JP4737713B2 - ストッカー - Google Patents

Description

本発明は、例えば、半導体製造過程において、懸垂式昇降搬送台車（以下、ＯＨＴ台車という）によって搬送され、内部に挿脱自在に半導体製造用基板（以下、ウエハという）を収納する容器（以下、ＦＯＵＰという）用ストッカーに係り、特に、当該ストッカー内に備えられているＦＯＵＰの収納・取出しを行うロボットが停電その他の原因にて正常に動作できない異常事態発生に際して、ロボットの作用に頼らずマニュアル操作で所望のＦＯＵＰを取出す処理装置に関するものである。

近年、クリーンルーム内の工程内環状軌道に沿って配置されるウエハの各種表面処理（洗浄、成膜、レジスト、ＣＶＤ、検査ほか）を行う一連の半導体製造装置（以下、ステーションという）の中で必要な処理を行うために前記ウエハを収納したＦＯＵＰを、ＯＨＴ台車を用いて搬送することが多い。
このような表面処理を受ける前あるいは少なくとも一部の表面処理を終えたウエハを収納したＦＯＵＰは夫々タグに付された情報により特定され、以降の必要な表面処理がこのタグ情報に基づきコンピュータによって管理される。

この際、各ステーションは表面処理の種類の相違に応じて処理に要する時間が相違し、工程時間調整などの理由により、ＦＯＵＰを一時待機させるためＦＯＵＰ用搬入ポート及び搬出ポートを備えたストッカーが設けられている。
このストッカーは、多数の棚と、ＦＯＵＰ用搬入ポート及び搬出ポートと、各棚に搬入ポートより導入されたＦＯＵＰを載置或いは各棚からＦＯＵＰを搬出ポートに移送するロボット（スタッカークレーン、移載装置ほかから構成される）と、を備えている。

さて、殆どの場合、前記ロボットによるＦＯＵＰの移送は、前記コンピュータの指示に応じて適正になされ、何等不都合を生じない。
ところが、停電、タグの不良等の原因にてロボットの動作が適正に行なわれない事情が生じると、ストッカー内からその搬出口に所定の処理を行う予定のＦＯＵＰの移送ができない。
このように、ストッカー内部から所定のＦＯＵＰが搬出ポートに移送できない状況においては、ストッカー内から人手によって所定のＦＯＵＰをストッカー内部からＯＨＴ台車による搬送可能な個所まで移動させなければならない。

ところで、人手によるＦＯＵＰの移動は、ＦＯＵＰに多数枚収納され、各種表面処理を受けるウエハのサイズが小さい場合は比較的容易に実行できるものの、近年、ウエハのサイズは大型化傾向にある。
ついては、ＦＯＵＰをストッカー内からストッカー外に人手により移動させることがかなりの時間を要し、更なるウエハの大きさの大型化を来すと、人手により、ストッカー内部からＦＯＵＰを搬出することが困難となる。

このようにストッカー内のＦＯＵＰほかの物品が、電動手段により正常に搬送できないような状況となった場合に対処する手段の具体例として、下記特許文献１がある。
この特許文献１に開示の技術は、具体的に、図１〜図４に示されるような構成を有している。即ち、図１に示す自動倉庫（ＦＯＵＰほかの物品のストッカー等）１において、多数の物品収納棚２５を有し、対向する複数対の収納部２０と、当該各対の収納部２０の間に図１の前後方向に移動できるように上下端部において支持され、昇降台３４を上下方向に案内する機構を有するスタッカークレーン３の機構が開示されている。

このスタッカークレーン３は、図２及び図４に示されるように梯子４７を備えている。そして、この梯子４７は、スタッカークレーン３が自動倉庫内を走行するに際して進行
方向に振動することを防止すべくスタッカークレーン３の剛性を増す作用のほか、停電ほかの原因にてスタッカークレーン３の稼動が停止した際に、人手による物品の取り出しに利用される。
即ち、スタッカークレーン３が、例えば、停電ほか何らかの原因にて稼動停止状態に至った場合であって、所定の棚に載置されている物品（ＦＯＵＰほか）をスタッカークレーン３の修復を待つことなく、緊急に人手により取り出すための手段に係る構成が図３及び図４に開示されている。

