JP2592687B2 - クリーンルーム内の荷取扱い設備 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はたとえば半導体のような塵埃を極端にきらう
荷（物品）の搬送や保管に採用されるクリーンルーム内
の荷取扱い設備に関するものである。

従来の技術 従来この種の設備としては、たとえば実願昭61−1931
70号（実開昭63−100425号公報）に示すように、レール
装置に案内される自走台車の搬送経路を、荷保管装置の
本体側方に通過させて、本体側方にステーションを形成
し、移載装置により、ステーションの自走台車と本体内
の荷支持台との間で荷を受け渡しするものである。ま
た、この本体内には、荷支持台と棚との間で荷を搬入す
る搬入出装置が配設される。

発明が解決しようとする課題 上記従来構成によれば、たとえば荷を連続して入庫や
出庫を繰り返す場合、自走台車により搬送された荷を移
載装置により荷支持台に移載する。つぎに搬入出装置に
より、荷支持台から棚に搬入し、次に棚から出庫用の荷
を取出して荷支持台に搬入し、再び移載装置を駆動して
荷支持台の荷を自走台車に移載し、出庫を完了する。こ
のような行程を繰り返すため、自走台車の待ち時間が長
くきわめて作業効率が悪い。したがって、たとえば半導
体工場等の高集積度集積回路を生産する工程間搬送回数
の増加に対応できないという問題があった。

本発明は上記問題を解決して自走台車の待ち時間を短
くでき、作業効率を向上できるクリーンルーム内の荷取
扱い設備を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段 上記問題点を解決するために本発明は、レール装置
と、このレール装置に案内される自走台車とにより荷搬
送装置を構成し、この荷搬送装置の搬送経路を、箱状の
本体で囲まれた荷保管装置の側方に通過形成するととも
に、本体の側方に搬送経路のステーションを形成し、前
記本体内に、出庫用コンベヤと、入庫用コンベヤと、出
庫用コンベヤの出口と入庫用コンベヤの入口に接続され
て前記ステーションの側方を通過する荷捌きコンベヤと
を設け、前記本体に形成した開口を介してステーション
位置の自走台車と荷捌きコンベヤの荷捌き位置との間で
荷を受け渡しする移載装置を設け、前記本体内に、本体
内に配設された棚から出庫用コンベヤに荷を搬出する出
庫用搬出装置と、入庫用コンベヤから前記棚に荷を搬入
する入庫用搬入装置とを設けたものである。

作用 上記構成において、自走台車をレール装置に沿って走
行させてステーション位置で停止させ、出庫用搬出装置
を駆動して荷を出庫用コンベヤ上にストレージするとと
もに荷捌きコンベヤの荷捌き位置に移送する。そして、
移載装置を駆動して荷捌きコンベヤ上の荷を自走台車に
移載するとともに、自走台車上の荷を荷捌きコンベヤに
移載する。次に、ステーションから自走台車を発車させ
て次の自走台車を停止させ、各コンベヤを所定ストロー
ク移動させて荷捌き位置に次に出庫する荷を移送する。
そして、入庫用搬入装置を駆動して入庫用コンベヤ上の
荷を棚に搬入するとともに、出庫用搬出装置を駆動して
棚から出庫する荷を出庫用コンベヤに搬出する。以上の
動作を繰り返すことにより、入庫用搬入装置の入庫所要
時間または出庫用搬出装置の出庫所要時間で入出庫を連
続して繰り返すことができ、従来に比べて入出庫作業時
間を大幅に削減できる。

