JP2002250701A - 平面表示パネルの欠陥検査装置 - Google Patents
平面表示パネルの欠陥検査装置Info
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- JP2002250701A JP2002250701A JP2001051061A JP2001051061A JP2002250701A JP 2002250701 A JP2002250701 A JP 2002250701A JP 2001051061 A JP2001051061 A JP 2001051061A JP 2001051061 A JP2001051061 A JP 2001051061A JP 2002250701 A JP2002250701 A JP 2002250701A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ラインセンサの位置調整を楽に行える上に、
このセンサを備えたフレームの固定についても、位置ず
れを生じさせないで簡易に行えるようにした平面表示パ
ネルの欠陥検査装置を提供する。 【解決手段】 ラインセンサ2a,2bからの画素の輝
度データに基づいて平面表示パネル(一例として液晶セ
ル)5の欠陥を検査するようにした欠陥検査装置であっ
て、複数のセンサ保持フレーム43の載置フレーム3に
位置決めピン66を立設し、ピン係合部67をセンサ保
持フレーム43に設け、このピン係合部67とピン66
とを付勢係合させる付勢手段68を備える一方、センサ
保持フレーム43をピン66まわりで一方向に回動させ
る付勢手段71と、この付勢手段71に抗してセンサ保
持フレーム43を他方向に回動させる回動位置調整手段
72とを設けている。
このセンサを備えたフレームの固定についても、位置ず
れを生じさせないで簡易に行えるようにした平面表示パ
ネルの欠陥検査装置を提供する。 【解決手段】 ラインセンサ2a,2bからの画素の輝
度データに基づいて平面表示パネル(一例として液晶セ
ル)5の欠陥を検査するようにした欠陥検査装置であっ
て、複数のセンサ保持フレーム43の載置フレーム3に
位置決めピン66を立設し、ピン係合部67をセンサ保
持フレーム43に設け、このピン係合部67とピン66
とを付勢係合させる付勢手段68を備える一方、センサ
保持フレーム43をピン66まわりで一方向に回動させ
る付勢手段71と、この付勢手段71に抗してセンサ保
持フレーム43を他方向に回動させる回動位置調整手段
72とを設けている。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置(Li
quid Crystal Display)やプラズマ表示装置(Plasma D
isplay)などの平面表示装置に用いられる液晶セルやP
DP(Plasma Display Panel)などの平面表示パネルの
欠陥検査装置に関する。
quid Crystal Display)やプラズマ表示装置(Plasma D
isplay)などの平面表示装置に用いられる液晶セルやP
DP(Plasma Display Panel)などの平面表示パネルの
欠陥検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】上記の平面表示パネルの欠陥検査装置と
して、複数の受光素子を一直線上に配列してなるライン
センサの複数を、前記受光素子の配列方向に並べてフレ
ームに載置すると共に、この複数のラインセンサによっ
て平面表示パネルの画素を配列方向に直交する方向でス
キャンして、このラインセンサからの画素の輝度データ
に基づいて平面表示パネルの欠陥を検査するようにした
ものがある。
して、複数の受光素子を一直線上に配列してなるライン
センサの複数を、前記受光素子の配列方向に並べてフレ
ームに載置すると共に、この複数のラインセンサによっ
て平面表示パネルの画素を配列方向に直交する方向でス
キャンして、このラインセンサからの画素の輝度データ
に基づいて平面表示パネルの欠陥を検査するようにした
ものがある。
【0003】この欠陥検査装置においては、複数の受光
素子を一直線上に備えた複数のラインセンサを、それの
受光素子が平面表示パネルの画素の配列方向と平行にな
るように配置することが、欠陥検査を行う上で極めて重
要である。この欠陥検査装置においては、複数のライン
センサが一直線上に備える複数の受光素子を、平面表示
パネルの画素の配列方向と平行になるように配置するこ
とが、平面表示パネルの欠陥検査を行う上で極めて重要
である。
素子を一直線上に備えた複数のラインセンサを、それの
受光素子が平面表示パネルの画素の配列方向と平行にな
るように配置することが、欠陥検査を行う上で極めて重
要である。この欠陥検査装置においては、複数のライン
センサが一直線上に備える複数の受光素子を、平面表示
パネルの画素の配列方向と平行になるように配置するこ
とが、平面表示パネルの欠陥検査を行う上で極めて重要
である。
【0004】このことから、複数のセンサ保持フレーム
を、それぞれセンサ載置フレームに対してフレーム載置
に鉛直な軸線まわりで回動可能に設けて、ラインセンサ
の受光素子を軸線まわりで位置調整可能に構成し、この
両フレームをボルトとナットで固定するようにしてい
る。
を、それぞれセンサ載置フレームに対してフレーム載置
に鉛直な軸線まわりで回動可能に設けて、ラインセンサ
の受光素子を軸線まわりで位置調整可能に構成し、この
両フレームをボルトとナットで固定するようにしてい
る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記の手段
では、センサ保持フレームを人為的に回動操作して、ラ
インセンサの位置調整を行わねばならないことから、ラ
インセンサを所定通りに位置調整することが極めて困難
である上に、ボルトとナットとによる固定の手段では、
穴基準あるいは軸基準のいずれであっても、ボルトと穴
との公差の関係から、センサ保持フレームをセンサ載置
フレームに固定する際に、センサ保持フレームが公差の
範囲内で位置ずれすることは避け得ないのであって、煩
わしい位置合わせの調整作業を繰り返し何度も行わねば
ならない点で問題があった。
では、センサ保持フレームを人為的に回動操作して、ラ
インセンサの位置調整を行わねばならないことから、ラ
インセンサを所定通りに位置調整することが極めて困難
である上に、ボルトとナットとによる固定の手段では、
穴基準あるいは軸基準のいずれであっても、ボルトと穴
との公差の関係から、センサ保持フレームをセンサ載置
