WO2014069016A1

WO2014069016A1 - ノズル管理機

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Publication number: WO2014069016A1
Application number: PCT/JP2013/059226
Authority: WO
Inventors: 英希保坂; 賢司下坂; 和美星川; 邦明柘植; 延久小見山; 力茂手嶋; 久之 ▲辻▼
Original assignee: 富士機械製造株式会社
Priority date: 2012-10-30
Filing date: 2013-03-28
Publication date: 2014-05-08
Also published as: EP2916638B1; CN104770078B; EP2916637A4; CN107072138A; WO2014068673A1; KR102033204B1; JPWO2014069016A1; KR102135007B1; EP2916638A1; KR20150079639A; CN107072138B; JPWO2014068673A1; JP6129201B2; KR20190116587A; EP3684158A1; EP3684158B1; JP6161625B2; EP2916638A4; EP2916637A1; CN107072139A

Abstract

　電気部品装着機において電気部品を保持するために使用される吸着ノズルＮを管理するためのノズル管理機８０を、それぞれに吸着ノズルを載置可能な複数のパレットＮＰを備えたノズル収容装置１００と、それら複数のパレットの各々に載置されている吸着ノズルを移載するノズル移載装置１０４とを備えるように構成する。ノズル収容装置においてパレットに載置されている吸着ノズルを、ノズル移載装置によって、種々の目的の下、例えば、電気部品装着機において使用される際に載置されるノズルトレイＮＴに移載したり、或いは、そのパレット内の別の箇所や別のパレットに移載したりすることができるため、実用性の高いノズル管理機が実現される。

Description

ノズル管理機

　本発明は、電気部品装着機において電気部品を保持するために使用される吸着ノズルを管理するためのノズル管理機に関する。

　多くの電気部品装着機では、電気部品を回路基板に装着する際に、その電気部品は吸着ノズルによって保持される。そのような電気部品装着機において適切な吸着ノズルを用いることは、電気部品の装着精度を高く維持するために重要なことである。これまでに、例えば、吸着ノズルの洗浄に関しては、下記特許文献１に記載された技術が、吸着ノズルの検査に関しては、下記特許文献２，特許文献３に記載された技術が、それぞれ存在している。

特開２０１２－１１４２３７号公報特開２０１２－４３０６号公報特開２０１０－２５８１８５号公報

発明の解決しようとする課題

　上記のような特許文献が存在する事実からも解るように、適切な吸着ノズルを使用するためには、吸着ノズルを適切に管理する必要がある。そのため、吸着ノズルの適切な管理を行うことのできるノズル管理機、特に、実用性の高いノズル管理機が望まれている。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、実用性の高いノズル管理機を提供することを課題とする。

　上記課題を解決するために、本発明のノズル管理機は、電気部品装着機において電気部品を保持するために使用される吸着ノズルを管理するためのノズル管理機であって、それぞれに吸着ノズルを載置可能な複数のパレットを備えたノズル収容装置と、それら複数のパレットの各々に載置されている吸着ノズルを移載するノズル移載装置とを備えたことを特徴とする。

　本発明によれば、上記ノズル収容装置においてパレットに載置されている吸着ノズルを、上記ノズル移載装置によって、種々の目的の下、例えば、電気部品装着機において使用される際に載置されるノズルトレイに移載したり、或いは、そのパレット内の別の箇所や別のパレットに移載したりすることができるため、実用性の高いノズル管理機が実現される。

発明の態様

　以下に、本願において特許請求が可能と認識されている発明（以下、「請求可能発明」という場合がある）の態様をいくつか例示し、それらについて説明する。各態様は請求の範囲と同様に、項に区分し、各項に番号を付し、必要に応じて他の項の番号を引用する形式で記載する。これは、あくまでも請求可能発明の理解を容易にするためであり、それらの発明を構成する構成要素の組み合わせを、以下の各項に記載されたものに限定する趣旨ではない。つまり、請求可能発明は、以下の各項に付随する記載，実施形態の記載等を参酌して解釈されるべきであり、その解釈に従う限りにおいて、各項の態様にさらに他の構成要素を付加した態様も、また、各項の態様から何某かの構成要素を削除した態様も、請求可能発明の一態様となり得るのである。

　なお、以下の各項において、（１）項が請求項１に、（３１）項が請求項２に、（６）項が請求項３に、（８）項が請求項４に、（４１）項が請求項５に、（４６）項が請求項６に、（５１）項が請求項７に、（６１）項が請求項８に、（６２）項が請求項９に、（６４）項が請求項１０に、（６５）項が請求項１１に、（７１）項が請求項１２に、（７２）項が請求項１３に、（７３）項が請求項１４に、（１２）項が請求項１５に、それぞれ相当する。

≪基本的構成≫
　以下のいくつかの態様は、ノズル管理機（以下、単に「管理機」という場合がある）の基本的構成に関する態様であり、ノズル収容装置の構成に関する限定を加えた態様が含まれている。

　（１）電気部品装着機において電気部品を保持するために使用される吸着ノズルを管理するためのノズル管理機であって、
　それぞれに吸着ノズルを載置可能な複数のパレットを備えたノズル収容装置と、
　前記複数のパレットの各々に載置されている吸着ノズルを移載するノズル移載装置と
　を備えたノズル管理機。

　本態様によれば、上記ノズル収容装置においてパレットに載置されている吸着ノズル（以下、単に「ノズル」と言う場合がある）を、上記ノズル移載装置（以下、単に「収容装置」と言う場合がある）によって、種々の目的の下、例えば、電気部品装着機において使用される際に載置されるノズルトレイ（後に詳しく説明する）に移載したり、或いは、そのパレット内の別の箇所や別のパレットに移載したりすることができるため、実用性の高いノズル管理機が実現される。

　本態様における「パレット」は、ノズル載置器若しくは収容器（コンテナ）と呼ぶことのできるものであり、本態様では、パレット単位で、複数のノズルが収容される。本態様によれば、収容装置からの出し入れ，ノズルに対する処置もパレット単位で行えることで、利便性に富んだ管理機が実現される。

　（２）前記複数のパレットの各々が、それぞれに１つの吸着ノズルが載置される複数の載置部を有する(1)項に記載のノズル管理機。

　パレットに上記載置部を設けることにより、パレット内にノズルをしっかりと保持することが可能となる。逆に言えば、上記載置部は、ノズルのズレ動きを防止可能な構造とすることが望ましい。

　（３）前記複数のパレットの１以上のものの各々が、互いに種別において異なる複数種の吸着ノズルを載置可能に構成された(1)項または(2)項に記載のノズル管理機。

　１つのパレットに１の種別のノズルしか載置できないとすれば、ノズルの種別に応じてパレットの種類も豊富化しなければならず、その豊富化には、ある意味での面倒さが伴う。複数種のノズルを載置可能なパレットとすれば、パレットの種類を少なくすることが可能であり、その面倒さを回避若しくは軽減できることになる。つまり、本態様では、パレットの汎用化が実現されているのである。また、収容装置全体で考えれば、１の種別のノズルしか載置できないパレットを複数種類準備した場合、全体のパレット数には制限があるため、ノズルの種別毎のパレット数を少なくせざるを得ないことになる。それに対して、複数種のノズルを載置可能なパレットを採用することにより、ノズルの種別にあまり左右されることなく、収容装置を簡便に運用することが可能となる。なお、上記面倒さの回避，収容装置の簡便なる運用といった観点からすれば、当該管理機が対象とするすべての種別のノズルが載置可能なパレットを採用することが望ましい。

　一般的に、ノズルは、後に説明するフランジを有しており、上方から見た場合、円い形状をしている。その円い形状のノズルをパレットに並べて配置した場合、比較的外径の大きなノズルでは、配置効率が悪いものとなる。つまり、パレットの面積に比較して、ノズル、詳しくは、それのフランジが占める面積が相当に小さくなるのである。そのことに鑑みれば、比較的外径の大きなノズルと比較的外径の小さなノズルとを混在させて配置することにより、つまり、それらを互い違いに配置することにより、載置できるノズルの数を多くすることが可能となる。極端に言えば、大きな外径のノズルの隙間に小さな外径のノズルを配置することで、配置効率は、大きく向上するのである。その観点からすれば、本態様では、互いにサイズの異なる複数種のノズル，特に，フランジの外径の異なる複数種のノズルを載置可能に構成することが望ましい。

　なお、上述の態様、つまり、パレットに複数の載置部を設けた態様においては、それら複数の載置部の少なくとも一部が、互いに種別において異なる複数種のノズルを載置可能なように構成することもできる。１の種別のノズルしか載置できない載置部とすれば、１つのパレットに複数種のノズルを載置する場合、そのパレットには、たくさんの種類の載置部を設けなければならない。その場合、多くの載置部にノズルが載置されない事態も起こり得る。つまり、空となっている載置部が多く存在する可能性が高まるのである。載置部に複数種のノズルを載置可能にすることにより、つまり、複数種のノズルで共用される載置部を設けれることにより、パレットを汎用化しつつ、そのパレットに効率的にノズルを載置することが可能となる。なお、サイズにおいて互いに異なる複数種のノズルをも１つの載置部に載置可能に構成すれば、より効率的にノズルをパレットに載置することが可能となる。

　（４）前記ノズル収容装置が、前記複数のパレットを当該ノズル収容装置内において移動させるパレット移動装置を有する(1)項ないし(3)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

　本態様によれば、収容装置の中でパレットが移動可能とされていることで、特定の位置における収容装置からのパレットの搬出，収容装置への搬入を行わせることが可能となる。本態様におけるパレット移動装置は、複数のパレットの各々を単独で移動させるように構成されていてもよく、また、複数のパレットを同時にすなわち一緒に移動させるように構成されていてもよい。

　（５）前記パレット移動装置が、前記複数のパレットを同時に循環移動させるパレット循環装置である(4)項に記載のノズル管理機。

　本態様におけるパレット移動装置では、その装置の構造を比較的簡便な構造としつつ、その構造に依拠して、複数のパレットを一緒に同じ経路に沿って移動させることが可能である。

　（６）当該ノズル管理機が、
　前記複数のパレットのうちの１つを、前記ノズル収容装置から、前記ノズル移載装置による吸着ノズルの移載が可能な位置として設定された移載位置に移送する移載用パレット移送装置を備え、
　前記ノズル移載装置が、前記移載用パレット移載装置によって前記移載位置に移送された前記複数のパレットのうちの１つに載置されている吸着ノズルを移載するように構成された(1)項ないし(5)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

　本態様における「移載用パレット移送装置」は、１のパレットに載置された複数のノズルをそのパレットごと移送する「パレット移送装置」の一形態であり、「ノズル移送装置」の一形態と考えることができる。本態様によれば、収容装置と移載装置との間の複数のノズルの運搬を比較的容易に行うことが可能となる。なお、移載用パレット移送装置（以下、単に「移送装置」という場合がある）は、収容装置内のどの位置に位置するかに拘わらず任意のパレットを移送するように構成されていてもよく、また、後に説明するように、特定の位置に位置するパレットだけを移送するように構成されていてもよい。前者の構成は、収容装置がパレット移動装置を有していない場合において有効である。なお、移送装置は、移載位置に位置させられているパレットを収容装置に移送する機能、つまり、パレットを返送する機能を有していることが望ましい。

　（７）前記ノズル収容装置が、前記複数のパレットを当該ノズル収容装置内において移動させるパレット移動装置を有し、
　前記移載用パレット移送装置が、そのパレット移動装置によって設定位置に移動させられた前記複数のパレットのうちの１つを、前記移載位置に移送するように構成された。

　本態様における移送装置は、収容装置が有する複数のパレットのうち特定の位置に位置する１つのパレットを移送する機能を有している。つまり、本態様では、収容装置内においてパレットがパレット移動装置によって特定のステーションに移動させられた場合に、そのステーションと移載装置との間でパレットの移送が行われる。本態様によれば、収容装置内の特定の位置と移載装置との間でパレットを移送すればよいことから、移送装置の構造を簡便化することが可能となる。

　（８）前記移載用パレット移送装置が、
　前記複数のパレットのうちの２以上のものが、一時期において、それぞれが前記移載位置である２以上の移載位置にそれぞれ位置するように、それら前記複数のパレットのうちの２以上のものを、順次、移送するように構成された(6)項または(7)項に記載のノズル管理機。

　本態様によれば、移送装置によって、複数のパレットが移載装置による移載が可能な位置に位置させられることなり、それら複数のパレットのいずれに載置されているノズルをも一時期に後述のノズルトレイに移載することが可能となり、また、それら複数のパレット間のノズルの移載が可能となる。したがって、本態様によれば、相当に利便性に富んだノズル管理機が実現されることになる。

≪ノズル移載装置の構成≫
　以下のいくつかの態様は、ノズル移載装置の構成に関する限定を加えた態様である。

　（１１）前記ノズル移載装置が、１つの吸着ノズルを保持するノズル保持具と、そのノズル保持具を移動させる保持具移動装置とを有する(1)項ないし(8)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

　本態様は、ノズル移載装置の具体的な構造に関する態様である。上記「ノズル保持具」は、チャック，クランプ等の離脱可能にノズルを保持するものを採用することができる。また、「保持具移動装置」は、いわゆるＸＹＺ型ロボットを始めとして、多関節型ロボット等、広く種々の移動装置を採用可能である。

　（１２）前記ノズル収容装置が、互いに種別の異なる複数種の吸着ノズルを収容可能とされ、
　前記ノズル移載装置が、それぞれが前記ノズル保持具として準備された複数のノズル保持具の中から、保持する吸着ノズルの種別に応じた１つのものを使用するように構成された(11)項に記載のノズル管理機。

　収容装置が複数種のノズルを収容可能とされている場合、サイズ，形状等の違いよって、それら複数種のノズルを１つのノズル保持具を利用して移載することが困難な場合がある。本態様は、そのような場合に有効な態様である。本態様によれば、サイズ，形状等が異なる複数種のノズルを収容する場合であっても、それら複数種のノズルの各々をしっかりと保持して正確に移載することが可能となる。

≪トレイとの間でのノズルの移載≫
　以下のいくつかの態様は、ノズル移載装置の１つの機能、詳しくは、ノズルトレイとパレットとの間でノズルを移載する機能に関する限定を加えた態様である。

　（２１）前記電気部品装着機が、
　自身において使用される吸着ノズルが、自身に着脱可能に配備されたノズルトレイに載置されるように構成されており、
　前記ノズル移載装置が、
　前記ノズルトレイと、前記複数のパレットのうちの１つとの間で、吸着ノズルを移載可能に構成された(1)項ないし(12)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

　電気部品装着機では、回路基板にいくつかの電気部品を装着する際、電気部品のサイズ等に応じて、使用するノズルを交換することがあり、多くの電気部品装着機では、交換可能ないくつかのノズルが、ノズルトレイ（以下、単に「トレイ」と言う場合がある）に載置された状態で、当該電気部品装着機に設けられたノズルステーションに配置される。本態様によれば、移載装置によって、パレットからそのトレイへのノズルの移載，そのトレイからパレットへのノズルの移載を行うことが可能である。詳しく言えば、電気部品装着機においてこれから使用するために、収容装置に収容されているいくつかのノズルをトレイにセッティングための「セッティング移載」や、電気部品装着機において使用されていたノズルを、トレイから収容装置に収容するための「収容移載」を行うことが可能となるのである。

　（２２）前記ノズル移載装置が、
　前記ノズルトレイと前記複数のパレットのうちの１つとが、当該ノズル移載装置による吸着ノズルの移載が可能な位置としてそれぞれに対して設定されたそれぞれの移載位置に位置させられた状態において、それらノズルトレイと複数のパレットのうちの１つとの間で、吸着ノズルを移載するように構成された(21)項に記載のノズル管理機。

　本態様は、パレットとトレイとの両方がそれぞれ設定位置に位置させられた状態で、ノズルの移載を行う態様である。なお、本態様は、先に説明したように複数のパレットがそれぞれに設定された移載位置に位置させられた状態において、それら複数のパレットとトレイとの間でノズルを移載することを除外するものではない。

　（２３）当該ノズル管理機が、
　前記複数のパレットのうちの１つを、前記ノズル収容装置から、その１つに対して設定された前記移載位置に移送する移載用パレット移送装置を備えた(22)項に記載のノズル管理機。

　本態様は、先に説明した移送装置を利用してパレットを移載位置に位置させるようにされた態様である。

≪パレット間のノズルの移載≫
　以下のいくつかの態様は、ノズル移載装置の別の１つの機能、詳しくは、複数のパレット間でノズルを移載する機能に関する限定を加えた態様である。

　（３１）前記ノズル移載装置が、
　前記複数のパレットのうちの１つと、別の１つとの間で、吸着ノズルを移載可能に構成された(1)項ないし(23)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

　本態様は、パレット間でノズルを移載可能とした態様である。収容装置内に収容されているノズルの配置替え，整列等（以下、「配置」と総称する場合がある）に対して有効な態様である。なお、１つのパレット内で行うか、複数のパレット間で行うかに拘わらず、ノズルの配置替え，整列等のためのノズルの移載を、以下、「配置移載」と言う場合があることとする。

　ここで、配置について説明すれば、配置の目的は特に限定されないが、後に詳しく説明するように、例えば、パレットに複数の載置部が設けられている場合において、収容装置の収容効率を向上させる目的で、空となっている載置部を埋めるように配置を行うことが可能である。また、後に詳しく説明する対ノズル処置実行装置を備え、洗浄，検査等の対ノズル処置をパレットごとに行うように構成された管理機の場合、対ノズル処置の効率を向上させる目的で、対ノズル処置が実行されていないノズルだけを１つのパレットに載置させるようにして配置を行うことも可能である。さらに、各ノズルが平均的に使用されることを目的として、使用されていない期間が長い順にノズルを配置させることも可能である。さらにまた、セッティングを迅速に行わせることを目的として、収容装置が複数種のノズルを収容可能とされている場合において、種別毎の使用頻度の順に配置させたり、１つのパレットに種別毎の使用頻度に応じた割合で配置させたり、次のセッティング移載の対象となるノズルのセット，頻繁に使用されるノズルのセット等を１つのパレット内に配置させたりすることも可能である。

　（３２）前記ノズル移載装置が、
　前記複数のパレットのうちの１つと、前記別の１つとが、当該ノズル移載装置による吸着ノズルの移載が可能な位置としてそれぞれに対して設定されたそれぞれの移載位置に位置させられた状態において、それら複数のパレットのうちの１つと別の１つとの間で、吸着ノズルを移載するように構成された(31)項に記載のノズル管理機。

　本態様は、複数のパレットがそれぞれ設定位置に位置させられた状態で、ノズルの移載を行う態様である。

　（３３）前記複数のパレットのうちの１つを、前記ノズル収容装置から、その１つに対して設定された前記移載位置に移送する移載用パレット移送装置を備え、
　その移載用パレット移送装置が、前記複数のパレットのうちの１つと、前記別の１つとを、順次、前記それぞれの移載位置に移送するように構成された(32)項に記載のノズル管理機。

　本態様は、先に説明した移送装置を利用して複数のパレットをそれぞれの移載位置に位置させるようにされた態様である。

≪対ノズル処置実行装置≫
　以下のいくつかの態様は、収容装置に収容された吸着ノズルに対して何らかの処置を実行する機能に関する限定を加えた態様である。

　（４１）当該ノズル管理機が、
　それぞれが、前記複数のパレットのうちの１つに載置されている吸着ノズルに対して何らかの処置を実行する１以上の対ノズル処置実行装置を備えた(1)項ないし(33)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

　本態様における「対ノズル処置実行装置」は、ノズルに対して何らかの処置を実行する装置であり、具体的には、例えば、後に説明するノズル検査装置，ノズル洗浄装置等が含まれる。対ノズル処置実行装置（以下、単に「処置実行装置」と言う場合がある）を備えることで、当該ノズル管理機に、ノズルの収容という機能以外に、備わる処置実行装置に応じた種々の機能を持たせることが可能であり、本態様によれば、実用性の相当に高いノズル管理機が実現される。なお、広義に解釈すれば、先に説明した「ノズル移載装置」も処置実行装置の一種と考えることもでき、以下の説明において、ノズル移載装置を対ノズル処置実行装置として扱う場合もあることとする。

　本態様には、複数の処置実行装置が備えられた態様も含まれる。複数の処置実行装置を備える態様には、同じ処置を実行する装置を複数備える態様も含まれ、互いに異なる処置を実行する装置を複数備える態様も含まれる。前者の態様によれば、その処置の実行能力の大きな管理機を実現することができ、また、後者の態様によれば、多機能な管理機を実現することができる。

　管理機が、互いに異なる処置を実行する複数の処置実行装置を備える場合、その管理機を、例えば、それら複数の処置実行装置をノズルを載置したパレットが順次渡って、それら複数の処置実行装置の各々による処置がノズルに対して順次実行されるように構成することも可能である。そのような構成とは異なり、例えば、複数の処置実行装置が、それぞれ、互いに異なるパレットに載置されたノズルに対して、並行して処置を実行可能に構成することも可能である。後者の構成、つまり、複数の処置実行装置の各々の動作が他のものの動作に対して独立して行われるような構成を採用すれば、複数の処置実行装置の運用、つまり、複数の処置に関する当該管理機の運用が、容易なものとなる。

　（４２）当該ノズル管理機が、
　前記複数のパレットのうちの１つを、前記ノズル収容装置から、前記１以上の対ノズル処置実行装置にそれぞれ移送する１以上の処置用パレット移送装置を備え、
　前記１以上の対ノズル処置実行装置の各々が、前記１以上の処置用パレット移載装置のうちの対応する１つによって移送された前記複数のパレットのうちの１つに載置されている吸着ノズルに対して前記何らかの処置を実行するように構成された(41)項に記載のノズル管理機。

　本態様における「処置用パレット移送装置」も、先に説明した「移載用パレット移送装置」と同様に、１のパレットに載置された複数のノズルをそのパレットごと移送する「パレット移送装置」の一形態であり、「ノズル移送装置」の一形態と考えることができる。本態様によれば、収容装置と処置実行装置との間の複数のノズルの運搬を比較的容易に行うことが可能となる。なお、処置用パレット移送装置（以下、単に「移送装置」という場合がある）は、移載用ノズル移送装置と同様に、収容装置内のどの位置に位置するかに拘わらず任意のパレットを移送するように構成されていてもよく、また、後に説明するように、特定の位置に位置するパレットだけを移送するように構成されていてもよい。前者の構成は、収容装置がパレット移動装置を有していない場合において有効である。なお、処置用パレット移送装置は、移載用ノズル移送装置と同様に、処置実行装置に移送されたパレットを収容装置に移送する機能、つまり、パレットを返送する機能を有していることが望ましい。ちなみに、以下の説明において、処置用パレット移送装置と、先に説明した移載用パレット移送装置とを、それらの上位概念である「パレット移送装置」として総括的に扱う場合があることとする。

　本態様は、簡単に言えば、処置実行装置ごとに移送装置を備えた態様と考えることができる。先に説明した複数の処置実行装置が互いに独立して動作可能な態様において、特に有効である。

　（４３）前記ノズル収容装置が、前記複数のパレットを当該ノズル収容装置内において移動させるパレット移動装置を有し、
　前記１以上の処置用パレット移送装置の各々が、前記パレット移動装置によって設定位置に移動させられた前記複数のパレットのうちの１つを、前記１以上の対ノズル処置実行装置のうちの対応する１つのものに移送するように構成された(42)項に記載のノズル管理機。

　先に説明した移載用パレット移送装置に関する態様と同様に、本態様における移送装置は、収容装置が有する複数のパレットのうち特定の位置に位置する１つのパレットを移送する機能を有している。つまり、本態様では、収容装置内においてパレットがパレット移動装置によって特定のステーションに移動させられた場合に、そのステーションと処置実行装置との間でパレットの移送が行われる。本態様によれば、収容装置内の特定の位置と処置実行装置との間でパレットを移送すればよいことから、移送装置の構造を簡便化することが可能となる。

　（４４）当該ノズル管理機が、
　前記１以上の対ノズル処置実行装置のうちの１つとして、前記複数のパレットのうちの１つに載置されている吸着ノズルの洗浄を行うノズル洗浄装置を備えた(41)項ないし(43)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

　本態様は、処置実行装置として、ノズル洗浄装置（以下、単に「洗浄装置」と言う場合がある）を備えた態様である。ノズルは、詰まりの解消，汚れの除去等の目的で洗浄されることが望ましい。本態様によれば、ノズルの洗浄までも行うことができるため、相当に実用性の高い管理機が実現されることになる。また、洗浄装置によるノズルの洗浄を、パレットにノズルを載置したままで行うことができるため、極端にいえば、ノズルが収容装置内において収容されているのと同じ状態で行うことができるため、その洗浄は、簡便かつ効率のよいものとなる。なお、本態様において、洗浄装置は、それによる洗浄の方法が特に限定されるものではなく、既に公知の種々の洗浄方法を採用することが可能である。

　なお、本態様では、洗浄装置によって洗浄された吸着ノズルの乾燥を行うノズル乾燥装置（以下、単に「乾燥装置」と言う場合がある）を備えていてもよい。乾燥装置を備える場合、乾燥の直後にノズルが収容装置内に収容されたとしても、そのノズルを、ある程度充分に乾燥した状態で収容することが可能となる。また、洗浄後、それほど間を置かずに使用することも可能となる。なお、本態様における乾燥装置は、それが採用する乾燥手段が特に限定されるものではなく、既に公知の種々の乾燥手段を採用することが可能である。ちなみに、上述の移送装置を備える場合、時間的なロスを少なくするという観点からすれば、洗浄したノズルが載置されたパレットをその移送装置によって収容装置に移送する際にノズルの乾燥を行うことが望ましい。

