JP5301983B2 - ガスケット型オリフィス及びこれを用いた圧力式流量制御装置 - Google Patents
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Description
図20は二つのオリフィスを用いた圧力式流量制御装置の縦断面図を示すものであり、図20に於いて、24はコントロール弁、25は切換弁、26はコントロール弁24及び切換弁25の兼用のボディ、26aはボディ26に形成した上流側の流体通路、26bはボディ26に並列状に形成した下流側の二つの流体通路、27はボディ26の上流側に固定した入口側ブロック、27aは入口側ブロック27に形成した入口側流体通路、28はボディ26の下流側に固定した出口側ブロック、28aは出口側ブロック28に形成した出口側流体通路、29は下流側の一方の流体通路26bに配設した小流量用のガスケット型オリフィス(図19に示すガスケット型オリフィス20と同じもの)、30は下流側の他方の流体通路26bに配設した大流量用のガスケット型オリフィス(図19に示すものと別構造のガスケット型オリフィス)、31はボディ26に配設した圧力センサー、32はボディ26と入口側ブロック27との間に介設したガスケット型フィルターである。
尚、小流量用のガスケット型オリフィス29及び大流量用のガスケット型オリフィス30は、同一構造のものを使用し、オリフィスの孔径だけを変更する場合もある。
又、オリフィスに図19に示す構造のガスケット型オリフィス20を用いた場合、オリフィスプレート23のシール部からの外部リークを完全に防止するために、オリフィスプレート23の圧入工程に於いて細心の注意が必要になると云う問題がある。
又、本発明の請求項1のガスケット型オリフィスは、下流側に位置するオリフィスベースの内側端面の外周縁部分にシール面を形成しているため、仮に上流側に位置するオリフィスベースの外側端面に形成したシール面やオリフィスプレートのシール部で漏洩があったとしても、下流側に位置するオリフィスベースのシール面によって、流体の外部への漏洩を防止することができるので、オリフィスプレートのシール部のリーク量を流量制御に影響しない程度に緩めることも可能である。
更に、本発明の請求項1のガスケット型オリフィスは、両オリフィスベースの外側端面を夫々シール面としているため、ガスケット型オリフィスを緊密に流体通路や管路に締め込み固定することができるうえ、シール個所も三個所になってシール性に極めて優れたものになる。
又、本発明の請求項5のガスケット型オリフィスは、下流側に位置するオリフィスベースの内側端面の外周縁部分にシール面を形成しているため、仮に上流側に位置するオリフィスベースの外側端面に形成したシール面やオリフィスプレートのシール部で漏洩があったとしても、下流側に位置するオリフィスベースのシール面によって、流体の外部への漏洩を防止することができるので、オリフィスプレートのシール部のリーク量を流量制御に影響しない程度に緩めることも可能である。
更に、本発明の請求項5のガスケット型オリフィスは、両オリフィスベースの外側端面を夫々シール面としているため、ガスケット型オリフィスを緊密に流体通路や管路に締め込み固定することができるうえ、シール個所も三個所になってシール性に極めて優れたものになる。
その結果、本発明の請求項9、請求項11、請求項13及び請求項15のガスケット型オリフィスを用いれば、従来のように二つのガスケット型オリフィスを用いた圧力式流量制御装置に比較して省スペース化を図ることができる。
図1乃至図4は本発明の実施の形態に係るガスケット型オリフィス1及びこれを用いた圧力式流量制御装置を示すものである。
又、凸形のオリフィスベース2の内側端面(凹形のオリフィスベース3に対向する端面)には、外周面が段付に形成された筒状の嵌合用突部2bが通路2aと同心状に突出形成されている。この嵌合用突部2bの大径側の外周面及び嵌合用突部2bの端面には、凹形のオリフィスベース3との組み合わせ時にシール機能を発揮する環状突起2d,2d′が夫々形成されている。
