JP7329744B2 - ノズル管理装置 - Google Patents

Description

本開示は、部品を基板に装着する装着装置で使用される部品保持用のノズルを管理するノズル管理装置に関する。

従来、部品を基板に装着する装着装置において、供給された部品を基板上に吸着しながら保持するためのノズルが用いられている。ノズルは、基板に実装される部品の種類に応じて複数種類用意される。このような、部品を吸着するためのノズルを管理するノズル管理装置がある。装着装置において、ノズルは携帯可能なチェンジャに収容されており、必要なノズルがチェンジャから取り出される。

ところで、装着装置において汚れたノズルは、洗浄および洗浄後の検査をする必要がある。例えば、特許文献１には、ノズルに対して検査を行う検査装置と洗浄を行う洗浄装置を備える。

特開２０１９－７１４２２号公報

洗浄および検査が必要なノズルは、洗浄装置および検査装置に搬送されていたが、ノズル管理において時間を要していた。

従って、本開示の目的は、上記従来の課題を解決することにあって、ノズルの管理効率を向上したノズル管理装置を提供することにある。

本開示のノズル管理装置は、部品を基板に装着する装着装置で使用される部品保持用のノズルを管理するノズル管理装置であって、
複数のノズルを収納するノズル収納容器と、
複数の前記ノズルを収納するとともに前記装着装置に着脱自在にセット可能なチェンジャを複数収納するチェンジャ収納容器と、
前記チェンジャを支持するとともに前記チェンジャから前記ノズルを着脱可能にする作業ステージと、
前記作業ステージに支持された前記チェンジャと前記ノズル収納容器との間で前記ノズルを移載するノズル移載部と、
前記チェンジャを前記チェンジャ収納容器と前記作業ステージの間で移動させるチェンジャ移載部と、
前記チェンジャに収納されている前記ノズルの洗浄と検査を行うメンテナンス部と、を備える。

本開示によれば、ノズルの管理効率を向上したノズル管理装置を提供することができる。

ノズルが使用される装着装置の要部の平面図 ノズルの斜視図 本開示の実施形態１にかかるノズル管理装置の要部の平面図 台車が連結されたノズル管理装置の要部の平面図 ノズル管理装置および関連装置の制御系の構成を示すブロック図 移載ヘッドの要部の正面図 ノズル管理装置の断面から見た要部の側面図 ノズル管理装置の断面から見た要部の側面図 ノズル管理装置の連結部周辺の平面図 台車が連結されたノズル管理装置の連結部周辺の平面図 台車の支持ステージおよびノズル管理装置の保持部の側面図 ノズル管理装置の保持部周辺の縦断面図 ノズル管理装置の保持部に台車の支持ステージが連結された状態の側面図 ノズル管理装置の保持部に台車の支持ステージが連結された状態の縦断面図 ノズル管理装置の保持部に台車の支持ステージが連結された状態の縦断面図 ノズル管理装置の保持部に台車の支持ステージが連結された状態の側面図 台車の支持ステージが持ち上げられた状態の側面図 台車の支持ステージが持ち上げられた状態のＹ軸に沿った縦断面図 台車の支持ステージが持ち上げられた状態のＸ軸に沿った縦断面図 台車の支持ステージに支持されたチェンジャの正面図 台車の支持ステージに支持されたチェンジャの側面図 台車の支持ステージからチェンジャが持ち上げられた状態の正面図 シャッタ９ｂが閉状態のチェンジャ９の平面図 シャッタ９ｂが閉状態のチェンジャ９の側面図 シャッタ９ｂが開状態のチェンジャ９の平面図 閉状態のゴミ箱の側面図 開状態のゴミ箱の側面図 本開示の実施形態２にかかるノズル管理装置の要部の平面図 ノズル管理装置および関連装置の制御系の構成を示すブロック図 ノズル保管装置へのチェンジャの回収と払い出しの動作の流れを示すフローチャート メンテナンス部におけるメンテナンスの流れを示すフローチャート メンテナンス部においてチェンジャからノズルを取り出す説明図 メンテナンス部においてチェンジャからノズルを取り出す説明図 メンテナンス部においてチェンジャからノズルを取り出す説明図 洗浄部においてノズルを洗浄する説明図 洗浄部においてノズルを洗浄する説明図 ノズルの入れ替えと回収の流れを示すフローチャート 本開示の実施形態３にかかるノズル管理装置の要部の平面図 本開示の実施形態３におけるノズル保管装置およびメンテナンス部におけるメンテナンスの流れを示すフローチャート 本開示の実施形態３の変形例におけるノズル保管装置およびメンテナンス部におけるメンテナンスの流れを示すフローチャート

本開示の第１態様によれば、部品を基板に装着する装着装置で使用される部品保持用のノズルを管理するノズル管理装置であって、複数のノズルを収納するノズル収納容器と、複数の前記ノズルを収納するとともに前記装着装置に着脱自在にセット可能なチェンジャを複数収納するチェンジャ収納容器と、前記チェンジャを支持するとともに前記チェンジャから前記ノズルを着脱可能にする作業ステージと、前記作業ステージに支持された前記チェンジャと前記ノズル収納容器との間で前記ノズルを移載するノズル移載部と、前記チェンジャを前記チェンジャ収納容器と前記作業ステージの間で移動させるチェンジャ移載部と、前記チェンジャに収納されている前記ノズルの洗浄と検査を行うメンテナンス部と、を備える、ノズル管理装置を提供する。

本開示の第２の態様によれば、前記チェンジャ移載部がアクセス可能な所定の受け渡し位置を介してチェンジャの受け渡しを行うチェンジャ受け渡し部を備え、前記メンテナンス部は、前記受け渡し位置で受け取ったチェンジャから前記ノズルを取り出すノズル移動部と、前記ノズルの洗浄を行う洗浄部と前記ノズルの検査を行う検査部と、を備え、前記ノズル移動部は、洗浄部での洗浄と検査部での検査が終了したノズルを前記チェンジャに戻す、第１態様に記載のノズル管理装置を提供する。

本開示の第３の態様によれば、前記所定の受け渡し位置は複数個所あり、前記受け渡し部は、１つの受け渡し位置で洗浄と検査が必要なチェンジャを受け取り、他の受け渡し位置に洗浄と検査を終えた前記ノズルを収納したチェンジャを渡す、第２態様に記載のノズル管理装置を提供する。

本開示の第４の態様によれば、前記ノズルの使用履歴と洗浄の履歴と使用可否に関するノズル管理情報と、前記装着装置の作業に関する作業情報とにアクセス可能な情報取得部と、前記洗浄部で行われた洗浄の履歴と前記検査部による検査の結果に関する情報に基づいて、前記ノズル管理情報における洗浄の履歴と使用可否に関する情報を更新するノズル管理情報更新部と、更新されたノズル管理情報と前記作業情報に基づいて、前記ノズル移載部を作動させて、前記作業ステージに支持された前記チェンジャに必要なノズルをセットする移載制御部と、を備えた、第２態様または第３態様のいずれか１つに記載のノズル管理装置を提供する。

本開示の第５の態様によれば、前記作業情報には、前記チェンジャと前記ノズルの組み合わせに関する情報が含まれており、前記移載制御部は少なくとも前記チェンジャと前記ノズルの組み合わせに関する情報に基づいて前記ノズル移載部を作動させる、第４態様に記載のノズル管理装置を提供する。

本開示の第６の態様によれば、前記作業ステージに位置するチェンジャから前記メンテナンス対象ノズル収納部へのノズルの受け渡しを行うノズル受け渡し部を備え、前記メンテナンス部は、洗浄および検査の対象となるノズルを複数個収納するメンテナンス対象ノズル収納部と、前記メンテナンス対象ノズル収納部から前記ノズルを取り出すノズル移動部と、前記ノズルの洗浄を行う洗浄部と前記ノズルの検査を行う検査部と、を備え、前記ノズル移動部は、前記メンテナンス対象ノズル収納部から前記ノズルを取り出して前記洗浄部および前記検査部へ移動させ、前記ノズル移動部は、洗浄と検査が終わった前記ノズルを前記メンテナンス対象ノズル収納部に戻す、第１態様に記載のノズル管理装置を提供する。

本開示の第７の態様によれば、前記ノズル移載部が、前記ノズル受け渡し部として機能する、第６態様に記載のノズル管理装置を提供する。

本開示の第８の態様によれば、前記ノズルの使用履歴と洗浄の履歴と使用可否に関するノズル管理情報にアクセス可能な情報取得部と、前記メンテナンス部で生成された洗浄の履歴と検査の結果に基づいて前記ノズル管理情報における洗浄の履歴と使用可否に関する情報を更新するノズル管理情報更新部と、前記ノズル移載部を作動させて、前記作業ステージに支持された前記チェンジャに前記ノズルをセットするノズル移載制御部と、を備え、洗浄と検査を終えたノズルを前記チェンジャに戻す際に、前記ノズル移載制御部は前記ノズル移載部を作動させて、前記使用可否に関する情報において使用不可の状態のノズルの代替用のノズルを前記ノズル収納容器から取り出して前記チェンジャに収納する、第７態様のいずれか１つに記載のノズル管理装置を提供する。

本開示の第９の態様によれば、ノズルの使用履歴と洗浄の履歴と使用可否に関するノズル管理情報と、前記装着装置の作業に関する作業情報にアクセス可能な情報取得部と、前記メンテナンス部で生成された洗浄の履歴と検査の結果に基づいて前記ノズル管理情報における洗浄の履歴と使用可否に関する情報を更新するノズル管理情報更新部と、前記メンテナンス部で洗浄や検査が行われているときに、ノズル管理情報と前記作業情報に基づいて前記ノズル移載部を作動させて、前記作業ステージに支持された前記チェンジャに必要なノズルをセットするノズル移載制御部と、を備えた第７態様に記載のノズル管理装置を提供する。

本開示の第１０の態様によれば、前記作業情報には、前記チェンジャと前記ノズルの組み合わせに関する情報が含まれており、前記ノズル移載制御部は少なくともチェンジャとノズルの組み合わせに関する情報に基づいて前記ノズル移載部を作動させる、第９態様に記載のノズル管理装置を提供する。

以下、本開示に係るノズル管理装置の例示的な実施形態について、添付の図面を参照しながら説明する。本開示は、以下の実施形態の具体的な構成に限定されるものではなく、同様の技術的思想に基づく構成が本開示に含まれる。

（実施形態１）
まず、本開示の実施形態１のノズル管理装置が管理するノズルとそれを使用する装着装置１について図１および図２を参照して説明する。図１は、ノズルが使用される装着装置１の要部の平面図である。図２は、ノズルの斜視図である。図１には、装着装置１が示されており、装着装置１は、部品４を基板３に装着する。

装着装置１の基台１Ａ上には、Ｘ軸方向に伸びる一対のベルトコンベア１Ｂで構成された基板搬送コンベアが２列配置されている。基板搬送コンベアは、Ｘ方向（図１では紙面左から右へ向かう方向）へ基板３を搬送し、２箇所の作業位置１Ｃに基板３を停止させる。本実施の形態の装着装置１は、基台１Ａ上に合計４箇所の作業位置１Ｃを備えている。基台１Ａの４箇所の作業位置１Ｃに隣接する位置には、上面に部品フィーダ２５を配置した台車２１が装着されている。

