TWI681198B - 基板檢查方法及基板檢查裝置 - Google Patents

Abstract

本發明涉及一種能夠在短時間內簡便地實施觸頭的與檢查點的抵接確認的基板檢測方法及基板檢查裝置。基板檢測方法是對形成有多條佈線的基板的該佈線圖案進行四端子測定法的基板檢查方法，其中，使連接到與檢測單元連接的上游側檢測端子和下游側檢測端子的觸頭串聯連接，將電力供給到串聯的觸頭，來進行該串聯的觸頭間的電氣測定，根據電力和電氣測定結果計算串聯的觸頭間的電特性；基於計算出的電特性，判定串聯的觸頭與檢查點的導通接觸狀態。

Description

基板檢查方法及基板檢查裝置

本發明涉及檢查基板的基板檢查方法及基板檢查裝置，更詳細地說，涉及這樣的基板檢查方法及基板檢查裝置，即，使設置在檢查治具的觸頭抵接到設定在基板上的檢查點來實施檢查時，能夠在短時間內簡便地實施觸頭與該檢查點抵接的確認。

需要說明的是，本發明不限於印刷佈線基板，例如，能夠應用於在柔性基板、多層佈線基板、液晶顯示器和/或等離子顯示器用的電極板、觸摸面板的電極板以及半導體封裝用的封裝基板和/或膜載體等各種基板和/或半導體晶片等形成的電氣佈線的檢查，在本說明書中，將這些各種檢查基板統稱為“基板”。

在基板上形成的佈線用於將電信號收發至載置於該基板的IC和/或半導體部件或其它電子部件。隨著近年來電子部件的微小化，使這樣的佈線更加微細且複雜地形成，並且形成為更加低的電阻。

如此，隨著基板的佈線的微小化的發展，要求檢查該佈線的合格/不合格(是否合格)的精度高。越發展佈線的微小化，佈線本身的電阻值變得越小，存在因微小的誤差和/或精度的變差而導致的無法準確地檢查佈線的電阻值是否合格的問題。

特別地，形成在基板的信號佈線形成得微細且電阻值小，因 此在二端子測定方法中存在受接觸電阻值的影響大，無法計算出準確的電阻值問題。為了解決這樣的問題，使用了不受接觸電阻值影響的四端子測定方法。

在該四端子測定方法中，能夠不考慮該接觸電阻值而進行測定，因此使電力供給用的端子(觸頭)和檢測測定用的端子分別接觸到成為檢測對象的佈線間的各檢查點，從而實施檢查。

據此，如果發展在基板形成的佈線的微小化，則必需將用於四端子測定方法的檢查用治具所具備的多個觸頭的節距設定為狹窄的節距。特別地，需要使用於四端子測定方法的電力供給用的觸頭和檢測測定用的觸頭(一對觸頭)的觸頭間形成得非常狹窄。

在實施四端子測定法的情況下，如上所述，需要使兩個觸頭導通接觸於一個檢查點。因此，在通過四端子測定法測定檢查點之間的電阻值的情況下，首先，需要確認兩個觸頭是否導通連接到檢查點。在以往的觸頭的導通接觸確認的方法中，例如，為了確認兩個觸頭是否導通接觸到預先設定的檢查點，向一個觸頭供給電流，並實施該電流是否能夠經由要導通接觸的檢查點而從另一個觸頭檢測出的確認。因此，在無法從另一個觸頭檢測出電流的情況下，判斷為一個或另一個觸頭未與檢查點導通接觸，然後使檢查用治具與基板遠離，再次使檢查用治具與基板抵接，由此實現良好的導通接觸。

在這樣以往的確認方法中，兩個觸頭抵接到各個檢查點，需要確認抵接到每個檢查點的兩個觸頭的導通接觸。在這樣以往的四端子測定方法中，首先，進行用於確認抵接到成為一端的檢查點的觸頭的導通接觸的測定，接著，進行了用於確認抵接到成為另一端的檢查點的觸頭的導通接觸的測定之後，對成為一端的檢查點與成為另一端的檢查點間的電阻 值進行測定。因此，與通常的二端子測定方法的情況相比，測定次數變為3倍，成為因檢查時間的增加而導致生產率下降的原因。

在專利文獻日本特開2013-24724號公報所公開的文獻中，公開了進行四端子測定法中的兩個觸頭與檢查點的導通接觸(接觸確認)的方法。在該專利文獻1中，以縮短接觸確認所需要的時間為目的，將抵接到成為檢查對象的一端的兩個觸頭分別串聯連接，從而實施觸頭的導通接觸的確認。

但是，在該專利文獻日本特開2013-24724號公報所公開的技術中，將導通連接到檢查對象間的一端的檢查點的觸頭串聯連接而實施測定檢查之後，將導通連接到檢查對象間的另一端的檢查點的觸頭並聯而實施測定檢查。因此，為了接觸確認，至少實施兩次檢查測定。

另外，在該專利文獻日本特開2013-24724號公報所公開的技術中，在兩個觸頭短路的情況下，即使未與檢查點導通接觸，也形成閉合電路，變為錯誤地判斷為觸頭導通接觸到檢查點。