実施例 以下本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。

１はクリーンルーム２内に設置した荷保管装置で、矩
形箱体状の本体３と、この本体３内の奥部に一定間隔を
あけて互いに対向して配設され上下方向に複数の区画収
納空間4A,4Bを有する入庫用棚5Aおよび出庫用棚5Bと、
入出庫用棚5A,5Bの端部から前方に向かって互いに平行
に配設された入庫用コンベヤ6Aおよび出庫用コンベヤ6B
と、本体３の前面に沿って配設されて出庫用コンベヤ6B
の出口と入庫用コンベヤ6Aの入口とを接続する荷捌きコ
ンベヤ6Cと、入庫用棚5Aおよび入庫用コンベヤ6Aの前面
に沿う一定経路7A上を移動自在に配設されて入庫用コン
ベヤ6A上の荷８を入庫用棚5Aの区画収納空間4Aに搬入す
る入庫用搬入装置9Aと、出庫用棚5Bおよび出庫用コンベ
ヤ6Bの前面に沿う一定経路7B上を移動自在に配設されて
出庫用棚5Bの荷８を出庫用コンベヤ6Bに搬出する出庫用
搬出装置9Bとを備えている。前記出庫用搬出装置9Bの一
定経路7B上の本体３前面には開口10が形成され、この開
口10に対向する荷捌きコンベヤ6C上が荷捌き位置（ニ）
に設定される。また、出庫用コンベヤ6Bは入口を出庫位
置（イ）、中間部および出口を出庫側ストレージ位置
（ロ）（ハ）に設定され、入庫用コンベヤ6Aは入口およ
び中間部を入庫側ストレージ位置（ホ）（ヘ）に、出口
を入庫位置（ト）に設定される。

前記クリーンルーム２は天井側からフィルター11を介
してクリーンエアを下吹きし、下降するクリーンエアを
メッシュ形式の床12を通して床下に吸引するものであ
る。また、本体３内には独自に設けたクリーンユニット
またはクリーンルーム２用のクリーンユニットが設けら
れ、エアフィルター13やエアダクト14が配設される。前
記搬入出装置9A,9Bは、それぞれ一定経路7A,7Bに沿って
配設された床レール15に案内されて移動自在な走行機台
16と、この走行機台16に立設されて上端が天井レール17
に案内されるポスト18と、このポスト18に案内されて昇
降自在でかつ荷８を支持可能な振り出し式の保持アーム
19を有する昇降台20とを備えている。

前記開口10の外方には、本体３の前面に沿う一定の搬
送経路21を有する荷搬送装置22が配設される。この荷搬
送装置22は、搬送経路21に沿って配設されて上面開放の
Ｃ字形のレール装置23と、このレール装置23に車輪を介
して支持案内されて荷受台24aを有する自走台車24と、
レール装置23と自走台車24を囲みエアを吸引するダクト
25を備えている。そして、開口10に対向する位置はステ
ーション26に形成され、開口10の部分には開口10を通し
てステーション26の自走台車24と荷捌きコンベヤ6C荷捌
き位置（ニ）との間で荷８の受け渡しを行う移載装置27
が配設される。この移載装置27は、基台28上に垂直軸心
回りに回転自在に配設された回転体29と、この回転体29
の対称位置に突設されて昇降自在でかつ接近離間自在に
左右一対で２組の支持腕30と、これら支持腕30と直交す
る方向に突設されて開口10を閉鎖自在な左右一対の扉体
31とを備えている。

32A,32Bは本体３の後部に配設された工程加工のため
に入出庫するコンベヤ、33は工程内搬送ロボットであ
る。

次に上記実施例の作用を説明する。

荷受台24aに荷８を積載した自走台車24がレール装置2
3に案内されて搬送経路21を走行し、ステーション26に
停止される。本体３内では、出庫用搬出装置9Bが駆動さ
れて出庫用棚5Bの荷８が出庫用コンベヤ9Bの出庫位置
（イ）に順次搬出され、また出庫用コンベヤ6Bが１スト
ロークずつ間欠運転されて矢印Ａ方向に沿って出庫側ス
トレージ位置（ロ）（ハ）に送られ、そして荷捌きコン
ベヤ6Cが矢印Ｂ方向に駆動されて荷捌き位置（ニ）に移
送される。次に、移載装置27を駆動し、離間状態の支持
腕30をそれぞれ下降して接近動させ、自走台車24および
荷捌きコンベヤ6Cの荷８をそれぞれ支持させて上昇させ
る。そして、回転体29を180゜回転させて支持腕30を下
降、離間動、上昇し、自走台車24の荷８を荷捌きコンベ
ヤ6Cの荷捌き位置（ニ）に移載する同時に荷捌き位置
（ニ）の荷８を自走台車24の荷受台24aに移載する。こ
れら移載装置27や自走台車24の入換え作業中に、本体３
内では荷捌きコンベヤ6Cから入庫用コンベヤ6Aを矢印Ｃ
方向に駆動して入庫位置（ト）に運ばれた荷８を入庫用
搬入装置9Aにより順次目的とする入庫用棚5Aの区画収納
空間4Aに搬入し、また出庫用棚5Bの区画収納空間4Bの荷
８を出庫用搬出装置9Bにより順次出庫用コンベヤ6Bの出
庫位置（イ）に搬出する。

