TWI413610B - 基板搬送設備 - Google Patents

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Tatsuo Nakao
Yoshitaka Deguchi
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Daifuku Kk
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Description

基板搬送設備 發明領域
本發明係有關於一種基板搬送設備，且該基板搬送設備包含有：容器搬送裝置，係將容器搬送至基板移載用支持台，且該容器係具有可於朝上下方向隔著間隔排列之狀態下收納複數片基板之空間者；及基板移載裝置，係對載置支持於支持台之容器移載基板，以經由形成於容器側部之取放口而取出基板及收納基板者。
 發明背景
前述基板搬送設備係運用在搬送被使用於液晶顯示器或電漿顯示器之玻璃基板等基板時。基板搬送設備係依下述作成而搬送基板，即：藉由容器搬送裝置將業已收納有複數片基板之基板用收納容器搬送至支持台後，藉由基板移載裝置自業已載置支持於支持台之基板用收納容器取出基板，或，藉由基板移載裝置將基板收納於業已載置支持於支持台之基板用收納容器後，藉由容器搬送裝置自支持台搬送業已收納有複數片基板之基板用收納容器。又，在將玻璃基板等要求高清潔度之基板收納於基板用收納容器時，會運用局部清潔技術，且該局部清潔技術係設置將清淨空氣供給至基板收納空間之風扇過濾單元(FFU)，並相較於外部而提高基板用收納容器之內部的基板收納空間之清潔度。
此種基板用收納容器之習知例係揭示於日本專利公開公報特開2008-094494號公報。於特開2008-094494號公報中所揭示之基板用收納容器係藉由以下構件所構成，即：容器本體，係形成取放口及基板收納空間者；蓋用框體，係裝設有開關取放口之蓋體者；及FFU用框體，係裝設有將清淨空氣供給至基板收納空間之風扇過濾單元者。又，蓋用框體係於容器本體形成取放口之一端側安裝成可分離，FFU用框體則於容器本體之另一端側安裝成可分離。又，於該習知例中，支持台係以載置支持可形成基板用收納容器底部之容器本體之形態，載置支持基板用收納容器。容器搬送裝置係以使容器本體相對於支持台而自上方載置支持之形態，將基板用收納容器搬送至支持台。
又，一般而言，於基板搬送設備中，為了提高基板用收納容器之收納效率，基板彼此之間隔係以狹窄狀態收納於容器本體，又，玻璃基板等基板容易因與其他物體之接觸而破損，因此，使基板用收納容器朝設定位置移動時之位置調整會要求高精度。故，於特開2008-094494號公報之基板搬送設備中，設置有定心裝置，且該定心裝置係於使基板用收納容器載置支持於支持台之狀態下抵接於基板用收納容器，藉此，將基板用收納容器於水平方向之位置，調整至基板移載裝置用以移載基板之設定位置。
詳而言之，特開2008-094494號公報之定心裝置係抵接於平視呈矩形狀的基板用收納容器之下端部之四角，藉此，調整基板用收納容器於水平方向之位置，依此，將基板用收納容器調整至設定位置。具體而言，蓋用框體或FFU用框體係位於基板用收納容器之下端部之四角。又，定心裝置係抵接於FFU用框體或蓋用框體之下端部，藉此，調整基板用收納容器於水平方向之位置，依此，使基板用收納容器位於設定位置。
先行技術文獻 專利文獻
[專利文獻1]特開2008-094494號公報
本發明之申請人於日本專利申請特願2009-244754號中，揭示有一種基板用收納容器作為可將容器本體分離之基板用收納容器，且該基板用收納容器係藉由以下構件來構成基板用收納容器，即：容器本體，係形成取放口及基板收納空間者；及載置支持體，係載置支持該容器本體，並裝設有風扇過濾單元者。該基板用收納容器係藉由載置支持構件形成基板用收納容器之底部，且容器本體可相對於載置支持構件朝上方分離，在使容器本體分離時，載置支持構件不易翻倒而可輕易地使容器本體之分離自動化。
雖然考慮藉由特開2008-094494號公報之定心裝置，調節由容器本體及載置支持構件所構成的基板用收納容器於水平方向之位置，然而，定心裝置係抵接於基板用收納容器之下端部之四角而調整基板用收納容器於水平方向之位置，且由於載置支持構件之四角係位於該基板用收納容器之下端部之四角，因此，會使定心裝置抵接於載置支持構件之四角而將基板用收納容器之位置調整至設定位置。
然而，若為藉由容器本體及載置支持構件來構成基板用收納容器者，則會有容器本體因搬送中之振動等而相對於載置支持構件朝水平方向偏離之情形，因此，即使作成將載置支持構件調整至適當位置以將基板用收納容器調節至設定位置，若於載置支持構件與容器本體間朝水平方向產生偏離，則容器本體之位置會自基板移載裝置移載基板時之基板移載用位置朝水平方向偏離。
又，若於容器本體之位置自基板移載用位置朝水平方向偏離之狀態下藉由基板移載裝置移載基板，則在取出收納於容器本體之基板時，基板移載裝置相對於取出對象之基板的位置會偏離，且會有無法準確地進行利用基板移載裝置之基板之移載之虞。
本發明係有鑑於前述課題而完成，其目的在提供一種基板搬送設備，且該基板搬送設備可準確地進行利用基板移載裝置之基板之移載。
有關用以達成前述目的之本發明之基板搬送設備的特徵構造在於：基板搬送設備包含有：容器搬送裝置，係將容器搬送至基板移載用支持台，且該容器係具有可於朝上下方向隔著間隔排列之狀態下收納複數片基板之空間者；及基板移載裝置，係對載置支持於前述支持台之前述容器移載基板，以經由形成於前述容器側部之取放口而取出基板及收納基板者；前述容器包含有：容器本體，係具有前述取放口及前述空間者；及載置支持構件，係可載置支持該容器本體，並具有於載置支持有前述容器本體之狀態下將清淨空氣送風至前述空間之風扇過濾單元者；前述容器搬送裝置係以使載置支持有前述容器本體之前述載置支持構件相對於前述支持台而自上方載置支持之形態，將前述容器搬送至前述支持台，而前述基板搬送設備更包含有位置調整機構，且該位置調整機構係於使前述容器載置支持於前述支持台之狀態下直接抵接於前述容器本體，藉此，將前述容器本體於水平方向之位置，調整至前述基板移載裝置用以移載基板之基板移載用位置。
