WO2012059974A1 - 低温焼結性導電性ペーストおよびそれを用いた導電膜と導電膜の形成方法 - Google Patents

低温焼結性導電性ペーストおよびそれを用いた導電膜と導電膜の形成方法 Download PDF

Info

Publication number
WO2012059974A1
WO2012059974A1 PCT/JP2010/069453 JP2010069453W WO2012059974A1 WO 2012059974 A1 WO2012059974 A1 WO 2012059974A1 JP 2010069453 W JP2010069453 W JP 2010069453W WO 2012059974 A1 WO2012059974 A1 WO 2012059974A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
acid
resin
conductive paste
silver
conductive film
Prior art date
Application number
PCT/JP2010/069453
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
崇 樋之津
優斗 檜山
上山 俊彦
Original Assignee
Dowaエレクトロニクス株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dowaエレクトロニクス株式会社 filed Critical Dowaエレクトロニクス株式会社
Priority to JP2011524121A priority Critical patent/JP4832615B1/ja
Priority to PCT/JP2010/069453 priority patent/WO2012059974A1/ja
Priority to EP11837934.6A priority patent/EP2637175B1/en
Priority to JP2012541828A priority patent/JP5466769B2/ja
Priority to PCT/JP2011/074890 priority patent/WO2012060284A1/ja
Priority to CN201180050469.0A priority patent/CN103180913B/zh
Priority to US13/819,125 priority patent/US20130153835A1/en
Priority to KR1020137013377A priority patent/KR101484651B1/ko
Priority to TW100139729A priority patent/TWI498921B/zh
Publication of WO2012059974A1 publication Critical patent/WO2012059974A1/ja

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01BCABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B1/00Conductors or conductive bodies characterised by the conductive materials; Selection of materials as conductors
    • H01B1/14Conductive material dispersed in non-conductive inorganic material
    • H01B1/16Conductive material dispersed in non-conductive inorganic material the conductive material comprising metals or alloys
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01BCABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B1/00Conductors or conductive bodies characterised by the conductive materials; Selection of materials as conductors
    • H01B1/20Conductive material dispersed in non-conductive organic material
    • H01B1/22Conductive material dispersed in non-conductive organic material the conductive material comprising metals or alloys
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01BCABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B13/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing conductors or cables
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/09Use of materials for the conductive, e.g. metallic pattern
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/12Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns

Definitions

  • the present invention relates to a conductive paste capable of forming a conductive circuit having excellent conductivity even at low temperature treatment, a conductive film produced using the conductive paste, and a method of forming the conductive film.
  • Conductive paste made of metal particles, resin, and solvent is used for fine metal wiring among electronic devices. In recent years, downsizing of electronic devices has become remarkable, and finer wiring has become necessary.
  • a conductive paste capable of forming a conductive film even when fired at a low temperature has been developed in recent years, particularly nano-order metal particles having different physical properties from micron-order particles (average primary particle diameter to 200 nm: Hereinafter, pastes using “metal nanoparticles”) have been studied. By employing such particles, it is possible to provide a paste particularly suitable for fine wiring.
  • a protective layer made of an organic substance is formed on the particle surface to ensure the independence of the particles.
  • a protective layer contributes effectively when preserving particles, it sometimes acts as an inhibiting factor when manifesting metallic properties. In this case, even if the wiring can be formed, the resistance is large and may not be practical.
  • Patent Document 2 discloses a conductive paste made of an epoxy resin and a phenol resin, which contains either a dibasic acid having a side chain made of an alkyl group or a dibasic acid having an alicyclic structure in the paste. ing.
  • the dibasic acid serves to remove the oxide film on the surface of the silver particles, and a wiring having a volume resistivity of 17 to 25 ⁇ ⁇ cm is obtained by heat treatment at 180 ° C. for 10 minutes.
  • the technique described in Patent Document 2 has not yet exhibited sufficient conductivity in a region lower than 150 ° C.
  • a heat treatment at around 120 ° C. where no deformation occurs is desired. That is, a conductive paste that exhibits electrical conductivity through contact / sintering between conductive particles at a heating temperature of about 120 ° C. has extremely high utility value and can be applied to various applications.
  • the prior art as described above does not provide a conductive paste having a low temperature so far.
  • the present invention has been completed in view of such demands. That is, the content disclosed in this specification is to propose a metal conductive film that can be formed by heat treatment at a low temperature of about 120 ° C. and exhibits a low volume resistivity. More specifically, whether the constituent resin is a thermosetting resin or a thermoplastic resin, a conductive material that exhibits low resistance under the conditions of low-temperature treatment without considering the difference between them. It is to indicate a conductive paste that can form a film.
  • the conductive paste that can form the conductive film according to the present invention specifically includes metal particles coated with an organic substance composed of a carboxylic acid having 2 to 8 carbon atoms or a derivative thereof, a dispersion medium and a resin, and a carbon number.
  • a conductive paste containing 2 to 8 dicarboxylic acids As used herein, “derivative” refers to a derivative in which the main structure has a carboxylic acid structure having 2 to 8 carbon atoms, but a part of the molecule is substituted with another functional group.
  • species "silver” here is also especially called “resin type silver paste.”
  • the dicarboxylic acid added to the conductive paste having the above structure is preferably in the range of 0.05 to 2.0% by mass with respect to the total weight of the conductive paste.
  • the carboxylic acid mainly having 2 to 8 carbon atoms constituting the boiling point or decomposition temperature of the dicarboxylic acid added to the conductive paste having the above structure and the surface of the silver particles.
  • the resin-type silver paste having the above configuration is more suitable as long as it further contains a dispersant capable of dispersing metal particles.
  • the wiring formed by heat-treating the conductive paste having the above-described structure has a structure in which silver is brought into contact with or sintered to develop conductivity.
  • a conductive film obtained by firing the conductive paste having the above structure in the atmosphere at 120 ° C. for 60 minutes has an a * value of 2.0 or less when expressed in the L * a * b * color system. It becomes a conductive film.
  • the method for forming a conductive wiring of the present invention includes a step of applying the conductive paste on a substrate, the conductive paste applied by heat treatment at 100 to 200 ° C. in air or in an inert atmosphere. A step of forming a metal film.
  • a low resistance wiring can be formed even at a temperature lower than the conventional heat treatment temperature.
  • the type of resin such as thermosetting or thermoplastic was not selected, it became possible to flexibly respond to the intended use, so that the field of use could be expanded dramatically. Become.
  • FIG. 6 is a diagram in which the mass resistance change between the sintering promoting component of Examples 1 to 5 and the organic substance covering the particle surface is associated with the volume resistance value. It is the figure which showed the volume resistivity when not adding with the case where malonic acid which is a sintering acceleration
  • conductive particles gold, silver, copper, nickel, aluminum or the like can be used, but silver is most frequently used from the viewpoint of price and reliability. Therefore, in this specification, an example in which silver particles are used as conductive particles will be specifically described, but this does not prevent application of the present invention to substances other than silver.
  • ⁇ Silver nanoparticles> those having an average primary particle diameter calculated from a transmission electron microscope (TEM) photograph of 200 nm or less, preferably 1 to 150 nm, more preferably 10 to 100 nm are used.
  • TEM transmission electron microscope
  • Evaluation of the average primary particle diameter with a transmission electron microscope was performed as follows. First, 2 parts by mass of the washed silver nanoparticles were added to a mixed solution of 96 parts by mass of cyclohexane and 2 parts by mass of oleic acid, and dispersed by ultrasonic waves. The dispersion solution was dropped on a Cu microgrid with a support film and dried to obtain a TEM sample. The produced TEM sample microgrid was observed using a transmission electron microscope (JEM-100CXMark-II type manufactured by JEOL Ltd.) at an acceleration voltage of 100 kV to observe particles in a bright field. Further, the image is enlarged and used with a photographic magnification of 300,000 times.
  • JEM-100CXMark-II type manufactured by JEOL Ltd. a transmission electron microscope at an acceleration voltage of 100 kV to observe particles in a bright field.
  • the particle In order to calculate the particle size from the obtained photograph, the particle can be directly measured with calipers or the like, but the particle size can also be calculated with image analysis software.
  • the average primary particle size at this time was calculated by the number average value using the results of measuring at least 200 particles individually independent in the TEM photograph.
  • the silver content in the silver nanoparticles coated with the organic coating was measured by weighing 0.5 g or more of the sample (silver nanoparticles coated with the organic coating) in an ashtray for ash measurement, and a muffle furnace (Yamato Scientific Co., Ltd.).
  • FO310 the temperature is raised to 700 ° C. at a rate of about 10 ° C./min to remove the organic coating existing on the surface of the silver nanoparticles, and then the temperature in the furnace is reduced to 500 ° C. or less by natural cooling.
  • the ashtray is taken out, cooled to room temperature in a desiccator, and the weight of the sample after cooling is compared with the weight before heat treatment.
  • the organic substance covering the surface can be known from the gas components detected under an inert atmosphere using, for example, a heating analyzer such as TG-MS or GC-MS.
  • the silver nanoparticles used in the present invention have the above average primary particle diameter, and the surface is coated with an organic substance.
  • an organic substance composed of a carboxylic acid having 2 to 8 carbon atoms or a derivative thereof can be preferably used as such an organic substance.
  • the saturated fatty acids octanoic acid (caprylic acid), heptanoic acid (enanthic acid), hexanoic acid (caproic acid), pentanoic acid (valeric acid), butanoic acid (Butyric acid), propanoic acid (propionic acid) and the like.
  • dicarboxylic acid examples include oxalic acid, malonic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, pimelic acid, and suberic acid.
  • unsaturated fatty acids include sorbic acid and maleic acid.
  • the surface of the silver nanoparticles is coated with hexanoic acid, heptanoic acid, adipic acid, or sorbic acid, it can be easily produced and provided in the form of a powder.
  • Providing in the form of such a powder is preferable because it facilitates blending when forming a paste as in the present invention.
  • particles whose surfaces are coated with such a substance can be aggregated and easily recovered while maintaining the form of primary particles.
  • the agglomerates at that time are of a size that can be recovered by at least 5 types C of JISP-3801, and can be said to be 2.5 ⁇ m or more.
  • the above-mentioned aggregated (secondary) particle size of 2.5 ⁇ m is different from the so-called average particle size (D 50 ) of silver particles. This is because the particle diameter of the above When a D 50 value, is considered agglomerates passing unable filtered through filter paper increases. Therefore, the above-mentioned aggregated (secondary) particle diameter may be interpreted as an aggregate having a size of at least about 2.5 ⁇ m instead of an average value. Moreover, if drying operation at low temperature (less than 100 degreeC) is added, it can also collect
  • the organic acid used for coating is an organic substance composed of a carboxylic acid having 2 to 8 carbon atoms or a derivative thereof to coat the particle surface.
  • the saturated fatty acids octanoic acid caprylic acid
  • heptanoic acid enanthic acid
  • hexanoic acid caproic acid
  • pentanoic acid valeric acid
  • butanoic acid butyric acid
  • propanoic acid propionic acid
  • examples of the dicarboxylic acid include oxalic acid, malonic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, pimelic acid, and suberic acid.
  • unsaturated fatty acids include sorbic acid and maleic acid.
  • silver particles can be used in advance coated from the silver particle production stage, or it is also possible to use particles that have been coated in advance by a substitution method or the like with respect to previously marketed particles. I can do it.
  • “silver particles” include “silver nanoparticles” and “silver submicron particles”.
  • the paste according to the present invention disperses silver particles (including silver nanoparticles and silver submicron particles) in a dispersion medium.
  • the dispersion medium used at this time is preferably a polar solvent. If a polar solvent is selected, the vapor pressure is low, which is suitable for handling.
  • diols such as octanediol, alcohol, polyol, glycol ether, 1-methylpyrrolidinone, pyridine, terpineol, butyl carbitol, butyl carbitol acetate, texanol, phenoxypropanol, diethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol mono
  • examples include butyl ether acetate, ⁇ -butyrolactone, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, methoxybutyl acetate, methoxypropyl acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, ethyl lactate, and 1-octanol.
  • the conductive paste is generally used to form a circuit by printing, it is preferable to use a high boiling point solvent having low volatility during printing, and terpineol, butyl carbitol acetate, or octanediol is used. Is more preferable.
  • a plurality of types of solvents may be used in combination.
  • the amount of the solvent is preferably 60% by mass or less, and more preferably 50% by mass or less, based on the total amount of the resin and the metal component.
  • ⁇ Dispersant component> You may add the dispersing agent which disperse
  • the property is not particularly limited as long as it has an affinity for the particle surface and also has an affinity for the dispersion medium, and may be a commercially available one. Moreover, you may use together not only a single kind.
  • This addition amount is 3.0% by mass or less, preferably 1.0% by mass or less, and more preferably 0.5% by mass or less, based on the total silver mass including silver nanoparticles and silver submicron particles.
  • Dispersants having such properties include fatty acid salts (soap), ⁇ -sulfo fatty acid ester salts (MES), alkylbenzene sulfonates (ABS), linear alkylbenzene sulfonates (LAS), alkyl sulfates (AS), Low molecular weight anionic (anionic) compounds such as alkyl ether sulfate (AES) and alkyl sulfate triethanol, fatty acid ethanolamide, polyoxyethylene alkyl ether (AE), polyoxyethylene alkyl phenyl ether (APE), sorbitol, Low molecular weight nonionic compounds such as sorbitan, low molecular weight cationic (cationic) compounds such as alkyltrimethylammonium salt, dialkyldimethylammonium chloride, alkylpyridinium chloride, alkylcarboxyl Low molecular amphoteric compounds such as tine, sulfobetaine, lecithin,
  • various additives for improving the stability and printability of the paste may be added.
  • a leveling agent a viscosity modifier, a rheology control agent, an antifoaming agent, an anti-sagging agent and the like can be mentioned.
  • any well-known thermosetting resin or thermoplastic resin can be adopted.
  • the addition amount of the resin is 2 to 20% by mass, preferably 2 to 15% by mass, based on the total mass of the silver combined with the silver nanoparticles and the silver submicron particles, and the total mass of the resin. . If the amount of the resin to be added is too large, the resin remains in the wiring more than necessary after firing, which is not preferable because it has a great influence on the conductivity. On the other hand, if the addition amount is reduced, the adhesion between the wiring and the substrate cannot be ensured.
  • thermoplastic resin any of the known thermoplastic resins can be used, and among them, it is preferable to add an acrylic resin, a polyester resin, or a polyurethane resin.
  • acrylic resin a polyester resin
  • polyurethane resin a polyurethane resin
  • the polyurethane resin is not particularly limited as long as it is a commercially available thermoplastic urethane resin.
  • examples thereof include a thermoplastic urethane resin obtained by polymerizing a polyol component and an organic polyisocyanate as essential components and using an optional component such as a chain extender or a terminator.
  • hexamethylene diisocyanate (HDI), lysine isocyanate (LDI), isophorone diisocyanate (IPDI), xylylene diisocyanate (XDI), hydrogenated XDI (H 6 -XDI), hydrogenated MDI (H 12 -MDI), transcyclohexane 1,4-diisocyanate, tetramethylxylene diisocyanate (TMXDI), 1,6,11-undecane triisocyanate, 1,8-diisocyanate-4-isocyanate methyloctane, 1,3, Examples thereof include 6-hexamethylene triisocyanate, bicycloheptane triisocyanate, trimethylhexamethylene diisocyanate (TMDI), and derivatives thereof.
  • HDI, IPDI, H 6 -XDI, and H 12 -MDI are more preferable.
  • polystyrene resin used together with the polyisocyanate
  • a polyol having low crystallinity include polyethylene adipate (PEA), polybutylene adipate (PBA), polycarbonate (PCD), polytetramethylene glycol (PTMG), polycaprolactone polyester (PCL), polypropylene glycol (PPG) and the like.
  • PEA polyethylene adipate
  • PBA polybutylene adipate
  • PCD polycarbonate
  • PTMG polytetramethylene glycol
  • PCL polycaprolactone polyester
  • PPG polypropylene glycol
  • the acrylic resin refers to a resin having a (meth) acrylic acid ester unit and / or a (meth) acrylic acid unit as a constituent unit. It may have a structural unit derived from a (meth) acrylic acid ester or a (meth) acrylic acid derivative.
  • examples of the (meth) acrylate unit include, for example, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-propyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, (meth) T-butyl acrylate, n-hexyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, dicyclopentanyloxyethyl (meth) acrylate, (Meth) acrylic acid dicyclopentanyl, (meth) acrylic acid chloromethyl, (meth) acrylic acid 2-chloroethyl, (meth) acrylic acid 2-hydroxyethyl, (meth) acrylic acid 3-hydroxypropyl, (meth) Acrylic acid 2,3,4,5,6-pentahydroxyhexyl, (meth) acrylic acid 2,3,4, -
  • examples of (meth) acrylic acid units include structural units derived from monomers such as acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, 2- (hydroxymethyl) acrylic acid, and 2- (hydroxyethyl) acrylic acid. That means.
  • polyester resin any conventionally known resin can be used.
  • the production method is exemplified by a low molecular diol formed by condensation polymerization with a polycarboxylic acid or an ester-forming derivative thereof [an acid anhydride, a lower alkyl (carbon number 1 to 4) ester, an acid halide, etc.]
