TW201926521A - 搬送具與大型搬送具與搬送方法與搬送具單元 - Google Patents

Abstract

提供一種黏著力強之搬送具與搬送方法。使用如下搬送具，其包含台座、以及配置於上述台座之表面之複數個柱狀突起，且上述複數個柱狀突起分別於頂部具有1個凹部。使用將複數個上述搬送具不重疊於平板上，而以上述突起作為表面來配置之大型搬送具。且使用如下搬送方法，其使用將複數個上述搬送具不重疊於平板上，而以上述突起作為表面來配置之大型搬送具，搬送製造之對象物。

Description

搬送具與大型搬送具與搬送方法與搬送具單元

本發明係關於一種搬送具與搬送方法與搬送單元。尤其關於一種用以於生產線等中暫時搬送對象物之搬送具與搬送方法與搬送單元。

生產線中，習知使用有搬送基板或玻璃等之搬送具（專利文獻1）。該搬送具中，於金屬板上設置有橡膠。而對象物暫時地黏著於橡膠上而搬送，於目的地將對象物從搬送具上取下。 [現有技術文獻]

[專利文獻] [專利文獻1]日本特開2006-186398號公報

[發明所欲解決之問題]

但是，該搬送具中，因吸附力弱而無法適當地保持對象物。因此，本申請案之課題為提供一種黏著力強之搬送具與搬送方法。 [解決問題之手段]

為解決上述現有課題，而使用如下搬送具，其包含台座、以及配置於上述台座之表面之複數個柱狀突起，並且上述複數個柱狀突起分別於頂部具有1個凹部。 另外，使用如下大型搬送具，其將複數個上述搬送具不重疊於平板上，而將上述突起作為表面來配置。 進一步地，使用如下搬送方法，其使用將複數個上述搬送具不重疊於平板上，而將上述突起作為表面來配置之大型搬送具，搬送製造之對象物。 使用將複數個上述搬送具，與1個上述台座設為1個搬送具之搬送具單元。 [發明之效果]

本發明之搬送具中，充分保持對象物，可確實地搬送至目標場所。

以下，參照圖式，對本發明之實施方式進行說明。此外，本發明不受該實施方式所限定。

（實施方式1） 使用圖1（a）～圖1（d），對實施方式1之搬送具10進行說明。圖1（a）係搬送具10之俯視圖。圖1（b）係保持有對象物16之搬送具10之側面圖。圖1（c）係搬送具10之放大俯視圖。圖1（d）係於在搬送具10上保持有對象物16之狀態下，搬送具10之保持有對象物16之部分之放大俯視圖。此外，圖1（d）中，將對象物16除外而表示。

＜結構＞ 搬送具10包含台座15、突起11、凹部13及間隙14。 台座15為平板狀，且於其中一面具有突起11。台座15係1邊為約30 mm見方之正方形形狀。作為1邊，可製作1 cm～100 cm範圍的長度。 突起11為圓柱狀突起11。突起11之圓之直徑為約0.5 mm～2 mm。突起11之高度亦為約0.5 mm～2 mm。突起11之高度相對於圓之直徑的比（外觀比，Aspect ratio）較佳為0.5至1.5。並不限定於圓柱，只要為柱狀即可。

突起11之頂部之面積之比例（佔有面積，於突起11所存在之整個區域中之每單位面積之突起11部分所占之面積密度）宜為50%以上。較佳為60%以上。為保持對象物16，越多越佳。但，突起11由於需要變形，故而設為分別獨立之複數個突起11。為增加突起11之頂部之面積之比例，突起11設為交錯排列。另外，突起11為了於變形時均等地向至少4個方向擴散，較佳為圓柱形狀。因此，突起11之頂部之面積之比例宜為95%以下。較佳為90%以下。 凹部13係由突起11及台座15所包圍之空間。

間隙14為突起11間之間隙。為了於突起11保持對象物16時可變形，而需要間隙14。間隙14為0.1 mm以下。搬送具10之材質較佳為化學性質穩定之氟橡膠，藉由擠壓成型或澆鑄模成型而製作。