本發明是鑒於這樣的實際情況而做出的，提供在四端子測定法中能夠短時間且簡單地實施檢查點與觸頭的導通接觸的基板檢查方法及基板檢查裝置。

在第一實施方式記載的發明中，提供一種基板檢查裝置，上述基板檢查裝置對形成有多條佈線的基板的該佈線圖案進行導通檢查，並且在進行該導通檢查時使一對觸頭導通接觸到該檢查點而在該檢查點間實施四端子測定，上述基板檢查裝置具備：電源單元，將電力供給到上述 檢查點間；上游側電力端子，與上述多個觸頭中的每個觸頭對應，並與上述電源單元的上游側連接；下游側電力端子，與上述多個觸頭中的每個觸頭對應，並與上述電源單元的下游側連接；檢測單元，檢測上述檢查點間的電壓；上游側檢測端子，與上述多個觸頭中的每個觸頭對應，並與上述檢測單元的上游側連接；下游側檢測端子，與上述多個觸頭中的每個觸頭對應，並與上述檢測單元的下游側連接；連接端子，與上述多個觸頭中的每個觸頭對應，並且連接該多個觸頭；選擇單元，選擇性地將上述觸頭與上述各端子連接；以及控制單元，分別使上述電源單元、上述檢測單元和上述選擇單元工作，促進用於實施上述四端子測定的測定處理；上述控制單元，使作為上述上游側檢測端子或上述下游側檢測端子而選出的觸頭在各檢查點通過上述連接端子而串聯連接，使電力從上述電源單元供給到上述串聯連接的檢查點間，通過該檢查點間的上述檢測單元檢測出電壓值，基於該電壓值判斷該觸頭與該檢查點的導通接觸狀態。

第二實施方式記載的發明提供一種第一實施方式記載的基板檢查裝置，其中上述控制單元在從上述電源單元供給電力時，從上游側供給電力之後，從下游側供給上述電力，由此判斷上述導通接觸狀態。

第三實施方式記載的發明提供一種基板檢查方法，上述基板檢查方法對形成有多條佈線的基板的該佈線圖案進行導通檢查，並且利用在進行該導通檢查時使一對觸頭導通接觸到該檢查點來對檢查點間進行測定，且用於提供測定用電力的上游側電力端子和下游側電力端子，以及用於進行該檢查點間的測定的上游側檢測端子和下游側檢測端子來實施該檢查點間的四端子測定，其中：將連接到上游側檢測端子和下游側檢測端子的觸頭串聯連接，將電力供給到上述串聯連接的觸頭，進行該串聯連接的觸頭間的電氣測定，由上述電力和上述電氣測定結果，計算上述串聯連接的觸頭間的電特性，基於計算出的上述電特性，判定上述串聯連接的 觸頭與上述檢查點的導通接觸狀態。

第四實施方式記載的發明提供一種第三實施方式記載的基板檢查方法，其中，在對設置於上述基板的佈線實施四端子測定之前實施上述判定。

根據第一實施方式和第三實施方式所記載的發明，分別連接到上游側檢測端子或下游側檢測端子的觸頭串聯連接，能夠判斷分別連接到上游側檢測端子和下游側檢測端子的觸頭是否導通接觸到檢查點。

根據第二實施方式所記載的發明，從上游側和下游側供給電力，從而判斷觸頭與檢查點的導通接觸狀態，因此能夠除去氧化膜等的影響，以優良的精度進行判斷。另外，能夠一次性進行與連接到檢測端子的觸頭導通接觸的檢查點的氧化膜去除的工藝。

根據第四實施方式所記載的發明，在實施四端子測定之前進行對本導通接觸狀態的確認，因此能夠可靠且簡便地確認導通接觸狀態。

1‧‧‧基板檢查裝置

2‧‧‧電源單元

3‧‧‧檢測單元

4‧‧‧連接端子

5‧‧‧控制單元

51‧‧‧存儲單元

52‧‧‧選擇單元

53‧‧‧計算單元

54‧‧‧判定單元

6‧‧‧電流檢測單元

7‧‧‧切換單元

8‧‧‧電力供給端子

81‧‧‧上游側電力供給端子

82‧‧‧下游側電力供給端子

9‧‧‧檢測端子

91‧‧‧上游側檢測端子

92‧‧‧下游側檢測端子

10‧‧‧顯示單元

CB‧‧‧基板

P1~P8‧‧‧檢查點

CP1~CP16‧‧‧觸頭

SW、SW1~SW5‧‧‧開關元件

W1、W2‧‧‧佈線

S1~S8‧‧‧步驟

第1圖是本基板檢查裝置的示意性構成圖。

第2圖是示出了使用本基板檢查裝置而進行四端子測定時的工作的示意性構成圖。

第3圖是示出了使用本基板檢查裝置的連接端子時的一個實施方式的示意性構成圖。

第4圖是示出本基板檢查裝置的工作的流程圖。

第5圖是示出實施本發明時的示意性構成圖，其示出了使檢查用治具的觸頭抵接到基板的狀態，並且示出了各端子被斷開的狀態。

第6圖是示出實施本發明時的示意性構成圖，其示出了連接端子等的動作。

對用於實施本發明的最佳方式進行說明。

第1圖是本發明的基板檢查裝置的示意性構成圖。

本發明的基板檢查裝置1具有電源單元2、檢測單元3、連接端子4、控制單元5、存儲單元51、選擇單元52、計算單元53、判定單元54、電流檢測單元6、切換單元7、電力供給端子8、檢測端子9和顯示單元10。