これらの台車２１は、基台１Ａに設けた連結部１５に着脱自在に連結されるようになっている。連結部１５には台車２１を誘い込むガイド１５ａの他、台車２１を機械的に連結するための機構（不図示）や電気的に接続するためのコネクタ等（不図示）を備えている。装着装置１は、部品４を装着する装着ヘッド５を有している。

装着ヘッド５は、Ｘ軸方向に延びたビーム８（Ｘ軸テーブル）によってＸ方向へ移動可能に支持されており、ビーム８の駆動によってＸ軸方向へ移動する。また、ビーム８はＹ軸方向に伸びたＹ軸テーブル７によってＹ方向へ移動自在に装着されており、Ｙ軸テーブル７の駆動によってＹ方向へ移動する。従って、ビーム８とＹ軸テーブル７は装着ヘッドをＸＹ方向へ移動させる装着ヘッド移動機構５Ａを構成しており、装着ヘッド移動機構５Ａが駆動すると装着ヘッド５は基板３や部品フィーダ２５の上空をＸＹ方向へ移動する。

装着ヘッド５には、Ｚ軸方向に移動可能なノズル６を複数個備えている。ノズル６は部品フィーダ２５によって供給された部品を負圧によって吸引保持し、基板３の装着位置まで搬送して装着する。装着ヘッド５は、ノズル６を着脱可能に保持しており、部品に適合したノズル６に交換しながら部品４を基板３へ装着する作業を実行する。また、装着装置１は、ノズル６が吸着した部品を撮影するカメラ１１と、制御部１３とを備える。

図５において、制御部１３は、装着ヘッド５、装着ヘッド移動機構５Ａ、カメラ１１、フィーダ２５と通信可能に接続されており、所定のプログラムにしたがってこれらの動作を制御し、取得するデータがある場合は取得する。

制御部１３は、画像認識部１３ａ、ショット数カウント部１３ｂ、記憶部１３ｄを含む。画像認識部１３ａはカメラ１１で取得した画像よりノズル６に保持された部品４の位置を認識（部品認識）する。制御部１３は、部品認識の結果を利用して装着ヘッド移動機構５Ａを制御してノズル６に保持された部品４を基板３の装着位置に位置決めする。また、部品認識の結果、吸着ミスや姿勢不良等でノズル６に保持された部品４を基板３に装着できないと画像認識部１３ａが判定したら、制御部１３は、装着ヘッド移動機構５Ａを制御してノズル６に保持されている部品４を廃棄部品として回収するゴミ箱２７へ投棄する。

記憶部１３ｄは装着装置１の動作に必要プログラムやデータ等を格納する他、装着装置１にセットされたチェンジャ９に収納されているノズル６のノズル管理情報を記憶する。制御部１３は、装着装置１で使用されるノズル６のノズル管理情報をホストコンピュータ１９からダウンロードして記憶部１３ｄに記憶する。

ノズル６は、装着される基板３の種類（機種）ごとにチェンジャ９に収納されている。チェンジャ９は装着装置１に連結可能な台車２１の支持ステージ２３に着脱可能に支持されている。

図２に示すように、ノズル６は、筒部６ａと、筒部６ａから下方に延びた吸着管６ｂと、筒部６ａの周囲に張り出したフランジ６ｃとを備える。また、ノズル６は、それぞれ個別のノズルＩＤ番号を示す識別子６ｄを有する。識別子６ｄは、フランジ６ｃ上に、例えば、２次元バーコード、ＱＲコード（登録商標）、または、ＲＦＩＤタグとして付されている。筒部６ａは、装着ヘッド５の昇降シャフト（不図示）の下端部に設けたノズルホルダに保持されることによって装着ヘッド５に保持される。

図１を参照する。台車２１は、装着装置１に部品を供給するための複数種類の部品フィーダ２５と、部品認識で装着不可と判定された廃棄部品を回収するゴミ箱２７と、を搭載している。

以下、図３から図５を参照して本開示の実施形態１について説明する。図３は、ノズル管理装置３１の要部の平面図である。図４は台車２１が連結されたノズル管理装置３１の要部の平面図である。図５は、ノズル管理装置３１および関連装置の制御系の構成を示すブロック図である。以下、ノズル管理装置３１においてチェンジャ９の搬送方向をＹ軸方向（前後方向）とし、Ｘ軸方向（左右方向）とし、上下方向をＺ軸方向とする。Ｙ軸方向、Ｘ軸方向、Ｚ軸方向とは互いにそれぞれ直交する。

ノズル管理装置３１は、本体３１ａと、チェンジャ収納容器としてのチェンジャパレット３５を有するチェンジャ収納庫５０と、ノズル収納容器としてのノズルパレット３９を有するノズル収納庫５４と、作業ステージ３７と、と、移載部４１と、制御部４２とを備える。

本体３１ａは、台車２１と連結するための連結部３２を有する。連結部３２は、装着装置１の連結部１５と基本的に同一構造である。連結部３２は、本体３１ａから外方に延び、台車２１を本体３１ａに案内する一対のレール３２ａを有する。さらに、連結部３２は、台車２１を機械的に連結するための機構（不図示）や電気的に接続するためのコネクタ等（不図示）を備えている。また、本体３１ａは、入出庫ステージ８１を備えている。ノズル管理装置３１は入出庫ステージ８１において台車２１から使用済みのノズル６を収納したチェンジャ９を受け入れる入庫作業と、使用可能なノズル６を収納したチェンジャ９を台車２１へ払い出す出庫作業を行う。入出庫ステージ８１には、保持部３３が設けられている。保持部３３の機能については後述する。

チェンジャパレット３５は、複数のチェンジャ９を収納するチェンジャ収納容器である。チェンジャパレット３５は、例えば、金属製または樹脂製のパレットであり、１つのチェンジャパレット３５にはチェンジャ９を１個ずつ収納する収納スペース３５ａが複数個形成されている。

本体３１ａは、その前面には作業ステージ３７を有する。作業ステージ３７は、支持するチェンジャ９からノズル６を取出し、あるいは収納するために使用される領域である。作業ステージ３７は、チェンジャ９を着脱自在に支持し、支持するチェンジャ９からノズル６の着脱を可能にする。チェンジャパレット３５には、それぞれ個別のチェンジャパレットＩＤ番号が含まれる識別子３５ｂが付されている。識別子３５ｂは、例えば、２次元バーコード、ＱＲコード（登録商標）、または、ＲＦＩＤタグとして付されている。

ノズルパレット３９は、複数のノズル６を保管するノズル６の収納容器である。ノズルパレット３９は、例えば、金属製または樹脂製のパレットである。ノズルパレット３９は、ノズル６の大きさに応じた複数のノズル収納孔３９ｂを備えている。ノズルパレット３９には、それぞれ個別のノズルパレットＩＤ番号が含まれる識別子３９ａが付されている。識別子３９ａは、例えば、２次元バーコード、ＱＲコード（登録商標）、または、ＲＦＩＤタグとして付されている。

移載部４１は、チェンジャパレット３５と入出庫ステージ８１との間及びチェンジャパレット３５と作業ステージ３７との間でチェンジャ９を移動させる。また、移載部４１は、入出庫ステージ８１と作業ステージ３７の間でもチェンジャ９を移動させることが可能である。移載部４１は、また、作業ステージ３７とノズルパレット３９との間でノズル６を移動させる。移載部４１は、移載ヘッド４３と移載ヘッド４３を駆動する移載ヘッド駆動機構４４とを備える。移載ヘッド駆動機構４４は、Ｙ軸方向に平行に延びる一対のレール４４ａと、レール４４ａに沿って可動する可動ビーム４４ｂと、可動ビーム４４ｂ及び可動ビーム４４ｂに沿って移動する移載ヘッド４３をそれぞれ駆動する駆動モータ（不図示）を備える。

移載ヘッド４３は、２種類のノズル用のチャック装置４５、４６と、２つのチェンジャ用のチャック装置４７と、ノズル６およびチェンジャ９を撮影するカメラ４８とを備える。

チャック装置４５、４６は、それぞれ、ノズル６を把持する装置であり、それぞれ異なる大きさのノズル６を把持する。チャック装置４５は、チャック４５ａとチャック４５ａを上下方向に昇降するシリンダ４５ｂとを備える。チャック４５ａは、例えば、２本のチャック爪４５ｃを有し、チャック爪４５ｃがノズル６を把持する。チャック装置４６も同様に、チャック４５ａとシリンダ４５ｂとを備え、チャック４５ａは、例えば、３本のチャック爪４５ｃを有する。このうち、チャック４５ａは、より多くの種類のノズル６の移載に対応するためにシリンダ４５ｂに対して交換可能になっている。

チャック装置４７は、チェンジャ９を把持する装置である。チャック装置４７は、チャック４７ａとチャック４７ａを上下方向に昇降するシリンダ４７ｂとを備える。チャック４７ａは、例えば、２本の把持アーム４７ｃを有し、チェンジャ９の底部または側部を把持する。チャック装置４７は、多くの種類のチェンジャ９の移載に対応するためにシリンダ４７ｂに対して交換可能になっている。

また、ノズル管理装置３１は、ノズル保持チェンジャ５９と、チャック交換器６５とを備える。ノズル保持チェンジャ５９は、交換用のチャック４５ａを収納している。ノズル保持チェンジャ５９の上空でチャック装置４５のシリンダ４５ｂに昇降動作を行わせることにより、チャック４５ａをシリンダ４５ｂから取外す作業や交換用のチャック４５ａをシリンダ４５ｂに装着する作業が実行される。

チェンジャ収納庫５０は、さらに、チェンジャマガジン５１と、チェンジャパレット搬送機構５３と、を有する。ノズル収納庫５４は、さらに、ノズルパレット３９と、ノズルマガジン５５と、ノズルパレット搬送機構５７と、を有する。

チェンジャマガジン５１は、複数のチェンジャパレット３５を収納する。チェンジャマガジン５１内に、チェンジャパレット３５が上下方向に並んで収納されている。チェンジャマガジン５１は、ノズル管理装置３１の内部においてその位置が固定されており、上下方向には動かない。チェンジャマガジン５１は、前後（チェンジャパレット３５の搬送方向）が開放された箱型形状を有し、その内部に複数のチェンジャパレット３５を上下方向に間隔を空けて水平な姿勢で前後方向にスライド可能に収納する。チェンジャマガジン５１の開放された前方には、チェンジャパレット搬送機構５３が配置されている。また、後方からは作業者が収納されたチェンジャパレット３５へアクセス可能になっている。チェンジャマガジン５１は動かないので、作業者は手作業でチェンジャマガジン５１からチェンジャパレット３５を安全に出し入れすることができる。

