JPH11186298A - チップのピックアップ方法及び装置 - Google Patents
チップのピックアップ方法及び装置Info
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- JPH11186298A JPH11186298A JP36608997A JP36608997A JPH11186298A JP H11186298 A JPH11186298 A JP H11186298A JP 36608997 A JP36608997 A JP 36608997A JP 36608997 A JP36608997 A JP 36608997A JP H11186298 A JPH11186298 A JP H11186298A
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Abstract
より上昇させることを可能とし、吸着コレットに常に一
定姿勢でチップを吸着保持させる。 【解決手段】 粘着テープ1上のチップ2を個々に剥離
し、粘着テープ上側の吸着コレット20で吸着保持する
場合において、突き上げニードル31の外周に突き上げ
駒32を昇降自在に設け、それら突き上げニードル31
及び突き上げ駒32の上端の高さを揃えて吸着対象のチ
ップ2に対応する粘着テープ下面を押し上げて吸着対象
のチップ2を吸着コレット20の下端に接触させ、その
後、突き上げニードル31の停止状態にて突き上げ駒3
2を下降させて吸着対象のチップ2を粘着テープ1から
剥離し、吸着コレット20で吸着対象のチップ2を吸着
保持するとともに突き上げニードル31を下降させる構
成である。
Description
を製造する際に、ダイシングされたウエハからチップを
取り出すためのチップのピックアップ方法及び装置に関
する。
テープ上面に貼着した半導体等のウエハを必要なサイズ
のチップにダイシング(切断、分離)し、個々のチップ
をピックアップして次工程に移送する。
で提案されたウエハからチップを取り出す構成手段とそ
の方法を示す。この図に示すように、粘着テープ1上面
に貼着した半導体等のウエハを必要なサイズのチップ2
にダイシング(切断、分離)し、突き上げ装置10上方
に位置させて、そのウエハ全体をXY方向に移動させ、
図7(A)のように前記突き上げ装置10が有する突き
上げニードル11及び駒12を突き上げるべきチップ位
置に対面させる。この状態で粘着テープ1下面側より図
7(B)の如く突き上げニードル11を上昇させチップ
2を個別に粘着テープ1から剥がしながらチップ位置上
部に離間させてある吸着コレット20でチップ2を受
け、吸着コレット20の真空吸着によりチップ2を吸着
コレット側に固定した後、図7(C)のように突き上げ
ニードル11を下降させ、チップ2を粘着テープ1より
完全に剥離し、離脱させることでウエハからチップ2を
取り出す。
れた従来技術では、チップ2が粘着テープ1から剥離さ
れ吸着コレット20に受け渡される際に、突き上げニー
ドル11先端のみでチップ2を粘着テープ1より剥がし
ながらチップ2を上昇させ吸着コレット20へ受け渡す
構成手段と方法を取っていた。
る突き上げニードル11及び駒12の構成手段が成し得
る動作では、粘着テープ1上面に貼られたチップ2を突
き上げニードル11で突き上げる際に、図8のようにチ
ップ2の姿勢が傾き、吸着コレット20にチップ2を受
け渡す際にチップ2の姿勢が常に一定ではなく、ピック
アップミスが発生し、また更にそれが原因となるチップ
の破損を発生していた。
に貼られたチップを平行移動により上昇させることが可
能で、吸着コレットに常に一定姿勢でチップを吸着保持
させることが可能なチップのピックアップ方法及び装置
を提供することを目的とする。
の実施の形態において明らかにする。
に、本発明に係るチップのピックアップ方法は、粘着テ
ープ上のチップを個々に剥離し、粘着テープ上側の吸着
コレットで吸着保持する場合において、突き上げニード
ルの外周に突き上げ駒を昇降自在に設け、それら突き上
げニードル及び突き上げ駒の上端の高さを揃えて吸着対
象のチップに対応する粘着テープ下面を押し上げて吸着
対象のチップを前記吸着コレットの下端に接触させ、そ
の後、前記突き上げニードルの停止状態にて前記突き上
げ駒を下降させて吸着対象のチップを粘着テープから剥
離し、前記吸着コレットで吸着対象のチップを吸着保持
するとともに前記突き上げニードルを下降させることを
特徴としている。
は、チップが貼り付けられた粘着テープの上側に配置さ
れた吸着コレットと、前記粘着テープの下側に昇降自在
に配置された突き上げニードルと、該突き上げニードル
の外周に昇降自在に設けられた突き上げ駒とを備え、前
記突き上げニードル及び突き上げ駒は上端の高さを揃え
て吸着対象のチップに対応する粘着テープ下面を押し上
げて吸着対象のチップを前記吸着コレットの下端に接触
させる動作と、吸着対象のチップが前記吸着コレットの
下端に接触した状態において前記突き上げニードルを停
止し、前記突き上げ駒を下降させて吸着対象のチップを
粘着テープから剥離する動作を行うことを特徴としてい
る。
いて、前記突き上げ駒は昇降部材の上端部に交換自在に
装着された構成にするとよい。
クアップ方法及び装置の実施の形態を図面に従って説明
する。
を説明する。これらの図において、粘着テープ1上面に
貼着した半導体等のウエハは必要なサイズのチップ2に
ダイシングされており、粘着テープ1は図示しない支持
手段によりXY平面(水平面)内でXY方向に移動自在
に支持されている。突き上げニードル31及び専用突き