　（４５）当該ノズル管理機が、
　前記１以上の対ノズル処置実行装置のうちの１つとして、前記複数のパレットのうちの１つに載置されている吸着ノズルの検査を行うノズル検査装置を備えた(41)項ないし(44)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

　本態様によれば、例えば、収容装置に収容された若しくは収容されるノズルに対して検査を行うことができるため、便利な管理機が実現されることになる。また、ノズル検査装置（以下、単に「検査装置」と言う場合がある）によるノズルの検査を、パレットにノズルを載置したままで行うことができるため、極端にいえば、ノズルが収容装置内において収容されているのと同じ状態で行うことができるため、その検査は、簡便かつ効率のよいものとなる。

　本態様において検査装置が行う検査の項目については特に限定されないが、例えば、(a)ノズルを通過するエアの流量に関する検査である通過流量検査、(b)ノズルに付されてそのノズルの固有情報を認識するための識別子の読取りに関する検査である識別子読取検査、(c)ノズルの先端部の状態に関する検査である先端部状態検査、(d)ノズルの先端部が付勢力に抗して後退可能とされている場合におけるその吸着ノズルの先端部の後退に要する力に関する検査である後退必要力検査等、種々の項目についての検査を行うことが可能である。なお、検査装置は、１つの項目についての検査しか行わないものであってもよく、複数の項目についての検査を行うものであってもよい。また、本態様には、互いに項目の異なる検査を行う複数の検査装置を備えた態様も含まれる。

　（４６）当該ノズル管理機が、
　前記複数のパレットのうちの１つに載置されている吸着ノズルの前記ノズル移載装置による移載と、前記複数のパレットのうちの別の１つに載置されている吸着ノズルに対する前記１以上の対ノズル処置実行装置のうちの１つによって実行される前記何らかの処置とが、並行して行われるように構成された(41)項ないし(45)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

　本態様は、簡単に言えば、処置実行装置の動作と移載装置の動作とが互いに独立して行われるように構成されたた態様である。本態様によれば、上述のセッティング移載，収容移載，パレット間のノズルの移載を行いつつ、それらの移載に関係しないパレットに収容されているノズルに対する洗浄，検査等を行うことができ、それらの移載を阻害することなく、移載に供されるノズルとは別のノズルに対する処置を実行することが可能となる。したがって、効率のよいノズルの管理を行うことができることになるのである。なお、複数の処置実行装置を備える場合には、先に説明したように、複数の処置実行装置も、それぞれ、互いに異なるパレットに載置されたノズルに対して、並行して処置を実行可能な構成、つまり、複数の処置実行装置の各々の動作が他のものの動作に対して独立して行われるような構成を採用することが望ましい。

≪制御装置による制御≫
　以下のいくつかの態様は、当該ノズル管理機の制御に関する態様であり、言い換えれば、当該ノズル管理機の運用方法を示す態様である。なお、以下のいくつかの態様は、様々な制御を行う際の前提となる情報に関する限定を加えた態様を含んでいる。

　（５１）当該ノズル管理機が、自身の制御を司る制御装置を備えた(1)項ないし(46)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

　本態様は、制御に関する基本的態様であり、制御装置は、管理機の運用を主体的に実行する構成要素である。制御装置は、例えば、コンピュータを主要構成要素として構成されるようなものであってもよい。

　（５２）前記制御装置が、
　前記ノズル収容装置に収容されている吸着ノズルの各々の固有情報が、そのノズル収容装置におけるその各々の収容位置に関連付けられて記憶されるノズル情報記憶部を有し、かつ、そのノズル情報記憶部に記憶されている吸着ノズルの各々の前記固有情報に基づいて、制御を行うように構成された。

　本態様おける「固有情報」には、例えば、典型的なものとして、ＩＤが含まれ、その他、品質に関する良否情報，能力の高さに関する情報，使用頻度，使用されていない時間を直接的若しくは間接的に示す情報等、種々のものがまれる。収容装置に収容されている複数のノズルの収容位置の把握、つまり、どの位置にどのノズルが収容されているかの把握において、固有情報はきわめて有用な情報である。本態様によれば、収容装置内のどの収容位置にどのようなノズルが収容されているかが把握でき、その把握に基づいて、収容されているノズルを適切に管理することが可能となる。

　（５３）吸着ノズルの各々には、その各々の前記固有情報を認識するための識別子が付されており、
　当該ノズル管理機が、その識別子を読み取るための識別子読取器を備え、
　前記ノズル情報記憶部が、その識別子読取器の読取によって取得された吸着ノズルの各々の前記固有情報を記憶するように構成された(52)項に記載のノズル管理機。

　本態様は、上記固有情報の取得の手段に関する限定を加えた態様である。本態様における「識別子」は、例えば、バーコード，２Ｄコード（ＱＲコード（登録商標）等の二次元コード）等を採用することができ、「識別子読取器」は、例えば、バーコードリーダ，カメラ等の撮像装置等を採用することが可能である。上記固有情報の認識は、ノズルの移載の際、特に、上記収容移載の際に行われるのが望ましい。そのことに鑑みれば、識別子読取器は、移載装置に設けられることが好ましい。より具体的には、移載装置が上記ノズル保持具と上記保持具移動装置とを含んで構成される場合には、識別子読取器がノズル保持具とともに保持具移動装置によって移動させられるように構成されることが望ましい。

　（５４）前記複数のパレットの各々が、それぞれに１つの吸着ノズルが載置される複数の載置部を有し、
　前記吸着ノズルの各々の前記収容位置が、その各々が前記複数のパレットのうちのいずれにおいて前記複数の載置部のいずれに載置されているかによって規定されている(52)項または(53)項に記載のノズル管理機。

　本態様では、簡単に言えば、各パレットの各載置部が１つ１つの収容位置として規定されており、本態様によれば、どのパレットのどの箇所にどんなノズルが収容されているかが把握でき、収容されているノズルの管理をより適切に行うことが可能となる。

≪トレイへのノズルのセッティングのバリエーション≫
　以下のいくつかの態様は、ノズルの上記ノズルトレイへのセッティング、つまり、セッティング移載に関する態様である。

　（６１）前記電気部品装着機が、
　自身において使用される吸着ノズルが、自身に着脱可能に配備されたノズルトレイに載置されるように構成されており、
　前記ノズル移載装置が、
　前記ノズルトレイと、前記複数のパレットのうちの１つとの間で、吸着ノズルを移載可能に構成され、
　前記制御装置が、
　前記ノズル移載装置を制御することによって、前記複数のパレットのうちの１以上のものから、前記ノズルトレイに、前記電気部品装着機において必要とされる吸着ノズルを移載させるセッティング制御部を有する(51)項ないし(54)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

　本態様は、ノズルのセッティングに関する基本態様である。上記「セッティング移載」は、例えば、電気部品装着機においてこれから使用されるノズルをトレイにセッティングするための移載であり、セッティング移載により、収容装置に収容されている複数のノズルのうちのいくつかのものがノズルトレイに配置される。したがって、本態様によれば、電気部品装着機において使用を予定しているノズルを、予めトレイにセッティングすることにより、電気部品装着機に対するノズルの準備を効果的に支援することができる。つまり、電気部品装着機による作業のロスを小さくすることができることになるのである。また、何らかの情報に基づいて、ノズルのセッティングを自動で行うように構成すれば、当該管理機の利便性は高いものとなる。

　（６２）当該ノズル管理機が、前記電気部品装着機と、その電気部品装着機を管理する管理装置との少なくとも一方と通信可能とされており、
　前記セッティング制御部が、前記電気部品装着機と前記管理装置との少なくとも一方から受信した情報に基づいて、前記電気部品装着機において必要とされる吸着ノズルを移載させるように構成された(61)項に記載のノズル管理機。

　本態様では、ノズルのセッティングのための情報が当該管理機の外部から送られてくるようになっており、その送られてきた情報に基づいて、ノズルのセッティングが行われることになる。本態様によれば、外部からの情報に基づいたノズルのセッティングが可能となることから、極めて利便性の高い管理機が実現する。当該管理機が受信する情報は、どのノズルをどのトレイのどの箇所に載置するかを直接的に指示する情報であってもよく、例えば、電気部品装着機で実行される装着プログラム等のような間接的な情報であってもよい。間接的な情報である場合には、当該制御装置において、どのノズルをどのトレイのどの箇所に載置するかを決定し、その決定に基づいてノズルのセッティングを行うように構成することも可能である。なお、上記「管理装置」には、いわゆるホストコンピュータと呼ばれるような装置が含まれる。

　（６３）前記制御装置が、
　前記ノズル移載装置を制御することによって、吸着ノズルが載置された前記ノズルトレイから、その吸着ノズルを、前記ノズル収容装置に収容するために、前記複数のパレットのうちの１以上のものに移載させる収容制御部を有する(61)項または(62)項に記載のノズル管理機。

　本態様は、移載装置が上述の収容移載をも実行可能とされた態様である。「収容移載」は、例えば、電気部品装着機において使用されていたノズルを、収容装置に収容するための移載であり、収容移載により、トレイに載置されている複数のノズルのうちの少なくとも一部が、トレイから取り除かれる。本態様によれば、電気部品装着機におけるノズルの片付け等を効果的に支援可能な管理機が実現される。

　（６４）前記制御装置が、
　前記収容制御部の制御によって前記ノズルトレイから移載させられた吸着ノズルと同じ型式の別の吸着ノズルを、前記セッティング制御部の制御によって、そのノズルトレイに移載させるように構成された(63)項に記載のノズル管理機。

　本態様は、ノズルのいわゆる再セッティングを行うことができる態様である。例えば、長時間使用したためにノズルの交換が必要となった場合等、電気部品装着機で使用しているノズルの交換を行う場合に有効な態様となる。本態様によれば、例えば、使用していたノズルが載置されているトレイを当該管理機にセットするだけで、自動的に、それらのノズルを使用可能な別のノズルに交換するように構成することができ、そのように構成すれば、極めて実用性の高い管理機が実現されることになる。

　（６５）前記セッティング制御部が、
　吸着ノズルを、使用頻度が可及的に均一となるように前記ノズルトレイに移載させるように構成された(61)項ないし(64)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

　「使用頻度」とは、例えば、ノズルがどのぐらいの時間使用されているか、或いは、ノズルがどのぐらいの回数使用されているかといったことを示すパラメータ若しくは指標と考えることができる。ちなみに、過去の全期間に亘っての使用時間或いは使用回数等を示すものであってもよく、設定時間内における使用時間或いは使用回数等を示すものであってもよい。ちなみに、本態様における使用頻度は、各ノズル毎の使用頻度を意味する。

　本態様によれば、収容装置に収容されているノズルを、万遍無く、つまり、一部若しくは特定のノズルに偏よることなく使用することができ、実用性の高い管理機が実現される。具体的には、例えば、制御装置が、各ノズルの固有情報として上記使用頻度に関する情報を記憶し、その記憶された情報に基づいてセッティング移載を実行することにより、ノズルの使用頻度が可及的に均一となるようにすることが可能となる。

　（６６）前記セッティング制御部が、
　吸着ノズルを、使用されていない期間の長い順に前記ノズルトレイに移載させるように構成された(61)項ないし(65)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

　本態様は、先の態様、つまり、ノズルの使用頻度を可及的に均一となるようにセッティング移載を行う態様の一種と考えることができる。「使用されていない期間（以下、「未使用期間」という場合がある）とは、例えば、収容された時点からの収容されている時間と考えることができ、そのように考えた場合、本態様によれば、使用されずに収容装置内に収容されている時間の長いノズルから優先的にセッティングに供されることになる。その結果、ノズルの使用頻度が均一化されるのである。本態様の管理機を実現させるには、具体的には、例えば、制御装置を、各ノズルの固有情報として上記上記使用されていない期間に関する情報（使用頻度に関する情報の一種と考えることができる）を記憶し、その記憶された情報に基づいてセッティング移載を実行するように構成すればよい。なお、未使用期間に関する情報として、ノズルが当該管理機に収容された時刻（以下、「収容時刻」と言う場合がある）を採用することができる。ノズルの収容時刻を記憶しておき、その収容時刻にもとづいてセッティング移載を行うことにより、容易に、ノズルの使用頻度を均一化させることができる。

≪収容装置内におけるノズルの配置のバリエーション≫
　以下のいくつかの態様は、パレットへのノズルの配置に関する態様であり、言い換えれば、先に説明した配置移載の実行方法に関する態様と考えることができる。

　（７１）前記制御装置が、
　前記ノズル移載装置を制御することによって、前記ノズル収容装置内において、前記複数のパレットのうちの１以上のものに、吸着ノズルを、設定された規則に従って配置させる配置制御部を有する(51)項ないし(66)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

　本態様の収容装置内のノズルの配置に関する基本的な態様であり、本態様によれば、定まった規則に従って収容装置に収容されているノズルが配置されるため、ノズルの管理の容易化が図られることになる。

　（７２）当該ノズル管理機が、前記複数のパレットのうちの１つに載置されている吸着ノズルの洗浄を行うノズル洗浄装置を備え、
　前記配置制御部が、前記複数のパレットの１つに、そのノズル洗浄装置による洗浄が完了していない吸着ノズルだけを配置させるように構成された(71)項に記載のノズル管理機。

　当該管理機が洗浄装置を備えている場合、本態様によれば、既に洗浄されたノズルを再度洗浄してしまうことを防止することができるため、効率的なノズルの洗浄を行うことが可能となる。

　（７３）前記電気部品装着機が、
　自身において使用される吸着ノズルが、自身に着脱可能に配備されたノズルトレイに載置されるように構成されており、
　前記配置制御部が、特定のセットを構成するようにして前記ノズルトレイに載置される吸着ノズルを、前記複数のパレットのうちの１つに配置させるように構成された(71)項または(72)項に記載のノズル管理機。

　本態様によれば、電気部品装着機で使用される特定のセットのノズルが１つのパレット内に配置されることになるため、その特定のセットのノズルをトレイにセッティングする際、そのセッティングを迅速に行うことが可能となる。具体的には、よく使用されるセット、つまり、使用頻度の高いセットや、既に使用されることが予定されているセットのノズルを、特定のセットのノズルとして１つのパレットに配置させればよい。

　（７４）前記配置制御部が、
　吸着ノズルを、前記複数のパレットのうちの１以上のものにおいて、使用されていない期間の長い順に配置させるように構成された(71)項ないし(73)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

　本態様によれば、ノズルの配置の順に従ってセッティング行うことで、ノズルを万遍無く、つまり、偏りなく使用することが可能となる。言い換えれば、セッティング移載に特別な工夫を凝らすことなく、ノズルの使用頻度を可及的に均一化することが可能となる。なお、収容装置に複数種のノズルが収容可能とされている場合、本態様は、種別毎に、未使用期間の長い順に配置させるようにすればよく、複数種のうち一部の種別のノズルのみを未使用期間の長い順に配置させるようにしてもよい。なお、先に説明したように、ノズルの収容時刻に基づくことにより、容易に、ノズルを使用期間の長い順に配置することができる。

　（７５）前記ノズル収容装置が、互いに種別の異なる複数種の吸着ノズルを収容可能とされ、
　前記配置制御部が、
　前記複数のパレットのうちの１以上のものの各々において、２以上の種別の吸着ノズルを、種別毎の使用頻度に応じた割合で配置させるように構成された(71)項ないし(74)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

　本態様における「種別毎の使用頻度」とは、例えば、１の種別のノズルが、延べどのぐらいの時間使用されているか、或いは、延べどのぐらいの回数使用されているかといったことを示すパラメータ若しくは指標と考えることができる。つまり、１の種別の各ノズルについての使用時間の合計，使用回数の合計等を示すパラメータ若しくは指標と考えることができる。ちなみに、過去の全期間の延べ使用時間或いは延べ使用回数等を示すものであってもよく、設定時間内における延べ使用時間或いは延べ使用回数等を示すものであってもよい。

　本態様によれば、あるパレットには、複数の種別のノズルが、その種別毎の使用頻度に応じた数だけ配置されることになる。つまり、使用頻度の高い種別のノズルは大きな数載置され、使用頻度の低い種別のノズルは小さな数載置されることになる。その結果、多くの場合、そのパレット１つからのセッティング移載だけで、１つのトレイについてのノズルのセッティングが完了することになる。したがって、したがって、本態様によれば、ノズルのセッティングを迅速に行うことが可能となる。

　（７６）前記ノズル収容装置が、互いに種別の異なる複数種の吸着ノズルを収容可能とされ、
　前記配置制御部が、
　前記複数のパレットのうちの１以上のものにおいて、２以上の種別の吸着ノズルを、種別毎の使用頻度の順に配置させるように構成された(71)項ないし(75)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。

　本態様によれば、簡単に言えば、いくつかの種別のノズルが、収容装置内において（複数のパレットに跨って配置されることをも含む意味である）、使用頻度の順に整列されることになる。したがって、収容装置内における管理が容易なものとなる。なお、２つ以上の種別のノズルが載置されているパレットが存在する場合、そのパレットからセッティング移載を行うことで、その２つ以上の種別のノズルを含んだセットのセッティングが迅速に行うことが可能となる。

実施例のノズル管理機の管理対象となる吸着ノズルが使用される電気部品装着機を示す斜視図である。代表的な吸着ノズルを示す斜視図である。電気部品装着機において吸着ノズルが載置されるノズルトレイを示す図である。実施例のノズル管理機の外観を示す斜視図である。ノズル管理機の内部構造を示す斜視図である。ノズル管理機の内部構造を別の視点で示す斜視図である。ノズル管理機が備えるノズル移載装置を説明するための斜視図である。ノズル管理機が備える第１ノズル検査装置を説明するための斜視図である。ノズル管理機が備える第２ノズル検査装置を説明するための斜視図である。ノズル管理機が備えるノズル洗浄装置およびノズル乾燥装置を説明するための斜視図である。図１０に示すノズル洗浄装置およびノズル乾燥装置を、ハウジングを取り除いた状態で示す斜視図である。ノズル管理機が備えるノズル収容装置において、吸着ノズルが載置されるノズルパレットを示す図である。ノズル管理機の管理するいくつかの吸着ノズルを示す図である。載置穴に吸着ノズルが載置された状態、および、採用可能な別の載置穴を示すノズルパレットの一部の断面図である。ノズル管理機が備える第１ノズル検査装置による先端部状態検査を説明するための模式図である。ノズル管理機が備える第１ノズル検査装置による後退必要力検査を説明するための模式図である。ノズル管理機が備える第２ノズル検査装置による通過流量検査および識別子読取検査を説明するための模式図である。ノズル管理機が備えるノズル洗浄装置およびノズル乾燥装置による吸着ノズルの洗浄および乾燥を説明するための模式図である。ノズル管理機の付加的構成を説明するための斜視図である。ノズル管理機において行われる種々のオペレーションの流れを示すチャートである。ノズル管理機と電気部品装着機および管理コンピュータとの接続を示す図である。ノズル管理機の制御装置が記憶している収容ノズル情報を模式的に示すテーブルである。ノズル管理機の制御装置が記憶しているノズル種別毎使用頻度情報を模式的に示すテーブルである。ノズル管理機の制御装置が記憶している収容トレイ情報を模式的に示すテーブルである。ノズル管理機の制御装置が吸着ノズルのノズルトレイへのセッティングの際に利用するノズルセッティング情報を模式的に示すテーブルである。ノズル管理機内におけるノズルパレットの役割を説明するための概念図である。吸着ノズルのノズルパレットへの配置順序を示す概念図である。ノズル管理機がノズル収容オペレーションを行うために実行されるノズル収容プログラムを示すフローチャートである。ノズル収容オペレーションにおける吸着ノズルの移載を例示する模式図である。ノズル管理機が第１ノズル配置オペレーションを行うために実行される第１ノズル配置プログラムを示すフローチャートである。第１ノズル配置オペレーションにおける吸着ノズルの移載を例示する模式図である。ノズル管理機がノズル洗浄オペレーションを行うために実行されるノズル洗浄プログラムを示すフローチャートである。ノズル管理機が第１ノズル検査オペレーションを行うために実行される第１ノズル検査プログラムを示すフローチャートである。ノズル管理機が第２ノズル検査オペレーションを行うために実行される第２ノズル検査プログラムを示すフローチャートである。保管のための吸着ノズルの整列についての一態様を示す模式図である。保管のための吸着ノズルの整列についての別のいくつかの態様を示す模式図である。ノズル管理機が第２ノズル配置オペレーションを行うために実行される第２ノズル配置プログラムを示すフローチャートである。ノズル管理機がノズルセッティングオペレーションを行うために実行されるノズルセッティングプログラムである。図３５に示す態様において整列した吸着ノズルの中から特定のセットのノズルがセッティングによって除かれた状態を示す模式図である。図３６に示すいくつか態様の各々において整列した吸着ノズルの中から特定のセットのノズルがセッティングによって除かれた状態を示す模式図である。ノズル管理機がノズル再セッティングオペレーションを行うために実行されるノズル再セッティングプログラムの前半部分を示すフローチャートである。ノズル管理機がノズル再セッティングオペレーションを行うために実行されるノズル再セッティングプログラムの後半部分を示すフローチャートである。ノズル管理機が備える制御装置の機能構成を示すブロック図である。

　以下、請求可能発明の代表的な実施形態を、実施例として、図を参照しつつ詳しく説明する。なお、請求可能発明は、下記実施例の他、前記〔発明の態様〕の項に記載された態様を始めとして、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することができる。また、〔発明の態様〕の各項の説明に記載されている技術的事項を利用して、下記の実施例の変形例を構成することも可能である。

　実施例のノズル管理機は、電気部品装着機に使用されている吸着ノズルを管理の対象とする。その吸着ノズルは、回路基板への電気部品の装着において、自身に供給される負圧によって、電気部品を吸着保持する部品保持具である。実施例のノズル管理機の説明を行う前に、電気部品装着機および吸着ノズルについて簡単に説明し、その後に、実施例のノズル管理機について、ノズル管理機の全体構成，ノズル管理機を構成する各装置，ノズル管理機における付加的構成，ノズル管理機が行ういくつかのオペレーション，それらのオペレーションに関連した制御装置の機能構成を、順次説明する。なお、以下の説明において、「ノズル管理機」，「電気部品装着機」，「吸着ノズル」，「回路基板」，「電気部品」は、それぞれ、単に「管理機」，「装着機」，「ノズル」，「基板」，「部品」と呼ぶ場合があることとする。

［Ａ］電気部品装着機および吸着ノズル
　管理機による管理の対象となる吸着ノズルが使用されている電子部品装着機を、図１に、一例として、示す。図では、同じ構造の２台の装着機１０が、ベース１２に並設されている（図では、手前側のものの外装パネルが取り除かれている）。装着機１０は、基板Ｓを搬送するとともに設定位置に固定するコンベア型の基板搬送装置１４と、それぞれが部品Ｐを供給する複数のフィーダ型の部品供給装置１６と、それら部品供給装置１６から供給される部品Ｐを固定された基板Ｓに装着するための装着ヘッド１８と、その装着ヘッド１８を部品供給装置１６と固定された基板Ｓとの間で移動させるヘッド移動装置２０とを含んで構成されている。装着ヘッド１８は、下端部に吸着ノズルＮが取り付けられた動作軸２２と、その動作軸２２を昇降および回転させる動作軸昇降回転装置（図示を省略）とを含んで構成されている。ちなみに、図に示す装着ヘッド１８は、インデックス型の装着ヘッドであり、動作軸２２は、複数のノズルＮを取り付け可能とされている。部品供給装置１６から供給される部品Ｐは、ノズルＮの先端（下端）において吸着保持され、保持された部品Ｐは、装着ヘッド１８が基板Ｓの上方に移動させられた後、ノズルＮによる吸着保持が解除されることで、基板Ｓ上に装着される。ちなみに、部品Ｐを基板Ｓ上の適正位置に適正な姿勢で装着するため、その部品Ｐは、ノズルＮに吸着保持された状態で、当該装着機１０に設けられた部品カメラ２４によって下方から撮像され、撮像によって得られた保持位置および保持姿勢のデータが、装着の際に利用される。

　上記ノズルＮが、管理機の管理対象であり、そのノズルＮは、図２に示すようなものである。図２（ａ）は、ノズルＮを、斜め上方から見た図であり，図２（ｂ）は斜め下方から見た図である。それらの図から解るように、ノズルＮは、筒状をなして当該ノズルＮの本体部として機能する胴体筒３０と、胴体筒３０から下方に延び出す吸着管３２と、胴体筒３０の周囲に張り出すようにして同体筒３０に固定されたフランジ３４とを有する。胴体筒３０の上端部が、当該ノズルＮの基端部として機能し、その上端部において、上記動作軸に保持される。吸着管３２は、当該ノズルの先端部として機能し、比較的細いパイプ状のものとされている。胴体筒３０には、２本の掛止ピン３６が延設されおり、それら掛止ピン３６を利用して、ノズルＮは、動作軸２２に取り付けられる。掛止ピン３６を利用したノズルＮの取付は一般的な手法であり、ここでの説明は省略するともに、他の図において省略する。

