WO2016021350A1

WO2016021350A1 - ベローズポンプ装置

Info

Publication number: WO2016021350A1
Application number: PCT/JP2015/069374
Authority: WO
Inventors: 祐太松田; 篤中野; 慶士永江; 山崎　健司; 宮本　正樹
Original assignee: 日本ピラー工業株式会社
Priority date: 2014-08-08
Filing date: 2015-07-06
Publication date: 2016-02-11
Also published as: TWI658208B; EP3179105A1; US20170191476A1; EP3179105A4; KR101856578B1; CN106795876A; KR20170013232A; US10309391B2; CN106795876B; TW201623795A; EP3179105B1

Abstract

　ベローズの収縮動作時において移送流体の吐出圧力が落ち込むのを低減することができるベローズポンプ装置を提供する。ベローズポンプ装置（ＢＰ）は、密閉された吐出側空気室（２１）に加圧空気を供給することで吐出側空気室（２１）内に配置されたベローズ（１３，１４）を収縮動作させて移送流体を吐出するとともに、吐出側空気室（２１）から加圧空気を排出することでベローズ（１３，１４）を伸長動作させて移送流体を吸入する。ベローズポンプ装置（ＢＰ）は、ベローズ（１３，１４）の収縮動作時において、吐出側空気室（２１）に供給する加圧空気の空気圧を、ベローズ（１３，１４）の収縮特性に対応して上昇させるように、空気圧を調整する電空レギュレータ（５１，５２）を備えている。

Description

ベローズポンプ装置

　本発明は、ベローズポンプ装置に関する。

　半導体製造や化学工業等において、薬液や溶剤等の移送流体を送給させるためのポンプとして、ベローズポンプが使用される場合がある。
　このベローズポンプは、例えば、特許文献１に記載されているように、ポンプヘッドの左右方向（水平方向）の両側にポンプケースを連結して２つの空気室を形成し、各空気室の内部にそれぞれ左右方向に伸縮可能な一対のベローズを設け、各空気室に交互に加圧空気を供給することによって各ベローズを収縮又は伸長させるように構成されている。ベローズポンプには、各空気室に供給する加圧空気を適正な空気圧に調整する機械式レギュレータが接続されている。

　ポンプヘッドには、各ベローズの内部と連通する移送流体の吸込通路と吐出通路とが形成され、さらに、吸込通路及び吐出通路に対する一方向への移送流体の流れを許容し、他方向への移送流体の流れを阻止するチェックバルブが設けられている。吸込通路用のチェックバルブは、ベローズの伸長により開くことによって吸込通路からベローズ内への移送流体の流れを許容し、ベローズの収縮により閉じることによって、当該ベローズ内から吸込通路への移送流体の流れを阻止するように構成されている。また、吐出通路用のチェックバルブは、ベローズの伸長により閉じることによって、吐出通路からベローズ内への移送流体の流れを阻止し、ベローズの収縮により開くことによって、ベローズ内から吐出通路への移送流体の流れを許容するように構成されている。

　一対のベローズは、タイロッドにより一体に連結されており、一方のベローズが収縮して吐出通路へ移送流体を吐出すると、これと同時に他方のベローズが強制的に伸長して吸込通路から移送流体が吸い込まれる。また、前記他方のベローズが収縮して吐出通路へ移送流体を吐出すると、これと同時に前記一方のベローズが強制的に伸長して吸込通路から移送流体が吸い込まれるようになっている。

特開２０１２－２１１５１２号公報

　上記構成のベローズポンプでは、ベローズの外側に形成された空気室に加圧空気を供給してベローズを収縮させるとき、その収縮が進むに従ってベローズを収縮させるのに必要な応力が増加するため、空気室に供給する加圧空気の空気圧を上昇させる必要がある。しかし、加圧空気の空気圧を調整する機械式レギュレータは、空気室の空気圧を上昇させるために一時的にバルブを開ける制御を行うことができない。このため、図２２に示すように、各ベローズが収縮している間に、移送流体の吐出圧力が徐々に落ち込む現象（図中の破線で囲んだ部分）が発生し、これが脈動の原因となっていた。

　本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、ベローズの収縮動作時において移送流体の吐出圧力が落ち込むのを低減することができるベローズポンプ装置を提供することを目的とする。

　本発明のベローズポンプ装置は、密閉された空気室に加圧空気を供給することで前記空気室内に配置されたベローズを収縮動作させて移送流体を吐出するとともに、前記空気室から加圧空気を排出することで前記ベローズを伸長動作させて移送流体を吸入するベローズポンプ装置であって、前記ベローズの収縮動作時において、前記空気室に供給する加圧空気の空気圧を、前記ベローズの収縮特性に対応して上昇させるように調整する電空レギュレータを備えていることを特徴とする。

　上記のように構成されたベローズポンプ装置によれば、ベローズの収縮動作時において、空気室に供給される加圧空気の空気圧は、電空レギュレータによりベローズの収縮特性に対応して上昇するため、ベローズが収縮するに従って空気室における加圧空気の空気圧を上昇させることができる。これにより、ベローズが収縮している間に移送流体の吐出圧力が落ち込むのを低減することができる。

　前記電空レギュレータは、単位時間ごとに以下の式を用いて前記空気圧を調整するのが好ましい。
　Ｐ＝ａＸ＋ｂ
　ただし、Ｐは前記空気圧、ａは圧力増加係数、Ｘは前記ベローズの伸縮位置、ｂは初期空気圧である。
　この場合、ベローズが収縮している間に移送流体の吐出圧力が落ち込むのを効果的に低減することができる。

　上記ベローズポンプ装置において、前記ベローズは、互いに独立して伸縮自在な第１ベローズ及び第２ベローズからなり、前記第１ベローズを最伸長状態と最収縮状態との間で連続して伸縮動作させる第１駆動装置と、前記第２ベローズを最伸長状態と最収縮状態との間で連続して伸縮動作させる第２駆動装置と、前記第１ベローズの伸縮状態を検知する第１検知手段と、前記第２ベローズの伸縮状態を検知する第２検知手段と、前記第１及び第２検知手段の各検知信号に基づいて、前記第１ベローズが最収縮状態となる手前で前記第２ベローズを最伸長状態から収縮させるとともに、前記第２ベローズが最収縮状態となる手前で前記第１ベローズを最伸長状態から収縮させるように、前記第１及び第２駆動装置を駆動制御する制御部と、をさらに備えているのが好ましい。

　この場合、第１ベローズ及び第２ベローズを互いに独立して伸縮自在とし、制御部において、第１ベローズが最収縮状態となる手前で第２ベローズを最伸長状態から収縮させるとともに、第２ベローズが最収縮状態となる手前で第１ベローズを最伸長状態から収縮させるように駆動制御するようにしたので、一方のベローズの収縮（吐出）から伸長（吸い込み）への切り換えタイミングにおいて、他方のベローズは既に収縮して移送流体を吐出しているので、前記切り換えタイミングにおいて吐出圧力が落ち込むのを低減することができる。その結果、ベローズポンプ装置の吐出側の脈動を低減することができる。

　上記ベローズポンプ装置にあっては、電空レギュレータは加圧空気の空気圧を常に一定の圧力増加係数とした出力サイクルで加圧空気を出力するため、以下のような問題が生じる恐れがある。
　すなわち、上記ベローズポンプ装置により、例えば高温の移送流体と低温の移送流体とをこの順に送給する場合、高温の移送流体の送給から低温の移送流体の送給に切り替わると、ベローズ内に吸い込まれる移送流体の温度が低くなることで、ベローズが硬くなる場合がある。このような変化が生じた場合、ベローズは収縮し難くなるが、電空レギュレータはベローズの硬さに関係なく空気圧を一定の圧力増加係数とした出力サイクルで加圧空気を出力するため、移送流体の吐出圧力が低下し、その吐出圧力を一定にすることができなくなる。

　移送流体の吐出圧力を一定にすることができなくなると、ベローズポンプ装置の脈動が大きくなり、移送流体の送給配管の途中に設置されたフィルタから異物が流出したり、ノズル先端から噴出される移送流体の脈動によりウエハ上のパターンが倒壊したりするなど、半導体製造プロセスに悪影響を及ぼす恐れがある。

　そこで、上記ベローズポンプ装置において、前記移送流体の温度を検出する温度検出部と、前記温度検出部の検出値が低くなるほど、前記空気圧を上昇させるときの圧力増加係数が大きくなるように前記電空レギュレータを制御する制御部と、をさらに備えているのが好ましい。
　この場合、制御部は、温度検出部で検出された移送流体の温度が低くなるほど、ベローズの収縮動作時に空気室に供給される加圧空気の空気圧の圧力増加係数が大きくなるように電空レギュレータを制御する。これにより、例えば、移送流体の温度が低下してベローズが硬くなっても、空気室に供給される加圧空気の空気圧の圧力増加係数が大きくなることで、移送流体の温度低下前の空気圧よりも高い空気圧でベローズを収縮させることができる。したがって、移送流体の温度変化によりベローズの硬さが変化しても、ベローズが収縮している間に移送流体の吐出圧力が変化するのを抑制することができる。

　前記制御部は、前記温度検出部の検出値に基づいて、前記空気圧の最大値が前記ベローズの許容耐圧を超えないように、前記空気圧の圧力増加係数を設定するのが好ましい。
　この場合、空気室に供給される加圧空気の空気圧の圧力増加係数が大きくなっても、その空気圧の最大値がベローズの許容耐圧を超えることはないので、空気圧の上昇によってベローズが変形したり破損したりするのを防止することができる。

　前記制御部は、複数の温度領域それぞれに対応して前記圧力増加係数が設定されたルックアップテーブルを有し、前記ルックアップテーブルに基づいて前記電空レギュレータを制御するのが好ましい。
　この場合、ルックアップテーブルに基づいて電空レギュレータを容易に制御することができる。

