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經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Λ d Λ 2 厶 3 α7 Β7 五、發明説明（i ) 本發明係關於，例如在半導體製造裝置等用來運送被 運送体之半導«晶圓之搬送裝置。 傳統上這種搬送裝置，係被當作在例如處理裝置之晶 圓收容室與處理室之間運送半導體晶®之裝置使用。這種 搬送裝置有’例如習知之備有蛙腿式臂者，或備有平行連 桿式臂者。蛙腿式臂者，備有，例如基端部分別連結在联 動軸之一對驅動臂’經由關節分別連結在此等驅動臂前端 部之一對前臂，以及’分別連結在此等前臂之前端部之晶 圓保持体。而例如一對前臂之前端部，係經由上下兩層之 轉動鼓輪連結在晶圓保持体。在各上下轉動鼓輪，交叉架 設有上下兩條鋼帶，一對前臂確實同步以相同角度向互為 反方向轉動。或者以齒輪機構代替由轉動鼓輪及鋼帶構成 之姿勢保持用機構》這種姿勢保持用機構，可以使蛙腿式 臂以保持左右對稱之姿勢伸縮。同時，這種姿勢保持用機 構也可以當作動力傳遞機構，供平行連桿式臂之關節部等 使用β 然而卻有’例如’半導艘晶圓之處理室常是高溫，且 腐钱性高之環境’如果令具有鋼帶等輸送帶之臂在這種環 境進出’便會使輸送帶曝露在高溫下之腐蝕性環境。鋼帶 等之耐熱性'耐腐蝕性有限’在處理室等之高溫腐蝕性環 境下’壽命會縮短之課題·•同時，使用齒輪之搬送裝置時 ’雖然沒有鋼帶等之問題’但齒輪卻容易發生成為飛塵之 原因之顆粒，又因餘隙等造成之運送準確度上之課題。 本發明在解決上述課題，其目的在提供，不使用輸送 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS)六4現格（2丨0/297公兼） ---------<------ίτ-------^ . --- . - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 4 Α7 Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（2 ) 帶或齒輪等傳動機構’耐熱性、耐腐蝕性優異，能夠恆常 以穩定之姿勢正確且確實運送半導體晶圓等被運送体之搬 送裝置。 本案第1發明之搬送裝置係具備有：支持体；以此支 持体支持之第1、第2轴；基端部連結在第1、第2轴之蛙腿 式臂；以及，連結在此蛙腿式臂之前端部，用以保持被運 送体之保持体之搬送裝置，其特徵在於，上述蛙腿式臂備 有：基端部轴支在第1轴之可轉動之第1驅動臂；基端部轴 支在第2軸之可轉動之第2驅動臂；經由第1關節將基端部 麵支在第1驅動臂前端部之可轉動之第1前臂：以及，經由 第2關節將基端部軸支在第2驅動臂前端部之可轉動之第2 前臂，上述保持体係經由第3、第4關結軸支在第1、第2前 臂之各前端部’且配設有，由連結第1、第2前臂與上述保 持体之兩根相似之反平行連桿機構所構成之姿勢保持用連 桿’而經由此姿勢保持用連桿，節制上述保持体對第1、 第2前臂之轉動。 而本案第2發明之搬送裝置，係如第1發明之搬送裝置 ，其特徵在於’第1轴及第2軸共有轴心，同時，第3關節 及第4關節也共有軸心，第1、第2驅動臂及第1、第2前臂 之長度全部相同，並配設有面向第1驅動臂之連桿，將此 連桿之兩端部，分別連結在第1前臂及第2驅動臂，而構成 平行連桿機構，此平行連桿機構在與同軸搆造之第3、第4 關節，跟同軸構造之第1、第2關節重疊之位置不同之位置 形成思索點。 本紙張尺度適用中國國家標準（CMS ) A4規格ί 210X297公釐） <請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 訂 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 >.d /14 2 4 3 A7 B7 五、發明説明（3 ) 而本案第3發明之搬送裝置’係具備有：支持体；以 此支持体支持之共有軸心之第1、第2轴；基端部連結在第 1 '第2轴之蛙腿式臂；以及’連結在此蛙腿式臂之前端部 ，用以保持被運送体之保持体之搬送裝置，其特徵在於， 上述蛙腿式臂備有：基端部轴支在第1轴之可轉動之第！媒 動臂；基端部轴支在第2轴之可轉動之第2驅動臂；經由第 1關節將基端部轴支在第1驅動臂前端部之可轉動之前臂； 以及，平行面向第1驅動臂，兩端部分別連結在上述前臂 及第2驅動臂之兩根連桿；第1、第2驅動臂、前臂及兩根 連桿之長度設定成同一長度，同時，以此等3根臂及兩根 連桿構成兩個平行連桿機構，上述兩個平行連桿機構在互 不相同之位置形成思索點，同時，由第1、第2驅動臂、上 述前臂構成菱形之3邊，上述保持体係經由第2關節轴支在 上述前臂之各前端部，且配設有，由連結上述前臂、第2 驅動臂與上述保持体之兩根相似之反平行連桿機構所構成 之姿勢保持用連桿，而經由此姿勢保持用連桿，節制上述 保持体對第1 '第2前臂之轉動。 而本案第4發明之搬送裝置，係如第2發明或第3發明 之搬送裝置，其特徵在於，上述保持体在兩端部有被運送 体之保持部，在上述保持部之中間配置關節。 而本案第5發明之搬送裝置，係具備有：支持体：以 此支持体支持基端部側之平行連桿式臂；以及，連結在此 平行連桿式臂之前端部’用以保持被運送体之保持体之搬 送裝置’上述平行連桿式臂備有：固定在上述支持体之第 (CNS) ^τΐΓ〇χ297^) ----If --奘------訂------線 I 1 {請先闐讀背面之注意事項再填寫本頁} 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 __________Β7 五、發明説明（4 ) 1連桿，基端部轴支在貫穿第1連桿一端部之驅動轴之可轉 動之驅動臂；經由第1關節將基端部轴支在第丨連桿之另一 端部之可轉動之從動臂；分別經由第2、第3關節軸支在上 述堪動臂及上述從動臂之各前端部之可轉動之第2連桿； 以及’基端部分別轴支在第2連桿之可轉動之第1、第2前 臂，上述保持体係經由第4'第5關節轴支在第1、第2前臂 之各前端部，且配設有，由連結上述驅動臂或上述從動臂 、第2連桿、第1前臂或第2前臂之兩根相似之反平行連桿 機構所構成之姿勢保持用連桿，而經由此姿勢保持用連桿 ’使上述保持体直線前進。 