TW410408B - Method for setting data on transfer of lead frame - Google Patents

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TW410408B
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Taiwan
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lead frame
screen
aforementioned
mounting portion
semiconductor element
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TW086106037A
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Toru Mochida
Yoshimitsu Terakado
Masayuki Seguro
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Shinkawa Kk
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Description

410406 A7 B7 _ 五、發明説明(/ ) 〔發明之詳细說明〕 〔發明之技術領域〕 本發明為針對線接合裝置及晶粒接备裝置等接合装置 ,將由裝載側之收納器供給之引線框架尚接合台之接合位 置為止搬送之;接合完成後,再搬送至卸載側之收納器位 置為止之有翮其框架供給器之搬送動作簧料設定方法。 習知的接合裝置之有關引線框架搬送方法而言,例如 特公昭63-56122號公報及特開平4-34644 6號公報已說明。 此方法為將自負載側收納器之引線框架以框架推進器經引 線框架供給器之搬送路搬送出,Μ框架供給器之一對由上 爪及下爪組成之負載側之搬送爪將引線框架定位(位置指 示)或搬送爪之爪固定板上所設置之位置指示針處理之。 其次*由搬送爪的開閉動作及注復運動之交互組合* 將引線框架Κ 一個裝置簞位(半導體元件安裝部部份)間 歇性的搬送至接合台之接合位置,其上方設有電視攝影機 ,若將其送往電視攝影機之下,則引線框架的接合模型就 可Μ檢出。因此,位置誤差補正之後•再由接合裝置加以 接合即可。接合完成後*引線框架Κ搬送爪移動一個間距 將下一個裝置部份向電視攝影機下方送出,依前述之動作 進行後,再接合處理。如此方式依次進荇接合,當引線框 架注卸載側方向撖送時,卸載側搬送爪則進疔前述装載側 搬送爪同樣動作,俟接合完成後,將引線框架往卸載側收 納器搬送並將其收納之。 (1S先間讀背而之注意事項再^35'本頁) 裂.
II - 41040ε Α7 Β7______ 五、發明説明(1) Κ此方式,將引線框架的裝置部份 > 往接合台之接合 位罩搬送(電視攝影櫬下方)時,引線框架的搬送資料必 須預先輸人控制裝置才可。即引線框架^品種交換之際, 要先將適合引線框架之搬送資料輸入。上述.特公昭 63- 5 6 1 2 2號公報及特開平4-3 4 6446號公報中對於引線框架 的搬送資料設定方法•雖然沒有說明,但一般皆Μ下述方 法處理。引線框架雖然有種種不同的類型* Μ下則僅Κ圖 8及圃9所示之引線框架ΙΑ、1Β加以說明。 圃 8為表示固定間距的引線框架1Α,其半導體元件安 裝部2Α 、 2Β · · · 2F為固定間距的距離d。圖9為表示不 規則間距的引線框架1B,其半導體元件安裝部2A、2B · · • 2F為非固定間距,其問距為dl、d2 · · · d5。如圖8及圖 9所示,a為框架長度、D為第1半導體元件安裝部2A中心至 最終半導體元件安裝部2 F的中心的距離* c為引線框架1A、 1B的前端至第1收納品 2 A中心的距離(K下略稱第一間距
),固定間距之距離d為半導體元件安裝部2A、2B· · · 2F 的個數η及距離b設定好時,Μ 〔式1〕可算出。 〔式 1_ 〕 d=b/(n-l) 但是引線框架ΙΑ、1B為帶鋼材(連續帶狀材)切成短 冊狀之故。切斷位置平整均勻時,切断都份之第一間距c. 雖比固定間隔距離d之1/2小,但大致等於固定間隔距離d 之1/2。Μ此,若框架長度a可以a = b + d算出來,則引線框 架1 A或1 BK連縝搬送情況下,引線框架間將互相不致碰撞 -5- * { rNS ) ( 210X297^vf ) ---------裝-- . - r/._ II (請先閱讀背面之注意事項再r"·'本頁) -訂
X 410406 A7 ___B7 ____ 五、發明説明()) 而順暢搬送之。即圖8之引線框架1 AM前述實料η 、 b設 定之:,圖9的引線框架lAMn、b、dl、 d2 · _ · d5設定 t 即可。但仍有引線框架ΙΑ、1B之切撕位置有參差不齊的間 隙,或不規則間距的引線框架1 B其第一間距c並非等於固 定間距距離d之1/2d者。如此引線框架1A、U若是連縝搬送 情況下,要使引線框架間彼此互不相碰撞’必須將除前述 資料η 、 b 、或n、l) 、 dl、 d2* *d5之外’其他框 架長度a及第一間距c必須一併預先設定好。 .因此,第一間距c約為定間距距離d之1/2的引線框架 ΙΑ、 1B的場合時,前述資料n、b及n、 b、dl、d2·.· d5 K圖面或賁際測量之· W裝置之設定模式’將其在控制 裝置之資料記憶內進行數值輸入設定。第一間距是等於 €間距距離d之1/2之引線框架ΙΑ、1B的埸合,除前述資料 η、b或n 、b、dl、d2 ‘ · * d5之外,其他框架長度a及第 {請先閲讀背面之注意事項再填k本頁) :裝. ΪΤ 裝 制 控 於 式 模 定 設 之 置 裝 M , 量 測 際 實 或 S 圖Μ C 距 間 演 之 置 装 制 控 此 依 離 距 距 間 定 出 〇 算 定i 設η 入式 輸 t值M ©ΙΑ 行 進 內 憶 記 料 資 之 置 架 框 線 引 將 部 理 處 算 -λ. 