即，可收納基板之容器可藉由使容器本體相對於載置支持構件而相對地上升，使容器本體自載置支持構件分離。除此之外，由於載置支持構件係於水平方向大幅地形成以載置支持容器本體，因此，在使容器本體分離時，載置支持構件不易翻倒。
容器搬送裝置係以使載置支持有容器本體之載置支持構件相對於支持台而自上方載置支持之形態，將容器搬送至支持台。又，容器係藉由容器搬送裝置搬送至支持台，且支持台係載置支持容器之載置支持構件，同時位置調整機構係直接抵接於容器本體而將容器本體於水平方向之位置調整至基板移載用位置。依此，在使可收納基板之容器載置支持於支持台之狀態下，位置調整機構係直接抵接於容器本體，藉此，可將容器本體於水平方向之位置調整至基板移載用位置。
即，於本特徵構造中，並非調整被載置支持於支持台的載置支持構件於水平方向之位置，而是藉由位置調整機構，直接調整藉由基板移載裝置移載基板的容器本體之位置，藉此，即使於容器本體與載置支持構件間產生偏離，亦可將容器本體之位置調整至基板移載用位置。故，可準確地進行利用基板移載裝置之基板之移載，因而可提供一種基板搬送設備，且該基板搬送設備可準確地進行利用基板移載裝置之基板之移載。
有關本發明之基板搬送設備的其他特徵構造在於：前述位置調整機構包含有：複數嵌合體，係於自前述支持台朝上方突出之狀態下設置於該支持台者；被嵌合部，係包含於前述容器本體且朝上方凹入者；傾斜面部，係設置於前述容器本體中的前述被嵌合部之周圍，並將前述嵌合體導引至前述被嵌合部者；及升降操作機構，係使前述容器本體與前述嵌合體相對地升降移動，以切換成前述嵌合體嵌合於前述被嵌合部之嵌合狀態，以及使前述嵌合體自前述被嵌合部朝下方分離之分離狀態者。
即，藉由利用升降操作機構使容器本體相對於嵌合體而相對地下降移動，自被嵌合部朝下方分離之嵌合體會嵌合於被嵌合部而切換成嵌合狀態。又，由於在被嵌合部之周圍設置有將嵌合體導引至被嵌合部之傾斜面部，因此，在藉由升降操作機構自分離狀態切換成嵌合狀態時，即使於容器本體自基板移載用位置朝水平方向偏離，且被嵌合部之位置所在自嵌合體之正上方朝水平方向偏離時，嵌合體亦會一面抵接於傾斜面部一面相對地上升移動，藉此，容器本體係移動至基板移載用位置而使被嵌合部位於嵌合體之正上方，且嵌合體係嵌合於被嵌合部。依此，位置調整機構可於容器本體自基板移載用位置朝水平方向偏離時，藉由傾斜面部之作用，將容器本體之位置調整至基板移載用位置，同時可藉由嵌合體朝被嵌合部之嵌合，將業已調整至基板用移載位置的容器本體之位置保持於該位置。
有關本發明之基板搬送設備的另一其他特徵構造在於：前述嵌合體係以固定狀態設置於前述支持台，且前述容器搬送裝置係兼用作前述升降操作機構。
即，藉由利用容器搬送裝置使載置支持有容器本體之載置支持構件相對於支持台而自上方載置支持，容器本體可相對於嵌合體而下降移動，並切換成嵌合狀態。又，藉由利用容器搬送裝置將載置支持有容器本體之載置支持構件自支持台捧起，容器本體可相對於嵌合體而上升移動，並切換成分離狀態。依此，無須具有使容器本體與嵌合體相對地升降移動之專用機構，且可簡化基板搬送設備之構造。
有關本發明之基板搬送設備的另一其他特徵構造在於：複數卡合體係於自前述載置支持構件朝上方突出之狀態下設置於該載置支持構件，且於前述容器本體設置有複數被卡合部，該被卡合部係形成為朝上方凹入之形狀，且於藉由前述載置支持構件載置支持前述容器本體之狀態下卡合前述卡合體，又，隨著藉由前述升降操作機構自前述分離狀態切換成前述嵌合狀態，前述複數嵌合體係分別於接受、支持前述被嵌合部之狀態下相對於前述載置支持構件而舉起前述容器本體，以及於前述嵌合狀態中，在前述卡合體相較於前述被卡合部而朝下方分離之狀態下支持前述容器本體。
即，在使容器本體載置支持於載置支持構件之狀態下，卡合體係卡合於被卡合部，並限制容器本體相對於載置支持構件朝水平方向移動，故，可防止於藉由容器搬送裝置搬送容器時容器本體自載置支持構件掉落等於未然。
又，於切換成嵌合狀態之狀態下，卡合體係相較於被卡合部而朝下方分離，且卡合體與被卡合體之卡合呈脫離狀態，因此，容器本體係構成可相對於載置支持構件朝水平方向移動之狀態。依此，在藉由位置調整機構將容器本體之位置調整至基板移載用位置時，無須極力地使載置支持構件朝水平方向移動而可將容器本體之位置調整至基板移載用位置，故，可抑制因載置支持構件於容器搬送裝置或支持台上朝水平方向滑動所造成的塵埃之產生。
圖式簡單說明
第1圖係基板搬送設備之側視圖。
第2圖係基板搬送設備之平面圖。
第3圖係基板移載機器人之正視圖。
第4圖係基板用收納容器之立體圖。
第5(a)、5(b)圖係容器本體之立體圖。
第6(a)、6(b)圖係載置支持構件之立體圖。
第7圖係顯示使基板用收納容器位於支持台上方之狀態之透視圖。
第8圖係顯示使基板用收納容器載置支持於支持台之狀態之立體圖。
第9(a)、9(b)圖係顯示嵌合狀態與分離狀態圖。
第10(a)、10(b)圖係顯示其他實施形態(1)之嵌合狀態與分離狀態圖。
 用以實施發明之形態
以下，根據圖式，說明本發明之基板搬送設備。
如第1及2圖所示，基板搬送設備包含有：作為容器搬送裝置之堆高式起重機7，係將可收納基板1之容器(基板用收納容器)2搬送至支持台8者；及作為基板移載裝置之基板移載機器人11，係移載基板1，以經由形成於基板用收納容器2側部之取放口21而取出基板1或收納基板1者。再者，如第9圖所示，基板搬送設備包含有位置調整機構51。
具體而言，基板搬送設備包含有：作為容器搬送裝置之堆高式起重機7，係於收納基板用收納容器2之收納架10與基板移載用支持台8間，或收納架10與容器脫離用載置台9間搬送基板用收納容器2者；作為基板移載裝置之基板移載機器人11，係對載置支持於基板移載用支持台8之基板用收納容器2移載基板1，以經由形成於基板用收納容器2側部之取放口21而取出基板1且收納基板1者；及容器分離裝置12，係使容器本體3自載置支持於載置台9之基板用收納容器2分離者。