依據本案第1發明或第5發明時，可以提供，不使用輸 送帶或齒輪等傳動機構，耐熱性、耐腐蝕性優異，能夠恆 常以穩定之姿勢正確且確實運送半導體晶圓等之被運送体 之具有蛙腿式臂，或平行連桿式臂之搬送裝置。 而依據本案第2發明或第4發明時，可以提供，如第I 發明之能以支持体為中心，向其前後左右自由運送被運送 体之備有蛙腿式臂之搬送裝置。 而依據本案第3發明時，則可以提供，能發揮與第 明同樣之作用效果，同時，能夠將被運送体運進運出狹小 之開口部之備有蛙腿式臂之搬送裝置。 茲參照第1圖〜第17圓所示之實施形態’說明本發明 如下 本發明第1實施形態之搬送裝置，係例如第〗、第2圖 所不，具備有：第1、第2驅動軸（未圖示）成同軸構造之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) (210χ297公釐） ^π------^ <請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 厶 4 4 2 4 3 A7 B7 五、發明説明（5 ) 動轴（為了方便，以後簡稱為「驅動轴」）1 ;在軸心位置 支持驅動轴1’同時内設有骧動轴1之驅動源之支持体2: 基端部連結在支持体2之驅動轴1之蛙腿式臂3:連結在蛙 腿式臂3之前端部之晶圓保持体4 ;以及，節制晶圓保持体 4之轉動，將晶圓保持体4恆常保持成一定姿勢之姿勢保持 用連桿5。構成驅動轴1之第1驅動轴係空心轴，第2驅動軸 係貫穿空心轴之軸心之轴，第1、第2轴均連結在驅動源， 分別可以正反轉。第1、第2柏互向反方向一次轉動同一角 度，則可以使蛙腿式臂3伸维。第1、第2轴互同反方向一 次轉動同一角度，則可以使蛙腿式臂3變換運送方向。因 此，若將本實施形態之搬送裝置，應用在多處理室之處理 裝置，便可以對多數處理室自由運進運出晶圓。 上述蛙腿式臂3備有：基端部轴支在第1駆動轴之可正 反轉之第1驅動臂6A;基端部轴支在第2驅動轴之可正反 轉之第2驅動臂6B;基端部經由第1關節7軸支在第丨驅動 臂6A前端部之可正反轉之第1前臂8A ;以及，基端部經由 第2關節9轴支在第2驅動臂6B前端部之可正反轉之第2前 臂8B。第1、第2前臂8A、8B之各前端部，係經由同轴構 造之第3、第4關節10(為了方便，以後簡稱為「關節1〇」） 轴支在晶圓保持体4之基端部之寬度方向中央，分別可以 在晶圓保持体4之基端部正反轉。第1、第2前臂8A、8B之 長度較第1、第2驅動臂6A、6B稍長。而晶®保持体4與一 對第1、第2前臂8A、8B，係經由姿勢保持用連桿5相互連 結在一起。 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） I---11--1,-I姑·------訂-----ίβ— 1 (請先W讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五'發明説明（6 而本實施形態之姿勢保持用連桿5係如第1圈所示：由 經由軸5A將其一端部連結在第1前臂8A之長度方向中間部 之第1連桿5B :經由轴5C將其一端部連結在第1連桿5B之 另一端部，且經由轴5D(位於較關節10為前端側之寬度方 向中央）將另一端部連結在晶圓保持体4之基端部之第2連 桿5E ;以及，經由軸5F將其一端部連結在第2連桿5E之轴 5D附近，且經由軸5G將另一端部連結在第2前臂之前端部 附近之第3連桿5H所構成。同時，如第2圖之虛線所示， 在晶圓保持体4之關節10與軸5D間，構成姿勢保持用連桿 5之第4連桿51 » 第2圖係第1圖所示蛙腿式臂3及姿勢保持用連桿5之連 桿機構之說明圈，參照本圏說明姿勢保持用連桿5如下。 姿勢保持用連桿5中，第1連桿5B之長度跟第4連桿51之長 度設定成相同長度，第2連桿5E之長度跟關節10與轴5A間 之長度設定成相同長度，而以轴5 A、轴5C、轴5D、關節 1〇構成第1反平行連桿機構，第3連桿5H之長度跟第4連桿 51之長度設定成相同長度，轴5D、軸5F間之長度跟轴5G 與關節10間之長度設定成相同長度，而以轴5D、轴5F、 軸5G、關節1〇構成第2反平行連桿機構。第】連桿5B之長 度與第2連桿5E之長度比，跟軸5D、轴5F間之長度與第3 連桿5H之長度比相等 反平行連桿機構，係在對角線彎 折平行連样機構而成之連桿機構。 因此，在第1反平行連桿機構，夾住軸5入之角度與失 住轴5D之角度相等，失住軸5C之角度與夾住關節丨〇之角 I 1 裝！ 一^ I 1 I 訂—— 線 {請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 9 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 u, ΑΑΛ243 Αν B7 五、發明説明（7 ) 度也相等。在第2反平行連桿機構，夹住轴5D之角度與夾 住軸5G之角度相等，夾住轴5F之角度舆夹住關節1〇之角 度也相等。而且，第1、第2反平行連桿機構是共有夾住轴 5D之角度，因此，所對應之角度全部相同，兩者呈相似 形。而不論蛙腿式臂3成何種姿勢，這種關係均可成立。 因此，第1反平行連桿機構之夾住關節10之角度，與第2反 平行連桿機構之夹住關節10之角度恆相等，因而不論蛙腿 式臂3成何種姿勢，以晶圓保持体4構成之第4連桿51之向 臂側之延長線，恆二等分第1、第2前臂8A、8B之夾角。 因此，姿勢保持用連桿5可經常在蛙腿式臂3之前端部，將 晶圓保持体4保持成左右對稱之姿勢，不會隨著蛙腿式臂3 之伸縮而左右擺動，可以直線前進，將晶®正確運送到目 的位置。 第3圖表示本發明之第2實施形態》在第2實施形態， 為了使蛙腿式臂3之伸縮距離相同，第1、第2前臂8A、8B 及第1、第2驅動臂6A、6B之長度全部相同。而第〗實施形 態之搬送裝置，係其蛙腿式臂3縮短，第1、第2驅動臂6A 、6B在支持体2上成為一直線，驅動轴1與第1、第2前臂8A 、8B之關節10重叠之位置，為其思索點。在此位置，關 節10可以向前後任_方向移動，不受拘東，因此，桂腿式 臂3不發生作用。為了迴避此思索點，第2實施形態配設思 索點迴避用連桿11。 再參照第3圖說明第2實施形態，其與第1實施形態相 同之部分’或相當之部分標示同一記號。本實施形態之搬 本紙張尺度適用中®國家揉率（CNS ) Α4規格（210X297公釐） ----- - ^--松、------訂------線.1 I <請先Μ讀背面之注意Ϋ項再填寫本頁) 10 A7 ___B7 五、發明説明（8 ) 送裝置，係將第1、第2驅動臂6A、6B及第1、第2前臂8A 、8B之長度全部設定成同一長度，並配設思索點迴避用 連桿11，此外之其他部分全依第1實施形態構成。