JP7120899B2 - ベローズポンプ装置 - Google Patents
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Description
この場合、一方のベローズが収縮を開始してから他方のベローズが最収縮状態となる以前に、前記他方のベローズに対応する吐出側流体室の流体圧は、段階的または連続的に減少してゼロとなる。このように吐出側流体室の流体圧が減少することで、前記他方のベローズが最収縮状態となる以前に、前記他方のベローズに対応するチェックバルブが閉弁する。これにより、前記他方のベローズが最収縮状態から伸長に切り換わったときに、前記チェックバルブが急速に閉弁するのを回避することができる。その結果、移送流体の吐出から吸い込みに切り換わるときに、ベローズポンプ装置の吐出側でサージ圧が発生するのをさらに抑制することができる。
この場合、一方のベローズが収縮を開始してから他方のベローズが最収縮状態となるまでの間、前記他方のベローズに対応する吐出側流体室の流体圧は、段階的または連続的に減少し、前記他方のベローズが最収縮状態となった時点でゼロとなる。これにより、前記他方のベローズが最収縮状態となる前に前記流体圧がゼロとなる場合に比べて、前記他方のベローズに対応するチェックバルブはゆっくりと閉弁する。その結果、移送流体の吐出から吸い込みに切り換わるときに、ベローズポンプ装置の吐出側でサージ圧が発生するのをさらに抑制することができる。
[ベローズポンプ装置の全体構成]
図1は、本発明の実施形態に係るベローズポンプ装置の概略構成図である。本実施形態のベローズポンプ装置は、例えば半導体製造装置において薬液や溶剤等の移送対象(移送流体)を一定量供給するときに用いられる。このベローズポンプ装置は、ベローズポンプ1と、当該ベローズポンプ1に加圧空気(加圧流体)を供給するエアコンプレッサ等の空気供給装置2と、前記加圧空気の空気圧を調整する機械式レギュレータ3、第1電空レギュレータ(第1流体圧調整部)51、及び第2電空レギュレータ(第2流体圧調整部)52と、第1電磁弁4及び第2電磁弁5と、制御部6とを備えている。
第1ベローズ13及び第2ベローズ14は、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)やテトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体(PFA)等のフッ素樹脂により有底筒形状に形成されている。第1及び第2ベローズ13,14の開放端部に一体形成されたフランジ部13aおよびフランジ部14aは、ポンプヘッド11の側面に気密状に押圧して固定されている。第1及び第2ベローズ13,14の各周壁は蛇腹形状に形成され、互いに独立して水平方向に伸縮可能に構成されている。
第1ベローズ13のフランジ部13aには、有底円筒状に形成されたポンプケース12(以下、「第1ポンプケース12A」ともいう)の開口周縁部が、気密状に押圧して固定されている。これにより、第1ポンプケース12Aの内部には、気密状態が保持された第1吐出側空気室(第1吐出側流体室)21Aが形成されている。
また、第2吐出側空気室21Bが形成された第2ポンプケース12Bと、第2吸込側空気室26Bを形成するピストン体23及びシリンダ体25とにより、第2ベローズ14を最伸長状態と最収縮状態との間で連続して伸縮動作させる第2エアシリンダ部(第2駆動部)28が構成されている。
第1エアシリンダ部27のシリンダ体25には、一対の近接センサ29A,29Bが取り付けられている。第1エアシリンダ部27のピストン体23には、各近接センサ29A,29Bにより検知される被検知板30が取り付けられている。被検知板30は、ピストン体23とともに往復動することで、近接センサ29A,29Bに交互に近接することにより検知される。
ポンプヘッド11は、PTFEやPFA等のフッ素樹脂から形成されている。ポンプヘッド11の内部には、移送流体の吸込通路34と吐出通路35とが形成されている。吸込通路34及び吐出通路35は、ポンプヘッド11の外周面において開口し、当該外周面に設けられた吸込ポート及び吐出ポート(いずれも図示省略)に接続されている。
