JP3298795B2 - リードフレームの搬送データ設定方法 - Google Patents
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Description
グ装置及びダイボンディング装置等のボンディング装置
において、ローダ側マガジンから供給されたリードフレ
ームをボンディングステージのボンディング位置まで搬
送し、ボンディング終了後にアンローダ側マガジンまで
搬送するフレームフィーダの送り動作をさせるためのデ
ータ設定方法に関する。
フレームの搬送方法として、例えば特公昭63−561
22号公報及び特開平4−346446号公報に示すも
のが挙げられる。この方法は、ローダ側マガジン内のリ
ードフレームをフレームプッシャによってフレームフィ
ーダのフレーム搬送路に送り出し、フレームフィーダの
一対の上爪及び下爪よりなるローダ側の送り爪でリード
フレームの頭出し(位置出し)を行うか、または送り爪
の爪ホルダに設けた位置出しピンで頭出しを行う。
わせにより、リードフレームを1デバイス分(アイラン
ド部分)づつ間欠的にボンディングステージのボンディ
ング位置の上方に設けられたテレビカメラの下方位置に
送られると、テレビカメラによってリードフレームのボ
ンディングパターンが検出される。そして、位置ずれ補
正した後、ボンディング装置によりボンディングする。
ボンディング終了後、リードフレームは送り爪によって
1ピッチ移動させられ、次のデバイス部分がテレビカメ
ラの下方に送られ、前記した動作を行った後にボンディ
ングされる。このようにして順次ボンディングが行わ
れ、リードフレームがアンローダ側に送られると、アン
ローダ側の送り爪が前記ローダ側の送り爪と同様の動作
を行い、ボンディングが終了したリードフレームをアン
ローダ側マガジンへ収納する。
分をボンディングステージのボンディング位置(テレビ
カメラの下方)に送るには、リードフレームの搬送デー
タを予め制御装置に入力しておく必要がある。即ち、リ
ードフレームの品種交換の際にそのリードフレームに適
合するように搬送データを入力する。上記特公昭63−
56122号公報及び特開平4−346446号公報に
は、リードフレームの搬送データの設定方法については
何ら開示されていないが、一般に次の方法で行ってい
る。リードフレームには種々のものがあるが、以下、図
8及び図9に示すリードフレーム1A、1Bについて説
明する。
し、アイランド2A、2B・・・2Fが定ピッチ距離d
である。図9は不規則ピッチのリードフレーム1Bを示
し、アイランド2A、2B・・・2Fが定ピッチ距離d
でなく、ピッチd1、d2・・・d5となっている。図
8及び図9において、aはフレーム長さ、bは第1アイ
ランド2Aの中心から最終アイランド2Fの中心までの
距離、cはリードフレーム1A、1Bの先端から第1ア
イランド2Aの中心までの距離(以下、ファーストピッ
チという)を示す。ここで、定ピッチ距離dは、アイラ
ンド2A、2B・・・2Fの数n及び距離bを設定すれ
ば、〔数1〕により算出される。
ープ材(連続帯状材)を短冊状に切断したものである。
そこで、切断位置のバラツキがない場合には、切断代の
分だけファーストピッチcは、定ピッチ距離dの1/2
より小さいが、ほぼ定ピッチ距離dの1/2である。こ
のように、ファーストピッチcが定ピッチ距離dのほぼ
1/2であるものは、フレーム長さaをa=b+dとし
て算出すれば、リードフレーム1A又は1Bを連続して
搬送した場合にリードフレーム同士がぶつからないよう
に搬送することができる。即ち、図8のリードフレーム
1Aは前記したデータn、bを設定し、図9のリードフ
レーム1Aはn、b、d1、d2・・・d5を設定する
のみでよい。しかし、リードフレーム1A、1Bには切
断位置のバラツキが大きいロット、また不規則ピッチの
リードフレーム1Bにはファーストピッチcが定ピッチ
距離dのほぼ(1/2)・dに等しくないものがある。
このようなリードフレーム1A、1Bは、連続して搬送
した場合にリードフレーム同士がぶつからないように搬
送するには、前記データn、b又はn、b、d1、d2
・・・d5の他にフレーム長さa及びファーストピッチ
cを設定する必要がある。
離dのほぼ1/2であるリードフレーム1A、1Bの場
合には、前記データn、b又はn、b、d1、d2・・
・d5を図面又は実測にて調べ、装置の設定モードで制
御装置のデータメモリに数値入力設定を行う。ファース
トピッチcが定ピッチ距離dのほぼ1/2ではないリー
ドフレーム1A、1Bの場合には、前記データn、b又
はn、b、d1、d2・・・d5の他にフレーム長さa
及びファーストピッチcを図面又は実測にて調べ、装置
の設定モードで制御装置のデータメモリに数値入力設定
を行う。これにより、制御装置の演算処理部は、リード
フレーム1Aについては〔数1〕により定ピッチ距離d