次に荷10の連続入庫作業と連続出庫作業とを説明す
る。

連続入庫する場合には、荷捌きコンベヤ6Cおよび入庫
用コンベヤ6Aを同期駆動し、自走台車24で運ばれてくる
荷８を移載装置22を介して順次荷捌きコンベヤ6Cの荷捌
き位置（ニ）に移載し、そして入庫側ストレージ位置
（ホ）（ヘ）から入庫位置（ト）に送る。同時に、入庫
用搬入装置9Aを駆動して入庫位置（ト）の荷８を入庫用
棚5Aに搬入する。

連続出庫する場合は、出庫用コンベヤ6Bおよび荷捌き
コンベヤ6Cを同期駆動し、出庫用搬出装置9Bにより出庫
位置（イ）に搬入された荷８を出庫側ストレージ位置
（ロ）（ハ）を介して荷捌き位置（ニ）に移送し、移載
装置27により順次荷８をステーション26位置の自走台車
24の荷受台24aに移載する。同時に、出庫用搬出装置9B
を駆動して出庫用棚5Bから入庫位置（イ）に荷８を連続
して補充する。

前記入庫および出庫の連続作業では、少なくとも入庫
用コンベヤ6A,6Bのストレージ数の荷８を搬入搬出装置9
A,9Bの作業時間に関係なく、連続して入出庫することが
できる。

発明の効果 以上に述べたごとく本発明によれば、荷保管装置の荷
捌き位置に荷捌きコンベヤを設けるとともに、この荷捌
きコンベヤに対して荷を受渡しする入庫用コンベヤおよ
び出庫用コンベヤを設け、入庫用コンベヤから棚に荷を
搬入する入庫用搬入装置と、棚から出庫用コンベヤに荷
を搬出する出庫用搬出装置を設けたので、連続した搬入
出作業に要する待ち時間を、入庫用搬入装置または出庫
用搬出装置の入出庫作業の１サイクルに必要な時間とす
ることができ、従来に比べて待ち時間を半減できる。さ
らに、入庫用コンベヤおよび出庫用コンベヤにストレー
ジできる分だけ、荷を連続して入庫および出庫すること
ができ、自走台車がステーションに集中した時に容易に
対応できる。したがって、通常時の入出庫処理能力を大
幅に向上でき、しかも集中した入庫や出庫に対しても容
易に対応できて効率のよい入出庫作業が行える。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示し、第１図は荷保管装置の
平面断面図、第２図は第１図に示すＩ−Ｉ断面図であ
る。 （イ）……出庫位置、（ロ）（ハ）……出庫側ストレー
ジ位置、（ニ）……荷捌き位置、（ホ）（ヘ）……入庫
側ストレージ位置、（ト）……入庫位置、１……荷保管
設備、２……クリーンルーム、３……本体、5A……入庫
用棚、5B……出庫用棚、6A……入庫用コンベヤ、6B……
出庫用コンベヤ、6C……荷捌きコンベヤ、８……荷、9A
……入庫用搬入装置、9B……出庫用搬出装置、10……開
口、21……搬送経路、22……荷搬送装置、24……自走台
車、26……ステーション、27……移載装置。

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】レール装置と、このレール装置に案内され
   る自走台車とにより荷搬送装置を構成し、この荷搬送装
   置の搬送経路を、箱状の本体で囲まれた荷保管装置の側
   方に通過形成するとともに、本体の側方に搬送経路のス
   テーションを形成し、前記本体内に、出庫用コンベヤ
   と、入庫用コンベヤと、出庫用コンベヤの出口と入庫用
   コンベヤの入口に接続されて前記ステーションの側方を
   通過する荷捌きコンベヤとを設け、前記本体に形成した
   開口を介してステーション位置の自走台車と荷捌きコン
   ベヤの荷捌き位置との間で荷を受け渡しする移載装置を
   設け、前記本体内に、本体内に配設された棚から出庫用
   コンベヤに荷を搬出する出庫用搬出装置と、入庫用コン
   ベヤから前記棚に荷を搬入する入庫用搬入装置とを設け
   たことを特徴とするクリーンルーム内の荷取扱い設備。