JP5169195B2 - 有機el装置、電子機器 - Google Patents
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Description
本発明では、反射膜の端部の段差を覆う接続導電部が複数層の導電膜からなっているので、接続導電部の一部(例えば1層の導電膜)で前記段差を被覆する場合よりも厚い膜で前記段差を覆うことができる。したがって、ステップカバレッジ性が格段に改善され、ここに段切れを生じることが防止される。よって、第1電極がスイッチング素子と良好に接続されようになり、有機発光層を良好に発光させることができるようになるので、暗点等のない良好な有機EL装置となる。
また、段切れを生じていない導電膜上に、例えば下層と同じ材料からなる導電膜を積層すれば、上層は下層との親和性により段切れを生じにくいので、接続導電部を構成する導電膜のいずれにおいても段切れが低減される。これにより、接続導電部は、高信頼性となるとともにその低抵抗化が図られ、有機発光層を良好に発光させることが可能となる。
このようにすれば、前記第1電極を構成しない導電膜の端部は上層と下層との段差となっており、段差の位置が互いに異なるようになる。したがって、前記第1電極を構成しない導電膜の端部が同じ位置とされた場合よりも、段差のそれぞれが小さくなる。よって、該段差における第1電極を構成する導電膜のステップカバレッジ性が改善され、第1電極を構成する導電膜に段切れを生じることが防止される。
このようにすれば、隔壁間の全体に、すなわち有機発光層側から反射膜側に光が発せられる領域の全体に、反射膜が配置されるようになり、反射膜の下地側への光漏れを生じることなく発光光を半透過反射膜側に反射させることができる。また、反射膜の端部における反射膜とその下地との段差を隔壁で覆うことができ、段差での光の反射等により表示品質が損なわれることを回避することができる。また、前記第1電極を構成しない導電膜の端部が前記隔壁に覆われているようにすれば、導電膜間の段差での光の反射等により表示品質が損なわれることも回避することができる。
このようにすれば、例えば、赤(R)、緑(G)、青(B)の各色に対応する発光波長を有する発光画素を形成することで、フルカラー表示が可能な有機EL装置とすることができる。
このようにすれば、また、カラーフィルタ層によって外光を吸収できるので、より外光反射の少ない有機EL装置とすることができる。すなわち、カラーフィルタ層で吸収できなかった光(カラーフィルタ層の透過波長に対応する光)は、半透過反射膜と反射膜とが構成する共振器によって吸収されるので、ほとんど表示に影響しない。すなわち、カラーフィルタ層の透過波長は共振器の共振波長とほぼ一致しているため、共振器は、カラーフィルタ層を透過した光に対して透過率が非常に高く、反射率が非常に低いものとなる。このため、カラーフィルタ層を透過して共振器内に入射した外光は、そのまま共振器内で吸収され外部にはほとんど反射されなくなる。
このようにすれば、有機EL装置を製造する際に通常行われるプロセスをほとんど流用して、本発明の有機EL装置を構成することができる。すなわち、通常はソース電極から反射膜の周辺部まで3層の導電膜からなる接続導電部が形成されているが、この接続導電部が形成される部分まで反射膜を広げて形成すれば、端的には通常と同様のパターニングにより、反射膜の周縁部及び周辺部に連続して接続導電部が形成される。このようにプロセスコストを増加させることなく良好な有機EL装置とすることができるとともに、実績のあるプロセスを用いることで高信頼性の有機EL装置とすることができる。
前記のように、本発明の有機EL装置は、暗点等のない良好なものとなっているので、これを備えた本発明の電子機器も良好なものとなる。
正孔注入層の材料として、ポリチオフェン誘導体、ポリアニリン誘導体、ポリピロール誘導体等が挙げられる。
