TWI305415B - Light emitting apparatus - Google Patents

Light emitting apparatus Download PDF

Info

Publication number
TWI305415B
TWI305415B TW095109466A TW95109466A TWI305415B TW I305415 B TWI305415 B TW I305415B TW 095109466 A TW095109466 A TW 095109466A TW 95109466 A TW95109466 A TW 95109466A TW I305415 B TWI305415 B TW I305415B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
layer
light
emitting
anode
emitting device
Prior art date
Application number
TW095109466A
Other languages
English (en)
Other versions
TW200707720A (en
Inventor
Tsuyoshi Maeda
Tomotaka Matsumoto
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Publication of TW200707720A publication Critical patent/TW200707720A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI305415B publication Critical patent/TWI305415B/zh

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/80Constructional details
    • H10K50/85Arrangements for extracting light from the devices
    • H10K50/856Arrangements for extracting light from the devices comprising reflective means
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/30Devices specially adapted for multicolour light emission
    • H10K59/35Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16BDEVICES FOR FASTENING OR SECURING CONSTRUCTIONAL ELEMENTS OR MACHINE PARTS TOGETHER, e.g. NAILS, BOLTS, CIRCLIPS, CLAMPS, CLIPS OR WEDGES; JOINTS OR JOINTING
    • F16B2/00Friction-grip releasable fastenings
    • F16B2/02Clamps, i.e. with gripping action effected by positive means other than the inherent resistance to deformation of the material of the fastening
    • F16B2/06Clamps, i.e. with gripping action effected by positive means other than the inherent resistance to deformation of the material of the fastening external, i.e. with contracting action
    • F16B2/065Clamps, i.e. with gripping action effected by positive means other than the inherent resistance to deformation of the material of the fastening external, i.e. with contracting action using screw-thread elements
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16LPIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L3/00Supports for pipes, cables or protective tubing, e.g. hangers, holders, clamps, cleats, clips, brackets
    • F16L3/08Supports for pipes, cables or protective tubing, e.g. hangers, holders, clamps, cleats, clips, brackets substantially surrounding the pipe, cable or protective tubing
    • F16L3/10Supports for pipes, cables or protective tubing, e.g. hangers, holders, clamps, cleats, clips, brackets substantially surrounding the pipe, cable or protective tubing divided, i.e. with two or more members engaging the pipe, cable or protective tubing
    • F16L3/1008Supports for pipes, cables or protective tubing, e.g. hangers, holders, clamps, cleats, clips, brackets substantially surrounding the pipe, cable or protective tubing divided, i.e. with two or more members engaging the pipe, cable or protective tubing with two members engaging the pipe, cable or tubing, both being made of thin band material completely surrounding the pipe
    • F16L3/1025Supports for pipes, cables or protective tubing, e.g. hangers, holders, clamps, cleats, clips, brackets substantially surrounding the pipe, cable or protective tubing divided, i.e. with two or more members engaging the pipe, cable or protective tubing with two members engaging the pipe, cable or tubing, both being made of thin band material completely surrounding the pipe the members being joined by quick acting means
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/80Constructional details
    • H10K50/85Arrangements for extracting light from the devices
    • H10K50/852Arrangements for extracting light from the devices comprising a resonant cavity structure, e.g. Bragg reflector pair
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/80Constructional details
    • H10K59/875Arrangements for extracting light from the devices
    • H10K59/876Arrangements for extracting light from the devices comprising a resonant cavity structure, e.g. Bragg reflector pair
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/80Constructional details
    • H10K59/875Arrangements for extracting light from the devices
    • H10K59/878Arrangements for extracting light from the devices comprising reflective means
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K2102/00Constructional details relating to the organic devices covered by this subclass
    • H10K2102/301Details of OLEDs
    • H10K2102/302Details of OLEDs of OLED structures
    • H10K2102/3023Direction of light emission
    • H10K2102/3026Top emission
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K2102/00Constructional details relating to the organic devices covered by this subclass
    • H10K2102/301Details of OLEDs
    • H10K2102/351Thickness
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/80Constructional details
    • H10K50/805Electrodes
    • H10K50/81Anodes
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/30Devices specially adapted for multicolour light emission
    • H10K59/38Devices specially adapted for multicolour light emission comprising colour filters or colour changing media [CCM]
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/80Constructional details
    • H10K59/805Electrodes
    • H10K59/8051Anodes

