WO2023002948A1 - 受信フィルタ及び複合フィルタ装置 - Google Patents

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WO2023002948A1
WO2023002948A1 PCT/JP2022/027874 JP2022027874W WO2023002948A1 WO 2023002948 A1 WO2023002948 A1 WO 2023002948A1 JP 2022027874 W JP2022027874 W JP 2022027874W WO 2023002948 A1 WO2023002948 A1 WO 2023002948A1
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WO
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filter
electrode
idt
idt electrode
pitch portion
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PCT/JP2022/027874
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English (en)
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Inventor
千尋 照田
Original Assignee
株式会社村田製作所
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    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/125Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46Filters
    • H03H9/64Filters using surface acoustic waves
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/70Multiple-port networks for connecting several sources or loads, working on different frequencies or frequency bands, to a common load or source
    • H03H9/72Networks using surface acoustic waves

Definitions

  • the present invention relates to a receive filter and a composite filter device.
  • Patent Literature 1 discloses an example of an elastic wave device that is a filter device.
  • This filter device has a longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter and a surface acoustic wave resonator.
  • a longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter has three IDT electrodes. The three IDT electrodes have different duty ratios. The duty ratio of the IDT electrodes of the surface acoustic wave resonator is set between the minimum duty ratio and the maximum duty ratio of the three IDT electrodes of the longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter.
  • a filter device having a longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter as described in Patent Document 1 is used for a reception filter.
  • a composite filter device such as a duplexer having a receive filter and a transmit filter
  • a transmit signal may enter the receive filter from the transmit filter side.
  • the electrodes of the longitudinally coupled resonator-type surface acoustic wave filter in the receiving filter may be fused.
  • An object of the present invention is to provide a reception filter and a composite filter device in which a longitudinally coupled resonator type elastic wave filter is less likely to be damaged.
  • a reception filter is a longitudinally coupled resonator type elastic wave filter having an input terminal, an output terminal, and a plurality of IDT electrodes of three or more connected to one of the input terminal and the output terminal. wherein at least one IDT electrode among the plurality of IDT electrodes is connected to the input terminal, and at least one IDT electrode among the plurality of IDT electrodes is connected to the output terminal; An average duty ratio of the IDT electrodes connected to the input terminal is smaller than an average duty ratio of the IDT electrodes connected to the output terminal.
  • the composite filter device includes a receive filter configured according to the present invention, a transmit filter, and an antenna terminal to which the receive filter and the transmit filter are commonly connected. is a duplexer.
  • the composite filter device includes a receive filter constructed in accordance with the present invention, a plurality of filter devices including at least one transmit filter, the receive filter and the plurality of filter devices. and an antenna terminal to which the filter devices of are connected in common.
  • the composite filter device includes a receive filter constructed in accordance with the present invention, a plurality of filter devices including at least one transmit filter, the receive filter and the A communication terminal comprising a multiplexer having an antenna terminal to which a plurality of filter devices are commonly connected, and at least one multiplexer separate from the multiplexer.
  • the longitudinally coupled resonator type elastic wave filter is less likely to be damaged.
  • FIG. 1 is a schematic circuit diagram of a reception filter according to a first embodiment of the invention.
  • FIG. 2 is a schematic plan view of the longitudinally coupled resonator-type elastic wave filter according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a plan view of a series arm resonator according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a schematic plan view of a longitudinally coupled resonator-type elastic wave filter according to a second embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is a schematic circuit diagram of a composite filter device according to a third embodiment of the invention.
  • FIG. 6 is a schematic diagram of a composite filter device according to a fourth embodiment of the invention.
  • FIG. 7 is a schematic diagram of a composite filter device according to a fifth embodiment of the invention.
  • FIG. 8 is a schematic plan view of an IDT electrode for explaining the duty ratio.
  • FIG. 1 is a schematic circuit diagram of a reception filter according to the first embodiment of the present invention.
  • the reception filter 1 has an input terminal 2A and an output terminal 2B, a longitudinally coupled resonator type elastic wave filter 3, a front-stage circuit 4A, and a rear-stage circuit 4B.
  • the input terminal 2A and the output terminal 2B may be configured as electrode pads or may be configured as wiring.
  • a longitudinally coupled resonator type elastic wave filter 3 is connected between the input terminal 2A and the output terminal 2B.
  • the pre-stage circuit 4A is a circuit connected between the input terminal 2A and the longitudinally coupled resonator type elastic wave filter 3.
  • the post-stage circuit 4B is a circuit connected between the longitudinally coupled resonator type elastic wave filter 3 and the output terminal 2B.
  • FIG. 2 is a schematic plan view of the longitudinally coupled resonator-type elastic wave filter according to the first embodiment.
  • the longitudinally coupled resonator type elastic wave filter 3 has a piezoelectric substrate 5 and a first IDT electrode 6 , a second IDT electrode 7 and a third IDT electrode 8 .
  • the piezoelectric substrate 5 may be a substrate consisting only of a piezoelectric layer, or may be a laminated substrate including a piezoelectric layer. Examples of materials that can be used for the piezoelectric layer include lithium tantalate, lithium niobate, zinc oxide, aluminum nitride, crystal, and PZT (lead zirconate titanate).
  • a first IDT electrode 6 , a second IDT electrode 7 and a third IDT electrode 8 are provided on the piezoelectric substrate 5 .
  • An elastic wave is excited by applying an AC voltage to each IDT electrode. Specifically, in this embodiment, surface acoustic waves are excited as the main mode.
  • Each IDT electrode is lined up in the elastic wave propagation direction.
  • a pair of reflectors 9A and 9B are provided on both sides of each IDT electrode on the piezoelectric substrate 5 in the elastic wave propagation direction. More specifically, the pair of reflectors 9A and 9B are arranged so as to sandwich the first IDT electrode 6, the second IDT electrode 7 and the third IDT electrode 8 in the elastic wave propagation direction. ing.
  • the number of IDT electrodes of the longitudinally coupled resonator type elastic wave filter 3 is not particularly limited.
  • the longitudinally coupled resonator type elastic wave filter 3 may have three or more IDT electrodes.
  • the first IDT electrode 6 has a first busbar 14 and a second busbar 15 and a plurality of first electrode fingers 16 and a plurality of second electrode fingers 17 .
  • the first busbar 14 and the second busbar 15 face each other.
  • One end of each of the plurality of first electrode fingers 16 is connected to the first bus bar 14 .
  • One end of each of the plurality of second electrode fingers 17 is connected to the second bus bar 15 .
  • the plurality of first electrode fingers 16 and the plurality of second electrode fingers 17 are interleaved with each other.
  • the second IDT electrode 7 and the third IDT electrode 8 each have a pair of busbars and a plurality of electrode fingers.
  • the multiple electrode fingers of each IDT electrode extend in parallel. In this case, the extending direction of the plurality of electrode fingers is orthogonal to the elastic wave propagation direction.
  • the first IDT electrode 6 is connected to the input terminal 2A via the pre-stage circuit 4A. More specifically, as shown in FIG. 2, the first bus bar 14 of the first IDT electrode 6 is connected to the input terminal 2A. On the other hand, the second busbar 15 is connected to ground potential.
  • the electrodes are connected to the terminals.
  • one bus bar of the third IDT electrode 8 is connected to the input terminal 2A.
  • the other busbar of the third IDT electrode 8 is connected to ground potential.
  • one bus bar of the second IDT electrode 7 is connected to the ground potential, and the other bus bar is connected to the output terminal 2B.
  • two IDT electrodes are connected to the input terminal 2A, and one IDT electrode is connected to the output terminal 2B.
