TW201118027A - Chip transporting machine table - Google Patents

Description

201118027 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明有關於一種晶片輸送機台，主要用以對晶片輸 送至第一輸送早元上的固定或鄰近區域。 【先前技術】 ,在晶片的製作或檢測的過程中經常要對晶片進行輸 >送，然而晶片的結構往往較為輕、薄且脆，因此若晶片在 =的過程中發生碰撞，便容易導致晶片本身的結構造成 ’例如出現破損、缺角或是肉眼無法辨識的裂痕，並 致晶片良率的下降。 請參閱第1圖，為習用之晶片輸送機台的俯視圖。如 ’晶片輸送機台1G包括有一第—輸送帶11及-第 :二：丄：且第一輸送帶11與第二輸送帶13相鄰，藉 第一 送帶11上的晶片12傳送至第二輸送帶13。 且於‘I 11的寬度Π大於第二輸送帶13的寬度W2， 檢測：：^送帶/3上設置有一檢測單元15，藉此將可以 在^ 一曰對/二輸送帶13所輸送的晶片12進行量測。 放置在订第曰程令，操作者往往會將晶片 樣落在第二輸^ 第―輸送▼ 13後，亦有可能同 元15將可重Hi 置或固定區域。藉此檢測單 利於提咐繼測，而有 201118027 然而第-輸送帶η及第二輸送帶13皆是 ，因此在運轉㈣時往往會產生震動，並導: ^位置發^匕’而無法如預期的使得晶片_持在曰 送帶13的中心位置或固定區域， 並造成檢測單元15無法重複 疋埤 行的檢測。 稷對各個曰曰片12的相近位置進 【發明内容】 主要的’在於提供-種晶片輸送機台，其 式輸送單 1===:=:導正，由於漂浮 ,,t Β ,. 戍十不存在有磨擦力，因此可有吋 減小日日片在導正過程中所承受 片結構的完整性。 4赠力道，並有利維持晶 要於目在於提供-種晶片輸送機台’主 要於…'輸达早几的側邊設置 :的引導至第二輪送單元上的固 中晶輸二晶片輸送機台，其 丄=|壽導:元之間的撞擊力，藉此將可有效延長 Φ曰t發：之又一目的，在於提供-種晶片輸送機台，其 日日的4度與你子式輪送單元之輸出端的寬度相近，當 201118027 晶片通過漂浮讀送單元後，料單元料對晶片的位置 進行導正。 本發明之又一目的，在於提供一種晶片輸送機台，其 中第-輸送單元的寬度與漂浮式輸送單元之輸人端的寬度 t目近’並有利於將晶片由第—輸送單元傳送至漂浮式輸送 單元。 本發明之又-目的，在於提供一種晶片輸送機台，里 中漂吁式輸送單元之輸出端的寬度與第二輸送單it的寬度 ，二得ί 4在通過漂浮式輸送單元後會落在第二輸i 单7G上的固定或鄰近區域。 古· j上述目^本發明提供—種晶讀送機台，包括 有.弟一輸送單元；一第二輸'»--_b±λ. 元，設置於第一輸送單元及望=早70 ’ 一漂夺式輸送單 乐軋、早兀及第一輸送單元之間，並用以將 一;片由第-輸送單W第二輸送單元；及至^ 導早兀，&置於漂洋式輸送單元的側邊。 【實施方式】 請參閱第2圖，為本發明晶片 體示意圖。如圖所示，晶片輸 ’、σ 一實施例之立 單元21、一第1、…輸达機台20包括有一第一輸送 早兀ζι、一弟一輸运單元23 Φ兮％、、玄-η ，示子式輸送單元25，其 中心…'輸…25設置於第—輸送 送皁元23之間，用以由第一輪 - 及第一輸 將接收的晶>；22傳送至第-腎、、,^ 21接收晶片22 ’並 王弟—輸迗單元23。 漂浮式輸送單it 25可用以進行 ， 疋订日日片22的輪送，且晶 201118027 片22在通過漂浮式輸送單元25時並不會與漂浮式輸送單 元25的表面接觸，換言之晶片22是浮在漂浮式輸送單元 25的表面。