又，如第1圖所示，基板搬送設備包含有下流式清淨空氣通風機構14，且該清淨空氣通風機構14係設置於清潔空間13，並使清淨空氣自頂板部通風至地板部。該清淨空氣通風機構14係藉由包含有通風風扇17及前置過濾器18之循環路19，使構成地板部之格柵地板15的下方空間與構成頂板部之空氣過濾器16的上方空間連通。即，清淨空氣通風機構14係一面藉由前置過濾器18與空氣過濾器16使清潔空間13內之空氣清淨化，一面使用循環路19使其循環，並使清淨空氣自清潔空間13之頂板部通風至地板部。
[基板用收納容器]
如第4圖所示，於基板搬送設備中搬送的基板用收納容器2係具有可於朝上下方向隔著間隔排列之狀態下收納複數片基板1之空間(基板收納空間)S。基板用收納容器2包含有：容器本體3，係具有取放基板1之取放口21及於內部具有基板收納空間S者；及載置支持構件4，係可載置支持該容器本體3，並具有於載置支持有容器本體3之狀態下將清淨空氣送風至基板收納空間S之風扇過濾單元5(參照第6圖)者。容器本體3與載置支持構件4可分離。
第5(a)圖係顯示自前方側左斜上方之容器本體3之立體圖，並將容器本體3之一部分切口，又，第5(b)圖係顯示自後方側左斜下方之容器本體3之立體圖。如第5圖所示，容器本體3係於其側部具有用以取放基板1之取放口21；及用以將藉由風扇過濾單元5供給之清淨空氣給氣至基板收納空間S之給氣口22。取放口21係形成於容器本體3之前側部，給氣口22則形成於容器本體3之後側部。於容器本體3中，取放口21與給氣口22係形成於彼此相對向之位置。
容器本體3係將複數框材裝框成四角柱狀而形成本體框架23，且藉由利用側板24來閉塞該本體框架23之上部與左右之橫側部而形成為門狀。容器本體3之前側部並未藉由側板24來閉塞，且於該前側部形成取放口21。容器本體3之後側部亦未藉由側板24來閉塞，且於該後側部形成給氣口22。容器本體3之下部係構成為將下部形成用框材23a排列成格子狀。由於並未藉由側板24來閉塞，因此，容器本體3之下部會開口，然而，如第4圖所示，若於藉由載置支持構件4自下方載置支持容器本體3之狀態下，則會藉由該載置支持構件4來閉塞。
即，容器本體3係將藉由風扇過濾單元5供給之清淨空氣自給氣口22給氣，且於基板收納空間S內使清淨空氣自後方側通氣至前方側，並使清淨空氣自取放口21排氣。又，藉由於基板收納空間S內使清淨空氣自後方側通氣至前方側，而可利用該氣流，防止塵埃附著於基板1，同時藉由使清淨空氣自取放口21排氣，防止塵埃自取放口21侵入基板收納空間S。
又，於容器本體3之內部設置有基板支持體25，且該基板支持體25係用以於基板收納空間S中載置支持複數基板1。該基板支持體25係支持於容器本體3之本體框架23。又，基板支持體25係設置成按照朝上下方向隔著間隔排列之複數片基板1之片數而朝上下方向複數排列，且複數基板支持體25係分別藉由朝橫向排列之複數根棒材來構成。附帶一提，藉由容器本體3之內部空間，形成基板收納空間S。
第6(a)圖係自前方側左斜上方之載置支持構件4之立體圖，第6(b)圖係自後方側左斜下方之載置支持構件4之立體圖。如第6圖所示，載置支持構件4包含有：支持部分27，係載置支持容器本體3者；及裝設部分28，係裝設風扇過濾單元5，且使風扇過濾單元5位於在藉由該支持部分27載置支持容器本體3之狀態下與給氣口22相對向之位置者。附帶一提，載置支持構件4之支持部分27係形成為平視下之大小比容器本體3更大型，以使所載置支持的容器本體3不會自支持部分27朝橫側方突出。
載置支持構件4之支持部分27係將框材裝框成平視下呈矩形之格子狀，並形成支持框架29，且於該支持框架29安裝底板30而構成為平板狀。又，載置支持構件4之裝設部分28係於直立設置自支持部分27後端部之狀態下與支持部分27連結，且於載置支持構件4之裝設部分28，風扇過濾單元5係以立起姿勢於朝容器橫寬方向排列之狀態下裝設3台。又，載置支持構件4係形成為組合有側視下呈「-(負號)」字狀之支持部分27與側視下呈字母「I」字狀之裝設部分28，且側視下呈字母「L」字狀。底板30係將合計12片安裝成朝橫寬方向排列4片，且將該列朝前後方向排列3列。
於支持部分27形成開口部31。具體而言，於支持部分27，以形成於在所排列底板30中的3列中分別位於橫寬方向兩端之2片底板30之形態，形成可朝上下方向插拔後述升降式支持體47之開口部31。依此所形成的開口部31係朝容器橫寬方向隔著間隔而形成2列，且其分別形成為沿著容器前後方向之形狀。載置支持構件4中位於2列開口部31間之部分係藉由堆高式起重機7載置支持。開口部31位於容器橫寬方向外方側之部分係於收納在收納架10時受到支持，又，於搭載於支持台8或載置台9時受到載置支持。
於裝設部分28設置有遮罩部32，且該遮罩部32係覆蓋業已載置支持於載置支持構件4的容器本體3之後端部。該遮罩部32係形成為覆蓋容器本體3後端部之左右橫側方及上方之形狀。又，如第4圖所示，在容器本體3載置支持於支持部分27之狀態下，於容器本體3之上部與遮罩部32之上方部分間形成上下方向之間隙。藉由形成該間隙，如第8圖所示，在使容器本體3相對於載置支持構件4朝上方側分離時，容器本體3不會與遮罩部32接觸。
如第6(b)圖所示，於載置支持構件4之下側面設置有非接觸供電裝置33之受電部33a。在基板用收納容器2收納於收納架10之狀態下，藉由供給自業已設置於收納架10之非接觸供電裝置33的供電部33b(參照第1圖)之電力，風扇過濾單元5會作動。又，於載置支持構件4亦設置有電池(未圖示)，且該電池係儲存供給至受電部33a之電力。故，在藉由堆高式起重機7搬送基板用收納容器2之期間等，於受電部33a遠離供電部33b而無法透過供電部33b將電力供給至基板用收納容器2之狀態下，可藉由儲存於電池之電力使風扇過濾單元5作動。
