KR20060028299A - 위치조절수단을 구비하는 자동반송대차 시스템 - Google Patents

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KR20060028299A
KR20060028299A KR1020040077396A KR20040077396A KR20060028299A KR 20060028299 A KR20060028299 A KR 20060028299A KR 1020040077396 A KR1020040077396 A KR 1020040077396A KR 20040077396 A KR20040077396 A KR 20040077396A KR 20060028299 A KR20060028299 A KR 20060028299A
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Abstract

본 발명은 위치조절수단을 구비하는 자동반송대차 시스템에 관한 것으로, 주행부와; 상기 주행부의 상단에 설치되는 카세트 지지부; 상기 주행부 상에 형성되는 로봇암과; 상기 카세트 지지부상에 적재되는 카세트와; 상기 로봇암을 수직운동시키는 수직 구동부와; 상기 로봇암의 회전운동 및 수평운동을 담당하는 수평구동부와; 상기 주행부의 측면에 설치되는 복수의 위치 감지 수단을 구비하는 자동반송대차와; 상기 자동반송대차로부터 카세트를 이재 받는 로더와; 상기 로더의 측면에 수평하게 설치되는 수평 마크 플레이트와; 상기 로더의 측면에 수직하게 설치되는 수직 마크 플레이트를 구비하는 제조장치를 구비하는 것을 특징으로 하며 자동반송대차의 이동로면의 상태에 관계없이 카세트를 정위치에 이재할 수 있게 한다.
자동반송대차,AGV,카세트, 수직위치감지부

Description

위치조절수단을 구비하는 자동반송대차 시스템{AUTOMATIC GUIDED VEHICLE SYSTEM INCLUDING MEANS FOR CONTROLLING POSITION}
도 1은 종래의 자동반송대차 시스템을 나타내는 모식도.
도 2는 종래의 자동반송대차의 구조를 나타내는 측면도.
도 3은 종래의 자동반송대차와 제조장치를 나타내는 측면도.
도 4는 본 발명의 자동반송대차의 구조를 나타내는 측면도.
도 5는 본 발명의 로더의 구조를 나타내는 측면도.
도 6은 본 발명의 자동반송대차와 로더의 구조를 나타내는 측면도.
도 7은 본 발명의 자동반송대차와 로더의 구조 및 동작을 나타내는 평면도.
*********** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 **********
400; 자동반송대차 401:주행부
402:카세트 지지부 404:카세트
410:바퀴 411:구동모터
420a,420b:수평위치감지수단 430a,430b:수직위치감지수단
405:수평위치보정수단 440:수직위치보정수단
501:로더 510:수평 마크플레이트
520:수직마크플레이트
본 발명은 자동반송대차에 관한 것으로 특히, 각 제조장치의 로더에 자동반송대차를 정확히 배열하기 위한 변위계를 구비하는 자동반송대차에 관한 것이다.
일반적으로 자동반송대차(Automatic Guided Vehicle,이하 AGV)는 차체에 수동 또는 자동으로 화물을 적재하고 지시된 장소까지 자동으로 주행하여 자동 또는 수동으로 이재(移載) 또는 적재(積載)하는 무궤도 차량을 말한다. 이러한 AGV는 전자유도 또는 광학유도방식에 등에 의해 주행하는 대차로 유연한 반송 형태를 취할 수 있기 때문에 반도체 공정 또는 액정표시장치 제조공정 등의 공장자동화에 사용되는 중요한 장치이다.
특히, 대형의 유리기판을 사용하는 액정표시소자의 제조공정에서 각 공정으로 기판을 원활히 이송하고 반송하기 위하여 AGV가 주로 사용된다.
액정표시장치는 저소비전력 및 경박단소한 특성으로 인해, 노트북 컴퓨터, 사무자동화 기기 TV등 그 용도가 날로 증가하고 있다. 특히 액정표장치는 액정표시패널을 구비하는 데, 상기 액정표시패널은 컬러필터 기판과 어레이기판이 합착되고 그 사이에 액정이 충진된 구조를 가진다.
상기 액정표시패널은 유리판을 기판으로 사용하여 제조공정이 진행되고 대량생산을 위해 복수의 기판이 한번에 이동된다.
