JP5463714B2 - 基板検査方法及び基板検査装置 - Google Patents
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Description
配線の良否を判定するための基準抵抗値を算出し、前記検査対象の配線に電流を供給して
該配線の電圧を測定し、該配線の抵抗値を算出し、前記基準抵抗値を基に、前記算出され
た抵抗値から検査対象の配線の良否の判定を実施することを特徴とする請求項1記載の基
板検査方法を提供する。
供給手段2、測定手段3、記憶手段4、算出手段5、判定手段6、切替手段7、第一端子8、第二端子9、基準算出手段10、表示手段01を有している。
2・・・・供給手段
3・・・・測定手段
4・・・・記憶手段
5・・・・算出手段
6・・・・判定手段
10・・・基準算出手段
F・・・・不良箇所
Claims (10)
- 検査対象となる基板に形成される配線の良否を判定する基板検査方法であって、
前記基板に予め設定される幅の相違する2つの基準配線に電流を供給して、夫々の電圧を測定し、
前記電流値と前記電圧値を基に、前記2つの基準配線の厚み情報及び/又は電気抵抗率情報を夫々算出し、
前記厚み情報又は前記電気抵抗率情報を基に、検査対象の配線の良否を判定することを特徴とする基板検査方法。 - 前記2つの基準配線は、前記基板の同一層に形成される配線が設定されており、
前記基準配線から算出される前記厚み情報及び/又は前記電気抵抗率情報を基に、該基準配線が形成される基板の層の良否を判定することを特徴とする請求項1記載の基板検査方法。 - 前記厚み情報及び/又は前記電気抵抗率情報から、検査対象の配線の良否を判定するための基準抵抗値を算出し、
前記検査対象の配線に電流を供給して該配線の電圧を測定し、該配線の抵抗値を算出し、
前記基準抵抗値を基に、前記算出された抵抗値から検査対象の配線の良否の判定を実施することを特徴とする請求項1記載の基板検査方法。 - 所定の検査点が設定される配線が複数形成される基板の該配線を検査する基板検査装置において、
検査対象となる配線の所定の検査点間に、測定用の電流を供給する供給手段と、
前記電流供給手段により電流が供給された前記検査点間の電圧を測定する測定手段と、
前記測定手段による電圧情報と前記供給手段による電流情報を基に検査点間の抵抗値を算出する算出手段と、
前記検査点間の基準となる基準抵抗値情報を記憶する記憶手段と、
前記算出手段により算出される抵抗値情報と、前記基準抵抗値情報を比較して、検査対象の検査点間の配線の良好・不良状態を判定する判定手段と、
検査対象となる配線毎に前記基準抵抗値情報を作成する基準算出手段を有し、
前記基準算出手段は、
検査対象の基板に予め設定される幅の相違する2つの基準配線に、前記供給手段に電流を供給させ、前記測定手段に電圧を測定させるよう促し、
前記電流値と前記電圧値から前記基準配線の導体部の厚み情報及び/又は電気抵抗率情報を算出し、
前記厚み情報及び/又は電気抵抗率情報から前記基準抵抗値情報を算出することを特徴とする基板検査装置。 - 所定の検査点が設定される配線が複数形成される基板の該配線を検査する基板検査装置において、
検査対象となる配線の所定の検査点間に、測定用の電流を供給する供給手段と、
前記電流供給手段により電流が供給された前記検査点間の電圧を測定する測定手段と、
検査対象の基板に予め設定される幅の相違する2つの基準配線に、前記供給手段に電流を供給させるとともに前記測定手段に電圧を測定させるよう促し、前記電流値と前記電圧値から前記基準配線の導体部の厚み情報及び/又は電気抵抗率情報を算出する基準算出手段と、
前記算出された厚み情報及び/又は電気抵抗率情報を基に、前記基準配線の形成される基板の層の良否を判定する判定手段を特徴とする基板検査装置。 - 前記基準算出手段は、
前記検査対象の基板の同一層に形成されるとともに幅の相違する2つの導体部に電流を供給する基準電流供給手段と、
前記基準電流供給手段により電流が供給された際の前記2つの導体部の電圧を夫々測定する基準電圧測定手段と、
前記基準電流供給手段による基準電流情報と、前記基準電圧測定手段による基準電圧情報とから、前記導体部の幅情報と厚み情報と電気抵抗率を計算する基準計算手段を有することを特徴とする請求項4又は5記載の基板検査装置。 - 前記基準算出手段は、幅の相違する2つの導体部の夫々の予め設定される長さ情報を用いることを特徴とする請求項4乃至6いずれかに記載の基板検査装置。
- 前記基準電流供給手段は、電流を供給するための一対の電流端子を備え、
前記基準電圧測定手段は、前記一対の電流端子間の電流による電圧を直列的に測定する2組の電圧端子を備えていることを特徴とする請求項6に記載の基板検査装置。 - 前記基板検査装置は、
前記基準算出手段が算出する厚み情報及び/又は電気抵抗率情報を記憶するための記憶手段を備え、
前記記憶手段に記憶される前記厚み情報及び/又は電気抵抗率情報を、基板の製造状況を把握する処理手段を備え、
前記処理手段は、前記記憶手段に記憶される前記厚み情報及び/又は電気抵抗率情報を基に、今後の変動を予測算出することができることを特徴とする請求項4乃至8いずれかに基板検査装置。 - 前記基準配線から算出される厚み情報及び/又は電気抵抗率情報を記憶し、
複数の厚み情報及び/又は電気抵抗率情報から、これら情報の変化又は推移を予測し、
この予測から基板の製造プロセスの管理を実施する請求項1に記載される基板検査方法。
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