チェンジャパレット搬送機構５３は、チェンジャパレット３５をチェンジャマガジン５１に搬入およびチェンジャマガジン５１から搬出する。チェンジャパレット搬送機構５３は、チェンジャパレット３５を把持する把持部６１と、上下方向（Ｚ軸方向）に昇降するエレベータ６３とを備える。把持部６１は、上下方向に移動可能な２つのアーム６１ａを有し、２つのアーム６１ａはチェンジャパレット３５の前縁を上下方向に挟んで把持する。また、把持部６１は、エレベータ６３上をＹ軸方向に移動可能であり、エレベータ６３は、その内部に把持部６１をＹ軸方向に移動させる駆動装置（図示省略）を有している。エレベータ６３が上下方向に昇降することで、エレベータ６３の高さを、チェンジャマガジン５１内から所望のチェンジャパレット３５を把持部６１が把持可能な高さに位置させる。そして、駆動装置によって把持部６１をチェンジャパレット３５へ接近させて把持部６１をチェンジャパレット３５の把持が可能な位置へ移動させる。把持部６１がチェンジャパレット３５を把持すると、エレベータ６３内の駆動装置を駆動して把持部６１をチェンジャマガジン５１から遠ざかる方向へ移動させる。これによりチェンジャパレット３５をマガジンから引き出してエレベータ６３の上に搬出することができる。これとは逆の動作を行えば、エレベータ６３の上のチェンジャパレット３５をチェンジャマガジン５１へ搬入することができる。

ノズルマガジン５５は、複数のノズルパレット３９を収納する収納庫である。ノズルマガジン５５内に、ノズルパレット３９が上下方向に並んで格納されている。ノズルマガジン５５は、ノズル管理装置３１の内部ではその位置は固定されており、上下方向には動かない。ノズルマガジン５５は、前後（ノズルパレット３９の搬送方向）が開放された箱型形状を有し、その内部に複数のノズルパレット３９を上下方向に間隔を空けて水平な姿勢で前後方向にスライド可能に収納する。ノズルマガジン５５の開放された前方には、ノズルパレット搬送機構５７が配置されている。また、後方からは作業者が収納されたノズルパレット３９へアクセス可能になっている。このため、作業者は手作業でノズルマガジン５５からノズルパレット３９を安全に出し入れすることができる。

ノズルパレット搬送機構５７は、ノズルパレット３９をノズルマガジン５５に搬入およびノズルマガジン５５から搬出する。ノズルパレット搬送機構５７は、ノズルパレット３９を把持する把持部６２と、上下方向（Ｚ軸方向）に昇降するエレベータ６４とを備える。把持部６２は、上下方向に移動可能な２つのアーム６２ａを有し、２つのアーム６２ａはノズルパレット３９の前縁を上下方向に挟んで把持する。また、把持部６２は、エレベータ６４上をＹ軸方向に移動可能であり、エレベータ６４は、その内部に把持部６２をＹ軸方向に移動させる駆動装置（図示省略）を有している。エレベータ６４が上下方向に昇降することで、エレベータ６４の高さを、ノズルマガジン５５内の所望のノズルパレット３９を把持部６２が把持可能な高さに位置させる。そして、駆動装置によって把持部６２をノズルパレット３９へ接近させて把持部６２をノズルパレット３９の把持が可能な位置へ移動させる。把持部６２がノズルパレット３９を把持すると、エレベータ６４内の駆動装置を駆動して把持部６２をノズルマガジン５５から遠ざかる方向へ移動させる。これによりノズルパレット３９をノズルマガジン５５から引き出してエレベータ６４の上に搬出することができる。これとは逆の動作を行えば、エレベータ６４の上のノズルパレット３９をノズルマガジン５５へ搬入することができる。

図５は装着装置１を含む実装システムのブロック図である。装着装置１、ホストコンピュータ１９、ノズル管理装置３１は、有線または無線からなる通信ネットワーク１００に接続されており、相互に通信可能になっている。

ホストコンピュータ１９は、情報処理部１９ａと記憶部１９ｂとを備える。情報処理部１９ａは、各ノズル６の使用情報を基に、各ノズル６がメンテナンスを必要とするか否かを判定する。また、生産工程で必要なノズルをチェンジャ９に集めるようにノズル管理装置３１へ指示する。

ホストコンピュータ１９は、例えば、プロセッサ、ＦＰＧＡ等の演算装置を情報処理部１９ａとして含む。また、メモリ、ハードディスク、ＳＳＤ等の少なくとも１つから構成される記憶装置を記憶部１９ｂとして含み情報処理部１９ａの処理プログラムが記憶されている。

ノズル６が識別子６ｄをＲＦＩＤタグとして有する場合、移載ヘッド４３は、カメラ４８の他にＲＦＩＤタグの読み取り装置を備える。ホストコンピュータ１９の記憶部１９ｄには、それぞれのノズルＩＤ番号と関連づけられたノズル管理情報が記憶されている。

ノズル６の識別子６ｄは、ノズル管理情報と関連づけられている。ノズル管理情報は、ホストコンピュータ１９の記憶部１９ｂに記憶している。

ノズル管理情報は、ノズル基本情報、ノズル状態情報、およびノズルロケーション情報を含む。ノズル基本情報は、ノズルＩＤ（識別情報）、ノズルの種類、名称、および使用開始年月日等の情報を含む。装着装置１やノズル管理装置３１は、識別子６ｄを読み取ることにより、識別子６ｄから得られたノズルＩＤに関連づけられたノズル管理情報をホストコンピュータ１９から取得することができる。

ノズル状態情報は、装着装置１で部品を吸着したショット数、メンテナンス要否情報、検査要否情報、使用可否情報、およびメンテナンス日時（検査や洗浄を実施した日時）の情報を含む。ショット数とは、ノズル６が装着装置１において部品を保持する動作を実行した回数である。ショット数には、新品の状態からこれまで吸着した全ての生涯ショット数と、メンテナンスした後のショット数とが含まれる。ノズル状態情報は、付随するメンテナンス部８３（図１５参照）によって更新され、更新結果の情報がホストコンピュータ１９へ送信される。

メンテナンス要否情報は、ショット数や使用時間等の所定の判定基準により情報処理部１９ａがそれぞれのノズル６にメンテナンスが必要であるか否かを判定した情報である。ここで、メンテナンスとは少なくともノズル６の洗浄を含む。検査要否情報は、ショット数や使用時間等の所定の判定基準により情報処理部１９ａがそれぞれのノズル６に検査が必要であるか否かを判定した情報である。ここで、ノズルの検査とは、例えば、ノズルを流れるエア流量や、ノズル先端の形状等の検査である。使用可否情報は、メンテナンスの後の完了検査やノズルの検査の際の使用可否の判定結果である。メンテナンス要否情報や検査要否情報は、上述した通り情報処理部１９ａの判定結果に基づいて記録されるが、ショット数や使用時間に関係なく、装着装置１から外されてノズル管理装置３１に戻されるチェンジャ９に収納されているノズル６のメンテナンス要否情報を「要」、検査要否情報を「要」とするようにしてもよい。すなわち、ノズル管理装置３１に戻されるチェンジャ９に収納されているノズル６は必ずメンテナンスと検査を行うという運用でもよい。

ノズルロケーション情報は、ノズル６の収納位置を特定可能な情報である。ノズル６がノズルパレット３９に収納されている場合は、収納されているノズルパレット３９のＩＤ情報と収納位置に関する情報を含む。ノズル６がチェンジャ９に収納されている場合は、収納されているチェンジャ９のＩＤ情報と収納位置を含む。チェンジャ９、およびノズルパレット３９のどの箇所に収納したかは、移載ヘッド４３の移動量から管理することができ、チェンジャ９およびノズルパレット３９内の収納箇所まで特定することができる。

また、ホストコンピュータ１９の情報処理部１９ａは、ノズルＩＤをチェンジャ管理情報とも紐付けて記憶部１９ｂに保管している。チェンジャ管理情報は、チェンジャＩＤと、チェンジャロケーション情報を含む。チェンジャＩＤは、各チェンジャ９に識別子９ｅとして付されている。識別子９ｅは、例えば、２次元バーコード、ＱＲコード（登録商標）、または、ＲＦＩＤタグとして付されている。チェンジャロケーション情報は、チェンジャパレット３５におけるノズル６の収納場所を特定可能な情報である。また、ノズル管理装置３１内だけでなく、装着装置１や外段取り中の台車２１におけるチェンジャの位置についても特定できるように管理されている。

ノズル管理装置３１の制御部４２は、画像認識部４２ａ、機構制御部４２ｂ、移載制御部４２ｃ、記憶部４２ｄを有する。制御部４２は、例えば、プロセッサ、ＦＰＧＡ等の演算装置を、画像認識部４２ａ、機構制御部４２ｂ、移載制御部４２ｃとして含む。また、メモリ、ハードディスク、ＳＳＤ等の少なくとも１つから構成される記憶装置を記憶部４２ｄとして含み画像認識部４２ａ、機構制御部４２ｂおよび移載制御部４２ｃの処理プログラムが記憶されている。制御部４２は、ホストコンピュータ１９と有線または無線により通信接続されている。

ノズル管理装置３１は、保管するノズル６に関するノズル管理情報をホストコンピュータ１９から取得して記憶部４２ｄに記憶させる。移載制御部４２ｃは、このノズル管理情報に基づき、ノズルパレット３９におけるノズル６の移動先を移載部４１に指示する。

例えば、移載制御部４２ｃは、移載部４１に指示して、ノズルパレット３９において、ある種類のノズル６の近くまたは隣接して同じ種類の別のノズル６を収納する。これにより、ノズルパレット３９において、同じ種類のノズル６が互いに近い箇所または隣接した箇所にまとめて収集されるので、同じ種類のノズル６を作業ステージ３７への搬送時間を短縮することができる。例えば、特定のノズル専用のノズルパレット３９を設けて、ノズル６を種類ごとにノズルパレット３９に収容してもよい。また、１枚のノズルパレットを複数の区画に分けてノズル６の種類に応じて対応する区画に収納してもよい。例えば、大型のノズル６をノズルパレット３９において作業ステージ３７側の領域Ｎａに収納させて、小型のノズル６をノズルパレット３９においてノズルマガジン５５側の領域Ｎｆに収納させてもよい。

また、ノズル６の状態別にノズルパレット３９を分ける、または、ノズルパレット３９の収納区画を分けてもよい。例えば、使用不可のノズル専用のノズルパレット３９を用意するか、または、ノズルパレット３９の一部の区画を使用不可のノズル６の収納区画に設定してもよい。例えば、使用不可のノズル６は、ノズルパレット３９において作業ステージから離れたノズルマガジン５５側の領域Ｎｆに収納してもよい。

例えば、移載制御部４２ｃは、移載部４１に指示して、ノズルパレット３９において洗浄の必要なノズル６をノズルパレット３９に収納してもよい。洗浄の必要なノズル６の近くに洗浄の必要な別のノズル６を収納することで、洗浄の必要なノズル６が互いに近い箇所に収集される。これにより、洗浄が必要なノズル６を作業ステージ３７のチェンジャ９に払い出しする際に、搬送時間を短縮することができる。例えば、ノズルパレット３９において洗浄の必要なノズル６を作業ステージ３７側の領域Ｎａに収納することで、より搬送時間を短縮することができる。

チェンジャ９は個別のチェンジャＩＤ情報を有し、ノズル６の大きさや装着装置１のタイプに応じた複数種類のチェンジャ９が用意されている。これにより、ノズル６の収容効率を向上させることができる。また、洗浄が必要なノズル６を収納する洗浄用チェンジャを用意してもよい。洗浄が必要なノズル６を洗浄用チェンジャに収納することで、洗浄が必要なノズルを一括して搬送することができる。