基板用收納容器2係具有限制機構34，且該限制機構34係於容器本體3載置支持於載置支持構件4之狀態下，限制容器本體3相對於載置支持構件4朝水平方向之移動。具體而言，複數作為卡合體之定位銷34a係於自載置支持構件4之上面朝上方突出之狀態下設置於該載置支持構件4，且於容器本體3設置有複數作為被卡合部之卡合用凹部34b，該卡合用凹部34b係形成為朝上方凹入之形狀(即，上方作成底面而封閉，並朝下方開放之形狀)，且於藉由載置支持構件4載置支持容器本體3之狀態下卡合定位銷34a。又，在將容器本體3載置於載置支持構件4時，定位銷34a係卡合於卡合用凹部34b，藉此，限制容器本體3相對於載置支持構件4之水平方向之移動。即，限制機構34係藉由定位銷34a與卡合用凹部34b來構成。
容器本體3之下部形成用框材23a係配置成：在使容器本體3載置支持於載置支持構件4之狀態下，其一部分沿著容器前後方向之框材23a(於第5(b)圖中以假想線所示之框材23a)係位於業已形成於載置支持構件4之開口部31之正上方。又，藉由業已***開口部31之後述升降式支持體47，於接受、支持下部形成用框材23a之狀態下舉起容器本體3。又，容器本體3可藉由業已***開口部31之升降式支持體47，於接受、支持下部形成用框材23a之狀態下相對於載置支持構件4朝上方側分離。
[堆高式起重機]
如第1及2圖所示，將可收納基板用收納容器2之收納部10a朝上下方向及架橫寬方向並列設置的收納架10係於彼此相對向之狀態下設置一對，且於該一對收納架10間配置有堆高式起重機7。堆高式起重機7包含有：行走台車37，係於形成在一對收納架10間的行走路徑36上沿著其長向行走移動者；升降台38，係導引支持於業已直立設置在行走台車37之升降桅桿且可自由升降者；及叉式移載裝置39，係支持於升降台38者。移載裝置39係載置支持基板用收納容器2中的載置支持構件4，又，移載裝置39可於一對收納架10與自己間，或支持台8與自己間，或載置台9與自己間移載基板用收納容器2，且可環繞縱軸心旋繞。在相較於形成取放口21之前端部使裝設風扇過濾單元5之後端部位於行走路徑36側之狀態下，基板用收納容器2係收納於收納架10之收納部10a。
堆高式起重機7可將基板用收納容器2搬送至支持台8，且該支持台8係於與行走路徑36鄰接之狀態下設置。又，堆高式起重機7可藉由使移載裝置39旋繞，將所搬送的基板用收納容器2之方向變更180°。再者，堆高式起重機7亦可在搬送目的地之支持台8之位置相對於搬送起源處之收納部10a之位置而位於行走路徑36之相對側時，藉由移載裝置39之旋繞，將基板用收納容器2之方向變更180°而搬送至支持台8，以及在搬送目的地之支持台8之位置相對於搬送起源處之收納部10a之位置而位於行走路徑36之相同側時，未變更基板用收納容器2之方向而搬送至支持台8。故，堆高式起重機7在對支持台8交接基板用收納容器2時，可於使基板用收納容器2之後端部相較於前端部而位於行走路徑36側之狀態下交接。與支持台8之情形相同，亦可藉由堆高式起重機7對載置台9搬送基板用收納容器2。
[基板移載機器人]
如第1至3圖所示，基板移載機器人11包含有：移動台車41，係於收納架10之背面側沿著架橫寬方向移動者；升降旋轉部42，係支持於該移動台車41且可自由升降及旋轉者；及叉狀基板支持部43，係透過連桿機構44與該升降旋轉部42連結者。
基板移載機器人11係藉由升降旋轉部42之升降及旋轉與連桿機構44之伸縮，自業已載置支持於支持台8之基板用收納容器2將基板1一片一片地移載至基板搬送輸送機45之收納架側端部，以及將基板搬送輸送機45之收納架側端部之基板1一片一片地移載至業已載置支持於支持台8之基板用收納容器2。在基板用收納容器2中，於在橫寬方向鄰接之基板支持體25彼此間，且在上下方向鄰接之基板1彼此間，形成能插拔基板支持部43之空間。故，可於能插拔該基板支持部43之空間插拔基板支持部43，並自基板用收納容器2將基板1一片一片地取出，或將基板1一片一片地收納於基板用收納容器2。
基板搬送輸送機45係藉由旋轉輥支持基板1之橫寬方向兩端部，且藉由使該旋轉輥旋轉驅動而搬送基板1。如第2圖所示，於本實施形態中，基板搬送輸送機45係設置2個，其中一者之基板搬送輸送機45係將收取自基板移載機器人11之基板1朝基板處理裝置(未圖示)搬送的未處理用之基板搬送輸送機45，另一者之基板搬送輸送機45係將搬出自基板處理裝置之基板1朝收納架10側搬送的處理完用之基板搬送輸送機45。
[容器分離裝置]
如第1圖所示，容器分離裝置12包含有：升降式支持體47，係可朝水平方向載置搬送容器本體3且可升降者；及升降機構48，係藉由使該升降式支持體47升降移動之電動式汽缸等所構成者。
容器分離裝置12可於基板用收納容器2藉由載置台9載置支持之狀態下，利用升降機構48使升降式支持體47上升移動，藉此，升降式支持體47係自下方側插通載置支持構件4之開口部31，並朝上方側舉起容器本體3，且使容器本體3相對於載置支持構件4朝上方側分離。於該分離狀態下，容器本體3之下面係相較於設置在載置支持構件4之定位銷34a之上端而位於上方，且容器本體3不會受限於限制機構34而構成可相對於載置支持構件4朝水平方向搬送之狀態。
又，於載置支持構件4藉由載置台9載置支持且容器本體3藉由升降式支持體47載置支持之狀態下，藉由利用升降機構48使升降式支持體47下降移動，容器本體3係降落至載置支持構件4上，並使定位銷34a卡合於卡合用凹部34b，且升降式支持體47係自載置支持構件4之開口部31朝下方側拔出。依此降落至載置支持構件4上的容器本體3係載置支持於載置支持構件4，並與載置支持構件4結合。
又，升降式支持體47係於上升移動之狀態下將容器本體3朝水平方向載置搬送，藉此，可在與鄰接之容器搬送輸送機49間授受容器本體3。附帶一提，容器搬送輸送機49係將容器本體3搬送至洗淨容器本體3之圖外之洗淨裝置。
[限制機構]
如前所述，限制機構34包含有定位銷34a及卡合用凹部34b。如第6圖所示，定位銷34a係於載置支持構件4之支持部分27前端部的橫寬方向中央部，以朝橫寬方向隔著間隔之狀態設置一對，以及於支持部分27後端部的橫寬方向中央部，以朝橫寬方向隔著間隔之狀態設置一對。該等合計4支之定位銷34a係分別以連結支持於載置支持構件4的支持框架29之狀態設置，舉例言之，支持框架29之一部分係朝底板30側局部地伸出，且於該伸出部分設置定位銷34a。又，如第9圖所示，該等合計4支之定位銷34a係分別形成為圓柱形狀，且上端部係形成為頭細形狀。