先ず、図３に開示の構成において、走行レール３８（図１を参照）に沿って移動するスタッカークレーン３は停電に際しては、ブレーキ５４が作動しているため、このままでは移動できない。
従って、ブレーキ解除レバー５４ａでブレーキ５４のブレーキ作用を解除し、ハンドル５４ｂの人手による回転にてスタッカークレーン３はレール上を水平方向に所望の収納棚の位置まで移動できる。

次に、スタッカークレーン３の非常時における物品３０の降下手段については、図４及び図５に示され、非常取出し対象物品３０が載置されている棚２５の高さまで、昇降台３４を移動させる。この動作は図５のブレーキ６３の解除レバーを開放したうえ、ハンドル６４を手動により回転させることにより行われる。
更に、作業者が梯子にて所定の高さまで昇り非常搬出すべき物品を棚２５より昇降台３４上に載せ、前記手動ハンドル６４を回転させることにより昇降台３４を降下させ、昇降台上の物品を、所望の場所に移動させる。

特開２００３−２２６４０６

一般に、半導体製造用基板としてのウエハに洗浄、ＣＶＤほか多くの各種表面処理を施すためにウエハは多数枚（例えば、２４枚）挿脱自在に収納する多くのＦＯＵＰを用い、これらのＦＯＵＰは、ＯＨＴ台車等の搬送手段によって工程内環状軌道乃至工程間環状軌道に沿って搬送される。
そして、このＦＯＵＰの搬送経路（特に、工程内環状軌道）に配置される各種表面処理用ステーションにおいて所望の表面処理を受ける。

このような各種表面処理を行うステーションのほかに何ら表面処理を受けていないウエハを収納したＦＯＵＰ、或いは必要とする表面処理を一部又は全部完了したＦＯＵＰを保管するストッカーが所定の場所に配置されている。
このストッカーの大きさは、前記特許文献１に示されるような、比較的小規模のものから多段のＦＯＵＰ用収納棚を備え、所定段数毎にストッカー内部の保守、点検用扉を備える程度の大規模のものまで多様化している。
とりわけ、近年のウエハの大型化、所要枚数の増加に伴い、ＦＯＵＰ用ストッカーは大型化の傾向にある。

このように、ＦＯＵＰ用ストッカーの大型化が一定限度を超えると、ストッカー内の棚に対してＦＯＵＰを授受するロボットが停電ほかの原因にて正常稼動が阻害された場合、手動にて所定のＦＯＵＰを取出すための手段として前記特許文献１に開示されている技術は採用できない。
即ち、高さ方向にＦＯＵＰ収納用棚の所定段数毎に保守、点検用扉が設けられる程度の規模のストッカーにおいては、ロボットの異常時には、所定のＦＯＵＰは前記保守、点検用扉より持ち出すことになり、もはやスタッカークレーンを用いて非常持出しを行うことができない。

そこで、本発明の目的は、所定の搬送路に沿って搬送され、ウエハを挿脱自在に収納した容器（ＦＯＵＰ）のストッカーであって、搬入ポートよりＦＯＵＰ載置用の多数の棚へのＦＯＵＰの移載、或いは棚に載置されたＦＯＵＰの搬出ポートへの移送用ロボットを内装する構成において、多段棚を有し、所定段数毎に保守・点検用扉を備えるような大型のストッカーであって、前記移送用ロボットが正常に動作できない状況に至っても、ストッカー内にある所望のＦＯＵＰの緊急取出しを容易に行うことである。

