフルオロエチレンが吸着剤に吸着されたことになる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
〔実施例３〕
　吸着剤としてモレキュラーシーブ１３Ｘの代わりに石炭系活性炭（大阪ガスケミカル株式会社製）を用いた点以外は実施例１と同様にして、ブロモトリフルオロエチレンの吸着処理を行った。石炭系活性炭が有する細孔の平均細孔径は、３．４ｎｍである。その結果、混合ガスの供給開始直後から３０分間のブロモトリフルオロエチレンの濃度は、２３．８１～３６９．０５体積ｐｐｍであった（下記の表３を参照）。すなわち、吸着剤として石炭系活性炭を用いた場合は、９９．８２～９９．９９％のブロモトリフルオロエチレンが吸着剤に吸着されたことになる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000003
〔実施例４〕
　吸着剤としてモレキュラーシーブ１３Ｘの代わりにモレキュラーシーブ５Ａ（ユニオン昭和株式会社製）を用いた点以外は実施例１と同様にして、ブロモトリフルオロエチレンの吸着処理を行った。モレキュラーシーブ５Ａが有する細孔の平均細孔径は、０．５ｎｍである。
　その結果、混合ガスの供給開始直後のブロモトリフルオロエチレンの濃度は６３０．９５体積ｐｐｍ、混合ガスの供給開始から５分後のブロモトリフルオロエチレンの濃度は５５０７．９４体積ｐｐｍであった（下記の表４を参照）。吸着効率が低下した原因は、吸着剤が破過したためと考えられる。すなわち、吸着剤としてモレキュラーシーブ５Ａを用いた場合は、モレキュラーシーブ１３Ｘ及び上記活性炭に比べて吸着容量は劣るものの、９７％以上のブロモトリフルオロエチレンが吸着された。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000004
〔実施例５〕
　吸着塔内の温度を６０～７０℃とした点以外は実施例１と同様にして、ブロモトリフルオロエチレンの吸着処理を行った。その結果、混合ガスの供給開始から１５分後のブロモトリフルオロエチレンの濃度は５０３．９７体積ｐｐｍ、２０分後のブロモトリフルオロエチレンの濃度は２２２２．２２体積ｐｐｍであった（下記の表５を参照）。
　実施例１に比べて吸着容量が低下した理由は、吸着剤が加温されることで、ブロモトリフルオロエチレンの脱着が促進されたためであると考えられる。しかしながら、本条件でも、９８％以上のブロモトリフルオロエチレンが吸着された。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000005
〔実施例６〕
　吸着塔内の温度を０～５℃とした点以外は実施例１と同様にして、ブロモトリフルオロエチレンの吸着処理を行った。その結果、混合ガスの供給開始直後から３０分間のブロモトリフルオロエチレンの濃度は、１９．８４～２０６．３５体積ｐｐｍであった（下記の表６を参照）。実施例１に比べて吸着容量が向上した理由は、吸着剤を冷却することで、ブロモトリフルオロエチレンの脱着が抑制されたためであると考えられる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000006
〔実施例７〕
　ブロモフルオロエチレン含有ガスとして１－ブロモ－１－フルオロエチレンと乾燥窒素の混合ガス（混合ガス中の１－ブロモ－１－フルオロエチレンの含有率は２０体積％）を用いた点以外は実施例１と同様にして、１－ブロモ－１－フルオロエチレンの吸着処理を行った。その結果、混合ガスの供給開始直後から３０分間の１－ブロモ－１－フルオロエチレンの濃度は、１７８．５７～２０２．３８体積ｐｐｍであった（下記の表７を参照）。すなわち、吸着剤としてモレキュラーシーブ１３Ｘを用いた場合は、９９．９０～９９．９１％の１－ブロモ－１－フルオロエチレンが吸着剤に吸着されたことになる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000007
〔実施例８〕
　吸着剤としてモレキュラーシーブ１３Ｘの代わりに石炭系活性炭（大阪ガスケミカル株式会社製）を用いた点以外は実施例７と同様にして、１－ブロモ－１－フルオロエチレンの吸着処理を行った。その結果、混合ガスの供給開始直後から３０分間の１－ブロモ－１－フルオロエチレンの濃度は、２３．８１～２０６．３５体積ｐｐｍであった（下記の表８を参照）。すなわち、吸着剤として石炭系活性炭を用いた場合は、９９．９０～９９．９９％の１－ブロモ－１－フルオロエチレンが吸着剤に吸着されたことになる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000008
〔実施例９〕