フレームに固定する際に、センサ保持フレームが公差の
範囲内で位置ずれすることは避け得ないのであって、煩
わしい位置合わせの調整作業を繰り返し何度も行わねば
ならない点で問題があった。
【0006】本発明は、かゝる実情に鑑みて成されたも
のであって、その目的は、ラインセンサを所定通りに楽
に位置調整できる上に、このセンサを備えたフレームの
固定も、このフレームの位置ずれを生じさせないで、簡
易に行えるようにする点にある。
のであって、その目的は、ラインセンサを所定通りに楽
に位置調整できる上に、このセンサを備えたフレームの
固定も、このフレームの位置ずれを生じさせないで、簡
易に行えるようにする点にある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明は、複数のセンサ保持フレームを個々に載置
するためのセンサ載置フレームに、軸線をフレーム載置
面に鉛直な方向に向けて位置決めピンを立設し、このピ
ンに係合するピン係合部をセンサ保持フレームに設け、
かつ、このピン係合部とピンとを付勢係合させる付勢手
段を備えて、センサ保持フレームをそれぞれピンまわり
で回動可能に構成し、更に、センサ保持フレームをピン
まわりで一方向に回動させる付勢手段と、この付勢手段
に抗してセンサ保持フレームを他方向に回動させる回動
位置調整手段とを設けて成る点に特徴がある(請求項
1)。
めに本発明は、複数のセンサ保持フレームを個々に載置
するためのセンサ載置フレームに、軸線をフレーム載置
面に鉛直な方向に向けて位置決めピンを立設し、このピ
ンに係合するピン係合部をセンサ保持フレームに設け、
かつ、このピン係合部とピンとを付勢係合させる付勢手
段を備えて、センサ保持フレームをそれぞれピンまわり
で回動可能に構成し、更に、センサ保持フレームをピン
まわりで一方向に回動させる付勢手段と、この付勢手段
に抗してセンサ保持フレームを他方向に回動させる回動
位置調整手段とを設けて成る点に特徴がある(請求項
1)。
【0008】上記の特徴構成によれば、位置決めピンに
ピン係合部を付勢係合させることで、公差に起因するよ
うな位置ずれを伴わせることなく、センサ保持フレーム
をセンサ載置フレームに仮固定することができる。
ピン係合部を付勢係合させることで、公差に起因するよ
うな位置ずれを伴わせることなく、センサ保持フレーム
をセンサ載置フレームに仮固定することができる。
【0009】そして、この仮固定の状態にあるセンサ保
持フレームは、付勢手段によって一方向に回動付勢され
た状態で、この付勢力に抗して回動位置の調整手段によ
り、機械的に他方への回動位置が調整可能であることか
ら、ラインセンサの受光素子を平面表示パネルの画素に
平行に位置合わせすることを楽に行うことができるので
ある。
持フレームは、付勢手段によって一方向に回動付勢され
た状態で、この付勢力に抗して回動位置の調整手段によ
り、機械的に他方への回動位置が調整可能であることか
ら、ラインセンサの受光素子を平面表示パネルの画素に
平行に位置合わせすることを楽に行うことができるので
ある。
【0010】しかも、このように位置調整されたライン
センサは、付勢手段と回動位置の調整手段とによって、
確実に位置固定の状態が保持されるのであって、従っ
て、端的には1回の調整作業で、位置ずれを一切伴わせ
ることなく、センサ保持フレームひいてはラインセンサ
を所定通りにセンサ載置フレームに固定することができ
る。
センサは、付勢手段と回動位置の調整手段とによって、
確実に位置固定の状態が保持されるのであって、従っ
て、端的には1回の調整作業で、位置ずれを一切伴わせ
ることなく、センサ保持フレームひいてはラインセンサ
を所定通りにセンサ載置フレームに固定することができ
る。
【0011】ラインセンサの複数を受光素子の配列方向
に並べてフレームに載置する上で、センサ保持フレーム
を個々にスキャン方向に位置調整可能に構成することも
要望される。
に並べてフレームに載置する上で、センサ保持フレーム
を個々にスキャン方向に位置調整可能に構成することも
要望される。
【0012】これに対しては、センサ載置フレームに対
してスキャン方向にスライド可能に中間フレームを設
け、この中間フレームに位置決めピンを立設すると共
に、この中間フレームをスキャン方向の一方に移動させ
る付勢手段と、この付勢手段に抗して中間フレームをス
キャン方向の他方に移動させる移動位置調整手段とを備
えることで(請求項2)、センサ保持フレームひいては
ラインセンサを、個々にスキャン方向に楽に位置調整す
ることができる。
してスキャン方向にスライド可能に中間フレームを設
け、この中間フレームに位置決めピンを立設すると共
に、この中間フレームをスキャン方向の一方に移動させ
る付勢手段と、この付勢手段に抗して中間フレームをス
キャン方向の他方に移動させる移動位置調整手段とを備
えることで(請求項2)、センサ保持フレームひいては
ラインセンサを、個々にスキャン方向に楽に位置調整す
ることができる。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明すると、図1〜図4は平面表示パネルの
欠陥検査装置1を示し、この欠陥検査装置1は、複数の
受光素子を一直線上に配列してなる第1及び第2のライ
ンセンサ2a,2bの複数を、受光素子の配列方向Xに
並べてフレーム3に載置すると共に、このセンサ載置フ
レーム3を受光素子の配列方向Xに直交する方向Yに移
動可能に構成して、このフレーム3の移動に伴って、ベ
ース4に載置された液晶セル(後述するように、平面表
示パネルの一例)5の複数の画素をラインセンサ2a,
2bでスキャンし、その画素の輝度データをパソコンの
演算処理部に取り入れて、これを演算処理し、液晶セル
5の欠陥の有無を検査するように構成されている。
に基づいて説明すると、図1〜図4は平面表示パネルの
欠陥検査装置1を示し、この欠陥検査装置1は、複数の
受光素子を一直線上に配列してなる第1及び第2のライ
ンセンサ2a,2bの複数を、受光素子の配列方向Xに
並べてフレーム3に載置すると共に、このセンサ載置フ
レーム3を受光素子の配列方向Xに直交する方向Yに移
動可能に構成して、このフレーム3の移動に伴って、ベ
ース4に載置された液晶セル(後述するように、平面表
示パネルの一例)5の複数の画素をラインセンサ2a,
2bでスキャンし、その画素の輝度データをパソコンの
演算処理部に取り入れて、これを演算処理し、液晶セル
5の欠陥の有無を検査するように構成されている。
【0014】この実施の形態では、図8を参照して明ら
かなように、平面表示パネルの一例として、バックライ