　吸着管３２には、装着ヘッド１８から、胴体筒３０介して正圧および負圧が選択的に供給される。負圧の供給により、吸着管３２の先端（下端）に部品Ｐが吸着保持され、正圧の供給により、吸着保持された部品Ｐが吸着管３２から離脱させられる。図では内部構造を省略するが、吸着管３２は、胴体筒３０に対して進退可能とされている。詳しく言えば、部品Ｐの基板Ｓへの装着の際に部品Ｐに加わる衝撃を緩和するため、ノズルＮの先端部は、胴体筒３０から進出する方向にばねの力により付勢されており、その付勢力を超えた力が加わった場合に、後退可能に、つまり、胴体筒３０に対して引き込み可能とされている。なお、フランジ３４は、上述した部品カメラ２４による部品Ｐの撮像の際、その撮像が鮮明に行われるための背面形成部材として機能するものであり、ノズルＮの最も外径の大きな部分となっている。フランジ３４の上面には、当該ノズルＮの固有情報を認識するための識別子としての２Ｄコード３８が付されている。この２Ｄコード３８は、固有情報の一種としての当該ノズルＮのＩＤを示すものとなっており、そのＩＤは、ノズルＮの個別管理のために使用される。

　図では、一種類のものしか示していないが、ノズルＮは、サイズおよび形状において互いに異なる複数種のものが存在し、本装着機１０でも、サイズにおいて異なるいくつかの種類のノズルＮを動作軸２２に取り付け可能となっており、本装着機１０では、吸着保持する部品Ｐに応じて、それらいくつかの種類のノズルを、自動で交換可能とされている。ちなみに、製造する電気回路（基板Ｓに部品Ｐが装着されたもの）に応じて使用されるノズルＮは異なる。また、装着機１０において使用される複数のノズルＮは、部品供給装置１６の傍らにおいて装着機１０に設けられたノズルステーション５０に、ノズルトレイＮＴに載置された状態で配置されている。

　ノズルトレイ（以下、単に「トレイ」と言う場合がある）ＮＴは、ノズルＮを載置させるためのノズル載置器として機能するものであり、図３に示すように、概して板状をなしている。詳しく言えば、トレイＮＴは、ベースプレート６０と、ベースプレート６０の上面を覆うカバープレート６２とを含んで構成されており、カバープレート６２は、ベースプレート６０に対してある程度の範囲で摺動可能とされている。図３（ａ）は、カバープレート６２がベースプレート６０に対してズレた状態を示しており、図３（ｂ）は、カバープレート６２がベースプレート６０にちょうど重なった状態を示している。カバープレート６２はそれら２つの状態の各々における位置の間で摺動可能とされている。

　断面図である図３（ｃ）およびノズルＮが載置された状態を示す部分断面図である図３（ｄ）をも参照して説明すれば、ベースプレート６０には、それぞれが載置部を構成する１２の載置穴６４が設けられている。詳しく言えば、本トレイＮＴには、互いにサイズの異なる２種のノズルＮを載置することができ、大きなサイズのノズルＮを載置するための４つの載置穴６４と、小さなサイズのノズルＮを載置するための４つの載置穴６４とが設けられている。載置穴６４は、内周壁の寸法が深さにおいて異なる段付き穴とされており、段差面６６が、ノズルＮのフランジ３４が載置される面とされている。ベースプレート６０の上面における載置穴６４の内径、つまり、最大内径は、フランジの３４の外径よりも僅かに大きくされており、載置穴６４は、ノズルＮの径方向の変位（ズレ）をフランジ３４の外周において規制するように構成されている。また、段差面までの深さは、載置穴６４に載置されたノズルＮのフランジ３４がカバーブレート６２に干渉しない深さとされている。ちなみに、図に示すノズルＮは、段差面までの深さより薄いフランジ３４を有しており、そのノズルＮは、載置穴６４に載置された状態において、フランジ３４の上面が、トレイＮＴのベースプレート６０の上面より突出することはない。図２から解るように、フランジに３４は外周にノッチ６８が設けられており、そのノッチ６８は、段差面６６に立設された短いピン６９と係合する。それらノッチ６８およびピン６９により、ノズルＮは特定の向きにしか載置できないようになっており、また、トレイＮＴに載置された状態におけるノズルＮの回転が防止されている。

　一方、カバープレート６２にも、ベースプレート６０の載置穴６４に対応して、抜穴７０が設けられている。この抜穴７０は、円形をした円穴部７２とその円穴部７２の一方側から延び出すスロット部７４とからなっている。各円穴部７２の内径は、対応する載置穴６４の最大内径と略等しくされている。スロット部７４の幅は、対応する載置穴６４に載置されるノズルＮの胴体筒３０の外径よりもある程度大きくされている。図３（ｂ）に示す状態では、各載置穴６４の中心と対応する抜穴７０の円穴部７２の中心が一致しており、載置穴６４の全体が上方から覗き見れる。一方、図３（ａ）に示す状態では、各載置穴６４の中心と対応する抜穴７０のスロット部７４の先端に存在する円弧の中心とが略一致しており、載置穴６４は、上方からは一部しか覗き見れない。２つの状態は、そのような状態であるため、以下、便宜的に、図３（ｂ）の状態を「載置穴開状態」、図３（ａ）の状態を「載置穴閉状態」と言うことにする。

　載置穴開状態では、ノズルＮの載置穴６４への載置、載置穴６４からの離脱を行うことができる。一方、ノズルＮが載置穴６４に載置されている場合に載置穴閉状態とすることで、ノズルＮの胴体筒３０が抜穴７０のスロット部７４を挿通しつつ、フランジ３４の上面の多くの部分が、カバープレート６２によって蓋われる状態となる。この状態において、ノズルＮは、載置穴６４からの離脱が防止される。このノズルＮの離脱防止に関して言えば、トレイＮＴには、カバープレート６２含んで構成される機構、つまり、いわゆるシャッター機構と呼ばれるノズル離脱防止機構が設けられているのである。

　カバープレート６２は、図示を省略するスプリングによって、載置穴閉状態となるように付勢されており、そのスプリングの付勢力を超える力でカバープレート６２を摺動させることで、載置穴開状態となる。この摺動は、図示を省略するところの、ノズルステーション５０に配設されたカバー摺動機構によって行われる。装着ヘッド１８の動作軸へのノズルＮの取り付け，動作軸からのノズルＮを取り外し，取り付いているノズルＮの別のノズルＮへの交換は、装着機１０の制御装置によるカバー摺動機構の制御によって載置穴開状態が実現されて、行われる。

　トレイＮＴは、ノズルステーション５０に着脱可能とされており、例えば、ある電気回路の製造を開始するにあたって、予めノズルＮが載置されたトレイＮＴをノズルステーション５０にセットすることができ、また、例えば、ある電気回路の製造を終了するにあたって、使用していたノズルＮをトレイＮＴごとノズルステーション５０から外すことができる。したがって、トレイＮＴは、装着機１０の段取り替え等の迅速化に大きく貢献している。なお、本トレイＮＴでは、ベースプレート６０の１つのコーナに、当該トレイＮＴの固有情報を認識するための識別子としての２Ｄコード７６が付されている。この２Ｄコード７６は、固有情報の一種としての当該トレイＮＴのＩＤを示すものとなっており、そのＩＤは、トレイＮＴの個別管理に利用される。

　なお、以上説明した吸着ノズルＮおよびトレイＮＴは、上記装着機１０に使用されるものである。以下に示す実施例の管理機は、上記装着機１０に使用されるノズルＮだけを対象とするものではなく、他の装着機に使用されるノズルＮをも対象とする。また、上記トレイＮＴは、装着機１０で使用されるトレイＮＴの一例であり、装着機１０は、種類において異なる他のトレイＮＴをも使用可能である。さらに、装着機によって、使用されるトレイＮＴも異なる。後に説明するが、実施例の管理機は、他のトレイＮＴに載置された若しくは載置されるノズルＮをも管理の対象とする。

［Ｂ］ノズル管理機の全体構成
　図４に外観を示すように、実施例の管理機８０は、概して直方体形状をなし、比較的コンパクトなサイズのものとなっている。当該管理機８０の正面（図における左側の面）には、後に詳しく説明する引出８２が設けられている。また、正面上部には、当該管理機８０の制御装置としてのコントローラ８４が付設されている。コントローラ８４は、コンピュータを主要構成要素として構成されるものであり、ディスプレイ８６，操作キー８８，スイッチ９０等の入出力デバイスを有している。外装パネルを外した状態の管理機８０を、図５に、逆方向の視点から見たその管理機８０を、図６に、それぞれ示す。以下に、それらの図を参照しつつ、本管理機８０の内部構造について説明する。ちなみに、図５における左方が当該管理機８０の前方であり、右方が当該管理機８０の後方である。

　管理機８０は、いくつかの装置が組み合わされて構成されている。具体的に列挙すれば、後方側に、ノズルパレット（以下、単に「パレット」と言う場合がある）に載置させた状態でノズルＮを収容するノズル収容装置１００が、ノズル収容装置１００の前方左側に、トレイＮＴを収容するトレイ収容装置１０２が、それぞれ配設されている。一方、当該管理機８０の前方側には、それぞれがノズル収容装置１０２に収容されている若しくは収容されるノズルＮに対する何らかの処置（以下、「対ノズル処置」という場合がある）を実行する対ノズル処置実行装置として、上から順に、ノズル移載装置１０４，第１ノズル検査装置１０６，第２ノズル検査装置１０８，ノズル洗浄装置１１０が配設されている。

　ここでの説明は簡単に行うが、ノズル移載装置１０４は、トレイＮＴと上記パレットとの間でノズルＮを移載する装置であり、第１ノズル検査装置１０６は、２つの検査項目の検査、具体的には、ノズルＮの先端部の状態に関する検査（先端部状態検査）、および、ノズルＮの先端部の後退に必要な力に関する検査（後退必要力検査）を実行し、第２ノズル検査装置１０８は、２つの検査項目の検査、具体的には、ノズルＮを通過するエアの流量に関する検査（通過流量検査）、および、ノズルＮのフランジ３４に付された識別子としての２Ｄコード３８の読み取りに関する検査（識別子読取検査）を実行する。ノズル洗浄装置１１０は、ノズルＮを高圧水で洗浄する装置である。また、ノズル収容装置１００とノズル洗浄装置１１０との間には、ノズル洗浄装置１１０によって洗浄されたノズルＮを乾燥させるノズル乾燥装置１１２が配設されている。

　上記各対ノズル処置実行装置とノズル収容装置１００との間のノズルＮの移送は、各対ノズル処置実行装置に対応した各ノズル移送装置によって行われる。ノズルＮの移送は、上述したパレットに載置した状態で行われるため、各ノズル移送装置は、パレット移送装置とされている。具体的には、ノズル移載装置１０４とノズル収容装置１００との間でパレットを移送する第１パレット移送装置１１４，第１ノズル検査装置１０６とノズル収容装置１００との間でパレットを移送する第２パレット移送装置１１６，第２ノズル検査装置１０８とノズル収容装置１００との間でパレットの移送を行う第３パレット移送装置１１８，ノズル洗浄装置１１０とノズル収容装置１００との間でパレットの移送を行う第４パレット移送装置１２０が、それぞれ配設されている。一方で、ノズル移載装置１０４とトレイ収容装置１０２と間には、それらの間でトレイＮＴを移送するトレイ移送装置１２２が配設されている。また、上述した各装置のための電源，駆動回路，エアコンプレッサ，高圧ポンプ等を内臓した駆動源ユニット１２４が、当該管理機１０の前方側下部に配設されている。

　ちなみに、上記ノズル移載装置１０４を特別扱いし、そのノズル移載装置１０４を除く第１ノズル検査装置１０６，第２ノズル検査装置１０８，ノズル洗浄装置１１０，ノズル乾燥装置１１２を対ノズル処置実行装置と考えることもできる。その考えに従えば、第１パレット移送装置１１４を、移載用パレット移送装置と考え、第２パレット移送装置１１６，第３パレット移送装置１１８，第４パレット移送装置１２０を処置用パレット移送装置と考えることもできる。

　なお、以下の説明において、ノズル収容装置，トレイ収容装置，ノズル移載装置，ノズル検査装置，ノズル洗浄装置，ノズル乾燥装置，パレット移送装置，トレイ移送装置は、それぞれ、単に、「収容装置」，「収容装置」，「移載装置」，「検査装置」，「洗浄装置」，「乾燥装置」，「移送装置」，「移送装置」と言う場合あることとする。また、以下の説明は、移載装置１０４を中心に示す図７，第１検査装置１０６を中心に示す図８，第２検査装置１０８を中心に示す図９，洗浄装置１１０および乾燥装置１１２を中心として示す図１０および図１１をも参照して行うこととする。

［Ｃ］ノズル収容装置
　ノズル収容装置１００は、それぞれに上述のパレットが収容される複数のパレットキャリア（以下、単に「キャリア」と言う場合がある）１３０と、それらキャリア１３０を循環させるキャリア循環機構（以下、単に「循環機構」という場合がある）１３２とを有しており、それら複数のキャリア１３０と循環機構１３２とによって、複数のパレットを当該収容装置１３０内において移動させるパレット移動装置（以下、単に「移動装置」と言う場合がある）１３４が構成されている。以下に、収容装置１００を、パレットと、移動装置１３４とに分けて説明する。

　i）ノズルパレット
　パレットＮＰは、ノズルＮを載置させるためのノズル載置器として機能するものであり、図１２に示すように、先に説明したトレイＮＴと同様、ベースプレート１４０とベースプレート１４０の上面を覆うカバーレプート１４２とを含んで構成されている。図１２（ａ）は、カバープレート１４２がベースプレート１４０に対してズレた状態を示しており、図１２（ｂ）は、カバープレート１４２がベースプレート１４０にちょうど重なった状態を示している。カバープレート１４２はそれら２つの状態における位置の間で摺動可能とされている。

　当該管理機８０は、便宜的に、図１３に示す５種類のノズルＮを管理の対象とするものとして扱うこととすれば、パレットＮＰには、それら５種類のノズルＮのすべてが載置可能とされている。５種類のノズルＮは、形状において互いに異なり、フランジ３４の外径によって３つに分類することができる。図１３は、それらのノズルＮを上方から見た図であり、具体的には、図１３（ａ）に示す小さなサイズのノズルＮａ、図１３（ｂ），（ｃ）にそれぞれ示す中間のサイズのノズルＮｂ，Ｎｃ、図１３（ｄ），（ｅ）にそれぞれ示すサイズの大きなノズルＮｄ，Ｎｅに分類することができる。ベースプレート１４０には、トレイＮＴの場合と同様に、それぞれが載置部を構成する載置穴１４４が設けられている。具体的には、小さなサイズのノズルＮが載置される２４の載置穴１４４ａと、大きなサイズのノズルＮが載置される１５の載置穴１４４ｂが設けられており、載置穴１４４ａには、上記ノズルＮａが、載置穴１１４ｂには、上記ノズルＮｂ，Ｎｃ，Ｎｄ，Ｎｅが載置される。

　載置穴１４４ａに関しては、先に説明したトレイＮＴの載置穴６４と同様であり、１つの段差面１４６を有するものであるため、ここでの説明を省略する。ノズルＮが載置された状態を示す図１４を参照しつつ、載置穴１４４ｂについて説明すれば、載置穴１４４ｂは、内周壁の寸法が深さにおいて異なる段付き穴とされており、詳しくは、２つの段差面１４６ａ，１４６ｂを有する段付き穴とされている。図１４（ａ）に示すように、大きなサイズのノズルＮｄ，Ｎｅは、上方に位置する段差面１４６ａに載置され、一方、図１４（ｂ）に示すように、中間サイズのノズルＮｂ，Ｎｃは、下方に位置する段差面１４６ｂに載置される。つまり、いずれの段差面１４６ａ，１４６ｂも、ノズルＮが載置される面とされており、載置穴１４４ｂは、内周壁が深さ方向において内寸法が異なり、互いにフランジ３４の外径において異なる複数種のノズルＮのフランジ３４が、互いに異なる深さの位置において嵌るように構成されているのである。また、載置穴１４４ｂは、いずれのノズルＮに対しても、それらノズルＮの径方向の変位（ズレ）をフランジ３４の外周において規制するように構成されており、いずれの段差面１４６ａ，１４６ｂにも、ノズルＮの回転防止のために、フランジ３４のノッチ６８が係合するピン１４８が立設されている。

　なお、上述の複数の段差面１４６を有する形状の載置穴１４４ｂに代えて、例えば、図１４（ｃ）に示すように、軸線方向、つまり、深さ方向において、内周壁の内寸法が漸減するようなテーパ穴の載置穴１４４ｃを採用することも可能である。そのような載置穴１４４ｃであっても、互いにフランジ３４の外径において異なる複数種のノズルＮのフランジ３４が、互いに異なる深さの部分で嵌るように構成されることになる。ちなみに、図は、中間サイズのノズルＮｂ，Ｎｃが載置された状態を示しており、大きなサイズのノズルＮｄ，Ｎｅが載置される場合は、ノズルＮｂ，Ｎｃより上方の位置に載置されることになる。

　一方、カバープレート１４２には、トレイＮＴと同様、ベースプレート１４０の載置穴１４４ａ，１４４ｂにそれぞれ対応して、それぞれが円穴部１５０およびスロット部１５２を有する抜穴１５４ａ，１５４ｂが設けられている。図１３（ｂ）に示す状態では、各載置穴１４４の中心と、対応する抜穴１５４の円穴部１５０の中心とが一致しており、先に説明した載置穴開状態が実現され、図１３（ａ）に示す状態では、各載置穴１４４の中心と対応する抜穴１５４のスロット部７４の先端に存在する円弧の中心とが略一致しており、載置穴閉状態が実現される。そのような構造から、パレットＮＰにも、ノズルＮの離脱防止に関して、カバープレート１４２含んで構成される機構、つまり、いわゆるシャッター機構と呼ばれるノズル離脱防止機構が設けられているのである。ちなみに、トレイＮＴと同様、カバープレート１４２は、図示を省略するスプリングによって、載置穴閉状態となるように付勢されており、そのスプリングの付勢力を超える力でカバープレート１４２を摺動させることで、載置穴開状態となる。

　パレットＮＰには、トレイＮＴと同様、ベースプレート１４０の１つのコーナに、当該パレットＮＰの固有情報を認識するための識別子としての２Ｄコード１５６が付されている。この２Ｄコード１５６は、固有情報の一種としての当該パレットＮＴのＩＤを示すものとなっており、そのＩＤは、トレイＮＴの個別管理に利用される。

　本パレットＮＰには、ベースプレート１４０の１つのコーナ部に、基準ノズル１５８が、その基準ノズル１５８の傍らに、基準パイプ１６０が、いずれも、ベースプレート１４０を貫通する状態で固定されている。基準ノズル１５８は、実際のノズルＮ、具体的には、上述のノズルＮｂである。一方、基準パイプ１６０は、ノズルＮの一部、詳しくは、胴体筒３０および吸着管３２を模した模擬物である。それら基準ノズル１５８および基準パイプ１６０は、上述の第１検査装置１０６および第２検査装置１０８による検査において参照される基準対象として機能し、それら検査装置１０６，１０８による検査の基準の設定と、それら検査装置１０６，１０８の校正若しくは検定との少なくとも一方に利用される。具体的な利用に関しては、後に詳しく説明するが、基準ノズル１５８は、第１検査装置１０６による後退必要力検査、および、第２検査装置による識別子読取検査において参照され、一方、基準パイプ１６０は、第１検査装置１０６による先端部状態検査、および、第２検査装置１０８による通過流量検査において参照される。ちなみに、それら基準ノズル１５８，基準パイプ１６０は、いずれも、基準対象として参照される検査において、通常良好な検査結果が得られるように構成されている。なお、本管理機８０では、基準対象が、パレットＮＰに設けられているが、例えば、第１検査装置１０６若しくは第２検査装置１０８によって検査可能な位置において、当該管理機８０の躯体，他の装置等に設けられてもよい。

　ii）パレット移動装置
　先に説明したように、パレット移動装置１３４は、複数のパレットキャリア１３０とキャリア循環機構１３２とを含んで構成されている。キャリア１３０は、概してチャンネル形状、つまり、断面が“コ”の字状をなす形状の部材とされており、当該チャンネル形状における開口が下方を向く姿勢で配置されている。キャリア１３０には、下端部に、詳しくは、チャンネル形状における２つのフランジの下端部の内側に、１対のレール１７０が付設されており、上述したパレットＮＰは、その１対のレール１７０によって、前方に向かって抜出可能に、また、前方から挿入可能に、保持される。

　キャリア循環機構１３２は、図５，図６から解るように、上下にそれぞれ配設された１対のスプロケット軸１７２を有している。そのスプロケット軸１７２は、前後方向に延びる状態で配設されており、前後の端部の各々に、スプロケット１７４を有している。１対のスプロケット軸１７２各々の前方側のスプロケット１７４の間、および、後方側のスプロケット１７４との間には、それぞれ、チェーン１７６が巻き掛けられている。前方側のチェーン１７６および後方側のチェーン１７６の各々には、複数のブラケット１７８が、その各々に直角な姿勢で外側に向かって延設されており、前方側のブラケット１７８の各々の先端と、後方側のブラケット１７８の対応する各々の先端とによって、１つのキャリア１３０が揺動可能に支持されている。１対のスプロケット軸１７２の一方が駆動軸とされており、その一方を回転させることによって、各ブラケット１７８が、周回させられる。それにより、各ブラケット１７８によって支持された各キャリア１３０が、一斉に周回させられる。ちなみに、パレットＮＰは、ノズルＮが載置される面が上を向く姿勢で、つまり、カーバープレート１４２が上方に位置する姿勢で、キャリア１３０に保持されており、ブラケット１７８によるキャリア１３０の支持構造は、キャリア１３０がいずれの周回位置にある場合でも、パレットＮＰがその姿勢を保つような構造とされている。

　キャリア循環機構１３２は、上述のような構造であることから、パレット移動装置１３４は、収容装置１００内において、複数のパレットＮＰを、鉛直な一平面に平行な一定の経路に沿って、同時に、すなわち、一緒に、循環移動させるパレット循環装置とされているのである。なお、移動装置１３４では、各パレットＮＰの停止位置として、上述の各対ノズル処置実行装置１０４～１０８に対応する複数の設定位置、つまり、第１～第４パレット移送装置１１４～１２０に対応する複数の設定位置が設定されている。この設定位置は、パレットＮＰの循環におけるステーションと考えることのできるものであり、本管理機８０は、特定のステーションに移動して停止させられたパレットＮＰが、そのステーションに対応する第１～第４移送装置１１４～１２０によって、対応する対ノズル処置実行装置１０４～１０８に移送されるように構成されている。ちなみに、パレットＮＰを保持していないキャリア１３０が特定のステーションに位置している場合には、そのステーションに対応する第１～第４移送装置１１４～１２０によって、対応する対ノズル処置実行装置１０４～１０８からそのキャリア１３０にまでパレットＮＰを移送することが可能とされている。

　上記各対ノズル処置実行装置とノズル収容装置１００と間のノズルＮの移送は、各対ノズル処置実行装置に対応したノズル移送装置によって行われる。ノズルＮの移送は、上述したパレットＮＰに載置した状態で行われるため、ノズル移送装置は、パレット移送装置とされており、具体的には、ノズル移載装置１０４とノズル収容装置１００との間でパレットを移送する第１パレット移送装置１１４，第１ノズル検査装置１０６とノズル収容装置１００との間でパレットを移送する第２パレット移送装置，第２ノズル検査装置１０８とノズル収容装置１００との間でパレットの移送を行う第３パレット移送装置１１８，ノズル洗浄装置１１０とノズル収容装置１００との間でパレットの移送を行う第４パレット移送装置１２０が、それぞれ配設されている。なお、ノズル移載装置は、１以上のノズルＮを、１つのノズルグループとして移送する機能を有していると考えることができ、それぞれが対ノズル処置実行装置であるノズル移載装置１０４，第１ノズル検査装置１０６，第２ノズル検査装置１０８，ノズル洗浄装置１１０は、後に詳しく説明するように、ノズル移送装置によって移送された１つのノズルグループに含まれるノズルＮに対して処置を行うようにされているのである。

［Ｄ］トレイ収容装置
　トレイ収容装置１０２は、先に説明したノズルトレイＮＴを収容する装置で、ノズル収容装置１００のパレット移動装置１３４と同様のトレイ移動装置（以下、単に、「移動装置」という場合がある）１９０を備えており、その移動装置１９０を主要構成要素として構成されている。移動装置１９０は、パレット移動装置１３４と同様に、それぞれにトレイＮＴが収容される複数のトレイキャリア（以下、単に「キャリア」と言う場合がある）１９２と、それらキャリア１９２循環させるキャリア循環機構（以下、単に「循環機構」という場合がある）１９４とを備えている。

　キャリア１９２は、先に説明したパレットキャリア１３０と同様に、概してチャンネル形状、つまり、断面が“コ”の字状をなす形状の部材とされており、当該チャンネル形状における開口が下方を向く姿勢で配置されている。パレットキャリア１３０と同様に、キャリア１９２には、下端部に、詳しくは、チャンネル形状における２つのフランジの下端部の内側に、１対のレール１９６が付設されており、トレイＮＴは、その１対のレール１９６によって、ノズルＮが載置される面が上方を向く姿勢で、前方に向かって抜出可能に、また、前方から挿入可能に、保持される。

　循環機構１９４は、パレット移動装置１３４の循環機構１３２と同様、図５，図６に示すように、それぞれ２つのスプロケットを前後に有する１対のスプロケット軸，１対のチェーン，各チェーンに延設された複数のブラケットを有しており、各ブラケットによって支持された各キャリア１９２を、一斉に周回させるように構成されている。そのような構造の循環機構１９４を有するトレイ移動装置１９０は、先に説明したパレット移動装置１３４と同様、収容装置１０２内において、複数のパレットＮＰを、鉛直な一平面に平行な一定の経路に沿って、同時に、すなわち、一緒に、循環移動させるトレイ循環装置とされているのである。なお、トレイ移動装置１９０では、各トレイＮＴの停止位置として、上述のノズル移載装置１０４に対応する１つの設定位置、つまり、トレイ移送装置１２２に対応する１つの設定位置が設定されている。その設定位置、つまり、そのステーションに移動して停止させられたトレイＮＴが、トレイ移送装置１２２によって、移載装置１０４に移送され、トレイＮＴを保持していないキャリア１９２がそのステーションに位置している場合には、トレイ移送装置１２２によって、移載装置１０４からそのキャリア１９２までトレイＮＴを移送することが可能とされている。