  • the number of IDT electrodes connected to the input terminal 2A and the number of IDT electrodes connected to the output terminal 2B are not limited to the above. Whether the number of IDT electrodes connected to the input terminal 2A and the number of IDT electrodes connected to the output terminal 2B is even or odd is not limited.
  • the duty ratio and electrode finger pitch of each IDT electrode are constant.
  • the duty ratio or electrode finger pitch of each IDT electrode may not be constant.
  • the electrode finger pitch is the center-to-center distance between adjacent electrode fingers in the elastic wave propagation direction.
  • the receive filter 1 shown in FIG. 1 is used in a composite filter device such as a duplexer, multiplexer or communication terminal.
  • the input terminal 2A is connected in common to the common connection terminal together with the output terminal of the transmit filter.
  • the common connection terminal is, for example, an antenna terminal.
  • An antenna terminal is connected to the antenna.
  • the received signal is input from the input terminal 2A. Therefore, the power applied to the IDT electrode connected to the input terminal 2A is greater than the power applied to the IDT electrode connected to the output terminal 2B. This is the same even when the transmission signal from the transmission filter enters the reception filter 1 .
  • the inventors of the present invention have found that the IDT electrodes connected to the input terminals are particularly susceptible to damage when the wraparound occurs.
  • a feature of this embodiment is that in the longitudinally coupled resonator type elastic wave filter 3, the average duty ratio of each of the first IDT electrode 6 and the third IDT electrode 8 connected to the input terminal 2A is equal to that of the output terminal 2B. It is smaller than the average duty ratio of the connected second IDT electrode 7 . That is, in the present embodiment, the distance between the edges of adjacent electrode fingers is long in each of the first IDT electrode 6 and the third IDT electrode 8 connected to the input terminal 2A. Thereby, the power durability of the first IDT electrode 6 and the third IDT electrode 8 can be enhanced, and the longitudinally coupled resonator type elastic wave filter 3 can be made difficult to be damaged.
  • the average duty ratio in a certain portion of the IDT electrode can be calculated by dividing the sum of the widths of all electrode fingers in that portion by the width of that portion.
  • the width of the electrode finger is the dimension along the elastic wave propagation direction of the electrode finger.
  • the width of the portion is the dimension along the elastic wave propagation direction of the portion.
  • the average duty ratio of the first IDT electrode 6 is obtained by dividing the sum of the widths of all the electrode fingers of the first IDT electrode 6 by the width of the portion where the electrode fingers of the first IDT electrode 6 are provided. It can be calculated by
  • the portion where the IDT electrodes are provided and the portion where the electrode fingers of the first IDT electrode 6 are provided correspond to the portions sandwiched by the two dashed-dotted lines shown in FIG. Each dashed-dotted line indicates the center of the electrode fingers at both ends of the IDT electrode in the elastic wave propagation direction.
  • the width of the portion where the electrode fingers of the first IDT electrode 6 are provided corresponds to the dimension indicated by the arrow L2 in FIG. Specifically, the dimension indicated by the arrow L2 is the center-to-center distance in the elastic wave propagation direction between the electrode fingers at both ends of the IDT electrode.
  • each electrode finger in the portion where the electrode finger of the first IDT electrode 6 is provided corresponds to the dimension indicated by a plurality of arrows L1 in FIG.
  • the width of each electrode finger at both ends of the IDT electrode in the portion sandwiched by the two dashed-dotted lines shown in FIG. 8 is 1/2 of the width of each electrode finger.
  • the average duty ratio can be calculated by dividing the sum of the dimensions indicated by arrow L1 by the dimension indicated by arrow L2.
  • the average electrode finger pitches of the first IDT electrode 6, the second IDT electrode 7 and the third IDT electrode 8 are the same.
  • the width of the electrode fingers of the first IDT electrode 6 is narrower than the width of the electrode fingers of the second IDT electrode 7 .
  • the width of the electrode fingers of the third IDT electrode 8 is narrower than the width of the electrode fingers of the second IDT electrode 7 .
  • the average duty ratio in each of the first IDT electrode 6 and the third IDT electrode 8 is smaller than the average duty ratio in the second IDT electrode 7 .
  • the average electrode finger pitches of the first IDT electrode 6, the second IDT electrode 7 and the third IDT electrode 8 may not necessarily be the same.
  • the average duty ratio of all the IDT electrodes in the longitudinally coupled resonator type elastic wave filter is small, the frequency of the longitudinally coupled resonator type elastic wave filter increases. In this case, it is necessary to increase the electrode finger pitch of each IDT electrode in order to obtain the desired frequency. Therefore, the longitudinally coupled resonator type elastic wave filter tends to be large, and the entire filter device tends to be large.
  • the average duty ratio of the second IDT electrode 7 connected to the output terminal 2B is large. Therefore, the frequency deviation of the longitudinally coupled resonator type elastic wave filter 3 can be suppressed. Therefore, it is possible to achieve both an increase in power durability and suppression of an increase in the size of the reception filter 1 .
  • the front-stage circuit 4A and the rear-stage circuit 4B each have a plurality of resonators. More specifically, in the reception filter 1, the pre-stage circuit 4A has a series arm resonator S1, a series arm resonator S2 and a parallel arm resonator P1.
  • the post-stage circuit 4B has a series arm resonator S3, a series arm resonator S4, and a parallel arm resonator P2.
  • a series arm resonator S1 and a series arm resonator S2 are connected in series with each other.
  • a parallel arm resonator P1 is connected between the connection point between the series arm resonators S1 and S2 and the ground potential.
  • a series arm resonator S3 and a series arm resonator S4 are connected in series between the longitudinally coupled resonator type elastic wave filter 3 and the output terminal 2B.
  • a parallel arm resonator P2 is connected between the connection point between the series arm resonators S3 and S4 and the ground potential.
  • FIG. 3 is a plan view of the series arm resonator in the first embodiment. In FIG. 3, wiring connected to the series arm resonator S1 is omitted.
  • the series arm resonator S1 has an IDT electrode 18.
  • An IDT electrode 18 is provided on the piezoelectric substrate 5 .
  • a pair of reflectors 19A and 19B are provided on both sides of the IDT electrode 18 on the piezoelectric substrate 5 in the elastic wave propagation direction.
  • Each series arm resonator and each parallel arm resonator other than the series arm resonator S1 similarly has an IDT electrode and a pair of reflectors.
  • Both the series arm resonator and the parallel arm resonator in the reception filter 1 are surface acoustic wave resonators. However, it is not limited to this.
  • the circuit configuration of the reception filter 1 is not limited to the above.
  • the front-stage circuit 4A and the rear-stage circuit 4B may each have at least one of a resonator, a capacitive element, an inductor, and a signal wiring.
  • the resonator may be a series arm resonator or a parallel arm resonator.
  • the capacitive element may have a pair of comb-shaped electrodes, or may have an insulating layer and a pair of electrodes facing each other with the insulating layer interposed therebetween.
  • the inductor may consist of a wiring pattern formed on the piezoelectric substrate 5 or may consist of a wiring pattern formed on a substrate other than the piezoelectric substrate 5 .
  • the capacitive elements and inductors may be SMDs (Surface Mount Devices).
  • the reception filter 1 may have at least one longitudinally coupled resonator type elastic wave filter 3 .
  • FIG. 4 is a schematic plan view of a longitudinally coupled resonator-type elastic wave filter according to the second embodiment.
  • This embodiment differs from the first embodiment in the configuration of each IDT electrode of the longitudinally coupled resonator type elastic wave filter 23 . Except for the above points, the receive filter of this embodiment has the same configuration as the receive filter 1 of the first embodiment.
  • Each IDT electrode of the longitudinally coupled resonator type elastic wave filter 23 has a main pitch portion and a narrow pitch portion.
  • the narrow pitch portion is located in a portion adjacent to other IDT electrodes.
  • the main pitch section is adjacent to the narrow pitch section.
