TWI667144B - 功能性筒體及其製造方法 - Google Patents
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Abstract
提供形成複數個磁性圖案與非磁性圖案相鄰形成而成的層的功能性筒體及其製造方法。
作成一種功能性筒體,至少包含:筒體主體;具有在以磁性材料或非磁性材料的任一者構成而成的第一材料層形成凹部從而形成第一凹部圖案與第一非凹部圖案的第一圖案、及由埋設於前述第一凹部圖案的磁性材料或非磁性材料的任一者所成之第一功能性圖案的第一功能性圖案部;以及比前述第一凹部圖案形成於筒體主體的淺的位置,磁性材料的磁性圖案與非磁性材料的非磁性圖案相鄰形成而成的第二功能性圖案部。
Description
本發明,係有關形成複數個相鄰形成磁性材料的磁性圖案與非磁性材料的非磁性圖案而成之層的功能性筒體及其製造方法。
歷來,在附凹部筒體方面,已知凹印製版輥。凹印製版輥的一般的製程,係例如記載於專利文獻1的先前技術之欄。亦即為搬入-鉻剝離-修正研磨/落版研磨-脫脂-水洗-酸洗-水洗-鍍硫酸銅-磨石研磨-感光膜塗佈形成-依雷射曝光裝置的影像影印-顯影-蝕刻-抗蝕層剝離-鍍鉻-紙研磨-搬出的程序。
此外,亦已從例如專利文獻2知悉在表面強化被覆層方面採用DLC的凹印製版輥。
此外,在凹印製版輥的全自動製造系統方面,係存在記載於例如專利文獻3者、記載於專利文獻4者等。
另一方面,在使用於各種的裝置的筒體方
面,已知油壓、氣壓式等的筒體(專利文獻5及專利文獻6)。
[專利文獻1]日本發明專利公開2004-223751
[專利文獻2]日本發明專利公開2007-130996
[專利文獻3]WO2007/135898
[專利文獻4]WO2011/125926
[專利文獻5]日本實用新型登錄第3088245號
[專利文獻6]日本實用新型公開平成5-1063
本案申請人,係發現可在附凹部筒體的凹部埋設磁性材料或非磁性材料從而作成新穎的功能性筒體,予以完成本發明。
亦即,本發明,係目的在於提供形成複數個磁性圖案與非磁性圖案相鄰形成而成的層的功能性筒體及其製造方法。
為了解決上述課題,本發明的功能性筒體,係至少包含:筒體主體;具有在筒體主體的以磁性材料或
非磁性材料的任一者構成而成的第一材料層形成凹部從而形成第一凹部圖案與第一非凹部圖案的第一圖案、及由埋設於前述第一凹部圖案的磁性材料或非磁性材料的任一者所成之第一功能性圖案,前述第一材料層以磁性材料而構成的情況下,在前述前述第一凹部圖案埋設非磁性材料,前述第一材料層以非磁性材料而構成的情況下,在前述第一凹部圖案埋設磁性材料,使得前述磁性材料的磁性圖案與前述非磁性材料的非磁性圖案相鄰形成而成的第一功能性圖案部;以及比前述第一凹部圖案形成於筒體主體的淺的位置,具有在筒體主體的以磁性材料或非磁性材料的任一者構成而成的第二材料層形成凹部從而形成第二凹部圖案與第二非凹部圖案的第二圖案、及由埋設於前述第二凹部圖案的磁性材料或非磁性材料的任一者所成之第二功能性圖案,前述第二材料層以磁性材料而構成的情況下,在前述第二凹部圖案埋設非磁性材料,前述第二材料層以非磁性材料而構成的情況下,在前述第二凹部圖案埋設磁性材料,使得前述磁性材料的磁性圖案與前述非磁性材料的非磁性圖案相鄰形成而成的第二功能性圖案部。
本發明的功能性筒體,係第一功能性圖案部與第二功能性圖案部複數階地形成者,惟至少包含第一功能性圖案部與第二功能性圖案部即可,故亦可進一步設置第三功能性圖案部、第四功能性圖案部等,而作成多階構造。
此外,方便起見,雖稱作前述第一材料層與
前述第二材料層,惟前述第一材料層與前述第二材料層的材質係相同亦無妨。此外,亦可第一功能性圖案與第二功能性圖案兩者皆作成磁性材料、非磁性材料等。