正孔輸送層の材料としては、TAPC、TPD、α−NPD、m−MTDATA、2−TNATA、TCTA、スピロ-TAD、(DTP)DPPD、HTM1、TPTE1、NTPA、TFLTF、ポリフルオレン誘導体(PF)やポリパラフェニレンビニレン誘導体(PPV)、ポリパラフェニレン誘導体(PPP)、ポリビニカルバゾール(PVK)、ポリチオフェン誘導体、ポリメチルフェニルシラン(PMPS)等のポリシラン系有機高分子材料等が挙げられる。
有機発光層の材料としては、前記した正孔輸送層の形成材料の他、ペニレン系色素や、クマリン系色素、ローダミン系色素などの有機高分子材料、あるいはこれら有機高分子材料に例えばルブレン、ペリレン、9,10−ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン6、キナクリドンなどの低分子有機材料をドープしたもの、CBP(4.4.―ジカルバゾール−4,4−ビフェニル)誘導体、PtOEP(白金ポルフィリン錯体)誘導体、Ir(ppy)3(イリジウム錯体)誘導体、FIrpic(イリジウム錯体)誘導体等の燐光材料等が挙げられる。なお、本発明では、有機発光層は発光する色が白色となるように形成されていることが好ましい。
電子輸送層の材料としては、オキサジアゾール誘導体、オキサゾール誘導体、フェナンソロリン誘導体、アントラキノジメタン誘導体、ベンゾキノン誘導体、ナフトキノン誘導体、アントラキノン誘導体、テトラシアノアンスラキノジメタン誘導体、フルオレノン誘導体、ジフェニルジシアノエチレン誘導体、ジフェノキノン誘導体、ヒドロキシキノリン誘導体等が挙げられる。
次に、前記有機EL装置1の製造方法について、本発明の特徴部分である画素電極22の形成方法の一例を説明する。
画素電極22の形成に先立ち、TFT基板21等を形成しておく。例えば基板211上に走査線を形成するとともにその一部をゲート電極212とし、これを覆ってゲート絶縁膜213を形成する。次いで、ゲート絶縁膜213上にデータ線を形成するとともに、データ線に一端が電気的に接続された半導体層214を形成する。次いで、半導体層214を覆って層間絶縁膜215を形成した後、層間絶縁膜215を貫通して半導体層214の他端側を露出させる開口部を形成する。次いで、この開口部の内側、及び開口部周辺の層間絶縁膜215上にソース電極216を形成する。次いで、ソース電極216及び層間絶縁膜215を覆って絶縁膜217、平坦化層218を順に形成する。絶縁膜217の厚さとしては、例えば200nm程度とし、平坦化層218の厚さとしては例えば3000nm程度とする。これらの形成には、公知の形成材料や形成方法を用いることができる。
導電膜22Aは、青色部323と対応する部分の反射膜26上、及び緑色部322と対応する部分の反射膜26上においては、反射膜26の周縁部のみを覆うようにする。例えば、導電膜22Aの非形成領域をマスクパターンで覆った状態で、導電膜22Aの形成材料を蒸着法等で成膜する方法や、ソース電極216上及び絶縁膜28上の全面を覆って導電膜22Aの形成材料をスパッタリング法等で成膜した後、この膜をフォトリソグラフィ法及びエッチング技術等を用いてパターニングする方法等を用いることができる。最も厚い導電膜22Aから形成すれば、薄い導電膜から形成する場合よりも、反射膜26の周辺部と周縁部との段差において段切れを生じることが低減される。
以上のようにして、接続導電部を形成するとともに、青色部323と対応する部分には導電膜22Cからなる画素電極22を、緑色部322と対応する部分には導電膜22B及び導電膜22Cからなる画素電極22を、赤色部321と対応する部分には導電膜22A、導電膜22B及び導電膜22Cからなる画素電極22を、形成することができる。
次に、本発明の有機EL装置を備えた電子機器の例について説明する。
図9は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図9に示すように、携帯電話機1300は、複数の操作ボタン1302と、受話口1303と、送話口1304と、本発明の有機EL装置からなる表示部1301と、を備えている。この携帯電話機1300によれば、本発明の有機EL装置を備えているので、表示品位に優れ、明るい画面の有機EL表示部を備えた電子機器を実現することができる。