課題を解決するための手段及び効果

上記課題を解決するため、請求項１に記載のストッカーは、所定の搬送路に沿って走行する搬送台車によって搬送される物品を収納する多数の棚と、物品搬入ポートと、物品搬出ポートと、前記棚、物品搬入ポート及び物品搬出ポート相互間において物品の授受、搬送を担うロボットと、からなり、複数段構成をなすストッカーにおいて、前記複数段構成における所定段数毎に夫々設けられ作業者が出入可能な保守点検用扉と、少なくとも下方より２番目以上の扉の外側に位置するベランダ状足場と、各足場に連係可能の位置に垂直方向に立設される梯子と、該梯子に沿って前記物品を手動にて昇降させる手段と、を備え、前記物品を手動にて昇降させる手段が、前記梯子と平行に配置される手摺りと、当該手摺りに沿って垂直方向に案内される台車と、当該台車によって支持され、物品を載置する昇降板と、この昇降板に一端部を固定し、当該昇降板を上下動させるワイヤーと、当該ワイヤーの他端部の巻取り、繰出し及び当該巻取り、繰出しを阻止するロック作用を担うハンドルと、から構成され、前記ベランダ状足場と前記ストッカーの基礎レベルとの間で前記物品の搬送を行い得ることを特徴とする。

この請求項１に係る発明によれば、多数の物品保管用棚と、所定の棚への所定の物品の載置又は所定の棚からの所定の物品の取出しを担うロボットを有するストッカーにおいて、前記ロボットが、停電或いは物品に付されたタグの読取り不良などの諸般の事情により正常な動作が行えず、かつ、ロボットの修復に時間を要する事態が発生した場合に緊急処置を行うことができる。
より具体的に述べると、例えば、前記ストッカー内で荷役中のロボットが稼動不能となり、かつストッカー内の所定の棚に載置されている物品を緊急に取出す必要が発生すると、所定の棚が属する扉から人がストッカー内に入り、所定の物品を取出し、物品を所持して梯子から降り、近接する所定の場所（ＯＨＴ台車のステーション等）に搬送する。
また、前記梯子に沿って前記物品を手動にて昇降させる手段を備えるようにしている。そのため、特に人が物品を保持して梯子を昇降するに際して生じる物品の重量の制限を緩和できる。
更に、物品を手動にて昇降させる手段が、前記梯子と平行に配置される手摺りと、当該手摺りに沿って垂直方向に案内される台車と、当該台車によって支持され、物品を載置する昇降板と、この昇降板に一端部を固定し、当該昇降板を上下動させるワイヤーと、当該ワイヤーの他端部の巻取り、繰出し及び当該巻取り、繰出しを阻止するロック作用を担うハンドルから構成されるようにしている。そのため、ストッカー内の荷役用ロボットが稼動不能に至った際、重量、大きさにおいて、人為的に昇降不能の物品であってもストッカーの外壁に設けた梯子の手摺りに沿ってマニュアル操作で安全、確実に昇降させることができる。

請求項２に記載のストッカーは、請求項１に記載のストッカーにおいて、前記物品が、表面処理を受けるウエハを挿脱自在に収納する容器（ＦＯＵＰ）であることを特徴とする。
この請求項２に係る発明によれば、引用先の請求項１に係る発明の効果は元より、ストッカー内の多くの棚に載置され、以降の保有ウエハの表面処理が時間管理の基に実施される場合であってもストッカー内のロボットによって搬送される必要のあるＦＯＵＰを、ロボットの稼動不能時に手動にて取出し、必要時機を失することなく前記ウエハに対して必要な表面処理をロボットの修復を待つことなく的確に行うことができる。

請求項３に記載のストッカーは、請求項１又は請求項２に記載のストッカーにおいて、昇降板の稼動に際してのみ、梯子と手摺り相互間に、当該昇降板の昇降に必要な間隔を前記梯子と手摺りとの間に設け、昇降板非稼動時には、手摺りを梯子に接近させる折り畳み機能を有する連結部材を備え、前記昇降板稼動時において前記手摺りの下端部が、ストッパを介してストッカー用基礎面に当接するようにしたことを特徴とする。
この請求項３に係る発明によれば、引用先の請求項１又は請求項２に係る発明の効果は元より、ストッカー内において稼動するロボットが正常に動作できない異常時期のみの非常用に使用される垂直方向に設置される梯子及びその手摺りの間隔を、前記ロボットが正常に稼動する状態においてなくすようにできるため、ストッカーの周囲領域を有効に利用することができる。