［Ｅ］ノズル移載装置
　管理機８０では、収容装置１００に収容されているノズルＮをトレイＮＴへセッティングするために、パレットＮＰからそのトレイＮＴへのそのノズルＮが移載され、また、収容装置１００にノズルＮを収容するために、そのノズルＮがトレイＮＴからパレットＮＰに移載される。前者を「セッティング移載」と、後者を「収容移載」と、それぞれ呼べば、それらセッティング移載および収容移載は、当該管理機８０の前方側上部に位置する上述のノズル移載装置１０４によって行われる。

　図７に示すように、管理機８０が備える引出８２（図では、若干引き出された状態である）は、テーブル２００を有しており、上記移載に供されるトレイＮＴは、テーブル２００に設けられた固定ステージ２０２と可動ステージ２０４との一方にセットされる。固定ステージ２０２は、テーブル２００に固定されており、可動ステージ２０４は、テーブル２００に設けられたステージスライド機構２０６によって、前後方向にスライド可能にテーブル２００に支持されている。ちなみに、図では、固定ステージ２０２は、トレイＮＴがセットされている状態を、可動ステージ２０４は、トレイＮＴはセットされていない状態を示している。また、図では、可動ステージ２０４が移動範囲における前方端である設定位置、つまり、移載位置に位置している状態を示している。さらに、それぞれのステージ２０２，２０４のトレイＮＴの保持に関する構造、および、トレイＮＴに載置されているノズルＮは、簡素化のために、図示を省略している。なお、セットされたトレイＮＴを上述の載置穴開状態とするための機構として、カバープレート６２を摺動させるカバー摺動機構（図示を省略）が、固定ステージ２０２および可動ステージ２０４のそれぞれに設けられている。

　固定ステージ２０２および可動ステージ２０４のいずれに対しても、引出８２が引き出された状態において、オペレータは、トレイＮＴをセットすることができ、また、セットされていたトレイＮＴを取り外すことができる。さらに、可動ステージ２０４が移動範囲における後端位置に位置させられた状態において、トレイ収容装置１０２との間で、トレイＮＴの移載が可能となっている。詳しく言えば、収容装置１０２内において、上述した設定位置、つまり、移載装置対応ステーションに位置させられているキャリア１９２と、可動ステージ２０４との間で、トレイＮＴの移載が行われる。ちなみに、このトレイＮＴの移載のための機構であるトレイ移載機構については、記載を省略している。なお、可動ステージ２０４，ステージスライド機構２０６，トレイ移載機構を含んで、テーブル２００上の設定位置と収容装置１０２との間で、端的に言えば、移載装置１０４と収容装置１０２との間でトレイＮＴを移送する前述のトレイ移送装置１２２が構成されているのである。

　以上の説明から解るように、本管理機８０では、外部から持ち込まれて固定ステージ２０２若しくは可動ステージ２０４にセットされたトレイＮＴに対してのセッティング移載が可能とされているばかりでなく、収容装置１０２に収容されているトレイＮＴへのセッティング移載も可能とされている。さらに言えば、ノズルＮのセッティングが完了したトレイＮＴや、ノズルＮが載置された状態で外部から持ち込まれたトレイＮＴを、収容装置１０２に収容することも可能とされている。

　一方、セッティング移載および収容移載に供されるパレットＮＰは、ノズル収容装置１００内において移載装置１０４に対応する設定位置、つまり、移載装置対応ステーションに位置させられているキャリア１３０から、第１パレット移送装置１１４（構造については後述する）によって、移載装置１０４によるノズルＮの移載が可能な設定位置、つまり、移載位置にまで、移送される。図においてパレットＮＰが位置している位置が、移載位置である。セッティング移載および収容移載に供されるパレットＮＰは、それらの移載が完了した後に、第１移送装置１１４によって、収容装置１００内の移載装置対応ステーションに位置させられているキャリア１３０にまで、移送される。ちなみに、図では、パレットＮＰに載置されているノズルＮについては、簡素化のため、省略している。なお、移載位置に位置するパレットＮＰをその位置において固定するパレット固定機構（図示を省略する）が、第１移送装置１１４に設けられており、また、移載位置に位置するパレットＮＰを上述の載置穴開状態とするための機構として、カバープレート１４２を摺動させるカバー摺動機構（図示を省略）が、テーブル２００上に設けられている。

　移載装置１０４は、テーブル２００の上方に配置されており、移載ヘッド２１０と、移載ヘッド２１０を、左右方向，前後方向，上下方向（以下、それぞれ、「Ｘ方向」，「Ｙ方向」，「Ｚ方向」と言う場合がある）に移動させる３つのヘッド移動機構を有するヘッド移動装置２１２とを含んで構成されている。図７に加えて図５および図６をも参照して解るように、それらの図では、移載ヘッド２１０をＸ方向に移動させるＸ方向移動機構おおよびＹ方向に移動させるＹ方向移動機構については省略しており、Ｚ方向移動機構２１４のみが示されている。ちなみに、Ｘ方向移動機構およびＹ方向移動機構は、当該管理機８０の躯体の上部に設置されてスライド２１６をＺ方向に直角な一平面に沿って移動させるＸＹ型移動装置を構成するものとなっており、Ｚ方向移動機構２１４は、そのスライド２１６に設置されている。

　移載ヘッド２１０には、下部において、移載されるノズルＮを保持するためのノズル保持具としての保持チャック２１８と、ノズルＮ，トレイＮＴ，パレットＮＰのそれぞれに付された２Ｄコード３８，７６，１５６を読み取るための識別子読取器としてのカメラ２２０とが取り付けられている。また、移載ヘッド２１０は、保持チャック２１８をそれの軸線回りに回転させるチャック回転機構を有している。ちなみに、上記ヘッド移動装置２１２は、ノズル保持具である保持チャック２１８を移動させる保持具移動装置として機能するものとなっている。

　移載装置１０４の基本的な動作について簡単に説明すれば、上述のセッティング移載と収容移載との少なくとも一方が行われる際、移載ヘッド２１０がヘッド移動装置２１２によって移動させられ、カメラ２２０によって、トレイＮＴに付された２Ｄコード７６とパレットＮＰに付された２Ｄコード１５６との少なくとも一方が撮像される。そして、移載ヘッド２１０がヘッド移動装置２１２によって移載元となるパレットＮＰまたはトレイＮＴの上方に移動されられて、移載の対象となるノズルＮの２Ｄコード３８がカメラ２２０によって撮像されつつ、そのノズルＮが保持チャック２１８によって保持され、次いで、移載ヘッド２１０がヘッド移動装置２１２によって移載先となるトレイＮＴまたはパレットＮＰの上方に移動させられ、保持されたノズルＮが、保持チャック２１８から離脱させられて、そのトレイＮＴまたはパレットＮＰの特定の若しくは任意の載置穴６４，１４４に載置される。

　なお、テーブル２００上には、パレットＮＰのベースプレート１４０のような載置プレート２２０、詳しく言えば、いくつかの載置穴を有する載置プレート２２２が設置されており、この載置プレート２２２は、例えば、ノズルＮのトレイＮＴへのセッティング若しくは収容装置１００への収容の際、ノズルＮの仮置き等に利用される。また、テーブル２００上には、上記各種検査項目の検査の結果に基づいて不良と判断されたノズルＮ、つまり、不良ノズルを留置する不良ノズル留置器として、不良ボックス２２４が、取り外し可能に設置されている。図から解るように、この不良ボックス２２４は、４つの空間２２６に仕切られており、それら４つの空間２２６の各々は、それぞれ、不良ノズルを区別して留置するため留置部とされている。この不良ボックス２２４の利用に関しては、後に詳しく説明するが、不良ボックス２２４への不良ノズルの運搬は、ノズルＮのトレイＮＴへのセッティングのついでに、若しくは、セッティングとは関係なく、上記ノズル移載装置１０４によって行われる。したがって、移載装置１０４は、不良ノズル運搬装置として機能するものとなっている。

［Ｆ］第１ノズル検査装置
　第１ノズル検査装置１０６は、ノズル移載装置１０４の下方に位置し、先に説明したように、２つの検査項目の検査、具体的には、先端部状態検査および後退必要力検査を実行する装置である。図８を参照しつつ説明すれば、上述の収容装置１００内の設定位置、つまり、第１検査装置対応ステーションに位置させられたパレットＮＰが、上述の第２パレット移送装置１１６（構造については、後述する）によって検査位置まで移送された後、そのパレットＮＰに載置されているノズルＮについての先端部状態検査および後退必要力検査が、第１検査装置１０６によって、ともにノズルＮの下方から行われる。なお、図に示すパレットＮＰの位置が、上記検査位置であり、第２移送装置１１６には、その検査位置においてパレットＮＰを固定するパレット固定機構（図示を省略）が設けられている。ちなみに、図では、パレットＮＰに載置されているノズルＮは、簡素化のため、省略されている。

　第１検査装置１０６は、基台２３０と、その基台２３０上に固定されたカメラ装置２３２および荷重測定装置２３４とを含んで構成された検査ユニット２３５と、その検査ユニット２３５を移動させるユニット移動装置２３６とを含んで構成されており、検査ユニット２３５は、上記検査位置に位置させられているパレットＮＰの下方の空間を移動する。カメラ装置２３２は、カメラ本体２３８と、レンズ２３９と、光源としてそのレンズ２３９を囲むように配置されたリングライト２４０とを含んで構成されたものであり、荷重測定装置２３４は、ロードセル２４２を主要構成要素として構成されたものである。ユニット移動装置２３６は、当該管理機８０の躯体の一部をなす１対のビーム２４４に支持された可動ビーム２４６と、その可動ビーム２４６をＹ方向に移動させるベルト駆動式のＹ方向移動機構２４８と、可動ビーム２４６に支持されたスライド２５０をＸ方向に移動させるＸ方向移動機構２５２と、スライド２５０に固定されて検査ユニット２３５を基台２３０において支持するとともに検査ユニット２３５をＺ方向に移動させるＺ方向移動機構２５４とを含んで構成されている。まとめて言えば、第１検査装置１０６によれば、先端部部状態検査，後退必要力検査は、ともに、ノズルＮの先端部側で行われ、それぞれの検査を行うための主要構成要素であるカメラ装置２３２，荷重測定装置２３４は、ノズルＮの先端部側に存在する空間に配置され、それらを、１つの移動装置であるユニット移動装置２３６によって移動させるように構成されているのである。

　第１検査装置１０６による先端部状態検査では、図１５（ａ）に示すように、検査ユニット２３５が、ユニット移動装置２３６によって、カメラ装置２３２のレンズ２３９が検査するノズルＮの真下に位置する位置に移動させられる。詳しく言えば、そのノズルＮの吸着管３２のＺ方向の位置はそのノズルＮの固有情報から認識可能であり、レンズ２３９が吸着管３２の先端から設定距離だけ離れる位置に、検査ユニット２３５が位置させられる。その状態で、ノズルＮの先端部、つまり、吸着管３２が、カメラ装置２３２によって撮像される。

　図１５（ａ）に示すノズルＮは、吸着管３２の形状が正常なノズルＮであり、そのノズルＮの吸着管３２のカメラ装置２３２による撮影像は、図１５（ｂ）に示すようなものとなる。一方で、図１５（ｃ）～（ｅ）は、それぞれ、それぞれ、吸着管３２の“曲り”、“先端欠け”，“先端潰れ”があるノズルＮを示しており、それらのノズルＮの吸着管３２の撮影像は、図５（ｆ）～（ｇ）に示すようなものとなる。先端部状態検査では、カメラ装置２３２によるノズルＮの撮像データに基づいて、上記“曲り”，“先端欠け”，“先端潰れ”といった先端部形状異常がノズルＮに生じているか否かが確認され、また、図示は省略するが、先端部への“異物の付着”，“汚れの付着”についても確認される。先端部形状異常が生じているノズルＮ、および、先端部に異物や汚れが付着しているノズルＮは、不良ノズルと判断される。なお、後に詳しく説明するが、上述のパレットＮＰに固定されている基準パイプ１６０は、それの先端部が、いずれかのノズルＮについて先端部の状態についての異常が確認された都度、カメラ装置２３２によって撮像され、その基準パイプ１６０の先端部の撮像データに基づいて、その先端部の状態に異常がないことを確認し、その異常がないことを条件に、先端部の状態に異常が確認されたノズルＮが不良ノズルとして認定される。つまり、基準対象としての基準パイプ１６０は、第１検査装置１０６の検定、詳しく言えば、事後検定に利用されるのである。

　一方、第１検査装置１０６による後退必要力検査では、図１６に示すように、検査ユニット２３５が、ユニット移動装置２３６によって、荷重測定装置２３４のロードセル２４２の中心が検査するノズルＮの真下に位置する位置に移動させられる。その位置において、検査ユニット２３５が、そのノズルＮの固有情報に基づく設定距離だけ上昇させられる。詳しく言えば、ノズルＮの吸着管３２が、胴体筒３０に対してある程度の距離だけ後退する位置にまで、荷重測定装置２３４が上昇させられるのである。

　先に説明したように、吸着管３２は、スプリングによって胴体筒３０から進出する方向に付勢されており、荷重測定装置２３４を上昇させた場合に、吸着管３２の先端がロードセル２４２の上面に当接し、その状態において、ロードセル２４２は、スプリングの付勢力に相当する荷重を受けることになる。ロードセル２４２は、その荷重を測定する。スプリングによる付勢力は、ノズルＮの固有情報から認識することが可能であり、その付勢力を超えた荷重をロードセル２４２が検出した場合、吸着管３２の後退に必要な力が大き過ぎることになる。例えば、異物のノズルＮ内の混入、胴体筒３０の破損等によって、吸着管３２が胴体筒３０に引き込み難くなり、その場合に、後退必要力が過大となる。後退必要力が上記固有情報にに基づいて設定された閾力を超えた場合に、後退必要力が過大であると認定され、そのノズルＮが不良ノズルであると判断される。なお、１つのパレットＮＰに載置されているノズルＮについて後退必要力検査を行う場合、その検査に先立って、上述の基準ノズル１５８についての上記荷重を測定し、その測定された荷重に基づいて、ロードセル２４２の校正、すなわち、ロードセル２４２によって測定される荷重の値が、実際の値に等しくなるようにするための調整が行われるのである。つまり、基準対象としての基準ノズル１５８は、第１検査装置１０６による後退必要力検査の準備処理として行われる荷重測定装置２３４の校正、言い換えれば、第１検査装置１０６の校正に利用されるのである。

　なお、第１検査装置１０６による上記先端部状態検査および上記後退必要力検査は、１つのパレットＮＰに載置されているすべてのノズルＮに対して行ってもよく、一部のノズルＮに対してだけ行ってもよい。また、それら２つの検査の両方を行ってもよく、いずれか一方のみを行ってもよい。載置されているノズルＮの検査が終了した後、上記検査位置に位置させられていたパレットＮＰは、第２移送装置１１６によって、収容装置１００内において上記第１検査装置対応ステーションに位置させられたキャリア１３０に、移送される。

［Ｇ］第２ノズル検査装置
　第２ノズル検査装置１０８は、第１ノズル検査装置１０６の下方に位置し、先に説明したように、２つの検査項目の検査、具体的には、通過流量検査および識別子読取検査を実行する装置である。図９を参照しつつ説明すれば、上述の収容装置１００内の設定位置、つまり、第２検査装置対応ステーションに位置させられたパレットＮＰが、上述の第３パレット移送装置１１８（構造については、後述する）によって検査位置まで移送された後、そのパレットＮＰに載置されているノズルＮについての通過流量検査および識別子読取検査が、第２検査装置１０８によって、ともにノズルＮの上方から行われる。なお、図に示すパレットＮＰの位置が、上記検査位置であり、第３移送装置１１８には、その検査位置においてパレットＮＰを固定するパレット固定機構（図示を省略）が設けられている。ちなみに、図では、パレットＮＰに載置されているノズルＮは、簡素化のため、省略されている。

　第２検査装置１０８は、検査ヘッド２７０と、その検査ヘッド２７０をパレットＮＰの上方においてパレットＮＰの上面に平行な一平面に沿って移動させるヘッド移動装置２７２とを含んで構成されている。検査ヘッド２７０には、エア送給装置２７４と、識別子読取器としてのカメラ２７６とが並設されている。エア送給装置２７４は、ノズルＮの基端部である胴体筒３０の上端部に接続されるエアジョイント２７８を有し、そのエアジョイト２７８からノズルＮに圧縮空気が送給される。エアジョイント２７８の上方には、送給される圧縮空気の送給路の空気圧を測定する空気圧センサ２８０が、エアジョイント２７８と一体的に配設されている。また、エア送給装置２７４は、エアジョイント２７８を昇降させるジョイント昇降機構２８２を有し、エアジョイント２７８は、そのジョイント昇降機構２８２によって、検査ヘッド２７０に対して昇降させられる。ヘッド移動装置２７２は、第１検査装置１０６に関連して説明した１対のビーム２４４に支持された可動ビーム２８４と、その可動ビーム２８４をＹ方向に移動させるベルト駆動式のＹ方向移動機構２８６と、可動ビーム２８４に支持されたスライド２８８をＸ方向に移動させるＸ方向移動機構２９０とを含んで構成されている。まとめて言えば、第２検査装置１０８によれば、通過流量検査，識別子読取検査は、ともに、ノズルＮの基端部側で行われ、それぞれの検査を行うための主要構成要素であるエア送給装置２７４，カメラ２７６は、ノズルＮの基端部側に存在する空間に配置され、それらを、１つの移動装置であるヘッド移動装置２７２によって移動させるように構成されているのである。

　第２検査装置１０８による通過流量検査では、検査ヘッド２７０が、ヘッド移動装置２７２によって、検査するノズルの真上にエアジョイント２７８が位置する位置に移動させられる。その状態で、エアジョイント２７８が、ジョイント昇降機構２８２によって、そのノズルＮと接続するように下降させられる。図１７（ａ）に示すように、エアジョイント２７８がノズルＮに接続された状態で、エア送給装置２７４は、圧縮空気をノズルＮに送給する。通常のノズルＮは、あまり抵抗ない空気の通過が許容されて、充分な流量が担保されており、空気圧センサ２８０によって測定される空気圧は、比較的低い値となる。一方で、例えば、ノズルＮに“詰まり”が生じているような場合は、ノズルＮを通過する空気に対する通過抵抗が大きくなり、充分な流量が確保されなくなる。この状況では、空気圧センサ２８０によって測定される空気圧は、比較的高い値となる。そのことを考慮して、通過流量検査では、空気圧センサ２８０によって測定された空気圧が、閾圧より高くなった場合に、そのノズルＮに“詰まり”が生じていると認定され、そのノズルＮが不良ノズルであると判断される。つまり、この通過流量検査では、空気の流量を直接的に測定する代わりに、ノズルＮの基端部側の圧力を測定することによって、ノズルＮの“詰まり”を認定しているのである。なお、空気圧センサ２８０に代えて流量計（流量センサ）を配設し、通過する空気の流量を直接的に測定し、その測定の結果に基づいて“詰まり”の有無を判断してもよい。

　なお、ノズルＮに送給される圧縮空気は、上述の駆動源ユニット１２４内に配設されているコンプレッサ（図示を省略）からエア送給装置２７４に供給されるが、例えば、そのコンプレッサの出力圧に依存して、空気圧センサ２８０によって測定される空気圧が変化する。つまり、第２検査装置１０８に関連する環境条件によって、その空気圧が変化することになるのである。このことを考慮すれば、その環境条件に応じて上記閾圧を設定することが望ましい。本管理機８０では、ノズルＮの通過流量検査に先立ち、パレットＮＰに固定されている基準パイプ１６０に、エア送給装置２７４によって圧縮空気を送給し、そのときに空気圧センサ２８０によって測定される空気圧を基に、上記閾圧を設定するようにされている。つまり、基準対象としての基準パイプ１６０は、第２検査装置１０８による通過流量検査についての準備処理として行われるその検査の基準の設定に利用されているのである。

　第２検査装置１０８による識別子読取検査では、検査ヘッド２７０が、ヘッド移動装置２７２によって、検査するノズルＮのフランジ３４に付された識別子である２Ｄコード３８の真上にカメラ２７６が位置する位置に移動させられる。その状態で、カメラ２７６によって、その２Ｄコード３８が撮像される。ちなみに、撮像によって得られる画像は、図１７（ｂ）のようなものである。識別子読取検査では、その撮像によって得られた画像データに基づいて、そのノズルＮのＩＤが認識され、ＩＤが認識できない場合に、そのノズルＮが不良ノズルと判断される。カメラ２７６の不調等によってもＩＤが認識できない場合があるため、本管理機８０では、ノズルＮの２Ｄコード３８の読取に先立って、パレットＮＰに固定されている基準ノズル１５８のフランジ３４に付されている２Ｄコード３８が、カメラ２７６によって撮像され、その撮像によって得られた画像データに基づいて、第２検査装置１０８の識別子読取機能が充分であることが確認され、その機能が充分であることを条件に、ノズルＮの識別子読取検査が行われる。つまり、基準対象である基準ノズル１５８は、第２検査装置１０８の検定、つまり、事前検定に利用されるのである。

　なお、第２検査装置１０８による上記通過流量検査および上記識別子読取検査は、１つのパレットＮＰに載置されているすべてのノズルＮに対して行ってもよく、一部のノズルＮに対してだけ行ってもよい。また、それら２つの検査の両方を行ってもよく、いずれか一方のみを行ってもよい。載置されているノズルＮの検査が終了した後、上記検査位置に位置させられていたパレットＮＰは、第２移送装置１１６によって、収容装置１００内において上記第２検査装置対応ステーションに位置させられたキャリア１３０に、移送される。

［Ｈ］ノズル洗浄装置およびノズル乾燥装置
　ノズル洗浄装置１１０は、第２ノズル検査装置１０８の下方に位置し、また、ノズル乾燥装置１１２は、洗浄装置１１０と上述の収容装置１００との間に位置している。当該管理機８０には、それら洗浄装置１１０および乾燥装置１１２に関連してハウジング３００が設けられている。図１０は、ハウジング３００の存在する状態においてそれら洗浄装置１１０および乾燥装置１１２を示しており、図１１は、ハウジング３００を取り除いてそれら洗浄装置１１０および乾燥装置１１２を示している。それらの図を参照しつつ説明すれば、収容装置１００内の設定位置、つまり、洗浄装置対応ステーションに位置させられたパレットＮＰが、上述の第４パレット移送装置１２０（構造については、後述する）によって洗浄位置まで移送された後、その位置において、そのパレットＮＰに載置されているノズルＮに対して、洗浄装置１１０による洗浄が行われる。そして、洗浄の後、そのパレットＮＰが第４パレット移送装置１２０によって洗浄装置対応ステーションに移送される間に、そのパレットＮＰに載置されて洗浄が終了したノズルＮに対して、乾燥装置１１２による乾燥が行われる。図に示すパレットＮＰの位置が、上記洗浄位置であり、第４移送装置１２０には、その検査位置においてパレットＮＰを固定するパレット固定機構（図示を省略）が設けられている。ちなみに、図では、パレットＮＰに載置されているノズルＮは、簡素化のため、省略されている。

　洗浄装置１１０は、ノズルＮを上方から洗浄するための上部洗浄ユニット３０２と、ノズルＮを下方から洗浄するための下部洗浄ユニット３０４とを含んで構成されており、それらは、略同じ構造のものとされている。それらユニット３０２，３０４の各々は、ハウジング３００に付設された支持フレーム３０６と、その支持フレーム３０６に支持された噴射ノズル３０８と、その噴射ノズル３０８をＹ方向に移動させるＹ方向移動機構３１０とを含んで構成されている。噴射ノズル３０８は、パレットＮＰの全幅に亘ってＸ方向に延びるように配置された細長い直方体形状のものであり、パレットＮＰと向かい合う面に、多数の噴射孔３１２が設けられている。Ｙ方向移動機構３１０は、その噴射ノズル３０８を、パレットＮＰの全長に亘ってＹ方向に移動させるように構成されている。この噴射ノズル３０８には、上述の駆動源ユニット１２４内に設置された高圧ポンプ（図示を省略）によって加圧された高圧水が供給され、その高圧水が、噴射孔３１２から、パレットＮＰに載置されたノズルＮに向かって噴射される。

　乾燥装置１１２は、ハウジング３００の上部および下部に配設された複数の送風管３１４を含んで構成されている。それら送風管３１４には、ブロアー（図示を省略）から、駆動源ユニット１２４内に配設された加熱器（図示を省略）を介して、温風（熱風）が送り込まれる。複数の送風管３１４の各々には、複数の放出孔が設けられており、温風は、それら放出孔から、パレットＮＰに載置されたノズルＮに向かって放出される。放出された温風によって、ノズルＮが乾燥させられる。

　上述のハウジング３００は、洗浄装置１１０によって噴射される高圧水、および、乾燥装置１１２によって放出される温風が他の装置等に与える悪影響を防止するために設置されたものである。ハウジング３００には、前方側に、内部を覗き見るための透明な窓３１６が設けられ、また、後方側に、遮蔽板３１８、および、その遮蔽板３１８をパレットＮＰが通過するときにだけ開けるための遮蔽板開閉機構３２０が設けられている。

