WO2007043654A1

WO2007043654A1 - チップピックアップ装置およびチップピックアップ方法ならびにチップ剥離装置およびチップ剥離方法

Info

Publication number: WO2007043654A1
Application number: PCT/JP2006/320471
Authority: WO
Inventors: Hiroshi Haji; Mitsuru Ozono; Teruaki Kasai; Kazuhiro Noda
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.
Priority date: 2005-10-14
Filing date: 2006-10-13
Publication date: 2007-04-19
Also published as: CN101331601A; TW200725759A; US20090279995A1; JP4765536B2; US8192578B2; KR101218662B1; JP2007109936A; KR20080068655A; CN100578749C

Description

チップピックアップ装置およびチップピックアップ方法ならびにチップ剥離装置およびチップ剥離方法

技術分野

[0001] 本発明は、ウエノ、から切り出されシートに貼り付けられた状態のチップをピックアップするチップピックアップ装置およびチップピックアップ方法ならびにチップ剥離装置およびチップ剥離方法に関するものである。

背景技術

[0002] 半導体装置の製造工程にお、て、半導体チップは多数の個片チップより成るゥノ、から切り出される。この個片チップの切り出しは、粘着性のシートにウェハを貼り付けた状態で行われ、切り出された個片チップはシートから剥ぎ取られてピックアップされる（例えば特許文献 1参照)。このピックアップ作業は、シートを下面側から吸着した状態で、シートの下面側力チップをェジェクタによって突き上げることによりシートから剥離させながら、チップを取出しヘッドによって吸着保持して取り出すようにしてヽる。

特許文献 1：特許第 2679266号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0003] 最近の電子部品の小型化に伴ってチップは薄型化する傾向にあり、 100 /z m以下の極薄のチップが実用化されるようになっている。し力しながら、このように薄型化したチップは低剛性で橈みやすく極めて破損しやす、ことから取り扱、が難、。このためピックアップ動作の高速高能率ィ匕が難しぐまた上述のウエノ、から個片のチップを取り出すピックアップ作業にぉ、て、チップの割れや欠けなどのダメージを生じる場合があった。

[0004] そこで本発明は、チップを高速でダメージを与えることなくピックアップすることができるチップピックアップ装置およびチップピックアップ方法ならびにチップ剥離装置およびチップ剥離方法を提供することを目的とする。課題を解決するための手段

[0005] 本発明のチップピックアップ装置は、シートに貼り付けられた板状のチップをピックアップするチップのピックアップ装置であって、前記シートを保持するシート保持部と、ノズル昇降機構によって前記シート保持部に対して相対的に昇降し、前記チップの上面に当接してこのチップを吸着保持するとともに平坦な状態に保つ保持面が設けられた取出しノズルと、前記シート保持部の下方に配設され前記シートの下面に当接して前記チップとシートとの剥離を促進させる剥離促進機構とを備え、前記剥離促進機構は、前記シートの下面に当接してこのシートを下受け支持する当接支持面が設けられ前記シート保持部に対して相対的に昇降する昇降部と、前記当接支持面において前記チップを下受けするチップ下受け範囲の外側に設けられ前記シートを下面側から吸着保持する吸着孔と、前記当接支持面において前記チップ下受け範囲内に設けられ前記シートの下面に当接してこのシートを押し上げる可撓性の押上面を備えた押上部とを有し、前記取出しノズルの下降状態において、前記押上部は押上面を前記シートの下面に平面状に倣わせて当接し、前記チップを吸着保持した取出しノズルを上昇させてチップを取り出すチップ取出し動作にお、て、前記押上部が押上面を上に凸形の曲面状に変形させながら前記シートの下面を押し上げることにより、前記シートとチップとをチップ外縁側力も剥離させる。

[0006] 本発明のチップピックアップ方法は、板状のチップが貼り付けられたシートを保持するシート保持部と、ノズル昇降機構によって前記シート保持部に対して相対的に昇降し、前記チップの上面に当接してこのチップを吸着保持するとともに平坦な状態に保つ保持面が設けられた取出しノズルと、前記シート保持部の下方に配設され前記シ一トの下面に当接して前記チップとシートとの剥離を促進させる剥離促進機構とを備えたチップピックアップ装置によって前記シートから前記チップをピックアップするチップのピックアップ方法であって、前記剥離促進機構は、前記シートの下面に当接してこのシートを下受け支持する当接支持面が設けられ前記シート保持部に対して相対的に昇降する昇降部と、前記当接支持面において前記チップを下受けするチップ下受け範囲の外側に設けられ前記シートを下面側力吸着保持する吸着孔と、前記当接支持面において前記チップ下受け範囲内に設けられ前記シートの下面に当接してこのシートを押し上げる可撓性の押上面を備えた押上部とを有し、前記取出しノズルの下降状態において、前記押上部を押上面を前記シートの下面に平面状に倣わせて当接させ、前記チップを吸着保持した取出しノズルを上昇させてチップを取り出すチップ取出し動作において、前記押上部が押上面を上に凸形の曲面状に変形させながら前記シートの下面を押し上げることにより、前記シートとチップとをチップ外縁側から剥離させ、次、で前記シートから剥離したチップを前記取出しノズルによつて取り出す。

