1336397 玖、發明說明： C發明所屬之技術領域3 發明領域 本發明涉及一種玻璃基板的檢查裝置及檢查方法，具 5 體而言，涉及在成形步驟中迅速且正確地實施玻璃基板檢 查的玻璃基板的檢查裝置及檢查方法。 發明背景 通常，TFT-LCD(薄膜電晶體液晶顯示器）、PDP(等離 10 子體顯示面板）、EL(Electro luminescence)等平板顯示器的 製造領域中使用的玻璃基板，是在成形步驟中將在玻璃熔 化爐熔化的玻璃液提供給熔化成形機來製造，用切割機 (cutting apparatus)按初級標準切斷，由傳送系統搬運到加工 線上。 15 成形步驟中的玻璃基板的檢查，通過事先截斷不合格 品進入後步驟，可有效降低成本、提高合格率。 在成形步驟中，在檢查由傳送系統移送的玻璃基板 時，將玻璃基板從傳送系統取出後載入到其他檢查裝置上 的情況下，不僅檢查需要很長時間，而且搬運花費工夫， 20 並且由於物理接觸，可能在玻璃基板中産生缺陷。 因此’在成形步驟中，爲了檢查玻璃基板，必需充分 考慮如下幾點。 第一、必需通過將玻璃基板容易載入到檢查區並使其 固定，來減少將玻璃基板固定在檢查區時的工夫，並在一 5 定時間内使-連串檢查步驟結束，縮短檢查所需的時間， 必需在檢查時使與玻板的物理接觸最小化並最大限 度抑制玻璃基板的缺陷産生。 第二、必需將移送的玻璃基板的振動抑制到焦深内， 以進行正確的檢查。 必需開發出考慮到上述各點等的成形步驟中的玻填基 板檢查裝置’由此，必需使進人成形步驟後實施的步驟中 的玻璃基板的不合格率最小化，降低成本，並提高生產率。 c發明内容3 發明概要 本發明鑒於上述問題做出，其目的在於提供一種破璃 基板的檢查裝置及檢查方法，不僅在成形步驟中容易實施 玻璃基板的檢查，並且縮短檢查所需的時間，使檢查時物 理接觸玻璃基板造成的缺陷的産生最小化，並且，使被移 送的玻璃基板的振動在限定的焦深内最小化，從而進行正 確的檢查。 爲了實現上述目的，本發明是一種檢查玻璃基板的裝 置，其特徵在於，包括：基板固定機構，設置在檢查區， 夾緊所述玻璃基板的端部並使之固定；視頻元件，對用所 述基板固定機構固定的所述玻璃基板，用照明裝置照射 光’並用多個攝影機進行掃描；視頻元件移動機構，將所 述視頻元件從所述玻璃基板的一側移動到另一側；缺陷資 料處理部，根據從所述視頻元件的攝影機傳送的影像，對 所述玻璃基板的缺陷進行資料化處理；顯示部，顯示由所 述缺陷資料處理部處理後的資料。. 另外，本發明是一種檢查玻璃基板的檢查方法，其特 徵在於’包括如下步驟：在使所述玻璃基板位於檢查區中 後，夹緊所述玻璃基板的端部並使之固定；使照明和多個 攝影機從固定在所述檢查區中的所述玻璃基板的一側向另 一側移動’並對所述玻璃基板進行掃描；根據掃描所述玻 璃基板取得的影像，對所述玻璃基板的缺陷進行資料化處 理；將關於所述玻璃基板缺陷的資料顯示到外部。 根據本發明的玻璃基板的檢查裝置及檢查方法不僅容 易在成形步驟中實施玻璃基板的檢查，而且使檢查所需的 時間縮短’時檢查時物理接觸玻璃基板造成的缺陷的産生 取小化’並且在限定的焦深内使被移送的玻璃基板的振動. 最小化，進行正確的檢查。 圖式簡單說明 第1圖是根據本發明的玻璃基板的檢查裝置的正面圖。 圖是根據本發明的玻璃基板的檢查裝置的側面圖。 第3圖是根據本發明的玻璃基板的檢查裝置的平面圖。 第4圖是表示根據本發明的玻璃基板的檢查裝置的框 圖。 圖疋表不根據本發明的玻璃基板的檢查裝置中基 板固定機構的正面圖。 