各吸込口36及び各吐出口37には、チェックバルブ15,16が設けられている。
吸込口36に取り付けられたチェックバルブ15(以下、「吸込用チェックバルブ」ともいう)は、バルブケース15aと、このバルブケース15aに収容された弁体15bと、この弁体15bを閉弁方向に付勢する圧縮コイルバネ15cとを有している。
次に、本実施形態のベローズポンプ1の動作を図3及び図4を参照して説明する。なお、図3及び図4においては第1及び第2ベローズ13,14の構成を簡略化して示している。
図3に示すように、第1ベローズ13が収縮し、第2ベローズ14が伸長した場合、ポンプヘッド11の図中左側に装着された吸込用チェックバルブ15及び吐出用チェックバルブ16の各弁体15b,16bは、第1ベローズ13内の移送流体から圧力を受けて、各バルブケース15a,16aの図中右側にそれぞれ移動する。これにより吸込用チェックバルブ15が閉弁するとともに、吐出用チェックバルブ16が開弁し、第1ベローズ13内の移送流体が吐出通路35からポンプ外へ吐出される。
以上の動作を繰り返し行うことで、左右のベローズ13,14は、交互に移送流体の吸引と吐出とを行うことができる。
図1において、第1電磁弁4は、第1エアシリンダ部27の第1吐出側空気室21A及び第1吸込側空気室26Aのうち、一方の空気室への加圧空気の給排、及び他方の空気室内への加圧空気の給排を切り換えるものである。第1電磁弁4は、例えば、一対のソレノイド4a,4bを有する三位置の電磁切換弁からなる。各ソレノイド4a,4bは制御部6から受けた指令信号に基づいて励磁されるようになっている。
なお、本実施形態の第1及び第2電磁弁4,5は、三位置の電磁切換弁からなるが、中立位置を有しない二位置の電磁切換弁であってもよい。
制御部6は、第1検知部29及び第2検知部31(図2参照)の検知結果に基づいて、各電磁弁4,5を切り換えることで、ベローズポンプ1の第1エアシリンダ部27及び第2エアシリンダ部28の各駆動を制御するものである。
図1及び図2において、第1電空レギュレータ51は、機械式レギュレータ3と第1電磁弁4との間に配置されている。第1電空レギュレータ51は、第1エアシリンダ部27の第1吸込側空気室26Aにおける加圧空気の空気圧、及び第1エアシリンダ部27の第1吐出側空気室21Aにおける加圧空気の空気圧(第1流体圧)を調整する。
図5は、本実施形態の制御部6による電空レギュレータ51(52)の制御例を示すタイムチャートである。図5において、制御部6は、第1ベローズ13が伸長している伸長期間T11の間、第1エアシリンダ部27の第1吸込側空気室26Aの空気圧が一定値Pとなるように、第1電空レギュレータ51を制御する。
また、制御部6は、第2ベローズ14が収縮している収縮期間T22のうち、第2ベローズ14の収縮開始時点t2から第1ベローズ13の収縮開始時点t1までの第1収縮時間T221の間において、第2エアシリンダ部28の第2吐出側空気室21Bの空気圧が一定値Pとなるように、第2電空レギュレータ52を制御する。
以上、本実施形態のベローズポンプ装置によれば、一方のベローズ13(14)が最収縮状態となる手前で他方のベローズ14(13)が最伸長状態から収縮する。これにより、一方のベローズ13(14)の収縮から伸長(移送流体の吐出から吸い込み)への切り換えタイミングにおいて、他方のベローズ14(13)は既に収縮して流体を吐出しているので、前記切り換えタイミングにおいて吐出圧力が落ち込むのを低減することができる。その結果、ベローズポンプ装置の吐出側の脈動を低減することができる。
図7は、制御部6による電空レギュレータ51(52)の制御についての、第1変形例、第2変形例及び第3変形例を示すタイムチャートである。
図7の実線で示す第1変形例において、制御部6は、一方のベローズ14(13)の収縮開始時点t2(t1)から、他方のベローズ13(14)の収縮終了時点t3(t4)までの第2収縮時間T122(T222)の間において、吐出側空気室21A(21B)の空気圧をPから段階的に減少させ、収縮終了時点t3(t4)で当該空気圧がゼロとなるように、電空レギュレータ51(52)を制御する。なお、第1変形例では、前記空気圧を2段階に分けて減少させているが、前記空気圧を3段階以上に分けて減少させてもよい。