　ブロモフルオロエチレン含有ガスとして１－ブロモ－２－フルオロエチレン（（Ｅ）－１－ブロモ－２－フルオロエチレンと（Ｚ）－１－ブロモ－２－フルオロエチレンとを等モル量混合したもの）と乾燥窒素の混合ガス（混合ガス中の１－ブロモ－２－フルオロエチレンの含有率は２０体積％）を用いた点以外は実施例１と同様にして、１－ブロモ－２－フルオロエチレンの吸着処理を行った。その結果、混合ガスの供給開始直後から３０分間の１－ブロモ－２－フルオロエチレンの濃度は、１６２．７０～２８５．７１ｐｐｍであった（下記の表９を参照）。すなわち、吸着剤としてモレキュラーシーブ１３Ｘを用いた場合は、９９．８６～９９．９２％の１－ブロモ－２－フルオロエチレンが吸着剤に吸着されたことになる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000009
〔実施例１０〕
　吸着剤としてモレキュラーシーブ１３Ｘの代わりに石炭系活性炭（大阪ガスケミカル株式会社製）を用いた点以外は実施例９と同様にして、１－ブロモ－２－フルオロエチレン（（Ｅ）－１－ブロモ－２－フルオロエチレンと（Ｚ）－１－ブロモ－２－フルオロエチレンとを等モル量混合したもの）の吸着処理を行った。その結果、混合ガスの供給開始直後から３０分間の１－ブロモ－２－フルオロエチレンの濃度は、１９．８４～１６６．６７体積ｐｐｍであった（下記の表１０を参照）。すなわち、吸着剤として石炭系活性炭を用いた場合は、９９．９２～９９．９９％の１－ブロモ－２－フルオロエチレンが吸着剤に吸着されたことになる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000010
〔実施例１１〕
　ブロモフルオロエチレン含有ガスとして１－ブロモ－２，２－ジフルオロエチレンと乾燥窒素の混合ガス（混合ガス中の１－ブロモ－２，２－ジフルオロエチレンの含有率は２０体積％）を用いた点以外は実施例１と同様にして、１－ブロモ－２，２－ジフルオロエチレンの吸着処理を行った。その結果、混合ガスの供給開始直後から３０分間の１－ブロモ－２，２－ジフルオロエチレンの濃度は、１５０．７９～２４６．０３体積ｐｐｍであった（下記の表１１を参照）。すなわち、吸着剤としてモレキュラーシーブ１３Ｘを用いた場合は、９９．８８～９９．９２％の１－ブロモ－２，２－ジフルオロエチレンが吸着剤に吸着されたことになる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000011
〔実施例１２〕
　吸着剤としてモレキュラーシーブ１３Ｘの代わりに石炭系活性炭（大阪ガスケミカル株式会社製）を用いた点以外は実施例１１と同様にして、１－ブロモ－２，２－ジフルオロエチレンの吸着処理を行った。その結果、混合ガスの供給開始直後から３０分間の１－ブロモ－２，２－ジフルオロエチレンの濃度は、２３．８１～２０６．３５体積ｐｐｍであった（下記の表１２を参照）。すなわち、吸着剤として石炭系活性炭を用いた場合は、９９．９０～９９．９９％の１－ブロモ－２，２－ジフルオロエチレンが吸着剤に吸着されたことになる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000012
〔比較例１〕
　吸着剤としてモレキュラーシーブ１３Ｘの代わりにＢ型シリカゲル（豊田化工株式会社製）を用いた点以外は実施例１と同様にして、ブロモトリフルオロエチレンの吸着処理を行った。Ｂ型シリカゲルが有する細孔の平均細孔径は、６．０ｎｍである。その結果、混合ガスの供給開始から２分以内に、定量測定限界（８０００ｐｐｍ）を超える濃度のブロモトリフルオロエチレンが検出された。すなわち、吸着剤としてＢ型シリカゲルを用いた場合は、ブロモトリフルオロエチレンが吸着されなかったことになる。
〔比較例２〕
　吸着剤としてモレキュラーシーブ１３Ｘの代わりにモレキュラーシーブ３Ａ（ユニオン昭和株式会社製）を用いた点以外は実施例１と同様にして、ブロモトリフルオロエチレンの吸着処理を行った。モレキュラーシーブ３Ａが有する細孔の平均細孔径は、０．３ｎｍである。その結果、混合ガスの供給開始直後から、定量測定限界（８０００ｐｐｍ）を超える濃度のブロモトリフルオロエチレンが検出された。すなわち、吸着剤としてモレキュラーシーブ３Ａを用いた場合は、ブロモトリフルオロエチレンが吸着されなかったことになる。
〔比較例３〕
　吸着剤としてモレキュラーシーブ１３Ｘの代わりにγ－アルミナ（株式会社高純度化学研究所製）を用いた点以外は実施例１と同様にして、ブロモトリフルオロエチレンの吸着処理を行った。γ－アルミナが有する細孔の平均細孔径は、８．５ｎｍである。その結果、混合ガスの供給開始直後から、定量測定限界（８０００ｐｐｍ）を超える濃度のブロモトリフルオロエチレンが検出された。すなわち、吸着剤としてγ－アルミナを用いた場合は、ブロモトリフルオロエチレンが吸着されなかったことになる。
