TWI236999B - Processing and keeping apparatus - Google Patents

Description

1236999 玖、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於一種處理及保管設備，係由物品的處理 裝置和保管處理前後的物品的自動倉庫所構成。 【先前技術】 例如’在液晶用玻璃基板等的各種薄型顯示用基板的製 造生產線中，對於在處理裝置中之各基板進行各種處理的 前後’爲使多枚基板以收容在盒式箱內的狀態保存在自動 倉庫。也就是對於多個的處理裝置爲配製有一個自動倉 庫’當處理裝置空置下來時，在對應於該空置處理裝置的 位置供給保管在自動倉庫的一個盒式箱，在處理裝置中爲 依序處理盒式箱內的各個基板，在完成所有的基板處理 時’將收容處理完畢的基板的盒式箱再次保管在自動倉庫 內。 使用如上述之已知的處理及保管設備，例如在日本發明 專利申請公開公報之特開200 1 -4426 1號所記載，是使自動 倉庫與各個處理裝置直接連接。此種已知之處理及保管設 備雖然可以抑制初期的成本，但是由於製造計晝的變更 等，而變更處理裝置的數量或者配置時，也必須變更對於 自動倉庫側之各個處理裝置的出入庫口，造成需要耗費大 量的時間和費用。另外，由於增大自動倉庫內的出入庫口 用起重器所需要的負荷，所以需要能夠勝任該負荷的起重 器。 【發明內容】 1236999 本發明的目的在於解決如上所述之已知的問題點，按照 後述的本發明的處理及保管設備的構成的實施方式中賦予 的參照符號，本發明的處理及保管設備是由自動倉庫1、 多個的處理裝置2A〜2G、以及在兩者間搬送被搬送物（盒式 箱K)的搬送裝置3所構成，自動倉庫1具有立體的保管收 容隔室4的擱架5 A，以及在該擱架5A間可以移載被搬送 物（盒式箱K)的出入庫用起重器7。處理裝置2 A〜2G係爲， 對於自動倉庫1之上述擱架5A爲在與出入庫用起重器7 所在之側的相反側上爲沿著該擱架5 A、以適當的間隔所配 置，搬送裝置3是由在自動倉庫1的上述擱架5A和上述 處理裝置2A〜2G間沿著擱架5A形成的行走路徑16可行走 的搬送用行走體（自走台車17)構成的，上述自動倉庫1上 設置用上述出入庫用起重器7可以交接被搬送物（盒式箱K) 的出入庫口 10、11，並且相鄰上述搬送行走體（自走台車 17)的行走路徑16，在上述搬送裝置3的搬送用行走體（自 走台車17)上，設置在各處理裝置2A〜2G間和上述出入庫 口 10、11間可以交接被搬送物（盒式箱K)的被搬送物移載 機構1 8。 若藉由如上述所構成之本發明的處理及保管設備，則無 需如已知的將自動倉庫和多個處理裝置經由設置在該自動 倉庫的出入庫口所直接地連接，而是在兩者間夾設具備有 沿自動倉庫之擱架行走之搬送用行走體的搬送裝置，經由 該搬送裝置，在自動倉庫側形成出入庫α和各處理裝置間 進行被搬送物之交接，因此即使在由於製造計畫的變更等 1236999 而變更處理裝置數或者配置時，無須增減自動倉庫側之出 入庫□的數.或者變更位置，可以削減在此情況下所必要的 時間和費用。另外，亦可減少施加在自動倉庫內之出入庫 用起重器的負荷，實施起來更容易。 實施_h述構成的本發明時，如申請專利範圍第2項所記 載’前述搬送裝置3之搬送用行走體係由可在地面上自動 行走;的自走台車17所構成，上述自動倉庫1的出入庫口 10、11可以形成在該自動倉庫1之上述擱架5A內的下部。 若藉由此種構造，係可以地面上之較低位準、且略水平狀 的構成在自動倉庫之擱架側所設之出入庫口以及搬送裝置 之搬送用行走體（自走台車）與各處理裝置間的被搬送物的 移載路徑’將被搬送物的移載路徑單純化、且容易實施， 而且可以效率筒地進丫了被搬送物的移載。 另外’如申請專利範圍第3項所記載，當上述被搬送物 爲收容以上述處理裝置2A〜2G所處理之多個工件 W(例 如’液晶用玻璃基板等的各種薄型顯示用基板）的盒式箱K 時，各處理裝置2A〜2G上可以設置工件移載機構15，該移 載機構15是用來取出從上述搬送裝置3移載的盒式箱κ 內的工件W，搬送到處理位置1 4的同時，將處理完的工件 W取回到盒式箱K內。若藉由此種構造，可以構成適於液 晶用玻璃基板等的各種薄型顯示用基板的處理及保管的設 備。 