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Description

1305415 (1) 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係爲有關具備有機EL件等之發光元件的發光 裝置’以及電子機器者。 【先前技術】 作爲使用於行動電話,個人電腦或PDA(Personal • Digital Assistants)等電子機器之顯示裝置或,針對在數位 影印機或列表機等畫像形成裝置之曝光用光頭,有機電激 發光(EL/Electro-Luminescence)裝置等發光裝置則被注 目’另,針對在將這種發光裝置作爲彩色用係以往,根據 ' 對於每個畫素改變構成發光層之材料情況,呈從各畫素射 出各色光線地而構成著。 在另一方面,則提案有,於形成在發光層之下層側的 下層側反射層與,形成在發光層之上層側的上層側反射 • 層之間’形成光共振器之同時,根據改變由ITO(Indium Tin Oxide)等而成之陽極厚度之情況,對於每個畫素改變 光共振器之光學長度,從發光元件的射出光取出各色光線 的技術(例如’參照專利文獻1)。 [專利文獻1]日本特許第2797883號公報 【發明內容】 [欲解決發明之課題] 對於利用記載於上述專利文獻1之技術,構成從發光 -4- (2) 1305415 層來看,射出光於基板側之底部放射型之有機EL 情況,係成爲由半透過反射膜來構成下層側反射層 ,另外,對於構成從發光層來看,射出光於與基 側之前放射型之有機EL裝置的情況,係成爲由鋁 之反射率高之金屬膜來構成下層側反射層之情況。 另外,對於根據ITO膜而形成陽極,係在將 作爲成膜之後,採用微縮術技術形成光罩於ITO膜 ,並進行蝕刻,因此,對於在紅色用之畫素,綠色 素,藍色用之畫素,使陽極厚度作爲不同,係必多J 次上述之工程,其結果,將會有根據對於蝕刻ITO 用之蝕刻液或鈾刻氣體,將下層側反射層造成蝕刻 下層側反射層之反射特性下降或,下層側反射層之 之問題點,而有關之下層側反射層的蝕刻係下層側 不限於從ITO露出之蝕刻終期,而在於ITO有微 之情況,則有從蝕刻開始之後產生的可能性。 有鑑於以上之問題點,本發明之課題係即使在 素而形成厚度相異之陽極情況,亦提供位置在陽極 側的光共振器用之下層側反射層不會產生劣化的發 ,以及具備此發光裝置之電子機器。 [爲了解決課題之手段] 爲了解決上述課題,在本發明之中,屬於對 板上之紅色、綠色、藍色的複數之各畫素,具備層 過性之陽極層、至少包含發光層之機能層、以及陰 裝置的 之情況 板相反 或銀等 ITO膜 之上層 用之畫 i重複3 膜所使 而產生 缺陷等 反射層 小的孔 經由畫 之下層 光裝置 應於基 積光透 極層的 -5- (3) 1305415 發光元件之發光裝置,其特徵乃於前述發光元件中,在前 述陽極層之下層側,形成具備下層側反射層的光共振器, 於前述複數之畫素,包含前述陽極層之厚度爲不同之畫素 ,於前述陽極層與前述下層側反射層之層間,形成被覆該 下層側反射層之光透過性之絕緣保護層。 在本發明中,因對於前述複數之畫素係包含有前述陽 極層厚度不同之畫素,故對於在形成如此之陽極層時,係 φ 成爲進行複數次之蝕刻工程,但在本發明中,因於陽極層 與下層側反射層之層間,形成有被覆該下層側反射層之光 透過性的絕緣保護層,故在形成下層側反射層之後,即使 對於形成陽極層進行幾次時刻工程,根據有關的蝕刻, -~ 下層側反射層也不會產生劣化。 .- 針對在本發明,前述下層側反射層係具備全反射性, 並在前述發光層產生的光線係從該發光層來看,射出於與 前述基板相反側,另,對於如此之情況,係對下層側反射 φ 層係被要求反射率高之情況,但,如根據本發明,經由形 成陽極層時之蝕刻,因下層側反射層不會產生劣化,故可 構成反射率高之下層側反射層。 另外,對於提升下層側反射層之反射率的情況,係如 由鋁,鋁合金,銀,或銀合金來形成前述下層側反射層即 可,而如此之金屬層係容易由對於ITO膜之蝕刻所使用之 蝕刻液或蝕刻氣體而產生劣化,但,如根據本發明,經 由形成陽極層時之飩刻,下層側反射層則不會產生劣化 情況。 -6- (4) 1305415 針對在本發明,前述陽極層係根據設定爲對於每個畫 素’將前述光共振器之光學長度作爲對應紅色光,綠色光 ’藍色光之任何一項的長度之厚度情況,規定前述畫素之 對應的顏色,另,在如此之構成的發光裝置中,複數之畫 素係各自對應紅色,綠色,藍色,但,構成發光裝置之有 機機能層的材料係不論作爲對應之顏色,而爲共通,並對 應任何顏色,則根據陽極層的厚度所決定,即,本發明之 φ 中’係對於各畫素構成光共振器,並根據陽極層的厚度, 將光共振器的光學長度設定爲對應紅色光,綠色光,藍色 光之任何一項的長度,隨之,因畫素則不論對應任何顏色 ,各發光元件的壽命係爲略相等,故可延長發光裝置全體 的壽命,另外,在製造發光裝置時,因可在畫素間使用相 .- 同的材料,故可提升生產性情況。 如此之情況,前述絕緣保護層之折射率係理想爲較前 述陽極層的折射率爲小之情況,另,當於下層側反射層與 • 陽極層之間形成絕緣保護層時,則成爲此絕緣保護層的光 學長度(厚度*折射率)包含於光共振器之光學長度的情況 ,在此,光共振器所要求之光學長度係因對於每個作爲 對應之顏色而決定畫素,故當絕緣保護層的折射率爲大時 ,則必須將陽極層作爲薄化,而陽極層的厚度精確度則下 降,然而,本發明之中,係因絕緣保護層的折射率爲小, 故可增厚陽極層,而如陽極層厚度爲厚,則有可提升厚度 之精確度等之利點。 