WO2002042742A1

WO2002042742A1 - Cantilever for vertical scanning microscope and probe for vertical scan microscope using it

Info

Publication number: WO2002042742A1
Application number: PCT/JP2001/008613
Authority: WO
Inventors: Yoshikazu Nakayama; Seiji Akita; Akio Harada; Takashi Okawa; Yuichi Takano; Masatoshi Yasutake; Yoshiharu Shirakawabe
Original assignee: Daiken Chemical Co., Ltd; Seiko Instruments Inc.
Priority date: 2000-11-26
Filing date: 2001-09-28
Publication date: 2002-05-30
Also published as: EP1278055A4; US6705154B2; US20030010100A1; JP2002162335A; EP1278055A1; CN1397011A; KR20020081258A; KR100505991B1

Description

明細書垂直式走査型顕微鏡用力ンチレバー及びこれを使用した

垂直式走査型顕微鏡用プローブ

(技術分野）

本発明は、ナノチューブを搮針として試料表面から物性情報を得る走査型顕微鏡用プローブに関し、更に詳細には、試料表面に対しナノチューブ探針を略垂直に立設して試料表面から高分解能に物性情報を得ることができる高性能走查型顕微鏡用カンチレバー及びこれを使用した高性能走査型顕微鏡用プローブに関する

(背景技術）

A F Mで略称される原子間力顕微鏡により試料表面の構造を撮像するには、試料表面に接触させて信号を取り出す探針が必要である。従来、この探針としてはカンチレバー部に四角錐や円錐などの先鋭な先端を有する突出部（ビラミツド部とも呼ぶ) を形成したシリコン製のカンチレパーが知られている。

近年になり、新規な炭素構造を有するカーボンナノチューブが発見された。このカーボンナノチューブは、直径が約 1 n mから数十 n m、長さが数 ^u mであり、ァスぺクト比（長さ直径）は 1 0 0〜 1 0 0 0程度になる。現在の半導体技術では直径が 1 n mの探針を作成することは困難であり、この点から考えると、カーボンナノチューブは A F M用探針として最高の条件を備えている。

このような中で、 H. Dai等は NATURE (Vol. 384, 14 November 1996)においてカーボンナノチュープをカンチレバーの突出部の先端に張り付けた A FM用プローブを報告した。彼らのプローブは画期的ではあったが、カーボンナノチューブを突出部に付着させたものに過ぎないため、試料表面を何回か走査している間にカーボンナノチューブが突出部から脱落してしまう生質があった。

本発明者等はこの弱点を解決するために、カーボンナノチューブをカンチレバ一の突出部に強固に固着させる固定方法を開発するに到った。この開発の成果は、特開 2 0 0 0— 2 2 7 4 3 5号として第 1固定方法が、また特開 2 0 0 0— 2 4 9 7 1 2号として第 2固定方法が公開されている。

前記第 1の固定方法は、ナノチューブの基端部に電子ビームを照射してコーティング膜を形成し、このコーティング膜によりナノチューブをカンチレパー突出部に被覆固定する方法である。第 2の固定方法は、ナノチューブの基端部に電子ビーム照射又は通電して、ナノチューブ基端部をカンチレバー突出部に融着固定する方法である。

し力し、ナノチューブを錐状体からなるカンチレパー突出部に固定するにしても、その配置によっては検出信号の分解能が低下することがしばしばある。図 1 4は従来の走査型顕微鏡用プローブの立体構成図である。走査型顕微鏡用プローブ 2 0は、カンチレバー 2とナノチューブ 1 2から構成される。このカンチレバー 2は力ンチレバー部 4と、その後端の固定部 6と、その先端の突出部 8 (ピラミッド部と呼ばれる）からなり、突出部 8は探針となる先鋭な先端 8 aを有している。ナノチューブ 1 2の基端部は突出部 8に固定されるが、いつも先端 8 aを通過するように固定することは高度の技術を要し、多くの場合は図のように先端 8 aを通過しない。

このプローブ 2 0で試料 2 2の試料表面 2 4を走査すると、試料表面 2 4に対してナノチューブ先端 1 8と突出部先端 8 aが両方とも探針として作用する。得られた表面映像は、ナノチューブ先端 1 8により得られた影像と突出部先端 8 a により得られた映像が重なって構成され、映像自体の鮮明度が低下してしまう。図 1 5は従来の他の走査型顕微鏡用プローブの立体構成図である。この従来例では、ナノチューブ 1 2が突出部先端 8 aを通過しているから突出部先端 8 aの探針作用は封殺されている。従って、ナノチューブ先端 1 8だけが探針として作用する。

