WO2018030170A1 - 弾性波装置及びラダー型フィルタ - Google Patents

弾性波装置及びラダー型フィルタ Download PDF

Info

Publication number
WO2018030170A1
WO2018030170A1 PCT/JP2017/027312 JP2017027312W WO2018030170A1 WO 2018030170 A1 WO2018030170 A1 WO 2018030170A1 JP 2017027312 W JP2017027312 W JP 2017027312W WO 2018030170 A1 WO2018030170 A1 WO 2018030170A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
elastic wave
resonator
bus bar
idt electrode
propagation direction
Prior art date
Application number
PCT/JP2017/027312
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
保昭 新
Original Assignee
株式会社村田製作所
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社村田製作所 filed Critical 株式会社村田製作所
Priority to JP2018532932A priority Critical patent/JP6729702B2/ja
Priority to CN201780046304.3A priority patent/CN109478875B/zh
Publication of WO2018030170A1 publication Critical patent/WO2018030170A1/ja
Priority to US16/258,712 priority patent/US10862458B2/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46—Filters
    • H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
    • H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
    • H03H9/6433—Coupled resonator filters
    • H03H9/6483—Ladder SAW filters
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
    • H03H9/02637—Details concerning reflective or coupling arrays
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
    • H03H9/02992—Details of bus bars, contact pads or other electrical connections for finger electrodes
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
    • H03H9/14591—Vertically-split transducers
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46—Filters
    • H03H9/54—Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/70—Multiple-port networks for connecting several sources or loads, working on different frequencies or frequency bands, to a common load or source
    • H03H9/72—Networks using surface acoustic waves
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/70—Multiple-port networks for connecting several sources or loads, working on different frequencies or frequency bands, to a common load or source
    • H03H9/72—Networks using surface acoustic waves
    • H03H9/725—Duplexers