を算出し、制御部はリードフレーム1Aのアイランド2
A、2B・・・2Fの部分が順次ボンディングステージ
のボンディング位置に送られるように出力する。リード
フレーム1Bについては、設定したピッチd1、d2・
・・d5によって、制御部はリードフレーム1Bのアイ
ランド2A、2B・・・2Fの部分が順次ボンディング
ステージのボンディング位置に送られるように出力す
る。このように、理論的には、前記データを入力するこ
とにより、リードフレーム1A、1Bのアイランド2
A、2B・・・2Fの部分が順次ボンディングステージ
のボンディング位置に送られる。しかし、フレームフィ
ーダの各装置毎の各構成部品の機械的な加工誤差及び組
み付け時の誤差があるので、リードフレーム1A、1B
の図面又は実測によるデータ設定だけでは、ボンディン
グステージのボンディング位置まで正確に搬送されな
い。
ードフレーム1A又は1Bを搬送し、ボンディングステ
ージのボンディング位置まで正確に搬送されるかをテレ
ビカメラで撮像した映像をモニタ画面で見て、送りピッ
チずれ量を目視にて確認し、ずれ分を数値入力して微調
整している。即ち、ボンディングステージのボンディン
グ位置に送られてきたリードフレーム1A又は1Bを第
1アイランド2Aから第2アイランド2B、第3・・・
と送る際に、送り量のずれの補正値(送りピッチ補正
値)を設定する。このずれ量の補正は、実際にリードフ
レーム1A又は1Bを送って正確に搬送されるまで繰り
返し行っている。
ドフレーム1Aへの品種変更の際には、データn、a、
b、cを、リードフレーム1Bへの品種変更の際には、
データn、a、b、c、d1、d2・・・d5を図面又
は実測して設定した後、実際にリードフレーム1Aを搬
送し、ずれ量を補正する必要があり、設定に時間がかか
っていた。またずれ量の微調整の際にモニタ画面でずれ
量を目視にて行っていたため、正確なずれ量が判らず、
何回か微調整を行う必要があった。
の各装置毎の機械的な加工、組み付け誤差による送りピ
ッチの位置ずれ誤差を含めたデータ設定が可能なリード
フレームの搬送データ設定方法を提供することにある。
品種交換を容易にかつ短時間に行うことができるリード
フレームの搬送データ設定方法を提供することにある。
の本発明の第1の手段は、アイランドのピッチが定ピッ
チに配列されたリードフレームの搬送データ設定方法に
おいて、第1アイランドがボンディング位置に位置する
ようにリードフレームを送り、ボンディング位置の上方
に設けられたテレビカメラによって撮像してテレビモニ
タに写し出された第1アイランドの任意の位置にテレビ
モニタの基準マークを合わせ、その時のリードフレーム
の送り量をデータメモリに記憶させる工程と、次に最終
アイランドがボンディング位置に位置するようにリード
フレームを送って前記第1アイランドの任意の位置に対
応した最終アイランドの任意の位置をテレビモニタの基
準マークに合わせ、その時のリードフレームの送り量を
データメモリに記憶させる工程とを行うことを特徴とす
る。
手段は、アイランドのピッチが定ピッチに配列されたリ
ードフレームの搬送データ設定方法において、リードフ
レームの先端がボンディング位置の付近まで送られ、ボ
ンディング位置の上方に設けられたテレビカメラによっ
て撮像してテレビモニタに写し出されたリードフレーム
の先端にテレビモニタの基準マークを合わせる工程と、
第1アイランドがボンディング位置に位置するようにリ
ードフレームを送り、その時のリードフレームの送り量
をデータメモリに記憶させる工程と、第1アイランドの
右端位置にテレビモニタの基準マークを合わせ、その時
の基準マークの移動量又はテレビカメラの移動量をデー
タメモリに記憶させる工程と、次に第1アイランドの左
端位置にテレビモニタの基準マークを合わせ、その時の
基準マークの移動量又はテレビカメラの移動量をデータ
メモリに記憶させる工程と、次に第1アイランドの任意
の位置にテレビモニタの基準マークを合わせる工程と、
次に最終アイランドがボンディング位置に位置するよう
にリードフレームを送って前記第1アイランドの任意の
位置に対応した最終アイランドの任意の位置をテレビモ
ニタの基準マークに合わせ、その時のリードフレームの
送り量をデータメモリに記憶させる工程と、次にリード
フレームを送ってリードフレームの終端をテレビモニタ
の基準マークに合わせ、その時のリードフレームの送り
量をデータメモリに記憶させる工程を行うことを特徴と
する。
手段は、リードフレームの搬送データ設定方法におい
て、リードフレームの先端がボンディング位置の付近ま
で送られ、ボンディング位置の上方に設けられたテレビ
カメラによって撮像してテレビモニタに写し出されたリ
ードフレームの先端にテレビモニタの基準マークを合わ
せる工程と、第1アイランドがボンディング位置に位置
するようにリードフレームを送り、その時のリードフレ
ームの送り量をデータメモリに記憶させる工程と、第1