對該基板檢查裝置1而言，為了導通接觸到在基板形成的多條佈線(檢查點間)Rx上所設定的檢查點，使用了觸頭(接觸探頭)CP。通過該觸頭CP，能夠對預定檢查點施加預定電位和/或電流，或從預定檢查點檢測出電特性(電信號)。

需要說明的是，在第1圖中，雖然未示出成為檢查對象的基板和/或觸頭CP所抵接的檢查點，但是該觸頭CP針對在基板上設定的佈線的檢查點分別接觸。另外，雖然示出了四個觸頭CP，但是設定在佈線的檢查點的數量和/或位置不受限制，可根據佈線的數量和/或位置進行設定，當進行佈線的導通檢查時，配置為使兩個觸頭CP分別導通接觸到預先設定在佈線上的兩個檢查點。在此，通過計算出導通接觸到檢查點的觸頭CP間的電阻值來實施佈線的合格/不合格的判定。如第1圖所示，本發 明設置有電力供給端子8和檢測端子9，以能夠使用四端子測定法來計算出佈線間的電阻值。通過切換這些端子，從而可以進行檢查點間的四端子測定。

例如，在第2圖中，對於基板CB的佈線W1，設定檢查點P1和檢查點P2，兩個觸頭CP導通接觸到各個檢查點P1、P2。在該第2圖中所示出的情況下，實施佈線W1的四端子測定。在對該佈線W1進行四端子測定的情況下，例如，上游側電力供給端子81將導通接觸到檢查點P1的觸頭CP1與電源單元2的上游側連接，下游側電力供給端子82將導通接觸到檢查點P2的觸頭CP4與電源單元2的下游側連接。另外，上游側檢測端子91將導通接觸到檢查點P1的觸頭CP2與檢測單元3的上游側連接，下游側檢測端子92將導通接觸到檢查點P2的觸頭CP3與檢測單元3的下游側連接。在實施了這樣的連接之後，從電源單元2提供有測定電力(電流)，而使檢測單元3檢測出電壓值，由此計算出佈線W1的作為檢查點間的電阻值。

電源單元2將用於判定佈線的合格/不合格的檢查的電力施加到檢查對象的佈線(設定在佈線上的檢查點與設定在佈線上的檢查點之間(檢查點間))。更具體地說，該電源單元2能夠使用例如可變電壓源和/或電流控制器，並且能夠以適當地調整用於進行導通檢查而施加預定電位而得的電壓，從而供給預定的電流的方式來設定。在此，該電源單元2以能夠將0~500V程度大小的電壓施加於檢查點間的方式來設定，另外，將該電源單元2供給的電流的大小設定為0~1A程度大小，例如，能夠供給20mA的電流。

檢測單元3檢測電源單元2供給電力的檢查點間的電位差(電壓)。該檢測單元3例如可使用電壓計，但是並沒有特別地限定，只 要能夠檢測出檢查點間的電壓即可。需要說明的是，該檢測單元3能夠檢測出檢查點間的電壓，因此也可用於管理電源單元2施加的檢查點間的電壓。

連接端子4能夠使多個觸頭CP串聯連接。該連接端子4與各觸頭CP對應而設置，並能夠對預定的觸頭之間進行連接。例如，第1圖所示的實施方式中，對於四個觸頭CP(CP1~CP4)，分別配置有連接端子4，例如，在將觸頭CP1與觸頭CP2串聯連接的情況下，對應於觸頭CP2的連接端子4與對應於觸頭CP1的連接端子4連接。需要說明的是，在第1圖的實施方式中，在連接端子4具備開關元件SW5，通過對該開關元件SW5進行接通/斷開切換控制來進行觸頭之間的連接。在該第1圖的實施方式中，示出了各個連接端子4連接為一條線的狀態，但是並不限於這樣的連接，可根據所連接的觸頭CP的數量和其連接狀態，還將這樣的用於連接的線設置為多條。其具體的說明在後面描述。

該連接端子4用於判斷觸頭CP是否導通接觸到檢查點P。詳細情況在後面描述，使用該連接端子4將抵接到各檢查點P並且實施四端子測定法時用作檢測端子9的觸頭CP串聯來實施判斷。需要說明的是，在該情況下，通過將用作檢測端子9的觸頭CP串聯來形成閉合電路，向該閉合電路供給電力，從而測定導通狀態。從該測定出的測定狀態來判斷用作檢測端子9的觸頭CP的導通狀態。例如，如果用作檢測端子9的觸頭CP抵接到檢查點P，則電力(電流)被供給到該閉合電路，而能夠計算串聯部位的電阻值。但是，在觸頭CP未導通接觸到檢查點的情況下，電力未供給到該閉合電路，而無法計算串聯部位的電阻值。據此，對用作檢測端子9的觸頭CP是否抵接到檢查點P來進行判斷。