〔比較例４〕
　吸着塔内の温度を１２０℃とした点以外は実施例１と同様にして、ブロモトリフルオロエチレンの吸着処理を行った。その結果、混合ガスの供給開始直後から、定量測定限界（８０００ｐｐｍ）を超える濃度のブロモトリフルオロエチレンが検出された。すなわち、吸着塔内の温度が１２０℃以上の高温である場合は、ブロモトリフルオロエチレンが吸着されなかったことになる。
〔比較例５〕
　処理ガスとして２－ブロモ－１，１，３，３，３－ペンタフルオロプロペンと乾燥窒素の混合ガス（混合ガス中の２－ブロモ－１，１，３，３，３－ペンタフルオロプロペンの含有率は２０体積％）を用いた点以外は実施例４と同様にして、２－ブロモ－１，１，３，３，３－ペンタフルオロプロペンの吸着処理を行った。その結果、混合ガスの供給開始直後から、定量測定限界（８０００ｐｐｍ）を超える濃度の２－ブロモ－１，１，３，３，３－ペンタフルオロプロペンが検出された。すなわち、吸着剤としてモレキュラーシーブ５Ａを用いた場合は、２－ブロモ－１，１，３，３，３－ペンタフルオロプロペンが吸着されなかったことになる。
〔比較例６〕
　処理ガスとして２－ブロモ－１，１，３，３，３－ペンタフルオロプロペンと乾燥窒素の混合ガス（混合ガス中の２－ブロモ－１，１，３，３，３－ペンタフルオロプロペンの含有率は２０体積％）を用いた点以外は実施例１と同様にして、２－ブロモ－１，１，３，３，３－ペンタフルオロプロペンの吸着処理を行った。その結果、混合ガスの供給開始から１０分経過後に、定量測定限界（８０００ｐｐｍ）を超える濃度の２－ブロモ－１，１，３，３，３－ペンタフルオロプロペンが検出された。すなわち、吸着剤としてモレキュラーシーブ１３Ｘを用いた場合は、２－ブロモ－１，１，３，３，３－ペンタフルオロプロペンの吸着量は、ブロモトリフルオロエチレンの吸着量に劣るという結果が得られた。
　　　　１　　　ガス処理装置
　　　　２　　　ブロモフルオロエチレンガス供給機構
　　　　３　　　不活性ガス供給機構
　　　　４　　　供給口
　　　　５　　　排出口
　　　　６　　　吸着塔
　　　　７　　　吸着剤
　　　　８　　　フーリエ変換赤外分光光度計
　　　　９　　　廃棄用配管

Claims (9)

  1. 　ブロモフルオロエチレンを含有するガスを、０℃以上１２０℃未満の温度環境下で、平均細孔径０．４ｎｍ以上４ｎｍ以下の細孔を有する吸着剤に接触させて、前記ブロモフルオロエチレンを前記吸着剤に吸着させることにより、前記ガスから前記ブロモフルオロエチレンを分離するガス処理方法。
  2. 　前記ブロモフルオロエチレンは、ブロモトリフルオロエチレン、１－ブロモ－２，２－ジフルオロエチレン、（Ｅ）－１－ブロモ－１，２－ジフルオロエチレン、（Ｚ）－１－ブロモ－１，２－ジフルオロエチレン、１－ブロモ－１－フルオロエチレン、（Ｅ）－１－ブロモ－２－フルオロエチレン、（Ｚ）－１－ブロモ－２－フルオロエチレン、１，１－ジブロモ－２－フルオロエチレン、（Ｅ）－１，２－ジブロモ－２－フルオロエチレン、（Ｚ）－１，２－ジブロモ－２－フルオロエチレン、及びトリブロモフルオロエチレンのうちの少なくとも１種である請求項１に記載のガス処理方法。
  3. 　前記ブロモフルオロエチレンを含有するガスは前記ブロモフルオロエチレンと不活性ガスとの混合ガスである請求項１又は請求項２に記載のガス処理方法。
  4. 　前記不活性ガスは、窒素ガス、ヘリウム、アルゴン、ネオン、及びクリプトンのうちの少なくとも１種である請求項３に記載のガス処理方法。
  5. 　前記ブロモフルオロエチレンを含有するガス中の前記ブロモフルオロエチレンの含有率が２５体積％未満である請求項１～４のいずれか一項に記載のガス処理方法。
  6. 　前記吸着剤がゼオライト及び活性炭の少なくとも一方である請求項１～５のいずれか一項に記載のガス処理方法。
  7. 　前記温度環境が０℃以上１００℃以下である請求項１～６のいずれか一項に記載のガス処理方法。
  8. 　前記温度環境が０℃以上７０℃以下である請求項１～６のいずれか一項に記載のガス処理方法。
  9. 　平均細孔径０．４ｎｍ以上４ｎｍ以下の細孔を有する吸着剤が収容された吸着処理容器を備え、
    　前記吸着処理容器は、ブロモフルオロエチレンを含有するガスが供給される供給口と、前記ブロモフルオロエチレンを含有するガスに前記吸着剤による吸着処理が施されてなる処理済みガスを、前記吸着処理容器内から外部に排出する排出口と、を有するガス処理装置。
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