請求項６に記載のストッカーは、請求項２又は３に記載のストッカーにおいて、物品を手動にて昇降させる手段が、前記梯子と並行に配置され、柱状をなすリニアガイド部材と、当該リニアガイド部材に支持され、物品を載置する昇降板と、この昇降板に一端部を固定し、当該昇降板を上下動させるワイヤーと、当該ワイヤーの他端部の巻取り、繰出し及び当該巻取り、繰出しを阻止するロック作用を担うハンドルから構成することを特徴とする。
この請求項６に係る発明によれば、引用先の請求項２又は３に係る発明の効果は元より、
ストッカー内の荷役用ロボットが稼動不能に至った際、重量、大きさにおいて、人為的に昇降不能の物品であってもストッカーの外壁に設けた梯子に並行に備えたリニアガイドに沿ってマニュアル操作で昇降させることができる。

以下、本発明の好適な実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
先ず、図面の概要を述べると、図１、図２は夫々本発明が適用されるストッカーの平面図及び正面図、図３はストッカーに設けた物品（ＦＯＵＰ）の昇降機構を示す正面図、図４は、図３の部分側面図、図５は図３の部分平面図、図６は昇降機構の折り畳み状態の要部を示す側面図、図７は昇降機構の手動操作機構の構成を示す構成図、図８は他の実施例を示す物品（ＦＯＵＰ）の昇降機構を示す斜視図である。

さて、本願各発明が適用されるストッカーの周辺構成を図１及び図２に基づいて具体的に説明する。図１及び図２において、１はストッカーで、多数の棚２と当該棚２への物品（各種表面処理を受けるウエハを収納したＦＯＵＰ）３の載置或いは棚２から上記物品３の取出しを行うロボット４を内部に保有している。
次に、前記ストッカー１における本願各発明に係る構成を含む外部構成について説明する。５は物品３の搬入ポート、６は物品３の搬出ポートで、夫々ＯＨＴ台車７の走行経路８に沿ってストッカー１の側面部に突出して設けられている。

９は梯子で、一対の直立する支柱９ａ、９ｂと当該支柱９ａ、９ｂの対向する面相互間に適宜に定められた間隔において配置される水平部材９ｃからなっており、前記支柱９ａ、９ｂはアングル部材１０を介してストッカー１の所定の外壁に支持固定されている。
１１は梯子９の手摺りで、前記ロボット４の稼動不能時にストッカー１内の所定の棚２に載置されている物品３の非常取出しのための物品３用昇降板（詳細は後述）１２を上下方向の案内を兼ねている。１２ａは突起で、ＦＯＵＰの底部に形成した図示しない凹部に係合し、ＦＯＵＰ３の昇降板１２上の載置位置を規制する。１３は前記昇降板１２を手動にて操作するワイヤー巻取り、繰り出し用操作機構でその詳細は後述する。

１４は保守・点検用扉で、ストッカー１内における棚２の所定の段数毎に設けられ、ロボットの故障などで、棚２への物品３への載置あるいは棚２から物品３の取出しが自動的に行われなくなった際に、人の出入りのために上下方向に棚の段数に応じた必要数設けられる。
１５は、ベランダ状足場で、各保守・点検用扉１４に対応して設けられ、当該扉１４からストッカー１に対して出入りする人が安定して作業を行えるような構成をなし、前記梯子９を通じて人の出入りが自由にできるように構成されている。
なお、このベランダ状足場１５は、最下段については、ストッカー１の設置レベルと、扉１４の最下部のレベルとの差がさほどない場合は、設けるには及ばない。

次ぎに、物品（ＦＯＵＰ）３の昇降機構について図３〜図５及び図７を参照して説明する。各図において、梯子９の支柱９ａ、９ｂと、手摺り１１とは、両端において双方に回動自在に支持され、適宜の間隔で配置される連結部材１６にて連結され、この連結部材１６の傾斜の変化によって梯子９の支柱９ａ、９ｂと、手摺り１１との間隔を調整することができる。
１７は台車で、その基板１７ａが昇降板１２の両側に固定される。当該台車の基板１７ａには２対の案内輪１７ｂが回動自在に固定され、手摺り１１を各対の案内輪１７ｂが挟むように配置さる。これによって、昇降板１２は、手摺り１１に沿って上下移動自在となる。
なお、案内輪１７ｂは手摺り１１の図３の前後方向に噛み合っているため、支柱９ａと手摺り１１の側面同士において回動自在に固定される連結部材１６に接する恐れはなく、連結部材１６は案内輪１７ｂが手摺り１１に沿って移動する妨げにはならない。

１８はワイヤーで、その操作機構１３から巻取り・繰り出し操作を受け、その外方端は適宜の手段にてストッカーの適所に支持される滑車１９を介して昇降板１２に固定される。
２０はストッパーで、手摺り１１の下端部に設けられ、昇降板１２に図示しない物品（ＦＯＵＰ）が載置され、当該昇降板が上下動を行う稼動状況にある際、手摺り１１の下端部に加わる重量を支える。
なお、昇降板１２の上下への移動に際して振動が生じ、昇降板１２の安定した上下動が得られないような状況においては、別途ストッパー２０の振動を抑制する固定部材を周知の適宜の手段にて付加してもよい。

一方、ストッカー１内のロボット４が稼動できる正常時（通常この状況が殆ど）においては、図６に示す通り、昇降板１２を最上部まで移動させて、手摺り１１を上方に移動させる。これによって、連結部材１６は上向に回動し、梯子９の支柱９ａ、９ｂに対応する各手摺り１１は当該支柱９ａ、９ｂに近接する。

次に、ワイヤー巻取り、繰出し用操作機構１３について、その具体的機構例を説明する。図７において、１３ａはリールで、前記ワイヤー１８の巻取り・繰出しを行う。１３ｂは歯車で、前記リール１３ａと一体的に回転するように当該リール１３ａに連結される。
１３ｃはウォーム歯車で前記歯車１３ｂと噛合い、ハンドル１３ｄの回転に伴って回転する。
この際、歯車１３ｂ及びウォーム歯車１３ｃは、各歯数の相違に応じた減速比での減速作用を行う。
これによって、はハンドル１３ｄによる回転速度は、前記歯車１３ｂと、ウォーム歯車１３ｃとの各歯数に応じて決まる減速比にて減速され、リール１３ａはハンドル１３ｄに加えられる力に比べて前記減速比に応じて大きな回転力を得る。

１３ｅはブレーキで、ウォーム歯車１３ｃに適度な制動力を与え、ハンドル１３ｄが逆回転するのを阻止する。これによりワイヤー１８の巻取り・繰出し作業でハンドル操作を誤った場合であってもハンドル１３ｄが自然の状態で逆回転しないように定められる。
なお、このブレーキ１３ｅは、ハンドル１３ｄを操作しない状態では当該ハンドル１３ｄをロックする適宜の周知手段に変更することもできる。

前記図１〜図７の構成において、その作用について説明する。
先ず、ストッカー１内で稼動するロボット４が正常にＦＯＵＰ３を識別して、ＦＯＵＰ搬入ポート５に載置されたＦＯＵＰ３を所定の棚２への移載或いは所定の棚２から所定のＦＯＵＰ３をＦＯＵＰ搬出ポート６への移載が適正に行われる状況下においては、定期的に行われるストッカー１の保守・点検を除き、人は扉１４を通じて出入りする余地がない。
このような、ストッカー１が正常に稼動している場合においては、昇降板１２は稼動の余地なく、図６に示されるように台車１７は手摺り１１の最上部にまで上昇させる。このための手段は、図７に示すワイヤー巻取り、繰出し用操作機構１３のハンドル１３ｄを手動にて作動させ、このハンドル１３ｂに直結されるウォーム歯車１３ｃと歯車１３ｂとの噛合いに伴う減速機構によりトルクを増幅し、リール１３ａにワイヤー１８を巻取ることよって達成される。

この際、昇降板１２は台車１７の手摺り１１に沿って当該手摺り１１の最上部にまで上昇した後、図６に示すように手摺り１１を図示しない適宜の手段により上昇させ、連結部材１６を傾斜させることに伴って手摺り１１と梯子９の支柱９ａ、９ｂ（図６においては支柱９ｂのみが表れている）の間の間隔がないように適宜の手段による固定されている。
これによって、ストッカー１の正常稼動時には、手摺り１１の位置を梯子９の支柱９ａ、９ｂに近接させ、ストッカー１の周囲の作業面積を広く確保することができる。

さて、ストッカー１内において、ＦＯＵＰ搬入ポート５に載置されたＦＯＵＰ３を所定の棚２への移載或いは所定の棚２から所定のＦＯＵＰ３をＦＯＵＰ搬出ポート６への移載などの荷役作業を担うロボット４が正常に稼動できなくなり、所定のＦＯＵＰ３をＦＯＵＰ搬出ポート６に自動的に移送できなくなると、基本的には、ロボットの稼動再開を待つことになる。
しかし、ＦＯＵＰ３内に収納されているウエハは順次、必要な表面処理を受けるために
順次所定の表面処理を受けるステーションに移行させるに要する時間が長引くことになると、時間管理の必要な工程では、製品の歩留まりを著しく低下させる。またストッカー１内に収納されているＦＯＵＰ３の表面処理作業効率も低下し、ひいては、ストッカー１を含む工程内環状軌道８において、ＯＨＴ台車７によって搬送されるＦＯＵＰ３を含めて全体の表面処理の効率低下を来す。

このような弊害を改善するために、前記ロボット４が非稼動状況になった場合において、ストッカー１内の緊急取出し対象ＦＯＵＰ３は、作業者によって外部のステーションに移送される。
この間の工程は、次の通りである。
第一工程：
梯子９の支柱９ａ、９ｂと、手摺り１１の相対位置を図６に示す接近状態から連結部材１６の傾斜を図４に示すように水平状態とし、台車１７及び当該台車１７に固定される支持板１２が手摺り１１に沿って上下方向に移動可能とする。

第二工程：
台車１７及び当該台車１７に固定される昇降板１２の高さを、緊急取出しを要するＦＯＵＰ３の位置するベランダ状足場１５からＦＯＵＰ３を昇降板１２に載置するのに適する高さにワイヤーを巻取り、繰出し用操作機構１３のハンドル１３ｄを手動にて作動させる。
第三工程：
作業者が、緊急取出しを要するＦＯＵＰ３が属する扉１４からストッカー内に入り、該当するＦＯＵＰ３を対応するベランダ状足場１５に運び出す。

第四工程：
ベランダ状足場１５において、待機している昇降板１２に、緊急取出しを要するＦＯＵＰ３を安定状態（ＦＯＵＰ底部に形成した凹部に昇降板の上部平面に位置して配置される突起１２ａに係合する状態）にて載置する。
第五工程：
ワイヤー巻取り、繰出し用操作機構１３のハンドル１３ｄを手動にて作動させ、ＦＯＵＰ３をストッカー１の基礎となる地上レベルまで降下させる。
第６工程：
緊急取出しを要するＦＯＵＰ３を所望の表面処理を行うステーションあるいは工程内環状軌道にあるストッカー１に近接するステーションまで作業者が搬送する。

なお、前記第１〜６の工程は、ストッカー１から緊急取出しを必要とするＦＯＵＰ３を外部に搬出する例を開示しているが、逆の工程において緊急にストッカー１内の棚２にロボット４の動作を伴うことなく、所定のＦＯＵＰ３を手動により所定の棚２に収納することもできる。
ところで、前記構成における梯子に沿って設けられる物品（ＦＯＵＰ他）３を手動にて昇降させる手段は、人が物品を所持した状態にて梯子９を昇降できる程度の物品（ＦＯＵＰ他）３の規模（大きさ、重量等）であれば設けるには及ばない。
この場合、前記工程4、５はなく、工程３から工程６に移行する。

図８は、前述した図３とほぼ均等な作用を行う構成例を示しており、この図８において、
図３と均等な構成要素については同一符号を付し、その説明を省略する。図８において、３０はリニアガイド部材で、柱状をなし、梯子９の一方の支柱９ａに隣接して立設されている。そして、昇降板１２の図示しない係合子が前記リニアガイド部材３０に形成した凹条３０ａ案内され、昇降板１２を、水平状態を保ったまま上下に案内できる構成をなしている。

２８はワイヤーで、前記昇降板１２のリニアガイド部材３０に形成したに凹条３０ａに案内されて、その先端部は昇降板１２の係合子に固定される。２９は第１の滑車で、前記ワイヤー２８の方向転換作用をなすために設けられ、適宜の手段によってリニアガイド部材３０及びこれと隣接する梯子９の支柱９ａの上部に位置して設けられる。
１３ｘは第２の滑車で、ワイヤー巻取り、繰出し用操作機構１３から外部に繰出し又は巻き取られるワイヤー２８がリニアガイド部材３０の凹条３０ａの長手方向に並行になるように規制している。

本発明が適用されるストッカーの平面図である。 本発明が適用されるストッカーの正面図である。 ストッカーに設けた物品（ＦＯＵＰ）の昇降機構を示す正面図である。 図３の部分側面図である。 図３の部分平面図である。 昇降機構の折り畳み状態の要部を示す側面図である。 昇降機構の手動操作機構の構成を示す構成図である。 他の実施例を示す物品（ＦＯＵＰ）の昇降機構を示す斜視図である。

符号の説明

１・・・・・・・・・・ストッカー
２・・・・・・・・・・棚
３・・・・・・・・・・ＦＯＵＰ
４・・・・・・・・・・ロボット
５・・・・・・・・・・ＦＯＵＰ搬入ポート
６・・・・・・・・・・ＦＯＵＰ搬出ポート
７・・・・・・・・・・ＯＨＴ台車
８・・・・・・・・・・ＯＨＴ台車走行経路
９・・・・・・・・・・梯子
９ａ、９ｂ・・・・・・梯子用支柱
９ｃ・・・・・・・・・梯子用水平部材
１１・・・・・・・・・手摺り
１２・・・・・・・・・載置台
１３・・・・・・・・・ワイヤー巻取り、繰出し用操作機構
１４・・・・・・・・・扉
１５・・・・・・・・・ベランダ状足場
１６・・・・・・・・・連結部材
１８、２８・・・・・・ワイヤー
３０・・・・・・・・・リニアガイド部材
１７・・・・・・・・・台車

Claims (3)

1. 所定の搬送路に沿って走行する搬送台車によって搬送される物品を収納する多数の棚と、物品搬入ポートと、物品搬出ポートと、前記棚、物品搬入ポート及び物品搬出ポート相互間において物品の授受、搬送を担うロボットと、からなり、複数段構成をなすストッカーにおいて、
   前記複数段構成における所定段数毎に夫々設けられ作業者が出入可能な保守点検用扉と、少なくとも下方より２番目以上の扉の外側に位置するベランダ状足場と、各足場に連係可能の位置に垂直方向に立設される梯子と、該梯子に沿って前記物品を手動にて昇降させる手段と、を備え、
   前記物品を手動にて昇降させる手段が、前記梯子と平行に配置される手摺りと、当該手摺りに沿って垂直方向に案内される台車と、当該台車によって支持され、物品を載置する昇降板と、この昇降板に一端部を固定し、当該昇降板を上下動させるワイヤーと、当該ワイヤーの他端部の巻取り、繰出し及び当該巻取り、繰出しを阻止するロック作用を担うハンドルと、から構成され、前記ベランダ状足場と前記ストッカーの基礎レベルとの間で前記物品の搬送を行い得ることを特徴とするストッカー。
2. 前記物品が、表面処理を受けるウエハを挿脱自在に収納する容器であることを特徴とする請求項１に記載のストッカー。
3. 昇降板の稼動に際してのみ、梯子と手摺り相互間に、当該昇降板の昇降に必要な間隔を前記梯子と手摺りとの間に設け、昇降板非稼動時には、手摺りを梯子に接近させる折り畳み機能を有する連結部材を備え、前記昇降板稼動時において前記手摺りの下端部が、ストッパを介してストッカー用基礎面に当接するようにしたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のストッカー。

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