TWI242082B - Manufacturing method of optical low-pass filtering lens - Google Patents

Description

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玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關光學低通濾波鏡之製造方法’尤其是有 關提升將高分子薄膜夾在雙折射板之構造的光學低通濾波 鏡之製造良率的技術。 【先前技術】 數位靜像相機或數位視訊攝影機等攝像裝置中經常使 用CCD或CMOS %攝像兀件。該攝像兀件係藉由以所疋 間隙配列成矩陣狀的像素而將光學像轉換成電訊號，將映 像予以攝影。此種攝像裝置中，光學像的空間頻率一旦超 過像素支配列間隙所決定的取樣頻率的1 / 2，則會發生 錯網（moire)等之擬似訊號而使畫質下降。 因此，一般的攝像裝置中，在攝像元件的前面，會設 置抑制光學像之空間頻率的高頻成份的光學低通濾波鏡。 該光學低通濾波鏡的構造爲，一般而言，有雙折射板三片 型和雙折射板兩片之間夾著相位板型，也有在兩片型雙折 射板間夾著1 / 4波長板之構造的垂直附加型這類高性能 者爲人所知。 近年來，有人提案使用以一軸延伸法所形成之高分子 薄膜來做爲1/4波長板。藉由使用高分子薄膜，可達到 薄型化及降低製造成本的目的。雙折射板則使用水晶板。 兩片水晶板間夾著高分子薄膜之構造的光學低通濾波 鏡製造之際，需要在高分子薄膜的兩面上使用黏著劑或接 (2) 1242082 著劑而將兩片水晶板貼合之工程。 將高分子薄膜貼合在水晶板之際，會有高分子薄膜和 水晶板之間跑入氣泡之情形。由於有氣泡存在就不能當作 光學元件使用，是爲不良，是造成製造良率下降的原因。 將水晶板彼此接著之際，藉由真空氣氛下予以貼合可 以防止氣泡跑入的技術，例如以下專利文獻1已有揭露。 〔專利文獻1〕日本特開2003-29035號公報 【發明內容】 〔發明所欲解決之課題〕 可是在此其中’雖然在真空氣氛下進行壓著不會有氣 泡殘存，而可提升製造良率，但是從大氣壓降至真空爲止 需要花費時間’導致生產效率低落。因此，需要將真空氣 氛下之工程限縮在最小限度內以避免生產效率低落。 又’光學低通濾波鏡製造之際，兩片雙折射板和高分 子薄膜之個別的光學軸必須要正確地配置，因此在真空氣 氛中要求貼合在正確位置上。 本發明係有鑑於上述情事，目的在提供生產效率佳的 光學低通濾波鏡之製造方法，能夠以高分子薄膜和雙折射 板之間不會存在氣泡而製造良率佳的方式在雙折射板上貼 合高分子薄膜。 又，本發明的目的在提供能夠在真空氣氛中貼合在正 確位置上的光學低通濾波鏡之製造方法。 (3) 1242082 〔用以解決課題之手段〕 本發明人，爲了達成上述目的，用心檢討的結果，發 現在高分子薄膜兩面貼合硬質的第1雙折射板和第2雙折 射板時’需要先進行將高分子薄膜貼合在第1雙折射板之 第1貼合工程，再進行將高分子薄膜貼合在第2雙折射板 之第2貼合工程之兩次貼合工程之事實；以及在將高分子 薄膜貼合在第1雙折射板之第1貼合工程中，藉由將高分 子薄膜例如以滾輪等一邊擠出氣泡一邊貼合，即使在大氣 中也不會有氣泡跑入之事實；以及在硬質板彼此貼合之第 2貼合工程中必須要在真空氣氛下進行之事實；以及真空 氣氛理想爲500Pa〜IPa之事實；以及藉由令第2貼合工 程在真空氣氛下進行，除了可提升製造良率，還可使生產 效率的下降收斂在最小限度之事實。 在真空氣氛進行之第2貼合工程中，是將貼合有第1 雙折射板的高分子薄膜，和第2雙折射板彼此離間而呈面 對面配置，使其在真空氣氛下後，令高分子薄膜和第2雙 折射板彼此接近，將它們壓著，藉此可使硬質板在真空氣 氛下不存在氣泡而彼此貼合。 又，以第2貼合工程，將貼合有第1貼合工程的高分 子薄膜和第2雙折射板於真空氣氛中進行正確位置貼合的 方法，可以採用如下的方法：令貼合有高分子薄膜的第1 雙折射板或第2雙折射板之一方，被保持在上下升降且常 時往上方彈撥的誘導裝置上，再令其與被配置在位於其下 方之下側壓著板上的第1雙折射板或第2雙折射板之另一 (4) 1242082 方彼此離間而令高分子薄膜和第2雙折射板呈面對面配置 後，令上側壓著板降下而使被保持在誘導裝置內的第1雙 折射板或第2雙折射板之一方抵抗誘導裝置之彈撥力而降 下，藉由上側壓著板使得高分子薄膜和第2雙折射板彼此 接近，而使第1雙折射板、高分子薄膜以及第2雙折射板 在上側壓著板和下側壓著板之間夾緊壓著。 又，使用黏著劑貼合時，藉由在壓著中增加加溫，可 使其更爲強固地貼著。 此時，加溫的溫度理想範圍是3 (TC〜8 (TC。 