【實施方式】 以下參照附圖說明本發明之較佳實施例，1是自動倉 1236999 庫、2A〜2G是並設在自動倉庫1 一側之多個處理裝置、3 是配置在自動倉庫1和處理裝置列間的搬送裝置。自動倉 庫1是由2列擱架5 A、5 B和出入庫用起重器7所構成， 該種2列擱架5 A、5 B爲分別具有立體保管用收容區隔件 4，而該種出入庫用起重器7係被配置在該擱架5A、5B間 的通路6內。該出入庫用起重器7係爲已知之物，在其升 降托盤9上搭載著移載機構（工作叉等）8，其是用來接受在 兩個擱架5A、5B的保管用收容隔室4間作爲搬送物的盒 式箱K。另外’在鄰接搬送裝置3側的擱架5 A上設置與搬 送裝置3間的出庫口 1 0和入庫口 1 1，其是利用保管用收 容隔室4內，最下段起重器行走方向的適當位置上的2個 保管用收容隔室4。 此外，盒式箱K，其內部係以上下多層收容有工件W， 例如液晶用玻璃基板等的各種薄型顯示用基板，該等工件 W對於盒式箱K可以水平地取出和放入。 雖然省略圖示，但是對於自動倉庫1之盒式箱K的入庫 用輸送帶和出庫用輸送帶是並設在擱架間通路6的一端左 右兩側，以入庫用輸送帶搬入之盒式箱K係由出入庫用起 重器7的移載機構8所承接、收容保管在擱架5A、5B內 的任意保管收容隔室4內。另外，被收容保管在擱架5 A、 5B內之任意保管收容隔室4的盒式箱K(亦即，收容處 理完的工件W的盒式箱Κ)，爲藉由出入庫用起重器7之移 載機構8取出，搬出至上述的出庫用輸送帶上，搬送到需 要的地點。 1236999 此外，在圖示例中，僅對擱架5 A、5 B內的一側的擱架 5A並列設置處理裝置2A〜2G和搬送裝置3，但是對另一方 的擱架5B亦可並列設置處理裝置2A〜2G和搬送裝置3。 此時，在該擱架5 B亦可設置與搬送裝置3間的出庫口 1 0 和入庫口 11。當然，亦可僅在出入庫用起重器7的通路6 之一側立設有擱架5 A的自動倉庫。 各個處理裝置2A〜2G係設有··盒式箱支撐部13，爲位 於搬送裝置3側；工件移載機構（機器手）1 5，其是用以在 被盒式箱支撐部1 3支撐的盒式箱K內和處理位置1 4間交 接工件W ;因此，對於供給至處理位置14的工件W可以 自動地進行規定的處理。 搬送裝置3係爲一種利用在自動倉庫1的擱架5A和處 理裝置列間之行走路徑1 6而在地面上進行自走的自走台 車1 7，在自走台車1 7上，設置可以進行升降運動和朝向 左右兩方向之出退運動的工作叉等的移載機構18,藉由該 移載機構18,可鄰接在已停止之自走台車17的擱架5A內 的出入庫口 10、11間，以及任意處理裝置2A〜2G的盒式 箱支撐部1 3間交接盒式箱K。 在上述構成的處理及保管設備中，當處理裝置2A〜2 G空 置時，則將收容有在自動倉庫1的擱架5A、5B內之收容 隔室4所保管之未處理工件W的盒式箱K之出庫指令，傳 遞至入庫用起重裕7。其結果 > 藉由出入庫用起重器7之 行走和升降托盤9之升降，在使移載機構8移動到對應於 出庫對象的收容隔室4之位置後，該移載機構8的接受盒 -10 - 1236999 式箱的動作啓動，例如移載機構8是工作叉時，藉由升降 托盤9之升降運動和工作叉的進退運動之組合所構成的盒 式箱掬起動作，從出庫對象的收容隔室4將作業對象的盒 式箱K拉出到升降托盤9上，之後，藉由出入庫用起重器 7之行走和升降托盤9之升降，使該升降托盤9移動到鄰 接出庫口 1 0的位置，而且，移載機構8送出盒式箱的動作 啓動’例如通過升降托盤9的升降運動和移載機構8(工作 叉）的進退運動的組合使盒式箱K下降，將升降托盤9上的 盒式箱K移載到出庫口 1 〇。 接著，搬出至出庫口 10之作業對象的盒式箱K，爲藉 由搬送裝置3之自走台車17而被搬送至處理裝置2 A〜2G 內之空置狀態的處理裝置，例如爲處理裝置2B。亦即，若 藉由自走而使自走台車1 7移動到對應出庫口 1 〇的位置 時，移載機構1 8之盒式箱的承接動作、例如移載機構1 8 是工作叉時，藉由升降運動和進退運動之組合而掏起盒式 箱的動作，將出庫口 10之盒式箱K移載至自走台車17上， 之後，使該自走台車17移動到目的之處理裝置2B。若自 走台車1 7停止在對應於目的之處理裝置2 B的位置時，移 載機構1 8之送出盒式箱的動作啓動，例如移載機構1 8 (工 作叉）之升降運動和進退運動的組合使盒式箱進行卸下動 作’使自走台車17上的盒式箱K移載至處理裝置2B內的 盒式箱支撐部13上。