여러장의 기판을 한번에 이송하기 위하여 복수의 기판이 적재되는 카세트를 사용한다. 또한 상기 기판은 여러 제조장비를 차례로 이동하면서 제조공정이 진행되어 하나의 완성된 액정표시패널이 만들어지는데, 상기 카세트의 이송에 AGV가 사용된다.
도 1에 도시된 바와 같이, AGV 시스템은 카세트가 적재되어 있는 일종의 창고인 스톡커(stocker)(101)와, 상기 카세트를 이송시키는 AGV(100)와, 기판에 개별공정을 진행하는 제조장치들(110)와, 상기 AGV를 운용하는 운용시스템(102,103)을 구비한다.
상기 운용시스템(102,103)은 자동반송대차 시스템을 전체 제어하는 통괄 제어 장치(102)와 AGV(100)에 반송 지령을 내리는 반송차 컨트롤러(103)으로 구성된다.
상기 스토커(101)로 부터 카세트를 적재받은 AGV(100)는 소정의 경로를 따라 각 제조장치들(110)로 이동한다. 상기 AGV(100)는 공장의 바닥에 설치된 레일을 따라 이동하거나, 자체적으로 바퀴를 가지고 있어 자동으로 원하는 위치로 이동할 수 있다. 또한 상기 AGV(100)은 통신수단을 구비하여 상기 AGV컨트롤러(103)와 통신하면서 각 제조방치로 인도된다.
상기 제조장치들은 액정표시소자의 제조공정에서는 금속박막을 증착하는 스퍼터링장치, 플라즈마증착장치, 세정장치, 노광장치 또는 제조가 완료된 패널을 테스트 장치등일 수 있다.
상기 제조장치로 카세트를 자동이송하는 AGV의 구조를 도 2를 참조하여 살펴본다.
도 2에 도시된 바와 같이, AGV는 주행부(201)와, 주행부(201) 상부에 설치되는 로봇암(202)과, 적재되는 카세트(204)를 지지하는 지지부(203)와, 상기 지지부(203)에 복수의 기판이 적재되는 카세트(204)를 구비하여 구성된다. 상기 주행부(201)에는 바퀴(211)와 상기 바퀴에 동력을 전달하는 구동부(212)가 형성되어 있다.
상기 지지부(203)은 양 측면으로 지지대가 형성되고 가운데는 함몰되어 있어 거기에 로봇암(202)이 설치된다.
그러므로 지지부의 지지대에 의해 카세트가 지지되고 카세트 아래에 로봇암이 형성되어 필요시에 카세트를 로더(loader)위로 이재시킨다.
상기 AGV는 무선 통신수단을 구비하여 운용시스템(103)과 통신하면서 소정의 제조장치로 이동된다.
도 3은 AGV(200)와 소정의 제조장치(300)를 나타낸다.
AGV운용시스템과의 통신을 통해 소정의 제조장치로 이송된 AGV(200)는 적재된 카세트를 제조장치의 선반부 즉, 로더(302)로 로봇암(202)을 통해 이재시킨다.
로더(302)에 이재된 카세트에 저장된 기판은 제조장치(300)에 설치되는 제 2 로봇암(301)에 의해 한장씩 이재되어 공정 챔버로 인도된다.
그런데, 상기 AGV(200)는 바퀴에 의해 이동되면서 카세트를 이재 및 적재하기 때문에 AGV가 이동하는 바닥면의 상태에 민감하게 반응한다. 즉, 노면이 거칠거나 단차가 심하면 소정의 제조장치에 이동한 후에도, 제조장치의 로더와 높이가 일치하지 않아 AGV에서 로더로 카세트를 이재할 수 없는 문제가 있다. 그리하여 액정 표시장치를 제조하는 공장에서는 AGV의 원활한 이동을 위해 별도로 바닥 평탄화 공정을 실시하는 경우가 있다.
그러나 먼 거리를 이동하면서 이재 및 적재하는 AGV를 위해 넓은 면적에 걸쳐 바닥 평탄화 공사를 하는 것은 많은 비용을 요한다.