  • the average electrode finger pitch in the narrow pitch portion is narrower than the average electrode finger pitch in the main pitch portion.
  • the electrode finger pitch is constant in each of the main pitch portion and the narrow pitch portion of each IDT electrode.
  • the electrode finger pitch may not be constant in each of the main pitch portion and the narrow pitch portion of each IDT electrode of the longitudinally coupled resonator type elastic wave filter 23 .
  • the narrow pitch portion 26b of the first IDT electrode 26 is positioned at one of both ends of the first IDT electrode 26 in the elastic wave propagation direction. More specifically, the narrow pitch portion 26 b of the first IDT electrode 26 is positioned at the end of the first IDT electrode 26 adjacent to the second IDT electrode 27 . The narrow pitch portion 26b is not positioned at the end of the first IDT electrode 26 adjacent to the reflector 9A. Therefore, the main pitch portion 26a of the first IDT electrode 26 reaches the end of the first IDT electrode 26 adjacent to the reflector 9A.
  • the narrow pitch portion 28b of the third IDT electrode 28 is located at the end of the third IDT electrode 28 adjacent to the second IDT electrode 27 .
  • the main pitch portion 28a of the third IDT electrode 28 reaches the end of the third IDT electrode 28 adjacent to the reflector 9B.
  • the main pitch portion 27a of the second IDT electrode 27 is sandwiched between two narrow pitch portions 27b.
  • One narrow pitch portion 27 b is located at the end of the second IDT electrode 27 adjacent to the first IDT electrode 26 .
  • the other narrow pitch portion 27 b is located at the end of the second IDT electrode 27 adjacent to the third IDT electrode 28 .
  • the boundary between the main pitch portion and the narrow pitch portion is positioned at the center of the electrode fingers in the elastic wave propagation direction.
  • the average duty ratio in the main pitch portion 26 a of the first IDT electrode 26 is smaller than the average duty ratio in the narrow pitch portion 26 b of the first IDT electrode 26 .
  • the average duty ratio in the main pitch portion 26a of the first IDT electrode 26 is smaller than the average duty ratio in the main pitch portion 27a of the second IDT electrode 27 and the average duty ratio in the narrow pitch portion 27b.
  • the average duty ratio in the main pitch portion 26a of the first IDT electrode 26 is D1a
  • the average duty ratio in the narrow pitch portion 26b is D1b.
  • D2a be the average duty ratio in the main pitch portion 27a of the second IDT electrode 27
  • D2b be the average duty ratio in the narrow pitch portion 27b.
  • the third IDT electrode 28 As well. That is, when the average duty ratio in the main pitch portion 28a of the third IDT electrode 28 is D3a, and the average duty ratio in the narrow pitch portion 28b is D3b, D3a ⁇ D3b, D3a ⁇ D2a, and D3a ⁇ D2b.
  • the power applied to the IDT electrodes connected to the input terminals is greater than the power applied to the IDT electrodes connected to the output terminals.
  • the excitation intensity in the main pitch portion is greater than the excitation intensity in the narrow pitch portion.
  • D1a ⁇ D1b, D1a ⁇ D2a, D1a ⁇ D2b, D3a ⁇ D3b, D3a ⁇ D2a, and D3a ⁇ D2b. Therefore, the average duty ratio in the main pitch portion 26a of the first IDT electrode 26 connected to the input terminal and the average duty ratio in the main pitch portion 28a of the third IDT electrode 28 can be reduced more reliably. Therefore, it is possible to more reliably improve power resistance, and to more reliably suppress damage to the longitudinally coupled resonator type elastic wave filter 23 .
  • the width of the electrode fingers in the main pitch portion is larger than that in the narrow pitch portion.
  • the width of the electrode finger is narrow.
  • the width of the electrode fingers in the main pitch portion and the narrow pitch portion may be the same.
  • the widths of the electrode fingers are different between the main pitch portion 26a and the narrow pitch portion 26b. More specifically, the width of the electrode finger where the boundary between the main pitch portion 26a and the narrow pitch portion 26b is located is the same as the width of the other electrode fingers in the narrow pitch portion 26b. Therefore, the duty ratio is constant in the narrow pitch portion 26b. On the other hand, in the main pitch portion 26a, the width of the electrode finger where the boundary is located is wider than the width of the other electrode fingers. Therefore, in the main pitch portion 26a, the duty ratio at the end on the narrow pitch portion 26b side is larger than the duty ratio at the other portions.
  • the width of the electrode finger where the boundary between the main pitch portion 26a and the narrow pitch portion 26b is located may be the same as the width of the other electrode fingers in the main pitch portion 26a.
  • the duty ratio is constant in the main pitch portion 26a.
  • the duty ratio at the end on the main pitch portion 26a side is smaller than the duty ratio at the other portions.
  • the duty ratio is constant.
  • the duty ratio of the end portion on the side of the narrow pitch portion 28b is larger than the duty ratio of the other portions.
  • the duty ratio may be constant in each of the main pitch portion and the narrow pitch portion of the first IDT electrode 26 and the third IDT electrode 28 .
  • the width of the electrode fingers of the second IDT electrodes 27 is constant. Therefore, the main pitch portion 27a and the narrow pitch portions 27b of the second IDT electrode 27 have a constant duty ratio. However, in each of the main pitch portion 27a and the narrow pitch portions 27b of the second IDT electrode 27, the duty ratio may not be constant.
  • the electrode finger pitch may not be constant in each of the main pitch portion and the narrow pitch portion of each IDT electrode of the longitudinally coupled resonator type elastic wave filter 23 .
  • a region from the end adjacent to another IDT electrode to N/6 is defined as a narrow pitch region.
  • the number of electrode fingers in the narrow-pitch region is the number obtained by omitting fractions from N/6.
  • a region of the IDT electrode other than the narrow pitch region is defined as a main pitch region. The boundary between the main pitch region and the narrow pitch region is assumed to be positioned at the center of the electrode fingers in the elastic wave propagation direction.
  • the electrode finger pitch is not constant in each of the main pitch portion and the narrow pitch portion of the IDT electrode connected to the input terminal 2A and the IDT electrode connected to the output terminal 2B, the following shall be satisfied. is preferred. That is, it is preferable that the average duty ratio in the main pitch region of the IDT electrodes connected to the input terminal 2A is smaller than the average duty ratio in the narrow pitch region of the IDT electrodes.
  • the average duty ratio of the IDT electrodes in the main pitch region is preferably smaller than the average duty ratio of the IDT electrodes connected to the output terminal 2B in the main pitch region and the narrow pitch region.
  • the width of the electrode finger may be measured at a plurality of measurement points, and the average value thereof may be used as the width of the electrode finger. In this case, for example, two points that divide the portion of the electrode finger located in the intersecting region into approximately three equal parts, or three points that approximately divide into four equal parts may be measured.
  • the resonator may be polished to expose the cross section of the electrode fingers perpendicular to the direction in which the electrode fingers extend.
  • the width of the electrode fingers can also be measured by measuring the cross section by observation with an optical microscope or by SEM observation.
  • the length of the electrode finger may be measured at a portion of the electrode finger on the side of the piezoelectric substrate.
  • reception filters according to the present invention have been shown.
  • the invention is not limited to receive filters.
  • composite filter devices according to the invention are given.
  • FIG. 5 is a schematic circuit diagram of a composite filter device according to the third embodiment.
  • the composite filter device 30 of this embodiment is a duplexer.
  • Composite filter device 30 has reception filter 31A, transmission filter 31B, and common connection terminal 32 .
  • the receive filter 31A has the same configuration as the receive filter 1 of the first embodiment.
  • the reception filter 31A may be any reception filter according to the present invention.
  • the common connection terminal 32 of the composite filter device 30 is an antenna terminal.