第6圖是表示根據本發明的玻璃基板的檢查裝置中基 板固疋機構的第1上部夾具的正面圖。 第7圖是表示根據本發明的玻璃基板的檢查裝置中基 1336397 板固定機構的第1上部夾具的側面圖。 第8圖是表示根據本發明的玻璃基板的檢查裝置中基 板固定機構的第2上部夹具的正面圖。 第9圖是表示根據本發明的玻璃基板的檢查裝置中基 5 板固定機構的第2上部夾具的底面圖。 第10圖是表示根據本發明的玻璃基板的檢查裝置中基 板固定機構的第1下部夾具的正面圖。 第11圖是表示根據本發明的玻璃基板的檢查裝置中基 板固定機構的第1下部夾具的側面圖。 10 第12圖是表示根據本發明的玻璃基板的檢查裝置中基 板固定機構的第2下部夾具的正面圖。 第13圖是表示根據本發明的玻璃基板的檢查裝置中基 板固定機構的第2下部夾具的平面圖。 第14圖是表示根據本發明的玻璃基板的檢查裝置中基 15 板固定機構的側部夾具的正面圖。 第15圖是表示根據本發明的玻璃基板的檢查裝置中基 板固定機構的側部夾具的側面圖。 第16圖是表示根據本發明的玻璃基板的檢查裝置中視 頻元件的斜視圖。 20 第17圖是表示根據本發明的玻璃基板的檢查方法的流 程圖。 I：實施方式3 較佳實施例之詳細說明 下面，參照附圖來說明本發明的較佳實施形態。 8 第1圖是根據本發明的玻璃基板的檢查裝置的正面 圖，第2圖是根據本發明的玻璃基板的檢查裝置的側面圖， 第3圖是根據本發明的玻璃基板的檢查裝置的平面圖，第4 圖是表示根據本發明的玻璃基板的檢查裝置的框圖。 如圖所示，根據本發明的玻璃基板的檢查裝置，在玻 璃基板1的成形步驟中’將上端被沿移送軌道(未圖示）移動 的移送夾子（未圖示）夾緊並被移送的玻璃基板1，固定在檢 查區中進行檢查，該玻璃基板的檢查裝置包括：失緊玻璃 基板1的端部並使之固定的基板固定機構1〇〇、掃描玻璃基 板1的視頻元件200、使視頻元件200從玻璃基板1的一侧移 動到另一侧的視頻元件移動機構300、根據用視頻元件2〇〇 掃描的影像將玻璃基板1的缺陷處理成資料的缺陷資料處 理部4〇〇、和示由缺陷資料處理部400處理後的資料的顯示 部 500。 基板固定機構100與玻璃基板1的移送路徑靠近設置， 該玻璃基板1的上端被多個移送夾子（未圖示）夾緊並沿移送 軌道（未圖示）移動，當沿移送軌道（未圖示）移動的玻璃基板 Η亭止時，基板固定機構1〇〇夾緊從移送夾子(未圖示）取下的 玻璃基板1的端部後，將其固定在檢查區。 如第5圖所示，基板固定機構100包括：固定框140 ;上 部炎緊裝置110，設置在固定框14〇的上側，夾緊玻璃基板【 的上端部；下部夾緊裝置120，設置在固定框140的下側， 爽緊玻璃基板1的下端部，並向下拉玻璃基板1，以使玻璃 基板1向上下拉伸；以及，側部夾緊裝置130，分別設置在 固疋框140的兩側，夾緊玻璃基板1的兩端部，並向兩側拉 玻璃基板1，以使玻璃基板1向左右拉伸》 固定框140設置在成形步驟中用於檢查玻璃基板丨的位 置上’分別位於其上側與下側的上部及下部框14丨、142被 一對側部框143支撐。 上部夹緊裝置110分別設置在固定框14〇的上側、即上 部框141中，由夾緊玻璃基板1的上端部的第丨及第2上部夾 具111、112構成’第1上部夹具U1固定在固定框14〇的上部 框141中’第2上部夾具112沿固定框140的上部框141左右自 由移動地設置。 第6圖及第7圖所示的第1上部夾具，具有由固定框 140的上部框141設置的托架i41a，並設置有第【空壓氣缸 Ilia’爲了抓住或放開玻璃基板1的上端部，利用空壓使自 由疑轉地結合在第1空壓氣缸llla的端部 '即下端上的一對 夾子111c彼此關閉或打開。 