トを備える前段の液晶セル5を欠陥の検査対象にしてい
ることから、この液晶セル5に投光するための光源6を
ベース4上に配置しているが、平面表示パネルとして、
液晶セル5の裏面側にバックライトを備えた液晶モジュ
ールを欠陥の検査対象にしてもよいのであり、この場
合、バックライトを備えることから、上記の光源6は必
要としないのである。更に、平面表示パネルとして、セ
ル裏面に反射板を備えた反射型液晶セルやPDPなども
欠陥の検査対象にすることができる。
かなように、平面表示パネルの一例として、バックライ
トを備える前段の液晶セル5を欠陥の検査対象にしてい
ることから、この液晶セル5に投光するための光源6を
ベース4上に配置しているが、平面表示パネルとして、
液晶セル5の裏面側にバックライトを備えた液晶モジュ
ールを欠陥の検査対象にしてもよいのであり、この場
合、バックライトを備えることから、上記の光源6は必
要としないのである。更に、平面表示パネルとして、セ
ル裏面に反射板を備えた反射型液晶セルやPDPなども
欠陥の検査対象にすることができる。
【0015】尚、上記の液晶セル5は、上下一対のガラ
ス基板5a,5bと、この上下のガラス基板5a,5b
の間に挟持される液晶5cと、各ガラス基板5a,5b
の外面に貼着された偏光板(フィルム)5d,5eとか
ら成る。
ス基板5a,5bと、この上下のガラス基板5a,5b
の間に挟持される液晶5cと、各ガラス基板5a,5b
の外面に貼着された偏光板(フィルム)5d,5eとか
ら成る。
【0016】図5は液晶セルの欠陥検査装置1の制御系
統図を示し、図において、11はセンサ駆動ユニット、
12はセンサ載置フレーム3をスキャン方向(上記の直
交する方向)Yに往復移動させるためのフレーム駆動ユ
ニットで、クロック同期信号に合わせて指示された速度
でセンサ載置フレーム3を移動させる位置制御ユニット
12aと、センサ載置フレーム3の正確な位置検出を行
なう位置検出ユニット12bとからなる。13は液晶セ
ル5に所定のパターンを表示するための信号発生ユニッ
トである。
統図を示し、図において、11はセンサ駆動ユニット、
12はセンサ載置フレーム3をスキャン方向(上記の直
交する方向)Yに往復移動させるためのフレーム駆動ユ
ニットで、クロック同期信号に合わせて指示された速度
でセンサ載置フレーム3を移動させる位置制御ユニット
12aと、センサ載置フレーム3の正確な位置検出を行
なう位置検出ユニット12bとからなる。13は液晶セ
ル5に所定のパターンを表示するための信号発生ユニッ
トである。
【0017】14は各ユニット11〜13を制御するた
めの制御信号を出力する情報処理装置(以下、パソコン
という)、15はパソコン14に接続された情報の取り
込み処理部で、位置検出ユニット12bからの信号S,
Cと第1及び第2のラインセンサ2a,2bからの輝度
データD0 を入力し、これを画像処理して、液晶セル5
の各部の輝度を示す画像データDをパソコン14に出力
する。
めの制御信号を出力する情報処理装置(以下、パソコン
という)、15はパソコン14に接続された情報の取り
込み処理部で、位置検出ユニット12bからの信号S,
Cと第1及び第2のラインセンサ2a,2bからの輝度
データD0 を入力し、これを画像処理して、液晶セル5
の各部の輝度を示す画像データDをパソコン14に出力
する。
【0018】情報の取り込み処理部15は、輝度データ
D0 のうち各画素に対応するものを割り付けるセンサ出
力割付機能部15aと、各画素に対応しない部分をブラ
ックマトリックスとして設定するブラックマトリックス
設定機能部15bと、ラインセンサ2a,2bの位置補
正を行なうセンサ位置補正機能部15cと、各画素内に
生じた欠陥を検知して記録する欠陥検知機能部15d
と、欠陥が異物である場合に、セル厚み方向での異物位
置を検知する異物検知機能部15eとを有している。
D0 のうち各画素に対応するものを割り付けるセンサ出
力割付機能部15aと、各画素に対応しない部分をブラ
ックマトリックスとして設定するブラックマトリックス
設定機能部15bと、ラインセンサ2a,2bの位置補
正を行なうセンサ位置補正機能部15cと、各画素内に
生じた欠陥を検知して記録する欠陥検知機能部15d
と、欠陥が異物である場合に、セル厚み方向での異物位
置を検知する異物検知機能部15eとを有している。
【0019】図6は欠陥検査装置1による液晶セル5の
検査手順を示すフローチャートで、S1 は液晶セル5を
欠陥検査装置1のベース4に載置(ローディング)する
ステップ、S2 は液晶セルの欠陥検査装置1に載置され
た液晶セル5の位置をその検査に適切な例えば精度5μ
mの許容範囲内のずれに収まるように位置補正(アライ
メント)するステップである。
検査手順を示すフローチャートで、S1 は液晶セル5を
欠陥検査装置1のベース4に載置(ローディング)する
ステップ、S2 は液晶セルの欠陥検査装置1に載置され
た液晶セル5の位置をその検査に適切な例えば精度5μ
mの許容範囲内のずれに収まるように位置補正(アライ
メント)するステップである。
【0020】S3 はアライメントが終了した液晶セル5
の接触電極(電極パターン)に、信号発生ユニット13
に接続された接触電極(電極ピン)を接続(プロービン
グ)するステップである。
の接触電極(電極パターン)に、信号発生ユニット13
に接続された接触電極(電極ピン)を接続(プロービン
グ)するステップである。
【0021】S4 はプロービングされたコネクタを介し
て信号発生ユニット13からの適切な電力または電気信
号を供給し、液晶セル5に所定の検査パターンを表示す
るステップ、S5 はロット単位で欠陥を検査する際の最
初の液晶セル5であるか否かを判別するステップ、S6
は液晶セル5の画素の開始端部である原点位置を確認
(原点確認)するステップである。
て信号発生ユニット13からの適切な電力または電気信
号を供給し、液晶セル5に所定の検査パターンを表示す
るステップ、S5 はロット単位で欠陥を検査する際の最
初の液晶セル5であるか否かを判別するステップ、S6
は液晶セル5の画素の開始端部である原点位置を確認
(原点確認)するステップである。
【0022】S7 は第1及び第2のラインセンサ2a,
2bによって受光された液晶セル5の輝度データD0 を
計測(輝度計測)するステップ、S8 は計測した輝度デ
ータD0 の取り込みステップ、S9 はデータ処理ステッ
プで、ステップS8 で取り込んだデータをまとめて演算
処理し、検査結果データを求める。
2bによって受光された液晶セル5の輝度データD0 を
計測(輝度計測)するステップ、S8 は計測した輝度デ