如第5圖所示，卡合用凹部34b係於容器本體3之下面前端部的橫寬方向中央部，以朝橫寬方向隔著間隔之狀態設置一對，以及於容器本體3之下面後端部的橫寬方向中央部，以朝橫寬方向隔著間隔之狀態設置一對。該等合計4處之卡合用凹部34b係分別形成為對應於定位銷34a之設置位置，以於使容器本體3載置支持於載置支持構件4之適當處之狀態下卡合定位銷34a。又，卡合用凹部34b係分別形成為圓筒形之孔穴。
卡合用凹部34b各自之直徑係稍微大於所卡合定位銷34a之直徑，在將定位銷34a卡合於卡合用凹部34b之狀態下，於定位銷34a之側面與卡合用凹部34b之側面間形成間隙。限制機構34係於將定位銷34a卡合於卡合用凹部34b之狀態下，就該間隙份，容許容器本體3相對於載置支持構件4朝水平方向之移動。又，如第9圖所示，於卡合用凹部34b各自之周圍，將定位銷34a導引至卡合用凹部34b之卡合用傾斜面35係形成為圓錐狀。
又，設定定位銷34a之長度及卡合用凹部34b之深度，以於使容器本體3載置支持於載置支持構件4之狀態下，相較於載置支持構件4之支持部分27之上面與定位銷34a之上端的上下方向之間隔，使容器本體3之下面與卡合用凹部34b之底面(即，上方之封閉面)的上下方向之間隔變寬。即，在使容器本體3載置支持於載置支持構件4之狀態下，所卡合定位銷34a之上端不會與卡合用凹部34b之底面接觸。附帶一提，所謂容器本體3之下面係指在使容器本體3載置支持於載置支持構件4之狀態下與支持部分27之上面接觸的面。
[位置調整機構]
其次，說明位置調整機構51。
基板搬送設備包含有位置調整機構51，且該位置調整機構51係於使基板用收納容器2載置支持於支持台8之狀態下直接抵接於容器本體3，藉此，將容器本體3於水平方向之位置，調整至基板移載機器人11用以移載基板1之基板移載用位置。
如第9及10圖所示，位置調整機構51包含有：複數作為嵌合體之調整銷52，係於自支持台8朝上方突出之狀態下設置於該支持台8者；作為被嵌合部之嵌合用凹部53，係設置於容器本體3且朝上方凹入(即，上方作成底面而封閉，並朝下方開放)者；作為傾斜面部之嵌合用傾斜面54，係設置於容器本體3中的嵌合用凹部53之周圍，並將調整銷52導引至嵌合用凹部53者；及升降操作機構56(於本實施形態中為堆高式起重機7)，係使容器本體3與調整銷52相對地升降移動，以切換成調整銷52嵌合於容器本體3之嵌合用凹部53之嵌合狀態，以及調整銷52自容器本體3之嵌合用凹部53朝下方分離之分離狀態者。
如第7圖所示，調整銷52係以固定狀態設置於支持台8之四角。具體而言，對應於所載置支持的基板用收納容器2之四角，於支持台8設置有4根支柱8a。於4根支柱8a各自之上端部安裝有支持板8b，且該支持板8b係個別地載置支持基板用收納容器2之角部。又，調整銷52係固定在各個支持板8b形成為平坦之上面，且於支持台8之四角以固定狀態設置成自支持台8朝上方突出之狀態。又，如第9圖所示，調整銷52係形成為圓柱形狀，且上端部係形成為頭細形狀。
嵌合用凹部53係設置於容器本體3下面之四角，且該等合計4處之嵌合用凹部53係分別形成為對應於調整銷52之設置位置，以於使容器本體3於水平方向之位置位於用以移載基板1之基板移載用位置之狀態下卡合調整銷52。又，嵌合用凹部53係分別形成為對應於調整銷52之形狀的形狀，舉例言之，嵌合用凹部53分別為下部(凹部之開口部分附近)形成為圓筒形狀，上部(凹部之底部分附近)形成為越上方側直徑越小之頭細形狀。
嵌合用凹部53各自之直徑係與所卡合調整銷52之直徑大略相同之大小。在將調整銷52卡合於嵌合用凹部53之狀態下，於調整銷52之側面與嵌合用凹部53之側面間幾乎未形成間隙。位置調整機構51在調整銷52嵌合於嵌合用凹部53之狀態下，幾乎不容許容器本體3相對於支持台8朝水平方向之移動，且可使容器本體3之位置準確地位於基板移載用位置。
設定調整銷52之長度及嵌合用凹部53之深度，以相較於在使基板用收納容器2載置支持於支持台8之狀態下的支持台8之上面與調整銷52之上端的上下方向之間隔，使在將容器本體3載置支持於載置支持構件4之狀態下的載置支持構件4之下面與嵌合用凹部53之底面的上下方向之間隔變窄。即，如第9(b)圖所示，在使基板用收納容器2載置支持於支持台8之狀態下，僅基板用收納容器2中的載置支持構件4會載置支持於支持台8，容器本體3則藉由調整銷52來支持。附帶一提，所謂載置支持構件4之下面係指在使基板用收納容器2載置支持於支持台8之狀態下與支持板8b之上面接觸的面。
如第9圖所示，隨著藉由堆高式起重機7自分離狀態切換成嵌合狀態，複數調整銷52係分別於接受、支持嵌合用凹部53之狀態(即，調整銷52嵌合於嵌合用凹部53之狀態)下相對於載置支持構件4而舉起容器本體3。即，如第9(b)圖所示，在調整銷52嵌合於容器本體3之嵌合用凹部53之嵌合狀態下，定位銷34a係構成相較於卡合用凹部34b而朝下方分離之狀態(非卡合狀態)。又，於該狀態下，調整銷52係自下方支持容器本體3。依此，於切換成嵌合狀態且容器本體3藉由調整銷52來支持之狀態下，容器本體3之下面係相較於定位銷34a之上端而位於上方，且容器本體3不會受限於限制機構34而構成可相對於載置支持構件4朝水平方向移動之狀態。
嵌合用傾斜面54係形成於嵌合用凹部53各自之周圍，且形成為越上方側直徑越小之圓錐狀。即，在使容器本體3相對於調整銷52而下降移動且自分離狀態切換成嵌合狀態時，即使於容器本體3自基板移載用位置朝水平方向偏離，且嵌合用凹部53之位置所在自調整銷52之正上方朝水平方向偏離時，調整銷52亦會在抵接於嵌合用傾斜面54之狀態(即，調整銷52一面抵接於嵌合用傾斜面54一面受到導引之狀態)下相對地上升移動。故，容器本體3會受到導引而使嵌合用凹部53位於調整銷52之正上方，且容器本體3係移動至基板移載用位置，而調整銷52係嵌合於嵌合用凹部53。依此，位置調整機構51係具有以下機能，即：即使容器本體3自基板移載用位置朝水平方向偏離，亦可藉由嵌合用傾斜面54之作用，將容器本體3之位置調整至基板移載用位置。