Definitions

  • the present invention relates to an acoustic wave device and a ladder type filter having a plurality of 1-port acoustic wave resonators.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Document 1
  • three 1-port acoustic wave resonators are connected in series on a piezoelectric substrate. More specifically, the IDT electrodes of three acoustic wave resonators are connected in series. Further, reflectors arranged on one side in the elastic wave propagation direction of the three elastic wave resonators are electrically connected. In the elastic wave propagation direction, the three reflectors of the three elastic wave resonators are electrically connected also on the other side.
  • each acoustic wave resonator the IDT electrode and the reflectors on both sides of the IDT electrode are separated by a space.
  • the reflector of the first elastic wave resonator is electrically connected to one bus bar of the first elastic wave resonator.
  • the IDT electrode of the elastic wave resonator located in the center is electrically connected to the IDT electrodes of the elastic wave resonators on both sides. It has only been done.
  • the temperature easily rises at the IDT electrode.
  • the IDT electrodes of the central acoustic wave resonator are surrounded by the IDT electrodes of the acoustic wave resonators on both sides, it is difficult for heat to dissipate. Therefore, in the IDT electrode of the central acoustic wave resonator, the temperature is likely to rise and migration is likely to occur. For this reason, there is a problem that the power durability of the entire acoustic wave device is lowered.
  • An object of the present invention is to provide an elastic wave device capable of improving power durability and a ladder filter using the elastic wave device.
  • An elastic wave device includes a first elastic wave resonator having a first IDT electrode and a pair of reflectors arranged on both sides in the elastic wave propagation direction of the first IDT electrode, A second elastic member connected in series to the first elastic wave resonator and having a second IDT electrode and a pair of reflectors disposed on both sides in the elastic wave propagation direction of the second IDT electrode.
  • the first to third IDT electrodes each have a pair of bus bars facing each other in the direction intersecting the elastic wave propagation direction, and the second elastic wave resonance In the direction crossing the elastic wave propagation direction of the child
  • the first elastic wave resonator is disposed on the other side of the first IDT electrode in the direction intersecting the elastic wave propagation direction.
  • Bus bar and one bus bar of the second IDT electrode are shared as a first common bus bar, and the other bus bar of the second IDT electrode and one bus bar of the third IDT electrode are The second common bus bar is shared, the first common bus bar is connected to a reflector of either the first or second acoustic wave resonator, and the second common bus bar is The reflector is connected to one of the second and third acoustic wave resonators.
  • the reflectors adjacent in the direction intersecting the elastic wave propagation direction are connected by a conductive pattern along the elastic wave propagation direction of each reflector. .
  • the first common bus bar is connected to the reflector disposed on one side in the elastic wave propagation direction
  • the second common bus bar is elastic. It is connected to the reflector disposed on the other side in the wave propagation direction.
  • the bus bars alternately oppose each other in the elastic wave propagation direction in a direction crossing the elastic wave propagation direction. Connected to the reflector.
  • At least one fourth elastic wave resonator is connected in series to the third elastic wave resonator, and the at least one fourth elastic wave device is connected.
  • the elastic wave resonator includes a fourth IDT electrode and a pair of reflectors disposed on both sides in the elastic wave propagation direction of the fourth IDT electrode, and the fourth IDT electrode is a pair of bus bars.
  • the third elastic wave resonator and the fourth elastic wave resonator are connected in series, the reflector of the third elastic wave resonator and the fourth elastic wave A resonator reflector is connected.
  • the bus bar of the first to fourth elastic wave resonators intersects the elastic wave propagation direction.
  • the elastic wave propagation direction is alternately connected to the reflector on one side or the reflector on the other side.
  • the direction intersecting the elastic wave propagation direction is a direction orthogonal to the elastic wave propagation direction.
  • a ladder type filter according to the present invention is a ladder type filter having a series arm resonator and a parallel arm resonator made of an acoustic wave resonator, and at least one of the series arm resonator or the parallel arm resonator is the present invention. It is the elastic wave apparatus comprised according to.
  • the power durability can be improved.
  • FIG. 1 is a plan view showing an electrode structure of a series arm resonator closest to the transmission terminal in the acoustic wave device according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a circuit diagram of the acoustic wave device according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a plan view of the acoustic wave device according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a diagram illustrating a relationship between input power and output power in the elastic wave devices of the first embodiment and the comparative example.
  • FIG. 5 is a plan view showing the electrode structure of the series arm resonator closest to the transmission terminal in the acoustic wave device according to the modification of the first embodiment.
  • FIG. 1 is a plan view showing an electrode structure of a series arm resonator closest to the transmission terminal in the acoustic wave device according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a circuit diagram of the acoustic wave device according to the first embodiment
  • FIG. 6 is a plan view showing the electrode structure of the series arm resonator closest to the transmission terminal in the acoustic wave device according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 7 is a plan view showing the electrode structure of the series arm resonator closest to the transmission terminal in the acoustic wave device according to the third embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is a plan view showing an electrode structure of a series arm resonator closest to the transmission terminal in the acoustic wave device according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a circuit diagram of the acoustic wave device according to the first embodiment, and
  • FIG. 3 is a plan view thereof.
  • the acoustic wave device 1 is a duplexer having a transmission filter 2 and a reception filter 3.
  • the elastic wave device 1 has a piezoelectric substrate 1A.
  • a piezoelectric single crystal such as LiTaO 3 or LiNbO 3 or a piezoelectric ceramic can be used.
  • the elastic wave device 1 has an antenna terminal 4.
  • the antenna terminal 4 is a terminal connected to the antenna ANT.
  • a transmission filter 2 is connected between the antenna terminal 4 and the transmission terminal 5.
  • a reception filter 3 is connected between the antenna terminal 4 and the reception terminal 6. In the transmission filter 2, transmission power is input from the transmission terminal 5, and transmission power is output from the antenna ANT via the antenna terminal 4. In the reception filter 3, a signal input from the antenna ANT is extracted from the reception terminal 6.
  • the transmission filter 2 is a ladder type filter. That is, it has a plurality of series arm resonators S1 to S3 and a plurality of parallel arm resonators P1 to P3.
  • An inductor L1 is connected between the parallel arm resonator P1 and the ground potential. Also, the ground potential side ends of the parallel arm resonators P2 and P3 are connected in common and connected to the ground potential via the inductor L2.
  • the series arm resonator S1 and the series arm resonator S3 are divided into a plurality of series arm resonators S1-1 to S1-3 and S3-1 to S3-3, as schematically shown in FIG.
  • FIG. 1 shows a portion where series arm resonators S1-1 to S1-3 are connected in series.
  • the series arm resonator S1 is an elastic wave device according to an embodiment of the present invention.
  • the series arm resonators S1-1 to S1-3 are first to third series arm resonators S1-1 to S1-3 as the first to third elastic wave resonators in the present invention. .
  • the first to third series arm resonators S1-1 to S1-3 have first to third IDT electrodes 11 to 13, respectively.
  • reflectors 14 and 15 are provided on both sides in the elastic wave propagation direction of the first IDT electrode 11.
  • reflectors 16 and 17 are provided on both sides in the elastic wave propagation direction of the second IDT electrode 12.
  • reflectors 18 and 19 are provided on both sides in the elastic wave propagation direction of the third IDT electrode 13.
  • the first IDT electrode 11 has a first bus bar 21 and a first common bus bar 22.
  • a plurality of first electrode fingers 23 are connected to the first bus bar 21.
  • a plurality of second electrode fingers 24 are connected to the first common bus bar 22.
  • the first common bus bar 22 is shared by the first and second IDT electrodes 11 and 12.
  • the second IDT electrode 12 has a second common bus bar 25 facing the first common bus bar 22.
  • a plurality of electrode fingers 26 are connected to the first common bus bar 22, and a plurality of electrode fingers 27 are connected to the second common bus bar 25.
  • the second common bus bar 25 is shared between the second series arm resonator S1-2 and the third series arm resonator S1-3.
  • a second bus bar 28 is provided so as to face the second common bus bar 25.
  • a plurality of electrode fingers 29 are connected to the second common bus bar 25, and a plurality of electrode fingers 30 are connected to the second bus bar 28.