更に、凸形のオリフィスベース2は、環状に形成された外側端面がガスケット型オリフィス1のシール面2cとしての機能を果たすようになっている。
又、凹形のオリフィスベース3の内側端面(凸形のオリフィスベース2に対向する端面)には、凸形のオリフィスベース2の嵌合用突部2bが気密状に嵌合される嵌合用凹部3bが通路3aと同心状に形成されている。この嵌合用凹部3bの内周面は、凸形のオリフィスベース2の嵌合用突部2bが気密状に嵌合されるように段付の内周面に形成されている。
更に、凹形のオリフィスベース3の外側端面には、円形の凹所3eが通路3aと同心状に形成されており、凹形のオリフィスベース3の外側端面に形成した凹所3eの底面がガスケット型オリフィス1のシール面3cとしての機能を果たすようになっている。前記凹所3eは、ガスケット型オリフィス1の位置合わせ(軸心合わせ)を容易にすると共に、シール面3cを保護するためのものである。
この実施の形態に於いては、下流側に位置する凹形のオリフィスベース3の外径が上流側に位置する凸形のオリフィスベース2の外径よりも大径に形成されており、凹形のオリフィスベース3の内側端面の外周縁部分がガスケット型オリフィス1のシール面3dとなっている。
尚、オリフィスプレート4の外観形状は、円形であっても良く、或いは他の形状であっても良い。
このとき、嵌合用突部2bの外周面が嵌合用凹部3bの内周面に気密状に密接すると共に、オリフィスプレート4の両面が嵌合用突部2bの端面及び嵌合用凹部3bの底面に密接するため、両オリフィスベース2,3の内側端面間にオリフィスプレート4が気密状に挿着保持されることになる。又、嵌合用突部2bの外周面及び端面に環状突起2d,2d′を形成しているため、シール性がより確保されることになる。
又、ガスケット型オリフィス1は、凹形のオリフィスベース3の内側端面の外周縁部分をシール面3dとしているため、オリフィスプレート4のシール部が凹形のオリフィスベース3の内側端面の外周縁部分に形成したシール面3dの内方に位置することになり、オリフィスプレート4のシール部からの外部リークを完全に防止することができる。その結果、このガスケット型オリフィス1に於いては、オリフィスプレート4のシール部を多少緩い設定にすることもできる。但し、この場合、オリフィスプレート4のシール部のリーク量は、制御流量に影響を与えない程度にする必要がある。
更に、上述した圧力式流量制御装置は、前記ガスケット型オリフィス1を使用しているため、オリフィス1そのものの高精度化を図れると共に、オリフィス1の取り付け時に於ける気密性の確保や変形を確実に防止することができ、高精度な流量制御を行える。
又、このガスケット型オリフィス1は、中間オリフィスベース5に当該中間オリフィスベース5の通路5aに分岐状に連通する分流通路5dを形成し、凸形のオリフィスベース2と中間オリフィスベース5との間に小流量用のオリフィスプレート4′を気密状に挿着すると共に、凹形のオリフィスベース3と中間オリフィスベース5との間に大流量用のオリフィスプレート4″を挿着することにより省スペース化を図れるようにしたものである。
又、凸形のオリフィスベース2の内側端面(中間オリフィスベース5に対向する端面)には、外周面が段付に形成された筒状の嵌合用突部2bが通路2aと同心状に突出形成されている。この嵌合用突部2bの大径側の外周面及び嵌合用突部2bの端面には、中間オリフィスベース5との組み合わせ時にシール機能を発揮する環状突起2d,2d′が夫々形成されている。
更に、凸形のオリフィスベース2は、環状に形成された外側端面がガスケット型オリフィス1のシール面2cとしての機能を果たすようになっている。