優選上,前述第一功能性圖案及/或前述第二功能性圖案線狀地形成而成,於前述筒體主體的徑向及/或軸向交替地形成而成。
優選上,前述第一功能性圖案及前述第二功能性圖案線狀地形成而成,前述第一功能性圖案與前述第二功能性圖案正交地形成。
優選上,前述筒體主體的凹部藉雷射製版製作而成。關於雷射製版技術,係可應用揭露於專利文獻1~4的技術。
優選上,前述磁性圖案由從由Fe、Ni、Co所成之群組所選出的至少一種的磁性材料構成而成。亦可為採用了此等的合金。
優選上,前述非磁性圖案由從由Cu、Al所成之群組所選出的至少一種的非磁性材料構成而成。亦可為採用了此等的合金。
優選上,前述磁性圖案及前述非磁性圖案由金屬材料而成,藉金屬鍍層形成而成。
優選上,前述筒體主體的凹部的開口寬度為1μm~1000μm。此外,1μm~50μm較優選,1μm~20μm更優選。
優選上,前述筒體主體的凹部的深度為1μm
~1000μm。此外,1μm~50μm較優選,1μm~20μm更優選。
本發明的裝置,係具備前述功能性筒體的裝置。例如,具備本發明功能性筒體的油壓缸或氣缸、只要為具備該等的工作機械、以及機器人、線性感測器、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)、航空器、人造衛星等可具備本發明的功能性筒體的裝置則皆包含。
在前述功能性筒體的外周面附近配置磁通檢測手段而成為優選。在磁通檢測手段方面,係舉例如作成環狀的線圈等。
本發明的功能性筒體的製造方法,係供於製造前述功能性筒體用的功能性筒體的製造方法,包含:準備以磁性材料或非磁性材料的任一者構成而成的第一材料層形成於周面的筒體主體的程序;具有在前述第一材料層的表面塗佈抗蝕層的程序、及將前述抗蝕層雷射曝光的程序,並形成第一凹部圖案與第一非凹部圖案的第一圖案形成程序;在前述第一圖案的凹部,埋設由磁性材料或非磁性材料的任一者所成之第一功能性圖案,從而形成為前述磁性材料的磁性圖案與前述非磁性材料的非磁性圖案相鄰的第一功能性圖案部形成程序;在形成有前述第一功能性圖案的筒體主體的周面形成以磁性材料或非磁性材料的任一者構成而成的第二材料層的程序;具有在前述第二材料層的表面塗佈抗蝕層的程序、及將前述抗蝕層雷射曝光的程序,並形成第二凹部圖案與第二非凹部圖案的第二圖案
形成程序;以及在前述第二圖案的凹部,埋設由磁性材料或非磁性材料的任一者所成之第二功能性圖案,從而形成為前述磁性材料的磁性圖案與前述非磁性材料的非磁性圖案相鄰的第二功能性圖案部形成程序。
優選上,前述第一功能性圖案及/或前述第二功能性圖案線狀地形成而成,於前述筒體主體的徑向及/或軸向交替地形成而成。
優選上,前述第一功能性圖案及前述第二功能性圖案線狀地形成而成,前述第一功能性圖案與前述第二功能性圖案正交地形成。
優選上,前述筒體主體的凹部藉雷射製版製作而成。關於雷射製版技術,係可應用揭露於專利文獻1~4的技術。
優選上,前述磁性圖案由從由Fe、Ni、Co所成之群組所選出的至少一種的磁性材料構成而成。亦可為採用了此等的合金。
優選上,前述非磁性圖案由從由Cu、Al所成之群組所選出的至少一種的非磁性材料構成而成。亦可為採用了此等的合金。
優選上,前述磁性圖案及前述非磁性圖案由金屬材料而成,進一步包含將前述磁性圖案及前述非磁性圖案前述形成的金屬鍍層程序。
本發明的功能性筒體的製造方法,係藉全自動雷射凹印製版系統而進行為優選。關於全自動雷射凹印
製版系統,係可應用揭露於例如專利文獻3及4的系統。尤其,設置如揭露於專利文獻4的複數個非行走型的工業機器人,以前述工業機器人彼此傳遞版母材而依次移送至處理單元,製作處理附凹部筒體的系統從生產效率、灰塵產生防止等的觀點而言為合適。
依本發明時,本發明係具有可提供形成複數個磁性圖案與非磁性圖案相鄰形成而成的層的功能性筒體及其製造方法如此的特別大的效果。