アイランドの右端位置にテレビモニタの基準マークを合
わせ、その時の基準マークの移動量又はテレビカメラの
移動量をデータメモリに記憶させる工程と、次に第1ア
イランドの左端位置にテレビモニタの基準マークを合わ
せ、その時の基準マークの移動量又はテレビカメラの移
動量をデータメモリに記憶させる工程と、次に第1アイ
ランドの任意の位置にテレビモニタの基準マークを合わ
せる工程と、次に第1アイランド以降の各アイランドが
ボンディング位置に位置するようにリードフレームを送
って前記第1アイランドの任意の位置に対応した各アイ
ランドの任意の位置をその度テレビモニタの基準マーク
に合わせ、それぞれその時のリードフレームの送り量を
データメモリに記憶させる工程と、次にリードフレーム
を送ってリードフレームの終端をテレビモニタの基準マ
ークに合わせ、その時のリードフレームの送り量をデー
タメモリに記憶させる工程を行うことを特徴とする。
する前に、図10及び図11によりボンディング装置全
体の構成及び制御装置について説明する。フレームフィ
ーダ3は、上爪4a及び下爪4bよりなる送り爪4を有
し、送り爪4は爪ホルダ5に開閉自在に設けられてい
る。送り爪4は爪開閉用モータ6によって開閉され、ま
た爪ホルダ5は爪送り用モータ7によってフレームフィ
ーダ3のフレーム搬送路3aに沿って移動させられる。
なお、この種のフレームフィーダ3として、例えば従来
の技術の項で述べた特公昭63−56122号公報及び
特開平4−346446号公報に示すものが挙げられ
る。
ング位置3bに対応してワイヤボンディング装置、ダイ
ボンディング装置等のボンディング装置10が配設され
ている。ボンディング装置10は、XYテーブル11を
有し、XYテーブル11はXYテーブル用モータ12に
よってXY軸方向に駆動させられる。XYテーブル11
上にはボンディングヘッド13が搭載されており、ボン
ディングヘッド13にはテレビカメラ14が取付けられ
たカメラホルダ15が固定されている。またボンディン
グヘッド13には、ボンディングツール16が取付けら
れたボンディングアーム17が上下動可能に設けられて
いる。ここで、テレビカメラ14はボンディング位置3
bの上方に位置しており、ボンディングツール16はテ
レビカメラ14に対してY1だけオフセットして配設さ
れている。またボンディングアーム17は図示しないZ
(上下)駆動用モータによって上下動させられる。な
お、この種のボンディング装置10として、例えば特開
平5−275502号公報に示すものが挙げられる。
の両側には、ローダ側マガジン20A及びアンローダ側
マガジン20Bが配置されており、ローダ側マガジン2
0A及びアンローダ側マガジン20Bは、それぞれロー
ダ側エレベータ装置21A及びアンローダ側エレベータ
装置21Bによって上下駆動させられるマガジンホルダ
22に位置決め載置される。ローダ側マガジン20A内
のリードフレーム1(1A又は1B)は、フレームプッ
シャ23によってフレーム搬送路3aに押し出される。
なお、この種のエレベータ装置21A、21Bを備えた
ものとして、例えば特公平1−32127号公報、特公
平2−4486号公報及び特開昭63−56122号公
報に示すものが挙げられる。図10において、24はフ
レームプッシャ23によって押し出されたリードフレー
ム1を検知するホトセンサを示す。
の爪開閉用モータ6、爪送り用モータ7、ボンディング
装置10のXYテーブル用モータ12は、それぞれモー
タ駆動部30、31、32によって制御され、モータ駆
動部30、31、32は、手動入力手段33によって制
御部34を通して直接駆動させることができ、また制御
メモリ35に記憶されたプログラムに従って制御部34
によって駆動する。またデータメモリ36には、手動入
力手段33によって制御部34を通して各種データを入
力させることができる。データメモリ36に記憶された
データは、前記各モータ駆動部30、31、32を制御
する各データとして演算処理部37によって演算され、
この演算されたデータもデータメモリ36に記憶され
る。前記テレビカメラ14で撮像した映像は、画像処理
部38によって画像処理されると共に、画像はテレビモ
ニタ39に表示される。またテレビモニタ39には、デ
ータメモリ36に記憶された各種データ及び設定モード
を手動入力手段33によって表示及び選択することがで
きる。
10及び図11を参照しながら図1乃至図3により説明
する。ここで、図8のリードフレーム1Aは、アイラン
ド2A、2B・・・2Fが定ピッチ距離dで設けられた
場合であって、ファーストピッチcがほぼ(1/2)・
dの場合について説明する。図11の手動入力手段33
を用いてテレビモニタ39に表示されているフレームモ
ードを選択する。これにより、制御メモリ35に記憶さ
れているデータ入力条件が制御部34を通してテレビモ
ニタ39に表示される。そこで、リードフレーム1Aの
アイランド2A、2B・・・2Fの数nを手動入力手段