氟橡膠亦可利用具有以源自偏二氟乙烯之構成單元、六氟丙烯之構成單元、以及源自四氟乙烯之構成單元為主之構成的氟橡膠組成物。此外，可適合於所有氟橡膠。亦可利用含有以源自四氟乙烯之構成單元、或者源自全氟(烷基乙烯酯)或全氟(烷氧基烷基乙烯酯)之構成單元為主之構成的全氟彈性體。 另外，作為橡膠，亦可使用上述以外之氟橡膠。亦可使用矽橡膠、彈性體。只要為可於室溫下藉由加壓而變形者，則即可使用。

＜製造方法＞ 製成實施有與搬送具10之形狀對應之凹部之上模，於壓力機上設置模具。將模具加熱至180℃，為了於橡膠成型後容易剝落橡膠而塗佈脫模劑（氟系、矽系等）。 將橡膠片切割為適當之尺寸，放置於下模具上，利用上模進行擠壓。擠壓設定為180℃、240秒。根據橡膠之材質而改變溫度・時間之設定。若小於適當之尺寸，則成為未硫化狀態，橡膠無法成型。

擠壓後，為了使橡膠不破碎而謹慎地從模具（上下模具）上剝離橡膠。剝離結束後，進行外觀確認，若無問題，則將橡膠製品放入烘箱中，於232℃下加熱10小時。若溫度・時間不足的話，則存在橡膠之物理性質不出現之顧慮。根據橡膠之材質而改變溫度・時間之設定。於烘箱中之作業後，進行外觀確認，若無問題，則製品完成。

此外，亦可不進行橡膠片之成形。亦可為通常之成形加工。台座15與突起11較佳為以一體來製作。其原因在於，突起11受到對象物16之擠壓而變形，故而容易破損。因此，台座15與突起11由1種材料而一體地形成的話，可保持良好的強度。

＜保持狀態＞ 圖1（b）表示以搬送具10來保持對象物16之狀態。搬送具10中，以突起11之頂部與對象物16接觸，來保持對象物16。突起11之頂部具有黏著性，將對象物16黏著保持。

圖1（c）係未保持對象物16時之搬送具10之放大俯視圖，圖1（d）係保持對象物16時之搬送具10之放大俯視圖。 突起11之頂部因對象物16之重量而變形、擴散，來保持對象物16。因此，於突起11間設有間隙14。藉由進一步增加突起11之頂部之面積而更容易保持對象物16。因此，將突起11密集地配置於平面內。 此外，突起11由於因對象物16而壓縮變形、擴散，故而較佳為設置複數個非接觸之突起11。

搬送具10之硬度宜為20～90。較佳為60～80。此處，硬度為硬度計Type A之值。搬送具10之硬度根據突起11之變形之容易度、保持性而成為上述範圍。 實施方式1之搬送具10中，突起11雖密集地配置，但可變形。可以突起11之頂部之廣泛面積牢固地保持對象物16。

（實施方式2） 使用圖2（a）～圖2（c），對實施方式2之搬送具20進行說明。圖2（a）係搬送具20之俯視圖。圖2（b）係搬送具20之側面圖。圖2（c）係於搬送具20上保持有對象物16之側面圖。未記載之事項係與實施方式1相同。

＜結構＞ 搬送具20包含：台座15、第1突起11a、第2突起11b、凹部13及間隙14。 台座15為平板狀，且於其中一面具有第1突起11a及第2突起11b。 第1突起11a為圓柱狀突起。與實施方式1之突起11相同。 第2突起11b為圓柱狀突起。第2突起11b較第1突起11a而言，剖面積更小，且為與第1突起11a相同之高度。第1突起11a為主要突起。

凹部13係由第1突起11a、第2突起11b及台座15所包圍之空間。 間隙14為第1突起11a與第2突起11b之間之間隙。 第1突起11a之直徑大於第2突起11b。若為了增加突起之佔有面積而密集排列，則第1突起11a之直徑為第2突起11b之2.3倍為止。 此外，第1突起11a之外觀比係與實施方式1之突起11同樣，為1左右。因此，第2突起11b成為細長之突起。第1突起11a承受對象物16，第2突起11b係輔助地承受。第2突起11b係為了黏著性之提昇、真空吸附性而存在。

