JP2003209459A - 共振子型弾性表面波フィルタ - Google Patents
共振子型弾性表面波フィルタInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 共振子型ＳＡＷフィルタの広帯域化の手段を
得る。 【解決手段】 圧電基板上に３つのＩＤＴ電極とその両
側に反射器とを配置し、中央のＩＤＴ電極から一方の端
子を、両側に配置したＩＤＴ電極のそれぞれ一方の側の
くし形電極を接続して他方の端子を形成した２ポート弾
性表面波共振子を逆相に、ＩＤＴ電極とその両側に配置
した反射器からなる１ポート弾性表面波共振子を同相に
動作させて共振子型弾性表面波フィルタとする。
得る。 【解決手段】 圧電基板上に３つのＩＤＴ電極とその両
側に反射器とを配置し、中央のＩＤＴ電極から一方の端
子を、両側に配置したＩＤＴ電極のそれぞれ一方の側の
くし形電極を接続して他方の端子を形成した２ポート弾
性表面波共振子を逆相に、ＩＤＴ電極とその両側に配置
した反射器からなる１ポート弾性表面波共振子を同相に
動作させて共振子型弾性表面波フィルタとする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は弾性表面波フィルタ
（以下、ＳＡＷフィルタと称す）に関し、特に通過帯域
幅を広帯域化したＳＡＷフィルタに関する。
（以下、ＳＡＷフィルタと称す）に関し、特に通過帯域
幅を広帯域化したＳＡＷフィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、ＳＡＷフィルタは通信分野で広く
利用され、高性能、小型、量産性等の優れた特徴を有す
ることから特に携帯電話機等に多く用いられている。Ｓ
ＡＷフィルタの中で共振子型ＳＡＷフィルタの特徴の一
つは挿入損失が小さいことであり、携帯電話機等のＲＦ
フィルタに適している。欧州の１．８ＧＨｚ携帯電話シ
ステム（ＤＣＳ）の送信用ＲＦフィルタでは、１７１０
ＭＨｚから１７８５ＭＨｚまでを通過帯域（７５ＭＨ
ｚ）とする広帯域なフィルタ特性が要求されている。例
えば、圧電基板に３６度回転ＹカットＸ伝搬ＬｉＴａＯ
３（36°Y X LiTaO3）を用いた共振子型ＳＡＷフィルタ
では温度特性、経年変化、製造時のバラツキ等を考慮す
ると、上記帯域幅は９０ＭＨｚ以上あることが望まし
い。そこで、広帯域に適したフィルタとして縦結合の１
次と３次モードを利用した１次−３次縦結合二重モード
ＳＡＷフィルタ（以下、二重モードＳＡＷフィルタと称
す）が知られており、このＲＦフィルタを試作すべく検
討することにした。
利用され、高性能、小型、量産性等の優れた特徴を有す
ることから特に携帯電話機等に多く用いられている。Ｓ
ＡＷフィルタの中で共振子型ＳＡＷフィルタの特徴の一
つは挿入損失が小さいことであり、携帯電話機等のＲＦ
フィルタに適している。欧州の１．８ＧＨｚ携帯電話シ
ステム（ＤＣＳ）の送信用ＲＦフィルタでは、１７１０
ＭＨｚから１７８５ＭＨｚまでを通過帯域（７５ＭＨ
ｚ）とする広帯域なフィルタ特性が要求されている。例
えば、圧電基板に３６度回転ＹカットＸ伝搬ＬｉＴａＯ
３（36°Y X LiTaO3）を用いた共振子型ＳＡＷフィルタ
では温度特性、経年変化、製造時のバラツキ等を考慮す
ると、上記帯域幅は９０ＭＨｚ以上あることが望まし
い。そこで、広帯域に適したフィルタとして縦結合の１
次と３次モードを利用した１次−３次縦結合二重モード
ＳＡＷフィルタ（以下、二重モードＳＡＷフィルタと称
す）が知られており、このＲＦフィルタを試作すべく検
討することにした。
【０００３】図２６は二重モードＳＡＷフィルタの構成
を示す平面図であって、圧電基板２０の主表面上に表面
波の伝搬方向に沿って、３つのＩＤＴ電極２１、２２、
２３を近接配置すると共にこれらの両側にグレーティン
グ反射器（以下、反射器と称す）２４ａ、２４ｂを配設
する。ＩＤＴ電極２１、２２、２３はそれぞれ互いに間
挿し合う一対のくし形電極より構成され、ＩＤＴ電極２
２、２３の一方のくし形電極同士を接続して入力端子Ｉ
Ｎに接続し、他方のくし形電極をそれぞれ接地する。さ
らに、ＩＤＴ電極２１の一方のくし形電極を出力端子Ｏ
ＵＴに接続すると共に他方のくし形電極を接地して二重
モードＳＡＷフィルタを構成する。この二重モードＳＡ
Ｗフィルタでは、中央のＩＤＴ電極２１と両側のＩＤＴ
電極２２、２３との相隣接する電極指の中心間間隔Ｌを
ほぼλ／４（λは電極周期）とすることにより最大の帯
域幅が得られることが知られている。正規型ＩＤＴ電極
であって電極指幅とスペース幅が等しい場合、隣接電極
指の中心間間隔Ｌをλ／４に設定すると電極指同士が接
触することになる。そこで例えば、両外側のＩＤＴ電極
２２、２３の中央ＩＤＴ電極２１側の最外側電極指をそ
れぞれのバスバーから切り離し、中央のＩＤＴ電極２１
のバスバーに接続する如く構成することにより、図２６
に示すように、中央ＩＤＴ電極２１の最外側の電極指を
幅広とするのが一般的である。
を示す平面図であって、圧電基板２０の主表面上に表面
波の伝搬方向に沿って、３つのＩＤＴ電極２１、２２、
２３を近接配置すると共にこれらの両側にグレーティン
グ反射器（以下、反射器と称す）２４ａ、２４ｂを配設
する。ＩＤＴ電極２１、２２、２３はそれぞれ互いに間
挿し合う一対のくし形電極より構成され、ＩＤＴ電極２
２、２３の一方のくし形電極同士を接続して入力端子Ｉ
Ｎに接続し、他方のくし形電極をそれぞれ接地する。さ
らに、ＩＤＴ電極２１の一方のくし形電極を出力端子Ｏ
ＵＴに接続すると共に他方のくし形電極を接地して二重
モードＳＡＷフィルタを構成する。この二重モードＳＡ
Ｗフィルタでは、中央のＩＤＴ電極２１と両側のＩＤＴ
電極２２、２３との相隣接する電極指の中心間間隔Ｌを
ほぼλ／４（λは電極周期）とすることにより最大の帯
域幅が得られることが知られている。正規型ＩＤＴ電極
であって電極指幅とスペース幅が等しい場合、隣接電極
指の中心間間隔Ｌをλ／４に設定すると電極指同士が接
触することになる。そこで例えば、両外側のＩＤＴ電極
２２、２３の中央ＩＤＴ電極２１側の最外側電極指をそ
れぞれのバスバーから切り離し、中央のＩＤＴ電極２１
のバスバーに接続する如く構成することにより、図２６
に示すように、中央ＩＤＴ電極２１の最外側の電極指を
幅広とするのが一般的である。
【０００４】図２７は圧電基板に36°Y X LiTaO3を用
い、ＩＤＴ電極２１の電極対数を１５．５対、ＩＤＴ電
極２２、２３の電極対数をそれぞれ１０．５対、交叉幅
６０λ、反射器２４ａ、２４ｂの本数をそれぞれ２００
本、電極膜厚を０．１８μmとして構成した二重モード
ＳＡＷフィルタのフィルタ特性αと位相特性βである。
なお、フィルタを広帯域化するために特開平１１−２５
１８６８に開示された手法、即ちＩＤＴ電極のライン占
有率（電極指幅とスペース幅の和に対する電極幅の比）
を０．７として反射器のライン占有率０．５より大きく
する手法を用いた。しかし、図２７から４ｄＢの帯域幅
は８９．８９ＭＨｚとなり、望ましい帯域幅９０ＭＨｚ
を満たしていないことが明らかとなった。
い、ＩＤＴ電極２１の電極対数を１５．５対、ＩＤＴ電
極２２、２３の電極対数をそれぞれ１０．５対、交叉幅
６０λ、反射器２４ａ、２４ｂの本数をそれぞれ２００
本、電極膜厚を０．１８μmとして構成した二重モード
ＳＡＷフィルタのフィルタ特性αと位相特性βである。
なお、フィルタを広帯域化するために特開平１１−２５
１８６８に開示された手法、即ちＩＤＴ電極のライン占
有率（電極指幅とスペース幅の和に対する電極幅の比）
を０．７として反射器のライン占有率０．５より大きく
する手法を用いた。しかし、図２７から４ｄＢの帯域幅
は８９．８９ＭＨｚとなり、望ましい帯域幅９０ＭＨｚ
を満たしていないことが明らかとなった。
【０００５】図２８は通過帯域を広げるべく図２７に用
いた諸定数の中、交叉幅Ｗを３０λとした場合のフィル
タ特性αと位相特性βである。４ｄＢの帯域幅は目標を
満足する９０．６ＭＨｚと広くなったものの、電圧定在
波比（ＶＳＷＲ、電圧の最大値と最小値との比）が図２
９に実線αで示すように劣化し、要求規格（３．５）を
満たさないことが明らかになった。なお、破線βは交叉
幅が６０λである図２３に示した二重モードＳＡＷフィ
ルタのＶＳＷＲである。
いた諸定数の中、交叉幅Ｗを３０λとした場合のフィル
タ特性αと位相特性βである。４ｄＢの帯域幅は目標を
満足する９０．６ＭＨｚと広くなったものの、電圧定在
波比（ＶＳＷＲ、電圧の最大値と最小値との比）が図２
９に実線αで示すように劣化し、要求規格（３．５）を
満たさないことが明らかになった。なお、破線βは交叉
幅が６０λである図２３に示した二重モードＳＡＷフィ
ルタのＶＳＷＲである。
【０００６】そこで、通過帯域幅９０ＭＨｚ以上という
広帯域フィルタを実現するべく、特開平１−２３６８０
９に開示されている２ポートＳＡＷ共振子と１ポートＳ
ＡＷ共振子とを並列接続した共振子型ＳＡＷフィルタを
検討することにした。この共振子型ＳＡＷフィルタは、
２ポートＳＡＷ共振子と１ポートＳＡＷ共振子とを併置
し、入力の位相に対して２ポートＳＡＷ共振子の出力が
逆相（１８０°）となるように、１ポートＳＡＷ共振子
の出力が同相になるように並列接続したものである。電
気的等価回路としては格子型回路となり、適当な終端を
施すことによりフィルタを構成するタイプの共振子型Ｓ
ＡＷフィルタである。図３０（ａ）はその具体例を示す