ータD0 の取り込みステップ、S9 はデータ処理ステッ
プで、ステップS8 で取り込んだデータをまとめて演算
処理し、検査結果データを求める。
【0023】S10は情報の取り込み処理部15によって
得られたデータDをパソコン14に入力し、検査結果を
出力するステップ、S11は検査が終了した液晶セル5を
製造工程の下流側に移動させるセルアンローディングス
テップである。
得られたデータDをパソコン14に入力し、検査結果を
出力するステップ、S11は検査が終了した液晶セル5を
製造工程の下流側に移動させるセルアンローディングス
テップである。
【0024】図1〜図4に戻って、及び、図7に基づい
て、以下に欠陥検査装置1の具体構造について説明す
る。これらの図において、図中の21はセル載置ベース
4のステージ22を形成するように設置された据え付け
架台、23はステージ22を挟んで架台21の両側に立
設されたポストで、スキャン方向Yで各2本のポスト2
3,23にわたって受けフレーム24が設けられてい
る。
て、以下に欠陥検査装置1の具体構造について説明す
る。これらの図において、図中の21はセル載置ベース
4のステージ22を形成するように設置された据え付け
架台、23はステージ22を挟んで架台21の両側に立
設されたポストで、スキャン方向Yで各2本のポスト2
3,23にわたって受けフレーム24が設けられてい
る。
【0025】25は受けフレーム24、24にわたって
載置された平面視でコの字状のベースで、その四隅がク
ランク部材26によって受けフレーム24、24に固定
されている。27はコの字状ベース25の位置調整手段
である。
載置された平面視でコの字状のベースで、その四隅がク
ランク部材26によって受けフレーム24、24に固定
されている。27はコの字状ベース25の位置調整手段
である。
【0026】28,28はコの字状ベース25の両側に
設置されたスライド手段で、スキャン方向Yに沿わせて
レール29を配置すると共に、このレール29に跨がら
せてスライドベース30を設け、かつ、レール29の両
端(片側のみを図示している。)に備えた軸受31によ
って支持するように、レール29の凹部にボールねじ軸
32を配置する一方、このボールねじ軸32に螺着され
るボール雌ねじ33をスライドベース30に備え、更
に、同期駆動されるモータ34を各ボールねじ軸32に
連結して、一対のスライドベース30,30をスキャン
方向Yに同期移動可能に構成している。
設置されたスライド手段で、スキャン方向Yに沿わせて
レール29を配置すると共に、このレール29に跨がら
せてスライドベース30を設け、かつ、レール29の両
端(片側のみを図示している。)に備えた軸受31によ
って支持するように、レール29の凹部にボールねじ軸
32を配置する一方、このボールねじ軸32に螺着され
るボール雌ねじ33をスライドベース30に備え、更
に、同期駆動されるモータ34を各ボールねじ軸32に
連結して、一対のスライドベース30,30をスキャン
方向Yに同期移動可能に構成している。
【0027】35は一方のスライドベース30に備えら
れた第2のスライドベースで、スキャン方向Yに直交す
る方向(受光素子の配列方向)Xに移動可能に設けられ
ており、この第2のスライドベース35と他方のスライ
ドベース30のそれぞれに、ベース4に載置される液晶
セル5のセル表面Pに鉛直な軸線を有するフレーム回動
用の支軸36,36を立設している。
れた第2のスライドベースで、スキャン方向Yに直交す
る方向(受光素子の配列方向)Xに移動可能に設けられ
ており、この第2のスライドベース35と他方のスライ
ドベース30のそれぞれに、ベース4に載置される液晶
セル5のセル表面Pに鉛直な軸線を有するフレーム回動
用の支軸36,36を立設している。
【0028】上記のセンサ載置フレーム3は、一対の支
軸36,36まわりで回動可能な状態で、第2のスライ
ドベース35と他方のスライドベース30とにわたって
載置されており、このセンサ載置フレーム3は、支軸3
6,36にわたって枢着されるメインフレーム37と、
このメインフレーム37に対してスキャン方向Yの両側
に、それぞれスライダー38を介して且つ昇降位置の調
整手段(フレーム吊りボルト39とナット40からな
る。)41によって昇降可能に吊り下げ保持されるセン
サ並設用のフレーム42,42とから成る。
軸36,36まわりで回動可能な状態で、第2のスライ
ドベース35と他方のスライドベース30とにわたって
載置されており、このセンサ載置フレーム3は、支軸3
6,36にわたって枢着されるメインフレーム37と、
このメインフレーム37に対してスキャン方向Yの両側
に、それぞれスライダー38を介して且つ昇降位置の調
整手段(フレーム吊りボルト39とナット40からな
る。)41によって昇降可能に吊り下げ保持されるセン
サ並設用のフレーム42,42とから成る。
【0029】このセンサ並設用のフレーム42,42に
は、第1及び第2のラインセンサ2a,2bを個々に備
えたセンサ保持フレーム43が、中間フレーム44を介
して下部側面板45に並設されるもので、スキャン方向
Yで前方側のセンサ並設用フレーム42の下部側面板4
5には、第1のラインセンサ2aの6個が、セル表面P
に鉛直な方向Qで液晶セル5の輝度を測定するように配
置されている。
は、第1及び第2のラインセンサ2a,2bを個々に備
えたセンサ保持フレーム43が、中間フレーム44を介
して下部側面板45に並設されるもので、スキャン方向
Yで前方側のセンサ並設用フレーム42の下部側面板4
5には、第1のラインセンサ2aの6個が、セル表面P
に鉛直な方向Qで液晶セル5の輝度を測定するように配
置されている。
【0030】スキャン方向Yで後方側のセンサ並設用フ
レーム42の下部側面板45には、第2のラインセンサ
2bの4個が、スキャン方向Yにおいて鉛直な方向Qと
或る角度(例えば30度)θだけ傾斜した方向で、液晶
セル5の輝度を測定するように配置されている。
レーム42の下部側面板45には、第2のラインセンサ
2bの4個が、スキャン方向Yにおいて鉛直な方向Qと
或る角度(例えば30度)θだけ傾斜した方向で、液晶
セル5の輝度を測定するように配置されている。
【0031】そして、図8に示すように、第1及び第2
のラインセンサ2a,2bによって検出される液晶セル
の画素座標( Pixel座標)Rを、液晶セル5の液晶5c
の存在部分で光学的に又はソフト上で一致させるように
調整している。
のラインセンサ2a,2bによって検出される液晶セル
の画素座標( Pixel座標)Rを、液晶セル5の液晶5c
の存在部分で光学的に又はソフト上で一致させるように