  • the first to third series arm resonators S1-1 to S1-3 as the first to third elastic wave resonators are arranged along a direction orthogonal to the elastic wave propagation direction. That is, the first series arm resonator S1-1 is arranged on one side in the direction orthogonal to the elastic wave propagation direction of the second series arm resonator S1-2, and the third series arm resonator is on the other side.
  • a resonator S1-3 is arranged.
  • the direction is not limited to the direction orthogonal to the elastic wave propagation direction. That is, the first to third elastic wave resonators may be sequentially arranged at an angle other than 90 ° and in a direction crossing the elastic wave propagation direction.
  • the first to third series arm resonators S1-1 to S1-3 are connected in series. Therefore, the first IDT electrode 11 to the third IDT electrode 13 are connected in series. Specifically, the first IDT electrode 11 and the second IDT electrode 12 are connected by a first common bus bar 22 made of a strip-like conductive pattern. The second IDT electrode 12 and the third IDT electrode 13 are connected by a second common bus bar 25 made of a strip-like conductive pattern.
  • the reflectors 14 and 16 are electrically connected to the first common bus bar 22.
  • the reflector 15 and the reflector 17 are also electrically connected by a strip-shaped conductive pattern 31. That is, the reflectors adjacent to each other in the direction orthogonal to the elastic wave propagation direction of the first series arm resonator S1-1 and the second series arm resonator S1-2 are the first common bus bar 22 or the conductive conductors. They are connected by the pattern 31.
  • adjacent reflectors in the direction orthogonal to the elastic wave propagation direction are electrically conductive patterns 32 or
  • the second common bus bar 25 is electrically and physically connected.
  • the first IDT electrode 11 to the third IDT electrode 13 generate heat.
  • heat tends to be accumulated in the IDT electrode located in the center.
  • the second IDT electrode 12 is connected to the reflectors 14 and 16 by the first common bus bar 22. Further, the second IDT electrode 12 is connected to the reflectors 17 and 19 by the second common bus bar 25. Therefore, even if the temperature rises at the second IDT electrode 12, heat is released to the outside through the first common bus bar 22 and the second common bus bar 25. Therefore, the temperature rise of the second IDT electrode 12 can be effectively suppressed. Therefore, migration hardly occurs and power durability can be improved.
  • the structure of the present embodiment is employed in the series arm resonator S ⁇ b> 1 closest to the transmission terminal 5.
  • the series arm resonator S3 shown in FIG. 2 is similarly divided into three series arm resonators S3-1, S3-2, and S3-3.
  • the same structure as that of the series arm resonator S1 may be adopted. Thereby, the temperature rise can be further suppressed.
  • the transmission filter 2 the largest power is applied to the series arm resonator S1 closest to the transmission terminal 5. Therefore, by using the elastic wave device of the present invention for the series arm resonator S1 as in the present embodiment, the power durability can be effectively enhanced.
  • the electrode structure of the present invention may be adopted only for the series arm resonator S3 instead of the series arm resonator S1.
  • the reception filter 3 has a longitudinally coupled resonator type elastic wave filter 41.
  • Series arm resonators 42 and 43 are connected between the antenna terminal 4 and the longitudinally coupled resonator type acoustic wave filter 41.
  • a parallel arm resonator 44 is connected between a connection point between the longitudinally coupled resonator type elastic wave filter 41 and the receiving terminal 6 and the ground potential.
  • the circuit configuration of the reception filter 3 is not particularly limited.
  • the electrode structure of the elastic wave device of the present invention is employed for the series arm resonator S1, but the elastic wave device of the present invention has the first to third elastic wave resonators connected in series. Can be applied to any part.
  • the series arm resonator S2 and the series arm resonators S3-1 and S3-2 are connected in series and connected on the piezoelectric substrate.
  • the electrode structure as shown in FIG. 1 may be adopted by using the series arm resonator S3-1 as the second elastic wave resonator.
  • FIG. 4 is a diagram illustrating a relationship between input power and output power in the elastic wave devices of the first embodiment and the comparative example. Note that the input power in the elastic wave device of the first embodiment is the input power from the transmission terminal 5, and the output power is the power output from the antenna terminal 4.
  • the embodiment has the electrode structure shown in FIG.
  • the reflectors of the first to third elastic wave resonators are connected to each other as in the case of the elastic wave device described in Patent Document 1.
  • the IDT electrode is separated from the reflectors on both sides.
  • the elastic wave device of the comparative example is the same as the elastic wave device of the first embodiment.
  • the design parameters of the first to third series arm resonators S-1 to S1-3 were as follows.
  • Piezoelectric substrate LiTaO 3 substrate with a cut angle of 42 °. Use leaky waves.
  • Table 1 shows the result of the comparative example
  • Table 2 shows the result of the embodiment.
  • the input power peaks in a region where the input power is lower than 28.0 dBm, and the output power rapidly decreases when the input power exceeds 28.0 dBm. .
  • FIG. 5 is a plan view showing the electrode structure of the series arm resonator closest to the transmission terminal in the acoustic wave device according to the modification of the first embodiment.
  • the first common bus bar 22 is connected to the reflector 14 of the series arm resonator S ⁇ b> 1-1 as the first elastic wave resonator and is connected to the reflector 16. Absent.
  • the second common bus bar 25 is connected to the reflector 19 of the series arm resonator S1-3 as the third elastic wave resonator, and is not connected to the reflector 17.
  • the 1st common bus bar 22 and the 2nd common bus bar 25 do not need to be connected to the reflector of the 2nd elastic wave resonator.
  • This modification is the same as the elastic wave device of the first embodiment except for the above points.
  • the first common bus bar 22 may be connected to the reflector 16 without being connected to the reflector 14.
  • the second common bus bar 25 may not be connected to the reflector 19 but may be connected to the reflector 17. That is, in the present invention, the first common bus bar only needs to be connected to one of the reflectors of the first and second acoustic wave resonators, and the second common bus bar is the second common bus bar. It is only necessary to be connected to any one of the three acoustic wave resonators.
  • the first to third acoustic wave resonators 51 to 53 are connected to each other.
  • the fourth acoustic wave resonator 54 may be connected in series.
  • at least one fourth elastic wave resonator 54 may be further connected in series.
  • the fourth elastic wave resonator 54 includes a fourth IDT electrode 55 and reflectors 56 and 57 disposed on both sides in the elastic wave propagation direction of the fourth IDT electrode 55.
  • the fourth IDT electrode 55 has a third common bus bar 58 and a bus bar 59.
  • the third common bus bar 58 is shared by the third IDT electrode 13 and the fourth IDT electrode 55.
  • the first IDT electrode 11 is connected to the reflector 14 by the bus bar 21A.
  • the first IDT electrode 11 is connected to the reflector 15 by the first common bus bar 22A.
  • the second IDT electrode 12 and the reflector 17 are connected by the first common bus bar 22A.
  • the second IDT electrode 12 and the reflector 16 are connected by the second common bus bar 25A.
  • the third IDT electrode 13 and the reflector 18 are connected by a second common bus bar 25A.
  • the third IDT electrode 13 and the reflector 19 are connected by a third common bus bar 58.
  • the second IDT electrode 12 and the third IDT electrode 13 which are located inside in the direction orthogonal to the elastic wave propagation direction and easily collect heat are respectively connected to the first and second common bus bars 22A, 22A, It is connected to reflectors 15, 16, 17 or reflectors 18, 19, 57 via 25A or second and third common bus bars 25A, 58. Accordingly, also in the second embodiment, since the temperatures of the second IDT electrode 12 and the third IDT electrode 13 are unlikely to rise, the power durability can be effectively increased as in the first embodiment. .
  • the bus bar 21A, the first, second, and third common bus bars 22A, 25A, 58, and The bus bar 59 is alternately connected to the reflectors 14, 16, 18, 56 on one side and the reflectors 15, 17, 19, 57 on the other side in the elastic wave propagation direction in a direction orthogonal to the elastic wave propagation direction.
  • FIG. 7 is a plan view showing the electrode structure of the series arm resonator closest to the transmission terminal in the acoustic wave device according to the third embodiment of the present invention.
  • another fourth elastic wave resonator 61 is connected in series to the fourth elastic wave resonator 54 of the elastic wave device of the second embodiment.
  • the fourth acoustic wave resonator 61 includes an IDT electrode 62 and reflectors 63 and 64.
  • a fourth common bus bar 59 ⁇ / b> A is shared between the fourth elastic wave resonator 54 and the fourth elastic wave resonator 61.
  • the fourth IDT electrode 55 is connected to the reflectors 19 and 57 by a third common bus bar 58. Further, the IDT electrode 55 is connected to the reflector 63 by the fourth common bus bar 59A. Therefore, the temperature rise in the fourth IDT electrode 55 can be suppressed.
  • the IDT electrode 62 and the reflector 64 of the fourth elastic wave resonator 61 are connected by a bus bar 65.
  • a plurality of fourth elastic wave resonators 54 and 61 may be connected in series like a series arm resonator shown in FIG.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Abstract