図であって、圧電基板３０の主表面上に表面波の伝搬方
向に沿って２つのＩＤＴ電極３１、３２を近接配置する
と共に、それらの両側に反射器３３ａ、３３ｂを配設し
て２ポートＳＡＷ共振子Ｐ２を形成する。ＩＤＴ電極３
１、３２はそれぞれ互いに間挿し合う複数の電極指を有
する一対のくし形電極からなり、ＩＤＴ電極３１、３２
のそれぞれ一方のくし形電極を入力端子ＩＮ及び出力端
子ＯＵＴに接続し、他方のくし形電極をそれぞれ接地す
る。そして、入力端子ＩＮと出力端子ＯＵＴとの間に１
ポートＳＡＷ共振子Ｐ１を接続して、共振子型ＳＡＷフ
ィルタを構成する。なお、２ポートＳＡＷ共振子Ｐ２に
おけるＩＤＴ電極３１、３２の相隣接する電極指の中心
間間隔をＬとする。
広帯域フィルタを実現するべく、特開平１−２３６８０
９に開示されている２ポートＳＡＷ共振子と１ポートＳ
ＡＷ共振子とを並列接続した共振子型ＳＡＷフィルタを
検討することにした。この共振子型ＳＡＷフィルタは、
２ポートＳＡＷ共振子と１ポートＳＡＷ共振子とを併置
し、入力の位相に対して２ポートＳＡＷ共振子の出力が
逆相（１８０°）となるように、１ポートＳＡＷ共振子
の出力が同相になるように並列接続したものである。電
気的等価回路としては格子型回路となり、適当な終端を
施すことによりフィルタを構成するタイプの共振子型Ｓ
ＡＷフィルタである。図３０（ａ）はその具体例を示す
図であって、圧電基板３０の主表面上に表面波の伝搬方
向に沿って２つのＩＤＴ電極３１、３２を近接配置する
と共に、それらの両側に反射器３３ａ、３３ｂを配設し
て２ポートＳＡＷ共振子Ｐ２を形成する。ＩＤＴ電極３
１、３２はそれぞれ互いに間挿し合う複数の電極指を有
する一対のくし形電極からなり、ＩＤＴ電極３１、３２
のそれぞれ一方のくし形電極を入力端子ＩＮ及び出力端
子ＯＵＴに接続し、他方のくし形電極をそれぞれ接地す
る。そして、入力端子ＩＮと出力端子ＯＵＴとの間に１
ポートＳＡＷ共振子Ｐ１を接続して、共振子型ＳＡＷフ
ィルタを構成する。なお、２ポートＳＡＷ共振子Ｐ２に
おけるＩＤＴ電極３１、３２の相隣接する電極指の中心
間間隔をＬとする。
【０００７】図３０（ｂ）は１ポートＳＡＷ共振子Ｐ１
の構成を示す平面図であって、圧電基板３４の主表面上
に表面波の伝搬方向に沿ってＩＤＴ電極３５とその両側
に反射器３６ａ、３６ｂとを配置して構成する。図３０
（ａ）に示す共振子型ＳＡＷフィルタの通過帯域幅は、
１ポートＳＡＷ共振子Ｐ１の共振周波数ｆ１と２ポート
ＳＡＷ共振子の共振周波数ｆ２との差（ｆ１−ｆ２）に
よって決まる。なお、図３０（ａ）では１ポートＳＡＷ
共振子Ｐ１を、記号を用いて表しているが、同一圧電基
板３０上に２ポートＳＡＷ共振子Ｐ２と併置して１ポー
トＳＡＷ共振子Ｐ１を構成するのが一般的である。
の構成を示す平面図であって、圧電基板３４の主表面上
に表面波の伝搬方向に沿ってＩＤＴ電極３５とその両側
に反射器３６ａ、３６ｂとを配置して構成する。図３０
（ａ）に示す共振子型ＳＡＷフィルタの通過帯域幅は、
１ポートＳＡＷ共振子Ｐ１の共振周波数ｆ１と２ポート
ＳＡＷ共振子の共振周波数ｆ２との差（ｆ１−ｆ２）に
よって決まる。なお、図３０（ａ）では１ポートＳＡＷ
共振子Ｐ１を、記号を用いて表しているが、同一圧電基
板３０上に２ポートＳＡＷ共振子Ｐ２と併置して１ポー
トＳＡＷ共振子Ｐ１を構成するのが一般的である。
【０００８】上記共振子型ＳＡＷフィルタを構成する場
合、２ポート共振子Ｐ２のインピーダンスは一般的に高
くなるので、１ポートＳＡＷ共振子Ｐ１のインピーダン
スを２ポート共振子Ｐ２のインピーダンスに整合するよ
うに構成する必要がある。図３１は１ポートＳＡＷ共振
子のインピーダンスを高めるために、５つの１ポートＳ
ＡＷ共振子Ｓｒ１、Ｓｒ２、Ｓｒ３、Ｓｒ４、Ｓｒ５を
それぞれ直列接続して複合１ポートＳＡＷ共振子Ｐ１を
構成した例である。
合、２ポート共振子Ｐ２のインピーダンスは一般的に高
くなるので、１ポートＳＡＷ共振子Ｐ１のインピーダン
スを２ポート共振子Ｐ２のインピーダンスに整合するよ
うに構成する必要がある。図３１は１ポートＳＡＷ共振
子のインピーダンスを高めるために、５つの１ポートＳ
ＡＷ共振子Ｓｒ１、Ｓｒ２、Ｓｒ３、Ｓｒ４、Ｓｒ５を
それぞれ直列接続して複合１ポートＳＡＷ共振子Ｐ１を
構成した例である。
【０００９】上記共振子型ＳＡＷフィルタに用いる１ポ
ートＳＡＷ共振子Ｐ１、２ポートＳＡＷ共振子Ｐ２のそ
れぞれの伝送特性と位相特性、および共振子型ＳＡＷフ
ィルタのフィルタ特性をシミュレーションによって求め
た。共振周波数を１７５６．０２ＭＨｚとし、圧電基板
に36°Y X LiTaO3を用い、ＩＤＴ電極３５の対数を１２
０対、交叉幅Ｗを１０λ、反射器３６ａ、３６ｂの本数
をそれぞれ８０本、アルミニウム合金の電極膜厚Ｈを
０．１８μmに設定した１ポートＳＡＷ共振子を、図３
１に示すように５個直列接続した複合１ポートＳＡＷ共
振子Ｐ１の伝送特性Ａと位相特性Ｂを図３２に示す。そ
して、図３３は図３２と同一圧電基板、電極膜厚を用
い、ＩＤＴ電極３１、３２の電極対数を共に１８対、交
叉幅を８０λ、反射器３３ａ、３３ｂの本数を２００
本、電極指中心間間隔Ｌを０．２５λ（λはＩＤＴ電極
の電極周期）に設定した場合の２ポート共振子Ｐ２の伝
送特性Ａと位相特性Ｂである。
ートＳＡＷ共振子Ｐ１、２ポートＳＡＷ共振子Ｐ２のそ
れぞれの伝送特性と位相特性、および共振子型ＳＡＷフ
ィルタのフィルタ特性をシミュレーションによって求め
た。共振周波数を１７５６．０２ＭＨｚとし、圧電基板
に36°Y X LiTaO3を用い、ＩＤＴ電極３５の対数を１２
０対、交叉幅Ｗを１０λ、反射器３６ａ、３６ｂの本数
をそれぞれ８０本、アルミニウム合金の電極膜厚Ｈを
０．１８μmに設定した１ポートＳＡＷ共振子を、図３
１に示すように５個直列接続した複合１ポートＳＡＷ共
振子Ｐ１の伝送特性Ａと位相特性Ｂを図３２に示す。そ
して、図３３は図３２と同一圧電基板、電極膜厚を用
い、ＩＤＴ電極３１、３２の電極対数を共に１８対、交
叉幅を８０λ、反射器３３ａ、３３ｂの本数を２００
本、電極指中心間間隔Ｌを０．２５λ（λはＩＤＴ電極
の電極周期）に設定した場合の２ポート共振子Ｐ２の伝
送特性Ａと位相特性Ｂである。
【００１０】図３４は図３２、３３にそれぞれ示した複
合１ポートＳＡＷ共振子Ｐ１と、２ポート共振子Ｐ２と
を用いて構成した共振子型ＳＡＷフィルタのフィルタ特
性αと位相特性βである。しかし、図３４に示すフィル
タ特性では、挿入損失が４ｄＢとなる周波数の帯域幅が
５９．７５ＭＨｚとなり、ＤＣＳ用ＲＦフィルタに適用
できない。
合１ポートＳＡＷ共振子Ｐ１と、２ポート共振子Ｐ２と
を用いて構成した共振子型ＳＡＷフィルタのフィルタ特
性αと位相特性βである。しかし、図３４に示すフィル
タ特性では、挿入損失が４ｄＢとなる周波数の帯域幅が
５９．７５ＭＨｚとなり、ＤＣＳ用ＲＦフィルタに適用
できない。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】図３５は通過帯域幅を
広げ９０ＭＨｚ以上とするべく、複合１ポートＳＡＷ共
振子Ｐ１の共振周波数ｆ１を２０ＭＨｚ程高めて、広帯
域化を試みた共振子型ＳＡＷフィルタのフィルタ特性α
と位相特性βとを示す図である。
広げ９０ＭＨｚ以上とするべく、複合１ポートＳＡＷ共
振子Ｐ１の共振周波数ｆ１を２０ＭＨｚ程高めて、広帯
域化を試みた共振子型ＳＡＷフィルタのフィルタ特性α
と位相特性βとを示す図である。
【００１２】しかしながら、図３０（ａ）に示すような
２ポートＳＡＷ共振子Ｐ２と、１ポートＳＡＷ共振子Ｐ
１とを並列接続して構成した共振子型ＳＡＷフィルタに
おいては、図３５のフィルタ特性αから明らかなよう
に、通過域に大きなリップルＳＰが発生しており、欧州
ＤＣＳ送信用ＲＦフィルタの要求通過帯域幅（９０ＭＨ
ｚ以上が望ましい）を満たすことができないという問題
があった。本発明は上記問題を解決するためになされた
ものであって、欧州ＤＣＳの送信用ＲＦフィルタの規格
を満たす広帯域な共振子型ＳＡＷフィルタを提供するこ
とを目的とする。
２ポートＳＡＷ共振子Ｐ２と、１ポートＳＡＷ共振子Ｐ
１とを並列接続して構成した共振子型ＳＡＷフィルタに
おいては、図３５のフィルタ特性αから明らかなよう
に、通過域に大きなリップルＳＰが発生しており、欧州
ＤＣＳ送信用ＲＦフィルタの要求通過帯域幅（９０ＭＨ
ｚ以上が望ましい）を満たすことができないという問題
があった。本発明は上記問題を解決するためになされた
ものであって、欧州ＤＣＳの送信用ＲＦフィルタの規格
を満たす広帯域な共振子型ＳＡＷフィルタを提供するこ
とを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明に係る共振子型弾性表面波フィルタの請求項１
記載の発明は、圧電基板の主表面上に３つのＩＤＴ電極
とこれらの両側にグレーティング反射器とを配置すると
共に、中央のＩＤＴ電極の一方のくし形電極を第１の端
子とし、両側の２つのＩＤＴ電極のそれぞれ一方の側の
くし形電極を接続して第２の端子とし、他のくし形電極
をそれぞれ接地して形成した２ポート弾性表面波共振子
と、ＩＤＴ電極とその両側に配置したグレーティング反
射器からなる１ポート弾性表面波共振子とを互いに並列
を接続したものであって、入力の位相に対して２ポート
弾性表面波共振子の出力が逆相となり、１ポート弾性表
面波共振子の出力が同相であることを特徴とする共振子
型弾性表面波フィルタである。請求項２記載の発明は、