　本発明のベローズポンプ装置によれば、ベローズの収縮動作時において移送流体の吐出圧力が落ち込むのを低減することができる。

本発明の第１実施形態に係るベローズポンプ装置の概略構成図である。ベローズポンプの断面図である。ベローズポンプの動作を示す説明図である。ベローズポンプの動作を示す説明図である。制御部の内部構成を示すブロック図である。ベローズポンプの駆動制御の一例を示すタイムチャートである。第１ベローズが最収縮状態となる手前で、最伸長状態の第２ベローズが収縮を開始した状態を示す断面図である。第２ベローズが最収縮状態となる手前で、最伸長状態の第１ベローズが収縮を開始した状態を示す断面図である。第１及び第２電空レギュレータの空気圧の調整の一例を示すグラフである。ベローズポンプから吐出される移送流体の吐出圧力を示すグラフである。第１実施形態に係るベローズポンプ装置の変形例を示す概略構成図である。本発明の第２実施形態に係るベローズポンプ装置を備えた流体送給システムの構成を示す模式図である。第２実施形態のベローズポンプ装置の概略構成図である。第２実施形態の制御部が有するルックアップテーブルの一例である。第２実施形態において複数の温度領域それぞれに対応して制御部により制御される電空レギュレータの空気圧の変化を示すグラフである。第２実施形態における移送流体の温度とベローズの許容耐圧との関係を示すグラフである。比較例１に係る電空レギュレータの制御によりベローズポンプから吐出される移送流体の吐出圧力の変化を示すグラフである。第２実施形態の実施例１に係る電空レギュレータの制御によりベローズポンプから吐出される移送流体の吐出圧力の変化を示すグラフである。比較例２に係る電空レギュレータの制御によりベローズポンプから吐出される移送流体の吐出圧力の変化を示すグラフである。第２実施形態の実施例２に係る電空レギュレータの制御によりベローズポンプから吐出される移送流体の吐出圧力の変化を示すグラフである。第２実施形態の実施例３に係る電空レギュレータの制御によりベローズポンプから吐出される移送流体の吐出圧力の変化を示すグラフである。従来のベローズポンプから吐出される移送流体の吐出圧力を示すグラフである。

　次に、本発明の好ましい実施形態について添付図面を参照しながら説明する。
［第１実施形態］
　＜ベローズポンプの全体構成＞
　図１は、本発明の第１実施形態に係るベローズポンプ装置の概略構成図である。本実施形態のベローズポンプ装置ＢＰは、例えば半導体製造装置において薬液や溶剤等の移送流体を一定量供給するときに用いられる。このベローズポンプ装置ＢＰは、ベローズポンプ１と、当該ベローズポンプ１に加圧空気（作動流体）を供給するエアコンプレッサ等の空気供給装置２と、前記加圧空気の空気圧を調整する機械式レギュレータ３及び２個の第１及び第２電空レギュレータ５１，５２と、２個の第１及び第２切換バルブ４，５と、ベローズポンプ１の駆動を制御する制御部６とを備えている。

　図２は、本実施形態のベローズポンプの断面図である。
　本実施形態のベローズポンプ１は、ポンプヘッド１１と、このポンプヘッド１１の左右方向（水平方向）の両側に取り付けられる一対のポンプケース１２と、各ポンプケース１２の内部において、ポンプヘッド１１の左右方向の側面に取り付けられる２個の第１及び第２ベローズ１３，１４と、各ベローズ１３，１４の内部において、ポンプヘッド１１の左右方向の側面に取り付けられる４個のチェックバルブ１５，１６と、を備えている。

　＜ベローズの構成＞
　第１及び第２ベローズ１３，１４は、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）やＰＦＡ（テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）等のフッ素樹脂により有底筒形状に形成され、その開放端部に一体形成されたフランジ部１３ａ，１４ａはポンプヘッド１１の側面に気密状に押圧固定されている。第１及び第２ベローズ１３，１４の各周壁は蛇腹形状に形成され、互いに独立して水平方向に伸縮可能に構成されている。具体的には、第１及び第２ベローズ１３，１４は、後述する作動板１９の外面がポンプケース１２の底壁部１２ａの内方側面に当接する最伸長状態と、後述するピストン体２３の内方側面がポンプケース１２の底壁部１２ａの外方側面に当接する最収縮状態との間で伸縮するようになっている。
　第１及び第２ベローズ１３，１４の底部の外面には、ボルト１７及びナット１８により作動板１９が連結部材２０の一端部とともに固定されている。

　＜ポンプケースの構成＞
　ポンプケース１２は、有底円筒状に形成されており、その開口周縁部は、対応するベローズ１３（１４）のフランジ部１３ａ（１４ａ）に気密状に押圧固定されている。これにより、ポンプケース１２の内部には、気密状態が保持された吐出側空気室２１が形成されている。
　ポンプケース１２には吸排気ポート２２がそれぞれ設けられており、吸排気ポート２２は、切換バルブ４（５）、電空レギュレータ５１（５２）及び機械式レギュレータ３を介して空気供給装置２に接続されている（図１参照）。これにより、空気供給装置２から機械式レギュレータ３、電空レギュレータ５１（５２）及び切換バルブ４（５）及び吸排気ポート２２を介して吐出側空気室２１の内部に加圧空気を供給することで、ベローズ１３（１４）が収縮するようになっている。

　また、各ポンプケース１２の底壁部１２ａには、前記連結部材２０が水平方向に摺動可能に支持されており、この連結部材２０の他端部にはピストン体２３がナット２４により固定されている。ピストン体２３は、前記底壁部１２ａの外方側面に一体に設けられた円筒状のシリンダ体２５の内周面に対して、気密状態を保持しながら水平方向へ摺動可能に支持されている。これにより、前記底壁部１２ａ、シリンダ体２５、及びピストン体２３とによって囲まれた空間は、気密状態が保持された吸込側空気室２６とされている。

　前記シリンダ体２５には吸込側空気室２６に連通する吸排気口２５ａが形成されており、この吸排気口２５ａは、前記切換バルブ４（５）、電空レギュレータ５１（５２）及び機械式レギュレータ３を介して空気供給装置２に接続されている（図１参照）。これにより、空気供給装置２から機械式レギュレータ３、電空レギュレータ５１（５２）及び切換バルブ４（５）及び吸排気口２５ａを介して吸込側空気室２６の内部に加圧空気を供給することで、ベローズ１３（１４）が伸長するようになっている。
　各ポンプケース１２の底壁部１２ａの下方には、移送流体の吐出側空気室２１への漏洩を検知するための漏洩センサ４０が取り付けられている。

　なお、本実施形態のベローズポンプ装置ＢＰでは、吸込側空気室２６の内部全体に加圧空気が充填されるまでの時間は、吐出側空気室２１の内部全体に加圧空気が充填されるまでの時間よりも短くなっている。つまり、ベローズ１３（１４）が最収縮状態から最伸長状態まで伸長する伸長時間（吸込時間）は、当該ベローズ１３（１４）が最伸長状態から最収縮状態まで収縮する収縮時間（吐出時間）よりも短くなっている。

　以上の構成により、図２左側の吐出側空気室２１が形成されたポンプケース１２と、図２左側の吸込側空気室２６を形成するピストン体２３及びシリンダ体２５とにより、第１ベローズ１３を最伸長状態と最収縮状態との間で連続して伸縮動作させる第１エアシリンダ部（第１駆動装置）２７が構成されている。
　また、図２右側の吐出側空気室２１が形成されたポンプケース１２と、図２右側の吸込側空気室２６が形成されたピストン体２３及びシリンダ体２５とにより、第２ベローズ１４を最伸長状態と最収縮状態との間で連続して伸縮動作させる第２エアシリンダ部（第２駆動装置）２８が構成されている。

　第１エアシリンダ部２７のシリンダ体２５には、一対の近接センサ２９Ａ，２９Ｂが取り付けられ、ピストン体２３には各近接センサ２９Ａ，２９Ｂにより検知される被検知板３０が取り付けられている。被検知板３０は、ピストン体２３とともに往復動することで、近接センサ２９Ａ，２９Ｂに交互に近接することにより検知される。

　近接センサ２９Ａは、第１ベローズ１３の最収縮状態を検知する第１最収縮検知部であり、第１ベローズ１３が最収縮状態のときに被検知板３０を検知する位置に配置されている。近接センサ２９Ｂは、第１ベローズ１３の最伸長状態を検知する第１最伸長検知部であり、第１ベローズ１３が最伸長状態のときに被検知板３０を検知する位置に配置されている。各近接センサ２９Ａ，２９Ｂの検知信号は制御部６に送信される。本実施形態では、上記一対の近接センサ２９Ａ，２９Ｂにより、第１ベローズ１３の伸縮状態を検知する第１検知手段２９が構成されている。

　同様に、第２エアシリンダ部２８のシリンダ体２５には、一対の近接センサ３１Ａ，３１Ｂが取り付けられ、ピストン体２３には各近接センサ３１Ａ，３１Ｂより検知される被検知板３２が取り付けられている。被検知板３２は、ピストン体２３とともに往復動することで、近接センサ３１Ａ，３１Ｂに交互に近接することにより検知される。

　近接センサ３１Ａは、第２ベローズ１４の最収縮状態を検知する第２最収縮検知部であり、第２ベローズ１４が最収縮状態のときに被検知板３２を検知する位置に配置されている。近接センサ３１Ｂは、第２ベローズ１４の最伸長状態を検知する第２最伸長検知部であり、第２ベローズ１４が最伸長状態のときに被検知板３２を検知する位置に配置されている。各近接センサ３１Ａ，３１Ｂの検知信号は制御部６に送信される。本実施形態では、一対の近接センサ３１Ａ，３１Ｂにより、第２ベローズ１４の伸縮状態を検知する第２検知手段３１が構成されている。