如此情況,前述絕緣保護層係理想爲由矽氮化膜,矽 -7- (5) 1305415 氧化膜,以及樹脂之中任何一種而成之情況,而如爲如此 絕緣膜,因折射率低,故爲理想。 針對在本發明,理想爲於前述紅色之畫素的光射出側 ,形成有紅色彩色濾色片,於前述綠色畫素之光射出側, 形成有綠色彩色濾色片,對於於前述藍色畫素,配置有藍 色彩色濾色片,另,更可提升從如此構成之各畫素所射出 之光的顏色純度情況》 針對在本發明,前述發光元件係例如爲電激發光元 件。 適用本發明之發光裝置係可針對在行動電話,個人電 腦或PDA等各種電子機器,作爲顯示裝置來使用,另外 , 適用本發明之發光裝置係亦可作爲針對在數位影印機 或列表機等畫像形成裝置(電子機器)之曝光用光頭來做使 用。 【實施方式】 [爲了實施發明之最佳型態] 在以下,參照圖面說明本發明之實施型態,然而,在 使用於以下說明的各圖中,爲了作爲可在圖面上辨識各層 或各構件之程度,而對於每個各層或各構件做不同的比例 [實施型態1] (發光裝置之基本構成) • 8 - (6) 1305415 圖1係爲模式性表示使用於有關本發明之實施型態1之 有機EL裝置(發光裝置)之有機EL元件(發光元件)構成 的剖面圖。 針對在圖1,本型態之有機EL裝置1係爲朝向與基板 11側相反側而射出顯示光的前放射型之裝置,並對於紅色 (R),綠色(G) ’藍色(B)之任一畫素100(R),(G),(B),亦 形成有有機EL元件1〇,另,有機EL元件10係具有於 由玻璃等而成之基板11上層側,依序層積由ITO而成之透 明的陽極層12,正孔輸送層13,發光層14,電子輸送層15 ,具有由鎂銀合金而成之半透過反射性的陰極層16之構成 〇 另外,對於基板11與陽極層12之間,係形成有鋁,鋁 合金,銀,或由銀合金而成之反射層19(全反射層),並於 由此反射層19而成之下層側反射層與,由陰極層16而成之 上層側反射層之間,形成有光共振器40。 在此,使用於有機EL元件10之正孔輸送層13或發光 層14係針對在任何畫素100(R),(G),(B),均由相同的材 料所構成,並有機EL元件10係射出白色光。 但,在本型態之中,陽極層12的厚度係在各畫素 l〇〇(R),(G),(B)而不相同,並陽極層12的厚度係爲畫素 100(B)〈畫素100(G)〈畫素100(R),例如,陽極層12的 厚度係以畫素l〇〇(R),(G),(B)設定爲以下的値。 畫素100(B)之陽極層12的厚度=20nm 畫素100(G)之陽極層I2的厚度=50nm (7) 1305415 畫素100(R)之陽極層12的厚度=90nm 隨之,針對在各畫素l〇〇(R),(G),(B)之光共振器40 的光學長度係在各畫素l〇〇(R) ’(G),(B)有所不同,換言 之,陽極層12的厚度係呈從各畫素l〇〇(R),(G),(B)射 出規定顏色光地調整光共振器之光學長度。 在如此構成之有機EL元件10之中,當從陽極層12通 過正孔輸送層13及發光層14而電流流動至陰極層16時,則 φ 因應此時的電流量,發光層14則進行發光,並且,射出發 光層I4的光係透過陰極層16而射出至觀測者側之另一方面 ,從發光層14朝向基板11所射出的光係根據形成在陽極層 12下層之反射層19所反射,並透過陰極層16而射出至觀測 -‘ 者側,此時,從發光層14所射出的光係在光共振器40之下 .- 層側反射層(反射層19)與上層側反射層(陰極層16)之間進 行多重反射,而可使光共振器40的光學長度則相當於1/4 波長之整數倍的光色度提升,隨之,有機EL元件10係 # 使白色光在內部產生,但從對應紅色(R)之畫素l〇〇(R)射 出紅色光,並從對應綠色(G)之畫素100(G)射出綠色光, 從對應藍色(B)之畫素100(B)射出藍色光。 (絕緣保護層之構成) 另外,在本型態中,於反射層1 9與陽極層1 2之層間, 呈被覆反射層19之表面及側面地,形成有光透過性之絕緣 保護膜1 8,另,作爲如此之絕緣保護膜1 8,在本型態之中 ’係形成厚度約30nm,折射率爲1.8之矽氮化膜。 -10- (8) 1305415 (製造方法) 對於製造如此構成之有機EL裝置1 ’係首先於基板 11的表面,根據濺射法或真空蒸鍍法等,形成具備光反射 性之金屬膜(鋁,鋁合金,銀,或由銀合金)之後’使用微 縮術技術進行圖案化,形成反射層1 9。 接著,於反射層19的表面側,根據CVD法等形成由 • 矽氮化膜而成之絕緣保護膜18。 接著,在於絕緣保護膜18之表面側,由濺射法等形成 規定厚度之ITO膜之後,使用微縮術技術形成光罩於 ITO膜之上層,再進行蝕刻,但,在本型態之中,陽極 • ' 層12的厚度係因由各畫素100(R),(G),(B)而有所不同, -- 故重複3次如此之工程。 接著,利用所謂稱爲噴墨法等之液滴吐出法等,依序 形成正孔輸送層13及發光層14,另,此液滴吐出法係從液 φ 滴吐出頭,將構成正孔輸送層13或發光層14之材料的液狀 物,作爲液滴進行吐出之後,使其乾燥,作爲正孔輸送層 13或發光層14而固定之方法,此時,於各畫素100(R), (G),(B)之周圍,形成稱爲觸排之間隔壁(無圖示),並作 爲吐出的液滴或液狀物不露出於週圍之情況則爲理想。 對於採用如此之方法,正孔輸送層13係例如將爲聚 烯衍生物之3,4-聚乙烯二羥基噻吩/磺化聚苯乙烯酸 (PEDOT/PSS),作爲正孔注入材料而.