[0007] 本発明のチップ剥離装置は、シートに貼り付けられた板状のチップをピックアップするチップのピックアップ装置にぉ、て、取出しノズルによって前記チップをシート保持部に保持された前記シートから取り出す際に、前記シートの下面に当接して前記チップとシートとの剥離を促進するチップ剥離装置であって、前記シートの下面に当接してこのシートを下受け支持する当接支持面が設けられ前記シート保持部に対して相対的に昇降する昇降部と、前記当接支持面において前記チップを下受けするチップ下受け範囲の外側に設けられ前記シートを下面側力吸着保持する吸着孔と、前記当接支持面において前記チップ下受け範囲内に設けられ前記シートの下面に当接してこのシートを押し上げる可撓性の押上面を備えた押上部とを有し、前記取出しノズルの下降状態において、前記押上部は押上面を前記シートの下面に平面状に倣わせて当接し、前記チップを吸着保持した取出しノズルを上昇させてチップを取り出すチップ取出し動作において、前記押上部が押上面を上に凸形の曲面状に変形させながら前記シートの下面を押し上げることにより、前記シートとチップとをチップ外縁側から剥離させる。

[0008] 本発明のチップ剥離方法は、シートに貼り付けられた板状のチップをピックアップするチップピックアップ装置にぉ、て、取出しノズルによって前記チップをシート保持部に保持された前記シートから取り出す際に、前記シートの下面に剥離促進機構を当接させて前記チップとシートとの剥離を促進するチップ剥離方法であって、前記剥離促進機構は、前記シートの下面に当接してこのシートを下受け支持する当接支持面が設けられ前記シート保持部に対して相対的に昇降する昇降部と、前記当接支持面において前記チップを下受けするチップ下受け範囲の外側に設けられ前記シートを下面側から吸着保持する吸着孔と、前記当接支持面において前記チップ下受け範囲内に設けられ前記シートの下面に当接してこのシートを押し上げる可撓性の押上面を備えた押上部とを有し、前記取出しノズルの下降状態において、前記押上部を押上面を前記シートの下面に平面状に倣わせて当接させ、前記チップを吸着保持した取出しノズルを上昇させてチップを取り出すチップ取出し動作において、前記押上部が押上面を上に凸形の曲面状に変形させながら前記シートの下面を押し上げることにより、前記シートとチップとをチップ外縁側力も剥離させる。

発明の効果

[0009] 本発明によれば、取出しノズルの下降状態において可撓性を有する押上面をシートの下面に平面状に倣わせて当接させ、取出しノズルがチップとともに上昇する上昇動作において押上面を上に凸形の曲面状に変形させながらシート下面を押し上げることにより、シートとチップとをチップ外縁側から剥離させてチップを高速でダメージを与免ることなくピックップすることができる。

図面の簡単な説明

[0010] [図 1]本発明の実施の形態 1のチップのピックアップ装置の構成を示すブロック図

[図 2]本発明の実施の形態 1のチップのピックアップ装置における取り出しノズルの部分断面図

[図 3]本発明の実施の形態 1のチップのピックアップ装置における剥離促進機構の斜視図

[図 4]本発明の実施の形態 1のチップのピックアップ装置における剥離促進機構の部分断面図

[図 5]本発明の実施の形態 1のチップのピックアップ装置における剥離促進機構の平面図

[図 6A]本発明の実施の形態 1のチップのピックアップ方法の工程説明図

[図 6B]本発明の実施の形態 1のチップのピックアップ方法の工程説明図

[図 6C]本発明の実施の形態 1のチップのピックアップ方法の工程説明図

[図 7A]本発明の実施の形態 1のチップのピックアップ方法の工程説明図

[図 7B]本発明の実施の形態 1のチップのピックアップ方法の工程説明図 [図 7C]本発明の実施の形態 1のチップのピックアップ方法の工程説明図

[図 8]本発明の実施の形態 1のチップのピックアップ装置における剥離促進機構の構造説明図

[図 9]本発明の実施の形態 2のチップのピックアップ装置における取り出しノズルの部分断面図

[図 10A]本発明の実施の形態 2のチップのピックアップ方法の工程説明図

[図 10B]本発明の実施の形態 2のチップのピックアップ方法の工程説明図

[図 10C]本発明の実施の形態 2のチップのピックアップ方法の工程説明図

[図 11A]本発明の実施の形態 2のチップのピックアップ方法の工程説明図

[図 11B]本発明の実施の形態 2のチップのピックアップ方法の工程説明図

[図 11C]本発明の実施の形態 2のチップのピックアップ方法の工程説明図

[図 12]本発明の実施の形態 2のチップのピックアップ装置における剥離促進機構の構造説明図

発明を実施するための最良の形態

[0011] (実施の形態 1)