図8の実線で示す第4変形例において、制御部6は、一方のベローズ14(13)の収縮開始時点t2(t1)から、他方のベローズ13(14)が最収縮状態となる前の収縮途中時点t5(t6)までの間において、吐出側空気室21A(21B)の空気圧をPから連続的に減少させ、収縮途中時点t5(t6)で当該空気圧がゼロとなるように、電空レギュレータ51(52)を制御する。そして、制御部6は、他方のベローズ13(14)の収縮途中時点t5(t6)から収縮終了時点t3(t4)までの間において、吐出側空気室21A(21B)の空気圧がゼロを維持するように、電空レギュレータ51(52)を制御する。
11 ポンプヘッド
13 第1ベローズ
14 第2ベローズ
15 吸込用チェックバルブ(チェックバルブ)
16 吐出用チェックバルブ(チェックバルブ)
21A 第1吐出側空気室(第1吐出側流体室)
21B 第2吐出側空気室(第2吐出側流体室)
26A 第1吸込側空気室(第1吸込側流体室)
26B 第2吸込側空気室(第2吸込側流体室)
27 第1エアシリンダ部(第1駆動部)
28 第2エアシリンダ部(第2駆動部)
34 吸込通路
35 吐出通路
51 第1電空レギュレータ(第1流体圧調整部)
52 第2電空レギュレータ(第2流体圧調整部)
Claims (2)
- 移送流体の吸込通路及び吐出通路を有するポンプヘッドと、
前記ポンプヘッドに互いに独立して伸縮自在に取り付けられ、伸長により前記吸込通路から内部に移送流体を吸い込み、収縮により内部から前記吐出通路に移送流体を吐出する第1ベローズ及び第2ベローズと、
前記吸込通路及び吐出通路に対する一方向への移送流体の流れを許容するとともに他方向への移送流体の流れを阻止するチェックバルブと、
第1吸込側流体室及び第1吐出側流体室を有し、前記第1吸込側流体室に加圧流体を供給することで前記第1ベローズを最伸長状態まで伸長させ、前記第1吐出側流体室に加圧流体を供給することで前記第1ベローズを最収縮状態まで収縮させる第1駆動部と、
第2吸込側流体室及び第2吐出側流体室を有し、前記第2吸込側流体室に加圧流体を供給することで前記第2ベローズを最伸長状態まで伸長させ、前記第2吐出側流体室に加圧流体を供給することで前記第2ベローズを最収縮状態まで収縮させる第2駆動部と、を備え、
前記第1ベローズが最収縮状態となる手前で前記第2ベローズが最伸長状態から収縮し、前記第2ベローズが最収縮状態となる手前で前記第1ベローズが最伸長状態から収縮するベローズポンプ装置であって、
前記第1駆動部の第1吐出側流体室における加圧流体の第1流体圧を調整する第1流体圧調整部と、
前記第2駆動部の第2吐出側流体室における加圧流体の第2流体圧を調整する第2流体圧調整部と、
前記第2ベローズが収縮を開始してから前記第1ベローズが最収縮状態となるまでの間、前記第1流体圧が段階的または連続的に減少するように前記第1流体圧調整部を制御し、前記第1ベローズが収縮を開始してから前記第2ベローズが最収縮状態となるまでの間、前記第2流体圧が段階的または連続的に減少するように前記第2流体圧調整部を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記第1ベローズが最収縮状態となる以前に、前記第1流体圧がゼロとなるように前記第1流体圧調整部を制御し、前記第2ベローズが最収縮状態となる以前に、前記第2流体圧がゼロとなるように前記第2流体圧調整部を制御する、ベローズポンプ装置。 - 前記制御部は、前記第1ベローズが最収縮状態となった時点で、前記第1流体圧がゼロとなるように前記第1流体圧調整部を制御し、前記第2ベローズが最収縮状態となった時点で、前記第2流体圧がゼロとなるように前記第2流体圧調整部を制御する、請求項1に記載のベローズポンプ装置。
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