本實施 形態之思索點迴避用連桿11，係例如第3圊所示，含有： 第1驅動臂6A;平行面向第1驅動臂6A之連桿11A;經由 軸11B連結在有連桿11A之一端部，而從第1前臂8A向側方 突出’連結第1關節7與轴11B之突出連桿11C;以及，經 ' 由軸11D連結在連桿11A之另一端部，而從第2驅動臂6B向 側方突出’連結驅動軸1與軸11D之突出連桿11E，構成為 平行連桿機構。亦即，連桿11之長度與第1驅動臂6A之長 度相等，突出連桿11C之長度（第1關節7與軸11B之距離）與 突出連桿11E之長度（驅動軸1與轴11D之距離）相等。因此 ，縱使驅動軸1與關節10上下重疊，第1、第2驅動臂6A、 6B位於同一直線上，其上面再重疊第1、第2前臂8A、8B ’因為配設有思索點迴避用連桿11，第1、第2前臂8A ' 8B 不受拘束，可以對應第1、第2驅動臂6A、6B之驅動方向 ’向前後任意方向順暢伸展，將晶圓保持体4移向前後任 一方向，可以加長蛙腿式臂3之伸縮距離。 又，第3圖之實線所示之晶圓保持体4係用以運送一片 晶圓，但如第3®所示之搬送裝置，設有迴避第1、第2前 臂8A、8B之思索點之型式之搬送裝置時，也能以支持体2 為基準，同樣向反方向進出。因此可以使用，如虛線所示 ’在第3圖之實線部分之晶圓保持体4之基端部側延設同樣 之晶圓保持体，以保持兩片晶圓之晶圓保持体4’。 表紙張尺ίϋ中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐〉 ~~~ -11 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本页) -裝' 訂 經濟部智慧財產局R工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（9 ) 以下參照第4圖，說明能運送兩片晶圓之型式之搬送 裝置之動作。如第4圓之（a)所示’在姿勢保持用連桿5之 作用使蛙腿式臂3伸直之狀態下，以晶圓保持体4’之一方 之保持部接受半導逋晶圓W後，如該圖之沙）所示，驅動 轴1之第1、第2驅動臂驅動，蛙腿式臂3會縮回，這時，姿 勢保持用連桿5之作用使晶圓保持体4,從接受晶圓w之位 置畢直退回。 緊接著，驅動抽1骚動後，如該圖之（c)所示，廷腿式 臂3之第1、第2驅動臂在支持体2上成為舆晶圓保持体4垂 直相交之狀態，第1、第2前臂與第1、第2驅動臂重疊。雖 然第1、第2前臂與第1、第2驅動臂重疊，但因思索點迴避 用連桿U不在思索點，第1、第2驅動臂6A、6B繼績驅動 時’思索點迴避用連桿11則動作，隨之，蛙腿式臂3便如 第4圖之（d>所示，向反方向伸展，並因姿勢保持用連桿5 之作用，使晶圓保持体4’向與該圈之（a)所示方向之180。相 反側直線前進。而在最後，則如該圓之（e)所示，使娃腿 式臂3伸展到一定之位置，進行半導體晶圓w之移交。 第5圓表示本發明之第3實施形態，與第2實施形態相 同或相當之部分標示同一記號。本實施形態之搬送裝置， 係如第5圖所示，配設連桿8C，以取代第2前臂，藉此連 桿8C ’連結第1前臂（以後簡稱「前臂」）8A之中間與第2 驅動臂6B之中間。同時，本實施形態因去除第2前臂，因 此姿勢保持用連桿5之轴5A係連結在第2驅動臂6B之前端 6C。因此，本實施形態之蛙腿式臂3係形成為，由第】、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ；— "'------訂 11----線一I . - - - J - (婧先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 12 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五 '發明説明（10) 第2驅動臂6A、6B，前臂8A及連桿8C構成之第1平行連桿 機構。而且，因第1、第2驅動臂6A、6B及前臂8A形成菱 形之三邊，第2駆動臂6B之前端6C與關節10之距離恆為一 定*因此，藉驅動第1、第2堪動臂6A' 6B則可使娃腿式 臂3伸縮。 而縱使連桿8C使平行連桿機構成為思索點，因為思 索點迴避用連桿11會動作，前臂8A不會受到拘東，可以 對應第1、第2驅動臂6A ' 6B之驅動方向，向前後任一方 向順暢伸展’將晶圓保持体4’移向前後任一方向，可以加 長蛙腿式臂3之伸縮距離。因為姿勢保持用連桿5之軸5A 連結在第2驅動臂6B之前端6C，因此，以轴5A、柏5C、 軸5D及關節10構成第1平行連桿機構。因此，姿勢保持用 連桿5可以使晶圓保持体4 ’值常保持一定姿勢，隨著娃腿 式臂3之伸縮直線前進，不會左右搖擺，而可以如第6圖之 (a)〜(e)所示，將晶圓確實向前後任一方向移動，將晶圓正 確運送至目的位置。又因去除第2前臂，可以使晶圓保持 体4’之關節10之厚度較薄，因之較為狹小之開口，也可以 通過晶園保持体4’，運送晶圓 如以上所說明依據第1實施形態時，因為不使用鋼帶 等之輪送帶或齒輪，而配設姿勢保持用連桿5，因此，縱 使在高溫、易腐蝕之環境下，蛙腿式臂3之動作仍然很穩 定’而且可以恆常保持一定之姿勢，正確且確實將半導想 晶圓W運送到目的位置。 同時’依據第3圖所示之第2實施形態時，因為將第1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4現格（210X297公釐） ! ii J— 裝-^ , 訂 ί — —— 線 (請先閲讀背面之注意事項再填筠本頁) 13 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ^ 444 2 A3 a? Β7 五、發明説明（U ) 、第2驅動臂6A、6B，及第1、第2前臂8A、8B設定為同 一長度，並配設思索點迴避用連桿11迴避蛙腿式臂3之思 索點，因此，蛙腿式臂3能以支持体2為基準，向前後任意 方向連續自由伸縮，因此可以使用’如第3圖所示之能同 時運送兩片半導逋晶圓W之晶®保持体4’，可以提高半導 體晶圓W之運送效率》本實施形態可以發揮與第1實施形 態同樣之作用效果- 同時，依據第5圖所示之第3實施形態時，因為省略第 2前臂，使晶圓保持体4’之關節10較薄，因此可以通過較 狹小之開口運送晶圓。