於載置支持構件4形成開孔部55，且該開孔部55係形成於與嵌合用凹部53對應處，並可朝上下方向插拔調整銷52。該開孔部55係形成於在載置支持於載置支持構件4之容器本體3位於載置支持構件4上的適當位置(定位銷之中心與卡合用凹部之中心一致之位置)之狀態下位於嵌合用凹部53之正下方處，且形成為平視下呈圓形之孔穴。又，開孔部55係形成為直徑大於嵌合用傾斜面54之下端部之直徑，以即使於定位銷34a卡合於卡合用凹部34b之狀態下容器本體3自載置支持構件4上的適當位置朝水平方向偏離時，調整銷52之上端部亦可與嵌合用傾斜面54之外周緣部接觸。附帶一提，嵌合用傾斜面54之下端部之直徑係考慮以下最大偏離量而設定，即：利用堆高式起重機7朝支持台8因搬送精度所產生的基板用收納容器2相對於設定位置之水平方向之最大偏離量，以及因定位銷34a之直徑與卡合用凹部34b之直徑之差所產生的容器本體3相對於載置支持構件4上的適當位置之水平方向之最大偏離量。
堆高式起重機7係以使載置支持有容器本體3之載置支持構件4相對於支持台8而自上方載置支持之形態，將基板用收納容器2搬送至支持台8，且以自支持台8捧起載置支持構件4之形態，自支持台8搬送基板用收納容器2。又，堆高式起重機7係藉由將基板用收納容器2相對於支持台8自上方降落，使容器本體3相對於調整銷52而下降移動，且藉由將基板用收納容器2相對於支持台8朝上方捧起，使容器本體3相對於調整銷52而上升移動，並兼用作升降操作機構56。
總而言之，容器本體3未自基板移載用位置偏離時，在藉由堆高式起重機7將基板用收納容器2相對於支持台8自上方降落時，由於調整銷52不會抵接於嵌合用傾斜面54而嵌合於嵌合用凹部53，因此，不會進行利用位置調整機構51之調整。又，基板用收納容器2自設定成對應於基板移載機器人11之支持台8上的設定位置朝水平方向偏離，或載置支持於載置支持構件4之容器本體3自載置支持構件4上的適當位置朝水平方向偏離，或者容器本體3因該等兩者之因素自基板移載用位置朝水平方向偏離時，在藉由堆高式起重機7將基板用收納容器2相對於支持台8自上方降落時，由於調整銷52係於抵接於嵌合用傾斜面54後嵌合於嵌合用凹部53，因此，容器本體3之位置係藉由位置調整機構51調整至基板移載用位置。依此，在容器本體3自基板移載用位置偏離時，藉由使位置調整機構51中的調整銷52直接抵接於容器本體3，無需調整被載置支持於支持台8上的載置支持構件4之位置而可將容器本體3之位置調整至基板移載用位置。
[其他實施形態]
(1)　於前述實施形態中，將容器搬送裝置7兼用作升降操作機構56，然而，亦可設置使嵌合體升降移動之升降操作機構56等，有別於容器搬送裝置7而設置升降操作機構56。舉例言之，如第10圖所示，亦可設置使調整銷52相對於支持台8而升降移動之升降用汽缸58，作為升降操作機構56。此時，在使基板用收納容器2載置支持於支持台8之狀態下，藉由利用升降用汽缸58使調整銷52升降移動，可切換嵌合狀態(參照第10(b)圖)與分離狀態(參照第10(a)圖)。
(2)　於前述實施形態中，將位置調整機構51構成為包含有嵌合體、被嵌合體、傾斜面部及升降操作機構，並使容器本體相對於嵌合體相對地升降移動而將容器本體調整至基板移載用位置，然而，亦可變更該構造。舉例言之，亦可將位置調整機構51構成為設置抵接構件，且該抵接構件係自側方抵接於業已載置支持於支持台8的基板用收納容器2之容器本體3，並使抵接構件相對於容器本體朝水平方向遠近移動而將容器本體調整至基板移載用位置。
(3)　於前述實施形態中，在調整銷52嵌合於容器本體3之嵌合用凹部53之嵌合狀態下，卡合體係構成相較於被卡合部而朝下方分離之非卡合狀態，然而，於該嵌合狀態中的卡合體與被卡合部間之卡合、非卡合狀態是可變更的。舉例言之，亦可將在轉移成調整銷52嵌合於容器本體3之嵌合用凹部53之嵌合狀態時所必須的容器本體3相對於載置支持構件4之舉起量減小，且於嵌合狀態中亦維持卡合體卡合於被卡合部之狀態。此時，在藉由位置調整機構51將容器本體3之位置朝水平方向調整時，藉由使卡合體卡合於被卡合體，載置支持構件4係追隨容器本體3之移動而朝水平方向移動。又，於前述實施形態中，設置卡合體與被卡合部，然而，亦可未設置該等。
(4)　於前述實施形態中，在容器本體3下面之四角具有被嵌合部，同時對應於此，在支持台8具有4個嵌合體，然而，被嵌合部或嵌合體之位置或數量亦可適當地變更。舉例言之，亦可在容器本體之4處具有被嵌合部，以於容器本體3下面的橫寬方向之兩側端部各自之前後方向中央部具有被嵌合部，且於容器本體3下面的前後方向之前後端部各自之橫寬方向中央部具有被嵌合部。又，亦可在容器本體之3處具有被嵌合部，並作成於容器本體3下面的後端部之橫寬方向兩端部分別具有被嵌合部，且於容器本體3下面的前端部之橫寬方向中央部具有被嵌合部。又，亦可在容器本體3下面的中央部具有被嵌合部而並非是周緣部，又，亦可在容器本體之5處以上具有被嵌合部。又，嵌合體只要在支持台中與被嵌合部對應處具有相對應之數量即可。
(5)　於前述實施形態中，在載置支持基板用收納容器之支持台8設置嵌合體，然而，亦可未在支持台8設置嵌合體而於另外設置之專用台設置嵌合體。
(6)　於前述實施形態中，將被嵌合部中的底部形成為越上方側直徑越小之頭細形狀，並將被嵌合部中比底部下方之部分形成為圓筒形狀，然而，亦可將被嵌合部之全體形成為越上方側直徑越小之頭細形狀。
1．．．基板
2．．．基板用收納容器(容器)
3．．．容器本體
4．．．載置支持構件
5．．．風扇過濾單元
7．．．堆高式起重機(容器搬送裝置)
8．．．支持台
8a．．．支柱
8b．．．支持板
9．．．載置台
10．．．收納架
10a．．．收納部
11．．．基板移載機器人(基板移載裝置)
12．．．容器分離裝置
13．．．清潔空間
14．．．清淨空氣通風機構
15．．．格柵地板
16．．．空氣過濾器
17．．．通風風扇
18．．．前置過濾器
19．．．循環路
21．．．取放口