前記１ポート弾性表面波共振子を複数の１ポート表面波
共振子から構成したことを特徴とする請求項１記載の共
振子型弾性表面波フィルタである。請求項３記載の発明
は、前記２ポート弾性表面波共振子の中央のＩＤＴ電極
と両側のＩＤＴ電極との相隣接する電極指の中心間間隔
Ｌを、λ／４≦Ｌ＜λ／２（λはＩＤＴ電極周期）を満
たすように設定したことを特徴とする請求項１または２
に記載の共振子型弾性表面波フィルタである。請求項４
記載の発明は、前記２ポート弾性表面波共振子の中央の
ＩＤＴ電極の最外側の電極指、あるいは両側のＩＤＴ電
極の最内側の電極指を幅広に形成したことを特徴とする
請求項１乃至３に記載の共振子型弾性表面波フィルタで
ある。請求項５記載の発明は、前記２ポート弾性表面波
共振子の３つのＩＤＴ電極のライン占有率をグレーティ
ング反射器のそれよりも大きくしたことを特徴とする請
求項１乃至４に記載の共振子型弾性表面波フィルタであ
る。請求項６記載の発明は、前記２ポート弾性表面波共
振子の中央のＩＤＴ電極と両側のＩＤＴ電極との相隣接
する電極指の中心間間隔ＬをＩＤＴ電極の電極周期λの
１／２とすると共に、相隣接する電極指の一方を入力あ
るいは出力に、他方の電極指を接地したことを特徴とす
る請求項１に記載の共振子型弾性表面波フィルタであ
る。請求項７記載の発明は、前記１ポート弾性表面波共
振子を２分割すると共にこれらを直列接続したことを特
徴とする請求項１乃至６記載の共振子型弾性表面波フィ
ルタである。請求項８記載の発明は、請求項１乃至７に
記載の共振子型弾性表面波フィルタの入力あるいは出力
に直列に少なくとも１個の１ポート弾性表面波共振子を
接続したことを特徴とする共振子型弾性表面波フィルタ
である。請求項９記載の発明は、請求項１乃至８に記載
の共振子型弾性表面波フィルタの入力あるいは出力に並
列に少なくとも１個の１ポート弾性表面波共振子を接続
したことを特徴とする共振子型弾性表面波フィルタであ
る。請求項１０記載の発明は、前記２ポート弾性表面波
共振子のＩＤＴ電極にミドルグレーティングを形成した
ことを特徴とする請求項１、２、５、７、８、９のいず
れかに記載の共振子型弾性表面波フィルタである。請求
項１１記載の発明は、前記２ポート弾性表面波共振子の
中央のＩＤＴ電極と両側のＩＤＴ電極との隣接部の電極
周期が他の部分の電極周期より小さくしたことを特徴と
する請求項１、２、５、７、８、９のいずれかに記載の
共振子型弾性表面波フィルタである。請求項１２記載の
発明は、圧電基板の主表面上に表面波の伝搬方向に沿っ
て３つのＩＤＴ電極とこれらの両側にグレーティング反
射器とを配置した２ポートＳＡＷ共振子を形成すると共
に、一つのＩＤＴ電極とグレーティング反射器とからな
る２つの１ポートＳＡＷ共振子を、前記２ポートＳＡＷ
共振子を挟むようにそれぞれ配設し、前記２ポートＳＡ
Ｗ共振子の中央ＩＤＴ電極を構成する各バスバーと前記
１ポートＳＡＷ共振子の２ポートＳＡＷ共振子側のバス
バーとをそれぞれ一体化し、該２本のバスバーと２つの
入力端子ＩＮ１、２とをそれぞれ接続すると共に、前記
２ポートＳＡＷ共振子の外側のＩＤＴ電極を構成する少
なくとも一方のバスバーと前記１ポートＳＡＷ共振子の
外寄りのバスバーとを圧電基板上に形成したリード電極
にてそれぞれ接続し、これらをそれぞれ２つの出力端子
ＯＵＴ１、２に接続して構成したことを特徴とする平衡
型の共振子型弾性表面波フィルタである。請求項１３記
載の発明は、前記２ポートＳＡＷ共振子の外側のＩＤＴ
電極のうち１ポートＳＡＷ共振子と接続されていないバ
スバーを接地したことを特徴とする請求項１２に記載の
平衡型の共振子型弾性表面波フィルタである。請求項１
４記載の発明は、圧電基板の主表面上に表面波の伝搬方
向に沿って３つのＩＤＴ電極とこれらの両側にグレーテ
ィング反射器とを配置して２ポートＳＡＷ共振子を形成
すると共に、該２ポートＳＡＷ共振子と並行してＩＤＴ
電極とグレーティング反射器とからなる１ポートＳＡＷ
共振子を配設し、前記２ポートＳＡＷ共振子の中央ＩＤ
Ｔ電極の１ポートＳＡＷ共振子側のバスバーと前記１ポ
ートＳＡＷ共振子の２ポートＳＡＷ共振子側のバスバー
とを一体化し、該バスバーと入力端子ＩＮとを接続し、
前記２ポートＳＡＷ共振子の外側のＩＤＴ電極の１ポー
トＳＡＷ共振子側のバスバーと前記１ポートＳＡＷ共振
子の外側のバスバーとを圧電基板上に形成したリード電
極にて接続し、これを出力端子ＯＵＴに接続して構成す
る共振子型ＳＡＷフィルタを同一の圧電基板上に２組み
形成したことを特徴とする平衡型の共振子型弾性表面波
フィルタである。請求項１５記載の発明は、圧電基板の
主面上に表面波の伝搬方向に沿って３つのＩＤＴ電極と
それらの両側にグレーティング反射器とを配置して形成
した１次−３次縦結合二重モードＳＡＷフィルタと請求
項１２に記載の共振子型ＳＡＷフィルタとを縦続接続し
て構成したことを特徴とする平衡型の共振子型弾性表面
波フィルタである。
に本発明に係る共振子型弾性表面波フィルタの請求項１
記載の発明は、圧電基板の主表面上に３つのＩＤＴ電極
とこれらの両側にグレーティング反射器とを配置すると
共に、中央のＩＤＴ電極の一方のくし形電極を第１の端
子とし、両側の２つのＩＤＴ電極のそれぞれ一方の側の
くし形電極を接続して第２の端子とし、他のくし形電極
をそれぞれ接地して形成した２ポート弾性表面波共振子
と、ＩＤＴ電極とその両側に配置したグレーティング反
射器からなる１ポート弾性表面波共振子とを互いに並列
を接続したものであって、入力の位相に対して２ポート
弾性表面波共振子の出力が逆相となり、１ポート弾性表
面波共振子の出力が同相であることを特徴とする共振子
型弾性表面波フィルタである。請求項２記載の発明は、
前記１ポート弾性表面波共振子を複数の１ポート表面波
共振子から構成したことを特徴とする請求項１記載の共
振子型弾性表面波フィルタである。請求項３記載の発明
は、前記２ポート弾性表面波共振子の中央のＩＤＴ電極
と両側のＩＤＴ電極との相隣接する電極指の中心間間隔
Ｌを、λ／４≦Ｌ＜λ／２（λはＩＤＴ電極周期）を満
たすように設定したことを特徴とする請求項１または２
に記載の共振子型弾性表面波フィルタである。請求項４
記載の発明は、前記２ポート弾性表面波共振子の中央の
ＩＤＴ電極の最外側の電極指、あるいは両側のＩＤＴ電
極の最内側の電極指を幅広に形成したことを特徴とする
請求項１乃至３に記載の共振子型弾性表面波フィルタで
ある。請求項５記載の発明は、前記２ポート弾性表面波
共振子の３つのＩＤＴ電極のライン占有率をグレーティ
ング反射器のそれよりも大きくしたことを特徴とする請
求項１乃至４に記載の共振子型弾性表面波フィルタであ
る。請求項６記載の発明は、前記２ポート弾性表面波共
振子の中央のＩＤＴ電極と両側のＩＤＴ電極との相隣接
する電極指の中心間間隔ＬをＩＤＴ電極の電極周期λの
１／２とすると共に、相隣接する電極指の一方を入力あ
るいは出力に、他方の電極指を接地したことを特徴とす
る請求項１に記載の共振子型弾性表面波フィルタであ
る。請求項７記載の発明は、前記１ポート弾性表面波共
振子を２分割すると共にこれらを直列接続したことを特
徴とする請求項１乃至６記載の共振子型弾性表面波フィ
ルタである。請求項８記載の発明は、請求項１乃至７に
記載の共振子型弾性表面波フィルタの入力あるいは出力
に直列に少なくとも１個の１ポート弾性表面波共振子を
接続したことを特徴とする共振子型弾性表面波フィルタ
である。請求項９記載の発明は、請求項１乃至８に記載
の共振子型弾性表面波フィルタの入力あるいは出力に並
列に少なくとも１個の１ポート弾性表面波共振子を接続
したことを特徴とする共振子型弾性表面波フィルタであ
る。請求項１０記載の発明は、前記２ポート弾性表面波
共振子のＩＤＴ電極にミドルグレーティングを形成した
ことを特徴とする請求項１、２、５、７、８、９のいず
れかに記載の共振子型弾性表面波フィルタである。請求
項１１記載の発明は、前記２ポート弾性表面波共振子の
中央のＩＤＴ電極と両側のＩＤＴ電極との隣接部の電極
周期が他の部分の電極周期より小さくしたことを特徴と
する請求項１、２、５、７、８、９のいずれかに記載の
共振子型弾性表面波フィルタである。請求項１２記載の
発明は、圧電基板の主表面上に表面波の伝搬方向に沿っ
て３つのＩＤＴ電極とこれらの両側にグレーティング反
射器とを配置した２ポートＳＡＷ共振子を形成すると共
に、一つのＩＤＴ電極とグレーティング反射器とからな
る２つの１ポートＳＡＷ共振子を、前記２ポートＳＡＷ
共振子を挟むようにそれぞれ配設し、前記２ポートＳＡ
Ｗ共振子の中央ＩＤＴ電極を構成する各バスバーと前記
１ポートＳＡＷ共振子の２ポートＳＡＷ共振子側のバス
バーとをそれぞれ一体化し、該２本のバスバーと２つの
入力端子ＩＮ１、２とをそれぞれ接続すると共に、前記
２ポートＳＡＷ共振子の外側のＩＤＴ電極を構成する少
なくとも一方のバスバーと前記１ポートＳＡＷ共振子の
外寄りのバスバーとを圧電基板上に形成したリード電極
にてそれぞれ接続し、これらをそれぞれ２つの出力端子
ＯＵＴ１、２に接続して構成したことを特徴とする平衡
型の共振子型弾性表面波フィルタである。請求項１３記
載の発明は、前記２ポートＳＡＷ共振子の外側のＩＤＴ
電極のうち１ポートＳＡＷ共振子と接続されていないバ
スバーを接地したことを特徴とする請求項１２に記載の
平衡型の共振子型弾性表面波フィルタである。請求項１
４記載の発明は、圧電基板の主表面上に表面波の伝搬方
向に沿って３つのＩＤＴ電極とこれらの両側にグレーテ