經滅部中次梂準局消贽合作社印裝 U 出 部輸 裝而 安置 件·位 元合 體接 導之 半台 的 合 1Α接 架至 框送 線次 引依 Μ份 則部 部的 距、 間 之2A 定部 設納 Μ 收 ί 之 言架 而框 2 d Β 2 F 制 2 控 架 框 線 引 就 線之 引 台 依合 則接 部至 制送 控次 而依 » 份 d5部 • 的 可 ίΕ 理 處 人 輸 料 實 述 前 依 上 論 理 部 装 安 件 元 摄 導 半 此的 如1Β ο' 出1Α 輸 而架 置 位 合 引 接將 框 線 ¥ 1¾ 一闽 度 尺 & 紙 !本 Α7 41040ε Β7 五、發明説明) 的部份依次搬送至接合台之接合位置。但是•因框架供給 器之(各裝置的各構成裝置有機械的加工誤差及組装時的誤 差,故僅引線框架ΙΑ、1B的圖面或實際k童而作資料設定 之,並不能正確地搬送到接合台之接合位置。 因此,前述所作之資料設定後,實際上將引線框架1A 或1B搬送至接合台之接合位置時是否正確,可由電視攝影 機所攝之影像看到•呈現在螢幕盡面上之搬送間距誤差量 *可由目視確認之,誤差部份以數值輸入微調整即可。即 在接合台之接合位置處*所搬送之引線框架1 A或1B,自第1 半導體元件安裝部2A開始、第2半専體元件安裝部2B、第3 • * ·搬送之際,將搬送量的誤差補正值(搬送間距補正 值)設定之。此誤差童之補正不斷重覆進行,直到實際的 弓丨線框架1A或1B能正確地搬送為止。 〔發明欲解決之課題〕 上述習知的技術,引線框架1A之品種變更之際的資料η 、a、b、c,及引線框架1Β品種變更之際的實料n、a、b、 c、dl、d2· * ·<15皆Μ圖面或者賁際测量設定後,實際將 引框線框架1Α搬送之時,其誤差量須加Κ補正、設定也費 時。而且誤差量之微調整之際,為能在螢幕盡面上可目視 誤差量之故•當正確誤差量無法辨別時可能要微調整許多 次0 本發明之第1課題為提供包含因框架供給器之各裝置 有機械的加工誤差及組装時的誤差,而導致搬送間距之位 -7- 本紙弧尺度垧州屮闽1¾家標今(('NS ) MML柏(210X 297公郯) ' ------^---^-- cr.. Λ—y ;: (#先閱婧背而之注意事項再^^本育)
tT 4104QS at B7 五、發明説明(y ) 置偏移誤差的資料設定之.引線ffi架搬送資料設定方法。 :本發明之第2課題為提供於引線框架的品種交換之際 *使其能容易而且短時間內進行的引線癌架的搬送資料設 定方法。 〔課題解決的手段〕 解決上述課題的本發明第1手段,就以引線框架的搬送 資料設定方法而言,其特徵係將資料設定必要之引線框架 的部位K搬送手段送往接合位置處放置,經由設於接合位 置上方之電視攝影機*將前述部位攝影,前述部位以位置 檢出手段處理,將引線框架之前述撖送量儲存於資料記憶 內0 解決上述課題的本發明第2手段,就引線框架的搬送 資料設定方法而言,其特徵係將資料設定必要之引線框架 的部位,Μ搬送手段送往接合位置處放置,經由設於接合 位置上方之電視攝影機*將前速都位攝影,前述部位以位 置檢出手段處理,將引線框架之前述搬送量及前述位置檢 出手段處理之資料儲存於資料記億内。 解決上述課題的本發明第3手段,就上述第1及第2之 手段而言,其特徵係Κ前逑位置檢出手 '段的處理,為經由 前述電視攝影機所攝影而顯示於電梘攝螢幕上之前述部位 之影像,與電視螢幕上之基準標記對準。 解決上記課題的本發明第4手段,就上述第1及第2之 本紙張尺度4川中闽1¾¾:標Θ(ΓΝ5)Λ4規梢(2i〇X 297公漦} {諳先Ml讀背面之注意事項再'it本頁) 裝. 1Τ---- _β 410408 A7 經濟部屮"楛卑局Μ-1-消☆合竹社印妃 B7 五、發明説明(心) 手段而言,其特徵係κ前述位置檢出手段處理;為經由前 述電;視攝影機所攝影之前述部位之影像| Μ影像處理手段 處理之。 ’ 解決上記課題的本發明第5 手段*就半導體元件安裝 部之問距為固定間距所排列之引線框架的搬送資料設定方 法而言,其特徵係實施將第1 半導體元件安裝部放置到接 合位置而將引媒框架搬送之•經由設於接合位置上方之電 視攝影機攝影而顯示於電視攝螢幕上的第1 半導體元件安 裝部之任意位置與電視螢幕上之基準標記對準,此時將引 線框架之搬送量儲存於責料記憶之工程,及其次將最終半 専體元件安裝部放置到接合位置而將引線框架搬送*其與 前述第1半導體元件安裝部之任意位置所對應之最終半導體 元件安裝部之任意位置,與電視攝影螢幕上之基準標記對 準,此時將引線框架之搬送量儲存於貢料記憶之工程。 解決上述課題的本發明第6手段,就引線框架的搬送資 料設定方法而言,其特徵係實施將第1半導體元件安裝部放 置到接合位置而將引線框架搬送,經由設於接合位置上方 之電視攝影機攝影而顯示於電視攝影螢幕上之第1半導體元 件安裝部之任意位置,與電視螢幕上之基準標記對準,此 時將引線框架之搬送里儲存於資料記憶之工程;及其次將 第1半導體元件安裝部Κ後之各收納部放置到接合位置而將 引線框架搬送,其與前述第1 收納部之任意位置所對應之 各半導體元件安裝部之任意位置,與此時電視攝螢華上之 -9- 才、紙張尺度埤州屮1¾¾家標彳< (,NS ) Λ4说格(210X 297公浼) ' ' ^^^^1 ^^^^1 ml ^^^^1 ^^^^1 ^^^^1 一m ϋ - ^ 、丨,. ί ί ;· (諳先閲讀背面之注$項再ί本頁) 訂 經逆.部t次if.ii-^:3:.T.消此合竹私印裝 410406 A7 .___B7 _ 五、發明説明(1 ) 基準標記對準,此時將各引線框架之搬送量儲存於資料記 憶之工程》 解決上記課題解決的本發明第7手段’,就半導體元件安 裝部之間距為固定間距所排列之引線框架的搬送資料設定 方法而言,其特徽係實施將引線框架的前端部位*送往接 合位置附近,經由設於接合位置上方設置之電視攝影機攝 影而顯示於電視攝螢慕上之引線框架的前端部位*與電視 螢幕上之基準標記對準之工程;及將第1半導題元件安裝部 放置到接合位置而將引線框架搬送之,此時將引線框架之 搬送量儲存於資料記憶之工程;及將其與第1 半導體元件 安装部之右端位置與電視螢幕上之基準標記對準,此時將 基準標記之移動量或電視攝影機之移動最儲存於資料記億 之工程;及將第1半専體元件安裝部左端位置與電視螢幕上 之基準標記對準,此時將基準標記之移動量及電視攝影機 之移動量儲存於資料記億之工程;及其次將第1半導體元 件安裝部之任意位置與電視螢幕上之基準標記對準之工程 ;及其次將最終半導體元件安裝部放置到接合位置而將引 架搬送*其與前述第1半導題元件安裝部之任意位置 所對應之最終半導體元件安裝部之任意位置,與電視攝影 發幕上之基準搮記對準,此時將引線檻架之搬送量儲存於 資料記憶之工程;及其次將引線框架的終端部位,與電視 it幕上之基準標記對準,此時將引線框架之搬送量儲存於 資料記憶之工程。 -1 0 _ i紙认尺心請屮公漤)-----