又、凹形のオリフィスベース3の内側端面(中間オリフィスベース5に対向する端面)には、中間オリフィスベース5の嵌合用突部5cが気密状に嵌合される嵌合用凹部3bが通路3aと同心状に形成されている。この嵌合用凹部3bの内周面は、中間オリフィスベース5の嵌合用突部5cが気密状に嵌合されるように段付の内周面に形成されている。
更に、凹形のオリフィスベース3の外側端面には、円形の凹所3eが通路3aと同心状に形成されており、凹形のオリフィスベース3の外側端面に形成した凹所3eの底面がガスケット型オリフィス1のシール面3cとしての機能を果たすようになっている。前記凹所3eは、ガスケット型オリフィス1の位置合わせ(軸心合わせ)を容易にすると共に、シール面3cを保護するためのものである。
又、中間オリフィスベース5の一端面(凸形のオリフィスベース2に対向する端面)には、凸形のオリフィスベース2の嵌合用突部2bが気密状に嵌合される嵌合用凹部5bが通路5aと同心状に形成されている。この嵌合用凹部5bの内周面は、凸形のオリフィスベース2の嵌合用突部2bが気密状に嵌合されるように段付の内周面に形成されている。
更に、中間オリフィスベース5の他端面(凹形のオリフィスベース3に対向する端面)には、凹形のオリフィスベース3の嵌合用凹部3bに気密状に嵌合される外周面が段付に形成された筒状の嵌合用突部5cが通路5aと同心状に突出形成されている。この嵌合用突部5cの大径側の外周面及び嵌合用突部5cの端面には、凹形のオリフィスベース3との組み合わせ時にシール機能を発揮する環状突起5e,5e′が夫々形成されている。
加えて、中間オリフィスベース5の周壁部分には、中間オリフィスベース5の通路5aに分岐状に連通する分流通路5dが形成されている。
この実施の形態に於いては、下流側に位置する凹形のオリフィスベース3の外径が上流側に位置する凸形のオリフィスベース2及び中間オリフィスベース5の外径よりも大径に形成されており、凹形のオリフィスベース3の内側端面の外周縁部分がガスケット型オリフィス1のシール面3dとなっている。
尚、両オリフィスプレート4′,4″の外観形状は、円形であっても良く、或いは他の形状であっても良い。
このとき、凸形のオリフィスベース2及び中間オリフィスベース5の嵌合用突部2b,5cの外周面が中間オリフィスベース5及び凹形のオリフィスベース3の嵌合用凹部5b,3bの内周面に夫々気密状に密接すると共に、各オリフィスプレート4′,4″の両面が各嵌合用突部2b,5cの端面及び各嵌合用凹部3b,5bの底面に密接するため、各オリフィスベース2,3,5間に二枚のオリフィスプレート4′,4″が気密状に挿着保持されることになる。又、各嵌合用突部2b,5cの外周面及び端面に環状突起2d,2d′,5e,5e′を夫々形成しているため、シール性がより確保されることになる。
又、オリフィス収納用凹所7cは、小さい方の内径がガスケット型オリフィス1の凸形のオリフィスベース2及び中間オリフィスベース5の外径よりも大きめに形成されており、オリフィス収納用凹所7c内にガスケット型オリフィス1を挿着した際に、オリフィス収納用凹所7cの内周面と凸形のオリフィスベース2及び中間オリフィスベース5との間に環状の隙間が形成されるようになっている。これにより、ボディ7の分流通路7fと中間オリフィスベース5の分流通路5dとは、環状の隙間を通して連通することになる。
又、ガスケット型オリフィス1は、凹形のオリフィスベース3の内側端面の外周縁部分をシール面3dとしているため、オリフィスプレート4′,4″のシール部が凹形のオリフィスベース3の内側端面の外周縁部分に形成したシール面3dの内方に位置することになり、オリフィスプレート4′,4″のシール部からの外部リークを完全に防止することができる。その結果、ガスケット型オリフィス1に於いては、オリフィスプレート4′,4″のシール部を多少緩い設定にすることもできる。但し、この場合、オリフィスプレート4′,4″のシール部のリーク量は、制御流量に影響しない程度にする必要がある。
更に、ガスケット型オリフィス1は、凸形のオリフィスベース2と凹形のオリフィスベース3との間に中間オリフィスベース5を介設し、凸形のオリフィスベース2と中間オリフィスベース5との間及び凹形のオリフィスベース3と中間オリフィスベース5との間に夫々小流量用及び大流量用のオリフィスプレート4′,4″を夫々気密状に挿着し、又、中間オリフィスベース5に分岐状の分流通路5dを形成しているため、一つのガスケット型オリフィス1で二つの異なる流量特性を得ることができる。その結果、二つのガスケット型オリフィス1を用いる場合に比較して省スペース化を図ることができる。
加えて、上述した圧力式流量制御装置は、小流量用のオリフィスプレート4′及び大流量用のオリフィスプレート4″を備えたガスケット型オリフィス1と流体の流れを切り換える切換弁13とを設けているため、小流量用のオリフィスプレート4′による流量制御と大流量用のオリフィスプレート4″による流量制御を適宜に組み合わせた流量制御を行うことができ、一基の圧力式流量制御装置の使用でもって広範囲の流量域に亘って高精度な流量制御を行える。
又、上流側のオリフィスベース2の内側端面及び下流側のオリフィスベース3の内側端面には、図10に示す如く、オリフィスプレート4を両オリフィスベース2,3の内側端面間で挾持する際にシール機能を発揮する環状突起2e,3fが夫々形成されている。
又、このガスケット型オリフィス1は、中間オリフィスベース5に当該中間オリフィスベース5の通路5aに分岐状に連通する分流通路5dを形成したものである。
更に、上流側のオリフィスベース2の内側端面、下流側のオリフィスベース3の内側端面及び中間オリフィスベース5の両端面には、図13に示す如く、各オリフィスベース4′,4″を各オリフィスベース2,3,5間で挾持する際にシール機能を発揮する環状突起2e,3f,5fが夫々形成されている。
又、下流側のオリフィスベース1dの外側端面には、円形の凹所1iが通路1cと同心状に形成されており、オリフィスベース1dの外側端面に形成した凹所1iの底面がガスケット型オリフィス1のシール面1gとしての機能を果たすようになっている。
更に、中間オリフィスベース1kの下流側端面には、下流側のオリフィスベース3の嵌合用凹部3bに気密状に嵌合される外周面が段付に形成された筒状の嵌合用突部1nが通路1jと同心状に突出形成されている。この嵌合用突部1nの大径側の外周面及び嵌合用突部1nの端面には、下流側のオリフィスベース3との組み合わせ時にシール機能を発揮する環状突起(符号は省略)が夫々形成されている。
又、中間オリフィスベース1kの上流側端面には、上流側のオリフィスベース2の嵌合用凸部2bが気密状に嵌合される嵌合用凹部1pが通路1jと同心状に形成されている。この嵌合用凹部1pの内周面は、凸形のオリフィスベース2の嵌合用突部2bが気密状に嵌合されるように段付の内周面に形成されている。
更に、下流側のオリフィスベース1dの外側端面には、円形の凹所1iが通路1cと同心状に形成されており、オリフィスベース1dの外側端面に形成した凹所1iの底面がガスケット型オリフィス1のシール面1gとしての機能を果たすようになっている。
更に、下流側のオリフィスベース1dの外側端面には、円形の凹所1iが通路1cと同心状に形成されており、オリフィスベース1dの外側端面に形成した凹所1iの底面がガスケット型オリフィス1のシール面1gとしての機能を果たすようになっている。
即ち、中間オリフィスベース1kに、当該中間オリフィスベース1kの通路1jに連通して通路1jの長さと同等程度のスリット状の分流通路1mを形成しても良い。分流通路1mの孔径は、大きくても流量制御等に影響を及ぼさないので、特に問題になるようなことはない。
このように、分流通路1mの孔径を大きくすれば、中間オリフィスベース1kの通路1jの切削加工等を行えると共に、内部からもオリフィス部1l,1oの加工等を行うことができる。
即ち、一体的に形成したオリフィスベース1b,1k,1dの上流側のオリフィス配置場所近辺及び下流側のオリフィス配置場所近辺に座グリ穴(特開2000−213667号公報の図6及び図8に示す窪所14に相当)を夫々形成し、各座グリ穴内にオリフィスプレート及びオリフィス押えから成るオリフィス部(特開2000−213667号公報の図6及び図8に示すオリフィス体4に相当)を嵌め込み固定するようにしても良い。
各座グリ穴内に嵌め込み固定するオリフィス部は、座グリ穴に収容されて中心部に中間オリフィスベース1kの通路1jに連通する通孔を形成した環状のオリフィス押え(特開2000−213667号公報の図6及び図8に示すホルダ30に相当)と、中心部にオリフィス押えの通孔と中間オリフィスベース1kの通路1jを連通させるオリフィス孔を形成したオリフィスプレート(特開2000−213667号公報の図6及び図8に示すプレート31に相当)とから成る。又、オリフィスプレートは、オリフィス押えの端面にレーザー溶接等により固定するか、或いは、座グリ穴の底面と座グリ穴内に収容されたオリフィス押えとの間で挾持される。
そして、前記オリフィス部は、一体的に形成したオリフィスベース1b,1k,1dの各座グリ穴に溶接、圧入又はねじ込み等によって嵌め込み固定されている。
このように、一体的に形成したオリフィスベース1b,1k,1dに座グリ穴を形成し、当該座グリ穴内にオリフィスプレート及びオリフィス押えから成るオリフィス部を嵌め込み固定すれば、上流側のオリフィスベース1bと中間オリフィスベース1kと下流側のオリフィスベース1dとを切削加工等によって一つの部材から一体的に形成した場合でも、中間オリフィスベース1kの通路1j等の内部加工が可能な構成となる。
Claims (21)
- 中心部に貫通状の通路(2a)をするオリフィスベース(2)と、中心部に前記オリフィスベース(2)の通路(2a)に連通する貫通状の通路(3a)を有するオリフィスベース(3)と、両オリフィスベース(2),(3)間に気密状に挿着される中心部にオリフィス孔を形成したオリフィスプレート(4)とから成り、流体通路に配設されて両オリフィスベース(2),(3)の外側端面を夫々シール面(2c),(3c)としたガスケット型オリフィス(1)に於いて、前記両オリフィスベース(2),(3)のうち、下流側に位置するオリフィスベース(3)の外径を上流側に位置するオリフィスベース(2)の外径よりも大径に形成し、下流側に位置するオリフィスベース(3)の内側端面の外周縁部分をシール面(3d)としたことを特徴とするガスケット型オリフィス。
- 一方のオリフィスベース(2)を、内側端面に嵌合用突部(2b)を備えた凸形のオリフィスベース(2)とし、又、他方のオリフィスベース(3)を、内側端面に前記凸形のオリフィスベース(2)の嵌合用突部(2b)が気密状に嵌合される嵌合用凹部(3b)を備えた凹形のオリフィスベース(3)としたことを特徴とする請求項1に記載のガスケット型オリフィス。
- オリフィスプレート(4)は、中心部に凸形のオリフィスベース(2)の通路(2a)及び凹形のオリフィスベース(3)の通路(3a)に連通するオリフィス孔を形成し、凸形のオリフィスベース(2)の嵌合用突部(2b)と凹形のオリフィスベース(3)の嵌合用凹部(3b)との間に気密状に挿着されることを特徴とする請求項2に記載のガスケット型オリフィス。
- 中心部に通路(1a)を有する上流側のオリフィスベース(1b)と、上流側のオリフィスベース(1b)に連設されて当該オリフィスベース(1b)よりも大径に形成された中心部に通路(1c)を有する下流側のオリフィスベース(1d)と、両オリフィスベース(1b),(1d)の通路(1a),(1c)間に形成されて中心部に前記両通路(1a),(1c)を連通させるオリフィス孔(1e′)を形成した隔壁状のオリフィス部(1e)とから成り、流体通路に配設されて両オリフィスベース(1b),(1d)の外側端面と下流側のオリフィスベース(1d)の内側端面の外周縁部分とを夫々シール面(1f),(1g),(1h)としたことを特徴とするガスケット型オリフィス。
- 中心部に貫通状の通路(2a)を有するオリフィスベース(2)と、中心部に貫通状の通路(3a)を有するオリフィスベース(3)と、中心部に前記両オリフィスベース(2),(3)の通路(2a),(3a)に連通する貫通状の通路(5a)を有し、一端面が一方のオリフィスベース(2)に対向すると共に、他端面が他方のオリフィスベース(3)に対向する中間オリフィスベース(5)と、一方のオリフィスベース(2)と中間オリフィスベース(5)との間に気密状に挿着される中心部にオリフィス孔を形成したオリフィスプレート(4′)と、中間オリフィスベース(5)と他方のオリフィスベース(3)との間に気密状に挿着される中心部にオリフィス孔を形成したオリフィスプレート(4″)とから成り、流体通路に配設されて両オリフィスベース(2),(3)の外側端面を夫々シール面(2c),(3c)としたガスケット型オリフィス(1)であって、前記両オリフィスベース(2),(3)のうち、下流側に位置するオリフィスベース(3)の外径を上流側に位置するオリフィスベース(2)及び中間オリフィスベース(5)の外径よりも大径に形成し、下流側に位置するオリフィスベース(3)の内側端面の外周縁部分をシール面(3d)とし、又、前記中間オリフィスベース(5)に当該中間オリフィスベース(5)の通路(5a)に分岐状に連通する分流通路(5d)を形成したことを特徴とするガスケット型オリフィス。
- 一方のオリフィスベース(2)を、内側端面に嵌合用突部(2b)を備えた凸形のオリフィスベース(2)とし、又、他方のオリフィスベース(3)を、内側端面に嵌合用凹部(3b)を備えた凹形のオリフィスベース(3)とし、更に、中間オリフィスベース(5)を、一端面に凸形のオリフィスベース(2)の嵌合用突部(2b)が気密状に嵌合される嵌合用凹部(5b)を備えていると共に、他端面に凹形のオリフィスベース(3)の嵌合用凹部(3b)に気密状に嵌合される嵌合用突部(5c)を備えた中間オリフィスベース(5)としたことを特徴とする請求項5に記載のガスケット型オリフィス。
- 一方のオリフィスプレート(4′)は、中心部に凸形のオリフィスベース(2)の通路(2a)及び中間オリフィスベース(5)の通路(5a)に連通するオリフィス孔を形成し、凸形のオリフィスベース(2)の嵌合用突部(2b)と中間オリフィスベース(5)の嵌合用凹部(5b)との間に気密状に挿着されることを特徴とする請求項6に記載のガスケット型オリフィス。
- 他方のオリフィスプレート(4″)は、中心部に中間オリフィスベース(5)の通路(5a)及び凹形のオリフィスベース(3)の通路(3a)に連通するオリフィス孔を形成し、中間オリフィスベース(5)の嵌合用突部(5c)と凹形のオリフィスベース(3)の嵌合用凹部(3b)との間に気密状に挿着されることを特徴とする請求項6に記載のガスケット型オリフィス。
- 両オリフィスプレート(4′),(4″)のうち、上流側に位置するオリフィスプレート(4′)を小流量用のオリフィスプレート(4′)とすると共に、下流側に位置するオリフィスプレート(4″)を大流量用のオリフィスプレート(4″)としたことを特徴とする請求項5に記載のガスケット型オリフィス。
- 中心部に通路(1a)を有する上流側のオリフィスベース(1b)と、上流側のオリフィスベース(1b)に連設されて中心部に通路(1j)を有する中間オリフィスベース(1k)と、中心部に中間オリフィスベース(1k)の通路(1j)に連通する貫通状の通路(3a)を有し、中間オリフィスベース(1k)に対向する下流側のオリフィスベース(3)と、上流側のオリフィスベース(1b)の通路(1a)と中間オリフィスベース(1k)の通路(1j)との間に形成されて中心部に前記両通路(1a),(1j)を連通させるオリフィス孔(1l′)を形成した隔壁状のオリフィス部(1l)と、中間オリフィスベース(1k)と下流側のオリフィスベース(3)との間に気密状に挿着される中心部にオリフィス孔を形成したオリフィスプレート(4″)とから成り、流体通路に配設されて上流側のオリフィスベース(1b)の外側端面及び下流側のオリフィスベース(3)の外側端面を夫々シール面(1f),(3c)としたガスケット型オリフィス(1)であって、前記下流側のオリフィスベース(3)の外径を上流側のオリフィスベース(1b)及び中間オリフィスベース(1k)の外径よりも大径に形成し、下流側のオリフィスベース(3)の内側端面の外周縁部分をシール面(3d)とし、又、前記中間オリフィスベース(1k)に当該中間オリフィスベース(1k)の通路(1j)に分岐状に連通する分流通路(1m)を形成したことを特徴とするガスケット型オリフィス。
- 上流側に位置するオリフィス部(1l)を小流量用のオリフィス部(1l)とすると共に、下流側に位置するオリフィスプレート(4″)を大流量用のオリフィスプレート(4″)としたことを特徴とする請求項10に記載のガスケット型オリフィス。
- 中心部に貫通状の通路(2a)を有する上流側のオリフィスベース(2)と、中心部に通路(1j)を有し、上流側のオリフィスベース(2)に対向する中間オリフィスベース(1k)と、中間オリフィスベース(1k)に連設されて中心部に通路(1c)を有する下流側のオリフィスベース(1d)と、上流側のオリフィスベース(2)と中間オリフィスベース(1k)との間に気密状に挿着される中心部にオリフィス孔を形成したオリフィスプレート(4′)と、中間オリフィスベース(1k)の通路(1j)と下流側のオリフィスベース(1d)の通路(1c)との間に形成されて中心部に前記両通路(1j),(1c)を連通させるオリフィス孔(1o′)を形成した隔壁状のオリフィス部(1o)とから成り、流体通路に配設されて上流側のオリフィスベース(2)の外側端面及び下流側のオリフィスベース(1d)の外側端面を夫々シール面(2c),(1g)としたガスケット型オリフィス(1)であって、前記下流側のオリフィスベース(1d)の外径を上流側のオリフィスベース(2)及び中間オリフィスベース(1k)の外径よりも大径に形成し、下流側のオリフィスベース(1d)の内側端面の外周縁部分をシール面(1h)とし、又、前記中間オリフィスベース(1k)に当該中間オリフィスベース(1k)の通路(1j)に分岐状に連通する分流通路(1m)を形成したことを特徴とするガスケット型オリフィス。
- 上流側に位置するオリフィスプレート(4′)を小流量用のオリフィスプレート(4′)とすると共に、下流側に位置するオリフィス部(1o)を大流量用のオリフィス部(1o)としたことを特徴とする請求項12に記載のガスケット型オリフィス。
- 中心部に通路(1a)を有する上流側のオリフィスベース(1b)と、上流側のオリフィスベース(1b)に連設されて中心部に通路(1j)を有する中間オリフィスベース(1k)と、中間オリフィスベース(1k)に連設されて中心部に通路(1c)を有する下流側のオリフィスベース(1d)と、上流側のオリフィスベース(1b)の通路(1a)と中間オリフィスベース(1k)の通路(1j)との間に形成されて中心部に前記両通路(1a),(1j)を連通させるオリフィス孔(1l′)を形成した隔壁状のオリフィス部(1l)と、中間オリフィスベース(1k)の通路(1j)と下流側のオリフィスベース(1d)の通路(1c)との間に形成されて中心部に前記両通路(1j),(1c)を連通させるオリフィス孔(1o′)を形成した隔壁状のオリフィス部(1o)とから成り、流体通路に配設されて上流側のオリフィスベース(1b)の外側端面及び下流側のオリフィスベース(1d)の外側端面を夫々シール面(1f),(1g)としたガスケット型オリフィス(1)であって、前記下流側のオリフィスベース(1d)の外径を上流側のオリフィスベース(1b)及び中間オリフィスベース(1k)の外径よりも大径に形成し、下流側のオリフィスベース(1d)の内側端面の外周縁部分をシール面(1h)とし、又、前記中間オリフィスベース(1k)に当該中間オリフィスベース(1k)の通路(1j)に分岐状に連通する分流通路(1m)を形成したことを特徴とするガスケット型オリフィス。
- 上流側に位置するオリフィス部(1l)を小流量用のオリフィス部(1l)とすると共に、下流側に位置するオリフィス部(1o)を大流量用のオリフィス部(1o)としたことを特徴とする請求項14に記載のガスケット型オリフィス。
- 下流側のオリフィスベース(3),(1d)の外側端面に形成したシール面(3c),(1g)は、オリフィスベース(3),(1d)の外側端面に設けた凹所(3e),(1i)の底面としたことを特徴とする請求項1、請求項4、請求項5、請求項10、請求項12又は請求項14に記載のガスケット型オリフィス。
- コントロール弁(6)と、コントロール弁(6)の下流側の流体通路(7b)に配設した請求項1乃至請求項4の何れかに記載のガスケット型オリフィス(1)と、ガスケット型オリフィス(1)の上流側に配設されてガスケット型オリフィス(1)の上流側圧力を検出する圧力センサー(11)と、コントロール弁(6)を制御する制御回路(12)とを備え、ガスケット型オリフィス(1)の上流側圧力によりオリフィス通過流量を演算しながらコントロール弁(6)の開閉によりオリフィス通過流量を制御するようにしたことを特徴とする圧力式流量制御装置。
- コントロール弁(6)と、コントロール弁(6)の下流側の流体通路(7b)から分岐して再び流体通路(7b)に合流する分流通路(7f)に配設した切換弁(13)と、流体通路(7b)と分岐通路(7f)の合流個所に配設されて流体通路(7b)及び分流通路(7f)に夫々連通する請求項5乃至請求項15の何れかに記載のガスケット型オリフィス(1)と、ガスケット型オリフィス(1)の上流側に配設されてガスケット型オリフィス(1)の上流側圧力を検出する圧力センサー(11)と、コントロール弁(6)を制御する制御回路(12)とを備え、ガスケット型オリフィス(1)の上流側圧力によりオリフィス通過流量を演算しながらコントロール弁(6)の開閉によりオリフィス通過流量を制御すると共に、切換弁(13)の作動により流体の流路を切り換えられる構成としたことを特徴とする圧力式流量制御装置。
- ガスケット型オリフィス(1)の両オリフィスプレート(4′),(4″)又はオリフィス部(1l),(1o)とオリフィスプレート(4″),(4′)若しくは両オリフィス部(1l),(1o)のうち、上流側に位置するオリフィスプレート(4′)又はオリフィス部(1l)を小流量用のオリフィスプレート(4′)又はオリフィス部(1l)とすると共に、下流側に位置するオリフィスプレート(4″)又はオリフィス部(1l)を大流量用のオリフィスプレート(4″)又はオリフィス部(1o)とし、切換弁(13)の作動により、流体流量の制御範囲を小流量域と大流量域に切り換えられる構成としたことを特徴とする請求項18に記載の圧力式流量制御装置。
- 流通する流体を同一通路に2種類供給し、一方の流体を流す際は、切換弁(13)を閉鎖してコントロール弁(6)で制御し、他方の流体を流す際は、切換弁(13)を開放して制御するようにしたことを特徴とする請求項18に記載の圧力式流量制御装置。
- コントロール弁(6)の下流側の流体通路(7b)から分岐する分流通路(7f)に代えて、別の流体供給ラインからの流路を前記流体通路(7b)に接続し、その接続個所に流体通路(7b)及び別の流路に夫々連通する請求項5乃至請求項15の何れかに記載のガスケット型オリフィス(1)を配設すると共に、別の流路に切換弁(13)を配設し、流通する流体を別の流路から切換弁(13)により流通させるようにしたことを特徴とする請求項18に記載の圧力式流量制御装置。
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