ィング反射器とを配置して２ポートＳＡＷ共振子を形成
すると共に、該２ポートＳＡＷ共振子と並行してＩＤＴ
電極とグレーティング反射器とからなる１ポートＳＡＷ
共振子を配設し、前記２ポートＳＡＷ共振子の中央ＩＤ
Ｔ電極の１ポートＳＡＷ共振子側のバスバーと前記１ポ
ートＳＡＷ共振子の２ポートＳＡＷ共振子側のバスバー
とを一体化し、該バスバーと入力端子ＩＮとを接続し、
前記２ポートＳＡＷ共振子の外側のＩＤＴ電極の１ポー
トＳＡＷ共振子側のバスバーと前記１ポートＳＡＷ共振
子の外側のバスバーとを圧電基板上に形成したリード電
極にて接続し、これを出力端子ＯＵＴに接続して構成す
る共振子型ＳＡＷフィルタを同一の圧電基板上に２組み
形成したことを特徴とする平衡型の共振子型弾性表面波
フィルタである。請求項１５記載の発明は、圧電基板の
主面上に表面波の伝搬方向に沿って３つのＩＤＴ電極と
それらの両側にグレーティング反射器とを配置して形成
した１次−３次縦結合二重モードＳＡＷフィルタと請求
項１２に記載の共振子型ＳＡＷフィルタとを縦続接続し
て構成したことを特徴とする平衡型の共振子型弾性表面
波フィルタである。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下本発明を図面に示した実施の
形態に基づいて詳細に説明する。図１は本発明に係る共
振子型ＳＡＷフィルタの構成を示す平面図であって、圧
電基板上に３つのＩＤＴ電極と反射器とからなる２ポー
トＳＡＷ共振子Ｐ２と、１ポートＳＡＷ共振子Ｐ１とを
配置し、入力に対して２ポートＳＡＷ共振子の出力が逆
相（１８０°）となるように、１ポートＳＡＷ共振子Ｐ
１の出力が同相（０°）になるようにし、これらを並列
接続して構成した共振子型ＳＡＷフィルタである。即
ち、圧電基板（図示せず）の主表面上に表面波の伝搬方
向に沿って３つのＩＤＴ電極１、２、３を近接配置する
と共に、これらの両側に反射器４ａ、４ｂを配設する。
ＩＤＴ電極１、２、３はそれぞれ互いに間挿し合う一対
のくし形電極からなり、両側のＩＤＴ電極２、３の一方
のくし形電極を接続し、これと入力端子ＩＮとを接続
し、他のくし形電極はそれぞれ接地する。そして、中央
のＩＤＴ電極１の一方のくし形電極と出力端子ＯＵＴと
を接続すると共に、他方のくし形電極を接地して２ポー
トＳＡＷ共振子Ｐ２を構成する。さらに、入力端子ＩＮ
と出力端子ＯＵＴとの間に１ポートＳＡＷ共振子Ｐ１を
並列接続して共振子型ＳＡＷフィルタを構成する。な
お、図１においては中央のＩＤＴ電極１と両側のＩＤＴ
電極２、３の相隣接する電極指の中心間間隔を０．２５
λに設定したため、中央のＩＤＴ電極１の最外側の電極
指が幅広となっているが、幅広の電極指は必ずしもＩＤ
Ｔ電極１の最外側のみに形成する必要はなく、ＩＤＴ電
極２、３のそれぞれ最内側に形成しても効果は同様であ
る。また、１ポートＳＡＷ共振子Ｐ１はＩＤＴ電極１、
２、３が形成する２ポートＳＡＷ共振子Ｐ２と同一圧電
基板上に形成した方が小型化、低コスト化等で望まし
い。
形態に基づいて詳細に説明する。図１は本発明に係る共
振子型ＳＡＷフィルタの構成を示す平面図であって、圧
電基板上に３つのＩＤＴ電極と反射器とからなる２ポー
トＳＡＷ共振子Ｐ２と、１ポートＳＡＷ共振子Ｐ１とを
配置し、入力に対して２ポートＳＡＷ共振子の出力が逆
相（１８０°）となるように、１ポートＳＡＷ共振子Ｐ
１の出力が同相（０°）になるようにし、これらを並列
接続して構成した共振子型ＳＡＷフィルタである。即
ち、圧電基板（図示せず）の主表面上に表面波の伝搬方
向に沿って３つのＩＤＴ電極１、２、３を近接配置する
と共に、これらの両側に反射器４ａ、４ｂを配設する。
ＩＤＴ電極１、２、３はそれぞれ互いに間挿し合う一対
のくし形電極からなり、両側のＩＤＴ電極２、３の一方
のくし形電極を接続し、これと入力端子ＩＮとを接続
し、他のくし形電極はそれぞれ接地する。そして、中央
のＩＤＴ電極１の一方のくし形電極と出力端子ＯＵＴと
を接続すると共に、他方のくし形電極を接地して２ポー
トＳＡＷ共振子Ｐ２を構成する。さらに、入力端子ＩＮ
と出力端子ＯＵＴとの間に１ポートＳＡＷ共振子Ｐ１を
並列接続して共振子型ＳＡＷフィルタを構成する。な
お、図１においては中央のＩＤＴ電極１と両側のＩＤＴ
電極２、３の相隣接する電極指の中心間間隔を０．２５
λに設定したため、中央のＩＤＴ電極１の最外側の電極
指が幅広となっているが、幅広の電極指は必ずしもＩＤ
Ｔ電極１の最外側のみに形成する必要はなく、ＩＤＴ電
極２、３のそれぞれ最内側に形成しても効果は同様であ
る。また、１ポートＳＡＷ共振子Ｐ１はＩＤＴ電極１、
２、３が形成する２ポートＳＡＷ共振子Ｐ２と同一圧電
基板上に形成した方が小型化、低コスト化等で望まし
い。
【００１５】図１に示す２ポートＳＡＷ共振子Ｐ２で
は、電極指の中心間間隔Ｌを０．２５λとし、ＩＤＴ電
極２（ＩＤＴ電極３）の最内側の電極指を入力端子に、
ＩＤＴ電極１の最外側の幅広の電極指を接地しているた
めに、３次モード（共振周波数ｆ３）を励起し、しかも
入力に対し出力が逆相（１８０°）で動作するように設
定している。そして、１ポートＳＡＷ共振子Ｐ１（周波
数ｆｒ）では入力に対し出力が同位相となるようにし
て、これらを並列接続することにより、その電気的等価
回路は格子型回路となり、通過帯域幅はほぼ（ｆｒ−ｆ
３）となる。このとき、２ポートＳＡＷ共振子Ｐ２は同
時に１次モードを励起することになるが、１ポートＳＡ
Ｗ共振子Ｐ１の共振周波数ｆｒ近傍に現れることにな
る。
は、電極指の中心間間隔Ｌを０．２５λとし、ＩＤＴ電
極２（ＩＤＴ電極３）の最内側の電極指を入力端子に、
ＩＤＴ電極１の最外側の幅広の電極指を接地しているた
めに、３次モード（共振周波数ｆ３）を励起し、しかも
入力に対し出力が逆相（１８０°）で動作するように設
定している。そして、１ポートＳＡＷ共振子Ｐ１（周波
数ｆｒ）では入力に対し出力が同位相となるようにし
て、これらを並列接続することにより、その電気的等価
回路は格子型回路となり、通過帯域幅はほぼ（ｆｒ−ｆ
３）となる。このとき、２ポートＳＡＷ共振子Ｐ２は同
時に１次モードを励起することになるが、１ポートＳＡ
Ｗ共振子Ｐ１の共振周波数ｆｒ近傍に現れることにな
る。
【００１６】図２は、36°Y X LiTaO3基板上にＩＤＴ電
極の対数を５０対、交叉幅１０λ、反射器の本数をそれ
ぞれ１５０本、アルミニウム合金の電極膜厚Ｈを０．１
８μmとした１ポートＳＡＷ共振子１５個を直列接続し
て構成した複合１ポートＳＡＷ共振子Ｐ１の伝送特性Ａ
と、その位相特性Ｂとを示す図である。図３に示す実線
αは、圧電基板に36°Y X LiTaO3を用い、ＩＤＴ電極１
の電極対数を１５．５対、ＩＤＴ電極２、３の電極対数
をそれぞれ１０．５対、交叉幅３０λ、反射器４ａ、４
ｂの本数をそれぞれ２００本、電極膜厚を０．１８μm
として構成した２ポートＳＡＷ共振子Ｐ２と、図２に示
した１ポートＳＡＷ共振子Ｐ１とを並列接続して構成し
た共振子型ＳＡＷフィルタのフィルタ特性αである。な
お、破線βで示すフィルタ特性は図３１に示した従来の
共振子型ＳＡＷフィルタのフィルタ特性である。また、
図中に示す斜線はそれぞれ通過域規格と減衰域規格を示
している。
極の対数を５０対、交叉幅１０λ、反射器の本数をそれ
ぞれ１５０本、アルミニウム合金の電極膜厚Ｈを０．１
８μmとした１ポートＳＡＷ共振子１５個を直列接続し
て構成した複合１ポートＳＡＷ共振子Ｐ１の伝送特性Ａ
と、その位相特性Ｂとを示す図である。図３に示す実線
αは、圧電基板に36°Y X LiTaO3を用い、ＩＤＴ電極１
の電極対数を１５．５対、ＩＤＴ電極２、３の電極対数
をそれぞれ１０．５対、交叉幅３０λ、反射器４ａ、４
ｂの本数をそれぞれ２００本、電極膜厚を０．１８μm
として構成した２ポートＳＡＷ共振子Ｐ２と、図２に示
した１ポートＳＡＷ共振子Ｐ１とを並列接続して構成し
た共振子型ＳＡＷフィルタのフィルタ特性αである。な
お、破線βで示すフィルタ特性は図３１に示した従来の
共振子型ＳＡＷフィルタのフィルタ特性である。また、
図中に示す斜線はそれぞれ通過域規格と減衰域規格を示
している。
【００１７】図４は、図３に示した２つの共振子型ＳＡ
Ｗフィルタの通過域を拡大して示したもので、実線αが
本発明に係る共振型ＳＡＷフィルタのフィルタ特性、破
線βは従来の共振子型ＳＡＷフィルタの通過域特性であ
る。図中に示す斜線はそれぞれ通過域規格と減衰域規格
を示している。図３、４より４ｄＢの帯域幅は９１．３
６ＭＨｚと要求規格を満たしていることが判明した。ま
た、図３より明らかなように通過域の近傍の低域及び高
域において減衰量が大幅に改善されていることが分か
る。図５は本発明に係る共振子型ＳＡＷフィルタの入力
側から測定したＶＳＷＲ（実線α）と、図３１に示した
従来の共振子型ＳＡＷフィルタのＶＳＷＲ（破線β）と
を比較した図である。この図から明らかなように、本発
明に係る共振子型ＳＡＷフィルタはＶＳＷＲの要求規格
（３．５）を満たしている。
Ｗフィルタの通過域を拡大して示したもので、実線αが
本発明に係る共振型ＳＡＷフィルタのフィルタ特性、破
線βは従来の共振子型ＳＡＷフィルタの通過域特性であ
る。図中に示す斜線はそれぞれ通過域規格と減衰域規格
を示している。図３、４より４ｄＢの帯域幅は９１．３
６ＭＨｚと要求規格を満たしていることが判明した。ま
た、図３より明らかなように通過域の近傍の低域及び高
域において減衰量が大幅に改善されていることが分か
