TW201741634A - 流量控制裝置 - Google Patents

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Abstract

本發明之流量控制裝置係具有：控制閥；設在前述控制閥的下游側的第1流路；第2流路；及設在前述第1流路與前述第2流路之間的擴張室，前述第2流路係設在與前述第1流路的延長上為不同的位置。

Description

流量控制裝置
本發明係關於流量控制裝置。
以往，如圖11所示，已知一種流量控制裝置(亦稱為壓力式流量控制裝置)(專利文獻1等)，其係具備有：形成有將氣體入口2a與氣體出口2b相連通的流路2的本體區塊3；介在於流路2的節流部OR；在節流部OR的上游部介在於流路2的控制閥4；在控制閥4與節流部OR之間，檢測流路2內的壓力的第1壓力檢測器5a；及根據第1壓力檢測器5a的檢測值，以成為預定流量的方式控制控制閥4的控制器6。
該控制係若在節流部OR的上游壓力(P1)與下游壓力(P2)之間保持有(P1/P2)≧約2的所謂臨界膨脹條件時，即利用在孔口等節流部OR流通的氣體G的流量(Q)成為Q=KP1(K為常數)的關係的原理。
根據該原理，以在第1壓力檢測器5a被檢測的上游壓力(P1)成為預定壓力的方式，將控制閥4以高精度進行反饋控制，藉此可將通過節流部OR的流量(Q)以高精度控制成預定流量。在控制閥4係使用可以高精度控 制的壓電驅動式控制閥或螺線管閥等。
在非臨界膨脹條件下，成立流量Qc=K2P2 m(P1-P2)n(K2係取決於流體種類與流體溫度的比例係數，指數m、n係由實際流量被導出的值)的關係。藉由另外設在節流部OR的下游側的第2壓力檢測器(未圖示)，檢測下游壓力(P2)。在非臨界膨脹條件下，使用在非臨界膨脹條件下所成立的前述關係式，可由節流部OR上游側的第1壓力檢測器5a的輸出與節流部OR下游側的前述第2壓力檢測器的輸出，藉由運算求出流量，流量控制裝置係以所求出的流量與設定流量相同的方式控制控制閥的開閉度(專利文獻2等)。
但是，因被配置在該類流量控制裝置的上游的壓力調整閥(未圖示)等的影響，在流路2流動的氣體G的壓力周期性振動，有在第1壓力檢測器5a的檢測壓力發生擺動(脈動)的情形。檢測壓力的擺動係使流量的控制不安定。
以往，為了抑制如上所示之擺動，已知有軟體上的應對措施、及機械式的應對措施。軟體上的應對措施係例如以變更流量控制裝置的控制器的運算所使用的係數來抑制擺動的方式進行最適控制(例如專利文獻3等)。但是，軟體上的應對措施係不易導出變更的係數的最適值。
以機械式的應對措施而言，已知例如使金屬網板或孔口板等具有整流作用的整流板介在於流路內而將 氣體進行整流的技術、或藉由在流路途中形成擴大流路剖面積的腔室來吸收壓力變動的技術(例如專利文獻4~6等)。
[先前技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2003-120832號公報
[專利文獻2]日本特開2010-218571號公報
[專利文獻3]日本特開2015-158755號公報
[專利文獻4]日本特開2005-24080號公報
[專利文獻5]日本特開2011-80822號公報
[專利文獻6]日本特開平8-135881號公報
在流路途中構成腔室的技術自以往已眾所週知，惟任一者均為設在既設配管途中的構造，前提在藉此來抑制在配管輸送中所發生的流體的壓力變動。此外，由於為設在配管途中的構造，因此通常腔室的入口與出口構成在同一軸線上。因此，若伴隨壓力變動的流體進入至腔室內，若流量少，由於進入至腔室的流體擴散至腔室全體，因此可抑制壓力變動，但是若大流量的流體進入至腔室，在擴散至腔室之前會到達腔室出口，因此無法抑制全 部的流體的壓力變動。亦考慮加大腔室的大小，俾以即使大流量的流體的壓力變動亦可抑制，但是近年來，半導體製造裝置由於不斷發展小型化，因此難以在流量控制裝置內確保較大的容量。此外，藉由在流量控制裝置的上游側設置腔室，可抑制來自上游的流體所包含的壓力變動，但是位於流量控制裝置內的控制閥等亦成為使流體發生壓力變動的要因之一，因此僅在流量控制裝置的外部設置腔室，並不足夠。
