TW201523760A - 工件處理裝置、工件輸送系統 - Google Patents

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Akira Miyamoto
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Abstract

本發明課題在於習知技術尚未能適當地進行工件缺陷的檢測。 本發明解決手段係本發明的工件處理裝置具備：第一旋轉距離資訊儲存部101，供儲存複數個第一旋轉距離資訊，該等第一旋轉距離資訊為具有使圓形工件旋轉時的旋轉角度與第一距離資訊形成對應的資訊，而該第一距離資訊為關於從對應旋轉角度的工件旋轉中心至邊緣的距離的資訊；取得部103，使用儲存於第一旋轉距離資訊儲存部101的複數個第一旋轉距離資訊，取得用以使工件對準位置的資訊、用以特定工件朝向的資訊、及關於工件邊緣缺陷部分的資訊；及輸出部104，用來輸出取得部103所取得的工件對準位置用的資訊、用以特定工件朝向的資訊、及關於缺陷部分的資訊。藉此工件處理裝置，可適當進行工件缺陷的檢測。

Description

工件處理裝置、工件輸送系統
本發明係關於執行工件之定位的工件處理裝置等。
習知技術中，係使晶圓旋轉，並使其邊緣位置對應旋轉角度加以檢測記憶，依據檢測訊號的最大值、最小值來計算晶圓位置的偏心量及方向，以依照該偏心數據進行晶圓的中心對正。在設於晶圓的平坦部等的開始點及結束點上，由於邊緣位置的變化較其他部分急劇，故藉由將邊緣位置數據的變化率達一定程度以上的部分加以計算，並在相同裝置上進行使該平坦部等對輸送裝置等其他作業台而言係位於特定位置的作法已為公知技術(例如，參照專利文獻1)。
【先前技術文獻】 〔專利文獻〕
(專利文獻1)日本專利第2729297號公報(第1頁第1圖等)
透過利用工件輸送裝置，將使用例如上述習知裝置實施定位的工件輸送到進行CVD(化學汽相沉積，Chemical Vapor Deposition)或CMP(化學機械拋光，Chemical Mechanical Polishing)等的裝置，可對工件適當地進行所需的處理。
對邊緣存在有毛邊或崩缺(chipping)等的晶圓等工件進行CVD、研磨等處理時，由於加諸於工件的熱或壓力等，工件會有破損之虞。因此，對工件進行處理之前，較佳為進行檢査，以檢測有無毛邊或崩缺等缺陷部分。 為了此一目的，乃期望首先能在使用上述的習知技術進行工件定位之前，進行工件缺陷部分的檢査。
然而，進行工件缺陷部分的檢査時，係先用工件輸送裝置將工件輸送到缺陷部分檢査用裝置以進行缺陷部分的檢査，檢査後，還須用工件輸送裝置將工件輸送到執行工件定位的裝置進行定位，故有工件檢査及工件輸送到檢査裝置要耗費時間的問題。
此外，除了進行定位的裝置外，也需要設置執行檢査的裝置，故在使成本升高的同時，也必須在工件輸送路徑上確保執行檢査裝置的設置場所，而有要達到節省空間是極為困難的問題。
結果，習知技術中，乃有無法適當地進行工件缺陷檢測的課題。
本發明係為了解決上述的課題而研發者，其目的在提供能夠適當地進行工件缺陷檢測的工件處理裝置等。
本發明的工件處理裝置具備：第一旋轉距離資訊儲存部，供儲存複數個第一旋轉距離資訊，該等第一旋轉距離資訊為具有使圓形工件旋轉時的旋轉角度與第一距離資訊形成對應的資訊，而該第一距離資訊為關於從對應旋轉角度的工件旋轉中心至邊緣的距離資訊；取得部，使用儲存於第一旋轉距離資訊儲存部的複數個第一旋轉距離資訊，來取得工件對準位置用的資訊、特定工件之朝向用的資訊、及關於工件邊緣缺陷部分的資訊；以及輸出部，用以輸出取得部所取得的工件對準位置用的資訊、特定工件的朝向用的資訊、及關於缺陷部分的資訊。
藉由此種構成，在結合對準工件的位置與朝向時，可進行工件邊緣缺陷的檢測，而可適當地進行工件缺陷的檢測。
再者，本發明的工件處理裝置在前述工件處理裝置中進一步具備：移動部，使用輸出部輸出的有關工件邊緣缺陷部分的資訊，令工件移動，俾使工件邊緣的缺陷部分配置在預先指定區域的拍攝區域內；拍攝部，用以拍攝配置於拍攝區域內的工件邊緣缺陷部分；以及影像輸出部，用以輸出拍攝部所拍攝的影像。
藉由此種構成，可容易確認工件邊緣的缺陷部分。
再者，本發明的工件輸送系統具備：前述工件處理裝置；以及對工件處理裝置進行工件傳送的工件輸送裝置。
藉由此種構成，可於輸送中在工件處理裝置一併進行結合工件位置與朝向的處理及檢測缺陷部分的處理，故可以縮短結合工件位置與朝向的處理及缺陷部分的檢測處理所需要的時間。而且，輸送時的工件移動可抑制到最小限度。
若依本發明的工件處理裝置等，可適當地進行工件缺陷的檢測。
1、2、3‧‧‧工件處理裝置
4‧‧‧容器
5‧‧‧容器/工件處理裝置
6‧‧‧載置台
10‧‧‧工件
11‧‧‧工件邊緣
14‧‧‧線段
15‧‧‧感測器
17‧‧‧定向扁平部
20、21、22、23a‧‧‧凹部
20a、21a、22a、23‧‧‧凸部
25‧‧‧區域
52‧‧‧轉盤
53‧‧‧轉盤旋轉機構
54‧‧‧電動馬達
55‧‧‧邊緣檢測部
55a‧‧‧投光器
55b‧‧‧感測器
56‧‧‧編碼器
57‧‧‧儲存部
101‧‧‧第一旋轉距離資訊儲存部
102‧‧‧邊緣位置檢測器
103‧‧‧取得部
104‧‧‧輸出部
105‧‧‧評估相關資訊受理部
106‧‧‧設定部
211、212、213、214、215‧‧‧區域
301‧‧‧邊緣位置檢測器
302‧‧‧移動部
303‧‧‧拍攝部
304‧‧‧修正缺陷位置取得部
305‧‧‧影像輸出
306‧‧‧檢測部
307‧‧‧評估部
308‧‧‧評估結果輸出部
309‧‧‧情況受理部
310‧‧‧影像情況資訊儲存部
311‧‧‧影像情況資訊累積儲存部
1000‧‧‧工件輸送系統
1001‧‧‧輸送路徑
1031‧‧‧合成裝置
1032‧‧‧合成處理裝置
1033‧‧‧修正資訊取得裝置
1034‧‧‧第二距離資訊取得裝置
1035‧‧‧計算裝置
1036‧‧‧缺口檢測裝置
1037‧‧‧缺陷檢測裝置
1038‧‧‧修正資訊輸出裝置
1039‧‧‧距離差相關輸出裝置
1901‧‧‧缺陷部分
3021‧‧‧載置台
3022‧‧‧旋轉機構
3023‧‧‧x軸移動機構
3024‧‧‧y軸移動機構
3025‧‧‧罩蓋
第1圖為實施形態1的工件處理裝置的方塊圖；第2圖(a)為用以說明工件處理裝置中所使用之圓形工件的一例的示意圖；第2圖(b)為用以說明工件處理裝置的修正資訊取得處理的示意圖；第3圖為工件處理裝置的邊緣位置檢測器的一例的示意圖；第4圖為具備工件處理裝置的工件輸送系統的一例的俯視圖；第5圖為工件處理裝置所利用的關係式的說明用圖示；第6圖為有關工件處理裝置的動作的說明用流程圖；第7圖為有關具備工件處理裝置的工件輸送系統的動作的說明流程圖；第8圖為工件處理裝置的第一旋轉距離資訊管理表的圖示；第9圖為用以說明工件處理裝置的第一旋轉距離資訊的曲線圖；第10圖(a)為工件處理裝置的第一旋轉距離資訊在旋轉角度為0度以上未達90度範圍的曲線圖；第10圖(b)為工件處理裝置的第一旋轉距離資訊在旋轉角度為90度以上未達180度範圍的曲線圖；第10圖(c)為工件處理裝置的第一旋轉距離資訊在旋轉角度為180度以上未達270度範圍的曲線圖； 第10圖(d)為工件處理裝置的第一旋轉距離資訊在旋轉角度為270度以上未達360度範圍的曲線圖；第10圖(e)為工件處理裝置的第一旋轉距離資訊的合成曲線圖；第10圖(f)為工件處理裝置的第一旋轉距離資訊的變化較小部分的曲線圖；第11圖為工件處理裝置的合成距離資訊管理表的圖示；第12圖為工件處理裝置的第二旋轉距離資訊管理表的圖示；第13圖為工件處理裝置的複數個第二旋轉距離資訊的圖示；第14圖為工件處理裝置的距離差資訊管理表的圖示；第15圖(a)為表示工件處理裝置所取得的距離差資訊與旋轉角度的關係的曲線圖；第15圖(b)為用以說明工件處理裝置的缺口檢測裝置所執行的處理的曲線圖；第15圖(c)為用以說明工件處理裝置的缺陷檢測裝置所執行的處理的曲線圖；第16圖為工件處理裝置的輸出例的圖示；第17圖為實施形態2的工件處理裝置的方塊圖；第18圖(a)、(b)分別為工件處理裝置的一例的示意圖(第18圖(a))、及工件處理裝置的邊緣位置檢測器的一例的示意圖(第18圖(b))；第19圖(a)、(b)分別為用以說明使該工件處理裝置的缺陷部分移動到拍攝區域內之處理的圖示，其中，第19圖(a)為旋轉前圖示、第19圖(b)為旋轉後圖示；第20圖為有關工件處理裝置的動作的說明用流程圖；第21圖為工件處理裝置的影像管理表的一例的圖示；第22圖為工件處理裝置的顯示例的圖示；第23圖為工件處理裝置的影像情況資訊管理表的一例的圖示；第24圖為工件處理裝置的顯示例圖；以及第25圖為實施形態1的工件處理裝置的其他例子的方塊圖。
〔發明的實施形態〕
以下，參照圖式就工件處理裝置等的實施形態加以說明。此外，實施形態中，由於附註相同符號的構成要素係執行同樣的動作，故有省略再次說明的情形。
(實施形態1)
第1圖為本實施形態的工件處理裝置1的方塊圖。
工件處理裝置1具備：第一旋轉距離資訊儲存部101、邊緣位置檢測器102、取得部103、輸出部104、評估相關資訊受理部105、以及設定部106。
取得部103具備例如：合成裝置1031、合成處理裝置1032、修正資訊取得裝置1033、第二距離資訊取得裝置1034、計算裝置1035、缺口檢測裝置1036、以及缺陷檢測裝置1037。
第2圖為用以說明本實施形態中作為第一旋轉距離資訊之取得對象的圓形工件的一例的示意圖(第2圖(a))、及用以說明取得工件修正資訊之處理的示意圖(第2圖(b))。
第3圖為本實施形態的邊緣位置檢測器102的一例的示意圖。
第4圖為具備本實施形態的工件處理裝置1的工件輸送系統1000的一例的俯視圖。
工件處理裝置1為例如對圓形工件(以下亦簡稱為工件)10進行工件10的位置與朝向結合用資訊的取得處理、及邊緣缺陷部分的檢測處理的裝置。所謂工件10的位置與朝向的結合用資訊，是指例如為了能將工件10朝預先指定方向配置於預先指定位置所使用的資訊。
圓形工件10為例如圓形半導体晶圓(以下稱為晶圓)、貼設於補強用圓形晶圓座等的晶圓、圓形玻璃基板等基板。圓形工件的材質(例如晶圓的材質)則不拘。此外，圓形工件10也可為非完整的圓形，例如，也可在邊緣11的一部具有定向扁平部(orientation flat)17、V形槽(notch)部(未圖示)等缺口部。工件10也可具有兩個以上缺口部。所謂工件10的邊緣11係指例如工件10的周緣部分。
第一旋轉距離資訊儲存部101是供儲存複數個第一旋轉距離資訊。該等第一旋轉距離資訊是指具有在使圓形工件10以例如工件10上的一點為旋轉中心O進行旋轉時，旋轉角度與對應該旋轉角度的第一距離資訊形成對應的資訊。其為關於從工件10的旋轉中心至邊緣的距離的資訊。工件10的旋轉中心O不必一定要與工件10的中心Q一致。
第一距離資訊為關於從工件10的旋轉中心O至工件10的邊緣11的距離的資訊。第一距離資訊為關於例如以工件10的旋轉中心O作為一端的預先指定線段至與工件10的邊緣11重疊的位置為止的距離資訊。第一距離資訊為例如從工件10的旋轉中心O至邊緣11的距離。例如第2圖所示，第一距離資訊為在以工件10的旋轉中心O作為一端的預先指定線段14上，使用沿著該線段配置的線感測器等感測器15所取得的有關邊緣11的位置的測定值、或使用該測定值取得的值。
以下，在本實施形態中，第一距離資訊以從工件10的旋轉中心O至邊緣11的距離r的情形為例來說明，而該距離r則從藉感測器15取得的表示工件10的邊緣11的位置資訊來取得。
此外，第一距離資訊只要是實質上表示與從工件10的旋轉中心O至工件10的邊緣11的距離對應的值的資訊即可。第一距離資訊也可為例如表示從作為感測器15的基準的位置(例如，0點)等至邊緣11的距離的資訊。而且，也可為表示感測器15檢測到邊緣11的部分，例如檢測到邊緣11的元件或其排列位置等的資訊。
所謂旋轉角度，例如在旋轉前、或以開始取得第一距離資訊的狀態等預先指定狀態的值當作0度等初期值時，使工件10旋轉的角度值。儲存於第一旋轉距離資訊儲存部101的複數個第一旋轉距離資訊，係為具有例如使工件10逐次以預先指定角度依序旋轉時所得的第一距離資訊、及其旋轉角度的資訊。複數個第一旋轉距離資訊具有例如以預先指定的角度間隔相連續的旋轉角度。所謂預先指定角度，是指一定的角度，例如，使工件10旋轉以取得第一距離資訊時的旋轉角度的最小單位。預先指定角度較佳為例如以4的倍數分割360度所得的值。預先指定角度係指例如將360度分割為1000、或10000等所得的值，例如，0.36度、或0.036度等。此外，旋轉角 度的單位等則不拘。
第一旋轉距離資訊儲存部101是供儲存例如針對一個或兩個以上工件10分別取得的複數個第一旋轉距離資訊。例如，儲存形成對應的對應於各工件10的複數個第一旋轉距離資訊與工件10的識別符的工件識別符。
第一旋轉距離資訊儲存部101中儲存複數個第一旋轉距離資訊，該等第一旋轉距離資訊對應於例如至少一次旋轉量的複數個旋轉角度，具體而言，一次旋轉量的複數個旋轉角度為由0至360度範圍的複數個旋轉角度。但，也可儲存與未達一次旋轉的複數個旋轉角度對應的複數個第一旋轉距離資訊。也可儲存例如複數個第一旋轉距離資訊，該等旋轉距離資訊對應於比一次旋轉(0至360度)還小的旋轉量，而該旋轉量的角度又比旋轉角度的最小單位還小。此外，也可儲存多於一次旋轉(0至360度)的旋轉量的複數個旋轉角度，例如，與1.5次旋轉量或2次旋轉量的複數個旋轉角度對應的複數個第一旋轉距離資訊。
本實施形態中，是就在第一旋轉距離資訊儲存部101中儲存邊緣位置檢測器102所取得的複數個第一旋轉距離資訊時的情形作為一例加以說明。但，複數個第一旋轉距離資訊以何種方式儲存於第一旋轉距離資訊儲存部101則不拘。例如，也可使未圖示的受理部等經由記憶媒體或通訊線路等所受理的複數個第一旋轉距離資訊儲存於第一旋轉距離資訊儲存部101。
此外，此處的儲存也包含暫時記憶的概念。例如，將邊緣位置檢測器102針對工件所取得的複數個第一旋轉距離資訊暫時記憶的情況，在此亦視作為儲存。
第一旋轉距離資訊儲存部101以非揮發性記錄媒體較合適，但也可以揮發性記錄媒體來實現。這種情形對於其他儲存部也是一樣。
邊緣位置檢測器102針對工件10取得複數個第一旋轉距離資訊。具體而言，邊緣位置檢測器102檢測工件10的邊緣位置，並針對工件取得複數個第一旋轉距離資訊。邊緣位置檢測器102將所取得的複數個第一旋轉距離資訊儲存於第一旋轉距離資訊儲存部101。
邊緣位置檢測器102具備有例如線感測器等感測器15、及使所載置的工件10旋轉的轉盤52等，其使用使工件10每旋轉預先指定的旋轉角度 就加以測定的邊緣位置的測定值，例如，使用從工件10的旋轉中心至邊緣的距離的測定值等，依序取得第一距離資訊及旋轉角度。工件10的旋轉中心為例如使旋轉工件10旋轉的轉盤的旋轉中心。
邊緣位置檢測器102也可具備移動裝置(未圖示)，並使用後述輸出部104輸出的工件10對準位置資訊，例如修正資訊，令轉盤52等的位置移動，俾使工件10的中心位於預先指定位置。再者，邊緣位置檢測器102也可具備控制裝置(未圖示)等，並使用後述輸出部104輸出的工件10的朝向特定資訊(例如，表示缺口部的資訊)，令轉盤52旋轉，俾使工件10朝向預先的指定方向。
邊緣位置檢測器102使例如針對各工件取得的複數個第一旋轉距離資訊與各工件的工件識別符形成對應，並儲存於第一旋轉距離資訊儲存部101。
取得部103使用與儲存於第一旋轉距離資訊儲存部101的一個工件對應的複數個第一旋轉距離資訊，以取得用以使工件10對準位置的資訊、用以特定工件10的朝向的資訊、及關於工件10的邊緣11的缺陷部分的資訊。
所謂用以使工件10對準位置的資訊，是指為了使例如工件10配置於預先指定位置而使用的資訊。所謂用以使工件10對準位置的資訊，是指例如工件10原來配置的位置和工件10實際上配置的位置的偏移的資訊、或修正資訊。修正資訊為例如修正資訊取得裝置1033所取得的修正資訊。取得部103以何種方式取得用以使工件10對準位置的資訊均可。例如，取得部103也可使用上述的習知技術取得對準位置用資訊。此外，本實施形態中，將於後陳述修正資訊取得裝置1033取得對準位置用資訊的處理作為具體例。
所謂工件10的朝向特定用資訊，是指例如為了將工件向著預先指定的朝向配置而使用的資訊，例如表示用以特定工件的朝向的定向扁平部或V形槽部等缺口部的資訊。表示缺口部的資訊為例如表示缺口部的位置的資訊。此外，也可再具有缺口部的規格等的資訊。表示該缺口部的資訊可藉例如缺口檢測裝置1036來取得。取得部103以何種方式取得工件10的朝向特定用資訊均可。例如，取得部103也可使用上述的習知技術來取得工件的朝 向特定用資訊。
例如，取得部103可使用關於缺口部的大小的一個或兩個以上臨界值來進行缺口部的檢測，經檢測後，取得表示缺口部的資訊。所謂關於缺口部的大小的一個或兩個以上臨界值，係指例如有關缺口部的寬度及自邊緣起算的距離中的至少一個以上臨界值。例如，所謂關於缺口部的大小的臨界值，係指表示有關自缺口部邊緣起算的距離的下限值的臨界值、或分別表示缺口部寬度的下限值及上限值的臨界值。有關自缺口部邊緣起算距離的下限值，係指例如缺口部自邊緣起算的距離較大的部分，例如距離最大的部分，沒有缺口部時自原來的邊緣位置起算的距離的下限值。
例如，取得部103可使用複數個第一旋轉距離資訊，對工件10的邊緣11處的朝向工件10內側呈凹狀的連續區域進行檢測，並判斷該凹狀區域內自邊緣起算的深度(亦即，自邊緣起算的距離)有無臨界值以上的部分，亦即，自邊緣起算的距離有無自缺口部邊緣起算距離的下限值的臨界值以上的部分，若有臨界值以上的部分，則將該凹狀區域判斷為缺口部，並取得表示該區域的位置的資訊，例如，以旋轉角度範圍的資訊作為表示缺口部的資訊。
另外，所謂連續區域，是指例如第一距離資訊的取得順序相連續的部分、或第一距離資訊的對應旋轉角度相連續的部分。例如，取得部103可從第一旋轉距離資訊、和工件10的半徑或者自工件10的旋轉中心至邊緣的距離的差值來檢測連續凹部或連續凸部。此外，也可藉由例如對連續的第一距離資訊進行2階微分來檢測存在於工件10的邊緣11的凹狀部分或凸狀部分的兩端。因此，從夾介於依此方式檢測的部分的區域內的第一旋轉距離資訊的值、或與上述相同工件10的半徑等的差值，即可判斷該所檢測的區域為凹狀或凸狀。所以，透過以上述方式使用臨界值來判斷依此方式判定為凹狀的工件10的邊緣11的區域是否為缺口部，取得部103也可檢測缺口部。此外，由於依此方式進行2階微分等來檢測邊緣11的缺口部或缺陷部分的處理係屬公知技術，其詳細說明容予省略。
此外，所謂使用複數個第一旋轉距離資訊，也包含可使用複數個第一旋轉距離資訊所獲得的資訊(例如，使用後述的距離差資訊)等的概念。
再者，取得部103也可例如使用複數個第一旋轉距離資訊，對工件10的邊緣11處向工件10內側呈凹狀的連續區域進行檢測，並判斷該凹狀區域的寬度是否在分別表示缺口部寬度的下限值與上限值的臨界值範圍，若在範圍，則將該凹狀區域判斷為缺口部，並取得表示該區域位置的資訊(例如，旋轉角度範圍的資訊)，作為表示缺口部的資訊。
或者，也可將藉由自上述的邊緣起算的距離進行的判斷及藉由寬度進行的判斷加以組合，在自邊緣起算的距離為臨界值以上，且寬度在臨界值所示範圍時，即將連續區域判斷為缺口部。
此外，本實施形態中，將於後陳述缺口檢測裝置1036取得表示缺口部資訊的處理，作為取得部103取得朝向特定用資訊的處理具體例。
所謂關於缺陷部分的資訊，係為例如表示工件10的缺陷部分的存在位置的資訊，具體而言為表示旋轉角度、或缺陷部分存在區域範圍的資訊(例如，表示旋轉角度範圍的資訊)。而且，關於缺陷部分的資訊係為表示缺陷部分大小，例如自邊緣起算的距離、具體而言為表示缺陷部分的深度或高度、缺陷部分寬度的資訊。關於缺陷部分的資訊也可再具有辨別缺陷部分的識別符、或工件10的識別符。所謂缺陷部分，是指例如工件10的邊緣11的毛邊、崩缺、塵屑等。此外，關於缺陷部分的資訊也可為表示有無缺陷部分的資訊。再者，關於缺陷部分的資訊也可為表示缺陷部分是工件10的邊緣11的凹部或凸部的資訊。例如，關於缺陷部分的資訊為關於缺陷檢測裝置1037要取得的缺陷部分的資訊。
取得部103使用例如關於缺陷部分大小的一個或兩個以上臨界值來進行缺陷部分的檢測，經檢測後，取得關於缺陷部分的資訊。所謂關於缺陷部分大小的一個或兩個以上臨界值，是指例如有關於缺陷部分的寬度及自邊緣起算的距離中至少一個以上的一個或兩個以上臨界值。
取得部103會例如針對複數個第一旋轉距離資訊方面，計算出表示邊緣11沒有缺陷部分時自工件10的旋轉中心至邊緣的距離(或是工件10的半徑)的差的距離，並檢測該距離在缺陷部分距離在下限值以上的第一旋轉距離資訊，經檢測後，取得關於缺陷部分的資訊。例如，取得部103會取得該第一旋轉距離資訊所具有的旋轉角度資訊等，作為關於缺陷部分的資訊。 另外，上述的檢測第一旋轉距離資訊也包含檢測第一旋轉距離資訊所具有的第一距離資訊、或檢測旋轉角度的概念。
此外，取得部103也可例如使用複數個第一旋轉距離資訊，對工件10的邊緣11處向工件10的內側呈凹狀的連續區域、或向工件10的外側呈凸狀的連續區域進行檢測，並判斷該凹狀區域或凸狀區域內是否有自邊緣起算的距離在缺陷部分自邊緣起算距離的下限值的臨界值以上的部分，若有臨界值以上的部分，即將該凹狀區域或凸狀區域判斷為缺陷部分，並取得關於該缺陷部分的資訊，例如旋轉角度範圍的資訊。
還有，此處所謂自邊緣起算的距離，是指例如未有缺陷或缺口部時的自邊緣起算距離、或未有缺陷或缺口部的理想工件以邊緣為基準的距離。此處所謂自邊緣起算的距離，是指例如工件10自邊緣朝工件10的旋轉中心的方向的距離、或自邊緣朝與工件10的旋轉中心相反方向的距離。例如，此處的自邊緣起算的距離，是指在工件未有缺口部或缺陷部分時自邊緣至缺口部的距離、或自邊緣至缺陷部分的距離。此處的自邊緣起算的距離也可以為邊緣的凹狀區域的深度、或凸狀區域的高度。此處的自邊緣起算的距離也可以為自邊緣起算距離的大小、或缺口部或是缺陷部分的深度或高度的大小或絕對值。這種情況在下文中亦屬相同。
存在於工件10的邊緣11的凹狀部分或凸狀部分的兩端，如上所述，也可利用例如對連續的第一距離資訊施行2階微分來進行檢測。而且，取得部103也可使用上述的臨界值來判斷夾介於依此方式檢測的部分的工件10的邊緣11的區域是否為缺陷部分，以檢測缺陷部分。
再者，取得部103也可例如使用複數個第一旋轉距離資訊，對工件10的邊緣11處朝工件10的內側呈凹狀的連續區域、或朝工件10的外側呈凸狀的連續區域進行檢測，並判斷該凹狀區域或凸狀區域的寬度是否在缺陷部分寬度下限值的臨界值以上，若為下限值以上，則將該凹狀區域或凸狀區域判斷為缺陷部，並取得關於該缺陷部分的資訊。此外，作為下限值的臨界值，連續區域為凹狀時及為凸狀時，可使用不同的臨界值，也可使用相同的臨界值。
或者，也可將藉上述的自邊緣起算距離進行的判斷與藉寬度進行的 判斷加以組合，自邊緣起算的距離為臨界值以上，且寬度為臨界值以上時，即將連續區域判斷為缺陷部分。
此外，取得部103也可將使用複數個第一旋轉距離資訊檢測的工件朝向特定用缺口部的數量與原來設在工件10的缺口部的數量加以比較，兩者數量相異時，即取得表示邊緣有缺陷的關於缺陷部分的資訊。
再者，在檢測缺陷部分時，取得部103也可以將配置有工件的朝向特定用缺口部的區域除外的方式進行檢測，或者，經檢測的缺陷部分位在配置有缺口部的區域內時，也可以不取得關於該經檢測的缺陷部分的資訊。
還有，於本實施形態中，特別舉出取得部103具有：合成裝置1031、合成處理裝置1032、修正資訊取得裝置1033、第二距離資訊取得裝置1034、計算裝置1035、缺口檢測裝置1036、缺陷檢測裝置1037的情況為例來說明。
合成裝置1031是用來將包含於複數個第一旋轉距離資訊的第一距離資訊中其對應的旋轉角度逐次相異90度的複數個第一距離資訊合成。此處的複數個第一旋轉距離資訊，是指例如儲存於第一旋轉距離資訊儲存部101的有關作為處理對象之一的工件10的複數個第一旋轉距離資訊。
所謂將旋轉角度逐次相異90度的複數個第一距離資訊合成，也可以為例如將對應的旋轉角度的差為90度的整數倍的複數個第一距離資訊的組對分別加以合成。所謂90度的整數倍為例如90度、180度、270度等。
合成裝置1031將例如包含於複數個第一旋轉距離資訊的第一距離資訊中對應旋轉角度逐次相異90度的4個第一距離資訊分別合成，以取得複數個合成距離資訊的方式，也可以為例如將對應的旋轉角度的差為90度的n倍(n為1至3的整數)的複數個第一距離資訊的組對分別合成的情形。
合成有複數個第一距離資訊的第一距離資訊，在此是稱為合成距離資訊。合成裝置1031一般是取得複數個合成距離資訊。此處所謂的合成是指例如將一組的複數個第一距離資訊合而為一。此處的合成也可為例如取得複數個第一距離資訊的平均值，也可為將複數個第一距離資訊進行加算的情形。此外，也可為計算複數個第一距離資訊的差的平均。例如，合成裝置1031會將包含於複數個第一旋轉距離資訊的第一距離資訊中對應的旋轉角度為θ0、θ0+90度、θ0+180度、及θ0+270度的複數個第一距離資訊的組對進行 合成，並取得合成距離資訊。
合成裝置1031也可以任何一種方式將對應的旋轉角度逐次相異90度的複數個第一距離資訊彼此分別合成。例如，合成裝置1031也可藉由將對應的旋轉角度值相連續的複數個第一旋轉距離資訊持續分割為複數個組，使旋轉角度值的範圍成為90度，且將經分割的各組排列順序相同的第一旋轉距離資訊具有的第一距離資訊彼此間進行合成，以進行上述的合成。
旋轉角度的值相連續是意指例如按毎次取得第一距離資訊使工件10旋轉時的毎個旋轉角度單位的旋轉角度值相連續的情形。旋轉角度值相連續的情形在此權稱為旋轉角度相連續。
在此所謂排列順序是指例如將經分割的各組第一旋轉距離資訊沿著第一旋轉距離資訊各自具有的旋轉角度的上升次序或下降次序排列時的排列順序。
例如，在藉由使工件作一個旋轉等而取得、且具有0度以上未達360度的旋轉角度的複數個第一旋轉距離資訊儲存於第一旋轉距離資訊儲存部101時，合成裝置1031首先會將第一旋轉距離資訊分割為4部份，使對應的旋轉角度範圍成為：0度以上未達90、90度以上未達180度、180度以上未達270度、270度以上未達360度。接著，合成裝置1031會將經分割的各範圍的第一旋轉距離資訊所具有的第一距離資訊值按照旋轉角度的每個排列順序(例如，旋轉角度的上升次序或下降次序)進行合成，並取得連續的複數個合成距離資訊。藉此方式，即可將對應的旋轉角度形成逐次相異90度的4個第一距離資訊彼此間分別合成。此外，分割時的旋轉角度範圍不必從0度開始，也可例如從15度等按毎90度設定旋轉角度範圍。
再者，也可從旋轉角度範圍在90度範圍的連續複數個第一旋轉距離資訊，逐一依序取得第一旋轉距離資訊，並按所取得的每個第一旋轉距離資訊，將具有對該旋轉角度分別加算90度、180度、及270度的旋轉角度的第一旋轉距離資訊進行檢測，且將所取得的第一旋轉距離資訊與經檢測的第一旋轉距離資訊分別具有的第一距離資訊加以合成。藉此方式，就可將上述的對應旋轉角度逐次相異90度的4個第一距離資訊彼此間依序合成。
透過依此方式將旋轉角度逐次相異90度的複數個，較佳為4個第 一距離資訊的組對依序合成，例如因工件10之旋轉中心O從工件10的中心Q偏移所發生的第一距離資訊増減的情形就可消除。
而且，在合成所得的各合成距離資訊中，將例如對應合成前的複數個第一距離資訊的複數個旋轉角度的組對對應儲存。或者，也可對應儲存該旋轉角度的組對中的一部分，例如將對應的複數個旋轉角度中最小值的旋轉角度對應儲存。
合成處理裝置1032會在(合成裝置1031合成第一距離資訊而取得的資訊的)複數個合成距離資訊中，將對應旋轉角度相連續的複數個合成距離資訊，且其值的大小變化較小的複數個合成距離資訊加以檢測。然後，合成處理裝置1032會取得與經檢測的複數個合成距離資訊中的一個以上對應的合成前複數個第一距離資訊、及與合成前的複數個第一距離資訊中的一個以上第一距離資訊對應的旋轉角度。
所謂合成距離資訊值的大小是指例如合成距離資訊的絕對值。所謂值的大小變化較小的複數個合成距離資訊，是指例如值的大小變化量的最大值等較其他相連續的複數個合成距離資訊為小的連續複數個合成距離資訊。所謂連續複數個合成距離資訊，是指預先指定的兩個以上數目以上相連續的合成距離資訊。此處所謂的連續，意指對應於合成距離資訊的一個以上旋轉角度的一個以上相連續的情形。如上所述，合成距離資訊中，因工件10的旋轉中心O從工件10的中心Q偏移而發生的第一距離資訊的増減業已消除，故大小變化較大部分的合成距離資訊即為例如工件10的邊緣11有凹凸的部分。所謂邊緣11的凹凸，是指定向扁平部17或V形槽部等缺口部、工件10的毛邊或崩缺、塵屑等。所謂崩缺，是指例如工件10邊緣的破裂或缺縫等缺損部分。大小變化較小的部分的合成距離資訊是指例如無凹凸或凹凸較小的部分，而該部分的大小變化是因例如測定時的誤差等所致者。
合成處理裝置1032將例如值的大小變化量較大的合成距離資訊除外，並取得其餘合成距離資訊中對應的旋轉角度呈連續的複數個合成距離資訊，作為值的大小變化較小的複數個合成距離資訊。
合成處理裝置1032會在例如合成裝置1031所合成的複數個合成距離資訊中，將從值較大者依序檢測一個以上合成距離資訊的第一處理、及從 值較小者依序檢測一個以上合成距離資訊的第二處理的至少一個執行1次以上。此外，未經第一處理及第二處理檢測的其餘合成距離資訊係相當於合成處理裝置1032所檢測的值的大小變化較小的複數個合成距離資訊。另外，此處的合成距離資訊檢測也可以為除外對象的合成距離資訊檢測。
第一處理是針對例如合成裝置1031所合成的複數個合成距離資訊檢測其最大值的合成距離資訊的處理。具體而言，是為從未檢測的合成距離資訊中檢測其最大值的合成距離資訊的處理。再者，第二處理是針對例如合成裝置1031所合成的複數個合成距離資訊檢測其最小值的合成距離資訊的處理。具體而言，是為從未經檢測的合成距離資訊中檢測其最小值的合成距離資訊的處理。
合成處理裝置1032較佳為將第一處理與第二處理分別實施複數次。也可將複數次的第一處理與複數次的第二處理以任一種次序實施複數次。例如，也可將第一處理與第二處理交替逐次實施。又，也可在複數次的第一處理結束後，實施複數次的第二處理。此外，第一處理與第二處理的任一處理最先實施均可。
還有，反覆實施第一處理時，業已在剛剛處理中檢測過的合成距離資訊排除於檢測對象之外。例如，對於已檢測的合成距離資訊，是使其與表示完成檢測的旗標等資訊對應，該旗標等資訊所對應的合成距離資訊，就不再於之後的檢測處理中進行檢測。這種方式在反覆實施第二處理時也是相同。
再者，合成處理裝置1032會將第一處理或第二處理等中已檢測的合成距離資訊依序刪除，或者也可對已檢測者附註表示已刪除的旗標等資訊。此時，例如合成處理裝置1032也可以從未在第一處理中刪除的合成距離資訊檢測其最大值的合成距離資訊。其次，例如合成處理裝置1032也可以從未在第二處理中刪除的合成距離資訊檢測其最小值的合成距離資訊。
再者，反覆實施第一處理時，合成處理裝置1032會例如反覆實施第一處理，直到符合預先指定條件。例如，所謂檢測合成距離資訊直到符合預先指定條件，是指對合成距離資訊進行檢測直到到達預先指定數。此外，預先指定條件也可為未經檢測的其餘合成距離資訊的最大值與最小值之差 達到預先指定臨界值以下等情況。這種方式在第二處理中也是相同。
有關反覆第一處理及反覆第二處理的上述預先指定條件為次數時，第一處理條件的次數與第二處理條件的次數也可設為不同的次數。例如，合成距離資訊為表示將自工件10的旋轉中心至邊緣的距離的第一距離資訊加以合成所得資訊時，一般，包含將以定向扁平部或V形槽部等缺口部取得的第一距離資訊的複數個第一距離資訊加以合成所得的合成距離資訊，相較於以其他部分取得的合成距離資訊，其值較小，甚至由於這種缺口部所存在的旋轉角度範圍很廣，為了將與這種缺口部對應的合成距離資訊當作變化較大部位進行檢測，較佳為將合成距離資訊值較小者的檢測數設定成多於值較大者的檢測數。因此，在這種情況中，較佳為將針對第二處理的預先指定條件的反覆次數值設定成較針對第一處理的預先指定條件的反覆次數值為大的值。
合成處理裝置1032會例如在未於第一處理及第二處理檢測的其餘合成距離資訊中，取得與預先指定數以上相連續的複數個合成距離資訊中的一個以上對應的合成前複數個第一距離資訊、及與該複數個第一距離資訊中的一個以上對應的旋轉角度。預先指定數為2以上的數目。
或者，合成處理裝置1032會例如在未於第一處理及第二處理中檢測的其餘合成距離資訊中，取得與相連續數最多的複數個合成距離資訊中的一個以上對應的合成前複數個第一距離資訊、及與該複數個第一距離資訊中的一個以上對應的旋轉角度。
合成處理裝置1032會對例如對應的旋轉角度相連續的複數個合成距離資訊，且為值的大小變化較小的複數個合成距離資訊進行檢測，並取得與經檢測的複數個合成距離資訊中的一個對應的合成前4個第一距離資訊、及與合成前的複數個第一距離資訊中的一個的第一距離資訊對應的旋轉角度。合成前的4個第一距離資訊是指對應的旋轉角度逐次相異90度的4個第一距離資訊。該4個第一距離資訊是表示通過旋轉中心且成正交的2條直線與工件10的邊緣相交的4個點、和工件旋轉中心的距離。
作為與合成前的複數個第一距離資訊中的一個以上第一距離資訊對應的旋轉角度，要取得與一個或兩個以上的那一個第一距離資訊對應的旋轉 角度，是按照例如後述的修正資訊取得裝置1033取得修正資訊時要使用那種旋轉角度來決定。例如，一個合成距離資訊為旋轉角度逐次相異90度的4個第一距離資訊所合成者時，合成處理裝置1032會就值的大小變化較小的複數個合成距離資訊進行檢測，並取得一旋轉角度，該旋轉角度是與已檢測的複數個合成距離資訊中的一個對應且與合成前4個第一距離資訊對應，而實質上角度值最小者。或者，也可取得與已檢測的複數個合成距離資訊中的一個對應的合成前4個第一距離資訊對應，且為自0度至90度範圍之一的旋轉角度。另外，例如，360度+D度(D為正值)的旋轉角度也可實質上為D度。而且，-D度也可實質上為360度-D度。
此外，為了檢測與上述的定向扁平部17對應的合成距離資訊，合成處理裝置1032也可將較合成距離資訊的平均值為小的複數個合成距離資訊一併檢測。
再者，上述中，合成處理裝置1032藉由檢測例如值較大的合成距離資訊或值較小的合成距離資訊，並將其除外，以檢測值的大小變化較小的連續複數個合成距離資訊。但，本發明中，合成處理裝置1032以那一種方式來檢測值的大小變化較小的連續的複數個合成距離資訊均可。
例如，合成處理裝置1032也可透過使用對連續合成距離資訊進行微分或2階微分等所得的值，對值的大小變化較大的連續合成距離資訊進行檢測並將其除外，對值的大小變化較小的連續複數個合成距離資訊加以檢測。例如，合成處理裝置1032也可在透過相連續的合成距離資訊進行2階微分等所得的值中，檢測預先指定臨界值以上的值，對從檢測到臨界值以上之值的旋轉角度到下一個檢測到臨界值以上之值的旋轉角度之間的合成距離資訊進行檢測，作為值的大小變化較大的合成距離資訊，並將檢測到的合成距離資訊除外所得的合成距離資訊中的連續合成距離資訊進行檢測，作為值的大小變化較小的連續複數個合成距離資訊。
修正資訊取得裝置1033使用合成處理裝置1032所取得的複數個第一距離資訊及旋轉角度，來取得用以使工件10的旋轉中心對準工件10的中心的修正資訊，作為工件10對準位置用資訊。修正資訊也可以為用以使工件10的旋轉中心移動到工件10的中心的資訊、或表示位置偏移方向或大小 的資訊。修正資訊為例如表示旋轉中心移動方向的資訊(例如，相對於預先指定方向的角度)與移動距離的組合。此外，修正資訊也可為表示工件10的中心的移動方向及移動距離的向量等。此外，修正資訊也可為將工件10的中心及工件10的旋轉中心配置於正交座標系時用以使工件10的旋轉中心移動到工件10的中心上表示順沿各座標軸的移動量的資訊。
修正資訊取得裝置1033使用例如合成處理裝置1032所取得的對應旋轉角度逐次相異90度的4個第一距離資訊、及與其中的一個對應的旋轉角度，以取得用以使工件10的旋轉中心移動到工件10的中心的修正資訊。
以下，使用第2圖(b)就修正資訊的一個取得處理例加以說明。此外，第2圖(b)中，第一距離資訊ra、rb、rc、rd為合成處理裝置1032針對一個合成距離資訊所取得的對應旋轉角度逐次相異90度的4個第一距離資訊，且分別對應的旋轉角度設為θ、θ+90、θ+180、θ+270。但，θ設為任意值。此處，θ設為例如從0度至90度範圍的角度。點Pa、Pb、Pc、及Pd為工件10的邊緣11上對應於第一距離資訊ra、rb、rc、及rd的點，旋轉中心O分別與點Pa、Pb、Pc及Pd的連結線段的距離為第一距離資訊ra、rb、rc及rd。點Pa與點Pc的連結線段和點Pb與點Pd的連結線段在旋轉中心O上成正交。此處，為了方便說明，將工件10的旋轉中心O配置在xy座標的原點。此處，工件10的旋轉方向設為順時針方向。與第一距離資訊ra對應的線段和x軸所構成的角度為旋轉角度θ，反時針方向設為正值。工件10的旋轉中心O與工件10的中心Q的連結線段和x軸構成的角度α為修正資訊中表示移動方向的資訊；反時針方向在此設為正值。此外，工件10的旋轉中心O與工件10的中心Q的連結線段的長度h為表示修正資訊中的移動量(移動距離)的資訊。用以取得第一距離資訊的感測器(未圖示)係例如在y軸上沿y軸配置。
第2圖(b)中，與點Pa和點Pc的連結線段、及點Pb和點Pd的連結線段對稱的線段拉到工件10的中心Q時，表示作為修正資訊的移動方向的資訊α及表示移動量的長度h從以下方程式求得。
【式1】
再者，上式中，由於ra-rc及rb-rd為距離的差，故可知即使在第一距離資訊為感測器等的讀取值、或自感測器的基準點等起算的距離時，上式也能成立。
此外，上述所示的修正資訊的取得處理僅為一個例子，本發明以何種方式從合成處理裝置1032取得的第一距離資訊與旋轉角度的組對以何種方式取得修正資訊，則不拘。
又，上述中，修正資訊取得裝置1033使用針對合成處理裝置1032取得的一個合成距離資訊所取得的4個第一距離資訊及一個旋轉角度來取得修正資訊，但合成處理裝置1032也可針對複數個合成距離資訊分別取得的複數個第一距離資訊與旋轉角度的組對，與上述同樣地分別來取得修正資訊，且取得針對各組對所取得的修正資訊的平均值作為最終的修正資訊。
第二距離資訊取得裝置1034使用修正資訊取得裝置1033所取得的修正資訊，來取得工件10為邊緣11無凹凸的圓形時表示旋轉角度與相應於旋轉角度的第二距離資訊的關係的關係式。第二距離資訊係指關於邊緣11無凹凸的工件10自旋轉中心至邊緣11的距離資訊。接著，將與儲存於第一旋轉距離資訊儲存部101的複數個第一旋轉距離資訊對應的複數個旋轉角度分別代入所取得的關係式，以取得第二距離資訊。
第二距離資訊係為例如與第一距離資訊同樣的資訊。第二距離資訊係為相當於例如將邊緣11無凹凸的圓形工件取代工件10時可取得的第一距離資訊距離的資訊。
所謂邊緣11無凹凸的圓形工件，係指邊緣沒有例如定向扁平部、或V形槽部、或毛邊、或崩缺、或塵屑的圓形工件，也可以為與工件10相同規格的理想形狀型工件。
關係式係為例如表示使邊緣11無凹凸的圓形工件10旋轉時的旋轉角度與對應旋轉角度的第二距離資訊的關係的式子。此處的關係式也可以為表示工件10的旋轉角度與從對應旋轉角度的旋轉中心至邊緣的距離的關係的理想曲線的式子。再者，第二距離資訊也可以為從理想型工件10的旋轉 中心至邊緣的距離。另外，關係式也可為近似於使邊緣11無凹凸的圓形工件10旋轉時的旋轉角度和對應旋轉角度的第二距離資訊的關係的近似式。
此處所謂關係式的取得，也包含讀取預先儲存於未圖示記憶媒體等的關係式、或決定讀取的關係式的係數值等、或代入係數值等情況的概念。
第二距離資訊取得裝置1034也可例如除了表示修正資訊的移動方向的角度及表示移動量的長度外，再使用工件10的半徑來取得關係式。工件10的半徑只要預先儲存在未圖示的儲存部等，再適當讀取即可。
以下，就關係式的一個例子進行說明。
第5圖是為用以說明要取得第二距離資訊時所利用的關係式的示意圖。圖中，與第2圖(b)相同的符號是表示相同或相當的部分。但，第5圖中，與第2圖(b)不同的是，工件10設為邊緣無凹凸且半徑為a的工件。同時，為了說明的方便，第5圖中事表示工件10的旋轉中心位在工件以外位置的例子。但，旋轉中心也可位在工件上。
用極座標來表示如第5圖所示的旋轉中心O從中心Q偏移的圓形工件10的邊緣時，即形成如下式的形態。
【式2】r i 2-2hr i cos(θ-α)=a 2-h 2
針對ri將該式子展開時，即形成下式的形態。
該式(3)為表示使邊緣11無凹凸的圓形工件10旋轉時的旋轉角度與對應旋轉角度的第二距離資訊的關係的式子。例如，預先將式(3)儲存於未圖示的儲存部，第二距離資訊取得裝置1034將該式讀出，透過使用上述式(1)及式(2)取得的修正資訊，具體而言，即表示移動方向的資訊的角度α值、表示移動量的資訊的長度h值、及工件10的半徑a，代入該式(3)，就可取得 工件10為邊緣11無凹凸的圓形工件時表示旋轉角度θ與對應旋轉角度的第二距離資訊ri的關係的關係式。以下，代入了該α及長度h的值的關係式稱為理想曲線式。
此外，取得此處所示的理想曲線式雖屬最佳，但以關係式而言，也可取得其他的近似式，例如，使用正弦曲線等製作的近似式等。
另外，上述中，修正資訊取得裝置1033使用合成處理裝置1032所取得的複數個第一距離資訊與旋轉角度的一個以上組對從式(1)及式(2)來取得修正資訊。然而，本發明中，修正資訊取得裝置1033也可將合成處理裝置1032針對一個以上合成距離資訊所取得的複數個第一距離資訊、及與各該複數個第一距離資訊對應的旋轉角度的複數個組對分別代入上述式(3)而作成聯立方程式，並透過解開該聯立方程式，而取得修正資訊。而且，也可適當地將工件10的半徑酌情代入對該聯立方程式。這種方式在使用其他近似式的情況中亦屬相同。
第二距離資訊取得裝置1034將與儲存於第一旋轉距離資訊儲存部101的複數個第一旋轉距離資訊對應的複數個旋轉角度分別代入所取得的關係式，例如理想曲線式，以取得第二距離資訊。還有，與複數個第一旋轉距離資訊對應的複數個旋轉角度不必一定須是從第一旋轉距離資訊儲存部101讀取者，只要是與複數個第一旋轉距離資訊所具有的複數個旋轉角度實質上相同的複數個旋轉角度即可。例如，也可取得實質上相同的複數個旋轉角度來使用。例如，使用每次從工件10取得一個第一距離資訊令工件10旋轉的角度值等，藉由例如將該角度值依序加算等方法，來取得與複數個第一旋轉距離資訊所具有的複數個旋轉角度實質上相同的複數個旋轉角度。
第二距離資訊取得裝置1034使將複數個旋轉角度依序代入關係式而取得的第二距離資訊(例如，第二距離資訊ri)與旋轉角度形成對應，並儲存於未圖示的儲存部等。此處的儲存也可為暫時記憶。第二距離資訊取得裝置1034所取得並儲存的第二距離資訊與旋轉角度的各個組對，在此稱為第二旋轉距離資訊。此外，也可以為第二距離資訊取得裝置1034取得第二旋轉距離資訊。
計算裝置1035使用儲存於第一旋轉距離資訊儲存部101的複數個 第一旋轉距離資訊、及第二距離資訊取得裝置1034所取得的複數個第二距離資訊，來取得與相同旋轉角度形成對應的第一距離資訊與第二距離資訊的差。例如，計算裝置1035依序取得與相同旋轉角度形成對應的第一距離資訊及第二距離資訊的差。此處的差可為從第一距離資訊值減去第二距離資訊值所得的值，也可為其相反的值。此外，只要是僅單純檢測邊緣有缺陷的部位，此處的差也可為差的大小，例如為差的絕對值。此外，第一距離資訊與第二距離資訊的差，在此稱為距離差資訊。
例如，計算裝置1035使所取得的距離差資訊與旋轉角度形成對應，並儲存於未圖示的儲存部等。此處的儲存也可為暫時記憶。
缺口檢測裝置1036使用計算裝置1035所計算的距離差資訊來取得表示工件10的缺口部的資訊，作為工件10的朝向特定資訊。缺口部是指如上述方式設在工件10的邊緣11且用以特定工件10的朝向的定向扁平部或V形槽部等部分。表示缺口部的資訊是指例如表示工件10設有缺口部之部分的旋轉角度範圍的資訊、或表示針對缺口部所取得的複數個第一距離資訊的資訊。
缺口檢測裝置1036使用例如計算裝置1035所計算的距離差資訊及關於缺口部大小的一個以上臨界值，來檢測設於工件10的邊緣11的缺口部，並取得表示經檢測的缺口部的資訊。
所謂關於缺口部大小的一個以上臨界值，是指關於上述的缺口部自邊緣起算距離的臨界值、或關於缺口部寬度的臨界值。
缺口檢測裝置1036使用例如計算裝置1035所計算的距離差資訊，來檢測邊緣11朝工件10的內側呈凹狀的連續區域，而該區域為具有表示預先指定缺口部自邊緣起算的距離的下限值的臨界值以上的距離差資訊，且其寬度在分別表示預先指定缺口部的寬度下限值與上限值的臨界值範圍的區域。接著，取得表示與經檢測的區域對應的位置的資訊，例如表示針對旋轉角度或經檢測的區域所取得的複數個第一距離資訊的資訊，作為表示設在工件10的邊緣11的缺口部的資訊。
邊緣11為朝工件10的內側呈凹狀的連續區域，透過例如將與表示第一距離資訊所示位置較第二距離資訊所示位置更靠工件內側的距離差資 訊形成對應的連續區域進行檢測，即可測出。例如，第一距離資訊為自工件10的旋轉中心至邊緣11的距離，距離差資訊為自第二距離資訊減去第一距離資訊所得值時，即可將邊緣11的距離差資訊為正值的連續區域當作凹狀連續區域檢測出來。還有，也可對距離差資訊的大小相較於經考量測定誤差的值而預先設定的臨界值為大的連續區域進行檢測作為凹狀連續區域。此時的臨界值設定在例如0的前後值。這種方式在檢測邊緣11的缺陷部分時亦是同樣。此外，這種方式在檢測連續的凸狀區域時也是同樣。
另外，也可使用分別表示自邊緣起算的距離的下限值與上限值的臨界值，來取代表示上述自缺口部邊緣起算的距離下限值的臨界值，以判斷連續區域的距離差資訊的最大值或其前後值等是否為該臨界值所示範圍的值，並使用範圍的值的情況，來取代表示具有自缺口部邊緣起算距離下限值的臨界值以上的距離差資訊的區域的判斷結果。同樣地，也可使用表示寬度下限值的臨界值，來取代分別表示寬度下限值與上限值的臨界值，且使用連續區域的寬度在寬度下限值以上的情況，來取代分別表示缺口部寬度在下限值與上限值的臨界值範圍時的判斷結果。又，在判斷連續區域是否為缺口部時，也可只判斷自邊緣起算的距離或寬度，來取代判斷自邊緣起算的距離與寬度。另外，這些組合可予以適當變更。這種方式在檢測邊緣11的缺陷部分時亦屬相同。
此外，缺口檢測裝置1036也可在計算裝置1035所計算的第一距離資訊與第二距離資訊的差(亦即，距離差資訊)中，檢測其值的大小較預先指定第一臨界值為大的部分，並取得表示與經檢測的部分對應的旋轉角度資訊，作為表示工件10的缺口部的資訊。在工件10為無凹凸的圓形時的自缺口部邊緣起算的距離，一般是比存在於工件10的邊緣的崩缺等的距離更深。而且，缺口部的深度(自邊緣起算的距離)為已知的值。因此，透過將第一臨界值設定為較崩缺等的深度(自邊緣起算的距離)為大，且較已知的缺口部深度(自邊緣起算的距離)為小的值，就可檢測與缺口部對應的一個以上距離差資訊，並可取得表示缺口部的資訊。
第一臨界值也可為例如值的大小的臨界值。所謂值的大小較第一臨界值為大的距離差資訊的檢測，也可為例如絕對值的值較第一臨界值為大的 距離差資訊的檢測。這種情形對後述的第二臨界值亦屬相同樣。
還有，與缺口部對應的距離差資訊的值是否成為正值或負值，依從第一距離資訊減去第二距離資訊以取得距離差資訊、或從第二距離資訊減去第一距離資訊以取得距離差資訊而有不同。
缺口檢測裝置1036對數值的大小較第一臨界值為大的複數個距離差資訊、且對應的旋轉角度相連續的複數個距離差資訊進行檢測時，也可將該複數個旋轉角度群組化。而且，缺口檢測裝置1036也可取得再具有表示該群組的資訊的表示缺口部的資訊。表示群組的資訊為例如表示對應旋轉角度的範圍的資訊、或對應旋轉角度的集合、或賦予對應旋轉角度的群組識別符等。這種情形對後述的表示缺陷部分群組的資訊亦屬相同。此外，此時的旋轉角度的一個群組也可以為例如與一個缺口部上的複數個位置對應的複數個旋轉角度、或表示缺口部範圍的資訊。
還有，缺口檢測裝置1036也可將檢測值的大小較第一臨界值為大、且對應的旋轉角度具有預先指定超過二個以上數值的相連續複數個距離差資訊的區域，作為缺口部。一般，由於缺口部在工件10的邊緣上設定於寬廣範圍，故依此方式進行檢測，可更確實地檢測缺口部。
缺口檢測裝置1036也可對一個工件10檢測複數個缺口部。
缺陷檢測裝置1037使用計算裝置1035所計算的第一距離資訊與第二距離資訊的差(即，距離差資訊)來取得關於工件10的邊緣11的缺陷部分的資訊。
例如，缺陷檢測裝置1037會使用計算裝置1035計算所得的第一距離資訊與第二距離資訊的差、及關於缺陷部分大小的一個以上臨界值，以檢測工件10的邊緣11的缺陷部分，並取得關於經檢測的缺陷部分的資訊。
例如，缺陷檢測裝置1037會例如在計算裝置1035計算所得的距離差資訊中，檢測出值的大小在表示缺陷部分自邊緣起算距離下限值的臨界值以上的距離差資訊，檢測後，即取得關於缺陷部分的資訊。還有，也可使用表示缺陷部分深度下限值的臨界值、及表示缺陷部分高度下限值的臨界值，來取代使用有關缺陷部分自邊緣起算距離的下限值作為臨界值，以檢測其值非為表示缺陷部分深度下限值的臨界值與表示缺陷部分高度下限值的臨界 值間的值的距離差資訊。
再者，缺陷檢測裝置1037也可例如使用計算裝置1035計算所得的距離差資訊，對工件10的邊緣11處朝工件10的內側呈凹狀的連續區域、或朝工件10的外側呈凸狀的連續區域進行檢測，並判斷該凹狀區域或凸狀區域內有無距離差資訊值的大小在表示缺陷部分自邊緣起算距離下限值的臨界值以上的部分，若有臨界值以上的部分，即將該凹狀區域或凸狀區域判斷為缺陷部分，並取得關於該缺陷部分的資訊，例如旋轉角度範圍的資訊。
此外，缺陷檢測裝置1037也可例如使用計算裝置1035計算所得的距離差資訊，對工件10的邊緣11處朝工件10的內側呈凹狀的連續區域、或朝工件10的外側呈凸狀的連續區域進行檢測，就該凹狀區域或凸狀區域的寬度是否在缺陷部分寬度下限值的臨界值以上加以判斷，若在下限值以上，則將該凹狀區域或凸狀區域判斷為缺陷部，並取得關於該缺陷部分的資訊。
還有，在連續區域為凹狀時及為凸狀時，可使用不同的臨界值，也可使用相同的臨界值，作為用以檢測上述的連續區域是否為缺陷部分所使用的一個以上臨界值。
或者，也可將上述依深度進行的判斷與依寬度進行的判斷加以組合，在自邊緣起算的距離為臨界值以上，且寬度為臨界值以上時，將連續區域判斷為缺陷部分。
再者，缺陷檢測裝置1037也可在例如計算裝置1035計算所得的第一距離資訊和第二距離資訊的差(亦即，距離差資訊)中，將值的大小較預先指定第二臨界值為大的部分進行檢測，然後，可取得關於經檢測的部分的資訊，作為關於工件10的邊緣11的缺陷部分資訊。
第二臨界值為用以判別工件10的邊緣11的缺陷不存在部分、及工件10的邊緣11的缺陷部分的臨界值。例如，工件10的邊緣11不存在缺陷的部分中，第一距離資訊與第二距離資訊的值的差，即為取得第一距離資訊時的測定誤差程度的差。另一方面，在缺陷存在的部分，該差會即為充分大於測定誤差的差。因此，透過將第二臨界值設定在例如較測定誤差為大的值，就可檢測工件10的邊緣11的缺陷部分。
關於經檢測部分的資訊(亦即，關於經檢測的距離差資訊)，是指例如表示與經檢測的距離差資訊對應的旋轉角度的資訊、或經檢測的距離差資訊與表示對應的旋轉角度的資訊的組對。例如，經檢測的距離差資訊可以為表示缺陷部分的深度或高度的資訊。
還有，缺陷部分是否像毛邊那樣凸出工件10的外側、或像崩缺那樣朝工件10的內側凹入的部分，由於可藉例如第一距離資訊的基準點等及距離差資訊碼來判斷，故缺陷檢測裝置1037也可藉距離差資訊碼來判斷缺陷部分是否為向外側凸出的形狀。而且，缺陷檢測裝置1037也可取得關於再具有該檢測結果的缺陷部分的資訊。
此外，缺陷檢測裝置1037對數值的大小較第二臨界值為大、且對應的旋轉角度為相連續的複數個距離差資訊進行檢測後，也可將該複數個距離差資訊或複數個旋轉角度群組化。而且，缺陷檢測裝置1037也可取得關於再具有表示該群組的資訊的缺陷部分資訊。此種情況的距離差資訊的一個群組也可以為例如針對一個缺陷部分上的複數個位置的距離差資訊。此外，此時的旋轉角度的一個群組也可以為例如表示一個缺陷部分上的複數個位置的複數個旋轉角度、或表示缺陷部分範圍的資訊。
另外，在上述的處理的情形中，工件10的定向扁平部等缺口部也會被當作缺陷部分而受到檢測。在缺口部被當作缺陷部分來檢測也沒有問題的情形中，用上述的處理即可，但缺口部部當作缺陷部分檢測時，就不要將缺口部當缺陷部分檢測，或者，必須把缺口部從缺陷部分排除。
因此，例如缺陷檢測裝置1037在使用第二臨界值檢測所得的距離差資訊中就對應的旋轉角度為超過二個以上預定數相連續的複數個距離差資訊加以檢測。該預定數設定為與例如設在工件10的缺口部的長度(亦即，旋轉角度)相應的數目。而且，透過將依此方式檢測所得的複數個距離差資訊從缺陷部分排除，就可將缺口部除開，而以優異精確度檢測缺陷部分。
或者，缺口檢測裝置1036也可將所取得的表示缺口部的旋轉角度除外，僅針對對應的旋轉角度的距離差資訊，使用與上述同樣的第二臨界值進行缺陷部分的檢測處理。
或者，缺陷檢測裝置1037也可在計算裝置1035計算所得的第一距 離資訊與第二距離資訊的差(亦即，距離差資訊)中，就值的大小較預先指定的第一臨界值為小、且較第二臨界值(其值的大小亦較該第一臨界值為小)為大的部分進行檢測。然後，取得關於檢測部分的資訊，作為有關工件10的邊緣11的缺陷部分資訊。又，缺陷檢測裝置1037也可對值的大小和第一臨界值相同的距離差資訊也加以檢測。第一臨界值為例如上述那種用以檢測工件10的缺口部的臨界值。第二臨界值與上述同樣。透過此種方式，即可不檢測較第一臨界值為大的距離差資訊，而依不包含缺口部的方式以優異精確度檢測缺陷部分。
輸出部104將取得部103所取得用以使工件對準位置的資訊進行輸出。再者，輸出部104將取得部103所取得用以特定工件的的朝向的資訊進行輸出。此外，輸出部104將取得部103所取得關於缺陷部分的資訊進行輸出。例如，輸出部104將取得部103所取得用以使工件對準位置之資訊的修正資訊予以輸出。再者，輸出部104將取得部103所取得特定工件朝向用資訊的缺口部表示資訊予以輸出。這些輸出也可具有工件10的識別符。
此處所謂的輸出，是包含對顯示器的顯示、使用投影機的投影、聲音輸出、警示燈的亮燈、以印表機印刷、對外部裝置傳送、對記錄媒體儲存、處理結果朝其他處理裝置或其他程式等遞交等概念。輸出部104可藉由例如輸出裝置、或輸出裝置的驅動器等來實現。這種情形在後述的距離差相關輸出裝置1039等亦屬相同。
例如，輸出部104也可將用以使工件10對準位置的資訊、及用以特定工件10的朝向的資訊輸出到後述的工件輸送裝置2。而且，工件輸送裝置2也可在使用這些資訊從邊緣位置檢測器102取出工件10、或輸送工件10、或將工件10載置於預定場所時，透過修正工件10的朝向或位置將工件10朝向適當方向載置於適當位置。
此外，例如，輸出部104也可將工件10的對準位置用資訊、及工件10的朝向特定用資訊傳送到邊緣位置檢測器102等。透過使用這些資訊，例如使邊緣位置檢測器102將工件10位置或方向變更到適當位置或方向，並將工件10送到工件輸送裝置2，工件輸送裝置2即可將工件10朝向適當方向載置於適當位置。
例如，輸出部104透過輸出修正資訊，受理該修正資訊的工件輸送裝置2等就可在利用工件10時適當修正工件10的位置，使工件10的旋轉中心成為工件10的中心。例如，也可透過將修正資訊輸出到輸送工件10的工件輸送裝置2等，讓工件輸送裝置2等使工件10的旋轉中心修正為工件10的中心，並輸送工件10。再者，也可透過將修正資訊輸出到具有用以修正工件10位置的移動裝置(未圖示)等的邊緣位置檢測器102等，藉由邊緣位置檢測器102等使轉盤52移動或旋轉，而在將工件10遞交給工件輸送裝置2時，使工件10的位置移動，俾使旋轉中心成為工件10的中心。
此外，透過由輸出部104將表示工件缺口部的資訊輸出，受理該修正資訊的工件輸送裝置2或邊緣位置檢測器102等就可將工件10的朝向適當修正，使工件10的朝向成為預先指定的朝向。
輸出部104也可按照取得部103所取得關於缺陷部分的資訊再進行異常輸出。所謂的異常輸出，是指工件10的邊緣11有異常時的輸出。異常輸出可為表示工件10的邊緣11有異常情形的輸出，也可為對外部裝置等指示執行對應異常動作的輸出。
所謂異常輸出，是指例如表示發生異常情形的警告等的輸出。所謂警告的輸出，是指例如警告聲音的輸出、監視器等的警告表示、警示燈的點亮等。警告的輸出也可具有經檢測缺陷部分的工件10的識別符等。
再者，異常輸出也可為指示停止對工件10進行操作的輸出。所謂對工件10進行操作，是指以工件輸送裝置2輸送工件10、邊緣位置檢測器102等對工件10進行定位等、工件輸送裝置2的輸送對象對工件10執行預先指定處理等。輸出部104將例如停止操作的指示對工件輸送裝置2、邊緣位置檢測器102、或對工件10執行處理的處理裝置(未圖示)等輸出。藉此方式，就可對邊緣有異常的工件10停止操作。
此外，異常輸出也可為例如檢測到有異常的工件10的回收指示的輸出。此處的回收，例如，使之移動到預先指定的回收用場所、將工件10從一般的處理途徑除外、使之避開、從輸送路徑除開等。例如，輸出部104會將檢測到有異常的工件10的回收指示輸出到工件輸送裝置2等。透過工件輸送裝置2依照該指示將工件10輸送到預先指定的回收用場所等，即可 不對檢測到有異常的工件進行後續的操作或處理等。此外，也可對所回收的工件進行缺陷檢査等。
輸出部104也可在例如取得部103取得關於一個缺陷部分的資訊時進行異常輸出。再者，輸出部104也可在取得部103所取得關於缺陷部分的資訊符合預先指定條件時，進行異常輸出。例如，也可從取得部103所取得關於缺陷部分的資訊，來判斷取得部103是否檢測到預先指定的k個(k為2以上的整數)以上缺陷部分，在判斷為檢測到有k個以上缺陷部分時，就進行異常輸出。此外，取得部103所取得關於缺陷部分的資訊中，包含了表示自邊緣起算距離的最大值為預先指定值以上的缺陷部分資訊時，就進行異常輸出。
評估相關資訊受理部105受理評估相關資訊，該評估相關資訊為針對一個或兩個以上工件10的邊緣11的缺陷部分進行評估的相關資訊。評估相關資訊受理部105較佳為受理有關複數個工件10的評估相關資訊。
所謂評估相關資訊，是指例如評估用於缺陷部分檢測處理的一個以上臨界值所使用的資訊。用於缺陷部分檢測處理的一個以上臨界值，是為例如關於缺陷部分大小的一個以上臨界值。
評估相關資訊是指一種資訊，其中具有表示例如在工件處理裝置1判斷為無缺陷部分的工件10(例如，取得部103未能取得關於缺陷部分資訊的工件10)中實際上有無缺陷的資訊。再者，評估相關資訊是指一種資訊，其中具有表示例如在工件處理裝置1判斷為有缺陷部分的工件10(例如，取得部103已取得關於缺陷部分資訊的工件10)中實際有無缺陷、或有否評估為有缺陷的資訊。例如，表示實際有無缺陷的資訊，也可為表示工件10在經工件處理裝置1處理後的處理工程中可否正常利用的資訊(例如，表示是否未破損的資訊)、或表示對檢測到有缺陷部分的工件10執行缺陷部分檢測的再檢査(亦包含目視等)結果的資訊。檢測到有缺陷部分的工件10，也可為經由異常輸出而回收的工件10。
又，評估相關資訊也可為一種資訊，其中包含例如表示缺陷部分檢測正確或錯誤的正誤資訊。正誤資訊是為表示工件處理裝置1的缺陷部分檢測結果是否正確的資訊。例如，對取得部103未取得關於缺陷部分的資訊的 工件10評估實際有無缺陷，若無缺陷，則在評估相關資訊中儲存表示取得部103的缺陷部分檢測正確的正誤資訊，若有缺陷，則儲存表示缺陷部分的檢測不正確的正誤資訊。此外，例如，對取得部103取得關於缺陷部分資訊的工件10評估實際有無缺陷，若無缺陷，則在評估相關資訊儲存表示取得部103的缺陷部分檢測不正確的正誤資訊，若有缺陷，就儲存表示缺陷部分檢測正確的正誤資訊。缺陷部分檢測的正誤可從例如上述的工件10的再檢査結果、或表示工件10在後續的處理中可否正常利用的資訊來判斷。
此外，評估相關資訊也可再具有關於工件處理裝置1的後續程序處理的資訊。例如，也可為表示一個或兩個以上後續程序處理的種類(例如，熱處理、CVD、CMP、蝕刻等)的資訊、用於處理的裝置的識別符、該處理的處理時間或壓力、温度等參數、用於處理的氣體種類或濃度、用於處理的液體種類或濃度等。
又，評估相關資訊也可包含工件10的規格、工件材料種類或組成等關於工件10的資訊。
再者，評估相關資訊也可具有取得部103所取得關於缺陷部分的資訊，例如關於缺陷部分大小的資訊、或以工件10的再檢査等所取得關於相同缺陷部分的資訊等。
還有，評估相關資訊也可具有用於檢測缺陷部分處理關於缺陷部分大小的一個以上臨界值。但，對現在取得部103利用中的一個以上臨界值進行評估的情況，且為在使用藉由該現在的臨界值針對已進行缺陷部分檢測處理的工件10評估相關資訊的情況下，評估相關資訊也可不具有臨界值。
所謂的受理，是包含從鍵盤或滑鼠、觸控板等輸入裝置輸入資訊的受理、經由有線或無線通訊線路傳送的資訊接收、從光碟或磁碟、半導體記憶體等記錄媒體讀取的資訊受理等概念。
評估相關資訊受理部105所受理的評估相關資訊是儲存於例如未圖示的儲存部等。
評估相關資訊受理部105得以輸入裝置的驅動器、選單畫面的控制軟體、或接收裝置等來實現。
設定部106使用評估相關資訊，來取得取得部103用於缺陷部分檢 測關於大小的一個或兩個以上臨界值。然後，使用所取得的臨界值，設定取得部103用於缺陷部分檢測之關於大小的臨界值。此處的設定亦包含例如藉由內定(預設default)等或使用者等所設定的取得部103用於缺陷部分檢測的一個或兩個以上臨界值的更新(例如覆寫(overwrite)等概念。
例如，在取得部103已使用有關缺陷部分自邊緣11起算距離的一個臨界值，對工件10進行缺陷部分檢測時，判斷為未檢測到缺陷部分的一個或兩個以上的預定數以上的工件10中，具有表示經判斷為實際有缺陷部分的工件10的資訊的評估相關資訊已為評估相關資訊受理部105所受理時，設定部106即取得較由取得部103所使用有關缺陷部分自邊緣11起算的距離的一個臨界值的值更容易檢測缺陷部分的臨界值(例如，較小值的臨界值)，並以該臨界值來更新取得部103所利用有關自邊緣11起算距離的臨界值。藉此方式，自邊緣11起算距離的變化更小的部分也可作為缺陷部分加以檢測，而可減少缺陷部分的檢測遺漏。另外，在此情況中，也可將尚有以再檢査等取得的表示缺陷部分自邊緣11起算距離的資訊的評估相關資訊加以受理，使用雖未檢測到缺陷部分但實際上有缺陷部分的工件10的表示缺陷部分自邊緣11起算距離的資訊，而取得可檢測到該缺陷部分的臨界值。
此外，例如，在檢測到缺陷部分的一個或兩個以上的預定數工件10中，在再檢査等時，包含有表示實際上未檢測到缺陷部分的資訊的評估相關資訊已為評估相關資訊受理部105受理時，設定部106也可取得較取得部103所使用有關缺陷部分自邊緣11起算距離的一個臨界值的值更難檢測缺陷的臨界值(例如，取得較大值的臨界值)，並以該臨界值來更新取得部103正在進行利用中自邊緣11起算距離的臨界值，作為有關自邊緣起算距離的臨界值。
再者，設定部106也可使用具有正誤資訊及臨界值的評估相關資訊進行機器學習，而取得有關缺陷部分大小的一個以上臨界值。例如，設定部106會使用評估相關資訊受理部105所受理的針對複數個工件評估相關資訊的正誤資訊、關於缺陷部分大小的一個以上臨界值、及關於上述的工件處理裝置1的後續程序處理的資訊或關於工件10的資訊(例如，工件的種類等資訊)、或關於缺陷部分的資訊等中的一個以上資訊的組合使用作為學習數據 進行學習。並且，例如，工件處理裝置1針對一個以上工件10進行處理等時，在設定缺陷檢測用臨界值時，就工件10與上述學習同樣地，針對關於工件處理裝置1的後續程序處理的資訊、或關於工件10的資訊、或關於缺陷部分的資訊等其中一個以上資訊、及關於缺陷部分大小的一個以上臨界值(例如，有關自邊緣起算距離的臨界值或寬度的臨界值)而預先準備的複數個臨界值的各個的組對，透過經由上述評估相關資訊受理部105等進行輸入，並使用學習結果評估各個組對。然後，獲得具有表示可針對缺陷部分正確判斷的正誤資訊的評估結果時，也可取得包含於上述組對的臨界值之中的一個(例如，最大臨界值等)，作為有關缺陷部分大小的一個以上臨界值。而且，也可將該臨界值設定作為缺陷部分檢測用臨界值。
透過依此種方式，即可按照後續程序的處理、或工件種類等，使用適當的臨界值，以優異精確度檢測工件10的邊緣11的缺陷部分。
有關使用學習數據的學習，SVR等學習模型為可利用的公知技術。此時，學習數據也可以為教師數據。
此外，設定部106也可從評估相關資訊具有的一個關於工件10的缺陷部分資訊、及表示實際上工件10的邊緣11有無缺陷部分的資訊適當取得正誤資訊。
再者，上述中，也可學習工件10的處理結果(例如，工件10是否破損等)以取代正誤資訊，學習工件10的缺陷部分自邊緣11起算的距離以取代臨界值。此時，透過將具有關於工件處理裝置1的後續程序處理的資訊、或關於工件10的資訊、或關於缺陷部分的資訊等中的一個以上資訊、及缺陷部分自邊緣起算的各個複數個距離的複數個組對輸入學習結果，可以取得在後續程序未發生破損等的缺陷部分自邊緣起算的距離，例如，可透過將該距離當作臨界值使用，而適當的檢測缺陷部分。另外，也可透過進行這些以外的機器學習來設定關於用在缺陷檢測時的規格的臨界值，應無庸置疑。
又，設定部106也可從包含於評估相關資訊的過去所利用的臨界值、及後續程序的處理、或工件種類等所得參數等的組合，使用多元回歸分析等來製作臨界值的預測式，藉該預測式來計算與後續程序處理、或工件種類等相應的適當臨界值，以設定計算所得的臨界值。
接著，使用第3圖，就邊緣位置檢測器102的一例加以說明。
邊緣位置檢測器102具備有用以使供載置工件10的轉盤52旋轉的轉盤旋轉機構53，轉盤旋轉機構53藉電動馬達54予以驅動。檢測工件10的邊緣位置的邊緣檢測部55具有投光器55a及感測器55b。感測器55b為例如光感測器。感測器55b是一邊使輸出對應受光量保持特定關係，一邊連續性變化的裝置，可使用所謂CCD(電荷耦合元件)、PSD(位敏感測器，Position Sensitive Detector，商品名)等輸出對入射光量呈直線性變化的裝置。感測器55b相當於例如第2圖(a)的感測器15。邊緣檢測部55的感測器55b由投光器55a射出光線，藉正下方的工件10減少光量，來產生與到達光量對應的輸出。該輸出即成為表示工件10的邊緣位置的指標。編碼器56會檢測電動馬達54的旋轉量並輸出數位訊號，而電動馬達54的旋轉量則與轉盤52的旋轉角度相當。儲存部57將感測器55b的輸出及編碼器56的輸出設為1對數據，並依照轉盤52的毎一定旋轉角度來進行儲存。此外，儲存部57也可將感測器55b的輸出換算成工件10自旋轉中心至邊緣11的距離再輸出。在此具體例中，儲存部57將旋轉角度、與感測器55b的輸出換算成工件10自旋轉中心至邊緣11的距離所得的第一距離資訊的組對作為第一旋轉距離資訊，並儲存於第一旋轉距離資訊儲存部101。還有，感測器55b的輸出為類比訊號時，只要在儲存部57與感測器55b之間設置A/D(類比/數位)轉換器等即可。
另外，此處所舉出的邊緣位置檢測器102僅為一例，本發明中，只要是能取得與邊緣位置檢測器102同樣的有關工件10的複數個第一旋轉距離資訊的裝置，其他邊緣位置檢測器102也可使用。
而且，此處的邊緣位置檢測器102是就工件處理裝置1之一部分的情形來表示，但也可將邊緣位置檢測器102設為例如與工件處理裝置1不同的裝置。
其次，使用第4圖，就本實施形態的工件輸送系統的一例加以說明。
工件輸送系統1000具備工件處理裝置1、及工件輸送裝置2。工件輸送系統1000的輸送路徑1001是以例如未圖示的罩蓋(cover)等予以覆蓋。
工件輸送裝置2為進行工件10的輸送的裝置。例如，工件輸送裝 置2具備可使工件朝水平方向或垂直方向移動的輸送臂等。在載置有工件10的狀態下，藉由使該輸送臂移動，即可將工件10輸送。工件輸送裝置2本身也可具有可朝水平方向、或垂直方向移動的構造。但，工件輸送裝置2的構造等並不拘。
工件輸送裝置2會對工件處理裝置1進行工件10的傳送。所謂對工件處理裝置1進行工件10的傳送，是指例如在工件10的輸送中，將工件10輸送至工件處理裝置1，將工件交遞給工件處理裝置1，之後，從工件處理裝置1接受工件10，輸送到其他地點的動作。
工件輸送裝置2為例如進行從第一地點至工件處理裝置1之輸送、及從工件處理裝置1至第二地點之輸送的裝置。第一地點為配置有作為輸送對象的工件10的地點。第二地點為作為輸送對象的工件10的輸送目的地的地點。另外，工件輸送裝置2也可再進行從工件處理裝置1至第三地點的輸送，該第三地點則作為供載置回收用工件10的地點。例如，工件輸送裝置2也可按照自外部等輸入的指示等，將工件10輸送至第二地點或第三地點的任一地點。
此處，作為一個例子，舉出工件輸送裝置2將作為第一地點的容器4所收容的工件10輸送至工件處理裝置1的轉盤52上，並將載置於工件處理裝置1之轉盤52上的工件10輸送至作為第二地點的預先指定處理執行裝置(未圖示)的載置台6、或作為第三地點的回收用容器5內的情形加以說明。在此情況中，例如，工件輸送裝置2會經由未圖示的接收部等接收工件處理裝置1的輸出部104所輸出的異常輸出，接收到異常輸出時，即將載置於工件處理裝置1的轉盤52上的工件10輸送到作為第三地點的回收用容器5內，將工件10回收；未接收到異常輸出時，就將載置於工件處理裝置1的轉盤52上的工件10輸送至作為第二地點的預先指定處理執行裝置(未圖示)的載置台6。
此外，工件輸送裝置2也可具備：接收工件處理裝置1的輸出部104所輸出的修正資訊等工件對準位置用的資訊，並修正工件10的位置的裝置；或接收工件處理裝置1的輸出部104所輸出的缺口部表示資訊等工件朝向特定資訊，並修正工件10之朝向的裝置。
又，工件輸送裝置2也可具備用以接收工件處理裝置1的輸出部104所輸出的異常輸出，並因應接收到的異常輸出而停止工件10的輸送的裝置等。
此外，有關工件輸送裝置2的構成，是屬公知技術，故在此處省略其詳細說明。
載置台6為在對工件10執行預先指定處理的裝置(未圖示)上用以載置作為處理對象的工件10的平台。載置台6相當於上述的第二地點。執行預先指定處理的裝置也可為CVD裝置、或表面研磨裝置等任何裝置。例如，對載置於該載置台6的工件10進行預先指定的處理的裝置。。
容器4為用以收容並輸送一個或兩個以上工件10的容器。容器4相當於上述的第一地點。容器4供收容作為上述未圖示裝置的處理對象的工件10。藉工件輸送裝置2輸送並載置於載置台6的工件10收容於容器4。容器4為例如收容並輸送一個或兩個以上工件10的匣盒。容器4為例如所謂FOUP(Front Open Unified Pod，前開式晶圓運送盒)。容器4可安裝於輸送路徑1001的未圖示罩蓋(cover)或自其中卸下。輸送路1001的罩蓋設有例如供安裝容器4用的門扉(未圖示)等。
容器5為用以收容並輸送一個或兩個以上工件10的容器。容器5相當於上述的第三地點。容器5為供收容對應輸出部104所輸出的異常輸出而回收的工件10的容器。容器5供收容對應異常輸出而藉工件輸送裝置2輸送的工件10。有關容器5的其他構成等，與容器4相同。
另外，此處針對第一地點為容器4、第二地點為載置台6、第三地點為容器5的情況來說明，但各個地點也可為作為任何目的的地點。例如，第一地點也可為對工件進行預定處理的執行用裝置的載置台等。而且，第二地點也可為與容器4同樣的容器。此外，第三地點也可為進行工件檢査用檢査裝置(未圖示)的載置台等。
接著，使用第6圖的流程圖，就工件處理裝置1的一個動作例加以說明。另外，由於有關邊緣位置檢測器102取得第一旋轉距離資訊的處理是屬公知，故其說明在此容予省略。又，將邊緣位置檢測器102針對工件10取得的複數個第一旋轉距離資訊儲存於第一旋轉距離資訊儲存部101的處 理，其說明在此亦容予省略。同時，在此就設定部106不利用機器學習而取得關於缺陷部分規格的臨界值的情形為例加以說明。
(步驟S100)工件處理裝置1判斷是否為輸出修正資訊、表示缺口部的資訊及關於缺陷部分的資訊的時機。例如，工件處理裝置1會判斷針對一個工件10所取得的相當於工件10一周的複數個第一旋轉距離資訊是否已儲存第一旋轉距離資訊儲存部101，若已儲存時，則判斷為輸出上述資訊的時機；若未儲存時，即判斷為非輸出時機。或者，也可在藉邊緣位置檢測器102所執行的有關一個工件10的複數個第一旋轉距離資訊的取得處理已結束時，判斷為輸出時機。輸出時，進到步驟S101；不輸出時，進到步驟S120。
(步驟S101)合成裝置1031將與一個工件10對應的複數個第一旋轉距離資訊所包含的複數個第一距離資訊中的對應旋轉角度的差以逐次相異90度的4個第一距離資訊分別合成，並取得複數個合成距離資訊。例如，合成裝置1031會將旋轉角度值相連續的複數個第一旋轉距離資訊以旋轉角度值的範圍為90度的方式持續分割成複數個組，且將分割所得的各組的排列順序相同的第一旋轉距離資訊所具有的第一距離資訊彼此間進行合成。此處的合成是指例如平均值的計算。合成裝置1031則將取得的合成距離資訊、與分別與已合成的4個第一距離資訊對應的4個旋轉角度形成對應，並儲存於未圖示的儲存部。
(步驟S102)合成處理裝置1032將1代入作為計數器p之值。
(步驟S103)合成處理裝置1032對步驟S102所合成的合成距離資訊中從值較小者算起第p個合成距離資訊進行檢測。合成處理裝置1032對例如已檢測的合成距離資訊賦予表示已檢測的旗標或表示要刪除的旗標等資訊。也可將表示最小值的合成距離資訊進行檢測、刪除，以取代檢測第p個合成距離資訊。要刪除時，下次則從未刪除的其餘合成距離資訊中再次將表示最小值的合成距離資訊進行檢測、刪除。
(步驟S104)合成處理裝置1032將計數器p的值遞增1。
(步驟S105)合成處理裝置1032判斷計數器p的值是否在預先指定的預定數以上。若為預定數以上，即進到步驟S106；如非在預定數以上，則返回步驟S103。
(步驟S106)合成處理裝置1032將1代入作為計數器q的值。
(步驟S107)合成處理裝置1032在步驟S102所合成的合成距離資訊中，對從值較大者算起的第q個合成距離資訊進行檢測。合成處理裝置1032會例如對已檢測的合成距離資訊賦予表示已檢測的旗標或表示已刪除的旗標等資訊。另外，也可檢測、刪除表示最大值的合成距離資訊，以取代檢測第q個合成距離資訊。若刪除時，下次則從未刪除的其餘合成距離資訊再次將表示最大值的合成距離資訊進行檢測、刪除。
(步驟S108)合成處理裝置1032將計數器q的值遞增1。
(步驟S109)合成處理裝置1032判斷計數器q的值是否在預定數以上。如在預定數以上，即進到步驟S110；若非預定數以上，則返回步驟S107。
(步驟S110)合成處理裝置1032對在步驟S103及步驟S107未檢測(或未刪除)且預先指定數以上相連續的合成距離資訊進行檢測。
(步驟S111)合成處理裝置1032從已在步驟S110檢測的相連續合成距離資訊中對一個合成距離資訊(例如順序在中央的合成距離資訊)進行檢測，並取得已檢測合成距離資訊作為合成源的4個第一距離資訊、及與該第一距離資訊中的一個對應的旋轉角度。例如，在與4個第一距離資訊對應的旋轉角度中取得值最小者作為一個旋轉角度。
(步驟S112)修正資訊取得裝置1033使用步驟S111取得的4個第一距離資訊、及一個旋轉角度，取得用以使工件10的旋轉中心移動至工件10的中心的修正資訊。例如，使用上述式(1)及式(2)取得修正資訊。並且，將取得的修正資訊暫時記憶在未圖示的儲存部。
(步驟S113)第二距離資訊取得裝置1034使用在步驟S112所取得的修正資訊，取得表示工件10在邊緣11無凹凸的圓形時的旋轉角度及與旋轉角度相應的第二距離資訊的關係的關係式。例如，將修正資訊代入上述式(3)的係數而取得理想曲線式。
(步驟S114)第二距離資訊取得裝置1034將與上述的一個工件10對應的複數個第一旋轉距離資訊所對應的複數個旋轉角度分別代入步驟S113取得的關係式，並按毎個旋轉角度取得第二距離資訊。接著，將具有旋轉角度及第二距離資訊的複數個第二旋轉距離資訊儲存於未圖示的儲存部。
(步驟S115)計算裝置1035取得表示與相同旋轉角度形成對應的第一距離資訊與第二距離資訊的差的複數個距離差資訊。
(步驟S116)缺口檢測裝置1036使用複數個距離差資訊及第一臨界值取得表示缺口部的資訊。
(步驟S117)缺陷檢測裝置1037使用複數個距離差資訊及第二臨界值並進行關於缺陷部分資訊的取得處理。
(步驟S118)輸出部104按照關於缺陷部分的資訊進行異常輸出。另外，所謂按照關於缺陷部分的資訊進行異常輸出，亦包含不藉關於缺陷部分的資訊進行異常輸出，或在未取得關於缺陷部分的資訊時，不進行異常輸出的概念。
(步驟S119)輸出部104將修正資訊、表示缺口部的資訊及關於缺陷部分的資訊輸出。然後，返回步驟S100。還有，已在步驟S118進行異常輸出時，輸出部104也可不輸出表示修正資訊或缺口部的資訊。而且，輸出部10在缺陷檢測裝置1037未取得關於缺陷部分的資訊時，可不輸出關於缺陷部分的資訊。
(步驟S120)評估相關資訊受理部105判斷是否已受理評估相關資訊。已受理時，進到步驟S121；未受理時，進到步驟S122。
(步驟S121)評估相關資訊受理部105將步驟S120所受理的評估相關資訊儲存於未圖示的儲存部。然後，返回步驟S100。
(步驟S122)設定部106判斷是否為設定關於缺陷部分之規格的一個以上臨界值的時機。例如，經由未圖示的受理部等從使用者受理了臨界值設定指示時，即判斷為設定時機；未受理時，則判斷為非時機。再者，已在步驟S120受理了評估相關資訊時，或在步驟S121中受理了預先指定數的評估相關資訊時，也可判斷為設定時機。是設定時機時，進到步驟S123；非設定時機時，返回步驟S100。
(步驟S123)設定部106使用在步驟S121儲存的評估相關資訊，取得關於缺陷部分的規格的一個以上臨界值。
(步驟S124)設定部106將步驟S123取得的臨界值設定為取得部103檢測缺陷部分時要利用的臨界值。例如，將臨界值儲存於未圖示的儲存部。 另外，與已在步驟S123取得的臨界值對應的臨界值(例如，用於相同處理的臨界值)為既已設定時(例如，已設定有內定(default)的臨界值時)，設定部106則將該臨界值更新。該更新可以為設定。接著，返回步驟S100。
還有，第6圖中，是說明設定部106不利用機器學習就取得臨界值的情況，但設定部106利用機器學習來取得臨界值時，例如，在設定部106使用步驟S121所儲存的評估相關資訊進行學習，並在步驟S123取得臨界值之前，只要將與其所學習的評估相關資訊同樣的關於工件處理裝置1的後續程序處理的資訊、或關於工件10的資訊、或關於缺陷部分的資訊等其中一個以上資訊、與針對關於缺陷部分的大小的一個以上臨界值(例如，有關自邊緣起算距離的臨界值、或有關寬度的臨界值)而預先準備的各複數個臨界值的組對，經由上述評估相關資訊受理部105進行受理，且在步驟S123中，設定部106會從所受理的這些資訊及學習結果取得臨界值。此外，預先準備的複數個臨界值也可利用內定等預先儲存於未圖示的儲存部等。
另，第6圖的流程圖中，藉由電源關斷或處理結束的***，處理即告結束。
接著，使用第7圖的流程圖，就工件輸送系統1000的一個動作例加以說明。而且，此處，就工件10載置於工件處理裝置1的邊緣位置檢測器102的轉盤52上時，邊緣位置檢測器102針對工件10取得複數個第一旋轉距離資訊，並將所取得的旋轉距離資訊儲存於第一旋轉距離資訊儲存部的情況101作為一例子加以說明。
(步驟S201)工件輸送裝置2取出第一地點的工件10，例如收容於容器4的一個工件10，並輸送至工件處理裝置1。具體而言，是將工件載置於邊緣位置檢測器102的轉盤52上。
(步驟S202)邊緣位置檢測器102針對已載置於轉盤52的工件取得複數個第一旋轉距離資訊，並將所取得的第一旋轉距離資訊儲存於第一旋轉距離資訊儲存部101。
(步驟S203)工件處理裝置1進行有關工件10取得修正資訊、表示缺口部的資訊、關於缺陷部分的資訊並輸出的處理、或異常輸出的處理。另外，該處理相當於例如第6圖的流程圖中從步驟S100到步驟S119所示的工 件處理裝置1的處理。
(步驟S204)工件輸送裝置2判斷是否已從工件處理裝置1的輸出部104接收異常輸出。已接收時，進到步驟S207；尚未接收時，進到步驟S205。
(步驟S205)工件輸送裝置2使用輸出部104輸出的修正資訊及表示缺口部之資訊，將載置於邊緣位置檢測器102之轉盤52上的工件進行修正並拾起，使位置及方向符合預定的位置及方向。該項修正也可在工件輸送裝置2拾起工件10時，變更工件支持位置或方向。也可藉由變更邊緣位置檢測器102的轉盤位置或方向來進行。
(步驟S206)工件輸送裝置2將工件10輸送並載置於第二地點(例如，載置台6)。然後，將輸送處理結束。
(步驟S207)工件輸送裝置2將工件10從邊緣位置檢測器102的轉盤拾取，並輸送至回收用第三地點，此處為回收用容器5，且將工件收容於容器5內。然後，將輸送處理結束。
以下，就本實施形態的工件輸送系統1000的一個具體動作例加以說明。此處，是針對邊緣位置檢測器102具有按照輸出部104輸出的修正資訊或表示缺口部之資訊使轉盤52的位置或方向變更的裝置等的情況來說明。此外，此處就工件10為晶圓10的情況為例來說明。
工件輸送裝置2會將儲存於容器4的一片晶圓10取出，輸送至工件處理裝置1，並載置於如第3圖所示的邊緣位置檢測器102的轉盤52上。
晶圓10載置於轉盤52上時，邊緣位置檢測器102即一邊使晶圓10旋轉，一邊取得旋轉角度與第一距離資訊，儲存部57則將具有旋轉角度與第一距離資訊的組對的複數個第一旋轉距離資訊儲存於第一旋轉距離資訊儲存部101。
第8圖為對儲存於第一旋轉距離資訊儲存部101的第一旋轉距離資訊執行管理的第一旋轉距離資訊管理表的圖示。該第一旋轉距離資訊以如上述方式使用如第3圖所示的邊緣位置檢測器102所取得者。此處，為方便說明，就儲存有使晶圓10作旋轉時依序按毎0.036度取得的第一旋轉距離資訊(亦即，針對一片晶圓儲存有10000個紀錄的第一旋轉距離資訊)的情況為例來說明。
第一旋轉距離資訊管理表具有所謂「晶圓ID」、「旋轉角度」、及「第一距離資訊」等屬性。「晶圓ID」為晶圓的識別資訊。「旋轉角度」為晶圓的旋轉角度。「第一距離資訊」為從晶圓之旋轉中心至晶圓邊緣的距離。另外，「第一距離資訊」的rm(m為從1至10000的整數)係對應的旋轉角度為0.036×m(度)的第一距離資訊。rm的值設為任意值。在第一旋轉距離資訊管理表中，各列(紀錄)分別表示第一旋轉距離資訊。
第9圖為用以說明第一旋轉距離資訊的旋轉角度與第一距離資訊的關係的曲線圖。該曲線圖是有關「晶圓ID」為「W001」的晶圓(以下，稱為晶圓W001)的第一旋轉距離資訊的曲線圖，其中表示了旋轉角度與第一距離資訊的關係。在晶圓的旋轉中心自晶圓的中心偏移時，如第9圖所示，曲線圖整體描繪了例如以360度為一周期的曲線狀波形。圖中，凹部20為與晶圓10的定向扁平部對應的部分。此外，凹部21及22為與晶圓10的崩缺對應的部分。同時，凸部23是與晶圓10的毛邊對應的部分。
首先，使用者等已進行例如指定以晶圓W001為修正資訊等的取得對象的操作。
第10圖為用以說明合成裝置1031針對第一旋轉距離資訊進行的處理中表示第一旋轉距離資訊的旋轉角度與第一距離資訊的關係的曲線圖，第10圖(a)為旋轉角度在0度以上未達90度範圍的曲線圖、第10圖(b)為旋轉角度在90度以上未達180度範圍的曲線圖、第10圖(c)為旋轉角度在180度以上未達270度範圍的曲線圖，第10圖(d)為旋轉角度在270度以上未達360度範圍的曲線圖、第10圖(e)是將自第10圖(a)至第10圖(d)的曲線圖按照旋轉角度的排列順序進行合成的曲線圖。第10圖(f)是表示從第10圖(e)的曲線圖刪除值的變化較大部分的狀態的曲線圖。
合成裝置1031從第8圖所示的第一旋轉距離資訊管理表取得「晶圓ID」為「W001」的紀錄，並將所取得的紀錄按毎90度「旋轉角度」分割為4個。具體而言，分割為：「旋轉角度」在0度以上未達90度的紀錄的組、「旋轉角度」在90度以上未達180度的紀錄的組、「旋轉角度」在180度以上未達270度的紀錄的組、「旋轉角度」在270度以上未達360度的紀錄的組。表示各組的紀錄的曲線圖即為第10圖(a)至第10圖(d)所示的曲線圖。
然後，合成裝置1031將分割所得的各組的排列順序相同的第一旋轉距離資訊所具有的第一距離資訊彼此間進行合成。此處的合成是指平均值的計算。例如，合成裝置1031取得各個組的紀錄從旋轉角度值較小者依序排列時的第一個紀錄(亦即「旋轉角度」為「0」、「90」、「180」、及「270」的紀錄的「第一距離資訊」值「r1」、「r2501」、「r5001」、及「r7501」的平均值R1)作為第一個合成距離資訊，並與這些旋轉角度形成對應，儲存於未圖示的儲存部。此外，R1等於(r1+r2501+r5001+r7501)/4。
其次，同樣地，取得各個組的第二個紀錄，亦即「旋轉角度」為「0.036」、「90.036」、「180.036」、及「270.036」的紀錄的「第一距離資訊」值「r2」、「r2502」、「r5002」、及「r7502」的平均值R2，作為第二個合成距離資訊，並與這些旋轉角度形成對應，儲存於未圖示的儲存部。針對第三個的後紀錄，也進行同樣的處理。
第11圖為管理合成裝置1031所取得的合成距離資訊的合成距離資訊管理表。合成距離資訊管理表具有所謂「旋轉角度」、「合成距離」的屬性。「旋轉角度」是指分別與所合成的4個第一距離資訊對應的旋轉角度。「合成距離」是指合成距離資訊。此外，Rm設為等於(rm+rm+2500+rm+5000+rm+7500)/4。
第10圖(e)是以曲線圖表示合成裝置1031所取得的合成距離資訊。另外，此處，各「旋轉角度」中值最小的角度係表示在橫軸。如第10圖(e)所示，透過將旋轉角度逐次相異90度的第一距離資訊進行合成，因為如第9圖所示的旋轉中心從晶圓中心偏移所生的波形即得以消除，使曲線圖整體成為直線狀。但，與存在於合成前連續複數個第一距離資訊的崩缺或毛邊等缺陷部分、定向扁平部等缺口部對應的凹部20、21及22或凸部23，雖因合成而使其值產生變化，但因未被消除，所以還保留下來。
接著，合成處理裝置1032會在第11圖所示的合成裝置1031進行合成所得的複數個合成距離資訊中反覆對最小值的合成距離資訊進行檢測並刪除的處理，直到達預先指定次數為止。該刪除也可為將表示已刪除的旗標資訊賦予到合成距離資訊。藉此方式，例如，第10圖(e)中，與值的大小變化相對於其他部分較大的定向扁平部對應的凹部20的複數個合成距離資 訊就被依序刪除。而且，繼定向扁平部之後，與值的大小變化相對於其他部分的較大的崩缺對應的凹部21、22的合成距離資訊就被依序刪除。
其次，合成處理裝置1032會在僅刪除預先指定次數的最小值所剩餘的複數個合成距離資訊中，與上述同樣的反覆進行檢測並刪除最大值的合成距離資訊的處理，直到達預先指定次數為止。藉此方式，例如，第10圖(e)中，與值的大小變化比其他部分大的毛邊對應的凸部23的合成距離資訊就被依序刪除。此外，上述的各個刪除的次數較佳為透過反覆進行實驗等來決定。此外，例如定向扁平部等缺口部存在側的檢測及刪除次數(此處為最小值的檢測及刪除次數)較佳為設成多於定向扁平部等缺口部不存在側的檢測及刪除次數(此處為最大值的檢測及刪除次數)。
藉此方式，即可從第11圖所示的合成距離資訊檢測並刪除值的大小變化較大的部分。未經檢測的其餘合成距離資訊(亦即，未被刪除的剩餘合成距離資訊)就形成第10圖(f)的樣態。該未經檢測的其餘合成距離資訊中的二個以上相連續的合成距離資訊為變化較小的複數個合成距離資訊。
其次，合成處理裝置1032會從未經檢測的(此處為未經刪除)的其餘相連續的合成距離資訊對一個合成距離資訊進行檢測。此處，是按相連續的毎複數個合成距離資訊檢測相連續的合成距離資訊數，並檢測相連續的數最多的部分中其排列順序位在中央的一個合成距離資訊。此處，例如，旋轉角度θ從θ600到θ1200範圍的合成距離資訊，具體而言，第10圖(f)的區域25的合成距離資訊係相連續，同時其連續數較其他相連續的部分為多時，合成處理裝置1032會檢測位於該範圍的中央的合成距離資訊，具體而言，是檢測對應的旋轉角度為θ900的合成距離資訊。另外，θm(m為1至10000的整數)表示例如使晶圓W001逐次以0.036度旋轉移動600次的旋轉角度，亦即，旋轉角度0.036×m(度)。θ600即為例如使晶圓W001旋轉0.036×600(度)時的旋轉角度。
再者，合成處理裝置1032會從第11圖所示的合成距離資訊管理表取得與經檢測的合成距離資訊的合成前的4個第一距離資訊對應的4個旋轉角度。例如，第11圖所示的合成距離資訊管理表中，檢測包含與上述經檢測的合成距離資訊對應的旋轉角度θ度的紀錄，作為「旋轉角度」的值，並 取得包含於該紀錄的全部「旋轉角度」的值。或者，將90度、180度、270度依序加算到旋轉角度θ900，並取得4個合成前旋轉角度。此處，是設為已取得θ900、θ900+90度、θ900+180度、θ900+270度作為旋轉角度。接著，合成處理裝置1032會從第8圖所示的第一旋轉距離資訊管理表取得分別與所取得的4個旋轉角度對應的4個第一距離資訊r900、r3400、r5900、及r8400。
由於依此方式取得的4個第一距離資訊是針對晶圓的不存在缺口部、毛邊、崩缺等的邊緣所取得的第一距離資訊，所以是從影響較少的缺口部或缺陷部分的晶圓旋轉中心到邊緣的距離。
修正資訊取得裝置1033會從例如未圖示的儲存部等讀取上述式(1)及式(2)，並將合成處理裝置1032所取得的4個第一距離資訊及與該第一距離資訊對應的旋轉角度之一(此處為上述取得的最小值的旋轉角度θ900)代入式(1)及式(2)，以計算用於使晶圓W001之旋轉中心移動到晶圓W001的中心的修正資訊(亦即，表示移動方向的資訊的角度、及移動量的長度)。此處，是設為已取得角度α1及長度h1作為修正資訊。修正資訊取得裝置1033則將所取得的修正資訊暫時記憶在例如未圖示的儲存部等。
已接收修正資訊的第二距離資訊取得裝置1034會從未圖示的儲存部讀取上述式(3)，將作為修正資訊的角度α1及長度h1代入該式(3)，而取得理想曲線式。
第二距離資訊取得裝置1034則將與複數個第一旋轉距離資訊對應的複數個旋轉角度依序代入所取得的理想曲線式，依序取得第二距離資訊。具體而言，將從0度開始逐次以0.036度依序増加其值直到即將到達360度之前時的各個旋轉角度代入理想曲線式，以依序計算第二距離資訊。然後，將具有所代入的旋轉角度與所取得的第二距離資訊的第二旋轉距離資訊儲存於未圖示的儲存部。
第12圖是為用以管理第二距離資訊取得裝置1034所取得並儲存的第二旋轉距離資訊的第二旋轉距離資訊管理表的圖示。第二旋轉距離資訊管理表具有「旋轉角度」及「第二距離資訊」。「第二距離資訊」是指例如晶圓W001為邊緣無凹凸的理想型圓形晶圓時，與旋轉角度相應從晶圓W001的旋轉中心至邊緣的距離。此外，「第二距離資訊」rim(m為從1至10000的 整)設為對應的旋轉角度0.036×m(度)的第二距離資訊。
第13圖是為表示第二距離資訊取得裝置1034所取得的複數個第二旋轉距離資訊的旋轉角度與第二距離資訊的關係的曲線圖。橫軸表示旋轉角度θ，縱軸表示第二距離資訊ri。
計算裝置1035會依序取得儲存於第一旋轉距離資訊的複數個第一距離資訊、及第二距離資訊取得裝置1034所取得的複數個第二距離資訊中與相同旋轉角度形成對應的第一距離資訊與第二距離資訊的差。此處，計算裝置1035是取得自第二距離資訊減去第一距離資訊所得的值作為上述差值的一例。例如，從與旋轉角度「0度」對應的第二距離資訊「ri1」減去與旋轉角度「0」對應的第一距離資訊「r1」，而取得與旋轉角度「0度」對應的距離差資訊「ri1-r1」。此外，例如，從與旋轉角度「0.036度」對應的第二距離資訊「ri2」減去與旋轉角度「0.036」對應的第一距離資訊「r2」，並取得與旋轉角度「0.036度」對應的距離差資訊「ri2-r2」。針對其他的旋轉角度也進行同樣的處理。計算裝置1035會將所取得的值作為距離差資訊，並與旋轉角度形成對應儲存於未圖示的儲存部。
第14圖是為用以管理計算裝置1035所取得的距離差資訊的距離差資訊管理表。距離差資訊管理表具有所謂「旋轉角度」與「距離差」的屬性。「距離差」是指距離差資訊。
第15圖包含：表示計算裝置1035所取得的距離差資訊與旋轉角度的關係的曲線圖(第15圖(a))、用以說明缺口檢測裝置1036所執行的處理的曲線圖(第15圖(b))、及用以說明缺陷檢測裝置1037所執行的處理的曲線圖(第15圖(c))。圖中，橫軸表示旋轉角度，縱軸表示距離差資訊的值。另外，此處用以說明例如第15圖的曲線圖的縱軸標度，是係使用較第9圖或第13圖等的縱軸標度經放大的標度。
將計算裝置1035所取得的距離差資訊以曲線圖表示時，即成為如第15圖(a)的曲線圖。該曲線圖為從具有例如第9圖所示的定向扁平部或毛邊或崩缺等的實測值等的第一距離資訊的曲線圖縱軸方向值減去使第13圖所示的邊緣無凹凸的晶圓旋轉時的理想型曲線圖的縱軸方向值的曲線圖。因此，針對在晶圓W001的邊緣無凹凸的部分所取得的距離差資訊，其值會成 為大致近於0的一定值，只有在凹凸的部分會呈與其他部分不同大小的正或負值顯現於曲線圖。例如，第15圖所示的曲線圖中，與定向扁平部對應的凸部20a、與崩缺對應的凸部21a、22a、與毛邊對應的凹部23a會以值的大小有變化的部分顯現出來，其他部分，則呈大致平行於x軸的近乎直線形狀。
缺口檢測裝置1036會在計算裝置1035所取得的距離差資訊中對值的大小較預先指定的第一臨界值TH1為大的距離差資訊進行檢測。第一臨界值TH1是為較一般發生於晶圓邊緣的崩缺深度為大的長度，且預先設定成正值，該正值是表示其長度充分短於定向扁平部的深度。該第一臨界值TH1為例如有關大小的臨界值。此處，為了檢測值的大小較第一臨界值TH1為大的正或負的距離差資訊，而檢測較TH1為大的距離差資訊，或者，檢測其值較-TH1為小的距離差資訊。
將第一臨界值TH1表示於表示距離差資訊與旋轉角度的關係的曲線圖時，即形成如第15圖(b)的樣態。
另外，在已知距離差資訊為從第二距離資訊減去第一距離資訊之值的情況中，由於與定向扁平部對應的距離差資訊值為正值，故檢測其值較-TH1為小的距離差資訊的處理可以省略。
缺口檢測裝置1036檢測其大小較第一臨界值TH1為大的距離差資訊，並取得與所檢測的距離差資訊對應的旋轉角度。例如，缺口檢測裝置1036會檢測與第15圖(b)的定向扁平部對應的凸部20a較TH1為大的值的距離差資訊。然後，缺口檢測裝置1036會取得與已檢測的距離差資訊對應的旋轉角度的最小值及最大值，作為晶圓W001的缺口部的定向扁平部的位置表示資訊。例如，設缺口檢測手裝置036所取得的最小值為θ3800，最大值為θ4400。缺口檢測裝置1036會將所取得的最小值θ3800與最大值θ4400儲存於未圖示的儲存部。
缺陷檢測裝置1037在計算裝置1035所取得的距離差資訊中，對其大小較預先指定的第二臨界值TH2為大的距離差資訊進行檢測。但在此處，大小較上述的第一臨界值TH1為大的距離差資訊是為不予檢測。第二臨界值TH2是大小較第一臨界值TH1為小的值，並設定為大於0的值。此外，距離差資訊由於會因第一距離資訊的測定誤差等而取得0以外的值，故將第二臨 界值TH2設定為經考量測定該誤差分後的值。該第二臨界值TH2是為例如用以檢測邊緣缺陷部分有關大小的臨界值。此處，為了檢測其大小較第二臨界值TH2為大的正或負的距離差資訊，而將較TH2為大的距離差資訊、或者其值較-TH2為小的距離差資訊加以檢測。
若將第二臨界值TH2表示於表示距離差資訊與旋轉角度的關係的曲線圖時，即如第15圖(c)所示。
而且，此處，也可與上述同樣地，將較-TH2小值的距離差資訊的檢測處理予以省略。
缺陷檢測裝置1037會檢測值較第二臨界值TH2大的距離差資訊，並取得與檢測所得的距離差資訊對應的旋轉角度。例如，缺陷檢測裝置1037會檢測其值較(與第15圖(c)的缺陷部分對應的)凸部21a、22a的TH2為大的部分、及其值較(與缺陷部分對應的)凹部23a的-TH2為小的部分。然後，缺陷檢測裝置1037會在所檢測的距離差資訊中，對對應的旋轉角度相連續的距離差資訊進行檢測，並取得與相連續的距離差資訊對應的旋轉角度的最小值及最大值，分別作為表示晶圓W001的缺陷部分位置的資訊。例如，有關凸部21a，為取得了旋轉角度的最小值θ550與最大值θ558。此外，例如，有關凸部22a，為取得了旋轉角度的最小值θ7446與最大值θ7450。又，例如，有關凹部23a，為取得了旋轉角度的最小值θ8738與最大值θ8743。
再者，關於作為較TH2為大的部分所檢測到的距離差資訊，亦即，分別與凸部21a、22a對應的旋轉角度的最小值與最大值，還取得表示崩缺的資訊作為表示缺陷部分種類的資訊。而且，與作為較-TH2為小的部分所檢測的距離差資訊對應的旋轉角度，亦即，關於與凹部23a對應的最小值與最大值，還取得表示毛邊的資訊作為表示缺陷部分種類的資訊。
此外，缺陷檢測裝置1037會取得旋轉角度相連續的距離差資訊的絕對值的最大值，作為表示缺陷部分大小，例如表示毛邊高度、或崩缺深度的資訊。例如，旋轉角度從θ8738到θ8743範圍的距離差資訊的絕對值的最大值為ri8741-r8741時，缺陷檢測裝置1037即取得該最大值作為表示缺陷部分大小的資訊。
接著，缺陷檢測裝置1037會將所取得的關於缺陷部分的資訊，亦 即，表示缺陷部分範圍的旋轉角度、表示缺陷部分種類的資訊、及表示缺陷部分大小的資訊儲存於未圖示的儲存部。
輸出部104會按照缺陷檢測裝置1037所取得關於缺陷部分的資訊進行異常輸出。在此處，由於缺陷檢測裝置1037檢測了一個以上缺陷部分，故輸出部104會進行異常輸出。此外，在輸出表示缺陷檢測裝置1037已檢測缺陷部分關於缺陷部分的資訊的情況中，輸出部104也可進行異常輸出。具體而言，輸出部104將表示檢測到有異常的資訊傳送到工件輸送裝置2作為異常輸出。
再者，輸出部104將缺陷檢測裝置1037檢測到的缺陷部分的相關資訊輸出。例如，輸出部104會在缺陷檢測裝置1037所檢測的缺陷部分的相關資訊中，將表示旋轉角度範圍的資訊當作表示有缺陷的部位資訊進行輸出。而且，輸出部104會將表示缺陷部分種類的資訊輸出作為表示該缺陷部分種類的資訊。又，輸出部104會輸出表示缺陷部分大小的資訊。例如，將表示旋轉角度從θ8738到θ8743的範圍中存在有高度為ri8741-r8741的毛邊的資訊予以輸出。例如，輸出部104會將關於缺陷部分的資訊與晶圓10的識別符形成對應並儲存於預先指定的儲存部等。該所儲存的關於缺陷部分的資訊也可為例如表示工件處理裝置1的處理的紀錄(1og)資訊。
另外，第9圖所示的第一距離資訊與旋轉角度的曲線圖中，與關於缺陷部分的資訊所表示的旋轉角度範圍對應的範圍的背景也可設成與其他部分不同背景色的曲線圖，並顯示於監視器等，但此處省略了說明。而且，此時，有關於崩缺與毛邊，亦以設成不同的背景色為佳。此外，各旋轉角度的範圍也可顯示成表示缺陷部分大小之值等。
工件輸送裝置2從工件處理裝置1的輸出部104接收了表示有異常的資訊時，就將載置於邊緣位置檢測器102的轉盤52的晶圓10拾起，使其移動到回收用容器5的地點，將晶圓10收容於容器5內。藉此操作，即可將判斷為有異常的晶圓10以容器5進行回收，而不輸送到其後的處理步驟。
此處，是例如缺陷檢測裝置1037未檢測一個以上缺陷部分，未取得關於缺陷部分的資訊。
輸出部104判斷為缺陷檢測裝置1037尚未檢測一個以上缺陷部分 時，則不進行異常輸出。
然後，輸出部104會將修正資訊取得裝置1033所取得的修正資訊輸出到邊緣位置檢測器102。
此外，輸出部104將表示缺口檢測裝置1036所檢測的缺口部資訊輸出到邊緣位置檢測器102。例如，輸出部104會將缺口檢測裝置1036所檢測的旋轉角度範圍從θ3800至θ4400予以輸出，作為表示設有定向扁平部的位置資訊。
邊緣位置檢測器102從輸出部104受理修正資訊時，即按照修正資訊使轉盤52朝水平方向移動，令晶圓10移動，使晶圓10之中心位於移動前轉盤52(移動前的晶圓10)之旋轉中心。
再者，邊緣位置檢測器102受理表示缺口部的資訊時，就使轉盤52朝水平方向移動或旋轉移動，使該缺口部朝向預先指定的方向。
工件輸送裝置2會將藉轉盤52的移動而將使配置或朝向改變的晶圓10從轉盤52拾起，輸送並載置於下一個載置目的地的載置台6上。
透過將依此方式藉表示修正資訊及缺口部的資訊而修正其位置及朝向的晶圓10交給工件輸送裝置2，工件輸送裝置2就可使晶圓10在適當位置朝向適當方向載置於作為下一個輸送目的地的載置台6。於是，即可以針對無缺陷部分的晶圓進行晶圓10的定位。
另外，此處，由邊緣位置檢測器102將晶圓10的位置或朝向改變，但輸出部104也可將表示修正資訊及缺口部的資訊傳送到工件輸送裝置2，而由工件輸送裝置2改變晶圓10的位置或朝向。
又，輸出部104將表示缺口部的資訊及缺陷檢測裝置1037檢測到關於缺陷部分的資訊輸出到未圖示的監視器等。
第16圖是為表示藉輸出部104將表示缺口部的資訊及關於缺陷部分的資訊輸出的例子。
藉由這種輸出部104的輸出，使用者可容易知道例如是否為晶圓W001的邊緣的何處有定向扁平部、或者在何處有那種缺陷。而且，此種表示定向扁平部的位置、或表示缺陷部的位置或種類的資訊輸出到其他裝置(未圖示)時，在其他裝置中，可進行例如將定向扁平部缺陷部的位置考量在 內的處理。
此處，是例如對藉工件輸送系統1000輸送到載置台6的一片晶圓10進行處理的結果，而在晶圓10發生源自邊緣11的崩缺的破裂。這種情況可以為在工件處理裝置1的缺陷檢測處理中有無法檢測到的缺陷部分。因此，例如，使用者會將具有相關資訊的評估相關資訊輸入到評估相關資訊受理部105，而該相關資訊則表示以現在的缺陷檢測處理有無法檢測的缺陷部分。
評估相關資訊受理部105受理具有表示無法檢測到的缺陷部分的資訊的評估相關資訊時，設定部106會取得可比用於缺陷檢測的臨界值更能檢測到更小缺陷部分的臨界值。具體而言，是取得一臨界值，該臨界值係由上述用於缺陷部分檢測的第二臨界值TH2的值變更為比現在值(變更前的該第二臨界值TH2)恰少以預先指定值來演算如減算等所得的值。例如，取得從現在的第二臨界值TH2的值減去預先指定值所得的值，作為新的第二臨界值。此處的減算值以微小值為佳。而且，減算後的第二臨界值的大小較佳為不在0以下。
接著，設定部106會以所取得的新第二臨界值來更新缺陷檢測裝置1037利用的第二臨界值。
藉此方式，將缺陷部分的檢測結果回授，即可較使用更新前的臨界值時檢測到更細小的缺陷部分，而能減少缺陷檢測的遺漏。
(變形例1)
以下，就上述的具體例中，設定部106使用機器學習取得檢測缺陷部分時的臨界值的一個狀況例加以說明。
此處，例如工件輸送系統1000的輸送目的地為CVD裝置(未圖示)，載置台6為CVD裝置的載置台。
評估相關資訊受理部105會接收有複數個評估相關資訊並儲存於未圖示的儲存部，該複數個評估相關資訊為將以下所述三者與表示藉工件處理裝置1執行的缺陷部分檢測結果是否正確的正誤資訊對應的資訊：對晶圓10進行缺陷部分檢測時使用的第二臨界值、在該晶圓10的輸送目的地(CVD裝置)施行處理的處理温度以及處理時間。
設定部106將包含於所接收的複數個評估相關資訊的第二臨界值、處理温度、處理時間、及正誤資訊，作為教師數據依序學習。
其次，在使用者使用相同的CVD裝置對一片晶圓10以一個處理條件進行處理的情況中，為了取得能夠檢測處理中發生破裂等問題的缺陷部分的臨界值，而使該一個處理條件的處理温度與處理時間、作為第二臨界值的候補的複數個值分別形成對應而組成複數個組，並將該複數個組分別輸入學習結果，而取得以包含於各個組的第二臨界值檢測缺陷部分時的檢測結果正確與否的判斷結果。藉此方式，即可對所輸入的處理温度、處理時間、第二臨界值的組合，判斷使用該第二臨界值進行缺陷檢測是否適當。作為第二臨界值候補的複數個值為例如相隔預先指定值的複數個值。作為第二臨界值候補的複數個值為例如使用於內定的第二臨界值的周邊的複數個值。
其次，取得與經判斷為正確的判斷結果對應的第二臨界值中的一個，例如最大值者。然後，將該第二臨界值設定為缺陷檢測裝置1037要利用在缺陷檢測的第二臨界值。
藉此方式，對於具有後續程序的CVD處理中會造成問題的缺陷部分的晶圓10，就可利用學習結果適當地進行檢測，同時在邊緣具有後續程序中不會造成問題的凹凸的晶圓10，也可取得不用檢測的第二臨界值。結果，就得以例如以優異精確度進行晶圓10的選別。
以上，若依本實施形態，在工件輸送時，於對準工件的位置與朝向時，可進行工件邊緣缺陷部分的檢測，使工件缺陷的檢測適當的進行。
再者，若依本實施形態，將由旋轉角度逐次相異90度的複數個第一距離資訊加以合成所得的合成距離資訊中，對變化較小的連續複數個合成距離資訊進行檢測，藉由使用與所檢測的複數個合成距離資訊中的一個合成距離資訊對應的合成源的複數個第一距離資訊，取得用以使工件旋轉中心移動到工件中心的修正資訊，就可使用從工件邊緣的凹凸較少的部分取得的第一距離資訊，適當地取得高精確度的修正資訊。
又，若依本實施形態，透過使用上述的修正資訊取得工件為無凹凸的圓形時表示旋轉角度與至邊緣的距離的關係的關係式，並使用從所取得的關係式取得的第二距離資訊與第一距離資訊的差，來取得表示工件缺口部的 資訊、或關於工件缺陷部分的資訊，即可適當表示工件邊緣的凹凸。例如，可適當表示工件缺口部的位置。而且，可適當表示工件邊緣的缺陷部分位置或其種類。
另外，在本案中，如第25圖所示的工件處理裝置5在上述實施形態所說明的工件處理裝置中，可依狀況將第一旋轉距離資訊儲存部101、合成裝置1031、合成處理裝置1032、修正資訊取得裝置1033、第二距離資訊取得裝置1034、計算裝置1035、缺口檢測裝置1036、及缺陷檢測裝置1037以外的構成作適當省略，又設置：修正資訊輸出裝置1038，將修正資訊取得裝置1033所取得的修正資訊進行輸出；及距離差相關輸出裝置1039，將計算裝置1035所取得關於第一距離資訊與第二距離資訊的差的相關資訊、及缺陷檢測裝置1037所檢測關於缺陷部分的資訊予以輸出，而第二距離資訊取得裝置1034也可使用修正資訊輸出裝置1038所輸出的修正資訊，以取得第二距離資訊。
修正資訊輸出裝置1038將修正資訊取得裝置1033所取得的修正資訊輸出。此處的輸出是包含例如工件的對準器(未圖示)等對外部裝置的訊息傳送、對內部處理裝置等的交遞、對記錄媒體的儲存、在監視器(未圖示)的顯示、處理結果等向其他處理裝置或其他程式等的交遞等概念。
例如，修正資訊輸出裝置1038是為用以將修正資訊取得裝置1033所取得的修正資訊輸出到第二距離資訊取得裝置1034等的介面、用以將修正資訊暫時記憶到可存取第二距離資訊取得裝置1034的記憶體(未圖示)等記憶媒體的裝置。例如，第二距離資訊取得裝置1034受理修正資訊輸出裝置1038輸出的修正資訊，並使用所受理的修正資訊來取得第二距離資訊。此外，第二距離資訊取得裝置1034為例如由第二距離資訊取得裝置1034將儲存在記憶媒體的修正資訊讀取，並使用所讀取的修正資訊來取得第二距離資訊。
距離差相關輸出裝置1039將與計算裝置1035所計算的相同旋轉角度形成對應關於距離差資訊的資訊輸出。關於差的資訊可為例如具有距離差資訊本身的資訊、也可為與一個或兩個以上距離差資訊對應的旋轉角度、也可為距離差資訊與旋轉角度的組合。例如，輸出部104可將由距離差資訊與 旋轉角度形成對應而具有的資訊儲存於未圖示的儲存部。也可將表示距離差資訊與旋轉角度的關係的曲線圖輸出，例如將其顯示出來。
所謂關於距離差資訊的資訊，亦包含使用距離差資訊取得的資訊的概念。例如，距離差相關輸出裝置1039也可將缺口檢測裝置1036使用距離差資訊取得的表示工件10之缺口部的資訊輸出作為計算裝置1035所計算之關於差的資訊。透過輸出表示缺口部的資訊，讓使用者或其他裝置等可以辨識缺口部存在於工件10的那個部分。距離差相關輸出裝置1039也可在例如在表示距離差資訊與旋轉角度的關係的曲線圖上，將與表示缺口部的旋轉角度對應的部分，用與其他不同的顏色或圖樣來表示其他不同的態樣(例如，曲線圖上與表示缺口部的旋轉角度對應範圍的背景)，作為表示缺口部之資訊的輸出。
此外，距離差相關輸出裝置1039也可使用計算裝置1035計算所得關於距離差資訊的資訊，將缺陷檢測裝置1037所取得關於缺陷部分的資訊輸出，作為計算裝置1035計算所得關於距離差資訊的資訊。由於表示缺陷部分的資訊為具有缺陷部分位置(例如、旋轉角度)及其位置的距離差資訊的資訊，故使用者或其他裝置等可辨識在工件10的那個部分具有何種大小的缺陷部分。表示缺陷部分的資訊又具有表示缺陷部分是否為朝晶圓10的外側呈凸狀的資訊時，也可辨識缺陷部分是毛邊或崩缺。距離差相關輸出裝置1039也可在例如表示距離差資訊與旋轉角度的關係的曲線圖上，與缺口部的情形同樣，將與表示缺陷部分的旋轉角度對應的部分，用與其他不同的態樣顯示，作為表示缺陷部分的資訊的輸出。
工件處理裝置5中，例如可以針對工件取得並輸出具有理想的邊緣時從旋轉中心至邊緣的距離、及實際上至邊緣的距離的差，以優異精確度表示工件(例如、晶圓)邊緣的凹凸。藉此方式，藉由例如距離差相關輸出裝置1039的輸出，即可適當表示工件缺口部的位置。再者，透過取得並輸出缺陷資訊，可表示關於工件邊緣缺陷部分的適當資訊。例如，可適當表示缺陷部分的位置或其種類。
此外，上述的工件處理裝置5是為例如下述形態的工件處理裝置。亦即，該工件處理裝置5具備：第一旋轉距離資訊儲存部，供儲存工件旋轉 時的複數個第一旋轉距離資訊，該等第一旋轉距離資訊為具有使旋轉角度與第一距離資訊形成對應的資訊，而該第一距離資訊則為關於該旋轉角度對應的工件的旋轉中心至邊緣的距離的資訊；合成裝置，在包含於前述複數個第一旋轉距離資訊的第一距離資訊中，將對應的旋轉角度逐次相異90度的複數個第一距離資訊加以合成；合成處理裝置，在前述合成裝置將第一距離資訊合成並取得的資訊的複數個合成距離資訊中，將對應的旋轉角度相連續的複數個合成距離資訊、且值的大小變化較小的複數個合成距離資訊加以檢測，並取得與檢測所得的複數個合成距離資訊中的一個以上對應的合成前複數個第一距離資訊、及與合成前的一個以上第一距離資訊對應的旋轉角度；修正資訊取得裝置，使用前述合成處理裝置所取得的複數個第一距離資訊及旋轉角度，來取得用以使前述工件的旋轉中心對準前述工件的中心的修正資訊；修正資訊輸出裝置，將前述修正資訊取得裝置所取得的修正資訊輸出；第二距離資訊取得裝置，使用前述修正資訊輸出裝置輸出的修正資訊，來取得前述工件為邊緣無凹凸的圓形時表示旋轉角度與第二距離資訊的關係的關係式，該第二距離資訊為關於與旋轉角度相應的工件至邊緣的距離的資訊，將與前述複數個第一旋轉距離資訊對應的複數個旋轉角度分別代入該取得的關係式，並取得第二距離資訊；計算裝置，使用前述複數個第一旋轉距離資訊、及前述第二距離資訊取得裝置所取得的複數個第二距離資訊，來取得與相同旋轉角度形成對應的前述第一距離資訊與第二距離資訊的差；以及距離差相關輸出裝置，將前述計算裝置所計算關於差的資訊輸出。
其次，上述的工件處理裝置中，前述缺陷檢測裝置使用前述計算裝置所計算的前述第一距離資訊與第二距離資訊的差、及關於缺陷部分大小的一個以上臨界值，來檢測前述工件邊緣的缺陷部分，並取得關於該經檢測的缺陷部分的資訊。
而且，上述的工件處理裝置5中，可再省略第二距離資訊取得裝置1034、計算裝置1035、缺口檢測裝置1036、缺陷檢測裝置1037、及距離差相關輸出裝置1039。藉此方式所獲得的工件處理裝置為例如用以取得工件修正資訊等的裝置。
藉由此種構成，透過將關於旋轉角度逐次相異90度的邊緣距離的 資訊加以合成，並從因旋轉中心與晶圓中心相異所發生關於邊緣距離的資訊變動除去後的資訊，以取得關於邊緣無凹凸部分的距離的資訊，可以取得用以使工件旋轉中心對準工件中心的修正資訊，故具有可取得高精確度的修正資訊的效果。
藉此方式，例如，使用修正資訊，執行工件位置對準的裝置(未圖示)就可將工件的位置適當修正，使工件的旋轉中心成為工件的中心。
此外，該工件處理裝置為例如下述的工件處理裝置。亦即，該工件處理裝置具備：第一旋轉距離資訊儲存部，供儲存複數個第一旋轉距離資訊，該等第一旋轉距離資訊為具有使工件旋轉時的旋轉角度與第一距離資訊形成對應的資訊，而該第一距離資訊則為關於與該旋轉角度對應的工件從旋轉中心至邊緣的距離的資訊；合成裝置，在包含於前述複數個第一旋轉距離資訊的第一距離資訊中，將對應的旋轉角度逐次相異90度的複數個第一距離資訊加以合成；合成處理裝置，在前述合成裝置將第一距離資訊合成而取得的資訊的複數個合成距離資訊中，對對應的旋轉角度為相連續的複數個合成距離資訊、且值的大小變化較小的複數個合成距離資訊加以檢測，並取得與檢測所得的複數個合成距離資訊中一個以上對應的合成前複數個第一距離資訊、及與合成前的一個以上第一距離資訊對應的旋轉角度；修正資訊取得裝置，使用前述合成處理裝置所取得的複數個第一距離資訊及旋轉角度，來取得用以使前述工件的旋轉中心對準前述工件的中心的修正資訊；以及修正資訊輸出裝置，將前述修正資訊取得裝置所取得的修正資訊輸出。
(實施形態2)
本發明的實施形態2是為在上述實施形態1中，將拍攝工件邊緣的缺陷部分所得的影像輸出。
第17圖為本實施形態的工件處理裝置3的方塊圖。
工件處理裝置3具備：第一旋轉距離資訊儲存部101、取得部103、輸出部104、評估相關資訊受理部105、設定部106、邊緣位置檢測器301、拍攝部303、修正缺陷位置取得部304、影像輸出部305、檢測部306、評估部307、評估結果輸出部308、情況受理部309、影像情況資訊儲存部310、以及影像情況資訊累積儲存部311。邊緣位置檢測器301具備移動部302。
取得部103具備例如：合成裝置1031、合成處理裝置1032、修正資訊取得裝置1033、第二距離資訊取得裝置1034、計算裝置1035、缺口檢測裝置1036、以及缺陷檢測裝置1037。
關於第一旋轉距離資訊儲存部101、取得部103、輸出部104、評估相關資訊受理部105、及設定部106、以及構成取得部103的合成裝置1031、合成處理裝置1032、修正資訊取得裝置1033、第二距離資訊取得裝置1034、計算裝置1035、缺口檢測裝置1036、以及缺陷檢測裝置1037等的構成及動作等，是相同於上述實施形態1，詳細說明在此容予省略。
第18圖包含：表示工件處理裝置3一實施形態例的立體圖(第18圖(a))、及表示本實施形態的邊緣位置檢測器301的一例的示意圖(第18圖(b))。工件處理裝置3具備：工件10的載置用台座的載置台3021、以及用以拍攝載置台3021上所載置的工件10的邊緣缺陷部分的拍攝部303。罩蓋3025的內部設有邊緣檢測部55。
邊緣位置檢測器301針對工件10取得複數個第一旋轉距離資訊。具體而言，邊緣位置檢測器301會檢測工件10的邊緣位置，並針對工件10取得複數個第一旋轉距離資訊，且儲存於第一旋轉距離資訊儲存部101。
邊緣位置檢測器301具備有例如檢測工件10的邊緣位置的邊緣檢測部55、移動部302、編碼器56、及儲存部57。邊緣檢測部55具有投光器55a及感測器55b。有關邊緣檢測部55、編碼器56、及儲存部57的構成或處理等，由於與第3圖所示的邊緣位置檢測器102相同，故其說明省略。
移動部302使工件10移動。移動部302使例如載置於載置台3021的工件10移動。工件10藉由移動部302的移動是指例如使工件10旋轉的移動、或使工件10平行移動的移動。所謂使工件10平行移動，是指例如使工件10在包含工件10的表面的平面內移動的情形。
移動部302使工件10旋轉。移動部302具有例如載置台3021、及使載置台3021以中心軸為旋轉軸旋轉的旋轉機構3022。而且，透過例如藉由旋轉機構3022使載置台3021以其載置面位在同一平面內的方式旋轉，而使載置於載置台3021上的工件10旋轉。旋轉機構3022具有將旋轉(動力)傳遞到載置台3021的電動馬達(未圖示)等。供載置工件10的載置台3021的 上面，設置有例如具有吸附面的所謂吸附座(未圖示)等，該吸附面用以吸附所載置的工件10。編碼器56會例如檢測旋轉機構3022所具有的電動馬達(未圖示)的旋轉量，並輸出數位訊號，而該電動馬達的旋轉量相當於工件10的旋轉角度。
邊緣位置檢測器301會例如取得移動部302使工件10每旋轉預先指定的旋轉角度時的表示邊緣位置的測定值。然後，使用該旋轉角度及測定值依序取得第一距離資訊及旋轉角度。表示邊緣位置的測定值係為例如從工件10的旋轉中心至邊緣的距離的測定值等。邊緣位置檢測器301在例如針對不同工件取得第一旋轉距離資訊時，會使針對各工件所取得的複數個第一旋轉距離資訊與各工件的工件識別符形成對應，並儲存於第一旋轉距離資訊儲存部101。
移動部302還具有使載置於載置台3021的工件10朝著對工件10的表面平行的方向移動的構造。此處的平行亦包含大致平行的概念。與工件10的表面平行的方向，也可以為對供載置工件10的載置台3021的載置面呈平行的方向。移動部302例如使工件10朝水平方向移動。例如，移動部302具有使工件10朝對工件10的表面成平行的正交的二軸方向分別移動的構成。移動部302會例如藉由該二軸的各個方向移動的組合，使工件10平行地移動。此處，為方便說明將該二軸稱為x軸方向、y軸方向。具體而言，移動部302設有：使旋轉機構3022朝x軸方向移動的x軸移動機構3023、及使x軸移動機構3023朝y軸方向移動的y軸移動機構3024。例如，x軸移動機構3023及y軸移動機構3024由分別朝x軸方向與y軸方向延伸的方式設置的滾珠螺桿與電動馬達等的組合所構成。但，移動部302使載置於載置台3021的工件10朝對工件10的表面成平行的方向移動所用的構成等，並不拘。
移動部302使用例如在上述實施形態1中說明的輸出部104輸出的工件10的對準位置用修正資訊等資訊，使工件10移動，俾使工件10之中心位於預先指定的位置。移動部302透過例如使載置有工件10的載置台3021朝與載置台3021的載置面成平行的方向移動的移動方式及使載置台3021旋轉的移動方式適當組合，以上述方式使工件10移動。
移動部302使用輸出部104輸出的關於工件10的邊緣缺陷部分的資訊，使工件10移動，俾使工件10的邊緣缺陷部分配置於拍攝區域內。拍攝區域是為預先指定區域，具體而言，是拍攝部303可拍攝的區域。拍攝區域也可以為拍攝部303可拍攝的範圍。移動部302較佳為使工件10移動到工件10的邊緣缺陷部分位於拍攝區域內的預先指定位置，例如中央等。
例如，移動部302會使用有關邊緣缺陷部分的資訊的表示缺陷部分位置的資訊，例如表示缺陷部分相對於工件10的旋轉中心的角度的資訊等，以該缺陷部分的位置位於拍攝區域內的方式使工件10移動。此處的移動，使工件10旋轉的移動方式(以下稱為旋轉移動)與使工件10對工件10的表面成平行地移動的移動方式(以下稱為平行移動)的至少1種以上組合。
以下，舉例說明有關移動部302使缺陷部分的位置移動到拍攝區域內的處理。
(1)移動工件藉以使工件的中心配置於預先指定位置的情況
移動部302會例如使工件10移動，使工件10的中心配置於預先指定位置，且使工件10的邊緣缺陷部分配置於拍攝區域內。所謂預先指定位置，是指例如工件10的中心應該配置的位置、或使工件10對準位置時作為基準的位置，以具體例而言，為將工件10送交到上述實施形態1中說明的工件輸送裝置2等時供配置工件10的中心的位置。工件10在例如移動部302的載置台3021的旋轉中心配置於該預先指定位置的狀態下，利用工件輸送裝置2等載置於該載置台3021上。移動部302透過例如將旋轉移動與平行移動適當組合使工件10移動到上述的位置。
移動部302使用例如用以使輸出部104輸出的工件10對準位置的資訊、及關於缺陷部分的資訊，進行上述的移動。例如，移動部302會使用用以使輸出部104輸出的工件10的旋轉中心對準工件10的中心的修正資訊、及表示工件10的邊緣缺陷部分的旋轉角度的資訊(例如，表示缺陷部分的範圍的角度資訊)，以使工件10的中心配置於預先指定位置且工件10的邊緣缺陷部分配置於拍攝區域內的方式，令工件10移動。
第19圖是為用以說明使工件10的缺陷部分移動到拍攝區域內的一個處理例的圖示，其中包含了：表示工件10旋轉前的狀態的圖示(第19圖 (a))、及旋轉後的狀態的圖示(第19圖(b))。圖中，與第2圖相同的符號是表示相同或相當的部分。
圖中，xy座標為預先設定於工件處理裝置3的邊緣位置檢測器301的座標系，原點O是設為工件10中心應配置的位置。供載置工件10的載置台3021的旋轉中心在例如載置工件10時是設為位於與該原點O一致的位置。在經載置工件10後的時間點，工件10的中心Q並非位於原點O，工件10以該原點O的位置作為旋轉中心進行旋轉。工件10的中心設為從原點O朝角度α的方向位於離開距離h的位置。
點P1是為拍攝區域AP1內的1點，例如為拍攝區域的中心點，相對於原點O，是設定在預先指定的旋轉角度，且離開相同於工件10的半徑的位置。藉此方式，工件10的中心載置於原點O上時，點P1就位在工件10的邊緣上。
此外，第19圖中，在x軸的正範圍中，工件10的邊緣與x軸相交的位置與作為原點的工件10的旋轉中心O連結線段的位置即為旋轉角度0°的位置，旋轉角度則設為朝反時計方向増加其值。
以下，使用第19圖說明具體例。在第19圖(a)所示狀態中，移動部302取得上述實施形態1中所說明的修正資訊所示的角度θt，該角度θt由：與使工件10之旋轉中心對準工件10的中心的角度α用的基準線(此處為x軸)成正交的線(此處為y軸)、與作為向拍攝區域內移動的對象的一個缺陷部分1901的兩端連結線所形成。該角度θt也可以為偏位角度。例如，由於透過使用預先儲存於未圖示的儲存部等的工件10的半徑等資訊、及缺陷部分1901兩端A、B的旋轉角度，即可計算缺陷部分1901兩端A、B的座標等，故可使用該兩端A、B的座標等來計算角度θt。該角度θt相當於缺陷部分1901兩端A、B連結線上的中點M與工件10的中心的連結線QM對上述基準線(例如、x軸)所形成的角度。
其次，缺陷部分1901的兩端連結線上的中點M和工件10中心的連結線QM，只要與線段OP1成平行，則以後透過使工件10朝水平方向(例如x軸方向或y軸方向)移動，就可使缺陷部分1901兩端連結線上的中點M與工件10中心的連結線QM與線段OP1重疊。因此，計算用以使工件10以 旋轉中心的原點O為中心旋轉的旋轉角度γ，使缺陷部分1901兩端連結線上的中點M與工件10中心的連結線QM與線段OP1形成平行。例如，拍攝區域中心點P1和原點O的連結直線OP1與上述基準線(例如，x軸)所成的角設為β時，該旋轉角度γ即為β-θt。
藉由該旋轉角度γ，透過使工件10以原點O為中心旋轉，即如第19圖(b)所示，缺陷部分1901兩端連結線上的中點M和工件10中心的連結線QM就會與線段OP1形成平行。
此時，藉由工件10作γ旋轉，工件10之中心Q就相對於原點O朝角度α+γ的方向處在離開距離h的位置。因此，令工件10移動，使該工件10的中心Q與原點O重疊。亦即，藉由令工件10朝角度α+γ的相反方向移動距離h，線段QM就會以中心Q與原點O重疊的方式平行移動，而與線段OP1重疊，缺陷部分1901的中點M就被配置在拍攝區域AP1內。而且，此處，缺陷部分1901的中點M就會位於連結拍攝區域AP1的中心點P1與工件10的中心的應配置位置的原點O的直線上。
從而，如上所述，針對作為拍攝對象的各缺陷部分，使用表示缺陷部分的資訊及表示拍攝區域AP1的位置的資訊(例如，表示中心點P1的資訊等)，計算缺陷部分兩端連結線段的中點對於與角度基準線成正交的線所形成的角度θt，並使用該角度θt來計算工件10以旋轉中心為中心旋轉的旋轉角度γ，再使用以使修正資訊所示的工件10的旋轉中心為中心進行移動為目的的表示移動方向的角度α，來計算用以使經旋轉角度γ的工件10的中心移動到預先指定位置的表示移動方向的角度α+γ。然後，要拍攝各缺陷部分時，將工件10從載置於載置台3021的初期狀態，使各缺陷部分以旋轉角度γ旋轉，並朝著角度α+γ所示方向的反方向往水平方向移動修正資訊所示的移動量h。
藉此方式，工件10的中心就可配置於預先指定位置，且缺陷部分1901得以配置於拍攝區域AP1內。
此外，由於在工件10的中心配置於預先指定位置的狀態下，可以進行缺陷部分的拍攝，因此，例如工件10的形狀為圓形等時，可將拍攝所得影像中的工件10的邊緣位置對齊於大致相同位置，在比較複數個影像時， 容易觀看，可提供高便利性的影像。
另外，上述的旋轉移動與水平方向移動的順序等，並不拘。
再者，上述中所利用的計算式等僅為一例，本發明中，只要是可獲得實質上相同值者，也可使用其他計算式等。又，上述中所利用的角度等，只要是可獲得實質上相同值者，可藉由工件10的旋轉方向、作為0°的位置或基準線的設定等，而適當的變更使用。
而且，預先指定x軸等的直線或線段也可不必為表示使為了工件10的旋轉中心移動到工件10中心的方向的旋轉角度α的基準直線或線段，在此情形中，只要例如依據作為該旋轉角度α的基準直線與預先指定x軸等的直線或線段的傾斜等的差異程度，在使工件10移動時，將取得的移動方向、移動距離、或旋轉角度加以適當修正即可。此外，工件10的中心應配置的預先指定位置也可非為工件10載置於移動部302時的工件旋轉中心所在位置。此時，只要按照載置時的旋轉中心所在位置與載置工件10的預先指定位置的位置關係，將移動工件10時取得的移動方向、移動距離、或旋轉角度適當修正即可。
還有，上述的處理，主要是利用角度等來表示移動方向，但也可使用從角度或移動量等取得的座標等來取代角度。
再者，上述的處理僅為一例，只要可取得實質上同樣的旋轉角度γ、或旋轉中心的移動方向等，本發明也可使用其他方法。
(2)不使工件在水平方向上移動的情況
例如，為了取得第一旋轉距離資訊，移動部302也可透過對處在載置於載置台3021狀態的工件10僅進行旋轉移動，使缺陷部分移動到拍攝區域。具體而言，移動部302可透過按照表示輸出部104輸出的缺陷部分位置的旋轉角度使工件10旋轉，而將缺陷部分適當配置在拍攝區域內。例如，可計算表示缺陷部分兩端位置的角度的平均角度，透過令工件10旋轉，使該角度與以旋轉中心及預先指定基準線為基準的拍攝區域中心點的方向角度一致，且令工件10移動，使缺陷部分的中心大致位於拍攝區域中心。
(3)使工件中心與工件旋轉用載置台的旋轉軸對準的情況
例如，移動部302設有將工件10從載置台3021拾起後，朝水平方向 移動，再次將工件10載置於載置台3021上的升降裝置(未圖示)等，並利用輸出部104輸出的修正資訊，藉該升降裝置將工件10從載置台3021拾起，且利用輸出部104輸出的修正資訊，使工件10的中心移動，俾與使工件10旋轉的載置台3021的旋轉中心重疊，將工件10載置於載置台3021上。更且，如上所述，也可利用從缺陷部分取得的表示缺陷部分位置的角度θt，使缺陷部分旋轉一旋轉角度γ，將缺陷部分移動到拍攝區域內。
此外，在載置台3021上，只要可使工件10的位置移動，也可使用上述升降裝置以外的裝置。
再者，以下舉例說明本實施形態中移動部302藉由上述(1)的處理使工件10移動的情況。
在一個工件10的邊緣存在有複數個缺陷部分時，移動部302也可使各缺陷部分依序移動到拍攝區域。例如，拍攝部303毎次針對移動到拍攝區域的缺陷部分的拍攝結束時，移動部302就使下一個缺陷部分移動到拍攝區域。
而且，移動部302也可就存在於一個工件10邊緣的複數個缺陷部分中，使位置接近的複數個缺陷部分統一移動到相同的拍攝區域。所謂位置接近的缺陷部分，是指例如位於預先指定範圍的缺陷部分，舉具體例而言，表示缺陷部分位置的旋轉角度是為位在預先指定範圍的缺陷部分。預先指定範圍是指例如工件10邊緣可一次落在拍攝區域內的範圍以下的範圍。例如，移動部302也可將工件10移動，使接近且位於邊緣的複數個缺陷部分中將兩端缺陷部分位置作二等分的位置位於拍攝區域的中央。在此情況中，只要將接近的複數個缺陷部分視為一個缺陷部分，使用表示其兩端位置的旋轉角度等，令接近的複數個缺陷部分移動到拍攝區域內即可。該處理也可以為使接近的缺陷部分群組化移動的處理。
移動部302也可在工件10的邊緣缺陷部分中，僅使檢測部306檢測到的一個以上缺陷部分移動到拍攝區域。所謂檢測部306檢測到的缺陷部分，是指工件10邊緣相對於其他缺陷部分其大小為較大的一個以上缺陷部分。關於檢測部306的處理等，容於後述。
還有，針對一個工件10的一個以上缺陷部分的拍攝結束時，移動 部302也可使用例如為了要將對準位置狀態的工件10遞交給後段的工件輸送裝置2等，而使用輸出部104輸出的工件10的對準位置用資訊、或工件10的朝向特定用資訊等，將工件10移動，俾使工件10的中心配置於上述的預先指定位置，且工件10的朝向形成為預先指定的朝向。
而且，一個工件10沒有缺陷部分時，移動部302也可不進行使上述的缺陷部分移動到拍攝區域的處理。例如，輸出部104輸出關於缺陷部分的資訊表示工件10無缺陷時，也可不進行使上述的缺陷部分移動到拍攝區域的處理。
另外，除上述說明外，移動部302也可適當進行與上述實施形態1中說明的轉盤52、轉盤旋轉機構53、電動馬達54等同樣的動作等。
移動部302也可設有用以計算移動距離或旋轉角度等資訊的MPU或記憶體等構成。用以計算移動距離或旋轉角度等的處理程序等，一般是以軟體來實現，而該軟體則記錄於ROM等記錄媒體。但，也可用硬體(專用電路)來實現。
另外，此處是以移動部302構成邊緣位置檢測器301的一部分的情況為例來說明，但移動部302也可以為非屬邊緣位置檢測器301的一部分。
拍攝部303拍攝配置於拍攝區域內的工件的邊緣缺陷部分。所謂拍攝缺陷部分，是指例如拍攝配置有缺陷部分的拍攝區域內。拍攝部303是指備有CCD(感光耦合元件)或CMOS(互補金氧半導體)等影像感測器的照相機。拍攝部303可配置成例如其拍攝區域包含中心配置於預先指定位置之配置狀態的工件10的一部分邊緣及其周邊的區域。拍攝部303一般設置成其光軸對工件10的表面成垂直。拍攝部303的設置位置較佳為可朝水平方向移動，使拍攝區域可按照工件10的規格而變更。拍攝部303以例如治具等安裝於工件處理裝置3。在此情況中，移動部302即使令工件10移動，拍攝部303的位置也不移動。
拍攝部303一般具有用以使來自拍攝對象的光成像於影像感測器的受光面的光學系。而且，拍攝部303也可具備用以對拍攝區域或其周邊實施照明的照明器具，例如環狀照明等。以拍攝部303而言，較佳為使用高解析度的可拍攝缺陷部分之影像者。以拍攝部303的一個例子而言，可使用例如 視角為3mm四方、像素數35萬像素的CCD照相機等。還有，作為拍攝部303，也可用例如民生用數位照相機。拍攝部303拍攝的影像可為彩色影像、也可為灰階影像。影像的顏色深度等並不拘。拍攝部303拍攝的影像一般為静止影像，但也可為動態影像。拍攝部303可以固定焦點進行拍攝，也可以自動對焦進行拍攝。拍攝部303取得的影像的數據形式等並不拘。另外，也可使用以線感測器掃描進行拍攝的所謂掃描器等，作為拍攝部303。
在例如移動部302將一個缺陷部分或者一個接近的缺陷部分的組移動到拍攝區域時，拍攝部303就進行缺陷部分的拍攝。但，也可按照未圖示的受理部等受理的使用者的指示來進行拍攝。
拍攝部303也可在工件10的邊緣缺陷部分中僅拍攝後述的檢測部306所檢測的缺陷部分。藉此方式，工件10的邊緣的複數個缺陷部分中，就可選擇性地僅拍攝其大小相對於其他缺陷部分為較大的一個以上缺陷部分。
還有，工件處理裝置3也可具備複數個拍攝部303。例如，也可具備不同拍攝區域、或者部分重疊的拍攝區域的複數個拍攝部303。複數個拍攝部303為例如分別具有沿著中心為配置於預先指定位置的工件的邊緣的配置區域的複數個拍攝部。該複數個拍攝部303也可例如實質上與一個拍攝部同樣地同時進行拍攝等。透過採用此方式，就可同時拍攝同時存在於廣闊範圍的複數個缺陷部分的組，拍攝或以拍攝為目的的移動所費的時間就可縮短。
修正缺陷位置取得部304使用輸出部104所輸出的使工件10對準位置用的資訊、工件10的朝向特定用資訊、及工件10的關於邊緣缺陷部分的資訊，以工件10的中心及針對該工件的特定朝向作為基準，而取得修正缺陷位置資訊，該修正缺陷位置資訊為表示前述工件的缺陷部分位置的資訊。修正缺陷位置資訊為例如以工件10的中心及有關該工件的特定朝向作為基準而修正的缺陷的位置資訊。工件10的朝向特定用資訊為例如表示定向扁平部面等工件10缺口部的位置資訊。表示缺口部位置的資訊為例如表示缺口部的兩端連結線段的中點位置的資訊。表示缺口部位置的資訊為例如缺口部的兩端連結線段的中點與工件10中心的連結線段的旋轉角度。修正缺陷位置資訊為例如以藉工件10的中心及針對缺口部的位置所特定的位置 為基準來表示工件10的邊緣缺陷位置的資訊。具體而言，修正缺陷位置資訊為表示缺口部位置的點與工件10的中心的連結線段、及表示工件10的邊緣缺陷部分的點與工件10的中心的連結線所形成的角度。表示缺口部位置的點為例如連結缺口部兩端的線段的中點。表示缺陷部分位置的點為例如連結缺陷部分兩端的線段的中點。
所謂以工件10的中心及針對該工件所特定的朝向為基準，雖將該特定的朝向設定為旋轉角度的基準，例如設定在相當於0°的位置，但也可為設定在0°以外的期望旋轉角度，而且，也可將按照該朝向而特定的朝向設定為旋轉角度的基準等。
如在上文中使用第19圖作說明，缺陷部分兩端的中點與工件10的中心的連結線段與正交於預先指定直線的直線(例如，第19圖的y軸等)所形成的角度，是與連結缺陷部分兩端的直線和預先指定直線(例如，第19圖的x軸)所形成的角度相同，該角度可從表示缺陷部分兩端位置的資訊取得。因此，透過針對各缺陷部分取得該角度，就可計算缺陷部分兩端的中點以工件10的中心作為旋轉中心時的旋轉角度。透過使用輸出部104等輸出的缺口部兩端位置的資訊，也可針對缺口部計算出同樣的旋轉角度。然後，透過從依此方式計算所得的各缺陷部分的旋轉角度減去缺口部的旋轉角度，就可取得修正缺陷位置資訊，該修正缺陷位置資訊係為以缺口部與工件10之中心的連結線作為基準的各缺陷部分的旋轉角度。
此外，修正缺陷位置取得部304也可在取得修正缺陷位置資訊時適當利用移動部302使工件10移動時計算所得的缺陷部分中點與工件10的中心的連結直線的旋轉角度資訊等。依此方式可以為直接使用輸出部104輸出的工件10對準位置用資訊、工件10的朝向特定用資訊、工件10關於邊緣缺陷部分的資訊而取得修正缺陷位置資訊的動作、移動部302等使用這些資訊所得到的資訊以取得修正缺陷位置資訊的動作，同時在此也可以為使用輸出部104輸出的工件10的對準位置用資訊、工件10的朝向特定用資訊、及工件10關於邊緣缺陷部分的資訊來取得修正缺陷位置資訊的動作。
影像輸出部305將拍攝部303拍攝的影像輸出。此處所謂的輸出包含例如顯示於監視器畫面、使用投影機進行投影、用印表機列印、往外部裝 置傳送、儲存到記錄媒體、處理結果向其他處理裝置或其他程式等交遞的概念。
影像輸出部305例如使拍攝部303拍攝的影像、與對應該影像的工件10的識別符或缺陷部分識別符的至少一個形成對應並輸出。工件10的識別符可為各別分配給工件10的代碼等，也可為包含作為拍攝對象的工件的複數個工件所構成的工件群的表示批次的識別符(例如，代碼等)與表示該批次內作為拍攝對象的工件的順序的資訊(例如，第幾片等資訊)的組合。缺陷部分的識別符為分配給缺陷部分的編號等代碼。所謂與影像對應的工件10的識別符，是指作為影像拍攝對象的工件10的識別符。再者，所謂與影像對應的缺陷部分的識別符，是指作為影像拍攝對象的一個以上缺陷部分的識別符。影像輸出部305也可再使修正缺陷位置取得部304針對作為影像拍攝對象的缺陷部分所取得的修正缺陷位置資訊與影像形成對應並輸出。
影像輸出部305較佳為在顯示影像時能按照經由未圖示的受理部等受理的使用者等的指示進行顯示影像的放大、縮小、顯示範圍的移動等。依此方式，由於可以放大，只要拍攝部303拍攝的影像是高解析者，就可將邊緣的缺陷部分放大顯示，使難用肉眼確認的邊緣缺陷部分的形狀等容易確認。
再者，顯示影像時，也可將表示影像比例尺的資訊，例如標度或刻度等，與影像重疊顯示。透過此種方式，缺陷部分的規格就容易掌握。而且，表示影像比例尺的資訊的顯示位置等，也可按照使用者的指示而變更。另外，標度或刻度等只要按照拍攝部303的解析度、或從拍攝部303至工件10的距離等適當計算，或按照解析度或距離從未圖示的儲存部等取得預先指定標度或刻度等即可。從拍攝部303至工件10的距離等也可使用例如測距用感測器(未圖示)等來取得。
影像輸出部305也可以為包含或不包含顯示器、印表機、通訊裝置或儲存裝置等的輸出裝置。影像輸出部305得由輸出裝置的驅動軟體、或輸出裝置的驅動軟體與輸出裝置等來實現。
檢測部306使用輸出部104輸出關於工件10的邊緣缺陷部分的資訊，在工件10的邊緣缺陷部分中檢測出其缺陷大小較大的一個以上缺陷部 分。所謂大小較大的一個以上缺陷部分，可以為越符合有關大小的預先指定條件就是為越大的缺陷部分。
檢測部306使用例如輸出部104輸出關於缺陷部分的資訊的表示缺陷部分旋轉角度範圍的資訊來檢測一個以上缺陷部分。檢測部306例如將旋轉角度範圍在預先指定的關於旋轉角度範圍的臨界值以上的缺陷部分進行檢測，當作缺陷部分之的小較大的一個以上缺陷部分。此外，也可在一個工件10的缺陷部分中自旋轉角度範圍較大者依序檢測預先指定數的缺陷部分，當作缺陷部分的大小較大的一個以上缺陷部分。
又，檢測部306使用例如輸出部104輸出關於缺陷部分的資訊的表示距離差資訊的資訊來檢測一個以上缺陷部分。檢測部306例如將與預先缺陷部分形成對應的距離差資訊的最大值在臨界值以上的缺陷部分當作缺陷部分的大小較大的一個以上缺陷部分來檢測。此外，也可在一個工件10的缺陷部分中從形成對應的距離差資訊的值較大者依序檢測預先指定數的缺陷部分，當作缺陷部分的大小較大的一個以上缺陷部分。與缺陷部分形成對應的距離差資訊也可以為表示缺陷部分之深度或高度的資訊。
而且，檢測部306也可按照上述表示旋轉角度範圍的資訊與關於距離差資訊的資訊的組合，當作缺陷部分的大小較大的一個以上缺陷部分來檢測。例如，也可檢測旋轉角度範圍在臨界值以上且距離差資訊的值在臨界值以上的缺陷部分。又，也可檢測旋轉角度範圍的大小順位及距離差資訊的大小順位均在預定順位以內的缺陷部分。
另外，檢測部306也可將符合上述以外條件的缺陷部分當作缺陷部分的大小較大的一個以上缺陷部分來檢測。
評估部307使用影像輸出部305輸出的影像，來評估該影像所表示的缺陷部分。所謂評估缺陷部分，是指例如缺陷部分對工件10的影響的評估。例如，對檢測到有缺陷部分的工件10使用於後續程序時，該缺陷部分對工件10是否造成影響、造成何種影響等進行評估。所謂評估缺陷部分，也可為例如發生缺陷部分時，具有該缺陷部分的工件10在後續程序等中發生破裂等破損的可能性高低進行評估。缺陷部分的評估也可為工件10是否有異常的評估。
例如，評估部307藉由圖形比對(pattern matching)進行影像所示缺陷部分的評估。例如，預先將使影像的圖形與對缺陷部分的評估結果形成對應而組成的資訊的一個以上評估圖形管理資訊儲存於未圖示的儲存部等。接著，判斷影像輸出部305輸出的影像是否與各評估圖形管理資訊具有的影像圖形匹配，有匹配時，就取得與該影像圖形形成對應的評估結果。所謂影像圖形，是指例如影像特徵點的資訊。所謂影像特徵點則指例如缺陷部分的凸角數、凸角的位置、表示缺陷部分的寬度或深度等的資訊。具有可判斷為與影像圖形所示的特徵點一致的特徵點的影像即判斷為與影像圖形匹配的影像。評估部307也可在進行圖形匹配之前對影像輸出部305輸出的影像施行二值化等影像處理。
另外，有關針對影像進行圖形匹配的處理是屬公知技術，其詳細說明在此容予省略。
再者，評估部307也可透過例如進行影像類似搜尋以執行影像所示缺陷部分的評估。例如，預先將由評估用影像與對缺陷部分的評估結果形成對應而組成的資訊的一個以上評估影像管理資訊儲存於未圖示的儲存部等。然後，取得影像輸出部305輸出的影像和各評估用影像的類似度，該類似度在預先指定的臨界值以上時，評估部307就取得與該評估用影像形成對應的評估結果。評估用影像為例如拍攝部303所拍攝的一個以上影像。評估用影像為彩色影像、或灰階影像、二值化影像均可。影像間的類似度可為例如構成影像的像素值平均的比較、像素值的柱形圖(histogram)、從影像計算所得的每個頻率的振幅寬度的比較等，也可為二值化影像彼此間一致像素的比率等。
再者，評估部307也可使用運用均方誤差的類似影像搜尋等其他公知的類似影像搜尋作為影像的類似搜尋。
另外，針對影像執行的類似搜尋、取得影像間類似度等的處理等，由於是屬公知技術，其詳細說明在此容予省略。
評估結果只要是表示與缺陷部分相關的評估結果的資訊，任何資訊均可。例如，可為表示是否與工件10的破損關連可能性高的缺陷部分的資訊、或表示破損發生率範圍(例如，50%以上)等的資訊。此外，也可為表示 發生何種異常的資訊。又，也可為表示工件10產生破損的資訊。而且，也可為這些資訊的2種以上組合。
另外，評估部307也可使用儲存於後述影像情況資訊儲存部310的影像情況資訊，來評估影像輸出部305輸出的影像所顯示的缺陷部分。例如，也可使用影像情況資訊內具有的關於拍攝部303所拍攝的缺陷部分影像的資訊、影像情況資訊所具有的影像所顯示的有關工件10的工件情況資訊，來評估缺陷部分。有關工件情況資訊，容後述。所謂影像情況資訊具有的關於缺陷部分影像的資訊，可為缺陷部分的影像本身，也可為自缺陷部分影像取得的特徵點資訊。
例如，關於缺陷部分影像的資訊是指缺陷部分的影像時，評估部307即使用影像情況資訊具有的影像，對影像輸出部305輸出的影像進行與上述同樣的類似搜尋，從影像情況資訊取得與經判斷為類似的影像形成對應的工件情況資訊作為評估結果。這種情況的影像情況資訊也可以為上述的評估影像管理資訊。
再者，例如關於缺陷部分影像的資訊為缺陷部分影像之特徵點的資訊時，評估部307會對影像輸出部305輸出的影像，使用影像情況資訊具有的影像特徵點資訊，進行與上述同樣的圖形匹配，從影像情況資訊取得與經判斷為匹配的特徵點資訊形成對應的工件情況資訊，作為評估結果。此時的影像情況，可以為上述的評估圖形管理資訊。
此外，評估部307也可使用儲存於後述影像情況資訊儲存部310的影像情況資訊，進行機器學習，並使用其機器學習的結果，執行影像輸出部305輸出的影像的評估。例如，可對影像情況資訊具有的影像特徵點與對於該影像所示的缺陷部分的工件情況資訊的一個或兩個以上的組加以學習，使用其學習結果，取得與從影像輸出部305輸出的影像取得的特徵點對應的工件情況資訊，作為評估結果。另外，有關機器學習的構成與處理，因與上述實施形態1相同，其詳細說明在此容予省略。
評估結果輸出部308會將評估部307所取得的評估結果輸出。評估結果輸出部308也可例如將評估結果與作為該評估結果的評估對象的影像所對應的工件識別符、或缺陷部分的識別符、或修正缺陷位置資訊形成對應並 輸出。
此處所謂的輸出包含例如顯示到監視器畫面、使用投影機進行投影、在印表機列印、往外部裝置傳送、儲存到記錄媒體、處理結果對其他處理裝置或其他程式等的交遞等概念。
評估結果輸出部308也可以為包含或不包含顯示器、印表機、通訊裝置、儲存裝置等輸出裝置。影像輸出部305得由輸出裝置的驅動軟體、或輸出裝置的驅動軟體與輸出裝置等來實現。
情況受理部309受理工件情況資訊，該工件情況資訊是指表示有關經拍攝部303拍攝缺陷部分的工件10的缺陷部分拍攝後情況、且為對該工件10執行預先指定的一個或兩個以上處理後之情況的資訊。例如，情況受理部309會從使用者等受理工件情況資訊。
所謂預先指定處理，是指例如對工件10執行的處理。若工件10為半導体晶圓，預先指定處理是指例如構成半導体製造程序的一個以上處理。
所謂工件10的情況，可視為工件10的狀態，例如，工件10是否發生破損等異常、該異常是何種異常等。所謂何種異常，例如，異常為破損時，是指產生破裂或裂紋等如何破損的情形。工件10的情況也可為因存在於工件10的一個缺陷部分而起的工件情況。所謂因存在於工件10的一個缺陷部分而起的工件情況，是指例如在對應工件10的一個缺陷部分的位置開始從該缺陷部分產生裂紋的情形。
工件情況資訊是指表示上述的工件10的情況的資訊。工件情況資訊是指例如表示即使工件10在拍攝後的處理中是否正常的資訊。或者，也可為表示在拍攝後的處理中工件10發生了何種異常的資訊。此外，工件情況資訊也可為拍攝後的處理已結束的工件10的評估值或指標等。
例如，情況受理部309會受理工件10的識別符、或與缺陷部分識別符形成對應的工件情況資訊。例如，對一個工件10在拍攝後的後續程序中檢測到有異常時，即同時將工件10的識別符與工件情況資訊受理。
此處所謂的受理是指例如從輸入裝置的受理、或傳送自其他機器等的輸入訊號的接收、或自記錄媒體等的資訊讀取等。用以受理工件情況資訊的輸入裝置可為經由數字鍵、鍵盤、滑鼠或選單畫面等任何一種。情況受理 部309得以數字鍵、鍵盤等輸入裝置的裝置驅動器、選單畫面的控制軟體等來實現。
影像情況資訊儲存部310是供儲存影像情況資訊，該影像情況資訊內的資訊具有關於影像輸出部305輸出的缺陷部分影像的資訊、及工件情況資訊。關於缺陷部分影像的資訊是指例如利用在圖形匹配或影像類似搜尋的影像所取得的資訊。關於缺陷部分影像的資訊可為例如缺陷部分的影像本身、對缺陷部分影像進行二值化等影像處理所得的影像、也可為從缺陷部分影像取得的特徵點的資訊、也可為對缺陷部分影像施行過濾處理等預先指定處理所得的資訊。而且，關於缺陷部分影像的資訊可為具有這些資訊中的2種以上的資訊。儲存於影像情況資訊儲存部310的工件情況資訊為例如情況受理部309所受理的情況資訊。
影像情況資訊累積儲存部311將影像情況資訊儲存於影像情況資訊儲存部310，該影像情況資訊具有影像輸出部305輸出關於缺陷部分影像的資訊、及情況受理部309所受理有關該缺陷部分的工件情況資訊。例如，影像情況資訊累積儲存部311會將影像情況資訊累積儲存，而該影像情況資訊則具有影像輸出部305輸出的缺陷部分影像、及有關該缺陷部分的工件情況資訊。此外，例如影像情況資訊累積儲存部311也可從影像輸出部305輸出的缺陷部分影像取得上述關於該影像的資訊，並將具有所取得關於該影像的資訊、及有關該缺陷部分的工件情況資訊的影像情況資訊加以累積儲存。
所謂有關缺陷部分的工件情況資訊，可為有關一個缺陷部分的工件情況資訊，也可為有關具有一個缺陷部分的工件的工件情況資訊。影像情況資訊累積儲存部311在受理例如指定一個以上缺陷部分影像的資訊、及這些影像表示的有關缺陷部分的一個工件情況資訊時，將關於該缺陷部分影像的資訊與所受理的工件情況資訊形成對應，並儲存於影像情況資訊儲存部310。
例如，情況受理部309受理了由工件的識別符與該該工件的缺陷部分識別符形成對應的工件情況資訊時，影像情況資訊累積儲存部311可將影像情況資訊儲存於影像情況資訊儲存部310，而該影像情況資訊以形成對應方式具有：影像輸出部305輸出的缺陷部分影像中與該工件識別符一致的工件識別符形成對應且與該缺陷部分識別符一致的缺陷部分識別符形成對應 的一個以上缺陷部分影像、及所受理的工件情況資訊。
例如，情況受理部309受理了與工件的識別符形成對應的工件情況資訊時，影像情況資訊累積儲存部311可將影像情況資訊儲存於影像情況資訊儲存部310，而該影像情況資訊以形成對應方式而具有：影像輸出部305輸出的缺陷部分影像中與該工件識別符一致的工件識別符形成對應的一個以上缺陷部分影像、及所受理的工件情況資訊。
另外，也可藉由本實施形態的工件處理裝置3、及上述實施形態1中說明的工件輸送裝置2來構成工件輸送系統。例如，該工件輸送系統為在第4圖等所示的上述實施形態1的工件輸送系統1000中設置工件處理裝置3，以取代工件處理裝置，而獲得的工件輸送系統。
接著，使用第20圖的流程圖就本實施形態的工件處理裝置3的動作加以說明。本實施形態的工件處理裝置3進行的處理與第6圖所示的上述實施形態1的工件處理裝置1相同，同時，第6圖所示的處理進行以下第20圖所示的處理，作為從步驟S119至返回步驟S100間的處理。具體而言，在第6圖的步驟S119之後就開始第20圖處理，第20圖的處理結束時，返回第6圖的步驟S100。另外，有關第6圖所示的處理的說明，在此容予省略。
(步驟S301)移動部302從輸出部104輸出關於缺陷部分的資訊來判斷工件10的邊緣有無一個以上缺陷部分。若有，則進到步驟S302；若無，則進到步驟S314。
(步驟S302)檢測部306從缺陷部分中檢測大小較大的一個以上缺陷部分。還有，缺陷部分只有一個時，可省略該處理。此外，無法檢測到大小較大的缺陷部分時，可進到步驟S314。
(步驟S303)移動部302將1代入計數器k。
(步驟S304)移動部302使用第k個缺陷部分的旋轉角度等表示位置的資訊，使工件10的中心移動到預先指定位置，且取得令第k個缺陷部分移動到拍攝區域時所需要的工件10的旋轉角度。
(步驟S305)移動部302取得使工件10及第k個缺陷部分移動到與上述同樣的位置時所需要的工件10的水平方向移動量。所謂的水平方向移動量，是指用以使工件10朝水平方向移動的距離、角度、移動方向、x軸方 向的移動距離、y軸方向的移動距離等資訊。
(步驟S306)移動部302依照步驟S304及步驟S305所取得的旋轉角度資訊及水平方向移動量，令工件10移動，使第k個缺陷部分移動到拍攝區域。
(步驟S307)拍攝部303對工件10的第k個缺陷部分進行拍攝。
(步驟S308)修正缺陷位置取得部304針對第k個缺陷部分取得修正缺陷位置資訊。例如，針對第k個缺陷部分及缺口部分，分別取得以工件10的中心為旋轉中心時的旋轉角度，並取得其差值作為修正缺陷位置資訊。
(步驟S309)影像輸出部305將拍攝部303拍攝的影像輸出。例如，影像輸出部305會使影像與工件10的識別符或第k個缺陷部分的識別符、或步驟308取得有關第k個缺陷部分的修正缺陷位置資訊等形成對應，並輸出。例如，影像輸出部305會將影像儲存於未圖示的儲存部。而且，影像輸出部305也可將影像顯示於監視器等。
(步驟S310)評估部307使用步驟S309儲存的影像，進行顯示於該影像的第k個的缺陷部分的評估。例如，從儲存於影像情況資訊儲存部310的影像情況資訊所具有的影像圖形中，藉由圖形匹配而檢測出與第k個缺陷部分的影像匹配的影像圖形，並取得與檢測所得的圖形形成對應的工件情況資訊，作為評估結果。
(步驟S311)評估結果輸出部308將評估結果輸出。例如，顯示於監視器等。
(步驟S312)移動部302將計數器k之值遞增1。
(步驟S313)移動部302判斷有無第k個缺陷部分。若有，則返回步驟S304；若無，則進到步驟S314。
(步驟S314)移動部302使缺口部朝預先指定方向移動，且取得工件10之中心移動到預先指定位置時所必須的工件10的旋轉角度。
(步驟S315)移動部302使缺口部朝預先指定方向移動，且取得使工件10的中心移動到預先指定位置時所必須的工件10的水平方向移動量。
(步驟S316)移動部302依照步驟S314取得的旋轉角度及步驟S315取得的移動量，使工件10移動。該移動為例如用以使工件10與工件輸送裝 置2等對準位置並遞交的移動。然後，結束處理。該處理結束時，返回第6圖的步驟S100。
此外，本實施形態的工件處理裝置3中，在第6圖所示流程圖的步驟S122，判斷為非設定臨界值的時機後，再進行判斷情況受理部309是否已受理工件情況資訊的處理；已受理工件情況資訊時，影像情況資訊累積儲存部311可將具有所受理的工件情況資訊、及與該工件情況資訊對應的關於缺陷部分影像的資訊的影像情況資訊儲存於影像情況資訊儲存部310，並返回步驟S100；若未受理時，返回步驟S100。
再者，第20圖所示的流程圖中，在步驟S316，移動部302移動工件10後，工件10例如藉由工件輸送裝置2等從工件處理裝置3往其他裝置等輸送。此外，此處省略說明，惟工件輸送裝置2將工件安置於移動部302的載置台3021等時，工件處理裝置3可與一般所謂對準器等同樣，使工件10旋轉，且針對工件10取得第一旋轉距離資訊，並儲存於第一旋轉距離資訊儲存部101。
此外，第20圖中，步驟S310與步驟S311等的處理、或影像輸出部305將缺陷部分的影像輸出的例如顯示的處理，可按照使用者等的指示適當進行。
又，第20圖所示的流程圖中，可將步驟S314及步驟S315的處理在步驟S301的瞬前進行；在步驟S301判斷為無缺陷部分時，進到步驟S316；在步驟S313判斷為無第k個缺陷部分時，也可進到步驟S316，並使用步驟S314及步驟S315取得的資訊，使工件10移動。
其次，就本實施形態的工件處理裝置3的具體例加以說明。此外，此處是就由工件處理裝置3與工件輸送裝置2構成工件輸送系統的情況為例作說明。而且，該工件處理裝置3等雖可執行例如與上述實施形態1中說明的具體例同樣的處理，但此處，有關該處理等的詳細說明予以省略。
與上述實施形態1的具體例同樣，工件處理裝置3針對一個工件10取得作為工件對準位置用的資訊的修正資訊、關於缺陷部分的資訊、及特定工件朝向用資訊，並設輸出部104已輸出這些資訊。輸出部104所輸出的修正資訊設為表示移動方向的旋轉角度α1及移動長度h1。而且，輸出部104 所輸出關於缺陷部分的資訊，是與例如第16圖所示者同樣，設為有關複數個缺陷部分的表示缺陷部分範圍的旋轉角度範圍與缺陷部分大小的最大值的組、或具有從工件10的旋轉中心至各缺陷部分兩端的長度等的資訊。此外，輸出部104所輸出的特定工件朝向用資訊，為表示與第16圖所示者同樣的定向扁平部範圍的旋轉角度範圍。
移動部302從輸出部104受理上述的資訊時，首先，判斷工件10中有無缺陷部分。此處，因關於缺陷部分的資訊表示具有缺陷部分，故判斷為有缺陷部分。
由於藉移動部302判斷工件10中有缺陷部分，故檢測部306會從該缺陷部分中檢測大小較大的缺陷部分。此處，是對缺陷部分大小的絕對值為臨界值以上的缺陷部分進行檢測。此處，是例如全部缺陷部分的大小均判斷為臨界值以上。
移動部302針對檢測部306所檢測的缺陷部分中的第一缺陷部分，使該缺陷部分的兩端連結線段的中點位於拍攝部303的拍攝範圍，且以下述方式取得用以使工件10移動的旋轉移動的旋轉角度與水平移動的移動量的組合，俾在將預先指定工件10交遞於工件輸送裝置2時，使工件10的中心位於其應配置的位置。
具體而言，使用表示第一缺陷部分範圍的表示旋轉角度範圍的資訊、或從工件10的旋轉中心至缺陷部分兩端的長度等，取得缺陷部分兩端的座標等，並取得通過該缺陷部分兩端的線段對旋轉角度為90°的線段所形成的角度。此處，旋轉角度為90°的線段，係為對取得上述旋轉角度α1時表示0°的直線所形成的角度為90度的線段，該角度相當於第19圖的θt。
接著，移動部302會將預先儲存於未圖示的儲存部等的表示拍攝區域內的中心位置的旋轉角度讀取，並從該角度減去上文中取得的通過缺陷部分兩端的線段對旋轉角度為90°的線段所形成的角度。藉此方式所得的角度即為使工件10旋轉時所利用的旋轉角度，相當於第19圖的角度γ。
而且，移動部302會取得上文中取得的通過缺陷部分兩端的線段對旋轉角度為90°的線段所形成的角度加入修正資訊具有的旋轉角度α1所得的值，作為使工件10移動時的旋轉角度，且取得修正資訊具有的長度h1，作 為工件10的移動距離。但，由於此處所取得的旋轉角度是為用以使工件10的旋轉中心重疊於工件10的中心的表示移動方向的角度，所以，使工件10移動時，朝該取得的旋轉角度的相反方向(，亦即旋轉180°的方向)移動。
移動部302會使工件10以工件10的旋轉中心為中心旋轉上文中取得的旋轉角度所示的角度，並使工件10朝上文中取得的旋轉角度所示方向的相反方向移動一長度h1。
拍攝部303藉由這種移動對已位於拍攝區域的工件10的第一缺陷部分進行拍攝。
再者，修正缺陷位置取得部304會使用輸出部104輸出的修正資訊所具有的表示定向扁平部範圍的旋轉角度等，進行與上述移動部302同樣的處理，取得連結定向扁平部兩端的直線對旋轉角度為90°的線段所形成的角度，並從上文中移動部302取得的通過第一缺陷部分兩端的線段對旋轉角度為90°的線段所形成的角度減去，而取得藉該減算所得之值，作為有關第一缺陷部分的修正缺陷位置資訊。該修正缺陷位置資訊為以工件10的中心當作旋轉中心時，以定向扁平部的旋轉角度為基準(亦即，0°)時的第一缺陷部分的旋轉角度。
影像輸出部305使對拍攝部303拍攝的第一缺陷部分進行拍攝所得的影像，與工件10的識別符(例如，分配給工件10的代碼)、缺陷部分的ID(例如，缺陷部分的號碼等)、修正缺陷位置資訊、拍攝日期、輸出部104輸出的缺陷部分深度(高度)、及輸出部104輸出的缺陷部分範圍換算成長度所得的值的缺陷部分寬度形成對應，並儲存於未圖示的儲存部，同時使拍攝的影像與這些資訊形成對應，顯示於未圖示的監視器等。
第21圖是用來管理影像輸出部305所儲存的缺陷部分影像的影像管理表。影像管理表具有：「影像」、「工件ID」、「缺陷ID」、「修正缺陷位置」、「日期」、「高度」、及「寬度」。「影像」為缺陷部分的影像，此處，是表示影像的檔案名。「工件ID」為工件的識別符。「缺陷ID」為工件10內的缺陷部分的識別符，此處，是設為以從旋轉角度較小者依序呈上升次序的方式分配給檢測部306檢測的缺陷部分的號碼。「修正缺陷位置」為修正缺陷位置取得部304取得的修正缺陷位置資訊。「日期」是從未圖示的時鐘等取得的 影像拍攝日期。「高度」為缺陷部分的高度或深度，「寬度」指缺陷部分的寬度。
第22圖為影像輸出部305輸出的缺陷部分的影像顯示例圖。圖中，缺陷部分的影像是顯示在區域211。在區域212顯示的影像中，影像輸出部305在顯示預先準備的無缺陷部分的工件10的影像中，在修正缺陷位置資訊所示的旋轉角度所示方向的邊緣上的位置，配置有表示有缺陷部分的標記。在區域213中，顯示有與缺陷部分影像對應的工件的識別符。在區域214中，顯示有與缺陷部分影像對應的修正缺陷位置資訊表示的旋轉角度、缺陷部分的寬度及深度。在區域215中，顯示有拍攝日期。此外，顯示於區域211的影像可按照使用者等的指示，進行放大、縮小、顯示範圍的移動等。
第23圖為用以管理儲存於影像情況資訊儲存部310的影像情況資訊的影像情況資訊管理表的圖示。影像情況資訊管理表具有所謂「圖形」、「情況」等屬性。「圖形」是指從缺陷部分影像取得的缺陷部分特徵量的圖形。「情況」是指具有關於與「圖形」對應的缺陷部分的工件的工件情況資訊。
評估部307針對影像輸出部305輸出的第一缺陷部分影像，使用第23圖所示的影像情況資訊進行評估。具體而言，評估部307會從第23圖的影像情況資訊管理表的各紀錄(列)依序取得「圖形」的屬性值，並依序判斷所取得的屬性值表示的影像圖形是否與第一缺陷部分的影像匹配。有匹配時，取得有匹配的屬性值對應的「情況」的屬性值，作為評估結果。此外，在一個紀錄的圖形有匹配的時間點，可將處理結束，也可針對全部紀錄進行處理。此時，可取得複數個「情況」的屬性值作為評估結果。又，沒有匹配的圖形時，評估部307會取得以內定等指定的評估結果，例如，「無異常」等評估結果。此處，例如，拍攝第一缺陷部分的影像，由於與「圖形」中的「圖形2」匹配，故取得「工件破裂大」的評估結果。
然後，評估結果輸出部308將評估部307取得的評估結果與影像形成對應並加以儲存，再顯示於未圖示的監視器等。
第24圖是表示藉評估結果輸出部308所得的評估結果的輸出例圖。
藉由該輸出，使用者即可辨識該缺陷部分為後續程序中有發生大工件破裂的可能性的缺陷部分。
還有，針對檢測部306檢測的其他缺陷部分，也反覆進行上述的處理。
然後，有關檢測部306檢測的全部缺陷部分的處理結束時，移動部302即與使缺陷部分移動到拍攝區域時同樣的，將工件10的定向扁平部朝預先指定方向配置，且取得用以使工件10的中心配置於預先指定位置的工件10旋轉角度及水平方向移動量，並使用所取得的旋轉角度及水平方向的移動量使工件10移動。藉此方式，就可將工件10朝預定的方向配置於預定的位置。
工件輸送裝置2會將以此方式對準位置及方向的工件10拾起並輸送。藉由工件輸送裝置2的輸送等，由於與上述實施形態1的具體例相同樣，故在此省略其說明。
此外，影像輸出部305在例如從使用者經由未圖示的受理部等受理了顯示一個缺陷部分的影像的指示等時，也可以第21圖所示方式將所指定的缺陷部分影像加以顯示。
此處，例如使用者在後續程序中，會在一個工件10上，設為檢測到識別符「W001」的工件已發生破裂等異常。然後，使用者利用未圖示的輸入介面等輸入該已發生破裂的工件10的識別符及關於該破裂的工件情況資訊時，情況受理部309就受理這些資訊。例如，設為已受理工件10的識別符的「W001」、及工件情況資訊的「工件破裂」。
然後，影像情況資訊累積儲存部311會從第21圖所示的影像管理表讀取與已受理的工件10的識別符「W001」形成對應的全部影像，具體而言為「img1001」至「img1005」，從各個影像取得特徵點，並針對各影像取得缺陷部分特徵點的圖形資訊。接著，使各圖形資訊與情況受理部309所受理的工件情況資訊形成對應，且儲存於影像情況資訊儲存部310。藉此方式，第23圖所示的影像情況資訊管理表中即可追加5個紀錄(列)。藉此方式，就可使關於缺陷部分影像的資訊及缺陷部分對工件10造成的影響等形成對應並儲存，且利用缺陷部分影像進行缺陷部分評估時的精確度可獲得提升。
還有，工件破裂原因的缺陷部分可以特定時，也可藉由例如工件識別符與缺陷部分識別符的組合等來指定工件10的缺陷部分，以取代指定發 生異常的工件10並將工件情況資訊輸入。或者，從第22圖所示的顯示畫面的區域212所示的影像來受理缺陷部分的指定。
此外，可使用未圖示的異常檢測裝置等將有關工件10的後續程序異常檢測及表示其異常情況的工件情況資訊的取得予以自動化。此時，該裝置會將該裝置等輸出的發生破裂的工件10的識別符及工件情況資訊輸入情況受理部309。
綜上所述，若依本實施形態，透過使工件的邊緣缺陷部分移動到拍攝區域內，以拍攝該缺陷部分，即可容易藉影像確認工件的邊緣。
再者，藉由以拍攝影像來輸出邊緣的缺陷部分，可容易將邊緣的缺陷部分放大顯示，難用肉眼確認的缺陷部分形狀等可容易進行確認。
又，若依本發明，藉由移動部302令工件10移動，使工件10的中心得以配置於預先指定位置(例如，將工件10遞交至工件輸送裝置2時，工件10的中心應配置的位置)，而且，透過以使缺陷部分配置在拍攝部303的拍攝範圍的方式進行缺陷部分的拍攝，針對相同規格的工件10的不同缺陷部分拍攝的影像之間，影像內的工件10的缺陷部分位置、或缺陷部分以外的邊緣位置可保持在相同位置。藉此方式，影像間的比較容易進行，而且，從影像取得特徵點、或判斷影像的類似度時，可作精確度優異的處理。
另外，上述各實施形態中，各處理(各功能)可透過單一的裝置(系統)實施集中處理來實現，或者，也可藉由複數個裝置實施分散處理來實現。
再者，上述各實施形態中，各構成要素也可藉專用的硬體來構成，或者，關於可藉軟體實現的構成要素，也可利用執行程式來實現。例如，透過CPU等程式執行部將記錄在硬碟或半導體記憶體等記錄媒體的軟體-程式讀取並執行，各構成要素即得以實現。在執行軟體-程式時，程式執行部也可一邊進出儲存部(例如，硬碟或記憶體等記錄媒體)一邊執行程式。此外，上述實施形態的工件處理裝置也可藉由軟體來實現。
本發明並不限定於以上的實施形態，而是可作各種變化，這些變化也應包含於本發明的範圍，實無庸贅言。
〔產業上的可利用性〕
如以上所述，本發明的工件處理裝置適於作為處理工件的裝置，特 別是作為執行工件的定位等的裝置，非常有用。
1‧‧‧工件處理裝置
101‧‧‧第一旋轉距離資訊儲存部
102‧‧‧邊緣位置檢測器
103‧‧‧取得部
104‧‧‧輸出部
105‧‧‧評估相關資訊受理部
106‧‧‧設定部
1031‧‧‧合成裝置
1032‧‧‧合成處理裝置
1033‧‧‧修正資訊取得裝置
1034‧‧‧第二距離資訊取得裝置
1035‧‧‧計算裝置
1036‧‧‧缺口檢測裝置
1037‧‧‧缺陷檢測裝置

Claims (17)

  1. 一種工件處理裝置，具備：第一旋轉距離資訊儲存部，供儲存複數個第一旋轉距離資訊，該等第一旋轉距離資訊為具有使圓形工件旋轉時的旋轉角度與第一距離資訊形成對應的資訊，而該第一距離資訊則為關於從對應該旋轉角度的工件旋轉中心至邊緣為止的距離資訊；取得部，使用儲存於前述第一旋轉距離資訊儲存部的複數個第一旋轉距離資訊，來取得前述工件對準位置用的資訊、特定前述工件的朝向用的資訊、及關於前述工件邊緣的缺陷部分的資訊；以及輸出部，用以輸出前述取得部所取得的前述工件對準位置用的資訊、特定前述工件的朝向用的資訊、及關於前述缺陷部分的資訊。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的工件處理裝置，其中，前述取得部使用關於缺陷部分的大小的一個以上臨界值來進行缺陷部分的檢測，而在檢測有缺陷部分時，取得關於缺陷部分的資訊。
  3. 如申請專利範圍第2項所述的工件處理裝置，其中，前述輸出部按照前述取得部所取得的關於缺陷部分的資訊，進一步進行前述工件邊緣有異常時的輸出的異常輸出。
  4. 如申請專利範圍第2項或第3項所述的工件處理裝置，進一步具備：評估相關資訊受理部，受理評估相關資訊，而該評估相關資訊為有關前述工件的邊緣缺陷部分的評估的相關資訊；以及設定部，使用前述評估相關資訊，取得前述取得部用在缺陷部分的檢測關於大小的一個以上臨界值，並使用該取得的臨界值，來設定前述取得部用在缺陷部分檢測關於大小的一個以上臨界值。
  5. 如申請專利範圍第1項所述的工件處理裝置，其中，前述取得部具備：合成裝置，將包含於前述複數個第一旋轉距離資訊的第一距離資訊中對應旋轉角度逐次相異90度的複數個第一距離資訊合成；合成處理裝置，在前述合成裝置將第一距離資訊合成並取得的資訊的複數個合成距離資訊中，將對應的旋轉角度相連續且值的大小變化較小的複數個合成距離資訊進行檢測，並取得檢測所得的複數個合成距離資訊中的一 個以上對應的合成前複數個第一距離資訊及與合成前的一個以上第一距離資訊對應的旋轉角度；修正資訊取得裝置，使用前述合成處理裝置所取得的複數個第一距離資訊及旋轉角度，取得用以使前述工件的旋轉中心與工件的中心對準的修正資訊，作為前述工件的對準位置用資訊；第二距離資訊取得裝置，使用前述修正資訊取得裝置所取得的修正資訊，取得表示前述工件為邊緣無凹凸的圓形時的旋轉角度與第二距離資訊的關係的關係式，而該第二距離資訊則為關於與旋轉角度相應的工件至邊緣的距離的資訊，將與前述複數個第一旋轉距離資訊對應的複數個旋轉角度分別代入該取得的關係式，並取得第二距離資訊；計算裝置，使用前述複數個第一旋轉距離資訊及前述第二距離資訊取得裝置所取得的複數個第二距離資訊，來取得與相同的旋轉角度形成對應的前述第一距離資訊與第二距離資訊的差；缺口檢測裝置，使用前述計算裝置計算所得的前述第一距離資訊與第二距離資訊的差，作為前述工件的朝向特定資訊，來取得表示該工件的朝向特定用缺口部的資訊；以及缺陷檢測裝置，使用前述計算裝置所計算的前述第一距離資訊與第二距離資訊的差，取得前述工件關於邊緣缺陷部分的資訊。
  6. 如申請專利範圍第5項所述的工件處理裝置，其中，前述合成處理裝置在前述複數個合成距離資訊中，將從值較大者依序檢測一個以上合成距離資訊的第一處理及從值較小者依序檢測一個以上合成距離資訊的第二處理的至少一個執行1次以上，並在該第一處理及第二處理未受檢測的其餘合成距離資訊中，取得與對應的旋轉角度在預先指定數以上的相連續合成距離資訊的一個以上合成距離資訊對應的合成前複數個第一距離資訊、與對應合成前的一個以上第一距離資訊的旋轉角度的組對。
  7. 如申請專利範圍第5項或第6項所述的工件處理裝置，其中，前述缺口部檢測裝置使用前述計算裝置所計算的前述第一距離資訊與第二距離資訊的差及關於缺口部大小的一個以上臨界值，檢測設在前述工件邊緣的缺口部，並取得表示該缺口部的資訊。
  8. 如申請專利範圍第5項或第6項所述的工件處理裝置，其中，前述缺陷檢測裝置使用前述計算裝置所計算的前述第一距離資訊與第二距離資訊的差及關於缺陷部分大小的一個以上臨界值，檢測前述工件邊緣的缺陷部分，並取得關於該經檢測的缺陷部分的資訊。
  9. 如申請專利範圍第5項或第6項所述的工件處理裝置，其中，前述合成裝置在包含於前述複數個第一旋轉距離資訊的第一距離資訊中，將對應的旋轉角度逐次相異90度的4個第一距離資訊分別合成，並取得複數個合成距離資訊。
  10. 如申請專利範圍第1項至第3項、第5項、及第6項中任一項所述的工件處理裝置，進一步具備：移動部，使用前述輸出部輸出關於前述工件的邊緣缺陷部分的資訊，使前述工件移動，俾使該工件邊緣缺陷部分配置在預先指定區域的拍攝區域內；拍攝部，將配置於前述拍攝區域內的前述工件的邊緣缺陷部分進行拍攝；以及影像輸出部，輸出前述拍攝部所拍攝的影像。
  11. 如申請專利範圍第10項所述的工件處理裝置，其中，前述移動部使前述工件移動，俾使前述工件的中心配置於預先指定位置，且使前述工件的邊緣缺陷部分配置於前述拍攝部的拍攝區域內。
  12. 如申請專利範圍第10項所述的工件處理裝置，其中，進一步具備修正缺陷位置取得部，其使用前述輸出部輸出的前述工件對準位置用的資訊、前述工件的朝向特定用資訊、及關於前述工件的邊緣缺陷部分的資訊，以前述工件的中心與有關該工件特定的朝向為基準，取得表示前述工件缺陷部分位置的資訊的修正缺陷位置資訊；而前述影像輸出部則使前述拍攝部所拍攝的影像與拍攝於該影像的缺陷部分對應的修正缺陷位置資訊形成對應並輸出。
  13. 如申請專利範圍第10項所述的工件處理裝置，其中，進一步具備檢測部，該檢測部使用前述輸出部輸出關於前述工件的邊緣缺陷部分的資訊，檢測前述工件邊緣的缺陷部分大小較大的一個以上缺陷部分， 而前述移動部則使前述檢測部所檢測的前述工件的邊緣缺陷部分移動到前述拍攝區域，前述拍攝部則拍攝前述檢測部所檢測的前述工件的邊緣缺陷部分。
  14. 如申請專利範圍第10項所述的工件處理裝置，其中，進一步具備：評估部，使用前述影像輸出部輸出的影像來評估該影像所示的缺陷部分；以及評估結果輸出部，輸出前述評估部的評估結果。
  15. 如申請專利範圍第14項所述的工件處理裝置，其中，具備：情況受理部，受理有關經前述拍攝部拍攝缺陷部分的工件的工件情況資訊，而該工件情況資訊是指拍攝該缺陷部分後的情況，且表示執行預先指定處理後的情況的資訊；影像情況資訊儲存部，供儲存影像情況資訊，而該影像情況資訊為具有前述影像輸出部輸出的關於缺陷部分影像的資訊、及工件情況資訊的資訊；以及影像情況資訊累積儲存部，將影像情況資訊儲存於前述影像情況資訊儲存部，而該影像情況資訊具有：前述影像輸出部輸出關於缺陷部分影像的資訊、及前述情況受理部所受理有關該缺陷部分的工件情況資訊，而前述評估部使用儲存於前述影像情況資訊儲存部的影像情況資訊來評估前述缺陷部分。
  16. 一種工件輸送系統，具備：如申請專利範圍第1項至第3項、第5項、及第6項中任一項所述的工件處理裝置；以及對該工件處理裝置進行工件的傳送的工件輸送裝置。
  17. 一種工件輸送系統，具備：如申請專利範圍第10項所述的工件處理裝置；以及對該工件處理裝置進行工件的傳送的工件輸送裝置。
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