因此，藉由在經過加熱的壓著板之間夾緊壓著，可使 其更爲強固地貼著。 此時，壓著之加壓力理想範圍係 1 9 6 9 6 0 0 P a〜 45 96000Pa ° 又，藉由一邊加熱一邊加壓，可使其更爲強固地貼著 〇 又，藉由在壓著板和雙折射板之間夾著緩衝材而一邊 加熱一邊加壓，緩衝材可以吸收雙折射板或高分子薄膜的 微小凹凸，而能均勻地加壓。藉此，可使雙折射板和高分 子薄膜強固地貼合。 因此，第1發明係提供一種屬於在硬質的第1雙折射 板和硬質的第2雙折射板之間，夾著高分子薄膜（fi lm ) 而成的光學低通濾波鏡之製造方法，其特徵爲，具有：將 前記第1雙折射板貼合在前記高分子薄膜之第1貼合工程 ;及在第1貼合工程後，在真空氣氛下將前記第2雙折射 -8- (5) 1242082 板壓者至則δ己局分卞薄膜上的第2貼合工程c 第2發明係提供〜種在第1發明之光學低通濾波鏡之 製造方法中’前記第2貼合工程，是在真空氣氛下，先令 貼合有前記高分子薄膜的前記第1雙折射板和前記第2雙 折射板彼此離間而令前記高分子薄膜和前記第2雙折射板 呈面對面配置後，再令前記高分子薄膜和前記第2雙折射 板彼此接近，將它們進行壓著。 第3發明係提供一種在第1發明之光學低通濾波鏡之 製造方法中’前記第2貼合工程是在真空氣氛下，令貼合 有前記高分子薄膜的前記第1雙折射板或第2雙折射板之 一方，被保持在上下升降且常時往上方彈撥的誘導裝置上 ，再令其與被配置在位於其下方之下側壓著板上的前記第 1雙折射板或前記第2雙折射板之另一方彼此離間而令前 記高分子薄膜和前記第2雙折射板呈面對面配置後，令上 側壓著板降下而使被保持在前記誘導裝置內的前記第1雙 折射板或第2雙折射板之一方抵抗前記誘導裝置之彈撥力 而降下，藉由前記上側壓著板使得前記高分子薄膜和前記 第2雙折射板彼此接近，而使前記第1雙折射板、前記高 分子薄膜以及前記第2雙折射板在前記上側壓著板和前記 下側壓著板之間夾緊壓著。 第4發明係提供一種在第1〜3發明之任一光學低通 濾波鏡之製造方法中，前記第2貼合工程是在已加熱的上 下壓著板之間夾緊壓著。 第5發明係提供一種在第1發明之光學低通濾波鏡之 -9- (6) 1242082 製造方法中，前記第1貼合工程’是在真 第1雙折射板壓著至前記高分子薄膜。 第6發明係提供一種在第1〜5發明 濾波鏡之製造方法中’具有：對前記第2 的光學低通濾波鏡一邊加熱一邊施加壓力 〇 第7發明係提供一種在第1〜6發明 濾波鏡之製造方法中’前記真空氣氛係在 範圍內。 第8發明係提供一種在第1〜6發明 濾波鏡之製造方法中’前記壓著的加壓力 至4596000Pa之範圍內。 第9發明係提供一種在第4發明之光 製造方法中，前記第2貼合工程中的加美 至8 0 °C之範圍內。 第1 〇發明係提供一種在第1〜6發明 濾波鏡之製造方法中，在前記第1貼合工 氛下將前記第2雙折射板壓著至前記高分 合工程中，在下側壓著板和雙折射板之間 壓著板和雙折射板之間，夾著緩衝材而進 【實施方式】 以下將就本發明之光學低通濾波鏡之 形態加以說明，但是本發明並非侷限於以 空氣氛下將前記 之任一光學低通 貼合工程所製造 之加壓處理工程 之任一光學低通 500Pa 至 ipa 之 之任一光學低通 是在 1 969600Pa 學低通濾波鏡之 A溫度是在3 0 °c 之任一光學低通 程後，在真空氣 子薄膜的第2貼 ，或/及在上側 行壓著。 製造方法的實施 下實施形態。 -10- (7) 1242082 本發明之光學低通濾波鏡之製造方法的對象之光學低 通濾波鏡，可舉出2片雙折射板間夾著由高分子薄膜所成 之1 / 4波長板之構造的垂直附加型的3層構造爲例子。 雙折射板，一般係採用具有所定之結晶面的水晶板。構成 1 / 4波長板的高分子薄膜，可舉例如經過一軸延伸的塑 膠薄膜（plastic film ) 。：1/ 4波長板係具有將入射光的 偏光狀態從直線偏光轉換成圓偏光之機能。經過一軸延伸 之所定厚度的高分子薄膜，具有入射光波長越大則雙折射 率越大之特性。經過一軸延伸之高分子薄膜，例如，爲厚 度約80 的塑膠薄膜。這些雙折射板和高分子薄膜是 需要以使各光學軸朝向所定方向的方式而將彼此予以精密 配置。 爲了將雙折射板貼合至高分子薄膜的兩面，會使用黏 著劑或接著劑。接著劑一般選擇生產效率佳的紫外線硬化 型。黏著劑則選擇透光性良好的類型，有時會在高分子薄 膜的兩面形成20#m左右的黏著劑層，以雙面膠帶的形 態來供給。又，亦有只在高分子薄膜的單面形成黏著劑層 之情形。該高分子薄膜在未設黏著劑層的面係藉由接著劑 而接著。 圖1係光學低通濾波鏡之主要製造工程的流程圖。 