＜保持狀態＞ 圖3（a）係保持對象物16之前之搬送具20之放大俯視圖。 圖3（b）係保持對象物16中時之搬送具20之放大俯視圖。將對象物16省略而表示。

當對象物16載置於第1突起11a與第2突起11b上時，第1突起11a與第2突起11b被壓縮，間隙14消失，第1突起11a與第2突起11b接觸。於該狀態下，凹部13成為由第1突起11a、第2突起11b、台座15及對象物16所密閉之空間。此時，該空間稍微成為真空狀態，將對象物16由搬送具10來吸附、保持。 即，可藉由第1突起11a與第2突起11b之頂部之黏性及凹部13之真空，來保持對象物16。

於取下對象物16時，若稍微提起端部，則形成間隙14，使真空狀態解除，而容易取出。即，複數個凹部13從端部起緩緩地解除其真空，容易取出對象物16。 實施方式2之搬送具20較實施方式1之搬送具10而言，可更牢固地保持對象物16。

（實施方式3） 使用圖4（a）～圖4（c），對實施方式3進行說明。未說明之事項係與實施方式1、2相同。 圖4（a）係實施方式3之突起11c之放大側面圖。圖4（c）係突起11c之放大俯視圖。圖4（b）係於突起11c上保持有對象物16之情形之放大側面圖。突起11c係實施方式1或2之搬送具之突起。

突起11c為圓柱形狀，且於頂部具有1個凹部41。凹部41之周圍係由突起凸部11d所包圍。亦可不為圓柱形狀，只要為柱狀即可。凹部41之深度為數微米，為1～5 μm。突起11d之直徑為約0.5 mm～1.5 mm。若凹部41之深度較深，則空氣將殘留於凹部41與對象物16間，導致吸附性不良。 若於突起11c上保持對象物16，則突起11c之頂部之突起凸部11d變形，突起11c之側面膨脹，形成突起側部11e。此時，突起11c之頂部作為更寬廣之面，可保持對象物16。亦可不為圓柱，而為稜柱。 突起11c可作為實施方式1、2之突起而使用。進一步，亦可與實施方式1、2無關而單獨使用。 若對實施方式1、2之突起使用實施方式3之突起，則更能夠保持對象物16，故而較佳。

（實施方式4） 藉由圖5（a）及圖5（b）來對實施方式4進行說明。未記載之事項係與上述實施方式相同。 圖5（a）係大型搬送具50之保持對象物16之狀態之側面圖。 圖5（b）係大型搬送具50之俯視圖。 若對象物16變大，則亦可增大上述實施方式之搬送具10、20，但就製作上之問題、成本方面而言欠佳。

因此，該實施方式中，使用複數個搬送具30。搬送具30為上述實施方式之搬送具之任一者。亦可使用複數種搬送具。搬送具30之大小為10 mm見方～50 mm見方之面積，為正方形、長方形、菱形、梯形亦可。 大型搬送具50包含搬送台17及搬送具30。 搬送台17係如金屬板等用於搬運之台座。 搬送具30為上述實施方式之搬送具之任一種或者複數種。 大型搬送具50於其表面配置有複數個搬送具30。於複數個搬送具30上載置對象物16，對象物16得以保持。

搬送具30較佳為相對於對象物16而均等地配置。但，亦可將搬送具30僅配置於周邊部，或者僅配置於端部。作為整體而保持對象物16。搬送具30黏接固定於搬送台17上。

結果，即便不增大搬送具30，亦可實現大型搬送具50。 另外，可使用圖5（c）之俯視圖、圖5（d）之側面圖中所示之搬送具單元51。搬送具單元51具有複數個搬送具30。其係於製作搬送具30時，使台座15共用而製作複數個搬送具30者。由搬送具單元51所供給，沿著標記52而切割，作為複數個搬送具30來利用。標記52可於搬送具單元51之製造時利用模具來設置。標記52亦可不存在。搬送具單元51中，搬送具30間為無突起之僅有台座15之平面。

搬送具30可直接由黏接材等固定於搬送台17上。但是，較佳為將搬送具30之一端，以黏接材貼附於中間體上，且將該中間體以螺釘等物理性方式固定於搬送台17上。搬送具30定期地消耗而更換，但搬送台17係長期使用，故而為了能夠長期使用，較佳為不對搬送台17直接使用黏接材等。

（作為整體） 上述實施方式1～4可組合。 對象物16為玻璃面板、半導體晶片、透鏡、晶圓等，並未限定。 [產業上之可利用性]

