TW201305032A - 搬送車 - Google Patents

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Abstract

本發明提供一種可高精度地檢測收納於被搬送物中平板狀構件之收納狀態之搬送車。搬送車1具備有：移行台車3，其可沿著既定方向移行地設置；轉盤9，其可相對於移行台車3旋轉地設置於上下方向之軸中心；移載裝置11，其設置於轉盤9，載置收容盒W並且進行收容盒W之移動；映像感測器13，其藉由檢測光L檢測收容盒W中玻璃基板G之收納狀態，並且設置於其光軸方向沿著移行台車3之移行方向且不隨著轉盤9一起旋轉之位置；及控制器15，其以於藉由移載裝置11取入收容盒W，並使轉盤9旋轉從而使收容盒W旋轉之後，使映像感測器13檢測收容盒W中玻璃基板G之收納狀態之方式進行控制。

Description

搬送車
本發明係關於一種用於例如於無塵室內搬送收納有複數片玻璃基板之收容盒等被搬送物之搬送車。
作為先前之搬送車，已知有例如專利文獻1中記載者。專利文獻1中記載之搬送車包含：暫存收容盒，其具有複數個收納晶圓之棚架；移載裝置，其進行晶圓之移載；及感測器，其檢測暫存收容盒內之晶圓之有無。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2003-237941號公報
於例如半導體或液晶面板之生產線中，於將收容盒自前一步驟搬送至後一步驟時，為掌握收容盒內之平板狀構件之片數，而必需如上所述檢測收納於收容盒內之平板狀構件之有無。如此，於該領域中，要求高精度地檢測收納於收容盒之平板狀構件之收納狀態。
本發明係為解決上述課題而研製成者，其目的在於提供一種可高精度地檢測收納於被搬送物中之平板狀構件之收納狀態之搬送車。
本發明之搬送車係搬送收納有平板狀構件之被搬送物者，其特徵在於，其具備有：本體部，其可沿著既定方向移行地設置；旋轉部，其可相對於本體部旋轉地設置於上下方向之軸中心；移載裝置，其設置於旋轉部，載置被搬送物，並且取放被搬送物；光學式檢測手段，其使用光檢測被搬送物中之平板狀構件之收納狀態，並且設置於其光軸方向沿著本體部之移行方向且不隨著旋轉部一起旋轉之位置；及控制部，其以於藉由移載裝置取入被搬送物，並使旋轉部旋轉從而使被搬送物旋轉之後，光學式檢測手段檢測被搬送物中平板狀構件之收納狀態之方式進行控制。
於該搬送車中，於藉由光學式檢測手段而檢測收納於被搬送物之平板狀構件時，使旋轉部旋轉從而使被搬送物旋轉。有時於收納平板狀構件之被搬送物中設置支撐平板狀構件之支撐構件。該支撐構件於藉由移載裝置而取入被搬送物時，沿著與光學式檢測手段之檢測光正交之方向延伸，因而有與檢測光干涉之虞。因此，藉由於使被搬送物旋轉後進行檢測，而可避免支撐構件干涉檢測光。因此，可高精度地檢測收納於被搬送物之平板狀構件之收納狀態。
光學式檢測手段可固定地設置於當被搬送物旋轉時不與該被搬送物抵接之位置。根據該構成，因於使被搬送物旋轉時無需使光學式檢測手段移動，故不需要用於其移動之機構 並且可削減移動時間。因此，可設為簡易之構成並且可迅速地進行平板狀構件之檢測。
平板狀構件係以於上下方向彼此相對之方式收納於被搬送物內，光學式檢測手段可於對應於各平板狀構件之收納位置之部位設置有複數個。根據該構成，可同時檢測複數個平板狀構件。又，因於檢測各平板狀構件時，無需使光學式檢測手段於上下方向移動，故不需要用於其移動之機構並且可削減移動時間。因此，可設為簡易之構成並且可迅速地進行平板狀構件之檢測。