る。図５は本発明に係る共振子型ＳＡＷフィルタの入力
側から測定したＶＳＷＲ（実線α）と、図３１に示した
従来の共振子型ＳＡＷフィルタのＶＳＷＲ（破線β）と
を比較した図である。この図から明らかなように、本発
明に係る共振子型ＳＡＷフィルタはＶＳＷＲの要求規格
（３．５）を満たしている。
【００１８】図６は本発明に係る共振子型ＳＡＷフィル
タのフィルタ特性（実線α）と、図２４に示した二重モ
ードＳＡＷフィルタのフィルタ特性（破線β）とを比較
する図である。図７は図６に示した２つのＳＡＷフィル
タの通過帯域を拡大して示した図であって、帯域幅はい
ずれも９０ＭＨｚ以上という目標を満足しているが、本
発明に係る共振子型ＳＡＷフィルタの方が図２４に示し
た二重モードＳＡＷフィルタよりも挿入損失が０．４ｄ
Ｂ程改善されている。図８は本発明に係る共振子型ＳＡ
Ｗフィルタの出力側から測定したＶＳＷＲ（実線α）
と、図２５に示した二重モードＳＡＷフィルタのＶＳＷ
Ｒ（破線β）とを比較する図である。この図から明らか
のように、本発明に係る共振子型ＳＡＷフィルタは、入
力側、出力側から測定しても通過帯域内において、ＶＳ
ＷＲ（３．５）の規格を満たしていることが分かる。
タのフィルタ特性（実線α）と、図２４に示した二重モ
ードＳＡＷフィルタのフィルタ特性（破線β）とを比較
する図である。図７は図６に示した２つのＳＡＷフィル
タの通過帯域を拡大して示した図であって、帯域幅はい
ずれも９０ＭＨｚ以上という目標を満足しているが、本
発明に係る共振子型ＳＡＷフィルタの方が図２４に示し
た二重モードＳＡＷフィルタよりも挿入損失が０．４ｄ
Ｂ程改善されている。図８は本発明に係る共振子型ＳＡ
Ｗフィルタの出力側から測定したＶＳＷＲ（実線α）
と、図２５に示した二重モードＳＡＷフィルタのＶＳＷ
Ｒ（破線β）とを比較する図である。この図から明らか
のように、本発明に係る共振子型ＳＡＷフィルタは、入
力側、出力側から測定しても通過帯域内において、ＶＳ
ＷＲ（３．５）の規格を満たしていることが分かる。
【００１９】図９は第２の実施例の形態を示す平面図で
あって、この実施例において電極指の中心間間隔Ｌを
０．２５λ＜Ｌ＜０．５λとすることにより、２ポート
ＳＡＷ共振子を３次モードで励振し、中央のＩＤＴ電極
１’と両側のＩＤＴ電極２’、３’との相隣接する電極
指ア、イ、ウ、エをそれぞれ接地するように構成して入
力に対して出力の位相を逆相で動作させるようにしたも
のである。そして、入出力間に同相で動作する１ポート
ＳＡＷ共振子Ｐ１を接続することにより、共振子型ＳＡ
Ｗフィルタを構成することができる。
あって、この実施例において電極指の中心間間隔Ｌを
０．２５λ＜Ｌ＜０．５λとすることにより、２ポート
ＳＡＷ共振子を３次モードで励振し、中央のＩＤＴ電極
１’と両側のＩＤＴ電極２’、３’との相隣接する電極
指ア、イ、ウ、エをそれぞれ接地するように構成して入
力に対して出力の位相を逆相で動作させるようにしたも
のである。そして、入出力間に同相で動作する１ポート
ＳＡＷ共振子Ｐ１を接続することにより、共振子型ＳＡ
Ｗフィルタを構成することができる。
【００２０】図１０は第３の実施例の形態を示す平面図
であって、ＩＤＴ電極５、６、７で構成する２ポートＳ
ＡＷ共振子の中央のＩＤＴ電極５と両側のＩＤＴ電極
６、７との相隣接する電極指の中心間間隔Ｌを０．５λ
に設定し、中央ＩＤＴ電極５の両側のＩＤＴ電極６、７
に隣接する電極指５ｅにつながるくし形電極を出力端子
に接続し、他のくし形電極を接地する。さらに、両側の
ＩＤＴ電極６、７の最内側の電極指６ｅ、７ｅにつなが
るくし形電極をそれぞれ接地すると共に、他のくし形電
極を接続して入力端子に接続する。そして、入出力間に
１ポートＳＡＷ共振子Ｐ１を並列接続することにより、
共振子型ＳＡＷフィルタを構成する。この共振子型ＳＡ
Ｗフィルタの動作は、２ポートＳＡＷ共振子Ｐ２を１次
モード（共振周波数ｆ１）で励振させると共に、出力を
入力に対して逆相（１８０°）で動作させ、１ポートＳ
ＡＷ共振子Ｐ１（共振周波数ｆｒ）を同相で動作させる
ことにより、共振子型フィルタを構成している。通過帯
域幅はほぼ（ｆｒ−ｆ１）となる。図１１は、周波数を
１７８６．５５ＭＨｚとし、36°Y X LiTaO3基板上にＩ
ＤＴ電極の電極対数を５０対、交叉幅Ｗを１０λ、反射
器の本数をそれぞれ１５０本、アルミニウム合金の電極
膜厚Ｈを０．１８μmに設定した１ポートＳＡＷ共振子
を３個直列接続して構成した複合１ポートＳＡＷ共振子
Ｐ１の伝送特性Ａと位相特性Ｂである。また、図１２
は、図１０に示した電極パターンを用い、36°Y X LiTa
O3基板上に中央のＩＤＴ電極５の電極対数を１０．５
対、両側のＩＤＴ電極６、７の電極対数をそれぞれ７．
５対、交叉幅Ｗを７０λ、電極指中心間間隔Ｌを０．５
λ、反射器の本数をそれぞれ２００本、アルミニウム合
金の電極膜厚Ｈを０．１８μmに設定した２ポート共振
子Ｐ２の伝送特性Ａと位相特性Ｂを示す図である。
であって、ＩＤＴ電極５、６、７で構成する２ポートＳ
ＡＷ共振子の中央のＩＤＴ電極５と両側のＩＤＴ電極
６、７との相隣接する電極指の中心間間隔Ｌを０．５λ
に設定し、中央ＩＤＴ電極５の両側のＩＤＴ電極６、７
に隣接する電極指５ｅにつながるくし形電極を出力端子
に接続し、他のくし形電極を接地する。さらに、両側の
ＩＤＴ電極６、７の最内側の電極指６ｅ、７ｅにつなが
るくし形電極をそれぞれ接地すると共に、他のくし形電
極を接続して入力端子に接続する。そして、入出力間に
１ポートＳＡＷ共振子Ｐ１を並列接続することにより、
共振子型ＳＡＷフィルタを構成する。この共振子型ＳＡ
Ｗフィルタの動作は、２ポートＳＡＷ共振子Ｐ２を１次
モード（共振周波数ｆ１）で励振させると共に、出力を
入力に対して逆相（１８０°）で動作させ、１ポートＳ
ＡＷ共振子Ｐ１（共振周波数ｆｒ）を同相で動作させる
ことにより、共振子型フィルタを構成している。通過帯
域幅はほぼ（ｆｒ−ｆ１）となる。図１１は、周波数を
１７８６．５５ＭＨｚとし、36°Y X LiTaO3基板上にＩ
ＤＴ電極の電極対数を５０対、交叉幅Ｗを１０λ、反射
器の本数をそれぞれ１５０本、アルミニウム合金の電極
膜厚Ｈを０．１８μmに設定した１ポートＳＡＷ共振子
を３個直列接続して構成した複合１ポートＳＡＷ共振子
Ｐ１の伝送特性Ａと位相特性Ｂである。また、図１２
は、図１０に示した電極パターンを用い、36°Y X LiTa
O3基板上に中央のＩＤＴ電極５の電極対数を１０．５
対、両側のＩＤＴ電極６、７の電極対数をそれぞれ７．
５対、交叉幅Ｗを７０λ、電極指中心間間隔Ｌを０．５
λ、反射器の本数をそれぞれ２００本、アルミニウム合
金の電極膜厚Ｈを０．１８μmに設定した２ポート共振
子Ｐ２の伝送特性Ａと位相特性Ｂを示す図である。
【００２１】図１３に示す実線αは、図１１に示した複
合１ポートＳＡＷ共振子と、図１２に示した２ポートＳ
ＡＷ共振子とを図１０に示すように構成した共振子型Ｓ
ＡＷフィルタのフィルタ特性である。破線βは図３の実
線αに示した第１の実施例の共振子型ＳＡＷフィルタの
フィルタ特性である。また、図１４は図１３に示したそ
れぞれのフィルタの通過域特性を拡大表示したものであ
る。図１０に示した共振子型ＳＡＷフィルタのフィルタ
特性は、全体的に減衰量が劣化しているものの、通過域
近傍の高域側の急峻度が増していることが分かる。図１
５は、第３の実施例のＶＳＷＲを実線αで示し、第１の
実施例のＶＳＷＲを破線βで示している。この図から分
かるように第３の実施例の電極指中心間間隔Ｌを０．５
λとした共振子型ＳＡＷフィルタのＶＳＷＲの方が中心
間間隔Ｌを０．２５λとしたものよりＶＳＷＲに関して
は優れていることが判明した。
合１ポートＳＡＷ共振子と、図１２に示した２ポートＳ
ＡＷ共振子とを図１０に示すように構成した共振子型Ｓ
ＡＷフィルタのフィルタ特性である。破線βは図３の実
線αに示した第１の実施例の共振子型ＳＡＷフィルタの
フィルタ特性である。また、図１４は図１３に示したそ
れぞれのフィルタの通過域特性を拡大表示したものであ
る。図１０に示した共振子型ＳＡＷフィルタのフィルタ
特性は、全体的に減衰量が劣化しているものの、通過域
近傍の高域側の急峻度が増していることが分かる。図１
５は、第３の実施例のＶＳＷＲを実線αで示し、第１の
実施例のＶＳＷＲを破線βで示している。この図から分
かるように第３の実施例の電極指中心間間隔Ｌを０．５
λとした共振子型ＳＡＷフィルタのＶＳＷＲの方が中心
間間隔Ｌを０．２５λとしたものよりＶＳＷＲに関して
は優れていることが判明した。
【００２２】１ポートＳＡＷ共振子と、３つのＩＤＴ電
極からなる２ポートＳＡＷ共振子とから構成する共振子
型ＳＡＷフィルタでは、２ポートＳＡＷ共振子にインピ
ーダンスに整合させるために、１ポートＳＡＷ共振子の
インピーダンスを高める必要がある。そのために１ポー
トＳＡＷ共振子を複数個直列接続すると圧電基板の表面
積が大きくなるという欠点があった。そこで、これを改
善するために図１６に示すようにＩＤＴ電極９の一方の
バスバーをほぼ中央で切断し、切断したそれぞれのバス
バーを入力端子及び出力端子とすることにより、インピ
ーダンスを約４倍にした１ポートＳＡＷ共振子を構成す
ることができる。図１７は図１６に示した１ポートＳＡ
Ｗ共振子と一般的な１ポートＳＡＷ共振子１０とを直列
接続することにより、５倍のインピーダンスを有する１
ポートＳＡＷ共振子を構成した例である。
極からなる２ポートＳＡＷ共振子とから構成する共振子