  • a product obtained by ring-opening polymerization of a lactone monomer using a low molecular diol as an initiator can be used. Moreover, it does not prevent using these 2 or more types of mixtures.
  • thermosetting resin any known thermosetting resin can be used.
  • the thermosetting resin can be selected from phenol resin, epoxy resin, unsaturated polyester resin, isocyanate compound, melamine resin, urea resin, silicone resin, and the like.
  • an epoxy resin and a phenol resin will be described.
  • the epoxy resin according to the present invention has an effect of improving the weather resistance of the coating film.
  • the epoxy resin either a monoepoxy compound, a polyvalent epoxy compound, or a mixture thereof is used.
  • the monoepoxy compound include butyl glycidyl ether, hexyl glycidyl ether, phenyl glycidyl ether, allyl glycidyl ether, para-tert-butylphenyl glycidyl ether, ethylene oxide, propylene oxide, paraxyl glycidyl ether, glycidyl acetate, glycidyl butyrate Glycidyl hexoate, glycidyl benzoate and the like.
  • polyvalent epoxy compound examples include bisphenol A, bisphenol F, bisphenol AD, bisphenol S, tetramethyl bisphenol A, tetramethyl bisphenol F, tetramethyl bisphenol AD, tetramethyl bisphenol S, tetrabromobisphenol A, and tetrachlorobisphenol A.
  • Bisphenol-type epoxy resin obtained by glycidylation of bisphenols such as tetrafluorobisphenol A; epoxy resin obtained by glycidylation of other dihydric phenols such as biphenol, dihydroxynaphthalene and 9,9-bis (4-hydroxyphenyl) fluorene; 1,1,1-tris (4-hydroxyphenyl) methane, 4,4- (1- (4- (1- (4-hydroxyphenyl) -1-methylethyl) fe E) Ethylidene) Epoxy resins glycidylated with trisphenols such as bisphenol; Epoxy resins glycidylated with tetrakisphenols such as 1,1,2,2, -tetrakis (4-hydroxyphenyl) ethane; Phenol novolac, Cresol Novolak type epoxy resin obtained by glycidylation of novolak such as novolak, bisphenol A novolak, brominated phenol novolak, brominated bisphenol A
  • a polyvalent epoxy compound is preferable from the viewpoint of enhancing storage stability.
  • productivity is overwhelmingly high, so glycidyl-type epoxy resins are preferable, and more preferably epoxy obtained by glycidylation of polyhydric phenols because of excellent adhesion and heat resistance of cured products.
  • Resins are preferred.
  • a bisphenol type epoxy resin is more preferable, and an epoxy resin obtained by glycidylating bisphenol A and an epoxy resin obtained by glycidylating bisphenol F are particularly preferable.
  • the resin is preferably in a liquid form.
  • the epoxy equivalent is preferably 300 or less. When the epoxy equivalent is a value larger than 300, the composition becomes solid, the resistance value becomes high, and handling is inconvenient when used, which is not preferable.
  • thermosetting phenol resin examples include liquid novolak type phenol resin, cresol novolac resin, dicyclopentadiene type phenol resin, terpene type phenol resin, triphenol methane type resin, phenol aralkyl resin and the like.
  • the most characteristic feature of the conductive paste according to the present invention is that, in addition to the above components, an organic substance as a conductivity improving component is added. Specifically, it is preferable to select a dicarboxylic acid having at least two carboxyl groups. By selecting and adding a substance having such a structure, even if the conductive paste composed of silver nanoparticles or silver submicron particles coated with an organic substance is heat-treated at a low temperature, the silver nanoparticles or silver submicron particles are not treated. Sintering occurs, and a conductive film exhibiting high conductivity can be obtained.
  • Examples of the conductivity improving component include oxalic acid, malonic acid, succinic acid, and glutaric acid having a dicarboxylic acid structure.
  • the conductivity improving component include oxalic acid, malonic acid, succinic acid, and glutaric acid having a dicarboxylic acid structure.
  • the dicarboxylic acid is preferably a dicarboxylic acid having a smaller total carbon number in the structure, and having 2 to 8, preferably 2 to 7, and more preferably 2 to 5 carbon atoms. Further, such a component may be 0.05 to 2.0% by mass, preferably 0.1 to 1.5% by mass with respect to the total weight of the conductive paste.
  • the amount of dicarboxylic acid contained in the conductive paste can be confirmed using, for example, high performance liquid chromatography (HPLC) or polymer-based reverse phase chromatography.
  • HPLC high performance liquid chromatography
  • polymer-based reverse phase chromatography for example, polymer-based reverse phase chromatography.
  • the conductive paste according to the present invention is produced by using the silver nanoparticles whose surface is coated with an organic substance having 2 to 8 carbon atoms as described above.
  • the manufacturing method of the silver nanoparticle of such a structure is not restrict
  • silver nanoparticles, a conductivity improving component having the above-mentioned properties and optionally a dispersant are added to the above-mentioned polar solvent.
  • silver submicron particles may be contained. Then, it introduce
  • any known method can be employed under the condition that the mechanical dispersion treatment is not accompanied by significant modification of silver particles.
  • an ultrasonic dispersion, a disper, a three roll mill, a ball mill, a bead mill, a twin screw kneader, a self-revolving stirrer and the like can be exemplified, and these can be used alone or in combination.
  • Metal mask printing Using a metal mask having a thickness of 30 ⁇ m, solid printing was performed on alumina with a 10 mm ⁇ pattern. Volume resistivity was calculated about what heat-processed the obtained printed circuit board at 120 degreeC for 60 minutes in air
  • volume resistivity ( ⁇ ⁇ cm) Measured resistance ( ⁇ ) ⁇ film thickness ( ⁇ m) ⁇ line width ( ⁇ m) ⁇ line length ( ⁇ m) ⁇ 10 2 (1)
  • the paste is solid printed on a glass substrate (EAGLE XG) at a length of 2.0 to 2.5 cm and a width of 1.5 to 2.0 cm, and baked at 120 ° C. for 60 minutes in the air to form a film.
  • the color specification was measured.
  • the color difference measurement was performed using a color difference measuring device (Nippon Denshoku Industries Co., Ltd. SQ-2000).
  • the measurement results are expressed in the L * a * b * color system.
  • the paste according to the present invention is characterized by an a * value when shown in the L * a * b * color system, and when no additive consisting of a dicarboxylic acid is added, this value is more than 2.0. When it is added, it shows a value of 2.0 or less.
  • the resistance of the conductive film shows an extremely high value, and when it is lower than this, the resistance of the conductive film is low. That is, in the present invention, when the completed conductive film contains dicarboxylic acid and becomes a conductive film having excellent conductivity, it can be determined by the color of the conductive film.
  • the paste was printed on a copper hull cell plate and a 10 mm square pattern was printed, and this was baked at 120 ° C. for 60 minutes to form a film.
  • the crystallite diameter was measured to determine the degree of crystal growth. I confirmed.
  • an X-ray diffractometer RINT-2100 manufactured by Rigaku Corporation
  • the tube was measured using a cobalt tube at a tube voltage of 40 kV and a tube current of 30 mA.
  • the crystallite diameter is calculated by the Scherrer method.
  • Example 1 (Synthesis example of silver nanoparticles) As an example of producing particles shown in Examples, an example of producing sorbic acid-coated silver nanoparticles will be described.
  • a 500 mL beaker 13.4 g of silver nitrate (manufactured by Toyo Chemical Co., Ltd.) was dissolved in 72.1 g of pure water to prepare a silver solution.
  • a silver solution was added to react. Thereafter, aging was performed for 30 minutes to form silver nanoparticles coated with sorbic acid. Thereafter, the mixture was filtered with No5C filter paper and washed with pure water to obtain silver nanoparticle aggregates. The aggregate was dried in the air at 80 ° C. for 12 hours in a vacuum dryer to obtain an aggregate of dried silver nanoparticle powder.
  • agglomerates those obtained by, for example, substituting organic substances on the surface of the particles as appropriate or directly using the same method as described above were used.
  • the mixture thus obtained was passed five times by a three-roll (EXAKT, manufactured by Apartabaus Co., Ltd. model M-80S) to prepare a conductive paste.
  • the obtained conductive paste was printed on a substrate and subjected to heat treatment at 120 ° C. for 60 minutes (hereinafter referred to as “120 ° C. 60 minutes”) to form a conductive film.
  • the volume resistivity of the obtained conductive film was 24 ⁇ ⁇ cm after treatment at 120 ° C. for 60 minutes.
  • FIG. 3 is an SEM photograph at a magnification of 50,000 times, and one scale below the photograph corresponds to 1 ⁇ m. From this photograph, it can be seen that 2 to 3 lumps, which were originally in the form of particles, were welded one by one. From this, it was confirmed that even at a low temperature of 120 ° C., the form of primary particles was not maintained and grain growth occurred.
  • Example 1 ⁇ Comparative Example 1> In Example 1, Example 1 was repeated except that the additive malonic acid was not added. Table 1 shows the physical properties of the obtained fired film.
  • the crystallite diameter by X-ray was 29.90 nm. Further, the obtained fired film has a slightly reddish color. When the color of the film is obtained by a color difference meter, L * is 63.5, a * is 4.04, and b * is 4.1. there were. Furthermore, when the form of the fired film was observed by SEM, the form as shown in FIG. 4 was confirmed.
  • FIG. 4 is a photograph with the same magnification as FIG. 3, and one scale below the photograph corresponds to 1 ⁇ m. In FIG. 4, it was confirmed that fine particles were maintained as they were as compared with FIG. From this, it was found that since the temperature was as low as 120 ° C., the fine particles kept their form as they were, and the grain growth was not so advanced.
  • Example 2 ⁇ Examples 2 to 5>
  • Example 1 the same method as in Example 1 was used except that the amount of malonic acid as an additive was changed and the viscosity was adjusted as described above, resulting in a blending amount as shown in Table 1.
  • a conductive paste was prepared, and a fired film was prepared.
  • Table 1 shows the physical properties of the obtained fired film.
  • FIG. 1 shows that when the ratio of the additive amount to the coating agent amount exceeds 0.25, the volume resistivity is stabilized at a very low value (36 ⁇ ⁇ cm or less).
  • Example 6 ⁇ Examples 6 to 8>
  • the method of Example 1 was repeated except that the type of silver nanoparticles constituting the conductive paste was changed as shown in Table 1.
  • the viscosity adjustment was performed as mentioned above that the constituent ratios of the resin and the like are different.
  • Table 1 shows the physical properties of the obtained fired film.
  • Example 9 ⁇ Examples 9 to 10>
  • the method of Example 1 was repeated except that the compounding amount of the silver nanoparticles was changed as shown in Table 1.
  • Table 1 shows the physical properties of the obtained fired film.
  • Example 1 was repeated except that the type of additive added in Example 1 was changed. Table 1 shows the physical properties of the obtained fired film.
  • Example 13 a conductive paste was prepared and obtained in the same manner as in Example 1 except that sorbic acid-coated silver flaky powder (average particle size: 3 ⁇ m) was used and the blending amounts shown in Table 1 were used. Table 2 shows the physical properties of the fired film.
  • Example 14 In Example 13, Example 13 was repeated except that the amount of malonic acid added was reduced to the amount shown in Table 2. Table 2 shows the physical properties of the obtained fired film. Although the resistance is somewhat high, it can be seen that a conductive film has been formed.
  • Example 13 was repeated except that malonic acid was not added in Example 13.
  • Table 2 shows the physical properties of the obtained fired film. It can be seen that if no malonic acid is added, no electrical conductivity is obtained.
  • Example 11 was repeated except that the silver flake powder used was replaced with one coated with oleic acid (18 carbon atoms).
  • Table 2 shows the physical properties of the obtained fired film. It can be seen that even when malonic acid, which is a sintering accelerator, is added, conductivity cannot be obtained at all when long-chain oleic acid is used.
  • Example 15 In order to confirm whether the same effect can be obtained even in a mixed state of nanoparticles and micron particles, half the amount of flake powder in Example 13 was replaced with sorbic acid-coated silver nanoparticles used in Example 1. Example 13 was repeated except that. Table 2 shows the physical properties of the obtained fired film. It was confirmed that a conductive film having a lower resistance than that of Example 13 was formed.
  • Example 16 comparative example 6> Example 1 was repeated except that the amount of the resin (thermoplastic polyurethane resin Juliano 8001) in Example 1 was changed to the amount shown in Table 3. Comparative Example 6 shows the results obtained when no malonic acid was added in Example 16. As shown in Table 3, it can be seen that the conductivity is dramatically improved by adding malonic acid.
  • Example 17 Comparative Example 7> Example 1 was repeated except that the resin in Example 1 (thermoplastic polyester resin Byron 500 / manufactured by Toyobo Co., Ltd.) was used and the amount was changed to the amount shown in Table 3. Comparative Example 7 shows the results obtained when no malonic acid was added in Example 17. As shown in Table 3, it can be seen that the conductivity is dramatically improved by adding malonic acid.
  • Example 1 thermoplastic polyester resin Byron 500 / manufactured by Toyobo Co., Ltd.
  • Example 18 Comparative Example 8> Example 1 was repeated except that the resin in Example 1 (thermoplastic acrylic resin BR-102 / manufactured by Mitsubishi Rayon Co., Ltd.) was used and the amount was changed to the amount shown in Table 3. Comparative Example 8 shows the results obtained when no malonic acid was added in Example 18. As shown in Table 3, it can be seen that the conductivity is dramatically improved by adding malonic acid.
  • Example 1 thermoplastic acrylic resin BR-102 / manufactured by Mitsubishi Rayon Co., Ltd.
  • Example 19 comparative example 9> Example 1 was repeated except that the resin in Example 1 (thermosetting phenol resin register top PL4348 / manufactured by Gunei Chemical Co., Ltd.) was used and the amount was changed to the amount shown in Table 3. Comparative Example 9 shows the results obtained when no malonic acid was added in Example 19. As shown in Table 3, it can be seen that the conductivity is dramatically improved by adding malonic acid.
  • Example 20 and Comparative Example 10 Example 1 was repeated except that the resin in Example 1 (thermosetting epoxy resin 828XA / Mitsubishi Chemical Co., Ltd.) was used and the amount was changed to the amount shown in Table 3. Comparative Example 10 shows the results obtained when no malonic acid was added in Example 20. As shown in Table 3, it can be seen that the conductivity is dramatically improved by adding malonic acid.
  • Example 1 thermosetting epoxy resin 828XA / Mitsubishi Chemical Co., Ltd.
  • Example 1 was changed except that the type and addition amount of silver nanoparticles constituting the conductive paste in Example 1 were changed as shown in Table 1, and the addition amount of resin was changed as shown in Table 3. Repeated. Table 3 shows the physical properties of the obtained fired film.
  • FIG. 16 to 20 the relationship between the resin used and the volume resistivity in Examples 16 to 20 and Comparative Examples 6 to 10 is shown in FIG.
  • the vertical axis represents volume resistivity ( ⁇ ⁇ cm), and the horizontal axis represents the type of resin.
  • the resistance value that was too high to be measured was shown as “OR” in Table 3 and 1000 ⁇ ⁇ cm in FIG.
  • the present invention to which malonic acid is added has several tens of ⁇ ⁇ cm, and the difference is clear.
  • Table 4 shows the relationship between the measurement results of the color of Examples 1, 2, 7, 18, and 19 and Comparative Examples 1, 2, 8, and 9 and the volume resistivity. .
  • an a * value of 2.0 or less indicates a non-red color and a yellowish color considering that b * is 10 or more.
  • FIG. 5 shows the relationship between a * and volume resistivity ( ⁇ ⁇ cm).
  • the vertical axis represents volume resistivity ( ⁇ ⁇ cm), and the horizontal axis represents a *. It can be seen that the volume resistivity decreases when a * is 2.0 or less.
  • examples in which the resin is different are plotted in FIG. 5, and FIG. 5 shows that the volume resistivity can be lowered regardless of the type of resin if the dicarboxylic acid of the present invention is included. It shows that you can.
  • the conductive paste according to the present invention can be suitably used for “printed electronics”, and is currently under investigation, printing CPU, printing illumination, printing tag, all-print display, sensor, printed wiring board, organic solar cell It can be used for electronic books, nanoimprint LEDs, liquid crystal / PDP panels, and print memories.

