KR101421573B1 - 카세트 크레인의 맵핑 모듈 - Google Patents

카세트 크레인의 맵핑 모듈 Download PDF

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Abstract

본 발명의 카세트 크레인의 맵핑 모듈은, 카세트 내의 글래스의 유무를 감지하는 카세트 크레인의 맵핑 모듈에 있어서, 크레인에 부착되는 모터; 상기 모터의 회전력에 의해 회전하는 프레임; 및 상기 프레임에 부착되어 글래스를 감지하는 센서를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이에 따라, 본 발명의 맵핑 모듈을 카세트 크레인에 부착하여 카세트 슬롯 내의 글래스의 유무를 즉각적으로 감지하는 효과가 있다.

Description

카세트 크레인의 맵핑 모듈{Mapping Module of Cassette Crane}
본 발명은 카세트 크레인의 맵핑 모듈에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 카세트 내의 글래스의 유무를 감지하는 카세트 크레인의 맵핑 모듈에 관한 것이다.
일반적으로 평판 표시장치(Flat Panel Display) 중에서 액정표시장치는 노트북 및 모니터 등 다른 응용 분야로 그 비중이 점차 증대되고 있다. 이러한 액정표시장치 산업의 발전과 그 응용의 보편화는 크기의 증가와 해상도 증가에 의해 가속되었으며, 현재는 생산성 증대와 저가격화가 관건으로, 이를 위한 시도는 제조공정의 단순화와 수율 향상의 관점에서 제조 업체는 물론, 관련 재료 산업과 제조 장비 업체의 공동의 노력이 요구되고 있다.
이러한 상기 액정표시장치의 제조공정은 유리 기판(이하, '글래스'라고 함)상에 픽셀(Pixel) 단위의 신호를 인가하는 스위칭 소자들을 형성하는 TFT(Thin Film Transistor: 박막 트랜지스터) 공정과, 색상을 구현하기 위한 컬러 RGB(Red, Green, Blue) 어레이를 형성하는 컬러 필터(Color Filter) 공정, 그리고, 상기 각 공정을 거쳐 형성된 TFT 기판과 컬러 필터 기판 사이에 액정 셀(Cell)을 형성하는 액정 공정으로 크게 나눌 수 있다.
이와 같은 상기 각 공정은 순차적으로 행하여 지며, 각 공정을 거치기 위해 상기 글래스가 각각의 공정에 사용되는 제조 장비로 반송 또는 이송된다.
이때, 상기 각 글래스들은 미세 먼지나 입자에 의해서도 쉽게 불량이 발생하기 때문에 상기 각 공정간을 이동하는 글래스들은 매우 청정한 상태로 유지되어야 한다. 이를 위해 상기 글래스은 카세트에 수납된 상태로 공정간을 이동하게 된다.
그리고, 상기 카세트 역시 각 공정간을 카세트 크레인에 의해 이동하면서 일정 장소에 위치하는 선반(Shelf)에 저장된다.
이러한, 복수개의 글래스가 수납되는 카세트와, 상기 카세트를 보관하는 선반 및 상기 카세트를 여러 가지 공정간을 반송 또는 이송하는 카세트 크레인을 포함하여 스토커 시스템(stoker system)이라 한다.
이하, 종래기술에 따른 스토커 시스템을 도 1을 참조하여 설명한다.
도 1에 도시한 바와 같이, 종래기술에 따른 스토커 시스템은, 글래스들이 수납된 카세트(11)들을 저장하기 위한 다층의 셀들이 형성된 선반(10)과, 상기 선반(10)과 일정 거리 이격되어 형성된 레일(20) 및 상기 레일(20)을 통해 운행하면서, 암(31)을 통해 카세트(11)를 상기 선반(10)에 입고(load) 또는 카세트(11)를 상기 선반(10)으로부터 출고(unload)하는 카세트 크레인(30)으로 이루어진다.
또한, 상기 각 선반(10)에는 카세트(11)를 수납할 수 있는 수납공간(13)이 구비된다.
그리고, 상기 카세트 크레인(30)은 정해진 구간을 운행하는 주행부(32)와, 길이가 신축가능하며, 상기 카세트(11)를 적재하는 암(31)과, 상기 암(31)을 상하 방향으로 이동시키는 크레인(33)으로 구성된다.
한편, 상기 주행부(332)에는 상기 레일(320)과 맞물리도록 설치된 주행 휠(335)이 구비된다.
또한, 상기 암(31)은 다양한 길이로 신장되도록 펼쳐지거나 접힐 수 있는 다관절 구조를 이루어져 선반(10)측으로 전진하거나 후진하는 수평 직선 운동에 의해 상기 카세트(11)를 상기 선반(10)에 입고(load) 또는 출고한다(unload).
그러나, 종래기술의 카세트 크레인(30)에는 글래스의 유뮤를 확인하는 장치가 개시된 바 없었다.
즉, 종래기술의 스토커 시스템에는 글래스의 유무를 판별하는 장치가 한정된 공간인 공정 중에 설치되어 있어 한정된 공간을 벋어나는 경우 글래스의 유무를 확인할 방법이 없게 된다.
이에 따라, 공정간을 이동하는 카세트 크레인에서 글래스의 유무를 즉각적으로 확인하기 어려운 문제점이 있었다.
따라서, 카세트 크레인에서 글래스의 유무를 즉각적으로 확인할 수 있는 카세트 크레인의 맵핑 모듈의 개발이 요구되고 있는 실정이다.
본 발명은 전술한 종래의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 카세트 슬롯 내의 글래스의 유무를 즉각적으로 감지하는 카세트 크레인의 맵핑 모듈을 제공하는데 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 카세트 크레인의 맵핑 모듈은, 카세트 내의 글래스의 유무를 감지하는 카세트 크레인의 맵핑 모듈에 있어서, 크레인에 부착되는 모터; 상기 모터의 회전력에 의해 회전하는 프레임; 및 상기 프레임에 부착되어 글래스를 감지하는 센서를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 모터는 제1 브라켓에 의해 크레인에 고정되며, 상기 프레임의 일단은 모터의 구동축에 결합되며 타단은 크레인에 고정된 제2 브라켓에 힌지 결합되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 프레임은 상,하부 지지대와 상기 상,하부 지지대를 연결하는 설치대로 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 상,하부 지지대는 프레임의 회전시에 상기 센서가 카세트 내부로 진입할 수 있는 회전반경을 가지는 길이로 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 카세트 크레인의 맵핑 모듈에 따르면, 본 발명의 맵핑 모듈을 카세트 크레인에 부착하여 카세트 슬롯 내의 글래스의 유무를 즉각적으로 감지하는 효과가 있다.