上げ駒32を有する突き上げ装置30は、粘着テープ1
の下方に配設されており、XY平面内の配置は固定とな
っている。また、突き上げニードル31及びその外周側
の専用突き上げ駒32はそれぞれ独自に昇降自在であ
る。前記粘着テープ1の上方には、前記突き上げ装置3
0の真上位置で昇降自在な如く吸着コレット20が支持
されており、該吸着コレット20は昇降駆動体21に対
して上下移動自在でかつ緩衝ばね22によって下方に突
出する向きに付勢された吸着部23を備えている。吸着
部23は、中心に真空吸着用穴24が形成された水平な
平坦面25と、その周囲のテーパー面26とを下端に有
し、テーパー面26は外縁側が下方に突出する向きであ
る。吸着部23には昇降駆動体21と係合するストッパ
凸部23aが形成され、これにより吸着部23の昇降駆
動体21からの突出量が規制されるようになっている。
この吸着コレット20は前記突き上げ装置30の真上位
置から横方向にも移動可能である。
チップに対して「専用」に用いられるもので、図1に示
すように、突き上げ装置30が有する昇降部材33の上
端部に嵌合され、ビス34で固着されていて、ビス34
を弛めることで他種の専用突き上げ駒と交換自在であ
り、例えば、図2のようにチップ2の輪郭が正方形であ
れば、チップ輪郭をはみ出さない最大円形(内接円)の
平坦な上端面35を有する専用突き上げ駒32を用い
る。
作説明を行う(図3では専用突き上げ駒32が交換自在
な構造となっていることの図示を省略してある)。
チップ(吸着対象のチップ)底面位置に突き上げ装置3
0の突き上げニードル31及び専用突き上げ駒32の上
端の高さを揃えて対面させる。このとき、吸着コレット
20は突き上げ装置30の真上位置で粘着テープ1上の
チップ2の上方に離間した位置で待機している。
ット20を所定の受け渡し高さにまで下降させるととも
に、突き上げニードル31及び専用突き上げ駒32の上
端の高さを揃えて同時に上昇させ(チップ姿勢は突き上
げる直前と平行)、チップ2上面が吸着コレット下面
(テーパー面26)に接する高さとなったところで上昇
を止める。この時、吸着コレット20側の吸着部23に
緩衝ばね22によるクッション機構を持つことで突き上
げ駒32の上面と吸着コレット20の吸着部23下面と
の間にあるチップ2及び粘着テープ1に必要以上のスト
レスを与えることのなくチップ上面を吸着コレット下面
に接触させることができる。また、チップ2上面と吸着
部23の隙間を微調整することでさらにストレスをゼロ
に近づけることが可能となる。
テープ1を介し専用突き上げ駒32の平坦な上端面35
で支えられ、上面は吸着コレット20に接触支持されて
いることにより所定の水平姿勢に位置決めされる。
ト20にてチップ2を吸着し、さらに突き上げニードル
31の高さはそのまま維持して突き上げ駒32のみを下
降させることにより、チップ2の下面は突き上げニード
ル31に支持されたまま粘着テープ1は自らの弾性変化
により剥がされる。
吸着コレット20に真空吸着で固定、保持されたまま
で、突き上げニードル31を下げることにより、粘着テ
ープ1が元の位置へ弾性によって戻ることで、完全にチ
ップ2は粘着テープ1から剥離し、離脱する。
の効果を得ることができる。
上げ駒32が同時に高さを揃えた状態で吸着対象のチッ
プ2を持ち上げるため、専用突き上げ駒32の平坦な上
端面35にてチップ2の姿勢を突き上げる直前と平行
で、傾くこと無く一定に保って確実に吸着コレット20
に受け渡すことができる。そして、吸着コレット20と
突き上げニードル31とでチップ2を完全に固定しなが
ら専用突き上げ駒32のみを下げることで粘着テープ1
を剥離することが可能であり、剥離動作に伴いチップ2
の姿勢が不安定になることがない。
き上げ装置30の昇降部材33の上端部に嵌合され、ビ
ス34で固着されているから、ビス34を弛めることで
チップ2の形状、大きさごとに合わせ簡単に脱着可能な
構造となっている。従って、常にチップ2の上昇姿勢を
一定に保つことのできる突き上げ面形状とすることがで
き、チップ2の突き上げ時の姿勢の安定化をいっそう確
実にすることができる。
であって、長方形の輪郭を有するチップ2にとくに適し
た構造を示す。これらの図において、突き上げ装置30
の昇降部材33の上端部に装着された専用突き上げ駒3
2Aは長方形の輪郭を有する図5のチップ2の輪郭から
はみ出さない最大楕円形(内接楕円)となった平坦な上
端面35Aを有するものである。その他の構造及び動作
は前述した第1の実施の形態と同様である。
ット20は、吸着部23下端が平坦面25及びその周囲
のテーパー面26とからなり、チップ2の角がテーパー
面26に接触した状態で吸着保持されるようになってい
る。これはチップ2の上面のパターン等が吸着コレット
20の下面に直接接触して傷付く等の問題を避けるため
であるが、チップ2の上面が吸着コレット下面に面接触
してもかまわない品種であれば、平坦な下端面を持つ吸
着コレットを使用することもできる。この場合を、図6
において本発明の第3の実施の形態として示す。図6に
おいて、チップ2が貼られた粘着テープ1の上方には、
突き上げ装置30の真上位置で昇降自在な如く吸着コレ
ット20Aが支持されており、該吸着コレット20Aの
吸着部23Aは中心に真空吸着用穴24が形成された水
平で平坦な下端面27を有している。なお、吸着部23
Aが昇降駆動体に対して上下移動自在でかつ緩衝ばねに
よって下方に突出する向きに付勢されていること、突き
上げ装置30側の機構等は前述した第1の実施の形態と
同様である。
20Aが平坦な下端面27を有するため、吸着時のチッ