ところが、このナノチューブ先端 1 8を試料表面 2 4に接触させたとき、ナノチューブ 1 2と試料 2 2の平均表面 2 6とは直交せず、交差角 φを以て斜交している。斜交状態ではナノチューブ先端 1 8は試料表面 2 4の急峻な凹部ゃ凸部に追随できず、検出不能な空白領域が出現する。つまり、この場合にも検出分解能が低下することは避けられない。これらの弱点は、従来の力ンチレバー突出部 8が錐体状に形成されているため、必ず先鋭な突出部先端 8 aを有していることに起因する。言い換えれば、従来の A FM用探 ft "をそのままナノチューブ探 tf"のホルダーとして利用することにより、それらの弱点が出現する。

従って、本発明の目的は、カンチレバー突出部が先鋭な先端を有さず、しかも検出時にナノチューブ先端が試料面に対し略垂直状に当接する垂直式走查型顕微鏡用プロープを実現することである。

(発明の開示）

請求項 1の発明は、カンチレバーに固着されたナノチューブ探^ "の先端により試料表面の物性情報を得る走査型顕微鏡用プローブにおいて、ナノチューブの基端部を固着する取付領域を力ンチレバーに設け、力ンチレバーを試料面に対し測定状態に配置したときに前記取付領域の高さ方向が試料面に対し略垂直状態になるように設けられることを特徴とする垂直式走査型顕微鏡用力ンチレバーである請求項 2の発明は、前記取付領域が取付平面である請求項 1に記載の垂直式走查型顕微鏡用カンチレバーである。

請求項 3の発明は、前記取付領域がナノチューブの基端部を挿入させる取付孔であり、この取付孔の軸方向が前記高さ方向となる請求項 1に記載の垂直式走査型顕微鏡用カンチレパーである。

請求項 4の発明は、前記取付領域がナノチューブの基端部を嵌め込む取付溝であり、この取付溝の溝方向が前記高さ方向となる請求項 1に記載の垂直式走査型顕微鏡用カンチレバーである。

請求項 5の発明は、前記取付領域が稜線部であり、この稜線の方向が前記高さ方向となる請求項 1に記載の垂直式走査型顕微鏡用カンチレバーである。

請求項 6の発明は、前記取付領域が取付曲面であり、カンチレバーを試料面に対し測定状態に配置したときに前記取付曲面の接平面の高さ方向が試料面に対し略垂直状態になるように設けられる請求項 1に記載の垂直式走査型顕微鏡用力ンチレバーである。請求項 7の発明は、前記取付領域を、集束イオンビーム加工、エッチングプロセス、又はデポジションプロセスを利用して形成する請求項 1に記載の垂直式走查型顕微鏡用力ンチレバーである。

請求項 8の発明は、カンチレパーに固着されたナノチューブ探針の先端により試料表面の物性情報を得る走査型顕微鏡用プローブにおいて、ナノチューブの基端部を固着する取付領域をカンチレバーに設け、カンチレパーを試料面に対し測定状態に配置したときに前記取付領域の高さ方向が試料面に対し略垂直状態になるように設けられ、ナノチューブの基端部をこの取付領域の高さ方向に固着させたことを特徴とする垂直式走査型顕微鏡用プローブである。

請求項 9の発明は、前記力ンチレバーの力ンチレバー部の軸方向が測定状態において試料面に対し角度 Θで尻上がり状に配置されるとき、前記ナノチューブの軸線とカンチレバー部の軸方向とが略（0 + 9 0 ) 度の角度をなす請求項 8に記載の垂直式走查型顕微鏡用プロープである。