型ＳＡＷフィルタでは、２ポートＳＡＷ共振子にインピ
ーダンスに整合させるために、１ポートＳＡＷ共振子の
インピーダンスを高める必要がある。そのために１ポー
トＳＡＷ共振子を複数個直列接続すると圧電基板の表面
積が大きくなるという欠点があった。そこで、これを改
善するために図１６に示すようにＩＤＴ電極９の一方の
バスバーをほぼ中央で切断し、切断したそれぞれのバス
バーを入力端子及び出力端子とすることにより、インピ
ーダンスを約４倍にした１ポートＳＡＷ共振子を構成す
ることができる。図１７は図１６に示した１ポートＳＡ
Ｗ共振子と一般的な１ポートＳＡＷ共振子１０とを直列
接続することにより、５倍のインピーダンスを有する１
ポートＳＡＷ共振子を構成した例である。
【００２３】図１８は第４の実施例の形態を説明する図
であって、図１に示した共振子型ＳＡＷフィルタの通過
域近傍の減衰量を改善するために、１ポートＳＡＷ共振
子Ｐ１２を図１で示した共振子型ＳＡＷフィルタの入力
側に直列接続したものである。図１９は第５の実施例の
形態を説明する図であって、図１に示した共振子型ＳＡ
Ｗフィルタの通過域近傍の減衰量を改善するために、１
ポートＳＡＷ共振子Ｐ１２を図１で示した共振子型ＳＡ
Ｗフィルタの入力側と接地との間に挿入したものであ
る。
であって、図１に示した共振子型ＳＡＷフィルタの通過
域近傍の減衰量を改善するために、１ポートＳＡＷ共振
子Ｐ１２を図１で示した共振子型ＳＡＷフィルタの入力
側に直列接続したものである。図１９は第５の実施例の
形態を説明する図であって、図１に示した共振子型ＳＡ
Ｗフィルタの通過域近傍の減衰量を改善するために、１
ポートＳＡＷ共振子Ｐ１２を図１で示した共振子型ＳＡ
Ｗフィルタの入力側と接地との間に挿入したものであ
る。
【００２４】図２０は第６の実施例の形態を説明する図
であって、図９に示した第２の実施例の２ポートＳＡＷ
共振子における中央のＩＤＴ電極１’と、両側のＩＤＴ
電極２’、３’との隣接する部分の電極指をミドルグレ
ーティングで置換して、中央のＩＤＴ電極１１と両側の
ＩＤＴ電極１２、１３とを形成し、２ポートＳＡＷ共振
子Ｐ２を形成した例である。この２ポートＳＡＷ共振子
Ｐ２の入出力間に１ポートＳＡＷ共振子Ｐ１を並列接続
して共振子型ＳＡＷフィルタを構成する。特開平１−２
１２０１５には縦１次モードと２次モードを用いた１次
−２次縦結合二重モードＳＡＷフィルタのＩＤＴ電極間
にミドルグレイティングを配した例が示されているが、
ミドルグレーティングを用いるところは類似するもの
の、本発明は上記の例のように２つのモードを振動的に
結合させて帯域幅を決めているのではなく、２つの位相
が互いに１８０度異なる１ポートＳＡＷ共振子と、２ポ
ートＳＡＷ共振子とを電気的に接続して構成した共振子
型ＳＡＷフィルタである。この共振子型ＳＡＷフィルタ
の特徴は、ＩＤＴ電極の隣接する部分において表面波が
バルク波へ変換する割合が小さくなるため、フィルタの
挿入損失が小さくなるという特徴がある。
であって、図９に示した第２の実施例の２ポートＳＡＷ
共振子における中央のＩＤＴ電極１’と、両側のＩＤＴ
電極２’、３’との隣接する部分の電極指をミドルグレ
ーティングで置換して、中央のＩＤＴ電極１１と両側の
ＩＤＴ電極１２、１３とを形成し、２ポートＳＡＷ共振
子Ｐ２を形成した例である。この２ポートＳＡＷ共振子
Ｐ２の入出力間に１ポートＳＡＷ共振子Ｐ１を並列接続
して共振子型ＳＡＷフィルタを構成する。特開平１−２
１２０１５には縦１次モードと２次モードを用いた１次
−２次縦結合二重モードＳＡＷフィルタのＩＤＴ電極間
にミドルグレイティングを配した例が示されているが、
ミドルグレーティングを用いるところは類似するもの
の、本発明は上記の例のように２つのモードを振動的に
結合させて帯域幅を決めているのではなく、２つの位相
が互いに１８０度異なる１ポートＳＡＷ共振子と、２ポ
ートＳＡＷ共振子とを電気的に接続して構成した共振子
型ＳＡＷフィルタである。この共振子型ＳＡＷフィルタ
の特徴は、ＩＤＴ電極の隣接する部分において表面波が
バルク波へ変換する割合が小さくなるため、フィルタの
挿入損失が小さくなるという特徴がある。
【００２５】図２１は第７の実施例の形態を説明する図
であって、図９に示した第２の実施例の共振子型ＳＡＷ
フィルタにおける中央のＩＤＴ電極１と、両側のＩＤＴ
電極２、３との隣接する部分の電極周期λ２を他の部分
の電極周期λ１より小さくするように、中央のＩＤＴ電
極１５と両側のＩＤＴ電極１６、１７を形成し、共振子
型ＳＡＷフィルタを構成したものである。即ち、図２１
に示すＡ部の電極周期λ１は２ポートＳＡＷ共振子の周
波数を決めるべく設定し、Ｂ部の電極周期λ２はλ２＜
λ１とすることによって、中央のＩＤＴ電極の最外側に
幅広の電極指を形成した場合に比べて、隣接部における
著しい表面波の不連続性が解消されて、放射バルク波を
軽減することができるため、フィルタの挿入損失が改善
される。その上、中央のＩＤＴ電極の最外側に幅広の電
極指を設けた場合と同様な効果があることが分かった。
であって、図９に示した第２の実施例の共振子型ＳＡＷ
フィルタにおける中央のＩＤＴ電極１と、両側のＩＤＴ
電極２、３との隣接する部分の電極周期λ２を他の部分
の電極周期λ１より小さくするように、中央のＩＤＴ電
極１５と両側のＩＤＴ電極１６、１７を形成し、共振子
型ＳＡＷフィルタを構成したものである。即ち、図２１
に示すＡ部の電極周期λ１は２ポートＳＡＷ共振子の周
波数を決めるべく設定し、Ｂ部の電極周期λ２はλ２＜
λ１とすることによって、中央のＩＤＴ電極の最外側に
幅広の電極指を形成した場合に比べて、隣接部における
著しい表面波の不連続性が解消されて、放射バルク波を
軽減することができるため、フィルタの挿入損失が改善
される。その上、中央のＩＤＴ電極の最外側に幅広の電
極指を設けた場合と同様な効果があることが分かった。
【００２６】図２２は第８の実施例の形態を説明する図
であって、入出力とも平衡型とした例である。圧電基板
（図示しない）上に表面波の伝搬方向に沿って２ポート
ＳＡＷ共振子Ｐ２と、２つの１ポートＳＡＷ共振子Ｐ１
ａ、Ｐ１ｂとを併置すると共に、２ポートＳＡＷ共振子
Ｐ２における中央ＩＤＴ電極のそれぞれのバスバーと、
１ポートＳＡＷ共振子Ｐ１ａ、Ｐ１ｂの図中中央寄りの
バスバーとを一体化する。さらに、２ポートＳＡＷ共振
子Ｐ２の外側に位置するそれぞれのＩＤＴ電極のバスバ
ーと、１ポートＳＡＷ共振子Ｐ１ａ、Ｐ１ｂの図中外側
に位置するバスバーとを圧電基板上に形成したリード電
極にてそれぞれ接続すると共に、２ポートＳＡＷ共振子
Ｐ２の中央のＩＤＴ電極のバスバーをそれぞれ入力端子
ＩＮ１、ＩＮ２に接続し、２つの１ポートＳＡＷ共振子
Ｐ１ａ、Ｐ１ｂの図中外側に位置するバスバーと出力端
子ＯＵＴ１、ＯＵＴ２とを接続して、入出力平衡の共振
子型ＳＡＷフィルタを構成する。
であって、入出力とも平衡型とした例である。圧電基板
（図示しない）上に表面波の伝搬方向に沿って２ポート
ＳＡＷ共振子Ｐ２と、２つの１ポートＳＡＷ共振子Ｐ１
ａ、Ｐ１ｂとを併置すると共に、２ポートＳＡＷ共振子
Ｐ２における中央ＩＤＴ電極のそれぞれのバスバーと、
１ポートＳＡＷ共振子Ｐ１ａ、Ｐ１ｂの図中中央寄りの
バスバーとを一体化する。さらに、２ポートＳＡＷ共振
子Ｐ２の外側に位置するそれぞれのＩＤＴ電極のバスバ
ーと、１ポートＳＡＷ共振子Ｐ１ａ、Ｐ１ｂの図中外側
に位置するバスバーとを圧電基板上に形成したリード電
極にてそれぞれ接続すると共に、２ポートＳＡＷ共振子
Ｐ２の中央のＩＤＴ電極のバスバーをそれぞれ入力端子
ＩＮ１、ＩＮ２に接続し、２つの１ポートＳＡＷ共振子
Ｐ１ａ、Ｐ１ｂの図中外側に位置するバスバーと出力端
子ＯＵＴ１、ＯＵＴ２とを接続して、入出力平衡の共振
子型ＳＡＷフィルタを構成する。
【００２７】図２３は図２２に示した第８の実施例の変
形例であって、２ポートＳＡＷ共振子Ｐ２の外側に位置
するＩＤＴ電極のバスバーと、１ポートＳＡＷ共振子Ｐ
１ａ、Ｐ１ｂの図中外側に位置するバスバーとを接続す
るリード電極の対角に位置するリード電極をそれぞれ取
り除くと共に、取り除いた２ポートＳＡＷ共振子Ｐ２の
それぞれのバスバーを接地して、入出力平衡の共振子型
ＳＡＷフィルタを構成する。このような構成とすること
により、電極パターンを簡素化することができる。
形例であって、２ポートＳＡＷ共振子Ｐ２の外側に位置
するＩＤＴ電極のバスバーと、１ポートＳＡＷ共振子Ｐ
１ａ、Ｐ１ｂの図中外側に位置するバスバーとを接続す
るリード電極の対角に位置するリード電極をそれぞれ取
り除くと共に、取り除いた２ポートＳＡＷ共振子Ｐ２の
それぞれのバスバーを接地して、入出力平衡の共振子型
ＳＡＷフィルタを構成する。このような構成とすること
により、電極パターンを簡素化することができる。
【００２８】図２４は本発明に係る第９の実施例の形態
を説明する図であって、圧電基板（図示しない）上に表
面波の伝搬方向に沿って２ポートＳＡＷ共振子Ｐ２ａ
と、１ポートＳＡＷ共振子Ｐ１ａとを併置すると共に、
２ポートＳＡＷ共振子Ｐ２ａにおける中央ＩＤＴ電極の
バスバーと、１ポートＳＡＷ共振子Ｐ１ａのバスバーと
を一体化し、該バスバーと入力端子ＩＮ１とを接続し、
２ポートＳＡＷ共振子Ｐ２ａの他方のバスバーは接地す
る。さらに、２ポートＳＡＷ共振子Ｐ２ａの外側に位置
し、１ポートＳＡＷ共振子Ｐ１ａと対向する側のバスバ
ーと、１ポートＳＡＷ共振子Ｐ１ａの図中外側に位置す