또한, 카세트의 입고 또는 출고에 따른 카세트와 맵핑 모듈의 간섭이 없다.
도 1은 종래기술에 따른 스토커 시스템을 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 카세트 크레인을 도시한 사시도이다.
도 3은 도 2의 분해상태를 도시한 사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 카세트 크레인의 맵핑 모듈을 도시한 정면도이다.
도 5는 도 4의 작동상태를 도시한 작동 상태도이다.
도 6은 본 발명에 따른 카세트 크레인의 맵핑 모듈을 도시한 평면도이다.
도 7은 도 6의 작동상태를 도시한 평면도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 카세트 크레인을 도시한 사시도이고, 도 3은 도 2의 분해상태를 도시한 사시도이며, 도 4는 본 발명에 따른 카세트 크레인의 맵핑 모듈을 도시한 정면도이고, 도 5는 도 4의 작동상태를 도시한 작동 상태도이고, 도 6은 본 발명에 따른 카세트 크레인의 맵핑 모듈을 도시한 평면도이며, 도 7은 도 6의 작동상태를 도시한 평면도이다.
본 발명에 따른 맵핑 모듈을 설명하기에 앞서, 먼저 본 발명에 대한 이해에 도움이 될 수 있도록 카세트 크레인을 설명하고자 한다.
도 2 내지 도 3에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 카세트 크레인(C)은, 레일(110)은 따라 정해진 구간을 운행하는 주행하는 주행부(100)와, 상기 카세트(400)를 적재하는 슬라이딩 암(200) 및 상기 슬라이딩 암(200)을 상하 방향으로 이동시키는 크레인(300)으로 구성된다.
또한, 상기 주행부(100)의 상단에는 슬라이딩 암(200)이 설치되는 암 베이스(120)가 구비된다.
그리고, 상기 암 베이스(120)에는 상기 슬라이딩 암(200)으로 구동력을 전달하도록 모터에 의해 회전하는 구동 피니언(121)이 구비된다.
다만, 상기 슬라이딩 암(200)은 구동 피니언(121)에 의해 구동력을 전달받거나 상기 슬라이딩 암(200)의 내측에 별도의 구동력을 전달하는 모터 등이 구비될 수 있으므로 외부 구동원 또는 내부 구동원을 선택적으로 적용 가능함을 밝혀둔다.
그 밖의 구조는 공지된 종래의 다양한 구성이 채용될 수 있으므로 구체적인 설명은 생략하도록 한다.
이에 따라, 본 발명의 카세트 크레인(C)은 레일(110)을 따라 운행하면서 슬라이딩 암(200)을 통해 글래스들이 수납된 카세트(400)를 선반(Shelf)에 입고(load) 또는 카세트(400)를 상기 선반으로부터 출고(unload)하는 기능을 수행하게 된다.
또한, 상기 크레인(300)에는 카세트(400) 내의 글래스의 유무를 감지하는 카세트 크레인의 맵핑 모듈(500)이 구비된다.
이하, 본 발명에 따른 카세트 크레인의 맵핑 모듈(500)을 설명한다.
도 4 내지 도 7에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 카세트 크레인의 맵핑 모듈(500)은, 크레인(300)에 부착되는 모터(510)와, 상기 모터(510)의 회전력에 의해 회전하는 프레임(520) 및 상기 프레임(520)에 부착되어 글래스를 감지하는 센서(530)로 구성된다.
먼저, 상기 센서(530)는 사물의 유무를 확인할 수 있는 공지된 적외선, 초음파 센서 및 접촉 센서 등이 적용된다.
또한, 상기 모터(510)는 제1 브라켓(511)에 의해 크레인(300)에 고정되며, 상기 프레임(520)의 일단은 모터(510)의 구동축에 결합되며 타단은 크레인(300)에 고정된 제2 브라켓(512)에 힌지 결합된다.
이에 따라, 상기 센서(530)가 부착된 프레임(520)은 모터(510)의 구동에 의해 회전이 이루어지게 된다.
그리고, 상기 프레임(520)은 상,하부 지지대(521)와 상기 상,하부 지지대(521)를 연결하는 설치대(522)로 구성된다.
한편, 상기 상,하부 지지대(521)는 프레임(520)의 회전시에 상기 센서(530)가 카세트(400) 내부로 진입할 수 있는 회전반경을 가지는 길이로 형성된다.
이때, 상기 카세트(400)는 사변의 꼭지점에 기둥이 형성되어 전,후,좌,우가 개방된 형태를 가지며, 개방된 부위로 상기 센서(530)가 진입되어 글래스를 감지하게 된다.
본 발명에 따른 카세트 크레인의 맵핑 모듈(500)은 카세트(400)의 슬롯 내의 글래스의 유무를 즉각적으로 감지하게 된다.
즉, 공정 중간에 위치한 종래기술의 감지장치와는 달리 카세트 크레인(C)에 맵핑 모듈(500)이 탑재되어 있어 한정된 위치에서만 글래스를 감지하는 것이 아니라 필요에 따라 지속적으로 글래스의 유무를 감지할 수 있게 된다.
또한, 카세트 크레인(C)으로 카세트(400)의 입고 또는 출고시에 카세트(400)와 맵핑 모듈(500)의 간섭이 없다.
이하, 카세트 크레인의 맵핑 모듈의 동작을 간단하게 설명한다.
먼저, 도 5a와 같이 카세트 크레인(C)에 카세트(400)를 적재 전에 본 발명의 맵핑 모듈(500)은 대기하고 있다.
다음, 도 5b와 같이 카세트(400)를 카세트 크레인(C)에 적재한다.
그리고, 도 5c와 같이 모터(510)가 회전하여 센서(530)가 카세트(400)의 내부로 진입한 후 센싱하여 글래스의 유무를 확인한다.
마지막으로, 도 5d와 같이 글래스의 유무를 확인 후 준비위치로 복귀한다.
이상, 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 기술적 범위는 전술한 실시 예에 한정되지 않고 특허청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 이때, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 고려해야 할 것이다.
C - 카세트 크레인 100 - 주행부
200 - 슬라이딩 암 210 - 제1플레이트
220 - 제2플레이트 230 - 제3플레이트
240 - 구동유닛 300 - 크레인
400 - 카세트 500 - 카세트 크래인의 맵핑 모듈
510 - 모터 520 - 프레임
530 - 센서