  • the common connection terminal 32 is not limited to an antenna terminal.
  • the common connection terminal 32 may be configured as an electrode pad, or may be configured as a wiring.
  • the wiring extending from the common connection terminal 32 branches into, for example, a wiring extending toward the reception filter 31A and a wiring extending toward the transmission filter 31B.
  • the input terminal of the reception filter 31A may be configured as a wiring branching from the common connection terminal 32 to the reception filter 31A side.
  • the input terminal of the reception filter 31A may be configured as an electrode pad.
  • the circuit configuration of the transmission filter 31B is not particularly limited.
  • the center frequency of the passband of the transmission filter 31B is lower than the center frequency of the passband of the reception filter 31A.
  • the communication band of the composite filter device 30 can be, for example, Band1, Band3, Band5, Band7 or Band8.
  • the center frequency of the passband of the transmission filter 31B may be higher than the center frequency of the passband of the reception filter 31A.
  • the average duty ratio of each of the first IDT electrode 6 and the third IDT electrode 8 connected to the input terminal is is smaller than the average duty ratio of the second IDT electrode 7 .
  • the first IDT electrode 6 and the third IDT electrode 8 connected to the input terminals have high power resistance. Therefore, even if the transmission signal from the transmission filter 31B enters the reception filter 31A, the longitudinally coupled resonator type elastic wave filter 3 is unlikely to be damaged.
  • fourth and fifth embodiments will be shown as other examples of the composite filter device according to the present invention. Also in the fourth and fifth embodiments, similarly to the third embodiment, the longitudinally coupled resonator-type elastic wave filter in the receiving filter of the composite filter device is less likely to be damaged. Note that the common connection terminal is the antenna terminal also in each of the following embodiments. However, it is not limited to this.
  • FIG. 6 is a schematic diagram of a composite filter device according to the fourth embodiment.
  • the composite filter device 40 of this embodiment is a multiplexer.
  • the composite filter device 40 has a reception filter 31A according to the present invention, a plurality of filter devices including a transmission filter 41B, a branching circuit 44, and a common connection terminal 32.
  • FIG. FIG. 6 shows a transmission filter 41B, a transmission filter 41C, a transmission filter 41D, and a reception filter 41E among a plurality of filter devices other than the reception filter 31A.
  • the number of filter devices other than the reception filter 31A is not particularly limited.
  • the reception filter 31A and the plurality of filter devices are commonly connected to the branching circuit 44.
  • the branching circuit 44 is connected to the common connection terminal 32 . More specifically, multiple wirings extend from the branching circuit 44 . Only the transmission filter 41B is connected to the wiring extending from the branching circuit 44 to one side. A plurality of filter devices other than the transmission filter 41B are connected to the wiring extending from the branching circuit 44 to the other side.
  • a common connection terminal 32 is connected to a wiring different from the above wirings.
  • the branching circuit 44 may be, for example, a surface acoustic wave filter, a BAW (Bulk Acoustic Wave) element, or an LC filter. Note that the circuit configuration of the composite filter device 40 is not limited to the above. Composite filter device 40 does not necessarily have branching circuit 44 .
  • FIG. 7 is a schematic diagram of a composite filter device according to the fifth embodiment.
  • the composite filter device 50 of this embodiment is a communication terminal.
  • Composite filter device 50 comprises multiplexer 51A and at least one multiplexer including multiplexer 51B.