第1空壓氣缸111a經一對埠111b選擇性地供給空壓，通 過使一對夾子111c旋轉並彼此關閉或打開，當夾子111(；被 關閉時’使其端部把持玻璃基板1的上端部。 第8圖及第9圖所示的第2上部夾具112設置有第2空壓 氣缸112b ’該第2空壓氣缸i12b沿設置在固定框14〇上側、 卩上。p框141中的引導執道112a滑動，爲了夹住或放開玻璃 基板1的上端部，第2空壓氣缸112b利用空壓使自由旋轉地 結合在端部的—對夾子112d彼此關閉或打開。 第2二壓氣缸112b自由滑動地設置在沿上部框141的縱 1336397 向並列設置在上部框141上的引導軌道112&上，通過向一對 埠ll2c選擇性地供給^壓’使-對失刊戰轉並彼此關 閉或打開，當夾子112d被關閉時，其端部把持玻璃基板1的 上端部。 5 由於第2空壓氣缸112b自由滑動地設置在引導轨道 112a上，在玻璃基板1被側部夾緊裝置13〇向左右拉伸的情 況下，第2上部夾具Π2向玻璃基板1被拉伸的方向移動，使 得玻璃基板1拉伸到整個區域中。 在固定框140的上側、即上部框141與第2空壓氣缸112匕 10中，設置螺旋彈簧等彈性部件112e，使得在第2上部夾具112 内，隨由於玻璃基板1向左右拉伸而移動的第2空壓氣缸 112b恢復到最初位置。 下部夾緊裝置120由分別設置在固定框14〇下側、即下 部框142中，夾緊玻璃基板1的下端部，並向下拉伸玻璃基 I5 板1，使玻璃基板1被上下拉伸的第1及第2下部夾具121、122 構成。第1下部夾具121固定在下部框142中，第2下部夹具 122沿下部框142左右自由移動地設置。 第10圖及第Π圖所示的第1下部失具121上，在固定框 140的下側、即在下部框142中，設置具有利用空壓上下往 20復移動的動作部件121b的第3空壓氣缸121a，在第3空壓氣 缸121a的移動部件121b的端部設置第4空壓氣缸121d;爲了 抓住或放開玻璃基板1的下端部，第4空壓氣缸i2id利用空 壓，使自由旋轉地結合在端部的一對夾子12if彼此關閉或 打開。 11 1336397 第3空壓氣缸i21a通過經一對埠12lc選擇性地供給空 壓，使移動部件12lb往復移動，來使第2空壓氣缸121(1上下 往復移動。 第4空愿氣缸i21d通過經一對璋121e選擇性地供給空 5壓，使一對爽子121f旋轉並彼此關閉或打開，當打開失子 121f時’使其端部把持玻璃基板丨的下端部。 第12圖及第13圖所示的第2下部夾具122設置第5空壓 氣缸122b ’該第5空壓氣缸122b沿設置在固定框140下側、 即下部框142中的引導軌道122a滑動；第5空壓氣缸122b具 10有利用空壓上下往復移動的移動部件122c ;在第5空壓氣缸 122b的移動部件122c的端部設置第6空壓氣缸122e，爲了抓 住或放開破璃基板1的下端部，第6空壓氣缸122e利用空 壓’使自由旋轉地結合在端部的一對夹子122g彼此關閉或 打開》 15 第5空壓氣缸122b自由滑動地設置在沿下部框142的縱 向並列設置在下部框142上的引導軌道122a上，通過經一對 埠來選擇性地供給空壓，使移動部件122c往復移動，從而 使結合在移動部件122c上的第6空歷氣缸122e上下往復移 動0 2〇 第6空壓氣缸I22e通過經一對埠I22f選擇性地供給空 壓，使一對夾子122g旋轉並彼此關閉或打開’當失子122g 被關閉時，其端部把持玻璃基板丨的下端部。 