在本發明一實施例中，漂浮式輸送單元25可 一氣浮式輸送單元，包括有一平板251、一氣室255及一 供氣單元257，且氣室255設置於平板251下方並與供氣 單元257相連接，其中平板251上設置有複數個穿孔253, 藉此供氣單元257可將所產生的氣體輸送至氣室255，並 由平板251上的穿孔253喷出，使得晶片22浮在平板251 上，並在平板251與晶片22之間存在有一氣膜24,如第 2 A圖所示。當然其他實施例中漂浮式輸送單元25亦可為 一震動式輸送單元，同樣可使得晶片22漂浮在漂浮式輸送 單元25上。 晶片輸送機台20之第一輸送單元21的寬度W1大於第 二輸送單元23的寬度W2，為了順利將晶片22從第一輸送 單元21經由漂浮式輸送單元25導入第二輸送單元23，可 進一步在漂浮式輸送單元25的側邊設置有至少一引導單 元27。在本發明一實施例中引導單元27的數量可為兩個， 分別設置在漂浮式輸送單元25的兩侧，並在漂浮式輸送單 元25上形成一輸入端261及一輸出端263,其中輸入端261 的寬度W3大於輸出端263的寬度W4，且漂浮式輸送單元 25或兩引導單元27之間的寬度由輸入端261逐漸往輸出 端263縮減，藉此可將進入漂浮式輸送單元25之晶片22 的位置進行導正。 漂浮式輸送單元25的輸入端261可與第一輸送單元 201118027 21相連接，並使得第一輸送單元21上的晶片22由輸入端 261進入漂浮式輸送單元25。此外為了提高使用時的便利 性，輸入端261的寬度W3亦可與第一輸送單元21的寬度 W1相近，而有利於將第一輸送單元21上的晶片22傳送至 漂浮式輸送單元25。 又，漂浮式輸送單元25的輸出端263與第二輸送單元 23相連接，並使得漂浮式輸送單元25上的晶片22由輸出 端263傳送至第二輸送單元23。當然，亦可使得輸出端263 • 的寬度W4與第二輸送單元23的寬度W2相近，而晶片22 的寬度W亦與W4及W2相近，藉此將可以對晶片22的位置 進行導正。 在本發明一較佳實施例中第一輸送單元21的設置高 度可略高於第二輸送單元23，且漂浮式輸送單元25以傾 斜的方式設置，例如使得漂浮式輸送單元25的輸入端261 略高於輸出端263,藉由重力的作用將可使得晶片22由輸 ^ 入端261往輸出端263移動，如第2 B圖所示。 在本發明中主要是透過引導單元27及漂浮式輸送單 元25對晶片22的位置及路徑進行引導，藉此第一輸送單 元21上的晶片22將會被引導至第二輸送單元23,且通過 漂浮式輸送單元25及引導單元27的晶片22皆會落在第二 輸送單元23上的固定或鄰近區域。 在本發明一實施例中，第二輸送單元23上亦可設置有 一檢測單元29，藉由上述引導單元27的設置，檢測單元 29將可以對各個晶片22的相同或相近位置進行檢測，而 201118027 有利於提高檢測的準確性。例如可透過一固定架28進行檢 測單το 29及第二輸送單元23的連接，並將檢測單元29 。又置在第二輸送單元23的上方，藉此將可以檢測單元29 對第二輸送單元23所傳輸的晶片22進行量測。 在以引導單元27引導晶片22的過程中，晶片22勢必 會與引導單元27發生碰撞。由於晶片22本身相當 因此在晶片22與引導單元27發生碰撞的過程令，4很且容脆易 會造成晶片22本身結構的毀損，例如晶片22可為一太陽 旎矽晶片’太陽能矽晶片一般為四邊形的構造，當太陽能 矽晶片與引導單元27發生碰撞時容易有缺角的情形發 生，並造成晶片22良率下降。此夕卜，在經過一段時間的使 用後，引導單元27亦會因為晶片22多次的撞擊而有磨損 的情形’並導致引導單元27的使用壽命遭到限制。' 在本發明中是以漂浮式輸送單元25將晶片以由第一 輸送單元2!傳送至第二輸送單元23,並將引導單元心 置，漂了式輸送單元25的側邊。由於晶片22與漂浮式輸 :早了之平板251之間存在有一氣膜24，如第