プ2の姿勢はいっそう安定する。その他の作用効果は前
述した第1の実施の形態と同様である。
貼り付けられた粘着テープ1側がXY方向に動くように
説明したが、突き上げ装置30側がXY方向に動く構成
でもよく、要は両者がXY方向に相対移動できればよ
い。
きたが、本発明はこれに限定されることなく請求項の記
載の範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当
業者には自明であろう。
プのピックアップ方法及び装置によれば、粘着テープ上
のチップを個々に剥離し、粘着テープ上側の吸着コレッ
トで吸着保持する場合に、チップの姿勢が傾くこと無く
確実にピックアップすることが可能となり、これにより
チップの受け渡しミス、チップの破損を無くすことが可
能である。
置の第1の実施の形態を示す正断面図である。
げ駒の上端面との関係を示す平面図である。
る。
げ駒の上端面との関係を示す平面図である。
る。
成手段及びその動作を示す動作説明図である。
る。
Claims (3)
- 【請求項1】 粘着テープ上のチップを個々に剥離し、
粘着テープ上側の吸着コレットで吸着保持するチップの
ピックアップ方法において、突き上げニードルの外周に
突き上げ駒を昇降自在に設け、それら突き上げニードル
及び突き上げ駒の上端の高さを揃えて吸着対象のチップ
に対応する粘着テープ下面を押し上げて吸着対象のチッ
プを前記吸着コレットの下端に接触させ、その後、前記
突き上げニードルの停止状態にて前記突き上げ駒を下降
させて吸着対象のチップを粘着テープから剥離し、前記
吸着コレットで吸着対象のチップを吸着保持するととも
に前記突き上げニードルを下降させることを特徴とする
チップのピックアップ方法。 - 【請求項2】 チップが貼り付けられた粘着テープの上
側に配置された吸着コレットと、前記粘着テープの下側
に昇降自在に配置された突き上げニードルと、該突き上
げニードルの外周に昇降自在に設けられた突き上げ駒と
を備え、 前記突き上げニードル及び突き上げ駒は上端の高さを揃
えて吸着対象のチップに対応する粘着テープ下面を押し
上げて吸着対象のチップを前記吸着コレットの下端に接
触させる動作と、吸着対象のチップが前記吸着コレット
の下端に接触した状態において前記突き上げニードルを
停止し、前記突き上げ駒を下降させて吸着対象のチップ
を粘着テープから剥離する動作を行うことを特徴とする
チップのピックアップ装置。 - 【請求項3】 前記突き上げ駒は昇降部材の上端部に交
換自在に装着されている請求項2記載のチップのピック
アップ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP36608997A JP3213273B2 (ja) | 1997-12-24 | 1997-12-24 | チップのピックアップ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP36608997A JP3213273B2 (ja) | 1997-12-24 | 1997-12-24 | チップのピックアップ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11186298A true JPH11186298A (ja) | 1999-07-09 |
JP3213273B2 JP3213273B2 (ja) | 2001-10-02 |
Family
ID=18485902
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP36608997A Expired - Lifetime JP3213273B2 (ja) | 1997-12-24 | 1997-12-24 | チップのピックアップ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3213273B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20010038913A (ko) * | 1999-10-28 | 2001-05-15 | 마이클 디. 오브라이언 | 반도체 칩 유니트의 픽업 장치 |
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-
1997
- 1997-12-24 JP JP36608997A patent/JP3213273B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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TWI715862B (zh) * | 2017-08-25 | 2021-01-11 | 日商上野精機股份有限公司 | 電子零件收授裝置 |
CN109791903B (zh) * | 2017-08-25 | 2023-08-22 | 上野精机株式会社 | 电子零件交接装置 |
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CN108275458B (zh) * | 2018-01-10 | 2024-03-15 | 深圳市升宇智能科技有限公司 | 一种fpc板智能吸放装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3213273B2 (ja) | 2001-10-02 |
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