控制單元5實施用於基板檢查裝置1進行基板CB的導通檢 查的處理信號的收發和/或基於所接收的電信號來實施預定的運算，或基於這些電信號來判斷觸頭CP與檢查點P的導通接觸狀態。在該控制單元5具備存儲單元51、選擇單元52、計算單元53和判定單元54。

存儲單元51儲存有用於實施基板CB的檢查的資訊，並且儲存有施加在檢查點間的電流值的資訊(電流資訊)、所檢測的電壓的電壓值的資訊(電壓資訊)、各檢查點的座標資訊和/或檢查順序等資訊。例如，如第2圖所示，在成為檢查對象的基板CB的佈線上設定第一檢查點P1和第二檢查點P2的情況下，存儲單元51存儲有基板上的第一檢查點P1和第二檢查點P2的座標信息、和/或用於將連接到第一檢查點P1的觸頭CP1用作上游側電力供給端子81的信息、和/或用於將觸頭CP2用作上游側檢測端子91的資訊等用於實施檢查的資訊。這些儲存在存儲單元51的資訊是促使後述的選擇單元52工作的資訊，通過基於這些資訊使選擇單元52等工作來實施檢查。另外，該存儲單元51將測定出的佈線(第一檢查點P1與第二檢查點P2的檢查點之間)的電流值和/或電壓值等進一步計算出的電阻值等資訊和/或觸頭CP與檢查點P的導通接觸的判斷結果作為資訊而進行儲存。對在該存儲單元51存儲的各資訊而言，與預先所設定的相關，作為與基板的佈線和/或檢查點相關的資訊而進行關聯，從而進行適當設定並被存儲。

計算單元53基於存儲在存儲單元51的信息和/或數值來進行預定的處理。該計算單元53基於電源單元2向檢查點間供給電流的電流資訊以及檢測單元3從該檢查點間測定而得到的電壓資訊，來計算作為檢查點間的電阻值的電阻資訊。在該情況下，該計算單元53進行的具體的計算方法為：使電壓資訊(=V)除以電流信息(=I)，由此計算出電阻資訊(=R)(計算式：R=V/I)。通過該計算單元53計算的電阻資訊(電阻值R)與計算出的檢查點間的資訊一起被儲存在存儲單元51。

如上所述，計算單元53能夠計算預定的檢查點間的電阻值，並能夠計算以下兩種情況的電阻值，即，用於進行在佈線W上設定的檢查點間的導通檢查的電阻值(第一電阻值)的情況以及用於判斷觸頭CP與檢查點P的導通接觸狀態的電阻值(第二電阻值)的情況。在任一種情況下計算出的電阻值被儲存在存儲單元51，並且被後述的判定單元54利用。

判定單元54基於計算單元53計算出的電阻值來進行預定的判定。該判定單元54基於第一電阻值來判斷佈線的合格與否。例如，該判定單元54將第一電阻值與預先設定的基準電阻值進行比較，從而判定檢查點間(佈線)的合格/不合格。更具體地說，預先從合格品的基板的檢查點間的電阻值提取基準電阻值，基於該電阻值，設定能夠判定為合格品的預定範圍的數值，並將其存儲在存儲單元51。然後，能夠以以下方式進行設定，即，如果計算出的第一電阻值存在於該預定範圍內，則判定單元54判定為“合格品”，如果存在於該預定範圍以外，則判定為“不合格”。將該判定單元54判定的結果作為判定結果資訊儲存在存儲單元51。在該判定單元54判定為“不合格”的情況下，將佈線不合格的資訊和該基板本身也不合格的資訊存儲在存儲單元51。

另外，判定單元54基於第二電阻值，對觸頭CP與檢查點P的導通接觸狀態的良好與否進行判定。例如，該判定單元54將第二電阻值與預先設定的基準電阻值進行比較，判定導通接觸狀態的良好/不良。在觸頭CP與檢查點P的導通狀態良好的情況下，電力供給到基於上述串聯連接的觸頭CP而形成的閉合電路，因此能夠計算預定的電阻值。因此，對於用作檢測端子9的觸頭CP串聯連接的情況下的電阻值而言，計算出設計上的數值，基於該電阻值設定能夠判定為導通接觸狀態良好的預定範圍的數值，並將其存儲在存儲單元51。然後，與第一電阻值的情況相同， 以以下方式進行設定，即，如果該計算出的第二電阻值存在於該預定範圍內，則判定單元54判定為“接觸狀態良好”，如果存在於該預定範圍以外，則判定為“接觸狀態不良”。該判定單元54判定的結果作為判定結果資訊被存儲在存儲單元51。在該判定單元54判定為“不良”的情況下，使基板與檢查用治具暫時分離，並使其再次抵接，從而判斷導通接觸狀態。需要說明的是，用於判定該第二電阻值的基準電阻值可以如上所述進行設定，但是也可以考慮到用作檢測端子9的觸頭CP與檢查點P的接觸狀態是否為電導通，串聯連接的觸頭CP是否形成電閉合電路而有電流流通的情況，來設定基準電阻值。