耐電力性を高めることができる弾性波装置を提供する。　第１～第３の弾性波共振子Ｓ１－１～Ｓ１－３が直列に接続されており、第２の弾性波共振子Ｓ１－２の一方側に第１の弾性波共振子Ｓ１－１が、他方側に第３の弾性波共振子Ｓ１－３が配置されている弾性波装置１。第１～第３の弾性波共振子Ｓ１－１～Ｓ１－３において、第１の共通バスバー２２が、第１及び第２の弾性波共振子Ｓ１－１，Ｓ１－２のいずれかの反射器１４，１６に接続されており、第２の共通バスバー２５が、第２，第３の弾性波共振子Ｓ１－２，Ｓ１－３のいずれかの反射器１７，１９に接続されている。

Description

弾性波装置及びラダー型フィルタ
　本発明は、複数の１ポート型弾性波共振子を有する弾性波装置及びラダー型フィルタに関する。
　従来、複数の１ポート型弾性波共振子を直列接続してなる弾性波装置が種々提案されている。例えば下記の特許文献１では、３個の１ポート型弾性波共振子が、圧電基板上において、直列に接続されている。より具体的には、３個の弾性波共振子のＩＤＴ電極同士が直列に接続されている。また、３個の弾性波共振子の弾性波伝搬方向において一方側に配置されている反射器同士が電気的に接続されている。弾性波伝搬方向において、他方側においても、３個の弾性波共振子の３個の反射器が電気的に接続されている。
　他方、各弾性波共振子において、ＩＤＴ電極と、ＩＤＴ電極の両側の反射器とはスペースをおいて隔てられている。１番目の弾性波共振子の反射器が、１番目の弾性波共振子の一方のバスバーに電気的に接続されている。
特許第５５６２０６３号公報
　特許文献１に記載の弾性波装置では、３個の弾性波共振子のうち、中央に位置している弾性波共振子のＩＤＴ電極は、両側の弾性波共振子のＩＤＴ電極に電気的に接続されているだけである。他方、弾性波共振子では、電力が印加されると、ＩＤＴ電極において温度が上昇しやすい。特に、中央の弾性波共振子のＩＤＴ電極は、両側の弾性波共振子のＩＤＴ電極で囲まれているため、熱が放散し難い。従って、中央の弾性波共振子のＩＤＴ電極において、温度が上昇しやすく、マイグレーションが生じやすかった。そのため、弾性波装置全体としての耐電力性が低下するという問題があった。
　本発明の目的は、耐電力性を高めることができる弾性波装置及び該弾性波装置を用いたラダー型フィルタを提供することにある。
　本発明に係る弾性波装置は、第１のＩＤＴ電極と、前記第１のＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向において両側に配置された一対の反射器とを有する第１の弾性波共振子と、前記第１の弾性波共振子に直列に接続されており、第２のＩＤＴ電極と、前記第２のＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向において両側に配置された一対の反射器とを有する第２の弾性波共振子と、前記第２の弾性波共振子に直列に接続されており、第３のＩＤＴ電極と、前記第３のＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向において両側に配置された一対の反射器とを有する第３の弾性波共振子とを備え、前記第１～第３のＩＤＴ電極がそれぞれ、弾性波伝搬方向と交差する方向において対向する一対のバスバーを有し、前記第２の弾性波共振子の弾性波伝搬方向と交差する方向において一方側に前記第１の弾性波共振子が配置されており、該弾性波伝搬方向と交差する方向において他方側に前記第３の弾性波共振子が配置されており、前記第１のＩＤＴ電極の他方のバスバーと前記第２のＩＤＴ電極の一方のバスバーとが第１の共通バスバーとして共有化されており、前記第２のＩＤＴ電極の他方のバスバーと前記第３のＩＤＴ電極の一方のバスバーとが第２の共通バスバーとして共有化されており、前記第１の共通バスバーが前記第１及び前記第２の弾性波共振子のいずれかの反射器に接続されており、前記第２の共通バスバーが前記第２及び前記第３の弾性波共振子のいずれかの反射器に接続されている。
　本発明に係る弾性波装置のある特定の局面では、弾性波伝搬方向と交差する方向において隣り合っている前記反射器同士が、各反射器の弾性波伝搬方向に沿う導電パターンにより接続されている。
　本発明に係る弾性波装置の他の特定の局面では、前記第１の共通バスバーが弾性波伝搬方向において一方側に配置された前記反射器に接続されており、前記第２の共通バスバーが弾性波伝搬方向において他方側に配置された前記反射器に接続されている。
　本発明に係る弾性波装置の別の特定の局面では、前記第１～第３の弾性波共振子において、弾性波伝搬方向と交差する方向において、交互に前記各バスバーが弾性波伝搬方向において対向する反射器に接続されている。
　本発明に係る弾性波装置のさらに他の特定の局面では、少なくとも１つの第４の弾性波共振子が、前記第３の弾性波共振子に直列に接続されており、前記少なくとも１つの第４の弾性波共振子が、第４のＩＤＴ電極と、前記第４のＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向において両側に配置された一対の反射器とを有し、前記第４のＩＤＴ電極が一対のバスバーを有し、前記第３の弾性波共振子と前記第４の弾性波共振子とが直列接続されている部分において、前記第３の弾性波共振子の前記反射器と前記第４の弾性波共振子の反射器とが接続されている。
　本発明に係る弾性波装置の他の特定の局面では、前記第１～第４の弾性波共振子において、前記第１～第４の弾性波共振子の前記バスバーが、弾性波伝搬方向と交差する方向において、弾性波伝搬方向において一方側の前記反射器または他方側の前記反射器に交互に接続されている。
　本発明に係る弾性波装置の別の特定の局面では、前記弾性波伝搬方向と交差する方向が、弾性波伝搬方向と直交する方向である。
　本発明に係るラダー型フィルタは、弾性波共振子からなる直列腕共振子及び並列腕共振子を有するラダー型フィルタであって、前記直列腕共振子または並列腕共振子の少なくとも１つが、本発明に従って構成されている弾性波装置である。
　本発明に係る弾性波装置及びラダー型フィルタによれば、耐電力性を高めることができる。
図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置における最も送信端子側の直列腕共振子の電極構造を示す平面図である。 図２は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の回路図である。 図３は、本発明の第１の実施形態の弾性波装置の平面図である。 図４は、第１の実施形態及び比較例の弾性波装置における、入力電力と出力電力との関係を示す図である。 図５は、第１の実施形態の変形例に係る弾性波装置における最も送信端子側の直列腕共振子の電極構造を示す平面図である。 図６は、本発明の第２の実施形態に係る弾性波装置における最も送信端子側の直列腕共振子の電極構造を示す平面図である。 図７は、本発明の第３の実施形態に係る弾性波装置における最も送信端子側の直列腕共振子の電極構造を示す平面図である。
　以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
　なお、本明細書に記載の各実施形態は、例示的なものであり、異なる実施形態間において、構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることを指摘しておく。
　図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置における最も送信端子側の直列腕共振子の電極構造を示す平面図である。図２は、第１の実施形態の弾性波装置の回路図であり、図３はその平面図である。