(図面の簡単な説明）

図 1は、本発明の第 1実施形態（取付平面）の斜視図である。

図 2は、本発明の第 1実施形態の側面図である。

図 3は、本発明の第 2実施形態（取付孔）の斜視図である。

図 4は、本発明の第 2実施形態の側面図である。

図 5は、本発明の第 3実施形態（取付溝）の斜視図である。

図 6は、本発明の第 3実施形態の側面図である。

図 7は、本発明の第 4実施形態（取付溝の変形例）の斜視図である。

図 8は、本発明の第 4実施形態の側面図である。

図 9は、本発明の第 5実施形態（稜線部）の斜視図である。

図 1 0は、本発明の第 5実施形態の側面図である。

図 1 1は、本発明の第 6実施形態の斜視図である。

図 1 2は、本発明の第 7実施形態の斜視図である。

図 1 3は、本発明の第 8実施形態の斜視図である。

図 14は、従来の走查型顕微鏡用プローブの立体構成図である。図 1 5は、従来の他の走査型顕微鏡用プローブの立体構成図である。 (発明を実施するための最良の形態）

以下に、本発明に係る垂直式走査型顕微鏡用カンチレバー及びこれを用いた垂直式走查型顕微鏡用プローブの実施形態を添付する図面を参照して詳細に説明する。

図 1は本発明の第 1実施形態の斜視図である。垂直式走査型顕微鏡用カンチレパー 2 (以後カンチレバーと称する）は、カンチレバー部 4と、固定部 6と、突出部 8から構成されている。突出部 8は力ンチレパー部 4の先端に直方体状に突設されており、それ自体には探針状の先鋭な先端を有していない。

突出部 8の周面は複数の平面から構成され、その内の少なくとも一面はナノチユープ 1 2の取付平面 1 0となる。この取付平面 1 0の特徴は、その高さ方向が試料測定時に一点鎖線で表す試料平面 2 6に対し垂直に立設状に配置されることである。この取付平面 1 0にその高さ方向にナノチューブ 1 2の基端部 1 4が固定される。

ナノチューブ 1 2には、導電性のカーボンナノチューブや絶縁性の B N (窒化ホウ素）系ナノチューブ、 B C N (炭窒化ホウ素）系ナノチューブなど各種のナノチューブが存する。トンネル顕微鏡 ( S TM) 用にはトンネル電流を検出する必要性から導電性ナノチューブが用いられ、原子間力顕微鏡 (A FM) 用には導電性ナノチューブでも絶縁性ナノチューブでもどちらでもよいなど用途に合わせてナノチューブが選択される。

ナノチューブ 1 2を取付平面 1 0に固定する方法には、既に説明したように、 2種類の方法がある。第 1は、ナノチューブ 1 2の基端部 1 4をコーティング膜により被覆する方法であり、第 2は基端部 1 4を電子ビームゃィオンビーム又は通電で取付平面 1 0に熱融着させる方法である。

ナノチューブ 1 2は、その軸心が試料 2 2の平均表面 2 6に垂直に立設するように、取付平面 1 0に固定される。このように取り付けると、ナノチューブ 1 2 の先端部 1 6は常に測定状態で平均表面 2 6に対し垂直配置になり、先端 1 8による試料表面 2 4の検出が効率よく行える。。ナノチューブ 1 2を力ンチレバー 2に固定することによって垂直式走査型顕微鏡用プローブ 2 0 (以後プローブと略称する）が完成する。このプローブは走查型顕微鏡に使用されるもので、例えば上記の A FMや S TMに限らず、表面の違いを摩擦力で検出する水平力顕微鏡 ( L FM) 、磁気相互作用を検出する磁気力顕微鏡（M FM) 、電界力の勾配を検出する電界力顕微鏡 ( E FM) 、化学官能基の表面分布を画像化する化学力顕微鏡 (C FM) などがあり、試料表面の物理的 .化学的作用を探針で走査検出して、試料の原子レベルでの物性情報を得るものである。

図 2は第 1実施形態の側面図である。プローブ 2 0を試料 2 2に対し測定状態に配置すると、カンチレバー部 4の軸方向 bは試料平均表面 2 6に対し角度 Θで尻上がりに傾斜する。この傾斜配置状態で、ナノチューブ 1 2の軸心と軸方向 b とは角度（Θ + 9 0 ) 度で交差するから、ナノチューブ 1 2は平均表面 2 6に対し角度 9 0度で垂直に立設することになる。

ナノチューブ 1 2が試料平均表面 2 6に垂直配置になることは、その先端 1 8 が複雑に凹凸する試料表面 2 4に確実に追従できることを意味する。つまり、先端 1 8が探針先端となるから、試料表面の物理的 ·化学的情報を正確に高分解能で検出することが可能になる。