在本基板檢查裝置1具備未圖示的移動單元。該移動單元使檢查用治具(未圖示)接近或遠離基板CB。通過該移動單元，檢查用治具與基板抵接或分離。對檢查用治具的移動而言，可以使與檢查點接觸的一對觸頭相對於基板沿平面方向(根據x軸方向、y軸方向和/或θ旋轉方向的組合的移動)移動，也可以使其從檢查點分離後再次接觸(z軸方向的移動)，還可以是上述情況的組合。在此，在觸頭CP與檢查點P的導通接觸不良的情況下，通過該移動單元使其再次抵接，以使得導通接觸狀態變為良好。

為了設定成為檢查點間的檢查對象，選擇單元52從基板CB的多個佈線的檢查點P選出設定在基板上的檢查點P，從而確定檢查點間。該選擇單元52確定檢查點間，由此依次選出進行檢查的檢查點間，執行全部檢查點間的檢查。在此，該選擇單元52選出兩個檢查點P作為檢查點間，而繼續選出檢查點(檢查點間)，直到結束全部佈線的電阻值測定為止。

對該選擇單元52進行的檢查對象的佈線W(檢查點間)的 選出方法而言，可示例出以下方法：預先在存儲單元51設定成為檢查對象的檢查點間的次序，按照該次序選出檢查點間。該選出方法並無特別地限定，只要是將成為檢查對象的檢查點順序良好地選出的方法就沒有特別地限定。

在四端子測定的情況下，該選擇單元52在被選出的兩個檢查點P分別選出上游側電力供給端子81和下游側電力供給端子82、以及上游側檢測端子91和下游側檢測端子92。具體來說，在選出了成為檢查對象的佈線W的情況下，選出佈線W的檢查點P1和檢查點P2，首先，以上游側電力供給端子81和上游側檢測端子91連接於檢查點P1的方式進行選擇，以下游側電力供給端子82和下游側檢測端子92連接於檢查點P2的方式進行選擇。

在本基板檢查裝置1中，使上游側電力供給端子81電連接到一個檢查點側，並且使下游側電力供給端子82電連接到另一個檢查點側，從而為了實施成為檢查對象的檢查點間的導通檢查而能夠供給電力。另外，為了測定檢查點間的電壓，而使上游側檢測端子91電連接到一個檢查點側，並且使下游側檢測端子92電連接到另一個檢查點側。

例如，在第2圖所示的情況下，在基板CB的佈線W1設定有第一檢查點P1和第二檢查點P2，將該檢查點間的電阻值作為檢查對象，對通過四端子測定進行檢查的情況進行說明。兩個觸頭CP1和觸頭CP2抵接到第一檢查點P1，兩個觸頭CP3和觸頭CP4抵接到第二檢查點P2。需要說明的是，在該第2圖中，將觸頭CP1和觸頭CP2設定為一對觸頭，另外，將觸頭CP3和觸頭CP4設定為一對觸頭。

在該情況下，在測定檢查點間的電阻值時，例如，使抵接到第一檢查點P1的一個觸頭CP1的開關元件SW1接通，從而觸頭CP1與 連接電源單元2的上游側的上游側電力供給端子81電連接。另外，使另一個觸頭CP2的開關元件SW3接通，從而觸頭CP2與連接檢測單元3的上游側的上游側檢測端子91電連接。另外，使抵接到第二檢查點P2的一個觸頭CP3的開關元件SW4接通，從而觸頭CP3與連接檢測單元3的下游側的下游側檢測端子92電連接。使另一個觸頭CP4的開關元件SW2接通，從而觸頭CP4與連接電源單元2的下游側的下游側電力供給端子82電連接。

通過這樣對開關元件SW進行接通或斷開控制，從而能夠在第一檢查點P1與第二檢查點P2的檢查點間供給電力，並檢測該檢查點間的電壓，由這些電流值(電流資訊)和電壓值(電壓資訊)，通過計算單元53計算檢查點間的電阻值。需要說明的是，上述說明中的開關的接通/斷開動作並無特別地限定，上游側與下游側可以交換。

選擇單元52還能利用連接端子4來控制觸頭CP彼此的導通連接。連接端子4設置有與每個觸頭CP對應的開關元件SW5，通過接通/斷開該開關元件SW5能夠使觸頭CP連接。例如，如第3圖所示，在存在兩個佈線W1和佈線W2作為檢查對象的情況下，當觸頭CP1和觸頭CP2與佈線W1的檢查點P3抵接，觸頭CP3和觸頭CP4與佈線W2的檢查點P4抵接時，例如，在導通連接觸頭CP2和觸頭CP3時，連接端子4的與觸頭CP2對應的開關元件SW5接通，同時連接端子4的與觸頭CP3對應的開關元件SW5接通。如此，通過接通兩個開關元件SW5，從而使得觸頭CP2與觸頭CP3串聯連接。需要說明的是，在該情況下，分別與觸頭CP2和觸頭CP3對應的開關元件SW1~開關元件SW4斷開。需要說明的是，在第3圖中，為了便於說明，示出了佈線W1和佈線W2的一部分。