　空気供給装置２によって生成された加圧空気は、第１検知手段２９の一対の近接センサ２９Ａ，２９Ｂが被検知板３０を交互に検知することで、第１エアシリンダ部２７の吸込側空気室２６と吐出側空気室２１とに交互に供給される。これにより、第１ベローズ１３は連続して伸縮動作する。

　また、前記加圧空気は、第２検知手段３１の一対の近接センサ３１Ａ，３１Ｂが被検知板３２を交互に検知することで、第２エアシリンダ部２８の吸込側空気室２６と吐出側空気室２１とに交互に供給される。これにより、第２ベローズ１４は連続して伸縮動作する。その際、第２ベローズ１４の伸長動作は主に第１ベローズ１３の収縮動作時に行われ、第２ベローズ１４の収縮動作は主に第１ベローズ１３の伸長動作時に行われる。このように、第１ベローズ１３及び第２ベローズ１４は、交互に伸縮動作を繰り返すことで、各ベローズ１３，１４の内部への移送流体の吸込と吐出とが交互に行われ、当該移送流体が移送されるようになっている。

　＜ポンプヘッドの構成＞
　ポンプヘッド１１は、ＰＴＦＥやＰＦＡ等のフッ素樹脂から形成されている。ポンプヘッド１１の内部には、移送流体の吸込通路３４と吐出通路３５とが形成されており、この吸込通路３４及び吐出通路３５は、ポンプヘッド１１の外周面において開口し、当該外周面に設けられた吸込ポート及び吐出ポート（いずれも図示省略）に接続されている。吸込ポートは移送流体の貯留タンク等に接続され、吐出ポートは移送流体の移送先に接続される。また、吸込通路３４及び吐出通路３５は、それぞれポンプヘッド１１の左右両側面に向けて分岐するとともに、ポンプヘッド１１の左右両側面において開口する吸込口３６及び吐出口３７を有している。各吸込口３６及び各吐出口３７は、それぞれチェックバルブ１５，１６を介してベローズ１３，１４の内部と連通している。

　＜チェックバルブの構成＞
　各吸込口３６及び各吐出口３７には、チェックバルブ１５，１６が設けられている。
　吸込口３６に取り付けられたチェックバルブ１５（以下、「吸込用チェックバルブ」ともいう）は、バルブケース１５ａと、このバルブケース１５ａに収容された弁体１５ｂと、この弁体１５ｂを閉弁方向に付勢する圧縮コイルバネ１５ｃとを有している。バルブケース１５ａは有底円筒形状に形成されており、その底壁にはベローズ１３，１４の内部に連通する貫通孔１５ｄが形成されている。弁体１５ｂは、圧縮コイルバネ１５ｃの付勢力により吸込口３６を閉鎖（閉弁）し、ベローズ１３，１４の伸縮に伴う移送流体の流れによる背圧が作用すると吸込口３６を開放（開弁）するようになっている。
　これにより、吸込用チェックバルブ１５は、自身が配置されているベローズ１３，１４が伸長したときに開弁して、吸込通路３４からベローズ１３，１４内部に向かう方向（一方向）への移送流体の吸引を許容し、当該ベローズ１３，１４が収縮したときに閉弁して、ベローズ１３，１４内部から吸込通路３４に向かう方向（他方向）への移送流体の逆流を阻止する。

　吐出口３７に取り付けられたチェックバルブ１６（以下、「吐出用チェックバルブ」ともいう）は、バルブケース１６ａと、このバルブケース１６ａに収容された弁体１６ｂと、この弁体１６ｂを閉弁方向に付勢する圧縮コイルバネ１６ｃとを有している。バルブケース１６ａは有底円筒形状に形成されており、その底壁にはベローズ１３，１４の内部に連通する貫通孔１６ｄが形成されている。弁体１６ｂは、圧縮コイルバネ１６ｃの付勢力によりバルブケース１６ａの貫通孔１６ｄを閉鎖（閉弁）し、ベローズ１３，１４の伸縮に伴う移送流体の流れによる背圧が作用するとバルブケース１６ａの貫通孔１６ｄを開放（開弁）するようになっている。

　これにより、吐出用チェックバルブ１６は、自身が配置されているベローズ１３，１４が収縮したときに開弁して、ベローズ１３，１４内部から吐出通路３５に向かう方向（一方向）への移送流体の流出を許容し、当該ベローズ１３，１４が伸長したときに閉弁して、吐出通路３５からベローズ１３，１４内部に向かう方向（他方向）への移送流体の逆流を阻止する。

　＜ベローズポンプの動作＞
　次に、本実施形態のベローズポンプ１の動作を図３及び図４を参照して説明する。なお、図３及び図４においては第１及び第２ベローズ１３，１４の構成を簡略化して示している。
　図３に示すように、第１ベローズ１３が収縮し、第２ベローズ１４が伸長した場合、ポンプヘッド１１の図中左側に装着された吸込用チェックバルブ１５及び吐出用チェックバルブ１６の各弁体１５ｂ，１６ｂは、第１ベローズ１３内の移送流体から圧力を受けて各バルブケース１５ａ，１６ａの図中右側にそれぞれ移動する。これにより吸込用チェックバルブ１５が閉じるともに、吐出用チェックバルブ１６が開き、第１ベローズ１３内の移送流体が吐出通路３５からポンプ外へ排出される。

　一方、ポンプヘッド１１の図中右側に装着された吸込用チェックバルブ１５及び吐出用チェックバルブ１６の各弁体１５ｂ，１６ｂは、第２ベローズ１４による吸引作用によって各バルブケース１５ａ，１６ａの図中右側にそれぞれ移動する。これにより吸込用チェックバルブ１５が開くとともに、吐出用チェックバルブ１６が閉じ、吸込通路３４から第２ベローズ１４内に移送流体が吸い込まれる。

　次に、図４に示すように、第１ベローズ１３が伸長し、第２ベローズ１４が収縮した場合、ポンプヘッド１１の図中右側に装着された吸込用チェックバルブ１５及び吐出用チェックバルブ１６の各弁体１５ｂ，１６ｂは、第２ベローズ１４内の移送流体から圧力を受けて各バルブケース１５ａ，１６ａの図中左側に移動する。これにより吸込用チェックバルブ１５が閉じるともに、吐出用チェックバルブ１６が開き、第２ベローズ１４内の移送流体が吐出通路３５からポンプ外へ排出される。

　一方、ポンプヘッド１１の図中左側に装着された吸込用チェックバルブ１５及び吐出用チェックバルブ１６の各弁体１５ｂ，１６ｂは、第１ベローズ１３による吸引作用によって各バルブケース１５ａ，１６ａの図中左側に移動する。これにより吸込用チェックバルブ１５が開くとともに、吐出用チェックバルブ１６が閉じ、吸込通路３４から第１ベローズ１３内に移送流体が吸い込まれる。
　以上の動作を繰り返し行うことで、左右のベローズ１３，１４は、交互に移送流体の吸引と排出とを行うことができる。

　＜切換バルブの構成＞
　図１において、第１切換バルブ４は、空気供給装置２から第１エアシリンダ部２７の吐出側空気室２１及び吸込側空気室２６への加圧空気の給排を切り換えるものであり、例えば一対のソレノイド４ａ，４ｂを有する三位置の電磁切換弁からなる。各ソレノイド４ａ，４ｂは制御部６から指令信号を受けて励磁されるようになっている。なお、本実施形態の第１切換バルブ４は、三位置の電磁切換弁からなるが、中立位置を有しない二位置の電磁切換弁であっても良い。

　第１切換バルブ４は、両ソレノイド４ａ，４ｂが消磁状態のときには中立位置に保持されており、空気供給装置２から第１エアシリンダ部２７の吐出側空気室２１（吸排気ポート２２）及び吸込側空気室２６（吸排気口２５ａ）への加圧空気の供給は遮断され、第１エアシリンダ部２７の吐出側空気室２１及び吸込側空気室２６は、いずれも大気と連通して開放されている。

　また、第１切換バルブ４は、ソレノイド４ａが励磁されると、図中の下位置に切り換わり、空気供給装置２から第１エアシリンダ部２７の吐出側空気室２１に加圧空気が供給される。その際、第１エアシリンダ部２７の吸込側空気室２６は大気と連通して開放されている。これにより、第１ベローズ１３を収縮させることができる。

　さらに、第１切換バルブ４は、ソレノイド４ｂが励磁されると、図中の上位置に切り換わり、空気供給装置２から第１エアシリンダ部２７の吸込側空気室２６に加圧空気が供給される。その際、第１エアシリンダ部２７の吐出側空気室２１は大気と連通して開放されている。これにより、第１ベローズ１３を伸長させることができる。

　第２切換バルブ５は、空気供給装置２から第２エアシリンダ部２８の吐出側空気室２１及び吸込側空気室２６への加圧空気の給排を切り換えるものであり、例えば一対のソレノイド５ａ，５ｂを有する三位置の電磁切換弁からなる。各ソレノイド５ａ，５ｂは制御部６から指令信号を受けて励磁されるようになっている。なお、本実施形態の第２切換バルブ５は、三位置の電磁切換弁からなるが、中立位置を有しない二位置の電磁切換弁であっても良い。

　第２切換バルブ５は、両ソレノイド５ａ，５ｂが消磁状態のときには中立位置に保持されており、空気供給装置２から第２エアシリンダ部２８の吐出側空気室２１（吸排気ポート２２）及び吸込側空気室２６（吸排気口２５ａ）への加圧空気の供給は遮断され、第２エアシリンダ部２８の吐出側空気室２１及び吸込側空気室２６は、いずれも大気と連通して開放されている。