被搬送物具有：開口，其供取放平板狀構件；及支撐構件，其支撐平板狀構件；且開口於藉由移載裝置取入時，朝向於水平面上與光軸方向正交之方向，支撐構件係經由開口而沿著取放平板狀構件之方向延伸之棒狀構件。此種構成之被搬送物係於載置於移載裝置時支撐構件之延伸方向與光學式檢測手段之光軸方向正交。因此，有檢測光干涉支撐構件因而平板狀構件之檢測變得不穩定之虞。因此，藉由使旋轉部旋轉從而使被搬送物旋轉，而可避免檢測光干涉支撐構件。因此，可高精度地檢測收納於被搬送物之平板狀構件之收納狀態。
根據本發明，可高精度地檢測收納於被搬送物之平板狀構件之收納狀態。
以下，參照隨附圖式，對於較佳之實施形態詳細地進行說明。再者，於圖式之說明中，對於相同或相當之要素附註相同元件符號，並省略重複之說明。
圖1係表示一實施形態之搬送車之立體圖，圖2係自前方觀察圖1所示之搬送車之圖式。
圖1及圖2所示之搬送車1係於配置有多個棚架(未圖示)之無塵室內移動，且於各棚架進行收容盒(被搬送物)W之取放之裝置。於收容盒W中，收納有例如用於液晶面板或太陽能電池面板之複數個玻璃基板(平板狀構件)G(參照圖5)。
搬送車1之構成包含：於無塵室內移動之移行台車(本體部)3；豎立設置於該移行台車3之2台支柱裝置5a、5b；相對於支柱裝置5a、5b可於上下方向移動地設置之升降台7；設置於升降台7上之轉盤(旋轉部)9；設置於轉盤9上之移載裝置11；以及檢測收容盒W內之玻璃基板G之有無之映像感測器(光學式檢測手段)13。又，搬送車1具有控制該搬送車1之動作之控制器(控制部)15(參照圖4)。
移行台車3可沿著既定方向移行地設置。移行台車3具有車輪3a，且沿著鋪設於無塵室內之軌道R進行直線移動。車輪3a係藉由未圖示之馬達而旋轉驅動。搬送車1藉由該移行台車3而可於無塵室內移動地設置。
支柱裝置5a、5b係於移行台車3之移行方向上對向地設 置有一對。於支柱裝置5a、5b，沿著上下方向設置有導軌17。於該導軌17可滑動地設置有設置於升降台7之兩側之支撐框架19之導件(未圖示)。升降台7係藉由未圖示之升降驅動手段而沿著導軌17於支柱裝置5a、5b之上下方向升降。
轉盤9係相對於移行台車3可繞上下方向之軸中心旋轉地設置。轉盤9係設置於升降台7上，且藉由未圖示之馬達而旋轉驅動。
移載裝置11包含水平關節型機械手臂(SCARA Arm，Selective Compliance Assembly Robot Arm)20、及設置該水平關節型機械手臂20之滑動部21。水平關節型機械手臂20係包含基端側臂20a、前端側臂20b及移載臂20c。基端側臂20a之基端側係轉動自如地設置於基台22。基端側臂20a與前端側臂20b係彼此轉動自如地設置，且構成自由臂23。又，前端側臂20b與移載臂20c係彼此轉動自如地設置。移載臂20c之上表面係構成載置收容盒W之載置面。水平關節型機械手臂20藉由使基端側臂20a以基台22之中心線為對稱軸同步地旋轉驅動，而使移載臂20c向與移行台車3之移行方向正交之方向(取放收容盒W之方向)進行直線移動。
滑動部21係向與移行台車3之移行方向正交之方向進行前進移動，且使水平關節型機械手臂20滑動。滑動部21 係設置於轉盤9上。藉此，移載裝置11設置為可自圖1所示之移載臂20c之前端之方向旋轉至180°之相反方向。
圖3係表示映像感測器之圖式。如圖3所示，映像感測器13係設置於支柱裝置5a、5b。映像感測器13為例如使用紅外線之光學式感測器，且包含投光部13a及受光部13b。映像感測器13藉由受光部13b而接收自投光部13a投射之光L，藉此檢測玻璃基板G。
映像感測器13為使受光部13b接收自投光部13a投射之光，而將投光部13a與受光部13b以對向之方式分別設置於支柱裝置5a、5b之下部。即，映像感測器13之光軸方向係沿著移行台車3之移行方向。映像感測器13係於收容盒W載置於移載裝置11之狀態下設置於當旋轉時不抵接收容盒W之位置。換言之，映像感測器13係設置於與載置於移載裝置11之收容盒W之旋轉中心(轉盤9之旋轉中心)相距該旋轉中心與收容盒W之角部之間之距離以上之位置。
映像感測器13之投光部13a及受光部13b係沿著上下方向隔開既定間隔地配置，且設置有與收納於收容盒W內之玻璃基板G之片數對應之個數(於本實施形態中為13個)。投光部13a之高度位置與受光部13b之高度位置係於上下方向僅偏離既定高度。具體而言，投光部13a配置於向下方(或上方)與受光部13b相距有玻璃基板G之收納間距之處。即，自投光部13a投射之光L相對於水平方向(玻璃基板G之面 方向)傾斜。
藉由該構成，自投光部13a投射之光相對於玻璃基板G傾斜地入射，且透過玻璃基板G而由受光部13b接收。映像感測器13係根據自投光部13a投光時之光強度與由受光部13b接收時之光強度之強度變化，而檢測玻璃基板G之有無。
映像感測器13係按照自控制器15輸出之指示信號而進行玻璃基板G之檢測。映像感測器13係於將收容盒W取入至搬送車1時，或將收容盒W自搬送車1移動至移動地之棚架時，進行收納於收容盒W之玻璃基板G之有無之檢測。映像感測器13將表示檢測結果之檢測信號(映射資料)輸出至控制器15。
圖3係表示控制器之方塊圖。如圖3所示，於控制器15連接有映像感測器13(投光部13a及受光部13b)。控制器15係包含CPU[Central Processing Unit，中央處理單元]、ROM[Read Only Memory，唯讀記憶體]、RAM[Random Access Memory，隨機取放記憶體]等，且藉由程式而執行各種控制。
控制器15係進行與搬送車1之動作相關之控制之裝置，且控制移行台車3、支柱裝置5a、5b、升降台7、轉盤9及移載裝置11之動作。又，控制器15控制映像感測器13之檢測玻璃基板G之時機。具體而言，控制器15以於藉由移 載裝置11而取入收容盒W，並使轉盤9旋轉後，使映像感測器13實施收納於收容盒W之玻璃基板G之檢測之方式進行控制。換言之，控制器15係以於使收容盒W旋轉後，使映像感測器13實施收納於收容盒W之玻璃基板G之檢測之方式進行控制。控制器15係將指示玻璃基板G之檢測之指示信號輸出至映像感測器13。
又，控制器15若接收自映像感測器13輸出之檢測信號，則基於該檢測信號而記憶收容盒W內之玻璃基板G之片數。然後，控制器15判定向自動倉庫入庫時之收容盒W內之玻璃基板G之片數及配置與出庫時之收容盒W內之玻璃基板G之片數及配置是否一致。控制器15係於判定之結果、即入庫時與出庫時玻璃基板G之片數不同之情形時，將表示其意旨之錯誤信號輸出至例如報告手段。然後，控制器15以將檢查出錯誤之收容盒W移載至並非移送地之既定棚架之棚架(例如，維護用台或原來之棚架等)之方式控制移行台車3及移載裝置11。
繼而，對於搬送車1之動作進行說明。搬送車1係控制器15基於程式而控制各裝置，且於無塵室內進行收容盒W之移載及搬送。若藉由移載裝置11自棚架取出並取入收容盒W，則搬送車1使轉盤9大致旋轉90°。此時，於升降台7位於上方之情形時，使升降台7下降至設置有映像感測器13之支柱裝置5a、5b之下部。然後，藉由映像感測器13 而檢測收納於收容盒W之玻璃基板G。於玻璃基板G之檢測後，搬送車1使轉盤9大致旋轉90°，且使收容盒W之開口K朝向棚架側。然後，搬送車1移動至移送地之既定棚架並藉由移載裝置11而將收容盒W移動至棚架。
繼而，對於藉由映像感測器13檢測之玻璃基板G之方法詳細地進行說明。圖5係表示取入有收容盒時之收容盒與映像感測器之位置關係之圖式。圖6係表示收容盒旋轉後之收容盒與映像感測器之位置關係之圖式。於各圖中，(a)係自前方觀察收容盒W之圖式，(b)係自下方觀察(a)所示之收容盒W之圖式，(c)係自側面觀察(a)所示之收容盒W之圖式。
首先，對於收容盒W進行說明。收容盒W呈長方體形狀，且由框架F構成。收容盒W於前方(圖5(b)中之上側)具有供取放玻璃基板G之開口K。於收容盒W之後方(圖5(b)中之下側)，沿著上下方向(高度方向)於寬度方向上隔開既定間隔地設置有2根柱構件C1、C2。柱構件C1、C2係作為自開口K側***之玻璃基板G之擋止件而發揮作用。
又，於柱構件C1、C2安裝有棒狀之後支承件(支撐構件)B1、B2。後支承件B1、B2係自收容盒W之後方向前方延伸，且基端部固定於柱構件C1、C2並且前端部延伸至開口K側為止。又，於收容盒W之寬度方向之兩側，於前後方向隔開既定間隔地設置有複數個(此處為4根)側支承件S。玻璃基板G係藉由後支承件B1、B2及側支承件S而支 撐下部，且以於上下方向相對之方式收納於收容盒W。
如圖5所示，藉由移載裝置11而取入至搬送車1之收容盒W之開口K朝向棚架側。即，收容盒W之開口K朝向與移行台車3之移行方向正交之方向，後支承件B1、B2亦沿著與移行方向正交之方向延伸。此時，映像感測器13之光軸方向與後支承件B1、B2正交。因此，有自映像感測器13之投光部13a投射之光L干涉後支承件B1、B2之虞。
因此，於本實施形態中，於藉由移載裝置11而取入收容盒W後，使轉盤9旋轉從而使收容盒W大致旋轉90°。藉此，如圖6所示，映像感測器13之光軸方向與後支承件B1、B2之延伸方向大致平行。因此，避免自映像感測器13之投光部13a投射之光L干涉後支承件B1、B2。映像感測器13於使收容盒W自初始狀態(取入至搬送車1之狀態)大致旋轉90°後，檢測玻璃基板G之有無。
如以上說明般，於本實施形態中，於支柱裝置5a、5b設置有映像感測器13，且藉由映像感測器13而進行玻璃基板G之有無之檢測。利用映像感測器13之玻璃基板G之檢測係於藉由移載裝置11而將收容盒W取入至搬送車1，並使轉盤9大致旋轉90°後進行。藉此，取入時沿著與映像感測器13之光軸方向正交之方向延伸之收容盒W之後支承件B1、B2與光軸方向大致平行。因此，避免映像感測器13之光L干涉收容盒W之後支承件B1、B2。其結果，可藉由 映像感測器13而穩定地檢測玻璃基板G，且可高精度地檢測收納於收容盒W之玻璃基板G之收納狀態。
又，於本實施形態中，映像感測器13係安裝於支柱裝置5a、5b。支柱裝置5a、5b係將移載裝置11夾持於中間而設置，且配置於當載置於移載裝置11之收容盒W旋轉時不與收容盒W抵接之位置。即，映像感測器13設置於當收容盒W旋轉時不與收容盒W抵接之位置。因此，因於使收容盒W旋轉時無需使映像感測器13移動，故不需要用於其移動之機構並且可削減移動時間。因此，可設為簡易之構成並且可迅速地進行玻璃基板G之檢測。
又，映像感測器13係按照收納於收容盒W之玻璃基板G之片數而於收容盒W之上下方向設置有複數個投光部13a及受光部13b。因此，可同時地檢測收納於收容盒W之複數個玻璃基板G。又，與僅設置一個投光部13a及受光部13b之情形相比，無需為檢測玻璃基板G而使映像感測器13於上下方向移動，故不需要用於其移動之機構並且可削減移動時間。因此，可設為簡易之構成並且可迅速地進行玻璃基板G之檢測。
本發明並不限定於上述實施形態。例如，於上述實施形態中，雖將映像感測器13設置於搬送車1之支柱裝置5a、5b，但亦可將映像感測器13設置於升降台7。
又，於上述實施形態中，雖例示了投受光紅外線之映像感 測器13，但映像感測器13亦可為使用有雷射之光學式者。
又，於上述實施形態中，雖於藉由映像感測器13而檢測玻璃基板G時，使收容盒W大致旋轉90°，但收容盒W之旋轉角亦可不為90°。總之，只要使收容盒W旋轉至收容盒W之後支承件B1、B2不與自映像感測器13之投光部13a投射之光L相干涉之角度即可。
又，於上述實施形態中，雖已例示具有後支承件B1、B2之收容盒W作為被搬送物，但亦可為藉由線架而支撐玻璃基板G之所謂之線架收容盒。
以上，雖對本發明之一實施形態進行了說明，但本發明並不限定於上述實施形態，可於不脫離發明之主旨之範圍內進行各種變更。特別是本說明書中所述之複數個實施形態及變形例可視需要加以任意組合。
1‧‧‧搬送車
3‧‧‧移行台車(本體部)
3a‧‧‧車輪
5a、5b‧‧‧支柱裝置
7‧‧‧升降台
9‧‧‧轉盤(旋轉部)
11‧‧‧移載裝置
13‧‧‧映像感測器(光學式檢測手段)
13a‧‧‧投光部
13b‧‧‧受光部
15‧‧‧控制器(控制部)
17‧‧‧導軌
19‧‧‧支撐框架
20‧‧‧水平關節型機械手臂
20a‧‧‧基端側臂
20b‧‧‧前端側臂
20c‧‧‧移載臂
21‧‧‧滑動部
22‧‧‧基台
23‧‧‧自由臂
B1、B2‧‧‧後支承件(支撐構件)
C1、C2‧‧‧柱構件
F‧‧‧框架
G‧‧‧玻璃基板(平板狀構件)
K‧‧‧開口
L‧‧‧光
R‧‧‧軌道
S‧‧‧側支承件
W‧‧‧收容盒(被搬送物)
圖1係表示一實施形態之搬送車之立體圖。
圖2係自前方觀察圖1所示之搬送車之圖式。
圖3係表示映像感測器之圖式。
圖4係表示控制器之方塊圖。
圖5係表示取入收容盒時收容盒與映像感測器之位置關係之圖式。
圖6係表示收容盒旋轉後收容盒與映像感測器之位置關係之圖式。
1‧‧‧搬送車
3‧‧‧移行台車(本體部)
3a‧‧‧車輪
5a、5b‧‧‧支柱裝置
7‧‧‧升降台
9‧‧‧轉盤(旋轉部)
11‧‧‧移載裝置
13‧‧‧映像感測器(光學式檢測手段)
19‧‧‧支撐框架
R‧‧‧軌道

Claims (4)

  1. 一種搬送車，其係搬送收納有平板狀構件之被搬送物者，其特徵在於，其具備有：本體部，其可沿著既定方向移行地設置；旋轉部，其可相對於上述本體部旋轉地設置於上下方向之軸中心；移載裝置，其設置於上述旋轉部，載置上述被搬送物，並且取放上述被搬送物；光學式檢測手段，其使用光檢測上述被搬送物中上述平板狀構件之收納狀態，並且設置於其光軸方向沿著上述本體部之移行方向且不隨著上述旋轉部一起旋轉之位置；及控制部，其以於藉由上述移載裝置取入上述被搬送物，並使上述旋轉部旋轉從而使上述被搬送物旋轉後，上述光學式檢測手段檢測上述被搬送物中上述平板狀構件之收納狀態之方式進行控制。
  2. 如申請專利範圍第1項之搬送車，其中，上述光學式檢測手段固定地設置於當上述被搬送物旋轉時不與該被搬送物抵接之位置。
  3. 如申請專利範圍第1項之搬送車，其中，上述平板狀構件係以於上下方向彼此相對之方式收納於上述被搬送物內；上述光學式檢測手段係於與上述各平板狀構件之收納位置對應之部位設置有複數個。
  4. 如申請專利範圍第1至3項中任一項之搬送車，其中，上述被搬送物具有：開口，其供取放上述平板狀構件；及支撐構件，其支撐上述平板狀構件；上述開口於藉由上述移載裝置取入時，朝向於水平面上與上述光軸方向正交之方向，上述支撐構件係經由上述開口而沿著取放上述平板狀構件之方向延伸之棒狀構件。
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