また、移載制御部４２ｃは、移載部４１に指示を送って、待機時間に洗浄が必要なノズル６を洗浄用チェンジャに移載させることで、作業効率を上げることができる。

次に、図８Ａおよび図８Ｂを参照する。ノズル管理装置３１は、台車２１と連結する連結部３２を有する。連結部３２は、台車２１を案内する一対のレール３２ａと、保持部３３と、チェンジャ９を支持する台車２１の支持ステージ２３とチェンジャ９との固定を解除する解除部７３と、を備える。一対のレール３２ａの間において、本体３１ａ側に、台車２１のゴミ箱２７と連結するゴミ回収機構７１と、保持部３３と、解除部７３とが配置されている。

ゴミ回収機構７１は、ノズル管理装置３１と連結した台車２１のゴミ箱２７内のゴミ（廃棄部品）を収容する。ゴミ回収機構７１は、台車２１のゴミ箱２７の底を開閉するレバー７１ａと、レバー７１ａを回転駆動するレバー駆動部７１ｂと、ゴミ箱２７のゴミを排出するゴミ排出ダクト７１ｃと、を備える。レバー駆動部７１ｂは、例えば、アクチュエータである。

次に、図９Ａ、図９Ｂを参照する。図９Ａは、台車２１の支持ステージ２３およびノズル管理装置３１の保持部３３の側面図である。図９Ｂは、ノズル管理装置３１の保持部３３周辺の縦断面図である。

ノズル管理装置３１と連結される台車２１の支持ステージ２３について説明する。台車２１の前端部に取り付けられた支持ステージ２３は、第１ベース部２３ａと、第２ベース部２３ｂと、柱部２３ｃと、ローラ２３ｄと、ステージ台２３ｅと、チェンジャ着脱機構２３ｆと、を備える。ステージ台２３ｅにはチェンジャ９の位置を規制するための位置決めピン２３ｈが配置されている。位置決めピン２３ｈはチェンジャ９に当接することでステージ台２３ｅにおけるチェンジャ９の位置を規制する。

支持ステージ２３の第１ベース部２３ａは略Ｕ字形の板状部材であり、台車２１の本体２１ａに固定されている。第２ベース部２３ｂは板状部材であり、第１ベース部２３ａから上方に突出したピン２３ｇに位置決めされて第１ベース部２３ａに着脱自在に載置されている。

第２ベース部２３ｂから上方に柱部２３ｃが延びる。柱部２３ｃのＸ軸方向のそれぞれの側面には、Ｘ軸方向を回転軸とするローラ２３ｄが取り付けられている。柱部２３ｃの上面にはステージ台２３ｅが固定されている。矩形のステージ台２３ｅの上面にはチェンジャ９が載置されている。ステージ台２３ｅの下面にはチェンジャ着脱機構２３ｆが配置されている。

次に、台車２１の支持ステージ２３と連結されるノズル管理装置３１の保持部３３について説明する。保持部３３は、支持ステージ２３の第２ベース部２３ｂと篏合するベース収容部３３ａと、ベース収容部３３ａを昇降させる昇降部３３ｂと、ローラ２３ｄを案内して位置決めする溝カム３３ｃと、を備える。

ベース収容部３３ａは、昇降部３３ｂと連結された矩形の第１プレート３３ａａと、第１プレート３３ａａの上方に平行に配置された第２プレート３３ａｂと、第１プレート３３ａａおよび第２プレート３３ａｂの本体３１ａ側をそれぞれ連結する第３プレート３３ａｃとを備える。

昇降部３３ｂは、ベース収容部３３ａを上方へ移動させることで、支持ステージ２３を台車２１から持ち上げる。昇降部３３ｂは、例えば、アクチュエータである。

溝カム３３ｃは、下方に向けて開口された凹部３３ｃａと、凹部３３ｃａの本体側３１ａの壁が下方に延びたカム壁３３ｃｂとを有する。

次に、図１０Ａ、図１０Ｂを参照する。図１０Ａは、ノズル管理装置３１の保持部３３に台車２１の支持ステージ２３が連結された状態の側面図である。図１０Ｂは、ノズル管理装置３１の保持部３３に台車２１の支持ステージ２３が連結された状態の縦断面図である。

台車２１がレール３２ａに案内されてノズル管理装置３１に接近し、やがて、台車２１の支持ステージ２３のローラ２３ｄが保持部３３の溝カム３３ｃのカム壁３３ｃｂに当接して停止する。この状態において、台車２１の第２ベース部２３ｂがノズル管理装置３１の保持部３３の第１プレート３３ａａと第２プレート３３ａｂとの間に挿入される。すなわち、第２ベース部２３ｂがベース収容部３３ａに嵌め込まれる。

台車２１がノズル管理装置３１に連結されたことを、接触センサ等により検出すると、機構制御部４２ｂが昇降部３３ｂを作動させて、例えば、アクチュエータのシリンダを引くことで第１プレート３３ａａを持ち上げる。図１１Ａ～図１１Ｃに示すように、第１プレート３３ａａが台車２１の支持ステージ２３の第２ベース部２３ｂをその下面に接触して上方に持ち上げる。これにより、第２ベース部２３ｂは第１ベース部２３ａから離れて、支持ステージ２３が台車２１から分離される。

支持ステージ２３が上方へ移動されると、支持ステージ２３のローラ２３ｄが保持部３３の溝カム３３ｃのカム壁３３ｃｂ上を回転しながら上方の凹部３３ｃａへ案内される。やがて、ローラ２３ｄが凹部３３ｃａの上面に接触するとローラ２３ｄが凹部３３ｃａにより支持ステージ２３の進行方向（Ｙ軸方向）および上方への移動が規制され、支持ステージ２３が位置決めされる。

台車２１に支持ステージ２３が取り付けられている間は、台車２１の支持ステージ２３に支持されるチェンジャ９の高さは、作業ステージ３７に支持されるチェンジャ９の高さよりも低い。台車２１がノズル管理装置３１と連結し、支持ステージ２３が保持部３３により持ち上げられると、支持ステージ２３に支持されるチェンジャ９の高さは、作業ステージ３７に支持されるチェンジャ９の高さと同じ高さになる。この高さの状態で、移載部４１は、支持ステージ２３に支持されるチェンジャ９を移載することが可能となる。

なお、支持ステージ２３が保持部３３により持ち上げられている状態から台車２１がノズル管理装置３１から離れるまでの動作の流れは、上述した動作の逆を行う。

次に、図１２Ａから図１２Ｃを参照して、支持ステージ２３に保持されているチェンジャ９をチェンジャパレット３５へ移載する動作を説明する。

チェンジャ着脱機構２３ｆは、アーム２３ｆａと、押さえ部２３ｆｂと、バネ２３ｆｃを有する。アーム２３ｆａは上下方向に延びており、中央部にステージ台２３ｅに取り付けられている支点２３ｆｄを中心に回動可能である。アーム２３ｆａの上端には、チェンジャ９の側部に形成された突起９ｃを押さえる押さえ部２３ｆｂが取り付けられている。支持ステージ２３のステージ台２３ｅの下面から下方に突出する突出部２３ｋにバネ２３ｆｃの一端が接続され、アーム２３ｆａの中央部にバネ２３ｆｃの他端が接続されている。これにより、アーム２３ｆａは押さえ部２３ｆｂがステージ台２３ｅに保持されているチェンジャ９の方に付勢されており、押さえ部２３ｆｂとステージ台２３ｅとで突起９ｃを挟んでチェンジャ９を支持ステージ２３に固定する。

制御部４２は、支持ステージ２３が昇降部３３ｂにより持ち上げられたことを検出すると、機構制御部４２ｂは解除部７３を作動し、例えば、シリンダの先端をアーム２３ｆａの下端を支持ステージ２３側へ押し出す。これにより、アーム２３ｆａが支点２３ｆｄを中心に回動し、押さえ部２３ｆｂが外方へ離れ、チェンジャ９の固定が解除される。

移載制御部４２ｃは、解除部７３の駆動を検出すると、移載部４１を駆動して、移載ヘッド４３を支持ステージ２３へ移動させる。移載制御部４２ｃからの指示によりチャック装置４７がチェンジャ９を把持して支持ステージ２３からチェンジャパレット３５へ移載する。

次に、図１３Ａから図１３Ｃを参照して、作業ステージ３７に保持されているチェンジャ９からノズル６を移載する動作を説明する。図１３Ａは、シャッタ９ｂが閉状態のチェンジャ９の平面図である。図１３Ｂは、シャッタ９ｂが閉状態のチェンジャ９の側面図である。図１３Ｃは、シャッタ９ｂが開状態のチェンジャ９の平面図である。チェンジャ９は、ベース部９ａとベース部９ａの面上を長手方向にスライド可能なシャッタ９ｂと、シャッタ９ｂをスライドさせるスライド機構３７ｂ（図８Ａ参照）と、を有する。

ベース部９ａとシャッタ９ｂとの間には上下方向に隙間が空けられている。この隙間に、ベース部９ａに載置されたノズル６のフランジ６ｃが位置している。シャッタ９ｂには、ノズル６のフランジ６ｃよりも直径が大きい大孔部９ｂａと、フランジ６ｃの直径よりも狭く筒部６ａの直径よりも幅広のスリット部９ｂｂとがノズル６の配列方向に沿って交互に形成されている。

シャッタ９ｂが、ノズル６のフランジ６ｃ上にスリット部９ｂｂが位置する閉状態のとき、ノズル６はチェンジャ９に固定されている。また、シャッタ９ｂが、ノズル６のフランジ６ｃ上に大孔部９ｂａが位置する開状態の場合、ノズル６をチェンジャ９から取り外し可能な状態である。

作業ステージ３７は、チェンジャ９を支持するステージ台３７ａと、シャッタ９ｂをスライドさせるスライド機構３７ｂと、ステージ台３７ａとチェンジャ９との固定を解除する解除部３７ｃとを有する（図８Ａ参照）。スライド機構３７ｂは、凹部９ｄに嵌合するアーム３７ｂａとアーム３７ｂａをシャッタ９ｂのスライド方向に往復移動させるシリンダ３７ｂｂを備える。解除部３７ｃの構造および動作は、解除部７３と同様であるので、説明を省略する。

チェンジャ９が作業ステージ３７にセットされている状態において、アーム３７ｂａは凹部９ｄに挿入されている。ノズル６の移載作業を行う際、機構制御部４２ｂからスライド機構３７ｂへの指示により、アーム３７ｂａを閉位置から開位置へ移動させる。これにより、シャッタ９ｂが閉位置から開位置へスライドし、ノズル６が取り外し可能な状態になる。この状態で、移載ヘッド４３が必要なノズル６を作業ステージ３７上のチェンジャ９から取り出して、ノズルパレット３９へ移動させる。また、逆に、移載ヘッド４３は、ノズルパレット３９から、ノズル６を作業ステージ３７上のチェンジャ９へ移動させる。ノズルの移載作業が終了すると、機構制御部４２ｂからスライド機構３７ｂへの指示により、アーム３７ｂａを開位置から閉位置へ移動させる。これにより、シャッタ９ｂが開位置から閉位置へスライドし、ノズル６が取り外し不可の状態になる。