図 1は本発明の実施の形態 1のチップのピックアップ装置の構成を示すブロック図、図 2は本発明の実施の形態 1のチップのピックアップ装置における取り出しノズルの部分断面図、図 3は本発明の実施の形態 1のチップのピックアップ装置における剥離促進機構の斜視図、図 4は本発明の実施の形態 1のチップのピックアップ装置における剥離促進機構の部分断面図、図 5は本発明の実施の形態 1のチップのピックアツプ装置における剥離促進機構の平面図、図 6A〜6C、図 7A〜7Cは本発明の実施の形態 1のチップのピックアップ方法の工程説明図、図 8は本発明の実施の形態 1のチップのピックアップ装置における剥離促進機構の構造説明図である。

[0012] まず図 1を参照してチップのピックアップ装置の構成について説明する。このチップのピックアップ装置は、ダイシングによって個片に分割されシートに貼り付けられた状態の半導体チップを、真空吸引用の開口部を有する取出しノズルで吸着保持してピックアップする機能を有するものである。図 1においてチップ供給部 1は、 XYテープル 2に立設されたブラケット 3上に保持テーブル 4を結合して構成されてヽる。保持テ一ブル 4には複数の半導体チップ 6 (以下、単に「チップ 6」と略記する）が貼り付けられたシート 5が保持されて、る。保持テーブル 4はシート 5を保持するシート保持部となっている。ここで、チップ 6は薄化カ卩ェされた薄型チップであり、剛性が小さく橈みやすい特性を有している。

[0013] 保持テーブル 4の下方には剥離促進機構 7 (チップ剥離装置)が配設されて、る。

剥離促進機構 7は、以下に説明するピックアップヘッド 8によるチップ 6のピックアップ動作において、シート 5の下面に当接してチップ 6とシート 5との剥離を促進させる機能を有している。 XYテーブル 2を駆動することにより、ピックアップ対象のチップ 6は剥離促進機構 7に対して位置合わせされる。チップ供給部 1の上方には、移動テーブル 9に装着されたピックアップヘッド 8が水平動自在に配設されている。ピックアップヘッド 8の下部には、取出しノズル 20が装着されており、取出しノズル 20はピックアツプヘッド 8に内蔵されたノズル昇降機構によって昇降自在となってヽる。

[0014] 図 2に示すように、取出しノズル 20には真空吸引用の開口部 20aが設けられており、開口部 20aの下面には吸着板 23が装着されている。吸着板 23は焼結体などの多孔質材より製作されており、真空吸引源（図示省略)を駆動して開口部 20aから真空吸引することにより、吸着板 23の下面の保持面 23bにチップ 6の全範囲を均等に吸着して保持することができるようになつている。吸着板 23の外周側面には、榭脂膜など気密性を有するシール膜 23aが設けられており、真空吸着時の吸着性能を確保するようにしている。

[0015] 保持面 23bは平坦面にカ卩ェされており、薄くて橈みやすいチップ 6を対象とする場合にあっても、チップ 6も全範囲を真空吸着によって保持面 23bに密着させて保持することにより、チップ 6を平坦な状態に保つことができる。すなわち、取出しノズル 20はノズル昇降機構によって保持テーブル 4に対して相対的に昇降し、吸着板 23の下面にはチップ 6の上面に当接してこのチップ 6を吸着保持するとともに平坦な状態に保つ保持面 23bが設けられて!/、る。

[0016] シート 5から剥離されたチップ 6は、取出しノズル 20によって真空吸着によりピックァップされる。ピックアップされたチップ 6は、移動テーブル 9によってピックアップヘッド 8が移動することにより、取出しノズル 20とともに基板保持テーブル 10の上方に移動する。そしてここで取出しノズル 20を昇降させることにより、チップ 6は基板保持テーブル 10に保持された基板 11上に実装される。

[0017] 保持テーブル 4の上方には、カメラ 13を備えた撮像部 12が配設されている。撮像部 12はシート 5上のチップ 6を上方力ゝら撮像し、撮像結果を画像認識部 14に対して出力する。画像認識部 14はこの撮像結果を認識処理することにより、チップ 6の位置を検出する。演算部 15は CPUであり、記憶部 16に記憶されたプログラムを実行することにより各種動作処理や演算を行うことにより、以下に説明する各部を制御する。記憶部 16は各部の動作に必要なプログラムや認識対象のチップ 6のサイズや、シート 5 上での配列データなどの各種データを記憶する。