調整している。
【0032】46は支軸35まわりでのセンサ載置フレ
ーム3の回動を検知するための回動検知センサで、他方
のスライドベース30と第2のスライドベース35とに
備えたマイクロスイッチからなり、このセンサ46から
のフレーム回動の検知情報に基づいてモータ34を駆動
停止させるように構成されている。
ーム3の回動を検知するための回動検知センサで、他方
のスライドベース30と第2のスライドベース35とに
備えたマイクロスイッチからなり、このセンサ46から
のフレーム回動の検知情報に基づいてモータ34を駆動
停止させるように構成されている。
【0033】上記の構成よりなる欠陥検査装置1では、
欠陥検出の作業工程の途中において、同期駆動されるモ
ータ34,34の一方が不測にも故障したり、或いは、
ボールねじ軸32とボールねじ33との間に異物を噛み
込んだりした場合、センサ載置フレーム3が他方のモー
タ34によって片側駆動されることで、このフレーム3
が瞬時にして傾くことで、ボールねじ軸32の曲がりや
センサ載置フレーム3の変形、或いは、他方のモータ3
4の破損することが懸念される。
欠陥検出の作業工程の途中において、同期駆動されるモ
ータ34,34の一方が不測にも故障したり、或いは、
ボールねじ軸32とボールねじ33との間に異物を噛み
込んだりした場合、センサ載置フレーム3が他方のモー
タ34によって片側駆動されることで、このフレーム3
が瞬時にして傾くことで、ボールねじ軸32の曲がりや
センサ載置フレーム3の変形、或いは、他方のモータ3
4の破損することが懸念される。
【0034】しかし、上記構成の欠陥検査装置1におい
ては、センサ載置フレーム3が片側駆動されて、センサ
載置フレーム3が傾くようになると、一方のスライドベ
ース30に備えた第2のスライドベース35が、このフ
レーム3の傾きに伴って他方のスライドベース30側に
スライドし、かつ、この際の支軸35まわりでのフレー
ム3の回動がセンサ46によって検知されて、このセン
サ46からのフレーム回動の検知情報に基づいてモータ
34,34が駆動停止されることで、ボールねじ軸32
の曲がりやセンサ載置フレーム3の変形、モータ34の
破損といった事態が確実に回避されるのである。
ては、センサ載置フレーム3が片側駆動されて、センサ
載置フレーム3が傾くようになると、一方のスライドベ
ース30に備えた第2のスライドベース35が、このフ
レーム3の傾きに伴って他方のスライドベース30側に
スライドし、かつ、この際の支軸35まわりでのフレー
ム3の回動がセンサ46によって検知されて、このセン
サ46からのフレーム回動の検知情報に基づいてモータ
34,34が駆動停止されることで、ボールねじ軸32
の曲がりやセンサ載置フレーム3の変形、モータ34の
破損といった事態が確実に回避されるのである。
【0035】尚、上記の実施の形態では、セル載置ベー
ス4を固定的に設けて、センサ載置フレーム3を移動さ
せるセルスキャンの形態をとっているが、図9に概略を
示すように、複数のラインセンサ(図示を省略)を備え
た門型のセンサ載置フレーム3を固定的に設ける一方、
上記の構成にかゝるスライド手段28,28によってセ
ル載置ベース4を移動させるセルスキャンの形態をとっ
てもよいのである。
ス4を固定的に設けて、センサ載置フレーム3を移動さ
せるセルスキャンの形態をとっているが、図9に概略を
示すように、複数のラインセンサ(図示を省略)を備え
た門型のセンサ載置フレーム3を固定的に設ける一方、
上記の構成にかゝるスライド手段28,28によってセ
ル載置ベース4を移動させるセルスキャンの形態をとっ
てもよいのである。
【0036】この図9において、図中の47はセル載置
ベース10の保持フレームで、このフレーム47の両端
側を、スライドベース30,35に立設の支軸36,3
6まわりで回動可能に連結しており、その他のスライド
手段28,28の構成は、図2に示すものと構成的に同
じであることから、その構成部材に同符号を付してい
る。
ベース10の保持フレームで、このフレーム47の両端
側を、スライドベース30,35に立設の支軸36,3
6まわりで回動可能に連結しており、その他のスライド
手段28,28の構成は、図2に示すものと構成的に同
じであることから、その構成部材に同符号を付してい
る。
【0037】上記のベース移動の形態をとる際に、ベー
ス4の回動検知センサ46を、他方のスライドベース3
0と第2のスライドベース35とに備えて、このセンサ
46からのベース回動の検知情報に基づいてモータ3
4,34を駆動停止させるように構成することで、モー
タ34が駆動停止した際の、不測なボールねじ軸32の
曲がりやセンサ載置フレーム3の変形、モータ34の破
損といった事態は確実に防止される。
ス4の回動検知センサ46を、他方のスライドベース3
0と第2のスライドベース35とに備えて、このセンサ
46からのベース回動の検知情報に基づいてモータ3
4,34を駆動停止させるように構成することで、モー
タ34が駆動停止した際の、不測なボールねじ軸32の
曲がりやセンサ載置フレーム3の変形、モータ34の破
損といった事態は確実に防止される。
【0038】欠陥の検査に際しては、図8に示すよう
に、セル載置ベース4に液晶セル5を供給し、かつ、光
源6を点灯させて、センサ載置フレーム3をスキャン方
向Yに移動させ、ラインセンサ2a,2bによって液晶
セル5の複数の画素をスキャンして、第1のラインセン
サ2aからの画素の輝度データを解析することで、液晶
セル5の良否の判別すなわち液晶セル5の画素の一部が
点灯しない減点や、画素の一部が不必要に点灯する輝
点、その他、異物a〜eの混入などの欠陥検知が行わ
れ、第1及び第2のラインセンサ2bからの輝度データ
に基づいて、液晶セル5に混入した異物a〜eの深さ位
置の検知が行われるのである。
に、セル載置ベース4に液晶セル5を供給し、かつ、光
源6を点灯させて、センサ載置フレーム3をスキャン方
向Yに移動させ、ラインセンサ2a,2bによって液晶
セル5の複数の画素をスキャンして、第1のラインセン
サ2aからの画素の輝度データを解析することで、液晶
セル5の良否の判別すなわち液晶セル5の画素の一部が
点灯しない減点や、画素の一部が不必要に点灯する輝
点、その他、異物a〜eの混入などの欠陥検知が行わ
れ、第1及び第2のラインセンサ2bからの輝度データ
に基づいて、液晶セル5に混入した異物a〜eの深さ位
置の検知が行われるのである。
【0039】即ち、液晶セル5の表面側に存する異物a
の検出に際しては、この異物aを先ず第1のラインセン
サ2aが検出し、次いで傾斜させた或る角度θ分の遅れ