るバスバーとを圧電基板上に形成したリード電極にてそ
れぞれ接続すると共に、該リード電極と出力端子ＯＵＴ
１とを接続し、他方のバスバーはそれぞれ接地して、一
方の共振子型ＳＡＷフィルタａを構成する。同様に、２
ポートＳＡＷ共振子Ｐ２ｂと１ポートＳＡＷ共振子Ｐ１
ｂとからなる共振子型ＳＡＷフィルタｂを構成し、入力
端子をＩＮ２、出力端子をＯＵＴ２とする。そして、２
つの共振子型ＳＡＷフィルタａ、ｂのそれぞれの入力端
子ＩＮ１、ＩＮ２を入力とし、ＯＵＴ１、ＯＵＴ２を出
力として用いることにより、入出力平衡の共振子型ＳＡ
Ｗフィルタを構成することができる。
を説明する図であって、圧電基板（図示しない）上に表
面波の伝搬方向に沿って２ポートＳＡＷ共振子Ｐ２ａ
と、１ポートＳＡＷ共振子Ｐ１ａとを併置すると共に、
２ポートＳＡＷ共振子Ｐ２ａにおける中央ＩＤＴ電極の
バスバーと、１ポートＳＡＷ共振子Ｐ１ａのバスバーと
を一体化し、該バスバーと入力端子ＩＮ１とを接続し、
２ポートＳＡＷ共振子Ｐ２ａの他方のバスバーは接地す
る。さらに、２ポートＳＡＷ共振子Ｐ２ａの外側に位置
し、１ポートＳＡＷ共振子Ｐ１ａと対向する側のバスバ
ーと、１ポートＳＡＷ共振子Ｐ１ａの図中外側に位置す
るバスバーとを圧電基板上に形成したリード電極にてそ
れぞれ接続すると共に、該リード電極と出力端子ＯＵＴ
１とを接続し、他方のバスバーはそれぞれ接地して、一
方の共振子型ＳＡＷフィルタａを構成する。同様に、２
ポートＳＡＷ共振子Ｐ２ｂと１ポートＳＡＷ共振子Ｐ１
ｂとからなる共振子型ＳＡＷフィルタｂを構成し、入力
端子をＩＮ２、出力端子をＯＵＴ２とする。そして、２
つの共振子型ＳＡＷフィルタａ、ｂのそれぞれの入力端
子ＩＮ１、ＩＮ２を入力とし、ＯＵＴ１、ＯＵＴ２を出
力として用いることにより、入出力平衡の共振子型ＳＡ
Ｗフィルタを構成することができる。
【００２９】図２５は本発明に係る第１０の実施例の形
態を説明する図であって、図２２に示した第８の実施例
（図２５（ａ））と、図２６に示した１次−３次二重モ
ードＳＡＷフィルタ（２５図（ｂ））とを、図に示す
Ａ、Ｂをそれぞれ接続して構成した入力平衡−出力不平
衡の共振子型ＳＡＷフィルタである。このような構成と
することにより減衰傾度を急峻にすると共に、保証減衰
量を増大することができる。
態を説明する図であって、図２２に示した第８の実施例
（図２５（ａ））と、図２６に示した１次−３次二重モ
ードＳＡＷフィルタ（２５図（ｂ））とを、図に示す
Ａ、Ｂをそれぞれ接続して構成した入力平衡−出力不平
衡の共振子型ＳＡＷフィルタである。このような構成と
することにより減衰傾度を急峻にすると共に、保証減衰
量を増大することができる。
【００３０】上記では圧電基板に３６度回転ＹカットＸ
伝搬ＬｉＴａＯ３を用いて説明したが、本発明はこの切
断角度に限定するものではなく他の切断角度に適用でき
ることは説明するまでもない。また、他の種類の圧電基
板、例えばニオブ酸リチウム、四硼酸リチウム、ランガ
サイト等を用いても広帯域な共振子型ＳＡＷフィルタが
個性できることは言うまでもない。
伝搬ＬｉＴａＯ３を用いて説明したが、本発明はこの切
断角度に限定するものではなく他の切断角度に適用でき
ることは説明するまでもない。また、他の種類の圧電基
板、例えばニオブ酸リチウム、四硼酸リチウム、ランガ
サイト等を用いても広帯域な共振子型ＳＡＷフィルタが
個性できることは言うまでもない。
【００３１】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成した
ので、請求項１乃至３に記載の発明は共振子型ＳＡＷフ
ィルタの帯域幅を広げるという優れた効果を表す。請求
項４あるいは５に記載の発明は挿入損失が改善されると
いう優れた効果を表す。請求項６あるいは７に記載の発
明は広帯域な共振子型ＳＡＷフィルタを構成できるとい
う効果を有する。請求項８あるいは９に記載の発明は広
帯域化と共に、通過域近傍の減衰量を改善するという優
れた効果が加わる。請求項１０あるいは１１に記載の発
明は広帯域化と挿入損失の低減という効果をもたらす。
請求項１２乃至１５に記載の発明は広帯域化を可能とす
ると共に、入出力端子を平衡型とした共振子型ＳＡＷフ
ィルタを実現するという優れた効果をもたらす。
ので、請求項１乃至３に記載の発明は共振子型ＳＡＷフ
ィルタの帯域幅を広げるという優れた効果を表す。請求
項４あるいは５に記載の発明は挿入損失が改善されると
いう優れた効果を表す。請求項６あるいは７に記載の発
明は広帯域な共振子型ＳＡＷフィルタを構成できるとい
う効果を有する。請求項８あるいは９に記載の発明は広
帯域化と共に、通過域近傍の減衰量を改善するという優
れた効果が加わる。請求項１０あるいは１１に記載の発
明は広帯域化と挿入損失の低減という効果をもたらす。
請求項１２乃至１５に記載の発明は広帯域化を可能とす
ると共に、入出力端子を平衡型とした共振子型ＳＡＷフ
ィルタを実現するという優れた効果をもたらす。
【図１】本発明に係る第１の実施例の形態である共振子
型ＳＡＷフィルタを説明する図である。
型ＳＡＷフィルタを説明する図である。
【図２】１ポートＳＡＷ共振子を１５個直列接続した複
合１ポートＳＡＷ共振子の伝送特性と位相特性を示す図
である。
合１ポートＳＡＷ共振子の伝送特性と位相特性を示す図
である。
【図３】第１の実施例である共振子型ＳＡＷフィルタの
フィルタ特性（実線）と従来の共振子型ＳＡＷフィルタ
のフィルタ特性（破線）を示す図である。
フィルタ特性（実線）と従来の共振子型ＳＡＷフィルタ
のフィルタ特性（破線）を示す図である。
【図４】図３に示す共振子型ＳＡＷフィルタのそれぞれ
の通過域特性を示す。
の通過域特性を示す。
【図５】第１の実施例である共振子型ＳＡＷフィルタの
ＶＳＷＲ（実線）と、従来の共振子型ＳＡＷフィルタの
ＶＳＷＲ（破線）と比較した図である。
ＶＳＷＲ（実線）と、従来の共振子型ＳＡＷフィルタの
ＶＳＷＲ（破線）と比較した図である。
【図６】第１の実施例である共振子型ＳＡＷフィルタの
フィルタ特性と、従来の二重モードＳＡＷフィルタのフ
ィルタ特性を比較した図である。
フィルタ特性と、従来の二重モードＳＡＷフィルタのフ
ィルタ特性を比較した図である。
【図７】図６に示したＳＡＷフィルタのそれぞれの通過
域特性を示す。
域特性を示す。
【図８】図６に示したＳＡＷフィルタのそれぞれのＶＳ
ＷＲを示す。
ＷＲを示す。
【図９】本発明に係る第２の実施例の形態である共振子
型ＳＡＷフィルタを説明する図である。
型ＳＡＷフィルタを説明する図である。
【図１０】本発明に係る第３の実施例の形態である共振
子型ＳＡＷフィルタを説明する図である。
子型ＳＡＷフィルタを説明する図である。
【図１１】１ポートＳＡＷ共振子を３個直列接続した複
合１ポートＳＡＷ共振子の伝送特性と位相特性を示す図
である。
合１ポートＳＡＷ共振子の伝送特性と位相特性を示す図
である。
【図１２】第３の実施例の２ポートＳＡＷ共振子の伝送
特性と位相特性を示す図である。
特性と位相特性を示す図である。
【図１３】第３の実施例である共振子型ＳＡＷフィルタ
のフィルタ特性（実線）と、第１の実施例のフィルタ特
性（破線）とを比較した図である。
のフィルタ特性（実線）と、第１の実施例のフィルタ特
性（破線）とを比較した図である。
【図１４】第３の実施例のバンドパス特性（実線）と第
１の実施例のバンドパス特性（破線）とを比較した図で
ある。
１の実施例のバンドパス特性（破線）とを比較した図で
ある。
【図１５】第３の実施例のＶＳＷＲ（実線）と第１の実
施例のＶＳＷＲ（破線）とを比較した図である。
施例のＶＳＷＲ（破線）とを比較した図である。
【図１６】１ポートＳＡＷ共振子のインピーダンスを高
めた電極パターンを示す図である。
めた電極パターンを示す図である。
【図１７】１ポートＳＡＷ共振子のインピーダンスを高
めた電極パターンを示す図である。
めた電極パターンを示す図である。
【図１８】本発明に係る第４の実施例の形態である共振
子型ＳＡＷフィルタを説明する図である。
子型ＳＡＷフィルタを説明する図である。
【図１９】本発明に係る第５の実施例の形態である共振
子型ＳＡＷフィルタを説明する図である。
子型ＳＡＷフィルタを説明する図である。
【図２０】本発明に係る第６の実施例の形態である共振
子型ＳＡＷフィルタを説明する図である。
子型ＳＡＷフィルタを説明する図である。
【図２１】本発明に係る第７の実施例の形態である共振
子型ＳＡＷフィルタを説明する図である。
子型ＳＡＷフィルタを説明する図である。
【図２２】本発明に係る第８の実施例の形態である入出
力平衡の共振子型ＳＡＷフィルタを説明する図である。
力平衡の共振子型ＳＡＷフィルタを説明する図である。
【図２３】本発明に係る第８の実施例の変形例である。
【図２４】本発明に係る第９の実施例の形態を示す図
で、２組みのフィルタで構成した入出力平衡の共振子型
ＳＡＷフィルタである。
で、２組みのフィルタで構成した入出力平衡の共振子型
ＳＡＷフィルタである。
【図２５】本発明に係る第１０の実施例の形態を示す図
で、第８の実施例と従来の二重モードＳＡＷフィルタと
を縦続接続して、入力平衡−出力不平衡とした共振子型
ＳＡＷフィルタである。
で、第８の実施例と従来の二重モードＳＡＷフィルタと
を縦続接続して、入力平衡−出力不平衡とした共振子型
ＳＡＷフィルタである。
【図２６】従来の１次−３次縦結合二重モードＳＡＷフ
ィルタの構成を示す図である。
ィルタの構成を示す図である。
【図２７】従来の１次−３次縦結合二重モードＳＡＷフ