　図２及び図３に示すように、弾性波装置１は、送信フィルタ２と受信フィルタ３とを有するデュプレクサである。図３に示すように、弾性波装置１は、圧電基板１Ａを有する。圧電基板１Ａの材料としては、ＬｉＴａＯ３やＬｉＮｂＯ３などの圧電単結晶、または圧電セラミックスが用いられ得る。
　弾性波装置１は、アンテナ端子４を有する。アンテナ端子４は、アンテナＡＮＴに接続される端子である。アンテナ端子４と送信端子５との間に送信フィルタ２が接続されている。アンテナ端子４と受信端子６との間に受信フィルタ３が接続されている。送信フィルタ２では、送信端子５から送信電力が入力され、アンテナ端子４を介してアンテナＡＮＴから送信電力が出力される。受信フィルタ３では、アンテナＡＮＴから入力された信号が、受信端子６から取り出される。
　送信フィルタ２はラダー型フィルタである。すなわち、複数の直列腕共振子Ｓ１～Ｓ３及び複数の並列腕共振子Ｐ１～Ｐ３を有する。なお、並列腕共振子Ｐ１とグラウンド電位との間に、インダクタＬ１が接続されている。また、並列腕共振子Ｐ２，Ｐ３のグラウンド電位側端部が共通接続され、インダクタＬ２を介してグラウンド電位に接続されている。
　直列腕共振子Ｓ１及び直列腕共振子Ｓ３は、図２で略図的に示すように、複数の直列腕共振子Ｓ１－１～Ｓ１－３，Ｓ３－１～Ｓ３－３に分割されている。
　図１は、直列腕共振子Ｓ１－１～Ｓ１－３が直列接続されている部分を示す。直列腕共振子Ｓ１は、本発明の一実施形態に係る弾性波装置である。ここで、直列腕共振子Ｓ１－１～Ｓ１－３を、本発明における第１～第３の弾性波共振子としての第１～第３の直列腕共振子Ｓ１－１～Ｓ１－３とする。
　第１～第３の直列腕共振子Ｓ１－１～Ｓ１－３は、それぞれ、第１～第３のＩＤＴ電極１１～１３を有する。第１の直列腕共振子Ｓ１－１では、第１のＩＤＴ電極１１の弾性波伝搬方向において両側に反射器１４，１５が設けられている。第２の直列腕共振子Ｓ１－２では、第２のＩＤＴ電極１２の弾性波伝搬方向において両側に反射器１６，１７が設けられている。第３の直列腕共振子Ｓ１－３では、第３のＩＤＴ電極１３の弾性波伝搬方向において両側に反射器１８，１９が設けられている。
　他方、第１のＩＤＴ電極１１は、第１のバスバー２１と第１の共通バスバー２２とを有する。第１のバスバー２１に、複数本の第１の電極指２３が接続されている。第１の共通バスバー２２に、複数本の第２の電極指２４が接続されている。第１の共通バスバー２２は、第１，第２のＩＤＴ電極１１，１２において共有化されている。第２のＩＤＴ電極１２は、第１の共通バスバー２２と対向する第２の共通バスバー２５を有している。第１の共通バスバー２２に、複数本の電極指２６が接続されており、第２の共通バスバー２５に複数本の電極指２７が接続されている。
　第２の共通バスバー２５は、第２の直列腕共振子Ｓ１－２と、第３の直列腕共振子Ｓ１－３との間で共有化されている。第３のＩＤＴ電極１３では、第２の共通バスバー２５と対向するように、第２のバスバー２８が設けられている。第２の共通バスバー２５に複数本の電極指２９が、第２のバスバー２８に複数本の電極指３０が接続されている。
　第１～第３の弾性波共振子としての第１～第３の直列腕共振子Ｓ１－１～Ｓ１－３は、弾性波伝搬方向と直交する方向に沿って配置されている。すなわち、第２の直列腕共振子Ｓ１－２の弾性波伝搬方向と直交する方向において一方側に、第１の直列腕共振子Ｓ１－１が配置されており、他方側に第３の直列腕共振子Ｓ１－３が配置されている。なお、この場合、弾性波伝搬方向と直交する方向に限定されない。すなわち、９０°以外の角度で、弾性波伝搬方向と交差する方向において、第１～第３の弾性波共振子が順に配置されていてもよい。
　ところで、第１～第３の直列腕共振子Ｓ１－１～Ｓ１－３は直列に接続されている。従って、第１のＩＤＴ電極１１～第３のＩＤＴ電極１３が直列に接続されている。具体的には、第１のＩＤＴ電極１１と、第２のＩＤＴ電極１２とは、ストリップ状の導電パターンからなる第１の共通バスバー２２により接続されている。第２のＩＤＴ電極１２と第３のＩＤＴ電極１３は、ストリップ状の導電パターンからなる第２の共通バスバー２５により接続されている。
　加えて、第１の共通バスバー２２には、反射器１４，１６が電気的に接続されている。反射器１５と反射器１７も、ストリップ状の導電パターン３１により電気的に接続されている。すなわち、第１の直列腕共振子Ｓ１－１と、第２の直列腕共振子Ｓ１－２の弾性波伝搬方向と直交する方向において隣り合っている反射器同士が第１の共通バスバー２２または導電パターン３１により接続されている。
　同様に、第２の直列腕共振子Ｓ１－２と、第３の直列腕共振子Ｓ１－３との間においても、弾性波伝搬方向と直交する方向において隣り合う反射器同士が導電パターン３２または第２の共通バスバー２５により電気的にかつ物理的に接続されている。
　直列腕共振子Ｓ１に、例えば図２の送信端子５から送信電力が印加された場合、第１のＩＤＴ電極１１～第３のＩＤＴ電極１３が発熱する。従来、この種の弾性波装置では、中央に位置しているＩＤＴ電極に熱がこもりがちであった。
　これに対して、本実施形態では、第２のＩＤＴ電極１２は、第１の共通バスバー２２により反射器１４，１６と接続されている。また、第２の共通バスバー２５により、第２のＩＤＴ電極１２は、反射器１７，１９に接続されている。従って、第２のＩＤＴ電極１２で温度が上昇したとしても、熱が第１の共通バスバー２２及び第２の共通バスバー２５を介して外側に逃がされる。よって、第２のＩＤＴ電極１２の温度上昇を効果的に抑制することができる。従って、マイグレーションが生じ難く、耐電力性を高めることができる。
　図２に示すように、弾性波装置１では、送信端子５に最も近い直列腕共振子Ｓ１において、本実施形態の構造が採用されていた。図２に示す直列腕共振子Ｓ３は、図３に示すように、同様に、３個の直列腕共振子Ｓ３－１，Ｓ３－２，Ｓ３－３に分割されている。この直列腕共振子Ｓ３においても、直列腕共振子Ｓ１の場合と同様の構造を採用してもよい。それによって、温度上昇をより一層抑制することができる。
　もっとも、送信フィルタ２では、最も大きな電力が加わるのは、送信端子５に最も近い直列腕共振子Ｓ１である。従って、本実施形態のように、直列腕共振子Ｓ１に本発明の弾性波装置を用いることにより、耐電力性を効果的に高めることができる。
　なお、直列腕共振子Ｓ１に代えて、直列腕共振子Ｓ３のみに本発明の電極構造を採用してもよい。
　受信フィルタ３は、縦結合共振子型弾性波フィルタ４１を有する。アンテナ端子４と縦結合共振子型弾性波フィルタ４１との間に直列腕共振子４２，４３が接続されている。また、縦結合共振子型弾性波フィルタ４１と受信端子６との間の接続点とグラウンド電位との間に並列腕共振子４４が接続されている。受信フィルタ３の回路構成は特に限定されるものではない。
　なお、上記実施形態では、直列腕共振子Ｓ１に本発明の弾性波装置の電極構造を採用したが、本発明の弾性波装置は、第１～第３の弾性波共振子が直列に接続されている任意の部分に適用することができる。例えば、図３において、直列腕共振子Ｓ２と、直列腕共振子Ｓ３－１，Ｓ３－２が直列に接続され、かつ圧電基板上において連ねられている。この部分において、直列腕共振子Ｓ３－１を第２の弾性波共振子として、図１に示すような電極構造を採用してもよい。
　次に、具体的な実験例につき説明する。