　また、第２切換バルブ５は、ソレノイド５ａが励磁されると、図中の下位置に切り換わり、空気供給装置２から第２エアシリンダ部２８の吐出側空気室２１に加圧空気が供給される。その際、第２エアシリンダ部２８の吸込側空気室２６は大気と連通して開放されている。これにより、第２ベローズ１４を収縮させることができる。

　さらに、第２切換バルブ５は、ソレノイド５ｂが励磁されると、図中の上位置に切り換わり、空気供給装置２から第２エアシリンダ部２８の吸込側空気室２６に加圧空気が供給される。その際、第２エアシリンダ部２８の吐出側空気室２１は大気と連通して開放されている。これにより、第２ベローズ１４を伸長させることができる。

　図１において、第１エアシリンダ部２７の吐出側空気室２１（吸排気ポート２２）と第１切換バルブ４との間には、第１急速排気弁６１が吐出側空気室２１に隣接して配置されている。第１急速排気弁６１は、加圧空気を排出する排気口６１ａを有しており、第１切換バルブ４から吐出側空気室２１への加圧空気の流れを許容するとともに、吐出側空気室２１から流れ出た加圧空気を排気口６１ａから排出するようになっている。これにより、吐出側空気室２１内の加圧空気を、第１切換バルブ４を介することなく、第１急速排気弁６１から迅速に排出することができる。

　同様に、第２エアシリンダ部２８の吐出側空気室２１（吸排気ポート２２）と第２切換バルブ５との間には、第２急速排気弁６２が吐出側空気室２１に隣接して配置されている。第２急速排気弁６２は、加圧空気を排出する排気口６２ａを有しており、第２切換バルブ５から吐出側空気室２１への加圧空気の流れを許容するとともに、吐出側空気室２１から流れ出た加圧空気を排気口６２ａから排出するようになっている。これにより、吐出側空気室２１内の加圧空気を、第２切換バルブ５を介することなく、第２急速排気弁６２から迅速に排出することができる。

　なお、各エアシリンダ部２７，２８の吸込側空気室２６（吸排気口２５ａ）と、対応する切換バルブ４，５との間には急速排気弁は配置されていない。吸込側に急速排気弁を取り付けた場合、吐出側に急速排気弁を取り付けた場合と同様の効果が得られるが、その効果は吐出側ほど大きくない。そのため、吸込側の急速排気弁は、コスト面より実施例としては設置していない。

　＜制御部の構成＞
　制御部６は、第１検知手段２９及び第２検知手段３１（図２参照）の検知信号に基づいて、各切換バルブ４，５を切り換えることで、ベローズポンプ１の第１エアシリンダ部２７及び第２エアシリンダ部２８の各駆動を制御するものである。
　図５は、制御部６の内部構成を示すブロック図である。制御部６は、第１及び第２算出部６ａ，６ｂと、第１及び第２決定部６ｃ，６ｄと、駆動制御部６ｅとを有している。

　第１算出部６ａは、一対の近接センサ２９Ａ，２９Ｂの各検知信号に基づいて、第１ベローズ１３における最収縮状態から最伸長状態までの第１伸長時間、及び最伸長状態から最収縮状態までの第１収縮時間を算出するものである。具体的には、第１算出部６ａは、近接センサ２９Ａの検知終了時点から近接センサ２９Ｂの検知時点までの経過時間を第１伸長時間として算出する。また、第１算出部６ａは、近接センサ２９Ｂの検知終了時点から近接センサ２９Ａの検知時点までの経過時間を第１収縮時間として算出する。

　第２算出部６ｂは、一対の近接センサ３１Ａ，３１Ｂの各検知信号に基づいて、第２ベローズ１４における最収縮状態から最伸長状態までの第２伸長時間、及び最伸長状態から最収縮状態までの第２収縮時間を算出するものである。具体的には、第２算出部６ｂは、近接センサ３１Ａの検知終了時点から近接センサ３１Ｂの検知時点までの経過時間を第２伸長時間として算出する。また、第２算出部６ｂは、近接センサ３１Ｂの検知終了時点から近接センサ３１Ａの検知時点までの経過時間を第２収縮時間として算出する。

　第１決定部６ｃは、算出された前記第１伸長時間及び第１収縮時間に基づいて、最伸長状態の第１ベローズ１３が収縮動作を開始する時点から、当該収縮動作により第１ベローズ１３が最収縮状態となる手前で最伸長状態の第２ベローズ１４が収縮動作を開始する時点までの第１時間差を決定する。
　本実施形態の第１決定部６ｃは、例えば、以下の式（１）を用いて第１時間差を決定する。
　第１時間差＝（第１伸長時間＋第１収縮時間）／２　　・・・（１）

　第２決定部６ｄは、算出された前記第２伸長時間及び第２収縮時間に基づいて、最伸長状態の第２ベローズ１４が収縮動作を開始する時点から、当該収縮動作により第２ベローズ１４が最収縮状態となる手前で最伸長状態の第１ベローズ１３が収縮動作を開始する時点までの第２時間差を決定する。
　本実施形態の第２決定部６ｄは、例えば、以下の式（２）を用いて第２時間差を決定する。
　第２時間差＝（第２伸長時間＋第２収縮時間）／２　　・・・（２）

　駆動制御部６ｅは、決定された前記第１及び第２時間差に基づいて、前記第１及び第２駆動装置を駆動制御する。具体的には、駆動制御部６ｅは、最伸長状態の第１ベローズ１３が収縮動作を開始した時点から前記第１時間差が経過した時点で、最伸長状態の第２ベローズ１４の収縮動作を開始させるとともに、最伸長状態の第２ベローズ１４が収縮動作を開始した時点から前記第２時間差が経過した時点で、最伸長状態の第１ベローズ１３の収縮動作を開始させるように、第１及び第２エアシリンダ部２７，２８を駆動制御する。

　図１に示すベローズポンプ装置ＢＰは、電源スイッチ８と、スタートスイッチ９と、停止スイッチ１０とをさらに備えている。
　電源スイッチ８は、ベローズポンプ１への通電をオンオフ操作する操作指令を出力するものであり、その操作指令は制御部６に入力される。スタートスイッチ９は、ベローズポンプ１を駆動させる操作指令を出力するものであり、その操作指令は制御部６に入力される。停止スイッチ１０は、第１ベローズ１３及び第２ベローズ１４をいずれも最収縮状態としたスタンバイ状態とする操作指令を出力するものである。

　＜ベローズポンプの駆動制御＞
　図６は、制御部６が行うベローズポンプ１の駆動制御の一例を示すタイムチャートである。電源スイッチ８がオフのとき、第１及び第２切換バルブ４、５（図１参照）は、中立位置に保持されている。したがって、電源スイッチ８がオフのとき、ベローズポンプ１の第１及び第２エアシリンダ部２７，２８の空気室２１，２６は大気に連通しているため、両空気室２１，２６内が大気圧でバランスした状態となるように、第１ベローズ１３及び第２ベローズ１４は、前記スタンバイ状態から少し伸長した位置で保持されている。

　ベローズポンプ１の駆動を開始させるときは、作業者によって電源スイッチ８をオン操作した後、停止スイッチ１０をオン操作し、第１ベローズ１３及び第２ベローズ１４をスタンバイ状態まで移動させる。具体的には、駆動制御部６ｅは、第１切換バルブ４のソレノイド４ａ及び第２切換バルブ５のソレノイド５ａを励磁させ、第１ベローズ１３及び第２ベローズ１４を同時に最収縮状態まで収縮させる。これにより、第１ベローズ１３及び第２ベローズ１４はスタンバイ状態に保持される。なお、このスタンバイ状態において、近接センサ２９Ａ．３１Ａは、それぞれ被検知板３０，３２を検知したオン状態となる。

　次に、作業者によりスタートスイッチ９がオン操作されると、駆動制御部６ｅは、最初に第１ベローズ１３の第１伸長時間及び第１収縮時間と、第２ベローズ１４の第２伸長時間及び第２収縮時間とを算出するための制御を実行する。
　具体的には、駆動制御部６ｅは、第１切換バルブ４のソレノイド４ａを消磁させるとともにソレノイド４ｂを励磁させ、第１ベローズ１３を最収縮状態（スタンバイ状態）から最伸長状態まで伸長させる。これと同時に、駆動制御部６ｅは、第２切換バルブ５のソレノイド５ａを消磁させるとともにソレノイド５ｂを励磁させ、第２ベローズ１４も最収縮状態（スタンバイ状態）から最伸長状態まで伸長させる。

　第１ベローズ１３が最収縮状態から最伸長状態まで伸長するとき、第１算出部６ａは、近接センサ２９Ａがオフになった時点（ｔ１）から、近接センサ２９Ｂがオンになる時点（ｔ２）までの時間をカウントし、第１ベローズ１３の第１伸長時間（ｔ２－ｔ１）を算出する。
　同様に、第２ベローズ１４が最収縮状態から最伸長状態まで伸長するとき、第２算出部６ｂは、近接センサ３１Ａがオフになった時点（ｔ１）から、近接センサ３１Ｂがオンになる時点（ｔ２）までの時間をカウントし、第２ベローズ１４の第２伸長時間（ｔ２－ｔ１）を算出する。

　次に、駆動制御部６ｅは、所定時間（ｔ３－ｔ２）経過後、第１切換バルブ４のソレノイド４ｂを消磁させるとともにソレノイド４ａを励磁させ、第１ベローズ１３のみを最伸長状態から最収縮状態まで収縮させる。
　その際、第１算出部６ａは、近接センサ２９Ｂがオフになった時点（ｔ３）から、近接センサ２９Ａがオンになる時点（ｔ４）までの時間をカウントし、第１ベローズ１３の第１収縮時間（ｔ４－ｔ３）を算出する。