　図１８に示すように、上述の洗浄位置において固定されたパレットＮＰに載置されているノズルＮに対して、洗浄装置１１０による洗浄が行われる。詳しく言えば、上部洗浄ユニット３０２は、ノズルＮの上方から、つまり、ノズルＮの基端側から高圧の水を噴射して、主に、胴体筒３０，フランジ３４の上面等を洗浄する。一方、下部洗浄ユニット３０４は、ノズルＮの下方から、つまり、ノズルＮの先端側から高圧水を噴射して、主に、吸着管３２等を洗浄する。高い洗浄効果を得るため、噴射ノズル３０８は、真下あるいは真上にだけでなく種々の方向に高圧水を噴射するように、噴射孔３１２の向きが調整されている。噴射ノズル３０８は、比較的幅の狭いものであり、パレットＮＰ上にＸ方向に並ぶノズル列のうちの一部にしか高圧水を噴射することができないため、噴射ノズル３０８が、Ｙ方向移動機構３１０によって、パレットＮＰのＹ方向における全長に亘って移動させられる。ちなみに、噴射ノズル３０８は、２流体式のノズル、つまり、圧縮空気によって水を分散して噴射するノズルではなく、ポンプによって加圧された水を、その水の圧力によって、直接噴射孔３１２から噴射するように構成されたノズルである。そのため、洗浄装置１１０は、洗浄能力の高いものとされている。

　乾燥装置１１２は、ノズルＮの洗浄が終了して検査位置に存在するパレットＮＰを第４移送装置１２０が洗浄装置対応ステーション１３０に移送する際に、温風を利用したエアブローによって行われる。そのため、乾燥に必要な時間の少なくとも一部において、パレットＮＰを収容装置１００に返送することができ、洗浄，乾燥といった一連の作業における時間的ロスが小さいものとなっている。なお、温風は、比較的早い速度の風であり、その温風の圧力によってノズルＮに付着している水滴が吹き飛ばされるとともに、その温風の有する温度によって、ノズルＮに付き残る水分が乾燥させられる。

［Ｉ］パレット移送装置
　それぞれがノズル移送装置である第１～第４パレット移送装置１１４～１２０は、先に説明したように収容装置１００と、対応する対ノズル処置実行装置との間で、パレットＮＰを移送する装置である。第１，第２，第３移送装置１１４，１１６，１１８は、略同一の構造を有しており、第４移送装置１２０は、若干、それら第１，第２，第３移送装置１１４，１１６，１１８とは異なる構造を有している。

　図５～図７を参照しつつ説明すれば、第１，第２，第３移送装置１１４，１１６，１１８の各々は、収容装置１００から前方に向かって延び出すように配設された１対のレール３３０を有しており、パレットＮＰは、その１対のレール３３０にそれらに跨るように支持され、それら１対のレール３３０上を摺動する。また、第１，第２，第３移送装置１１４，１１６，１１８の各々は、収容装置１００のキャリア１３０と１対のレール３３０の間、および、１対のレール３３０上において、パレットＮＰを移動させる移動機構３３２を備えている。移動機構３３２は、当該管理機８０の右側に前後に延びるようにして配設されたガイド３３４と、そのガイド３３４に支持された搬送ユニット３３６とを含んで構成されている。搬送ユニット３３６は、ガイド３３４に支持された状態において、そのガイド３３４に沿って自走する構造のものとなっている。図示は省略するが、搬送ユニット３３６は、１対のレール３３０の下方において、それら１対のレール３３０の中間まで延び出す延出部を有しており、その延出部の先端には、下方からパレットＮＰの後端部を把持するクランプが設けられている。

　収容装置１００の１つのキャリア１３０が、前述の設定位置、つまり、対ノズル処置実行装置に対応したステーションに位置するときには、１対のレール３３０と、そのキャリア１３の１対のレール１７０とが、互いに一致し、また、搬送ユニット３３６は、それの延出部がそのキャリア１３０の下方を通過するようにして、ガイド３３４の後端にまで移動することが可能となっている。搬送ユニット３３６がその後端に位置する状態で、上述のクランプによって、キャリア１３０に収容されているパレットＮＰの後端部を把持し、その把持した状態において、搬送ユニット３３６がガイド３３４の前端まで移動することにより、そのパレットＮＰは、上述した設定位置にまで移送される。移送後、クランプによる把持が解除される。設定位置に位置するパレットＮＰをキャリア１３０に移送する場合は、上記動作の逆の動作が行われる。ちなみに、設定位置は、先に説明した移載位置，検査位置，洗浄位置を意味する。なお、先に説明したように、第１，第２，第３移送装置１１４，１１６，１１８の各々は、設定位置に位置するパレットＮＰを、１対のレールに固定するための上記パレット固定機構を有している。

　第４移送装置１２０は、ガイドおよび搬送ユニットの構造において、第１，第２，第３移送装置１１４，１１６，１１８と異なる。詳しい説明は省略するが、第４移送装置１２０は、先に説明したように、ハウジング３００内においてパレットＮＰを移送するため、その移送に適した構造のガイド３３８および搬送ユニット３４０が採用されている。当該第４移送装置１２０のその他の部分の構造および動作については、第１，第２，第３移送装置１１４，１１６，１１８と同様であり、説明を省略する。なお、図５において、第１，第２，第３移送装置１１４，１１６，１１８の各々は、搬送ユニット３３６を２つ有しているように描かれているが、搬送ユニット３３６がガイドの前端に位置する状態と後端に位置する状態との両方を便宜的に示すためであり、実際には、搬送ユニット３３６は１つしか有していない。

［Ｊ］ノズル管理機の付加的構成
　本管理機８０は、上記基本的構成に加え、以下に説明する付加的構成を有している。図１９を参照しつつ付加的構成について説明する。

　先に説明したように、本管理機８０の移載装置１０４は、移載ヘッド２１０と、移載ヘッドを移動させるヘッド移動装置２１２とを含んで構成され、移載ヘッド２１０は、移載されるノズルＮを保持するためのノズル保持具としての保持チャック２１８を有している。一方で、本管理機８０では、先に説明したように、５種類のノズルＮａ，Ｎｂ，Ｎｃ，Ｎｄ，Ｎｅを対象としている。したがって、移載装置１０４は、それら５種類のノズルＮａ～Ｎｅのすべてを移載可能とされる必要がある。５種類のノズルＮａ～Ｎｅは、サイズにおいて３つのグループ、詳しくは、ノズルＮａからなる小さなサイズのグループ、ノズルＮｂ，Ｎｃからなる中間のサイズのグループ、ノズルＮｄ，Ｎｅからなる大きなサイズのグループに分類できるが、いずれのグループのノズルＮをも１つの保持チャック２１８で保持して適切に移載するためには、相当に複雑な構造の保持チャック２１８を採用しなければならない。

　そこで、本管理機３０は、上記３つのグループに合わせて、それぞれがノズル保持具である３つの保持チャック２１８を使い分けるようにされている。具体的には、ノズルＮａを保持するための保持チャック２１８ａ、ノズルＮｂ，Ｎｃを保持するための保持チャック２１８ｂ、ノズルＮｄ，Ｎｅを保持するための保持チャック２１８ｃである。そのため、移載ヘッド２１０では、保持チャック２１８が着脱可能に構成されている。図は、移載ヘッド２１０に保持チャック２１８ａが装着された状態を示しており、保持チャック２１８ｂ，保持チャック２１８ｃは、テーブル２００上に付設されたクレードル（架台）３５０に載置されている。ヘッド移動装置２１２によって、移載ヘッド２１０をクレードル３５０の空きスロットの上方に移動させた後に下降させて、装着されている保持チャック２１８を離脱させ、次いで、移載ヘッド２１０を装着予定の保持チャック２１８の上方に移動させた後に下降させて、その保持チャック２１８を装着させることで、自動で保持チャック２１８の交換が可能とされている。本管理機３０では、ノズルＮの移載は、移載されるノズルＮのサイズに応じて保持チャック２１８を交換しつつ行われる。

　また、図から解るように、本管理機８０では、２つのパレットＮＰをノズルＮの移載に供することができるようにされている。言い換えれば、２つのパレットＮＰを、２つの移載位置のそれぞれに位置させることができるようにされている。具体的には、前方側が第１移載位置であり、後方側が第２移載位置である。つまり、第１移送装置１１４は、２つのパレットＮＰを収容装置１１０から連続してそれら２つの移載位置にまでそれぞれ移送可能とされているのである。ちなみに、図では、２つのパレットＮＰに載置されているノズルＮについては、簡素化のため、省略している。なお、それぞれのパレットＮＰをそれぞれの移載位置において固定する２つのパレット固定機構（図示を省略する）が、第１移送装置１１４に設けられており、また、移載位置に位置するパレットＮＰを上述の載置穴開状態とするための機構として、２つの移載位置に対応して、２つのカバープレート１４２を摺動させるカバー摺動機構（図示を省略）が、テーブル２００上に設けられている。

　本管理機８０では、２つのパレットＮＰをノズルＮの移載に供することができるため、先に説明したセッティング移載，収容移載に加えて、２つのパレットＮＰ間のノズルＮの移載も可能となっている。２つのパレットＮＰ間でのノズルＮの移載が可能とされていることにより、収容装置１００内に収容されているノズルＮの配置替え，整列等（以下、「配置」と総称する場合がある）を効率的に行うことができる。つまり、ノズルＮの配置のためのノズルＮの移載である「配置移載」を行うための便宜が図られているのである。ちなみに、２つのパレットＮＰからのセッティング移載や、２つのパレットＮＰへの収容移載も可能であり、本管理機８０は、移載に関して、利便性の高いものとなっている。

［Ｋ］ノズル管理機が行うオペレーション
　i）オペレーションの概要
　上記構成の管理機８０は、当該管理機８０の制御を司る制御装置としてのコントローラ８４の制御によって、種々のオペレーションを行う。あるノズルＮの当該管理機８０への受け入れからそのノズルＮの当該管理機８０からの払い出しまでの流れに沿って説明すれば、それら種々のオペレーションとして、図２０のチャートに示すように、管理機８０は、トレイＮＴに載置されているノズルＮを当該管理機８０に収容するための「ノズル収容オペレーション」、収容されたノズルＮを洗浄，検査に供するためにパレットＮＰに配置するための「第１ノズル配置オペレーション」、パレットＮＰに配置されたノズルＮの洗浄を行うための「ノズル洗浄オペレーション」、洗浄が終了したノズルＮの検査を行うための「第１ノズル検査オペレーション」および「第２ノズル検査オペレーション」、検査が終了したノズルをパレットＮＰに整列させて保管するための「第２ノズル配置オペレーション」、整列されて保管されているノズルＮをトレイＮＴにセッティングするための「ノズルセッティングオペレーション」を行う。なお、チャートでは示していないが、ノズル収容オペレーションとノズルセッティングオペレーションとが複合したオペレーションであって、ノズルＮが載置されたトレイＮＴに対して、それら載置されたノズルＮを同じ型式の別のノズルＮに交換するための「ノズル再セッティングオペレーション」をも実行可能とされている。

　上記種々のオペレーションは、管理情報、つまり、収容されているノズルＮおよびトレイＮＴを管理する中で作成若しくは取得されるそれらノズルＮおよびトレイＮＴについての情報に基づいて行われる。また、複数のパレットＮＰの使用方法および１つのパレットＮＰの使用方法についての原則が定められている。さらに、検査が終了したノズルＮの保管のための整列態様を、いくつかの態様の中から選択的に採用することが可能となっている。以下に、上記管理情報を例示して説明した後、パレットの使用についての原則、管理機８０が行う上記種々のオペレーションの各々について、上記いくつかの整列態様の説明を挟んで、順次、説明する。なお、図２１に示すように、管理機８０は、いくつかの電気部品装着機１０、および、それら電気部品装着機１０を統括して管理する管理装置としてのホストコンピュータ３６０と、ＬＡＮ３６２によって接続されており、コントローラ８４は、それらそれら電気部品装着機１０およびホストコンピュータ３６０のいずれかから送られてくる指示，情報等に基づいて、種々のオペレーションのいくつかのものを行うことも可能とされている。

　ii）管理情報
　コントローラ８４は、収容されているノズルＮについての管理情報として、「収容ノズル情報」を記憶している。収容ノズル情報は、図２２の収容ノズル情報テーブルとして模式的に表すことのできるものであり、簡単に言えば、どのキャリア１３０に収容されているどのパレットＮＰのどの載置穴１４４にどんなノズルＮが収容されているかを示す情報である。言い換えれば、収容されているノズルＮの固有情報が収容装置１００における収容位置に関連付けられた態様の情報である。以下の説明では、収容ノズル情報は、上記テーブルの形式で記憶されているものとして扱い、そのテーブルを基に、収容ノズル情報について具体的に説明する。

　図に示す収容ノズル情報テーブルでは、１行１行が、１つのパレットＮＰの１つの載置穴１４４に、つまり、収容されているノズルＮの１つ１つに対応している。また、そのテーブルの各列が、ノズルＮに関する各種情報に対応している。具体的に言えば、〔キャリアＮｏ〕は、ノズルＮが載置されているパレットＮＰが収容されているキャリア１３０の番号であり、“＃１”，“＃２”，・・・といった具合に収容装置１００が有するキャリア１３０の数までの番号が記憶される。〔パレットＩＤ〕は、ノズルＮが載置されているパレットＮＰの固有情報でとしてのそのパレットＮＰのＩＤである。〔パレット分類〕は、そのパレットＮＰが、後述する整列用パレットであるか前処理用パレットであるかを示すパラメータであり、“Ａ”は、そのパレットＮＰが整列用パレットであることを、“Ｐ”は、そのパレットＮＰが前処理用パレットであることを示している。〔載置穴Ｎｏ〕は、ノズルＮが載置されている載置部としての載置穴１４４の番号であり、図１２に示す小さな載置穴１４４ａに対応して、“Ａ０１”～“Ａ２４”の番号が、大きな載置穴１４４ｂに対応して、“Ｂ０１”～“Ｂ１５”の番号が記憶される。ちなみに、〔キャリアＮｏ〕，〔パレットＩＤ〕，〔パレット分類〕の列における“↓”は、上の行と同じ内容が記憶されていることを便宜的に示している。

　〔ノズルＩＤ〕およびそれより右の列は、いずれも、ノズルＮの固有情報である。１つずつ説明すれば、〔ノズルＩＤ〕は、ノズルＮのＩＤである。〔ノズルＩＤ〕が“－”とされているのは、ノズルＮのＩＤが認識不能であることを意味し、“？“とされているのは、ノズルＮのＩＤが未認識であることを意味している。〔ノズル型式〕は、ノズルＮの型式、つまり、種類を表わすものである。具体的には、図１３に示すノズルＮａ～Ｎｅのそれぞれの型式が記憶される。“（・・・・）”は、ノズルの形式が推定されたことを意味する。〔洗浄〕は、ノズルＮが洗浄装置１１０による洗浄がなされたものであるか否かを示しており、“◎”は、洗浄されていることを、“●”は、未だ洗浄されていないことを、それぞれ表している。

　〔不良要因〕は、ノズルＮが不良ノズルと判断されている場合において、その不良の要因、つまり、上述の４つの項目の検査のいずれにおいて不良ノズルと判断されたかを示している。４つの項目の検査のいずれかにおいて不良ノズルであると判断された場合、〔識別子読取〕，〔通過流量〕，〔先端部状態〕，〔後退必要力〕の４つの列のうちの不良ノズルであると判断された項目に対応する列に、“×”が記憶される。“○”は、各項目の検査において不良ノズルと判断されなかったこをを意味し、各列に、“○”も“×”も記憶されていない場合には、検査が未だ行われていないことを意味する。

　〔収容時刻〕は、ノズルＮが当該管理機８０に収容された時刻を、年，月，日，時，分で表している。なお、〔ノズルＩＤ〕～〔収容時刻〕の列に、何らの記載もされていない行は、その行に対応する載置穴１４４、つまり、あるキャリア１３０に収容されているパレットＮＰのその載置穴１４４に、ノズルＮが載置されていないことを示している。

　その一方で、コントローラ８４は、収容されているノズルＮについてのもう１つの管理情報として、「ノズル種別毎使用頻度情報」を記憶している。ノズル種別毎使用頻度情報は、図２３に示すノズル種別毎使用頻度情報テーブルとして模式的に表すことのできるものであり、具体的に言えば、〔ノズル型式〕には、図１３に示すノズルＮａ～Ｎｅのそれぞれの型式が、〔使用頻度〕には、それぞれの型式のノズルＮの使用頻度が示されており、ノズル種別毎使用頻度情報は、どの型式、つまり、どの種別のノズルＮが、どのくらいの使用頻度にあるかを示す情報となっている。ちなみに、使用頻度は、各ノズルＮが当該管理機８０においてトレイＮＴへのセッティングに供されたかを表すノズル毎セッティング回数を、各種別ごとに集計した数で表わされている。言い換えれば、どの種別のノズルＮが延べ何回ぐらい使用されるかを表すものとなっている。なお、ノズル種別毎使用頻度情報は、上記図２２のノズル収容情報テーブルの中に、別に列を設けて、組み込むことができ、また、そのテーブルの〔ノズル型式〕とリンクさせることができることから、収容されているノズルＮの固有情報の一種と考えることができるものである。以下の説明では、収容ノズル情報と同様、収容トレイ情報は、上記テーブルの形式で記憶されているものとして扱う。

　また、コントローラ８４は、収容されているトレイＮＴについての管理情報として、「収容トレイ情報」を記憶している。収容トレイ情報は、図２４の収容トレイ情報テーブルとして模式的に表すことのできるものであり、簡単に言えば、どのキャリア１９２にどんなトレイＮが収容されているかを示す情報である。言い換えれば、収容ノズル情報と同様、収容されているトレイＮＴの固有情報が収容装置１０２における収容位置に関連付けられた態様の情報である。以下の説明では、収容ノズル情報と同様、収容トレイ情報は、上記テーブルの形式で記憶されているものとして扱い、そのテーブルを基に、収容トレイ情報について具体的に説明する。

　図に示す収容トレイ情報テーブルでは、１行１行が、収容装置１０２の１つのキャリア１９２、つまり、収容されているトレイＮＴの１つ１つに対応している。また、そのテーブルの各列が、トレイＮＴに関する各種情報に対応している。具体的に言えば、〔キャリアＮｏ〕は、トレイＮＴが収容されているキャリア１９２の番号であり、“＃１”，“＃２”，・・・といった具合に収容装置１０２が有するキャリア１９２の数までの番号が記憶される。〔トレイＩＤ〕は、トレイＮＴの固有情報の１つとしてのそのトレイＮＴのＩＤである。〔トレイ型式〕は、トレイＮＴの型式、つまり、種類を表わすものである。〔ＳＥＴ済〕は、収容されているトレイＮＴにノズルＮがセッティングされているか否か示しており、“◎”は、トレイＮＴにノズルＮがセッティングされていることを、空白は、空のトレイＮＴであることを示している。ちなみに、〔トレイＩＤ〕，〔トレイ型式〕の列に、何らの記載もされていない行は、その行に対応するキャリア１９２には、トレイＮＴが収容されていないことを示している。

　さらに、コントローラ８４は、ノズルＮのトレイＮＴへのセッティングに関する管理情報として、「ノズルセッティング情報」を利用する。ノズルセッティング情報は、図２５のノズルセッティング情報テーブルとして模式的に表すことのできるものであり、簡単に言えば、どのトレイＮＴのどの載置穴６４にどんなノズルＮが載置されているかを示す情報である。〔載置穴Ｎｏ〕は、ノズルＮが載置される載置部としての載置穴６４の番号であり、図には、一例として、図３に示すトレイＮＴに関する情報を示している。具体的には、図３に示す比較的小さな載置穴６４に対応して、“ａ１”～“ａ８”の番号が、比較的大きな載置穴６４に対応して、“ｂ１”～”ｂ４”の番号が付される。

　ノズルＮのパレットＮＴへのセッティングは、〔トレイＩＤ〕，〔ノズルＩＤ〕が記載されていない、つまり、〔トレイ型式〕および〔ノズル型式〕だけが示されているノズルセッティング情報に基づいて開始され、セッティングが終了した時点で〔トレイＩＤ〕，〔ノズルＩＤ〕が付されることになる。

　上述した管理情報は、以下に説明する当該管理機８０によるいくつかのオペレーションの中で、更新，リセット等される。以下の説明では、オペレーションに関するプログラムのフローチャートに基づいて、それらオペレーションの説明を行うが、そのフローチャートでは、上記更新，削除，追加等に関する処理の表記は省略し、それらの処理の説明は、フローチャートの各ステップの説明に中で行うこととする。

　iii）パレットの使用についての原則
　収容装置１００には、複数のパレットＮＰ、具体的には、２０枚までのパレットＮＰを収容することが可能となっている。本管理機８０では、上記種々のオペレーションを行うのに際し、図２６に示すように、収容されている複数のパレットＮＰは、２つのグループに分類されている。前述したように、２つのグループの１つは、ノズルＮが設定された規則に従った順に整列させられている或いはさせられる複数のパレットＮＰ（以下、「整列用パレットＮＰ_A」と言う場合がある）からなるグループであり、もう１つは、当該管理機８０への受け入れ、洗浄、検査等の処理を行うために、整列用パレットＮＰ_Aのいずれかに整列して載置される前にノズルＮが載置される複数のパレットＮＰ（以下、「前処理用パレットＮＰ_P」と呼ぶ場合がある）からなるグループである。前処理用パレットＮＰ_Pから整列用パレットＮＰ_AへのノズルＮの移載は、上述の第２ノズル配置オペレーションによって行われる。なお、図において、便宜的に、黒く塗りつぶされている載置穴１４４ａ，１４４ｂは、その載置穴１４４ａ，１４４ｂにノズルＮが載置されていることを示しており、白抜きとなっている載置穴１４４ａ，１４４ｂは、その載置穴１４４ａ，１４４ｂにノズルＮが載置されていないことを示している。

　１つのパレットＮＰへのノズルＮの移載、つまり、１つのパレットＮＰへのノズルＮの配置は、原則として、図２７に示す順に行われる。具体的には、ノズルＮａについては、図２７（ａ）に示すように、最も左の列から順に、各列の載置穴１４４ａに対して上から順に配置される。同様に、ノズルＮｂ～Ｎｅについては、ノズルＮの種別に関係なく、若しくは、ノズルＮの種別ごとに、図２７（ｂ）に示すように、最も左の列から順に、各列の載置穴１４４ｂに対して上から順に配置される。ちなみに、この順序を、「配置順」と呼ぶ場合があることとする。なお、既に、いくつかのノズルＮが載置されているパレットＮＰに別のいくつかのノズルＮを追加するようにして配置する場合には、原則として、既にノズルＮが載置されている載置穴１４４ａ，１４４ｂのうちの上記配置順に従った最後尾の載置穴１４４ａ，１４４ｂの次の載置穴１４４ａ，１４４ｂから、配置順に従って、順次配置される。

　一方、１つのパレットＮＰからのノズルＮの取り出し、つまり、１つのパレットＮＰからのノズルＮの移載も、原則として、上記配置順に従って行われる。この原則に従えば、そのパレットＮＰに先に載置されたノズルＮから順に行われる。いわゆる先入れ先出しを原則とするのである。なお、ノズルＮｂ～Ｎｅが混在しているパレットＮＰからのノズルＮｂ～Ｎｅのいずれか１つの型式のものの取り出しも、原則として、上記配置順に従って行われる。つまり、その１つの型式のノズルＮを除く他の形式のノズルＮをスキップしつつ上記配置順に従ったその１つの型式のノズルＮの取り出しが行われるのである。

　iv）ノズル収容オペレーション
　ノズル収容オペレーションは、例えば装着機において使用されたノズルＮの洗浄，検査，保管等を目的として、トレイＮＴに載置されたノズルＮを収容装置１００に収容するためのオペレーションであり、そのオペレーションは、コントローラ８４が図２８にフローチャートを示すノズル収容プログラムを実行することによって、行われる。当該管理機８０のオペレータが、ノズルＮが載置されているトレイＮＴを、上述の引出８２を開けて、上述の固定ステージ２０４または可動ステージ２０４にセットした後、当該オペレーションの開始の指令を、コントローラ８４の操作キー８８によって入力することによって、当該オペレーションが開始する。なお、固定ステージ２０２にトレイＮＴがセットされた場合は、ノズルＮが収容された後にトレイＮＴを残したまま、当該オペレーションが終了する。一方、可動ステージ２０４にトレイＮＴがセットされた場合は、ノズルＮが収容された後にトレイＮＴを収容装置１０２に収容するか否かを、オペレータの操作キー８８を用いた入力操作に基づいて選択可能とされており、その選択に従って、当該オペレーションが終了する。

　ノズル収容プログラムに従った処理では、ステップ１（以下、ステップを「Ｓ」と省略する）において、トレイＮＴが固定されて載置穴開状態が実現されているステージ、つまり、トレイＮＴがセットされたステージが固定ステージ２０２であるか可動ステージ２０４であるかが特定される。次いで、Ｓ２において、特定されたステージの上方に移載ヘッド２１０が移動させられ、カメラ２２０によってトレイＮＴに付された２Ｄコード７６が撮像されてそのトレイＮＴのＩＤが取得される。続くＳ３において、取得されたトレイＮＴのＩＤに基づいて、そのトレイＮＴの型式が特定される。ちなみに、ＩＤ情報の中には、トレイＮＴの型式の情報が含まれている。コントローラ８４は、トレイＮＴの載置穴６４の数，位置等の諸元がトレイＮＴの型式に関連付けられたデータ（以下、「トレイ諸元データ」と言う場合がある）を記憶しており、型式の特定の後、Ｓ４において、その型式に基づいて把握されたトレイＮＴの諸元に従って、トレイＮＴに載置されている各ノズルＮの２Ｄコード３８がカメラ２２０によって撮像され、各ノズルＮのＩＤが取得される。続くＳ５において、取得されたＩＤに基づいて、各ノズルＮの型式が特定される。トレイＮＴと同様に、ノズルＮのＩＤ情報の中には、ノズルＮの型式の情報が含まれている。なお、２Ｄマーク３８の汚れ等によってノズルＮＴのＩＤが取得できない場合には、先に作成した上述のノズルセッティング情報、つまり、そのＩＤのトレイＮＴにノズルＮのセッティングを行った際のノズルセッティング情報が利用され、その情報に基づき、ＩＤの取得ができないノズルＮの型式を推定する。