次に、図１４Ａ、１５Ｂを参照して、台車２１のゴミ箱２７内のゴミの回収について説明する。

ゴミ箱２７は、下方に凸の台形状の本体２７ａと、本体２７ａの一部に回転可能に取り付けられた底板２７ｂと、底板２７ｂを本体２７ａ側へ付勢する付勢部２７ｃと、付勢部２７ｃから下方に延びるプレート２７ｄを備える。台車２１がノズル管理装置３１に連結されると、ゴミ回収機構７１のレバー７１ａとプレート２７ｄとが対向して位置する。付勢部２７ｃは、例えば、巻きバネである。

台車２１と連結部３２の連結が検出されると、機構制御部４２ｂは、ゴミ回収機構７１のレバー駆動部７１ｂに指示してレバー７１ａをプレート２７ｄへ押し当てる。付勢部２７ｃの付勢力に対向してプレート２７ｄを解除位置へ移動させることで、底板２７ｂが下方に回転し、ゴミ箱２７の下部が開放される。ゴミ箱２７内のゴミは、ゴミ箱２７の下方に配置されたゴミ排出ダクト７１ｃへ排出される。

（実施形態２）
次に、本開示の実施形態２のノズル管理装置８１について図１５および図１６を参照して説明する。図１５は、実施形態２にかかるノズル管理装置８１の要部の平面図である。図１６は、ノズル管理装置および関連装置の制御系の構成を示すブロック図である。

実施形態２のノズル管理装置８１は、実施形態１のノズル管理装置３１に中継ステージ７７を加えたノズル保管装置３１Ａとメンテナンス部８３とを含む構成である。この点、および以下に説明する点以外の構成および装置の動作については、実施形態１と実施形態２とは共通であるので、詳細な説明を省略する。

実施形態２のノズル保管装置３１Ａは、実施形態１のノズル管理装置３１の構成に中継ステージ７７が加えられている。中継ステージ７７は、チェンジャ９をメンテナンス部８３へ受け渡すために、一時的にチェンジャ９を載置しておくステージである。中継ステージ７７は、本体３１ａの前端で作業ステージ３７に対して連結部３２の反対側に配置されている。

メンテナンス部８３は、装着装置１から回収された使用済みのノズル９を洗浄し、洗浄したノズル９を検査する装置である。メンテナンス部８３は、チェンジャ受け渡し部８５と、ノズル移動部８７と、洗浄部８９と、乾燥ステーション９１と、検査部９３と、識別子読み取り部９４と、制御部９５とを備える。

チェンジャ受け渡し部８５は、ノズル保管装置３１Ａとメンテナンス部８３との間でチェンジャ９を受け渡す装置である。したがって、ノズル保管装置３１Ａにチェンジャ受け渡し部８５が配置されてもよい。チェンジャ受け渡し部８５は、チェンジャ移載部８５ａと、チェンジャ移動部８５ｂとを備える。

チェンジャ移載部８５ａは、ノズル保管装置３１Ａの所定の受け渡し位置Ｐａからメンテナンス部８３内の所定の位置Ｐｂ間でチェンジャを搬送する。所定の受け渡し位置Ｐａは、中継ステージ７７が位置する位置Ｐａ１と作業ステージ３７が位置するＰａ２とを含む。なお、実施形態２では、所定の受け渡し位置Ｐａは、２カ所であるが、１カ所でもよい。

チェンジャ移載部８５ａは、ノズル保管装置３１Ａの所定の受け渡し位置Ｐａの近傍からメンテナンス部８３内に延びる移動装置８５ａａと、移動装置８５ａａによって移動するチェンジャ移載ヘッド８５ａｂと、を備える。

チェンジャ移載ヘッド８５ａｂは、例えば、中継ステージ７７に載置されたメンテナンス対象のノズル６が収納されたチェンジャ９を所定位置Ｐｂへ搬送する。また、所定位置Ｐｂにメンテナンスされたノズル６が収納されたチェンジャ９がある場合、チェンジャ移載ヘッド８５ａｂは、収納されたチェンジャ９を作業ステージ３７へ搬送する。

チェンジャ移動部８５ｂは、所定の位置Ｐｂから、例えば、洗浄部８９の近傍の所定位置Ｐｃまでチェンジャ９を移動する。チェンジャ移動部８５ｂは、チェンジャ９を支持する移動可能な移動ステージ８５ｂｂと、移動ステージ８５ｂｂを所定位置ＰｂとＰｃ間で移動させる移動装置８５ｂａと、を備える。

ノズル移動部８７は、チェンジャ９に収納されたノズル６を洗浄部８９、乾燥ステーション９１、および検査部９３に移動する装置である。ノズル移動部８７は、ＸＹレールステージ８７ａと、ノズル移動ヘッド８７ｂと、支持アーム８７ｃとを備える。ノズル移動ヘッド８７ｂは、ＸＹレールステージ８７ａに支持アーム８７ｃを介して取り付けられている。従って、ＸＹレールステージ８７ａが駆動するとノズル移動ヘッド８７ｂは、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動する。また、支持アーム８７ｃは、ノズル移動ヘッド８７ｂを昇降させる昇降機構（不図示）を内蔵しており、昇降機構が作動するとノズル移動ヘッド８７ｂはＺ軸方向に移動する。

識別子読み取り部９４は、洗浄および検査前に、ノズル６に付された識別子６ｄを読み取る。識別子読み取り部９４は、識別子６ｄがバーコードやＱＲコード（登録商標）のような２次元コードの場合カメラであり、識別子６ｄがＲＦＩＤタグの場合ＲＦＩＤタグ用のリーダ装置である。読み取った識別子６ｄの情報をノズル６のＩＤ情報を含んでおり、このノズル６のＩＤ情報が制御部９５へ送られる。これにより、どのノズル６に対して洗浄および検査が実施されたかを記録することができる。

洗浄部８９は、ノズル６を洗浄する装置である。洗浄部８９は、洗浄液９０を貯める洗浄槽８９ａと、洗浄槽８９ａの下部に配置された超音波振動子８９ｂを備える（図１９Ｄ参照）。超音波振動子８９ｂは洗浄槽８９ａ内の洗浄液９０に高周波の振動を発生させる。

乾燥ステーション９１は、洗浄を完了したノズル６を乾燥させる装置である。乾燥ステーション９１は、例えば、ノズル６にエアを通すことでノズル６を乾燥させる。このときに、ノズル６内を通過するエアの流量を検出することで、ノズル６の良品検査をしてもよい。

検査部９３は、洗浄を完了したノズル６に異物の付着や詰り、変形がないかを検査する。検査部９３は、例えば、カメラを含み、ノズル６の先端を撮影し、撮影された画像における先端形状を基に、制御部９５の画像認識部９５ａが画像処理により異状の有無を判定する。

制御部９５は、画像認識部９５ａと、機構制御部９５ｂと、移動制御部９５ｃと、メンテナンス情報更新部９５ｄと、記憶部９５ｅとを備える。制御部９５は、例えば、プロセッサ、ＣＰＵ、ＦＰＧＡ等の演算装置を画像認識部９５ａ、機構制御部９５ｂ、移動制御部９５ｃ、メンテナンス情報更新部９５ｄとして含む。また、メモリ、ハードディスク、ＳＳＤ等の少なくとも１つから構成される記憶装置を記憶部９５ｅとして含み画像認識部９５ａと、機構制御部９５ｂと、移動制御部９５ｃと、メンテナンス情報更新部９５ｄの処理プログラムが記憶されている。なお、メンテナンス部８３は、ノズル保管装置３１Ａおよびホストコンピュータ１９は有線または無線からなる通信ネットワーク１００に接続されており、それぞれ互いに情報の送受信を行うことができる。したがって、制御部９５は、ノズルの使用履歴と洗浄の履歴と使用可否に関するノズル管理情報にアクセス可能な情報取得部として機能する。

画像認識部９５ａは、撮影された２次元コードの識別子からノズル６のＩＤ情報を取得する。また、ノズル６の撮影画像を基に、ノズル６の検査を行う。機構制御部９５ｂは、チェンジャ受け渡し部８５のチェンジャ移載ヘッド８５ａｂの移動量を制御する。移動制御部９５ｃは、ノズル移動部８７のノズル移動ヘッド８７ｂの移動量を制御する。

メンテナンス情報更新部９５ｄは、識別子読み取り部９４が読み取ったノズルＩＤ情報に、洗浄履歴とノズルの使用可否を紐づけする。紐づけされたこれらのノズル管理情報は、ホストコンピュータ１９へ送る。実施形態２では、ノズル管理情報のノズル状態情報に、洗浄履歴の情報とノズルの使用可否の情報とをさらに含まれる。

次に、図１７を参照して、ノズル保管装置３１Ａへのチェンジャの回収と払い出しの動作の流れについて説明する。図１７は、ノズル保管装置３１Ａへのチェンジャの回収と払い出しの動作のフローチャートである。

ステップＳ０１の台車連結ステップにおいて、ノズル保管装置３１Ａは連結部３２において入庫してくる台車２１と連結する。台車２１は、装着装置１で使用した使用済みのノズルを収容したチェンジャ９を支持ステージ２３に搭載している。

ステップＳ０２のチェンジャ受け取りステップにおいて、台車２１が連結部３２と連結すると、チェンジャ９を支持する支持ステージ２３が台車２１から分離する。さらに、ノズル保管装置３１Ａの制御部４２は、台車２１との連結を検出すると、機構制御部４２ｂが解除部７３を駆動し、チェンジャ９と支持ステージ２３のステージ台２３ｅとの固定を解除する。

ステップＳ０３のチェンジャ回収ステップにおいて、移載制御部４２ｃは移載ヘッド駆動機構４４を駆動制御して、受け取り可能な状態のチェンジャ９を移載ヘッド４３が把持してチェンジャパレット３５に収納する。このようにして、ノズル保管装置３１Ａはチェンジャ９を台車２１から回収する。

ステップＳ０４のチェンジャ払い出しステップにおいて、移載制御部４２ｃは移載ヘッド駆動機構を駆動制御して移載ヘッド４３が、新たなチェンジャ９をチェンジャパレット３５から支持ステージ２３へ移動する。この新たなチェンジャは、ホストコンピュータ１９で管理されている生産データで指定されたチェンジャＩＤを有するチェンジャ９である。例えば、ホストコンピュータ１９は、装着装置１において次の生産で必要なノズル６が収納されたチェンジャ９を指定する。なお、新たなチェンジャ９は、次の生産で必要な複数のノズル６が移載部４１によって収納されている。

ステップＳ０５のチェンジャ受け渡しステップにおいて、ノズル保管装置３１Ａの機構制御部４２ｂが解除部７３を駆動し、支持ステージ２３のステージ台２３ｅにチェンジャ９を固定する。この後、支持ステージ２３が台車２１に戻される。

ステップＳ０６において、ノズル保管装置３１Ａは連結部３２における台車２１との連結を解除し、台車２１がノズル保管装置３１Ａから離脱する。この後、台車２１は、作業者によって装着装置１に運ばれるか、ホストコンピュータ１９が指定する装着装置１へ自動走行する。