此外，考慮安裝整流板，俾以抑制控制閥4與節流部OR之間的壓力振動。但是，若使金屬網等整流板介在於圖11的流路2，壓力損失會增加。此係因構成整流板的網格等，流路的剖面積會變小，因此對流體供予阻力，導致發生壓力損失的問題。
此外，若在維護時替換金屬網等整流板時，必須將連接於氣體出口2b的配管等零件(未圖示)、或以孔口板等所形成的節流部OR等卸下、分解，耗費工夫。此外，組裝時，當在流路內***薄板的整流板時，亦會有整流板在流路內傾斜等而不易***的情形。
因此，本發明之主要目的在提供可一邊對應大流量、裝置小型化的請求一邊抑制流路內的擺動的流量控制裝置。本發明之目的在另外提供一種可提升維護性及組裝性的流量控制裝置。
為達成上述目的，本發明之流量控制裝置之第1態樣係具有：控制閥；設在前述控制閥的下游側的第1流路；第2流路；及設在前述第1流路與前述第2流路之間的擴張室，前述第2流路係設在與前述第1流路的延長上為不同的位置。
此外，本發明之流量控制裝置之第2態樣係具有：控制閥；設在前述控制閥的下游側的第1流路；第2流路；設在前述第1流路與前述第2流路之間的擴張室；及配設在前述擴張室內的整流板。
此外，本發明之流量控制裝置之第3態樣係在前述第1態樣或前述第2態樣中，在前述第2流路設有節流部。
此外，本發明之流量控制裝置之第4態樣係在前述第3態樣中，在前述控制閥與前述節流部之間設有第1壓力檢測器。
本發明之流量控制裝置之第5態樣係在前述第4態樣中，前述第1壓力檢測器在前述第2流路上，被設在比節流部更為上游。
本發明之流量控制裝置之第6態樣係在前述第5態樣中，另外具有：用以在前述節流部下游側檢測前述第2流路內的壓力的第2壓力檢測器。
本發明之流量控制裝置之第7態樣係在前述第1態樣或前述第2態樣中，另外設有形成有前述第1流路及前述第2流路的本體區塊，前述擴張室係藉由以下所 形成：形成在前述本體區塊的本體凹部；及以將形成在前述本體區塊的前述本體凹部閉鎖的方式被安裝在前述本體區塊的蓋體。
本發明之流量控制裝置之第8態樣係在前述第7態樣中，前述蓋體係形成有用以增加前述擴張室的容積的蓋體凹部。
本發明之流量控制裝置之第9態樣係在前述第8態樣中，前述本體區塊與前述蓋體透過金屬密封墊圈而相接合。
本發明之流量控制裝置之第10態樣係在前述第9態樣中，在前述本體凹部的周圍形成有用以收容前述蓋體的柱坑部。
本發明之流量控制裝置之第11態樣係在前述第10態樣中，前述蓋體係在前述蓋體凹部的周圍形成有供將前述蓋體固定在前述本體區塊的螺栓之用的柱坑孔。
本發明之流量控制裝置之第12態樣係在前述第1態樣中，在前述擴張室內配設有整流板。
本發明之流量控制裝置之第13態樣係在前述第2態樣或前述第12態樣中，在前述擴張室內設有整流板保持體，該整流板保持體係於在前述擴張室形成前述第1流路之開口的上游側開口與在前述擴張室形成前述第2流路之開口的下游側開口之間，由前述上游側開口透過預定間隙來保持前述整流板。
本發明之流量控制裝置之第14態樣係在前述 第13態樣中，前述整流板保持體係在管狀體的周壁具有開口部，被配設成前述開口部面對前述擴張室的前述下游側開口。
本發明之流量控制裝置之第15態樣係在前述第13態樣中，前述擴張室係藉由以下所形成：形成在前述本體區塊的本體凹部；以將形成在前述本體區塊的前述本體凹部閉鎖的方式被安裝在前述本體區塊的蓋體，前述整流板保持體係被固定在前述蓋體。
本發明之流量控制裝置之第16態樣係在前述第13態樣中，前述整流板被熔接在前述整流板保持體予以固定。
本發明之流量控制裝置之第17態樣係在前述第2態樣或前述12態樣中，可以金屬網形成有前述整流板。
藉由本發明，藉由將擴張室配置在流量控制裝置內使壓力振動發生的控制閥的下游側，可將在流量控制裝置的上游側及前述控制閥所發生的壓力振動總括減低。
此外，通過前述第1流路而流入至前述擴張室的流體係通過前述構成的第2流路而由前述擴張室流出，藉此流入至前述擴張室的流體並不會有以與流入方向為相同方向流出的情形，因此即使為大流量，亦在擴張室 擴散之後由擴散室流出，可確保藉由擴散室所致之壓力變動抑制效果。
此外，藉由將用以增加前述擴張室的容積的蓋體凹部形成在蓋體，可一邊提高蓋體的剛性而確保將前述本體凹部閉鎖時的密封性能，一邊使擴張室的容積增加。
此外，在形成在前述本體凹部的周圍的柱坑部收容形成有前述蓋體凹部的前述蓋體，藉此可一邊提高蓋體的剛性而確保密封性能一邊使擴張室的容積增加，並且抑制蓋體由本體區塊突出的尺寸，且抑制流量控制裝置的尺寸增加。
此外，藉由在擴張室配置整流板，可一邊加寬整流板的面積而防止壓力損失增加，一邊使壓力振動減低。
此外，利用藉由形成在本體區塊的本體凹部、及將該本體凹部閉鎖的蓋體，形成擴張室，並且藉由收容在擴張室內的整流板保持體，將整流板保持在預定位置的構成，將蓋體由本體區塊卸下，藉此可將整流板由本體區塊卸下。因此，即使未卸下連接於氣體出口的配管零件或節流部等，亦可容易進行整流板的更換、阻塞去除等維護。此外，當組入薄型整流板時，亦可在載置於整流板保持體上的狀態下***本體凹部，容易組裝。
1‧‧‧流量控制裝置
2‧‧‧流路
2a‧‧‧氣體入口
2b‧‧‧氣體出口
2c‧‧‧入口側流路
2d‧‧‧第1流路
2e‧‧‧第2流路
3‧‧‧本體區塊
3b‧‧‧本體凹部
3b1‧‧‧柱坑部
4‧‧‧控制閥
5a‧‧‧第1壓力檢測器
5b‧‧‧第2壓力檢測器
6‧‧‧控制器
7‧‧‧擴張室
7a‧‧‧上游側開口
7b‧‧‧下游側開口
8‧‧‧整流板
9‧‧‧閥座
10‧‧‧金屬隔膜閥體
11‧‧‧閥桿
12‧‧‧驅動部
13‧‧‧蓋體
13a‧‧‧蓋體凹部
13b‧‧‧柱坑孔
14‧‧‧螺栓
15‧‧‧金屬密封墊圈
16‧‧‧間隔環
17‧‧‧密合墊圈
18‧‧‧整流板保持體
18a‧‧‧開口部
19‧‧‧環狀墊圈
19a‧‧‧環狀凹部
20‧‧‧殼體
G‧‧‧氣體
OR‧‧‧節流部
VL‧‧‧假想線
X‧‧‧預定間隙
圖1係顯示本發明之流量控制裝置之第1實施形態的要部縱剖正面圖。
圖2係顯示本發明之流量控制裝置之第2實施形態的要部縱剖正面圖。
圖3係顯示本發明之流量控制裝置之第3實施形態的要部縱剖正面圖。
圖4係將圖3的流量控制裝置的內部構成要素的一部分分解顯示的斜視圖。
圖5係顯示本發明之流量控制裝置之第4實施形態的要部縱剖正面圖。
圖6係顯示圖5的流量控制裝置的內部構成要素的一部分的斜視圖。
圖7係顯示本發明之流量控制裝置的構成要素亦即整流板的一實施形態的平面圖。
圖8係監測比較例的流量輸出的圖表。
圖9係監測本發明之流量控制裝置之實施例1的流量輸出的圖表。
圖10係監測本發明之流量控制裝置之實施例2的流量輸出的圖表。
圖11係顯示習知之流量控制裝置的部分縱剖正面圖。
以下參照圖1~圖10，說明本發明之實施形態。其中，包括習知技術，透過所有圖式及所有實施形態，在同一或類似的構成部分標註相同符號。
首先，參照圖1，說明本發明之流量控制裝置之第1實施形態。
第1實施形態之流量控制裝置1係具備有：具有：氣體入口2a、氣體出口2b、連通至氣體入口2a的入口側流路2c、連接於入口側流路2c的第1流路2d、及連通至氣體出口2b的第2流路2e的本體區塊3；被固定在本體區塊3，並且介在於入口側流路2c與第1流路2d之間而連接於入口側流路2c及第1流路2d的控制閥4；在控制閥4的下游介在於第2流路2e的節流部OR；檢測控制閥4與節流部OR之間的壓力的第1壓力檢測器5a；根據第1壓力檢測器5a的檢測值，以成為預定流量的方式控制控制閥4的控制器6；及在第1流路2d與第2流路2e之間形成在本體區塊3的內部，且將控制閥4與第1壓力檢測器5a之間的流路剖面積擴張的擴張室7。
擴張室7係具有：由控制閥4延伸的第1流路2d形成開口的上游側開口7a、及第2流路2e形成開口的下游側開口7b。第2流路2e係設在與第1流路2d的延長上為不同的位置。為易於理解「第1流路2d的延長上」，以一點鏈線表示將第1流路2d假想延長時的假想線VL。因此，第2流路2e與第1流路2d係夾著擴張室7，並未位於同一軸線上。因此，下游側開口7b係夾著擴 張室7，而形成在與上游側開口7a不相對向的位置。
如上所述在比在流量控制裝置內發生壓力振動的控制閥4更為下游配置擴張室7，藉此可使在比壓力式流體控制裝置1更為上游側及控制閥4所發生的壓力振動總括減低。
此外，藉由形成為通過上游側開口7a而流入至擴張室7的流體由設在與第1流路2d的延長上為不同的位置的下游側開口7b流出的構成，流入至擴張室7的流體係無法由擴張室7直接脫出，因此即使為大流量，亦在擴張室7內擴散後由擴散室7流出，可確保藉由擴散室7所致之壓力變動抑制效果。
本體區塊3係以不銹鋼等所形成。圖示例的控制閥4係具有：抵接/離開形成在第1流路2d的閥座9的金屬隔膜閥體10；按壓金屬隔膜閥體10的閥桿11；及使閥桿11驅動的驅動部12。驅動部12係可將螺線管、壓電元件、油壓、或空氣壓等作為驅動源。圖1係顯示驅動部12處於驅動狀態，藉由閥桿11被按壓金屬隔膜閥體10，金屬隔膜閥體10抵接於閥座9，將第1流路2d關閉的狀態。若驅動部12形成為非驅動狀態，藉由內置的彈簧等(未圖示)，閥桿11朝圖的上方被上舉，金屬隔膜閥體10藉由自我彈性力而恢復原形而由閥座9離開，第1流路2d即開通。
在蓋體13的內側形成有蓋體凹部13a。藉由蓋體凹部13a，擴張室7的容積更加擴大。蓋體13係被 收容在形成於本體區塊3之本體凹部3b周圍的柱坑部3b1。
在蓋體13係形成有柱坑孔13b。將螺栓14通至該柱坑孔13b，將螺栓14螺緊在形成在本體區塊3的母螺孔，藉此蓋體13被固定在本體區塊3。螺栓14係可形成為附六角孔的螺栓。在蓋體13與本體區塊3之間介在有金屬密封墊圈15。
該類流量控制裝置係被要求小型化，如上所述在蓋體13形成蓋體凹部13a而形成為擴張室7的一部分，藉此可一邊確保更寬的擴張室7，一邊抑制本體區塊3的尺寸增加。此外，蓋體13係為了確保因金屬密封墊圈15所致之高密封性能，必須確保一定厚度而提高剛性，但是可在未形成有蓋體凹部13a的部分，確保所希望的厚度。此外，在蓋體13形成柱坑孔13b而使螺栓14的頭部埋没，藉此可抑制尺寸放大。
圖2係顯示本發明之流量控制裝置之第2實施形態。第2實施形態之流量控制裝置1係具備有用以在節流部OR的下游側檢測第2流路2e內的壓力的第2壓力檢測器5b，主要以此與上述第1實施形態不同。藉由設置第2壓力檢測器5b，在非臨界膨脹條件下亦可控制流量。其中，圖2所示之本體區塊3係將3個區塊要素連結而構成，殼體20被固定在本體區塊3。
接著，參照圖3及圖4，說明本發明之流量控制裝置之第3實施形態。
第3實施形態之流量控制裝置係在擴張室7內，配設有整流板8、保持整流板8的整流板保持體18、間隔環16、及密合墊圈17，此點與上述第1實施形態不同。
整流板8係可利用藉由細孔所致之流動阻力而達成氣體流速分布(偏流)的均一化及混亂衰減的板狀構件，可藉由金屬網、多孔板、蜂巢構造體等形成。
整流板8係藉由不銹鋼製的間隔環16、及樹脂製的密合墊圈17予以夾持。被夾持在間隔環16與密合墊圈17的整流板8係藉由整流板保持體18，透過預定間隙X保持在比下游側開口7b更為上方位置且為上游側開口7a的下方。密合墊圈17係以PCTFE(聚三氟氯乙烯)形成，但是亦可為其他墊圈材料。在圖示例中係設有間隔環16，但是亦可藉由在本體凹部3b的底面形成段差，來取代間隔環16。
整流板保持體18係在管狀體的周壁形成有開口部18a(圖4)。以擴張室7與擴張室7的下游的第2流路2e相連通的方式，配設成開口部18a面對擴張室7的下游側開口7b。開口部18a係可具有與擴張室7下游側的第2流路2e的流路剖面積為相同、或比其為更寬的開口面積。
在整流板保持體18與蓋板13之間介在有環狀墊圈19。整流板保持體18的下端部被嵌入在形成於墊圈19的環狀凹部19a。
此外，整流板8較佳為將厚度設為0.1~0.5mm。若整流板8的厚度超過0.5mm，壓力損失會變大，且壓力振動會超過所需範圍之故。
藉由上述第3實施形態之流量控制裝置，藉由在擴張室7配置整流板8，可一邊防止壓力損失增加，一邊使壓力振動減低。此外，藉由利用立設在蓋體13的整流板保持體18而將整流板8保持在預定位置的構成，可將整流板8由本體區塊3之底部卸下。因此，即使未卸下被連接在氣體出口2b的配管零件或節流部OR等，亦可輕易進行整流板8的更換、阻塞的去除等維護。此外，組入薄型的整流板8時，亦可載置在整流板保持體18上而由下方***至本體凹部3b，容易組裝。
接著參照圖5及圖6，說明本發明之流量控制裝置之第4實施形態。在第4實施形態中，整流板保持體18藉由熔接、一體成形、或其他手段而被固定在蓋體13。整流板保持體18係具有在圓筒周面將開口部18a形成切口的形狀。
此外，整流板8係藉由熔接而被固定在整流板保持體18的上面。圖示例的整流板8係將線徑0.04mm的不銹鋼線材形成為平織而形成為230網格的金屬網，空隙率為約40%。第4實施形態的其他構成係與上述第3實施形態相同。
第4實施形態之流量控制裝置係更換整流板8時，亦同時更換蓋體13及整流板保持體18，但是更換時 的作業性提升，組裝時的作業性亦提升。此外，可使全部作為金屬製零件，不易混入對程序氣體的污染。
在上述第1~第4實施形態中，係顯示將蓋體13設在本體區塊3的底面之例，但是蓋體13亦可構成為設在本體區塊3的側面。
[實施例]
以下列舉實施例及比較例，更加具體說明本發明。但是，本發明並非為藉由各例而被限定者。
實施例1係使用圖1所示之構成之流量控制裝置。實施例2係使用圖3所示之流量控制裝置。使用圖7所示之形狀之孔徑1mm、孔數37個、間距2mm、厚度0.5mm、開口率22.7%的不銹鋼製整流板，作為實施例2的整流板。在實施例1、2中，由控制閥4的閥座9至節流部OR的流路的內容積為約5cc。
比較例係使用圖11所示之壓力式流量製控制裝置。在比較例中，由控制閥4的閥座9至節流部OR的流路的內容積為0.6cc。
實施例、比較例均為節流部OR係使用孔口徑1.52mm、厚度1.0mm的孔口板。
針對實施例1、實施例2、及比較例，在將下游側進行真空抽吸，且打開控制閥4打開的狀態下，將供給壓以計示壓力500kPa、且將設定流量以全標度(100%)流量範圍的50公升/分鐘流通氮氣，監測第1壓力檢測器 5a的檢測壓力，且計測壓力振動5秒鐘。
圖8係監測比較例之對設定輸入(FCS-IN)的流量輸出(FCS-OUT)的圖表。圖9係監測實施例1之對設定流量的設定輸入(FCS-IN)的流量輸出(FCS-OUT)的圖表。圖10係監測實施例2之對設定流量的設定輸入(FCS-IN)的流量輸出(FCS-OUT)的圖表。
流量控制裝置係可根據第1壓力檢測器5a的檢測壓力來運算流量，且輸出所運算出的流量。此外，檢測壓力的壓力振動係在根據檢測壓力所運算出的流量呈現為擺動。由圖8~圖10的圖表發現在各自的流量中，對於因壓力振動而起的流量輸出擺動之因擴張室及整流板所致之減衰效果。
1‧‧‧流量控制裝置
2a‧‧‧氣體入口
2b‧‧‧氣體出口
2c‧‧‧入口側流路
2d‧‧‧第1流路
2e‧‧‧第2流路
3‧‧‧本體區塊
3b‧‧‧本體凹部
3b1‧‧‧柱坑部
4‧‧‧控制閥
5a‧‧‧第1壓力檢測器
6‧‧‧控制器
7‧‧‧擴張室
7a‧‧‧上游側開口
7b‧‧‧下游側開口
9‧‧‧閥座
10‧‧‧金屬隔膜閥體
11‧‧‧閥桿
12‧‧‧驅動部
13‧‧‧蓋體
13a‧‧‧蓋體凹部
13b‧‧‧柱坑孔
14‧‧‧螺栓
15‧‧‧金屬密封墊圈
OR‧‧‧節流部
VL‧‧‧假想線

Claims (17)

  1. 一種流量控制裝置，其係具有：控制閥；設在前述控制閥的下游側的第1流路；第2流路；及設在前述第1流路與前述第2流路之間的擴張室，前述第2流路係設在與前述第1流路的延長上為不同的位置。
  2. 一種流量控制裝置，其係具有：控制閥；設在前述控制閥的下游側的第1流路；第2流路；設在前述第1流路與前述第2流路之間的擴張室；及配設在前述擴張室內的整流板。
  3. 如申請專利範圍第1項或第2項之流量控制裝置，其中，在前述第2流路設有節流部。
  4. 如申請專利範圍第3項之流量控制裝置，其中，在前述控制閥與前述節流部之間設有第1壓力檢測器。
  5. 如申請專利範圍第4項之流量控制裝置，其中，前述 第1壓力檢測器在前述第2流路上，被設在比節流部更為上游。
  6. 如申請專利範圍第5項之流量控制裝置，其中，另外具有：用以在前述節流部下游側檢測前述第2流路內的壓力的第2壓力檢測器。
  7. 如申請專利範圍第1項或第2項之流量控制裝置，其中，另外具有形成有前述第1流路及前述第2流路的本體區塊，前述擴張室係藉由以下所形成：形成在前述本體區塊的本體凹部；及以將前述本體凹部閉鎖的方式被安裝在前述本體區塊的蓋體。
  8. 如申請專利範圍第7項之流量控制裝置，其中，前述蓋體係形成有用以增加前述擴張室的容積的蓋體凹部。
  9. 如申請專利範圍第8項之流量控制裝置，其中，前述本體區塊與前述蓋體透過金屬密封墊圈而相接合。
  10. 如申請專利範圍第9項之流量控制裝置，其中，在前述本體凹部的周圍形成有用以收容前述蓋體的柱坑部。
  11. 如申請專利範圍第10項之流量控制裝置，其中，前 述蓋體係在前述蓋體凹部的周圍形成有供將前述蓋體固定在前述本體區塊的螺栓之用的柱坑孔。
  12. 如申請專利範圍第1項之流量控制裝置，其中，在前述擴張室內配設有整流板。
  13. 如申請專利範圍第2項或第12項之流量控制裝置，其中，在前述擴張室內設有整流板保持體，該整流板保持體係於在前述擴張室形成前述第1流路之開口的上游側開口與在前述擴張室形成前述第2流路之開口的下游側開口之間，由前述上游側開口透過預定間隙來保持前述整流板。
  14. 如申請專利範圍第13項之流量控制裝置，其中，前述整流板保持體係在管狀體的周壁具有開口部，被配設成前述開口部面對前述擴張室的前述下游側開口。
  15. 如申請專利範圍第13項之流量控制裝置，其中，前述擴張室係藉由以下所形成：形成在前述本體區塊的本體凹部；以將形成在前述本體區塊的前述本體凹部閉鎖的方式被安裝在前述本體區塊的蓋體，前述整流板保持體係被固定在前述蓋體。
  16. 如申請專利範圍第13項之流量控制裝置，其中，前 述整流板被熔接在前述整流板保持體予以固定。
  17. 如申請專利範圍第2項或第12項之流量控制裝置，其中，以金屬網形成有前述整流板。
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