該光學低通濾波鏡之製造工程，係分爲使用已經形成 有紅外線遮斷膜和反射防止膜的第1雙折射板和第2雙折 射板而進行貼合之情形，和在貼合後才形成紅外線遮斷膜 和反射防止膜之情形。使用已經形成有紅外線遮斷膜和反 -11 - (8) 1242082 射防止膜的第1雙折射板和第2雙折射板而進行貼合之情 形’係在第1雙折射板及第2雙折射板之各別之外側面的 單面，分別進行紅外線遮斷膜和反射防止膜的成膜工程。 由於一旦紅外線遮斷膜成膜，則雙折射板會有發生彎曲的 情形’因此以在進行貼合後’才形成紅外線遮斷膜和反射 防止膜者爲理想。 一般的工程，係在第1雙折射板上貼合高分子薄膜之 第1貼合工程後，進行已經貼合於第1雙折射板上的高分 子薄膜貼合至第2雙折射板的第2貼合工程以製造3層構 造之光學低通濾波鏡。之後，因應需要，而對光學低通濾 波鏡一邊加溫一邊加壓，進行使貼合更強固的加壓處理工 程。其次，按照需要，進行在光學低通濾波鏡之其中一面 上形成紅外線遮斷濾波鏡的紅外線遮斷膜成膜工程，及在 光學低通濾波鏡之另一面上形成反射防止膜之反射防止膜 成膜工程，除了對光學低通濾波鏡附加紅外線遮斷之機能 ，還附加了減少反射並提升光線穿透率的機能。最後，進 行切斷成光學低通濾波鏡所需的大小的切斷工程，之後經 過檢查工程、捆包工程而最終就以光學低通濾波鏡的成品 出貨。 第1貼合工程之第1雙折射板上貼合高分子薄膜的方 法，由於雙折射板係硬質的水晶板，高分子薄膜是軟質， 因此藉由將高分子薄膜對水晶板以滾輪將氣泡擠壓出來而 貼合，就可在大氣中進行貼合。又，雖然會降低生產效率 ，但第1貼合工程亦可在真空氣氛中進行。 -12- 1242082 (9) 將貼合有第1雙折射板的高分子薄膜，貼 折射板的第2貼合工程中，爲了要使硬質板彼 要在真空氣氛下進行貼合。 圖2 ( a )係第1貼合工程和第2貼合工 使用之真空貼合裝置的槪要構成之側面透視圖 圖2(b)是誘導裝置的放大圖，圖2(c 合之際第1雙折射板和高分子薄膜的重疊位置 圖’圖2(d)係真空貼合裝置正在進行壓著 的側面圖。 該真空貼合裝置1 〇 〇，係如圖2 ( a )所示 處理室110，以真空配管ηι連接至未圖示的 而可抽成真空。真空處理室110內之底面的上 已經平滑處理過之平整的固定盤也就是下側壓 下側壓著板1 2 1係大於第1雙折射板1，在載 射1板時，將第1雙折射板1整體保持而周圍 大小的面積。下側壓著板1 2 1的兩端部側上配 側壓著板121而可上下升降的誘導裝置130。 該誘導裝置130，如圖2(b)的放大圖所 成可在下側壓著板121垂直方向上升降的升降 上端處，設有針狀金屬朝外面呈L字狀曲折而 誘導保持部132。該誘導保持部132，除了可 第1雙折射板1之短邊11之兩端緣予以保持 短邊1 1之兩側面距離兩側的位置。升降針腳 彈性構件1 3 3而往上方彈撥，平常誘導保持部 合至第2雙 此貼合，需 程兩者均可 〇 )係進行貼 關係的平面 動作之狀態 ，具備真空 真空裝置， 面，配置著 著板1 2 1。 匱第1雙折 還留有充分 設有貫通下 示，被保持 針腳1 3 1的 成之形狀的 將矩陣狀的 ，還規定了 1 3 1係藉由 132是在下 -13- (10) 1242082 側壓著板1 2 1上面的上方保持離間。藉由將第1雙折射板 1保持於該誘導保持部1 3 2上，可使第1雙折射板1被保 持在空中。升降針腳1 3 1係藉由垂直向下的壓下，而抵抗 彈性構件1 3 3的彈撥力，一直下降到使被誘導保持部1 3 2 所保持的第1雙折射板1接觸至下側壓著板1 2 1的上面的 位置。彈性構件1 3 3的構成，除了圖示的線圈狀彈簧以外 ，還可舉例有板簧、流體彈簧等彈簧或橡膠等彈性體。 局分子薄膜2的寬度，如圖2(c)所示，是被形成 爲只略小於第1雙折射板1的長度，且只略小於兩側之升 降針腳1 3 1之間的離間距離。因此，如圖2 ( b )所示， 可將高分子薄膜2載置於升降針腳1 3 1間之下側壓著板 121 上。 配置一貫穿真空處理室110的上壁藉由未圖示之驅動 裝置而在垂直方向上升降驅動之升降軸 141，升降軸 141 的下端則固定有上側壓著板1 42。該上側壓著板1 42的下 面，係和下側壓著板1 2 1的上面平行，而且被處理成平滑 。上側壓著板1 4 2，係和下側壓著板1 2 1幾乎相同的形狀 ，且是能夠覆蓋第1雙折射板1之整體的形狀、大小。上 側壓著板1 42的驅動，係令上側壓著板1 42下降時，可以 到達抵觸下側壓著板1 2 1之上面而能夠加壓之位置爲止。 使用此種真空貼合裝置1 00，參照圖2來說明令第1 貼合工程在真空氣氛下進行的方法。此時的高分子薄膜2 ，係假設使用兩面已經設置黏著劑層之類型來說明。 第1雙折射板1和第2雙折射板3是使用事先以洗淨 -14- (11) 1242082 工程洗淨之，已經去除了表面附著物者。