[0018] 機構制御部 17は、ピックアップヘッド 8およびピックアップヘッド 8を移動させる移動テーブル 9、剥離促進機構 7、 XYテーブル 2を制御する。 XYテーブル 2,保持テーブル 4,移動テーブル 9、演算部 15および機構制御部 17は、位置検出手段によるチップ 6の位置検出結果に基づ、てピックアップ対象のチップを取出しノズル 20の開口部 20aに対して相対的に位置決めする位置決め手段となっている。表示部 18は撮像されたチップ 6の画像や操作 ·入力時の画面を表示する。操作 '入力部 19はキーボードなどの入力装置であり、操作入力やデータ入力を行う。

[0019] 次に図 3、図 4を参照して、剥離促進機構 7の構成について説明する。図 3に示すように剥離促進機構 7は、機構本体部 7a,機構本体部 7aに昇降自在に保持された支持軸部 21および剥離ツール 22より構成される。剥離ツール 22は対象となるチップ 6 の形状 ·サイズに応じて別体で準備され、支持軸部 21の上面に交換自在に装着される。

[0020] 機構本体部 7a内にはツール昇降機構（図示省略)が内蔵されており、ツール昇降機構を駆動することにより、剥離ツール 22は保持テーブル 4に保持されたシート 5に対して相対的に昇降する。剥離ツール 22の上面はシート剥離動作においてシート 5 の下面に当接してシート 5を下受け支持する当接支持面 22aとなっている。したがつて、剥離ツール 22は、シート 5の下面に当接してこのシート 5を下受け支持する当接支持面が設けられ保持テーブル 4に対して相対的に昇降する昇降部となっている。

[0021] 当接支持面 22aには、同心配置で複数の吸着孔 22bが設けられており、これらの吸着孔 22bによって囲まれた位置に設けられた正方形状の装着凹部 22cには、ゴムなどの可撓性の弾性体を、上に凸形の曲面を有する形状 (本実施の形態においては球体）に成形したシート押上部材 24が装着されている。図 4、図 5に示すように吸着孔 22bは、当接支持面 22aがシート 5の下面に当接しピックアップ対象となるチップ 6 に位置合わせされた状態においてチップ 6に相当する範囲、すなわちチップ下受け範囲の外側に位置するように配置されて、る。

[0022] これらの吸着孔 22bは剥離ツール 22の内部に設けられた円周溝形状の吸引空間 22dから当接支持面 22aまで貫通して設けられており、さらに吸引空間 22dは支持軸部 21の内部を介して真空吸引源 25と連通している。当接支持面 22aをシート 5の下面に当接させた状態で、真空吸引源 25を駆動することにより吸着孔 22bから真空吸引し、これによりシート 5は当接支持面 22aに吸着保持される。

[0023] 当接支持面 22aにおいて、シート押上部材 24はチップ下受け範囲内の中央に位置するように配置されている。シート押上部材 24は以下に説明するように、取出しノズル 20によってチップ 6を取り出すチップ取り出し動作において、シート 5の下面に当接してこのシート 5を押し上げる可撓性の押上面を備えた押上部として機能する。

[0024] すなわちチップ 6を取出しノズル 20によって平面状態に保持した状態で、剥離ツール 22をシート 5に対して相対的に上昇させると、シート押上部材 24の上面側、すなわち当接支持面 22aから上方に突出した部分は、シート 5によって押圧されて変形する。そしてさらに剥離ツール 22をシート 5に対して押し付けて当接支持面 22aがシート 5 の下面に当接するまでシート押上部材 24が変形した状態においては、シート押上部材 24は、上面をシート 5の下面に平面状に倣わせて上部が平坦となった状態で当接する。

[0025] 次いで吸着孔 22bによってシート 5を吸着保持した後に、チップ 6を保持した取出しノズル 20を上昇させると、以下のようにシート 5とチップ 6との剥離が行われる。チップ 6が取出しノズル 20とともに上昇すると、当接支持面 22aに吸着保持されたシート 5に対してチップ 6を剥離させる力が作用する。このとき、シート 5の下面には圧縮変形状態のシート押上部材 24が当接していることから、取出しノズル 20の上昇に伴ってシート押上部材 24は元の形状 (上に凸形の曲面状 (ここでは球面状) )に復帰するように変形し、これにより、シート 5はシート押上部材 24の上面によって押し上げられる。すなわちシート押上部材 24の上面は、シート 5を押し上げる押上面として機能する。

[0026] このとき、押上面は上に凸形の曲面状となっていることから、チップ 6の外縁部近傍ではシート押上部材 24の上面は押上面として機能せず、したがってチップ 6の外縁部においてはチップ 6の上昇に伴ってシート 5との剥離が進行する。これに対し、チップ 6の中央部分においては、シート押上部材 24の押上面はチップ 6の上昇に伴ってシート 5を押上げ、これによりシート 5はチップ 6との密着状態を保つ。そしてチップ 6 がシート押上部材 24の突出代より高い位置まで上昇すると、もはやシート押上部材 2 4はシート 5を押し上げる作用を失い、これにより、シート 5はチップ 6と最終的に完全剥離する。このシート押上部材 24による剥離促進においては、チップ 6とシート 5との剥離は必ずチップ 6の外縁側力進行するようになって、る。