{誚先間讀背面之注意事項再irit本頁J 裝- 訂 *^· A7
4104QS _____B7 五、發明説明(f) 解決上記課題的本發明第8手段,就引線框架的搬送資 料設定方法而言,其特擻係實施將引線框架的前端部位, 送往接合位置附近,經由設於接合位置上方之電視攝影機 攝影而顯示於電梘螢幕上之引線框架的前端部位’與電視 螢幕上之基準標記對準之工程;及將第1半導體元件安裝部 放置到接合位置而將引線框架搬送’此時將引線框架之搬 送量儲存於資料記憶之工程;及將第1半導體元件安裝部之 右端位置與電視螢幕上之基準標記對準•此時將基準標記 之移動量及電視攝影機之移動量儲存於資料記憶之工程; 及將第1半等體元件安裝部左端位置與電視螢幕上之基準標 記對準,此時將基準標記之移動量及電視攝影機之移動量 儲存於資料記憶之工程;及其次將第1半導體元件安裝部之 意位置與電祺螢幕上之基準標記對_之工程;及其次將 第1半導髏元件安裝部K後之各半等體元件安裝部故置到接 合位置而將引線框架搬送,其與前述第1半導體元件安裝部 之任意位置所對應之各半導體元件安裝部之任意位置與此 時電視攝螢幕上之基準標記對準’此時將各引線框架之搬 送虽儲存於資料記億之工程;及其次將引線框架的終端部 位,與電視螢幕上之基準標記對準’此時將引線框架之搬 送量儲存於資料記憶之工程。 ' 〔發明的實施形態〕 首先,於本發明的實施形態說明之前,對圖1G及圖11 中有躕接合裝置全體的構成及控制裝置說明。引線框架供 -11- ίίιιτ^ί (請先間婧背面之注f項再r4·本茛) T •\u° :>· .川屮g ^家標彳Ti'NS ) Λ4现格(210 x297公浼) — 五 410406 A7 B7 、發明説明) 給器3裝設有搬送爪4,其由上讯4 a及下爪4 b組成’搬送爪 4裝設在爪固定架5上可自由開閉。搬送爪為Μ爪開閉用馬 達6使其開閉,而爪固定架5以搬送爪用鳥達?沿著引線框架 供給3之框架搬送路3a移動之。且此種類型的引線框架供給 器3如習知的技術項目所述之特公昭63-56122號公報及特開 平4-346446號公報内,已作說明。 框架搬送路3a之側面*裝設有一與接合位置3b對應作 線拉合、晶粒接合裝置的接合裝置1〇。接合裝置10有^平 台ΠΧΥ平台11M由XY平台用馬達12使其朝χγ袖方向驅動。 ΧΥ平台上搭載有接合頭13’接合頭13上裝設有電視攝影機 14,其由攝影機固定器15所固定。又’於接合頭13裝設在 接合具16之接合手臂17,可使其上下動作。所以電視攝影 _14設置在接合位置3b之上方,接合工具16設置於相對電 視攝影機14之π偏位;又,接合手臂17則以未圖示之Z ( 上下)驅動用馬達上下動作。而且此種的接合裝置10 ’例 如特開平5-27 5 5 02號公報已說明。 框架供給器3之框架搬送路3a之兩側配置有負載側收納 器20 A及卸載側收納器2QB,而負載側收納器20A及卸載側收 納器20 B為各Μ負載側昇降裝置21A及卸載側昇降裝置21B ,使其上下驅動之收納器固定架22依調、整位置負載。負載 側收納器20A内之引線框架1(1A或1B)由框架推進器23推 進至框架搬送路3a,而且此種昇降裝置設置有21A、218之 設備*如特公平1-32127號公報、特公平2-4486號公報及特 -12- 本紙張尺疫讪州屮阀1¾家禚?々((,NS)A4现招(2丨ΟΧ297公漦) k, ~ 閲 ii 背一 ιδ 之 注 項 再 ί.: 本 頁 裝 訂 /?"•部十^^^'-^β η 消卟合 Μ,'1印努 410406 A7 ___B7 五、發明説明(/ 0 ) 開昭63-56122號公報已說明。如圖10所示,2 4為光學感應 器,:可檢知由框架推進器23推出的引線框架1。 如圖11所示,框架供給3的爪開閉用'馬達6、搬送爪用 馬達7接合裝置10之XY平台用馬達12,為各種馬達驅動邵 30,31,32所控制,馬達驅動部30,31,32,可由手動輸 入手段3,經由控制部3 4直接驅動之,又依控制記憶3 5所 儲存之程式K控制部34使其驅動。又資料記憶3 6為由手動 輸入33經由控制部34可將各種資料輸入。實料記億36所儲 存之資料,為控制前記各馬達驅動部30,31,3 2的資料是 以演算處理3 7而演算出來,此演算出的資料也一併存入資 料記憶36内。前述電視攝影機14所攝之影像,由影像處埋 部38作影像處理之,同時影像顯示在電視螢幕3 9上。又| ‘電視螢幕39可將儲存於資料記憶36之各種資料及設定模式 ,可K手動輸入手段33方式來表示及選擇。 其次,本發明之第1實施形態以圖8、圖10及圖11加Μ 參照,再Κ圔1至圖3來說明之。圖8的引線框架1Α,其收納 部品2 A,2 Β,2 F設定為定間距離d的場合,而第一間距c約 等於(1/2) d的場合來說明。Μ圖11的手動輸入手段33 · 選擇框架模式而顯示於電視螢幕3 9上面。Μ此方法則控制 記億3 5所儲存之資料輸入條件就經由控制部3 4而顯示於電 視螢幕33上。因此將引線框架 1Α的半導體元件安裝部品 2A、2B. . .2F之個数η,Κ手動輸入手段33來輸入。即圖 8的場合,η 為6所Μ用6輸入之。此數η的資料為透過控制 -13- 本紙张尺心(!則,戰55.:辦((,阳卜懷枱(210X297公# ) Μ.— * .. 一 -- (#先閱讀背而之注意事項再r為本頁} 訂 ^. 