なお、本発明における有機EL装置を備えた電子機器としては、前記携帯電話機の他に、例えばデジタルカメラ、パーソナルコンピュータ、テレビ、携帯用テレビ、ビューファインダ型・モニタ直視型のビデオテープレコーダ、PDA、携帯用ゲーム機、ページャ、電子手帳、電卓、時計、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、POS端末、タッチパネルを備えた機器等、車載用オーディオ機器や自動車用計器、カーナビゲーション装置等の車載用ディスプレイ等を挙げることができる。
Claims (8)
- 透光性の第1電極と、
半透過反射膜と、
前記第1電極と前記半透過反射膜との間に配置された有機発光層と、
前記第1電極の前記半透過反射膜と反対側に設けられた反射膜と、
前記反射膜の端部の段差を覆って設けられた接続導電部と、を有する複数の発光画素を備え、
前記複数の発光画素間に隔壁が設けられており、
前記接続導電部は、複数層の透光性の導電膜からなっているとともに、前記発光画素のスイッチング素子と電気的に接続されており、前記第1電極は、前記接続導電部を構成する導電膜のうちの単層または2層以上が選択されパターニングされて形成されており、
前記複数の発光画素のうち1色に対応する部分において、前記複数層の導電膜のうち、
第1の導電膜は、前記反射膜の周縁部を覆って前記隔壁の開口外側に形成され、
第2の導電膜は、前記第1の導電膜上に積層されており、前記第1の導電膜よりも前記隔壁の開口の中央部側まで形成されているとともに前記隔壁の開口外側に形成され、
第3の導電膜は、前記第2の導電膜上に積層されており、前記隔壁の開口内側全体に形成されており、
前記第1の導電膜の膜厚は前記第2の導電膜の膜厚よりも厚く、
前記第2の導電膜の膜厚は前記第3の導電膜の膜厚よりも厚く、
前記第1の導電膜は前記複数層の透光性の導電膜のうち、最も前記反射膜側に設けられ、かつ最も厚い導電膜であることを特徴とする有機EL装置。 - 前記接続導電部が3層以上の導電膜からなり、該導電膜のうちの前記第1電極を構成しない導電膜は、前記半反射膜の周縁部上における該導電膜の端部の位置が導電膜ごとに異ならせて形成されていることを特徴とする請求項1に記載の有機EL装置。
- 前記反射膜の端部が前記隔壁に覆われていることを特徴とする請求項1または2に記載の有機EL装置。
- 前記接続導電部を構成する複数層の透光性の導電膜のうちの前記第1電極を構成しない導電膜の端部が前記隔壁に覆われていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の有機EL装置。
- 発光波長の異なる複数の発光画素を備え、
前記複数の発光画素の各々は、該発光画素を構成する第1電極の厚さが、前記接続導電部のうちの選択された導電膜の膜厚により前記複数の発光画素ごとに異なっており、該発光画素の発光波長は、該発光画素を構成する半透過反射膜と反射膜との間の光学的距離により定まる共振波長とされ、該光学的距離は、該発光画素を構成する第1電極の厚さにより調整されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の有機EL装置。 - 前記半透過反射膜の前記反射膜と反対側に、該半透過反射膜を有する発光画素の発光波長に対応した波長の光を透過するカラーフィルタ層が設けられていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の有機EL装置。
- 前記カラーフィルタ層には、3種類の互いに異なる波長の光をそれぞれ透過させる3種類の色部材が設けられているとともに、前記接続導電部は3層の導電膜からなり、該導電膜のうちの1層からなる第1電極を有する発光画素と、該導電膜のうちの2層からなる第1電極を有する発光画素と、前記接続導電部からなる第1電極を有する発光画素と、を備えていることを特徴とする請求項6に記載の有機EL装置。
- 請求項1〜7のいずれか一項に記載の有機EL装置を備えていることを特徴とする電子機器。
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