  • the multiplexer 51A has the same configuration as the composite filter device 40 of the fourth embodiment. Note that the multiplexer 51A only needs to include the receive filter according to the present invention.
  • the multiplexer 51A and the multiplexer 51B each have a common connection terminal 32. There is no electrical connection by wiring between the multiplexers 51A and 51B.
  • FIG. 7 shows a multiplexer 51A and a multiplexer 51B among multiple multiplexers of the composite filter device 50. FIG. However, the number of multiplexers in composite filter device 50 is not particularly limited.
  • a signal emitted from a multiplexer may reach another multiplexer via space or a substrate. Even in such a case, since the receive filter in the multiplexer 51A has the configuration of the present invention, the longitudinally coupled resonator type elastic wave filter of the receive filter is less likely to be damaged.

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Abstract

縦結合共振子型弾性波フィルタが破損し難い、受信フィルタを提供する。 受信フィルタ1は、入力端子2A及び出力端子2Bと、入力端子2A及び出力端子2Bのうち一方にそれぞれ接続されている、3個以上の複数のIDT電極(第1~第3のIDT電極6~8)を有する縦結合共振子型弾性波フィルタ3とを備える。複数のIDT電極のうち少なくとも1個のIDT電極が入力端子2Aに接続されている。複数のIDT電極のうち少なくとも1個のIDT電極が出力端子2Bに接続されている。入力端子2Aに接続されている第1のIDT電極6の平均デューティ比及び第3のIDT電極8の平均デューティ比が、出力端子2Bに接続されている第2のIDT電極7の平均デューティ比よりも小さい。

Description

受信フィルタ及び複合フィルタ装置
 本発明は、受信フィルタ及び複合フィルタ装置に関する。
 従来、複数の弾性波共振子を有する受信フィルタや、複合フィルタ装置が広く用いられている。下記の特許文献1には、フィルタ装置である弾性波装置の一例が開示されている。このフィルタ装置は、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ及び弾性表面波共振子を有する。縦結合共振子型弾性表面波フィルタは3つのIDT電極を有する。3つのIDT電極においては、デューティ比が互いに異なる。弾性表面波共振子のIDT電極のデューティ比は、縦結合共振子型弾性表面波フィルタの3つのIDT電極における最小のデューティ比、及び最大のデューティ比の間の大きさとされている。
国際公開第2015/190178号
 特許文献1に記載のような、縦結合共振子型弾性表面波フィルタを有するフィルタ装置は、受信フィルタに用いられる。受信フィルタ及び送信フィルタを有する、デュプレクサなどの複合フィルタ装置においては、送信フィルタ側から、送信信号が受信フィルタに回り込むことがある。これにより、受信フィルタにおける縦結合共振子型弾性表面波フィルタの電極が溶断するおそれがある。
 本発明の目的は、縦結合共振子型弾性波フィルタが破損し難い、受信フィルタ及び複合フィルタ装置を提供することにある。
 本発明に係る受信フィルタは、入力端子及び出力端子と、前記入力端子及び前記出力端子のうち一方にそれぞれ接続されている、3個以上の複数のIDT電極を有する縦結合共振子型弾性波フィルタとを備え、前記複数のIDT電極のうち少なくとも1個のIDT電極が前記入力端子に接続されており、前記複数のIDT電極のうち少なくとも1個のIDT電極が前記出力端子に接続されており、前記入力端子に接続されている前記IDT電極の平均デューティ比が、前記出力端子に接続されている前記IDT電極の平均デューティ比よりも小さい。
 本発明に係る複合フィルタ装置のある広い局面では、該複合フィルタ装置は、本発明に従い構成されている受信フィルタと、送信フィルタと、前記受信フィルタ及び前記送信フィルタが共通接続されているアンテナ端子とを備える、デュプレクサである。
 本発明に係る複合フィルタ装置の他の広い局面では、該複合フィルタ装置は、本発明に従い構成されている受信フィルタと、少なくとも1つの送信フィルタを含む複数のフィルタ装置と、前記受信フィルタ及び前記複数のフィルタ装置が共通接続されているアンテナ端子とを備える、マルチプレクサである。
 本発明に係る複合フィルタ装置のさらに他の広い局面では、該複合フィルタ装置は、本発明に従い構成されている受信フィルタと、少なくとも1つの送信フィルタを含む複数のフィルタ装置と、前記受信フィルタ及び前記複数のフィルタ装置が共通接続されているアンテナ端子とを有するマルチプレクサと、前記マルチプレクサとは別の少なくとも1つのマルチプレクサとを備える、通信端末である。
 本発明に係る受信フィルタ及び複合フィルタ装置によれば、縦結合共振子型弾性波フィルタが破損し難い。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る受信フィルタの模式的回路図である。 図2は、本発明の第1の実施形態における縦結合共振子型弾性波フィルタの模式的平面図である。 図3は、本発明の第1の実施形態における直列腕共振子の平面図である。 図4は、本発明の第2の実施形態における縦結合共振子型弾性波フィルタの模式的平面図である。 図5は、本発明の第3の実施形態に係る複合フィルタ装置の模式的回路図である。 図6は、本発明の第4の実施形態に係る複合フィルタ装置の模式図である。 図7は、本発明の第5の実施形態に係る複合フィルタ装置の模式図である。 図8は、デューティ比について説明するための、IDT電極の模式的平面図である。
 以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
 なお、本明細書に記載の各実施形態は、例示的なものであり、異なる実施形態間において、構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることを指摘しておく。
 図1は、本発明の第1の実施形態に係る受信フィルタの模式的回路図である。
 受信フィルタ1は、入力端子2A及び出力端子2Bと、縦結合共振子型弾性波フィルタ3と、前段回路4Aと、後段回路4Bとを有する。入力端子2A及び出力端子2Bは、電極パッドとして構成されていてもよく、配線として構成されていてもよい。入力端子2A及び出力端子2Bの間に縦結合共振子型弾性波フィルタ3が接続されている。前段回路4Aは、入力端子2A及び縦結合共振子型弾性波フィルタ3の間に接続されている回路である。後段回路4Bは、縦結合共振子型弾性波フィルタ3及び出力端子2Bの間に接続されている回路である。
 図2は、第1の実施形態における縦結合共振子型弾性波フィルタの模式的平面図である。
 縦結合共振子型弾性波フィルタ3は、圧電性基板5と、第1のIDT電極6、第2のIDT電極7及び第3のIDT電極8とを有する。圧電性基板5は、圧電体層のみからなる基板であってもよく、あるいは圧電体層を含む積層基板であってもよい。圧電体層の材料としては、例えば、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、酸化亜鉛、窒化アルミニウム、水晶、またはPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)などを用いることができる。
 圧電性基板5上に、第1のIDT電極6、第2のIDT電極7及び第3のIDT電極8が設けられている。各IDT電極に交流電圧を印加することにより、弾性波が励振される。具体的には、本実施形態では、弾性表面波がメインモードとして励振される。各IDT電極は、弾性波伝搬方向において並んでいる。さらに、圧電性基板5上における各IDT電極の弾性波伝搬方向両側に、1対の反射器9A及び反射器9Bが設けられている。より具体的には、1対の反射器9A及び反射器9Bは、弾性波伝搬方向において、第1のIDT電極6、第2のIDT電極7及び第3のIDT電極8を挟むように配置されている。なお、縦結合共振子型弾性波フィルタ3のIDT電極の個数は特に限定されない。縦結合共振子型弾性波フィルタ3は3個以上の複数のIDT電極を有していればよい。