Abstract

 その構成される樹脂が、熱硬化性であるか、熱可塑性であるかの種類によらず、120℃程度の低温であっても高い導電性を発現する導電膜を形成することのできる導電性ペーストを提供すること。 導電性膜の形成方法であって、炭素数2~8のカルボン酸もしくはその誘導体からなる有機物で被覆された銀ナノ粒子、分散媒および樹脂から構成されるペーストに炭素数2~8のジカルボン酸が添加された、導電性ペーストを配線形成ペーストとして用いる。

Description

低温焼結性導電性ペーストおよびそれを用いた導電膜と導電膜の形成方法
 本発明は、低温処理であっても導電性に優れた導電回路を形成することが可能な導電性ペーストおよびそれを用いて作製した導電膜および導電膜の形成方法に関する。
 金属粒子、樹脂、溶剤からなる導電性ペーストは、電子機器なかでも金属の微細配線に利用されている。昨今では電子機器の小型化が顕著になり、より微細な配線が必要となってきている。
 従来から利用されているセラミック基板のみならず、高分子からなる基板の使用も検討されている。ところが、こうした高分子材料は一般的に耐熱性が弱く、従来型のペーストでは導電性を確保するために必要な熱処理(例えば、大気中250℃1時間の焼成など)では、変形することがある。そこで、このような基板にも利用できるように、低温焼成でも導電膜が形成できる導電性ペーストが求められるようになってきた。
 低温での焼成でも導電膜が形成できる導電性ペーストとしては、こうした課題を解決すべく、特に近年、ミクロンオーダーの粒子とは異なる物性を有したナノオーダーの金属粒子(平均一次粒子径~200nm:以後「金属ナノ粒子」と呼ぶ)を用いたペーストが検討されるようになってきた。こうした粒子を採用することによって、とりわけ微細配線に好適なペーストを提供することができる。
 しかし、金属ナノ粒子の活性は極めて高いので、粒子表面に有機物による保護層を形成させ、粒子の独立性を担保しているものがほとんどである。ところが、こうした保護層は粒子を保存する際には有効に寄与するものの、金属的な性質を発現させるときに阻害要因として働くことがある。この場合、配線が形成できたとしても、抵抗が大きく実用的ではないことがある。
 特許文献1に記載された技術では、ナノオーダーの銀粒子ペーストについて、イオン交換能を有する物質を添加すれば、銀粒子表面の有機保護膜を剥離させることが出来るとされている。そして150℃で10分程度の熱処理であっても4~10μΩ・cmという体積抵抗率の配線が得られると記載されている。しかし、この開示されている技術を利用すると、ドライオンウエットあるいはウエットオンウエットといった特殊な塗布方法を採用する必要があり、複雑な微細配線を形成するには難がある。
 特許文献2には、ペースト中に、アルキル基からなる側鎖を有する二塩基酸および脂環構造を有する二塩基酸のどちらか一方を含む、エポキシ樹脂とフェノール樹脂からなる導電性ペーストが開示されている。このペーストは、前記二塩基酸が銀粒子表面の酸化膜を除去する役割を果たし、180℃10分間と熱処理で17~25μΩ・cmという体積抵抗率を示す配線が得られると記載されている。しかし、特許文献2に記載されている技術では150℃より低い領域において十分な導電性を発現するには至っていない。
特開2010-132736号 特開2009-298963号
 特に耐熱性の低い基板を利用しようとすると、変形などが生じない120℃近傍での熱処理が望まれる。すなわち、120℃程度の加熱温度で、導電性粒子の間に接触・焼結が生じて導電性を発現するような導電性ペーストは、極めて利用価値は高く、様々な用途に応用可能である。しかし上述のような先行技術ではここまで低温である導電性ペーストは提供されていない。
 また、樹脂の種類によらず低抵抗化を図ることの出来るペーストが提供できるようになれば、その目的に応じたペーストの設計も可能になり、また適用分野も広くなることが期待される。
 本発明はかような要望に鑑みて完成されたものである。すなわち、本明細書にて開示する内容は、120℃程度の低い温度での熱処理より形成することができ、低体積抵抗率を示す金属導電膜を提案することにある。さらに具体的には、構成成分の樹脂が熱硬化性樹脂であっても、熱可塑性樹脂であっても、それらの違いを考慮することなく、低温での処理という条件下で低抵抗を示す導電膜が形成できうる導電性ペーストを示すことにある。
 本発明にかかる導電膜を形成できうる導電性ペーストとは、具体的には炭素数2~8のカルボン酸もしくはその誘導体からなる有機物で被覆された金属粒子と、分散媒および樹脂と、炭素数2~8のジカルボン酸を含む導電性ペーストである。本明細書でいう「誘導体」とはその主たる構造が炭素数2~8のカルボン酸構造を有するが、その分子内の一部分が他の官能基に置換されたものをいう。なお、ここで金属種を「銀」としたものを特に「樹脂型銀ペースト」とも呼ぶ。
 上記構成の導電性ペーストに添加されるジカルボン酸は導電性ペーストの総重量に対して0.05~2.0質量%の範囲であるとよい。
 上記構成の導電性ペーストに添加されるジカルボン酸の沸点もしくは分解温度と銀粒子の表面を構成する主として炭素数2~8のカルボン酸がより好適である。
 上記構成の樹脂型銀ペーストは、さらに金属粒子を分散させうる分散剤を含むものであれば、より好適である。
 上記構成の導電性ペーストを熱処理して形成される配線は、銀同士が接触もしくは焼結することで導電性を発現させる構造を有する。
 そして、上記構成の導電性ペーストを120℃60分間大気中にて焼成して得られる導電膜は、L*a*b*表色系で示した場合のa*値が2.0以下である導電膜になる。
 また、本発明の導電性配線の形成方法としては、前記導電性ペーストを基板上に塗布する工程、大気中もしくは不活性雰囲気中で100~200℃の条件で熱処理し塗布した前記導電性ペーストを金属膜化する工程を有するものである。
 上述の導電性ペーストの構成、とりわけその構成中にジカルボン酸を添加することにより、従来の熱処理温度より低温であっても低抵抗な配線を形成することが出来るようになる。あわせて、熱硬化性若しくは熱可塑性といった樹脂の種類を選ばないことが確認されたので、その適用しようとする用途に柔軟に対応できるようになり、利用分野を飛躍的に広げることが出来るようになる。
実施例1~5の焼結促進成分と粒子表面を被覆する有機物との質量比変化と体積抵抗値を関連づけた図である。 各樹脂に対して、焼結促進成分であるマロン酸を添加した場合と添加していない場合の体積抵抗率を示した図である。なお、ポリウレタン樹脂とポリエステル樹脂の焼結促進成分を添加しない場合にはともにオーバーレンジであったが、便宜的に「振り切った」として示している。 実施例1として示す、焼結促進成分を添加した場合の大気中120℃60分処理で得られた焼成膜の走査型電子顕微鏡写真(直接倍率5万倍)である。 比較例1として示す、焼結促進成分を添加しない場合の大気中120℃60分処理で得られた焼成膜の走査型電子顕微鏡写真(直接倍率5万倍)である。 ペーストを塗布し、大気中120℃60分加熱処理した焼成膜の色差をL*a*b*表色系で表した時のa*値と体積抵抗率との関係を示したグラフである。
 導電性の粒子としては、金、銀、銅、ニッケル、アルミニウムなどを用いることができるが、価格、信頼性の面より、銀が最も多用されている。したがって、本明細書では、銀粒子を導電性粒子として用いた例について具体的に説明を行うが、銀以外の物質にも本発明を適用することを妨げるものではない。
<銀ナノ粒子>
 本発明で銀ナノ粒子を用いる場合には、透過型電子顕微鏡(TEM)写真から算出される平均一次粒子径で200nm以下、好ましくは1~150nm、一層好ましくは10~100nmのものを使用する。このような粒子径をもつ粒子を使用することで、樹脂を使用したペーストにおいても、熱処理を120℃程度の低温で行っても、高い導電性を有する導電膜を形成することができる。
 透過型電子顕微鏡での平均一次粒子径の評価は、以下のように行った。まず、洗浄後の銀ナノ粒子2質量部をシクロヘキサン96質量部とオレイン酸2質量部との混合溶液に添加し、超音波によって分散させた。分散溶液を支持膜付きCuマイクログリッドに滴下し、乾燥させることでTEM試料とした。作製したTEM試料マイクログリッドを透過型電子顕微鏡(日本電子株式会社製JEM-100CXMark-II型)を使用し、100kVの加速電圧で、明視野で粒子を観察した像を観察した。また、この画像を引き伸ばすことで写真倍率を30万倍としたものを使用している。
 得られた写真から粒子径を算出するには、粒子を直接ノギス等で測定することもできるが、画像解析ソフトで粒子径を算出することも出来る。この時の平均一次粒子径は、TEM写真中における個々に独立した粒子について、少なくとも200個測定した結果を用いて、その数平均値で算定した。
 有機被覆物で被覆された銀ナノ粒子中の銀含有量は、灰分測定用灰皿に試料(有機被覆物で被覆された銀ナノ粒子)を0.5g以上秤量し、マッフル炉(ヤマト科学株式会社製のFO310)において約10℃/分の速度で700℃まで昇温させて、銀ナノ粒子の表面に存在する有機被覆物を除去した後、自然放冷により炉内の温度が500℃以下になった段階で灰皿を取り出して、デシケーター内で常温まで冷却し、冷却後の試料の重量と加熱処理前の重量を比較することによって算出することができる。なお、表面を被覆する有機物は、例えばTG-MSやGC-MSなどの加熱分析装置を用い、不活性雰囲気下において検出されるガス成分により知ることができる。
 本発明で使用する銀ナノ粒子は上記の平均一次粒子径を有するとともに、表面を有機物で被覆されている。具体的にこうした有機物とは炭素数2~8のカルボン酸もしくはその誘導体からなる有機物が好適に使用できる。具体的には次の物質に限定されるものではないが、飽和脂肪酸であるオクタン酸(カプリル酸)、ヘプタン酸(エナント酸)、ヘキサン酸(カプロン酸)、ペンタン酸(吉草酸)、ブタン酸(酪酸)、プロパン酸(プロピオン酸)などがあげられる。また、ジカルボン酸として、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸等があげられる。不飽和脂肪酸では、ソルビン酸、マレイン酸等があげられる。
 前記のうち、特にヘキサン酸、ヘプタン酸、アジピン酸、ソルビン酸により銀ナノ粒子表面を被覆させれば、容易に製造できかつ粉末の形態で提供されうる。こうした粉末の形態で提供されることは、本発明のようにペーストを形成するのにあたって、配合が行いやすくなるので好ましい。さらに、このような物質で表面が被覆された粒子は一次粒子の形態を保ちながら、凝集して容易に回収することができる。そのときの凝集塊は少なくともJISP-3801の5種Cで回収可能な大きさなので、2.5μm以上であるといえる。
 なお、濾過回収すると清澄な濾液が得られることから、上記の2.5μmという凝集(二次)粒子径はいわゆる銀粒子の平均粒子径(D50)とは異なるものである。なぜなら、上記の粒子径がD50値であるとすると、ろ紙により濾過できずに通過する凝集塊が多くなると考えられるからである。したがって、上記の凝集(二次)粒子径は、平均値ではなく少なくとも2.5μm程度の大きさを有するような凝集塊となると解釈してもよい。また、低温(100℃未満)での乾燥操作を加えれば、乾燥粒子として回収することもできる。
 また、複数の有機物により被覆された銀ナノ粒子を使用すること、もしくは異なる平均一次粒子径を有した銀ナノ粒子を併用することも可能である。
<銀サブミクロン粒子>
 発明者らは、ある程度粒子径の大きい銀粒子であっても、特定の要件を満たすことにより、銀ナノ粒子と同様の効果を示すことを知った。平均粒子径(D50)が0.5~20μmの、これらの粒子を銀ナノ粒子に対して銀サブミクロン粒子と呼ぶ。具体的態様として被覆に用いる有機酸は炭素数2~8のカルボン酸もしくはその誘導体からなる有機物を使用し、粒子表面を被覆することである。次の物質に限定されるものではないが、飽和脂肪酸であるオクタン酸(カプリル酸)、ヘプタン酸(エナント酸)、ヘキサン酸(カプロン酸)、ペンタン酸(吉草酸)、ブタン酸(酪酸)、プロパン酸(プロピオン酸)などがあげられる。また、ジカルボン酸として、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸等があげられる。不飽和脂肪酸では、ソルビン酸、マレイン酸等があげられる。
 こうした粒子は予め銀粒子の製造段階から被覆させたものを使用することも出来るし、予め市販されている粒子に対して、置換法などにより被覆している物質を変更したものも使用することが出来る。なお、本明細書では、「銀粒子」は「銀ナノ粒子」と「銀サブミクロン粒子」を含む。
<分散媒>
 本発明にかかるペーストは、銀粒子(銀ナノ粒子および銀サブミクロン粒子を含む)を分散媒に分散させる。この時に使用する分散媒は極性溶媒であることが好ましい。極性溶媒を選択すれば、蒸気圧が低いため取扱には好適である。
 特に各種の樹脂と相溶する性質を有するものを使用すれば問題ないが、エステル系、エーテル系、ケトン系、エーテルエステル系、アルコール系、炭化水素系、アミン系などの有機溶剤を使用するのが好ましい。
 具体例としては、水、オクタンジオールなどのジオール類、アルコール、ポリオール、グリコールエーテル、1-メチルピロリジノン、ピリジン、ターピネオール、ブチルカルビトール、ブチルカルビトールアセテート、テキサノール、フェノキシプロパノール、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、γ-ブチロラクトン、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテート、メトキシプロピルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、乳酸エチル、1-オクタノールなどがあげられる。
 特に、導電性ペーストは、一般に印刷によって回路を形成するために使用されるので、印刷時の揮発性が低い高沸点溶剤を使用するのが好ましく、テルピネオールやブチルカルビトールアセテート、オクタンジオールを使用するのがさらに好ましい。また、複数種類の溶剤を組み合わせて使用してもよい。この溶剤の量は、樹脂と金属成分の総量に対して60質量%以下であるのが好ましく、50質量%以下であるのがさらに好ましい。
<分散剤成分>
 本発明にかかるペーストには銀粒子粉末をほどよく分散させる分散剤を添加しても良い。こうした分散剤を使用することで、ペースト中では粒子の独立性を確保する。その性質としては、粒子表面と親和性を有するとともに分散媒に対しても親和性を有するものであればよく、市販汎用のものであってもよい。また、単独の種類のみならず、併用使用しても構わない。この添加量は、銀ナノ粒子および銀サブミクロン粒子を含めた総銀質量に対して3.0質量%以下、好ましくは1.0質量%以下、一層好ましくは0.5質量%以下である。