그러므로 본 발명은 카세트를 이송하는 자동반송대차가 노면의 상태에 구애받지 않고 소정 제조장치에 카세트를 이재 및 적재할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다. 또한 소정의 제조장치에 도달한 자동반송대차가 원활히 카세트를 이재 및 적재하여 카세트의 이재 및 적재시 발생할 수 있는 불량을 최소화하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 자동반송대차 시스템은 주행부와; 상기 주행부의 상단에 설치되는 카세트 지지부; 상기 주행부 상에 형성되는 로봇암과; 상기 카세트 지지부상에 적재되는 카세트와; 상기 로봇암을 수직운동시키는 수직 구동부와; 상기 로봇암의 회전운동 및 수평운동을 담당하는 수평구동부와; 상기 주행부의 측면에 설치되는 복수의 위치 감지 수단을 구비하는 자동반송대차와; 상기 자동반송대차로부터 카세트를 이재 받는 로더와; 상기 로더의 측면에 수평하게 설치되는 수평 마크 플레이트와; 상기 로더의 측면에 수직하게 설치되는 수직 마크 플레이트를 구비하는 제조장치를 구비하는 것을 특징으로 한다.
액정표시패널을 제조하는 공정은 대형의 유리를 기판으로 사용하는데, 상기 기판들은 대량생산을 위해 여러장이 하나의 카세트에 적재되어 카세트 단위로 이동하게 된다. 상기 카세트를 이송하는 시스템이 자동반송대차 시스템인데, 상기 자동반송시스템은 크게 카세트가 적대되는 스토커와, 카세트를 이송시키는 자동반송대차(AGV)와, 기판에 소정의 공정이 진행되는 제조장치들과, 상기 자동반송대차의 이동을 제어하는 반송차 컨트롤러를 구비한다.
본 발명의 자동반송대차 시스템에 사용되는 자동반송대차는 자유로이 이동경로를 선택할 수 있는 바퀴 달린 자동반송대차이다.
그러므로 본 발명의 자동반송대차는 이동 로의 노면상태에 자동반송대차가 민감하게 반응할 수 있다. 즉, 이동로면의 상태에 따라 자동반송대차가 소정의 제조장치 앞에 정위치하지 못하고 뒤틀린 상태로 정차되거나, 정해진 위치에서 벗어나 정차될 수 있다.
그러므로 본 발명의 자동반송대차는 이동 노면의 상태에 관계없이 소정의 제조장치 앞에 정차된 경우, 그 위치를 자동으로 보정하여 최적의 카세트 이재 또는 적재 환경을 제공하는 것을 목적으로 한다.
이하, 도 4를 참조하여 본 발명의 자동반송대차의 구조를 살펴본다.
도 4에 도시 된 바와 같이, 본 발명의 자동반송대차는 크게 바닥면에 바퀴(410)과 그 바퀴의 구동부(411)를 구비하는 주행부(401)와, 상기 주행부(401)상단에 설치되며 적재되는 카세트(404)를 지지하는 카세트 지지부(402)와, 상기 주행부(401)상에 형성되는 로봇암(403)과, 상기 로봇암의 위치를 조절하는 조절수단과, 자동반송대차가 소정의 위치에 정차했을 때 자동반송대차의 위치를 감지할 수 있는 위치감지수단을 구비한다.
상기 카세트 지지부(402)는 자동반송대차의 4면중 서로 마주보는 두면에만 지지대를 구비하며, 다른 두면은 터여 있다. 그러므로 상기 카세트 지지부(402)의 중앙은 공간이 형성되는 데, 상기 함몰된 공간에 로봇암(403)이 설치된다. 로봇암은 상기 지지대라 설치되지 않은 곳을 통해 움직이면서 카세트를 이재 또는 적재한다.
또한, 상기 조절수단은 로봇암의 X축,Y축,Z축 및 회전각 θ를 조절하는 수단으로, 로봇암의 하단에 설치된 수직구동수단(440)과 상기 로봇암의 X축, Y축운동 및 회전운동을 담당하는 수평구동수단(405)을 구비한다. 상기 수평구동수단은 로봇암을 회전시킬 수 있는 선회대를 기본으로 하며, 상기 선회대상에 X,Y축으로 로봇암이 이동할 수 있는 레일등의 이동경로가 설치된다.