33により入力する。即ち、図8の場合は、nが6であ
るので6を入力する。この数nのデータは、制御部34
を通してデータメモリ36に記憶される。品種変更の
際、アイランド数nが変わらない場合には、勿論、アイ
ランド数nを入力する必要がないことは言うまでもな
い。
タ39に表示されているプログラムモードにてフレーム
ティーチングを選択する。制御メモリ35には、図1
(a)乃至(f)の工程が予めプログラムされている。
即ち、ローダ側マガジン20Aがフレームプッシャ23
によって押し出されたリードフレーム1Aを送り爪4で
チャックして、リードフレーム1Aの先端をボンディン
グ位置3bの付近まで搬送する工程がプログラムされて
いる。またこの場合における図1(a)のホトセンサ2
4から送り爪4のフレーム挟持部45までの距離E、図
1(b)のリードフレーム1Aの位置から図1(d)に
示す頭出し位置46(位置決め位置)までの距離F、頭
出し位置46からボンディング位置3bまでの距離G
は、予めデータメモリ36に記憶されている。
と、図1(a)の状態よりフレームプッシャ23は、ホ
トセンサ24がリードフレーム1Aを感知するまで低速
でリードフレーム1Aの押し出し動作を行う。この場
合、送り爪4は開いた状態にある。ホトセンサ24がリ
ードフレーム1Aを感知すると、フレームプッシャ23
の低速での押し出し動作は終了する。次にフレームプッ
シャ23は前記した距離Eだけリードフレーム1Aを図
1(b)に示すように押し出す。これにより、送り爪4
はリードフレーム1Aをチャックできる状態となる。次
に送り爪4が閉じてリードフレーム1Aをチャックし、
図1(c)に示すように、送り爪4はデータメモリ36
に記憶された頭出し位置46より僅かに多く、即ち距離
Fより僅かに多く移動する。
る。送り爪4が開いてリードフレーム1Aを開放し、送
り爪4は矢印47方向に僅かに移動する。そして、前記
した特公昭63−56122号公報に示すフレームフィ
ーダを用いた場合は、送り爪4が閉じた後に矢印48方
向に移動してリードフレーム1Aの先端を送り爪4で押
し戻し、図1(d)に示すようにリードフレーム1Aの
先端を頭出し位置46に位置させる。そして、送り爪4
は再び矢印49方向に僅かに移動した後に開き、その
後、矢印50方向に移動し、図1(e)に示すように、
リードフレーム1Aをチャックできる状態となる。
示すフレームフィーダを用いた場合は、送り爪4は開い
たままで位置出しピンがフレーム搬送路3aに突出した
後に矢印48方向に移動してリードフレーム1Aの先端
を位置出しピンで押し戻し、リードフレーム1Aの先端
を頭出し位置46に位置させる。そして、送り爪4は再
び矢印49方向に僅かに移動し、その後、矢印50方向
に移動し、図1(e)に示すように、リードフレーム1
Aをチャックできる状態となる。
をチャックし、データメモリ36に記憶されている距離
Gだけ移動する。これにより、図1(f)に示すよう
に、リードフレーム1Aの先端はボンディング位置3b
の付近まで自動的に搬送される。このように、送り爪4
によってリードフレーム1Aが距離Gだけ送られても、
フレームフィーダの送り爪4の送り系は機械的な誤差を
有するので、図1(f)の状態においては、リードフレ
ーム1Aの先端がボンディング位置3bに一致しない。
は図1(f)と同じ状態を示す。図2(b)に示すよう
に、第1アイランド2Aがボンディング位置3bの図3
に示すボンディングステージ60のアイランド溝61に
合うように手動入力手段33によって送り爪4を移動さ
せる。図3において、62はヒータを示す。この第1ア
イランド2Aがアイランド溝61に合ったことを顕微鏡
により目視確認した後、テレビモニタ39のクロスマー
ク39aを移動させる周知の電気チェスマンを操作し、
テレビモニタ39上のクロスマーク39aをテレビカメ
ラ14によって撮像されてテレビモニタ39に写し出さ
れた第1アイランド2Aの任意の位置、例えばコーナ部
に合わせた後にスイッチを押す。これにより、送り爪4
によってリードフレーム1Aを図1(f)及び図2
(a)の状態より図2(b)の状態に移動させた距離H
のデータは、データメモリ36に記憶される。またこの
クロスマーク39aの位置は、次のアイランドを設定す
る時の目印となる。
段33によって送り爪4を移動させ、最終アイランド2
Fがボンディング位置3bのボンディングステージ60
のアイランド溝61の位置にくるまでリードフレーム1
Aを搬送する。この場合のリードフレーム1Aの送り
は、送り爪4を往復移動させて間欠的に送っても、また
連続的に送ってもよい。続いて最終アイランド2Fの任
意の位置、この場合はコーナ部がテレビモニタ39のク
ロスマーク39aに合うように手動入力手段33によっ
て送り爪4を移動させる。その後、最終アイランド2F
がボンディング位置3bのアイランド溝61に合ってい
るか顕微鏡により目視確認をした後にスイッチを押す。