由於第5空壓氣缸122b自由滑動地設置在引導轨道 122a上’因此在玻璃基板1被側部夾緊裝置13〇向左右拉伸 12 1336397 的情況下，第2下部夾具122向玻璃基板1被拉伸的方向移 動，使得玻璃基板1拉伸到整個區域中。 在固定框140下侧、即下部框142與第5空壓氣缸122b 中，設置螺旋彈簧等彈性部件122h，使第2下部夹具122上 5 的隨玻璃基板1向左右拉伸而移動的第5空壓氣缸122b恢復 到最初位置。 側部夾緊裝置130由多個側部夾具131構成，該多個側 部夾具13 1分別設置在固定框140的兩側即每個側部框143 中’爽緊玻璃基板1的兩端部並向左右拉伸玻璃基板1，以 10 使玻璃基板1向左右拉伸。 第14圖及弟15圖不出的側部夹具131，在固定框14〇的 一側、即側部框143中，設置有具有利用空壓左右往復移動 的移動部件131b的第7空壓氣缸131a，在第7空壓氣缸i3ia 的移動部件13 lb的端部設置第8空壓氣缸I31d，爲了抓住或 15放開玻璃基板1的側端部，第8空壓氣缸131d利用空壓，使 自由旋轉地結合在端部的一對夾子13if彼此關閉或打開。 第7空壓氣缸i31a通過經一對蟑131c選擇性地供給空 壓，使移動部件131b往復移動，使得結合在移動部件1Mb 上的第8空壓氣缸131(1向左右往復移動。 20 第8空壓氣缸131d通過經一對埠131e選擇性地供給空 壓，使一對夾子131R^轉並彼此關閉或打開，當打開夹子 131f時’使其端部把持玻璃基板1的側端部。 在下部失緊裝置120的第1及第2下部失具121、122與側 部夾緊裝置13〇的側部夾具131的左側上端如第5圖所示具 13 備支撐玻璃基板1的端部的對準器121g、I2ii、131g，當夾 緊玻璃基板1時’使玻璃基板1整齊排列在被夾緊位置β 各對準器121g、121i、13lg，在結合在第3空壓氣缸 121a、第5空壓氣缸122b及第7空壓氣缸131&的各端部的、 每一個托架mh、12¾、131h的兩側，各設置丨個。 第16圖所示的視頻元件200，在一側開放的視頻框23〇 的内側兩方，分別垂直設置攝影機固定部件240與照明固定 部件250，多個攝影機220固定在攝影機固定部件240中，通 過開放的一側掃描玻璃基板1，照明固定部件Mo設置成向 多個攝影機220的掃描區域照射光。 返回第1圖及第3圖，視頻元件移動機構3〇〇使視頻元件 200從玻璃基板1的一側移動到另一側，以使視頻元件2〇〇的 攝影機220掃描玻璃基板1的整個區域。 視頻元件移動機構300中，在視頻元件移動機構3〇〇的 框315的下部自由旋轉地設置第丨導螺杆31〇，視頻元件2〇〇 結合在螺合於第1導螺杆310上的移動架（cart)32〇的上側，使 第1導螺杆310旋轉的第1移動電機（未圖示）與第丨導螺杆31〇 機械連結，第2導螺杆340與第1導螺杆31〇平行並旋轉自由 地设置在框315的上部，將與第2導螺杆340螺合的球狀螺母 350固定在視頻元件2〇〇的視頻框230上，使第2導螺杆340旋 轉的第2移動電機360與第2導螺杆340機械連結。 第2導螺杆340 ’通過其兩端被支撐在設置於框315的上 部的支撐框330上，而被旋轉自由地設置。 缺陷資料處理部400(第4圖）根據由視頻元件200的攝影 1336397 機220傳送的影像’將玻璃基板丨的缺陷處理成個數、大小、 位置等資料。 