 第1のIDT電極6は、第1のバスバー14及び第2のバスバー15と、複数の第1の電極指16及び複数の第2の電極指17とを有する。第1のバスバー14及び第2のバスバー15は互いに対向している。第1のバスバー14に、複数の第1の電極指16の一端がそれぞれ接続されている。第2のバスバー15に、複数の第2の電極指17の一端がそれぞれ接続されている。複数の第1の電極指16及び複数の第2の電極指17は互いに間挿し合っている。第2のIDT電極7及び第3のIDT電極8も同様に、それぞれ、1対のバスバーと複数の電極指とを有する。本実施形態においては、各IDT電極の複数の電極指は平行に延びている。この場合、複数の電極指が延びる方向は、弾性波伝搬方向と直交する。
 図1に示すように、第1のIDT電極6は、前段回路4Aを介して入力端子2Aに接続されている。より具体的には、図2に示すように、第1のIDT電極6の第1のバスバー14が、入力端子2Aに接続されている。他方、第2のバスバー15はグラウンド電位に接続される。なお、本明細書においては、例えば、IDT電極が他の素子を介して端子に接続されている場合、及びIDT電極が他の素子を介さず端子に接続されている場合の双方において、単にIDT電極が端子に接続されていると記載することがある。
 第1のIDT電極6と同様に、第3のIDT電極8の一方のバスバーは、入力端子2Aに接続されている。第3のIDT電極8の他方のバスバーはグラウンド電位に接続される。これと異なり、第2のIDT電極7の一方のバスバーはグラウンド電位に接続され、他方のバスバーは出力端子2Bに接続されている。本実施形態では、入力端子2Aに2個のIDT電極が接続されており、出力端子2Bに1個のIDT電極が接続されている。なお、入力端子2Aに接続されているIDT電極及び出力端子2Bに接続されているIDT電極の個数は上記に限定されない。入力端子2Aに接続されているIDT電極及び出力端子2Bに接続されているIDT電極の個数が、偶数であるか、奇数であるかも限定されるものではない。
 縦結合共振子型弾性波フィルタ3においては、各IDT電極のデューティ比及び電極指ピッチはそれぞれ一定である。もっとも、各IDT電極のデューティ比または電極指ピッチはそれぞれ、一定ではなくともよい。なお、電極指ピッチとは、隣り合う電極指同士の、弾性波伝搬方向における中心間距離である。
 図1に示す受信フィルタ1は、デュプレクサ、マルチプレクサまたは通信端末などとしての、複合フィルタ装置に用いられる。入力端子2Aが、送信フィルタの出力端子と共に、共通接続端子に共通接続される。共通接続端子は、例えばアンテナ端子である。アンテナ端子はアンテナに接続される。
 受信フィルタ1においては、受信した信号は入力端子2Aから入力される。よって、入力端子2Aに接続されたIDT電極に印加される電力は、出力端子2Bに接続されたIDT電極に印加される電力よりも大きい。これは、受信フィルタ1に、送信フィルタからの送信信号の回り込みが生じた場合においても同様である。本発明者は、上記回り込みが生じた場合、入力端子に接続されたIDT電極が特に破損し易いことを見出した。
 本実施形態の特徴は、縦結合共振子型弾性波フィルタ3において、入力端子2Aに接続された第1のIDT電極6及び第3のIDT電極8のそれぞれの平均デューティ比が、出力端子2Bに接続された第2のIDT電極7の平均デューティ比よりも小さいことにある。すなわち、本実施形態では、入力端子2Aに接続された第1のIDT電極6及び第3のIDT電極8のそれぞれにおいて、隣接する電極指の端縁部同士の間の距離が長い。それによって、第1のIDT電極6及び第3のIDT電極8の耐電力性を高めることができ、縦結合共振子型弾性波フィルタ3を破損し難くすることができる。
 なお、IDT電極のある部分における平均デューティ比は、該部分における全ての電極指の幅の合計を、該部分の幅により割ることによって算出できる。電極指の幅は、電極指の弾性波伝搬方向に沿う寸法である。IDT電極のある部分の平均デューティ比を算出する際の該部分の幅は、該部分の弾性波伝搬方向に沿う寸法である。例えば、第1のIDT電極6の平均デューティ比は、第1のIDT電極6の全ての電極指の幅の合計を、第1のIDT電極6の電極指が設けられている部分の幅によって割ることにより算出できる。
 ここで、上記のIDT電極のある部分、及び第1のIDT電極6の電極指が設けられている部分は、図8に示す2本の一点鎖線により挟まれた部分に相当する。各一点鎖線は、IDT電極の両端の電極指におけるそれぞれの、弾性波伝搬方向における中心を示す。第1のIDT電極6の電極指が設けられている部分の幅は、図8中の矢印L2により示される寸法に相当する。具体的には、矢印L2により示される寸法は、IDT電極の両端の電極指同士の、弾性波伝搬方向における中心間距離である。一方で、第1のIDT電極6の電極指が設けられている部分におけるそれぞれの電極指の幅は、図8中の複数の矢印L1により示される寸法に相当する。そして、図8に示す2本の一点鎖線により挟まれた部分においての、IDT電極の両端の各電極指の幅はそれぞれ、上記各電極指の幅の1/2である。矢印L1により示される寸法の合計を、矢印L2により示される寸法によって割ることにより、平均デューティ比を算出することができる。
 縦結合共振子型弾性波フィルタ3においては、第1のIDT電極6、第2のIDT電極7及び第3のIDT電極8の平均電極指ピッチは同じである。他方、第1のIDT電極6における電極指の幅は、第2のIDT電極7における電極指の幅よりも狭い。同様に、第3のIDT電極8における電極指の幅は、第2のIDT電極7における電極指の幅よりも狭い。それによって、第1のIDT電極6及び第3のIDT電極8のそれぞれにおける平均デューティ比が、第2のIDT電極7における平均デューティ比よりも小さい。もっとも、第1のIDT電極6、第2のIDT電極7及び第3のIDT電極8の平均電極指ピッチは、必ずしも同じではなくともよい。
 ところで、縦結合共振子型弾性波フィルタにおける全てのIDT電極の平均デューティ比が小さい場合には、縦結合共振子型弾性波フィルタの周波数は高くなる。この場合には、所望の周波数を得るために、各IDT電極の電極指ピッチを大きくする必要がある。そのため、縦結合共振子型弾性波フィルタが大型になり、フィルタ装置全体も大型になりがちである。これに対して、本実施形態においては、出力端子2Bに接続された第2のIDT電極7の平均デューティ比は大きい。よって、縦結合共振子型弾性波フィルタ3の周波数のずれを抑制することができる。従って、耐電力性を高めることと、受信フィルタ1の大型化の抑制とを両立することができる。
 以下において、本実施形態における、縦結合共振子型弾性波フィルタ3以外の構成の詳細を説明する。
 図1に示すように、前段回路4A及び後段回路4Bは、それぞれ複数の共振子を有する。より具体的には、受信フィルタ1においては、前段回路4Aは、直列腕共振子S1、直列腕共振子S2及び並列腕共振子P1を有する。後段回路4Bは、直列腕共振子S3、直列腕共振子S4及び並列腕共振子P2を有する。入力端子2A及び縦結合共振子型弾性波フィルタ3の間に、直列腕共振子S1及び直列腕共振子S2が互いに直列に接続されている。直列腕共振子S1及び直列腕共振子S2の間の接続点とグラウンド電位との間に、並列腕共振子P1が接続されている。他方、縦結合共振子型弾性波フィルタ3及び出力端子2Bの間に、直列腕共振子S3及び直列腕共振子S4が互いに直列に接続されている。直列腕共振子S3及び直列腕共振子S4の間の接続点とグラウンド電位との間に、並列腕共振子P2が接続されている。
 図3は、第1の実施形態における直列腕共振子の平面図である。図3においては、直列腕共振子S1に接続された配線を省略している。
 直列腕共振子S1はIDT電極18を有する。圧電性基板5上にIDT電極18が設けられている。圧電性基板5上におけるIDT電極18の弾性波伝搬方向両側には、1対の反射器19A及び反射器19Bが設けられている。直列腕共振子S1以外の各直列腕共振子及び各並列腕共振子も同様に、IDT電極と1対の反射器とを有する。受信フィルタ1における直列腕共振子及び並列腕共振子は、いずれも弾性表面波共振子である。もっとも、これに限定されるものではない。
 さらに、受信フィルタ1の回路構成は上記に限定されない。例えば、前段回路4A及び後段回路4Bはそれぞれ、共振子、容量素子、インダクタ及び信号配線のうち少なくとも1つを有していればよい。共振子としては、直列腕共振子であってもよく、並列腕共振子であってもよい。容量素子は、1対の櫛歯状電極を有していてもよく、あるいは、絶縁層と、該絶縁層を挟み対向し合う1対の電極とを有していてもよい。インダクタは、圧電性基板5に形成された配線パターンなどからなっていてもよく、あるいは圧電性基板5以外の基板に形成された配線パターンなどからなっていてもよい。容量素子及びインダクタは、SMD(Surface Mount Device)であってもよい。受信フィルタ1は、少なくとも1つの縦結合共振子型弾性波フィルタ3を有していればよい。