此外，本實施形態也可以發揮與第 2實施形態同樣之作用效果。 本發明第4實施形態之搬送裝置，係例如第7圈〜第9 圖所示，具備有：第1、第2驅動轴（未圖示）成同轴構造之 驅動轴（以後簡稱為「驅動轴j >26 ;在轴心位置支持驅動 軸26，同時在内部設有驅動轴26之驅動源之支持体2〗：基 端部連結在此支持体21之驅動轴26之平行連桿式臂22 ;連 結在此平行連桿式臂22之前端部之保持半導髏晶圓W之晶 圓保持体23 ;以及，節制平行連桿式臂22之姿勢，將晶圓 保持体23恆常保持成一定姿勢之姿勢保持用連桿24 -構成 驅動軸26之第1驅動轴係空心轴，第2驅動轴係貫穿空心軸 之轴心之轴》第1 '第2驅動轴均連結在驅動源，分別可以 正反轉。藉第2驅動軸之正反轉可以使平行連桿式臂22伸 縮。同時，第I、第2轴互向同方向一次轉動同_角度，則 可以使平行連桿式臂22變換運送方向。因此，若將本實施 本紙張尺度適用中國國家棣率（CNS > A4规格（210X297公釐） I. Λ------訂------線，I 1 钃 1 r V ' ♦ ' - (讀先閲讀背面之注意Ϋ項再填舄本頁) 14 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 ____B7 五、發明説明（12 ) 形態之搬送裝置應用在多處理室之處理裝置，便可以對多 數處理室自由運進運出晶圓。 上述平行連桿式臂22係如第7圖〜第9圖所示，備有： 基端部轴支在第1驅動轴之肩連桿25 ;基端部軸支在第2驅 動軸之可正反轉之驅動臂27;基端部經由第1關節28轴支 在肩連桿25之另一端部之可正反轉之從動臂29;經由第2 、第3關節30、31分別轴支在驅動臂27與從動臂29之各前 端部之可正反轉之肘連桿32;基端部經由第2關節30軸支 在肘連桿32之可正反轉之第1前臂33 :以及，基端部經由 第3關節31轴支在肘連桿32之可正反轉之第2前臂34。 上述保持体23，係經由第4、第5關節35、36轴支在第 1、第2前臂33、34之各前端部，由平行連桿式臂22之前端 部支持成水平狀。在本實施形態，驅動臂27、從動臂29、 第1、第2前臂33、34全部設定成同一長度。肘連桿32、驅 動臂27、第1前臂33係由姿勢保持用連桿24相互連結在一 起。 而本實施形態之姿勢保持用連桿24係如第7囷〜第9囷 所示，由經由軸24A將其一端部連結在驅動臂27之長度方 向之約略中間部之第1連桿24B :經由軸24C將其一端部連 結在第1連桿24B之另一端部，且經由轴24D將其另一端部 連結在肘連桿32之從第2關節30側之延長端部之第2連桿 24E ;以及，經由軸24F將其一端部連結在第1前臂33之從 第2關節30侧之延長端部，且經由轴24G將其另一端部連 結在第2連桿24£之一部分之第3連桿24H所構成β 本纸乐尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2!0X25I7公釐） ---------^------,π------線 (請先閱讀背面之注意事項再填tc本頁) 15 經濟部智慧財產局員工消#合作社印製 ΛΑΑ2 A3 a? _Β7 五、發明説明（13 ) 第10圖係第9囷所示之平行連桿式臂22,及姿勢保持 用連桿24之連桿機構之說明圖，以下參照此圈說明此姿勢 保持用連桿24。平行連桿式臂22包含有：由肩連桿25、驅 動臂27、從動臂29及肘連桿32所構成之第1平行連桿機構 ，以及，由肘連桿32、第1、第2前臂33、34及晶圓保持体 23之關節35、36間所構成之第2平行連桿機構。 上述姿勢保持用連桿24中，第1連桿24B之長度設定 成跟第2關節30與轴24D間之長度相同，第2連桿24E之長 度則設定成跟堪動臂27之第2關節30與軸24A間之長度相 同，而以轴24A、轴24C、軸24D、關節30構成本實施形 態之第1反平行連桿機構。同時，驅動臂27之第2關節30與 轴24F間之長跟第2速桿24E之轴24D與軸24G間之長度相 同，第3連桿24H之長度則設定成跟肘連桿32之第2關節30 與轴24D間之長度相同，而以轴24D、轴24G、轴24F、關 節30構成本實施形態之第2反平行連桿機構。而且，第1連 桿24B之長度與第2關節30與轴24A間之長度比、設定成跟 第2關節30與轴24F間之長度與第3連桿24H之長度比相等 〇 因此，在第1反平行連桿機構，夾住轴24A之角度與 夾住軸24D之角度相等，失住軸24C之角度與夹住關節30 之角度也相等。在第2反平行連桿機構，夾住轴24D之角 度與夾住軸24F之角度相等，夾住轴24G之角度與夾住關 節30之角度也相等。而且，第1第2反平行連桿機搆是共有 夾住軸24D之角度，因此所對應之角度全部相同，兩者呈 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） I---—- — 叫^-I.------訂-----Γ—線 |「 (诗先閱讀背*之注意事項再填苒本頁) 16 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（14 ) 相似形。而不論平行連桿式臂22成何種姿勢，這種關係均 可成立。因此’第1反平行連桿機構之夾住關節30之角度 ，與第2反平行連桿機構之夹住關節30之角度恆相等，因 而不論平行連桿式臂22成何種姿勢，肘連桿32恆二等分驅 動臂27與第1前臂33之夾角。 因此’當驅動臂27經驅動轴26之第2驅動轴向反時針 方向轉動時’第1反平行連桿機構之作用使肘連桿32不轉 動，僅第1前臂33因姿勢保持用連桿24之作用向時針方向 轉動同一角度。其結果，晶圓保持体23便可以在肩連桿25 上直線前進，將半導體晶園W正確運送到配置在其延長線 上之目的位置。 其次’再參照第11圈說明其動作。如第11圖之（a)所 不，當姿勢保持用連桿24之作用，使平行連桿式臂22從移 動到支持体（第11圖省略未圖示）之右端之狀態，而驅動抽 26之第2驅動軸驅動，平行連桿式臂22之驅動臂27，及從 動臂29向反時針方向轉動時，姿勢保持用連桿24之作用， 使第1第2前臂33 ' 34以第2連桿32為基準向順時針方向轉 動’其結果*晶圓保持体23則從該圖之（a)位置向左方直 線前進，如該圖之（b)所示，第i '第2前臂33、34在驅動 臂27及從動臂29上重疊，同時，晶圓保持体23之關節35、 36重疊在驅動轴26、關節28上。 驅動軸1繼續驅動時，驅動臂27、從動臂29向反時針 方向轉，在此期間，第！