顯示部500將缺陷資料處理部4〇〇處理後的玻璃基板i 的缺陷個數、大小、位置等資料顯示到外部。 5 第17圖是表示根據本發明的玻璃基板的檢查方法的流 程圖。如圖所示，根據本發明的玻璃基板的檢查方法，對 在成形步驟中，沿移送轨道(未圖示）移動的、上端被夾在移 送夹子（未圖示）上被移送的玻璃基板丨進行檢查，包括：使 玻璃基板1停止的步驟(S10);使玻璃基板1固定在檢查區中 10的步驟（S20);掃描玻璃基板1的整個區域的步驟(S3〇);將 玻璃基板1的缺陷處理成資料的步驟(S40);顯示關於玻璃基 板1的缺陷的資料的步驟(S50)。在使玻璃基板丨停止的步驟 (S10)中，使上端固定在移送夾子（未圖示）上並沿移送軌道 (未圖示）移動的玻璃基板1，停止在一定位置上。 15 玻璃基板1停止（S10)後，在從移送夾子（未圖示）中取出 玻璃基板1並使之位於檢查區中，之後，用基板固定機構1〇〇 的上部夾緊裝置110、下部夾緊裝置120及側部夾緊裝置130 夾緊玻璃基板1的端部並使之固定（S20)。 另一方面’當用基板固定機構100失緊玻璃基板丨時， 20上端部被上部夾緊裝置11〇失緊的玻璃基板1，使下部夾緊 裝置120的第3及第5空壓氣缸121a、122b動作，使玻璃基板 1被上下拉伸；使側部夹緊裝置130的第7空壓氣缸1313動 作’以使被上下拉伸的玻璃基板丨向左右拉伸β從而，使玻 璃基板1不被撓曲’並使振動最小化，用視頻元件2〇〇進行 15 掃描時，得到清晰的影像。 若用基板固定機構100來固定玻璃基板1(S20)，則掃描 玻璃基板1的整個區域(S30)。 在掃描玻璃基板1的整個區域的步驟（S30)中，由視頻 5 元件移動機構300將視頻元件200從固定在檢查區中的玻填 基板1的一側移動到另一側’使得用照明210與多個攝影機 220掃描玻璃基板1的整個區域。 根據掃描玻璃基板1的整個區域得到的影像，對玻璃基 板1的缺陷進行資料化處理（S40)。即，對玻璃基板1的整個 10 區域的影像進行影像處理，將缺陷的個數、大小、位置等 處理成資料。 經監視器等將關於玻璃基板1的缺陷的處理資料顯示 到外部（S50)。 在將關於玻璃基板1的缺陷的資料顯示到外部的步驟 15 (S50)中，還可實施顯示玻璃基板1不合格的内容的步驟 (S70)。在顯示玻璃基板1不合格的内容的步驟（S70)中，判 斷關於玻璃基板1的缺陷的資料大於設定值、例如缺陷的個 數、大小等設定值(S71)，根據關於於玻璃基板1的缺陷的資 料，當缺陷大於設定值時，將該玻璃基板1不合格的内容顯 20 示在監視器等中（S72)。 另外，在顯示玻璃基板1不合格的内容的步驟（S70) 中，被顯示的不合格玻璃基板1取出到外部，不進入後續步 驟(S80)。 在將關於玻璃基板1的缺陷的資料顯示到外部的步驟 16 1336397 (S50)中，在玻璃基板1的缺陷小於設定值的情況下，爲了進 行後續步驟，從基板固定機構100取出玻璃基板1，用移送 夾子（未圖示）夾緊玻璃基板1的上端，沿移送軌道（未圖示） 移送，或裝入其他裝置的盒(未圖示）中移送。 5 這種結構的玻璃基板的檢查裝置及檢查方法的作用如 下進行。當將成形步驟中成形的玻璃基板1用移送夾子（未 圖示）沿移送軌道（未圖示）移送並進入預定位置時，通過使 移送夾子（未圖示）的移動停止，使玻璃基板1被停止（S10)。 當玻璃基板1停止時(S10)，在從移送夾子(未圖示）中取 10 出玻璃基板1並使之位於檢查區中後，用基板固定機構100 的上部夾緊裝置110、下部夾緊裝置120及側部夾緊裝置130 夾緊玻璃基板1的端部並使之固定（S20)。 