　そして、第１決定部６ｃにおいて、算出された第１伸長時間及び第１収縮時間に基づいて第１時間差が決定される。本実施形態では、第１決定部６ｃは、以下の式（３）を用いて第１時間差を算出する。
　第１時間差＝（第１伸長時間＋第１収縮時間）／２＝（（ｔ２－ｔ１）＋（ｔ４－ｔ３））／２　　・・・（３）

　次に、駆動制御部６ｅは、第１ベローズ１３が最収縮状態まで収縮した時点（ｔ４）と同時に、第２切換バルブ５のソレノイド５ｂを消磁させるとともにソレノイド５ａを励磁させ、第２ベローズ１４を最伸長状態から最収縮状態まで収縮させる。
　その際、第２算出部６ｂは、近接センサ３１Ｂがオフになった時点（ｔ４）から、近接センサ３１Ａがオンになる時点（ｔ６）までの時間をカウントし、第２ベローズ１４の第２収縮時間（ｔ６－ｔ４）を算出する。

　そして、第２決定部６ｄにおいて、算出された第２伸長時間及び第２収縮時間に基づいて第２時間差が決定される。本実施形態では、第２決定部６ｄは、以下の式（４）を用いて第２時間差を算出する。
　第２時間差＝（第２伸長時間＋第２収縮時間）／２＝（（ｔ２－ｔ１）＋（ｔ６－ｔ４））／２　　・・・（４）

　なお、以降において、第１算出部６ａ及び第１決定部６ｃにより、第１ベローズ１３が１往復するたびに、上述のように第１伸長時間及び第１収縮時間が算出され、その算出された第１伸長時間及び第１収縮時間に基づいて第１時間差が決定される。
　同様に、第２算出部６ｂ及び第２決定部６ｄにより、第２ベローズ１４が１往復するたびに、上述のように第２伸長時間及び第２収縮時間が算出され、その算出された第２伸長時間及び第２収縮時間に基づいて第２時間差が決定される。

　一方、駆動制御部６ｅは、第２ベローズ１４が最収縮状態となる前に、第１ベローズ１３の駆動を開始する。具体的には、駆動制御部６ｅは、第２ベローズ１４が最収縮状態となる手前の時点（ｔ５）で、第１切換バルブ４のソレノイド４ａを消磁させるとともにソレノイド４ｂを励磁させる。これにより、第１ベローズ１３は、最収縮状態から伸長動作を開始する。
　なお、第１ベローズ１３が伸長動作を開始してから所定時間（ｔ６－ｔ５）後に、第２ベローズ１４は最収縮状態となり、近接センサ３１Ｂがオフからオンに切り換わるが、駆動制御部６ｅは、第２ベローズ１４をしばらく最収縮状態のまま保持しておく。

　その後、第１ベローズ１３が最伸長状態となった時点（ｔ７）で、近接センサ２９Ｂがオフからオンに切り換わると、駆動制御部６ｅは、所定時間（ｔ８－ｔ７）経過後、第１切換バルブ４のソレノイド４ｂを消磁させるとともにソレノイド４ａを励磁させる。これにより、第１ベローズ１３は、最伸長状態から収縮動作を開始する。
　また、駆動制御部６ｅは、ソレノイド４ａを励磁させた時点（ｔ８）から、上記で決定された第１時間差のカウントを開始する。

　そして、第１ベローズ１３が収縮動作を開始してから所定時間（ｔ９－ｔ８）が経過すると、駆動制御部６ｅは、第２切換バルブ５のソレノイド５ａを消磁させるとともにソレノイド５ｂを励磁させる。これにより、第１ベローズ１３が収縮動作をしている間に、第２ベローズ１４は最収縮状態から最伸長状態まで伸長する。
　その際、第２ベローズ１４が最伸長状態となった時点（ｔ１０）で、近接センサ３１Ｂはオフからオンに切り換わるが、駆動制御部６ｅは、第２ベローズ１４を最伸長状態のまま保持しておく。

　次に、駆動制御部６ｅは、第１時間差（ｔ１１－ｔ８）が経過すると、第２切換バルブ５のソレノイド５ｂを消磁させるとともにソレノイド５ａを励磁させる。これにより、第１ベローズ１３が最収縮状態となる手前で、第２ベローズ１４は最伸長状態から収縮動作を開始する（図８参照）。
　また、駆動制御部６ｅは、ソレノイド５ａを励磁させた時点（ｔ１１）から、上記で決定された第２時間差のカウントを開始する。

　第２ベローズ１４が収縮動作を開始した後は、第１ベローズ１３が最収縮状態となった時点（ｔ１２）で、近接センサ２９Ａがオフからオンに切り換わると、駆動制御部６ｅは、第１切換バルブ４のソレノイド４ａを消磁させるとともにソレノイド４ｂを励磁させる。これにより、第２ベローズ１４が収縮動作をしている間に、第１ベローズ１３は最収縮状態から最伸長状態まで伸長する。
　その際、第１ベローズ１３が最伸長状態となった時点（ｔ１３）で、近接センサ２９Ｂはオフからオンに切り換わるが、駆動制御部６ｅは、第１ベローズ１３を最伸長状態のまま保持しておく。

　次に、駆動制御部６ｅは、第２時間差（ｔ１４－ｔ１１）が経過すると、第１切換バルブ４のソレノイド４ｂを消磁させるとともにソレノイド４ａを励磁させる。これにより、第２ベローズ１４が最収縮状態となる手前で、第１ベローズ１３は最伸長状態から収縮動作を開始する（図７参照）。
　また、駆動制御部６ｅは、ソレノイド４ａを励磁させた時点（ｔ１４）から、直前に決定された第１時間差のカウントを開始する。この直前に決定された第１時間差は、第１ベローズ１３の直前の１往復動作によって算出された第１伸長時間（ｔ７－ｔ５）及び第１収縮時間（ｔ１２－ｔ８）に基づいて決定されたものである。

　第１ベローズ１３が収縮動作を開始した後は、第２ベローズ１４が最収縮状態となった時点（ｔ１５）で、近接センサ３１Ａがオフからオンに切り換わると、駆動制御部６ｅは、第２切換バルブ５のソレノイド５ａを消磁させるとともにソレノイド５ｂを励磁させる。これにより、第１ベローズ１３が収縮動作をしている間に、第２ベローズ１４は最収縮状態から最伸長状態まで伸長する。
　その際、第２ベローズ１４が最伸長状態となった時点（ｔ１６）で、近接センサ３１Ｂはオフからオンに切り換わるが、駆動制御部６ｅは、第２ベローズ１４を最伸長状態のまま保持しておく。

　次に、駆動制御部６ｅは、上記直前に決定された第１時間差（ｔ１７－ｔ１４）が経過すると、第２切換バルブ５のソレノイド５ｂを消磁させるとともにソレノイド５ａを励磁させる。これにより、第１ベローズ１３が最収縮状態となる手前で、第２ベローズ１４は最伸長状態から収縮動作を開始する。
　また、駆動制御部６ｅは、ソレノイド５ａを励磁させた時点（ｔ１７）から、直前に決定された第２時間差のカウントを開始する。この直前に決定された第２時間差は、第２ベローズ１４の直前の１往復動作によって算出された第２伸長時間（ｔ１０－ｔ９）及び第２収縮時間（ｔ１５－ｔ１１）に基づいて決定されたものである。

　第２ベローズ１４が収縮動作を開始した後は、第１ベローズ１３が最収縮状態となった時点（ｔ１８）で、近接センサ２９Ａがオフからオンに切り換わると、駆動制御部６ｅは、第１切換バルブ４のソレノイド４ａを消磁させるとともにソレノイド４ｂを励磁させる。これにより、第２ベローズ１４が収縮動作をしている間に、第１ベローズ１３は最収縮状態から最伸長状態まで伸長する。
　その際、第１ベローズ１３が最伸長状態となった時点（ｔ１９）で、近接センサ２９Ｂはオフからオンに切り換わるが、駆動制御部６ｅは、第１ベローズ１３を最伸長状態のまま保持しておく。

　次に、駆動制御部６ｅは、上記直前に決定された第２時間差（ｔ２０－ｔ１７）が経過すると、第１切換バルブ４のソレノイド４ｂを消磁させるとともにソレノイド４ａを励磁させる。これにより、第２ベローズ１４が最収縮状態となる手前で、第１ベローズ１３は最伸長状態から収縮動作を開始する。

　これ以降、駆動制御部６ｅは、上述のように、直前に決定された第１及び第２時間差に基づいて、第２ベローズ１４が最収縮状態となる手前で第１ベローズ１３を最伸長状態から収縮させるとともに、第１ベローズ１３が最収縮状態となる手前で第２ベローズ１４を最伸長状態から収縮させるようにベローズポンプ１を駆動制御する。
　したがって、移送流体の吐出負荷などによって第１及び第２収縮時間（吐出時間）や第１及び第２伸長時間（吸込時間）に変動があっても、その変動に追従して最適なタイミングでベローズポンプ１を駆動制御することができる。

　なお、本実施形態では、直前に決定された第１及び第２時間差を用いているが、上記吐出時間や吸込時間の変動が無い場合には、運転開始直後において最初に決定された第１及び第２時間差を用いてベローズポンプ１を駆動制御しても良い。この場合、第１及び第２ベローズ１３，１４の伸長動作と収縮動作の切り換えは、近接センサ２９Ａ，２９Ｂ，３１Ａ，３１Ｂを用いずに、タイマ等を用いて所定時間毎に切り換えるようにしても良い。