410406 -^^^-^•-^二消价合竹社印^. Α7 Β7 五、發明説明(ί丨) 部3 4儲存在資料記憶36內。若品種變更之際,半導體元件 安装;部個數η不變的場合而言,當然不須要_入半導體元件 安裝部之數目η 。 ’ 其次,使用手動輪入手段33,Μ顯示在電視螢幕39上 之程式模式來選擇框架學習功能。控制記憶35為圖1 (a) 至(f)的工程已預先被存入程式。即負載側收納器20A將 引線框架1A用框架推進器23送出,並K搬送爪4挟著,將引 線框架1A之前端搬送至接合位置3 b附近之工程已設定程式 化。且此場合有闞圖1(a)之自光電感應器24至搬送爪4 之框架挾持部45為止之距雛E、圖1(b)之引媒框架1A的 位置開始 >至_1(4)所示標定位置46(定位之位置)為 止之距離搮定位置46開始至接合位置3 b為止之距離G, ώ預存於資料記憶36内。 所以選擇框架學習功能時 > 以圖1 (a)的狀態來看, 框架推進器23K光學感應器24,檢知到引線框架1A為止, 將引線框架1 A低速推進進行搬送動作。此時搬送爪圼開的 狀態。光學感應器24檢知引線框架1 A時,框架推進器23 之低速推進動作就停止。其次,框架推進器2 3僅Μ前述距 離Ε將引線框架1Α如國1(b)所示的方式推送。如此搬送爪 就可挟到引線框架。其次,搬送爪關閉',將引線框架挾著 ,如圖1(c)所示,搬送爪僅比在資料記憶36所儲存之標 定位置46較多一點,即比距離F稍多些移動之意。 其次,說明標定位置動作。搬送爪4張開,將引線框架 —1 4 - 本紙张尺度蝻川屮阄网家撺呤(「奶)八4此格(2丨()/297公梦) ----^---_---裝— r :、/'i 讀先閲讀背面之注意事項再<容本頁) 订 410408 .¾1¾—部十央掠卑局只-T.消此合作社印汜 A7 37 五、發明説明(/"Μ 1 Α放開,搬送爪4略向箭頭47方向移動。Μ前述之特公昭 63-56122號公報所示之框架推進器使用之場合,搬送爪4 關閉之後,將往箭頭48方向移動之引線-架1Α之前端Μ搬 送爪反向推回,如圖1 (d)所示,將引線框架1Α的前端* 放置在標定位置46處。其次,搬送爪4再往箭頭搮示4 9方向 略移動之後打開,之後,再注箭頭50方向移動•如圃1 ( e )所示,將引線框架1 A送到可被挾持的狀態。 前述之特開平4-346446號公報之框架供給器使用的場 合,搬送爪4為張開狀態,位置定位針頭突出到框架搬送路 3a後,將注箭頭48方向移動之引線框架1A的前端,Μ位置 定位針頭將其推回•使引線框架1 Α的前端,放置在標定位 置46。其次搬送爪4再向箭頭4 9方向略移動,其後再向箭頭 ‘50方向移動,如圖1 ( e)所示,將引線框架1A送到可被挾 持的狀態。 其次,搬送爪4關閉而將引線框架1 A挾持,並僅K賣料 記億所儲存距離G移動之。由此•如圖1 (f)所示》引嬝框 架1 A之前端,自動的搬送到接合位置3 b附近為止。如此, 搬送爪4雖僅將引線框架搬送G距離,但因框架供給器之搬 送爪4的搬送線有機械誤差之故,如圖1(f)的狀態,引線 框架1 A之前端並不與接合位置3 b—致。1 其次,實陁圖2的工程。又,圈2 (a)表示與圖1 (f )相同狀態。如圃2 (b)所示,將第1半導題元件安裝部2A 與圖3所示之接合位置3 b之接合台60之半専體元件安裝部溝 -1 5 - 本紙依尺度城川中阈1¾家標彳< ) ϋ格(210 X 297公~ 讀先閱讀背面之注意事項再fsv·本頁) .裝·
iT A7 B7 五、發明説明(I)) 61對準,而以手動輸入手段3 3將搬送爪4移動。圖3中,62 表示|加熱器。當第1 半導體元件安裝部2A與半導體元件安 裝部溝61對準時,以顯微鏡目視確認後I將電視螢幕3 9的 十字標記39a移動,並K所習知之電氣紐(Chessnan)操 作之,把電視螢幕39上的十字標記39aM電視攝影機14攝影 而顯示於電視螢幕3 9上的第1半導體元件安裝部2 A的任意位 置,如與邊角部份對準後,按下開Μ。由此搬送爪將引線 框架1Α如圖1( f)及圖2(a)的狀態,向圖2 (b)的狀 態移動之距離Η的資料儲存在資料記憶36。且此十字標示 39 a的位置為下一個半等體元件安裝部設定時的標記。 其次,如圖2 (C)所示,Μ手動輸人手段3 3將搬送爪4 移動,將引線框架1 Α搬送之,俟最终的半導體元件安裝部 2F與接合位置3b之接合台60的半導體元件安装部溝61的位 置為止。在此場合的引線框架1 A的搬送為搬送爪4之往返移 動,不管是間敢性或連績性皆可。然後*最後半導體元件 安裝部2 F的任意位置,此場合為邊角部位要與電視螢幕39 上十字標記39 a對準,而由手動輸入手段33·移動搬送爪。 其後•最終半導體元件安裝部2 F與接合位置3b之半導體元 件安裝部溝61是否對準,可由顯微鏡目視確認後按下開關 。由此搬送爪將引線框架1 A如圖2 (b)'狀態移動至圖2 (c )的吠態之距離B 之資料,儲存放入責料記憶36。由Μ上 方法,則完成資料設定。其後,如圖1 ( d)所示,引線框 架1 A由未圖示之卸載側搬送爪搬送至御載側收納器20收納 本紙张尺度谪用屮因闽家榇.1*((’阳)/\«1规招(210/ 297公犛) (讀先閱讀背面之注意事項再^寫本頁)
410408 A7 B7 五、發明説明(丨f ) 之。前述資料的半導體元件安裝部涸數η,Μ第1半導體元 件安裝部2Α開始到最終收納品 2F為止的距離Β,演算處理 部37以固定間距用〔式2 〕可計算出/而且演算部37Κ〔 式3〕[式4〕可算出第一間距C,及框架長度Α。 〔式 2〕D = B/ ( n-1)
〔式 3〕C= ( 1/2) · D
〔式 4〕 A=B+D 因此,品種變更時,經由實施第1半導體元件安装部2A 往接合位置3 b放置而將引線框架1 A搬送,電梘螢幕39之十 字標記39a與第1半導體元件安裝部2A的任意位置對準時之 引線框架1A的搬送量存入資料記億之工程*及其次將引線 框架1A搬送之第1半導體元件安裝部 2A的任意位置所對應 之最終半導體元件安装部2F的任意位置與電視螢幕39的十 字標記39a對準時之引線框架 1A的搬送量儲存入寶料記億 36之工程,可將引線框架1 A搬送之必要的資料設定完成。 即包含實際之誤差的框架供給器搬送爪,使引線框架1 A搬 送時所作之設定之故,設定操作中可包含誤差的設定’一 旦設定完成後,則不需搬送確認及微調整。