首先 處理室1 1 0之未圖示的門而將已經讓一面的黏 之高分子薄膜2，令露出之黏著劑層爲上而載 者板1 2 1上的所定位置。其次，將第1雙折射 誘導裝置130的誘導保持部132上。藉此，第 1和高分子薄膜2的配置，成爲了如圖2 ( c ) 配置。亦即，由上來看，第1雙折射板1的短 兩端緣是從高分子薄膜2之兩端緣往外伸出。 板1的短邊1 1側的兩端緣是被誘導裝置1 3 〇 部1 3 2所保持，第丨雙折射板丨則被保持在高 上方的空間中，和高分子薄膜2彼此離間而面; 其次，將真空處理室110之未圖示的門關 示之真空裝置作動，透過真空配管111將真空 內抽成真空。真空處理室110內到達所定真空 圖示之驅動裝置驅動升降軸141而使其下降。 下降，上側壓著板1 42下降而抵觸誘導保持部 ，上側壓著板1 42便抵抗使升降針腳1 3 1往上 性構件1 3 3的彈撥力而將誘導保持部1 3 2 —起 ，使得被誘導保持部1 3 2保持的第1雙折射板 置於下側壓著板1 2 1上的高分子薄膜2後， 1 42會以所定的壓力將第1雙折射板1推壓。 2 ( d )所示，上側壓著板1 42和下側壓著板1 : 著第1雙折射板1及高分子薄膜2而以所定的 此時第1雙折射板1和高分子薄膜2之重疊會 ，打開真空 著劑層露出 置於下側壓 板1載置於 1雙折射板 所示的重疊 i邊11側之 第1雙折射 的誘導保持 分子薄膜2 對面配置。 閉’令未圖 處理室1 1 0 度後，以未 升降軸141 132的上端 方彈撥的彈 下推而下降 1抵觸至載 上側壓著板 藉此，如圖 Π之間，夾 壓力壓著。 保持圖2 ( -15- (12) 1242082 c )所示的配置。經過所定時間壓著後，驅動未圖示之驅 動裝置而使升降軸1 4 1上升，令上側壓著板]42上升。伴 隨上側壓著板1 4 2的上升，誘導保持部1 3 2受到彈性構件 1 3 3的彈撥力而將貼合在高分子薄膜2的第1雙折射板1 予以保持的狀態下上升，回到原來的位置。 其次，將真空處理室110之真空配管111遮斷，將大 氣導入真空處理室1 1 0內，使其回到大氣壓力而結束第1 貝占€ IE手呈。 其次，一邊參照圖3 —邊說明使用真空貼合裝置1 〇 〇 進行第2貼合工程之方法。圖3 ( a )係第1雙折射板i、 高分子薄膜2及第2雙折射板3之重疊狀態說明圖，圖3 (b )係設置在真空貼合裝置上之狀態的剖面圖，圖3 ( c )係表示壓著狀態的剖面圖。 首先，打開真空處理室1 1 0之未圖示的門，將貼合有 高分子薄膜2的第1雙折射板1取出，如圖3 ( b )所示 ，在下側壓著板1 2 1的上面所定位置處載置第2雙折射板 3。令局分子薄膜2的另一面黏著劑層露出，令露出的黏 著劑層爲下而將第1雙折射板1再度被誘導裝置130的誘 導保持部1 3 2所保持。此時，第1雙折射板1、高分子薄 膜2及第2雙折射板3的垂直方向層疊，係如圖3(a) 所示，矩形狀的第1雙折射板1和同爲矩形狀的高分子薄 膜2及第2雙折射板3係成直交配置，第2雙折射板3的 紙面左右方向之寬度係窄於同方向上高分子薄膜2的寬度 。被載置於下側壓著板1 2 1上的第2雙折射板3，和貼合 -16- (13) 1242082 至被誘導保持部1 3 2所保持的第1雙折射板！的高分子薄 膜2，是成彼此離間而面對面配置。 在圖3 ( b )所示的配置狀態下，透過真空配管1 ! ! 將真空處理室1 1 0內抽成真空，到達所定真空度後，以未 圖不之驅動裝置驅動升降軸1 4 1而使其下降，上側壓著板 142逐漸下降而抵觸誘導保持部132的上端，上側壓著板 1 42便抵抗使升降針腳1 3 1往上方彈撥的彈性構件〗3 3的 彈撥力而將誘導保持部1 3 2 —起下推而下降，使得被誘導 保持部1 3 2保持的貼合有第1雙折射板1的高分子薄膜2 ，抵觸至載置於下側壓著板1 2 1上的第2雙折射板3後， 上側壓著板1 42會以所定的壓力將第1雙折射板1推壓。 藉此’如圖3 ( c )所示，上側壓著板14 2和下側壓 著板121之間，夾著第1雙折射板1、高分子薄膜2及第 2雙折射板3而以所定的壓力壓著。 經過所定時間壓著後，驅動未圖示之驅動裝置而使升 降軸1 4 1上升，令上側壓著板1 4 2上升。伴隨上側壓著板 142的上升，誘導保持部132受到彈性構件133的彈撥力 ，而將在高分子薄膜2上貼合有第2雙折射板3的第1雙 折射板1予以保持的狀態下上升，回到原來的位置。其次 ，將真空配管11 1關閉，將大氣導入真空處理室丨丨〇內， 使其回到大氣壓力，將真空處理室110之未圖示的門打開 ，而將在高分子薄膜2兩面貼有第1雙折射板1及第2雙 折射板3的光學低通濾波鏡取出。 