切換單元7由導通連接到各觸頭CP的多個開關元件SW構成。通過來自選擇單元52的動作信號，來控制該切換單元7的接通/斷開的動作。因此，通過該切換單元7的開關動作，能夠對成為檢查對象的檢查點間(佈線)進行選擇，或對期望的觸頭CP之間進行連接。

為了將電力供給到檢查對象的檢查點間，電力供給端子8通過各佈線上的檢查點和觸頭CP而被連接。該電力供給端子8具有上游側電力供給端子81和下游側電力供給端子82，上游側電力供給端子81連接電源單元2的上游側(正極側)和佈線，下游側電力供給端子82將電源單元2的下游側(負極側)或檢測單元3與檢查點連接。該電力供給端子8的上游側電力供給端子81和下游側電力供給端子82也可以設置為經由保護電阻而與檢查點導通。這些上游側電力供給端子81和下游側電力供給端子82分別具有切換單元7的開關元件SW，通過該切換單元7的開關元件SW的接通/斷開動作，而被設定為連接狀態/未連接狀態。該保護電阻用作靜電放電(electro-static discharge)保護用的電阻。

為了檢測用於檢測檢查點間的電特性的電壓，檢測端子9經由各佈線的檢查點和觸頭CP來連接。該檢測端子9構成為具有上游側檢測端子91和下游側檢測端子92，上游側檢測端子91連接檢測單元3的上游側(正極側)和佈線的檢查點，下游側檢測端子92連接檢測單元3的下游側(負極側)和佈線的檢查點。該檢測端子9的上游側檢測端子91和下游側檢測端子92也可以設置為經由保護電阻而與佈線的檢查點P導通。這些上游側檢測端子91和下游側檢測端子92與電力供給端子8一樣，分別具有切換單元7的開關元件SW，通過該切換單元7的開關元件SW的接通/斷開動作，而被設定為連接狀態/未連接狀態。

如第1圖所示，對於電力供給端子8、檢測端子9和連接端 子4而言，相對於導通接觸到檢查點的一個觸頭CP，配置五個端子，並且設有針對與觸頭CP的導通連接進行各端子的接通/斷開控制的五個開關元件SW(SW1~SW5)。需要說明的是，在第1圖中，示出了將控制上游側電力供給端子81的動作的開關元件設為符號SW1，將控制上游側檢測端子91的動作的開關元件設為符號SW3，將控制下游側電力供給端子82的動作的開關元件設為符號SW2，將控制下游側檢測端子92的動作的開關元件設為符號SW4，用於控制與連接端子4的導通連接的開關元件設為符號SW5。

在該第1圖的基板檢查裝置1的示意性構成中，配置電流檢測單元6，電流檢測單元6用於檢測當電源單元2將預定的電位供給到檢查點間時在檢查點間的電特性。該電流檢測單元6能夠檢測電特性(電流值)。該電流檢測單元6能夠檢測當電源單元2施加了預定電位時的電流的大小，另外，還能夠基於檢測出的電流值，對向電源單元2供給的電流進行回饋控制。在電流檢測單元6能夠使用例如電流計。

顯示單元10顯示基板和/或檢查點間的測定結果和/或檢查結果。另外，該顯示單元10在控制單元5檢測出檢查用治具的觸頭CP與檢查點P的導通接觸不良時顯示該資訊，或者顯示通知該不良狀態並促使再次進行基板與檢查用治具的重新抵接的通知。該顯示單元10顯示的檢查顯示方法和/或通知方法例如能夠以與進行了檢查的導通接觸狀態相關顯示“良好”、“不良”、“異常”和/或“再抵接”等的方式發揮作用。

以上是本發明的基板檢查裝置1的構成的說明。

接著對本發明的基板檢查裝置的工作進行說明。第4圖示出關於本發明的基板檢查裝置1的工作的流程圖。本發明的基板檢查裝置1容易地確認設置在檢查用治具的多個觸頭CP是否處於可靠地與期望的檢 查點P導通接觸狀態。

首先，為了執行檢查，將成為檢查對象的基板的資訊輸入到基板檢查裝置1的存儲單元51(S1)。這時，輸入有成為檢查對象的檢查點的位置資訊、作為檢查順序的檢查點間的資訊和/或設定在基板上的檢查點間的設計資訊等。在存儲單元51還存儲有施加到成為檢查對象的基板CB的檢查點間的電流的電流資訊和/或基板的種類等資訊。另外，將用於判定檢查點間的良好/不良的基準電阻值分別與檢查點間對應地儲存在該存儲單元51。而且，還存儲有為了對檢查用治具的觸頭CP與檢查點P的連接進行確認，為了實施各檢查點P的四端子測定法，而與檢測端子9導通接觸的觸頭CP的資訊、以及用於將這些觸頭CP串聯的連接端子4的信息。