、第2前臂33 ' 34因姿勢保持用連 才干24之作用，而分別向順時針方向轉動，晶圓保持体23則 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) 、 ---------^------ίτ------線 <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 17 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 ΛΑ42 A3 Α7 __ Β7 五、發明説明（15 ) 直線前進，如該圖之（c>所，在肩連桿25上直線前進通過 ，最後則如該圖之（d)所示，直進到半導體晶圓w之移交 位置，進行半導體晶圓W之移交。 如以上所說明，依據第4實施形態時，因為以姿勢保 持用連桿24將平行連桿式臂22、駆動臂27、肘連桿32及第 1前臂33相互連結在一起，因此在高溫而易腐蝕之環境下 ，晶圓保持体23仍可穩定動作，而且晶圓保持体23可恆常 在肩連桿25上直線前進，恆以一定之姿勢保持，將半導趙 晶圓W正確且破實運送到目的位置。 本發明之備有蛙腿式臂之搬送裝置，也可以構成如第 12圖〜第15圊所示’此等搬送裝置，亦可期盼收到如第1 、第2實施形態同樣之作用效果β 第12围所示之搬送裝置具備有，同轴構造之第3關節31 、蛙腿式臂32、晶®保持体33、連結晶圓保持体33與蛙腿 式臂32之姿勢保持用連桿34»蛙腿式臂32備有，第1、第2 驅動臂32Α、32Β，第1、第2前臂32C、32D，經由關節35 連結在晶圓保持体33。 上述姿勢保持用連桿34係如第12圈所示，具有：經由 轴34Α將其一端部連結在第1前臂32c之第1連桿34Β ;經由 軸34C將其一端部連結在第1連桿34Β之另一端部，且經由 轴34D將其另一端部連結在晶園保持体33之關節35之長度 方向延長線上之第2連桿34Ε;其_端連結在配置於第2連 桿34Ε中間之轴34F之第3連桿34G :經由軸34Η將其一端 部連結在第3連桿34G之另一端部，與第2連桿34Ε平行之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNsj A4规格（210X297公釐） ΊΙ 餘 訂 I 線I « - --'· {请先閱讀背面之注意事項再4寫本頁) 18 經濟部智慧財產局w工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（16 ) 第4連桿341 ;以及，經由軸34J將其一端部連結在第4連桿 341之另一端部，且經由轴34D將其另一端部連結在晶圓 保持体33 ’與第3連桿34G平行之第5連桿34K。而第4連桿 341係經由轴3L連結在第2前臂32D。各連桿均可在各轴上 轉動。 第1連桿34B之長度設定成跟轴34D與關節35間之長度 一樣’第2連桿34E之長度設定成跟轴34A與關節35間之長 度一樣’而以抽34A、柚34C、轴34D、關節35構成第Ϊ反 平行連桿機構。同時，轴34D與關節35間之長度設定成跟 軸34L與第2連桿34E之假想點36間之長度（連接此等兩者 之虛線與第5連桿34平行）一樣’轴34D與假想點36間之長 度設定成跟軸34L與關節35間之長度一樣，而以抽34D ' 假想點36、軸34L、關節35構成第2反平行連桿機構。而 且’第1連桿34B之長度與第2連桿34E之長度之比，設定 成跟軸34D與假想點36間之長度跟轴34D與關節35間之長 度之比相等。而第2連桿34E跟軸34D與關節35間之連線所 形成之角度’由第1、第2反平行連桿機構所共有，不論蛙 腿式臂32在那一種伸縮狀態，第！、第2反平行連桿機構均 呈相似關係，第1反平行連桿機構之關節35之頂角，與第2 反平行連桿機構之節35之頂角恆常相等。因此，晶圓保持 体23之軸34D與關節35間之連線恆二等分第卜第2前臂32C 、32D所夾之角度，晶圓保持体23可以保持一定之姿勢， 不會左右搖擺。 第13圖所示之搬送裝置，具備有.同轴構造之驅動轴 表紙狀度賴中關家標準（CNS )从料⑺以別公麓） ---------^------1T------0 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 19 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ^ A4 2^3 a? B7 五、發明説明（17 ) 41、蛙腿式臂42、晶圓保持体43、連結晶圊保持体43與娃 腿式臂42之姿勢保持用連桿44。蛙腿式臂42備有，第1、 第2驅動臂42A、42B，及第1、第2前臂42C、42D，經由 關節45連結在晶圓保持体43。 上述姿勢保持用連桿44係如第13圖所示，具有：經由 軸44A將其一端部連結在第1前臂42C之第1連桿44B ;經由 轴44C將其一端部連結在第1連桿44B之另一端部之第2連 桿44D ;經由轴44E將其一端部連結在第2連桿44D之另一 端部，且其另一端連結在關節45之第3連桿44F(在晶圓保 持体之基端部之轴心上，較關節4為靠基端部成為基端部 之一部分，或與及延長部一体化>:經由轴44C將其一端部 連結在第1連桿44B之另一端部之第4連桿44G ;經由轴44H 將其一端部連結在第4連桿44G之另一端部，且其另一端 部連結在配置於第2前臂42D之轴441之第5連桿44J :以及 ，其一端部連結在第4、第5連桿44G、44J之轴44H，且將 另其一端部連結在，配置於在晶圓保持体43之關節45之長 度方向延長線上之轴44K之第6連桿44L。各連桿均可在各 抽上轉動》 第1連桿44B之長度設定成跟第3連桿44F之長度一樣 ，第2連桿44D之長度設定成跟第1前臂42C之轴44A與關 節45間之長度一樣，而以轴44A、轴44C、轴44E、關節45 構成第1反平行連桿機構。同時，第2連桿44D之長度設定 成跟第5連桿44L之長度一樣，第4連桿44G之長度設定成 跟晶圃保持体43之基端部之轴44E與轴44K間之長度一樣 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4見格（210X297公釐） ---------裘r-----訂------線 ' f .- {靖先W请背面之注意事項再填寫夂頁) 20 _B7 _B7 經濟部智慧財產局員工消骨合作杜印製 五、發明説明（〗8 ) ，而以轴44C、轴44E、轴44K、轴44H構成第2反平行連 桿機構。