用基板固定機構100固定玻璃基板1的步驟(S20)，如下 進行。 15 在從移送爽子（未圖示）取出玻璃基板1並使之位於固定 框140的内側後，用上部夾緊裝置110的第1及第2上部夾具 111、112夹緊玻璃基板1的上端部。 爲了用上部夾緊裝置110夾緊玻璃基板1的上端部，使 第1及第2上部夾具rn、112的第1及第2空壓氣缸ilia、112b 2〇 動作’用夾子111c、112d夾緊玻璃基板1的上端部。 另外’當使玻璃基板1位於固定框140的内側時，通過 使玻璃基板1位於下部夹緊裝置120及側部夾緊裝置130的 對準器121g、121i、131g上，可容易地整齊排列在夹緊位 置上。用上部夾緊裝置110夾緊玻璃基板1的上端部後，用 17 1336397 下部夾緊裝置120夹緊玻璃基板1的下端部。 即’使下部夾緊裝置120的第4及第6空壓氣缸12 Id ' 122e動作，用下部夾緊裝置120的夹子i2lf、122g夾緊玻璃 基板1的下端部。 5 玻璃基板1的上端與下端分別被上部及下部夾緊裝置 110、120夾緊後，使下部夾緊裝置12〇的第3及第5空壓氣缸 121a、122b動作，用一定力向下拉伸玻璃基板丨，使其向上 下拉伸。 玻璃基板1被上下拉伸後，側部夾緊裝置13〇的第8空壓 10氣缸131d動作，夾子131f分別夾緊玻璃基板1的側端部，並 使第7空壓氣缸131a動作，向兩側拉伸玻璃基板丨，使玻璃 基板1左右拉伸。 當用侧部夾緊裝置130的第7空壓氣缸丨31&左右拉伸玻 璃基板1時，通過上部及下部夾緊裝置110、12〇的第j上部 15夾具111與第1下部夾具112，玻璃基板1固定在一定位置的 狀態下，使第2上部夾具112與第1下部夾具122分別沿引導 軌道112a' 122a移動，使得玻璃基板丨在整個區域中左右拉 伸。由此，使玻璃基板1不撓曲，並使得振動最小化，當用 視頻元件200進行掃描時，取得清晰的影像。 20 用基板固定機構100夾緊並固定玻璃基板1後(S20)，使 視頻元件移動機構300的第丨及第2移動電機36〇驅動使第1 及第2導螺杆310、340旋轉，從而使通過第1及第2導螺杆 310、340的旋轉作直線運動的移動架32〇、和與球狀螺母35〇 結合的視頻元件200，沿著第1及第2導螺杆310、34〇,從玻 18 1336397 璃基板1的一側移動到另一側，用視頻元件200的照明210與 多個攝影機(camera)220 ’掃描玻璃基板1的整個區域(S30)。 用視頻元件200的攝影機220掃描玻璃基板1的整個區 域(S30)後，根據用缺陷資料處理部400掃描得到的影像，對 5 玻璃基板1的缺陷個數、大小、位置等進行資料化處理（S40)。 關於玻璃基板1的處理資料通過監視器等顯示部500被 顯示到外部（S50)。 在將關於玻璃基板1的缺陷的資料顯示到外部的步驟 (S50)中，根據關於玻璃基板1的缺陷的資料，判斷缺陷大於 1〇 設定值、例如缺陷的個數、大小等設定值（S71)，當玻璃基 板1的缺陷大於設定值時，經顯示部500顯示該玻璃基板1不 合格的内容(S72)。 將顯示部500中顯示的不合格的玻璃基板1取到外部， 不進入後續步驟(S80)。 15 在將關於玻璃基板1的缺陷的資料顯示到外部的步驟 (S50)中，若玻璃基板1的缺陷小於設定值，則爲了進行後續 步驟，從基板固定機構100中取出玻璃基板1，用移送夾子 (未圖示）夾緊玻璃基板1的上端，沿移送軌道（未圖示）移 送，或裝入在其他裝置的盒(未圖示）中移送。 