ィルタ（交叉幅６０λ）のフィルタ特性と位相特性を示
す図である。
ィルタ（交叉幅６０λ）のフィルタ特性と位相特性を示
す図である。
【図２８】従来の１次−３次縦結合二重モードＳＡＷフ
ィルタ（交叉幅３０λ）のフィルタ特性と位相特性を示
す図である。
ィルタ（交叉幅３０λ）のフィルタ特性と位相特性を示
す図である。
【図２９】従来の１次−３次縦結合二重モードＳＡＷフ
ィルタにおいて交叉幅を６０λ、３０λとした場合のＶ
ＳＷＲを示す図である。
ィルタにおいて交叉幅を６０λ、３０λとした場合のＶ
ＳＷＲを示す図である。
【図３０】（ａ）は２つのＩＤＴ電極を用いた２ポート
ＳＡＷ共振子と、１ポート共振子とから構成される従来
の共振子型ＳＡＷフィルタを説明する図、（ｂ）は１ポ
ートＳＡＷ共振子の構成を説明する図である。
ＳＡＷ共振子と、１ポート共振子とから構成される従来
の共振子型ＳＡＷフィルタを説明する図、（ｂ）は１ポ
ートＳＡＷ共振子の構成を説明する図である。
【図３１】インピーダンスを高めるために１ポートＳＡ
Ｗ共振子を５個直列接続した複合１ポートＳＡＷ共振子
の構成を示す図である。
Ｗ共振子を５個直列接続した複合１ポートＳＡＷ共振子
の構成を示す図である。
【図３２】１ポートＳＡＷ共振子を５個直列接続した複
合１ポートＳＡＷ共振子の伝送特性と位相特性である。
合１ポートＳＡＷ共振子の伝送特性と位相特性である。
【図３３】図２６（ａ）に示す２ポートＳＡＷ共振子の
伝送特性と位相特性を示す図である。
伝送特性と位相特性を示す図である。
【図３４】２ポートＳＡＷ共振子と、１ポートＳＡＷ共
振子とから構成される従来の共振子型ＳＡＷフィルタの
フィルタ特性と位相特性を示す図である。
振子とから構成される従来の共振子型ＳＡＷフィルタの
フィルタ特性と位相特性を示す図である。
【図３５】広帯域化を図った従来の共振子型ＳＡＷフィ
ルタのフィルタ特性と位相特性を示す図である。
ルタのフィルタ特性と位相特性を示す図である。
１、１’、２、３、５、６、７、９、１０、１１、１
２、１３、１５、１６、１７・・ＩＤＴ電極 ４ａ、４ｂ、８ａ、８ｂ・・グレーティング反射器 ５ｅ、６ｅ、７ｅ・・電極指 １４・・ミドルグレーティング Ｌ・・電極指の中心間間隔 λ１、λ２・・ＩＤＴ電極の電極周期 Ｐ１、Ｐ１１、Ｐ１２、Ｐ１ａ、Ｐ１ｂ・・１ポートＳ
ＡＷ共振子 Ｐ２、Ｐ２ａ、Ｐ２ｂ・・２ポートＳＡＷ共振子
２、１３、１５、１６、１７・・ＩＤＴ電極 ４ａ、４ｂ、８ａ、８ｂ・・グレーティング反射器 ５ｅ、６ｅ、７ｅ・・電極指 １４・・ミドルグレーティング Ｌ・・電極指の中心間間隔 λ１、λ２・・ＩＤＴ電極の電極周期 Ｐ１、Ｐ１１、Ｐ１２、Ｐ１ａ、Ｐ１ｂ・・１ポートＳ
ＡＷ共振子 Ｐ２、Ｐ２ａ、Ｐ２ｂ・・２ポートＳＡＷ共振子
Claims (15)
- 【請求項１】 圧電基板の主表面上に表面波の伝搬方向
に沿って３つのＩＤＴ電極とこれらの両側にグレーティ
ング反射器とを配置すると共に、中央のＩＤＴ電極の一
方のくし形電極を第１の端子とし、両側の２つのＩＤＴ
電極のそれぞれ一方の側のくし形電極を接続して第２の
端子とし、他のくし形電極をそれぞれ接地して形成した
２ポート弾性表面波共振子と、ＩＤＴ電極とその両側に
配置したグレーティング反射器からなる１ポート弾性表
面波共振子とを互いに並列を接続したものであって、入
力の位相に対して２ポート弾性表面波共振子の出力が逆
相となり、１ポート弾性表面波共振子の出力が同相であ
ることを特徴とする共振子型弾性表面波フィルタ。 - 【請求項２】 前記１ポート弾性表面波共振子を複数の
１ポート表面波共振子から構成したことを特徴とする請
求項１記載の共振子型弾性表面波フィルタ。 - 【請求項３】 前記２ポート弾性表面波共振子の中央の
ＩＤＴ電極と両側のＩＤＴ電極との相隣接する電極指の
中心間間隔Ｌを、λ／４≦Ｌ＜λ／２（λはＩＤＴ電極
周期）を満たすように設定したことを特徴とする請求項
１または２に記載の共振子型弾性表面波フィルタ。 - 【請求項４】 前記２ポート弾性表面波共振子の中央の
ＩＤＴ電極の最外側の電極指、あるいは両側のＩＤＴ電
極の最内側の電極指を幅広に形成したことを特徴とする
請求項１乃至３に記載の共振子型弾性表面波フィルタ。 - 【請求項５】 前記２ポート弾性表面波共振子の３つの
ＩＤＴ電極のライン占有率をグレーティング反射器のそ
れよりも大きくしたことを特徴とする請求項１乃至４に
記載の共振子型弾性表面波フィルタ。 - 【請求項６】 前記２ポート弾性表面波共振子の中央の
ＩＤＴ電極と両側のＩＤＴ電極との相隣接する電極指の
中心間間隔ＬをＩＤＴ電極の電極周期λの１／２とする
と共に、相隣接する電極指の一方を入力あるいは出力
に、他方の電極指を接地したことを特徴とする請求項１
に記載の共振子型弾性表面波フィルタ。 - 【請求項７】 前記１ポート弾性表面波共振子を２分割
すると共にこれらを直列接続したことを特徴とする請求
項１乃至６記載の共振子型弾性表面波フィルタ。 - 【請求項８】 請求項１乃至７に記載の共振子型弾性表
面波フィルタの入力あるいは出力に直列に少なくとも１
個の１ポート弾性表面波共振子を接続したことを特徴と
する共振子型弾性表面波フィルタ。 - 【請求項９】 請求項１乃至８に記載の共振子型弾性表
面波フィルタの入力あるいは出力に並列に少なくとも１
個の１ポート弾性表面波共振子を接続したことを特徴と
する共振子型弾性表面波フィルタ。 - 【請求項１０】 前記２ポート弾性表面波共振子のＩＤ
Ｔ電極にミドルグレーティングを形成したことを特徴と
する請求項１、２、５、７、８、９のいずれかに記載の
共振子型弾性表面波フィルタ。 - 【請求項１１】 前記２ポート弾性表面波共振子の中央
のＩＤＴ電極と両側のＩＤＴ電極との隣接部の電極周期
が他の部分の電極周期より小さくしたことを特徴とする
請求項１、２、５、７、８、９のいずれかに記載の共振
子型弾性表面波フィルタ。 - 【請求項１２】 圧電基板の主表面上に表面波の伝搬方
向に沿って３つのＩＤＴ電極とこれらの両側にグレーテ
ィング反射器とを配置した２ポートＳＡＷ共振子を形成
すると共に、一つのＩＤＴ電極とグレーティング反射器
とからなる２つの１ポートＳＡＷ共振子を、前記２ポー
トＳＡＷ共振子を挟むようにそれぞれ配設し、前記２ポ
ートＳＡＷ共振子の中央ＩＤＴ電極を構成する各バスバ
ーと前記１ポートＳＡＷ共振子の２ポートＳＡＷ共振子
側のバスバーとをそれぞれ一体化し、該２本のバスバー
と２つの入力端子ＩＮ１、２とをそれぞれ接続すると共
に、前記２ポートＳＡＷ共振子の外側のＩＤＴ電極を構
成する少なくとも一方のバスバーと前記１ポートＳＡＷ
共振子の外寄りのバスバーとを圧電基板上に形成したリ
ード電極にてそれぞれ接続し、これらをそれぞれ２つの
出力端子ＯＵＴ１、２に接続して構成したことを特徴と
する平衡型の共振子型弾性表面波フィルタ。 - 【請求項１３】 前記２ポートＳＡＷ共振子の外側のＩ
ＤＴ電極のうち１ポートＳＡＷ共振子と接続されていな
いバスバーを接地したことを特徴とする請求項１２に記
載の平衡型の共振子型弾性表面波フィルタ。 - 【請求項１４】 圧電基板の主表面上に表面波の伝搬方
向に沿って３つのＩＤＴ電極とこれらの両側にグレーテ
ィング反射器とを配置して２ポートＳＡＷ共振子を形成
すると共に、該２ポートＳＡＷ共振子と並行してＩＤＴ
電極とグレーティング反射器とからなる１ポートＳＡＷ
共振子を配設し、前記２ポートＳＡＷ共振子の中央ＩＤ
Ｔ電極の１ポートＳＡＷ共振子側のバスバーと前記１ポ
ートＳＡＷ共振子の２ポートＳＡＷ共振子側のバスバー
とを一体化し、該バスバーと入力端子ＩＮとを接続し、
前記２ポートＳＡＷ共振子の外側のＩＤＴ電極の１ポー
トＳＡＷ共振子側のバスバーと前記１ポートＳＡＷ共振
子の外側のバスバーとを圧電基板上に形成したリード電
極にて接続し、これを出力端子ＯＵＴに接続して構成す
る共振子型ＳＡＷフィルタを同一の圧電基板上に２組み
形成したことを特徴とする平衡型の共振子型弾性表面波
フィルタ。 - 【請求項１５】 圧電基板の主面上に表面波の伝搬方向
に沿って３つのＩＤＴ電極とそれらの両側にグレーティ
ング反射器とを配置して形成した１次−３次縦結合二重
モードＳＡＷフィルタと請求項１２に記載の共振子型Ｓ
ＡＷフィルタとを縦続接続して構成したことを特徴とす
る平衡型の共振子型弾性表面波フィルタ。
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|---|---|
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018030170A1 (ja) * | 2016-08-10 | 2018-02-15 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及びラダー型フィルタ |
-
2002
- 2002-04-17 JP JP2002114056A patent/JP3840575B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JPWO2018030170A1 (ja) * | 2016-08-10 | 2019-03-28 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及びラダー型フィルタ |
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