これにより、送り爪4によりリードフレーム1Aを図2
(b)の状態より図2(c)の状態に移動させた距離B
のデータは、データメモリ36に記憶される。以上によ
り、データ設定は終了する。その後、図2(d)に示す
ように、リードフレーム1Aは、図示しないアンローダ
側の送り爪によってアンローダ側マガジン20Bへ収納
される。前記データのアイランド数n、第1アイランド
2Aから最終アイランド2Fまでの距離Bにより、演算
処理部37は定ピッチ距離Dを〔数2〕により算出す
る。また演算処理部37は〔数3〕〔数4〕によりファ
ーストピッチC、フレーム長さAを算出する。
ンド2Aがボンディング位置3bに位置するようにリー
ドフレーム1Aを送り、テレビモニタ39のクロスマー
ク39aを第1アイランド2Aの任意の位置に合わせ、
その時のリードフレーム1Aの送り量をデータメモリ3
6に記憶させる工程と、次にリードフレーム1Aを送っ
て第1アイランド2Aの任意の位置に対応した最終アイ
ランド2Fの任意の位置をテレビモニタ39のクロスマ
ーク39aに合わせてその時のリードフレーム1Aの送
り量をデータメモリ36に記憶させる工程とを行うこと
により、リードフレーム1Aの搬送に必要なデータの設
定が行える。即ち、実際に誤差を含んだフレームフィー
ダの送り爪4でリードフレーム1Aを搬送して設定を行
うため、設定操作中で誤差を含んだ設定が可能となり、
設定終了後に搬送確認及び微調整を行う必要がない。
は、ローダ側マガジン20Aからフレームプッシャ23
によって送り出されたリードフレーム1Aは、図1
(a)乃至(d)の工程を経てリードフレーム1Aの頭
出しを行った後、送り爪4はデータメモリ36に記憶さ
れているデータ(G+H)の距離だけ移動させられる。
これにより第1アイランド2Aがボンディング位置3b
に位置する。そして、第1アイランド2Aにボンディン
グされているデバイスを含めたボンディングパターンが
テレビカメラ14により検出される。そこで、その位置
ずれにより、制御装置はボンディング座標メモリに記憶
されている座標を補正した後、ボンディング装置10に
よりボンディングする。ボンディング終了後、リードフ
レーム1Aはデータメモリ36に記憶されてる定ピッチ
距離Dだけ移動させられる。これにより、第2アイラン
ド2Bがボンディング位置3bに位置し、前記と同様の
動作によってボンディングされる。この動作を順次行っ
て最終アイランド2Fに対応するボンディング部分のボ
ンディングが完了すると、リードフレーム1Aは図示し
ないアンローダ側の送り爪によってアンローダ側マガジ
ン20B内に収納される。
本実施の形態は、図9のリードフレーム1Bを用いた場
合で、かつファーストピッチcがほぼ(1/2)・dと
等しい場合を示す。リードフレーム1Bのアイランド2
A、2B・・・2Fの数nを手動入力手段33により入
力し、手動入力手段33を用いてテレビモニタ39に表
示されているプログラムモードにてフレームティーチン
グを選択すると、前記第1の実施の形態と同様に、図1
(a)乃至図1(f)の工程により図1(f)に示すよ
うに、リードフレーム1Bの先端はボンディング位置3
bの付近まで自動的に搬送される。勿論、アイランド数
nが変わらなければ、アイランド数nを入力する必要は
ない。特に本実施の形態においては、下記するように各
アイランドのピッチD1〜D5の設定を行うので、アイ
ランド数nを自動的にデータメモリ36に記憶させるこ
とができる。
程は、第1の実施の形態の図2(b)と同じである。即
ち、図4(a)に示すように、第1アイランド2Aがボ
ンディング位置3bのボンディングステージ60のアイ
ランド溝61に合うように手動入力手段33によって送
り爪4を移動させる。この第1アイランド2Aがアイラ
ンド溝61に合ったことを顕微鏡により目視確認した
後、テレビモニタ39のクロスマーク39aを移動させ
る周知の電気チェスマンを操作し、テレビモニタ39上
のクロスマーク39aを第1アイランド2Aの任意の位
置、例えばコーナ部に合わせ、セットボタンを押す。こ
れにより、送り爪4によってリードフレーム1Bを図1
(f)の状態より図4(a)の状態に移動させた距離H
のデータは、データメモリ36に記憶される。またこの
クロスマーク39aの位置は、次のアイランドを設定す
る時の目印となる。
に示す第1アイランド2Aの位置決めを行ったのと同様
に、第2アイランド2Bのコーナ部がテレビモニタ39
のクロスマーク39aに合うように手動入力手段33に
よって送り爪4を移動させる。その後、第2アイランド
2Bがボンディング位置3bのボンディングステージ6
0のアイランド溝61に合っているか顕微鏡により目視
確認を行い、セットボタンを押す。これにより、図4
(a)の位置より図4(b)の位置にリードフレーム1
Bを移動させた距離D1がデータメモリ36に記憶され
る。この図4(b)の操作を第3、第4、第5、最終ア