通常引線框架搬送時,從負載側收納器2GAM框架推進 器23將引線框架1A送出,經由圖1 ( a) '至(d)之工程’使 引線框架1A定位後*搬送爪4則僅依實料記憶 36所存之資 料(G+H)的距離移動。因此,第1半導體元件安裝部 2A 被搬送至接合位置3b放置。其次將第1半導體元件安裝部2A -17- 紙汰尺庹进川屮家d ( OMS ) Λ4%格公漤) 諸 間 讀 背 ιδ 之 注 意 事 項 本 頁 410406 A7 Αν ____B7_ 五、發明説明(<) 位置上包含接合裝置之接合模型Μ電視攝影機14檢出之。 其中;由於位置誤差|控制裝置將接合座標記憶所存之座標 補正之後· Μ接合裝置1 〇將其接合之。接合完成後,僅將 引線框架1 AM存在實料記憶3 6之定間距D移動之。Μ此,將 第2半導體元件安裝部2Β放置在接合位置3b,且與前述相同 之動作接合之。Μ此依順序執行至最终半導體元件安裝部 2 F所對應之接合部份將其接合處理完成後,引線框架1 Α由 未圖示之卸載側的搬送爪搬送至卸載側收納器20 B收納之。 圖4為表示本發明之第2實施形態》實施彤態為圖9 的 引線框架1B使用之場合,旦第一間距C約等於(1/2) · d 的場合。引線框架1B其半導體元件安装部2A,2B. .2F之 數nK手動輸入手段33輸入之,且Μ手動輸入手段33,將顯 示電視螢蒂3 9上之程式模式來選擇框架學習功能時I此與 第1質施形態相同。从圈1 (a)至圖1 (f)之工程,而如 圖1 (f)所示之狀態,將引線框架丨B之前端自動搬送至接 合位置3b附近。半導體元件安裝部數η不變的場合而言*當 然不再須要輸入半導體元件安裝部之數目η。特別是本實施 形態,因茛施下記半導體元件安装部之間距D1〜D5設定之 故,半導體元件安裝部之個數η可自動地存入資料36。 其次,如實施如画4 (a)之工程。此工程與第1實施形 態之圖2 (b)相同。即如圖4 (a)所示,以手動輸入手段 33使搬送爪4移動,將第1半導體元件安裝部2A與接合位置 3b之接合台60之半導體元件安裝部溝61吻合之。第1半導 -18- '—--_ 本紙張尺度诚;( CNS }现格(210X 297公箱) '~~~ (讀先閱讀背面之注意事項再ir"'本頁) ,裝_ 訂 410408 A7 _____B?__ 五、發明説明(丨b) 體元件安装部2 A與半導體元件安裝部溝61吻合之狀態Μ顯 微鏡目;視確認後*操作所周知之電氣鈕而使電視螢幕3 3的 φ 十字標記39a_動,且將其與電視螢幕39的十字摞記39 a與 第1半導體元件安装部2A的任意位置,如邊角部位對準之 ,按下設定紐即可。依此方法Μ搬送爪4將引線框架1B搬送 *自圖1 (f)至画4(a)之狀態,其移送之距離Η儲存入資 料記億,且此十字標記39 a之位置即為下一個半導體元件安 裝部時之標記。 其次》如圖4 (b)所示,其與圃4 (a)所示之第1收納 部2 A的位置定位處理方式相同。將第1半導體元件安裝部2B 之邊角部位與電視螢幕39的十字標記39 a吻合,而K手動輸 入手段33使搬送爪4移動。其次,第2半導體元件安裝部2B 與接合位置3 b之接合台60之半導體元件安裝部溝61吻合之 狀態Μ顯微鏡目視確認後按下設定鈕即可。依此自圖4 (a )之位置至圖4(b)位置,將引線框架1B之搬送距離D1儲 存入資料記憶36。依圖4(b)之自第3、第4、第5、最終半 導體元件安裝部2C、2D、2E、2 F為止重複操作。如圖4 (c )所示係最終半導體元件安装部2 F的位置定位設定完成之 狀態。依此,將間距距離D2、D3、D4、 D5儲存入資料記憶 36。根據K上步驟而完成資料設定。其次將引線框架1B由 未圖示之負載側的搬送爪搬送至卸載側收納器20收納之。 若半導體元件安裝部之個數η自動設定,將各半専體元件安 裝部與十字標記33a對準,將設定紐所按的次數作為半導體 -19- 本紙仄尺度谇川屮國丨( ('NS ) Λ4現格(210X 297公菊) ----:---^---^-- . ./----- (請先閲讀背面之注意事項再irii?本頁) 訂 i. 經".部十畎^^^--^-1·消介合作私印裝 410408 ab] 五、發明説明〇'Ί) 元件安装部涸數η存入資料記憶36 。 因;此*品種變更時,將第1半専體元件安裝部2Α往接合 $ 位置3b放置而將引線框架1Β搬送,將電視螢幕39之十字標 記3 9a與第1半導體元件安装部2A的任意位置對準將此時的 引線框架1B的搬送量,存入實料記憶36之工程;及將引線 框架1B搬送,其第1半導體元件安裝部2 A後之各半導體元 件安裝部2B、2C· · * 2F之第1半専體元件安裝部2A之任 意位置所對應之任意位置與電視螢幕3 9的十字標記39 a葑準 ,此時將各引線框架1B的搬送量存入資料記億36之工程, 由此步驟即可完成將引線框架1B搬送之必要的資料設定。 即為以包含實際之誤差的框架供給^搬送爪4,將引線框架 1B搬送而作設定之故*於設定操作中*可包含誤差之設定 ,一旦設定完成後則不需作搬送確認及微調整。 圔5為表示本發明之第3實施形態。本實施形態為使闬 圖8的引線框架1A之場合|其雖與前述第1實施形態相同, 但第一間距不等於定間距距離d之1/2。所以本實施形態之 工程為除前述第1實施形態之工程Μ外,須作引線框架1 A前 端及終端之測量。 若使用K手動輸入手段33, Μ顯示在電視螢幕39上之 程式模式來選擇框架學習功能,則與前述第1實施形態相同 ,自圖1(a)至圖1(f)之工程形成為圖1(f)之狀態, 將引線框架1Α之前端自動搬送至接合位置3b附近。 其次,如圖5 ( a)所示,將電視螢幕39的十字標示39a -20- 本紙張尺度谪用屮_闽家標彳((’奶)/\4規梢(210乂 297公赍) (請先間讀背面之注意事項再本頁) .裝. 