而且，第1連桿44B之長度舆第2連桿44D之長度 之比，設定成跟第2連桿44D之長度與第4連桿44G之長度 之比相等。而第2連桿44D跟轴44E與關節45間之連線所形 成之角度，由第1、第2反平行連桿拽構所共有，不論蛙腿 式臂42在那一種伸縮狀態，第1、第2反平行連桿機構均呈 相似關係。而以轴441、轴44H、轴44K、關節45所形成之 四角形成平行四邊形。因此，第1反平行連桿機構之關節45 之頂角，與第2反平行連桿機構之轴44K之頂角恆常相等 ，而且此轴44K之頂角跟第2前臂42D、軸44E與關節45間 之連線所形成之角度相等。因此，轴44E與軸44K之連線 恆二等分第1前臂42C舆第2前臂42D之夾角，晶圓保持体43 可以保持一定之姿勢，不會左右搖擺。 第14圖所示之搬送裝置，具備有，同轴構造之驅動轴 51、蛙腿式臂52、晶面保持体53、連結晶圓保持体53與蛙 腿式臂52之姿勢保持用連桿54。蛙腿式臂52備有，第1、 第2驅動臂52A、52B及第1、第2前臂52C、52D，經由並 排設在與晶圓保持体53基端部之長度方向垂直相交之方向 孓關節55、56，連結在晶圃保持体53。 上述姿勢保持用連桿54係如第14圈所示，具有：經由 固定轴54A將其一端部連結在第I前臂52C之第1固定連桿 54B ;經由軸54C將其一端部連結在第]固定連桿54B之另 一端部之第1連桿54D ;經由軸54E將其一端部連結在第1 連桿54D之另一端部，且經由配置在與關節55、56形成二 本纸張尺度通用中國困家標率（CNS ) Α4%格（210Χ297公釐） ---------^------1Τ------^ (請先«讀背面之注意事項再填寫本頁) 21 經濟部智慧財1局員工消費合作社印製 ΑΛΛ2 厶 3 Α7 ___^_Β7_五、發明説明（19 ) 等邊三角形之晶圓保持体53基端部之轴54F連結其另一端 部之第2連桿54G;連結在配置於2連桿54G之固定轴54H 之第2固定連桿541 ;經由轴54J將其一端部連結在第2固定 連桿541之第3速桿54K ;以及*經由轴54L將其一端部連 結在第3連桿54K之另一端部，且將其另一端部連結在第2 前臂52D之固定轴54M之第3固定連桿54N · 第1連桿54D之長度設定成跟晶圆保持体之轴54F與關 節55間之長度一樣，第2連桿54G之長度設定成跟轴54C與 關節55間以虚線表示之連線之長度一樣，而以轴54C、軸 54E、轴54F、關節55構成第1反平行連桿機構·同時，第 3速桿54K之長度設定成踉輛54F舆關節56間以虚線表示之 連線之長度一樣，轴54F舆轴54J問以虚線表示之連線之長 度設定成跟轴54L與關節56間以虚線表示之連線之長度_ 樣，而以軸54F、轴54J、轴54L、關節56構成第2反平行 連桿機構。而且，第1連桿54D之長度跟第2連桿54G之長 度之比，設定成跟軸54F舆轴54J間之長度跟第3連桿54Κ 之長度之比相等。這時复没有由第1、第2尽平行連桿機構 所共有之角度，但因適直設定第2gt宏連桿54〗之長度與關 節55、56間之長度，使第1反平行連桿機構之轴54F之頂 .... ·. + . '· . 角與第2反平行連桿機構轴54F之頂角恆常相同，因此， 不論蛙腿式臂52在那一種伸縮狀態，第1、第2反平行連桿 機構均呈相似關係。因此，第1反平行連桿機構之關節55 之頂角與第2反平行連桿機構之關節56之頂角恆常相等， 因此，在蛙腿式臂52動作時，晶圓保持体53可以保持一定 <請先Μ讀背面之注意事項再填寫本瓦) 本紙張尺度適用中國國家揉率（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐} 22 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 A7 ί . _ Β7 五、發明说明（20 ) 之姿勢，不會左右《擺。 第15圖所示之搬送裝置，具備有，同轴構造之埏動輛 61、蛙腿式臂62、晶圓保持体63、連結晶圓保持体63舆蛙 腿式臂62之姿勢保持用連样64。蛙腿式臂62偁有，第1、 第2驅動臂62A、62B及第1、第2前臂62C、62D，經由並 排設在與晶圓保持体63基端部之長度方向垂直相交之方向 之關節65、66連結在晶圓保持体63。 I 上述姿勢保持用連样64係如第15圈所示，具有：經由 —端部連結在關節65之第1連榫64A(第1前臂62C之延長部） ;經由轴64B將其一蟪部連結在第1連桿64A之另一端部之 第2速桿64C;經由轴64D連結在第2連桿64C之另一端部， 且將其一端部連結在晶圈保持体63之轴64E之第3連桿64F ;以及’經由轴64G將其一端部連結在第3連桿64F之另一 端部，且經由轴64H將其另一端部連結在第2前臂62D之第 4連桿641。轴64E配置在關節65、66之延長線上p而各連 桿則均可以在各輛轉動。 》 第1連桿64A之長度設定成跟第3連桿64F之私64D與麵 64E間之長度一樣，第2連禪64C之長度設定成跟關節65與 抽64E間之長度一樣’而以關節65、轴64B、麵640、料64E 構成第1反平行連桿機構D同時，關節66與私64E間之長 度設定成跟第4連桿641之長度一樣，第3連桿64F之長度設 定成跟第2前臂62D之關節66與轴64H間之長度一樣，而以 關節66、轴64E、轴64G、轴64H構成第2反平行連桿機構 。而且，第1連桿64A之長度跟第2連桿64C之長度之比， 木紙張尺度速用中國國家揉率（CNS ) A4规格（210X297公釐） -— ' 23 - ---------装------1T------^ (諳先閲讀背面之注$項再填寫本頁} A7 B7 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 五、發明説明（21 設疋成跟第4連桿641之長度跟第3連桿64F之長度之比相等 。而關節66與軸64E間之連線乘第3連桿64F所形成之角度 ，由第1、第2反平行連桿機構所共有，因此，不論蛙腿式 臂62在那一種伸縮狀態，第1、第2反平行連样機構岣呈相 似關係。