イランド2C、2D、2E、2Fまで繰り返し行う。図
4(c)は最終アイランド2Fの位置決め設定が終了し
た状態を示す。これにより、ピッチ距離D2、D3、D
4、D5が データメモリ36に記憶される。以上によ
り、データ設定は終了する。その後、リードフレーム1
Bは、図示しないアンローダ側の送り爪によってアンロ
ーダ側マガジン20Bへ収納される。アイランド数nを
自動設定させる場合は、各アイランドをクロスマーク3
9aに合わせてセットボタンを押した数がアイランド数
nとしてデータメモリ36に記憶される。
ンド2Aがボンディング位置3bに位置するようにリー
ドフレーム1Bを送り、テレビモニタ39のクロスマー
ク39aを第1アイランド2Aの任意の位置に合わせ、
その時のリードフレーム1Bの送り量をデータメモリ3
6に記憶させる工程と、次にリードフレーム1Bを送っ
て第1アイランド2A以降の各アイランド2B、2C・
・・2Fの第1アイランド2Aの任意の位置に対応する
任意の位置をその度にテレビモニタ39のクロスマーク
39aに合わせ、それぞれのリードフレーム1Bの送り
量をデータメモリ36に記憶させる工程とを行うことに
より、リードフレーム1Bの搬送に必要なデータの設定
が行える。即ち、実際に誤差を含んだフレームフィーダ
の送り爪4でリードフレーム1Bを搬送して設定を行う
ため、設定操作中で誤差を含んだ設定が可能となり、設
定終了後に搬送確認及び微調整を行う必要がない。
本実施の形態は、図8のリードフレーム1Aを用いた場
合であることは前記第1の実施の形態と同じであるが、
ファーストピッチcが定ピッチ距離dのほぼ1/2では
ない場合を示す。従って、本実施の形態においては、前
記第1の実施の形態の工程の他にリードフレーム1Aの
先端及び終端を調べる工程を行う。
9に表示されているプログラムモードにてフレームティ
ーチングを選択すると、前記第1の実施の形態と同様
に、図1(a)乃至図(f)の工程により図1(f)に
示すように、リードフレーム1Aの先端はボンディング
位置3bの付近まで自動的に搬送される。
タ39のクロスマーク39aをリードフレーム1Aの先
端に合わせ、セットボタンを押す。なお、クロスマーク
39aの移動は、前記第1の実施の形態で説明したよう
に、電気チェスマンを操作して行うことは言うまでもな
い。次に図5(b)に示すように、第1アイランド2A
がボンディング位置3bのボンディングステージ60の
アイランド溝61に合うように手動入力手段33によっ
て送り爪4を移動させる。この第1アイランド2Aがア
イランド溝61に合ったことを顕微鏡により目視確認し
た後、テレビモニタ39のクロスマーク39aを第1ア
イランド2Aの右端位置に合わせてセットボタンを押
す。次に図5(c)に示すように、テレビモニタ39の
クロスマーク39aを第1アイランド2Aの左端位置に
合わせてセットボタンを押す。これにより、リードフレ
ーム1Aを移動させた距離I、クロスマーク39aを移
動させた距離J及びKは、データメモリ36に記憶され
る。
Kは、テレビモニタ39の画面上の移動量であり、リー
ドフレーム1Aの送り量(送り爪4の送り量)とパラメ
ータが異なるので、演算処理部37でリードフレーム1
Aの送り量に変換してデータメモリ36に記憶される。
前記データJ、Kを得るのに電気チェスマンでクロスマ
ーク39aを移動させたが、クロスマーク39aに第1
アイランド2Aの右端位置及び左端位置が合うように、
テレビカメラ14を移動させてもよい。前記データJ、
J、Kにより演算処理部37は〔数5〕によりファース
トピッチCを算出する。
タ39のクロスマーク39aを移動させて第1アイラン
ド2Aの任意の位置、例えばコーナ部に合わせ、スイッ
チを押す。このクロスマーク39aの位置は、次のアイ
ランドを設定する時の目印となる。この図5(d)の工
程は、図2(b)の工程と同じである。次に図5(e)
に示すように、手動入力手段33によって送り爪4を移
動させ、最終アイランド2Fがボンディング位置3bの
ボンディングステージ60のアイランド溝61の位置に
くるまでリードフレーム1Aを搬送する。続いて最終ア
イランド2Fの任意の位置、この場合はコーナ部がテレ
ビモニタ39のクロスマーク39aに合うように手動入
力手段33によって送り爪4を移動させる。その後、最
終アイランド2Fがアイランド溝61に合っているか顕
微鏡により目視確認を行い、スイッチを押す。これによ
り、送り爪4によりリードフレーム1Aを図5(d)の
状態より図5(e)の状態に移動させた距離Bのデータ
は、データメモリ36に記憶される。この工程は図2
(b)の工程と同じである。これにより、演算処理部3
7は定ピッチ距離Dを前記した〔数2〕により算出す
る。
タ39のクロスマーク39aにリードフレーム1Aの終
端が合う位置まで送り爪4によって送り操作を行い、セ
ットボタンを押す。この時の送り距離Lがデータメモリ