此種使用真空貼合裝置100而在高分子薄膜2兩面貼 -17- (14) 1242082 合第1雙折射板1及第2雙折射板3的方法，由於是在真 空氣氛中進行貼合，因此高分子薄膜2及雙折射板1、3 之間可確貫防止有氣泡存在。 又’藉由將第1雙折射板1載置於誘導裝置1 3 0的誘 導保持部1 3 2，可決定第1雙折射板！的位置，以被誘導 保持部1 3 2保持的狀態而藉由上側壓著板丨42將誘導保持 部1 3 2垂直推下，第1雙折射板〗會下降，而和配置於下 方之下側壓著板1 2 1之上所定位置之高分子薄膜2或第2 雙折射板3以所定的正確位置重疊，壓著之。因此，第i 雙折射板1、高分子薄膜2及第2雙折射板3的光學軸在 真空氣氛中可分別正確地配置而以良好的精確度進行貼合 〇 上記第2貼合工程的說明中，雖然是將第1雙折射板 1保持在誘導保持部1 3 2上，但亦可將第2雙折射板3保 持在誘導保持部132上，令貼合有高分子薄膜2的第1雙 折射板1載置於下側壓著板1 2 1上。 又，上記說明中，雖然第1貼合工程和第2貼合工程 兩者均使用真空貼合裝置1〇〇而進行，但在本發明中，由 於第1貼合工程不必在真空氣氛下進行即可完成，因此只 有第2貼合工程在真空氣氛中進行的話，在生產效率面上 比較理想。 又，雖然使用兩面設有黏著劑層的高分子薄膜爲例來 說明，但亦可使用接著劑。此時，爲了促進紫外線硬化， 上側壓著板1 42和下側壓著板1 2 1，是以能夠透過紫外線 -18- 1242082 (15) 的玻璃等來構成者較爲理想，紫外線照射燈亦設於真空處 理室1 1 〇者較爲理想。又，亦須設有塗佈接著劑的前期工 程。 又，如圖4所示，在以黏著劑貼合時，理想爲上側壓 著板1 4 2和下側壓著板1 2 1內分別內藏有電熱加熱器等加 熱手段1 5 0。藉由在壓著時對黏著劑以加熱手段加熱，可 使黏著劑軟化而消除表面的凹凸，可使黏著劑的貼合更爲 強固。 甚至，發明人針對雙折射板和高分子薄膜的貼合條件 ，也就是真空氣氛（真空度）、加熱溫度（貼合溫度）、 壓著壓力進行實驗，找出了可減少雙折射板和高分子薄膜 貼合面中的氣泡、提升製造良率的良好條件。以下將進行 此部份的說明。 表1係將雙折射板和高分子薄膜貼合時，對於真空度 變化之貼合面中所殘留之氣泡的面積進行測量的結果。氣 泡面積係複雜的形狀，爲了方便起見，是以氣泡的較長方 向的寸法，和與該較長方向之長度的近似垂直方向的寸法 ，兩者之積視爲其面積。 又’試料是使用大小爲50mmx50mm，厚度0.7mm的 雙折射板’和兩面形成有丙烯酸酯系的黏著劑層（厚度約 20//m)的聚碳酸酯爲素材而成的高分子薄膜（厚度約8〇 μ m )。 其他的貼合條件有，貼合溫度40 °C、壓著家壓力 1 9 600 OPa、壓著時間3分鐘。此外，貼合溫度，係指陣型 -19 - (16) 1242082 貼合時雙折射板和高分子薄膜的溫度。 〔表1〕

根據該結果，當真空度在500Pa〜IPa的範_內’貝占 合面內不存在氣泡，而得良好的貼合條件。 其次，使用和前述實驗相同的手法，且用相同的試料 ，令貼合溫度變化時，計測貼合面所殘留的氣泡面積之結 果如表2所示。 -20- 1242082 (17) 〔表2〕 貝占€ Μ度 氣泡面積（m m 2) (Pa) 試料1 試料2 試料3 25 3 0 5 30 0 0 0 40 0 0 0 50 0 0 0 60 0 0 0 70 0 0 0 80 0 0 0 90 13 16 7 100 11 14 18 根據該結果，當貼合溫度在3 (TC〜8 0 °C之範圍內， 貼合面內不存在氣泡，而得良好的貼合條件。 甚至，使用和前述實驗相同的試料，令壓著之加壓力 變化時，計測貼合面所殘留的氣泡面積之結果如表3所示 -21 - (18) 1242082 〔表3〕 加壓力 氣泡面積（mm2) (Pa) 試料1 試料2 試料3 328200 30 42 54 6 5 6400 9 5 13 1969600 0 0 0 3282800 0 0 0 3920000 0 0 0 4596000 0 0 0 根據該結果，當壓著的加壓力在1969600Pa〜 4596000Pa之範圍內，貼合面內不存在氣泡，而得良好的 貼合條件。 其次’使用真空貼合裝置進行第2貼合工程時，關於 其他實施形態，將參照圖5來說明。圖5 ( a )係說明第1 雙折射板1、高分子薄膜2及第2雙折射板3之層疊狀態 的平面圖，圖5 ( b )係載置於真空貼合裝置上狀態的剖 面圖，圖5 ( c )係正在壓著狀態的剖面圖。 首先，如圖5 ( b )所示，在下側壓著板12 1的上面 配置有緩衝材5，緩衝材5上的所定位置處載置著第2雙 折射板3。