또한, 상기 위치감지수단은 자동반송대차의 수평위치를 감지하는 한쌍의 수평위치감지수단(420a,420b)과, 상기 자동반송대차의 수직위치를 감지하는 한쌍의 수직위치감지수단(430a,430b)을 구비한다. 상기 수평위치감지수단(420a,420b) 및 수직위치감지수단(430a,430b)은 감지되는 빛을 전기신호로 전환하여 디지탈화하는 CCD(Charge-Coupled Device)카메라 일 수 있다.
상기 수평감지수단에 의해 임의로 정차된 자동반송대차의 X,Y축 변위 및 자동반송대차가 비틀어진 정도인 θ변위를 감지할 수 있다.
또한 상기 수직위치감지수단(430a,430b)에 의해 자동반송대차의 Z축,즉 높이 변위를 측정할 수 있다.
한편, 상기 위치감지수단은 자동반송대차의 측면부 즉, 정차시 제조장치의 로더 측면과 마주보는 자동반송대차의 면에 설치될 수 있다.
한편, 상기 자동반소대차가 카세트를 이재 또는 적재하게 되는 각 공정이 진행되는 제조장치는 카세트가 놓여지는 로더(501)와, 로더(501)에 적재된 카세트에 저장된 기판을 공정챔버로 이동시키는 제 2 로봇암(미도시)과, 공정 챔버를 구비한다.
도 5는 카세트가 적재되는 로더(501)의 모습을 도시한 것이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 로더(501)는 몸체와 카세트가 놓여지는 선반부로 나뉠 수 있다. 상기 선반부에는 놓여지는 카세트(404)를 고정시키는 고정부재(502)가 설치되어 있으며, 선반부의 중앙부는 함몰부(503)가 형성되어 있어, 자동반송대차에 설치되는 로봇암이 출입하면서 카세트를 이재 및 적재할 수 있게 한다.
한편, 상기 로더 몸체의 선단, 즉, 자동반송대차가 정차될 때 자동반송대차와 마주하는 면에는 자동반송대차의 위치감지수단과 각각 대응하는 마크 플레이트가 설치되어 있다.
상기 마크 플레이트(mark plate)는 바-코드(bar-code)로 구성되는데, 수평마크플레이트(510)과 수직 마크플레이트(520)으로 구성된다.
상기 수평 마크플레이트(510)는 상기 수평위치감지수단(420a,420b)와 대응되며, 상기 수직 마크플레이트(520)은 상기 수직위치감지수단(430a,430b)과 대응된다.
그러므로 자동반송대차(400)가 로더(501) 앞에 정차하면 상기 수평위치감지 수단(420a,420b)이 수평 마크플레이트(510)를 감지하고, 수직위치감지수단(430a,430b)이 수직 마크플레이트(520)를 감지하여 정차한 자동반송대차의 위치를 파악한다.
도 6은 자동반송대차와 제조장치의 측면도로써, 수평 및 수직 위치감지수단을 구비하는 자동반송대차와 수평 및 수직 마크 플레이트를 구비하는 로더를 보여준다.
도 6에 도시된 바와 같이, 카세트를 적재한 자동반송대차(400)는 소정의 제조장치 앞에 정차한다.
자동반송대차가 정차위치를 감지하는 것은, 각 제조장치의 로더 앞에 위치감지수단을 설치하여 알 수도 있고, 미리 제조장치의 위치정보를 알고 있는 중앙 컨트롤러에서 자동반송대차에 정차위치에 대한 지령을 내려 정차위치를 판단 할 수 도 있다.
그러나 어느 경우든 자동반송대차가 정확한 위치및 자세로 로더 앞에 정차하는 것은 어려운 일이며, 정차시 얼마간의 뒤틀림은 발생하게 된다.
자동반송대차에 적재된 카세트를 이재하기 위해서는 자동반송대차의 위치 특히, 카세트를 이재 또는 적재하는 로봇암의 위치와, 로더의 위치가 소정의 오차범위 내에서 정확히 배열되어야 하는 데, 본 발명의 위치감지수단과 마크 플레이트는 정차한 자동반송대차로 부터 카세트를 정확히 이재 또는 적재할 수 있게 자동반송대차의 위치를 조정한다.
도 6을 참조하면, 자동반송대차의 측면에 설치된 수평위치감지수단(420)은 로더(501)의 수평 마크 플레이트(510)와 마주보게 되고, 수직위치감지수단(430a,430b)은 수직 마크 플레이트(520)와 마주보게 된다.