時間−t1 をもって、この異物aを第2のラインセンサ
2bが検出するのである。
の検出に際しては、この異物aを先ず第1のラインセン
サ2aが検出し、次いで傾斜させた或る角度θ分の遅れ
時間−t1 をもって、この異物aを第2のラインセンサ
2bが検出するのである。
【0040】上部側の偏光フィルム5dとガラス基板5
aとの間に存する異物bについても、上記と同様の検出
形態がとられるのであるが、この際は、第2のラインセ
ンサ2bによる異物検出の遅れ時間−t2 が時間的に短
くなるのであり、液晶5cの部分に存する異物cについ
ては、この異物cを第1及び第2のラインセンサ2a,
2bがほゞ同時に検出するのである。
aとの間に存する異物bについても、上記と同様の検出
形態がとられるのであるが、この際は、第2のラインセ
ンサ2bによる異物検出の遅れ時間−t2 が時間的に短
くなるのであり、液晶5cの部分に存する異物cについ
ては、この異物cを第1及び第2のラインセンサ2a,
2bがほゞ同時に検出するのである。
【0041】そして、下部側の偏光フィルム5eとガラ
ス基板5bとの間に異物dが存するときは、この異物d
を先ずは第2のラインセンサ2bが検出し、次に傾斜さ
せた或る角度θ分の遅れ時間+t2 をもって、この異物
dを第2のラインセンサ2bが検出するのである。
ス基板5bとの間に異物dが存するときは、この異物d
を先ずは第2のラインセンサ2bが検出し、次に傾斜さ
せた或る角度θ分の遅れ時間+t2 をもって、この異物
dを第2のラインセンサ2bが検出するのである。
【0042】液晶セル5の裏面側に存する異物eについ
ては、第2のラインセンサ2bによる異物検出よりも、
時間的に+t1 の遅れ時間をもって、この異物eを第1
のラインセンサ2a検出するのであって、この異物検出
の遅れ時間は、偏光フィルム5d,5eならびにガラス
基板5a,5bの厚みによって一義的に決定されるもの
である。
ては、第2のラインセンサ2bによる異物検出よりも、
時間的に+t1 の遅れ時間をもって、この異物eを第1
のラインセンサ2a検出するのであって、この異物検出
の遅れ時間は、偏光フィルム5d,5eならびにガラス
基板5a,5bの厚みによって一義的に決定されるもの
である。
【0043】従って、第1及び第2のラインセンサ2
a,2bが同一の異物a〜eを検出した際の遅れ時間の
差が、ゼロであるかプラスサイドであるかマイナイサイ
ドであるかを基にすることで、異物a〜eが液晶セル5
の厚み方向でどの深さ位置に存するかを、正確に判別す
ることができるのである。
a,2bが同一の異物a〜eを検出した際の遅れ時間の
差が、ゼロであるかプラスサイドであるかマイナイサイ
ドであるかを基にすることで、異物a〜eが液晶セル5
の厚み方向でどの深さ位置に存するかを、正確に判別す
ることができるのである。
【0044】上記構成の欠陥検査装置1においては、液
晶セル5の減点や輝点、異物a〜eの混入などの欠陥検
知を行うための第1のラインセンサ2aと、この第1の
ラインセンサ2aとによって、異物a〜eが液晶セル5
の厚み方向でどの深さ位置に存するかを判別するための
第2のラインセンサ2bを、それらが個々に備える複数
の受光素子が液晶セル5の画素の配列方向と平行になる
ように配置することが極めて重要である。
晶セル5の減点や輝点、異物a〜eの混入などの欠陥検
知を行うための第1のラインセンサ2aと、この第1の
ラインセンサ2aとによって、異物a〜eが液晶セル5
の厚み方向でどの深さ位置に存するかを判別するための
第2のラインセンサ2bを、それらが個々に備える複数
の受光素子が液晶セル5の画素の配列方向と平行になる
ように配置することが極めて重要である。
【0045】このことから、本発明では、センサ載置フ
レーム3に対してセンサ保持フレーム43を、センサ載
置フレーム3のフレーム載置面に鉛直な方向の軸線まわ
りで回動ならびにスキャン方向Yに移動可能に構成して
いる。
レーム3に対してセンサ保持フレーム43を、センサ載
置フレーム3のフレーム載置面に鉛直な方向の軸線まわ
りで回動ならびにスキャン方向Yに移動可能に構成して
いる。
【0046】即ち、第1のラインセンサ2aの保持構造
を例にして、図7及び図10〜図12に示すように、セ
ンサ保持フレーム43の個々に連設した円筒部材51の
挿通用開口部52を、センサ載置フレーム3の下部側面
板(つまりはセンサ保持フレーム43の載置面Saであ
る。)45に形成し、この下部側面板45の上部で且つ
それぞれの開口部52の両側に対応させて、レールとス
ライダーとから成るスライド手段53を配置し、この両
側のスライド手段53,53にわたって、スキャン方向
Yにスライド可能に中間フレーム54を備えている。
を例にして、図7及び図10〜図12に示すように、セ
ンサ保持フレーム43の個々に連設した円筒部材51の
挿通用開口部52を、センサ載置フレーム3の下部側面
板(つまりはセンサ保持フレーム43の載置面Saであ
る。)45に形成し、この下部側面板45の上部で且つ
それぞれの開口部52の両側に対応させて、レールとス
ライダーとから成るスライド手段53を配置し、この両
側のスライド手段53,53にわたって、スキャン方向
Yにスライド可能に中間フレーム54を備えている。
【0047】そして、中間フレーム54に垂下させた部
材55の凹入部56を下部側面板45に形成すると共
に、この凹入部56を塞ぐように、プレート57を下部
側面板45にビスf止めし、かつ、垂下部材55とプレ
ート57とに形成したボルト孔hに、スプリング58を
備えたボルト59を挿通して、このボルト59にナット
60を螺着し、もって、中間フレーム54をスキャン方
向Yの一方に付勢移動させる付勢手段61を構成してい
る。
材55の凹入部56を下部側面板45に形成すると共
に、この凹入部56を塞ぐように、プレート57を下部
側面板45にビスf止めし、かつ、垂下部材55とプレ
ート57とに形成したボルト孔hに、スプリング58を
備えたボルト59を挿通して、このボルト59にナット
60を螺着し、もって、中間フレーム54をスキャン方
向Yの一方に付勢移動させる付勢手段61を構成してい
る。
【0048】この一方、端部に回転操作穴iを形成した
ネジ部材62を、その先端を垂下部材55に当接させる
状態でプレート57に螺着して、上記の付勢手段61に
抗して中間フレーム54をスキャン方向Yの他方に移動
させる移動位置調整手段63を構成している。尚、図中
の64はネジ部材62を固定するためのロックナットで
ある。
ネジ部材62を、その先端を垂下部材55に当接させる
状態でプレート57に螺着して、上記の付勢手段61に