使用,並可將此’作 爲主溶液而使有機溶劑分散而成之分散液吐出於規定範圍 -11 - (9) 1305415 之後’經由乾燥而形成,另外,作爲爲了形成正孔輸送層 13之材料,並不限定於前述之構成,而亦可採用聚合物前 驅體爲聚四氫硫苯基苯撐之聚苯撐乙烯撐,H-雙(4_N, N-聯甲苯氨基苯基)環已烷等情況。 另外,關於就形成發光層14之材料,理想亦爲採用高 分子材料,例如分子量爲1000以上之高分子材料情況,具 體來說係採用聚芴衍生物,聚亞苯基衍生物,聚乙烯咔 • 唑’聚噻吩誘導體,另,對於這些高分子材料,摻雜紫 蘇系色素,香豆素系色素,若丹明系色素,例如紅熒烯, 紫蘇烯,9,10 -二苯基蒽,四苯基丁二烯,耐綸紅,香 豆素6,喹吖酮等之構成,然而,作爲如此之高分子材料 … ,係從二重結合之π電子在聚合物鏈上作爲非極在化之共 軛系高分子材料亦爲導電性高分子,因對於發光性能優越 ,故事合採用,特別是更適合採用於其分子內具有芴骨架 之化合物,即,聚芴系化合物,另外,對於如此之材料之 # 外,例如揭示於日本特開平11·40358號公報之有機EL元 件用組成物,即,含有共軛系高分子材有機化合物之前驅 體與,爲了使發光特性變化之至少1種螢光色素而成之有 機EL元件用組成物,亦可作爲發光層形成材料來使用。 由如此作爲來形成正孔輸送層13及發光層14之後,依 序形成電子輸送層15及陰極層16。 (本型態之效果) 如以上說明,在本型態之中,複數之畫素100係各自 •12- (10) 1305415
對應紅色(R)’綠色(G)’藍色(B)’但’構成有機EL元 件10之正孔輸送層13或發光層14等之有機機能層的材質係 不論對應之顏色而爲共通’並對應任何顏色之情況係根據 陽極層12的厚度所決定,即,在本型態中,係於各畫素 100構成光共振器40’並根據陽極層12的厚度’將光共振 器40的光學長度設定爲對應紅色光,綠色光,藍色光之任 何一項的長度,隨之,因畫素1 〇〇則不論對應任何顏色 φ 有機EL元件10的壽命係爲略相等,故可延長有機EL 裝置1全體的壽命,另外,在製造有機EL裝置1時,因可 在畫素100間使用相同的材料,故可提升生產性情況。 更加地,對於複數之畫素1〇〇係因含有陽極層12的厚 _ · 度不同之畫素,故對於形成如此之陽極層12時’係成爲進 .. 行複數次蝕刻工程之情況’但在本型態之中,於陽極層12 與反射層19之層間,因形成有被覆反射層19之光透過性的 絕緣保護層1 8,故在形成反射層1 9之後,即使對於爲了形 φ 成陽極層1 2而進行幾次蝕刻工程,根據有關之蝕刻,反 射層1 9亦不會產生劣化之情況,特別是在本型態之中,在 發光層12產生的光係從發光層12來看,射出於與基板11相 反側,而對於如此之情況,係對於反射層1 9係要求高反射 率,但根據本型態,因根據形成陽極層1 2時之蝕刻,而反 射層12並未產生劣化,故可構成反射率高之反射層12,另 ,在此,對於提升反射層12之反射率的情況,係如將反射 層12由鋁,鋁合金,銀,或由銀合金而成即可,另,如此 之金屬膜係雖容易由使用於ITO膜之蝕刻的蝕刻液或蝕刻 -13 - (11) 1305415 氣體產生劣化,但如根據本型態,因經由形成陽極層時之 蝕刻,反射層12並未產生劣化,故可由鋁,鋁合金,銀, 或由銀合金來形成反射層12。 另外,在本型態之中,係因於反射層19與陽極層12之 間,介在有絕緣保護層18,故成爲此絕緣保護層18的光學 長度(厚度*折射率)包含於光共振器40之光學長度的情況 ,而此情況,當絕緣保護層1 8的折射率爲大時,則對於光 φ 共振器4〇所要求之光學長度係必須將陽極層12作爲薄化, 而陽極層12的厚度精確度則下降,然而,本發明之中,係 因絕緣保護層1 9係由矽氮化膜所構成,並其折射率爲小 (1.8),故可增厚陽極層12,而如陽極層厚度爲厚,則有可 -· 提升厚度之精確度等之利點。 .· 在此,絕緣保護層19的折射率係理想爲較陽極層12 的折射率(=1.95)爲小之情況,並作爲如此之材料係除了 矽氮化膜之外,還有矽氧化膜或丙烯基樹脂等。 參 [實施型態2] 圖1係爲模式性表示使用於有關本發明之實施型態2之 有機EL裝置(發光裝置)之有機EL元件(發光元件)構成 的剖面圖。 圖2所示之有機EL裝置1 ’亦與實施型態1同樣,爲 朝向與基板11側相反側而射出顯示光的前放射型之裝置, 並對於紅色(R),綠色(G),藍色(B)之任一畫素l〇〇(R), (G),(B),亦形成有有機EL元件1〇,另,有機EL元 "14- (12) 1305415 件10係具有於由玻璃等而成之基板11上層側,依序層積由 ITO而成之透明的陽極層12,正孔輸送層13,發光層14, 電子輸送層15,具有由鎂銀合金而成之半透過反射性的陰 極層16之構成,另外,對於基板11與陽極層12之間,係形 成有鋁,鋁合金,銀,或由銀合金而成之反射層19(全反 射層),並於由此反射層19而成之下層側反射層與,由陰 極層16而成之上層側反射層之間,形成有光共振器40,更 φ 加地,使用於有機EL元件10之正孔輸送層13或發光層14 係針對在任何畫素l〇〇(R),(G),(B),均由相同的材料所 構成,並有機EL元件10係射出白色光。 但,在本型態之中,陽極層12的厚度係在各畫素 ' l〇〇(R),(G),(B)而不相同,並陽極層12的厚度係爲畫素 .· 100(B)〈畫素100(G)〈畫素100(R),例如,陽極層12的 厚度係以畫素100(R),(G),(B)設定爲以下的値。 畫素100(B)之陽極層12的厚度=40nm # 畫素100(G)之陽極層12的厚度=70nm 畫素100(R)之陽極層12的厚度=110nm 即,陽極層12的厚度係呈從各畫素100(R),(G),(B) 射出規定顏色光地調整光共振器之光學長度。 