 こうした性質を有する分散剤としては、脂肪酸塩(石けん)、α-スルホ脂肪酸エステル塩(MES)、アルキルベンゼンスルホン酸塩(ABS)、直鎖アルキルベンゼンスルホン酸塩(LAS)、アルキル硫酸塩(AS)、アルキルエーテル硫酸エステル塩(AES)、アルキル硫酸トリエタノールといった低分子陰イオン性(アニオン性)化合物、脂肪酸エタノールアミド、ポリオキシエチレンアルキルエーテル(AE)、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル(APE)、ソルビトール、ソルビタンといった低分子非イオン系化合物、アルキルトリメチルアンモニウム塩、ジアルキルジメチルアンモニウムクロリド、アルキルピリジニウムクロリド、といった低分子陽イオン性(カチオン性)化合物、アルキルカルボキシルベタイン、スルホベタイン、レシチンといった低分子両性系化合物や、ナフタレンスルホン酸塩のホルマリン縮合物、ポリスチレンスルホン酸塩、ポリアクリル酸塩、ビニル化合物とカルボン酸系単量体の共重合体塩、カルボキシメチルセルロース、ポリビニルアルコールなどに代表される高分子水系分散剤、ポリアクリル酸部分アルキルエステル、ポリアルキレンポリアミンといった高分子非水系分散剤、ポリエチレンイミン、アミノアルキルメタクリレート共重合体といった高分子カチオン系分散剤が代表的なものであるが、本発明の粒子に好適に適用されるものであれば、ここに例示したような形態のもの以外の構造を有するものを排除しない。
 分散剤として、具体的名称を挙げると次のようなものが知られているが、上述の性質を有する場合には、本欄に記載のもの以外のものの使用を排除するものではない。たとえば、三洋化成株式会社製のビューライトLCA-H、LCA-25Hなど、共栄社化学株式会社製のフローレンDOPA-15Bなど、日本ルーブリゾール株式会社製のソルプラスAX5、ソルスパース9000、ソルシックス250など、エフカアディティブズ社製のEFKA4008など、味の素ファインテクノ株式会社製のアジスパーPA111など、コグニクスジャパン株式会社製のTEXAPHOR-UV21など、ビックケミー・ジャパン株式会社製のDisperBYK2020やBYK220Sなど、楠本化成株式会社製のディスパロン1751N、ハイブラッドED-152など、株式会社ネオス製のFTX-207S、フタージェント212Pなど、東亞合成株式会社製のAS-1100など、花王株式会社製のカオーセラ2000、KDH-154、MX-2045L、ホモゲノールL-18、レオドールSP-010Vなど、第一工業製薬株式会社製のエパンU103、シアノールDC902B、ノイゲンEA-167、プライサーフA219Bなど、DIC株式会社製のメガファックF-477など、日信化学工業株式会社製のシルフェイスSAG503A、ダイノール604など、サンノプコ株式会社製のSNスパーズ2180、SNレベラーS-906など、AGCセイミケミカル社製のS-386などが例示できる。
 さらに、分散剤の他、ペーストの安定性や印刷性を改善するための各種添加剤を添加しても良い。例えば、レベリング剤、粘度調整剤、レオロジーコントロール剤、消泡剤、ダレ防止剤などがあげられる。
<樹脂>
 本発明のペーストに添加されるべき樹脂は、広く知られている熱硬化型もしくは熱可塑型のいずれの樹脂も採用することが出来る。樹脂の添加量としては、銀ナノ粒子と銀サブミクロン粒子を合わせた総銀質量と樹脂の合計質量に対して2~20質量%、好ましくは2~15質量%の添加量とするのがよい。添加をする樹脂量が多すぎると、焼成後に樹脂が必要以上に配線中に残ってしまい、導電性にも多大な影響を与えるため好ましくない。一方添加量を少なくすると配線と基板との密着性が確保できないため、少なくとも2質量%程度の添加は必要である。
(熱可塑性樹脂)
 本発明においては、知られている熱可塑性樹脂のいずれも使用することが出来るが、なかでも、アクリル樹脂やポリエステル樹脂やポリウレタン樹脂を添加するのが好ましい、一般的に知られているものとして、次のようなものが知られているが、上述の性質を有する場合には、本欄に記載のもの以外のものの使用を排除するものではない。
 ポリウレタン樹脂は、通常市販されている熱可塑性ウレタン樹脂であれば特に制限されることはない。例えば、ポリオール成分と有機ポリイソシアネートを必須成分とし、任意成分として鎖伸長剤、停止剤等を用いて重合させて得られる熱可塑性ウレタン樹脂といったものが挙げられる。
 ここで、上記に用いられるポリイソシアネートとしては、ヘキサメチレンジイソシアネート(HDI)、リジンイソシアネート(LDI)、イソホロンジイソシアネート(IPDI)、キシリレンジイソシアネート(XDI)、水添XDI(H-XDI)、水添MDI(H12-MDI)、トランスシクロヘキサン1,4-ジイソシアネート、テトラメチルキシレンジイソシアネート(TMXDI)、1,6,11-ウンデカントリイソシアネート、1,8-ジイソシアネート-4-イソシアネートメチルオクタン、1,3,6-ヘキサメチレントリイソシアネート、ビシクロヘプタントリイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート(TMDI)等やこれらの誘導体があげられ、なかでも、黄変性が少ない等の点で、HDI、IPDI、H-XDI、H12-MDIがより好適である。
 また、上記ポリイソシアネートとともに用いられるポリオールとしては、ポリオールとしての結晶性の低いものが好ましいと考えられる。具体的には、ポリエチレンアジペート(PEA)、ポリブチレンアジペート(PBA)、ポリカーボネート(PCD)、ポリテトラメチレングリコール(PTMG)、ポリカプロラクトンポリエステル(PCL)、ポリプロピレングリコール(PPG)等が例示できる。
 アクリル樹脂は、(メタ)アクリル酸エステル単位および/または(メタ)アクリル酸単位を構成単位として有する樹脂のことを指す。(メタ)アクリル酸エステルまたは(メタ)アクリル酸の誘導体に由来する構成単位を有しているようなものでもよい。
 ここで、(メタ)アクリル酸エステル単位としては、例えば、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸n-プロピル、(メタ)アクリル酸n-ブチル、(メタ)アクリル酸t-ブチル、(メタ)アクリル酸n-ヘキシル、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸2-エチルヘキシル、(メタ)アクリル酸ベンジル、(メタ)アクリル酸ジシクロペンタニルオキシエチル、(メタ)アクリル酸ジシクロペンタニル、(メタ)アクリル酸クロロメチル、(メタ)アクリル酸2-クロロエチル、(メタ)アクリル酸2-ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸3-ヒドロキシプロピル、(メタ)アクリル酸2,3,4,5,6-ペンタヒドロキシヘキシル、(メタ)アクリル酸2,3,4,5-テトラヒドロキシペンチル、2-(ヒドロキシメチル)アクリル酸メチル、2-(ヒドロキシメチル)アクリル酸エチル、2-(ヒドロキシエチル)アクリル酸メチルなどの単量体に由来する構成単位のことをいう。
 一方、(メタ)アクリル酸単位としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、2-(ヒドロキシメチル)アクリル酸、2-(ヒドロキシエチル)アクリル酸などの単量体に由来する構成単位のことをいう。
 ポリエステル樹脂としては通常知られている樹脂のいずれも使用することが出来る。その製造方法を例示すると、低分子ジオールをポリカルボン酸もしくはそのエステル形成性誘導体[酸無水物、低級アルキル(炭素数1~4)エステル、酸ハライド等]との縮合重合により形成させたものや低分子ジオールを開始剤としてラクトンモノマーを開環重合したもの等を上げることが出来る。またこれらの2種以上の混合物を使用することも妨げない。
(熱硬化型樹脂)
 本発明においては、知られている熱硬化性樹脂のいずれも使用することが出来る。具体例としては、熱硬化性樹脂としては、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、イソシアネート化合物、メラミン樹脂、尿素樹脂、シリコーン樹脂などから選択することができる。ここでは、エポキシ樹脂とフェノール樹脂について説明する。
 本発明にかかるエポキシ樹脂としては、塗膜の耐候性を改善する効果がある。具体的に、エポキシ樹脂としては、モノエポキシ化合物、多価エポキシ化合物のいずれか又はそれらの混合物が用いられる。ここでモノエポキシ化合物としては、ブチルグリシジルエーテル、ヘキシルグリシジルエーテル、フェニルグリシジルエーテル、アリルグリシジルエーテル、パラ-tert-ブチルフェニルグリシジルエーテル、エチレンオキシド、プロピレンオキシド、パラキシリルグリシジルエーテル、グリシジルアセテート、グリシジルブチレート、グリシジルヘキソエート、グリシジルベンゾエート等を挙げることができる。
 多価エポキシ化合物としては、例えば、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールAD、ビスフェノールS、テトラメチルビスフェノールA、テトラメチルビスフェノールF、テトラメチルビスフェノールAD、テトラメチルビスフェノールS、テトラブロモビスフェノールA、テトラクロロビスフェノールA、テトラフルオロビスフェノールA等のビスフェノール類をグリシジル化したビスフェノール型エポキシ樹脂;ビフェノール、ジヒドロキシナフタレン、9,9-ビス(4-ヒドロキシフェニル)フルオレン等のその他の2価フェノール類をグリシジル化したエポキシ樹脂;1,1,1-トリス(4-ヒドロキシフェニル)メタン、4,4-(1-(4-(1-(4-ヒドロキシフェニル)-1-メチルエチル)フェニル)エチリデン)ビスフェノール等のトリスフェノール類をグリシジル化したエポキシ樹脂;1,1,2,2,-テトラキス(4-ヒドロキシフェニル)エタン等のテトラキスフェノール類をグリシジル化したエポキシ樹脂;フェノールノボラック、クレゾールノボラック、ビスフェノールAノボラック、臭素化フェノールノボラック、臭素化ビスフェノールAノボラック等のノボラック類をグリシジル化したノボラック型エポキシ樹脂等;多価フェノール類をグリシジル化したエポキシ樹脂、グリセリンやポリエチレングリコール等の多価アルコールをグリシジル化した脂肪族エーテル型エポキシ樹脂;p-オキシ安息香酸、β-オキシナフトエ酸等のヒドロキシカルボン酸をグリシジル化したエーテルエステル型エポキシ樹脂;フタル酸、テレフタル酸のようなポリカルボン酸をグリシジル化したエステル型エポキシ樹脂;4,4-ジアミノジフェニルメタンやm-アミノフェノール等のアミン化合物のグリシジル化物やトリグリシジルイソシアヌレート等のアミン型エポキシ樹脂等のグリシジル型エポキシ樹脂と、3,4-エポキシシクロヘキシルメチル-3’,4’-エポキシシクロヘキサンカルボキシレート等の脂環族エポキサイド等が例示される。
 上述のエポキシ樹脂の中でも、貯蔵安定性を高めるという観点から、多価エポキシ化合物が好ましい。多価エポキシ化合物のなかでも、生産性が圧倒的に高いので、グリシジル型エポキシ樹脂が好ましく、より好ましくは、硬化物の接着性や耐熱性が優れることから、多価フェノール類をグリシジル化したエポキシ樹脂が好ましい。いっそう好ましくはビスフェノール型エポキシ樹脂であるのがよく、とりわけ、ビスフェノールAをグリシジル化したエポキシ樹脂とビスフェノールFをグリシジル化したエポキシ樹脂がよい。
 また、樹脂の形態としては液状を呈しているものが好ましい。なお、エポキシ当量としては300以下であることが好ましい。エポキシ当量が300よりも大きい値になると、組成物が固形になり抵抗値が高くなるとともに使用する際に取扱が不便であるので好ましくない。
 熱硬化性のフェノール樹脂としては、例えば、液状ノボラック型フェノール樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ジシクロペンタジエン系フェノール樹脂、テルペン系フェノール樹脂、トリフェノールメタン系樹脂、フェノールアラルキル樹脂などが挙げられる。
<導電性向上成分>
 本発明にかかる導電性ペーストには上記の成分に加えて、導電性向上成分としての有機物を添加することが最たる特徴である。具体的にはカルボキシル基を少なくとも二つ有したジカルボン酸を選択するのがよい。こうした構成の物質を選択して添加することにより、有機物で被覆された銀ナノ粒子もしくは銀サブミクロン粒子からなる導電性ペーストを低温での熱処理であっても、銀ナノ粒子もしくは銀サブミクロン粒子の焼結が生じ、高導電性を発現する導電膜となすことが出来るようになる。
 上記導電性向上成分は、ジカルボン酸構造を有するシュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸などが例示できる。構造中における合計炭素数が多くなると、活性が下がり銀ナノ粒子もしくは銀サブミクロン粒子を含む導電性ペーストを低温での熱処理では、銀ナノ粒子もしくは銀サブミクロン粒子の焼結を生じさせにくくなることに起因して、高導電性を発現する導電膜となすことが出来にくくなる。また、あまり高炭素数のものを使用すると、添加した物質そのものが焼結の抑制あるいは膜内に残存することによって、高導電性を発現しにくくなるので好ましくない。
 より具体的には、ジカルボン酸としては、構造中における合計炭素数が少ないほど好ましく、炭素数が2~8、好ましくは2~7、一層好ましくは2~5の範囲のジカルボン酸である。また、こうした成分は導電性ペーストの総重量に対して0.05~2.0質量%であるとよく、好ましくは0.1~1.5質量%の範囲である。
 導電性ペースト中に含まれるジカルボン酸の量は、たとえば高速液体クロマトグラフィー(HPLC)、ポリマー系逆相クロマトグラフィーを使用して、確認することが出来る。
<導電性ペーストの製造>
 本発明に従う導電性ペーストは、上述のように銀ナノ粒子の表面が炭素数2~8の有機物により被覆されたものを用いて製造される。そのような構成の銀ナノ粒子の製造方法は何ら制限を受けるものではないが、例えば公知の銀ナノ粒子の表面を上述の範囲の炭素数の有機物で置換することなどが例示できる。
 そして銀ナノ粒子と上述の性質を有する導電性向上成分と場合により分散剤を、上述の極性溶媒へ添加する。なお、ここで銀サブミクロン粒子を含有させてもよい。その後、混練脱泡機へ導入して該成分の混練物を形成させる。その後、場合によって機械的分散処理を行ってペーストを形成させる。
 上記の機械的分散処理には銀粒子の著しい改質を伴わないという条件下において、公知のいずれの方法も採用することが可能である。具体的には、超音波分散、ディスパー、三本ロールミル、ボールミル、ビーズミル、二軸ニーダー、自公転式攪拌機などが例示でき、これらは単独あるいは複数を併用して使用することも可能である。
<導電膜の評価>
(印刷方法)
