JP5875811B2 - 基板検査装置および補正情報取得方法 - Google Patents
基板検査装置および補正情報取得方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5875811B2 JP5875811B2 JP2011207165A JP2011207165A JP5875811B2 JP 5875811 B2 JP5875811 B2 JP 5875811B2 JP 2011207165 A JP2011207165 A JP 2011207165A JP 2011207165 A JP2011207165 A JP 2011207165A JP 5875811 B2 JP5875811 B2 JP 5875811B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- unit
- imaging
- substrate
- holding
- holding unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Description
前記ユニット保持部には、保持部位置特定用マークが設けられ、前記記憶部は、前記移動制御情報に従って前記第2の撮像処理の実行位置に移動させた状態の前記ユニット保持部における前記保持部位置特定用マークの前記第2の撮像部に対する基準の位置を特定可能な保持部マーク位置情報、および前記補正情報取得用基板を保持した前記基板保持部を前記第1の撮像処理の実行位置に位置させた状態における前記撮像部位置特定用マークの前記第1の撮像部に対する基準の位置を特定可能な撮像部マーク位置情報を記憶し、前記処理部は、前記搬送機構を制御して前記補正情報取得用基板を保持している前記基板保持部を前記第1の撮像処理の実行位置に搬送させると共に、前記第1の撮像部を制御して前記第1の撮像処理を実行させ、かつ、前記第1の画像データに基づいて特定される前記撮像部位置特定用マークの位置と前記撮像部マーク位置情報に基づいて特定される当該撮像部位置特定用マークの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を撮像部位置情報として取得して前記記憶部に記憶させ、当該撮像部位置情報に基づいて前記移動制御情報を補正した補正情報取得時移動制御情報に従って前記移動機構を制御して前記第2の撮像処理の実行位置に前記ユニット保持部を移動させると共に、前記第2の撮像部を制御して前記第2の撮像処理を実行させ、かつ、前記第2の画像データに基づいて特定される前記保持部位置特定用マークの位置と前記保持部マーク位置情報に基づいて特定される当該保持部位置特定用マークの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を、前記プロービング処理において使用する前記移動制御情報を補正するための補正情報として取得して前記記憶部に記憶させる補正情報取得処理を実行する。
2 基板保持部
3 搬送機構
4,5 カメラ
6 テストヘッド保持部
6m,30m 位置特定用マーク
7 移動機構
11 処理部
12 記憶部
20 検査対象基板
30 補正情報取得用基板
40 テストヘッド
50,50A 補正情報取得処理
D1,D2 撮像データ
Da,Db 基準位置情報
Dc カメラ位置情報
Dp 移動制御情報
Dr 補正情報
P 検査用プローブ
Claims (4)
- 検査対象基板を保持する基板保持部と、検査用プローブが配設されたプローブユニットを保持するユニット保持部と、前記基板保持部に対して前記ユニット保持部を移動させて当該ユニット保持部によって保持されている前記プローブユニットの前記検査用プローブを当該基板保持部によって保持されている前記検査対象基板にプロービングさせるプロービング処理を実行する移動機構と、前記基板保持部における前記検査対象基板の保持位置を撮像して第1の画像データを出力する第1の撮像処理を実行する第1の撮像部と、前記プロービング処理の実行位置および前記第1の撮像処理の実行位置に前記基板保持部を搬送する搬送機構と、前記移動機構によって前記ユニット保持部を移動させる際の移動量および移動方向を特定可能な移動制御情報を記憶する記憶部と、前記搬送機構による前記基板保持部の搬送、前記第1の撮像部による前記第1の撮像処理、および前記移動機構による前記プロービング処理を制御する処理部とを備えた基板検査装置であって、
前記基板保持部によって保持可能に当該基板保持部とは別体に構成されて撮像部位置特定用マークが設けられた補正情報取得用基板に取り付けられると共に、前記プロービング処理の実行位置において前記ユニット保持部を撮像して第2の画像データを出力する第2の撮像処理を実行する第2の撮像部を備え、
前記ユニット保持部には、保持部位置特定用マークが設けられ、
前記記憶部は、前記移動制御情報に従って前記第2の撮像処理の実行位置に移動させた状態の前記ユニット保持部における前記保持部位置特定用マークの前記第2の撮像部に対する基準の位置を特定可能な保持部マーク位置情報、および前記補正情報取得用基板を保持した前記基板保持部を前記第1の撮像処理の実行位置に位置させた状態における前記撮像部位置特定用マークの前記第1の撮像部に対する基準の位置を特定可能な撮像部マーク位置情報を記憶し、