抗して中間フレーム54をスキャン方向Yの他方に移動
させる移動位置調整手段63を構成している。尚、図中
の64はネジ部材62を固定するためのロックナットで
ある。
【0049】上記の下部側面板45に形成した開口部5
2に位置合わせするように、中間フレーム54のそれぞ
れにも、円筒部分51の挿通用開口部65を形成して、
これらの開口部65,52を通して、中間フレーム54
上にセンサ保持フレーム43を載置可能に構成し、か
つ、中間フレーム54のそれぞれに、軸線をフレーム載
置面Saに鉛直な方向に向けて位置決めピン66を立設
すると共に、平面視でV字状の切り欠きによるピン係合
部67をセンサ保持フレーム43に形成し、このピン係
合部67をピン66に付勢係合させる付勢手段68,6
8を、センサ保持フレーム43と中間フレーム54とに
わたって設けて、センサ保持フレーム43をピン66ま
わりで回動可能に構成し、これによって、位置ずれを伴
わせることなく、センサ保持フレーム43を中間フレー
ム54ひいてはセンサ載置フレーム3に仮固定できるよ
うにしている。
2に位置合わせするように、中間フレーム54のそれぞ
れにも、円筒部分51の挿通用開口部65を形成して、
これらの開口部65,52を通して、中間フレーム54
上にセンサ保持フレーム43を載置可能に構成し、か
つ、中間フレーム54のそれぞれに、軸線をフレーム載
置面Saに鉛直な方向に向けて位置決めピン66を立設
すると共に、平面視でV字状の切り欠きによるピン係合
部67をセンサ保持フレーム43に形成し、このピン係
合部67をピン66に付勢係合させる付勢手段68,6
8を、センサ保持フレーム43と中間フレーム54とに
わたって設けて、センサ保持フレーム43をピン66ま
わりで回動可能に構成し、これによって、位置ずれを伴
わせることなく、センサ保持フレーム43を中間フレー
ム54ひいてはセンサ載置フレーム3に仮固定できるよ
うにしている。
【0050】更に、センサ保持フレーム43にL字状の
ブロック69を連設すると共に、中間フレーム54にブ
ラケット70を連設して、このブラケット70とブロッ
ク69とにわたって、センサ保持フレーム43をピン6
6まわりで一方向に回動させる付勢手段71を設けると
共に、この付勢手段71に抗してセンサ保持フレーム4
3を他方向に回動させる回動位置の調整手段72をブラ
ケット70に設けている。
ブロック69を連設すると共に、中間フレーム54にブ
ラケット70を連設して、このブラケット70とブロッ
ク69とにわたって、センサ保持フレーム43をピン6
6まわりで一方向に回動させる付勢手段71を設けると
共に、この付勢手段71に抗してセンサ保持フレーム4
3を他方向に回動させる回動位置の調整手段72をブラ
ケット70に設けている。
【0051】この実施の形態では、回動位置の調整手段
72として、スライドピンmの出退量を微調整できるマ
イクロメーターを用いているが、例えば単なるボルトを
ブラケット70に螺着して、センサ保持フレーム43の
回動位置を調整させる等の変更が可能である。
72として、スライドピンmの出退量を微調整できるマ
イクロメーターを用いているが、例えば単なるボルトを
ブラケット70に螺着して、センサ保持フレーム43の
回動位置を調整させる等の変更が可能である。
【0052】そして更に、ブラケット70に水平プレー
ト73を連設する一方、センサ保持フレーム43に被せ
るように、中間フレーム54にクランク部材74を設
け、このクランク部材74とプレート73とに、ブロッ
ク69と中間フレーム54ひいてはセンサ保持フレーム
43の浮き上がりを防止するビスjを備えている。
ト73を連設する一方、センサ保持フレーム43に被せ
るように、中間フレーム54にクランク部材74を設
け、このクランク部材74とプレート73とに、ブロッ
ク69と中間フレーム54ひいてはセンサ保持フレーム
43の浮き上がりを防止するビスjを備えている。
【0053】尚、第2のラインセンサ2bの保持構造に
ついては、このラインセンサ2bを鉛直な方向Qと或る
角度θだけ傾斜させる分、センサ載置フレーム3の下部
側面板45を傾斜させて配置する点で、第1のラインセ
ンサ2aの保持構造とは構成的に変わるだけのものであ
って、センサ保持フレーム43を、センサ載置フレーム
3の下部側面板(フレーム載置面Sa)45に鉛直な軸
線まわりで回動ならびに位置調整可能であることと、下
部側面板45に対してスキャン方向Yに移動可能である
ことに変わりないのである。
ついては、このラインセンサ2bを鉛直な方向Qと或る
角度θだけ傾斜させる分、センサ載置フレーム3の下部
側面板45を傾斜させて配置する点で、第1のラインセ
ンサ2aの保持構造とは構成的に変わるだけのものであ
って、センサ保持フレーム43を、センサ載置フレーム
3の下部側面板(フレーム載置面Sa)45に鉛直な軸
線まわりで回動ならびに位置調整可能であることと、下
部側面板45に対してスキャン方向Yに移動可能である
ことに変わりないのである。
【0054】上記の構成によれば、ピン係合部67を位
置決めピン66に付勢係合させることで、位置ずれを伴
わせることなく、センサ保持フレーム43をセンサ載置
フレーム3に仮固定させることができるのであり、そし
て、この仮固定の状態にあるセンサ保持フレーム43
を、付勢手段71または回動位置の調整手段72によっ
て、機械的にピン66まわりで回動させることで、ライ
ンセンサ2a,2bの受光素子を平面表示パネルの画素
に平行に位置合わせすることが楽に行える。
置決めピン66に付勢係合させることで、位置ずれを伴
わせることなく、センサ保持フレーム43をセンサ載置
フレーム3に仮固定させることができるのであり、そし
て、この仮固定の状態にあるセンサ保持フレーム43
を、付勢手段71または回動位置の調整手段72によっ
て、機械的にピン66まわりで回動させることで、ライ
ンセンサ2a,2bの受光素子を平面表示パネルの画素
に平行に位置合わせすることが楽に行える。
【0055】しかも、このように位置調整されたライン
センサ2a,2bは、付勢手段71と回動位置の調整手
段72とによって、確実に位置固定の状態が保持される
のであって、端的には1回の調整作業で、位置ずれを一
切伴わせることなく、センサ保持フレーム43ひいては
ラインセンサ2a,2bを所定通りにセンサ載置フレー
ム3に固定することができるのである。
センサ2a,2bは、付勢手段71と回動位置の調整手
段72とによって、確実に位置固定の状態が保持される
のであって、端的には1回の調整作業で、位置ずれを一
切伴わせることなく、センサ保持フレーム43ひいては