f式f送單元25與W㈡之間幾乎不存在^擦= 因此在晶片22碰撞引導單亓97 L 中，曰K W道 改變行進方向的過程 …效避免曰曰片22的結構因撞擊 :亦有利於延長引導單元27的使用壽命： 漂浮式輸送單元25之間g + /、 成子不存在有磨擦力，只需要對晶 201118027 片22施加一較小的外力便可改變晶片22的行進方向，藉 此將可減小晶片22與引導單元27在碰撞時所承受的外力7 為了增加說明的便利性，本發明主要以兩個引導單元 27為實施例，然而在應用時引導單元27的數量亦可為一 個，並將引導單元27設置在漂浮式輸送單元25之一側''邊， 而漂浮式輸送單元25的另一側邊則可設有一側壁27〇，藉 此同樣可以將第一輸送單元21上的晶片22傳送至第二輸 送單元23的固定或鄰近區域，如第2(：圖所示。 請參閱第3A圖至第3D圖，分別為本發明晶片輸送 機台之輸送流程圖。如圖所示’晶片輸送機台2〇主要包括 有Γ第一輸送單元2卜—第二輸送單元23及—漂浮式輸 送單元25，並於漂浮式輸送單元25的侧 一 引導單元27。

進行晶片22的輸送時，可將晶片22導入或放置j ::輪送單元21上，並以第-輸送單元21將晶片22如 =洋式輸送單元25，如第3 A圖所示。由於第一輸送] 的見度W1與漂浮式輸送單元25的輸入端261的寬z 第-目ί送，如w 1可小於或等於w 3，使得晶片2 2可順利! •j、早兀21進入漂浮式輸送單元25。 二般來說晶片22在第—輸送單元21上的位置並不f 时可此偏左邊或偏右邊，因此當晶片22傳送至漂浮3 = 引導單元27,此外晶片22由第· 作用而#错-运至/?TW子式輪送單元25時，會因為慣性< ^ -輪接罝元23的方向移動，藉此可使得晶, 201118027 例中一料早元23的方向。在本發明-較佳實施 =送=送衫25可以傾斜的方式設置，例如漂浮 “ J二的輸入端261向於輸出端263 mu 將于式輸送單元25上的晶片22送往第二輸送單元… 當晶片22碰撞到引導單元27時將會被引導單元打 反彈’再加上慣性或重力的作用使得晶片22往斜前方移 動例如以晶片22前進的方向為前方，當晶片22的位置 偏左時將會碰撞到左側的引導單元27，如第3 B圖所示， :後晶片22會被左側的引導單元27反彈並往右侧的引導 單兀27移動，當晶片22碰撞到右侧的引導單元27後將會 再次被反彈，如第3C圖所示。 曰 在實際應用時晶片22在進入漂浮式輸送單元a後， 有可能如上述先碰撞到左側的引導單元27，但亦可能先碰 到右側的引導單元27。此外每個晶片22碰撞到引導單元 27的次數亦不固定，有可能直接穿過漂浮式輸送單元25， 亦可此多次碰撞兩侧的引導單元27。由於晶片22是漂浮 在漂浮式輸送單元25上，因此兩者之間幾乎不會有磨擦力 的存在，並可減低晶片22與引導單元27之間碰撞的力道， 而有利於延長引導單元27的使用壽命及避免晶片22的結 構發生損壞。 * 不論晶片22碰撞到引導單元27的次數為多少次，引 導早元27皆可以對晶月22的位置進行導正。兩個引導單 元27之間的距離是以逐漸縮小的方式設置，例如漂浮式輸 送單元25之輸入端261的寬度W3大於輸出端263的寬度 201118027 W 4，且兩個引導單元2 7之間的間距由w _縮小為w 4， 藉此將可以達到引導晶片22之目的。 又，漂浮式輸送單元25之輸出端263的寬度料鱼第 =輸送單元23的寬度W2相近，例如財小於或等於… ，此可將漂浮式輸送單元25上的晶片22傳送至第二輸送 Μ 23 ’如第3 D圖所示。由於輸出端263的寬度μ與 第ΐ輸，Λ元23的寬度W2相近’因此晶片22由漂浮式輸 =早=25傳送至第二輸送單元23上時，晶片㈡將或落在 弟-輸料元23上的固定或鄰近區域。例如第二輸送單元 23上可叹置有檢測單元29，藉此檢測單元⑼冑可以對各 :晶片22的相同或相近位置進行檢測，以提高檢測時的準 Μ上所述者 .m两尽發明之較佳實施例而已，並 發明實施之範圍，即凡依本發明申請專利範圍戶