訂 410408 at Β7 _____ 五、發明説明(〖f) 與引線框架1 A的前端對準,按下設定鈕。且十字標示39a之 移動叫前述第1實施彤態所說明之狀態,操作電氣紐是必須 的步驟。其次如圖5 ( b)所示,將第1半導士元件安裝部2 A 與接合位置3b之接合台60之半導體元件安裝部溝61對準而 K手動輸入手段33使搬送爪移動。此時第1半導體元件安裝 部2A半導體元件安装部61對準之狀態K顛微鏡目視確認後 ,將電視螢幕39的十字標記39 a與第1收納部2 A的右端位置 對準,按下設定鈕。其次如圖5 (c)所示,將電視螢橥39 的十字標示39a與第1半導體元件安裝部2A的左端位置對準 ,按下設定鈕。依此,將引線框架1 A之移動距離I*十字標 記39a之移動距離J及K髂存入資料記億36。 又,十字標記39a之移動距離J及K為電視螢幕3 9上之移 動董*因與引線框架1A之搬送量(搬送爪之搬送量)及參 數不同•所以將引線框架1A之搬送量Μ演算處理部37將其 轉換為貢料儲存入資料記憶36。雖然為取得資料J及Κ,可操 作電氣紐使十字標示39a移動,為使十字檷記39a與第1收納 部2 A的右端位置及左端位置對準*亦可移動電視攝影機14 。根據前述資料I、J、K,演算處理部37可依(式5)將第 一間距算出。 [式 5〕C = I - J + ( 1 / 2 ) . K ' 其次如圖5 ( d)所示·移動電視螢幕33的十字標記39a 使與第1半導體元件安裝部2A的任意位置例如邊角部位對準 ,按下設定鈕。此十字標記39a之位置即為下一個半専體元 -2 1- 本紙張尺度冷77,NS ) Λ4现格(210X 297公漤) (諳先閱讀背面之注意事項再 Vk本頁) -裝_ 訂 -'^. -
^l〇4〇S 五、發明説明(q ) 件安裝部設定時之標記。此圖5(d)之工程與圖2(b)之 工程柑同。其次,如圖5 (e)所示,Μ手動輸入手段33 * 使搬送爪4移動,最終收納部2 F撖送至接合位置3 b之接合台 之半導體元件安装部溝61位置為止,將引線框架1A搬送。 其次,為最终半導體元件安裝部2F之任意位置,此場合為 使邊角部位與電視螢幕39的十字檁記39 a吻合而K手動輪入 手段33,將搬送爪4移動◊其後,最终半導體元件安裝部2F 與半導體元件安裝部61溝吻合之狀態Μ顯微鏡目視確認後 按下設定鈕。依此,Μ搬送爪4將引線框架1Α之移動距雛如 圖5(d)之狀態至圖5(e)之狀態所移動Β距離之資料存入 資料記憶36。此工程與画2(b)之工程相同。由此,Κ前 述(式2)依演算處理部37將定間距D之距離算出。 其次,如圖5 ( f)所示,Μ搬送爪4進行搬送操作,將 引線框架1Α之終端與電視螢幕39的+字標示39 a對準位置為 止,按下設定紐。此時將搬送距離L儲存人實料記憶36 。 依此,引線框架1 A之長度AK演算處理部37 (式6)算出。 其後,引線框架1 A由未圖示之卸載側搬送爪送至卸載側收 納器20B。 〔式 6〕 A=C+B+L-(K/2) 因此,品種變更時,經由實施電視螢幕39的十字標記 3 9 a與引線框架1A的前端對準之工程;及將第1半導髖元件 安裝部2A送注接合位置3b為止,將引線框架1A搬送之時引 線框架1A的搬送量·存入資料記憶36之工程;及其次將第 -2 2 - (对先閲讀背面之注意事項^>、ίί5本頁) 裝. 訂 410408 A7 B7 __ 五、發明説明(V心) 1半導體元件安装部2A 之右端位置其與電視螢幕3 9的十字 標示3”對準,此時將十字標記39a之移動最或電視攝影機 14之移動垦存入資料記憶 36之工程;及其次將第1半導體 元件安裝部2A之左端位置與電視螢幕39 的十字標示33 a對 準,此時十字標記33&之移動童或電視攝影機丨4之移動量存 入實料記憶3 6之工程:及其次將電視螢幕39的十字標記39a 與第1半導體元件安裝部2A的任意位置對準之工程;及其次 將引線框架1 A撖送,將最終半導體元件安裝部2 F之任意置 與電視螢慕39的十字標示39 a澍準*將此時引線框架1A之搬 送量存入資料記憶3 6之工程;及其次,將引線框1 A搬送時 ,電視螢幕39的十字標記39a與引線框架1A之終端位置對準 ,此時將引線框架1A之移動1存入資料記憶36之工程,由 Μ上步驟引線框架1A搬送所必要之賣料即可設定之。本實 施狀態與第1實施形態相同*即為Μ包含實際之誤差的框架 供給器搬送爪4,將引線框架1 Α搬送而進行設定,故於設定 操作中*可包含誤差的設定,一旦設定完成後,則不需作 搬送確認及微調整。 圖6及圖7為表示本發明之第4實施彤態。本實施形態為 使用圈9的引線框架1B ·且第一間距C不等於(1/2) · d的 埸合。圖6 (a)至(c)與圈5(a)至(c)1相同,為設定 第一間距C之工程。且圖6 ( d) ' ( e)、圖7 (a)為設定 與圖4 (a)至(d)相同為間距Dl、D2、D3、D4 、D5之工 程。且圖?(M與圖5(f)相同引線框架1B之左端,即設 -23- 本紙伋尺度谇川十闽四家枕彳(rNS)Λ4現松(210x297公漦) (請先閱讀背面之注意事項再^.#本頁) 訂 ->- 410408 a? B7 五、發明説明(>l) 定框架長度A之工程。茌此省略其詳细說明。 於:前述各實施形態中,說明半導體元件安裝部與接合 位置3b之接合台60之半導體元件安装部溝對準狀態,K 顯微鏡目視確認。但是*此僅是確認而已*非必要進行之 事。而且接合台6Q有收納部溝61之場合已作說明,當然沒 有半導體元件安裝部溝61之時也可適用之。 而且,第1實施形態,圖2(b)及圃2 (c)之引線框架1Α 搬送、第2實施形態,圖4 (a)至圖4(c)之引線框架1Β 搬送、第3實施形態,圃5 ( a)至圖5 ( f)之引線框架1A 搬送、第4實施形態,圖6 ( a)至圖6 ( e),圖7 ( a)及 圖7 ( b)之引線框架1B搬送、皆各別K手動輸入手段33 之操作處理已說明*但是K各工程使用預存程式及採用周 知之模型認識方法,可將必要之資料自動設定。 引線框架ΙΑ、1B為圖8及圖9的何種類型,或是否為第 -間距c約為定間距d之1/2的引線框架ΙΑ、1B,此四種組合 形態之有關前述工程 >第1形態為圖2(b)及圖2(c)之工 程、第2形態為圃4(a)至圖4(c)之工程、第3形態為圔5 (a)至圖5 ( f)之工程、第4形態為圖6 ( a)至画6 ( e) 、圖7 ( a)及圖7. ( b)之工程、皆於圃il所示之控制記憶 3 5之程式處理之。又,Μ鼋視攝影機14將瘙影之引線框架 1 A、1 Β之檢出部(部泣)Κ模型認識方法作影像處理。因 此,當品種變更時,此引線框架ΙΑ,1B之形態為1至4之何 棰肜態須預先選擇。 -24- 呆紙張尺四家掠々((.NS ) ΛΊ现格(2丨0/2(_)7公箱) (諳先間讀背面之注意事項再^ftT本頁) 裝· T ·-0· 旅· 410408 A7 B7__ 五、發明説明卜 因此,圖2之場合,將半導體元件安裝部2A* 2 F分別K 模型認;識方法,使引線框架1 Α自動搬送及橫型認識處理, t 其位置則自動被設定好。如圖4之場合,將半等體元件安裝 部2A至2 F分別Μ模型認識方法,使引線框架自動搬送及 橫型認識處理,其位置則自動被設定好。如圖5之埸合,將 引線框架1Α之前端、第 1半導體元件安裝部2Α之左端位置 、第1半導體元件安裝部2 Α之右端位置、第1收納部2 Α之任 意位置、最終半等體元件安裝部2 F之任意位置,分別Μ模 型認識方法,使引線框架1Α自動搬送及模型認識,其位置 會自動被設定好。如圖6及圖7之場合,為以圖4及圃5所組 成之工程|使引線框架1Β自動搬送及模型認識,其位置畲 自動設定。而且,Μ半等體元件安裝部2 Α〜2 祺型認識 方法,收納部個數η會自動的存入資料記億36。 圖2及圖5所示,半導體元件安裝部為定間距的引線框 架1Α,為算出間距距離D而必須先將半導體元件安裝部2Α〜 2F之距雛Β測量之,圖4 、圖6、及圖7所示為不規則間距的 引線框架1Β之場合也相同,也可算出各半導體元件安装部 間距距離。 〔發明之效果〕 依本發明,包含可將因框架供給器各裏置之機械加工 、組裝誤差而導致的搬送間距位置偏移誤差的資料設定, 而且可容易且短時間内進行引線框架之品種變更。 〔圖面之簡單說明〕 (諳先閱讀背面之注意事項再r'為本頁) 裝. 訂 經濟部屮少掠卑局兵工消贽合竹社印製 410408α7 __Β7_____ 五、發明説明(β) 〔圖1〕本發明之引線框架搬送資料設定方法之第1實 施形,工程圖。 * 〔圖2]接績圖1之工程的工程圖 ’ 〔圖3〕引線框架與接合台醞係之側面圖 〔圖4〕本發明之引線框架搬送資料設定方法之第2實 施形態工程圖,接Μ圖1之工程的工程圖 〔圖5〕本發明之引線框架搬送資料設定方法之第3實 施彩態工程圈,接續圖1之工程的工程圖 〔圃6〕本發明之引線框架搬送資料設定方法之第4實 施形態工程圄,接續圖1之工程接缜工程圖 〔圖7〕接練圖6之工程的工程圖。 〔圖8〕固定間距之引線框架平面圖 '〔圖9〕不規則間距之引線框架平面圖 〔画10〕引線框架搬送資料裝置(a)概略構成平面圖 、(b)正面圖 〔圃Π〕本發明之引線框架搬送資料設定方法所使用 的控制裝置方塊圖 〔符號說明〕 ΙΑ、1B 引線框架 2A、2B...2F 半導體元件安裝部 ' 3 框架供給器 3a 框架搬送路 3t> 接合位置 -2 6 - 本紙张尺度迪圯十熙四家你今() Μ規格(2丨0X297公笳) (錡先閱讀背面之注意事項再'皮.寫本頁) .裝- 1Τ 經漓部屮"'捃"而員-T7;fl贽合作.^印$ 410408 五、發明説明) 4 搬送爪 10 接合裝置 14 電視攝影機 33 手動輸入手段 34 控制部 35 控制記憶 36 資料記憶 37 演算處理部 38 影像處理部 39 電視螢幕 39a 十字標記 46 標定位置 I----:---^---^------1T--ί 1--β - - -\ (請先閱讀背面之注意事項再βι^本頁) 本紙张尺度诚川中闽K家標蜱(rNS ) /W规格(210X 297公势)

Claims (1)

  1. 8 8 88 ABCD 熳綠4.;μ明示,本案改請新塑後是否變更原實質"經濟部中央標率局f合作社印粟 六、申請專利範圍 1 · 一種引線框架之搬送資料設定方法,其特徵係具 有:將實料設定之必要引線框架的部位•藉由搬送手段將 其送往接合位置放置;並經由設於接合位置上方之電視攝 影機將前述部位攝影,前述部位κ位置檢出手段處理,將 引線框架之前述搬送量儲存於資料記億內。 2 ·—種引線框架的搬送資料設定方法*其特徵係具 有:將資科設定之必要引線框架的部位•藉由搬送手段將 其送往接合位置處放置,並經由設於接合位置上方設置之 電視攝影機將前逑部位攝影•前述部位K位置檢出手段處 理,將引線框架之前述搬送量及前述位置檢出手段處理之 賣料儲存於資料記憶内。 3·如申請專利範圍第1或第2項所述之引線框架之 搬送資料設定方法*其中藉由前述位置檢出手段的處理> 為經由前述電視攝影機之攝影而顯示於電視攝螢幕上之前 述部位之影像*與電視螢幕上之基準標記對準。 f 4 ·如申請專#第1或第2項所述之引線框架之搬送 資料設定方法*其中藉由前述位置檢出手段的處理,為經 由前述甯梘攝影機之攝影而顯示於電視攝螢幕上之前述部 位之影像,K影像處理手段處理之。 5 * —種引線框架之搬送資料設定方法,其特徵係具 有:就半導體元件安裝部之間距為固定間距所排列之引線 框架的搬送資料設定方法而言,實施將第1半導體元件安 裝部放置到接合位置而將.引線框架搬送,並經由設於接合 -1 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210 X 297公鳌) (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁} 、1· 8 8 88 ABCD 熳綠4.;μ明示,本案改請新塑後是否變更原實質"經濟部中央標率局f合作社印粟 六、申請專利範圍 1 · 一種引線框架之搬送資料設定方法,其特徵係具 有:將實料設定之必要引線框架的部位•藉由搬送手段將 其送往接合位置放置;並經由設於接合位置上方之電視攝 影機將前述部位攝影,前述部位κ位置檢出手段處理,將 引線框架之前述搬送量儲存於資料記億內。 