10、10'、40‧‧‧功能性筒體
12‧‧‧筒體主體
14‧‧‧第一材料層
16‧‧‧第一凹部圖案
18‧‧‧第一非凹部圖案
20‧‧‧第一圖案
22‧‧‧第一功能性圖案
24‧‧‧第一功能性圖案部
26‧‧‧第二材料層
28‧‧‧第二凹部圖案
30‧‧‧第二非凹部圖案
32‧‧‧第二圖案
34‧‧‧第二功能性圖案
36‧‧‧第二功能性圖案部
38‧‧‧表面硬化被膜
42‧‧‧磁通檢測手段
[圖1]針對本發明的功能性筒體的一個實施形態作繪示的一部分剖面示意圖。
[圖2]示意性針對本發明的功能性筒體的製造方法作繪示的說明圖,(a)係繪示第一圖案形成程序、(b)係繪示第一功能性圖案部形成程序、(c)係繪示形成第二材料層的程序、(d)係繪示第二圖案形成程序、(e)係繪示第二功能性圖案部形成程序、(f)係繪示表面硬化被膜形成程序的主要部分剖面示意圖。
[圖3]針對本發明的功能性筒體作繪示的示意圖,(a)係第一功能性圖案線狀地形成於筒體主體的徑向,第二功能性圖案形成於筒體主體的軸向的示意圖,(b)
係第二功能性圖案線狀地形成於筒體主體的徑向,第一功能性圖案形成於筒體主體的軸向的示意圖。
[圖4]在本發明的功能性筒體的外周面附近配置磁通檢測手段的裝置的示意圖。
[圖5]以實施例1而製作的功能性筒體的軸向放大剖面相片。
在以下說明本發明的實施形態,惟此等實施形態係例示者,故只要不從本發明的技術思想脫離則可作各種的變形不言而喻。另外,相同構材係以相同符號表示。
於圖1,符號10係表示本發明的功能性筒體的一個實施形態。
功能性筒體10,係至少包含:筒體主體12;具有在筒體主體12的以磁性材料或非磁性材料的任一者構成而成的第一材料層14形成凹部從而形成第一凹部圖案16與第一非凹部圖案18的第一圖案20、及由埋設於前述第一凹部圖案16的磁性材料或非磁性材料的任一者所成之第一功能性圖案22,前述第一材料層14以磁性材料而構成的情況下,在前述第一凹部圖案16埋設非磁性材料,前述第一材料層14以非磁性材料而構成的情況下,在前述第一凹部圖案16埋設磁性材料,使得前述磁性材料的磁性圖案與前述非磁性材料的非磁性圖案相鄰形
成而成的第一功能性圖案部24;以及具有比前述第一凹部圖案16形成於筒體主體12的淺的位置並在筒體主體12的以磁性材料或非磁性材料的任一者構成而成的第二材料層26形成凹部從而形成第二凹部圖案28與第二非凹部圖案30的第二圖案32、及由埋設於前述第二凹部圖案28的磁性材料或非磁性材料的任一者所成之第二功能性圖案34,前述第二材料層26以磁性材料而構成的情況下,在前述第二凹部圖案28埋設非磁性材料,前述第二材料層26以非磁性材料而構成的情況下,在前述第二凹部圖案28埋設磁性材料,使得前述磁性材料的磁性圖案與前述非磁性材料的非磁性圖案相鄰形成而成的第二功能性圖案部36。
製造功能性筒體10時,係如明示於圖2,準備在周面形成有以磁性材料或非磁性材料的任一者構成而成的第一材料層14的筒體主體12。
接著,在前述筒體主體12的第一材料層14的表面塗佈抗蝕層,將前述抗蝕層作雷射曝光,進一步進行蝕刻(腐蝕)等,使得形成凹部,從而形成形成有第一凹部圖案16與第一非凹部圖案18的第一圖案20(圖2(a))。關於在前述筒體主體12的第一材料層14的表面形成凹部的方法,係可採用揭露於例如專利文獻1~4的方法。
接著,在前述所形成的第一圖案20的凹部,埋設由磁性材料或非磁性材料的任一者所成之第一功能性
圖案22,從而以前述磁性材料的磁性圖案與前述非磁性材料的非磁性圖案成為相鄰的方式形成第一功能性圖案部24(圖2(b))。
接著,在形成有第一功能性圖案22的筒體主體12的周面形成以磁性材料或非磁性材料的任一者構成而成的第二材料層26(圖2(c))。