 スクリーン印刷機、あるいはメタルマスクを用いて、作製した導電性ペーストを印刷し、焼成した後、導電膜の評価を実施した。なお、実施例、比較例に用いたペーストは、かすれなどの印刷不良が起こらぬよう、粘度を30Pa・sとなるように作製しており、その配合量は表1~表3に記載した通りである。
(スクリーン印刷)
 膜厚34μmのスクリーン版を使用し、線幅300μmのパターンでポリエチレンテレフタラートフィルム(東レ製ルミラー75S10)に印刷した。得られた印刷基板を焼成炉(ヤマト科学株式会社製DKM400)にて、大気中120℃60分間で熱処理したものについて、体積抵抗率の算出を行った。
(メタルマスク印刷)
 膜厚30μmのメタルマスクを使用し、10mm□のパターンでアルミナ上にベタ印刷した。得られた印刷基板を焼成炉(ヤマト科学株式会社製DKM400)にて、大気中120℃60分間で熱処理したものについて、体積抵抗率の算出を行った。
<体積抵抗率の算出>
(配線)
 スクリーン印刷にて基板上に形成した配線の線抵抗を二端子型抵抗率計(日置電機株式会社製3540 ミリオームハイテスタ)で測定し、導電膜の厚みを表面粗度計(東京精密株式会社製のサーフコム1500D型)で測定して算出した。最終的に配線の体積抵抗率は、次の式(1)にて算出した。
体積抵抗率(μΩ・cm)=実測抵抗(Ω)×膜厚(μm)×線幅(μm)÷線長(μm)×10・・・(1)
(ベタ膜)
 メタルマスクにて基板上に印刷し、形成した10mm□パターンの導電膜の表面抵抗を四端子型抵抗率計(三菱化学株式会社製ロレスタGP MCP-T610型)で測定し、導電膜の厚みを表面粗度計(東京精密株式会社製のサーフコム1500D型)で測定して算出した。最終的に10mm□パターンのベタ膜の体積抵抗率は式(2)にて算出する。
体積抵抗率(μΩ・cm)=表面抵抗(Ω/□)×膜厚(μm)×100・・(2)
<色差>
 ペーストをガラス基板(EAGLE XG)上に縦2.0~2.5cm、横1.5~2.0cmでベタ印刷し、これを大気中120℃60分間焼成して膜を形成させたものについて、表色を測定した。なお、色差測定は、色差測定装置(日本電色工業株式会社製SQ-2000)を使用して行った。測定結果はL*a*b*表色系にて表記した。特に本発明にかかるペーストは、L*a*b*表色系にて示したときのa*値に特徴があり、ジカルボン酸からなる添加物を添加しないとき、この値が2.0よりも高くなり、添加した場合には2.0以下の値を示す。
 つまり、a*値が2.0よりも高い場合には、導電膜の抵抗が極端に高い値を示し、これよりも低い場合には導電膜の抵抗が低い。すなわち、本発明では、完成した導電膜にジカルボン酸が含有され、導電性に優れた導電膜となった時は、導電膜の色合いで判断することができる。
(焼成による結晶成長性評価)
 ペーストを銅ハルセル板上に10mm□パターンを印刷し、これを120℃60分間焼成して膜を形成させたものについて、X線回折測定を行うことで、結晶子径を測定し結晶の成長度合を確かめた。なお、この時にはX線回折装置(株式会社リガク製RINT-2100)を使用して行った。管球はコバルト管球を使用して、管電圧40kV、管電流30mAで測定した。結晶子の成長度合の算出は、結晶子径の大きさで比較する。特にAg(111)の回折面で行うため、2θ=40~50°の範囲(スキャンスピード:0.167°/分)で測定した。なお、結晶子径はシェラー法により算出している。
 まず、表1に記載した、銀ナノ粒子を用いた例について説明する。
<実施例1>
(銀ナノ粒子の合成例)
 実施例に示す粒子の作製例として、ソルビン酸被覆の銀ナノ粒子を製造する例について示す。500mLビーカーへ硝酸銀(東洋化学株式会社製)13.4gを純水72.1gへ溶解させ、銀溶液を作製した。
 続いて5Lビーカーに1.34Lの純水を仕込み、窒素を30分間通気させることで、溶存酸素を除去しつつ60℃まで昇温させた。ソルビン酸(和光純薬工業株式会社製)17.9gを添加した。そうしてから、pH調整のため28%アンモニア水(和光純薬工業株式会社製)2.82gを添加した。このアンモニア水添加により反応開始とする。これを撹拌しながら、反応開始5分経過後に含水ヒドラジン(純度80%/大塚化学株式会社製)5.96gを添加した。
 反応開始9分経過後に、銀溶液を添加し反応させた。その後30分熟成してソルビン酸で被覆された銀ナノ粒子を形成させた。その後No5Cのろ紙で濾過し、純水で洗浄して、銀ナノ粒子凝集体を得た。その凝集体を真空乾燥機にて大気中80℃12時間の条件で乾燥させ、銀ナノ粒子乾燥粉の凝集体を得た。こうして得られる凝集体は、適宜例えば粒子表面の有機物を置換したり、直接上記と同様の手法を用いたりすることで得られたものを使用した。
(導電性ペーストの作製)
 得られたソルビン酸被覆銀ナノ粒子凝集体乾燥粉(平均粒子径:100nm)70g、ブチルカルビトールアセテート(和光純薬株式会社製)8.9g、熱可塑性ポリウレタン樹脂ユリアーノ8001(荒川化学工業株式会社製)22.3g、高分子系顔料分散剤アジスパーPA-111(味の素ファインテクノ株式会社製)0.35g、マロン酸(和光純薬株式会社製)0.14gをそれぞれ添加して混合した。
 そうして得られた混合物を三本ロール(EXAKT Apparatebaus社製 M-80S型)にて、5回パスさせることで導電性ペーストを作製した。得られた導電性ペーストを基板に印刷し、120℃で60分の条件(以後「120℃60分」という。)で加熱処理して導電膜を形成させた。得られた導電膜の体積抵抗率は120℃60分の処理で24μΩ・cmであった。
 上述のX線回折による結晶子径は37.65nmであった。また、得られた焼成膜はやや黄色がかった色を呈しており、色差計により膜の表色を求めたところ、L*が60.9、a*が1.04、b*が9.3であった。さらにSEMによる焼成膜の形態観察を行ったところ、図3に示すような形態が確認された。図3は、5万倍でのSEM写真であり、写真下の1目盛が1μmに相当する。この写真からは、元は粒子状をしていた固まりが2から3個ずつ溶着し、1つのものになっている点が読み取れる。これより、120℃という低温であっても一次粒子の形態のままでなく、粒成長が生じていることが確認された。
<比較例1>
 実施例1において、添加剤であるマロン酸を添加しなかった以外は、実施例1を繰り返した。得られた焼成膜の物性を表1にあわせて示す。
 X線による結晶子径は29.90nmであった。また、得られた焼成膜はやや赤みがかった色を呈しており、色差計により膜の表色を求めたところ、L*が63.5、a*が4.04、b*が4.1であった。さらにSEMによる焼成膜の形態観察を行ったところ、図4に示すような形態が確認された。図4は図3と同倍率の写真であり、写真下の1目盛が1μmに相当する。図4では、図3と比較して、微細な粒子がそのままの形成で維持されていた点が確認できた。これより、120℃という低温であるため、微細な粒子がそのまま形態を保ち、粒成長がそれほど進んでいないことがわかった。
<実施例2~5>
 実施例1において、添加剤であるマロン酸の添加量を変化させかつ上述の通り粘度調整を行った結果、表1に示すような配合量とした以外は、実施例1と同様の手法を用いて導電性ペーストを作成し、焼成膜を作成した。得られた焼成膜の物性を表1にあわせて示す。
 実施例1~5に関して、添加剤の添加量とナノ銀粒子に被覆している被覆剤存在量の比と体積抵抗率の関係を図1に示す。図1において、縦軸は体積抵抗率(μΩ・cm)であり、横軸は添加剤量/被覆剤量(質量比)である。この値は表1にも示した。図1より、被覆剤量に対して添加剤量の割合が、0.25を超えると、体積抵抗率は極めて低い値(36μΩ・cm以下)で安定するのがわかる。
 なお、図1の添加剤の添加量とナノ銀粒子に被覆している被覆剤存在量の比は、存在量比=添加剤の添加量(g)/(銀ナノ粒子添加量(g)×ナノ銀粒子における被覆剤構成割合)で表すことができる。銀ナノ粒子の被覆剤構成割合とは、上記灰分測定により算出される有機物割合であり、被覆剤構成割合=1-(灰分処理後の残存重量(g)/灰分処理に付した試料重量(g))として表される。
 具体的数値でいうと、実施例1においては被覆剤構成割合は0.008(灰分測定により算出された金属割合=99.2%より)である。なお、実施例2~5においては、使用するナノ銀粒子の金属割合は99.2%のため、被覆剤割合は、0.008である。
<実施例6~8>
 実施例1において、導電性ペーストを構成する銀ナノ粒子の種類を表1に示すようにそれぞれ変化させた以外は実施例1の手法を繰り返した。なお、樹脂等の構成比が異なっているのは、上述のとおり粘度調整を行ったためである。得られた焼成膜の物性を表1にあわせて示す。
<実施例9~10>
 実施例1において、銀ナノ粒子の配合量を表1に示すように変化させた以外は実施例1の手法を繰り返した。得られた焼成膜の物性を表1にあわせて示す。
<実施例11~12、比較例2~3>
 実施例1において添加する添加剤の種類をそれぞれ変化させた以外は、実施例1を繰り返した。得られた焼成膜の物性を表1にあわせて示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
 添加が粒子径に依存しないことを確認するため、粒子径をさらに大きい粒子のものに適用した場合についても確認した。
<実施例13>
 実施例1において、ソルビン酸被覆銀フレーク状粉(平均粒径:3μm)を用い、かつ表1に記載の配合量とした以外は実施例1と同様にして導電性ペーストを作成し、得られた焼成膜の物性を表2にあわせて示す。
<実施例14>
 実施例13において、マロン酸添加量を表2に示す量に減少させた以外は実施例13を繰り返した。得られた焼成膜の物性を表2にあわせて示す。やや抵抗が高いものの、導電膜が形成できていることがわかる。
<比較例4>
 実施例13においてマロン酸を添加しなかった以外は実施例13を繰り返した。得られた焼成膜の物性を表2にあわせて示す。マロン酸を添加しなければ、導電性が全くとれていないことがわかる。
<比較例5>
 実施例13において、使用する銀フレーク粉をオレイン酸(炭素数18)で被覆したものに置き換えた以外は実施例11を繰り返した。得られた焼成膜の物性を表2にあわせて示す。焼結促進剤であるマロン酸を添加しても、長鎖となっているオレイン酸を使用すると導電性が全くとれないことがわかる。
<実施例15>
 ナノ粒子とミクロン粒子の混合状態でも同様の効果が得られるかどうかを確認するため、実施例13における半分の量のフレーク粉を実施例1で使用していたソルビン酸被覆銀ナノ粒子に置き換えた以外は実施例13を繰り返した。得られた焼成膜の物性を表2にあわせて示す。実施例13よりも低抵抗の導電膜が形成できていることが確認された。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
 本効果が特定の樹脂のみに発現するという性質でないことを示すため、樹脂の種類を種々変化させた例について示す。なお、これらの体積抵抗値は図2に比較して示した。
<実施例16、比較例6>
 実施例1における樹脂(熱可塑性ポリウレタン樹脂ユリアーノ8001)量を表3に示す分量に変化させた以外は実施例1を繰り返した。また、比較例6は実施例16において、マロン酸を添加しなかった場合の結果である。表3に記載したとおり、マロン酸を添加することで劇的に導電性が良くなっていることがわかる。
<実施例17、比較例7>
 実施例1における樹脂(熱可塑性ポリエステル樹脂バイロン500/東洋紡株式会社製)を使用し、表3に示す分量に変化させた以外は実施例1を繰り返した。また、比較例7は実施例17において、マロン酸を添加しなかった場合の結果である。表3に記載したとおり、マロン酸を添加することで劇的に導電性が良くなっていることがわかる。
<実施例18、比較例8>
 実施例1における樹脂(熱可塑性アクリル樹脂BR-102/三菱レイヨン株式会社製)を使用し、表3に示す分量に変化させた以外は実施例1を繰り返した。また、比較例8は実施例18において、マロン酸を添加しなかった場合の結果である。表3に記載したとおり、マロン酸を添加することで劇的に導電性が良くなっていることがわかる。
<実施例19、比較例9>
 実施例1における樹脂(熱硬化性フェノール樹脂レジトップPL4348/群栄化学株式会社製)を使用し、表3に示す分量に変化させた以外は実施例1を繰り返した。また、比較例9は実施例19において、マロン酸を添加しなかった場合の結果である。表3に記載したとおり、マロン酸を添加することで劇的に導電性が良くなっていることがわかる。
<実施例20、比較例10>
 実施例1における樹脂(熱硬化性エポキシ樹脂828XA/三菱化学株式会社製)を使用し、表3に示す分量に変化させた以外は実施例1を繰り返した。また、比較例10は実施例20において、マロン酸を添加しなかった場合の結果である。表3に記載したとおり、マロン酸を添加することで劇的に導電性が良くなっていることがわかる。
<実施例21>
 実施例1において導電性ペーストを構成する銀ナノ粒子の種類と添加量を表1に示すようにそれぞれ変化させ、樹脂の添加量を表3に示すように変化させた以外は、実施例1を繰り返した。得られた焼成膜の物性を表3にあわせて示す。
 また、実施例16~20と比較例6~10において、用いた樹脂と体積抵抗率の関係を図2に示す。縦軸は体積抵抗率(μΩ・cm)であり、横軸は樹脂の種類を示す。黒塗りバーで示した実施例では、抵抗値が高すぎて測定できなかったものを、表3では、「OR」と示し、図2では、1000μΩ・cmとした。マロン酸を添加した本発明は数十μΩ・cmであり、その違いは歴然している。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000003
 また、上記実施例および比較例中で、実施例1、2、7、18、19と比較例1、2、8、9の表色の測定結果と体積抵抗率の関係を表4に示した。体積抵抗率が数十(μΩ・cm)である実施例は全てa*が2.0以下なっており、a*が2.0以上より大きな比較例の体積抵抗率は、大変高いものとなっていた。L*a*b測定方式で、a*の値が2.0以下ということは、赤ではない色で、b*が10以上であることを考慮すると黄色みがかっていることを示している。
 また、図5には、a*と体積抵抗率(μΩ・cm)の関係を表す。縦軸は体積抵抗率(μΩ・cm)、横軸にはa*を示した。a*が2.0以下になると体積抵抗率が低下しているのがわかる。なお、図5においてプロットしたのは樹脂が異なる実施例もふくまれており、図5は、本発明のジカルボン酸が含まれていれば、樹脂の種類に関わらず、体積抵抗率を低くすることができることを示している。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000004
 本発明に従う導電性ペーストは、「プリンテッド・エレクトロニクス」へ好適に使用でき、現在検討が進められている、印刷CPU、印刷照明、印刷タグ、オール印刷ディスプレイ、センサ、プリント配線板、有機太陽電池、電子ブック、ナノインプリントLED、液晶・PDPパネル、印刷メモリと言ったものに使用することができる。