그 후, 상기 수평위치감지수단(420)은 상기 수평 마크플레이트(510)에 기록된 바-코드를 읽고, 상기 수직위치감지수단(430)은 수평 마크플레이트(520)의 위치를 감지하여 자동반송대차의 위치를 파악한다.
이어서, 상기 위치감지수단에 의해 파악된 자동반송대차의 위치정보와 미리 저장된 자동반송대차의 표준정보를 중앙 컨트롤러가 비교하여 자동반송대차의 위치를 보정한 후, 로봇암에 지령을 내려 카세트가 정확히 이재될 수 있게 한다.
이하 도 7을 참조하여 본 발명의 자동반송대차의 위치를 보정하는 과정과 카세트를 이재하는 과정에 대해서 살펴본다.
자동반송대차는 소정의 위치에 설치된 무선통신수단을 이용하여 중앙 컨트롤러와 계속 통신을 하면서 이동을 하며 카세트를 이재 또는 적재한다.
중앙 컨트롤러로부터 지령을 받아 소정의 제조장치앞에 자동반송대(400)가 정차한다. 도 7은 자동반송대차(400)가 정위치에 정차하지 못한 모습을 도시하고 있다.
도 7의 7A에 도시 된 바와 같이, 자동반송대차(400)가 정위치에 정차하지 못한 채 로더 앞에 정차하면, 자동반송대차(400)에 설치된 수평위치감지수단 및 수직위치감지수단이 로더(501)의 수평 및 수직 마크 플레이트를 감지하여 자동반송대차의 위치를 파악한다.
상기 수평감지수단은 한쌍의 CCD로 구성되어 자동반송대차가 정위치에서 X축 방향으로 얼마나 벗어났는 지를 파악하며, 또한 자동반송대차와 로더의 거리를 측정하여 자동반송대차의 선단과 후단이 얼마나 뒤틀려있는 지를 파악한다. 즉, 자동반송대차의 X축,Y축변위 및 θ변위를 감지할 수 있다.
도 7의 7B는 자동반송대차가 정위치에서 △X 및 △Y 만큼 변위된 경우를 나타내는 개념도이다. 도 7의 7C는 자동반송대차가 정위치에서 △θ만큼 변위된 경우를 나타내는 개념도이다.
한편, 도 7에는 도시되지 않았지만, 자동반송대차의 수직위치감지부는 로더에 설치된 수직 마크 플레이트를 감지하여 자동반송대차의 수직변위값을 측정한다. 즉, 자동반송대차가 바닥면에 의해 자동반송대차의 높이에 오차가 발생한 것을 측정한다.
상기 감지수단들에 의해 감지된 자동반송대차의 정보는 무선통신수단에 의해 중앙 컨트롤러에 전달되고 중앙 컨트롤러는 전달받은 자동반송대차의 정보와 자동반송대차의 표준위치정보를 비교하여 수정값을 자동반송대차에 전달한다.
상기 정보에 의해 자동반송대차의 로봇암은 수직구동부에 의해 자동반송대차의 수직위치값을 보정하고 수평구동부에 의해 자동반송대차의 X축,Y축 위치값 및 θ위치값을 보정한다.
상기 수평구동부는 선회대로 구성되어 있어 로봇암을 소정각도 회전시킬 수 있으며, 상기 선회대의 상부는 X,Y축의 수평구동수단, 즉 X축 이동레일 및 Y축 이동레일을 구비하여 로봇암의 X,Y축 변위값을 보정할 수 있다.
상기와 같이, X,Y,Z및 θ변위값이 보정된 로봇암에 의해 자동반송대차에 적 재된 카세트는 정확히 로더의 선반부로 이재될 수 있게 된다.
한편, 상기 자동반송대차는 카세트의 이재뿐 아니라 로더의 선반부에 적재된 카세트를 다시 회수하는 기능도 수행한다.
특히 상기 위치보정기능을 가지는 자동반송대차는 자동반송대차가 이동하는 이동경로에 단차가 많은 곳에서 효과를 발휘할 수 있다.