[0027] すなわち上述構成において、取出しノズル 20が剥離ツール 22に対して相対的に下降した状態において、シート押上部材 24は押上面をシート 5の下面に平面状に倣わせて当接する。そしてチップ 6を吸着保持した取出しノズル 20を上昇させてチップを取り出すチップ取出し動作において、シート押上部材 24が押上面を上に凸形の曲面状に変形させながらシート 5の下面を押し上げることにより、シート 5とチップ 6とをチップ外縁側から剥離させる。

[0028] このチップのピックアップ装置は上記のように構成されており、次に図 6A〜図 7Cを参照して、このチップのピックアップ装置を用いたピックアップ方法にっ、て説明する。図 6Aにおいて剥離ツール 22の上方には、当該ピックアップ動作においてピックァップ対象となるチップ 6がシート 5に貼り付けられた状態で位置して、る。次、で図 6B に示すように、取出しノズル 20を下降させて吸着板 23をチップ 6の上面に当接させるとともに、開口部 20aから真空吸引してチップ 6を吸着板 23によって保持する。これにより、チップ 6は吸着板 23の下面の保持面 23bによって平坦な状態に保持される。

[0029] 次いで図 6Cに示すように、剥離ツール 22を上昇させて当接支持面 22aをシート 5 の下面に当接させるとともに、吸着孔 22bから真空吸引することにより、シート 5を当接支持面 22aに吸着保持する。このとき、チップ 6が平坦な状態に保たれたままシート 5がシート押上部材 24に対して押し付けられることにより、シート押上部材 24は球体力変形し、上面がシート 5の下面に倣って平坦な状態となる。

[0030] この後、取出しノズル 20を上昇させてチップ 6をシート 5から剥離させて取り出すチップ取出し動作が開始される。すなわち図 7Aに示すように、取出しノズル 20をわずかに上昇させた状態では、上に凸の球面状の押上面を有するシート押上部材 24が元の形状への復帰を開始することにより、シート 5はチップ 6の外縁側を除く大部分の範囲においてシート押上部材 24によって押し上げられてチップ 6と密着した状態を保ち、外縁側のみにおいてチップ 6とシート 5との剥離が開始される。

[0031] この後取出しノズル 20がさらに上昇すると、チップ 6の上昇につれてチップ 6とシート 5との剥離がチップ 6の外縁側力も進行し、図 7Bに示すように、シート 5はシート押上部材 24の押上面の頂部によって押し上げられた部分のみがチップ 6の下面に密着した状態となる。そしてこの後、図 7Cに示すように、取出しノズル 20がさらに上昇すると、保持されたチップ 6はシート 5から完全に剥離して分離し、チップ 6の取り出しが完了する。

[0032] すなわち、上述のチップのピックアップ方法においては、取出しノズル 20の下降状態において、シート押上部材 24の押上面をシート 5の下面に平面状に倣わせて当接させる。そしてチップ 6を吸着保持した取出しノズル 20を上昇させてチップ 6を取り出すチップ取出し動作において、シート押上部材 24が押上面を上に凸形の曲面状に変形させながらシート 5の下面を押し上げることにより、シート 5とチップ 6とをチップ外縁側から剥離させ、次、でシート 5から剥離したチップ 6を取出しノズル 20によって取り出すようにしている。これにより、薄型のチップや脆性材料で製作されて剛性が低く破損しやす、種類のチップを対象とする場合にあっても、ピックアップ動作を高速でダメージを与えることなく行うことができる。

[0033] なお上記実施の形態においては、略正方形状のチップ 6を対象とする実施例を示して、るが、対象となるチップが長方形など一方向に細長、平面形状を有するものである場合には、図 8に示すような形状の剥離ツール 22Aを用いることができる。図 8 において、剥離ツール 22Aの上面の当接支持面 22aには、長方形の平面形状を有するチップ 6Aを対象とするチップ下受け範囲の内側に、 3つの装着凹部 22cが設けられている。それぞれの装着凹部 22cには、図 4に示すシート押上部材 24が装着されている。

[0034] すなわち、この実施例にぉ、ては、押上部であるシート押上部材 24をチップ 6Aの長辺方向に複数配置した形態となっている。この実施例においても、チップ 6Aを取出しノズル 20によって取り出す際には、シート 5はチップ 6Aの外縁部を除く範囲においてシート押上部材 24によって押し上げられる。したがってシート 5とチップ 6Aとの剥離は確実にチップ 6Aの外縁側から開始し、前述実施例と同様の効果を得ることができる。