因此，第1反平行連禪機構之關節65之頂角與第2 反平行連样機構之«節66之頂角伍常相等，因此，晶圓保 持体63可以保持一定之姿勢，不會左右搖獾· 本發明之具有平行連桿式臂之搬送裝置，也可以構成 如第16围、第17«所示，雨此等搬送裝置也可以期盼有如 第4實施形態一樣之效果· 第16圈所示之搬送裝置，具僑有：基蟪部支持在支持 体（未圈示）之軀動軸71之平行連桿式臂73 ;連結在此平行 連桿式臂73之前端部，用以支持半導艟晶圃W之晶圓保持 体74 ;以及，可節制平行連桿式臂73之姿勢，使其桠常保 持一定之姿勢之姿勢保持用連桿75 »此搬送裝置除了晶ffl 保持体74舆姿勢保持用速桿75之安裝位置不一樣外，其餘 明所承毛橄送装里相同。晶圓保持体74係保持兩 片半導艟晶圃W之型式，而平行連样式臂73之支持形式’ 則舆第5圈所示者並無兩樣· 平行連桿式臂73係如第16圈所示，備有，肩連桿76、 期動臂77、從動臂78、肘連桿79、第1前臂80及第2前臂81 。82〜85均為關節。 第16圖所示之姿勢保持用連桿75具有：經由轴75A將 其一端部連結在軀動臂77之廷長端部之第1速禪75B ;經 本紙張尺度逍用中國_家輮率（CNS)八4规格（2IOX297公教） •I Ί,^ι—d.tr:1 線 d {诗先《讀背面之注意事項再填W本ff) 24 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（22 ) 由轴75C連結在第1連桿75B之另一端部之第2連桿75D ;以 及，經由轴75E將其一端部連結在第2連桿75D之一端部， 且經由轴75F將其另一端部連結在第1前臂80之第3連桿 75G。而第2連桿75C之另一端部則經由轴75H連結在肘連 桿79之延長端部》 上述姿勢保持用連桿75中，第1連桿75B之長度設定 成跟肘連桿79之關節83舆軸75H間之長度一樣長，驅動臂 77之關節83與轴75A間之長度設定成跟第2連桿75D之轴 75C與轴75H間之長度一樣長，而以轴75A '轴75C、轴75H 、關節83構成第1反平行連桿機構》同時，第3連桿75G之 長度設定成跟肘連桿79之關節83舆轴75H間之長度一樣長 ，第2連桿75D之長度設定成跟第1前臂80之關節83與轴 75F間之長度一樣長，而以轴75H、轴75E '轴75F、關節83 構成第2反平行連桿機構。並且，將第1連桿75B之長度與 驅動臂77之關節83與轴75A間之長度之比，設定成跟第2 連桿75D之長度與第3連桿75G之長度之比一樣。而因第1 、第2反平行連桿機構共有轴75H之夾角，因此所對應之 角度全部相同，兩者呈相似形。因此，當驅動臂77經由驅 動臂71之第2驅動轴向反時針方向轉動時*晶圃保持体74 則經由姿勢保持用連桿75在肩連桿76上直線前進，將半導 體晶圓W正確運送到配置在其延長線上之目的位置。 在第17圖所示之搬送裝置，與第16圖所示之搬送裝置 之同一部分，或相當部分，標示粗線條數字，說明從略， 主要說明姿勢保持用連桿95部分。此平行連桿式臂93之第 本紙張尺度適用中國S家標準（CNS > A4*l格（210X297公釐） 裝— 訂i I !線 {請先《讀背面之注意事項再填寫本頁) 25 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 五、發明説明（23 ) 1、第2前臂1〇〇、1〇1未直接連结在驅動臂97及驪動臂98， 而在肘連桿99上之偏向左方位釁，介由關節1〇6、107連結 在肘連样99 · 第17圖所示之姿勢保持用連桿95儀有：經由軸95A將 其一端部連結在軀動臂97之延長端部之第1連桿95B ;經 由轴95C將其一端部連結在第1連样95B之另一端部之第2 連桿95D;以及，經由軸95C將其一端部連结在第1連桿95B 之另一端部之第3連样95E·而第2連样95D之另一端部， 係經由轴95F連結在第2前臂101，第3連桿95E之另一端部 ，係經由闞節102連餚在鮏連桿99· 同時，將第1連桿95B之長度設定成跟肘違桿99之關 節102舆關節103間之長度一樣長，第3連桿95E之長度設 定成踉驅動臂97之關節103舆轴95A間之長度一樣長，而 以轴95A、轴95C、關節102、關節103構成第1反平行連样 機構。同時，第2連样95D之長度設定成跟肘速桿99之關 節102舆關節106之長度一樣長*第3連桿95E之長度設定 成跟第2前臂101之關節106與轴95FW之長度一樣長，而 以軸95C、轴95F、W節106、關節102構成第2反平行連桿 機構β並且將第1連桿95B之長度與第3連桿95E之長度之 比，設定成跟第3連桿95Ε之長度與第2連桿75D之長度之 比相等》而因第1、第2反平行速桿展構,共有關節1〇2之夾 角，因此所對應之角度全部相同，兩者呈相似形·因此， 當驅動臂97介由驅動臂91之第2驅動轴向反時針方向轉動 時，晶圓保持体94則介由姿勢保持用連桿95在肩速桿96上 I---ο-----訂-----IfQ (婧先Μ讀背面之注f項其填寫本頁) 本紙張尺度遄用中國«家樣準（CNS ) A4规格（210X297公羡） 26 經濟却智慧財度局员工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（24 ) 直線前進，將半導艟晶圓W正確運送到配置在其延長線上 之目的位置。 再者，本發明之具有蛙腿式臂或平行連桿式臂之搬送 裝置，並不限定如上述各實施形態，只要是具有，當要_繁 保持用連桿使用之兩锢反平行連桿機構，則全包含在本發 明之範圍。同時，縱使未明確具有兩個反平行連桿機構 ，但如果是像第12圈或第14圈所示之搬送裝置，藉其他平 行連桿機構，或彎曲之固定連桿來保持兩點間之一定距雕 ，在此劃設假想線，則可顢現兩個反平行連桴機構，而將 此當作姿勢保持用連桿使用，亦應全部包含在本發明之範 圍内β 圓式之簡單說明 第1圈係本發明之具備有蛙腿式臂之搬送裝置之一實 施形態之斜視圖。 第2圈係第1国所示搬送裝置之連桿機構之說明圃》 第3圈係本發明之具備有蛙腿式臂之搬送裝置之其他 實施形態之斜視圈。 第4圖係第3圈所示搬送裝置之動作說明田。 第5圈係本發明之具備有蛙腿式臂之搬送裝置之其他 實施形態之主要部分之斜視圈。 第6圖係第5圈所示搬送裝置之動作說明圖》 第7圖係本發明之具備有平行連桿式臂之搬送裝置之 一實施形態之斜視圈。 第8圈（a)係第7圈之搬送裝置之平面圈，（b)係其側面 本紙張尺度適用中國國家·揉準（CNS > A4规格（210X297公簸） ---------^------1T------^ {請先00讀背面之注意事項再填寫本頁) 27 經濟部智慧財產局貝工消費合作杜印製 五、發明説明（25 ) 第9圖係表示第7圖所示搬送裝置之晶圈保持体後退之 狀態之平面圈- 第10圈係第9圈所示搬送裝置之連桿機構之說明圖. 