보통, 액정표시소자는 이물의 밀도가 제어되는 클린룸에서 작업이 진행되는 데, 클린룸의 바닥면은 상기 자동반송대차의 이동을 원활히 하기 위해 평탄화작업이 이루어진 상태이다. 그러나 액정표시패널이 완성된 후 출하전, 측, 테스트 공정등은 콘크리트 바닥으로 구성되어 있어, 이동하는 자동반송대차의 위치에 오류를 발생시키는 경우가 많이 있다.
그러나 본 발명의 위치감지수단 및 위치보정수단을 구비하는 자동반송대차를 제공함으로써 바닥면에 상관없이 카세트의 정확한 이재 및 적재가 가능하게 된다.
그러므로 본 발명은 자동반송대차를 제공하되, 위치감지수단과, 자동반송대차의 위치보정수단을 구비함으로써 자동반송대차가 이동하는 노면의 상태에 관계없이 카세트의 정확한 이재 및 적재가 가능하도록 한다.
특히 본 발명의 자동반송대차는 바닥면의 상태에 관계없이 자동반송대차의 수직위치를 보정할 수 있는 수직위치감지수단 및 수직위치보정수단을 구비하여 자동반송대차가 이동하는 노면에 평탄화 작업을 실시하지 않을 수 있어 클린룸 제조비용을 절감할 수 있다.

Claims (13)

  1. 자동반송대차와;
    상기 자동반송대차의 위치를 감지하는 복수의 위치감지수단과;
    상기 자동반송대차의 위치를 보정하는 위치보정수단과;
    상기 자동반송대차와 대응되는 로더와;
    상기 로더에 설치되는 마크 플레이트를 구비하는 것을 특징으로 하는 자동반송대차 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 위치감지수단은 수평위치감지수단과 수직위치감지수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 자동반송대차 시스템.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 위치감지수단은 복수의 CCD카메라인 것을 특징으로 하는 자동반송대차 시스템.
  4. 제 2항에 있어서, 상기 위치감지수단은 한쌍의 수평위치감지수단과 한쌍의 수직위치감지수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 자동반송대차 시스템.
  5. 제 2 항에 있어서, 상기 마크 플레이트는 수평마크플레이트와 수직마크플레이트를 구비하는 것을 특징으로 하는 자동반송대차 시스템.
  6. 제 5항에 있어서, 상기 수평위치감지수단은 상기 수평마크플레이트에 대응되며 상기 수직위치감지수단은 상기 수직마크플레이트에 대응되는 것을 특징으로 하는 자동반송대차 시스템.
  7. 제 6항에 있어서, 상기 수평위치감지수단은 상기 수평마크프레이트를 판독하므로써 상기 자동반송대차의 X축변위,Y축변위 및 θ변위를 판단하는 것을 특징으로 하는 자동반송대차 시스템.
  8. 제 6항에 있어서, 상기 수직감지수단은 상기 수직마크플레이트를 판독하여 상기 자동반송대차의 Z축변위를 판단하는 것을 특징으로 하는 자동반송대차 시스템.
  9. 제 7 항에 있어서, 상기 자동반송대차는 상기 자동반송대차에 적재된 카세트를 이재시키는 로봇암을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 자동반송대차 시스템.
  10. 제 9항에 있어서, 상기 로봇암은 수직구동부와 수평구동부를 구비하는 것을 특징으로 하는 자동반송대차 시스템.
  11. 제 10항에 있어서, 상기 X축변위, Y축변위 및 θ변위를 조절하는 것은 상기 수평구동부에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 자동반송대차 시스템.
  12. 제 10항에 있어서, 상기 Z축변위를 조절하는 것은 상기 수직구동부에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 자동반송대차 시스템.
  13. 제 1 항에 있어서, 상기 마크플레이트는 바-코드(bar-code)로 이루어진 것을 특징으로 하는 자동반송대차 시스템.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100990363B1 (ko) * 2005-11-04 2010-10-29 무라타 기카이 가부시키가이샤 반송장치
WO2019066205A1 (ko) * 2017-09-29 2019-04-04 (주)윤텍 자동반송대차 및 이를 이용한 카세트 반송 방법
CN112417916A (zh) * 2019-08-20 2021-02-26 宋力伟 基于光扫描条码机制的三维空间定位***及定位方法

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