此外，緩衝材5的材質有矽橡膠等橡膠片、聚 丙烯、聚乙烯板、尿烷等發泡品或樹脂片、或是上質紙、 影印紙、瓦楞紙、防塵紙等紙類、木棉、耐綸等纖維類、 -22- (19) 1242082 牛皮等皮革類等，從這些較金屬還要柔軟的 而爲之。 其次，令貼合有高分子薄膜2的第1雙 分子薄膜2的另一面黏著劑層露出，令露出 下而將第1雙折射板1再度被誘導裝置130 1 3 2所保持。此時，第1雙折射板1、高分 2雙折射板3的垂直方向層疊，係如圖5 ( a 狀的第1雙折射板1和同爲矩形狀的高分子 雙折射板3係成直交配置，第2雙折射板3 向之寬度係窄於同方向上高分子薄膜2的寬 下側壓著板1 2 1上的第2雙折射板3，和貼 持部1 3 2所保持的第1雙折射板1的高分子 彼此離間而面對面配置。 在圖5 ( b )所示的配置狀態下，透過 將真空處理室110內抽成真空，到達所定真 圖示之驅動裝置驅動升降軸141而使其下降 142逐漸下降而抵觸誘導保持部132的上端 1 42便抵抗使升降針腳1 3 1往上方彈撥的彈 彈撥力而將誘導保持部1 3 2 —起下推而下降 保持部1 3 2保持的貼合有第1雙折射板1的 ，抵觸至載置於下側壓著板1 2 1上的第2雙 上側壓著板1 42會以所定的壓力將第1雙折 藉此，如圖5 ( c )所示，上側壓著板 著板1 21之間，夾著第1雙折射板1、高分 材質當中選擇 折射板1之高 的黏著劑層爲 的誘導保持部 子薄膜2及第 d所示，矩形 薄膜2及第2 的紙面左右方 度。被載置於 合至被誘導保 薄膜2，是成 真空配管111 空度後，以未 ’上側壓著板 ’上側壓著板 性構件1 3 3的 ’使得被誘導 f局分子薄膜2 折射板3後， 射板1推壓。 142和下側壓 子薄膜2及第 -23- 1242082 (20) 2雙折射板3而以所定的壓力壓著。 經過所定時間壓著後，驅動未圖示之驅動裝置而使升 降軸1 4 1上升，令上側壓著板M2上升。伴隨上側壓著板 1 42的上升，誘導保持部1 3 2受到彈性構件1 3 3的彈撥力 ，而將在高分子薄膜2上貼合有第2雙折射板3的第1雙 折射板1予以保持的狀態下上升，回到原來的位置。其次 ，將真空配管1 1 1關閉，將大氣導入真空處理室1 1 0內， 使其回到大氣壓力，將真空處理室1 1 0之未圖示的門打開 ’而將在筒分子薄膜2兩面貼有第1雙折射板1及第2雙 折射板3的光學低通濾波鏡取出。 在此，說明將緩衝材5夾在第2雙折射板3及下側壓 著板1 2 1之間進行貼合的效果。 發明人藉由實驗，比較了第2雙折射板3和下側壓著 板1 2 1間配置有緩衝材5之情況和未配置之情況下，貼合 面所殘留的氣泡。 表4係上記構成中將雙折射板和高分子薄膜貼合，並 使壓著時間變化時，貼合面中所殘留之氣泡的面積進行測 量的結果。氣泡面積係複雜的形狀，爲了方便起見，是以 氣泡的較長方向的寸法，和與該較長方向之長度的近似垂 直方向的寸法，兩者之積視爲其面積。 又，試料是使用大小爲50mmx50mm，厚度〇.7mm的 雙折射板，和兩面形成有丙烯酸酯系的黏著劑層（厚度約 2 0// m)的聚碳酸酯爲素材而成的高分子薄膜（厚度約80 // m )。 -24- (21) 1242082 其他的貼合條件有，貼合溫度4 0 °C 、壓著家壓力 1 9 6 0 0 0 P a、壓著時間3分鐘。 〔表4〕 壓著時 氣泡面積（mm2) 間（分） 有緩衝材 ί 浜緩衝材 試料1 試料2 試料3 試料 4 試料5 試料6 0.1 10 6 13 33 52 47 0.5 0 0 0 20 23 36 1.0 0 0 0 10 1 5 12 3.0 0 0 0 0 0 0 5.0 0 0 0 0 0 0 10.0 0 0 0 0 0 0 根據此結果，有配置緩衝材時，壓著時間在〇. 5分以 上就確認無氣泡存在，不配置緩衝材時壓著時間要在3分 以上才確認無氣泡存在。此原因爲，藉由配置緩衝材可使 貼合面受到均勻的壓力施加，例如若是比較相同壓著時間 ’則医1爲能夠以均勻的加壓力進行壓著，故可減少氣泡的 存在’使黏著劑的貼合更爲強固。 使用此種真空貼合裝置1〇〇而在高分子薄膜2的兩面 貼合第1雙折射板1及第2雙折射板3的方法，係在真空 氣氛中進行貼合，且在第2雙折射板3及下側壓著板1 2 1 間配置緩衝材5，因此可確實防止高分子薄膜2及雙折射 •25- 1242082 (22) 板1、3之間存在氣泡。 此外，本實施形態中，雖然舉例在下側壓著板和雙折 射板之間配置緩衝材，但並不侷限於此，亦可在上側壓著 板和雙折射板之間配置，或是上下兩側壓著板和雙折射板 都配置緩衝材。 第2貼合工程後的加壓工程，係爲了使以黏著劑貼合 時能更爲強固而進行的。