接著,在前述筒體主體12的第二材料層26的表面塗佈抗蝕層,將前述抗蝕層作雷射曝光,進一步進行蝕刻(腐蝕)等,使得形成凹部,從而形成形成有第二凹部圖案28與第二非凹部圖案30的第二圖案32(圖2(d))。關於在前述筒體主體12的第二材料層26的表面形成凹部的方法,係如同上述,可採用揭露於例如專利文獻1~4的方法。
接著,在前述所形成的第二圖案32的凹部,埋設由磁性材料或非磁性材料的任一者所成之第二功能性圖案34,從而以前述磁性材料的磁性圖案與前述非磁性材料的非磁性圖案成為相鄰的方式形成第二功能性圖案部36(圖2(e))。
如此完成本發明的功能性筒體10。
以圖2之例而言,例如,前述筒體主體12的第一材料層14以銅等之非磁性材料而構成的情況下,在該前述筒體主體12的第一材料層14的表面塗佈抗蝕層,將前述抗蝕層作雷射曝光,進一步蝕刻銅,從而形成第一凹部圖案16。並且,將由鎳等之磁性材料所成之第一功
能性圖案22埋設於第一凹部圖案16時,埋設於凹部的磁性圖案、及由非磁性材料所成之非凹部圖案18成為相鄰。另外,在本發明,在埋設於第一凹部圖案16的功能性圖案方面,係包含由磁性材料所成之圖案或由非磁性材料所成之圖案的任一者。
作成同樣,例如前述筒體主體12的第二材料層26以銅等之非磁性材料而構成的情況下,在該前述筒體主體12的第二材料層26的表面塗佈抗蝕層,將前述抗蝕層作雷射曝光,進一步蝕刻銅,從而形成第二凹部圖案28。並且,將由鎳等之磁性材料所成之第二功能性圖案34埋設於第二凹部圖案28時,埋設於凹部的磁性圖案、由非磁性材料所成之非凹部圖案成為相鄰。另外,在本發明,在埋設於第二凹部圖案28的功能性圖案方面,係包含由磁性材料所成之圖案或由非磁性材料所成之圖案的任一者。
此外,需要進一步的強度的情況下,係亦可在該功能性筒體10的表面藉鉻、DLC等之周知的表面硬化被膜材料形成表面硬化被膜38,作成如示於圖2(f)的功能性筒體10'。
另外,在圖示之例,係雖作為前述筒體主體12之例,示出採用實心輥之例,惟亦可採用中空輥。前述筒體主體12的材質雖不限,惟需要其周面以磁性材料或非磁性材料的任一者而構成。
在圖1之例,係如示於圖3(a),繪示:第
一功能性圖案22線狀地形成於筒體主體12的徑向,第二功能性圖案34形成於筒體主體12的軸向之例。
此外,亦可如示於圖3(b),作成:第二功能性圖案34線狀地形成於筒體主體12的徑向,第一功能性圖案22形成於筒體主體12的軸向的功能性筒體40。
接著,將在本發明的功能性筒體10的外周面附近配置磁通檢測手段42之裝置的示意圖示於圖4。於圖4,在磁通檢測手段42方面,係示出利用磁通檢測線圈之例。藉此,例如於油壓缸、氣缸等的活塞桿使用本發明的功能性筒體10時,可正確檢測出活塞桿的位置,使得可進行正確的位置檢測、控制等。再者,功能性圖案的寬度,係能以例如1~1000μm程度的各種的寬度製作,故亦可應用於如MEMS的微細的產品。
以下雖舉實施例而進一步具體說明本發明,惟此等的實施例係例示性表示者而當然不應為限定解釋。
在筒體主體方面,準備圓周600mm、面長1100mm,厚度10mm的鋁製的中空輥,利用NewFX(新克株式會公司製全自動雷射製版系統),而進行功能性筒體的製造。首先,將作為被處理輥的中空輥裝戴於鍍銅槽,使中空輥全没入鍍層液而以30A/dm2、6.0V形成80μm的銅鍍
層。鍍層表面係無凸塊、坑洞等的發生,獲得成為第一材料層的均勻的銅鍍層。對此銅鍍層的表面使用2頭型研磨機(新克株式會社製研磨機)作研磨而使該銅鍍層的表面成為均勻的研磨面。