20 如上所述，根據本發明的最佳實施形態，不僅在成形 步驟中容易實施玻璃基板的檢查，並且縮短檢查所需的時 間，最小化檢查時物理接觸玻璃基板造成的缺陷的産生， 並且，將限定的焦深内使被移送的玻璃基板的振動最小 化，並進行正確的檢查。 19 1336397 上述說明了本發明的最佳實施形態，但在不脫離本發 明的申請專利範圍的範圍内，本領域的技術人員可進行各 種變形。 I：圖式簡單說明3 5 第1圖是根據本發明的玻璃基板的檢查裝置的正面圖。 第2圖是根據本發明的玻璃基板的檢查裝置的側面圖。 第3圖是根據本發明的玻璃基板的檢查裝置的平面圖。 第4圖是表示根據本發明的玻璃基板的檢查裝置的框 圖。 10 第5圖是表示根據本發明的玻璃基板的檢查裝置中基 板固定機構的正面圖。 第6圖是表示根據本發明的玻璃基板的檢查裝置中基 板固定機構的第1上部夾具的正面圖。 第7圖是表示根據本發明的玻璃基板的檢查裝置中基 15 板固定機構的第1上部夾具的側面圖。 第8圖是表示根據本發明的玻璃基板的檢查裝置中基 板固定機構的第2上部夾具的正面圖。 第9圖是表示根據本發明的玻璃基板的檢查裝置中基 板固定機構的第2上部夾具的底面圖。 20 第10圖是表示根據本發明的玻璃基板的檢查裝置中基 板固定機構的第1下部夹具的正面圖。 第11圖是表示根據本發明的玻璃基板的檢查裝置中基 板固定機構的第1下部夾具的側面圖。 第12圖是表示根據本發明的玻璃基板的檢查裝置中基 20 1336397 板固定機構的第2下部夾具的正面·圖。 第13圖是表示根據本發明的玻璃基板的檢查裝置中基 板固定機構的第2下部夹具的平面圖。 第14圖是表示根據本發明的玻璃基板的檢查裴置中& 5板固定機構的側部夾具的正面圖。 第15圖是表示根據本發明的玻璃基板的檢查裝置令& 板固定機構的側部夾具的側面圖。 第16圖是表示根據本發明的玻璃基板的檢查裝置中牙見 頻元件的斜視圖。 0 第17圖是表示根據本發明的玻璃基板的檢查方法的谅 程圖。 瓜 【圖式之主要元件代表符號表】 1…玻璃基板 100···基板固定機構 110·.·上部夾緊裝置 111···第1上部夾具 111a…第1空壓氣紅 111b'112c、121e、122f、131e… 一對璋 lllc、112d、121f、122g、131f... 夾子 112···第2上部夾具 112a、122a·.·引導轨道 112b…第2空壓氣缸 112e、122h...彈性部件 120…下部夾緊裝置 121…第1下部夾具 121a…第3空壓氣紅 121b、122c、131b...移動部件 121d…第4空壓氣缸 121g、121i、131g…對準器 121h、121j、131h、141a’·.托架 122···第2下部夾具 122b···第5空壓氣缸 122e…第6空壓氣缸 130···側部夾緊裝置 21 1336397 131···側部夾具 250…照明固定部件 131a…第7空壓氣缸 300…視頻元件移動機構 131d…第8空壓氣缸 310…第1導螺杆 140···固定框 315…框 141…上部框 320…移動架 142…下部框 330…支樓框 143…側部框 340…第2導螺杆 200···視頻元件 350…球狀螺母 210···照明 360…第2移動電機 220…攝影機 400…缺陷資料處理部 230…視頻框 500···顯示部 240···攝影機固定部件 S10〜S80···步驟 22