　次に、Ｓ６において、ノズルＮの収容装置１００への収容に際してそれらノズルＮが載置される１つのパレットＮＰが、先に説明した収容ノズル情報に基づいて、収容装置１００が有する複数のパレットＮＰの中から、詳しくは、複数の前処理用パレットＮＰ_Pの中から、１つの前処理用パレットＮＰ_Pが、選択される。具体的には、まず、洗浄が終了していないノズルＮが載置されている前処理用パレットＮＰ_Pが存在するか否かが判断される。そのような前処理用パレットＮＰ_Pが１以上存在する場合には、最近に収容されたノズルＮが載置されている１つの前処理用パレットＮＰ_Pにおいて、既に載置されているノズルＮの後に上述の配置順に従って今回収容されるすべてのノズルＮが載置可能であるか否かが判断され、載置可能である場合には、その１つの前処理用パレットＮＰ_Pが選択される。その前処理用パレットＮＰ_Pに載置不能である場合、若しくは、洗浄が終了していないノズルＮが載置されている前処理用パレットＮＰ_Pが存在しない場合には、１つの空の前処理用パレットＮＰ_Pが選択される。そして、Ｓ７において、その選択された前処理用パレットＮＰ_Pが、第１移送装置１１４によって移送され、上述した第１移載位置にセットされる。なお、ノズル収容オペレーションにおいて１つの前処理用パレットＮＰ_PにしかノズルＮを受け入れないようにしているのは、当該オペレーションを短い時間で完了させるための方策である。

　選択された前処理用パレットＮＰ_Pがセットされた後に、Ｓ８において、セットされたトレイＮＴに載置されているノズルＮの中から、セットされた前処理用パレットＮＰ_Pに移載可能な１つのノズルＮが、設定された規則に従って選択され、Ｓ９において、移載装置１０４によって、その選択されたノズルＮが、セットされた前処理用パレットＮＰ_Pにおいて、空となっている載置穴１４４の１つに移載される。つまり、上述の収容移載が行われるのである。具体的には、Ｓ５において特定されているそのノズルＮの型式に基づくとともに、上述の配置順に従って決定された空の載置穴１４４の１つに移載される。この１つのノズルＮについての収容移載の際、Ｓ４において取得されているそのノズルＮについてのＩＤ、Ｓ５において特定されているそのノズルについての型式、および、そのノズルＮが収容された時刻（収容時刻）が、収容ノズル情報として記憶される。つまり、収容ノズル情報の更新が行われるのである。具体的には、図２２に示す収容ノズル情報テーブルの行のうちの１つ、つまり、ノズルＮが載置された載置穴１４４に対応する行の〔ノズルＩＤ〕，〔ノズル型式〕，〔収容時刻〕のセルに、上記ＩＤ，上記型式，上記収容時刻が、それぞれ書き込まれ、また、〔洗浄〕のセルに、そのノズルＮが未洗浄である旨が書き込まれる。

　１つのノズルＮについての収容移載の後、Ｓ１０において、セットされたトレイＮＴに載置されていたすべてのノズルＮの収容移載が完了したか否かが判断される。すべてのノズルＮの収容移載が完了していない場合は、Ｓ８の別の１つのノズルＮの選択およびＳ９のぞの別のノズルＮについての収容移載が行われる。Ｓ１０において、セットされたトレイＮＴに載置されていたすべてのノズルＮの収容移載が完了したと判断された場合には、Ｓ１１において、セットされている前処理用パレットＮＰ_Pが、第１移送装置１１４によって、収容装置１００に返送される。

　上述のようなノズル収容オペレーションの結果、例えば、図２９に示すように、ノズルＮが、トレイＮＴから１つの前処理用パレットＮＰ_Pに載置される。詳しく言えば、図２９（ａ）は、既にノズルＮが載置されている前処理用パレットＮＰ_PへのノズルＮの移載であり、図２９（ｂ）は、空の前処理用パレットＮＰ_PへのノズルＮの移載である。ちなみに、図に示すトレイＮＴでは、比較的小さな８つの載置穴６４には、小さなサイズのノズルＮａが、比較的大きな４つの載置穴６４には、中間のサイズのノズルＮｂ，Ｎｃおよび大きなサイズのノズルＮｄ，Ｎｅが載置可能となっている。以下、そのようなトレイＮＴを使用するこを前提に説明を行う。

　すべてのノズルＮの収容移載が完了し、前処理用パレットＮＰ_Pが返送された後、Ｓ１２において、空になったトレイＮＴを、トレイ収容装置１０２に収容するか否かが判断される。この判断は、先に説明したように、トレイＮＴが、固定ステージ２０２と可動ステージ２０４とのいずれにセットされているかに基づいて行われる。トレイＮＴが収容装置１０２に収容されると判断された場合には、Ｓ１３において、セットされている空のトレイＮＴが、トレイ移送装置１２２によって、収容装置１０２に収容されて、ノズル収容オペレーションが終了する。一方、Ｓ１２において空のトレイＮＴが収容装置１０２に収容されないと判断された場合には、そのトレイＮＴのセットの解除が行われて、ノズル収容オペレーションが終了する。なお、ノズルＮの収容移載に先立って、トレイＮＴに付されている２Ｄコード７６が、移載装置１０４に設けられたカメラ２２によって撮像され、そのトレイＮＴのＩＤが取得されており、トレイＮＴの収容装置１０２への収容の際には、そのトレイＮＴのＩＤ、および、そのＩＤに基づいて特定されたそのトレイＮＴの型式が、収容されるキャリア１９２に関係付けられて上述の収容トレイ情報に追加される。

　v）第１ノズル配置オペレーション
　第１ノズル配置オペレーションは、収容されているノズルＮのうち次に洗浄に供されるノズルＮを、洗浄の効率を考慮して、１つの前処理用パレットＮＰ_Pに配置するためのオペレーションである。そのオペレーションは、コントローラ８４が図３０にフローチャートを示す第１ノズル配置プログラムを実行することによって、行われる。当該オペレーションは、収容ノズル情報を基に、未だ洗浄が完了していないノズルＮの数がカウントされ、その数が１のパレットＮＰに載置可能な数を超えた場合に行わる。そして、上記ノズル収容オペレーション，後に説明する第２ノズル配置オペレーション，ノズルセッティングオペレーションが行われていないことを条件に開始される。

　第１ノズル配置プログラムに従う処理では、まず、Ｓ２１において、洗浄が行われるノズルＮが載置される１の前処理用パレットＮＰ_Pが、移載先パレットＮＰ₁として選択される。詳しく言えば、洗浄が終了していないノズルＮが載置されている複数の前処理用パレットＮＰ_Pの中で、収容時刻が最前のノズルＮが載置されているものが、収容ノズル情報を基に特定され、その特定された前処理用パレットＮＰ_Pが、移載先パレットＮＰ₁として選択される。続くＳ２２において、選択された移載先パレットＮＰ₁が、第１移送装置１１４によって収容装置１００から移送され、上記第１移載位置にセットされる。次に、Ｓ２３において、洗浄が終了していないノズルＮが載置されている複数の前処理用パレットＮＰ_Pから移載先パレットＮＰ₁を除いた１以上のものの中で、収容時刻が最前のノズルＮが載置されているものが、収容ノズル情報を基に特定され、その特定された前処理用パレットＮＰ_Pが、移載元パレットＮＰ₂として選択される。続くＳ２４において、選択された移載元パレットＮＰ₂が、第１移送装置１１４によって収容装置１００から移送され、上記第２移載位置にセットされる。

　次いで、Ｓ２５において、移載先パレットＮＰ₁において先詰移載処理が必要か否かが判断される。先詰移載処理が必要な場合には、Ｓ２６において、移載装置１０４によって、先詰移載が行われる。「先詰移載処理」とは、上記配置順の先頭側のいくつかの載置穴１４４が空となっている場合に、現在載置されているノズルＮを配置順の先頭から順番に整列させるべく、空の載置穴１４４を埋めるようにして、それらのノズルＮを順次、それら空の載置穴１４４に移載する処理である。

　先詰移載処理が必要でない場合、若しくは、必要とされた先詰移載処理が終了した場合に、次のＳ２７において、移載元パレットＮＰ₂において移載に供される１のノズルＮが上述の配置順に従って選択され、続くＳ２８において、選択されたノズルＮが、移載装置１０４によって、上記配置順に従って決まる移載先パレットＮＰ₁の空となっている１つの載置穴１４４に、移載される。つまり、選択されたノズルＮの配置移載が行われる。この１つのノズルＮの配置移載に伴って、上記収容ノズル情報の更新が行われる。具体的には、図２２に示す収容ノズル情報テーブルの行のうちの１つ、つまり、ノズルＮが載置された移載先パレットＮＰ₁の載置穴１４４に対応する行の〔ノズルＩＤ〕以降のセルに、移載元パレットＮＰ₂においてそのノズルＮが載置されていた載置穴１４４に対応する行の〔ノズルＩＤ〕以降のセルに格納されていたそのノズルＮの固有情報が、移される。

　次いで、Ｓ２９において、移載先パレットＮＰ₁のすべての載置穴１４４にノズルＮが載置されたかどうかが確認される。つまり、移載先パレットＮＰ₁がノズルＮで充満させられたか否かが確認される。すべて載置穴１４４にノズルＮが載置されていない場合には、Ｓ３０において、移載元パレットＮＰ₂に移載に供されるノズルＮがまだ載置されているかどうか、つまり、その移載元パレットＮＰ₂からのノズルＮの移載が継続可能であるか否かが判断され、移載に供されるノズルＮが存在する場合には、Ｓ２７，Ｓ２８の処理によって、次のノズルＮが、移載元パレットＮＰ₂から移載先パレットＮＰ₁に移載される。一方、移載に供されるノズルＮが移載元パレットＮＰ₂に載置されてていない場合には、Ｓ３１において、その移載元パレットＮＰ₂が、第１移送装置１１４によって収容装置１００に返送され、Ｓ２３，Ｓ２４に戻って、次の移載元パレットＮＰ₂が選択されて、その移載元パレットＮＰ₂が第１移送装置１１４によって収容装置１００から移送されて、第２移載位置にセットされる。そして、Ｓ２７，Ｓ２８におけるノズルＮの選択およびそのノズルＮの配置移載が繰り返される。移載先パレットＮＰ₁のすべての載置穴１４４にノズルＮが載置されたことがＳ２９において確認された場合には、Ｓ３２において、移載元パレットＮＰ₂と移載先パレットＮＰ₁との両方が、第１移送装置１１４によって収容装置１００に返送されて、第１ノズル配置オペレーションが終了する。

　具体例を示せば、以上のような第１ノズル配置オペレーションによって、図３１に模式的に示すようなノズルＮの移載が行われる。まず、図３１（ａ）に示すように、１の移載先パレットＮＰ₁および１つの移載元パレットＮＰ₂がセットされる。ちなみに、図に示す移載先パレットＮＰ₁では、ノズルＮは、配置順における先頭側のいくつかの載置穴１４４が空となっている。次いで、図３１（ｂ）に示すように、移載先パレットＮＰ₁において、上述の先詰配置処理が行われる。そして、移載元パレットＮＰ₂から移載先パレットＮＰ₁への移載が行われて、図３１（ｃ）の状態となる。この状態は、移載先パレットＮＰ₁がノズルＮによって充満された状態ではないため、図３１（ｄ）に示すように、移載元パレットＮＰ₂が、別の１の前処理用パレットＮＰ_Pに交換される。そして、新たにセットされた移載元パレットＮＰ₂から移載先パレットＮＰ₁への移載が、移載先パレットＮＰ₁がノズルＮによって充満された状態となるまで、引き続き行われ、その結果として、図３１（ｅ）に示す状態に至る。このような第１ノズル配置オペレーションにより、洗浄されていないノズルＮがすべての載置穴１４４に載置された状態の前処理用パレットＮＰ_Pが準備されることになる。つまり、この第１ノズル配置オペレーションでは、洗浄が完了していないノズルＮだけを１つの前処理用パレットＮＰ_Pのすべての載置穴１４４に配置するという規則に従ったノズルＮの移載が行われるのである。そして、その前処理用パレットＮＰ_Pごと、その前処理用パレットＮＰ_Pに載置されたノズルＮの洗浄，検査を行うことが可能となるため、ノズルＮの洗浄，検査の効率が高くなるのである。つまり、１回のノズル洗浄オペレーション，第１ノズル検査オペレーション，第２ノズル検査オペレーションにおいて可及的に多くのノズルＮを洗浄，検査することができるのである。

　vi）ノズル洗浄オペレーション
　ノズル洗浄オペレーションは、収容装置１００内の１つのパレットＮＰに載置されているノズルＮを、そのパレットＮＰごと洗浄し、乾燥させるオペレーションである。ノズルＮの洗浄および乾燥の詳細については先に説明されているため、ここでは、当該オペレーションの流れを中心に説明する。ちなみに、このオペレーションおよび後に説明する第１，第２ノズル検査オペレーションの３つのオペレーションは、いずれも、本実施例で説明する他のオペレーションのいずれに対しても独立して実行される。つまり、他のオペレーションが実行中であるか否かに拘わらず、他のオペレーションの対象となっているパレットＮＰ以外のパレットＮＰに載置されているノズルＮに対して、設定された条件を満たす限り、３つのオペレーションのいずれをも実行することができるのである。言い換えれば本管理機８０では、それら３つのオペレーションは、移載装置１０４が関わるオペレーション、すなわち、ノズルＮの移載に関するオペレーションと並行して行うことが可能とされているのである。つまり、移載装置１０４，洗浄装置１１０，第１検査装置１０６，第２検査装置１０８の各々の動作が互いに独立して行われるように構成されているのである。

　ノズル洗浄オペレーションは、図３２にフローチャートを示すノズル洗浄プログラムが実行されることによって、行われる。このプログラムに従う処理では、まず、Ｓ４１において、当該オペレーションの対象となるパレットＮＰが特定される。具体的には、上記第１ノズル配置オペレーションによって未洗浄のノズルＮがすべての載置穴１４４に載置された前処理用パレットＮＰ_Pのうちの、収容時刻が最前のノズルＮが載置されているものが、対象パレットとして決定される。続くＳ４２において、そのパレットＮＰが、第４パレット移送装置１１８によって、上述の洗浄位置まで移送される。そして、Ｓ４３において、その位置に位置した状態で、そのパレットＮＰに載置されたノズルＮが、そのパレットＮＰごと、ノズル洗浄装置１１０によって洗浄される。

　洗浄装置１１０による洗浄の終了後、Ｓ４４において、第４移送装置１１８によるそのパレットＮＰの返送の速度が決定される。先に説明したように、第４移送装置１１８によるパレットＮＰの返送の最中に、そのパレットＮＰに載置されたノズルＮの乾燥が行われる。そのため、Ｓ４４では、充分に乾燥させるのに必要な時間を確保すべく、環境温度，温風の温度等に基づいて、返送の速度が決定される。その決定の後、Ｓ４５において、その決定された返送速度でのパレットＮＰの返送が行われつつ、そのパレットＮＰに載置されているノズルＮが、パレットＮＰごと、乾燥装置１１２によって乾燥させられる。なお、乾燥の終了した後、洗浄されたノズルＮについて、上述の収容ノズル情報が更新される。具体的には、図２２に示す収容ノズル情報テーブルにおいて、そのパレットＮＰに載置されているノズルＮのすべてに関して、洗浄済であることを示す記号である“◎”が付されるとともに、すべての検査が終了していない状態として扱う旨の更新がなされる。

　vii）第１ノズル検査オペレーション
　第１ノズル検査オペレーションは、収容装置１００内の１つのパレットＮＰに載置されているノズルＮに対して、第１検査装置１０６による先端部状態検査および後退必要力検査を行うオペレーションであり、図３３にフローチャートを示す第１ノズル検査プログラムが実行されることによって、行われる。なお先端部状態検査および後退必要力検査についての詳細は先に説明されているので、ここでは、当該オペレーションの流れを中心に説明する。

　第１ノズル検査プログラムに従う処理では、まず、Ｓ５１において、当該オペレーションの対象となるパレットＮＰが特定される。具体的には、ノズル洗浄オペレーションによって洗浄され、かつ、第１ノズル検査オペレーションによる検査が行われていないノズルＮが載置されている前処理用パレットＮＰ_Pのうちの、収容時刻が最前のノズルＮが載置されているものが、対象パレットとして決定される。対象パレットが決定された後、Ｓ５２において、そのパレットＮＰが、第２パレット移送装置１１６によって、検査位置に移送される。

　検査位置に移送されたパレットＮＰに載置されたノズルＮの各々に対して、先端部状態検査が、後退必要力検査に優先して行われる。その先端部状態検査は、ノズルＮ１個１個について順次行われる。まず、Ｓ５３において、１つのノズルＮに対する先端部状態検査が実行される。詳しく言えば、先に説明したように、ユニット移動装置２３６によって、カメラ装置２３２のレンズ２３９が検査する１のノズルＮの真下に位置する位置に移動させられ、そのノズルＮの先端部が、カメラ装置２３２によって撮像され、そして、その撮像によって得られた撮像データを基に、先端部の状態が異常であるか否かが確認される。具体的には、“曲り”，“先端欠け”，“先端潰れ”といった先端部形状異常や、“異物や汚れの付着”がノズルＮに生じているか否かが確認される。その確認の結果を基に、Ｓ５４において判定を行い、先端部の状態が異常であると認識されている場合、Ｓ５５において、パレットＮＰに固定されている前述の基準パイプ１６０についての先端部状態検査が実行される。詳しく言えば、カメラ装置２３２によって、基準パイプ１６０の先端部が撮像され、その撮像によって得られた先端部の撮像データに基いて、基準パイプ１６０の先端部の状態に異常があるか否かが確認される。その確認の結果、Ｓ５６において判定を行い、基準パイプ１６０の先端部の状態が正常である場合に、Ｓ５７において、そのノズルＮが不良ノズルであると判断される。一方、基準パイプ１６０の先端部の状態が異常である場合には、Ｓ５８において、第１検査装置１０６の当該検査に関する機能に異常があると認定され、その旨がディスプレイ８６に表示されるとともに、そのノズルＮに対する先端部状態の異常に関する判断を行わず、かつ、他のノズルＮに対する以後の先端部状態検査がスキップされる。Ｓ５４において先端部の状態が正常であると確認された場合、若しくは、Ｓ５７において不良ノズルであると判断された場合には、Ｓ５９の処理によって、パレットＮＰに載置されたすべてのノズルＮについての先端部状態検査が完了するまで、Ｓ５３以降の処理が繰り返される。

　上記一連の処理の結果、先端部の状態においてノズルＮが正常であると判断された場合には、図２２のテーブルに示す収容ノズル情報におけるそのノズルＮの〔先端部状態〕の列に“○”が、先端部の状態に関して不良ノズルであると判断された場合には、その列に“×”が、それぞれ付される。第１検査装置１０６の当該検査に関する機能に異常があると認定された場合には、当該パレットＰに載置されているすべてのノズルＮの〔先端部状態〕の列が空白とされる。つまり、そのパレットＮＰに載置されているノズルＮは、いずれも先端部状態検査が行われていないものとして扱われるのである。

　先端部状態検査の後、後退必要力検査が、パレットＮＰに載置されているノズルＮの１個１個について、順次、行われる。当該プログラムに従う処理では、各ノズルＮの後退必要力検査に先立って、Ｓ６０において、パレットＮＰに固定されている上述の基準ノズル１５８についての後退必要力が測定される。つまり、基準ノズル１５８の吸着管３２を後退させる際に、荷重測定装置２３４の有するロードセル２４２が受ける荷重を測定する。次いで、Ｓ６１において、その測定結果を基に、ロードセル２４２によって測定される荷重の値が、実際の値に等しくなるようにするために、荷重測定装置２３４の調整（例えば、ユニット移動装置２３６による荷重測定装置２３４の上昇距離の設定等）が行われる。

　荷重測定装置２３４の上記調整の後、まず、Ｓ６２において、１つのノズルＮに対する後退必要力検査が実行される。詳しく説明すれば、測定を行うノズルＮの下方にロードセル２４２を位置させた後、荷重測定装置２３４を設定距離だけ上昇させ、そのときのロードセル２４２が受ける荷重を測定する。そして、その荷重が、当該ノズルＮについて設定された閾力を超えた場合に、そのノズルＮの後退必要力が過大であると認定される。その認定の結果を基に、Ｓ６３において判定を行い、後退必要力が過大である場合に、Ｓ６４において、そのノズルＮが不良ノズルであると判断される。そして、Ｓ６５の処理によって、パレットＮＰに載置されたすべてのノズルＮについての後退必要力検査が完了するまで、Ｓ６２以降の処理が繰り返される。

　上記一連の処理の結果、ノズルＮの後退必要力が正常であると判断された場合には、図２２のテーブルに示す収容ノズル情報におけるそのノズルＮの〔後退必要力〕の列に“○”が、後退必要力に関して不良ノズルであると判断された場合には、その列に“×”が、それぞれ付される。パレットＮＰに載置されているすべてのノズルＮの後退必要力検査が終了した後、Ｓ６６において、そのパレットＮＰが、第２移送装置１１６によって、収容装置１００に返送される。

　viii）第２ノズル検査オペレーション
　第２ノズル検査オペレーションは、収容装置１００内の１つのパレットＮＰに載置されているノズルＮに対して、第２検査装置１０８による識別子読取検査および通過流量検査を行うオペレーションであり、図３４にフローチャートを示す第２ノズル検査プログラムが実行されることによって、行われる。なお識別子読取検査および通過流量検査についての詳細は先に説明されているので、ここでは、当該オペレーションの流れを中心に説明する。

　第２ノズル検査プログラムに従う処理では、まず、Ｓ７１において、当該オペレーションの対象となるパレットＮＰが特定される。具体的には、ノズル洗浄オペレーションによって洗浄され、かつ、第２ノズル検査オペレーションによる検査が行われていないノズルＮが載置されている前処理用パレットＮＰ_Pのうちの、収容時刻が最前のノズルＮが載置されているものが、対象パレットとして決定される。対象パレットが決定された後、Ｓ７２において、そのパレットＮＰが、第３パレット移送装置１１８によって、検査位置に移送される。

　検査位置に移送されたパレットＮＰに載置されたノズルＮの各々に対して、識別子読取検査が、通過流量検査に優先して行われる。その識別子読取検査は、第２検査装置１０８が備えるカメラ２７６によって、ノズルＮ１個１個について順次行われるが、各ノズルＮの検査に先立って、Ｓ７３において、まず、パレットＮＰに固定された基準ノズル１５８のフランジ３４に付されている２Ｄコード３８が、カメラ２７６によって撮像され、その撮像によって得られた画像データに基づいて、第２検査装置１００の識別子読取検査に関する機能が充分であることが確認される。そしてその確認の結果を基に、Ｓ７４において判定を行い、その機能が充分であることを条件に、Ｓ７５以下において、各ノズルＮについての当該識別子読取検査が実行される。ちなみに、Ｓ７４の判定において識別子読取検査に関する機能が不充分であることが確認された場合には、その旨がディスプレイ８６に表示されるとともに、パレットＮＰに載置されたノズルＮの各々に対する識別子読取検査は実行されない。

　Ｓ７５における１つのノズルＮの識別子読取検査は、まず、検査ヘッド２７０が、ヘッド移動装置２７２によって、そのノズルＮのフランジ３４に付された２Ｄコード３８の真上にカメラ２７６が位置する位置に移動させられ、その状態で、カメラ２７６によって、その２Ｄコード３８が撮像される。そして、その撮像によって得られた画像データに基づいて、そのノズルＮのＩＤが充分に認識可能であるか否かが確認される。その確認の結果を基に、Ｓ７６において判定を行い、撮像された２Ｄコード３８からはＩＤが充分には読取りできない場合、つまり、２Ｄコード３８の読取りが困難である場合には、Ｓ７７において、そのノズルＮが不良ノズルであると判断される。そして、Ｓ７８の処理によって、パレットＮＰに載置されたすべてのノズルＮについての識別子読取検査が完了するまで、Ｓ７５以降の処理が繰り返される。

　上記一連の処理の結果、２Ｄコード３８の読取が充分にできる場合、つまり、識別子読取に関してノズルＮが正常である場合には、図２２のテーブルに示す収容ノズル情報におけるそのノズルＮの〔識別子読取〕の列に“○”が、識別子読取に関して不良ノズルであると判断された場合には、その列に“×”が、それぞれ付される。第２検査装置１０８の当該検査に関する機能が不充分と認定されて各ノズルＮについての識別子読取検査が行われなかった場合には、その事実を収容ノズル情報に反映させるべく、当該パレットＰに載置されているすべてのノズルＮの〔識別子読取〕の列が空白とされる。なお、ノズルＮの収容移載において２Ｄコード３８の読取りできずに、〔ノズルＩＤ〕の列に“？”が付され、〔ノズル型式〕の列に“（・・・・）”が付されているノズルＮのＩＤが、識別子読取検査によって充分に認識可能であると判断された場合には、その検査において読み取られたＩＤが、〔ノズルＩＤ〕の列に書き込まれ、そのＩＤに基づいて特定されるノズル型式が、〔ノズル型式〕の列に書き込まれる。