36に記憶される。これにより、演算処理部37は、リ
ードフレーム1Aの長さAを〔数6〕により算出する。
その後、リードフレーム1Aは図示しないアンローダ側
の送り爪によってアンローダ側マガジン20Bに払い出
される。
ーム1Aの先端にテレビモニタ39のクロスマーク39
aを合わせる工程と、第1アイランド2Aがボンディン
グ位置3bに位置するようにリードフレーム1Aを送
り、その時のリードフレーム1Aの送り量をデータメモ
リ36に記憶させる工程と、テレビモニタ39のクロス
マーク39aを第1アイランド2Aの右端位置に合わ
せ、その時のクロスマーク39aの移動量又はテレビカ
メラ14の移動量をデータメモリ36に記憶させる工程
と、次にテレビモニタ39のクロスマーク39aを第1
アイランド2Aの左端位置に合わせ、その時のクロスマ
ーク39aの移動量又はテレビカメラ14の移動量をデ
ータメモリ36に記憶させる工程と、次にテレビモニタ
39のクロスマーク39aを第1アイランド2Aの任意
の位置に合わせる工程と、続いてリードフレーム1Aを
送って最終アイランド2Fの任意の位置をテレビモニタ
39のクロスマーク39aに合わせ、その時のリードフ
レーム1Aの送り量をデータメモリ36に記憶させる工
程と、次にリードフレーム1Aを送ってリードフレーム
1Aの終端をテレビモニタ39のクロスマーク39aに
合わせ、その時のリードフレーム1Aの送り量をデータ
メモリ36に記憶させる工程を行うことにより、リード
フレーム1Aの搬送に必要なデータの設定が行える。本
実施の形態も前記第1の実施の形態と同様に、実際に誤
差を含んだフレームフィーダの送り爪4でリードフレー
ム1Aを搬送して設定を行うため、設定操作中で誤差を
含んだ設定が可能となり、設定終了後に搬送確認及び微
調整を行う必要がない。
を示す。本実施の形態は、図9のリードフレーム1Bを
用い、かつファーストピッチcが(1/2)・dと等し
くない場合を示す。図6(a)乃至(c)は、図5
(a)乃至(c)と同じようにファーストピッチCを設
定する工程である。また図6(d)、(e)、図7
(a)は、図4(a)乃至(d)と同じようにピッチ距
離D1、D2、D3、D4,D5を設定する工程であ
る。また図7(b)は、図5(f)と同じようにリード
フレーム1Bの左端、即ちフレーム長さAを設定する工
程である。そこで、その詳細な説明は省略する。
がボンディングステージ60のアイランド溝61に合っ
たことを顕微鏡により目視確認するように説明した。し
かし、これはあくまでも確認であり、必ずしも行う必要
があるものではない。またボンディングステージ60に
アイランド溝61がある場合について説明したが、アイ
ランド溝61がないものにも適用できることは勿論であ
る。
(b)及び図2(c)におけるリードフレーム1Aの送
りを、第2の実施の形態においては、図4(a)乃至図
4(c)におけるリードフレーム1Bの送りを、第3の
実施の形態においては、図5(a)乃至図5(f)にお
けるリードフレーム1Aの送りを、第4の実施の形態に
おいては、図6(a)乃至図6(e)、図7(a)及び
図7(b)におけるリードフレーム1Bの送りをそれぞ
れ手動入力手段33の操作で行うように説明した。しか
し、各工程をプログラムしておき、周知のパターン認識
方法を採用することにより、必要なデータを自動的に設
定することができる。
のどのタイプであるか、またファーストピッチcが定ピ
ッチ距離dのほぼ1/2のリードフレーム1A、1Bで
あるか否か、この組合せの4つのタイプにおける前記し
た工程、第1のタイプとして図2(b)及び図2(c)
の工程、第2のタイプとして図4(a)乃至図4(c)
の工程、第3のタイプとして図5(a)乃至図5(f)
の工程、第4のタイプとして図6(a)乃至図6
(e)、図7(a)及び図7(b)の工程を図11に示
す制御メモリ35にプログラムしておく。またテレビカ
メラ14によって撮像されたリードフレーム1A、1B
の検出部(部位)をパターン認識方によって画像処理さ
せる。そこで、品種変更の場合は、そのリードフレーム
1A、1Bのタイプ1乃至4のいずれかを予め選択す
る。
A、2Fをそれぞれパターン認識するようにリードフレ
ーム1Aを自動送りしてパターン認識し、その位置が自
動的に設定される。図4の場合は、アイランド2A乃至
2Fをそれぞれパターン認識するようにリードフレーム
1Bを自動送りしてパターン認識し、その位置が自動的
に設定される。図5の場合は、リードフレーム1Aの先
端、第1アイランド2Aの右端位置、第1アイランド2
Aの左端位置、第1アイランド2Aの任意の位置、最終
アイランド2Fの任意の位置ををそれぞれパターン認識
するようにリードフレーム1Aを自動送りしてパターン
認識し、その位置が自動的に設定される。図6及び図7
の場合は、図4の工程と図5の工程とが組み合わせられ
た工程により、リードフレーム1Bを自動送りしてパタ
ーン認識し、その位置が自動的に設定される。またアイ
ランド2A〜2Fのパターン認識により、アイランド数
nは自動的にデータメモリ36に記憶される。
定ピッチのリードフレーム1Aは、ピッチ距離Dを算出
するためにアイランド2Aから最終アイランド2Fまで
の距離Bを求めたが、図4、図6及び図7に示す不規則
ピッチのリードフレーム1Bの場合と同様に、各アイラ
ンドのピッチ距離を求めてもよい。
装置毎の機械的な加工、組み付け誤差による送りピッチ
の位置ずれ誤差を含めたデータ設定が可能で、かつリー
ドフレームの品種交換を容易にかつ短時間に行うことが
できる。
の第1の実施の形態を示す工程図である。
係を示す側面図である。
の第2の実施の形態を示す工程図で、図1の工程の続き
の工程図である。
の第3の実施の形態を示す工程図で、図1の工程の続き
の工程図である。
の第4の実施の形態を示す工程図で、図1の工程の続き
の工程図である。
る。
概略構成平面図、(b)は正面図である。
法に使用する制御装置のブロック図である。
Claims (3)
- 【請求項1】 アイランドのピッチが定ピッチに配列さ
れたリードフレームの搬送データ設定方法において、第
1アイランドがボンディング位置に位置するようにリー
ドフレームを送り、ボンディング位置の上方に設けられ
たテレビカメラによって撮像してテレビモニタに写し出
された第1アイランドの任意の位置にテレビモニタの基
準マークを合わせ、その時のリードフレームの送り量を
データメモリに記憶させる工程と、次に最終アイランド
がボンディング位置に位置するようにリードフレームを
送って前記第1アイランドの任意の位置に対応した最終
アイランドの任意の位置をテレビモニタの基準マークに
合わせ、その時のリードフレームの送り量をデータメモ
リに記憶させる工程とを行うことを特徴とするリードフ
レームの搬送データ設定方法。 - 【請求項2】 アイランドのピッチが定ピッチに配列さ
れたリードフレームの搬送データ設定方法において、リ
ードフレームの先端がボンディング位置の付近まで送ら
れ、ボンディング位置の上方に設けられたテレビカメラ
によって撮像してテレビモニタに写し出されたリードフ
レームの先端にテレビモニタの基準マークを合わせる工
程と、第1アイランドがボンディング位置に位置するよ
うにリードフレームを送り、その時のリードフレームの
送り量をデータメモリに記憶させる工程と、第1アイラ
ンドの右端位置にテレビモニタの基準マークを合わせ、
その時の基準マークの移動量又はテレビカメラの移動量
をデータメモリに記憶させる工程と、次に第1アイラン
ドの左端位置にテレビモニタの基準マークを合わせ、そ
の時の基準マークの移動量又はテレビカメラの移動量を
データメモリに記憶させる工程と、次に第1アイランド
の任意の位置にテレビモニタの基準マークを合わせる工
程と、次に最終アイランドがボンディング位置に位置す
るようにリードフレームを送って前記第1アイランドの
任意の位置に対応した最終アイランドの任意の位置をテ
レビモニタの基準マークに合わせ、その時のリードフレ
ームの送り量をデータメモリに記憶させる工程と、次に
リードフレームを送ってリードフレームの終端をテレビ
モニタの基準マークに合わせ、その時のリードフレーム
の送り量をデータメモリに記憶させる工程を行うことを
特徴とするリードフレームの搬送データ設定方法。 - 【請求項3】 リードフレームの搬送データ設定方法に
おいて、リードフレームの先端がボンディング位置の付
近まで送られ、ボンディング位置の上方に設けられたテ
レビカメラによって撮像してテレビモニタに写し出され
たリードフレームの先端にテレビモニタの基準マークを
合わせる工程と、第1アイランドがボンディング位置に
位置するようにリードフレームを送り、その時のリード
フレームの送り量をデータメモリに記憶させる工程と、
第1アイランドの右端位置にテレビモニタの基準マーク
を合わせ、その時の基準マークの移動量又はテレビカメ
ラの移動量をデータメモリに記憶させる工程と、次に第
1アイランドの左端位置にテレビモニタの基準マークを
合わせ、その時の基準マークの移動量又はテレビカメラ
の移動量をデータメモリに記憶させる工程と、次に第1
アイランドの任意の位置にテレビモニタの基準マークを
合わせる工程と、次に第1アイランド以降の各アイラン
ドがボンディング位置に位置するようにリードフレーム
を送って前記第1アイランドの任意の位置に対応した各
アイランドの任意の位置をその度テレビモニタの基準マ
ークに合わせ、それぞれその時のリードフレームの送り
量をデータメモリに記憶させる工程と、次にリードフレ
ームを送ってリードフレームの終端をテレビモニタの基
準マークに合わせ、その時のリードフレームの送り量を
データメモリに記憶させる工程を行うことを特徴とする
リードフレームの搬送データ設定方法。
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