第11圈係第9圈所示搬送裝置之動作說明圖。 第12圈係本發明之具備有蛙腿式臂之搬送裝置之另一 其他實施形態之相當於第2圈之斜视圈。 第13圈係本發明之具#有蝰ft式臂之搬送裝置之另一 其他實施形態之相當於第2«之斜視圈· 第14圈係本發明之具僙有蛙腿式臂之搬送裝置之另一 其他實施形態之相當於第2圈之斜視圈。 第15圖係本發明之具備有蛙腿式臂之搬送裝置之另一 其他實施形態之相當於第2圈之斜視圈》 第16圖係本發明之具備有平行連桿式臂之搬送裝置之 另一其他實施形態之相當於第2圖之斜視圈。 第17圈係本發明之具偁有平行連桿式臂之搬送裝置之 另一其他實施形態之相當於第2圈之斜視« * I---·!-Ί^-I-----訂-----：—線-CT <請先《讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度遑用中國_家樣準（CNS ) Α4规格（210X297公釐） 28 A7 B7 五、發明説明（26 元件標號對照 1、 26、31、41、51、61、71".驅動轴 2、 21…支持体 3、 32、42、52、62…蛙腿式臂 4、 4,、23、33、43、53、63、74、94·..晶圓保持体 5、 24、34、44、54、64、75、95…姿勢保持用連桿 6A、6B、27、77、97…堪動臂 8A、8B、33、34、80、8L·” 前臂 11…思索點迴避用連桿 22、73、93…平行連桿式臂 25、76···肩連桿 29、78…從動臂 32、79…肘連桿 (讀先閱讀背面之注項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4规格（210X297公釐） 29

Claims (1)

1. ^44243 六、申請專利範圍 Mi 充補 經濟邨智慧財產局貝工消费合作社印契 第88119972號專利申請案申請專利範圍修正本 修正曰期：90年4月 1· 一種搬送裝置，其特徵在於’具備有： 支持体； 以上述支持体支持之第1、第2轴； 基端部連結在上述第1、第2軸之蛙腿式臂；以及 f 連結在上述蛙腿式臂之前端部，用以保持被運送 体之保持体； 上述蛙腿式臂備有： 基端部軸支在上述第1轴之可轉動之第1驅動臂； 基端部軸支在上述第2軸之可轉動之第2驅動臂； 經由第1關節，將基端部轴支在上述第1驅動臂之 前端部之可轉動之第1前臂；以及， 經由第2關節將基端部轴支在上述第2堪動臂之 前端部之可轉動之第2前臂； 上述保持体係經由第3、第4關節軸支在上述第1 、第2前臂之各前臂之前端部，且， 配設有連結上述第1、第2前臂，與上述保持体相 互間之兩個相似之反平行連桿機構構成之姿勢保持 用連桿，經由此姿勢保持用連桿節制上述保持体對上 述第1、第2前臂之轉動。 2.如申請專利範圍第1項之搬送裝置，其特徵在於， 上述第1軸及第2軸共有轴心，同時，上述第3關 本紙張尺度適用尹國國家標準（CNS)A4规格（210 X 297公釐） 30 -----τ---：-------- (請先Η讀背面之注意事項再填窝本页) 訂.！ ！

   ο- 經濟部智慧財產局員工消f合作社印製 Sp及第4關節共有抽心， 上述第1、第2驅動臂及上述第1、第2前臂之長度 全部相同， 配設面向上述第1驅動臂之連桿，將此連桿之兩 端部，分別連結在第1前臂及第2驅動臂，以構成平行 連桿機構， 上述平行連桿機構，在同軸構造之上述第3、第4 關節，與同軸構造之上述第1'第2軸重疊之位置之不 同位置，形成思索點。 3. —種搬送裝置，其特徵在於，具備有： 支持体； 以上述支持体支持而共有轴心之第1、第2轴； 基端部連結在上述第1、第2軸之蛙腿式臂；以及 連結在上述蛙腿式臂之前端部，用以保持被運送 体之保持体； 上述蛙腿式臂備有： 基端部軸支在上述第1轴之可轉動之第1驅動臂； 基端部轴支在上述第2轴之可轉動之第2驅動臂； 經由第1關節，將基端部轴支在上述第1驅動臂之 前端部之可轉動之第1前臂；以及， 成平行面向上述第2驅動臂，兩端部分別連結在 上述前臂及上述第2驅動臂之兩根連桿； 將上述第1、第2堪動臂’上述前臂及上述兩根連 本紙張尺度適用中圉圉家標準（CNS>A4規格（210 χ 297公釐） 31 -------I! — — — - I I —---- 訂 i i (請先B讀背面之注f項再填寫本頁) A8B8C8S 蛵濟部智慧財產局員工消f合作社印製 六、申請專利範面 桿之長度設定成同一長度，同時，以此等3根之上述 臂及上述兩根連桿構成兩個平行連桿機構， 上述兩個平行連桿機構相互在不同位置形成思 索點，同時，上述第1、第2驅動臂及上述前臂構成菱 形之3邊， 上述保持体，係經由第2關節轴支在上述前臂之 前端部，且， 配設有連結上述前臂、上述第2驅動臂之前端部 ，與上述保持体相互間之兩個相似之反平行連桿機構 構成之姿勢保持用連桿，經由此姿勢保持用連桿節制 上述保持体對上述前臂之轉動。 4_如申請專利範圍第2項或第3項之搬送裝置，其特徵在 於，上述保持体在兩端部有被運送体之保持部，而在 上述保持部之中間配置關節。 5. —種搬送裝置’其特徵在於，具備有： 支持体； 以上述支持体支持其基端部側之平行連桿式臂 ;以及， 連結在上述平行連桿式臂之前端部，用以保持被 運送体之上述保持体； 上述平行連桿式臂備有： 固定在上述支持体之第1連桿； 基端部轴支在貫穿上述第丨連桿一端部之驅動轴 之可轉動之驅動臂； («·先閱讀背面之注*項再填寫本頁) 訂---------線， -32 ASB8C8D8 C 六、申請專利範圍 經由第1關節將基端部轴支在貫穿上述第1連桿 之另一端部之可轉動之從動臂； 分別經由第2、第3關節，轴支在上述驅動臂及上 述從動臂之各前端部之可轉動之第2連桿；以及， 基端部分別軸支在上述第2連桿之可轉動之第1 、第2前臂： 上述保持体係經由第4、第5關節，分別轴支在上 述第1、第2前臂之各前端部*且， 配設連結上述驅動臂或上述從動臂、上述第2連 桿、上述第1前臂或上述第2前臂之兩個相似之反平行 連桿機構構成之姿勢保持用連桿，經由此姿勢保持用 連桿使上述保持体直線前進。 (請先《讀背面之注$項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局貝工消费合作社印製 33 本紙張尺度適用中國國家標準（CNSM4規格（210 X 297公釐）