2 ·—種引線框架的搬送資料設定方法*其特徵係具 有:將資科設定之必要引線框架的部位•藉由搬送手段將 其送往接合位置處放置,並經由設於接合位置上方設置之 電視攝影機將前逑部位攝影•前述部位K位置檢出手段處 理,將引線框架之前述搬送量及前述位置檢出手段處理之 賣料儲存於資料記憶内。 3·如申請專利範圍第1或第2項所述之引線框架之 搬送資料設定方法*其中藉由前述位置檢出手段的處理> 為經由前述電視攝影機之攝影而顯示於電視攝螢幕上之前 述部位之影像*與電視螢幕上之基準標記對準。 f 4 ·如申請專#第1或第2項所述之引線框架之搬送 資料設定方法*其中藉由前述位置檢出手段的處理,為經 由前述甯梘攝影機之攝影而顯示於電視攝螢幕上之前述部 位之影像,K影像處理手段處理之。 5 * —種引線框架之搬送資料設定方法,其特徵係具 有:就半導體元件安裝部之間距為固定間距所排列之引線 框架的搬送資料設定方法而言,實施將第1半導體元件安 裝部放置到接合位置而將.引線框架搬送,並經由設於接合 -1 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210 X 297公鳌) (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁} 、1· 410408 b8 C8 D8 六、申請專利範圍 位置上方之電視攝影機之攝影而顯示於電視螢幕上之第1 半等體元件安裝部任意位置,與電視螢薄上之基準標記對 準,此時將引線框架搬送量儲存於資科記億之工程;及其 次將最終半導體元件安裝部放置到接合位置而將引線框架 搬送之,其與前述第1半導體元件安裝部之任意位置•所 對應之最終半導體元件安裝部之任意位置*與電視螢幕上 之基準標記對準,此時將引線框架搬送量醏存於資料記億 之工程。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 6 * —種引線框架之搬送資料設定方法,其特徵係具 有:實施將第1半導體元件安裝部放置而將引線框架搬送 並經由設於接合位置上方之電視攝影櫬之攝影而顯示於電 視螢幕上之第1半導體元件安装部之任意位置,與電視螢 幕上之基準搮記對準,此時將引線框架搬送量儲存於資料 記憶之工程;及其次將第1半導體元件安裝部K後之半導 體元件半導體元件安裝部放置到接合位置而將引線框架搬 送,其與前述第1半導體元件安裝部任意位置所對應之各 半導體元件半導體元件安裝部之任意位置與此時電視攝螢 幕上之基準標記對準,此時將各引線框架搬送量儲存於資 料記憶之工程。 7 * —種引線框架之搬送資料設定方法,其特徵係具 有:就半等體元件安裝部之間距為固定間距所排列之引線 框架的搬送資料設定方法而言,實施將引線框架的前端部 位送往接合位置附近*並經由設於接合位置上方之電視攝 -2- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS > A4规格(210X297公釐) ' A8 BS C8 D8 «10408 々、申請專利範圍 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 影機攝影之而顯示於電視攝螢幕上之引線框架前端部位, 與電視螢蓽上之基準標記對準之工程;及將第1半導體元 件半導體元件安裝部放置到接合位置而將引線框架搬送之 ,此時將引線框架搬送量儲存於資料記憶之工程;及將第 1半導體元件半導髓元件安裝部之右端位置與電視螢幕上 之基準標記對準*此時將基準標記之移動量及電視攝影機 之移動最儲存於資料記憶之工程;及將第1半導體元件安 裝部左端位置與電視螢幕上之基準操記對準,此時將基準 標記之移動量及電視攝影機之移動量儲存於資科記憶之工 程;及其次將第1半導體元件半導體元件安裝部之任意位 置與電視螢蘗上之基準摞記對準之工程;及其次將最終半 導體元件安裝部放置到接合位置而將引線框架搬送*其與 前述第1半導體元件安裝部之任意位置所對應之最終半導 體元件安裝部之任意位置,與電視攝螢幕上之基準揉記對 準I此時引線框架之搬送量儲存於賣料記憶之工程;及其 次將引線框架搬送*並將引線框架的終端郤位,與電視螢 幕上之基準標記對準,此時將引線框架之搬送量儲存於資 料記憶之工程。 8 ♦—種引線框架之搬送資料設定方法,其特徵係具 有:實施將引線框架的前端部位送往接合位置附近,並經 由設於接合位置上方之電視攝影懺之攝影而顯示於電視螢 幕上之引線框架的前端部位*與電視螢幕上之基準標記對 準之工程;及將第1半導.體元件安裝部放置到接合位置而 本紙張尺度逋用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公* ) 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 ^0408 g DS 六、申請專利範圍 將引線框架搬送,此時將引線框架之搬送量脯存於資料記 憶之工程;及將第1半導體元件安裝部之右端位置與電視 螢幕上之基準標記對準,此時將基準檷記之移動里及電視 攝影機之移動童儲存於資料記憶之工程;及其次將第1半 導體元件半導體元件安裝部左端位置與電視螢幕上之基準 標記對準,此時將基準欏記之移動量及電視攝影機之移動 量儲存於資料記憶之工程;其次將第1半導體元件安裝部 之任意位置與電視螢幕上之基準標記對準之工程;及其次 將第1半導體元件安裝部Μ後之各半導體元件安裝部放置 到接合位置而將引線框架搬送,其與前述第1半導體元件 安裝部之任意位置所對應之各個半導體元件安裝部之任意 位置與此時電視螢幕之基準標記對準,此時將各引線框架 之搬送量儲存於資料記憶之工程;及其次將次引線框架的 终端部位與電視螢幕上之基準標記對準,此時將引線框架 之搬送量儲存於資料記憶之工程。 -4- 本紙張尺度逋用中國國家標準(CNS ) Α4规格(210X297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
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