図 3は本発明の第 2実施形態の斜視図である。第 1実施形態と作用効果が同一部分には同一番号を付してその説明を省略し、異なる部分のみを説明する。この実施形態では突出部 8に取付孔 2 8を形成している。この取付孔 2 8はプローブ 2 0を測定状態に配置した時に、取付孔 2 8の軸心方向が試料平均表面 2 6に垂直になるように形成される。

この取付孔 2 8にナノチューブ 1 2の基端部 1 4が揷入固定される。ナノチュープ 1 2を取付孔 2 8に挿入するだけで原子間力によって固定される。しかし、取付孔 2 8の断面直径がナノチューブ 1 2のそれと比較して大きくなるに従い、有機ガスの分解堆積物で孔を埋めたり、電子ビームを照射したり、又は通電して表面融着させる等の方法で確実に固定することもできる。

図 4は第 2実施形態の側面図である。プローブ 2 0が測定状態にあるとき、力ミー部 4の軸方向 bは試料平均表面 2 6に対し角度 0だけ尻上がりに傾斜する点は第 1実施形態と同様である。しかし、この傾斜配置においても、ナノチユーブ 1 2の軸心方向（高さ方向）はカンチレバー部 4の軸方向と角度（0 + 9 0 ) 度だけ開離しているから、ナノチューブ 1 2は試料平均表面 2 6に対し垂直に当接する。従って、先端 1 8は試料表面 2 4の凹凸に確実に追従することがでさる。

図 5は本発明の第 3実施形態の斜視図である。第 1実施形態と作用効果が同一部分には同一番号を付してその説明を省略し、異なる部分のみを説明する。この実施形態では、突出部 8の表面に取付溝 3 0が刻設されており、この取付溝 3 0 にナノチューブ 1 2の基端部 1 4が嵌合される。この嵌合を強固な固着にするため、表面を被覆するようにコーティング膜を形成してもよいし、ビーム照射したり、又は通電により表面を融着してもよい。取付溝 3 0の断面形状はコ字型、 V 字型、半円型など各種の形状がある。

図 6は第 3実施形態の側面図である。図示するように、力ンチレバー部の軸方向 bとナノチューブ 1 2の軸心とは角度（0 + 9 0 ) 度だけ開離するように組み立てられている。つまり、取付溝 3 0の溝方向（高さ方向）がカンチレバー部 6 に対し角度（Θ + 9 0 ) 度の開き角を有するように設定されている。その結果、測定時のカンチレバー部 6の尻上がり角が角 0であるから、ナノチューブ 1 2は試料平均表面 2 6に対し角度 9 0度で垂直に当接する。従って、ナノチューブ 1 2の先端 1 8は試料表面 2 4の凹凸に確実に追従でき、試料表面の物性情報を高精度に検出することができる。

図 Ίは本発明の第 4実施形態の斜視図である。第 1実施形態と作用効果が同一部分には同一番号を付してその説明を省略し、異なる部分のみを説明する。この実施形態では、突出部 8の表面に平坦な切欠部 3 2を形成し、この切欠部 3 2の段差 3 2 aの部分が取付溝 3 0を構成する。取付溝 3 0はナノチューブ 1 2を一義的に嵌合できる場所の総称で、溝状、段差状、その他の形状が含まれる。この段差状の取付溝 3 0にナノチューブ 1 2の基端部 1 4を嵌合し、固定する

。固定方法はコーティング膜ゃ融着などが利用できる。ナノチューブ 1 2を試料平均面 2 6に垂直に当接させるため、この取付溝 3 0の軸方向が測定状態で試料平均面 2 6に垂直になるように形成される。図 8は第 4実施形態の側面図である。力ンチレバー部 4の尻上げ角 Θ及び力ンチレバー部 4とナノチューブ 1 2の開き角（Θ + 9 0 ) 度は前述した通りであるから、ここでは,操り返さなレ、。

図 9は本発明の第 5実施形態の斜視図である。第 1実施形態と作用効果が同一部分には同一番号を付してその説明を省略し、異なる部分のみを説明する。この実施形態では、突出部 8は三角柱状に形成されており、稜線 3 4がナノチューブ 1 2の取付位置を示している。つまり、稜線の方向が取付方向であるから、稜線の近傍に稜線と平行にナノチューブ 1 2を固定する。