[0035] なお、チップの形状に拘わらず、シート押上部材 24をチップの辺方向に複数配置しても構わない。例えば、正方形のチップ 6を対象とする場合において、チップ 6を平面視してチップの四隅付近と中央付近に対応する計 5箇所にシート押上部材 24を配置してもよい。また複数のシート押上部材 24の個数は、適宜設定して構わないし、各シート押上部材 24の大きさを互いに変えてもょ、。

[0036] (実施の形態 2)

図 9は本発明の実施の形態 2のチップのピックアップ装置における取り出しノズルの部分断面図、図 10A〜10C、図 11A〜11Cは本発明の実施の形態 2のチップのピックアップ方法の工程説明図、図 12は本発明の実施の形態 2のチップのピックアップ装置における剥離促進機構の構造説明図である。

[0037] 図 9において、剥離ツール 122は、図 4に示す剥離ツール 22においては当接支持面 22aの中央に固定的に装着されていたシート押上部材 24を、昇降動作可能に構成した形態となっており、同様に支持軸部 21に交換自在に装着される。当接支持面 122aには、同心配置で複数の吸着孔 122bが設けられており、実施の形態 1と同様に真空吸引源 125を駆動することにより、吸着孔 122bから真空吸引し、当接支持面 122aにシート 5を吸着保持することが可能となっている。

[0038] 吸着孔 122bの内側には、装着孔部 122cが上下方向に貫通して設けられている。

装着孔部 122c内には、シート押上軸 126が上下方向に挿通しており、シート押上軸 126の上端部には実施の形態 1に示すシート押上部材 24と同様構成のシート押上部材 124が固着されている。シート押上軸 126は昇降駆動機構 127によって昇降自在となっており、定常状態においてはシート押上部材 124は当接支持面 122aよりも下方の位置にある。そして昇降駆動機構 127によってシート押上部材 124の上部を当接支持面 122aから突出させることにより、シート押上部材 124は実施の形態 1におけるシート押上部材 24と同様に押上部として機能する。

[0039] すなわち、上述構成において、シート押上部材 124は、剥離ツール 122に対して昇降自在に設けられており、予め取出しノズル 20を下降させてチップ 6を吸着保持した後に、シート押上部材 124を上昇させることにより、押上面をシート 5の下面に平面状に倣わせて当接するようにして、る。

[0040] 次に図 10A〜図 11Cを参照して、このチップのピックアップ装置を用いたピックアツプ方法について説明する。図 10Aにおいて、剥離ツール 122の上方には、当該ピックアップ動作にぉ、てピックアップ対象となるチップ 6が、シート 5に貼り付けられた状態で位置している。次いで、図 10Bに示すように、剥離ツール 122を上昇させて当接支持面 122aをシート 5の下面に当接させるとともに、吸着孔 122bから真空吸引することにより、シート 5を当接支持面 122aによって吸着保持する。

[0041] 次いで、図 10Cに示すように、取出しノズル 20を下降させて吸着板 23をチップ 6の上面に当接させるとともに、開口部 20aから真空吸引してチップ 6を吸着板 23によつて保持する。これにより、チップ 6は吸着板 23の下面の保持面 23bによって平坦な状態に保持される。次いで図 11 Aに示すように、昇降駆動機構 127を駆動してシート押上軸 126を上昇させ、チップ 6が平坦な状態に保たれたまま、シート 5の下面にシート押上部材 124を押し付ける。これにより、シート押上部材 124は球体力も変形し、上面がシート 5の下面に倣って平坦な状態となる。

[0042] この後、取出しノズル 20を上昇させてチップ 6をシート 5から剥離させて取り出すチップ取出し動作が開始される。このとき、実施の形態 1において図 7Aに示す状態と同様に、シート押上部材 124が元の形状への復帰を開始することにより、シート 5はチップ 6の外縁部側力も剥離を開始する。そしてこの後取出しノズル 20がさらに上昇すると、チップ 6とシート 5との剥離がチップ 6の外縁側力も進行し、図 11Bに示すように、シート 5はシート押上部材 124の押上面の頂部によって押し上げられた部分のみがチップ 6の下面に密着した状態となる。そしてこの後、図 11Cに示すように、取出しノズル 20がさらに上昇すると、保持されたチップ 6はシート 5から完全に剥離して分離し、チップ 6の取り出しが完了する。そして実施の形態 2においても、実施の形態 1と同様の効果を得る。