ラインセンサ2a,2bを所定通りにセンサ載置フレー
ム3に固定することができるのである。
【0056】一方、センサ保持フレーム43を保持した
中間フレーム54は、付勢手段61と移動位置の調整手
段63とによって、スキャン方向Yに位置調整可能であ
ることから、ラインセンサ2a,2bの複数を受光素子
の配列方向に並べて一直線上に配置することも容易に達
成されるのである。
中間フレーム54は、付勢手段61と移動位置の調整手
段63とによって、スキャン方向Yに位置調整可能であ
ることから、ラインセンサ2a,2bの複数を受光素子
の配列方向に並べて一直線上に配置することも容易に達
成されるのである。
【0057】尚、ラインセンサ2a,2bの複数を受光
素子の配列方向に並べて一直線上に配置することは、必
須の要件ではなく、即ち、複数のラインセンサ2a,2
bがスキャン方向Yで互いに位置ずれしていても、これ
をソフト上で一致させることが容易に可能であることか
ら、中間フレーム54を省略して本発明を実施可能であ
り、この際は、位置決めピン66をセンサ載置フレーム
3の下部側面板45に立設させて、このピン66とピン
係合部67とにわたって付勢手段68,68を設ければ
よいのである。
素子の配列方向に並べて一直線上に配置することは、必
須の要件ではなく、即ち、複数のラインセンサ2a,2
bがスキャン方向Yで互いに位置ずれしていても、これ
をソフト上で一致させることが容易に可能であることか
ら、中間フレーム54を省略して本発明を実施可能であ
り、この際は、位置決めピン66をセンサ載置フレーム
3の下部側面板45に立設させて、このピン66とピン
係合部67とにわたって付勢手段68,68を設ければ
よいのである。
【0058】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ラインセンサを所定通りに楽に位置調整できる上に、こ
のセンサを備えたフレームの固定も、このフレームの位
置ずれを生じさせないで、簡易に行える欠陥検査装置が
提供される。
ラインセンサを所定通りに楽に位置調整できる上に、こ
のセンサを備えたフレームの固定も、このフレームの位
置ずれを生じさせないで、簡易に行える欠陥検査装置が
提供される。
【図1】欠陥検査装置の斜視図である。
【図2】欠陥検査装置の平面図である。
【図3】欠陥検査装置の正面図である。
【図4】欠陥検査装置の側面図である。
【図5】欠陥検査装置の制御系統図である。
【図6】欠陥検査装置による液晶セルの検査手順を示す
フローチャートである。
フローチャートである。
【図7】欠陥検査装置の分解斜視図である。
【図8】セル厚み方向での異物の検出深さ位置の判別説
明図である。
明図である。
【図9】セル載置ベースをスキャン方向に移動させる形
態に構成した欠陥検査装置の概略平面図である。
態に構成した欠陥検査装置の概略平面図である。
【図10】セル保持構造の正面図である。
【図11】セル保持構造の側面図である。
【図12】セル保持構造の平面図である。
2a,2b…ラインセンサ、3…センサ載置フレーム、
5…液晶セル(平面表示パネル)、43…センサ保持フ
レーム、54…中間フレーム、61,68,71…付勢
手段、63…移動位置調整手段、66…位置決めピン、
67…ピン係合部、72…回動位置調整手段、Y…スキ
ャン方向。
5…液晶セル(平面表示パネル)、43…センサ保持フ
レーム、54…中間フレーム、61,68,71…付勢
手段、63…移動位置調整手段、66…位置決めピン、
67…ピン係合部、72…回動位置調整手段、Y…スキ
ャン方向。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 坂本 淳一 京都府京都市南区吉祥院宮の東町2番地 株式会社堀場製作所内 (72)発明者 藤井 史高 京都府京都市南区吉祥院宮の東町2番地 株式会社堀場製作所内 (72)発明者 細田 俊弘 奈良県奈良市法蓮町197−1 テクノス株 式会社内 (72)発明者 山本 孝 奈良県奈良市法蓮町197−1 テクノス株 式会社内 Fターム(参考) 2G051 AA73 AB02 AB08 BA20 CA03 CA07 CB10 CD04 DA06 DA07 EA16 2G086 EE10 EE12 2H088 FA12 FA13 HA01 HA28 MA20 5G435 AA17 BB06 BB12 KK05 KK10
Claims (2)
- 【請求項1】 複数の受光素子を一直線上に配列してな
るラインセンサの複数を、前記受光素子の配列方向に並
べてフレームに載置すると共に、この複数のラインセン
サによって平面表示パネルの画素を配列方向に直交する
方向でスキャンして、このラインセンサからの画素の輝
度データに基づいて平面表示パネルの欠陥を検査するよ
うにした欠陥検査装置であって、複数のセンサ保持フレ
ームを個々に載置するためのセンサ載置フレームに、軸
線をフレーム載置面に鉛直な方向に向けて位置決めピン
を立設し、このピンに係合するピン係合部をセンサ保持
フレームに設け、かつ、このピン係合部とピンとを付勢
係合させる付勢手段を備えて、センサ保持フレームをそ
れぞれピンまわりで回動可能に構成し、更に、センサ保
持フレームをピンまわりで一方向に回動させる付勢手段
と、この付勢手段に抗してセンサ保持フレームを他方向
に回動させる回動位置調整手段とを設けて成ることを特
徴とする平面表示パネルの欠陥検査装置。 - 【請求項2】 センサ載置フレームに対してスキャン方
向にスライド可能に中間フレームを設け、この中間フレ
ームに位置決めピンを立設すると共に、この中間フレー
ムをスキャン方向の一方に移動させる付勢手段と、この
付勢手段に抗して中間フレームをスキャン方向の他方に
移動させる移動位置調整手段とを備えて成る請求項1に
記載された平面表示パネルの欠陥検査装置。
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JP2001051061A JP2002250701A (ja) | 2001-02-26 | 2001-02-26 | 平面表示パネルの欠陥検査装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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2001
- 2001-02-26 JP JP2001051061A patent/JP2002250701A/ja active Pending
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