図 1 0は第 5実施形態の側面図である。稜線 3 4の方向とナノチューブ 1 2の軸心とが接近状態で平行し、測定状態で試料平均表面 2 6に垂直に設定されている。それ以外は他の実施形態と同様であるから、省略する。

図 1 1は第 6実施形態の斜視図である。突出部 8の形状は円柱状で、その周面はナノチューブ 1 2を取り付ける取付曲面 3 8になっている。この周面の任意の位置に設けた接平面 3 6の高さ方向は平均試料平面 2 6に垂直になるように設けられる。取付曲面 3 8と接平面 3 6との接直線の位置にナノチューブ 1 2の基端部 1 4を固定する。このとき、先端部 1 6は平均試料平面 2 6に略垂直になり、尻上がり角を Θとすると、カンチレバー部 4とナノチューブ 1 2との交差角は（ Θ + 9 0 ) 度になる。

図 1 2は第 7実施形態の斜視図である。突出部 8の形状は斜めに切られた円柱状で、その周面のうち大面積領域がナノチューブ 1 2を取り付ける取付曲面 3 8 となる。この取付曲面 3 8に設けた接平面 3 6の高さ方向は平均試料平面 2 6に垂直になるように設定される。取付曲面 3 8と接平面 3 6との接直線の位置にナノチューブ 1 2の基端部 1 4を固定する。このとき、先端部 1 6は平均試料平面 2 6に略垂直になり、試料に対し高分解能検出が可能になる。図のように、カンチレパー部 4の尻上がり角を Θとすると、カンチレバー部 4とナノチューブ 1 2 との交差角は（6 + 9 0 ) 度になっている。

図 1 3は第 8実施形態の斜視図である。突出部 8の形状は周面が湾曲した円錐台状で、その周面の下端周縁領域がナノチューブ 1 2を取り付ける取付曲面 3 8 となる。この取付曲面 3 8に設けた接平面 3 6の高さ方向は平均試料平面 2 6に垂直になるように設定される。取付曲面 3 8と接平面 3 6との接直線の位置にナノチューブ 1 2の基端部 1 4を固定する。このとき、先端部 1 6は平均試料平面

2 6に略垂直になり、試料に対し高分解能検出が可能になる。図のように、カンチレバー部 4の尻上がり角を 0とすると、カンチレパー部 4とナノチューブ 1 2 との交差角は（Θ + 9 0 ) 度になっている。

本発明では、カンチレバー 2の突出部 8に先鋭な先端を形成しない。その先端が探針となって、後で取りけるナノチューブの探針作用に誤差を与えるからである。探^ ·となるナノチューブ 1 2は、この突出部 8に取り付けられる。これらの取付部位は、その方向が測定状態において平均試料表面 2 6に垂直に配置されているから、取り付けられたナノチューブ 1 2も当然平均試料表面 2 6に垂直な配置を取る。この垂直配置によって、ナノチューブ 1 2は鮮明な試料表面像を検出できる。

突出部 8に取付平面 1 0、取付孔 2 8、取付溝 3 0、稜線部 3 4又は取付曲面

3 8を形成するには、集束イオンビームや電子ビームを利用してエッチングゃデポジションを行ってもよいし、一般の半導体技術におけるエッチングプロセスやデポジションプロセスを用いてもよい。

本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲における種々の変形例や設計変更なども本発明の技術的範囲内に包含されることは言うまでもない。

(産業上の利用可能性）

請求項 1の発明によれば、測定状態において試料面に対し略垂直状態になるように取付領域をカンチレパーに形成するから、この取付領域にナノチューブをその高さ方向に固定するだけで垂直式のプローブを製作できるなど、優れた垂直式走查型顕微鏡用力ンチレバーを提供できる。

請求項 2の発明によれば、測定状態にぉレ、て試料面に対し略垂直状態になるように取付平面を力ンチレバーに形成するから、この取付平面にしかもそめ高さ方向にナノチューブを固定するだけで垂直式のプローブを製作できるなど、優れた垂直式走査型顕微鏡用力ンチレバーを提供できる。請求項 3の発明によれば、測定状態において試料面に対し略垂直状態になるように取付孔をカンチレバーに形成するから、この取付孔にナノチューブを揷入固定するだけで垂直式のプローブを製作できるなど、優れた垂直式走査型顕微鏡用カンチレパーを提供できる。