なお、作業者が装着装置１からチェンジャ９をノズル保管装置３１Ａに搬送する場合、台車２１との連結および離脱のステップＳ０１とＳ０５が省略される。作業者がチェンジャ９をノズル保管装置３１Ａに受け渡す場合は、ステップＳ０２と０３が実施され、作業者がチェンジャ９をノズル保管装置３１Ａから受け取る場合は、ステップＳ０５とＳ０６が実施される。以上のように、ノズル保管装置３１Ａは、外部とのチェンジャ９の受け渡しを行う。

次に、図１８を参照して、ノズル保管装置３１Ａおよびメンテナンス部８３の協働によりチェンジャ９が収納するノズル６のメンテナンスの流れを説明する。図１８は、ノズル保管装置３１Ａおよびメンテナンス部８３におけるメンテナンスの流れを示すフローチャートである。

ノズル保管装置３１Ａにおいて、ステップＳ１１のチェンジャ取出しステップにおいて、移載制御部４２ｃからの指示により、移載ヘッド４３は、メンテナンスが必要なノズル６を収納したチェンジャ９をチェンジャパレット３５から中継ステージ７７へ移動する。中継ステージ７７への移動が完了すると、移載制御部４２ｃからメンテナンス部８３へ移動完了信号が送られる。

メンテナンス部８３において、ステップＳ１２において、移動完了信号を受信すると、機構制御部９５ｂからの指示によりチェンジャ移載ヘッド８５ａｂは、チェンジャ９を、受け渡し位置Ｐａ１の中継ステージ７７からメンテナンス部８３の所定位置Ｐｂに位置する移動ステージ８５ｂｂへ搬入する。

ノズル保管装置３１Ａにおいて、ステップＳ１３において、ノズル保管装置３１Ａの制御部４２は、洗浄および検査対象のノズルを収納した別のチェンジャ９を連続してメンテナンス部８３に投入するか否かを判定する。別のチェンジャ９を連続してメンテナンス部８３に投入する場合は、“次のチェンジャ有り”と判定し（ステップＳ１３のＹｅｓ）ステップＳ１１に戻る。連続して投入しない場合は“次のチェンジャ無し”と判定し（ステップＳ１３のＮｏ）、メンテナンス部８３における次のステップに進む。

メンテナンス部８３において、ステップＳ１４において、メンテナンス部８３の移動制御部９５ｃは、ノズル移動ヘッド８７ｂにノズル６を保持させる。図１９Ａに示すように、ノズル移動ヘッド８７ｂは複数のチャック８７ｂａを備える。チェンジャ９に収納されているノズル６の上方にノズル移動ヘッド８７ｂが移動する。次に、図１９Ｂに示すように、ノズル移動ヘッド８７ｂが下降し、それぞれのチャック８７ｂａがノズル６を把持する。次に、図１９Ｃに示すように、ノズル移動ヘッド８７ｂが上昇し、それぞれのチャック８７ｂａがノズル６をチェンジャ９から持ち上げる。図１９Ｄに示すように、ノズル移動ヘッド８７ｂは、洗浄部８９の洗浄槽８９ａの上方に移動する。

次に、ステップＳ１５のノズル洗浄ステップにおいて、図１９Ｅに示すように、ノズル移動ヘッド８７ｂは、洗浄槽８９ａの方へ下降し、ノズル６の先端を洗浄液９０に浸らせる。機構制御部９５ｂは、超音波振動子８９ｂを作動させて洗浄液９０に高周波の振動を与える。ノズル移動ヘッド８７ｂは各ノズル６を吸引することで、洗浄液９０がノズル６内を流れる。このようにして、ノズル６の洗浄が行われたあと、ノズル移動ヘッド８７ｂは、ノズル６を乾燥ステーション９１へ移動させる。

ステップＳ１６のノズル乾燥ステップにおいて、乾燥ステーション９１のそれぞれのノズル６内にエアが通されて、ノズル６を乾燥する。乾燥されたあと、ノズル移動ヘッド８７ｂは、ノズル６を検査部９３へ移動させる。

ステップＳ１７のノズル検査ステップにおいて、検査部９３がそれぞれのノズルにおいて異常（異物付着、変形、詰り）がないか検査をする。検査は、たとえば、カメラがそれぞれのノズルの先端画像を撮影し、画像処理により判断してもよい。また、乾燥ステーション９１でのエア流量を基に判断してもよい。

ステップＳ１８において、ノズル移動ヘッド８７ｂは、所定位置Ｐｃに位置するチェンジャ９に洗浄および検査を終了したノズル６を戻す。メンテナンス情報更新部９５ｄが、ノズル６の洗浄履歴を各ノズルＩＤと紐づけてノズル管理情報に記録し、ホストコンピュータ１９へ送信する。移動ステージ８５ｂｂが所定位置Ｐｃから所定位置Ｐｂへ移動する。

ステップＳ１９のチェンジャ返却ステップにおいて、チェンジャ移載ヘッド８５ａｂがチェンジャ９をノズル保管装置３１Ａの作業ステージ３７へ戻す。

ノズル保管装置３１Ａにおいて、ステップＳ２０のチェンジャ保管ステップにおいて、作業ステージ３７からチェンジャパレット３５へチェンジャ９を移動する。メンテナンスを完了したノズル６を収納したチェンジャ９がノズル保管装置３１Ａに保管される。また、ノズル保管装置３１Ａでは、移載制御部４２ｃにおいて、ホストコンピュータ１９から送られる作業情報（生産データ）とノズル管理情報に基づいて、移載部４１を作動させて、作業ステージ３７に支持されたチェンジャ９にノズルパレット３９から必要なノズル６をセットする。作業情報には、チェンジャ９とノズル６の組み合わせに関する情報が含まれており、移載制御部４２ｃは少なくともチェンジャ９とノズル６の組み合わせに関する情報に基づいて移載部４１を作動させる。

メンテナンス部８３において、ステップＳ２１において、中継ステージ７７にチェンジャ９が有る場合、ノズル保管装置３１Ａから搬送指示がメンテナンス部８３に送られるので、再びステップＳ１２に戻る。メンテナンス部８３は、中継ステージ７７からチェンジャ９を再びメンテナンス部８３へ搬入し、中継ステージ７７にチェンジャ９が無い場合、洗浄および検査処理を終了する。

次に、図２０を参照して、ノズル保管装置３１Ａにおける、ノズル６の入れ替えおよび回収の流れを説明する。図２０は、ノズルの入れ替えと払い出しの流れを示すフローチャートである。チェンジャ９の回収と払い出しを迅速に行わせるために、ノズル６の洗浄および検査はチェンジャ９の回収と払い出しを行わない空き時間に実施する。洗浄および検査を完了したノズル６を収納したチェンジャ９を対象とする。

ステップＳ３１のチェンジャ取出しステップにおいて、移載ヘッド４３は、対象となるチェンジャ９をチェンジャパレット３５から作業ステージ３７へ移動させる。対象となるチェンジャ９は、チェンジャ９内のノズルセット（ノズルの組み合わせ）の変更する必要あるチェンジャである。また、使用期限を超えたノズル６、または、検査部９３におけるノズル６の検査で不合格、あるいは、使用禁止に指定されたノズル６を収納したチェンジャである。また、ノズル６を収納する必要があるチェンジャも対象となる。例えば、空のチェンジャ９に次回生産用のノズルセットを準備する場合や、使用が禁止されたノズルのみ収納するチェンジャに不良ノズル等を収納する場合などがあげられる。また、空にする必要があるチェンジャも対象となる。チェンジャ管理情報を参照することでこれらの対象となるチェンジャ９を抽出することができる。

ステップＳ３２において、カメラ４８がノズル６の識別子６ｄを撮影し、画像認識部４２ａの画像処理によりノズル６の識別情報（ノズルＩＤ）を取得する。識別子６ｄがＲＦＩＤタグの場合、ノズル６に付されたＲＦＩＤタグを読み取る。

ステップＳ３３のノズルの移載ステップにおいて、移載ヘッド４３が対象となるノズル６をノズルパレット３９へ移載する。移載されるノズル６として、使用予定のないノズル６、チェンジャ９内のノズルセットから除外されるノズル６、使用期限、あるいはノズル検査で不合格、あるいは、使用禁止に指定されたノズル６が挙げられる。

ステップＳ３４において、制御部４２は、チェンジャ管理情報とノズル管理情報を更新する。

ステップＳ３５のチェンジャ収納ステップにおいて、移載ヘッド４３がチェンジャ９を作業ステージ３７からチェンジャパレット３５へ移動する。

これらの処理がノズル保管装置３１Ａの空き時間に行われるので、作業効率を向上することができる。

実施形態２のノズル保管装置３１Ａにおいても、ノズル６とチェンジャ９を組み合わせて管理することができる。これにより、生産する基板３の機種変更に伴う段取り換えを効率良く行うことができる。

（実施形態３）
次に、本開示の実施形態３のノズル管理装置８１Ｂについて図２１を参照して説明する。図２１は、実施形態３にかかるノズル管理装置８１Ｂの要部の平面図である。

実施形態３のノズル管理装置８１Ｂは、実施形態１のノズル管理装置３１と実施形態２のメンテンナンス部８３の変形例であるメンテナンス部８３Ｂとを含む構成である。この点、および以下に説明する点以外の構成および装置の動作については、実施形態３は、実施形態１および実施形態２と共通であるので、詳細な説明を省略する。なお、実施形態３におけるノズル保管装置３１Ｂは、実施形態１のノズル管理装置３１と同一の装置である。

実施形態３のノズル管理装置８１Ｂは、実施形態２の中継ステージ７７がなく、メンテナンス対象のノズルを収納して搬送するノズル搬送部９７がノズル保管装置３１の作業ステージ３７の近傍の所定の受け渡し位置Ｐａからメンテナンス部８３の洗浄部８９の近傍まで移動する構成である。また、メンテナンス情報更新部９５ｄは、メンテナンス部８３Ｂで生成された洗浄の履歴と検査の結果に基づいて、ノズル管理情報における洗浄の履歴と使用可否に関する情報を更新するノズル管理情報更新部として機能する。

メンテナンス部８３Ｂは、ノズル搬送部９７と、ノズル移動部８７Ｂと、洗浄部８９と、乾燥ステーション９１と、検査部９３と、識別子読み取り部９４と、制御部９５とを備える。

ノズル搬送部９７は、ノズル保管装置３１Ｂの作業ステージ３７の近傍の所定位置Ｐａとメンテナンス部８３Ｂ内のノズル移動部８７Ｂのノズル移動ヘッドが移動可能な所定位置Ｐｂとの間をノズル６を搬送する。ノズル搬送部９７は、所定の受け渡し位置Ｐａから所定位置のＰｂまで延びるレール９７ａと、レール９７ａ上を移動するシャトル９７ｂと、シャトル９７ｂを駆動するモータ（不図示）を備える。

シャトル９７ｂは、種々のノズル６を収納できるように、ノズル６の様々な大きさおよび形状に適応した収納用の孔が形成されている。シャトル９７ｂは、標準ノズル用の収納孔９７ｂと、中ノズル用の収納孔９７ｂａと、大ノズル用の収納孔９７ｂｂと、特殊ノズル用の収納孔９７ｂｃとを含む。シャトル９７ｂは、メンテナンス対象ノズル収納部としての役割を有している。