接著,在上述所形成的銅鍍層的表面塗佈感光膜(熱阻:TSER2104 E4(新克株式會社製))(噴注式塗佈機),進行乾燥。所獲得的感光膜的膜厚係以膜厚計(FILLMETRICS公司製F20、Matsushita Techno Trading公司販售)計算的結果,為4μm。接著,將影像作雷射曝光並顯影。上述雷射曝光,係採用LaserStream FX並以曝光條件500mJ/cm2進行既定的圖案曝光。此外,上述顯影,係採用TLD顯影劑(新克株式會公司製顯影劑),以顯影劑稀釋比率(原液1:水7),24℃進行90秒鐘,形成既定的抗蝕圖案。接著,將上述所形成的抗蝕圖案作為蝕刻遮罩,而將銅鍍層腐蝕。在腐蝕液方面係採用氯化銅液,35℃以噴灑進行20秒鐘。接著,採用氫氧化鈉,以稀釋比率20g/L、40℃進行180秒鐘,進行抗蝕圖案的抗蝕層剝離。
作成如此,而在第一材料層的表面線狀地於軸向形成凹部,從而獲得形成第一凹部圖案與第一非凹部圖案的附凹部筒體。凹部的開口寬度係20μm,深度係4μm。
將所獲得的附凹部筒體裝戴於鍍鎳槽,使該附凹部筒體全没於鍍層液而以2A/dm2、6.0V在凹部圖案
進行20μm的鍍鎳而埋設了功能性圖案。在非凹部圖案的表面亦實施鎳鍍,惟利用2頭型研磨機(新克株式會公司製研磨機)作研磨,使非凹部圖案表面曝露。
將使前述非凹部圖案表面曝露的中空輥,裝戴於鍍銅槽,使中空輥全没入鍍層液而以30A/dm2、6.0V形成20μm的銅鍍層。鍍層表面係無凸塊、坑洞等的發生,獲得成為第二材料層的均勻的銅鍍層。對此銅鍍層的表面使用2頭型研磨機(新克株式會社製研磨機)作研磨而使該銅鍍層的表面成為均勻的研磨面。
接著,在上述所形成的銅鍍層的表面塗佈感光膜(熱阻:TSER2104 E4(新克株式會社製))(噴注式塗佈機),進行乾燥。所獲得的感光膜的膜厚係以膜厚計(FILLMETRICS公司製F20、Matsushita Techno Trading公司販售)計算的結果,為4μm。接著,將影像作雷射曝光並顯影。上述雷射曝光,係採用LaserStream FX並以曝光條件500mJ/cm2進行既定的圖案曝光。此外,上述顯影,係採用TLD顯影劑(新克株式會公司製顯影劑),以顯影劑稀釋比率(原液1:水7),24℃進行90秒鐘,形成既定的抗蝕圖案。接著,將上述所形成的抗蝕圖案作為蝕刻遮罩,而將銅鍍層腐蝕。在腐蝕液方面係採用氯化銅液,35℃以噴灑進行40秒鐘。接著,採用氫氧化鈉,以稀釋比率20g/L、40℃進行180秒鐘,進行抗蝕圖案的抗蝕層剝離。
作成如此,而在第二材料層的表面線狀地於
徑向形成凹部,從而獲得形成第二凹部圖案與第二非凹部圖案的附凹部筒體。凹部的開口寬度係20μm,深度係8μm。
將所獲得的附凹部筒體裝戴於鍍鎳槽,使該附凹部筒體全没於鍍層液而以2A/dm2、6.0V在凹部圖案進行20μm的鍍鎳而埋設了功能性圖案。在非凹部圖案的表面亦實施鎳鍍,惟利用2頭型研磨機(新克株式會公司製研磨機)作研磨,使非凹部圖案表面曝露。再者,實施5μm的鍍鉻,獲得功能性筒體。將所獲得的功能性筒體的軸向放大剖面相片示於圖5。
Claims (19)
- 一種功能性筒體,至少包含:筒體主體;具有在筒體主體的以磁性材料或非磁性材料的任一者構成而成的第一材料層形成凹部從而形成第一凹部圖案與第一非凹部圖案的第一圖案、及由埋設於前述第一凹部圖案的磁性材料或非磁性材料的任一者所成之第一功能性圖案,前述第一材料層以磁性材料而構成的情況下,在前述前述第一凹部圖案埋設非磁性材料,前述第一材料層以非磁性材料而構成的情況下,在前述第一凹部圖案埋設磁性材料,使得前述磁性材料的磁性圖案與前述非磁性材料的非磁性圖案相鄰形成而成的第一功能性圖案部;以及比前述第一凹部圖案形成於筒體主體的淺的位置,並具有在筒體主體的以磁性材料或非磁性材料的任一者構成而成的第二材料層形成凹部從而形成第二凹部圖案與第二非凹部圖案的第二圖案、及由埋設於前述第二凹部圖案的磁性材料或非磁性材料的任一者所成之第二功能性圖案,前述第二材料層以磁性材料而構成的情況下,在前述第二凹部圖案埋設非磁性材料,前述第二材料層以非磁性材料而構成的情況下,在前述第二凹部圖案埋設磁性材料,使得前述磁性材料的磁性圖案與前述非磁性材料的非磁性圖案相鄰形成而成的第二功能性圖案部。