　図４は、第１の実施形態及び比較例の弾性波装置における、入力電力と出力電力との関係を示す図である。なお、第１の実施形態の弾性波装置における入力電力とは、送信端子５からの入力電力であり、出力電力とは、アンテナ端子４から出力される電力である。
　なお、実施形態は、図１に示した電極構造を有する。これに対して、比較例の弾性波装置では、特許文献１に記載の弾性波装置と同様に、１番目～３番目の弾性波共振子の反射器同士は接続しているものの、第２のＩＤＴ電極については、両側の反射器から分離されている。その他の構成は、比較例の弾性波装置は第１の実施形態の弾性波装置と同様とした。
　なお、第１～第３の直列腕共振子Ｓ－１～Ｓ１－３の設計パラメータは以下の通りとした。
　圧電基板：カット角４２°のＬｉＴａＯ３基板。リーキー波を利用。
　第１～第３のＩＤＴ電極１１～１３の電極指の対数＝１００対、電極指ピッチ＝２．６３４μｍ、電極指材料及び膜厚＝Ｔｉ（６ｎｍ）／Ａｌ（２４４ｎｍ）。
　反射器１４，１６，１８，１５，１７，１９の電極指の本数＝６．５対、電極指ピッチ＝２．６３４ｎｍ。
　また、上記比較例及び実施形態の入力電力と出力電力との関係を下記の表１及び表２に示す。表１が比較例の結果を示し、表２が実施形態の結果を示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
　表１及び図４に示されているように、比較例では、入力電力が２８．０ｄＢｍよりも低い領域で入力電力がピークとなり、２８．０ｄＢｍを超えると、出力電力が急激に低下している。
　これに比べて、表２及び図４に示されているように、実施形態の結果では、入力電力を高めていった場合、２８．０ｄＢｍを超えても、出力電力が高くなっていることがわかる。さらに、入力電力が２８．０ｄＢｍを超える領域で、出力電力が２４．０ｄＢｍを超えている。従って、比較例に比べて、実施形態によれば、放熱性が高められているか、入力電力印加による特性の劣化が少なくなり、かつ送信電力を高め得ることがわかる。
　また、表１及び図４において、比較例では、入力電力が２９．０ｄＢｍよりも高い領域が示されていないのは、２９．０ｄＢｍを超えると、破損し、出力電力を取り出すことができなかったことによる。従って、比較例に比べ、実施形態によれば耐電力性を効果的に高め得ることがわかる。
　図５は、第１の実施形態の変形例に係る弾性波装置における最も送信端子側の直列腕共振子の電極構造を示す平面図である。図５に示す変形例では、第１の共通バスバー２２は、第１の弾性波共振子としての直列腕共振子Ｓ１－１の反射器１４に接続されており、反射器１６には接続されていない。また、第２の共通バスバー２５は、第３の弾性波共振子としての直列腕共振子Ｓ１－３の反射器１９に接続されており、反射器１７には接続されていない。このように、第１の共通バスバー２２及び第２の共通バスバー２５は、第２の弾性波共振子の反射器に接続されておらずともよい。
　本変形例は、上記の点を除いては、第１の実施形態の弾性波装置と同様である。
　なお、上記変形例とは逆に、第１の共通バスバー２２は、反射器１４に接続されず、反射器１６に接続されていてもよい。同様に、第２の共通バスバー２５は、反射器１９に接続されず、反射器１７に接続されていてもよい。すなわち、本発明では、第１の共通バスバーは、第１，第２の弾性波共振子の内のいずれかの反射器に接続されておればよく、第２の共通バスバーは、第２，第３の弾性波共振子の内のいずれかの反射器に接続されておればよい。
　第１の実施形態では、３個の弾性波共振子が直列に接続されていたが、図６に示す第２の実施形態のように、第１～第３の弾性波共振子５１～５３に加えて、第４の弾性波共振子５４が直列に接続されていてもよい。このように、本発明では、少なくとも１つの第４の弾性波共振子５４がさらに直列に接続されていてもよい。
　第２の実施形態では、第４の弾性波共振子５４は、第４のＩＤＴ電極５５と、第４のＩＤＴ電極５５の弾性波伝搬方向において両側に配置された反射器５６，５７とを有する。第４のＩＤＴ電極５５は、第３の共通バスバー５８と、バスバー５９とを有する。第３の共通バスバー５８は、第３のＩＤＴ電極１３と、第４のＩＤＴ電極５５とで共有化されている。
　第２の実施形態では、バスバー２１Ａにより、第１のＩＤＴ電極１１が、反射器１４に接続されている。第１の共通バスバー２２Ａにより、第１のＩＤＴ電極１１が反射器１５に接続されている。この第１の共通バスバー２２Ａにより、第２のＩＤＴ電極１２と反射器１７とが接続されている。他方、第２の共通バスバー２５Ａにより第２のＩＤＴ電極１２と反射器１６とが接続されている。第３のＩＤＴ電極１３と反射器１８とが第２の共通バスバー２５Ａにより接続されている。第３のＩＤＴ電極１３と反射器１９とが、第３の共通バスバー５８により接続されている。
　従って、弾性波伝搬方向と直交する方向において、内側に位置しており、熱がこもりやすい第２のＩＤＴ電極１２及び第３のＩＤＴ電極１３は、それぞれ、第１，第２の共通バスバー２２Ａ，２５Ａまたは第２，第３の共通バスバー２５Ａ，５８を介して反射器１５，１６，１７または反射器１８，１９，５７に接続されている。従って、第２の実施形態においても、第２のＩＤＴ電極１２及び第３のＩＤＴ電極１３の温度が上昇し難いため、第１の実施形態と同様に耐電力性を効果的に高めることができる。
　第２の実施形態では、第１～第４の弾性波共振子５１～５４が直列に接続されている構成において、バスバー２１Ａ、第１，第２，第３の共通バスバー２２Ａ，２５Ａ，５８及びバスバー５９が、弾性波伝搬方向と直交する方向において、弾性波伝搬方向において一方側の反射器１４，１６，１８，５６と、他方側の反射器１５，１７，１９，５７とに交互に接続されている。従って、上記のように、第２，第３のＩＤＴ電極１２，１３の温度上昇を効果的に抑制することができる。
　図７は、本発明の第３の実施形態に係る弾性波装置における最も送信端子側の直列腕共振子の電極構造を示す平面図である。第３の実施形態の弾性波装置では、第２の実施形態の弾性波装置の第４の弾性波共振子５４に、さらにもう１つの第４の弾性波共振子６１が直列に接続されている。第４の弾性波共振子６１は、ＩＤＴ電極６２と、反射器６３，６４とを有する。第４の弾性波共振子５４と、第４の弾性波共振子６１との間で、第４の共通バスバー５９Ａが共有化されている。第４のＩＤＴ電極５５は、第３の共通バスバー５８により、反射器１９，５７に接続されている。また、第４の共通バスバー５９Ａにより、ＩＤＴ電極５５は反射器６３に接続されている。従って、第４のＩＤＴ電極５５において、温度上昇を抑制することができる。
　なお、第４の弾性波共振子６１のＩＤＴ電極６２及び反射器６４は、バスバー６５により接続されている。
　図７に示す直列腕共振子のように、複数の第４の弾性波共振子５４，６１が直列に接続されていてもよい。
１…弾性波装置
１Ａ…圧電基板
２…送信フィルタ
３…受信フィルタ
４…アンテナ端子
５…送信端子
６…受信端子
１１～１３…第１～第３のＩＤＴ電極
１４～１９…反射器
２１，２１Ａ…バスバー
２２，２２Ａ…第１の共通ハスバー
２３，２４，２６，２７，２９，３０…電極指
２５，２５Ａ…第２の共通バスバー
２８…第２のバスバー
３１，３２…導電パターン
４１…縦結合共振子型弾性波フィルタ
４２，４３…直列腕共振子
４４…並列腕共振子
５１～５４…第１～第４の弾性波共振子
５５…第４のＩＤＴ電極
５６，５７…反射器
５８，５９Ａ…第３，第４の共通バスバー
５９…バスバー
６１…第４の弾性波共振子
６２…ＩＤＴ電極
６３，６４…反射器
６５…バスバー
Ｌ１，Ｌ２…インダクタ
Ｓ１～Ｓ３…直列腕共振子
Ｓ１－１～Ｓ１－３，Ｓ３－１～Ｓ３－３…第１～第３の直列腕共振子
Ｐ１～Ｐ３…並列腕共振子