在處理裝置2B內，盒式箱K內之未 處理的工件W爲經由工件移載機構（機器手）〗5移動到處理 位置1 4，處理完畢後，已處理後之工件w爲經由工件移載 1236999 機器手1 5而返移在盒式箱支撐部1 3上待機的盒式箱κ 內。 在如上所述之處理裝置2Β中，在結束對於盒式箱κ內 之所有的工件W處理後，收容處理完畢工件W的盒式箱 Κ，藉由與從出庫口 1〇向處理裝置2Β之搬送盒式箱κ的 操作相反的順序，以搬送裝置3從處理裝置2 Β搬送到自動 倉庫1的入庫口 1 1。移載到入庫口 1 1的盒式箱Κ爲藉由 出入庫用起重器7入庫保管在擱架5Α、5Β內所選擇出的 空置狀態的收容隔室4內。該入庫作業是與向出庫口 1 〇將 盒式箱Κ的進行出庫作業時相反的順序進行。 此外，當出庫口 10爲空置狀態時，處理裝置2Α〜2 G即 使不是空置狀態，亦可將下次處理作業物件之盒式箱Κ從 擱架5Α、5Β出庫到出庫口 10。另外，設置在擱架5Α內 的出入庫口 10、11亦可在與出入庫用起重器7之間的移載 位置和自走台車1 7的移載位置間具有搬送盒式箱κ的搬 送機構。進而，作爲搬送裝置3亦可使用頂上行走台車形 式的搬送裝置。此時，設置在自動倉庫1側的出入庫口 1 〇、 1 1也要設置成對應頂上行走台車的行走路徑的高度，但是 各個處理裝置2 Α〜2 G要設置在頂上行走台車的行走路徑的 正下方的地面上，頂上行走台車側具有移載機構的裝物台 要從該頂上行走台車可升降地吊下來，通過該升降裝物 台，在各處理裝置2A〜2G的盒式箱支撐部13和其上方的 頂上（頭上）行走台車之間吊下盒式箱K來進行升降移載的 機構。 -12- 1236999 此外，設置在自動倉庫1側的出入庫口 1 〇、U係爲， 在圖中爲表示區別成出庫口 10和入庫口 Π所設置之例， 但是亦可設置一個出入庫兼用的口，或者出庫口 10和入庫 口 1 1分別設置多個。另外，處理裝置的個數增多時，可以 配置多台搬送裝置3的自走台車17 (包括上述的頂上行走 台車），但是，此時各個行走台車1 7的各個路徑要分開， 特定接受處理裝置也是可以的，或者在互相共同的行走路 徑上可以自由地進行行走的結構。前者的情況時，對各自 行走台車1 7的行走路徑在自動倉庫1側需要設置出入庫口 10、11，後者時，在各自走台車17可以設置共同的出入庫 □ 1 0、1 1。 【圖式簡單說明】 第1圖顯示全體設備的槪略平面圖。 第2圖係爲該全體設備的正面圖。 【主要部分之代表符號說明】 1 :自動倉庫 2Α〜2G:處理裝置 3 :搬送裝置 4 :保管收容隔室 5 A、5Β :擱架 6 :通路 7:出入庫用起重器 8 :移載機構 9 :升降托盤 1236999 10 11 13 1 4 15 16 17 18 W κ ： :出庫口 :入庫口 :盒式箱支撐部 :處理位置 =移載機構 :行走路徑 :自走台車 :移載機構 工件 盒式箱

Claims (1)

1236999 拾、申請專利範圍： 1. 一種處理及保管設備，其特徵在於：是由由自動倉庫、多 個的處理裝置'以及在兩者間搬送被搬送物的搬送裝置所 構成，自動倉庫具有立體的保管收容隔室的擱架，以及在 該擱架間可以移載被搬送物的出入庫用起重器。處理裝置 係爲，對於自動倉庫之上述擱架爲在與出入庫用起重器所 在之側的相反側上爲沿著該擱架、以適當的間隔所配置， 搬送裝置是由在自動倉庫的上述擱架和上述處理裝置間 沿著擱架形成的行走路徑可行走的搬送用行走體構成 的’上述自動倉庫上設置用上述出入庫用起重.器可以交接 被搬送物的出入庫口，並且相鄰上述搬送行走體的行走路 徑，在上述搬送裝置的搬送用行走體上，設置在各處理裝 置間和上述出入庫口間可以交接被搬送物的被搬送物移 載機構。 2. 如申請專利範圍第1項之處理及保管設備，其中前述搬送 裝置之搬送用行走體係由可在地面上自動行走的自走台 車所構成，上述自動倉庫的出入庫口可以形成在該自動倉 庫之上述擱架內的下部。 3. 如申請專利範圍第1或2項之處理及保管設備，其中上述 被搬送物爲收容以上述處理裝置所處理之多個工件的盒 式箱，各處理裝置上可以設置工件移載機構，該移載機構 是用來取出從上述搬送裝置移載的盒式箱內的工件’搬送 到處理位置的同時，將處理完的工件取回到盒式箱內。