接著，當在基板檢查裝置1儲存有為了實施如上所述的檢查所需的資訊之後，在基板檢查裝置1中將成為檢查對象的基板CB載置於載置台。當在預定的位置載置該基板CB之後，將該基板CB搬送至預定的檢查位置。對搬送到預定的檢查位置的基板CB而言，例如，多針狀基板檢查用治具(具備多個觸頭的檢查用治具)被配置為從基板CB的正面背面側根據需要使一對觸頭分別抵接到各檢查點，並挾持該基板CB，從而進行檢查的執行準備(S2)。

如果檢查用治具抵接到基板CB，則需要兩個觸頭CP對於檢查點P導通接觸。因此，為了確認這些觸頭CP導通接觸到檢查點P，首先，選擇單元52選出導通接觸到檢查點P的觸頭CP之中與檢測端子9連接的觸頭CP。這時，該選出的觸頭CP以串聯連接的方式，連接有連接端子4的開關元件SW5(S3)。

第5圖是示出對於基板CB的檢查點P(檢查點P1~檢查點 P8)，分別抵接有兩個觸頭CP的狀態的示意圖，第6圖是示出將連接到檢測端子9的觸頭CP串聯來確認這些觸頭CP與檢查點P的導通接觸狀態的情況的示意圖。在第5圖和第6圖中，在基板CB形成四個佈線，在端部分別設置有檢查點P(P1~P8)。觸頭CP1~觸頭CP16抵接到這些檢查點P。利用該第5圖和第6圖對本發明的工作進行說明。需要說明的是，與這些觸頭CP對應地具備上游側電力供給端子81、下游側電力供給端子82、上游側檢測端子91、下游側檢測端子92以及連接端子4，但在圖中未將這些全部示出，為了便於說明，對於觸頭CP，僅示出了進行確認檢查點P與觸頭CP的導通接觸的狀態時使用的端子及其開關元件SW(開關元件SW1~開關元件SW5)。另外，對於不使用開關元件SW的部位，作為開關元件SW，示出了不由任何開關元件SW連接，而設定為斷開狀態的情況。

首先，從這些觸頭CP之中，選出與檢測端子9連接的觸頭CP。如果選出所連接的觸頭CP，則連接端子4的開關元件SW5進行接通動作，以使這些觸頭CP串聯。

在該第5圖所示的觸頭CP之中，與檢測端子9連接的觸頭CP為觸頭CP2、觸頭CP4、觸頭CP6、觸頭CP9、觸頭CP12、觸頭CP13和觸頭CP15。其中，觸頭CP2和觸頭CP13分別連接到上游側電力供給端子81和下游側電力供給端子82，並分別連接到上游側檢測端子91和下游側檢測端子92。對於觸頭CP2而言，開關元件SW1和開關元件SW3接通，從而分別連接電源單元2和檢測單元3。對於觸頭CP13而言，開關元件SW2和開關元件SW4接通，從而分別連接電源單元2和檢測單元3。另外，對於觸頭CP4、觸頭CP6、觸頭CP9、觸頭CP12和觸頭CP15而言，連接連接端子4的開關元件SW5接通，從而與檢測端子9連接的觸頭CP(觸頭CP2、觸頭CP4、觸頭CP6、觸頭CP9、觸頭CP12、觸頭 CP13和觸頭CP15)串聯。

這時，觸頭CP1、觸頭CP3、觸頭CP5、觸頭CP8、觸頭CP10、觸頭CP11、觸頭CP14和觸頭CP16均不與任何端子連接，分別斷開各開關元件SW(開關元件SW1~開關元件SW5)(參照第6圖)。這樣，形成僅連接到檢測端子9的觸頭CP的閉合電路。

當形成第6圖所示的閉合電路時，電源單元2供給電力。當電源單元2供給電流時，該電流通過觸頭CP2，經由觸頭CP4、觸頭CP7、觸頭CP6、觸頭CP9、觸頭CP12、觸頭CP15和觸頭CP13而返回電源單元2。即，在實施四端子測定法時，與檢測端子9連接的觸頭CP全部串聯連接。另外，由於觸頭CP2和觸頭CP13與檢測單元3連接，因此能夠測定該段的電壓值。這時，選擇單元52進行各切換單元7的開關元件SW的接通/斷開動作的控制，由此形成上述閉合電路，並且進行利用檢測單元3的電壓值的測定(S4)。

當實施電壓值的測定之後，基於來自電源單元2的電流值和來自檢測單元3的電壓值，通過計算單元53計算出電阻值(S5)。基於該電阻值，對與檢測端子9連接的觸頭CP和檢查點P的導通接觸的狀態進行判定。如果該電阻值存在於基準電阻值的範圍內，則判定為觸頭CP的導通接觸狀態良好(S6)。另一方面，如果該電阻值存在於基準電阻值的範圍外，則判定為觸頭CP的導通接觸狀態不良(S7)。

如果觸頭CP的導通接觸狀態良好，則開始利用基板CB的佈線的四端子測定法的電阻值的測定(S8)。另一方面，如果觸頭CP的導通接觸狀態不良，則使檢查用治具從基板CB遠離。然後，使檢查用治具移動，以使檢查用治具再次夾持基板CB(S2)。