22．．．給氣口
23．．．本體框架
23a．．．框材
24．．．側板
25．．．基板支持體
27．．．支持部分
28．．．裝設部分
29．．．支持框架
30．．．底板
31．．．開口部
32．．．遮罩部
33．．．非接觸供電裝置
33a．．．受電部
33b．．．供電部
34．．．限制機構
34a．．．定位銷(卡合體)
34b．．．卡合用凹部(被卡合部)
35．．．卡合用傾斜面
36．．．行走路徑
37．．．行走台車
38．．．升降台
39．．．移載裝置
41．．．移動台車
42．．．升降旋轉部
43．．．基板支持部
44．．．連桿機構
45．．．基板搬送輸送機
47．．．升降式支持體
48．．．升降機構
49．．．容器搬送輸送機
51．．．位置調整機構
52．．．調整銷(嵌合體)
53．．．嵌合用凹部(被嵌合部)
54．．．嵌合用傾斜面(傾斜面部)
55．．．開孔部
56．．．升降操作機構
58．．．升降用汽缸
S．．．基板收納空間(空間)
第1圖係基板搬送設備之側視圖。
第2圖係基板搬送設備之平面圖。
第3圖係基板移載機器人之正視圖。
第4圖係基板用收納容器之立體圖。
第5(a)、5(b)圖係容器本體之立體圖。
第6(a)、6(b)圖係載置支持構件之立體圖。
第7圖係顯示使基板用收納容器位於支持台上方之狀態之透視圖。
第8圖係顯示使基板用收納容器載置支持於支持台之狀態之立體圖。
第9(a)、9(b)圖係顯示嵌合狀態與分離狀態圖。
第10(a)、10(b)圖係顯示其他實施形態(1)之嵌合狀態與分離狀態圖。
2．．．基板用收納容器(容器)
3．．．容器本體
4．．．載置支持構件
8．．．支持台
8a．．．支柱
8b．．．支持板
23a．．．框材
27．．．支持部分
30．．．底板
34．．．限制機構
34a．．．定位銷(卡合體)
34b．．．卡合用凹部(被卡合部)
35．．．卡合用傾斜面
51．．．位置調整機構
52．．．調整銷(嵌合體)
53．．．嵌合用凹部(被嵌合部)
54．．．嵌合用傾斜面(傾斜面部)
55．．．開孔部

Claims (5)

  1. 一種基板搬送設備，包含有：容器搬送裝置，係將容器搬送至基板移載用支持台者，且該容器具有可將基板以於上下方向隔著間隔排列之狀態複數片收納之空間；及基板移載裝置，係對載置支持於前述支持台之前述容器，經由形成於前述容器側部之取放口，移載應取出之基板及應收納之基板者，前述容器包含有：容器本體，係具有前述取放口及前述空間者；及載置支持構件，係可載置支持該容器本體，並具有於載置支持有前述容器本體之狀態下將清淨空氣送風至前述空間之風扇過濾單元者；前述容器搬送裝置係以使載置支持有前述容器本體之前述載置支持構件相對於前述支持台而自上方載置支持之形態，將前述容器搬送至前述支持台，而前述基板搬送設備更包含有位置調整機構，且該位置調整機構係於使前述容器載置支持於前述支持台之狀態下直接抵接於前述容器本體，藉此，將前述容器本體於水平方向之位置，調整至前述基板移載裝置用以移載基板之基板移載用位置，前述位置調整機構具有：複數嵌合體，係在由該支持台朝上方突出之狀態下設置於前述支持台；被嵌合部，係設置於前述容器本體，且朝上方凹入；及傾斜面 部，係設置於前述容器本體中之前述被嵌合部的周圍，將前述嵌合體導引至前述被嵌合部，於前述載置支持構件形成開孔部，該開孔部是形成於對應於前述被嵌合部之處且供前述嵌合體於上下方向插拔，且前述基板搬送設備構成為在使前述容器載置支持於前述支持台之狀態下，前述嵌合體貫通前述開孔部而嵌合於前述被嵌合部。
  2. 如申請專利範圍第1項之基板搬送設備，其中前述位置調整機構進一步包含有：升降操作機構，係使前述容器本體與前述嵌合體相對地升降移動，以切換成前述嵌合體嵌合於前述被嵌合部之嵌合狀態，以及使前述嵌合體自前述被嵌合部朝下方分離之分離狀態者。
  3. 如申請專利範圍第2項之基板搬送設備，其中前述嵌合體係以固定狀態設置於前述支持台，且前述容器搬送裝置係兼用作前述升降操作機構。
  4. 如申請專利範圍第2或3項之基板搬送設備，其中複數卡合體係於自前述載置支持構件朝上方突出之狀態下設置於該載置支持構件，且於前述容器本體設置有複數被卡合部，該被卡合部係形成為朝上方凹入之形狀，且於藉由前述載置支持構件載置支持前述容器本體之狀態下卡合前述卡合體，又，隨著藉由前述升降操作機構自前述分離狀態切換成前述嵌合狀態，前述複數嵌合體係 分別於接受、支持前述被嵌合部之狀態下相對於前述載置支持構件而舉起前述容器本體，以及於前述嵌合狀態中，在前述卡合體相較於前述被卡合部而朝下方分離之狀態下支持前述容器本體。
  5. 一種基板搬送設備，包含有：容器搬送裝置，係將容器搬送至基板移載用支持台者，且該容器具有可將基板以於上下方向隔著間隔排列之狀態複數片收納之空間；及基板移載裝置，係對載置支持於前述支持台之前述容器，經由形成於前述容器側部之取放口，移載應取出之基板及應收納之基板者，前述容器包含有：容器本體，係具有前述取放口及前述空間者；及載置支持構件，係可載置支持該容器本體，並具有於載置支持有前述容器本體之狀態下將清淨空氣送風至前述空間之風扇過濾單元者；前述容器搬送裝置係構成為以使載置支持有前述容器本體之前述載置支持構件相對於前述支持台而自上方載置支持之形態，將前述容器搬送至前述支持台，而前述基板搬送設備具有位置調整機構，且該位置調整機構係於使前述容器載置支持於前述支持台之狀態下直接抵接於前述容器本體，藉此，將前述容器本體於水平方向之位置，調整至前述基板移載裝置用以移載基板之基板移載用位置， 前述位置調整機構具有：複數嵌合體，係在由該支持台朝上方突出之狀態下設置於前述支持台；被嵌合部，係設置於前述容器本體，且朝上方凹入；傾斜面部，係設置於前述容器本體中之前述被嵌合部的周圍，將前述嵌合體導引至前述被嵌合部；及升降操作機構，係使前述容器本體與前述嵌合體相對地升降移動，以切換成前述嵌合體嵌合於前述被嵌合部之嵌合狀態，以及使前述嵌合體自前述被嵌合部朝下方分離之分離狀態者，複數卡合體係於自該載置支持構件朝上方突出之狀態下設置於前述載置支持構件，且於前述容器本體設置有複數被卡合部，該被卡合部係形成為朝上方凹入之形狀，且於藉由前述載置支持構件載置支持前述容器本體之狀態下卡合前述卡合體，又，隨著藉由前述升降操作機構自前述分離狀態切換成前述嵌合狀態，前述複數嵌合體係分別於接受、支持前述被嵌合部之狀態下相對於前述載置支持構件而舉起前述容器本體，以及於前述嵌合狀態中，在前述卡合體相較於前述被卡合部而朝下方分離之狀態下支持前述容器本體。