　識別子読取検査の後、通過流量検査が、パレットＮＰに載置されているノズルＮの１個１個について、順次、行われるのであるが、当該プログラムに従う処理では、各ノズルＮの通過流量検査に先立って、Ｓ７９において、パレットＮＰに固定されている上述の基準パイプ１６０に、エア送給装置２７４によって圧縮空気を供給し、その状態において、空気圧センサ２８０による空気圧の測定が行われる。次いで、Ｓ８０において、測定された空気圧に基づいて、ノズルＮの通過流量検査の際に参照される上記閾圧が設定される。

　閾圧の設定の後、まず、Ｓ８１において、１つのノズルＮに対する通過流量検査が実行される。詳しく説明すれば、検査を行うノズルＮにエア送給装置２７４によって圧縮空気を供給し、その状態において、空気圧センサ２８０による空気圧の測定が行われる。そして、その測定された空気圧が上記設定された閾値より高い場合に、そのノズルＮの空気の通過流量が不充分であると認定される。その認定の結果を基に、Ｓ８２において判定を行い、通過流量が不充分である場合に、Ｓ８３において、そのノズルＮが不良ノズルであると判断される。そして、Ｓ８４の処理によって、パレットＮＰに載置されたすべてのノズルＮについての通過流量検査が完了するまで、Ｓ８１以降の処理が繰り返される。

　上記一連の処理の結果、ノズルＮの通過流量が正常であると判断された場合には、図２２のテーブルに示す収容ノズル情報におけるそのノズルＮの〔通過流量〕の列に“○”が、通過流量に関して不良ノズルであると判断された場合には、その列に“×”が、それぞれ付される。パレットＮＰに載置されているすべてのノズルＮの通過流量検査が終了した後、Ｓ８５において、そのパレットＮＰが、第３移送装置１１８によって、収容装置１００に返送される。

　ix）ノズルの整列に関するいくつかの態様
　第１，第２検査オペレーションに供された後のノズルＮは、第２ノズル配置オペレーションによって、整列用パレットＮＰ_Aに整列して配置される。この整列に関して、別々の規則に従ったいくつかの態様が存在し、本管理機８０では、それらいくつかの態様のうちの１以上を選択的に採用することが可能とされている。つまり、第２ノズル配置オペレーションは、ノズルＮの整列態様が選択された整列態様とするための規則に従って、ノズルＮの配置移載を行うオペレーションである。以下に、採用可能ないくつかの整列態様について、セッティングのためのノズルＮの取り出しをも含めて、順次、説明する。

　ix-a）種別毎分離整列態様
　採用可能ないくつかの整列態様のうちの１つは、「種別毎分離整列態様」と呼ぶことのできるものであり、簡単に言えば、ノズルＮを種別ごとに異なる整列用パレットＮＰ_Aに整列して配置する態様である。詳しく言えば、上述した５つの種類、つまり、５つの型式のノズルＮのうち、同じ載置穴１４４ｂに載置可能な４つの種類のノズルＮｂ～Ｎｅを、同じ種類のものだけ、１つの整列用パレットＮＰ_Aに整列して配置する態様である。ここで、第１，第２検査が終了したノズルＮとして、ノズルＮａが１２８，ノズルＮｂが３２，ノズルＮｃが２２，ノズルＮｄが１４，ノズルＮｅが１２存在していると仮定すれば、この態様の規則の従うことにより、ノズルＮは、例えば、図３５に示すように配置される。なお、この図以降の図では、ノズルＮｂ，ノズルＮｃ，ノズルＮｄ，ノズルＮｅが載置されている載置穴１４４ｂには、それらの載置穴１４４ｂを黒く塗りつぶす代わりに、それぞれ、“ｂ”，“ｃ”，“ｄ”，“ｅ”の文字を記入する場合があることとする。

　図に示すように、種別毎分離整列態様では、ノズルＮｂ～Ｎｅのそれぞれに対して、いくつかの整列用パレットＮＰ_Aが割り当てられている。具体的には、各々の数に応じて、ノズルＮｂには４つの、ノズルＮｃには３つの、ノズルＮｄ，ノズルＮｅの各々には２つの整列用パレットＮＰ_Aが割り当てられている。ノズルＮｂに割り当てられた４つパレットＮＰは、図の最上段の４つのパレットＮＰであり、それら４つのパレットＮＰには、左側のものから順に、順位付けがされており、先頭のパレットＮＰから順に、上述の配置順に従って、ノズルＮｂが整列されている。さらに言えば、収容時刻の早いノズルＮｂほど先頭に位置するように配置されているため、ノズルＮｂは、４つのパレットＮＰを通して収容時刻の早い順に整列させられている。ノズルＮｃに割り当てられた３つパレットＮＰは、図の上から２段目の３つのパレットＮＰであり、ノズルＮｂの場合と同様に、順位付けがされている。それら３つのパレットＮＰには、左側のものから順に、上述の配置順に従って、ノズルＮｃが、３つのパレットＮＰを通して収容時刻の早い順に整列されている。ノズルＮｄに割り当てられた２つパレットＮＰは、図の上から３段目の２つのパレットＮＰであり、ノズルＮｂの場合と同様に、順位付けがされている。それら２つのパレットＮＰには、左側のものから順に、上述の配置順に従って、ノズルＮｄが、２つのパレットＮＰを通して収容時刻の早い順に整列されている。ノズルＮｅに割り当てられた２つパレットＮＰは、図の最下段の２つのパレットＮＰであり、ノズルＮｂの場合と同様に、順位付けがされている。それら２つのパレットＮＰには、左側のものから順に、上述の配置順に従って、ノズルＮｅが、２つのパレットＮＰを通して収容時刻の早い順に整列されている。ちなみに、第１，第２検査が終了したノズルＮを追加するようにして整列させるために、各段の最後尾のパレットＮＰは、ノズルＮが載置されていないパレットＮＰとされている。

　なお、ノズルＮａについては、ノズルＮｂ～Ｎｅとは、別の規則に従って整列される。詳しく言えば、図に示すすべての整列用パレットＮＰ_Aが順位付けされており、ノズルＮａは、それらすべてのパレットＮＰを通して、上述の配置順に従って、収容時刻の早い順に整列されている。つまり、ノズルＮａとノズルＮｂ～Ｎｅとは、同じパレットＮＰに載置させられるものの、別の次元で管理されているのである。ちなみに、図に示すパレットＮＰの割り付けおよび順位付けは、仮想的なものであり、収容装置１００内における位置、つまり、収容されているキャリア１３０の位置との間に特別な関係は存在していない。

　上述のように整列させられたノズルＮがセッティングに供される場合、各種別のノズルＮは、上記順位付けにおける先頭のパレットＮＰから順に、上記配置順に従って、パレットＮＰから取り出される。つまり、セッティングにおいては、各種別のノズルＮは、収容時刻が早いものから順に、トレイＮＴに移載されることになる。一方、第１，第２検査が終了した各種別のノズルＮは、規則に従った整列を維持するために、最後尾側においてノズルＮが載置されているパレットＮＰに、上記配置順に従って、追加的に配置される。上述のような取り出しが行われることによって、その取り出しが進行すると、いずれの種別のノズルＮについての場合においても、上記順位付けにおける先頭のパレットＮＰが、ノズルＮが載置されないパレットＮＰとなる。その際、上記順位付けの変更が行われる。詳しく言えば、ノズルＮが移載によって除かれたパレットＮＰが最後尾となり、そのパレットＮＰの次のパレットＮＰが先頭のパレットＮＰとなるように順位付けが行われるのである。なお、そのような順位付けの変更を行う代わりに、上述した「先詰移載処理」を行って、空となっている先頭側の載置穴１４４にノズルＮを移載して、各種別のノズルＮを再整列させることも可能である。

　ix-b）種別混在整列態様
　採用可能ないくつかの整列態様のうちのもう１つは、「種別混在整列態様」と呼ぶことのできるものであり、簡単に言えば、各種別のノズルＮを、特定の比率で混在させて１つの整列用パレットＮＰ_Aに整列して配置する態様である。言い換えれば、複数の種別のノズルＮを、それらが特定の比率で混在するセットを構成するようにして、１つの整列用パレットＮＰ_Aに整列して配置する態様である。詳しく言えば、上述した５つの種類のノズルＮａ～Ｎｅ、つまり、５つの型式のノズルＮａ～Ｎｅを、種別毎の使用頻度に応じた比率で混在させて１つの整列用パレットＮＰ_Aに整列して配置する態様である。種別毎の使用頻度は、先に説明したノズル種別毎使用頻度情報に基づくものであり、この情報は、上述のように、図２３に示すノズル種別毎使用頻度情報テーブルとしてコントローラ８４に記憶されている。

　ノズル種別毎の使用頻度、つまり、ノズル毎セッティング回数の種別毎の集計値が、例えば、ノズルＮａが１０５６，ノズルＮｂが２７６，ノズルＮｃが１８２，ノズルＮｄが１２２，ノズルＮｅが９８であったと仮定すれば、最も使用頻度の低いノズルＮｅを１とした場合の各種別のノズルＮの使用頻度の整数比は、Ｎａ：Ｎｂ：Ｎｃ：Ｎｄ：Ｎｅ＝１１：３：２：１：１となる。ノズルＮａ～Ｎｅがこの比率となるノズルＮａ～Ｎｅなるセットを、１以上、１つのパレットＮＰに配置するのである。そして、第１，第２検査が完了したノズルＮａ～Ｎｅの各々の数が先の種別毎分離整列態様の場合の同じ数であると仮定し、それらのノズルＮをこの整列態様の規則に従って整列した場合には、それらのノズルＮは、例えば、図３６（ａ）に示すように配置される。図では、上段の４つのパレットＮＰおよび下段の最も左のパレットＮＰの各々に、上記ノズルＮのセットが２セット配置されている。なお、図では、整列用パレットＮＰ_Aとして８つのパレットＮＰが割り当てられており、また、それらのパレットＮＰは、上段の左から右、次いで、下段の左から右にかけて順位付けされて、その順位付けに従った先頭側のパレットから順に、ノズルＮが配置される。より詳しく言えば、各パレットＮＰにおいて、２セットのノズルＮが、種別毎に上記配置順に従って連続して並ぶように、さらに詳しく言えば、各種別のノズルＮが収容時刻の早い順に並ぶように、整列させられている。したがって、上記５つのパレットＮＰの最後尾には、空の載置穴１４４が存在しており、また、下段の左から２番目，３番目のパレットＮＰには、セットを構成することのできなかったいくつかのノズルＮが、セットを構成することができた場合において載置されるべき載置穴１４４に、載置されている。ちなみに、第１，第２検査が終了したノズルＮを追加するようにして整列させるために、最後尾のパレットＮＰ、つまり、下段の最も右側のパレットＮＰは、ノズルＮａ～Ｎｅのいずれもが載置されていないパレットＮＰとされている。また、図に示すパレットＮＰの順位付けは、種別毎分離整列態様の場合と同様、仮想的なものであり、収容装置１００内における位置、つまり、収容されているキャリア１３０の位置との間に特別な関係は存在していない。

　上述のように整列させられたノズルＮがセッティングに供される場合、種別毎分離整列態様の場合と同様、ノズルＮは、上記順位付けにおける先頭のパレットＮＰから順に、上記配置順に従って、パレットＮＰから取り出される。つまり、セッティングにおいては、各種別のノズルＮは、収容時刻が早いものから順に、トレイＮＴに移載されることになる。一方、第１，第２検査が終了した各種別のノズルＮについても、種別毎分離整列態様の場合と同様、規則に従った整列を維持するために、種別ごとに、最後尾側のノズルＮが載置されているのパレットＮＰから順に、上記配置順に従って、追加的に配置される。上述のような取り出しが行われることによって、その取り出しが進行すると、上記順位付けにおける先頭のパレットＮＰが、ノズルＮが載置されないパレットＮＰとなる。その際、種別毎分離整列態様の場合と同様、そのパレットＮＰが最後尾となり、そのパレットＮＰの次のパレットＮＰが先頭のパレットＮＰとなるような順位付けの変更が行われる。なお、そのような順位付けの変更を行う代わりに、上述した「先詰移載処理」を行って、空となっている先頭側の載置穴１４４にノズルＮを移載して、各種別のノズルＮを再整列させることも可能である。

　なお、種別混在整列態様によれば、各パレットＮＰに、複数の種別のノズルＮ、詳しくは、すべての種別のノズルＮが、種別毎の使用頻度に応じた比率で載置されているため、トレイＮＴへのセッティングにおいて、各種別のノズルＮが、概ね同じ割合でパレットＮＰから取り出されることになる。したがって、１つのトレイＮＴへのセッティングにおいて、１つのパレットＮＰだけを移載位置にセットさせるだけでそのセッティングを済ませることができる可能性が高くなる。したがって、種別混在整列態様のノズルＮの配置は、迅速なセッティングに大きく貢献するものとなる。

　ix-c）種別順整列態様
　採用可能ないくつかの整列態様のうちの別のもう１つは、「種別順整列態様」と呼ぶことのできるものであり、簡単に言えば、各種別のノズルＮを、いくつかの整列用パレットＮＰ_Aに、種別毎に、特定の順序で配置する態様である。詳しく言えば、いくつかの種別のノズルＮを、各種別のノズルＮをまとめるようにして、種別毎の使用頻度の高い順に、いくつかのパレットＮＰに使用連続して配置する態様である。種別毎の使用頻度は、種別混在整列態様と同様、先に説明したノズル種別毎使用頻度情報に基づくものであり、この情報は、上述のように、図２３に示すノズル種別毎使用頻度情報テーブルとしてコントローラ８４に記憶されている。

　ノズル種別毎の使用頻度が、種別混在整列態様において説明したのと同じ頻度であると仮定し、かつ、第１，第２検査が終了したノズルＮａ～Ｎｅの各々の数が先の種別毎分離整列態様の場合の同じ数であると仮定した場合において、種別順整列態様では、ノズルＮは、例えば、図３６（ｂ）に示すように配置される。図では、整列用パレットＮＰ_Aとして８つのパレットＮＰが割り当てられており、また、それらのパレットＮＰは、上段の左から右、次いで、下段の左から右にかけて順位付けされて、その順位付けに従った先頭側のパレットから順に、ノズルＮが配置される。載置穴１４４ｂに載置されるノズルＮｂ～Ｎｅは、先頭のパレットＮＰから順に、上述の配置順に従って、ノズルＮｂ，ノズルＮｃ，ノズルＮｄ，ノズルＮｅの順に、連続して整列される。ノズルＮｂ，ノズルＮｃ，ノズルＮｄ，ノズルＮｅの各々は、その各々の並びの中で、上述の配置順に従って、収容時刻の早いものから順に並べられる。載置穴１４４ａに載置されるノズルＮａは、他の種別のノズルＮｂ～Ｎｅとは関係なく、先頭のパレットＮＰから順に、上述の配置順に従って、収容時刻の早いものから順に並べられる。ちなみに、第１，第２検査が終了したノズルＮを追加するようにして整列させるために、最後尾のパレットＮＰ、つまり、下段の最も右側のパレットＮＰは、いずれの種別のノズルＮも載置されていないパレットＮＰとされている。また、図に示すパレットＮＰの順位付けは、上記２つの態様の場合と同様、仮想的なものであり、収容装置１００内における位置、つまり、収容されているキャリア１３０の位置との間に特別な関係は存在していない。ただし、パレットＮＰの順位付けは、本種別順整列態様においては固定的なものとなる。

　上述のように整列させられたノズルＮがセッティングに供される場合、ある種別のノズルＮが移載される場合には、その種別のノズルＮうちの先頭のものが載置されるパレットＮＰが移載位置にセットされて行われ、上記配置順に従って、収容時刻の早いものから順にトレイＮＴに移載される。したがって、ノズルＮｃ，ノズルＮｄ，ノズルＮｅのいずれかをセッティング移載した場合には、上記２つの態様とは相違して、種別の異なるノズルＮの間に、ノズルＮが載置されていない載置穴１１４ｂが出現することになる。一方、第１，第２検査が終了した各種別のノズルＮを追加して整列する場合には、先の２つの態様と異なり、パレットＮＰに載置されるノズルＮは、常に、図に示す状態、つまり、ノズルＮｂ，ノズルＮｃ，ノズルＮｄ，ノズルＮｅが、その順に、先頭のパレットＮＰから順に、上述の配置順に従って連続して整列し、かつ、ノズルＮａが、先頭のパレットＮＰから順に配置順に従って整列する状態に配置される。したがって、ノズルＮを追加整列する場合には、追加した後のノズルＮの載置状態を予め把握し、その把握した状態となるようにノズルＮを再配置することが行われる。つまり、先に説明した「先詰移載処理」や、「後詰移載処理」を駆使して、１つの整列用パレットＮＰ_A内において、および、２つの整列用パレットＮＰ_A間において、再配置が行われる。なお、「後詰移載処理」は、予め最後尾のノズルＮが載置される載置穴１４４を決定し、いくつかのノズルＮを、最後尾から、配置順とは逆の順に整列させるような移載処理のことである。

　なお、種別順整列態様によれば、図３６（ｂ）と図３６（ａ）および図３５とを比較して解るように、ノズルＮが充満させられていないパレットＮＰを少なくすることができるため、整列用パレットＮＰ_Aの割り当て数を可及的に少なくすることができるのである。また、種別順整列態様によれば、トレイＮＴへのノズルＮのセッティングにおいて収容時刻が早いノズルＮを優先的に取り出すことを要しない場合には、例えば、ノズルＮｂ～ノズルＮｅのうちの２つの種別のノズルＮが載置されているパレットＮＰを移載位置にセットすることにより、それら２つの種別のノズルＮを連続的にトレイＮＴに移載することができるため、セッティングをある程度迅速に行うことが可能である。

　ix-ｄ）特定セット整列態様
　採用可能ないくつかの整列態様のうちのさらに別のもう１つは、「特定セット整列態様」と呼ぶことのできるものであり、簡単に言えば、トレイＮＴに特定のセットを構成するようにして載置されるノズルＮを、一まとめにして配置しておく整列態様である。例えば、ノズルＮａが８つ、ノズルＮｂが２つ、ノズルＮｃが１つ，ノズルＮｄが１つというノズルＮのセットが、そのセットのノズルＮを、１つの整列用パレットＮＰ_Aに配置した状態が、図３６（ｃ）に示す状態である。図では、２セットのノズルＮが整列して配置されている。

　よく使用されるノズルＮのセットを、特定のセットとして、上記のように１つのパレットＮＰに整列して配置しておけば、比較的頻繁に行われるそのセットのノズルＮのセッティングを迅速に行うことが可能となる。また、既に使用が予定されているノズルＮのセットを、特定のセットとして、セッティングの前に、上記のように１つのパレットＮＰに整列して配置しておけば、そのセットのノズルＮのセッティングを迅速に行うことが可能となる。

　本特定セット整列態様は、上述した他の整列態様とともに採用することが可能である。つまり、整列用パレットＮＰ_Aとして割り当てられた複数のパレットＮＰの一部に、本特定セット整列態様でノズルＮが配置されるようにしてもよいのである。そのようなことに鑑みれば、上記３つの整列態様を、基本的な整列態様と、本整列態様を、追加的な整列態様と考えることができる。また、本整列態様を採用する場合、パレットＮＰごとに、互いに自身を構成するノズルＮが異なる複数のセットを、まとめて配置するといったことも可能である。

　ちなみに、本整列態様では、上述の原則的な配置順に従ってノズルＮを配置し得ない可能性もある。特に、他の整列態様とともに採用した場合に、その可能性は高い。しかし、その配置順に従うことができない場合であっても、例えば、ノズルＮの使用頻度をできるだけ均一にするという観点からすれば、セットごとに、収容時刻の早い順に整列させることが望ましい。

　x）第２ノズル配置オペレーション
　第２ノズル配置オペレーションは、第１および第２検査が完了したノズルＮを、前処理用パレットＮＰ_Pから、１以上の整列用パレットＮＰ_Aに整列して配置するためのオペレーションである。そのオペレーションは、コントローラ８４が図３７にフローチャートを示す第２ノズル配置プログラムを実行することによって、行われる。当該オペレーションは、第１および第２検査が終了したノズルＮが載置されている前処理パレットＮＰ_Pが出現した場合に、上記ノズル収容オペレーション，第１ノズル配置オペレーション，ノズルセッティングオペレーションが行われていないことを条件に開始される。なお、第２ノズル配置オペレーションにおけるノズルＮの配置、つまり、ノズルＮの配置移載の具体的な手法は、上述の整列態様のうちのどれが採用されているかによって異なる。それぞれの態様における配置移載の詳細については、図を用いて先に説明しているため、ここでは、上述の整列態様を一元的に扱い、ノズルＮの配置移載の具体的な手法の説明を省略して、当該オペレーションについての説明を行う。

　第２ノズル配置プログラムに従う処理では、まず、Ｓ８１において、移載先パレットＮＰ₁および移載元パレットＮＰ₂が選択される。例えば、整列態様が、上述した先詰移載処理を行わない種別毎分離整列態様若しくは種別混在整列態様とされている場合には、原則的には、移載元パレットＮＰ₂として、第１および第２検査が終了したノズルＮが載置されている前処理パレットＮＰ_Pが選択され、移載先パレットＮＰ₁として、採用されている整列態様に基づいて、移載元パレットＮＰ₂に載置されているノズルＮが移載される候補となる１以上の整列用パレットＮＰ_Aのうちの１つが選択される。一方、例えば、整列態様が、種別順整列態様、または、先詰移載処理を行うことが予定されている種別毎分離整列態様若しくは種別混在整列態様とされている場合には、上記選択に加え、例えば、先詰移載処理，後詰移載処理を行うために、移載先パレットＮＰ₁として整列用パレットＮＰ_Aが、移載元パレットＮＰ₂として別の整列用パレットＮＰ_Aが、それぞれ選択されることもあり得る。

　続くＳ８２において、Ｓ８１において選択されたパレットＮＰが、第１移送装置１１４によって、収容装置１００から移送されて、第１移載位置，第２移載位置にそれぞれセットされる。なお、選択された２つのパレットＮＰのいずれの一方を第１移載位置と第２移載位置とのいずれにセットするかは、当該オペレーションが可及的に迅速に行われることに配慮しつつ決定される。具体的には、例えば、整列態様が、上述した先詰移載処理を行わない種別毎分離整列態様若しくは種別混在整列態様とされている場合には、原則的には、移載元パレットＮＰ₂が第１移載位置に、移載先パレットＮＰ₁が第２移載位置に、それぞれセットされる。一方、例えば、整列態様が、種別順整列態様、または、先詰移載処理を行うことが予定されている種別毎分離整列態様若しくは種別混在整列態様とされている場合には、交換に伴うパレットＮＰのセットの回数ができるだけ少なくなるように、２つのパレットＮＰの一方が第１移載位置に、他方が第２移載位置にセットされる。

　２つのパレットＮＰがセットされた後、Ｓ８３において、移載されるノズルＮが選択される。前処理パレットＮＰ_Pに載置されているノズルＮが整列用パレットＮＰ_Aに整列して配置される場合には、上述の配置順に従って、収容時刻の早いノズルＮが優先的に選択される。また、先に説明した先詰移載処理，後詰移載処理を行う場合には、それらの処理が効率よく行われるように、移載されるノズルＮが選択される。

　当該オペレーションでは、ノズルＮの配置移載に先立って、不良ノズルに対する処置が実行される。詳しくは、Ｓ８４において、図２２のテーブルに示す収容ノズル情報に基づいて、Ｓ８３において選択されたノズルＮが不良ノズルであるか否かが判断され、不良ノズルである場合には、Ｓ８５において、収容ノズル情報に基づいて、そのノズルＮについての上述の不良要因が特定される。そして、Ｓ８６において、移載装置１０４によって、そのノズルＮが上述の不良ボックス２２４に運搬される。先に説明したように、不良ボックス２２４は、４つの不良要因に対応して、仕切られた４つの空間２２６が設けられており、不良ノズルの運搬の際、その不良ノズルは、特定された不良要因に対応する１つの空間２２６に留置される。そして、運搬が完了したときに、その不良ノズルについての情報が、収容ノズル情報から削除される。なお、１つの不良ノズルに対して２以上の不良要因が存在する場合も考えられるが、その場合には、その不良ノズルは、図２２のテーブルにおいて最も左方の列の不良要因に対応する空間２２６に留置される。

　選択されたノズルＮが不良ノズルでない場合には、Ｓ８７において、そのノズルＮの配置のための移載、つまり、配置移載が、移載装置１０４によって実行される。そのノズルＮが移載先パレットＮＰ₁に整列して配置される場合には、上述の配置順に従った載置穴Ｎに載置される。つまり、収容時刻の早いノズルＮほど上記配置順における先頭側に位置するように、選択されたノズルＮが移載される。なお、この１つのノズルＮの配置移載に伴って、上記収容ノズル情報の更新が行われる。具体的には、図２２に示す収容ノズル情報テーブルの行のうちの１つ、つまり、ノズルＮが載置された移載先パレットＮＰ₁の載置穴１４４に対応する行の〔ノズルＩＤ〕以降のセルに、移載元パレットＮＰ₂においてそのノズルＮが載置されていた載置穴１４４に対応する行の〔ノズルＩＤ〕以降のセルに格納されていたそのノズルＮの固有情報が、移される。