另外,在本型態之中,於反射層19與陽極層12之層間 ’呈被覆反射層19的表面及側面地形成有光透過性的絕緣 保護層18,另,作爲如此絕緣保護膜18,在本型態之中, 係形成厚度爲約30nm,折射率爲1.5之矽氧化膜。 如此之構成之有機EL裝置1的製造方法係因與實施 -15- (13) 1305415 型態1相同,故省略說明,但,在本型態之中,於陽極 層12與反射層19之層間,因形成有被覆反射層19之光透過 性的絕緣保護層1 8,故在形成反射層1 9之後,即使對於爲 了形成陽極層1 2而進行幾次蝕刻工程,根據有關之蝕刻, 反射層19亦不會產生劣化之情況等,得到與實施型態1相 同之效果。 更加地,在本型態之中,對於陰極層16的上層側,係 φ 根據環氧系之透明的接合劑層30,接合形成有紅色(R), 綠色(G),藍色(B)之彩色濾色片21(R),(G),(B)於對應各 畫素100 (R),(G),(B)位置之透明基板20,隨之,如根據 本型態,與實施型態1作比較,成爲從各畫素l〇〇(R),(G) -- ,(B)係射出色純度高的光之情況。 [其他的實施型態] 在上述型態之中,以朝向與基板11側相反側而射出顯 φ 示光的前放射型爲例已說明過,但,亦可適用本發明於朝 向基板側射出顯示光之底部放射型,即,對於底部放射型 之情況,係成爲於陽極層之下層側形成半透過反射性之下 層側反射膜之情況,但,如於陽極層與半透過反射性之下 層側反射膜之層間形成絕緣保護膜,而將陽極層作爲蝕刻 形成時,可防止下層側反射膜產生劣化情況。 另外,對於以各畫素100(R),(G),(B)來使陽極層12 的厚度作爲不同,係亦可在形成ITO膜時,在進行3次各 成膜處理,使ITO膜的厚度作爲不同,但,例如如圖3所 -16- (14) 1305415 示,亦可採用在畫.素100(R)之中,作爲第1次形成之ITO 膜121與,第2次形成之ΙΤΟ膜122與,第3次形成之 ΙΤΟ膜123之3層構造,在畫素100(G)之中,作爲第2次形 成之ΙΤΟ膜122與,第3次形成之ΙΤΟ膜123之2層構造’ 在畫素100(B)之中,作爲只使用第3次形成之ΙΤΟ膜123之 構成。 φ [對於顯示裝置之適用例] 適用本發明之有機EL裝置1係可作爲被動矩陣型顯 示裝置或主動型矩陣型顯示裝置來使用,另,這些顯示裝 置之中,主動型矩陣型顯示裝置係如具有圖4所示之電 -- 性構成地構成。 - 圖4係爲表示主動型矩陣型顯示裝置之有機EL裝置 的電性構成方塊圖,另,針對在圖4,在有機EL裝置1之 中’係構成有複數之掃描線63與,延設在對此掃描線63的 # 延設方向作爲交叉之方向的複數資料線64與,並聯於這些 資料線64之複數之共通給電線65與,對應資料線64與掃描 線63之交叉點的畫素1〇〇(發光範圍)’並畫素ι〇〇係配置成 矩陣狀於畫像顯示範圍’另’對於資料線64係構成有具備 位移暫存器’準位移位器,視頻線路,類比開關之資料 線驅動電路5 1,另外’對於掃描線6 3,係構成有具備位移 暫存器及準位移位器之掃描線驅動電路54,另外,對於各 畫素1 0 0係構成有藉由掃描線6 3供給掃描信號於聞道電極 之畫素切換用的薄膜電晶體6與’藉由此薄膜電晶體6,維 -17- (15) 1305415 持從資料線64所供給之畫像信號之維持容量33與’供給根 據此維持容量33所維持之畫像信號於閘道電極〇之電流控 制用的薄膜電晶體7與,藉由薄膜電晶體7,電性接續於共 通給電線65時,從共通給電線65流入有驅動電流之有機 EL元件1〇,另外,針對在有機EL裝置1,各畫素100係 成爲對應紅色(R),綠色(G),藍色(B)之任一情況。 •[其他之實施型態] 在上述型態之中,係作爲發光元件採用有機EL元件 ,但,亦可適用本發明於採用其他發光元件之發光裝置, 任何情況,本發明之技術範圍並不限定於上述實施型態, 而針對在不脫離本發明之主旨之範圍,可加上各種變更情 •- 況。 [對於電子機器之搭載例] 適用本發明之發光裝置係可針對在行動電話,個人電 腦或PDA等各種電子機器,作爲顯示裝置來使用,另外 ’ 適用本發明之發光裝置係亦可作爲針對在數位影印機 或列表機等畫像形成裝置之曝光用光頭來做使用。 【圖式簡單說明】 [圖1]爲模式性地表示使用於有關本發明之實施型態1 之有機EL裝置(發光裝置)的有機EL元件(發光元件)構 成之剖面圖。 -18 - (16) 1305415 [圖2]爲模式性地表示使用於有關本發明之實施型態2 之有機EL裝置(發光裝置)的有機EL元件(發光元件)構 成之剖面圖。 [圖3]爲表示針對在適用本發明之有機EL裝置’爲 了使陽極層的厚度作爲不同之一例的說明圖。 [圖4]爲表示主動矩陣型之有機EL裝置的電性構成 之方塊圖。 【主要元件符號說明】 1 :有機EL顯示裝置 6,7 :薄膜電晶體 • ' 1〇 :有機EL元件 .- 11 :基板 12 :陽極層 13 :正孔輸送層 • I4 :發光層 15 :電子輸送層 16 :陰極層 1 7 :高折射材層 1 8 :絕緣保護膜 19 :反射膜(下層側反射層) 21(R) ’(G),(B):彩色濾光片 2〇 :彩色濾光片 33 :維持容量 -19 - (17) 1305415 動電路 動電路 線 (B):畫素 40 :光共振器 43 :閘道電極 5 1 :資料線驅 5 4 :掃描線驅 63 :掃描線 64 :資料線 65 :共通給電 100(R) , (G), 121 , 122 , 123 : ITO 膜