前記処理部は、前記搬送機構を制御して前記補正情報取得用基板を保持している前記基板保持部を前記第1の撮像処理の実行位置に搬送させると共に、前記第1の撮像部を制御して前記第1の撮像処理を実行させ、かつ、前記第1の画像データに基づいて特定される前記撮像部位置特定用マークの位置と前記撮像部マーク位置情報に基づいて特定される当該撮像部位置特定用マークの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を撮像部位置情報として取得して前記記憶部に記憶させ、当該撮像部位置情報に基づいて前記移動制御情報を補正した補正情報取得時移動制御情報に従って前記移動機構を制御して前記第2の撮像処理の実行位置に前記ユニット保持部を移動させると共に、前記第2の撮像部を制御して前記第2の撮像処理を実行させ、かつ、前記第2の画像データに基づいて特定される前記保持部位置特定用マークの位置と前記保持部マーク位置情報に基づいて特定される当該保持部位置特定用マークの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を、前記プロービング処理において使用する前記移動制御情報を補正するための補正情報として取得して前記記憶部に記憶させる補正情報取得処理を実行する基板検査装置。 - 検査対象基板を保持する基板保持部と、検査用プローブが配設されたプローブユニットを保持するユニット保持部と、前記基板保持部に対して前記ユニット保持部を移動させて当該ユニット保持部によって保持されている前記プローブユニットの前記検査用プローブを当該基板保持部によって保持されている前記検査対象基板にプロービングさせるプロービング処理を実行する移動機構と、前記基板保持部における前記検査対象基板の保持位置を撮像して第1の画像データを出力する第1の撮像処理を実行する第1の撮像部と、前記プロービング処理の実行位置および前記第1の撮像処理の実行位置に前記基板保持部を搬送する搬送機構と、前記移動機構によって前記ユニット保持部を移動させる際の移動量および移動方向を特定可能な移動制御情報を記憶する記憶部と、前記搬送機構による前記基板保持部の搬送、前記第1の撮像部による前記第1の撮像処理、および前記移動機構による前記プロービング処理を制御する処理部とを備えた基板検査装置であって、
前記基板保持部によって保持可能に当該基板保持部とは別体に構成されて撮像部位置特定用マークが設けられた補正情報取得用基板に取り付けられると共に、前記プロービング処理の実行位置において前記ユニット保持部を撮像して第2の画像データを出力する第2の撮像処理を実行する第2の撮像部を備え、
前記ユニット保持部には、保持部位置特定用マークが設けられ、
前記記憶部は、前記移動制御情報に従って前記第2の撮像処理の実行位置に移動させた状態の前記ユニット保持部における前記保持部位置特定用マークの前記第2の撮像部に対する基準の位置を特定可能な保持部マーク位置情報、および前記補正情報取得用基板を保持した前記基板保持部を前記第1の撮像処理の実行位置に位置させた状態における前記撮像部位置特定用マークの前記第1の撮像部に対する基準の位置を特定可能な撮像部マーク位置情報を記憶し、
前記処理部は、前記搬送機構を制御して前記補正情報取得用基板を保持している前記基板保持部を前記第1の撮像処理の実行位置に搬送させると共に、前記第1の撮像部を制御して前記第1の撮像処理を実行させ、かつ、前記第1の画像データに基づいて特定される前記撮像部位置特定用マークの位置と前記撮像部マーク位置情報に基づいて特定される当該撮像部位置特定用マークの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を撮像部位置情報として取得して前記記憶部に記憶させ、前記移動制御情報に従って前記移動機構を制御して前記第2の撮像処理の実行位置に前記ユニット保持部を移動させると共に、前記第2の撮像部を制御して前記第2の撮像処理を実行させ、かつ、前記第2の画像データに基づいて特定される前記保持部位置特定用マークの位置と前記保持部マーク位置情報に基づいて特定される当該保持部位置特定用マークの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を前記撮像部位置情報に基づいて補正し、補正した当該位置ずれ量および当該位置ずれの方向を、前記プロービング処理において使用する前記移動制御情報を補正するための補正情報として取得して前記記憶部に記憶させる補正情報取得処理を実行する基板検査装置。 - 検査対象基板を保持する基板保持部と、検査用プローブが配設されたプローブユニットを保持するユニット保持部と、前記基板保持部に対して前記ユニット保持部を移動させて当該ユニット保持部によって保持されている前記プローブユニットの前記検査用プローブを当該基板保持部によって保持されている前記検査対象基板にプロービングさせるプロービング処理を実行する移動機構と、前記基板保持部における前記検査対象基板の保持位置を撮像して第1の画像データを出力する第1の撮像処理を実行する第1の撮像部と、前記プロービング処理の実行位置および前記第1の撮像処理の実行位置に前記基板保持部を搬送する搬送機構とを備えた基板検査装置において、前記移動機構によって前記ユニット保持部を移動させる際の移動量および移動方向を特定可能な移動制御情報を補正するための補正情報を取得する補正情報取得方法であって、
前記基板保持部によって保持可能に当該基板保持部とは別体に構成されて撮像部位置特定用マークが設けられた補正情報取得用基板に取り付けられた第2の撮像部を使用し、