 図4は、第2の実施形態における縦結合共振子型弾性波フィルタの模式的平面図である。
 本実施形態は、縦結合共振子型弾性波フィルタ23の各IDT電極の構成が第1の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本実施形態の受信フィルタは第1の実施形態の受信フィルタ1と同様の構成を有する。
 縦結合共振子型弾性波フィルタ23の各IDT電極はそれぞれ、メインピッチ部と狭ピッチ部とを有する。狭ピッチ部は他のIDT電極と隣接する部分に位置する。メインピッチ部は狭ピッチ部に隣接している。狭ピッチ部における平均電極指ピッチは、メインピッチ部における平均電極指ピッチよりも狭い。本実施形態では、各IDT電極におけるメインピッチ部及び狭ピッチ部のそれぞれにおいて、電極指ピッチは一定である。なお、縦結合共振子型弾性波フィルタ23の各IDT電極におけるメインピッチ部及び狭ピッチ部のそれぞれにおいて、電極指ピッチは一定ではなくともよい。
 図4に示すように、第1のIDT電極26の狭ピッチ部26bは、第1のIDT電極26の弾性波伝搬方向における両端部のうち一方の端部に位置している。より具体的には、第1のIDT電極26における第2のIDT電極27に隣接している方の端部に、第1のIDT電極26の狭ピッチ部26bが位置している。第1のIDT電極26の反射器9Aに隣接している方の端部には、狭ピッチ部26bは位置していない。よって、第1のIDT電極26のメインピッチ部26aは、第1のIDT電極26における反射器9Aに隣接している方の端部に至っている。
 同様に、第3のIDT電極28における第2のIDT電極27に隣接している方の端部に、第3のIDT電極28の狭ピッチ部28bが位置している。第3のIDT電極28のメインピッチ部28aは、第3のIDT電極28における反射器9Bに隣接している方の端部に至っている。
 他方、第2のIDT電極27のメインピッチ部27aは2箇所の狭ピッチ部27bにより挟まれている。一方の狭ピッチ部27bは、第2のIDT電極27における第1のIDT電極26に隣接している方の端部に位置している。他方の狭ピッチ部27bは、第2のIDT電極27における第3のIDT電極28に隣接している方の端部に位置している。なお、各IDT電極においては、メインピッチ部及び狭ピッチ部の境界は、電極指の弾性波伝搬方向における中心に位置している。
 本実施形態では、第1のIDT電極26のメインピッチ部26aにおける平均デューティ比が、第1のIDT電極26の狭ピッチ部26bにおける平均デューティ比よりも小さい。加えて、第1のIDT電極26のメインピッチ部26aにおける平均デューティ比が、第2のIDT電極27のメインピッチ部27aにおける平均デューティ比及び狭ピッチ部27bにおける平均デューティ比よりも小さい。ここで、第1のIDT電極26のメインピッチ部26aにおける平均デューティ比をD1a、狭ピッチ部26bにおける平均デューティ比をD1bとする。第2のIDT電極27のメインピッチ部27aにおける平均デューティ比をD2a、狭ピッチ部27bにおける平均デューティ比をD2bとする。縦結合共振子型弾性波フィルタ23においては、D1a<D1bであり、D1a<D2aであり、かつD1a<D2bである。
 第3のIDT電極28においても同様である。すなわち、第3のIDT電極28のメインピッチ部28aにおける平均デューティ比をD3a、狭ピッチ部28bにおける平均デューティ比をD3bとしたときに、D3a<D3bであり、D3a<D2aであり、かつD3a<D2bである。
 上述したように、入力端子に接続されたIDT電極に印加される電力は、出力端子に接続されたIDT電極に印加される電力よりも大きい。さらに、メインピッチ部における励振強度は、狭ピッチ部における励振強度よりも大きい。これに対して、本実施形態においては、D1a<D1bであり、D1a<D2aであり、かつD1a<D2bであり、さらに、D3a<D3bであり、D3a<D2aであり、かつD3a<D2bである。よって、入力端子に接続された第1のIDT電極26のメインピッチ部26aにおける平均デューティ比、及び第3のIDT電極28のメインピッチ部28aにおける平均デューティ比をより確実に小さくすることができる。従って、耐電力性をより確実に高めることができ、縦結合共振子型弾性波フィルタ23の破損をより確実に抑制することができる。
 縦結合共振子型弾性波フィルタ23では、入力端子2Aに接続されている第1のIDT電極26及び第3のIDT電極28においては、狭ピッチ部における電極指の幅よりも、メインピッチ部における電極指の幅が狭い。これにより、メインピッチ部における平均デューティ比はより一層小さい。よって、耐電力性をより一層高めることができる。なお、メインピッチ部及び狭ピッチ部における電極指の幅は同じであってもよい。
 本実施形態の第1のIDT電極26においては、メインピッチ部26a及び狭ピッチ部26bにおいて電極指の幅が異なる。より詳細には、メインピッチ部26a及び狭ピッチ部26bの境界が位置する電極指の幅は、狭ピッチ部26bにおける他の電極指の幅と同じである。そのため、狭ピッチ部26bにおいては、デューティ比は一定である。他方、メインピッチ部26aにおいては、上記境界が位置する電極指の幅は、他の電極指の幅よりも広い。よって、メインピッチ部26aにおいては、狭ピッチ部26b側の端部におけるデューティ比は、他の部分におけるデューティ比よりも大きい。
 なお、第1のIDT電極26において、メインピッチ部26a及び狭ピッチ部26bの境界が位置する電極指の幅は、メインピッチ部26aにおける他の電極指の幅と同じであってもよい。この場合には、メインピッチ部26aにおいては、デューティ比は一定である。他方、狭ピッチ部26bにおいては、メインピッチ部26a側の端部におけるデューティ比は、他の部分におけるデューティ比よりも小さい。
 同様に、第3のIDT電極28の狭ピッチ部28bにおいては、デューティ比は一定である。第3のIDT電極28のメインピッチ部28aにおいては、狭ピッチ部28b側の端部のデューティ比は、他の部分のデューティ比よりも大きい。もっとも、第1のIDT電極26及び第3のIDT電極28におけるメインピッチ部及び狭ピッチ部のそれぞれにおいて、デューティ比は一定であってもよい。
 一方で、本実施形態では、第2のIDT電極27において電極指の幅は一定である。そのため、第2のIDT電極27のメインピッチ部27a及び各狭ピッチ部27bにおいては、デューティ比は一定である。もっとも、第2のIDT電極27のメインピッチ部27a及び各狭ピッチ部27bのそれぞれにおいて、デューティ比は一定ではなくともよい。
 上記のように、縦結合共振子型弾性波フィルタ23の各IDT電極におけるメインピッチ部及び狭ピッチ部のそれぞれにおいて、電極指ピッチは一定でなくともよい。この場合、1つのIDT電極における電極指の総本数をN本としたとき、他のIDT電極と隣接する方の端からN/6本までの領域を狭ピッチ領域とする。なお、狭ピッチ領域における電極指の本数は、N/6において端数が切り捨てられた本数であるとする。そして、該IDT電極における狭ピッチ領域以外の領域をメインピッチ領域とする。なお、メインピッチ領域及び狭ピッチ領域の境界は、電極指の弾性波伝搬方向における中心に位置するものとする。
 例えば、入力端子2Aに接続されているIDT電極、及び出力端子2Bに接続されているIDT電極のメインピッチ部及び狭ピッチ部のそれぞれにおいて、電極指ピッチが一定でない場合、以下の通りであることが好ましい。すなわち、入力端子2Aに接続されているIDT電極のメインピッチ領域における平均デューティ比が、該IDT電極の狭ピッチ領域における平均デューティ比よりも小さいことが好ましい。該IDT電極のメインピッチ領域における平均デューティ比が、出力端子2Bに接続されているIDT電極のメインピッチ領域における平均デューティ比、及び狭ピッチ領域における平均デューティ比よりも小さいことが好ましい。それによって、この例における各IDT電極を含む場合の縦結合共振子型弾性波フィルタ23が破損し難い。
 ここで、電極指の幅の測定箇所、及び電極指の幅を測定する方法の例を示す。IDT電極を弾性波伝搬方向から見たときに、隣り合う電極指同士が重なり合っている領域は、該IDT電極の交叉領域である。電極指の幅の測定箇所は、例えば、電極指における交叉領域に位置する部分の、電極指が延びる方向における略中間点とすればよい。あるいは、電極指の幅を複数の測定箇所において測定し、その平均値を電極指の幅としてもよい。この場合には、例えば、電極指における交叉領域に位置する部分を略3等分する2点、または略4等分する3点を測定してもよい。
 電極指の幅を測定する方法としては、例えば、圧電性基板の法線方向からの光学顕微鏡による観察またはSEM観察による測長を挙げることができる。あるいは、電極指の幅の測定に際し、例えば、共振子の研磨等を行うことによって、電極指が延びる方向と直交する、電極指の断面を表出させてもよい。該断面を、光学顕微鏡による観察またはSEM観察によって測長することにより、電極指の幅の測定を行うこともできる。なお、電極指の幅の測定をするに際し、測長を行う箇所は、電極指の圧電性基板側の部分とすればよい。電極指が圧電性基板上に直接的に形成されている場合には、電極指と圧電性基板とが接触している部分を測長すればよい。