請求項 4の発明によれば、測定状態において試料面に対し略垂直状態になるように取付溝をカンチレバーに形成するから、この取付溝にナノチューブを嵌合固定するだけで垂直式のプローブを製作できるなど、優れた垂直式走査型顕微鏡用力ンチレバーを提供できる。

請求項 5の発明によれば、.測定状態において試料面に対し略垂直状態になるように稜線部をカンチレバーに形成するから、この稜線部にナノチューブを固定するだけで垂直式のプローブを製作できるなど、優れた垂直式走査型顕微鏡用力ンチレバーを提供できる。

請求項 6の発明によれば、取付曲面をカンチレパーに形成し、この取付曲面の接平面にその高さ方向にナノチューブを固定するだけで、ナノチューブを試料面に対し略垂直状態に配置できる垂直式走查型顕微鏡用力ンチレバーを提供できる請求項 7の発明によれば、集束イオンビーム加工、エッチングプロセス、又はデポジションプロセスを利用して、前述した取付領域、更に具体的には取付平面、取付孔、取付溝、稜線部又は取付曲面等を容易に形成できる。

請求項 8の発明によれば、その高さ方向が試料面に垂直になる取付領域をカンチレバーに設け、この取付領域にナノチューブの基端部をその高さ方向に固着したから、探針先端が常に試料面に垂直に当接して試料表面像を髙分解能に検出できる垂直式走査型顕微鏡用プローブを提供できる。

請求項 9の発明によれば、ナノチューブの軸線と力ンチレバー部の軸方向とを略（Θ + 9 0 ) 度の開き角を有するように構成したから、測定状態においてカンチレバー部を角度 0の尻上げ配置をするだけで、試料表面の凹凸に確実に追従できる垂直式走査型顕微鏡用プローブを提供できる。

Claims

請求の範囲

1 . カンチレバーに固着されたナノチューブ探針の先端により試料表面の物性情報を得る走査型顕微鏡用プローブにおいて、探針となるナノチューブの基端部を固着する取付領域をカンチレバーに設け、カンチレバーを平均試料表面に対し測定状態に配置したときに前記取付領域の高さ方向が平均試料表面に対し略垂直状態になるように設けられることを特徴とする垂直式走査型顕微鏡用力

2 . 前記取付領域が取付平面である請求項 1に記載の垂直式走査型顕微鏡用力

3 . 前記取付領域がナノチューブの基端部を揷入させる取付孔であり、この取付孔の軸方向が前記高さ方向となる請求項 1に記載の垂直式走査型顕微鏡用力

4 . 前記取付領域がナノチューブの基端部を嵌め込む取付溝であり、この取付溝の溝方向が前記高さ方向となる請求項 1に記載の垂直式走查型顕微鏡用カンチレバー。

5 . 前記取付領域が稜線部であり、この稜線の方向が前記高さ方向となる請求項 1に記載の垂直式走査型顕微鏡用力ンチレバー。

6 . 前記取付領域が取付曲面であり、カンチレバーを平均試料表面に対し測定状態に配置したときに前記取付曲面の接平面の高さ方向が平均試料表面に対し略垂直状態になるように設けられる請求項 1に記載の垂直式走査型顕微鏡用力

7. 前記取付領域を、集束イオンビーム加工、エッチングプロセス、又はデポョンプロセスを利用して形成する請求項 1に記載の垂直式走査型顕微鏡用

8 . カンチレパーに固着されたナノチューブ探針の先端により試料表面の物性情報を得る走査型顕微鏡用プローブにおいて、探針となるナノチューブの基端部を固着する取付領域をカンチレバーに設け、カンチレパーを平均試料表面に対し測定状態に配置したときに前記取付領域の高さ方向が平均試料表面に対し略垂直状態になるように設けられ、ナノチューブの基端部をこの取付領域の高さ方向に固着させたことを特徴とする垂直式走査型顕微鏡用プローブ。

. 前記力ンチレバーの力ンチレバー部の軸方向が測定状態において平均試料表面に対し角度 Θで尻上がり状に配置されるとき、前記ナノチューブの軸線とカンチレバー部の軸方向とが略（0 + 9 0 ) 度の角度をなす請求項 8に記載の垂直式走査型顕微鏡用プローブ。