前記搬送機構を制御して前記補正情報取得用基板を保持している前記基板保持部を前記第1の撮像処理の実行位置に搬送させると共に、前記第1の撮像部を制御して前記第1の撮像処理を実行させ、かつ、前記第1の画像データに基づいて特定される前記撮像部位置特定用マークの位置と、前記補正情報取得用基板を保持した前記基板保持部を前記第1の撮像処理の実行位置に位置させた状態における前記撮像部位置特定用マークの前記第1の撮像部に対する基準の位置を特定可能な撮像部マーク位置情報に基づいて特定される当該撮像部位置特定用マークの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を撮像部位置情報として取得し、当該撮像部位置情報に基づいて前記移動制御情報を補正した補正情報取得時移動制御情報に従って前記移動機構を制御して、保持部位置特定用マークが設けられた前記ユニット保持部を前記第2の撮像部によって撮像して第2の画像データを出力させる第2の撮像処理の実行位置に当該ユニット保持部を移動させると共に、前記第2の撮像部を制御して前記第2の撮像処理を実行させ、かつ、前記第2の画像データに基づいて特定される前記保持部位置特定用マークの位置と、前記移動制御情報に従って前記第2の撮像処理の実行位置に移動させた状態の前記ユニット保持部における前記保持部位置特定用マークの前記第2の撮像部に対する基準の位置を特定可能な保持部マーク位置情報に基づいて特定される当該保持部位置特定用マークの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を前記補正情報として取得する補正情報取得方法。 - 検査対象基板を保持する基板保持部と、検査用プローブが配設されたプローブユニットを保持するユニット保持部と、前記基板保持部に対して前記ユニット保持部を移動させて当該ユニット保持部によって保持されている前記プローブユニットの前記検査用プローブを当該基板保持部によって保持されている前記検査対象基板にプロービングさせるプロービング処理を実行する移動機構と、前記基板保持部における前記検査対象基板の保持位置を撮像して第1の画像データを出力する第1の撮像処理を実行する第1の撮像部と、前記プロービング処理の実行位置および前記第1の撮像処理の実行位置に前記基板保持部を搬送する搬送機構とを備えた基板検査装置において、前記移動機構によって前記ユニット保持部を移動させる際の移動量および移動方向を特定可能な移動制御情報を補正するための補正情報を取得する補正情報取得方法であって、
前記基板保持部によって保持可能に当該基板保持部とは別体に構成されて撮像部位置特定用マークが設けられた補正情報取得用基板に取り付けられた第2の撮像部を使用し、
前記搬送機構を制御して前記補正情報取得用基板を保持している前記基板保持部を前記第1の撮像処理の実行位置に搬送させると共に、前記第1の撮像部を制御して前記第1の撮像処理を実行させ、かつ、前記第1の画像データに基づいて特定される前記撮像部位置特定用マークの位置と、前記補正情報取得用基板を保持した前記基板保持部を前記第1の撮像処理の実行位置に位置させた状態における前記撮像部位置特定用マークの前記第1の撮像部に対する基準の位置を特定可能な撮像部マーク位置情報に基づいて特定される当該撮像部位置特定用マークの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を撮像部位置情報として取得し、前記移動制御情報に従って前記移動機構を制御して、保持部位置特定用マークが設けられた前記ユニット保持部を前記第2の撮像部によって撮像して第2の画像データを出力させる第2の撮像処理の実行位置に当該ユニット保持部を移動させると共に、前記第2の撮像部を制御して前記第2の撮像処理を実行させ、かつ、前記第2の画像データに基づいて特定される前記保持部位置特定用マークの位置と、前記移動制御情報に従って前記第2の撮像処理の実行位置に移動させた状態の前記ユニット保持部における前記保持部位置特定用マークの前記第2の撮像部に対する基準の位置を特定可能な保持部マーク位置情報に基づいて特定される当該保持部位置特定用マークの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を前記撮像部位置情報に基づいて補正し、補正した当該位置ずれ量および当該位置ずれの方向を前記補正情報として取得する補正情報取得方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011207165A JP5875811B2 (ja) | 2011-09-22 | 2011-09-22 | 基板検査装置および補正情報取得方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011207165A JP5875811B2 (ja) | 2011-09-22 | 2011-09-22 | 基板検査装置および補正情報取得方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013068510A JP2013068510A (ja) | 2013-04-18 |
JP5875811B2 true JP5875811B2 (ja) | 2016-03-02 |
Family
ID=48474368
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011207165A Expired - Fee Related JP5875811B2 (ja) | 2011-09-22 | 2011-09-22 | 基板検査装置および補正情報取得方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5875811B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017003411A (ja) * | 2015-06-10 | 2017-01-05 | 日本特殊陶業株式会社 | 処理装置、処理方法及び配線基板の製造方法 |
JP6768411B2 (ja) * | 2016-08-26 | 2020-10-14 | 日置電機株式会社 | 基板検査装置 |
CN111562413A (zh) * | 2019-02-14 | 2020-08-21 | 均豪精密工业股份有限公司 | 检测方法及检测*** |