Claims (1)

1305415 (1) 十、申請專利範圍 第9 5 1 09466號專利申請案 ' 中文申請專利範圍修正本 民國97年8月29日修正 1· 一種發光裝置’屬於對應於基板上之紅色、綠色、 藍色的複數之各畫素’具備層積光透過性之陽極層、至少 包含發光層之機能層、以及陰極層的發光元件之發光裝置 φ ,其特徵乃 於前述發光元件中,在前述陽極層之下層側,形成具 備下層側反射層的光共振器, 於前述複數之畫素,包含前述陽極層之厚度爲不同之 . 畫素, . 於前述陽極層與前述下層側反射層之層間,形成被覆 該下層側反射層之光透過性之絕緣保護層。 2 .如申請專利範圍第1項之發光裝置,其中,前述下 | 層側反射層乃具備全反射性, 前述發光層所發光之光線乃從前述該發光層視之,向 與前述基板相反側射出者。 3. 如申請專利範圍第2項之發光裝置,其中,前述下 層側反射層乃由錯、銘合金、銀及銀合金中之任一者所成 〇 4. 如申請專利範圍第1項至第3項之任一項之發光裝置 ,其中,前述陽極層乃於每畫素,經由將前述光共振器之 光學長度,設定成對應於紅色光、綠色光、藍色光之任一 (2) 1305415 i ' 長度的厚度,規定前述畫素所對應之顏色。 5 .如申請專利範圍第4項之發光裝置,其中,前述絕 - 緣保護層之折射率乃較前述陽極層之折射率爲小。 6. 如申請專利範圍第4項之發光裝置,其中,前述絕 緣保護層乃由矽氮化膜、矽氧化膜、及樹脂中之任一者所 成。 7. 如申請專利範圍第4項之發光裝置,其中,於前述 ^ 紅色畫素之光射出側,形成紅色彩色濾色片,於前述綠色 畫素之光射出側,形成綠色彩色濾色片,對於於前述藍色 畫素,配置藍色彩色濾色片。 8·如申請專利範圍第1項至第3項之任一項之發光裝置 - ,其中’前述發光元件乃電激發光元件。 , 9·一種電子機器,其特徵乃具備規定於如申請專利範 圍第1項至第7項之發光裝置。
TW095109466A 2005-03-25 2006-03-20 Light emitting apparatus TWI305415B (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005087930A JP4742639B2 (ja) 2005-03-25 2005-03-25 発光装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW200707720A TW200707720A (en) 2007-02-16
TWI305415B true TWI305415B (en) 2009-01-11

Family

ID=36570776

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW095109466A TWI305415B (en) 2005-03-25 2006-03-20 Light emitting apparatus

Country Status (6)

Country Link
US (2) US7538490B2 (zh)
EP (1) EP1705709A3 (zh)
JP (1) JP4742639B2 (zh)
KR (1) KR100721052B1 (zh)
CN (2) CN101950734B (zh)
TW (1) TWI305415B (zh)