　ベローズポンプ１の駆動を停止させるときは、まず、作業者によって停止スイッチ１０をオン操作する。この操作信号を受けた駆動制御部６ｅは、第１ベローズ１３及び第２ベローズ１４をスタンバイ状態へ移動させる。その際、駆動制御部６ｅは、第１ベローズ１３及び第２ベローズ１４のいずれか一方が伸長動作を行っている場合は、その伸長動作を停止させて、すぐに収縮動作を開始させる。そして、第１ベローズ１３及び第２ベローズ１４がスタンバイ状態となると、作業者によって電源スイッチ８をオフ操作する。

　なお、本実施形態の制御部６は、一方のベローズ１３（１４）が最収縮状態となる手前で他方のベローズ１４（１３）を最伸長状態から収縮させているが、一方のベローズ１３（１４）が最収縮状態となったときに、他方のベローズ１４（１３）を最伸長状態から収縮させるように制御しても良い。但し、ベローズポンプ１の吐出側の脈動を低減するという観点では、本実施形態のように制御するのが好ましい。

　＜電空レギュレータの構成＞
　図１及び図２おいて、第１電空レギュレータ５１は、機械式レギュレータ３と第１切換バルブ４との間に配置されている。また、第２電空レギュレータ５２は、機械式レギュレータ３と第２切換バルブ５との間に配置されている。各電空レギュレータ５１，５２は、外部から予め設定される設定圧力に基づいて出力ポート（図示省略）から出力する空気圧を無段階に調整する機能を有している。

　本実施形態の第１電空レギュレータ５１は、第１ベローズ１３の収縮時において、第１エアシリンダ部２７の吐出側空気室２１に供給する加圧空気の空気圧を、第１ベローズ１３の収縮特性に対応して上昇させるように調整する。
　また、第２電空レギュレータ５２は、第２ベローズ１４の収縮動作時において、第２エアシリンダ部２８の吐出側空気室２１に供給する加圧空気の空気圧を、第２ベローズ１４の収縮特性に対応して上昇させるように調整する。

　＜電空レギュレータの制御＞
　図９は、第１及び第２電空レギュレータ５１，５２の空気圧の調整の一例を示すグラフである。図９において、第１ベローズ１３が伸長している伸長時間Ｔ１の間（伸長動作時）、第１電空レギュレータ５１は、加圧空気の空気圧が常に一定の空気圧ｃとなるように調整する。この空気圧ｃは制御部６から指示される。そして、第１ベローズ１３が収縮している収縮時間Ｔ２の間（収縮動作時）、第１電空レギュレータ５１は、制御部６が単位時間（例えば１０ｍｓ）ごとに下記の式（５）を用いて算出した加圧空気の空気圧となるように、制御部６からの指示に従って当該空気圧を調整する。
　Ｐ＝ａＸ＋ｂ　　・・・（５）
　ただし、Ｐは出力ポートから出力される加圧空気の空気圧、ａは圧力増加係数、Ｘは第１ベローズ１３の伸縮位置、ｂは初期空気圧である。本実施形態では、圧力増加係数ａは第１ベローズ１３の収縮特性を示しており、上記初期空気圧ｂは、上記空気圧ｃよりも大きい値に設定されている。また、上記伸縮位置Ｘは、例えば、図３に示すように第１ベローズ１３の最伸長状態をＸ_０（＝０ｍｍ）、図４に示すように第１ベローズ１３の最収縮状態をＸ_ｍａｘとし、Ｘ_０からの変位として設定されている。

　同様に、第２ベローズ１４が伸長している伸長時間Ｔ３の間（伸長動作時）、第２電空レギュレータ５２は、加圧空気の空気圧が常に一定の空気圧ｃとなるように調整する。この空気圧ｃは制御部６から指示される。そして、第２ベローズ１４が収縮している収縮時間Ｔ４の間（収縮動作時）、第２電空レギュレータ５２は、制御部６が単位時間（例えば１０ｍｓ）ごとに上記式（５）を用いて算出した加圧空気の空気圧となるように、制御部６からの指示に従って当該空気圧を調整する。ただし、この場合、Ｘは第２ベローズ１４の伸縮位置であり、圧力増加係数ａは第２ベローズ１４の収縮特性を示している。

　以上のように、上記式（５）のＸをベローズ１３（１４）の伸縮位置とすることで、例えば吐出流体抵抗が増加して吐出時間が増えた場合であっても、後述する第２実施形態におけるルックアップテーブルの圧力増加係数ａの数値を固定値として使用することができる。
　また、ベローズ１３（１４）の現在の伸縮位置は、例えば、予め位置計測によって取得されたベローズ１３（１４）の最伸長状態から最収縮状態までに要する時間差に基づいて算出することができる。当然ながら、ベローズ１３（１４）の現在の伸縮位置は変位センサ等で検出することも可能である。

　なお、本実施形態では、制御部６において両電空レギュレータ５１，５２が調整する空気圧を算出する際に用いる圧力増加係数ａ及び初期空気圧ｂ，ｃは、いずれも同じ値に設定されているが、各電空レギュレータによって異なる値に設定されていても良い。

　図１０は、ベローズポンプ１から吐出される移送流体の吐出圧力を示すグラフである。図１０に示すように、第１及び第２電空レギュレータ５１，５２が加圧空気の空気圧を上述のように調整することで、各ベローズ１３，１４が単独で収縮している間（図中の破線で囲む部分）は、ベローズポンプ１から吐出される移送流体の吐出圧力が落ち込むのを低減することができる。
　さらに、上述のように、駆動制御部６ｅが第１及び第２時間差に基づいてベローズポンプ１を駆動制御することで、一方のベローズの収縮（吐出）から伸長（吸い込み）への切り換えタイミング（図中の実線で囲む部分）において、他方のベローズは既に収縮して移送流体を吐出しているので、前記切り換えタイミングにおいて吐出圧力が大きく落ち込むのを低減することができる。
　したがって、第１及び第２電空レギュレータ５１，５２の制御と、駆動制御部６ｅの制御とを組み合わせることで、ベローズポンプ１の吐出側の脈動を効果的に低減することができる。

　以上、本実施形態のベローズポンプ装置ＢＰによれば、ベローズ１３（１４）の収縮動作時において、吐出側空気室２１に供給される加圧空気の空気圧は、電空レギュレータ５１（５２）によりベローズ１３（１４）の収縮特性に対応して上昇するため、ベローズ１３（１４）が収縮するに従って吐出側空気室２１における加圧空気の空気圧を上昇させることができる。これにより、ベローズ１３（１４）が収縮している間に移送流体の吐出圧力が落ち込むのを低減することができる。

　また、電空レギュレータ５１（５２）は、単位時間ごとに上述の式（５）を用いて空気圧を調整するため、ベローズ１３（１４）が収縮している間に移送流体の吐出圧力が落ち込むのを効果的に低減することができる。

　また、第１ベローズ１３及び第２ベローズ１４を互いに独立して伸縮自在とし、制御部６において、第１ベローズ１３が最収縮状態となる手前で第２ベローズ１４を最伸長状態から収縮させるとともに、第２ベローズ１４が最収縮状態となる手前で第１ベローズ１３を最伸長状態から収縮させるように駆動制御するようにしたので、以下の作用効果を奏する。すなわち、一方のベローズの収縮（吐出）から伸長（吸い込み）への切り換えタイミングにおいて、他方のベローズは既に収縮して移送流体を吐出しているので、前記切り換えタイミングにおいて吐出圧力が大きく落ち込むのを低減することができる。その結果、ベローズポンプ１の吐出側の脈動を低減することができる。

　また、本実施形態のベローズポンプ装置ＢＰは、ベローズポンプの吐出側にアキュムレータを取り付けたものに比べて、ベローズポンプ以外に他部材（アキュムレータ）を設置するスペースを確保する必要がないので、設置スペースが大幅に増加するのを抑制することができる。さらに、本実施形態のベローズポンプ装置ＢＰは、従来のタイロッドで一対のベローズが連結されたベローズポンプと同様に、一対のベローズ１３，１４を用いて移送流体を吐出するため、流体の吐出量が減少することもない。

　また、制御部６は、第１ベローズ１３の第１伸長時間と第１収縮時間に基づいて決定された第１時間差を用いて、第１ベローズ１３が最収縮状態となる手前で最伸長状態の第２ベローズ１４を収縮させるとともに、第２ベローズ１４の第２伸長時間と第２収縮時間に基づいて決定された第２時間差を用いて、第２ベローズ１４が最収縮状態となる手前で最伸長状態の第１ベローズ１３を収縮させるように駆動制御することができる。これにより、第１ベローズが最収縮状態となる手前で第２ベローズを確実に収縮させることができるとともに、第２ベローズが最収縮状態となる手前で第１ベローズを確実に収縮させることができる。

　また、制御部６は、ベローズポンプ１の運転開始直後に、第１及び第２ベローズ１３，１４の伸長時間及び収縮時間を予め算出してから駆動制御するため、運転開始前にこれらの伸長時間及び収縮時間が不明な場合であっても、第１ベローズ１３（第２ベローズ１４）が最収縮状態となる手前で第２ベローズ１４（第１ベローズ１３）を確実に収縮させることができる。

　また、制御部６は、直前に決定された第１及び第２時間差に基づいて駆動制御するため、第１ベローズ１３の第１伸長時間及び第１収縮時間（第２ベローズ１４の第２伸長時間及び第２収縮時間）に変動があっても、その変動に追従して、第１ベローズ１３（第２ベローズ１４）が最収縮状態となる手前で第２ベローズ１４（第１ベローズ１３）を確実に収縮させることができる。