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Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102992012B (zh) * 2011-09-15 2015-07-15 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 定位机构
JP5648865B2 (ja) * 2012-06-18 2015-01-07 株式会社ダイフク 天井搬送車及び物品搬送設備
JP6610518B2 (ja) * 2016-11-30 2019-11-27 株式会社ダイフク 検査装置
CN106829474B (zh) * 2016-12-20 2018-09-04 重庆渝泰玻璃有限公司 玻璃分隔工装
KR20180115540A (ko) * 2017-04-13 2018-10-23 (주)테크윙 전자부품 파지장치
CN109256353B (zh) * 2017-07-12 2021-10-22 家登精密工业股份有限公司 定位底座
CN109132305B (zh) * 2018-07-24 2020-06-23 深圳海带宝网络科技股份有限公司 一种自清理物流仓储***
WO2020026645A1 (ja) * 2018-08-01 2020-02-06 平田機工株式会社 搬送装置及び制御方法
JP7066592B2 (ja) * 2018-10-12 2022-05-13 株式会社ダイフク 収容システム
CN110125637B (zh) * 2019-05-23 2024-02-02 中山华粹智能装备有限公司 一种磁吸片移载装置
KR102422521B1 (ko) * 2021-03-03 2022-07-19 강봉기 로봇 장치와 물품 관리 모듈 및 이를 이용한 자동화 시스템
KR102492160B1 (ko) * 2021-06-30 2023-01-26 주식회사 에스에프에이 스태커 크레인용 핸드모듈 및 이를 구비하는 스태커 크레인장치
CN115946960B (zh) * 2022-12-27 2024-07-05 英飞智信（苏州）科技有限公司 一种固体颗粒物检验用样品留样装置及方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6432849B1 (en) * 1998-02-04 2002-08-13 Nikon Corporation Substrate storage cassette positioning device and method
JP2002353299A (ja) * 2001-05-22 2002-12-06 Shin Etsu Polymer Co Ltd 精密基板収納容器の位置決め部材
TW200821237A (en) * 2006-09-13 2008-05-16 Daifuku Kk Substrate storage facility and substrate processing facility and method of operating substrate storage facility

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3838786B2 (ja) * 1997-09-30 2006-10-25 信越ポリマー株式会社 精密基板収納容器及びその位置決め構造並びに精密基板収納容器の位置決め方法
JP2002093877A (ja) * 2000-09-12 2002-03-29 Hitachi Kokusai Electric Inc 半導体製造装置
JP4953010B2 (ja) * 2006-09-13 2012-06-13 株式会社ダイフク 基板収納用の収納容器
JP4959457B2 (ja) * 2007-07-26 2012-06-20 東京エレクトロン株式会社 基板搬送モジュール及び基板処理システム
JP2009049232A (ja) * 2007-08-21 2009-03-05 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6432849B1 (en) * 1998-02-04 2002-08-13 Nikon Corporation Substrate storage cassette positioning device and method
JP2002353299A (ja) * 2001-05-22 2002-12-06 Shin Etsu Polymer Co Ltd 精密基板収納容器の位置決め部材
TW200821237A (en) * 2006-09-13 2008-05-16 Daifuku Kk Substrate storage facility and substrate processing facility and method of operating substrate storage facility

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Publication number Publication date
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