Families Citing this family (63)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4582004B2 (ja) * 2006-01-13 2010-11-17 セイコーエプソン株式会社 発光装置および電子機器
KR100879294B1 (ko) * 2006-06-12 2009-01-16 삼성모바일디스플레이주식회사 유기 발광 표시 장치
JP2008047340A (ja) * 2006-08-11 2008-02-28 Dainippon Printing Co Ltd 有機エレクトロルミネッセンス素子
JP2008091223A (ja) * 2006-10-03 2008-04-17 Sony Corp 表示装置
JP4752714B2 (ja) * 2006-10-13 2011-08-17 セイコーエプソン株式会社 発光装置及び電子機器
JP2008135373A (ja) * 2006-10-24 2008-06-12 Canon Inc 有機発光装置及びその製造方法
KR100823511B1 (ko) 2006-11-10 2008-04-21 삼성에스디아이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 그 제조방법
JP4254856B2 (ja) * 2006-12-22 2009-04-15 ソニー株式会社 有機電界発光素子および表示装置
JP4899929B2 (ja) * 2007-02-28 2012-03-21 セイコーエプソン株式会社 表示装置
DE102007023876A1 (de) 2007-03-02 2008-09-04 Osram Opto Semiconductors Gmbh Elektrisches organisches Bauelement und Verfahren zu seiner Herstellung
KR100813850B1 (ko) * 2007-03-29 2008-03-17 삼성에스디아이 주식회사 발광 장치
US20080238297A1 (en) 2007-03-29 2008-10-02 Masuyuki Oota Organic el display and method of manufacturing the same
DE102007024153A1 (de) 2007-04-23 2008-10-30 Osram Opto Semiconductors Gmbh Elektrisches organisches Bauelement und Verfahren zu seiner Herstellung
JP5008486B2 (ja) * 2007-07-19 2012-08-22 キヤノン株式会社 表示装置
US7868528B2 (en) * 2007-10-18 2011-01-11 Seiko Epson Corporation Light emitting device with translucent semi-reflection layer and electronic apparatus
KR101399215B1 (ko) * 2007-11-05 2014-05-26 엘지디스플레이 주식회사 유기발광다이오드 표시장치 및 이의 제조 방법
JP5169195B2 (ja) * 2007-12-14 2013-03-27 セイコーエプソン株式会社 有機el装置、電子機器
KR101458905B1 (ko) 2008-02-12 2014-11-07 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
US7825581B2 (en) 2008-02-12 2010-11-02 Samsung Electronics Co., Ltd. Organic light emitting diode display and method for manufacturing the same
KR20090112088A (ko) * 2008-04-23 2009-10-28 삼성전자주식회사 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
US8193695B2 (en) 2008-07-17 2012-06-05 Samsung Electronics Co., Ltd. Organic light emitting device and manufacturing method thereof
JP5117326B2 (ja) 2008-08-29 2013-01-16 富士フイルム株式会社 カラー表示装置及びその製造方法
JP2010232163A (ja) 2009-03-03 2010-10-14 Fujifilm Corp 発光表示装置の製造方法、発光表示装置、及び発光ディスプレイ
JP5195593B2 (ja) * 2009-04-01 2013-05-08 セイコーエプソン株式会社 有機el装置および有機el装置の製造方法、ならびに電子機器
KR101321878B1 (ko) * 2009-09-25 2013-10-28 엘지디스플레이 주식회사 유기전계 발광소자
JP5427527B2 (ja) * 2009-09-28 2014-02-26 ユー・ディー・シー アイルランド リミテッド 有機発光表示装置及び有機発光表示装置の製造方法
JP5427528B2 (ja) * 2009-09-28 2014-02-26 ユー・ディー・シー アイルランド リミテッド 光学部材
KR101349143B1 (ko) 2010-03-30 2014-01-08 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법
KR101659953B1 (ko) 2010-03-30 2016-09-27 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 디스플레이 장치 및 이의 제조 방법
KR101193197B1 (ko) 2010-07-07 2012-10-19 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법
KR101746617B1 (ko) 2010-09-24 2017-06-28 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
JP5670178B2 (ja) 2010-12-28 2015-02-18 ユー・ディー・シー アイルランド リミテッド 有機電界発光装置
US8554762B1 (en) 2010-12-28 2013-10-08 Amazon Technologies, Inc. Data replication framework
TWI563873B (en) 2011-02-11 2016-12-21 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Light-emitting element, light-emitting device, and display device
JP5759760B2 (ja) * 2011-03-16 2015-08-05 株式会社Joled 表示装置および電子機器
KR101880723B1 (ko) 2011-12-09 2018-07-23 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
TW201334622A (zh) * 2012-02-10 2013-08-16 Wintek Corp 有機電致發光顯示裝置
US9457417B2 (en) 2012-03-14 2016-10-04 Illinois Tool Works Inc. Single electronic governor for multiple engines
US8883531B2 (en) * 2012-08-28 2014-11-11 Lg Display Co., Ltd. Organic light emitting diode display device and method of manufacturing the same
KR101954984B1 (ko) 2012-09-25 2019-03-08 삼성디스플레이 주식회사 박막 트랜지스터 어레이 기판, 이를 포함하는 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
JP6186698B2 (ja) * 2012-10-29 2017-08-30 セイコーエプソン株式会社 有機el装置、電子機器
KR20140080812A (ko) 2012-12-18 2014-07-01 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
KR102037850B1 (ko) * 2013-02-27 2019-10-29 엘지디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
KR102066086B1 (ko) * 2013-03-19 2020-01-14 엘지디스플레이 주식회사 양면표시장치 및 그의 제조방법
JP6119437B2 (ja) * 2013-06-05 2017-04-26 セイコーエプソン株式会社 電気光学装置、電気光学装置の製造方法、電子機器
KR102283853B1 (ko) * 2013-12-24 2021-07-29 엘지디스플레이 주식회사 유기발광표시장치 및 그 제조방법
WO2015119203A1 (ja) * 2014-02-07 2015-08-13 凸版印刷株式会社 El素子用前面板及び照明装置
KR102320578B1 (ko) * 2014-04-25 2021-11-02 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 발광 장치, 전자 기기, 및 조명 장치
CN104112823A (zh) 2014-06-30 2014-10-22 上海天马有机发光显示技术有限公司 一种白色有机发光器件
KR102322083B1 (ko) 2015-07-28 2021-11-04 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
CN106601775B (zh) * 2016-12-19 2019-07-02 武汉华星光电技术有限公司 Oled显示装置及其制作方法
CN108470844B (zh) * 2018-03-30 2019-12-03 京东方科技集团股份有限公司 有机发光二极管及其制备方法、显示面板
KR102043413B1 (ko) 2018-07-31 2019-12-02 엘지디스플레이 주식회사 전계 발광 표시 장치
CN109065762A (zh) * 2018-08-01 2018-12-21 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 Oled装置的制作方法及oled装置
FR3085232B1 (fr) * 2018-08-21 2020-07-17 Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives Pixel d’un micro-ecran a diodes electroluminescentes organiques
WO2020052232A1 (zh) * 2018-09-14 2020-03-19 昆山国显光电有限公司 显示面板、显示屏和显示终端
CN110911440B (zh) * 2018-09-14 2020-10-16 云谷(固安)科技有限公司 显示面板、显示屏和显示终端
CN109449189B (zh) * 2018-11-13 2022-04-29 京东方科技集团股份有限公司 一种显示基板及其制备方法和显示面板
DE112019006653T5 (de) 2019-01-15 2021-12-09 Sony Semiconductor Solutions Corporation Anzeigevorrichtung, herstellungsverfahren einer anzeigevorrichtung und elektronische einrichtung
CN110120409B (zh) * 2019-05-05 2021-08-24 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 Oled显示面板
WO2021070236A1 (ja) * 2019-10-08 2021-04-15 シャープ株式会社 発光デバイス
CN111627960A (zh) * 2020-05-18 2020-09-04 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 一种增透膜层组件、增透膜层组件制程方法及显示装置
CN113948662A (zh) * 2021-10-18 2022-01-18 合肥鑫晟光电科技有限公司 显示基板及显示装置