 第1の実施形態及び第2の実施形態においては、本発明に係る受信フィルタの例を示した。もっとも、本発明は受信フィルタに限定されない。以下において、本発明に係る複合フィルタ装置の例を示す。
 図5は、第3の実施形態に係る複合フィルタ装置の模式的回路図である。
 本実施形態の複合フィルタ装置30はデュプレクサである。複合フィルタ装置30は、受信フィルタ31Aと、送信フィルタ31Bと、共通接続端子32とを有する。受信フィルタ31Aは、第1の実施形態の受信フィルタ1と同様の構成を有する。もっとも、受信フィルタ31Aは、本発明に係る受信フィルタであればよい。
 複合フィルタ装置30の共通接続端子32はアンテナ端子である。なお、共通接続端子32はアンテナ端子に限定されない。共通接続端子32は、電極パッドとして構成されていてもよく、配線として構成されていてもよい。共通接続端子32から延びる配線は、例えば、受信フィルタ31A側に延びる配線、及び送信フィルタ31B側に延びる配線に分岐している。この場合、受信フィルタ31Aの入力端子は、共通接続端子32から受信フィルタ31A側に分岐している配線などとして構成されていてもよい。あるいは、受信フィルタ31Aの入力端子は、電極パッドとして構成されていてもよい。
 他方、送信フィルタ31Bの回路構成は特に限定されない。なお、複合フィルタ装置30においては、送信フィルタ31Bの通過帯域における中心周波数が、受信フィルタ31Aの通過帯域における中心周波数よりも低い。この場合、複合フィルタ装置30の通信Bandとしては、例えば、Band1、Band3、Band5、Band7またはBand8などとすることができる。もっとも、送信フィルタ31Bの通過帯域における中心周波数は、受信フィルタ31Aの通過帯域における中心周波数よりも高くてもよい。
 本実施形態においても、縦結合共振子型弾性波フィルタ3において、入力端子に接続されている第1のIDT電極6及び第3のIDT電極8のそれぞれの平均デューティ比が、出力端子2Bに接続されている第2のIDT電極7の平均デューティ比よりも小さい。それによって、第1の実施形態と同様に、入力端子に接続されている第1のIDT電極6及び第3のIDT電極8の耐電力性が高い。従って、受信フィルタ31Aに送信フィルタ31Bから送信信号の回り込みが生じたとしても、縦結合共振子型弾性波フィルタ3が破損し難い。
 さらに以下において、本発明に係る複合フィルタ装置の他の例として、第4の実施形態及び第5の実施形態を示す。第4の実施形態及び第5の実施形態においても、第3の実施形態と同様に、複合フィルタ装置の受信フィルタにおける縦結合共振子型弾性波フィルタは破損し難い。なお、以下の各実施形態においても、共通接続端子はアンテナ端子である。もっとも、これに限定されるものではない。
 図6は、第4の実施形態に係る複合フィルタ装置の模式図である。
 本実施形態の複合フィルタ装置40はマルチプレクサである。複合フィルタ装置40は、本発明に係る受信フィルタ31Aと、送信フィルタ41Bを含む複数のフィルタ装置と、分波回路44と、共通接続端子32とを有する。図6においては、受信フィルタ31A以外の複数のフィルタ装置のうち、送信フィルタ41B、送信フィルタ41C、送信フィルタ41D及び受信フィルタ41Eを示す。もっとも、受信フィルタ31A以外の複数のフィルタ装置の個数は特に限定されない。
 受信フィルタ31A及び上記複数のフィルタ装置は、分波回路44に共通接続されている。分波回路44は共通接続端子32に接続されている。より具体的には、分波回路44からは、複数の配線が延びている。分波回路44から一方に延びる配線に、送信フィルタ41Bのみが接続されている。分波回路44から他方に延びる配線に、送信フィルタ41B以外の複数のフィルタ装置が接続されている。上記各配線とは別の配線に、共通接続端子32が接続されている。
 分波回路44は、例えば、弾性表面波フィルタであってもよく、BAW(Bulk Acoustic Wave)素子であってもよく、LCフィルタであってもよい。なお、複合フィルタ装置40の回路構成は上記に限定されない。複合フィルタ装置40は、必ずしも分波回路44を有していなくともよい。
 図7は、第5の実施形態に係る複合フィルタ装置の模式図である。
 本実施形態の複合フィルタ装置50は通信端末である。複合フィルタ装置50は、マルチプレクサ51Aと、マルチプレクサ51Bを含む少なくとも1つのマルチプレクサとを有する。マルチプレクサ51Aは、第4の実施形態の複合フィルタ装置40と同様の構成を有する。なお、マルチプレクサ51Aは、本発明に係る受信フィルタを含んでいればよい。
 マルチプレクサ51A及びマルチプレクサ51Bはそれぞれ、共通接続端子32を有する。マルチプレクサ51A及びマルチプレクサ51Bの間においては、配線による電気的な接続はなされていない。図7においては、複合フィルタ装置50の複数のマルチプレクサのうち、マルチプレクサ51A及びマルチプレクサ51Bを示す。もっとも、複合フィルタ装置50における複数のマルチプレクサの個数は特に限定されない。
 通信端末においては、マルチプレクサから発せられた信号が、空間または基板などを介して、他のマルチプレクサに到達することもある。そのような場合であっても、マルチプレクサ51Aにおける受信フィルタは本発明の構成を有するため、該受信フィルタの縦結合共振子型弾性波フィルタは破損し難い。
1…受信フィルタ
2A…入力端子
2B…出力端子
3…縦結合共振子型弾性波フィルタ
4A…前段回路
4B…後段回路
5…圧電性基板
6~8…第1~第3のIDT電極
9A,9B…反射器
14,15…第1,第2のバスバー
16,17…第1,第2の電極指
18…IDT電極
19A,19B…反射器
23…縦結合共振子型弾性波フィルタ
26~28…第1~第3のIDT電極
26a~28a…メインピッチ部
26b~28b…狭ピッチ部
30…複合フィルタ装置
31A…受信フィルタ
31B…送信フィルタ
32…共通接続端子
40…複合フィルタ装置
41B~41D…送信フィルタ
41E…受信フィルタ
44…分波回路
50…複合フィルタ装置
51A,51B…マルチプレクサ
P1,P2…並列腕共振子
S1~S4…直列腕共振子

Claims (8)

  1.  入力端子及び出力端子と、
     前記入力端子及び前記出力端子のうち一方にそれぞれ接続されている、3個以上の複数のIDT電極を有する縦結合共振子型弾性波フィルタと、
    を備え、
     前記複数のIDT電極のうち少なくとも1個のIDT電極が前記入力端子に接続されており、前記複数のIDT電極のうち少なくとも1個のIDT電極が前記出力端子に接続されており、
     前記入力端子に接続されている前記IDT電極の平均デューティ比が、前記出力端子に接続されている前記IDT電極の平均デューティ比よりも小さい、受信フィルタ。
  2.  各前記IDT電極が、他の前記IDT電極と隣接している部分に位置する狭ピッチ部と、前記狭ピッチ部に隣接しているメインピッチ部と、をそれぞれ有し、
     各前記IDT電極において、前記狭ピッチ部の平均電極指ピッチが前記メインピッチ部の平均電極指ピッチよりも狭く、
     前記入力端子に接続されている前記IDT電極の前記メインピッチ部における平均デューティ比が、該IDT電極の前記狭ピッチ部における平均デューティ比よりも小さく、かつ該IDT電極の前記メインピッチ部における平均デューティ比が、前記出力端子に接続されている前記IDT電極の前記メインピッチ部における平均デューティ比及び前記狭ピッチ部における平均デューティ比よりも小さい、請求項1に記載の受信フィルタ。
  3.  各前記IDT電極の前記メインピッチ部及び前記狭ピッチ部のそれぞれにおいて、電極指ピッチが一定である、請求項2に記載の受信フィルタ。
  4.  各前記IDT電極の前記メインピッチ部及び前記狭ピッチ部のそれぞれにおいて、デューティ比が一定である、請求項2または3に記載の受信フィルタ。
  5.  請求項1~4のいずれか1項に記載の受信フィルタと、
     送信フィルタと、
     前記受信フィルタ及び前記送信フィルタが共通接続されているアンテナ端子と、
    を備える、デュプレクサである、複合フィルタ装置。
  6.  前記送信フィルタの通過帯域における中心周波数が、前記受信フィルタの通過帯域における中心周波数よりも低い、請求項5に記載の複合フィルタ装置。
  7.  請求項1~4のいずれか1項に記載の受信フィルタと、
     少なくとも1つの送信フィルタを含む複数のフィルタ装置と、
     前記受信フィルタ及び前記複数のフィルタ装置が共通接続されているアンテナ端子と、を備える、マルチプレクサである、複合フィルタ装置。
  8.  請求項1~4のいずれか1項に記載の受信フィルタと、少なくとも1つの送信フィルタを含む複数のフィルタ装置と、前記受信フィルタ及び前記複数のフィルタ装置が共通接続されているアンテナ端子と、を有するマルチプレクサと、
     前記マルチプレクサとは別の少なくとも1つのマルチプレクサと、
    を備える、通信端末である、複合フィルタ装置。
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