ノズル移動部８７Ｂは、ＸＹレールステージ８７ａと、支持アーム８７ｃと、標準ノズル用移動ヘッド８７ｄと、中ノズル用移動ヘッド８７ｅと、大ノズル用移動ヘッド８７ｆと、特殊ノズル用移動ヘッド８７ｇとを備える。それぞれのノズル６の大きさに対応した各移動ヘッドは、ＸＹレールステージ８７ａに支持アーム８７ｃを介して取り付けられ、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動可能である。また、支持アーム８７ｃは駆動機構（不図示）により上下方向（Ｚ軸方向）に移動可能であるので、各移動ヘッドは上下方向（Ｚ軸方向）にも移動可能である。

次に、図２２を参照して、ノズル保管装置３１Ｂおよびメンテナンス部８３Ｂの協働によりチェンジャ９が収納するノズル６のメンテナンスの流れを説明する。図２２は、実施形態３におけるノズル保管装置３１Ｂおよびメンテナンス部８３Ｂにおけるメンテナンスの流れを示すフローチャートである。

ステップＳ３０のシャトル移動ステップにおいて、機構制御部９５ｂは、ノズル６の収納用のシャトル９７ｂを所定の受け渡し位置Ｐａまで移動させる。

次に、ステップＳ３１のチェンジャ取出しステップにおいて、ノズル保管装置３１Ｂの移載制御部４２ｃが、移載部４１を作動させて、メンテナンスが必要なノズル６を収納したチェンジャ９をチェンジャパレット３５から作業ステージ３７へ移動する。なお、このノズル６の受け渡しは、ノズル保管装置３１Ｂの移載部４１の代わりにメンテナンス部８３Ｂが別のノズル受け渡し部を備えていてもよい。作業ステージ３７への移動が完了すると、移載制御部４２ｃからメンテナンス部８３へ移動完了信号が送られる。

次に、ステップＳ３２のノズル移動ステップにおいて、ノズル保管装置３１Ｂの移載制御部４２ｃからの指示により、移載ヘッド４３は、メンテナンスが必要なノズル６を作業ステージ３７のチェンジャ９からシャトル９７ｂ内へ移動させる。

次に、メンテナンス部８３Ｂにおいて、ステップＳ３３のシャトル移動ステップにおいて、シャトル９７ｂはノズル６を収納すると、機構制御部９５ｂがシャトル９７ｂを所定位置Ｐｂへ移動させる。所定位置Ｐｂは、ノズル移動ヘッド８７Ｂｂがアクセス可能な位置である。

次に、実施形態２と同様に、メンテナンス部８３ＢがステップＳ１４～ステップ１７を実施し、ノズル６の洗浄、乾燥、および検査を行う。

次に、ステップＳ３８において、ノズル移動ヘッド８７Ｂｂが洗浄および検査を完了したノズル６をシャトル９７ｂへ戻す。

次に、ステップＳ３９のシャトル移動ステップにおいて、機構制御部９５ｂは、シャトル９７ｂを所定位置Ｐｂから所定の受け渡し位置Ｐａまで移動させる。

ノズル保管装置３１Ｂにおいて、ステップＳ４０のノズル回収ステップにおいて、移載ヘッド４３は、シャトル９７ｂからノズル６を回収して作業ステージ３７上のチェンジャ９に収納する。このとき、シャトル９７ｂ内に使用不可のノズル６がある場合は、使用不可のノズル６のノズルＩＤ情報がメンテナンス部８３Ｂからノズル保管装置３１Ｂへ送られ、移載制御部４２ｃは、移載部４１を作動させて代替の良品のノズル６をノズルパレット３９から作業ステージ３７上のチェンジャ９にセットする。

次に、実施形態２と同様にステップＳ２０が実施され、作業ステージ３７からチェンジャパレット３５へチェンジャ９を移動する。

次に、ステップ４１において、ノズル保管装置３１Ｂの制御部４２は、洗浄および検査対象のノズルを収納した別のチェンジャ９のノズル６をシャトル９７ｂに移載するか否かを判定する。シャトル９７ｂに移載する別のチェンジャ９がある場合は、“次のチェンジャ有り”と判定し（ステップＳ４１のＹｅｓ）ステップＳ３１に戻る。シャトル９７ｂに移載する別のチェンジャ９がない場合は“次のチェンジャ無し”と判定し（ステップＳ４１のＮｏ）、シャトル移動終了の信号をノズル保管装置３１Ｂの制御部４２からメンテナンス部８３Ｂへ送る。

次に、ステップ４２において、ノズル保管装置３１Ｂは、シャトル移動終了の信号を受信すると、機構制御部９５ｂは、シャトル９７ｂを待機位置に移動させる。

次に、実施形態３の変形例を図２３を参照して説明する。図２３は、実施形態３の変形例におけるノズル保管装置３１Ｂおよびメンテナンス部８３Ｂにおけるメンテナンスの流れを示すフローチャートである。

実施形態３の変形例では、メンテナンス部８３Ｂがノズル６の洗浄および検査をしている間に、この時間を利用してノズル保管装置３１Ｂが作業ステージ３７で待機しているチェンジャ９に新たなノズル６をセットする作業を行う。

ステップＳ３２において、シャトル９７ｂへのノズル移動が終了した後、ステップＳ３３でシャトル９７ｂがメンテナンス部８３Ｂの所定位置Ｐｂへ移動する。この後、ステップＳ５１において、ノズル保管装置３１Ｂでは、移載制御部４２ｃは、ホストコンピュータ１９から送られる作業情報（生産データ）とノズル管理情報に基づいて、移載部４１を作動させて、作業ステージ３７に支持されたチェンジャ９にノズルパレット３９から必要なノズル６をセットする。作業情報には、チェンジャ９とノズル６の組み合わせに関する情報が含まれており、移載制御部４２ｃは少なくともチェンジャ９とノズル６の組み合わせに関する情報に基づいて移載部４１を作動させる。

次に、ステップＳ５２において、移載制御部４２ｃは、移載ヘッド４３に指示して、作業ステージ３７からチェンジャパレット３５へチェンジャ９を移動し、チェンジャ９を保管する。

次に、ステップＳ５２において、移載制御部４２ｃは、移載ヘッド４３に指示して、所定の受け渡し位置Ｐａに位置するシャトル９７ｂ内のノズル６をノズルパレット３９へ回収する。

実施形態３の変形例によれば、チェンジャ９に収納されている使用済みノズル６を洗浄および検査するためにメンテナンス部８３Ｂに送るとともに、その空いたチェンジャ９に次回使用するノズルセットを準備する。これにより、ノズル６のメンテナンスとノズルセットの組み換えの一連の作業を効率よく行うことができる。

本実施形態のノズル保管装置３１Ａによれば、部品４を基板３に装着する装着装置１で使用される部品保持用のノズル６を管理するノズル管理装置８１であって、複数のノズル６を収納するノズルパレット３９を備える。また、ノズル管理装置８１は、複数のノズル６を収納するとともに装着装置１に着脱自在にセット可能なチェンジャ９を複数収納するチェンジャパレット３５と、チェンジャ９を支持するとともにチェンジャ９からノズル６を着脱可能にする作業ステージ３７と、作業ステージ３７に支持されたチェンジャ９とノズルパレット３９との間でノズル６を移載する移載部４１と、チェンジャ９をチェンジャパレット３５と作業ステージ３７の間で移動させる移載部４１と、チェンジャ９に収納されているノズル６の洗浄と検査を行うメンテナンス部８３と、を備える。これにより、ノズル６の洗浄、検査、および保管を一台の装置で行うことができる。特にノズル６の保管は、チェンジャ単位でできるので生産に必要なチェンジャ９を迅速に準備することができる。

また、ノズル管理装置８１は、チェンジャ移載部８５ａがアクセス可能な所定の受け渡し位置Ｐａを介してチェンジャ９の受け渡しを行う受け渡し部８５を備え、メンテナンス部８３は、受け渡し位置Ｐａで受け取ったチェンジャ９からノズル６を取り出すノズル移動部８７と、ノズル６の洗浄を行う洗浄部８９とノズル６の検査を行う検査部９３と、を備え、ノズル移動部８７は、洗浄部８９での洗浄と検査部９３での検査が終了したノズル６をチェンジャ９に戻す。これにより、ノズル６の洗浄、検査、および保管をチェンジャ単位でできるので管理が用意かつ生産に必要なチェンジャ９を迅速に準備できる。

また、所定の受け渡し位置Ｐａは複数個所あり、受け渡し部８５は、１つの受け渡し位置Ｐａ１で洗浄と検査が必要なチェンジャ９を受け取り、他の受け渡し位置Ｐａ２に洗浄と検査を終えたノズル６を収納したチェンジャ９を渡す。

また、ノズル６の使用履歴と洗浄の履歴と使用可否に関するノズル管理情報と、装着装置１の作業に関する作業情報とにアクセス可能な制御部４２、９５と、洗浄部８９で行われた洗浄の履歴と検査部９３による検査の結果に関する情報に基づいて、ノズル管理情報における洗浄の履歴と使用可否に関する情報を更新するメンテナンス情報更新部９５ｄと、更新されたノズル管理情報と前記作業情報に基づいて、移載部４１を作動させて、作業ステージ３７に支持されたチェンジャ９に必要なノズル６をセットする移載制御部４２ｃとを備える。

作業情報には、チェンジャ９とノズル６の組み合わせに関する情報が含まれており、移載制御部４２ｃは少なくともチェンジャ９とノズル６の組み合わせに関する情報に基づいて移載部４１を作動させる。

また、ノズル管理装置８１は、作業ステージ３７に位置するチェンジャ９からシャトル９７ｂへのノズル６の受け渡しを行う移載部４１を備え、メンテナンス部８３Ｂは、洗浄および検査の対象となるノズル６を複数個収納するシャトル９７ｂと、シャトル９７ｂからノズル６を取り出すノズル移動部８７Ｂと、ノズル６の洗浄を行う洗浄部８９と、ノズル６の検査を行う検査部９３と、を備える。ノズル移動部８７Ｂは、シャトル９７ｂからノズル６を取り出して洗浄部８９および検査部９３へ移動させ、ノズル移動部８７Ｂは、洗浄と検査が終わったノズル６をシャトル９７ｂに戻す。

ノズル６の使用履歴と洗浄の履歴と使用可否に関するノズル管理情報にアクセス可能な制御部４２、９５と、メンテナンス部８３Ｂで生成された洗浄の履歴と検査の結果に基づいてノズル管理情報における洗浄の履歴と使用可否に関する情報を更新するメンテナンス情報更新部９５ｄと、移載部４１を作動させて、作業ステージ３７に支持されたチェンジャ９にノズル６をセットする移載制御部４２ｃと、を備える。洗浄と検査を終えたノズル６をチェンジャ９に戻す際に、移載制御部４２ｃは移載部４１を作動させて、使用可否に関する情報において使用不可の状態のノズルの代替用のノズルをノズルパレット３９から取り出してチェンジャ９に収納する。