Claims (8)

  1. 　第１のＩＤＴ電極と、前記第１のＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向において両側に配置された一対の反射器とを有する第１の弾性波共振子と、
    　前記第１の弾性波共振子に直列に接続されており、第２のＩＤＴ電極と、前記第２のＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向において両側に配置された一対の反射器とを有する第２の弾性波共振子と、
    　前記第２の弾性波共振子に直列に接続されており、第３のＩＤＴ電極と、前記第３のＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向において両側に配置された一対の反射器とを有する第３の弾性波共振子とを備え、
    　前記第１～第３のＩＤＴ電極がそれぞれ、弾性波伝搬方向と交差する方向において対向する一対のバスバーを有し、
    　前記第２の弾性波共振子の弾性波伝搬方向と交差する方向において一方側に前記第１の弾性波共振子が配置されており、該弾性波伝搬方向と交差する方向において他方側に前記第３の弾性波共振子が配置されており、
    　前記第１のＩＤＴ電極の他方のバスバーと前記第２のＩＤＴ電極の一方のバスバーとが第１の共通バスバーとして共有化されており、
    　前記第２のＩＤＴ電極の他方のバスバーと前記第３のＩＤＴ電極の一方のバスバーとが第２の共通バスバーとして共有化されており、
    　前記第１の共通バスバーが前記第１及び前記第２の弾性波共振子のいずれかの反射器に接続されており，前記第２の共通バスバーが前記第２及び前記第３の弾性波共振子のいずれかの反射器に接続されている、弾性波装置。
  2. 　弾性波伝搬方向と交差する方向において隣り合っている前記反射器同士が、各反射器の弾性波伝搬方向に沿う導電パターンにより接続されている、請求項１に記載の弾性波装置。
  3. 　前記第１の共通バスバーが弾性波伝搬方向において一方側に配置された前記反射器に接続されており、前記第２の共通バスバーが弾性波伝搬方向において他方側に配置された前記反射器に接続されている、請求項１または２に記載の弾性波装置。
  4. 　前記第１～第３の弾性波共振子において、弾性波伝搬方向と交差する方向において、交互に前記各バスバーが弾性波伝搬方向において対向する反射器に接続されている、請求項１または２に記載の弾性波装置。
  5. 　少なくとも１つの第４の弾性波共振子が、前記第３の弾性波共振子に直列に接続されており、前記少なくとも１つの第４の弾性波共振子が、第４のＩＤＴ電極と、前記第４のＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向において両側に配置された一対の反射器とを有し、前記第４のＩＤＴ電極が一対のバスバーを有し、前記第３の弾性波共振子と前記第４の弾性波共振子とが直列接続されている部分において、前記第３の弾性波共振子の前記反射器と前記第４の弾性波共振子の反射器とが接続されている、請求項１に記載の弾性波装置。
  6. 　前記第１～第４の弾性波共振子において、前記第１～第４の弾性波共振子の前記バスバーが、弾性波伝搬方向と交差する方向において、弾性波伝搬方向において一方側の前記反射器または他方側の前記反射器に交互に接続されている、請求項５に記載の弾性波装置。
  7. 　前記弾性波伝搬方向と交差する方向が、弾性波伝搬方向と直交する方向である、請求項１～６のいずれか一項に記載の弾性波装置。
  8. 　弾性波共振子からなる直列腕共振子及び並列腕共振子を有するラダー型フィルタであって、前記直列腕共振子または並列腕共振子の少なくとも１つが、請求項１～７のいずれか一項に記載の弾性波装置である、ラダー型フィルタ。
PCT/JP2017/027312 2016-08-10 2017-07-27 弾性波装置及びラダー型フィルタ WO2018030170A1 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018532932A JP6729702B2 (ja) 2016-08-10 2017-07-27 弾性波装置及びラダー型フィルタ
CN201780046304.3A CN109478875B (zh) 2016-08-10 2017-07-27 弹性波装置以及梯型滤波器
US16/258,712 US10862458B2 (en) 2016-08-10 2019-01-28 Acoustic wave device and ladder filter