- 如申請專利範圍第1項的功能性筒體,其中,前述第一功能性圖案及/或前述第二功能性圖案線狀地形成而成,在前述筒體主體的徑向及/或軸向交替地形成而成。
- 如申請專利範圍第1項的功能性筒體,其中,前述第一功能性圖案及前述第二功能性圖案線狀地形成而成,前述第一功能性圖案與前述第二功能性圖案正交地形成而成。
- 如申請專利範圍第1項的功能性筒體,其中,前述筒體主體的凹部藉雷射製版製作而成。
- 如申請專利範圍第1項的功能性筒體,其中,前述磁性圖案由從由Fe、Ni、Co所成之群組所選出的至少一種的磁性材料構成而成。
- 如申請專利範圍第1項的功能性筒體,其中,前述非磁性圖案由從由Cu、Al所成之群組所選出的至少一種的非磁性材料構成而成。
- 如申請專利範圍第1項的功能性筒體,其中,前述磁性圖案及前述非磁性圖案由金屬材料而成,藉金屬鍍層形成而成。
- 如申請專利範圍第1項的功能性筒體,其中,前述筒體主體的凹部的開口寬度為1μm~1000μm。
- 如申請專利範圍第1項的功能性筒體,其中,前述筒體主體的凹部的深度為1μm~1000μm。
- 一種具備如申請專利範圍第1項的功能性筒體的裝置。
- 如申請專利範圍第10項的裝置,其在前述功能性筒體的外周面附近配置磁通檢測手段而成。
- 一種功能性筒體的製造方法,用於製造如申請專利範圍第1項的功能性筒體,包含:準備以磁性材料或非磁性材料的任一者構成而成的第一材料層形成於周面的筒體主體的程序;具有在前述第一材料層的表面塗佈抗蝕層的程序、及將前述抗蝕層雷射曝光的程序,並形成第一凹部圖案與第一非凹部圖案的第一圖案形成程序;在前述第一圖案的凹部,埋設由磁性材料或非磁性材料的任一者所成之第一功能性圖案,從而形成為前述磁性材料的磁性圖案與前述非磁性材料的非磁性圖案相鄰的第一功能性圖案部形成程序;在形成有前述第一功能性圖案的筒體主體的周面形成以磁性材料或非磁性材料的任一者構成而成的第二材料層的程序;具有在前述第二材料層的表面塗佈抗蝕層的程序、將前述抗蝕層雷射曝光的程序、及將前述筒體主體的周面腐蝕的程序,並形成第二凹部圖案與第二非凹部圖案的第二圖案形成程序;以及在前述第二圖案的凹部,埋設由磁性材料或非磁性材料的任一者所成之第二功能性圖案,從而形成為前述磁性材料的磁性圖案與前述非磁性材料的非磁性圖案相鄰的第二功能性圖案部形成程序。
- 如申請專利範圍第12項的功能性筒體的製造方法,其中,前述第一功能性圖案及/或前述第二功能性圖案線狀地形成而成,在前述筒體主體的徑向及/或軸向交替地形成而成。
- 如申請專利範圍第12項的功能性筒體的製造方法,其中,前述第一功能性圖案及前述第二功能性圖案線狀地形成而成,前述第一功能性圖案與前述第二功能性圖案正交地形成而成。
- 如申請專利範圍第12項的功能性筒體的製造方法,其中,前述筒體主體的凹部藉雷射製版製作而成。
- 如申請專利範圍第12項的功能性筒體的製造方法,其中,前述磁性圖案由從由Fe、Ni、Co所成之群組所選出的至少一種的磁性材料構成而成。
- 如申請專利範圍第12項的功能性筒體的製造方法,其中,前述非磁性圖案由從由Cu、Al所成之群組所選出的至少一種的非磁性材料構成而成。
- 如申請專利範圍第12項的功能性筒體的製造方法,其中,前述磁性圖案及前述非磁性圖案由金屬材料而成,進一步包含將前述磁性圖案及前述非磁性圖案前述形成的金屬鍍層程序。
- 一種功能性筒體的製造方法,藉全自動雷射凹印製版系統而進行如申請專利範圍第12項的功能性筒體的製造方法。
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