庙\二大、構造、特徵及精神所為之均等變化與修飾，^ 應〇括於本發明之申請專利範圍内。 【圖式簡單說明】 ? 1圖.為習用晶片輸送機台的俯視圖。 第2:h為ίί明曰a>i輪送機台一實施例之立體示意圖。 弟J A圖·為本發明晶只鈐、 曰月輸达機台一實施例之部分構造的 剖面示意圖。 第2 B圖：為本發明晶片於、 m 9 Γ m ^ 輪迗機台一實施例之侧面示意围 Θ.為本發明晶片輪送機台-實施例之俯視圖。 201118027 第3A圖至第3D圖：分別為本發明晶片輸送機台之輸送 流程圖。 【主要元件符號說明】 10 晶片輸送機台 11 第一輸送帶 12 晶片 13 ^ itft 弟一物运f 15 檢測單元 20 晶片輸送機台 21 第一輸送單元 22 晶片 23 第二輸送單元 24 氣膜 25 輸送單元 251 平板 253 穿孔 255 氣室 257 供氣單元 261 輸入端 263 輸出端 27 引導單元 270 側壁 28 固定架 29 檢測單元 12

Claims (1)

1. 201118027 七 、申請專利範圍·· 種 晶片輸送機台，包括有： 2 4 6 一第一輸送單元； 一第二輸送單元； 一漂浮ΐ輸送單元，設置於該第—輸送單元及該第二 輸，單元之間’並用以將—晶片由該第—輸送單元 運送至該第二輸送單元；及 =-引導單元，設置於該漂浮式輸送單元的側邊。 申睛專利範項所述之晶片輪送機台，包括有 至少一檢測單元設置於該第二輸送單元。 •如申請專利範圍第Μ所述之晶片輸送機台，立中咳 ，式輸送單元m场送單元或—震動 早兀。 料利範圍第1項所述之晶片輸送機台，其中該 =導早㈣數量為兩個，並分顺置在該漂浮式輸送 旱几的兩侧。 .=請專利範圍第μ所述之晶片輪送機台，其中該 第-輸达單元的寬度大於該第二輸送單元的寬卢。 如申請專利範圍第i項所述之晶片輸送機台，=中該 晶片為太陽能矽晶片。. 如申請專利範圍第工項所述之晶片輪送機台，立中續 輸送單元包括有一輸入端及一輪出端，且該輸 二，接該第—輸送單元，而該輸出端則連接該第二

   13 7 201118027 8。如申請專利範圍第7項所述之晶片輸送機台，其中嗲 漂浮式輸送單元之輸入端的高度大於該輪出端的°高 度。 。 9 ·如申請專利範圍第8項所述之晶片輸送機a， i/v 口 >、中該 弟—輸送單元的高度略高於該第二輸送單 I Λ .. 卞义的局度。 如申請專利範圍第7項所述之晶片輸送機台，其中續 輸入端的寬度大於該輸出端的寬度。 八以 II ·=申請專利範圍第7項所述之晶片輸送機台，其中該 =式輸送單元的寬度由該輸人端逐漸往輪出端= 减。 12 13 14 15 如申請專利範圍第7項所述之晶片輸送機台，其中咳 輪入端的寬度與該第一輸送單元的寬度相近。 如申請專利範圍第7項所述之晶片輸送機台，其中該 輸出端的寬度與該第二輸送單元的寬度相近。、以 如申請專利範圍第7項所述之晶片輸送機台，其 輪出端的寬度與該晶片的寬度相近。 Λ 如申請專利範圍第1項所述之晶片輸送機台， 漂浮式輸送單元包括有—平板、—氣室及 疋，並於該平板上設置有複數個穿孔，且該氣室 於該平板下方並連接該供氣單元。 如申請專利範圍第1項所述之晶片輸送機台，巧該 ^導單元的數量為—個’並設置於該漂浮式輸送單元 的一側邊’㈣漂浮式輪送單元的另—側邊則設置有 16