加壓工程，若在第2貼合工程中 已經獲得足夠貼合強度時，則可免除。加壓方法，係例如 將高分子薄膜2兩面貼合雙折射板1、3而成的光學低通 濾波鏡收納在熱壓爐（auto clave)中，將壓縮空氣等高 壓氣體導入熱壓爐，關閉蓋子，以熱壓爐內藏之加熱器， 在高壓氣體的高壓和加溫之氣氛下對光學低通濾波鏡一邊 加熱一邊加壓。高壓氣體的壓力範圍例如爲0.3MPa〜熱 壓爐的耐壓上限30MPa左右，溫度爲70〜120 °C左右。又 ，亦可用一般加熱過的壓著板來進行一邊加熱一邊加壓。 以紅外線遮斷膜成膜工程中將紅外線遮斷濾波鏡予以 成膜，是有以下的理由。亦即，CCD係對光有較寬波長 的敏感度，不只對可見光領域而是對在近紅外線領域（ 75 0〜25 OOnm )的光也有良好的敏感度。可是，一般照相 機的用途中，並不需要人眼所無法看見的紅外線領域，若 是將近紅外線入射至攝像元件則會引發解析度下降或影像 的錯網等不良。因此，視訊攝影機等的光學系中都***有 色玻璃等紅外線遮斷濾波鏡，而將入射光中的近紅外線予 以遮斷。本實施形態中的光學低通濾波鏡中，藉由設置紅 -26- (23) 1242082 外線遮斷濾波鏡，將紅外線遮斷之機能附加在光學低通濾 波鏡上，可免除紅外線遮斷濾波鏡的零件，達到刪減零件 數的目的。 紅外線遮斷漉波鏡，係將由 T i Ο 2、N b 2 Ο 5、T a 2 〇 5等 之高折射率介電體所成的高折射率層，和由Si02、MgF2 等之低折射率之介電體所成之低折射率層，彼此層積數十 層而成的構造。 將高折射率層和低折射率層交互成膜在基板上，一般 是用物理成膜法，雖然以一般的真空蒸著法亦爲可行，但 還是以能穩定控制膜的折射率，且能作成的膜對保管、式 樣環境變化所致之分光特性的經時變化小的離子輔助蒸著 法或離子鍍（Ion Plating)法、濺鍍法等較爲理想。 真空蒸著法，係在高真空中將薄膜材料加熱，令其蒸 發粒子在基板上堆積而形成薄膜的方法。離子輔助蒸著法 ，係在真空蒸著裝置中備有離子束產生裝置和中和器（ neutralizer)，令薄膜材料汽化，藉由離子束產生裝置將 惰性氣體或氧氣離子化並加速而將離子束朝向基板射出， 同時藉由中和器將離子束進行無帶電氣體化而將汽化的薄 膜材料加速，或將附著在基板上的薄膜材料攪拌（mixing )，以使其活性化而蒸著之方法。離子鍍法，係將蒸著粒 子離子化，藉由電場加速而使其附著在基板上，或以氣體 離子將基板上活性化而成膜的方法，有APS ( Advanced Plasma Source) 、E B E P ( Electron Beam Excited Plasma )法、射頻（Radio Frequency )直接基板施加法（在成膜 -27- 1242082 (24) 室內產生高頻氣體電漿的狀態下進行反應性之真空蒸著的 方法）等方式。濺鍍法，係令被電場加速的離子，衝撞薄 膜材料’敲擊薄膜材料使薄膜材料從濺鍍靶上蒸發，令蒸 發的粒子堆積在基板上的薄膜形成方法。 高分子薄膜的兩面貼合有水晶板的光學低通濾波鏡， 係由於高分子薄膜或黏著劑較不耐熱，因此在1 〇 〇 °c以下 之溫度的低溫成膜較爲理想。 反射防止膜，係無機被膜、有機被膜之單層或多層所 構成。亦可爲無機被膜和有機被膜之多層構造。無機被膜 的材質有，例如 Si02、SiO、Zr02、Ti02、TiO、Ti203、 Ti2〇5、AI2O3、Ta2〇5、Ce〇2、MgO、Y2O3、Sn〇2、MgF〕 、wo 3等無機物，可爲這些的單獨或兩種以上倂用。又， 多層膜構成時，以最外層爲Si02者爲理想。 無機被膜的多層膜，可舉例如從基材側起Zr〇2層和 Si 02層的合計光學膜厚爲；I / 4、Zr02層的光學膜厚爲λ /4、最上層的Si02層的光學膜厚爲λ / 4之四層構造。 此處，λ爲設計波長，通常採用5 20nm。 無機被膜的成膜方法，可採用的有例如真空蒸著法、 離子鍍法、濺鍍法、C V D法、飽和容易中藉由化學反應 而析出之方法等。 有機被膜的材質’可舉例如FFP(tetrafluoroethylene (四氟乙燒）-hexafluoropropylene (六氟丙稀）共聚物） 、PTFE ( Poly tetrafluoroethylene，聚四氟乙烯）、ETFE (ethylene (乙儲）-tetrafluoroethylene (四氟乙儲）共聚 -28- 1242082 (25) 物）等’考慮基材的折射率而選定。成膜方法，除了真空 蒸著法’還可使用旋轉塗佈法、浸塗（dip coat )法等量 產性優良的塗裝方法來成膜。 本發明之光學低通濾波鏡之製造方法中，這些紅外線 遮斷膜成膜工程和反射防止膜成膜工程，亦可省略。 (發明效果） 若根據本發明之光學低通濾波鏡之製造方法，則除了 可確實防止高分子薄膜及雙折射板之間存在有氣泡，還可 使生產性良好。 又’若根據本發明之光學低通濾波鏡之製造方法，則 可在真空氣氛中進行正確位置的貼合。 【圖式簡單說明】 〔圖1〕本發明之光學低通濾波鏡之製造方法的製造 工程之一例的流程圖。 〔圖2〕使用真空貼合裝置進行第i貼合工程時的圖 不。（a)是真空貼合裝置的槪要構成圖，（b)是誘導裝 置的放大剖面圖，（c )是第1雙折射板和高分子薄膜之 重疊配置關係的平面圖，（d )是在上側壓著板和下側壓 著板之間正在進行壓著之狀態的剖面圖。 〔圖3〕使用真空貼合裝置進行第2貼合工程時的圖 不。（a)是第1雙折射板、高分子薄膜及第2雙折射板 之重疊配置關係的平面圖，（b )是第1雙折射板、高分 -29- 1242082 (26) 子薄膜及第2雙折射板之垂直方向配置關係的剖面圖，（ c )是在上側壓著板和下側壓著板之間正在進行壓著之狀 態的剖面圖。 〔圖4〕分別內藏有加熱手段的上側壓著板和下側壓 著板的槪略構成圖。 〔圖5〕使用真空貼合裝置進行第2貼合工程時的其 他實施形態之圖示。（a )是第1雙折射板、高分子薄膜 及第2雙折射板之重疊配置關係的平面圖，（b)是第1 雙折射板、高分子薄膜及第2雙折射板之垂直方向配置關 係的剖面圖，（c )是在上側壓著板和下側壓著板之間正 在進行壓著之狀態的剖面圖。 〔符號說明〕 1…第1雙折射板 2…高分子薄膜 3…第2雙折射板 5…緩衝材 100…真空貼合裝置 1 10···真空處理室 121…下側壓著板 130…誘導裝置 131…升降針腳 132…誘導保持部 1 4 2…上側壓著板 -30-

Claims (1)

1242082 (1) 拾、申請專利範圍 1. 一種光學低通濾波鏡之製造方法，係屬於在硬質 的第1雙折射板和硬質的第2雙折射板之間，夾著高分子 薄膜（film )而成的光學低通濾波鏡之製造方法，其特徵 爲’具有： 將前記第1雙折射板貼合在前記高分子薄膜之第1貼 合工程；及 在第1貼合工程後，在真空氣氛下將前記第2雙折射 板壓著至前記高分子薄膜上的第2貼合工程。 2 ·如申請專利範圍第1項之光學低通濾波鏡之製造 方法，其中，前記第2貼合工程，是在真空氣氛下，先令 貼合有前記高分子薄膜的前記第1雙折射板和前記第2雙 折射板彼此離間而令前記高分子薄膜和前記第2雙折射板 呈面對面配置後，再令前記高分子薄膜和前記第2雙折射 板彼此接近，將它們進行壓著。 3.如申請專利範圍第1項之光學低通濾波鏡之製造 方法，其中， 前記第2貼合工程是在真空氣氛下，令貼合有前記高 分子薄膜的前記第1雙折射板或第2雙折射板之一方，被 保持在上下升降且常時往上方彈撥的誘導裝置上，再令其 與被配置在位於其下方之下側壓著板上的前記第1雙折射 板或前記第2雙折射板之另一方彼此離間而令前記高分子 薄膜和前記第2雙折射板呈面對面配置後，令上側壓著板 降下而使被保持在前記誘導裝置內的前記第1雙折射板或 -31 - 1242082 (2) 第2雙折射板之一方抵抗前記誘導裝置之彈撥力而降下， 藉由前記上側壓著板使得前記高分子薄膜和前記第2雙折 射板彼此接近’而使前記第1雙折射板、前記高分子薄膜 以及前記第2雙折射板在前記上側壓著板和前記下側壓著 板之間夾緊壓著。 4.如申請專利範圍第1項至第3項之任一項所記載 之光學低通濾波鏡之製造方法，其中，前記第2貼合工程 是在已加熱的上下壓著板之間夾緊壓著。 5 .如申請專利範圍第1項之光學低通濾波鏡之製造 方法，其中， 前記第1貼合工程，是在真空氣氛下將前記第1雙折 射板壓著至前記高分子薄膜。 6. 如申請專利範圍第1項至第3項之任一項所記載 之光學低通濾波鏡之製造方法，其中’具有：對前記第2 貼合工程所製造的光學低通濾波鏡一邊加熱一邊施加壓力 之加壓處理工程。 7. 如申請專利範圍第1項至第3項之任一項所記載 之光學低通濾波鏡之製造方法，其中’前記真空氣氛係在 500Pa至IPa之範圍內。 8 ·如申請專利範圍第1項至第3項之任一項所記載 之光學低通濾波鏡之製造方法，其中’前記壓著的加壓力 是在1 969600Pa至45 96000Pa之範圍內。 9 ·如申請專利範圍第4項之光攀低通濾'波鏡之製造 方法，其中，前記第2貼合工程中的加熱溫度是在3 〇 C -32- 1242082 (3) 至8 0 °C之範圍內。 1 0 .如申請專利範圍第1項至第3項之任一： 光學低通濾波鏡之製造方法，其中，在前記第 後，在真空氣氛下將前記第2雙折射板壓著至ί 薄膜的第2貼合工程中，在下側壓著板和雙折！ 或/及在上側壓著板和雙折射板之間，夾著緩彳 壓著。 I所記載之 1貼合工程 [記高分子 •板之間， ί材而進行 -33-