Claims (6)

  1.  炭素数2~8のカルボン酸もしくはその誘導体からなる有機物で被覆された銀粒子と、分散媒および樹脂と、炭素数が2~8であるジカルボン酸を含む導電性ペースト。
  2.  前記導電性ペーストに添加されるジカルボン酸は前記導電性ペーストの総質量に対して0.05~2.0質量%である、請求項1に記載の導電性ペースト。
  3.  前記導電性ペーストは、さらに銀粒子を分散させる分散剤を含む、請求項1ないし2のいずれか一項に記載の導電性ペースト。
  4.  前記導電性ペーストを熱処理して形成される配線は、銀同士が接触もしくは焼結することで導電性を発現させる性質を有する、請求項1ないし3のいずれか一項に記載の導電性ペースト。
  5.  前記請求項1ないし4のいずれかに記載のペーストにより得られた導電膜であって、L*a*b*表色系におけるa*値が2.0以下である導電膜。
  6.  請求項1ないし4のいずれかに記載の導電性ペーストを基板上に塗布する工程、大気中もしくは不活性雰囲気中で100~200℃の条件で熱処理する工程からなる導電膜の形成方法。
PCT/JP2010/069453 2010-11-01 2010-11-01 低温焼結性導電性ペーストおよびそれを用いた導電膜と導電膜の形成方法 WO2012059974A1 (ja)

Priority Applications (9)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011524121A JP4832615B1 (ja) 2010-11-01 2010-11-01 低温焼結性導電性ペーストおよびそれを用いた導電膜と導電膜の形成方法
PCT/JP2010/069453 WO2012059974A1 (ja) 2010-11-01 2010-11-01 低温焼結性導電性ペーストおよびそれを用いた導電膜と導電膜の形成方法
EP11837934.6A EP2637175B1 (en) 2010-11-01 2011-10-28 Low-temperature sintering conductive paste, conductive film using same, and method for forming conductive film
JP2012541828A JP5466769B2 (ja) 2010-11-01 2011-10-28 低温焼結性導電性ペーストおよびそれを用いた導電膜と導電膜の形成方法
PCT/JP2011/074890 WO2012060284A1 (ja) 2010-11-01 2011-10-28 低温焼結性導電性ペーストおよびそれを用いた導電膜と導電膜の形成方法
CN201180050469.0A CN103180913B (zh) 2010-11-01 2011-10-28 低温烧结性导电性糊料及使用该糊料的导电膜和导电膜的形成方法
US13/819,125 US20130153835A1 (en) 2010-11-01 2011-10-28 Low-temperature sintering conductive paste, conductive film using the same, and method for forming conductive film
KR1020137013377A KR101484651B1 (ko) 2010-11-01 2011-10-28 저온 소결성 도전성 페이스트 및 이를 이용한 도전막과 도전막의 형성방법
TW100139729A TWI498921B (zh) 2010-11-01 2011-11-01 A low-temperature sintered conductive paste and a method of forming the conductive film and the conductive film

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2010/069453 WO2012059974A1 (ja) 2010-11-01 2010-11-01 低温焼結性導電性ペーストおよびそれを用いた導電膜と導電膜の形成方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2012059974A1 true WO2012059974A1 (ja) 2012-05-10

Family

ID=45418174

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2010/069453 WO2012059974A1 (ja) 2010-11-01 2010-11-01 低温焼結性導電性ペーストおよびそれを用いた導電膜と導電膜の形成方法
PCT/JP2011/074890 WO2012060284A1 (ja) 2010-11-01 2011-10-28 低温焼結性導電性ペーストおよびそれを用いた導電膜と導電膜の形成方法

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2011/074890 WO2012060284A1 (ja) 2010-11-01 2011-10-28 低温焼結性導電性ペーストおよびそれを用いた導電膜と導電膜の形成方法

Country Status (7)

Country Link
US (1) US20130153835A1 (ja)
EP (1) EP2637175B1 (ja)
JP (1) JP4832615B1 (ja)
KR (1) KR101484651B1 (ja)
CN (1) CN103180913B (ja)
TW (1) TWI498921B (ja)
WO (2) WO2012059974A1 (ja)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012131948A (ja) * 2010-12-24 2012-07-12 Sumitomo Bakelite Co Ltd 樹脂組成物、プリプレグ、積層板、樹脂シート、プリント配線板及び半導体装置
JP2015506061A (ja) * 2011-12-02 2015-02-26 イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニーE.I.Du Pont De Nemours And Company 導電性金属組成物
WO2015076385A1 (ja) * 2013-11-22 2015-05-28 東洋製罐グループホールディングス株式会社 抗菌性を有する硬化性樹脂組成物
US20150344749A1 (en) * 2012-12-27 2015-12-03 Tanaka Kikinzoku Kogyo K.K. Thermally-conductive, electrically-conductive adhesive composition
KR20160029004A (ko) * 2013-07-01 2016-03-14 헨켈 아이피 앤드 홀딩 게엠베하 나노입자 잉크 조성물, 방법 및 응용
WO2016052292A1 (ja) * 2014-09-29 2016-04-07 トッパン・フォームズ株式会社 金属銀、金属銀の製造方法及び積層体
JP2018137326A (ja) * 2017-02-21 2018-08-30 株式会社アルバック 電磁波吸収体及び電磁波吸収体の製造方法
JP2020088146A (ja) * 2018-11-26 2020-06-04 トヨタ自動車株式会社 回路基板の製造方法

