JP5024555B2 - ウエハのアライメント方法及び装置 - Google Patents
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Description
外周中心位置の値=(135°データ−90°データ)+45°データ
=(d−c)+b
として、外周中心位置の値が求められ、逆にピーク角度におけるデータの値の方が45°におけるデータの値よりも大きい場合には、
外周中心位置の値=(90°データ−135°データ)−45°データ
=(c−d)−b
として、外周中心位置の値が求められる。
X軸の移動量=ピーク角度の値−外周中心位置の値
として、X軸の移動量の値が求められる。
2 中心軸ステージ
3 ウエハ乗換台
4 センサ
5 コントローラ
6 ウエハ
21 回転台ドライバ(θ軸)
22 軸ステージドライバ(X軸)
Claims (2)
- その外周にオリフラやノッチ等の位置決め用カット部を有するウエハに対して所定の加工処理を施すために、前記ウエハの中心を回転台の回転中心に整合させるためのウエハのアライメント方法であって、
前記回転台の上に前記加工処理の対象となるウエハが載置された状態において、前記回転台を回転させながら、所定の絶対回転角度におけるウエハ外周の半径方向突出量又は半径方向後退量を、ウエハの全周に亘って所定角度間隔で計測し、一連の計測値データを取得する第1のステップと、
前記取得された一連の計測値データと、予め所定の記憶装置に格納されたオリフラまたはノッチに相当するウエハ輪郭形状パターンに基づくデータ列とを比較し、オリフラまたはノッチがあるかの検出を行う位置決め用カット部検出ステップと、
前記位置決め用カット部検出ステップにおいて、オリフラまたはノッチが検出された場合には、ウエハ中心と回転中心との距離が予め決められた範囲内であるかを判定するウエハ中心判定ステップと、
前記ウエハ中心判定ステップにて、ウエハ中心と回転中心とが予め決められた範囲内ではないと判定された場合には、前記取得された一連の計測値データに基づいて、位置決め用カット部の存在する回転角度、及び一連の計測値データの中で半径方向外方又は半径方向内方のピーク値の存在する回転角度を探査する第2のステップと、
前記探査されたピーク値の存在する回転角度を基準とし、かつ位置決め用カット部の存在する回転角度を回避するように右回り又は左回りを決定した上で、右回りと決定されたときには右回り方向へ45°間隔で3点、左回りと決定されたときには左回り方向へ45°間隔で3点の計測値データを選択する第3のステップと、
前記ピーク値と、それぞれの回り方向へ45°の点におけるデータ値との大小比較を行い、ピーク値が45°の点におけるデータ値よりも小さい場合には下記式(1)にて、ピーク値が45°の点におけるデータ値よりも大きい場合には下記式(2)にて計算を行って外周中心位置の値を求め、求められた外周中心位置の値に基づいて、前記ウエハの中心と回転台の回転中心との誤差を修正するに必要な移動方向及び移動量を求める第4のステップと、
前記移動方向及び移動量に基づいて、前記回転台に対して前記ウエハを移動させる第5のステップとを包含する、ことを特徴とするウエハのアライメント方法。
外周中心位置の値=(135°データ−90°データ)+45°データ・・式(1)
=(d−c)+b
外周中心位置の値=(90°データ−135°データ)−45°データ・・式(2)
=(c−d)−b
- 加工対象となるウエハを略水平姿勢で載置するための回転台と、
前記回転台を回転させるための回転台ドライバと、
前記回転台の中心軸を水平面内において、特定の方位へと、直線的に移動させるための中心軸ステージドライバと、
前記回転台に載せられたウエハを保持して昇降するウエハ乗換台と、
前記ウエハ乗換台を作動させるための乗換台ドライバと、
前記回転台の前記特定の方位における周辺に位置して、前記回転台に載せられたウエハの外周までの距離を計測可能なセンサと、
前記回転台の上に加工処理の対象となるウエハが載置された状態において、前記回転台を前記回転台ドライバを介して回転させながら、前記特定の方位におけるウエハ外周までの距離を前記センサを介して、ウエハの全周に亘って所定角度間隔で計測し、一連の計測値データを取得する第1の制御手段と、
前記取得された一連の計測値データと、予め所定の記憶装置に格納されたオリフラまたはノッチに相当するウエハ輪郭形状パターンに基づくデータ列とを比較し、オリフラまたはノッチがあるかの検出を行う位置決め用カット部検出手段と、
前記位置決め用カット部検出手段において、オリフラまたはノッチが検出された場合には、ウエハ中心と回転中心との距離が予め決められた範囲内であるかを判定するウエハ中心判定手段と、
前記ウエハ中心判定手段にて、ウエハ中心と回転中心とが予め決められた範囲内ではないと判定された場合には、前記取得された一連の計測値データに基づいて、ウエハの外周に設けられたオリフラやノッチ等の位置決め用カット部の存在する回転角度、及び一連の計測値データの中で半径方向外方又は半径方向内方のピーク値の存在する回転角度を探査する第2の制御手段と、
前記探査されたピーク値の存在する回転角度を基準とし、かつ位置決め用カット部の存在する回転角度を回避するように右回り又は左回りを決定した上で、右回りと決定されたときには右回り方向へ45°間隔で3点、左回りと決定されたときには左回り方向へ45°間隔で3点の計測値データを選択する第3の制御手段と、
前記ピーク値と、それぞれの回り方向へ45°の点におけるデータ値との大小比較を行い、ピーク値が45°の点におけるデータ値よりも小さい場合には下記式(1)にて、ピーク値が45°の点におけるデータ値よりも大きい場合には下記式(2)にて計算を行って外周中心位置の値を求め、求められた外周中心位置の値に基づいて、前記ウエハの中心と回転台の回転中心との誤差を修正するに必要な移動方向及び移動量を求める第4の制御手段と、
前記移動方向及び移動量に基づいて、前記乗換台ドライバを介して前記ウエハを回転台から持ち上げた状態において、前記中心軸ステージドライバを介して前記回転台の中心軸を移動させたのち、前記乗換台ドライバを介して前記ウエハを回転台上に下ろさせる第5の制御手段とを包含する、ことを特徴とするウエハのアライメント装置。
外周中心位置の値=(135°データ−90°データ)+45°データ・・式(1)
=(d−c)+b
外周中心位置の値=(90°データ−135°データ)−45°データ・・式(2)
=(c−d)−b
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JP2008234930A JP5024555B2 (ja) | 2008-09-12 | 2008-09-12 | ウエハのアライメント方法及び装置 |
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