　次いで、Ｓ８８において、予定されていたすべてのノズルＮの配置移載が終了したか否かが判断され、終了していない場合には、Ｓ８９において、移載元パレットＮＰ₂，移載先パレットＮＰ₁の少なくともいずれか一方の交換が必要であるか否かが判断される。いずれのパレットＮＰをも交換する必要がない場合には、Ｓ８３以降の処理が繰り返される。一方、移載元パレットＮＰ₂，移載先パレットＮＰ₁の少なくともいずれか一方の交換が必要である場合には、Ｓ９０において、移載元パレットＮＰ₂，移載先パレットＮＰ₁の片方若しくは両方が、第１移送装置１１４によって、収容装置１００に返送され、Ｓ８１以降の処理が繰り返される。ちなみに、第２移載位置にセットされているパレットＮＰだけを交換する場合には、そのパレットＮＰだけが返送されるが、第１移載位置にセットされているパレットＮＰだけを交換する場合には、２つのパレットＮＰが返送されることになる。

　予定されていたすべてのノズルＮの配置移載が終了した場合には、Ｓ９１において、移載元パレットＮＰ₂と移載先パレットＮＰ₁との両方が、第１移送装置１１４によって収容装置１００に返送されて、第２ノズル配置オペレーションが終了する。

　xi）ノズルセッティングオペレーション
　ノズルセッティングオペレーションは、装着機におけるノズルＮの使用の準備等を目的として、必要なノズルＮをトレイＮＴにセッティングするためのオペレーションであり、そのオペレーションは、図３８にフローチャートを示すノズルセッティングプログラムをコントローラ８４が実行することによって、行われる。なお、ノズルセッティングオペレーションでは、ノズルＮをセッティングするためのステージを固定ステージ２０２と可動ステージ２０４のいずれにするか、収容装置１０２に収容されているトレイＮＴと当該管理機８０のオペレータがセットしたトレイＮＴとのいずれを使用するか、セッティングが完了したトレイＮＴを収容装置１０２に収容するか否かが、それぞれ選択できるようになっており、それらの選択は、オペレータによるコントローラ８４の操作キー８８を用いた操作に基づいて行われる。

　ノズルセッティングプログラムに従った処理では、まず、Ｓ１０１において、当該管理機８０に送信若しくは入力されたノズルセッティング情報、または、既に記憶されているノズルセッティング情報に基づいて、セッティングに供されるトレイＮＴの型式および各ノズルＮの型式が特定される。このノズルセッティング情報は、図２５に示すテーブルにおいて、〔トレイＩＤ〕および〔ノズルＩＤ〕が書き込まれていない情報と考えることができる。

　次に、Ｓ１０２において、セッティングを行うステージが固定ステージ２０２と可動ステージ２０４のいずれであるかが特定され、Ｓ１０３においてその特定されたステージが可動ステージ２０４であると判断された場合には、Ｓ１０４において、収容装置１０２に収容されているトレイＮＴを使用するのか否かが判断される。収容装置１０２に収容されているトレイＮＴを使用すると判断された場合には、Ｓ１０５において、上記ノズルセッティング情報および上述の収容トレイ情報に基づいて、１つのトレイＮＴが選択され、Ｓ１０６において、その選択されたトレイＮＴが、トレイ移送装置１２２によって、移載位置に移送され、その移載位置においてセットされる。一方、Ｓ１０４においてオペレータがセットしたトレイＮＴを使用すると判断された場合、若しくは、Ｓ１０３において可動ステージ２０２でセッティングが行われると判断された場合には、既に、オペレータによってトレイＮＴがセットされているので、トレイＮＴの選択およびセットは行われない。

　次いで、Ｓ１０７において、セッティング情報および上述の収容ノズル情報に基づいて、セッティング移載に供される１つのパレットＮＰが、ノズルセッティング情報および収容ノズル情報に基づいて、収容装置１００が有する複数のパレットＮＰの中から１つ選択される。この選択では、採用されている整列態様に応じて、整列用パレットＮＰ_Aの中から、ノズルＮのセッティングができるだけ効率よく行えるという観点に基づいて、１つのパレットＮＰが選択される。そして、続くＳ１０８において、その選択されたパレットＮＰが、第１移送装置１１４によって移送されて上述の移載位置にセットされる。移載位置は、上記第１移載位置であってもよく、上記第２移載位置であってもよい。なお、Ｓ１０７において、２つの整列用パレットＮＰ_Aを選択し、Ｓ１０８において、それらをそれぞれ第１移載位置と第２移載位置に並ぶようにセットしてもよい。

　次のＳ１０９では、セットされたパレットＮＰに載置されているノズルＮの中から、セットされたトレイＮＴに載置可能な１つのノズルが、収容ノズル情報およびノズルセッティング情報に基づいて選択され、続く、Ｓ１１０において、その選択されたノズルＮが、ノズルセッティング情報に基づいて、移載装置１０４によって、セットされたトレイＮＴの特定の載置穴６４に移載される。つまり、上述のセッティング移載が行われるのである。このセッティング移載の際、移載されるノズルＮについての情報が、収容ノズル情報から削除されるとともに、そのノズルＮのＩＤが、ノズルセッティング情報に追加される。また、上述の図２３にチャートで示すノズル種別毎使用頻度情報が更新される。詳しく言えば、そのノズルＮの型式の行の〔使用頻度〕の列に格納されているノズル種別毎の使用回数がカウントされる。なお、上記ノズルＮの選択においては、上述の配置順に従って、収容時刻の早いものが優先的に選択される。

　１つのノズルＮについてのセッティング移載の後、Ｓ１１１において、予定されているすべてのノズルＮのセッティング移載が完了したか否かが判断される。すべてのノズルＮのセッティング移載が完了していない場合は、Ｓ１１２において、セットされているパレットＮＰからのノズルＮの移載を継続するか否かが判断される。ノズルＮのそのパレットＮＰからの移載の継続が可能である場合には、Ｓ１０９に戻って、次のノズルＮのそのパレットＮＰからトレイＮＴへの移載が行われる。例えば、移載できるノズルＮがそのパレットＮＰに存在しない等の理由で、Ｓ１１２においてそのパレットＮＰからの移載の継続ができないと判断された場合には、Ｓ１１３において、そのパレットＮＰが、第１移送装置１１４によって、収容装置１００に返送され、Ｓ１０７に戻って次のパレットＮＰが選択される。そのパレットＮＰのセットの後、そのパレットＮＰからのノズルＮのセッティング移載が開始される。Ｓ１１１において、予定されてたすべてのノズルＮのセッティング移載が完了したと判断された場合には、Ｓ１１４において、セットされているパレットＮＰが、第１移送装置１１４によって、収容装置１００に返送される。

　すべてのノズルＮのセッティング移載が完了し、パレットＮＰが返送された後、Ｓ１１５において、ノズルＮがセッティングされているトレイＮＴを、トレイ収容装置１０２に収容するか否かが判断される。そのトレイＮＴを収容装置１０２に収容すると判断された場合には、Ｓ１１６において、セットされていたトレイＮＴが、トレイ移送装置１２２によって、収容装置１０２に収容されて、ノズル収容オペレーションが終了する。一方、Ｓ１１５においてそのトレイＮＴが収容装置１０２に収容されないと判断された場合には、そのトレイＮＴのセットの解除が行われて、そのトレイＮＴを固定ステージ１０２若しくは可動ステージ２０４に残したまま、ノズル収容オペレーションが終了する。なお、ノズルＮＴのセッティング移載に先立って、トレイＮＴに付されている２Ｄコード７６が、移載装置１０４に設けられたカメラ２２によって撮像され、そのトレイＮＴのＩＤが取得されており、トレイＮＴの収容装置１０２への収容の際には、そのトレイＮＴのＩＤが、そのトレイＮＴがノズルＮのセッティングが済んだトレイＮＴである事実ともに、収容されるキャリア１９２に関係付けられて上述の収容トレイ情報に追加される。一方、可動ステージ２０４にセッティングの完了したトレイＮＴを残したまま、当該オペレーションが終了する場合には、収容トレイ情報の中に含まれるそのトレイＮＴについての情報が削除される。

　以上のようなノズルセッティングオペレーションによれば、同じ種別、つまり、同じ型式のノズルＮについては、概ね、収容時刻の早いものから順にセッティング移載が行われることになる。詳しく言えば、ノズル収容オペレーション，第１ノズル配置オペレーション，第２ノズル配置オペレーション，ノズルセッティングオペレーションの各々において、ノズルＮは、種別毎に、上述した配置順に従って、収容時刻の早いものから優先的にパレットＮＰに載置され、かつ、収容時刻の早いものから優先的にパレットＮＰから取り出されることで、収容時刻の早いノズルＮのセッティングが行われるのである。言い換えれば、第１ノズル配置オペレーションおよび第２ノズル配置オペレーションのいずれにおいても、ノズルＮは、種別毎に、使用されていない期間の長い順に配置され、ノズルセッティングオペレーションにおいて、その順に従って、パレットＮＰからトレイＮＴへ移載されることで、当該セッティングオペレーションでは、使用されていない期間の長い順にトレイＮＴに移載されるのである。その結果、ノズルＮの使用頻度が可及的に均一となるようなセッティングが行われることになるのである。

　ここで、上述したいくつかの整列態様の相違を理解するための一助として、ノズルＮが図３５，図３６（ａ）～（ｃ）のそれぞれに示すように配置されている状態から、ノズルＮａが８つ、ノズルＮｂ，ノズルＮｃが各２つ、ノズルＮｄ，ノズルＮｅが各２つ、１つのトレイＮＴにセッティングされた結果を、図３９，図４０（ａ）～（ｃ）にそれぞれ例示する。このノズルＮのセットは、上述の特定のセットであり、図４０（ｃ）に示す特定セット整列態様では、１つのパレットＮＰのみからのノズルＮのセッティングが可能となる。また、図４０（ａ）に示す種別混在整列態様では、ノズルＮが１つのパレットＮＰに種別ごとの使用頻度に応じた割合で配置されているため、１つのパレットＮＰのみからのノズルＮのセッティングが行える可能性が高くなっている。したがって、それら２つの整列態様によれば、迅速なセッティングを行うことのできる可能性が高くなっているのである。

　xii）ノズル再セッティングオペレーション
　ノズル再セッティングオペレーションは、既にノズルＮがセッティングされているトレイＮＴをステージにセットすることにより、それらのノズルＮに代えて、それらのノズルＮと型式を同じくする別のノズルＮを載置させるオペレーションである。言い換えれば、セッティング済みのトレイＮＴを基にノズルセッティング情報を作成し、その情報に基づいて、ノズルを交換するオペレーションである。ノズルセッティングオペレーションは、コントローラ８４が図４１および図４２にフローチャートを示すノズル再セッティングプログラムを実行することによって、行われる。なお、ノズルセッティングオペレーションでは、ノズルＮをセッティングするためのステージを固定ステージ２０２と可動ステージ２０４のいずれにするか、再セッティングが完了したトレイＮＴを収容装置１０２に収容するか否かが、それぞれ選択できるようになっており、それらの選択は、オペレータによるコントローラ８４の操作キー８８を用いた操作に基づいて行われる。

　ノズル再セッティングオペレーションでは、簡単に言えば、前半にノズル収容オペレーションが行われる。具体的には、図４１にフローチャートを示すノズル再セッティングプログラムの前半部分に従った処理によって、セットされたトレイＮＴに載置されていたノズルＮが収容装置１００に収容される。当該プログラムのＳ１２１～Ｓ１３１において行われる処理は、前述のノズル収容プログラムのＳ１～Ｓ１１において行われる処理と略同一であるので、それらの処理の説明については省略するが、本オペレーションでは、Ｓ１２３，Ｓ１２５において特定されたトレイＮＴの型式およびノズルＮの型式に基づいて、ノズルセッティング情報が作成される。

　トレイＮＴに載置されていたノズルＮが収容装置１００に収容された後、図４２にフローチャートを示すノズル再セッティングプログラムの後半部分に従った処理によって、収容装置１００に収容されている別のノズルＮが、それまでノズルＮが載置されていたトレイＮＴにセッティングされる。当該プログラムのＳ１３２から開始されてＳ１４１に至るフローにおいて行われる処理は、前述のノズルセッティングプログラムのＳ１０７から開始されてＳ１１６に至るフローにおいて行われる処理と略同一であるので、それらの処理の説明は省略する。

　上述のような当該オペレーションは、簡単に言えば、ノズル収容オペレーションによってトレイＮＴから移載させられたノズルＮと同じ形式の別のノズルＮを、ノズルセッティングオペレーションによってそのトレイＮＴに移載させるオペレーションである。ノズルＮの長期間の使用を回避する等の目的で、トレイＮＴにセッテイングされているノズルＮのセットを、そのセットと同じ形式のノズルＮのセットに交換する場合等において、便利なオペレーションである。

　xiii）その他のオペレーション
　本管理機８０は、上記オペレーションの他にも、いくつかのオペレーションを行うことが可能とされている。一例を挙げれば、トレイＮＴに載置されているノズルＮのメンテナンスを行うノズルメンテナンスオペレーションが、他のオペレーションの１つである。

　ノズルメンテナンスオペレーションは、トレイＮＴに載置されているノズルＮを、そのトレイＮから取り出し、洗浄し、検査した後に、そのトレイＮＴに再度セッティングするためのオペレーションである。このオペレーションでは、まず、上述のノズル収容オペレーションによって、そのトレイＮＴに載置されているノズルＮが、そのトレイＮＴから、空となっている１つの前処理用パレットＮＰ_Pに移載される。なお、その際、空となったトレイＮＴは、ステージに残されたままとなる。次いで、移載されたノズルＮに対して、その前処理用パレットＮＰ_Pに載置された状態にて、上述のノズル洗浄オペレーションが行われた後、第１ノズル検査オペレーションおよび第２ノズル検査オペレーションが実行される。そして、検査が終了したノズルＮがその前処理用パレットＮＰ_Pに載置された状態のままで、そのパレットＮＰ_Pが移載位置にセットされ、そのパレットＮＰ_Pに対する上記ノズルセッティングオペレーションが実行される。そのようなオペレーションにより、それらのノズルＮは、ステージに残されたままとなっている元のトレイＮＴに、元に載置されていた位置に再度セッティングされる。

　なお、第１ノズル検査オペレーション，第２ノズル検査オペレーションのいずれかにおいて、いずれかのノズルＮが不良ノズルであると判断された場合には、ノズルセッティングオペレーションにおいて、そのノズルＮは、上述の不良ボックス２２４に回収される。そして、そのノズルＮと同じ型式のノズルＮが載置されている整列用パレットＮＰ_Aが選択され、その選択された整列用パレットＮＰ_Aが移載位置にセットされて、その同じ型式のノズルＮが、そのパレットＮＰ_Aから元のトレイＮＴにセッティングされる。このようにして、不良ノズルとなったノズルＮに代えて、良好なノズルＮが補充されるのである。

［Ｌ］制御装置の機能構成
　先に述べたように、実施例の管理機８０の制御は、制御装置であるコントローラ８４が司っている。詳しく言えば、図４３に示すように、ノズル収容装置１００～トレイ移送装置１２２の各々の動作は、それらとの間で信号，情報をやり取りしつつ、コントローラ８４によって制御される。そして、コントローラ８４の制御の下、管理機８０は、上述した各種のオペレーションを行う。そのオペレーションに鑑みれば、コントローラ８４は、図４３に示すような複数の機能部、つまり、各種のプログラムの実行によって実現される複数の機能部を有していると考えることができる。

　複数の機能部の各々について詳しく説明すれば、コントローラ８４は、それぞれがノズルＮに関係する管理情報である上述の収容ノズル情報，ノズル種別毎使用頻度情報，ノズルセッティング情報，収容トレイ情報を記憶する機能部として、ノズル情報記憶部４００を有している。具体的には、コントローラ８４の主要構成要素であるコンピュータが有するハードディスク等の記憶媒体が、そのノズル情報記憶部４００の役割を担っている。そして、管理機８０は、その記憶されている管理情報に基づいて、上述のオペレーションを行う。

　また、コントローラ８４は、上述の各オペレーションを制御する機能部として６つの機能部を有している。具体的には、ノズル収容オペレーションの制御を行うノズル収容制御部４０２，第１および第２ノズル配置オペレーションの制御を行うノズル配置制御部４０４，ノズルセッティングオペレーションの制御を行うノズルセッティング制御部４０６，ノズル洗浄オペレーションの制御を行うノズル洗浄制御部４０８，第１ノズル検査オペレーションの制御を行う第１ノズル検査制御部４１０，第２ノズル検査オペレーションの制御を行う第２ノズル検査制御部４１２を、それぞれ有している。そして、それら制御部４０２～４１２は、それぞれ、上述のノズル収容プログラム，第１および第２ノズル配置プログラム，ノズルセッティングプログラム，ノズル洗浄プログラム，第１ノズル検査プログラム，第２ノズル検査プログラムの実行によって実現される機能部である。

　なお、ノズル再セッティングオペレーションは、ノズル収容オペレーションとノズルセッティングオペレーションとが複合したオペレーションであり、そのオペレーションの制御は、ノズル収容制御部４０２とノズルセッティング制御部４０６とが協同して行うものと考えることができる。したがって、ノズル収容制御部４０２は、ノズル再セッティングプログラムの前半部分の実行によっても実現される機能部であり、ノズルセッティング制御部４０６は、ノズル再セッティングプログラムの後半部分の実行によっても実現される機能部である。

　１０：電気部品装着機　　１８：装着ヘッド　　Ｎ：吸着ノズル　　３０：胴体筒〔後端部〕　　３２：吸着管〔先端部〕　　３４：フランジ　　３６：掛止ピン　　３８：２Ｄコード〔識別子〕　　５０：ノズルステーション　　ＮＴ：ノズルトレイ　　６０：ベースプレート　　６２：カバープレート　　６４：載置穴〔載置部〕　　６６：段差面　　７６：２Ｄコード〔識別子〕　　８０：ノズル管理機　　８４：コントローラ〔制御装置〕　　１００：ノズル収容装置　　１０２：トレイ収容装置　　１０４：ノズル移載装置〔対ノズル処置実行装置〕〔不良ノズル運搬装置〕　　１０６：第１ノズル検査装置〔対ノズル処置実行装置〕　　１０８：第２ノズル検査装置〔対ノズル処置実行装置〕　　１１０：ノズル洗浄装置〔対ノズル処置実行装置〕　　１１２：ノズル乾燥装置　　１１４：第１パレット移送装置〔ノズル移送装置〕〔移載用パレット移送装置〕　　１１６：第２パレット移送装置〔ノズル移送装置〕〔処置用パレット移送装置〕　　１１８：第３パレット移送装置〔ノズル移送装置〕〔処置用パレット移送装置〕　　１２０：第４パレット移送装置〔ノズル移送装置〕〔処置用パレット移送装置〕　　１２２：トレイ移送装置　　１３４：パレット移動装置〔パレット循環装置〕　　ＮＰ：ノズルパレット　　１４０：ベースプレート　　１４２：カバープレート　　１４４：載置穴〔載置部〕　　１４６：段差面　　１５６：２Ｄコード〔識別子〕　　１５８：基準ノズル〔基準対象〕　　１６０：基準パイプ〔基準対象〕〔模擬物〕　　１９０：トレイ移動装置〔トレイ循環装置〕　　２０２：固定ステージ　　２０４：可動ステージ　　２１０：移載ヘッド　　２１２：ヘッド移動装置〔保持具移動装置〕　　２１８，２１８ａ，２１８ｂ，２１８ｃ：保持チャック〔ノズル保持具〕　　２２０：カメラ〔識別子読取器〕　　２２４：不良ボックス〔不良ノズル留置器〕　　２２６：空間〔留置部〕　　２３２：カメラ装置　　２３４：荷重測定装置　　２３５：検査ユニット　　２３６：ユニット移動装置　　２７０：検査ヘッド　　２７２：ヘッド移動装置　　２７４：エア送給装置　　２７６：カメラ　　３０２：上部洗浄ユニット　　３０４：下部洗浄ユニット　　３１０：Ｙ方向移動機構　　３１２：噴射孔　　３１４：送風管　　３３０：レール　　３３２：移動機構　　３３４：ガイド　　３３６：搬送ユニット　　３３８：ガイド　　３４０：搬送ユニット　　３５０：クレードル（架台）　　３６０：ホストコンピュータ〔管理装置〕　　４００：ノズル情報記憶部　　４０２：ノズル収容制御部　　４０４：ノズル配置制御部　　４０６：ノズルセッティング制御部　　４０８：ノズル洗浄制御部　　４１０：第１ノズル検査制御部　　４１２：第２ノズル検査制御部

Claims

　電気部品装着機において電気部品を保持するために使用される吸着ノズルを管理するためのノズル管理機であって、
　それぞれに吸着ノズルを載置可能な複数のパレットを備えたノズル収容装置と、
　前記複数のパレットの各々に載置されている吸着ノズルを移載するノズル移載装置と
　を備えたノズル管理機。
　前記ノズル移載装置が、
　前記複数のパレットのうちの１つと、別の１つとの間で、吸着ノズルを移載可能に構成された請求項１に記載のノズル管理機。
　当該ノズル管理機が、
　前記複数のパレットのうちの１つを、前記ノズル収容装置から、前記ノズル移載装置による吸着ノズルの移載が可能な位置として設定された移載位置に移送する移載用パレット移送装置を備え、
　前記ノズル移載装置が、前記移載用パレット移載装置によって前記移載位置に移送された前記複数のパレットのうちの１つに載置されている吸着ノズルを移載するように構成された請求項１または請求項２に記載のノズル管理機。
　前記移載用パレット移送装置が、
　前記複数のパレットのうちの２以上のものが、一時期において、それぞれが前記移載位置である２以上の移載位置にそれぞれ位置するように、それら前記複数のパレットのうちの２以上のものを、順次、移送するように構成された請求項３に記載のノズル管理機。
　当該ノズル管理機が、
　それぞれが、前記複数のパレットのうちの１つに載置されている吸着ノズルに対して何らかの処置を実行する１以上の対ノズル処置実行装置を備えた請求項１ないし請求項４のいずれか１つに記載のノズル管理機。
　当該ノズル管理機が、
　前記複数のパレットのうちの１つに載置されている吸着ノズルの前記ノズル移載装置による移載と、前記複数のパレットのうちの別の１つに載置されている吸着ノズルに対する前記１以上の対ノズル処置実行装置のうちの１つによって実行される前記何らかの処置とが、並行して行われるように構成された請求項５に記載のノズル管理機。
　当該ノズル管理機が、自身の制御を司る制御装置を備えた請求項１ないし請求項６のいずれか１つに記載のノズル管理機。
　前記電気部品装着機が、
　自身において使用される吸着ノズルが、自身に着脱可能に配備されたノズルトレイに載置されるように構成されており、
　前記ノズル移載装置が、
　前記ノズルトレイと、前記複数のパレットのうちの１つとの間で、吸着ノズルを移載可能に構成され、
　前記制御装置が、
　前記ノズル移載装置を制御することによって、前記複数のパレットのうちの１以上のものから、前記ノズルトレイに、前記電気部品装着機において必要とされる吸着ノズルを移載させるセッティング制御部を有する請求項７に記載のノズル管理機。
　当該ノズル管理機が、前記電気部品装着機と、その電気部品装着機を管理する管理装置との少なくとも一方と通信可能とされており、
　前記セッティング制御部が、前記電気部品装着機と前記管理装置との少なくとも一方から受信した情報に基づいて、前記電気部品装着機において必要とされる吸着ノズルを移載させるように構成された請求項８に記載のノズル管理機。
　前記制御装置が、
　前記ノズル移載装置を制御することによって、吸着ノズルが載置された前記ノズルトレイから、その吸着ノズルを、前記ノズル収容装置に収容するために、前記複数のパレットのうちの１以上のものに移載させる収容制御部を有し、
　前記収容制御部の制御によって前記ノズルトレイから移載させられた吸着ノズルと同じ型式の別の吸着ノズルを、前記セッティング制御部の制御によって、そのノズルトレイに移載させるように構成された請求項８または請求項９に記載のノズル管理機。
　前記セッティング制御部が、
　吸着ノズルを、使用頻度が可及的に均一となるように前記ノズルトレイに移載させるように構成された請求項８ないし請求項１０のいずれか１つに記載のノズル管理機。
　前記制御装置が、
　前記ノズル移載装置を制御することによって、前記ノズル収容装置内において、前記複数のパレットのうちの１以上のものに、吸着ノズルを、設定された規則に従って配置させる配置制御部を有する請求項７ないし請求項１１のいずれか１つに記載のノズル管理機。
　当該ノズル管理機が、前記複数のパレットのうちの１つに載置されている吸着ノズルの洗浄を行うノズル洗浄装置を備え、
　前記配置制御部が、前記複数のパレットの１つに、そのノズル洗浄装置による洗浄が完了していない吸着ノズルだけを配置させるように構成された請求項１２に記載のノズル管理機。
　前記電気部品装着機が、
　自身において使用される吸着ノズルが、自身に着脱可能に配備されたノズルトレイに載置されるように構成されており、
　前記配置制御部が、特定のセットを構成するようにして前記ノズルトレイに載置される吸着ノズルを、前記複数のパレットのうちの１つに配置させるように構成された請求項１２または請求項１３に記載のノズル管理機。
　前記ノズル収容装置が、互いに種別の異なる複数種の吸着ノズルを収容可能とされ、
　前記ノズル移載装置が、１つの吸着ノズルを保持するノズル保持具と、そのノズル保持具を移動させる保持具移動装置とを有し、それぞれが前記ノズル保持具として準備された複数のノズル保持具の中から、保持する吸着ノズルの種別に応じた１つのものを使用するように構成された請求項１ないし請求項１４のいずれか１つに記載のノズル管理機。