　＜変形例＞
　図１１は、上記実施形態におけるベローズポンプ装置の変形例を示す概略構成図である。本変形例におけるベローズポンプ装置ＢＰは、図示を省略するが、従来と同様に、左右一対のベローズをタイロッドにより一体に連結したものであり、各エアシリンダ部２７，２８には、吐出側空気室２１と吸排気ポート２２のみが形成されている。
　これにより、一方の吐出側空気室２１に加圧空気を供給すると、ベローズが収縮して移送流体が吐出され、これと同時に他方のベローズが強制的に伸長して吸込通路から移送流体が吸い込まれる。また、他方の吐出側空気室２１に加圧空気を供給すると、前記他方のベローズが収縮して移送流体が吐出され、これと同時に前記一方のベローズが強制的に伸長して移送流体が吸い込まれる。

　各吸排気ポート２２は、単体の切換バルブ５４、単体の電空レギュレータ５３及び機械式レギュレータ３を介して、空気供給装置２に接続されている。
　切換バルブ５４は、図示しない一対のソレノイドを励磁又は消磁することで、両エアシリンダ部２７，２８の吐出側空気室２１のうちの一方に加圧空気を供給し、他方から加圧空気を排出するように、加圧空気の給排を切り換える。

　電空レギュレータ５３は、各ベローズの収縮動作時において、対応する吐出側空気室２１に供給する加圧空気の空気圧を、収縮するベローズの収縮特性に対応して上昇させるように当該空気圧を調整する。その詳細については、上記実施形態と同様であるため、説明を省略する。

［第２実施形態］
　＜システムの全体構成＞
　図１２は、本発明の第２実施形態に係るベローズポンプ装置を備えた流体送給システムの構成を示す模式図である。流体送給システムは、例えば半導体製造装置において薬液や溶剤等の移送流体を一定量送給するものである。この流体送給システムは、移送流体を溜めるタンク７０と、タンク７０に溜めた移送流体を外部に送給してタンク７０に戻す循環路７１と、この循環路７１の途中部から分岐して移送流体を図示しないウエハに供給する複数の供給路７２と、タンク７０から移送流体を送給するベローズポンプ装置ＢＰとを備えている。

　循環路７１には、ベローズポンプ装置ＢＰの下流側にフィルタ７３が設けられている。また、循環路７１には、供給路７２との分岐点よりも下流側に、循環路７１を開閉するための開閉バルブ７４が設けられている。
　供給路７２には、移送流体を噴出する複数のノズル７５が設けられている。

　流体送給システムは、タンク７０内の移送流体の温度を検出する温度センサ７６と、循環路７１の途中部に配置された複数（図例では２個）のヒータ７７とをさらに備えている。
　ヒータ７７は、温度センサ７６により検出された移送流体の温度に基づいて、循環路７１内の移送流体を加熱するものである。これにより、循環路７１から供給路７２を経てノズル７５から噴出される移送流体の温度を適温に維持することができる。
　なお、温度センサ７６は、タンク７０に設けられているが、循環路７１の途中部や供給路７２の途中部に設けられていても良い。

　＜電空レギュレータの制御＞
　図１３は、第２実施形態のベローズポンプ装置ＢＰの概略構成図である。
　図１３において、本実施形態の制御部６は、温度検出部７が検出した移送流体の温度に基づいて各電空レギュレータ５１，５２を制御する。本実施形態では、上述の循環路７１内の移送流体を温度調整するための温度センサ７６（図１２参照）が、温度検出部７として利用されている。したがって、本実施形態の制御部６は、温度センサ７６の検出値に基づいて各電空レギュレータ５１，５２を制御する。

　なお、本実施形態では、電空レギュレータ５１，５２を制御するための温度検出部７として、循環路７１内の移送流体を温度調整するための温度センサ７６を利用しているが、ベローズポンプ１に移送流体の温度を検出する専用の温度センサを設けるようにしても良い。

　本実施形態の制御部６は、温度センサ７６の検出値が低くなるほど、加圧空気の空気圧を上昇させるときの圧力増加係数ａが大きくなるように各電空レギュレータ５１，５２を制御する。具体的には、制御部６は、複数の温度領域それぞれに対応して圧力増加係数ａが設定されたルックアップテーブルを有し、このルックアップテーブルに基づいて各電空レギュレータ５１，５２に対して、当該各電空レギュレータ５１，５２が調整する空気圧を指示する。

　図１４は、制御部６が有するルックアップテーブル６ｆの一例である。本実施形態のルックアップテーブル６ｆは、低温領域（１０～２０℃）、中温領域（２０～６０℃）、および高温領域（６０～８０℃）の３種類の温度領域それぞれに対応する圧力増加係数ａ１、ａ２およびａ３を示している。圧力増加係数ａ１～ａ３は、いずれも実験的に決定される係数であり、ａ１＞ａ２＞ａ３の関係を満たすように設定される。

　なお、本実施形態の制御部６は、ルックアップテーブル方式を用いて各電空レギュレータ５１，５２を制御しているが、温度センサ７６の検出値等から演算式を用いて圧力増加係数を算出するようにしても良い。また、温度領域は４種類以上に設定されていても良い。

　図１５は、複数の温度領域それぞれに対応して制御部６により制御される電空レギュレータ５１（５２）の空気圧の変化を示すグラフである。図１５に示すように、低温領域、中温領域および高温領域それぞれに対応するベローズ１３（１４）の収縮開始時点の開始空気圧Ｐｓ１，Ｐｓ２，Ｐｓ３は、同一の値である初期空気圧ｂに設定されている。
　そして、各温度領域に対応する空気圧は、ベローズ１３（１４）が収縮するに従って、圧力増加係数ａ１～ａ３（増加直線の傾き）の違いによって互いの圧力差が大きくなり、温度領域が低いほど高い値となる。
　なお、各温度領域に対応する開始空気圧Ｐｓ１～Ｐｓ３は、例えば、温度領域が低くなるほど高い値に設定されるなど、互いに異なる値に設定されていても良い。

　図１６は、移送流体の温度とベローズ１３（１４）の許容耐圧との関係を示すグラフである。ベローズ１３（１４）の「許容耐圧」とは、ベローズ１３（１４）の外側（吐出側空気室２１）の圧力と、ベローズ１３（１４）の内側の圧力との差圧であって、ベローズ１３（１４）が変形・破損しない最大差圧である。

　図１６に示すように、ベローズ１３（１４）の許容耐圧は、移送流体の温度が高くなるに従って低下しているのが分かる。そこで、ベローズ１３（１４）を保護するために、開始空気圧Ｐｓ１～Ｐｓ３（本実施形態では初期空気圧ｂ）、又はルックアップテーブル６ｆ（図１４参照）における空気圧の圧力増加係数ａ１～ａ３は、各温度領域に対応する空気圧（大気圧を含まないゲージ圧）の最大値がベローズ１３（１４）の許容耐圧を超えないように設定されている。

　すなわち、図１５に示すように、低温領域、中温領域および高温領域それぞれに対応する空気圧の最大値である、ベローズ１３（１４）の収縮終了時点の終了空気圧Ｐｅ１，Ｐｅ２，Ｐｅ３が、各温度領域の最高温度に対応するベローズ１３（１４）の許容耐圧を超えないように、開始空気圧Ｐｓ１～Ｐｓ３又は圧力増加係数ａ１～ａ３が設定されている。
　例えば、高温領域（６０～８０℃）の場合、終了空気圧Ｐｅ３が、高温領域の最高温度である８０℃に対応するベローズ１３（１４）の許容耐圧（図１６では約０．６ＭＰａ）を超えないように、開始空気圧Ｐｓ３又は圧力増加係数ａ３が設定されている。

　制御部６による電空レギュレータ５１（５２）の制御は、以下のように行われる。
　制御部６は、温度センサ７６の検出値を取得すると、その検出値が含まれる温度領域を、ルックアップテーブル６ｆ（図１４参照）を参照して選択する。
　例えば、温度センサ７６の検出値が１５℃の場合、制御部６は、ルックアップテーブル６ｆを参照し、当該検出値が含まれる温度領域として低温領域（１０～２０℃）を選択する。

　次に、制御部６は、選択した温度領域に対応する圧力増加係数ａをルックアップテーブル６ｆを参照して決定する。例えば、選択した温度領域が低温領域の場合、制御部６は、ルックアップテーブル６ｆを参照し、低温領域に対応する圧力増加係数ａ１を圧力増加係数ａとして決定する。

　次に、制御部６は、決定した圧力増加係数ａを用いて上記式から空気圧を算出し、その算出した空気圧に調整するように電空レギュレータ５１（５２）に指示する。例えば、決定した圧力増加係数ａが低温領域の圧力増加係数ａ１の場合、制御部６は、図１５の実線で示す低温領域に対応する圧力変化となるように、電空レギュレータ５１（５２）に対して調整空気圧を指示する。

　＜実施例と比較例とによる効果検証＞
　本実施形態のベローズポンプ装置ＢＰにより得られる効果を検証するために、本発明者らが行った検証試験について説明する。この検証試験は、本実施形態の電空レギュレータの制御による実施例と、従来の電空レギュレータの制御による比較例とについて、それぞれベローズポンプから吐出される移送流体の吐出圧力の変化を比較評価することで効果を検証した。

　図１７は、比較例１に係る電空レギュレータの制御によりベローズポンプから吐出される移送流体の吐出圧力の変化を示すグラフである。
　この比較例１では、移送流体の温度が低温領域に含まれる場合に、中温領域に対応する圧力増加係数を用いて電空レギュレータを制御したときのベローズポンプから吐出される移送流体の吐出圧力を示すグラフである。