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2797883B2 (ja) 1993-03-18 1998-09-17 株式会社日立製作所 多色発光素子とその基板
US5405710A (en) * 1993-11-22 1995-04-11 At&T Corp. Article comprising microcavity light sources
US5804918A (en) 1994-12-08 1998-09-08 Nippondenso Co., Ltd. Electroluminescent device having a light reflecting film only at locations corresponding to light emitting regions
GB2351840A (en) * 1999-06-02 2001-01-10 Seiko Epson Corp Multicolour light emitting devices.
JP3953320B2 (ja) * 2001-12-28 2007-08-08 三洋電機株式会社 表示装置及びその製造方法
JP4074099B2 (ja) * 2002-02-04 2008-04-09 東芝松下ディスプレイテクノロジー株式会社 平面表示装置およびその製造方法
JP4226835B2 (ja) 2002-03-29 2009-02-18 三星エスディアイ株式会社 発光素子、その製造方法およびこれを用いた表示装置
JP2004022438A (ja) 2002-06-19 2004-01-22 Sharp Corp 表示装置
US6737800B1 (en) * 2003-02-18 2004-05-18 Eastman Kodak Company White-emitting organic electroluminescent device with color filters and reflective layer for causing colored light constructive interference
JP2005019211A (ja) 2003-06-26 2005-01-20 Casio Comput Co Ltd El表示パネル及びel表示パネルの製造方法
US7030553B2 (en) * 2003-08-19 2006-04-18 Eastman Kodak Company OLED device having microcavity gamut subpixels and a within gamut subpixel

Also Published As

Publication number Publication date
CN1838427A (zh) 2006-09-27
CN101950734A (zh) 2011-01-19
US7980911B2 (en) 2011-07-19
CN1838427B (zh) 2010-09-29
US20060214573A1 (en) 2006-09-28
JP4742639B2 (ja) 2011-08-10
EP1705709A2 (en) 2006-09-27
TW200707720A (en) 2007-02-16
JP2006269329A (ja) 2006-10-05
US20090215354A1 (en) 2009-08-27
EP1705709A3 (en) 2008-12-17
KR100721052B1 (ko) 2007-05-23
CN101950734B (zh) 2013-05-29
US7538490B2 (en) 2009-05-26
KR20060103112A (ko) 2006-09-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI305415B (en) Light emitting apparatus
TWI332807B (en) Electroluminescence device, method of manufacturing electroluminescence device
US9166204B2 (en) Organic light-emitting diode and method of fabricating the same
JP4830328B2 (ja) 発光装置
KR102167506B1 (ko) 표시 장치 및 전자 기기
JP4449846B2 (ja) エレクトロルミネッセンス装置の製造方法
JP4543798B2 (ja) 有機el装置および電子機器
JP4631490B2 (ja) 発光装置
JP4548253B2 (ja) 有機エレクトロルミネッセンス装置、及び有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法
JP2005327674A (ja) 有機エレクトロルミネッセント表示素子、それを有する表示装置、及び、その製造方法
JP2007220646A (ja) 有機エレクトロルミネッセンス素子
CN1523940A (zh) 发光器件及使用它的显示装置
US8872200B2 (en) Display device and electronic apparatus
JP2006302748A (ja) エレクトロルミネッセンス装置、エレクトロルミネッセンス装置の製造方法、電子機器
WO2005074330A1 (en) Multicolor organic light emitting devices
JP2006269251A (ja) 発光装置
JP2007026684A (ja) 有機エレクトロルミネッセンス表示素子
JP4613765B2 (ja) エレクトロルミネッセンス装置及びその製造方法
CN216145621U (zh) 显示面板及显示装置
KR20050050568A (ko) 유기 el 표시 장치 및 그 구동 방법
JP2005259469A (ja) 有機エレクトロルミネッセンス表示装置
JP2009048980A (ja) 電気光学装置、および電気光学装置の製造方法
CN113314586A (zh) 显示面板及其制备方法、显示装置
JP2012074237A (ja) 有機el素子及びその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees