JPH0722166B2 - ダイボンダ等におけるペレツト認識方法 - Google Patents
ダイボンダ等におけるペレツト認識方法Info
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- JPH0722166B2 JPH0722166B2 JP57163827A JP16382782A JPH0722166B2 JP H0722166 B2 JPH0722166 B2 JP H0722166B2 JP 57163827 A JP57163827 A JP 57163827A JP 16382782 A JP16382782 A JP 16382782A JP H0722166 B2 JPH0722166 B2 JP H0722166B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は、半導体装置の製造におけるペレット認識方
法に関し、さらに詳しくは分割された多数のペレットか
ら１個のペレットをピックアップする必要があるダイボ
ンダやプローバ等の作業におけるペレット認識方法に関
するものである。
法に関し、さらに詳しくは分割された多数のペレットか
ら１個のペレットをピックアップする必要があるダイボ
ンダやプローバ等の作業におけるペレット認識方法に関
するものである。
半導体装置製造のダイボンディング工程は、素子が形成
されたペレット（ダイとも呼ばれる）を多数、ダイボン
ダのXYステージ上に載置し、そのなかから１個づつ拾い
上げたペレットをリードフレーム上の所定位置に接合す
るという作業を行うものである。このXYステージ上の多
数ペレット配列状態は、第１図にその一部を示したよう
に、ペレット１が上下左右に若干の間隔を置いて碁盤目
状に配列している。このようなXYステージ上のペレット
配列は、通常、１枚のウエハ上に多数の素子を形成した
そのウエハを粘着シート上に貼り付け、次いでそのウエ
ハを貼り付け状態で縦横に切断して多数の角形ペレット
１に分割し、しかる後粘着シートを上下左右に引き伸し
て若干の間隔をあけ、これをXYステージ上に固定するこ
とによって行われているので、ペレットの碁盤目状の配
列にはかなりの乱れが生じている。また配列ペレットの
なかには、素子形成不良や分割時欠け不良などの不良ペ
レットがかなり存在している。従ってダイボンダにおけ
るように多数ペレットから１個づつ拾い上げる作業（ピ
ックアップという）には、不良ペレットを含みかつ配列
の乱れた多数ペレットから効率的に良品ペレットのみを
ピックアップできるペレット認識処理を考える必要があ
る。
されたペレット（ダイとも呼ばれる）を多数、ダイボン
ダのXYステージ上に載置し、そのなかから１個づつ拾い
上げたペレットをリードフレーム上の所定位置に接合す
るという作業を行うものである。このXYステージ上の多
数ペレット配列状態は、第１図にその一部を示したよう
に、ペレット１が上下左右に若干の間隔を置いて碁盤目
状に配列している。このようなXYステージ上のペレット
配列は、通常、１枚のウエハ上に多数の素子を形成した
そのウエハを粘着シート上に貼り付け、次いでそのウエ
ハを貼り付け状態で縦横に切断して多数の角形ペレット
１に分割し、しかる後粘着シートを上下左右に引き伸し
て若干の間隔をあけ、これをXYステージ上に固定するこ
とによって行われているので、ペレットの碁盤目状の配
列にはかなりの乱れが生じている。また配列ペレットの
なかには、素子形成不良や分割時欠け不良などの不良ペ
レットがかなり存在している。従ってダイボンダにおけ
るように多数ペレットから１個づつ拾い上げる作業（ピ
ックアップという）には、不良ペレットを含みかつ配列
の乱れた多数ペレットから効率的に良品ペレットのみを
ピックアップできるペレット認識処理を考える必要があ
る。
従来のペレット認識処理では、下記するように効率的な
ピックアップ作業がなされていなかったので、作業能
率、良品ペレットの取残し、或は製品特性の低下の点で
多くの問題点があり、工程の完全自動化のためこれらの
解決が強く望まれていた。
ピックアップ作業がなされていなかったので、作業能
率、良品ペレットの取残し、或は製品特性の低下の点で
多くの問題点があり、工程の完全自動化のためこれらの
解決が強く望まれていた。
従来のペレット認識処理は、ピックアップしようとする
ペレットの形状判別を行い、その結果良品ペレットであ
れば位置検出をしてピックアップ作業を実施し、反対に
不良品ペレットであればその列の次のペレットへピッチ
送りをし、このように良品不良品にかかわらず順次認識
処理を行うものであった。
ペレットの形状判別を行い、その結果良品ペレットであ
れば位置検出をしてピックアップ作業を実施し、反対に
不良品ペレットであればその列の次のペレットへピッチ
送りをし、このように良品不良品にかかわらず順次認識
処理を行うものであった。
そのため従来のペレット認識処理においては、 良品ペレット以外の不良品ペレットについても順次
ペレット認識処理を行うのでむだな処理が繰り返され
る。
ペレット認識処理を行うのでむだな処理が繰り返され
る。
不良品ペレットの認識処理をするためダイボンディ
ングの作業能率が不良品ペレット数に左右されることに
なり、従ってボンディング能率が低下する。
ングの作業能率が不良品ペレット数に左右されることに
なり、従ってボンディング能率が低下する。
ボンディング作業速度が不良品ペレットの密度バラ
ツキのために不定となり、従ってボンディング品質の安
定化が得られない。
ツキのために不定となり、従ってボンディング品質の安
定化が得られない。
ペレットの配列状態に乱れがあると、別の列に移行
したり作業を終了した列に移行したりし、その結果良品
ペレットの取残しが多くなる。
したり作業を終了した列に移行したりし、その結果良品
ペレットの取残しが多くなる。
１列のペレット認識が終了したときに次の列に移行
させるために、エッジセンサのようなウエハ外周の検出
手段が必要となる。
させるために、エッジセンサのようなウエハ外周の検出
手段が必要となる。
この発明は、前記従来方法の問題点を解決するものであ
って、不良品ペレットを含む多数ペレットのなかから良
品ペレットのみを効率よくピックアップすることのでき
るペレット認識方法を提供することを目的とする。また
この発明の別の目的は、ペレットの配列の乱れや、ウエ
ハとペレットの形状に左右されず良品ペレットの取残し
を少なくできるペレット認識方法を提供することにあ
る。
って、不良品ペレットを含む多数ペレットのなかから良
品ペレットのみを効率よくピックアップすることのでき
るペレット認識方法を提供することを目的とする。また
この発明の別の目的は、ペレットの配列の乱れや、ウエ
ハとペレットの形状に左右されず良品ペレットの取残し
を少なくできるペレット認識方法を提供することにあ
る。
［発明の概要］ 本発明は、ペレット認識装置がピックアップの優先順位
テーブルとペレット記憶テーブルと位置記憶テーブルと
を有し、良品ペレットのピックアップ移動につれて認識
範囲内に収まった複数ペレットの形状判別と位置検出と
配列計算を行ってそのデータを得、ペレット記憶テーブ
ルに良品ペレットをその座標値で記憶させ、また位置記
憶テーブルに認識範囲内の良品ペレットをピックアップ
ペレットの位置を基準とした位置ズレ量で記憶させる。
そして既に認識された良品ペレットをすべて記憶させた
ペレット記憶テーブルと認識範囲内の良品ペレットを記
憶させた位置記憶テーブルとを参照してピックアップす
ることにより、良品ペレットのみを効率的にピックアッ
プすることを可能にするとともに、ピックアップの優先
順位テーブルと認識範囲外の良品ペレットもすべて座標
値で記憶されたペレット記憶テーブルと認識範囲内の良
品ペレットがピックアップペレットからの位置ズレ量で
記憶された位置記憶テーブルとを参照してピックアップ
することにより、ペレット配列の乱れ等による誤った列
への移行防止やウエハペレットの形状に無関係なピック
アップができるようにし、そのため良品ペレットの取残
しを少なくすることを可能とするものである。
テーブルとペレット記憶テーブルと位置記憶テーブルと
を有し、良品ペレットのピックアップ移動につれて認識
範囲内に収まった複数ペレットの形状判別と位置検出と
配列計算を行ってそのデータを得、ペレット記憶テーブ
ルに良品ペレットをその座標値で記憶させ、また位置記
憶テーブルに認識範囲内の良品ペレットをピックアップ
ペレットの位置を基準とした位置ズレ量で記憶させる。
そして既に認識された良品ペレットをすべて記憶させた
ペレット記憶テーブルと認識範囲内の良品ペレットを記
憶させた位置記憶テーブルとを参照してピックアップす
ることにより、良品ペレットのみを効率的にピックアッ
プすることを可能にするとともに、ピックアップの優先
順位テーブルと認識範囲外の良品ペレットもすべて座標
値で記憶されたペレット記憶テーブルと認識範囲内の良
品ペレットがピックアップペレットからの位置ズレ量で
記憶された位置記憶テーブルとを参照してピックアップ
することにより、ペレット配列の乱れ等による誤った列
への移行防止やウエハペレットの形状に無関係なピック
アップができるようにし、そのため良品ペレットの取残
しを少なくすることを可能とするものである。
また本発明のペレット認識方法においては、相関係数計
算によって形状判別と位置検出をすることが好適であ
る。ここで相関係数計算とは入力データと予め用意され
た基準データとの相関係数を計算し、計算回路の出力か
ら基準データと最もパターンが一致する入力データを判
定することである（本出願人の特願昭56-23868号参
照）。従来の形状判別や位置検出には投影法を利用した
認識処理方法があるが、その方法でとられている認識範
囲はペレット１個を検出することを前提にしてせいぜい
４個のペレット程度のものであり、またその方法の認識
率は、ペレットの表面輝度や表面パターンの外乱によっ
て安定しないため低下することが避けられない。これに
対して、本願発明は、広い認識範囲に収まっている多数
のペレットについて形状判別と位置検出と配列計算を行
ってデータを得ておくものであり、また本発明において
好適な相関係数計算によれば、基準データと最もパター
ンが一致する入力データを判別するものであるから撮像
出力の変動によって認識率の低下がない。別の観点から
みても従来の認識処理では共通の２値化処理による方法
があるが、この方法では被写体全体を均一な照度下で認
識しなければならず、そのため光学系が高価になるとと
もに技術的に難かしい。この方法に対して相関係数計算
によれば、２値化の必要がないから高価な光学系はいら
ない。
算によって形状判別と位置検出をすることが好適であ
る。ここで相関係数計算とは入力データと予め用意され
た基準データとの相関係数を計算し、計算回路の出力か
ら基準データと最もパターンが一致する入力データを判
定することである（本出願人の特願昭56-23868号参
照）。従来の形状判別や位置検出には投影法を利用した
認識処理方法があるが、その方法でとられている認識範
囲はペレット１個を検出することを前提にしてせいぜい
４個のペレット程度のものであり、またその方法の認識
率は、ペレットの表面輝度や表面パターンの外乱によっ
て安定しないため低下することが避けられない。これに
対して、本願発明は、広い認識範囲に収まっている多数
のペレットについて形状判別と位置検出と配列計算を行
ってデータを得ておくものであり、また本発明において
好適な相関係数計算によれば、基準データと最もパター
ンが一致する入力データを判別するものであるから撮像
出力の変動によって認識率の低下がない。別の観点から
みても従来の認識処理では共通の２値化処理による方法
があるが、この方法では被写体全体を均一な照度下で認
識しなければならず、そのため光学系が高価になるとと
もに技術的に難かしい。この方法に対して相関係数計算
によれば、２値化の必要がないから高価な光学系はいら
ない。
［発明の実施例］ 以下に本発明の一実施例を図面を参照して説明する。な
お、第６図はこの実施例のフローチャートである。
お、第６図はこの実施例のフローチャートである。
第１図に示されるような複数ペレットについて工業用テ
レビカメラなどの画像入力データＰ（Ｘ）（アナログ信
号あるいはデジタル信号）を得る。この入力データＰ
（Ｘ）とパターン検出基準となる基準データＲ（Ｘ）と
を相関係数回路に導入し、次式（１）に基く相関係数ｆ
（Ｘ）を計算する。（第６図における相関係数計算） 但しk:積分範囲 そこで得られた相関係数ｆ（Ｘ）は＋１〜０〜−１の値
となり、「＋１」で最大の基準パターンとの一致度を示
すことになる。
レビカメラなどの画像入力データＰ（Ｘ）（アナログ信
号あるいはデジタル信号）を得る。この入力データＰ
（Ｘ）とパターン検出基準となる基準データＲ（Ｘ）と
を相関係数回路に導入し、次式（１）に基く相関係数ｆ
（Ｘ）を計算する。（第６図における相関係数計算） 但しk:積分範囲 そこで得られた相関係数ｆ（Ｘ）は＋１〜０〜−１の値
となり、「＋１」で最大の基準パターンとの一致度を示
すことになる。
例を挙げると、ｘ方向にＭ個、ｙ方向にＮ個のデータを
有する二次元入力データの一部分、たとえば点Ｐ（x,
y）のデータＰ（ｘ＋0,y＋０）から点Ｐ（ｘ＋m,y＋
０）までのｍ個のデータ、点Ｐ（ｘ＋0,y＋１）から点
Ｐ（ｘ＋m,y＋１）までのｍ個のデータ、以下同様に点
Ｐ（ｘ＋0,y＋ｉ）から点Ｐ（ｘ＋m,y＋ｉ）（但しｉ＝
3,…ｎ）までのそれぞれｍ個のデータよりなるｍ×ｎ個
のデータ群（x,y）が部分入力データとして入力デー
タ切出し処理回路により切り出されて相関係数計算回路
の一方入力となる。そして上記部分入力データ（x,
y）の範囲に対応する部分基準データ（x,y）が部分基
準データ格納回路に格納されており、この格納データが
読み出されて前記計算回路の他方入力となる。計算回路
では次の式に基いて計算を行い、点Ｐ（X,Y）の相関係
数（X,Y）を得る。
有する二次元入力データの一部分、たとえば点Ｐ（x,
y）のデータＰ（ｘ＋0,y＋０）から点Ｐ（ｘ＋m,y＋
０）までのｍ個のデータ、点Ｐ（ｘ＋0,y＋１）から点
Ｐ（ｘ＋m,y＋１）までのｍ個のデータ、以下同様に点
Ｐ（ｘ＋0,y＋ｉ）から点Ｐ（ｘ＋m,y＋ｉ）（但しｉ＝
3,…ｎ）までのそれぞれｍ個のデータよりなるｍ×ｎ個
のデータ群（x,y）が部分入力データとして入力デー
タ切出し処理回路により切り出されて相関係数計算回路
の一方入力となる。そして上記部分入力データ（x,
y）の範囲に対応する部分基準データ（x,y）が部分基
準データ格納回路に格納されており、この格納データが
読み出されて前記計算回路の他方入力となる。計算回路
では次の式に基いて計算を行い、点Ｐ（X,Y）の相関係
数（X,Y）を得る。
但し、 また上記計算回路は、点Ｐ（x,y）の座標を（１≦Ｘ≦
Ｍ−ｍ＋１），（１≦Ｙ≦Ｎ−ｎ＋１）の範囲にわたっ
て計算することにより、（Ｍ−ｍ＋１）（Ｎ−ｎ＋１）
の結果を得る。この場合、係数Ｏ（X,Y）が最大値Omax
（X1，Y1）を示すときの座標（X1，Y1）が検出パターン
の座標である。なお、 Omax（X1，Y1）＜DC 但しDCは別に指定した定数（たとえば0.5,0.7） の条件を満たした場合は、パターン検出不能または検出
パターンが存在しないと判断する。このような係数Ｏ
（X,Y）の最大値Omax（X1，Y1）検出および最大値Omax
（X1，Y1）とDCとの比較判定は、計算回路の後段の判定
回路により行われる。
Ｍ−ｍ＋１），（１≦Ｙ≦Ｎ−ｎ＋１）の範囲にわたっ
て計算することにより、（Ｍ−ｍ＋１）（Ｎ−ｎ＋１）
の結果を得る。この場合、係数Ｏ（X,Y）が最大値Omax
（X1，Y1）を示すときの座標（X1，Y1）が検出パターン
の座標である。なお、 Omax（X1，Y1）＜DC 但しDCは別に指定した定数（たとえば0.5,0.7） の条件を満たした場合は、パターン検出不能または検出
パターンが存在しないと判断する。このような係数Ｏ
（X,Y）の最大値Omax（X1，Y1）検出および最大値Omax
（X1，Y1）とDCとの比較判定は、計算回路の後段の判定
回路により行われる。
上述したような相関係数計算による形状判別、位置検出
においては、入力データを正規化しているため、パター
ン像の輝度に対応する信号振幅、明るさに対応する直流
成分の変化にも十分な余裕をもっている。また、２値化
を行う必要がなく、相関係数には雑音面積／検出面積で
雑音が関係するので、原理的に雑音に対しても余裕をも
っている。従ってパターン検出率の向上と安定化が可能
である。なお、入力データの縮小を行ったり計算方法の
工夫を行うことにより、パターン処理時間を短縮するこ
とが可能である。
においては、入力データを正規化しているため、パター
ン像の輝度に対応する信号振幅、明るさに対応する直流
成分の変化にも十分な余裕をもっている。また、２値化
を行う必要がなく、相関係数には雑音面積／検出面積で
雑音が関係するので、原理的に雑音に対しても余裕をも
っている。従ってパターン検出率の向上と安定化が可能
である。なお、入力データの縮小を行ったり計算方法の
工夫を行うことにより、パターン処理時間を短縮するこ
とが可能である。
以上の如くして得られた相関係数は、別に指定した基準
定数と比較することにより、複数ペレットの形状判別と
位置検出を行いその配列を計算する。
定数と比較することにより、複数ペレットの形状判別と
位置検出を行いその配列を計算する。
第１図の複数ペレットの相関係数を計算し、相関係数マ
トリックス（母集団）を作成する。そして第６図のチャ
ートに示されるように、その係数の大きいものから順に
（その係数が位置していた位置情報と対に）並べ換え
（ソーティング）、一番大きな係数が得られた係数と位
置情報により第２図の位置記憶テーブルに基準位置（ピ
ックアップ位置）からのズレ量（Ｘ方向及びＹ方向のズ
レ量）を登録する。このときの係数が良否判定基準値よ
り大きい場合には、第３図のペレット記憶テーブルに良
品であることを登録し、さらにＸ座標テーブルTxとＹ座
標テーブルTyへ現在のXYステージのXY座標値を加算した
良品ペレットの座標値を登録する。続いて、２番目以降
の大きな係数と位置情報について、上記操作を順次繰り
返してゆくが、１つのペレットに対して相関係数は複数
個のデータが得られるので、登録しようとするテーブル
位置が既により大きい係数にかかる情報によって登録済
みであるときには、２回目となる登録はしない。そして
次の大きな係数が登録されていないペレットについての
ものであるときに、その登録が順次なされてゆく。従っ
て、第１図の各ペレットについては、それぞれのペレッ
トの一番大きな係数にかかる情報がテーブルに登録され
る。
トリックス（母集団）を作成する。そして第６図のチャ
ートに示されるように、その係数の大きいものから順に
（その係数が位置していた位置情報と対に）並べ換え
（ソーティング）、一番大きな係数が得られた係数と位
置情報により第２図の位置記憶テーブルに基準位置（ピ
ックアップ位置）からのズレ量（Ｘ方向及びＹ方向のズ
レ量）を登録する。このときの係数が良否判定基準値よ
り大きい場合には、第３図のペレット記憶テーブルに良
品であることを登録し、さらにＸ座標テーブルTxとＹ座
標テーブルTyへ現在のXYステージのXY座標値を加算した
良品ペレットの座標値を登録する。続いて、２番目以降
の大きな係数と位置情報について、上記操作を順次繰り
返してゆくが、１つのペレットに対して相関係数は複数
個のデータが得られるので、登録しようとするテーブル
位置が既により大きい係数にかかる情報によって登録済
みであるときには、２回目となる登録はしない。そして
次の大きな係数が登録されていないペレットについての
ものであるときに、その登録が順次なされてゆく。従っ
て、第１図の各ペレットについては、それぞれのペレッ
トの一番大きな係数にかかる情報がテーブルに登録され
る。
この様に複数個のペレットの処理を終了すると第２図の
位置記憶テーブルには良品ペレットのみの位置情報と配
列が記憶され、第３図のペレット記憶テーブルには良品
ペレットの座標値と良品ペレットを表わすフラッグ（旗
印）とピックアップの状況（済、未済）が記憶される。
位置記憶テーブルには良品ペレットのみの位置情報と配
列が記憶され、第３図のペレット記憶テーブルには良品
ペレットの座標値と良品ペレットを表わすフラッグ（旗
印）とピックアップの状況（済、未済）が記憶される。
第４図及び第５図は、ピックアップの優先順位テーブル
である。第４図はペレットピックアップが左取りの場合
の優先順位テーブルであり、第５図はピックアップ位置
（二重枠の位置）の左側に良品ペレットが存在しないと
き右取りをする場合の優先順位テーブルである。
である。第４図はペレットピックアップが左取りの場合
の優先順位テーブルであり、第５図はピックアップ位置
（二重枠の位置）の左側に良品ペレットが存在しないと
き右取りをする場合の優先順位テーブルである。
そこでまた第６図を参照して、ダイボンディングのため
にペレットをピックアップするにはペレットを左取り優
先順位テーブル（第４図）に従って、位置記憶テーブル
（第２図）の良品ペレットの存在を検索し、良品ペレッ
トが存在したならば、その位置記憶テーブルに記憶され
ている位置ズレ量XYステージを移動させてその良品ペレ
ットをピックアップする。若し左側に良品ペレットが存
在しない場合には右取り優先順位テーブル（第５図）に
従って位置記憶テーブル（第２図）により良品ペレット
の検索ピックアップを行う。従って左取り又は右取りの
ピックアップ進行方向とピックアップ列の制御は第４図
及び第５図の優先順位テーブルと第２図の位置記憶テー
ブルによってなされ、良品ペレットの取残しを少なくし
効率のよいダイボンディング作業が実現される。
にペレットをピックアップするにはペレットを左取り優
先順位テーブル（第４図）に従って、位置記憶テーブル
（第２図）の良品ペレットの存在を検索し、良品ペレッ
トが存在したならば、その位置記憶テーブルに記憶され
ている位置ズレ量XYステージを移動させてその良品ペレ
ットをピックアップする。若し左側に良品ペレットが存
在しない場合には右取り優先順位テーブル（第５図）に
従って位置記憶テーブル（第２図）により良品ペレット
の検索ピックアップを行う。従って左取り又は右取りの
ピックアップ進行方向とピックアップ列の制御は第４図
及び第５図の優先順位テーブルと第２図の位置記憶テー
ブルによってなされ、良品ペレットの取残しを少なくし
効率のよいダイボンディング作業が実現される。
また第６図を参照して、認識範囲内すなわち第２図の位
置記憶テーブル内に良品ペレットの情報が存在しない場
合には、第３図のペレット記憶テーブルを参照し、以前
に良品ペレットと認識されたペレット位置にXYステージ
が移動する。この移動は現在ステージ位置から最も近い
良品ペレットの位置が選択される。ペレット記憶テーブ
ル内にも良品ペレットが存在しない場合このウエハにつ
いてピックアップが終了したものと判定できる。
置記憶テーブル内に良品ペレットの情報が存在しない場
合には、第３図のペレット記憶テーブルを参照し、以前
に良品ペレットと認識されたペレット位置にXYステージ
が移動する。この移動は現在ステージ位置から最も近い
良品ペレットの位置が選択される。ペレット記憶テーブ
ル内にも良品ペレットが存在しない場合このウエハにつ
いてピックアップが終了したものと判定できる。
なお、良品ペレットがピックアップされたときには第３
図のペレット記憶テーブルのピックアップ状況は済の標
識が付される。ピックアップ作業を数回実行したけれど
も粘着シートの粘着力のバラツキなどによりピックアッ
プできなかったときは、ペレット記憶テーブルのピック
アップ状況を済の標識に修正しそのペレットのピックア
ップ作業を中止して取り残すとともに次回のピックアッ
プ作業は禁止するのがよい。
図のペレット記憶テーブルのピックアップ状況は済の標
識が付される。ピックアップ作業を数回実行したけれど
も粘着シートの粘着力のバラツキなどによりピックアッ
プできなかったときは、ペレット記憶テーブルのピック
アップ状況を済の標識に修正しそのペレットのピックア
ップ作業を中止して取り残すとともに次回のピックアッ
プ作業は禁止するのがよい。
［発明の効果］ 本発明によれば、ダイボンダ等の多数配列させたペレッ
トを認識する方法において次のような効果を挙げること
ができた。
トを認識する方法において次のような効果を挙げること
ができた。
ペレット記憶テーブルには、良品ペレットの座標値
が記憶され、その良品ペレットを表わすフラッグとピッ
クアップ状況が記憶されているから、良品ピックアップ
が続けて行われて、むだのない高速ダイボンディングと
なるとともに、ボンディング作業速度が同一速度とな
り、ペレットの受ける熱的劣化も管理できる。
が記憶され、その良品ペレットを表わすフラッグとピッ
クアップ状況が記憶されているから、良品ピックアップ
が続けて行われて、むだのない高速ダイボンディングと
なるとともに、ボンディング作業速度が同一速度とな
り、ペレットの受ける熱的劣化も管理できる。
位置記憶テーブルには、ピックアップペレット以外
の認識範囲内に存在する良品ペレットを該ピックアップ
ペレットの位置を基準とした位置ズレ量で記憶している
から、ペレットの配列の乱れなどによりペレット取得率
の低下などがなく、良品ペレットの取残しが減少する。
の認識範囲内に存在する良品ペレットを該ピックアップ
ペレットの位置を基準とした位置ズレ量で記憶している
から、ペレットの配列の乱れなどによりペレット取得率
の低下などがなく、良品ペレットの取残しが減少する。
優先順位テーブルには、良品ペレットの相関係数値
の例えば大きい順に登録をされているから、その優先順
位に従い、ウエハ周辺の検出が不要となり、またペレッ
トの形状のウエハの形状に無関係であり汎用性のあるダ
イボンダ装置が構成できる。
の例えば大きい順に登録をされているから、その優先順
位に従い、ウエハ周辺の検出が不要となり、またペレッ
トの形状のウエハの形状に無関係であり汎用性のあるダ
イボンダ装置が構成できる。
第１図は本発明において認識の対象となる複数ペレット
の配列状態を説明する図、第２図は本発明における位置
記憶テーブルの説明図、第３図は同じくペレット記憶テ
ーブルの説明図、第４図及び第５図は同じく優先順位テ
ーブルの説明図、第６図は実施例のペレット認識方法の
フローチャートである。 １…ペレット。
の配列状態を説明する図、第２図は本発明における位置
記憶テーブルの説明図、第３図は同じくペレット記憶テ
ーブルの説明図、第４図及び第５図は同じく優先順位テ
ーブルの説明図、第６図は実施例のペレット認識方法の
フローチャートである。 １…ペレット。
Claims (5)
- 【請求項１】ダイボンダ等における配列させた多数ペレ
ットのなかから順次良品ペレットをピックアップするた
めのペレット認識方法において、ピックアップ移動につ
れて認識範囲内に収まった複数ペレットの形状判別と位
置検出と配列計算を逐次行ってデータを得た後、ピック
アップの優先順位テーブルに従って該複数ペレットから
１個のペレットをピックアップするとともに、該ピック
アップペレット以外の良品ペレットを座標値で記憶する
ペレット記憶テーブルと、該ピックアップペレット以外
の認識範囲内に存在する良品ペレットを該ピックアップ
ペレットの位置を基準とした位置ずれ量で記憶する位置
記憶テーブルとに夫々前記データを格納し、ピックアッ
プの優先順位テーブルと位置記憶テーブルの位置情報と
により、ピックアップの進行方向と列を制御し、順次良
品ペレットのみピックアップをし、認識範囲内に良品ペ
レットが存在せず、また位置記憶テーブルにも良品ペレ
ットが存在しない場合、ペレット記憶テーブルを参照し
て以前に良品ペレットと判定された座標値に復帰した
後、順次良品ペレットのみピックアップすることを特徴
とするペレット認識方法。 - 【請求項２】相関係数を計算することにより、形状判別
と位置検出を行う、特許請求の範囲第１項記載のペレッ
ト認識方法。 - 【請求項３】相関係数マトリックスを大きい係数値順に
並べ、最大の係数値が得られたピックアップペレットの
位置を基準にして配列計算をする、特許請求の範囲第１
項記載のペレット認識方法。 - 【請求項４】認識範囲内に良品ペレットが存在せず、ま
たペレット記憶テーブルにも良品ペレットが存在しない
場合、ピックアップ作業の終了を検出する、特許請求の
範囲第１項記載のペレット認識方法。 - 【請求項５】良品ペレットをピックアップしたが、ピッ
クアップできなかった場合、ペレット記憶テーブルを修
正して、以後当該ピックアップできなかったペレットの
ピックアップを禁止する、特許請求の範囲第１項記載の
ペレット認識方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57163827A JPH0722166B2 (ja) | 1982-09-22 | 1982-09-22 | ダイボンダ等におけるペレツト認識方法 |
| DE8383109392T DE3381543D1 (de) | 1982-09-22 | 1983-09-21 | Verfahren zur erkennung von kuegelchen-mustern. |
| EP83109392A EP0108893B1 (en) | 1982-09-22 | 1983-09-21 | A method for recognizing a pellet pattern |
| US06/534,496 US4543659A (en) | 1982-09-22 | 1983-09-21 | Method for recognizing a pellet pattern |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57163827A JPH0722166B2 (ja) | 1982-09-22 | 1982-09-22 | ダイボンダ等におけるペレツト認識方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5954236A JPS5954236A (ja) | 1984-03-29 |
| JPH0722166B2 true JPH0722166B2 (ja) | 1995-03-08 |
Family
ID=15781489
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57163827A Expired - Lifetime JPH0722166B2 (ja) | 1982-09-22 | 1982-09-22 | ダイボンダ等におけるペレツト認識方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4543659A (ja) |
| EP (1) | EP0108893B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0722166B2 (ja) |
| DE (1) | DE3381543D1 (ja) |
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| JPH0810709B2 (ja) * | 1985-06-20 | 1996-01-31 | ロ−ム株式会社 | ペレツトピツクアツプ方法および装置 |
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-
1983
- 1983-09-21 US US06/534,496 patent/US4543659A/en not_active Expired - Lifetime
- 1983-09-21 DE DE8383109392T patent/DE3381543D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1983-09-21 EP EP83109392A patent/EP0108893B1/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
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| Publication number | Publication date |
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| EP0108893A3 (en) | 1987-06-03 |
| US4543659A (en) | 1985-09-24 |
| DE3381543D1 (de) | 1990-06-13 |
| EP0108893B1 (en) | 1990-05-09 |
| JPS5954236A (ja) | 1984-03-29 |
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