　図１７に示す比較例１では、図中の矢印で示すように、ベローズが収縮している間に移送流体の吐出圧力が低下している。この吐出圧力の低下は、移送流体の温度低下により、ベローズが硬くなり収縮し難くなっているにも関わらず、ベローズの収縮動作時に、低温領域に対応する空気圧よりも低い、中温領域に対応する空気圧の加圧空気が空気室に供給され、ベローズに作用する空気圧が不足していることが原因と考えられる。

　図１８は、実施例１に係る電空レギュレータの制御によりベローズポンプから吐出される移送流体の吐出圧力の変化を示すグラフである。
　この実施例１では、移送流体の温度が低温領域に含まれる場合に、低温領域に対応する圧力増加係数を用いて電空レギュレータを制御したときのベローズポンプから吐出される移送流体の吐出圧力を示すグラフである。

　図１８に示す実施例１では、ベローズが収縮している間、移送流体の吐出圧力はほとんど変化していない。したがって、図１７の比較例１と図１８の実施例１とを比較すると、移送流体の温度が低温領域に含まれる場合、中温領域に対応する圧力増加係数よりも低温領域に対応する圧力増加係数を用いて電空レギュレータを制御したほうが、ベローズポンプから吐出される移送流体の吐出圧力の変化を抑制できるのが分かる。

　図１９は、比較例２に係る電空レギュレータの制御によりベローズポンプから吐出される移送流体の吐出圧力の変化を示すグラフである。
　この比較例２では、移送流体の温度が高温領域に含まれる場合に、中温領域に対応する圧力増加係数を用いて電空レギュレータを制御したときのベローズポンプから吐出される移送流体の吐出圧力を示すグラフである。

　図１９に示す比較例２では、図中の矢印で示すように、ベローズが収縮している間に移送流体の吐出圧力が上昇している。この吐出圧力の上昇は、移送流体の温度上昇により、ベローズが柔らかくなり収縮し易くなっているのにも関わらず、ベローズの収縮動作時に、高温領域に対応する空気圧よりも高い、中温領域に対応する空気圧の加圧空気が空気室に供給され、ベローズに過剰な空気圧が作用していることが原因と考えられる。

　図２０は、実施例２に係る電空レギュレータの制御によりベローズポンプから吐出される移送流体の吐出圧力の変化を示すグラフである。
　この実施例２では、移送流体の温度が高温領域に含まれる場合に、高温領域に対応する圧力増加係数を用いて電空レギュレータを制御したときのベローズポンプから吐出される移送流体の吐出圧力を示すグラフである。

　図２０に示す実施例２では、ベローズが収縮している間、移送流体の吐出圧力はほとんど変化していない。したがって、図１９の比較例２と図２０の実施例２とを比較すると、移送流体の温度が高温領域に含まれる場合、中温領域に対応する圧力増加係数よりも高温領域に対応する圧力増加係数を用いて電空レギュレータを制御したほうが、ベローズポンプから吐出される移送流体の吐出圧力の変化を抑制できるのが分かる。

　図２１は、実施例３に係る電空レギュレータの制御によりベローズポンプから吐出される移送流体の吐出圧力の変化を示すグラフである。
　この実施例３では、移送流体の温度が中温領域に含まれる場合に、中温領域に対応する圧力増加係数を用いて電空レギュレータを制御したときのベローズポンプから吐出される移送流体の吐出圧力を示すグラフである。

　図２１に示す実施例３では、ベローズが収縮している間、移送流体の吐出圧力はほとんど変化していない。したがって、中温領域に対応する圧力増加係数は、図１７の比較例１や図１９の比較例２のように、移送流体の温度が低温領域または高温領域に含まれる場合よりも、移送流体の温度が中温領域に含まれる場合に用いたほうが、ベローズポンプから吐出される移送流体の吐出圧力の変化を抑制できるのが分かる。

　以上、本実施形態のベローズポンプ装置ＢＰによれば、制御部６は、温度センサ７６で検出された移送流体の温度が低くなるほど、ベローズ１３（１４）の収縮動作時に吐出側空気室２１に供給される加圧空気の空気圧の圧力増加係数ａが大きくなるように電空レギュレータ５１（５２）を制御する。これにより、例えば、移送流体の温度が低下してベローズ１３（１４）が硬くなっても、吐出側空気室２１に供給される加圧空気の空気圧の圧力増加係数が大きくなることで、移送流体の温度低下前の空気圧よりも高い空気圧でベローズ１３（１４）を収縮させることができる。したがって、移送流体の温度変化によりベローズ１３（１４）の硬さが変化しても、ベローズ１３（１４）が収縮している間に移送流体の吐出圧力が変化するのを抑制することができる。

　また、加圧空気の空気圧における開始空気圧Ｐｓ１～Ｐｓ３又は圧力増加係数ａは、温度センサ７６の検出値に基づいて、空気圧の最大値がベローズ１３（１４）の許容耐圧を超えないように設定されているため、空気圧の圧力増加係数ａが大きくなっても、その空気圧の最大値がベローズ１３（１４）の許容耐圧を超えることはない。したがって、空気圧の上昇によってベローズ１３（１４）が変形したり破損したりするのを防止することができる。

　また、制御部６は、複数の温度領域それぞれに対応して圧力増加係数ａが設定されたルックアップテーブル６ｆを有するため、このルックアップテーブル６ｆに基づいて電空レギュレータ５１（５２）を容易に制御することができる。
　なお、第２実施形態において説明を省略した点は、第１実施形態と同様である。

　＜その他＞
　本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内において適宜変更できるものである。例えば、ベローズポンプ１は、上記実施形態以外に、左右一対のベローズがタイロッドにより一体に連結されたベローズポンプや、一対のベローズのうちの一方をアキュムレータに入れ替えて構成されたベローズポンプ、または一対のベローズのうちの一方のベローズのみから構成されたシングルタイプのベローズポンプなど、他のベローズポンプにも適用することができる。
　また、電空レギュレータ５１～５３は、切換バルブ４，５，７の上流側に配置されているが、切換バルブ４，５，７の下流側に配置されていても良い。但し、この場合には、電空レギュレータ５１～５３の一次側に、切換バルブ４，５，７を切り換えたときに生じる衝撃圧力が作用するので、電空レギュレータ５１～５３の故障を防止するという観点では、切換バルブ４，５，７の上流側に電空レギュレータ５１～５３を配置するのが好ましい。

　また、上記実施形態における第１及び第２検知手段２９，３１は、近接センサによって構成されているが、リミットスイッチ等の他の検知手段により構成されていても良い。また、第１及び第２検知手段２９，３１は、第１及び第２ベローズ１３，１４の最伸長状態と最伸縮状態とを検知しているが、他の伸縮状態を検知するようにしても良い。さらに、本実施形態における第１及び第２駆動装置２７，２８は、加圧空気によって駆動させているが、他の流体やモータ等により駆動するようにしても良い。

６　制御部
６ｆ　ルックアップテーブル
７　温度検出部
１３　第１ベローズ（ベローズ）
１４　第２ベローズ（ベローズ）
２１　吐出側空気室（空気室）
２７　第１エアシリンダ部（第１駆動装置）
２８　第２エアシリンダ部（第２駆動装置）
２９　第１検知手段
３１　第２検知手段
５１　第１電空レギュレータ（電空レギュレータ）
５２　第２電空レギュレータ（電空レギュレータ）
５３　電空レギュレータ

Claims

　密閉された空気室に加圧空気を供給することで前記空気室内に配置されたベローズを収縮動作させて移送流体を吐出するとともに、前記空気室から加圧空気を排出することで前記ベローズを伸長動作させて移送流体を吸入するベローズポンプ装置であって、
　前記ベローズの収縮動作時において、前記空気室に供給する加圧空気の空気圧を、前記ベローズの収縮特性に対応して上昇させるように調整する電空レギュレータを備えていることを特徴とするベローズポンプ装置。
　前記電空レギュレータは、単位時間ごとに以下の式を用いて前記空気圧を調整する請求項１に記載のベローズポンプ装置。
　Ｐ＝ａＸ＋ｂ
　ただし、Ｐは前記空気圧、ａは圧力増加係数、Ｘは前記ベローズの伸縮位置、ｂは初期空気圧である。
　前記ベローズは、互いに独立して伸縮自在な第１ベローズ及び第２ベローズからなり、
　前記第１ベローズを最伸長状態と最収縮状態との間で連続して伸縮動作させる第１駆動装置と、
　前記第２ベローズを最伸長状態と最収縮状態との間で連続して伸縮動作させる第２駆動装置と、
　前記第１ベローズの伸縮状態を検知する第１検知手段と、
　前記第２ベローズの伸縮状態を検知する第２検知手段と、
　前記第１及び第２検知手段の各検知信号に基づいて、前記第１ベローズが最収縮状態となる手前で前記第２ベローズを最伸長状態から収縮させるとともに、前記第２ベローズが最収縮状態となる手前で前記第１ベローズを最伸長状態から収縮させるように、前記第１及び第２駆動装置を駆動制御する制御部と、をさらに備えている請求項１又は２に記載のベローズポンプ装置。
　前記移送流体の温度を検出する温度検出部と、
　前記温度検出部の検出値が低くなるほど、前記空気圧を上昇させるときの圧力増加係数が大きくなるように前記電空レギュレータを制御する制御部と、
をさらに備えている請求項１に記載のベローズポンプ装置。
　前記制御部は、前記温度検出部の検出値に基づいて、前記空気圧の最大値が前記ベローズの許容耐圧を超えないように、前記空気圧の圧力増加係数を設定する請求項４に記載のベローズポンプ装置。
　前記制御部は、複数の温度領域それぞれに対応して前記圧力増加係数が設定されたルックアップテーブルを有し、前記ルックアップテーブルに基づいて前記電空レギュレータを制御する請求項４又は５に記載のベローズポンプ装置。