本發明之搬送具與大型搬送具可於半導體、顯示器等裝置之製造中，於搬送對象物時利用。於其他製品之製造中亦可利用。

10、20、30‧‧‧搬送具

11、11c‧‧‧突起

11a‧‧‧第1突起

11b‧‧‧第2突起

11d‧‧‧突起凸部

11e‧‧‧突起側部

13、41‧‧‧凹部

14‧‧‧間隙

15‧‧‧台座

16‧‧‧對象物

17‧‧‧搬送台

30‧‧‧搬送具

50‧‧‧大型搬送具

51‧‧‧搬送具單元

52‧‧‧標記

圖1（a）係實施方式1之搬送具之俯視圖，（b）係保持對象物之實施方式1之搬送具之側面圖，（c）係實施方式1之搬送具之放大俯視圖，（d）係於實施方式1之搬送具上保持有對象物之狀態下之實施方式1之搬送具之放大俯視圖。 圖2係實施方式2之搬送具之俯視圖，（b）係實施方式2之搬送具之側面圖，（c）係於實施方式2之搬送具上保持有對象物之側面圖。 圖3（a）係保持對象物之前之實施方式2之搬送具之放大俯視圖，（b）係保持對象物中時之實施方式2之搬送具之放大俯視圖。 圖4（a）係實施方式3之搬送具之突起之放大側面圖，（b）係於實施方式3之搬送具之突起上保持有對象物之情形之放大側面圖，（c）係實施方式3之搬送具之突起之放大俯視圖。 圖5（a）係實施方式4之大型搬送具保持有對象物之狀態之側面圖，（b）係實施方式4之大型搬送具之俯視圖，（c）係實施方式4之搬送具單元之俯視圖，（d）係實施方式4之搬送具單元之側面圖。

Claims (10)

1. 一種搬送具，其包含： 台座、以及 配置於上述台座之表面之複數個柱狀突起， 上述複數個柱狀突起分別於頂部具有1個凹部，因來自各自之頂部之加壓而變形，向側面方向均等地擴散， 上述凹部為吸附用途，並且 上述複數個柱狀突起係藉由來自其頂部之加壓而變形，與不同之4個方向之上述柱狀突起分別接觸。
2. 一種搬送具，其包含： 台座、以及 配置於上述台座之表面之複數個柱狀突起， 上述複數個柱狀突起分別於頂部具有1個凹部， 上述複數個柱狀突起因來自其頂部之加壓而變形，於上述複數個柱狀突起間接觸，並且 藉由上述加壓，形成由上述複數個柱狀突起包圍周圍之用以吸附之凹部。
3. 一種搬送具，其包含： 台座、以及 配置於上述台座之表面之複數個柱狀突起， 上述複數個柱狀突起分別於頂部具有1個凹部， 上述複數個柱狀突起包含高度相同、且剖面積不同之複數個第1突起及第2突起，並且 上述複數個第1突起及第2突起分別因來自其頂部之加壓而變形，上述第1突起與4個上述第2突起接觸，上述第2突起與4個上述第1突起接觸。
4. 如申請專利範圍第3項之搬送具，其中 具有上述第1突起之行及上述第2突起之行，且上述複數個柱狀突起為交錯排列。
5. 如申請專利範圍第1項之搬送具，其中 上述複數個柱狀突起為圓柱形狀。
6. 一種對象物之搬送方法，其於如上述申請專利範圍第1至5項中任一項所述之搬送具上保持上述對象物，且搬送上述對象物。
7. 一種大型搬送具，其將複數個如上述申請專利範圍第1至5項中任一項所述之搬送具，不重疊於搬送台上，而以上述突起作為表面來配置。
8. 如申請專利範圍第7項之大型搬送具，其中 將上述搬送具黏接於中間體上，物理性地保持於上述中間體上。
9. 一種搬送方法，其使用將複數個如上述申請專利範圍第1至5項中任一項所述之搬送具，不重疊於搬送台上，而以上述突起作為表面來配置之大型搬送具，搬送製造之對象物。
10. 一種搬送具單元，其將複數個如上述申請專利範圍第1至5項中任一項所述之搬送具，以共用1個上述台座之方式設為1個搬送具。