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5466769B2 (ja) * 2010-11-01 2014-04-09 Dowaエレクトロニクス株式会社 低温焼結性導電性ペーストおよびそれを用いた導電膜と導電膜の形成方法
JP5916633B2 (ja) * 2011-01-26 2016-05-11 ナミックス株式会社 導電性ペースト及び導電膜の製造方法
HUE028880T2 (en) * 2011-09-20 2017-01-30 Heraeus Deutschland Gmbh & Co Kg Paste and process for connecting electronic components with a carrier
JP6081231B2 (ja) * 2012-03-05 2017-02-15 ナミックス株式会社 熱伝導性ペースト及びその使用
JP2014047415A (ja) * 2012-09-03 2014-03-17 Dowa Electronics Materials Co Ltd 導電膜形成用銀粉、導電性ペーストおよび導電膜の形成方法
US10329444B2 (en) * 2012-12-28 2019-06-25 Printed Energy Pty Ltd Nickel inks and oxidation resistant and conductive coatings
EP2942784A4 (en) * 2013-02-01 2016-08-24 Dowa Electronics Materials Co SILVER FILM AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF
TWI571889B (zh) * 2013-02-07 2017-02-21 Dowa Electronics Materials Co An RFID tag antenna, a method of manufacturing the same, and an RFID tag provided with an antenna for the RFID tag
EP2781562B1 (en) * 2013-03-20 2016-01-20 Agfa-Gevaert A method to prepare a metallic nanoparticle dispersion
EP2821164A1 (en) * 2013-07-04 2015-01-07 Agfa-Gevaert A metallic nanoparticle dispersion
CN105339113B (zh) * 2013-07-04 2018-09-18 爱克发-格法特公司 金属纳米颗粒分散体
JP5738464B1 (ja) * 2013-12-10 2015-06-24 Dowaエレクトロニクス株式会社 銀微粒子分散液
JP6049606B2 (ja) * 2013-12-25 2016-12-21 株式会社ノリタケカンパニーリミテド 加熱硬化型導電性ペースト
JP6254015B2 (ja) * 2014-02-27 2017-12-27 京セラ株式会社 導電性ペースト、電気・電子部品及びその製造方法
US10541222B2 (en) * 2014-10-24 2020-01-21 Namics Corporation Conductive composition and electronic parts using the same
CN107709418B (zh) 2015-05-08 2021-04-27 汉高知识产权控股有限责任公司 可烧结的膜和膏及其使用方法
JP6948764B2 (ja) * 2015-06-05 2021-10-13 Dowaエレクトロニクス株式会社 銀微粒子分散液
JP6722679B2 (ja) * 2015-08-31 2020-07-15 ハリマ化成株式会社 導電性ペースト
JP2017066501A (ja) * 2015-10-02 2017-04-06 アルプス電気株式会社 被覆銀粒子の製造方法、液状組成物、被覆銀粒子、被覆銀粒子含有組成物、導電部材、導電部材の製造方法、電気・電子部品および電気・電子機器
KR102499022B1 (ko) * 2017-03-15 2023-02-13 쇼와덴코머티리얼즈가부시끼가이샤 접합용 금속 페이스트, 접합체 및 그 제조 방법, 그리고 반도체 장치 및 그 제조 방법
KR102509366B1 (ko) * 2018-01-26 2023-03-10 닛신 엔지니어링 가부시키가이샤 은 미립자의 제조 방법
JP7333008B2 (ja) * 2019-04-09 2023-08-24 大日本印刷株式会社 配線基板、複合基板及び複合基板の製造方法
KR20220042052A (ko) * 2019-07-31 2022-04-04 스미토모 긴조쿠 고잔 가부시키가이샤 그라비아 인쇄용 도전성 페이스트, 전자 부품, 및 적층 세라믹 콘덴서
CN114270453A (zh) * 2019-08-07 2022-04-01 株式会社大赛璐 接合性导体糊
FR3104599B1 (fr) * 2019-12-11 2021-11-26 Genesink Encre à base de nanoparticules d’argent
KR102373095B1 (ko) * 2020-03-06 2022-03-14 한국생산기술연구원 소결접합용 구리 페이스트 조성물 및 이의 용도
WO2024070271A1 (ja) * 2022-09-27 2024-04-04 ナミックス株式会社 導電性組成物、その焼結体、積層構造体、電子部品及び半導体装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0594716A (ja) * 1990-03-19 1993-04-16 Asahi Chem Ind Co Ltd 高温焼成用組成物及びペースト
JPH10162647A (ja) * 1996-11-28 1998-06-19 Asahi Chem Ind Co Ltd 導電性ペースト
JP2008166086A (ja) * 2006-12-28 2008-07-17 Hitachi Ltd 導電性焼結層形成用組成物、これを用いた導電性被膜形成法および接合法
JP2010132736A (ja) * 2008-12-03 2010-06-17 Toyo Ink Mfg Co Ltd 導電性インキおよび導電性被膜
JP2010153184A (ja) * 2008-12-25 2010-07-08 Mitsuboshi Belting Ltd 電極形成用組成物、導電性基材の製造方法及び導電性基材

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1137285C (zh) * 1997-04-30 2004-02-04 高松研究所 金属糊和金属膜的制造方法
JP3748095B2 (ja) * 1999-03-10 2006-02-22 東洋紡績株式会社 導電性ペースト
JP4532840B2 (ja) * 2003-03-04 2010-08-25 新潟県 金属ペースト
US7326369B2 (en) * 2005-03-07 2008-02-05 National Starch And Chemical Investment Holding Corporation Low stress conductive adhesive
JP4852272B2 (ja) * 2005-07-25 2012-01-11 ナミックス株式会社 金属ペースト
JP4575867B2 (ja) * 2005-09-29 2010-11-04 東海ゴム工業株式会社 導電性ペースト
JP5169517B2 (ja) 2008-06-16 2013-03-27 藤倉化成株式会社 導電性接着剤および電子部品
JP2013504177A (ja) * 2009-09-08 2013-02-04 イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー 光電池のための導体
WO2011155055A1 (ja) * 2010-06-11 2011-12-15 Dowaエレクトロニクス株式会社 低温焼結性接合材および該接合材を用いた接合方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0594716A (ja) * 1990-03-19 1993-04-16 Asahi Chem Ind Co Ltd 高温焼成用組成物及びペースト
JPH10162647A (ja) * 1996-11-28 1998-06-19 Asahi Chem Ind Co Ltd 導電性ペースト
JP2008166086A (ja) * 2006-12-28 2008-07-17 Hitachi Ltd 導電性焼結層形成用組成物、これを用いた導電性被膜形成法および接合法
JP2010132736A (ja) * 2008-12-03 2010-06-17 Toyo Ink Mfg Co Ltd 導電性インキおよび導電性被膜
JP2010153184A (ja) * 2008-12-25 2010-07-08 Mitsuboshi Belting Ltd 電極形成用組成物、導電性基材の製造方法及び導電性基材

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012131948A (ja) * 2010-12-24 2012-07-12 Sumitomo Bakelite Co Ltd 樹脂組成物、プリプレグ、積層板、樹脂シート、プリント配線板及び半導体装置
JP2015506061A (ja) * 2011-12-02 2015-02-26 イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニーE.I.Du Pont De Nemours And Company 導電性金属組成物
US20150344749A1 (en) * 2012-12-27 2015-12-03 Tanaka Kikinzoku Kogyo K.K. Thermally-conductive, electrically-conductive adhesive composition
KR20160029004A (ko) * 2013-07-01 2016-03-14 헨켈 아이피 앤드 홀딩 게엠베하 나노입자 잉크 조성물, 방법 및 응용
JP2016530353A (ja) * 2013-07-01 2016-09-29 ヘンケル アイピー アンド ホールディング ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ナノ粒子インク組成物、プロセスおよび応用
KR102114881B1 (ko) 2013-07-01 2020-05-27 헨켈 아이피 앤드 홀딩 게엠베하 나노입자 잉크 조성물, 방법 및 응용
US10174208B2 (en) 2013-11-22 2019-01-08 Toyo Seikan Group Holdings, Ltd. Curable resin composition having antibacterial power
WO2015076385A1 (ja) * 2013-11-22 2015-05-28 東洋製罐グループホールディングス株式会社 抗菌性を有する硬化性樹脂組成物
JP2015120896A (ja) * 2013-11-22 2015-07-02 東洋製罐グループホールディングス株式会社 抗菌性を有する硬化性樹脂組成物
CN105764995A (zh) * 2013-11-22 2016-07-13 东洋制罐集团控股株式会社 具有抗菌性的固化性树脂组合物
CN105764995B (zh) * 2013-11-22 2018-04-06 东洋制罐集团控股株式会社 具有抗菌性的固化性树脂组合物
WO2016052292A1 (ja) * 2014-09-29 2016-04-07 トッパン・フォームズ株式会社 金属銀、金属銀の製造方法及び積層体
JPWO2016052292A1 (ja) * 2014-09-29 2017-07-13 トッパン・フォームズ株式会社 金属銀、金属銀の製造方法及び積層体
JP2018137326A (ja) * 2017-02-21 2018-08-30 株式会社アルバック 電磁波吸収体及び電磁波吸収体の製造方法
JP2020088146A (ja) * 2018-11-26 2020-06-04 トヨタ自動車株式会社 回路基板の製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP2637175A4 (en) 2017-03-08
TWI498921B (zh) 2015-09-01
KR101484651B1 (ko) 2015-01-20
WO2012060284A1 (ja) 2012-05-10
JPWO2012059974A1 (ja) 2014-05-12
TW201230066A (en) 2012-07-16
JP4832615B1 (ja) 2011-12-07
KR20130107320A (ko) 2013-10-01
US20130153835A1 (en) 2013-06-20
CN103180913A (zh) 2013-06-26
EP2637175B1 (en) 2018-01-24
CN103180913B (zh) 2016-09-21
EP2637175A1 (en) 2013-09-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4832615B1 (ja) 低温焼結性導電性ペーストおよびそれを用いた導電膜と導電膜の形成方法
JP5688895B2 (ja) 微小銀粒子粉末と該粉末を使用した銀ペースト
JP5989173B2 (ja) 熱硬化型導電性ペーストとその製造方法および配線基板
JP4928639B2 (ja) 接合材およびそれを用いた接合方法
JP5632852B2 (ja) 低温焼結性銀ナノ粒子組成物および該組成物を用いて形成された電子物品
JP5856038B2 (ja) スクリーン印刷用導電性接着剤並びに無機素材の接合体及びその製造方法
WO2012098643A1 (ja) 金属粒子粉末およびそれを用いたペースト組成物
WO2013161966A1 (ja) 導電性組成物
JP5901726B2 (ja) 微小銀粒子粉末および該粉末を使用した銀ペーストの製造方法
WO2014104053A1 (ja) スクリーン印刷用導電性ペースト、並びに配線の製造方法及び電極の製造方法
CA2881375A1 (en) Silver flake conductive paste ink with nickel particles
JP5466769B2 (ja) 低温焼結性導電性ペーストおよびそれを用いた導電膜と導電膜の形成方法
JP6036185B2 (ja) 高純度の金属ナノ粒子分散体ならびにその製造方法
WO2017057201A1 (ja) 導電性ペースト及び導電膜
TW201219512A (en) exhibiting a high conductivity even at a low temperature regardless of whether the constituting resin is a thermosetting resin or a thermoplastic resin
TWI714867B (zh) 導電性糊
JP2011124040A (ja) 導電性組成物、導電性配線の形成方法および導電性配線

Legal Events

Date Code Title Description
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2011524121

Country of ref document: JP

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 10859231

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 10859231

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1