[0043] なお上記実施の形態 2においては、略正方形状のチップ 6を対象とする実施例を示して!/、るが、対象となるチップが長方形など一方向に細長、平面形状を有するものである場合には、図 12に示すような形の当接支持面 122aを用いることができる。図 12において、剥離ツール 122の上面の当接支持面 122aには、長方形の平面形状を有するチップ 6Aを対象とするチップ下受け範囲の内側に、嵌合開口部 122dが設けられている。嵌合開口部 122dには 3つのシート押上部材 124が上端部に装着されたシート押上軸 126Aが嵌入しており、シート押上軸 126Aは図 9に示す昇降駆動機構 127によって昇降自在となっている。

[0044] 上記構成において、 3つのシート押上部材 124は、図 11A〜11Cに示すチップ取り出し動作におけるシート押上部材 124と同様の機能を有しており、チップ 6Aの取り出し動作においては、 3つのシート押上部材 124によってシート 5を押し上げるようにしている。すなわち、この実施例においては、押上部をチップ 6Aの長辺方向に複数配置した形態となっている。この実施例においても、チップ 6Aを取出しノズル 20によつて取り出す際には、シート 5とチップ 6Aとの剥離は確実にチップ 6Aの外縁側から開始し、同様の効果を得ることができる。

[0045] なお、チップの形状に拘わらず、シート押上部材 124をチップの辺方向に複数配置しても構わない。例えば、正方形のチップ 6を対象とする場合において、チップ 6を平面視してチップの四隅付近と中央付近に対応する計 5箇所にシート押上部材 124を配置してもよい。また複数のシート押上部材 124の個数は、適宜設定して構わないし、各シート押上部材 124の大きさを互いに変えてもよい。

[0046] また、上記実施の形態 1, 2においては、シート押上部材 24、 124としてゴムなどの弾性体で製作された球体を用いる例を示したが、シート押上部材 24、 124の形状 · 構成はこれに限定されるものではなぐ多様な形態のものを用いることができる。例えば、押上面の形状としては球状面に限らず、上に凸の曲面であれば放物曲面ゃ楕円曲面など各種の形状を採用してもよい。またシート押上部材 24の構成としては、内部に空洞部がな、中実体のみならず、内部に空洞部を有する中空体を用いることも可能である。

[0047] さらに、上記実施の形態においては、シート押上部材 24、 124がシート 5を押し上げる際の押し上げ力をゴムなどの可撓性の弾性材質が元の形状に復帰しょうとする際の復元力を用いるようにしているが、シート押上部材 24として中空体を用い、内部空洞に空気を注入して膨らませる構成を採用するようにしてもよい。これによれば、押上力の大きさや押し上げタイミングを任意に制御することができるという利点がある。産業上の利用可能性

[0048] 本発明のチップのピックアップ装置およびピックアップ方法は、チップを端面側から無理なくシートから剥離させて、チップを高速でダメージを与えることなくピックアップすることができると!/、う効果を有し、薄型のチップをピックアップの対象とするピックァップ装置に対して有用である。

Claims

請求の範囲

[1] シートに貼り付けられた板状のチップをピックアップするチップピックアップ装置であつて、

前記シートを保持するシート保持部と、ノズル昇降機構によって前記シート保持部に対して相対的に昇降し、前記チップの上面に当接してこのチップを吸着保持するとともに平坦な状態に保つ保持面が設けられた取出しノズルと、前記シート保持部の下方に配設され前記シートの下面に当接して前記チップとシートとの剥離を促進させる剥離促進機構とを備え、

前記剥離促進機構は、前記シートの下面に当接してこのシートを下受け支持する当接支持面が設けられ前記シート保持部に対して相対的に昇降する昇降部と、前記当接支持面において前記チップを下受けするチップ下受け範囲の外側に設けられ前記シートを下面側力吸着保持する吸着孔と、前記当接支持面において前記チップ下受け範囲内に設けられ前記シートの下面に当接してこのシートを押し上げる可橈性の押上面を備えた押上部とを有し、

前記取出しノズルの下降状態において、前記押上部は押上面を前記シートの下面に平面状に倣わせて当接し、前記チップを吸着保持した取出しノズルを上昇させてチップを取り出すチップ取出し動作において、前記押上部が押上面を上に凸形の曲面状に変形させながら前記シートの下面を押し上げることにより、前記シートとチップとをチップ外縁側力剥離させるチップピックアップ装置。

[2] 前記押上部は、可撓性の弾性体を上に凸形の曲面を有する形状に成形してなる請求項 1記載のチップピックアップ装置。

[3] 前記押上部を複数配置した請求項 1記載のチップピックアップ装置。

[4] 前記押上部は前記昇降部に対して昇降自在に設けられており、予め前記取出しノズルを下降させて前記チップを吸着保持した後に前記押上部を上昇させることにより、前記押上面を前記シートの下面に平面状に倣わせて当接する請求項 1記載のチップピックアップ装置。

[5] シートに貼り付けられた板状のチップをピックアップするチップのピックアップ装置にお!、て、取出しノズルによって前記チップをシート保持部に保持された前記シートから取り出す際に、前記シートの下面に当接して前記チップとシートとの剥離を促進するチップ剥離装置であって、