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016-157683 2016-08-10
JP2016157683 2016-08-10

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
US16/258,712 Continuation US10862458B2 (en) 2016-08-10 2019-01-28 Acoustic wave device and ladder filter

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2018030170A1 true WO2018030170A1 (ja) 2018-02-15

Family

ID=61162451

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2017/027312 WO2018030170A1 (ja) 2016-08-10 2017-07-27 弾性波装置及びラダー型フィルタ

Country Status (4)

Country Link
US (1) US10862458B2 (ja)
JP (1) JP6729702B2 (ja)
CN (1) CN109478875B (ja)
WO (1) WO2018030170A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023058579A1 (ja) * 2021-10-07 2023-04-13 株式会社村田製作所 弾性波装置

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115102518B (zh) * 2022-05-16 2023-07-14 武汉敏声新技术有限公司 一种横向激励体声波谐振器

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003209459A (ja) * 2001-11-09 2003-07-25 Toyo Commun Equip Co Ltd 共振子型弾性表面波フィルタ
JP2004320412A (ja) * 2003-04-16 2004-11-11 Toyo Commun Equip Co Ltd 弾性表面波フィルタ
WO2009016906A1 (ja) * 2007-07-30 2009-02-05 Murata Manufacturing Co., Ltd. 弾性波装置及びその製造方法
WO2010004686A1 (ja) * 2008-07-10 2010-01-14 株式会社村田製作所 弾性波装置及びラダー型フィルタ装置
JP2011172191A (ja) * 2010-02-22 2011-09-01 Kyocera Corp 弾性表面波装置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE69614463T2 (de) * 1995-07-25 2002-05-29 Murata Manufacturing Co Akustische Oberflächenwellenanordnung
US6348845B2 (en) * 1996-05-23 2002-02-19 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Surface acoustic wave filter and multistage surface acoustic wave filter
JP2001007680A (ja) * 1999-06-22 2001-01-12 Toyo Commun Equip Co Ltd 平衡型弾性表面波フィルタ
TW498614B (en) * 1999-12-09 2002-08-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd Elastic surface wave device and communications equipment using the elastic surface wave device
CN100452650C (zh) * 2003-07-02 2009-01-14 京瓷株式会社 弹性表面波装置及使用该装置的通信装置
CN105531926B (zh) * 2013-09-06 2018-03-16 株式会社村田制作所 弹性波谐振器、弹性波滤波器装置以及双工器
WO2015033891A1 (ja) * 2013-09-06 2015-03-12 株式会社村田製作所 弾性波共振子、弾性波フィルタ装置及びデュプレクサ
WO2016063718A1 (ja) * 2014-10-21 2016-04-28 株式会社村田製作所 弾性波共振子及びラダー型フィルタ
JP6465047B2 (ja) * 2016-02-19 2019-02-06 株式会社村田製作所 弾性波共振子、帯域通過型フィルタ及びデュプレクサ
WO2018117059A1 (ja) * 2016-12-19 2018-06-28 株式会社村田製作所 弾性波共振器、フィルタ装置およびマルチプレクサ

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003209459A (ja) * 2001-11-09 2003-07-25 Toyo Commun Equip Co Ltd 共振子型弾性表面波フィルタ
JP2004320412A (ja) * 2003-04-16 2004-11-11 Toyo Commun Equip Co Ltd 弾性表面波フィルタ
WO2009016906A1 (ja) * 2007-07-30 2009-02-05 Murata Manufacturing Co., Ltd. 弾性波装置及びその製造方法
WO2010004686A1 (ja) * 2008-07-10 2010-01-14 株式会社村田製作所 弾性波装置及びラダー型フィルタ装置
JP2011172191A (ja) * 2010-02-22 2011-09-01 Kyocera Corp 弾性表面波装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023058579A1 (ja) * 2021-10-07 2023-04-13 株式会社村田製作所 弾性波装置

Also Published As

Publication number Publication date
US10862458B2 (en) 2020-12-08
JPWO2018030170A1 (ja) 2019-03-28
JP6729702B2 (ja) 2020-07-22
CN109478875B (zh) 2022-10-04
CN109478875A (zh) 2019-03-15
US20190158063A1 (en) 2019-05-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6477721B2 (ja) 弾性波装置
JP6107947B2 (ja) 弾性波フィルタ装置
JP6380558B2 (ja) 弾性波装置
JP5105026B2 (ja) 弾性波共振子及びラダー型フィルタ
JP5333654B2 (ja) ラダー型フィルタ及びデュプレクサ
JP6284800B2 (ja) 弾性表面波デバイス及びフィルタ
JP6835222B2 (ja) 弾性波装置及び複合フィルタ装置
JP5141766B2 (ja) 弾性波装置及びラダー型フィルタ装置
CN110114973B (zh) 弹性波装置
JP5397477B2 (ja) ラダー型弾性波フィルタ装置及び分波器
WO2022107699A1 (ja) 弾性波フィルタ及び複合フィルタ装置
JP6886331B2 (ja) 弾性波共振器、フィルタおよびマルチプレクサ
WO2018030170A1 (ja) 弾性波装置及びラダー型フィルタ
US10090823B2 (en) Elastic wave resonator and ladder filter
US10505515B2 (en) Ladder filter
US20160380617A1 (en) Elastic wave device
WO2023002948A1 (ja) 受信フィルタ及び複合フィルタ装置
WO2023100670A1 (ja) フィルタ装置
JP2016171544A (ja) 弾性波装置
JP2012109671A (ja) 弾性波素子及びラダー型フィルタ
JPH10145174A (ja) 弾性表面波装置

Legal Events

Date Code Title Description
ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2018532932

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 17839243

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 17839243

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1