在本發明中，雖然未確認連接到電力供給端子8的觸頭CP 的與檢查點P的導通接觸狀態，但是在實施檢查點間的電阻值的測定時，電力供給端子8向檢查點間供給電力。因此，如果連接到電力供給端子8的觸頭CP與檢查點P的導通接觸狀態不良，則無法供給電力，因此，其影響被反映到檢測單元3。這時，可知連接到電力供給端子8的觸頭CP與檢查點P的導通接觸狀態不良。然後，也可以使檢查用治具與基板CB遠離，而再次進行挾持。

另外，也會有佈線本身不合格，對連接到檢測端子9的觸頭CP串聯連接來確認導通接觸的狀態的情況產生影響的情況但是對在佈線本身不合格的情況和觸頭CP的導通接觸不良的發生概率而言，利用觸頭CP的導通接觸的不良狀態產生概率非常高。因此，首先檢測出觸頭CP的導通接觸的不良狀態，提高檢查效率。

在連接到檢測端子9的觸頭CP串聯從而判定導通接觸狀態的情況下，在由電源單元2進行的電力供給中，也可以暫時供給電力而進行了判定之後，供給反相的電力(例如，正極、負極的交換或使所供給的電流逆向等)。這樣，通過使第一次供給的電流與第二次供給的電流的電流的方向或正負交換，從而即使在檢查點P形成了氧化膜的情況下，也能夠去除該氧化膜，而能夠實施精度更好的兩次檢查。

當連接到檢測端子9的觸頭CP和檢查點P為導通接觸狀態時，供給與如上所述極性的不同電流，由此還能夠去除形成在檢查點P的表面的氧化膜，對於以往在測定檢查對象之前進行的氧化膜的去除來說，也可以一次性實施，能夠極大地提高檢查效率。

以上是對本基板檢查裝置的基本工作的說明。

2‧‧‧電源單元

3‧‧‧檢測單元

P1~P8‧‧‧檢查點

CP1~CP16‧‧‧觸頭

SW、SW1~SW5‧‧‧開關元件

Claims (4)

1. 一種基板檢查裝置，該基板檢查裝置對形成有多條佈線的基板的佈線進行導通檢查，並且在進行導通檢查時使一對觸頭導通接觸到檢查點而在檢查點間實施四端子測定，該基板檢查裝置包含：電源單元，將電力供給到該檢查點間；上游側電力端子，與多個該觸頭中的每個觸頭對應，並與該電源單元的上游側連接；下游側電力端子，與多個該觸頭中的每個觸頭對應，並與該電源單元的下游側連接；檢測單元，檢測該檢查點間的電壓；上游側檢測端子，與多個該觸頭中的每個觸頭對應，並與該檢測單元的上游側連接；下游側檢測端子，與多個該觸頭中的每個觸頭對應，並與該檢測單元的下游側連接；連接端子，與多個該觸頭中的每個觸頭對應，並且連接該多個觸頭；選擇單元，選擇出實施四端子測定時用於與該上游側電力端子連接的該觸頭、用於與該下游側電力端子連接的該觸頭、用於與該上游側檢測端子連接的該觸頭、以及用於與該下游側檢測端子連接的該觸頭；以及控制單元，分別使該電源單元、該檢測單元和該選擇單元工作，促進用於實施該四端子測定的測定處理， 該控制單元，通過該連接端子和各該佈線，將多個該觸頭之中由該選擇單元選擇出的用於與該上游側檢測端子連接的該觸頭和用於與該下游側檢測端子連接的該觸頭以不經由用於與該上游側電力端子連接的該觸頭和用於與該下游側電力端子連接的該觸頭的方式串聯連接，使電力從該電源單元供給到串聯連接的檢查點間，通過該檢測單元檢測出該檢查點間的電壓值，基於該電壓值判斷該觸頭與該檢查點的導通接觸狀態。
2. 如申請專利範圍第1項所述之基板檢查裝置，其中該控制單元在從該電源單元供給電力時，從上游側供給電力之後，從下游側供給該電力，由此判斷該導通接觸狀態。
3. 一種基板檢查方法，其包括以下步驟：該基板檢查方法對形成有多條佈線的基板的佈線進行導通檢查，並且利用在進行該導通檢查時使一對觸頭導通接觸到設定在佈線上的檢查點來對檢查點間進行測定，且用於提供測定用電力的上游側電力端子和下游側電力端子、以及用於進行該檢查點間的測定的上游側檢測端子和下游側檢測端子來實施該檢查點間的四端子測定；其中，通過各該佈線，將多個該觸頭之中實施四端子測定時用於與該上游側檢測端子連接的該觸頭和用於與該下游側檢測端子連接的該觸頭以不經由用於與該上游側電力端子連接的該觸頭和用於與該下游側電力端子連接的該觸頭的方式串聯連接； 將電力供給到串聯連接的觸頭，進行該串聯連接的觸頭間的電氣測定；由該電力和該電氣測定結果，計算該串聯連接的觸頭間的電特性；以及基於計算出的該電特性，判定該串聯連接的觸頭與該檢查點的導通接觸狀態。
4. 如申請專利範圍第3項所述之基板檢查方法，其中在對設置於該基板的佈線實施四端子測定之前實施該判定。

Images