前記シートの下面に当接してこのシートを下受け支持する当接支持面が設けられ前記シート保持部に対して相対的に昇降する昇降部と、前記当接支持面において前記チップを下受けするチップ下受け範囲の外側に設けられ前記シートを下面側から吸着保持する吸着孔と、前記当接支持面において前記チップ下受け範囲内に設けられ前記シートの下面に当接してこのシートを押し上げる可撓性の押上面を備えた押上部とを有し、

前記取出しノズルの下降状態において、前記押上部は押上面を前記シートの下面に平面状に倣わせて当接し、前記チップを吸着保持した取出しノズルを上昇させてチップを取り出すチップ取出し動作において、前記押上部が押上面を上に凸形の曲面状に変形させながら前記シートの下面を押し上げることにより、前記シートとチップとをチップ外縁側力剥離させるチップ剥離装置。

[6] 前記押上部は、可撓性の弾性体を上に凸形の曲面を有する形状に成形してなる請求項 5記載のチップ剥離装置。

[7] 前記押上部を複数配置した請求項 5記載のチップ剥離装置。

[8] 前記押上部は前記昇降部に対して昇降自在に設けられており、予め前記取出しノズルを下降させて前記チップを吸着保持した後に前記押上部を上昇させることにより、前記押上面を前記シートの下面に平面状に倣わせて当接する請求項 5記載のチップ剥離装置。

[9] 板状のチップが貼り付けられたシートを保持するシート保持部と、ノズル昇降機構によって前記シート保持部に対して相対的に昇降し、前記チップの上面に当接してこのチップを吸着保持するとともに平坦な状態に保つ保持面が設けられた取出しノズルと、前記シート保持部の下方に配設され前記シートの下面に当接して前記チップとシートとの剥離を促進させる剥離促進機構とを備えたチップピックアップ装置によって前記シートから前記チップをピックアップするチップのピックアップ方法であって、前記剥離促進機構は、前記シートの下面に当接してこのシートを下受け支持する当接支持面が設けられ前記シート保持部に対して相対的に昇降する昇降部と、前記当接支持面において前記チップを下受けするチップ下受け範囲の外側に設けられ前記シートを下面側力吸着保持する吸着孔と、前記当接支持面において前記チップ下受け範囲内に設けられ前記シートの下面に当接してこのシートを押し上げる可橈性の押上面を備えた押上部とを有し、

前記取出しノズルの下降状態において、前記押上部を押上面を前記シートの下面に平面状に倣わせて当接させ、

前記チップを吸着保持した取出しノズルを上昇させてチップを取り出すチップ取出し動作において、前記押上部が押上面を上に凸形の曲面状に変形させながら前記シートの下面を押し上げることにより、前記シートとチップとをチップ外縁側力も剥離させ、

次、で前記シートから剥離したチップを前記取出しノズルによって取り出すチップピックアップ方法。

[10] 前記押上部は、可撓性の弾性体を上に凸形の曲面を有する形状に成形してなり、前記取出しノズルの下降状態にお!、て、前記取出しノズルによって前記チップおよびシートを介して前記押上部を弾性変形させることにより、押上面を前記シートの下面に平面状に倣わせて当接させる請求項 9記載のチップピックアップ方法。

[11] 前記押上部は前記昇降部に対して昇降自在に設けられており、予め前記取出しノズルを下降させて前記チップを吸着保持した後に前記押上部を上昇させることにより、前記押上面を前記シートの下面に平面状に倣わせて当接する請求項 9記載のチップピックアップ方法。

[12] シートに貼り付けられた板状のチップをピックアップするチップピックアップ装置にお V、て、取出しノズルによって前記チップをシート保持部に保持された前記シートから取り出す際に、前記シートの下面に剥離促進機構を当接させて前記チップとシートとの剥離を促進するチップ剥離方法であって、

前記チップを吸着保持した取出しノズルを上昇させてチップを取り出すチップ取出し動作において、前記押上部が押上面を上に凸形の曲面状に変形させながら前記シートの下面を押し上げることにより、前記シートとチップとをチップ外縁側力も剥離させるチップ剥離方法。

[13] 前記押上部は、可撓性の弾性体を上に凸形の曲面を有する形状に成形してなり、前記取出しノズルの下降状態にお!、て、前記取出しノズルによって前記チップおよびシートを介して前記押上部を弾性変形させることにより、押上面を前記シートの下面に平面状に倣わせて当接させる請求項 12記載のチップ剥離方法。

[14] 前記押上部は前記昇降部に対して昇降自在に設けられており、予め前記取出しノズルを下降させて前記チップを吸着保持した後に前記押上部を上昇させることにより、前記押上面を前記シートの下面に平面状に倣わせて当接する請求項 12記載のチップ剥離方法。