Claims (4)

  1. 카세트 내의 글래스의 유무를 감지하는 카세트 크레인의 맵핑 모듈에 있어서,
    크레인에 부착되는 모터; 상기 모터의 회전력에 의해 회전하는 프레임; 및 상기 프레임에 부착되어 글래스를 감지하는 센서를 포함하되,
    상기 프레임은 상,하부 지지대와 상기 상,하부 지지대를 연결하는 설치대로 구성되고,
    상기 상,하부 지지대는 프레임의 회전시에 상기 센서가 카세트 내부로 진입할 수 있는 회전반경을 가지는 길이로 형성되는 것을 특징으로 하는 카세트 크레인의 맵핑 모듈.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 모터는 제1 브라켓에 의해 크레인에 고정되며, 상기 프레임의 일단은 모터의 구동축에 결합되며 타단은 크레인에 고정된 제2 브라켓에 힌지 결합되는 것을 특징으로 하는 카세트 크레인의 맵핑 모듈.
  3. 삭제
  4. 삭제
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20080060398A (ko) * 2006-12-27 2008-07-02 엘지디스플레이 주식회사 글래스 감지 장치
KR20110025601A (ko) * 2009-09-04 2011-03-10 가부시키가이샤 다이후쿠 카세트 반송장치
KR20130008456A (ko) * 2011-07-12 2013-01-22 무라텍 오토메이션 가부시키가이샤 반송차

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20080060398A (ko) * 2006-12-27 2008-07-02 엘지디스플레이 주식회사 글래스 감지 장치
KR20110025601A (ko) * 2009-09-04 2011-03-10 가부시키가이샤 다이후쿠 카세트 반송장치
KR20130008456A (ko) * 2011-07-12 2013-01-22 무라텍 오토메이션 가부시키가이샤 반송차

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