JP7421053B2 (ja) * | 2019-03-29 | 2024-01-24 | 株式会社コナミアミューズメント | ゲームシステムおよびゲームシステムの動作方法 |
WO2023245320A1 (zh) * | 2022-06-20 | 2023-12-28 | 北京小米移动软件有限公司 | 一种指纹模组的校准方法、装置及存储介质 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3313085B2 (ja) * | 1998-06-02 | 2002-08-12 | 日本電産リード株式会社 | 基板検査装置及び基板検査装置における基板と検査ヘッドとの相対位置調整方法 |
JP2003303865A (ja) * | 2002-04-08 | 2003-10-24 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 位置決め装置及びプローバ装置 |
TW200537110A (en) * | 2004-05-14 | 2005-11-16 | Innolux Display Corp | Testing apparatus |
JP5197145B2 (ja) * | 2008-05-14 | 2013-05-15 | 株式会社東京精密 | プローブ位置修正方法及びプローバ |
JP5285352B2 (ja) * | 2008-08-26 | 2013-09-11 | 日置電機株式会社 | 回路基板検査装置および回路基板検査方法 |
JP5464468B2 (ja) * | 2008-12-26 | 2014-04-09 | 日本電産リード株式会社 | 基板検査装置及び検査治具 |
JP5432551B2 (ja) * | 2009-03-13 | 2014-03-05 | 株式会社テクノホロン | プローブ方法及びプローブ装置 |
-
2011
- 2011-09-22 JP JP2011207165A patent/JP5875811B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013068510A (ja) | 2013-04-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5875811B2 (ja) | 基板検査装置および補正情報取得方法 | |
JP2006220426A (ja) | 実装された電子部品の検査方法及び装置 | |
JP4237158B2 (ja) | 実装基板製造装置および製造方法 | |
JP5461268B2 (ja) | 基板検査システム | |
JP2006319332A (ja) | 実装された電子部品の検査装置を備えた電子部品実装機 | |
JP2013191741A (ja) | プローブ装置及びプローブ装置のプローブカード装着方法 | |
JP2007335524A (ja) | 実装ライン | |
JP5943523B2 (ja) | 接触型回路パターン検査装置及びその検査方法 | |
JP2008198730A (ja) | 表面実装機、スクリーン印刷装置及び実装ライン | |
JP5144599B2 (ja) | 電子部品の装着方法 | |
JP5314328B2 (ja) | アームオフセット取得方法 | |
JP2009019907A (ja) | 検査装置 | |
JP5818524B2 (ja) | 検査装置および検査システム | |
JP2011014946A (ja) | 電子部品実装方法及び実装機 | |
JP2013045940A (ja) | 識別情報の検出方法、基板処理装置、基板処理システムおよびコンピュータープログラム | |
WO2018134997A1 (ja) | 部品装着機 | |
JP6277347B2 (ja) | 可撓性回路基板を対象とする検査装置及び検査方法 | |
JP2002071753A (ja) | ハンドラ | |
JP6932239B2 (ja) | 実装装置、情報処理装置及び実装方法 | |
JP5761772B1 (ja) | 電子部品搬送装置 | |
JP6012150B2 (ja) | 部品実装方法および部品実装システム | |
JP4750792B2 (ja) | 構成要素フィーダの交換の診断ツール | |
JP5465617B2 (ja) | 基板検査装置 | |
JP5672919B2 (ja) | マスク検査装置、描画方法、及びウェハ露光方法 | |
WO2023145091A1 (ja) | 処理装置及び処理方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140829 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150619 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150630 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150825 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160119 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160120 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5875811 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |