JP2561193B2 - 印刷パターン検査装置 - Google Patents
印刷パターン検査装置Info
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、製品に印刷されたパタ
ーンの欠陥を判定する印刷パターン検査装置に関する。
ーンの欠陥を判定する印刷パターン検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、例えば、 3.5インチ・フレキシブ
ルディスクカートリッジの製造工程において、そのシャ
ッターやシェルに所定の文字・図形・記号等をスクリー
ン印刷しているが、印刷パターンに、図9に分類して示
すような、(イ)抜け、(ロ)欠け、(ハ)飛び、
(ニ)はみ出し、(ホ)かすれ等の欠陥を生じることが
あり、かかる欠陥を生じた製品は不良品として廃棄等す
る必要がある。
ルディスクカートリッジの製造工程において、そのシャ
ッターやシェルに所定の文字・図形・記号等をスクリー
ン印刷しているが、印刷パターンに、図9に分類して示
すような、(イ)抜け、(ロ)欠け、(ハ)飛び、
(ニ)はみ出し、(ホ)かすれ等の欠陥を生じることが
あり、かかる欠陥を生じた製品は不良品として廃棄等す
る必要がある。
【0003】このため、従来は、目視により、印刷パタ
ーンの欠陥を判定している。
ーンの欠陥を判定している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、目視に
よる印刷パターンの欠陥判定では、人による判断基準の
ばらつきや、見落としにより、必ずしも正確に欠陥判定
がなされるとは言い難い。本発明は、このような実情に
鑑み、製品に印刷されたパターンの欠陥を画像認識によ
って精度よく判定することのできる印刷パターン検査装
置を提供することを目的とする。
よる印刷パターンの欠陥判定では、人による判断基準の
ばらつきや、見落としにより、必ずしも正確に欠陥判定
がなされるとは言い難い。本発明は、このような実情に
鑑み、製品に印刷されたパターンの欠陥を画像認識によ
って精度よく判定することのできる印刷パターン検査装
置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】このため、本発明は、図
1に示すように、 a)完全品の濃淡画像を取込む手段と、 c)完全品から取込んだ濃淡画像を2値化処理する手段
と、 d)被検査品の濃淡画像を取込む手段と、 e)被検査品から取込んだ濃淡画像を2値化処理する手
段と、 f)完全品の2値化処理画像と被検査品の2値化処理画
像とに基づいてズレ画素数を算出する手段と、 g)被検査品から取込んだ濃淡画像を前記ズレ画素数−
1から前記ズレ画素数+1の範囲でシフトする手段と、 h)完全品から取込んだ濃淡画像と被検査品から取込ん
でシフトした濃淡画像との差の絶対値を画素毎に演算し
て差画像を作成する手段と、 j)前記差画像を2値化処理して欠陥抽出画像を作成す
る手段と、 k)前記欠陥抽出画像に基づいて欠陥の程度を判定する
手段と、 を設けることにより、印刷パターン検査装置を構成す
る。
1に示すように、 a)完全品の濃淡画像を取込む手段と、 c)完全品から取込んだ濃淡画像を2値化処理する手段
と、 d)被検査品の濃淡画像を取込む手段と、 e)被検査品から取込んだ濃淡画像を2値化処理する手
段と、 f)完全品の2値化処理画像と被検査品の2値化処理画
像とに基づいてズレ画素数を算出する手段と、 g)被検査品から取込んだ濃淡画像を前記ズレ画素数−
1から前記ズレ画素数+1の範囲でシフトする手段と、 h)完全品から取込んだ濃淡画像と被検査品から取込ん
でシフトした濃淡画像との差の絶対値を画素毎に演算し
て差画像を作成する手段と、 j)前記差画像を2値化処理して欠陥抽出画像を作成す
る手段と、 k)前記欠陥抽出画像に基づいて欠陥の程度を判定する
手段と、 を設けることにより、印刷パターン検査装置を構成す
る。
【0006】又は、図2に示すように、b,iの手段を
追加して、 a)完全品の濃淡画像を取込む手段と、 b)完全品から取込んだ濃淡画像を特定方向に微分処理
する手段と、 c)完全品から取込んだ濃淡画像を2値化処理する手段
と、 d)被検査品の濃淡画像を取込む手段と、 e)被検査品から取込んだ濃淡画像を2値化処理する手
段と、 f)完全品の2値化処理画像と被検査品の2値化処理画
像とに基づいてズレ画素数を算出する手段と、 g)被検査品から取込んだ濃淡画像を前記ズレ画素数−
1から前記ズレ画素数+1の範囲でシフトする手段と、 h)完全品から取込んだ濃淡画像と被検査品から取込ん
でシフトした濃淡画像との差の絶対値を画素毎に演算し
て第1の差画像を作成する手段と、 i)前記第1の差画像と完全品の微分処理画像との差を
画素毎に演算して第2の差画像を作成する手段と、 j)前記第2の差画像を2値化処理して欠陥抽出画像を
作成する手段と、 k)前記欠陥抽出画像に基づいて欠陥の程度を判定する
手段と、 を設けることにより、印刷パターン検査装置を構成す
る。
追加して、 a)完全品の濃淡画像を取込む手段と、 b)完全品から取込んだ濃淡画像を特定方向に微分処理
する手段と、 c)完全品から取込んだ濃淡画像を2値化処理する手段
と、 d)被検査品の濃淡画像を取込む手段と、 e)被検査品から取込んだ濃淡画像を2値化処理する手
段と、 f)完全品の2値化処理画像と被検査品の2値化処理画
像とに基づいてズレ画素数を算出する手段と、 g)被検査品から取込んだ濃淡画像を前記ズレ画素数−
1から前記ズレ画素数+1の範囲でシフトする手段と、 h)完全品から取込んだ濃淡画像と被検査品から取込ん
でシフトした濃淡画像との差の絶対値を画素毎に演算し
て第1の差画像を作成する手段と、 i)前記第1の差画像と完全品の微分処理画像との差を
画素毎に演算して第2の差画像を作成する手段と、 j)前記第2の差画像を2値化処理して欠陥抽出画像を
作成する手段と、 k)前記欠陥抽出画像に基づいて欠陥の程度を判定する
手段と、 を設けることにより、印刷パターン検査装置を構成す
る。
【0007】
【作用】上記の構成においては、予め、完全品につい
て、濃淡画像取込み手段aにより、完全品の濃淡画像を
取込む。エッジ処理を行う場合は、エッジ検出のため、
微分処理手段bにより、完全品から取込んだ濃淡画像を
特定方向に微分処理して、微分処理画像を作成してお
く。また、2値化処理手段cにより、完全品から取込ん
だ濃淡画像を2値化処理して、2値化処理画像を作成し
ておく。
て、濃淡画像取込み手段aにより、完全品の濃淡画像を
取込む。エッジ処理を行う場合は、エッジ検出のため、
微分処理手段bにより、完全品から取込んだ濃淡画像を
特定方向に微分処理して、微分処理画像を作成してお
く。また、2値化処理手段cにより、完全品から取込ん
だ濃淡画像を2値化処理して、2値化処理画像を作成し
ておく。
【0008】被検査品の印刷パターンの検査は次の手順
により行う。先ず濃淡画像取込み手段dにより、被検査
品の濃淡画像を取込む。次に2値化処理手段eにより、
被検査品から取込んだ濃淡画像を2値化処理する。そし
て、ズレ画素数算出手段fにより、完全品の2値化処理
画像と被検査品の2値化処理画像とに基づいてズレ画素
数を算出する。そして、シフト手段gにより、被検査品
から取込んだ濃淡画像を前記ズレ画素数−1から前記ズ
レ画素数+1の範囲でシフトする。
により行う。先ず濃淡画像取込み手段dにより、被検査
品の濃淡画像を取込む。次に2値化処理手段eにより、
被検査品から取込んだ濃淡画像を2値化処理する。そし
て、ズレ画素数算出手段fにより、完全品の2値化処理
画像と被検査品の2値化処理画像とに基づいてズレ画素
数を算出する。そして、シフト手段gにより、被検査品
から取込んだ濃淡画像を前記ズレ画素数−1から前記ズ
レ画素数+1の範囲でシフトする。
【0009】次に差画像作成手段(第1の差画像作成手
段)hにより、完全品から取込んだ濃淡画像と被検査品
から取込んでシフトした濃淡画像との差の絶対値を画素
毎に演算して差画像(第1の差画像)を作成する。エッ
ジ処理を行う場合は、次に第2の差画像作成手段iによ
り、前記第1の差画像と完全品の微分処理画像との差を
画素毎に演算して第2の差画像を作成する。
段)hにより、完全品から取込んだ濃淡画像と被検査品
から取込んでシフトした濃淡画像との差の絶対値を画素
毎に演算して差画像(第1の差画像)を作成する。エッ
ジ処理を行う場合は、次に第2の差画像作成手段iによ
り、前記第1の差画像と完全品の微分処理画像との差を
画素毎に演算して第2の差画像を作成する。
【0010】次に欠陥抽出画像作成手段jにより、前記
第1の差画像又は前記第2の差画像を2値化処理して欠
陥抽出画像を作成する。次に欠陥判定手段kにより、前
記欠陥抽出画像に基づいて欠陥の程度を判定する。
第1の差画像又は前記第2の差画像を2値化処理して欠
陥抽出画像を作成する。次に欠陥判定手段kにより、前
記欠陥抽出画像に基づいて欠陥の程度を判定する。
【0011】
【実施例】以下に本発明の実施例を説明する。ここで
は、 3.5インチ・フレキシブルディスクカートリッジの
シャッター及びシェルに所定の文字・図形・記号等をス
クリーン印刷する場合を例にとって説明する。
は、 3.5インチ・フレキシブルディスクカートリッジの
シャッター及びシェルに所定の文字・図形・記号等をス
クリーン印刷する場合を例にとって説明する。
【0012】図3を参照し、ロータリーインデックス装
置のインデックステーブル1は、その上面に 360/8=
45度の間隔で8個の位置決め治具2が設けられていて、
45度ずつ回転するように設定されており、いずれの位置
決め治具2についても、丸付き数字で示す第1〜第8の
回転停止位置(ステーション)を有することになる。フ
レキシブルディスクカートリッジFDは、図示しないロ
ーダーから供給用コンベア3により搬送されて、第1の
回転停止位置にて図示しない受渡し装置によりインデッ
クステーブル1上の位置決め治具2にセットされる。
置のインデックステーブル1は、その上面に 360/8=
45度の間隔で8個の位置決め治具2が設けられていて、
45度ずつ回転するように設定されており、いずれの位置
決め治具2についても、丸付き数字で示す第1〜第8の
回転停止位置(ステーション)を有することになる。フ
レキシブルディスクカートリッジFDは、図示しないロ
ーダーから供給用コンベア3により搬送されて、第1の
回転停止位置にて図示しない受渡し装置によりインデッ
クステーブル1上の位置決め治具2にセットされる。
【0013】インデックステーブル1の回転により、フ
レキシブルディスクカートリッジFDが第2の回転停止
位置に至ると、図示しない第1の印刷ヘッドにより、シ
ャッターに対し所定パターンのスクリーン印刷がなされ
る(P1)。次の第3の回転停止位置に至ると、図示し
ない第1の紫外線硬化装置により印刷パターンP1の紫
外線硬化(乾燥)がなされる。
レキシブルディスクカートリッジFDが第2の回転停止
位置に至ると、図示しない第1の印刷ヘッドにより、シ
ャッターに対し所定パターンのスクリーン印刷がなされ
る(P1)。次の第3の回転停止位置に至ると、図示し
ない第1の紫外線硬化装置により印刷パターンP1の紫
外線硬化(乾燥)がなされる。
【0014】次の第4の回転停止位置に至ると、図示し
ない第2の印刷ヘッドにより、シェルに対し所定パター
ンのスクリーン印刷がなされる(P2)。次の第5の回
転停止位置に至ると、図示しない第2の紫外線硬化装置
により印刷パターンP2の紫外線硬化(乾燥)がなされ
る。次の第6の回転停止位置に至ると、図示しない第1
のCCDカメラにより、シャッターの印刷パターンP1
が撮像されて、その濃淡画像が取込まれる。これに基づ
いて後述するように印刷パターンの欠陥判定がなされ
る。
ない第2の印刷ヘッドにより、シェルに対し所定パター
ンのスクリーン印刷がなされる(P2)。次の第5の回
転停止位置に至ると、図示しない第2の紫外線硬化装置
により印刷パターンP2の紫外線硬化(乾燥)がなされ
る。次の第6の回転停止位置に至ると、図示しない第1
のCCDカメラにより、シャッターの印刷パターンP1
が撮像されて、その濃淡画像が取込まれる。これに基づ
いて後述するように印刷パターンの欠陥判定がなされ
る。
【0015】次の第7の回転停止位置に至ると、図示し
ない第2のCCDカメラにより、シェルの印刷パターン
P2が撮像されて、その濃淡画像が取込まれる。これに
基づいて後述するように印刷パターンの欠陥判定がなさ
れる。最後の第8の回転停止位置に至ると、フレキシブ
ルディスクカートリッジFDは、図示しない受渡し装置
によりインデックステーブル1上の位置決め治具2から
取出され、排出用コンベア4により次工程へ搬送され
る。この搬送過程で印刷パターンの欠陥判定により不良
品と判定されたフレキシブルディスクカートリッジFD
は次工程へ搬送されることなく廃棄処理される。
ない第2のCCDカメラにより、シェルの印刷パターン
P2が撮像されて、その濃淡画像が取込まれる。これに
基づいて後述するように印刷パターンの欠陥判定がなさ
れる。最後の第8の回転停止位置に至ると、フレキシブ
ルディスクカートリッジFDは、図示しない受渡し装置
によりインデックステーブル1上の位置決め治具2から
取出され、排出用コンベア4により次工程へ搬送され
る。この搬送過程で印刷パターンの欠陥判定により不良
品と判定されたフレキシブルディスクカートリッジFD
は次工程へ搬送されることなく廃棄処理される。
【0016】尚、各CCDカメラに対し、インデックス
テーブル1上におけるフレキシブルディスクカートリッ
ジFDの径方向(Y方向)の位置決め精度は極めて良好
であるが、インデックステーブル1の回転停止位置のズ
レにより回転方向(X方向)には± 150μmのズレを生
じる。次に、印刷パターン検査装置のハードウェア構成
について、図4により説明する。
テーブル1上におけるフレキシブルディスクカートリッ
ジFDの径方向(Y方向)の位置決め精度は極めて良好
であるが、インデックステーブル1の回転停止位置のズ
レにより回転方向(X方向)には± 150μmのズレを生
じる。次に、印刷パターン検査装置のハードウェア構成
について、図4により説明する。
【0017】インデックステーブル1の所定の回転停止
位置(前記第6及び第7の回転停止位置)の上方にそれ
ぞれ、CCDカメラ10がセットされる。このCCDカメ
ラ10は、例えば 500× 500画素で、各画素について8ビ
ット(0〜 255)の明るさの階調を有する濃淡画像(グ
レイスケールイメージ)を取込むことができる。尚、こ
のCCDカメラ10はX−Yステージ上を移動可能な支持
装置11に上下方向に移動可能に支持されていて、位置調
整可能である。また、照明装置12が設けられている。
位置(前記第6及び第7の回転停止位置)の上方にそれ
ぞれ、CCDカメラ10がセットされる。このCCDカメ
ラ10は、例えば 500× 500画素で、各画素について8ビ
ット(0〜 255)の明るさの階調を有する濃淡画像(グ
レイスケールイメージ)を取込むことができる。尚、こ
のCCDカメラ10はX−Yステージ上を移動可能な支持
装置11に上下方向に移動可能に支持されていて、位置調
整可能である。また、照明装置12が設けられている。
【0018】CCDカメラ10の出力は、画像処理ユニッ
ト13に送られるようになっており、この画像処理ユニッ
ト13はビデオモニター14を備えている。また、画像処理
ユニット13には各種の指示等のためパーソナルコンピュ
ータ15が接続されている。次に、印刷パターン検査装置
のソフトウェア構成(欠陥判定の処理手順)について、
図5のフローチャートにより説明する。
ト13に送られるようになっており、この画像処理ユニッ
ト13はビデオモニター14を備えている。また、画像処理
ユニット13には各種の指示等のためパーソナルコンピュ
ータ15が接続されている。次に、印刷パターン検査装置
のソフトウェア構成(欠陥判定の処理手順)について、
図5のフローチャートにより説明する。
【0019】また、図6〜図8には処理の過程で得られ
る(1)〜(9)の画像を示しており、これも合わせて
参照することとする。尚、図6〜図8では、理解を容易
とするため、CCDの画素数を10×10、完成品のパター
ンを図6の左側上部に示すように画素数で4×6の矩形
とし、被検査品のパターンを図7の左側上部に示すよう
にX方向(左方向)に 1.5画素ずれていて且つ抜けの欠
陥があるものとして、(1)〜(9)の左側に画像(図
6の右側上部に示す4階調で表す)、右側にA−A’ラ
イン上での明るさの階調を示している。
る(1)〜(9)の画像を示しており、これも合わせて
参照することとする。尚、図6〜図8では、理解を容易
とするため、CCDの画素数を10×10、完成品のパター
ンを図6の左側上部に示すように画素数で4×6の矩形
とし、被検査品のパターンを図7の左側上部に示すよう
にX方向(左方向)に 1.5画素ずれていて且つ抜けの欠
陥があるものとして、(1)〜(9)の左側に画像(図
6の右側上部に示す4階調で表す)、右側にA−A’ラ
イン上での明るさの階調を示している。
【0020】ステップ1(図にはS1と記してある。以
下同様)では、オンラインモードか否かを判定する。オ
ンラインモードとオフラインモードとの選択が可能で、
検査に先立って、完全品の濃淡画像の取込み等を行う場
合は、オフラインモードを選択し、インデックステーブ
ル上に完全品をセットしておく。
下同様)では、オンラインモードか否かを判定する。オ
ンラインモードとオフラインモードとの選択が可能で、
検査に先立って、完全品の濃淡画像の取込み等を行う場
合は、オフラインモードを選択し、インデックステーブ
ル上に完全品をセットしておく。
【0021】オフラインモードの場合は、ステップ2へ
進んで、インデックステーブルの回転が停止したときに
発せられるトリガ信号を待ち、トリガ信号が得られた時
点(すなわちCCDカメラ位置に完全品が来て停止した
時点)で、ステップ3へ進む。ステップ3では、CCD
カメラの出力を読込むことにより、完全品の濃淡画像
(1)を取込む。
進んで、インデックステーブルの回転が停止したときに
発せられるトリガ信号を待ち、トリガ信号が得られた時
点(すなわちCCDカメラ位置に完全品が来て停止した
時点)で、ステップ3へ進む。ステップ3では、CCD
カメラの出力を読込むことにより、完全品の濃淡画像
(1)を取込む。
【0022】ステップ4では、エッジ検出のため、CC
Dカメラより取込んだ濃淡画像(1)をX方向に微分処
理して、微分処理画像(2)を作成する。すなわち、X
方向に隣り合う画素間の階調差の絶対値を求めて、これ
を微分処理画像(2)とする。この場合、階調差の大き
なエッジ部分が白くなる。ステップ5では、CCDカメ
ラより取込んだ濃淡画像(1)を適当なスライスレベル
により2値化処理して、白黒の2値化処理画像(3)を
作成する。
Dカメラより取込んだ濃淡画像(1)をX方向に微分処
理して、微分処理画像(2)を作成する。すなわち、X
方向に隣り合う画素間の階調差の絶対値を求めて、これ
を微分処理画像(2)とする。この場合、階調差の大き
なエッジ部分が白くなる。ステップ5では、CCDカメ
ラより取込んだ濃淡画像(1)を適当なスライスレベル
により2値化処理して、白黒の2値化処理画像(3)を
作成する。
【0023】ステップ6では、2値化処理画像(3)か
らX方向の基準距離Min0を計測する。すなわち、左端
から最初に黒の画像が現れる画素までの距離(画素数)
を計測して、これを基準距離Min0とする。図6の例で
はMin0=3である。以上により検査の準備が完了する
ので、この後は、オンラインモードに切換えて、検査を
行う。
らX方向の基準距離Min0を計測する。すなわち、左端
から最初に黒の画像が現れる画素までの距離(画素数)
を計測して、これを基準距離Min0とする。図6の例で
はMin0=3である。以上により検査の準備が完了する
ので、この後は、オンラインモードに切換えて、検査を
行う。
【0024】オンラインモードの場合は、ステップ7へ
進んで、インデックステーブルの回転が停止したときに
発せられるトリガ信号を待ち、トリガ信号が得られた時
点(すなわちCCDカメラ位置に被検査品が来て停止し
た時点)で、ステップ8へ進む。ステップ8では、CC
Dカメラの出力を読込むことにより、被検査品の濃淡画
像(4)を取込む。
進んで、インデックステーブルの回転が停止したときに
発せられるトリガ信号を待ち、トリガ信号が得られた時
点(すなわちCCDカメラ位置に被検査品が来て停止し
た時点)で、ステップ8へ進む。ステップ8では、CC
Dカメラの出力を読込むことにより、被検査品の濃淡画
像(4)を取込む。
【0025】ステップ9では、CCDカメラより取込ん
だ濃淡画像(4)を適当なスライスレベルにより2値化
処理して、白黒の2値化処理画像(5)を作成する。ス
テップ10では、2値化処理画像(5)からX方向の基準
距離Min1を計測する。すなわち、左端から最初に黒の
画像が現れる画素までの距離(画素数)を計測して、こ
れを基準距離Min1とする。図7の例ではMin1=1で
ある。
だ濃淡画像(4)を適当なスライスレベルにより2値化
処理して、白黒の2値化処理画像(5)を作成する。ス
テップ10では、2値化処理画像(5)からX方向の基準
距離Min1を計測する。すなわち、左端から最初に黒の
画像が現れる画素までの距離(画素数)を計測して、こ
れを基準距離Min1とする。図7の例ではMin1=1で
ある。
【0026】ステップ11では、基準距離Min1から基準
距離Min0を減算して、X方向のズレ画素数B=Min1
−Min0(例えば1−3=−2)を算出する。ステップ
12では、被検査品から取込んだ濃淡画像(4)を前記ズ
レ画素数B分左へシフトして、シフト画像(6)を作成
する。この例ではB=−2であるので、2画素分右へシ
フトした。
距離Min0を減算して、X方向のズレ画素数B=Min1
−Min0(例えば1−3=−2)を算出する。ステップ
12では、被検査品から取込んだ濃淡画像(4)を前記ズ
レ画素数B分左へシフトして、シフト画像(6)を作成
する。この例ではB=−2であるので、2画素分右へシ
フトした。
【0027】ステップ13では、完全品から取込んだ濃淡
画像(1)と被検査品から取込んでシフトした濃淡画像
(6)との差の絶対値を画素毎に演算して、第1の差画
像(7)=|(1)−(6)|を作成する。差異を抽出
するためであり、差異のある部分が白くなる。ステップ
14では、前記第1の差画像(7)から完全品の微分処理
画像(2)を画素毎に引算して、第2の差画像(8)=
(7)−(2)を作成する。エッジ処理のためである。
画像(1)と被検査品から取込んでシフトした濃淡画像
(6)との差の絶対値を画素毎に演算して、第1の差画
像(7)=|(1)−(6)|を作成する。差異を抽出
するためであり、差異のある部分が白くなる。ステップ
14では、前記第1の差画像(7)から完全品の微分処理
画像(2)を画素毎に引算して、第2の差画像(8)=
(7)−(2)を作成する。エッジ処理のためである。
【0028】ステップ15では、前記第2の差画像(8)
を適当なスライスレベルにより2値化処理して、白黒の
欠陥抽出画像(9)を作成する。この場合、欠陥部分が
白くなる。ステップ16以降では、前記欠陥抽出画像
(9)に基づいて欠陥の程度を判定する。すなわち、ス
テップ16で前記欠陥抽出画像(9)から欠陥面積(画素
数)を求め、ステップ17で所定値と比較して、所定値以
上の場合にステップ18へ進んで欠陥有り(NG)と判定
する。
を適当なスライスレベルにより2値化処理して、白黒の
欠陥抽出画像(9)を作成する。この場合、欠陥部分が
白くなる。ステップ16以降では、前記欠陥抽出画像
(9)に基づいて欠陥の程度を判定する。すなわち、ス
テップ16で前記欠陥抽出画像(9)から欠陥面積(画素
数)を求め、ステップ17で所定値と比較して、所定値以
上の場合にステップ18へ進んで欠陥有り(NG)と判定
する。
【0029】ここで、ステップ3が完全品の濃淡画像取
込み手段に相当し、ステップ4が微分処理手段に相当
し、ステップ4が2値化処理手段に相当する。また、ス
テップ8が被検査品の濃淡画像取込み手段に相当し、ス
テップ9が2値化手段に相当し、ステップ6,10,11が
ズレ画素数算出手段に相当し、ステップ12がシフト手段
に相当する。さらに、ステップ13が第1の差画像作成手
段に相当し、ステップ14が第2の差画像作成手段に相当
し、ステップ15が欠陥抽出画像作成手段に相当し、ステ
ップ16〜18が欠陥判定手段に相当する。
込み手段に相当し、ステップ4が微分処理手段に相当
し、ステップ4が2値化処理手段に相当する。また、ス
テップ8が被検査品の濃淡画像取込み手段に相当し、ス
テップ9が2値化手段に相当し、ステップ6,10,11が
ズレ画素数算出手段に相当し、ステップ12がシフト手段
に相当する。さらに、ステップ13が第1の差画像作成手
段に相当し、ステップ14が第2の差画像作成手段に相当
し、ステップ15が欠陥抽出画像作成手段に相当し、ステ
ップ16〜18が欠陥判定手段に相当する。
【0030】尚、前記第1の差画像(7)から第2の差
画像(8)を得ることなく、前記第1の差画像(7)を
直接適当なスライスレベルSL1(図8参照)により2
値化処理して、白黒の欠陥抽出画像(9)を得ることも
可能である。しかし、スライスレベルの設定によっては
(例えばSL2)、欠陥抽出画像にエッジ部分が残るの
で、前記第1の差画像(7)から前記微分処理画像
(2)を引算することにより、エッジ部分を除去してか
ら、適当なスライスレベルにより2値化処理して、欠陥
抽出画像(9)を得ることがより好ましい。
画像(8)を得ることなく、前記第1の差画像(7)を
直接適当なスライスレベルSL1(図8参照)により2
値化処理して、白黒の欠陥抽出画像(9)を得ることも
可能である。しかし、スライスレベルの設定によっては
(例えばSL2)、欠陥抽出画像にエッジ部分が残るの
で、前記第1の差画像(7)から前記微分処理画像
(2)を引算することにより、エッジ部分を除去してか
ら、適当なスライスレベルにより2値化処理して、欠陥
抽出画像(9)を得ることがより好ましい。
【0031】また、ステップ12においてシフト画像を得
る際、前記ズレ画素数をBとすると、被検査品から取込
んだ濃淡画像(4)を、B−1、B、B+1分シフトし
た3種類のシフト画像を得、各シフト画像についてステ
ップ13〜ステップ15の処理を行って、欠陥抽出画像を
得、欠陥面積が最小のものを基準にして、欠陥判定を行
うと、より精度のよい欠陥判定が可能となる。
る際、前記ズレ画素数をBとすると、被検査品から取込
んだ濃淡画像(4)を、B−1、B、B+1分シフトし
た3種類のシフト画像を得、各シフト画像についてステ
ップ13〜ステップ15の処理を行って、欠陥抽出画像を
得、欠陥面積が最小のものを基準にして、欠陥判定を行
うと、より精度のよい欠陥判定が可能となる。
【0032】また、本実施例では、X方向への1次元合
わせのみ行ったが、2次元合わせが必要な場合は、Y方
向にも同様の処理を行うことにより、2次元合わせも可
能である。
わせのみ行ったが、2次元合わせが必要な場合は、Y方
向にも同様の処理を行うことにより、2次元合わせも可
能である。
【0033】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、製
品に印刷されたパターンの欠陥を画像認識によって精度
よく判定することができるという効果が得られる。
品に印刷されたパターンの欠陥を画像認識によって精度
よく判定することができるという効果が得られる。
【図1】 本発明の第1の構成を示す機能ブロック図
【図2】 本発明の第2の構成を示す機能ブロック図
【図3】 本発明の一実施例を示す印刷装置の構成図
【図4】 検査装置のハードウェア構成図
【図5】 欠陥判定の処理手順を示すフローチャート
【図6】 完全品から取込んだ濃淡画像等を示す図
【図7】 被検査品から取込んだ濃淡画像等を示す図
【図8】 差画像等の作成の様子を示す図
【図9】 印刷パターンの欠陥の例を示す図
1 インデックステーブル 10 CCDカメラ 13 画像処理ユニット FD フレキシブルディスクカートリッジ P1,P2 印刷パターン
Claims (2)
- 【請求項1】製品に印刷されたパターンの欠陥を判定す
る印刷パターン検査装置であって、 完全品の濃淡画像を取込む手段と、 完全品から取込んだ濃淡画像を2値化処理する手段と、 被検査品の濃淡画像を取込む手段と、 被検査品から取込んだ濃淡画像を2値化処理する手段
と、 完全品の2値化処理画像と被検査品の2値化処理画像と
に基づいてズレ画素数を算出する手段と、 被検査品から取込んだ濃淡画像を前記ズレ画素数−1か
ら前記ズレ画素数+1の範囲でシフトする手段と、 完全品から取込んだ濃淡画像と被検査品から取込んでシ
フトした濃淡画像との差の絶対値を画素毎に演算して差
画像を作成する手段と、 前記差画像を2値化処理して欠陥抽出画像を作成する手
段と、 前記欠陥抽出画像に基づいて欠陥の程度を判定する手段
と、 を含んで構成される印刷パターン検査装置。 - 【請求項2】製品に印刷されたパターンの欠陥を判定す
る印刷パターン検査装置であって、 完全品の濃淡画像を取込む手段と、 完全品から取込んだ濃淡画像を特定方向に微分処理する
手段と、 完全品から取込んだ濃淡画像を2値化処理する手段と、 被検査品の濃淡画像を取込む手段と、 被検査品から取込んだ濃淡画像を2値化処理する手段
と、 完全品の2値化処理画像と被検査品の2値化処理画像と
に基づいてズレ画素数を算出する手段と、 被検査品から取込んだ濃淡画像を前記ズレ画素数−1か
ら前記ズレ画素数+1の範囲でシフトする手段と、 完全品から取込んだ濃淡画像と被検査品から取込んでシ
フトした濃淡画像との差の絶対値を画素毎に演算して第
1の差画像を作成する手段と、 前記第1の差画像と完全品の微分処理画像との差を画素
毎に演算して第2の差画像を作成する手段と、 前記第2の差画像を2値化処理して欠陥抽出画像を作成
する手段と、 前記欠陥抽出画像に基づいて欠陥の程度を判定する手段
と、を含んで構成される印刷パターン検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3340919A JP2561193B2 (ja) | 1991-12-24 | 1991-12-24 | 印刷パターン検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3340919A JP2561193B2 (ja) | 1991-12-24 | 1991-12-24 | 印刷パターン検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05172542A JPH05172542A (ja) | 1993-07-09 |
JP2561193B2 true JP2561193B2 (ja) | 1996-12-04 |
Family
ID=18341511
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3340919A Expired - Lifetime JP2561193B2 (ja) | 1991-12-24 | 1991-12-24 | 印刷パターン検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2561193B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006258551A (ja) * | 2005-03-16 | 2006-09-28 | Ishizuka Glass Co Ltd | 液内異物検査装置 |
WO2008013188A1 (fr) * | 2006-07-27 | 2008-01-31 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Procédé d'inspection, système de traitement d'inspection, dispositif de traitement, dispositif d'inspection, dispositif de fabrication/inspection, et procédé de fabrication/inspection |
JP5263838B2 (ja) * | 2009-12-14 | 2013-08-14 | シャープ株式会社 | 印刷装置、および検査方法 |
JP6126505B2 (ja) * | 2013-09-26 | 2017-05-10 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
JP7141772B1 (ja) * | 2021-12-02 | 2022-09-26 | 株式会社岩崎電機製作所 | 画像検査装置、画像検査方法、および、画像検査プログラム |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61151709A (ja) * | 1984-12-26 | 1986-07-10 | Hitachi Ltd | 図形パタ−ンの位置合せ方法及びその装置 |
JPS62113436A (ja) * | 1985-11-13 | 1987-05-25 | Toshiba Corp | 半導体ペレツトの外観検査方法 |
JPH0210138A (ja) * | 1988-06-28 | 1990-01-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 印刷パターンの検査装置 |
-
1991
- 1991-12-24 JP JP3340919A patent/JP2561193B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH05172542A (ja) | 1993-07-09 |
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