また、ノズル保管装置３１Ｂは、６の使用履歴と洗浄の履歴と使用可否に関するノズル管理情報と、装着装置１の作業に関する作業情報にアクセス可能な制御部４２、９５と、メンテナンス部８３Ｂで生成された洗浄の履歴と検査の結果に基づいて前記ノズル管理情報における洗浄の履歴と使用可否に関する情報を更新するメンテナンス情報更新部９５ｄと、メンテナンス部８３Ｂで洗浄や検査が行われているときに、ノズル管理情報と作業情報に基づいて移載部４１を作動させて、作業ステージ３７に支持されたチェンジャ９に必要なノズルをセットする移載制御部４２ｃと、を備える。

また、作業情報には、チェンジャ９とノズル６の組み合わせに関する情報が含まれており、移載制御部４２ｃは少なくともチェンジャ９とノズル６の組み合わせに関する情報に基づいて移載部４１を作動させる。

本開示は、添付図面を参照しながら好ましい実施形態に関連して充分に記載されているが、この技術の熟練した人々にとっては種々の変形や修正は明白である。そのような変形や修正は、添付した特許請求の範囲による本開示の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理解されるべきである。また、各実施形態における要素の組合せや順序の変化は、本開示の範囲および思想を逸脱することなく実現し得るものである。

なお、前記様々な実施形態および変形例のうちの任意の実施形態あるいは変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。

本開示に係るノズル管理装置は、部品を基板に装着する装着装置で使用される部品保持用のノズルを管理するノズル管理装置に適用可能である。

１ 装着装置
３ 基板
４ 部品
５ 装着ヘッド
６ ノズル
６ａ 筒部
６ｂ 吸着管
６ｃ フランジ
６ｄ 識別子
７ レール
８ 可動ビーム
９ チェンジャ
９ａ ベース部
９ｂ シャッタ
９ｃ 突起
９ｄ 凹部
９ｅ 孔
９ｆ 識別子
１１ カメラ
１３ 制御部
１３ａ 画像処理部
１３ｂ ショット数カウント部
１３ｄ 記憶部
１５ 連結部
１９ ホストコンピュータ
１９ａ 情報処理部
１９ｂ 記憶部
２１ 台車
２１ａ 本体
２３ 支持ステージ
２３ａ 第１ベース部
２３ｂ 第２ベース部
２３ｃ 柱部
２３ｄ ローラ
２３ｅ ステージ台
２３ｆ チェンジャ着脱機構
２３ｆａ アーム
２３ｆｂ 押さえ部
２３ｆｃ バネ
２３ｇ ピン
２３ｋ 突出部
２５ 部品フィーダ
２７ ごみ箱
２９
３１ ノズル管理装置
３１ａ 本体
３１Ａ ノズル保管装置
３２ 連結部
３２ａ レール
３３ 保持部
３３ａ ベース収容部
３３ａａ 第１プレート
３３ａｂ 第２プレート
３３ａｃ 第３プレート
３３ｂ 昇降部
３３ｃ 溝カム
３３ｃａ 凹部
３３ｃｂ カム壁
３５ チャンジャパレット
３５ａ 収納スペース
３５ｂ 識別子
３７ 作業ステージ
３７ａ ステージ台
３７ｂ スライド機構
３７ｂａ アーム
３７ｃ 解除部
３９ ノズルパレット
３９ａ 識別子
４１ 移載部
４２ 制御部
４２ａ 画像認識部
４２ｂ 機構制御部
４２ｃ 移載制御部
４２ｅ 記憶部
４３ 移載ヘッド
４４ 移載ヘッド駆動機構
４４ａ レール
４４ｂ 可動ビーム
４５ チャック装置
４５ａ チャック
４５ｂ シリンダ
４５ｃ チャック爪
４６ チャック装置
４６ａ シリンダ
４６ｂ チャック
４６ｃ チャック爪
４７ チャック装置
４７ａ シリンダ
４７ｂ チャック
４７ｃ チャック爪
４８ カメラ
５０ チェンジャ収納庫
５１ チェンジャマガジン
５３ チェンジャパレット搬送機構
５４ ノズル収納庫
５５ ノズルマガジン
５７ ノズルパレット搬送機構
５９ ノズル保持チェンジャ
６１ 把持部
６１ａ アーム
６２ 把持部
６３ エレベータ
６４ エレベータ
６５ チャック交換器
７１ ゴミ収容装置
７１ａ レバー
７１ｂ レバー開閉部
７１ｃ ゴミ排出ダクト
７３ 解除部
７７ 中継ステージ
８１ ノズル管理装置
８２ ノズル洗浄部
８３ ノズルメンテナンス部
８５ チェンジャ受け渡し部
８５ａ チェンジャ移載部
８５ａａ レール
８５ａｂ チェンジャ移載ヘッド
８５ｂ チェンジャ移動部
８５ｂａ レール
８５ｂｂ 移動ステージ
８７、８７Ｂ ノズル移動部
８７ａ ＸＹレールステージ
８７ｂ、８７Ｂｂ ノズル移動ヘッド
８７ｃ 支持アーム
８９ 洗浄部
８９ａ 洗浄槽
８９ｂ 超音波振動子
９０ 洗浄液
９１ 乾燥ステーション
９３ 検査部
９４ 識別子読み取り部
９５ 制御部
９５ａ 画像認識部
９５ｂ 機構制御部
９５ｃ 移動制御部
９５ｄ メンテナンス情報更新部
９５ｅ 記憶部
９７ ノズル搬送部
９７ａ レール
９７ｂ シャトル
９７ｂａ 標準ノズル用孔
９７ｂｂ 中ノズル用孔
９７ｂｃ 大ノズル用孔
９７ｂｄ 特殊ノズル用孔
Ｐａ 受け渡し位置
Ｐｂ、Ｐｃ 所定位置

Claims (10)

1. 部品を基板に装着する装着装置で使用される部品保持用のノズルを管理するノズル管理装置であって、
   複数のノズルを収納するノズル収納容器と、
   複数の前記ノズルを収納するとともに前記装着装置に着脱自在にセット可能なチェンジャを複数収納するチェンジャ収納容器と、
   前記チェンジャを支持するとともに前記チェンジャから前記ノズルを着脱可能にする作業ステージと、
   前記作業ステージに支持された前記チェンジャと前記ノズル収納容器との間で前記ノズルを移載するノズル移載部と、
   前記チェンジャを前記チェンジャ収納容器と前記作業ステージの間で移動させるチェンジャ移載部と、
   前記チェンジャに収納されている前記ノズルの洗浄と検査を行うメンテナンス部と、
   を備える、ノズル管理装置。
2. 前記チェンジャ移載部がアクセス可能な所定の受け渡し位置を介して前記メンテナンス部との間でチェンジャの受け渡しを行うチェンジャ受け渡し部を備え、
   前記メンテナンス部は、
   前記受け渡し位置で受け取ったチェンジャから前記ノズルを取り出すノズル移動部と、
   前記ノズルの洗浄を行う洗浄部と
   前記ノズルの検査を行う検査部と、を備え、
   前記ノズル移動部は、洗浄部での洗浄と検査部での検査が終了したノズルを前記チェンジャに戻す、
   請求項１に記載のノズル管理装置。
3. 前記所定の受け渡し位置は複数個所あり、
   前記受け渡し部は、１つの受け渡し位置で洗浄と検査が必要なチェンジャを受け取り、他の受け渡し位置に洗浄と検査を終えた前記ノズルを収納したチェンジャを渡す、
   請求項２記載のノズル管理装置。
4. 前記ノズルの使用履歴と洗浄の履歴と使用可否に関するノズル管理情報と、前記装着装置の作業に関する作業情報とにアクセス可能な情報取得部と、
   前記洗浄部で行われた洗浄の履歴と前記検査部による検査の結果に関する情報に基づいて、前記ノズル管理情報における洗浄の履歴と使用可否に関する情報を更新するノズル管理情報更新部と、
   更新されたノズル管理情報と前記作業情報に基づいて、前記ノズル移載部を作動させて、前記作業ステージに支持された前記チェンジャに必要なノズルをセットする移載制御部と、
   を備えた請求項２または３に記載のノズル管理装置。
5. 前記作業情報には、前記チェンジャと前記ノズルの組み合わせに関する情報が含まれており、
   前記移載制御部は少なくとも前記チェンジャと前記ノズルの組み合わせに関する情報に基づいて前記ノズル移載部を作動させる、
   請求項４記載のノズル管理装置。
6. 前記メンテナンス部は、
   洗浄および検査の対象となるノズルを複数個収納するメンテナンス対象ノズル収納部と、
   前記メンテナンス対象ノズル収納部から前記ノズルを取り出すノズル移動部と、
   前記ノズルの洗浄を行う洗浄部と
   前記ノズルの検査を行う検査部と、を備え、
   前記ノズル管理装置は、前記作業ステージに位置するチェンジャから前記メンテナンス対象ノズル収納部へのノズルの受け渡しを行うノズル受け渡し部を備え、
   前記ノズル移動部は、前記メンテナンス対象ノズル収納部から前記ノズルを取り出して前記洗浄部および前記検査部へ移動させ、
   前記ノズル移動部は、洗浄と検査が終わった前記ノズルを前記メンテナンス対象ノズル収納部に戻す、
   請求項１記載のノズル管理装置。
7. 前記ノズル移載部が、前記ノズル受け渡し部として機能する、
   請求項６記載のノズル管理装置。
8. 前記ノズルの使用履歴と洗浄の履歴と使用可否に関するノズル管理情報にアクセス可能な情報取得部と、
   前記メンテナンス部で生成された洗浄の履歴と検査の結果に基づいて前記ノズル管理情報における洗浄の履歴と使用可否に関する情報を更新するノズル管理情報更新部と、
   前記ノズル移載部を作動させて、前記作業ステージに支持された前記チェンジャに前記ノズルをセットするノズル移載制御部と、を備え、
   洗浄と検査を終えたノズルを前記チェンジャに戻す際に、前記ノズル移載制御部は前記ノズル移載部を作動させて、前記使用可否に関する情報において使用不可の状態のノズルの代替用のノズルを前記ノズル収納容器から取り出して前記チェンジャに収納する、
   請求項７記載のノズル管理装置。
9. さらに、ノズルの使用履歴と洗浄の履歴と使用可否に関するノズル管理情報と、前記装着装置の作業に関する作業情報にアクセス可能な情報取得部と、
   前記メンテナンス部で生成された洗浄の履歴と検査の結果に基づいて前記ノズル管理情報における洗浄の履歴と使用可否に関する情報を更新するノズル管理情報更新部と、
   前記メンテナンス部で洗浄や検査が行われているときに、ノズル管理情報と前記作業情報に基づいて前記ノズル移載部を作動させて、前記作業ステージに支持された前記チェンジャに必要なノズルをセットするノズル移載制御部と、
   を備えた請求項７記載のノズル管理装置。
10. 前記作業情報には、前記チェンジャと前記ノズルの組み合わせに関する情報が含まれており、
    前記ノズル移載制御部は少なくともチェンジャとノズルの組み合わせに関する情報に基づいて前記ノズル移載部を作動させる、
    請求項９記載のノズル管理装置。

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